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JP5194367B2 - Laser processing head and laser processing method - Google Patents
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Description

本発明はレーザ溶接に代表されるようなレーザ加工に用いられるレーザ加工ヘッドに関し、例えばレーザ溶接を行なう際にレーザ光学系へのスパッタの付着を防止するレーザ加工ヘッドおよびレーザ加工方法に関する。   The present invention relates to a laser processing head used for laser processing represented by laser welding, for example, to a laser processing head and a laser processing method for preventing spatter adhesion to a laser optical system when laser welding is performed.

レーザ溶接用の加工ヘッドでは、レーザ光学系の末端の集光レンズと被加工物との間に保護ガラスを設けるとともに、保護ガラスよりも被加工物側に被加工物とほぼ平行な空気の流れを積極的に形成することでいわゆるエアシャッターの機能を具備させ、集光レンズおよび保護ガラスをスパッタの付着から保護するようにしている。しかしながら、エアシャッターにて全てのスパッタを吹き飛ばすことはできず、一部のスパッタはエアシャッターを通り抜けて保護ガラスに付着することから、溶接位置でのレーザ出力の低下による溶接品質の低下を防止するために保護ガラスの定期的な交換が必要となり、生産性の低下を余儀なくされる。特に、亜鉛めっき鋼板やアルミニウム合金の溶接ではスパッタの発生量が多いため保護ガラスの交換頻度が高く、生産性の低下が顕著となる。   In the processing head for laser welding, a protective glass is provided between the condenser lens at the end of the laser optical system and the work piece, and the air flow substantially parallel to the work piece is closer to the work piece than the protective glass. Is formed so as to provide a so-called air shutter function to protect the condensing lens and the protective glass from spatter adhesion. However, not all spatter can be blown away with the air shutter, and some spatter passes through the air shutter and adheres to the protective glass, thus preventing deterioration in welding quality due to a decrease in laser output at the welding position. For this reason, it is necessary to periodically replace the protective glass, resulting in a decrease in productivity. In particular, welding of galvanized steel sheets and aluminum alloys involves a large amount of spatter generation, so the frequency of replacement of the protective glass is high, and the productivity is significantly reduced.

そこで、例えば特許文献1に記載のように、上記エアシャッターを第一のエアシャッターとするとともに、第一のエアシャッターと交差するように斜め下方を指向する第二のエアシャッターを第一のエアシャッターと保護ガラスとの間に設け、上記両エアシャッターの相乗効果によって保護ガラスへのスパッタの付着を防止する技術が提案されている。
特開2005−219108号公報
Therefore, as described in Patent Document 1, for example, the air shutter is a first air shutter, and a second air shutter that is directed obliquely downward so as to intersect the first air shutter is a first air shutter. There has been proposed a technique that is provided between the shutter and the protective glass and prevents spatter adhesion to the protective glass by the synergistic effect of the two air shutters.
JP-A-2005-219108

特許文献1に記載の技術では、上記両エアシャッターの相乗効果により保護ガラスへのスパッタの付着量は低減するものの、保護ガラスへ一旦付着したスパッタを除去することはできず、保護ガラスへのスパッタの付着による溶接品質の低下を防止するためには保護ガラスの交換頻度を高くせざるをえない。   In the technique described in Patent Document 1, although the amount of spatter adhering to the protective glass is reduced by the synergistic effect of the two air shutters, the spatter once adhering to the protective glass cannot be removed. In order to prevent deterioration of the welding quality due to the adhesion of the protective glass, the replacement frequency of the protective glass must be increased.

本発明は上記の課題に鑑み、レーザ加工に伴って発生したスパッタの保護ガラスへの付着を防止するとともに、保護ガラスに一旦付着したスパッタを除去することができるレーザ加工ヘッドおよびレーザ加工方法を提供することを目的としている。   In view of the above problems, the present invention provides a laser processing head and a laser processing method capable of preventing spatter generated by laser processing from adhering to protective glass and removing spatter once adhering to protective glass. The purpose is to do.

請求項1に記載の発明は、レーザ光をレーザ光学系の末端の集光レンズにて集光した上で被加工物に照射してレーザ加工を施すレーザ加工ヘッドであることを前提として、集光レンズよりも被加工物側に配置された保護ガラスと、保護ガラスよりも被加工物側に配置され、被加工物にほぼ平行な空気の流れを形成する第一のエアノズルと、保護ガラスと第一のエアノズルとの間に配置され、レーザ光路の側方から保護ガラスに向かう空気の流れを形成する第二のエアノズルと、を備えている。
そして、第二のエアノズルが形成する空気の流れが、保護ガラスのうち当該保護ガラスの中心から第一のエアノズルが形成する空気の流れ方向下流側にオフセットした部位を指向するように、第二のエアノズルの向きを設定してあることを特徴としている。
The invention described in claim 1 is based on the premise that the laser processing head performs laser processing by condensing laser light with a condensing lens at the end of the laser optical system and irradiating the workpiece with laser processing. A protective glass disposed on the workpiece side with respect to the optical lens; a first air nozzle disposed on the workpiece side with respect to the protective glass and forming an air flow substantially parallel to the workpiece; and the protective glass. And a second air nozzle that is disposed between the first air nozzle and that forms a flow of air from the side of the laser light path toward the protective glass.
Then, the flow of air in which the second air nozzle is formed so as to direct the sites offset in the flow direction downstream side of the air first air nozzle is formed from a center of the protective glass of the protective glass, the second It is characterized in that the direction of the air nozzle is set.

したがって、請求項1に記載の発明では、第一のエアノズルにより形成された空気の流れにてレーザ加工中に発生したスパッタが吹き飛ばされるようにして除去されるとともに、第一のエアノズルにて形成された空気の流れにて吹き飛ばされずに保護ガラスに付着した一部のスパッタを第二のエアノズルにて形成された空気の流れをもって吹き飛ばすことが可能となる。   Therefore, in the first aspect of the present invention, the spatter generated during the laser processing is removed by the air flow formed by the first air nozzle so as to be blown away, and the first air nozzle is formed. It is possible to blow away a part of the sputters adhering to the protective glass without being blown away by the air flow with the air flow formed by the second air nozzle.

また、請求項5に記載の発明は、請求項1に記載の発明をレーザ加工方法として捉えたものであって、レーザ光をレーザ光学系の末端の集光レンズにて集光した上で保護ガラスを透過させて被加工物に照射することによりレーザ加工を施す方法であることを前提として、集光レンズよりも被加工物側に保護ガラスを配置するとともに、保護ガラスよりも被加工物側に当該被加工物にほぼ平行な空気の流れを形成する第一のエアノズルを配置し、さらに、保護ガラスと第一のエアノズルとの間に、レーザ光路の側方から保護ガラスに向かう空気の流れを形成する第二のエアノズルを配置してある。そして、第一のエアノズルからの空気の流れをもって、保護ガラスよりも被加工物側にエアシャッターとして機能する被加工物とほぼ平行な層状の空気の流れを形成するとともに、第二のエアノズルが形成する空気の流れを、保護ガラスのうち当該保護ガラスの中心から第一のエアノズルが形成する空気の流れ方向下流側にオフセットした部位を指向させ、この状態で被加工物にレーザ光を照射することを特徴としている。
The invention described in claim 5 is the laser processing method according to the invention described in claim 1, in which the laser beam is collected by a condenser lens at the end of the laser optical system and protected. Assuming that laser processing is performed by transmitting the glass and irradiating the workpiece, the protective glass is disposed on the workpiece side of the condenser lens, and the workpiece side of the protective glass. A first air nozzle that forms an air flow substantially parallel to the workpiece, and further, an air flow from the side of the laser beam path toward the protective glass between the protective glass and the first air nozzle. A second air nozzle is formed to form The air flow from the first air nozzle forms a layered air flow substantially parallel to the workpiece that functions as an air shutter on the workpiece side with respect to the protective glass, and the second air nozzle is formed. Directing the flow of air to a portion of the protective glass that is offset from the center of the protective glass to the downstream side in the air flow direction formed by the first air nozzle, and irradiating the workpiece with laser light in this state It is characterized by.

したがって、請求項5に記載の発明では、レーザ加工中に発生したスパッタが上記エアシャッターとして機能する空気の流れにより吹き飛ばされるようにして除去されるとともに、上記エアシャッターとして機能する空気の流れにて吹き飛ばされずに保護ガラスに付着した一部のスパッタを上記エアブローをもって吹き飛ばすことが可能となる。 Therefore, in the invention described in claim 5, the spatter generated during laser processing is removed by being blown away by the air flow that functions as the air shutter, and the air flow that functions as the air shutter. It becomes possible to blow away a part of the sputters adhering to the protective glass without being blown away by the air blow.

請求項1,5に記載の発明によれば、従来のいわゆるエアシャッターの機能に加えて、保護ガラスに空気を吹き付けるようになっているので、保護ガラスに一旦付着したスパッタを除去することが可能となり、保護ガラスへのスパッタの付着による加工点でのレーザ出力の低下が抑制されてレーザ加工品質が向上する上に、保護ガラスの交換頻度の低減による工数削減と生産性の向上を図ることができる。 According to the first and fifth aspects of the invention, in addition to the function of the conventional so-called air shutter, air is blown onto the protective glass, so that it is possible to remove the spatter once adhered to the protective glass. This reduces laser output quality at the processing point due to spatter adhesion to the protective glass and improves laser processing quality. It also reduces man-hours and productivity by reducing the replacement frequency of the protective glass. it can.

特に、保護ガラスに向けていわゆるエアブローしつつレーザ加工を行なうため、保護ガラスに付着したスパッタを直ちにエアブローにて除去することが可能であり、スパッタが保護ガラスに定着する前にスパッタを効果的に除去することができる。 In particular, since laser processing is performed while blowing so-called air toward the protective glass , it is possible to immediately remove the spatter adhering to the protective glass by air blow, so that the spatter is effectively applied before the spatter is fixed on the protective glass. Can be removed.

図1は本発明のより具体的な実施の形態としてレーザ溶接ヘッドの要部の構造を示している。   FIG. 1 shows the structure of the main part of a laser welding head as a more specific embodiment of the present invention.

図1において、Wは例えば鋼板等の平板状の被加工物としての被溶接物、1はレーザ加工ヘッドとしてのレーザ溶接ヘッドである。   In FIG. 1, W is a workpiece to be worked as a flat plate-like workpiece such as a steel plate, and 1 is a laser welding head as a laser machining head.

レーザ溶接ヘッド1のハウジング2内にはレーザ光Lが導入されるようになっているとともに、図示外の反射ミラー等とともにレーザ光学系を形成することになる集光レンズ3が収容されている。この集光レンズ3よりも被溶接物W側には、図1に示すように集光レンズ3を保護するための保護ガラス4が配置されていて、図示しないレーザ発振器から出力されたレーザ光Lが集光レンズ3にて集光された上で保護ガラス4を透過して被溶接物Wの溶接部位Pに照射されることになる。   A laser beam L is introduced into the housing 2 of the laser welding head 1 and a condenser lens 3 which forms a laser optical system together with a reflection mirror (not shown) is accommodated. A protective glass 4 for protecting the condenser lens 3 is disposed on the workpiece W side of the condenser lens 3 as shown in FIG. 1, and a laser beam L output from a laser oscillator (not shown). Is condensed by the condensing lens 3, then passes through the protective glass 4 and is irradiated to the welded part P of the workpiece W.

また、保護ガラス4の直下すなわち被溶接物W側には一対のエアブローノズル5がレーザ光Lの光軸Laを挟んで互いに対向するようにそれぞれレーザ光路の側方に第二のエアノズルとして配置されているとともに、エアブローノズル5の下方すなわち被溶接物W側には保護筒6を介して第一のエアノズルたる偏平エアノズル7が取り付けられている。   Also, a pair of air blow nozzles 5 are arranged as second air nozzles on the side of the laser light path so that they are opposed to each other with the optical axis La of the laser light L sandwiched between the protective glass 4 and the workpiece W side. In addition, a flat air nozzle 7 serving as a first air nozzle is attached below the air blow nozzle 5, that is, on the workpiece W side via a protective cylinder 6.

各エアブローノズル5はそれぞれ斜め上方を指向する矢印A,B方向にエアを吹き出すことにより保護ガラス4に向かう空気の流れを形成する一方で、偏平エアノズル7は矢印C方向に向けてエアを層状に吹き出すことにより被溶接物Wに平行な空気の流れを形成してエアシャッターとしての機能が発揮されるようになっている。より詳細には、各エアブローノズル5は後述するように保護ガラス4の中心から矢印C方向下流側すなわち偏平エアノズル7が形成する空気の流れ方向下流側にオフセットした部位に向けてエアを吹き出すこととなるとともに、各エアブローノズル5は保護ガラスに対し当該保護ガラスの直下に配置されている。 Each air blow nozzle 5 forms air flow toward the protective glass 4 by blowing air in the directions of arrows A and B directed obliquely upward, while the flat air nozzle 7 stratifies the air in the direction of arrow C. By blowing out, a flow of air parallel to the workpiece W is formed, and the function as an air shutter is exhibited. More specifically, each air blow nozzle 5 blows out air from the center of the protective glass 4 toward the downstream side in the direction of arrow C, that is, downstream of the air flow direction formed by the flat air nozzle 7 as described later. together becomes, the air blow nozzle 5 is disposed immediately below the said protective glass 4 to the protective glass 4.

また、偏平エアノズル7の下方すなわち被溶接物W側にブラケット8を介して円盤状の保護プレート9が取り付けられていて、保護プレート9にはレーザ光Lが通過する光路穴9aが貫通形成されている。   A disk-shaped protective plate 9 is attached below the flat air nozzle 7, that is, on the workpiece W side via a bracket 8, and an optical path hole 9 a through which the laser light L passes is formed through the protective plate 9. Yes.

以上のように構成されたレーザ溶接ヘッド1では、レーザ光Lを集光レンズ3にて集光した上で保護ガラス4を透過させて被溶接物Wの溶接部位Pに照射しつつ、例えばレーザ溶接ヘッド1を被溶接物Wに対して移動させてレーザ溶接を行なう。同時に各エアブローノズル5にて保護ガラス4の下方から斜め上方に指向するようにエアを吹き出すことで保護ガラス4に向けてエアブローするとともに、偏平エアノズル7からエアを吹き出してエアシャッターとして機能する空気の流れを形成する。   In the laser welding head 1 configured as described above, the laser light L is collected by the condenser lens 3 and then transmitted through the protective glass 4 to irradiate the welded part P of the workpiece W, for example, a laser. Laser welding is performed by moving the welding head 1 relative to the workpiece W. At the same time, each air blow nozzle 5 blows air toward the protective glass 4 so as to be directed obliquely upward from the lower side of the protective glass 4, and blows air from the flat air nozzle 7 to air that functions as an air shutter. Form a flow.

溶接動作の進行に伴って溶接部位Pからはスパッタが飛散し、レーザ光Lの光路から外れた一部のスパッタは保護プレート9に付着して除かれる一方、レーザ光Lの光路方向を指向しつつ飛散したスパッタは保護プレート9の光路穴9aを通過して保護筒6内に進入する。保護筒6内に進入した一部のスパッタは偏平エアノズル7が形成する空気の流れがエアシャッターとして機能することでその空気の流れ方向に吹き飛ばされるようにして除去されるものの、残りのものはエアシャッターとして機能する空気の流れの影響を受けて飛散方向を偏向しつつも保護ガラス4に到達する。また、保護ガラス4に到達したスパッタは偏平エアノズル7が吹き出すエアにより冷却されているため保護ガラス4に衝突すると下方に跳ね返ることとなるが、十分に冷却されずに保護ガラス4に到達した一部のスパッタは保護ガラス4に付着する。   As the welding operation proceeds, spatter scatters from the welded part P, and a part of the spatter deviating from the optical path of the laser beam L adheres to the protective plate 9 and is removed while directing the optical path direction of the laser beam L. The spatter scattered while passing through the optical path hole 9 a of the protective plate 9 enters the protective cylinder 6. Some of the spatter that has entered the protective cylinder 6 is removed by blowing the air flow formed by the flat air nozzle 7 in the air flow direction by functioning as an air shutter. Under the influence of the flow of air that functions as a shutter, it reaches the protective glass 4 while deflecting the scattering direction. Moreover, since the sputter | spatter which reached | attained the protection glass 4 is cooled by the air which the flat air nozzle 7 blows off, when it collides with the protection glass 4, it will bounce down below, but the part which reached the protection glass 4 not fully cooled The sputter adheres to the protective glass 4.

図2は図1におけるエアブローノズルを示す拡大図である。   FIG. 2 is an enlarged view showing the air blow nozzle in FIG.

ここで、上述のようにスパッタは偏平エアノズル7から吹き出されるエアの影響を受けつつ保護ガラス4に到達するため、図2に示すように保護ガラス4のうちその中心から偏平エアノズル7が形成する空気の流れ方向下流側にオフセットした部位Sに集中してスパッタが付着する。したがって、保護ガラス4のうちその中心から偏平エアノズル7が形成する空気の流れ方向下流側にオフセットした部位Sに向けて各エアブローノズル5にてエアブローすることで保護ガラス4に付着したスパッタが吹き飛ばされるようにして効果的に除去される。また、各エアブローノズル5は保護ガラス4の直下に配置されているため、保護ガラス4に付着したスパッタをより効果的に除去することができる。さらに、各エアブローノズル5にて保護筒6内に空気を流入させることにより、偏平エアノズル7が吹き出すエアの影響で保護筒6内における負圧の発生を防止する機能も併せ持つ。   Here, since the sputter reaches the protective glass 4 while being affected by the air blown from the flat air nozzle 7 as described above, the flat air nozzle 7 is formed from the center of the protective glass 4 as shown in FIG. Spatter is concentrated on the portion S that is offset downstream in the air flow direction. Therefore, the sputter | spatter adhering to the protective glass 4 is blown off by air-blowing in each air blow nozzle 5 toward the site | part S offset from the center to the downstream of the flow direction of the air which the flat air nozzle 7 forms among the protective glass 4. Thus, it is effectively removed. Moreover, since each air blow nozzle 5 is arrange | positioned directly under the protective glass 4, the sputter | spatter adhering to the protective glass 4 can be removed more effectively. Furthermore, by causing each air blow nozzle 5 to flow air into the protective cylinder 6, it also has a function of preventing the generation of negative pressure in the protective cylinder 6 due to the air blown out by the flat air nozzle 7.

したがって、本実施の形態によれば、溶接時に発生するスパッタの一部は偏平エアノズル7にて形成したエアシャッターとして機能する空気の流れにて吹き飛ばされるようにして除去されるとともに、残りのスパッタが保護ガラス4の表面に一旦付着したとしても、各エアブローノズル5にてエアブローすることで保護ガラス4の表面に付着しているスパッタを吹き飛ばすことができる。その結果、保護ガラス4の本来の機能を長期にわたって維持できるようになり、保護ガラス4の交換頻度を低くして生産性を向上させることができる。   Therefore, according to the present embodiment, a part of spatter generated during welding is removed by being blown away by the air flow functioning as an air shutter formed by the flat air nozzle 7, and the remaining spatter is removed. Even if it once adheres to the surface of the protective glass 4, it is possible to blow off the spatter attached to the surface of the protective glass 4 by air blowing with each air blow nozzle 5. As a result, the original function of the protective glass 4 can be maintained over a long period of time, and the replacement frequency of the protective glass 4 can be lowered to improve productivity.

なお、本実施の形態ではレーザ溶接を例にとって説明したが、本発明はレーザ溶接以外の各種レーザ加工に適用できることは言うまでもない。   Although the present embodiment has been described by taking laser welding as an example, it goes without saying that the present invention can be applied to various types of laser processing other than laser welding.

図3は本発明の第2の実施の形態として図1におけるエアブローノズルの変形例を示していて、図4は図3におけるエアブローノズルおよび偏平エアノズルを示す平面図である。なお、図3,4において図1と同様または相当部分には同一の符号を付してある。   FIG. 3 shows a modification of the air blow nozzle in FIG. 1 as the second embodiment of the present invention, and FIG. 4 is a plan view showing the air blow nozzle and the flat air nozzle in FIG. 3 and 4, the same reference numerals are given to the same or corresponding parts as in FIG. 1.

図3に示す第2の実施の形態は、エアブローノズル5を単一のものとするとともに、図4に示すようにレーザ光Lの光軸Laに沿って見たときに、エアブローノズル5が形成する空気の流れ方向と偏平エアノズル7の形成する空気の流れ方向とが一致するようにしたものである。   In the second embodiment shown in FIG. 3, the air blow nozzle 5 is formed as a single unit, and the air blow nozzle 5 is formed when viewed along the optical axis La of the laser light L as shown in FIG. The air flow direction is the same as the air flow direction formed by the flat air nozzle 7.

この第2の実施の形態では、第1の実施の形態の効果に加えて、偏平エアノズル7が形成する空気の流れの影響を受けて飛散方向を偏向しつつも保護ガラス4に向かうスパッタが保護ガラス4に到達する前にエアブローノズル5が形成する空気の流れにてさらにその飛散方向を偏向するため、保護ガラス4のうちレーザ光Lが透過する部位へのスパッタの付着をより効果的に抑制することができるメリットがある。   In the second embodiment, in addition to the effects of the first embodiment, spattering toward the protective glass 4 is protected while deflecting the scattering direction due to the influence of the air flow formed by the flat air nozzle 7. Since the scattering direction is further deflected by the air flow formed by the air blow nozzle 5 before reaching the glass 4, the spatter adherence to the portion of the protective glass 4 through which the laser light L is transmitted is more effectively suppressed. There are merits that can be done.

本発明のより具体的な実施の形態としてレーザ溶接ヘッドの要部の構造を示す図。The figure which shows the structure of the principal part of a laser welding head as more concrete embodiment of this invention. 図1におけるエアブローノズルの拡大図。The enlarged view of the air blow nozzle in FIG. 本発明の第2の実施の形態として図1におけるエアブローノズルの変形例を示す図。The figure which shows the modification of the air blow nozzle in FIG. 1 as the 2nd Embodiment of this invention. 図3におけるエアブローノズルおよび偏平エアノズルを示す平面図。The top view which shows the air blow nozzle and flat air nozzle in FIG.

符号の説明Explanation of symbols

1…レーザ溶接ヘッド(レーザ加工ヘッド)
3…集光レンズ
4…保護ガラス
5…エアブローノズル(第二のエアノズル)
7…偏平エアノズル(第一のエアノズル)
9…保護プレート
9a…光路穴
W…被溶接物(被加工物)
L…レーザ光
1. Laser welding head (laser machining head)
3 ... Condensing lens 4 ... Protective glass 5 ... Air blow nozzle (second air nozzle)
7. Flat air nozzle (first air nozzle)
9 ... Protection plate 9a ... Optical path hole W ... Workpiece (workpiece)
L ... Laser light

Claims (6)

レーザ光をレーザ光学系の末端の集光レンズにて集光した上で被加工物に照射してレーザ加工を施すレーザ加工ヘッドであって、
集光レンズよりも被加工物側に配置された保護ガラスと、
保護ガラスよりも被加工物側に配置され、被加工物にほぼ平行な空気の流れを形成する第一のエアノズルと、
保護ガラスと第一のエアノズルとの間に配置され、レーザ光路の側方から保護ガラスに向かう空気の流れを形成する第二のエアノズルと、
を備え、
第二のエアノズルが形成する空気の流れが、保護ガラスのうち当該保護ガラスの中心から第一のエアノズルが形成する空気の流れ方向下流側にオフセットした部位を指向するように、第二のエアノズルの向きを設定してあることを特徴とするレーザ加工ヘッド。
A laser processing head that performs laser processing by irradiating a workpiece after condensing laser light with a condensing lens at the end of a laser optical system,
Protective glass placed on the workpiece side of the condenser lens,
A first air nozzle that is disposed closer to the workpiece than the protective glass and forms a flow of air substantially parallel to the workpiece;
A second air nozzle disposed between the protective glass and the first air nozzle, forming a flow of air from the side of the laser light path toward the protective glass;
With
Air flow which the second air nozzle is formed, from the center of the protective glass of the protective glass to direct sites offset in the flow direction downstream side of the air first air nozzle is formed, the second air nozzle A laser processing head characterized in that a direction is set.
第二のエアノズルが保護ガラスに対し当該保護ガラスの直下に配置されていて、
この第二のエアノズルは、保護ガラスの下方から斜め上方を指向する空気の流れをもって保護ガラスに向けてエアを吹き出すものであることを特徴とする請求項1に記載のレーザ加工ヘッド。
The second air nozzle is arranged directly below the protective glass with respect to the protective glass,
The laser processing head according to claim 1, wherein the second air nozzle blows air toward the protective glass with a flow of air directed obliquely upward from below the protective glass.
レーザ光の光軸方向に沿って見たとき、第二のエアノズルが形成する空気の流れ方向と第一のエアノズルが形成する空気の流れ方向とが一致していることを特徴とする請求項1または2に記載のレーザ加工ヘッド。   2. The air flow direction formed by the second air nozzle coincides with the air flow direction formed by the first air nozzle when viewed along the optical axis direction of the laser beam. Or the laser processing head of 2. レーザ光が通過する光路穴が貫通形成された保護プレートが第一のエアノズルよりも被加工物側に配置されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一つに記載のレーザ加工ヘッド。   The laser processing according to any one of claims 1 to 3, wherein a protective plate through which an optical path hole through which laser light passes is formed is disposed closer to the workpiece than the first air nozzle. head. レーザ光をレーザ光学系の末端の集光レンズにて集光した上で保護ガラスを透過させて被加工物に照射することによりレーザ加工を施す方法であって、
集光レンズよりも被加工物側に保護ガラスを配置するとともに、
保護ガラスよりも被加工物側に当該被加工物にほぼ平行な空気の流れを形成する第一のエアノズルを配置し、
さらに、保護ガラスと第一のエアノズルとの間に、レーザ光路の側方から保護ガラスに向かう空気の流れを形成する第二のエアノズルを配置し、
第一のエアノズルからの空気の流れをもって、保護ガラスよりも被加工物側にエアシャッターとして機能する被加工物とほぼ平行な層状の空気の流れを形成するとともに、
第二のエアノズルが形成する空気の流れを、保護ガラスのうち当該保護ガラスの中心から第一のエアノズルが形成する空気の流れ方向下流側にオフセットした部位を指向させ、
この状態で被加工物にレーザ光を照射することを特徴とするレーザ加工方法。
A method of performing laser processing by condensing laser light with a condensing lens at the end of a laser optical system and then irradiating a workpiece through a protective glass,
While placing protective glass on the workpiece side than the condenser lens,
A first air nozzle that forms a flow of air substantially parallel to the workpiece on the workpiece side relative to the protective glass;
Furthermore, between the protective glass and the first air nozzle, a second air nozzle that forms an air flow from the side of the laser optical path toward the protective glass is disposed,
With the air flow from the first air nozzle, a laminar air flow substantially parallel to the workpiece that functions as an air shutter is formed on the workpiece side of the protective glass,
The flow of air the second air nozzle is formed, is directed to sites offset from the center of the protective glass in the flow direction downstream side of the air first air nozzle is formed of the protective glass,
A laser processing method characterized by irradiating a workpiece with laser light in this state.
第二のエアノズルが保護ガラスに対し当該保護ガラスの直下に配置されていて、
この第二のエアノズルは、保護ガラスの下方から斜め上方を指向する空気の流れをもって保護ガラスに向けてエアを吹き出すことを特徴とする請求項5に記載のレーザ加工方法。
The second air nozzle is arranged directly below the protective glass with respect to the protective glass,
6. The laser processing method according to claim 5, wherein the second air nozzle blows air toward the protective glass with a flow of air directed obliquely upward from below the protective glass.
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