JP5202882B2 - 故障状態の間、電気エネルギーを吸収するための回路を備えた、超微小電気機械システムベースアークレススイッチング - Google Patents

Description

本発明の実施形態は、一般に、電流経路を流れる電流をスイッチオフするためのスイッチングデバイスに関し、より詳細には超微小電気機械システムベーススイッチングデバイスに関する。

本出願は、参照によりその全体が本明細書に組み込まれている、２００５年１２月２０日出願の米国特許出願第１１／３１４，３３６号（弁理士事件整理番号第１６２７１１−１号）の一部継続出願である。

遮断器は、回路の故障に起因する損傷から電気設備を保護するように設計された電気デバイスである。従来のほとんどの遮断器は、伝統的に、かさばる電気機械スイッチを備えている。残念なことには、これらの従来の遮断器はサイズが大きく、そのためにスイッチング機構を駆動するための大きな力の使用が余儀なくされている。また、これらの遮断器のスイッチは、通常、動作速度が比較的遅い。さらに、これらの遮断器は、不利なことにはその構築が複雑であり、したがって製造に経費がかかっている。また、従来の遮断器の場合、スイッチング機構の接点が物理的に分離すると、通常、接点と接点の間にアークが形成される。このアークは、回路内の電流が停止するまで電流を流し続ける。さらに、アークと結合したエネルギーは、接点を著しく損傷し、かつ／または人員を火傷させることがある。
米国特許出願公開第２００５／０１４６８１４号

高速スイッチングアプリケーションには、低速電気機械スイッチの代替として高速固体スイッチが使用されている。理解されるように、これらの固体スイッチは、制御された電圧またはバイアスを印加することによって導通状態と非導通状態の間をスイッチングしている。たとえば固体スイッチを逆バイアスすることによってスイッチを非導通状態に移行させることができる。しかしながら、固体スイッチは、接点と接点の間に物理的なギャップを生成しないため、固体スイッチが非導通状態にスイッチされると、漏れ電流が流れる。また、内部抵抗のため、固体スイッチが導通状態で動作すると、電圧が降下する。電圧降下および漏れ電流は、いずれも、正規の動作環境下における、スイッチの性能および寿命に悪影響を及ぼすことになる過剰な熱の発生の一因になっている。さらに、少なくとも一部には、固体スイッチと結合した固有漏れ電流のため、固体スイッチを遮断器適用例に使用することは不可能である。

要約すると、本発明の技法の態様によれば、システムが提供される。システムは、超微小電気機械システムスイッチを備えている。平衡ダイオードブリッジは、超微小電気機械システムスイッチの接点と接点の間のアークの形成を抑制するように構成されている。パルス回路は、平衡ダイオードブリッジに結合されている。パルス回路は、平衡ダイオードブリッジにパルス電流を流すためのパルス信号を形成するように適合されたパルスコンデンサを備えている。パルス信号は、超微小電気機械システムスイッチに結合された負荷回路の故障状態に応じて生成される。エネルギー吸収回路は、パルス回路に並列回路で結合されている。エネルギー吸収回路は、故障状態によって生じる電気エネルギーを、パルス回路によるパルス信号の形成に影響を及ぼすことなく吸収するように適合されたエネルギー吸収コンデンサを備えている。

本発明の技法の他の態様によれば、システムが提供される。システムは、システムを第１のスイッチング状態から第２のスイッチング状態にスイッチするように構成された超微小電気機械システムスイッチを備えたスイッチング回路を備えている。アーク抑制回路は、スイッチング回路に結合されている。アーク抑制回路は、超微小電気機械システムスイッチの接点と接点の間のアークの形成を抑制するように構成されている。検出回路は、アーク抑制回路に結合されており、故障状態の存在を決定するように構成されている。パルス回路は、アーク抑制回路および検出回路に結合されており、故障状態に応じてパルス信号を形成するように構成され、パルス信号は、超微小電気機械システムスイッチが開くと、アーク抑制回路に印加される。エネルギー吸収回路は、パルス回路に並列回路で結合されている。エネルギー吸収回路は、故障状態によって生じる電気エネルギーを、パルス回路によるパルス信号の形成に影響を及ぼすことなく吸収するように適合されている。

本発明のこれらおよび他の特徴、態様ならびに利点については、添付の図面を参照して以下の詳細な説明を読めば、より深く理解されよう。図において、同様の文字は、すべての図面を通して同様の部品を表している。

以下、本明細書において、本発明の１つまたは複数の実施形態による超微小電気機械システムベースアークレススイッチングのためのシステムおよび方法について説明する。以下の詳細な説明では、本発明の様々な実施形態を完全に理解するために多数の特定の詳細が示されている。しかしながら、これらの特定の詳細がなくても本発明の実施形態を実践することができること、示されている実施形態に本発明が限定されないこと、および様々な代替実施形態で本発明を実践することができることは当業者には理解されよう。他の実施例では、良く知られている方法、手順およびコンポーネントについては、ここではその詳細な説明は省略されている。

また、様々な動作は、本発明の実施形態を理解するために役に立つ方法で実行される複数の離散段階として説明されている。しかしながら、本明細書において説明されている動作の順序は、それらの動作をその通りの順序で実行しなければならないことを暗に意味しているものと解釈してはならず、さらにはそれらの動作が順序依存性であることを暗に意味しているものと解釈してはならない。また、繰り返し使用されている「一実施形態では」という表現は、そういう場合もあるが、必ずしも同じ実施形態を意味しているわけではない。最後に、本出願で使用されている、「を備えた」、「を含む」、「を有する」などの用語は、特に指示がない限り、同義語であることが意図されている。

図１は、本発明の態様による例示的アークレス超微小電気機械システムスイッチ（ＭＥＭＳ）ベーススイッチングシステム１０のブロック図を示したものである。現在、ＭＥＭＳは、一般に、超微小製造技術を使用して、たとえば機能的に全く異なる複数のエレメント、たとえば機械エレメント、電気機械エレメント、センサ、アクチュエータおよびエレクトロニクスを共通の基板の上に統合することができるミクロンスケールの構造を意味している。しかしながら、ＭＥＭＳデバイスに現在利用可能な多くの技法および構造は、ここ数年のうちにナノ技術をベースとするデバイス、たとえば、場合によってはサイズが１００ナノメートルより小さい構造を介して利用可能になることが予想されている。したがって本明細書全体を通して記述されている実例実施形態は、たとえＭＥＭＳベーススイッチングデバイスを意味しているとしても、本発明の発明態様は広義に解釈すべきであり、ミクロンサイズのデバイスに制限すべきではない。

図１に示すように、アークレスＭＥＭＳベーススイッチングシステム１０は、ＭＥＭＳベーススイッチング回路１２およびアーク抑制回路１４を備えている。アーク抑制回路１４は、ＭＥＭＳベーススイッチング回路１２に動作結合されている。特定の実施形態では、ＭＥＭＳベーススイッチング回路１２は、その全体をアーク抑制回路１４と共に、たとえば単一パッケージ１６内に統合することができる。他の実施形態では、ＭＥＭＳベーススイッチング回路１２のうちの特定の部分のみ、または特定のコンポーネントのみをアーク抑制回路１４と共に統合することができる。

現在企図されている、図２〜５を参照して以下でより詳細に説明する構成では、ＭＥＭＳベーススイッチング回路１２は、１つまたは複数のＭＥＭＳスイッチを備えることができる。また、アーク抑制回路１４は、平衡ダイオードブリッジおよびパルス回路を備えることができる。さらに、アーク抑制回路１４は、１つまたは複数のＭＥＭＳスイッチの接点と接点の間のアークの形成の抑制が容易になるように構成することができる。アーク抑制回路１４は、交流（ＡＣ）または直流（ＤＣ）に応じたアークの形成の抑制が容易になるように構成することができることに留意されたい。

次に図２を参照すると、一実施形態による、図１に示す例示的アークレスＭＥＭＳベーススイッチングシステムの略図１８が示されている。図１を参照して言及したように、ＭＥＭＳベーススイッチング回路１２は、１つまたは複数のＭＥＭＳスイッチを備えることができる。図に示す実施形態では、第１のＭＥＭＳスイッチ２０は、第１の接点２２、第２の接点２４および第３の接点２６を有するものとして示されている。一実施形態では、第１の接点２２はドレインとして構成することができ、第２の接点２４はソースとして構成することができ、また、第３の接点２６はゲートとして構成することができる。さらに、図２に示すように、電圧スナッバ回路３３をＭＥＭＳスイッチ２０に並列に結合し、以下でより詳細に説明するように、接点が高速で分離している間、電圧のオーバシュートを制限するように構成することができる。特定の実施形態では、スナッバ回路３３は、スナッバ抵抗（図示せず）に直列に結合されたスナッバコンデンサ（図示せず）を備えることができる。スナッバコンデンサを使用することにより、ＭＥＭＳスイッチ２０の一連の開動作の間、過渡電圧の共有を容易に改善することができる。また、スナッバ抵抗を使用することにより、ＭＥＭＳスイッチ２０の閉動作の間、スナッバコンデンサによって生成されるあらゆる電流パルスを抑制することができる。他の特定の実施形態では、電圧スナッバ回路３３は、金属酸化物バリスタ（ＭＯＶ）（図示せず）を備えることができる。

本発明の技法の他の態様によれば、負荷回路４０を第１のＭＥＭＳスイッチ２０に直列に結合することができる。負荷回路４０は、電圧源Ｖ_ＢＵＳ４４を備えることができる。負荷回路４０は、さらに、負荷インダクタンス４６Ｌ_ＬＯＡＤを備えることも可能である。負荷インダクタンスＬ_ＬＯＡＤ４６は、負荷回路４０から見た負荷インダクタンスとバスインダクタンスの総合インダクタンスを表している。負荷回路４０は、負荷回路４０から見た総合負荷抵抗を表す負荷抵抗Ｒ_ＬＯＡＤ４８を備えることも可能である。参照数表示５０は、負荷回路４０および第１のＭＥＭＳスイッチ２０を通って流れることができる負荷回路電流Ｉ_ＬＯＡＤを表している。

また、図１を参照して言及したように、アーク抑制回路１４は、平衡ダイオードブリッジを備えることができる。図に示す実施形態では、平衡ダイオードブリッジ２８は、第１の分岐２９および第２の分岐３１を有するものとして示されている。本明細書に使用されているように、「平衡ダイオードブリッジ」という用語は、第１および第２の両方の分岐２９、３１の両端間の電圧降下が実質的に等しくなるように構成されたダイオードブリッジを意味するべく使用されている。平衡ダイオードブリッジ２８の第１の分岐２９は、互いに結合されて第１の直列回路を形成している第１のダイオードＤ１ ３０および第２のダイオードＤ２ ３２を備えることができる。同様に、平衡ダイオードブリッジ２８の第２の分岐３１は、互いに動作結合されて第２の直列回路を形成している第３のダイオードＤ３ ３４および第４のダイオードＤ４ ３６を備えることができる。

一実施形態では、第１のＭＥＭＳスイッチ２０は、平衡ダイオードブリッジ２８の中点の両端間に並列に結合することができる。平衡ダイオードブリッジの中点は、第１のダイオード３０と第２のダイオード３２の間に位置している第１の中点、および第３のダイオード３４と第４のダイオード３６の間に位置している第２の中点を備えることができる。また、第１のＭＥＭＳスイッチ２０および平衡ダイオードブリッジ２８は、平衡ダイオードブリッジ２８、詳細にはＭＥＭＳスイッチ２０への接続部によって生じる寄生インダクタンスの最小化を容易にするために、緊密にパッケージすることができる。本発明の技法の例示的態様によれば、第１のＭＥＭＳスイッチ２０および平衡ダイオードブリッジ２８は、ＭＥＭＳスイッチ２０がターンオフしている間、負荷電流の移行をダイオードブリッジ２８に伝える際に、第１のＭＥＭＳスイッチ２０と平衡ダイオードブリッジ２８の間の固有インダクタンスによって、ＭＥＭＳスイッチ２０のドレイン２２とソース２４の両端間の電圧の数パーセント未満のｄｉ／ｄｔ電圧が生成されるように互いに配置されていることに留意されたい。これについては以下でより詳細に説明する。一実施形態では、第１のＭＥＭＳスイッチ２０は、ＭＥＭＳスイッチ２０とダイオードブリッジ２８を相互接続しているインダクタンスを最小化するために、平衡ダイオードブリッジ２８と共に単一パッケージ３８内に統合することができ、あるいは、適宜、同じダイ内に統合することができる。

また、アーク抑制回路１４は、平衡ダイオードブリッジ２８に動作結合されたパルス回路５２を備えることができる。パルス回路５２は、スイッチ条件を検出し、かつ、スイッチ条件に応じてＭＥＭＳスイッチ２０の開動作を開始するように構成することができる。本明細書に使用されているように、「スイッチ条件」という用語は、ＭＥＭＳスイッチ２０の現在の動作状態を変化させるための引き金になる条件を意味している。たとえば、このスイッチ条件によってＭＥＭＳスイッチ２０を第１の閉状態から第２の開状態へ変化させ、あるいはＭＥＭＳスイッチ２０を第１の開状態から第２の閉状態へ変化させることができる。スイッチ条件は、それらに限定されないが、回路の故障またはスイッチＯＮ／ＯＦＦ要求を始めとする多くのアクションに応じて発生させることができる。

パルス回路５２は、パルススイッチ５４およびパルススイッチ５４に直列結合されたパルスコンデンサＣ_{ＰＵＬＳＥ}５６を備えることができる。パルス回路は、さらに、パルススイッチ５４に直列に結合されたパルスインダクタンスＬ_{ＰＵＬＳＥ}５８および第１のダイオードＤ_Ｐ６０を備えることも可能である。パルスインダクタンスＬ_{ＰＵＬＳＥ}５８、ダイオードＤ_Ｐ６０、パルススイッチ５４およびパルスコンデンサＣ_{ＰＵＬＳＥ}５６は、直列に結合してパルス回路５２の第１の分岐を形成することができる。第１の分岐のコンポーネントは、パルス電流の整形および時限が容易になるように構成することができる。また、参照数表示６２は、パルス回路５２を通って流れることができるパルス回路電流Ｉ_{ＰＵＬＳＥ}を表している。

以下でさらに詳細に説明する本発明の態様によれば、ＭＥＭＳスイッチ２０は、電圧がほぼゼロであるにもかかわらず電流を流しつつ、第１の閉状態から第２の開状態へ速やかにスイッチングすることができる（たとえばピコ秒またはナノ秒程度でスイッチングすることができる）。これは、負荷回路４０の動作と、ＭＥＭＳスイッチ２０の接点の両端間に並列に結合された平衡ダイオードブリッジ２８を含むパルス回路５２の動作を組み合わせることによって達成することができる。

図３〜５を略流れ図として使用して、図２に示すアークレスＭＥＭＳベーススイッチングシステム１８の動作の実施例について説明する。引き続いて図２を参照すると、アークレスＭＥＭＳベーススイッチングシステム１８の実例動作の初期状態が示されている。ＭＥＭＳスイッチ２０は、第１の閉状態の開始として示されている。また、図に示すように、負荷回路４０のＶ_ＢＵＳ／Ｒ_ＬＯＡＤに実質的に等しい値を有する負荷電流Ｉ_ＬＯＡＤ５０が流れている。

また、アークレスＭＥＭＳベーススイッチングシステム１８のこの実例動作を説明するためには、ＭＥＭＳスイッチ２０と結合した抵抗は十分に小さく、ＭＥＭＳスイッチ２０の抵抗に流れる負荷電流によって生成される電圧による、パルスが印加された際のダイオードブリッジ２８の中点と中点の間のほぼゼロの電圧差に対する影響は無視し得る程度にすぎないと仮定することができる。たとえば、ＭＥＭＳスイッチ２０と結合した抵抗は十分に小さく、したがって生成される電圧降下は、最大期待負荷電流による数ミリボルト未満であると仮定することができる。

ＭＥＭＳベーススイッチングシステム１８がこの初期状態にある場合、パルススイッチ５４は第１の開状態にあることに留意されたい。また、パルス回路５２にはパルス回路電流は流れない。さらに、パルス回路５２のコンデンサＣ_{ＰＵＬＳＥ}５６は、電圧Ｖ_{ＰＵＬＳＥ}まで予備充電することも可能であり、Ｖ_{ＰＵＬＳＥ}は、負荷電流の移行期間の間、ピークの大きさが期待負荷電流Ｉ_ＬＯＡＤ５０よりはるかに大きい（たとえば２倍の）パルス電流の半正弦波を生成することができる電圧である。Ｃ_{ＰＵＬＳＥ}５６およびＬ_{ＰＵＬＳＥ}５８は、互いに共振するように選択することができることに留意されたい。

図３は、パルス回路５２をトリガするプロセスを略図６４で示したものである。検出回路（図示せず）をパルス回路５２に結合することができることに留意されたい。検出回路は、たとえば負荷回路電流Ｉ_ＬＯＡＤ５０のレベルおよび／または電圧源Ｖ_ＢＵＳ４４の電圧レベルを知覚するように構成された知覚回路（図示せず）を備えることができる。また、検出回路は、上で説明したスイッチ条件を検出するように構成することができる。一実施形態では、スイッチ条件は、電流レベルおよび／または電圧レベルが所定の閾値を超えることによって発生させることができる。

スイッチ条件を検出するようにパルス回路５２を構成することにより、ＭＥＭＳスイッチ２０を現在の閉状態から第２の開状態へ容易にスイッチングすることができる。一実施形態では、スイッチ条件を、負荷回路４０の電圧レベルまたは負荷電流が所定の閾値レベルを超えることによって生成される故障状態にすることができる。しかしながら、理解されるように、ランプ電圧の監視をスイッチ条件に含めることにより、ＭＥＭＳスイッチ２０に対する所与のシステム依存ＯＮ時間を達成することも可能である。

一実施形態では、パルススイッチ５４は、スイッチング条件が検出され、その結果としてトリガ信号を受け取ると、正弦波パルスを生成することができる。パルススイッチ５４をトリガすることにより、パルス回路５２に共振正弦波電流が流れる。参照数表示６６および６８は、パルス回路電流が流れる方向を表している。また、電流ベクトル７２および７０は、それぞれ、パルス回路電流が平衡ダイオードブリッジ２８の第１の分岐２９の第１のダイオード３０および第２のダイオード３２を通って流れる方向およびパルス回路電流の相対的な大きさを表している。同様に、電流ベクトル７６および７４は、それぞれ、パルス回路電流が第３のダイオード３４および第４のダイオード３６を通って流れる方向およびパルス回路電流の相対的な大きさを表している。

ピーク正弦波ブリッジパルス電流の値は、パルスコンデンサＣ_{ＰＵＬＳＥ}５６の初期電圧、パルスコンデンサＣ_{ＰＵＬＳＥ}５６の値およびパルスインダクタンスＬ_{ＰＵＬＳＥ}５８の値によって決定することができる。また、パルスインダクタンスＬ_{ＰＵＬＳＥ}５８およびパルスコンデンサＣ_{ＰＵＬＳＥ}５６の値によって、パルス電流の半正弦波のパルス幅が決まる。ブリッジ電流パルス幅は、負荷電流の変化率（Ｖ_ＢＵＳ／Ｌ_ＬＯＡＤ）と、負荷が故障状態である間に通過させる所望のピーク電流に基づくシステム負荷電流ターンオフ要求に合致するよう、調整することができる。本発明の態様によれば、パルススイッチ５４は、ＭＥＭＳスイッチ２０が開く前に導通状態になるように構成することができる。

パルススイッチ５４のトリガには、ＭＥＭＳスイッチ２０が開いている期間の間、ＭＥＭＳスイッチ２０の接点を通る経路のインピーダンスと比較してよりインピーダンスが小さい経路の生成を容易にするために、平衡ダイオードブリッジ２８を通って流れるパルス回路電流Ｉ_{ＰＵＬＳＥ}６２の時限制御を含めることができることに留意されたい。また、パルススイッチ５４は、所望の電圧降下がＭＥＭＳスイッチ２０の接点の両端間に出現するようにトリガすることができる。

一実施形態では、パルススイッチ５４は、スイッチング速度がたとえばナノ秒ないしマイクロ秒の範囲になるように構成することができる固体スイッチであってもよい。パルススイッチ５４のスイッチング速度は、故障状態における負荷電流の期待立上り時間と比較すると、相対的に速くしなければならない。ＭＥＭＳスイッチ２０の電流定格は、負荷電流の立上り速度で決まり、負荷電流の立上り速度は、上で言及したように負荷回路４０のインダクタンスＬ_ＬＯＡＤ４６およびバス供給電圧Ｖ_ＢＵＳ４４で決まる。ＭＥＭＳスイッチ２０は、負荷電流Ｉ_ＬＯＡＤ５０をブリッジパルス回路の速度能力と比較して速やかに立ち上がらせることができる場合、より大きい負荷電流Ｉ_ＬＯＡＤ５０を処理するように適切に定格化することができる。

パルス回路電流Ｉ_{ＰＵＬＳＥ}６２は、ゼロの値から増加し、平衡ダイオードブリッジ２８の第１の分岐２９と第２の分岐３１の間で均等に分割される。一実施形態によれば、平衡ダイオードブリッジ２８の分岐２９、３１の両端間の電圧降下の差は、上で説明したように、無視し得るように設計することができる。また、上で説明したように、ダイオードブリッジ２８は平衡しており、ダイオードブリッジ２８の第１および第２の分岐の両端間の電圧降下は実質的に等しい。さらに、現在の閉状態におけるＭＥＭＳスイッチ２０の抵抗が比較的小さいため、ＭＥＭＳスイッチ２０の両端間の電圧降下が比較的小さい。しかしながら、ＭＥＭＳスイッチ２０の両端間の電圧降下がたまたまより大きい場合（たとえばＭＥＭＳスイッチの固有の設計のために）、ダイオードブリッジ２８の平衡は、ダイオードブリッジ２８がＭＥＭＳスイッチ２０に並列に動作結合されているため、その影響を受けることがある。本発明の態様によれば、ＭＥＭＳスイッチ２０の抵抗がＭＥＭＳスイッチ２０の両端間の重大な電圧降下の原因になっても、ダイオードブリッジ２８は、ピークブリッジパルス電流の大きさを大きくすることにより、重大な電圧降下によって生じるパルスブリッジの不平衡に適応することができる。

次に図４を参照すると、ＭＥＭＳスイッチ２０の開動作が開始する略図７８が示されている。上で言及したように、パルス回路５２のパルススイッチ５４は、ＭＥＭＳスイッチ２０が開く前にトリガされる。パルス電流Ｉ_{ＰＵＬＳＥ}６２が大きくなると、パルス回路５２の共振作用のため、パルスコンデンサＣ_{ＰＵＬＳＥ}５６の両端間の電圧が小さくなる。スイッチが閉じて導通状態になるＯＮ状態では、ＭＥＭＳスイッチ２０は、比較的インピーダンスが小さい経路を負荷回路電流Ｉ_ＬＯＡＤ５０に提供する。

パルス回路電流Ｉ_{ＰＵＬＳＥ}６２の振幅が負荷回路電流Ｉ_ＬＯＡＤ５０の振幅より大きくなると（たとえばパルス回路５２の共振作用によって）、ＭＥＭＳスイッチ２０のゲート接点２６に印加される電圧を適切にバイアスして、ＭＥＭＳスイッチ２０を現在の動作状態から第１の閉導通状態へスイッチングして抵抗状態を大きくすることができる。抵抗状態が大きくなると、ＭＥＭＳスイッチ２０はターンオフを開始し（ＭＥＭＳスイッチ２０がターンオフを開始すると、たとえば接点は依然として閉じたままであるが、スイッチの開動作プロセスのため、接触圧力が小さくなる）、そのためにスイッチ抵抗が大きくなり、延いては負荷電流がＭＥＭＳスイッチ２０からダイオードブリッジ２８へ流れ始める。

現在のこの状態では、平衡ダイオードブリッジ２８は、ＭＥＭＳスイッチ２０を通る経路（この経路は、現在は接触抵抗が大きくなっている）と比較すると、比較的インピーダンスが小さい経路を負荷回路電流Ｉ_ＬＯＡＤ５０に提供している。ＭＥＭＳスイッチ２０を通って流れる負荷回路電流Ｉ_ＬＯＡＤ５０のこの方向転換は、負荷回路電流Ｉ_ＬＯＡＤ５０の変化率と比較すると、極端に速いプロセスであることに留意されたい。上で言及したように、高速電流方向転換の抑制を回避するためには、場合によっては、ＭＥＭＳスイッチ２０と平衡ダイオードブリッジ２８の間の接続部に結合されているインダクタンスＬ_１８４およびＬ_２８８の値は、極めて小さい値であることが望ましい。

ＭＥＭＳスイッチ２０からパルスブリッジへの電流移行プロセスが継続して、第１のダイオード３０および第４のダイオード３６を流れる電流が増加し、一方、それと同時に第２のダイオード３２および第３のダイオード３４を流れる電流が減少する。ＭＥＭＳスイッチ２０の機械接点２２、２４が離れて物理的なギャップが形成され、すべての負荷電流が第１のダイオード３０および第４のダイオード３６を通って流れると、移行プロセスが完了する。

負荷回路電流Ｉ_ＬＯＡＤがＭＥＭＳスイッチ２０からダイオードブリッジ２８へ方向８６の方向に方向転換すると、ダイオードブリッジ２８の第１および第２の分岐２９、３１の両端間に不平衡が形成される。また、パルス回路電流が衰退するため、パルスコンデンサＣ_{ＰＵＬＳＥ}５６の両端間の電圧は反転状態を維持し（たとえば「逆起電力」として作用する）、そのために負荷回路電流Ｉ_ＬＯＡＤが最終的にはゼロまで減少する。ダイオードブリッジ２８の第２のダイオード３２および第３のダイオード３４は逆バイアスになり、そのために負荷電流はパルスインダクタＬ_{ＰＵＬＳＥ}５８およびブリッジパルスコンデンサＣ_{ＰＵＬＳＥ}５６を通って流れ、直列共振回路になる。

次に図５を参照すると、負荷電流を小さくするプロセスのために接続された回路エレメントの略図９４が示されている。上で言及したように、ＭＥＭＳスイッチ２０の接点が離れた瞬間に、無限接触抵抗が達成される。また、ダイオードブリッジ２８は、もはや、ＭＥＭＳスイッチ２０の接点の両端間の電圧をほぼゼロに維持していない。さらに、負荷回路電流Ｉ_ＬＯＡＤは、この場合、第１のダイオード３０および第４のダイオード３６を通って流れる電流に等しい。上で言及したように、ダイオードブリッジ２８の第２のダイオード３２および第３のダイオード３４には電流は流れない。

また、この場合、ＭＥＭＳスイッチ２０のドレイン２４からソース２６への重要なスイッチ接点電圧差を、パルスインダクタＬ_{ＰＵＬＳＥ}５８、パルスコンデンサＣ_{ＰＵＬＳＥ}５６および負荷回路インダクタＬ_ＬＯＡＤ４６を含む正味共振回路と、負荷抵抗Ｒ_ＬＯＡＤ４８および回路損失による減衰とによって決まる速度でＶ_ＢＵＳ電圧の最大約２倍にすることができる。さらに、ダイオードブリッジ２８およびダイオードＤ_Ｐ６０の逆阻止作用のため、この場合、負荷回路電流Ｉ_ＬＯＡＤ５０に等しいパルス回路電流Ｉ_{ＰＵＬＳＥ}６２を共振させながらゼロの値まで減少させることができ、かつ、ゼロの値を維持することができる。パルスコンデンサＣ_{ＰＵＬＳＥ}５６の両端間の電圧は、負のピークまで共振反転しており、パルスコンデンサＣ_{ＰＵＬＳＥ}５６が再充電されるまで負のピーク値を維持する。

ダイオードブリッジ２８は、接点が離れてＭＥＭＳスイッチ２０が開くまでの間、ＭＥＭＳスイッチ２０の接点の両端間の電圧をほぼゼロに維持するように構成することができ、それにより、開動作中、ＭＥＭＳスイッチ２０の接点と接点の間に形成される傾向のあるあらゆるアークが抑制され、延いては損傷が防止される。また、ＭＥＭＳスイッチ２０の接点は、ＭＥＭＳスイッチ２０を通って流れる接触電流が著しく小さい常態で開状態に接近する。また、回路インダクタンス、負荷インダクタンスおよびソースに蓄積されているすべてのエネルギーをパルス回路コンデンサＣ_{ＰＵＬＳＥ}５６へ移動させることができ、かつ、電圧消滅回路（図示せず）を介して吸収することができる。電圧スナッバ回路３３は、接点が高速で分離している間、ブリッジとＭＥＭＳスイッチの間のインタフェースインダクタンスに残留している誘導エネルギーによる電圧オーバシュートを制限するように構成することができる。また、開動作中のＭＥＭＳスイッチ２０の接点の両端間の再印加電圧の増加速度は、スナッバ回路（図示せず）を使用して制御することができる。

また、ギャップは、開状態でＭＥＭＳスイッチ２０の接点と接点の間に生成されるが、それにもかかわらず、ＭＥＭＳスイッチ２０の周りの負荷回路４０とダイオードブリッジ回路２８の間に漏れ電流が存在する場合があることに留意されたい。この漏れ電流は、負荷回路４０に直列に接続された、物理的なギャップを生成するための二次的な機械スイッチ（図示せず）を導入することによって抑制することができる。特定の実施形態では、この機械スイッチは、第２のＭＥＭＳスイッチを備えることができる。

図６は、例示的実施形態９６を示したもので、スイッチング回路１２（図１参照）は、たとえば直列アレイまたは直列−並列アレイで配置された複数のＭＥＭＳスイッチを備えることができる。また、図６に示すように、ＭＥＭＳスイッチ２０は、電気的に直列回路で結合された第１のセットの複数のＭＥＭＳスイッチ９８、１００に置き換えることができる。一実施形態では、第１のセットのＭＥＭＳスイッチ９８、１００のうちの少なくとも一方は、さらに、並列回路で結合することができ、並列回路は、第２のセットの複数のＭＥＭＳスイッチ（たとえば参照数表示１００、１０２）を備えることができる。本発明の態様によれば、静的格付け抵抗および動的格付けコンデンサをＭＥＭＳスイッチの第１または第２のセットのうちの少なくとも一方に並列に結合することができる。

次に図７を参照すると、格付けされたＭＥＭＳスイッチ回路の例示的実施形態１０４が示されている。格付けされたスイッチ回路１０４は、少なくとも１つのＭＥＭＳスイッチ１０６、格付け抵抗１０８および格付けコンデンサ１１０を備えることができる。格付けされたスイッチ回路１０４は、たとえば図６に示すように直列アレイまたは直列−並列アレイで配置された複数のＭＥＭＳスイッチを備えることができる。格付け抵抗１０８を少なくとも１つのＭＥＭＳスイッチ１０６に並列に結合して、スイッチアレイに電圧格付けを提供することができる。一例示的実施形態では、格付け抵抗１０８は、直列スイッチのうちの１つに適切な定常電圧平衡（分割）を提供し、かつ、許容可能なリーケージを特定のアプリケーションに提供するようにサイズ化することができる。また、格付けコンデンサ１１０および格付け抵抗１０８は、いずれも、スイッチングの間は動的に、また、ＯＦＦ状態の間は静的にこれらの両方を共有することができるよう、アレイの個々のＭＥＭＳスイッチ１０６に並列に提供することができる。追加格付け抵抗または追加格付けコンデンサあるいはその両方を、スイッチアレイの個々のＭＥＭＳスイッチに追加することができることに留意されたい。

図８は、ＭＥＭＳベーススイッチングシステムを現在の動作状態から第２の状態へスイッチングするための例示的論理の流れ図１１２である。本発明の技法の例示的態様によれば、スイッチングのための方法が提供される。上で言及したように、検出回路をアーク抑制回路に動作結合し、スイッチ条件を検出するように構成することができる。また、検出回路は、電流レベルおよび／または電圧レベルを知覚するように構成された知覚回路を備えることができる。

ブロック１１４で示すように、負荷回路４０（図２参照）などの負荷回路の電流レベルおよび／または電圧レベルは、たとえば知覚回路を使用して知覚することができる。また、決定ブロック１１６で示すように、知覚した電流レベルまたは知覚した電圧レベルが期待値から変化しているかどうか、あるいは期待値を超えているかどうかのいずれかを決定することができる。一実施形態では、知覚した電流レベルまたは知覚した電圧レベルが、それぞれ所定の閾値レベルを超えているかどうかを決定することができる（たとえば検出回路を使用して）。別法としては、電圧または電流のランプ率を監視することにより、実際に故障が生じる前にスイッチ条件を検出することも可能である。

知覚した電流レベルまたは知覚した電圧レベルが期待値から変化し、あるいは期待値から逸脱している場合、ブロック１１８で示すように、スイッチ条件を生成することができる。上で言及したように、「スイッチ条件」という用語は、ＭＥＭＳスイッチの現在の動作状態を変化させるための引き金になる条件を意味している。特定の実施形態では、故障信号に応じてスイッチ条件を生成することができ、また、このスイッチ条件を使用して、ＭＥＭＳスイッチの開動作の開始を容易にすることができる。ブロック１１４〜１１８は、スイッチ条件を生成するための一実施例を示したものであることに留意されたい。しかしながら、理解されるように、本発明の態様によれば、スイッチ条件を生成するための他の方法も想定されている。

ブロック１２０で示すように、パルス回路をトリガして、スイッチ条件に応じたパルス回路電流を起動することができる。パルス回路電流のレベルは、パルス回路の共振作用のため、連続的に大きくすることができる。パルス回路電流の瞬時振幅が負荷回路電流の瞬時振幅より著しく大きい場合、少なくとも部分的にはダイオードブリッジ２８のため、ＭＥＭＳスイッチの接点の両端間の電圧降下をほぼゼロに維持することができる。また、ＭＥＭＳスイッチを通って流れる負荷回路電流は、ブロック１２２で示すように、ＭＥＭＳスイッチからパルス回路へ方向転換させることができる。上で言及したように、ダイオードブリッジは、ＭＥＭＳスイッチを通る、ＭＥＭＳスイッチの接点が開き始めるとインピーダンスが比較的大きくなる経路とは異なり、比較的インピーダンスが小さい経路を提供している。次に、ブロック１２４で示すように、アークが発生しない方法でＭＥＭＳスイッチを開くことができる。

上で説明したように、パルス回路電流の瞬時振幅が負荷回路電流の瞬時振幅より著しく大きい限り、ＭＥＭＳスイッチの接点の両端間の電圧降下をほぼゼロに維持することができ、それにより、ＭＥＭＳスイッチの開動作が容易になり、また、ＭＥＭＳスイッチの接点の両端間のあらゆるアークの形成が抑制される。したがって、上で説明したように、ＭＥＭＳスイッチの接点の両端間の電圧がほぼゼロの状態でＭＥＭＳスイッチを開くことができ、ＭＥＭＳスイッチを通って流れる電流が著しく減少する。

図９は、本発明の技法の態様による、ＭＥＭＳベーススイッチングシステムのＭＥＭＳスイッチの現在の動作状態のスイッチングを表す実験結果のグラフ表示１３０である。図９に示すように、時間の変化１３４に対する振幅の変化１３２がプロットされている。また、参照数表示１３６、１３８および１４０は、グラフ表示１３０の第１のセクション、第２のセクションおよび第３のセクションを示している。

応答曲線１４２は、時間の関数としての負荷回路電流の振幅変化を表している。応答曲線１４４は、時間の関数としてのパルス回路電流の振幅変化を表している。同様に、時間の関数としてのゲート電圧の振幅変化は、応答曲線１４６に具体的に表現されている。応答曲線１４８は、ゼロゲート電圧基準を表しており、応答曲線１５０は、ターンオフする前の負荷電流に対する基準レベルを表している。

また、参照数表示１５２は、スイッチを開くプロセスが生じる応答曲線１４２の領域を表している。同様に、参照数表示１５４は、ＭＥＭＳスイッチの接点が離れ、かつ、スイッチが開状態にある応答曲線１４２の領域を表している。また、グラフ表示１３０の第２のセクション１３８から分かるように、ゲート電圧は、ＭＥＭＳスイッチの開動作の開始を容易にするためにローに引っ張られている。さらに、グラフ表示１３０の第３のセクション１４０から分かるように、平衡ダイオードブリッジの半分が導通している負荷回路電流１４２およびパルス回路電流１４４は減衰している。

本発明の追加態様は、さらに、図１０に示す、スイッチ切換された負荷電流が保護された負荷回路を中断している間（これは、たとえば故障状態に応じて生じる）、電気エネルギーを吸収する（たとえばトラップまたはテークアップする）ように適合されたエネルギー吸収回路２００を備えている。この回路は、平衡ダイオードブリッジ２８に並列回路で接続されている。この追加には、場合によっては負荷回路に展開する可能性のある故障状態による負荷電流の中断を最適化することができ、また、導電性になって、本発明の態様を具体化したスイッチング回路内を通過させる電流の量を少なくすることが企図されている。さらに、本発明の態様によれば、回路設計のプロセスが間違いなく簡易化される。また、本発明の態様によれば、ＭＥＭＳベーススイッチングシステムの回路コンポーネントをさらに最適化することができ、たとえば所与のアプリケーションに適した回路を選択することができるため、スイッチングシステムの重量およびコストを低減することができる。

一実例実施形態では、エネルギー吸収回路２００は、図１０に示すように、平衡ダイオードブリッジ２８のＤＣ側の両端間に、パルス回路５２と並列に接続されている。回路２００は、抵抗Ｒｔ、ダイオードＤｔおよびコンデンサＣｔなどのエネルギー吸収エレメントを備えることができる。回路２００によって実行される動作上の相互作用を説明するために、ＭＥＭＳスイッチ２０を開いて非導通状態にし、かつ、故障電流を制限するためのプロセスの間、電流を制限することができる、互いに対角線をなしている２つのブリッジダイオード（たとえばダイオード３２および３４）をターンオフすることから開始する。ダイオードブリッジ電圧が、コンデンサＣｔに蓄積されている初期電圧値（ＶｔＩｎｉ）より大きい値まで急激に上昇してダイオードＤｔがターンオンする。故障発生時にコンデンサＣｔに蓄積される電気エネルギーは、適切な放電抵抗（図１０には示されていない）によって速やかに放電させることができることは理解されよう。

本発明の発明者らは、所与の遮断器アプリケーションのパルス回路５２およびエネルギー吸収回路２００を個別に最適化することができる構造上および／または動作上の関係を革新的に認識した。この最適化により、所与のアプリケーションのためのコンポーネントを適切に選択することができ、かつ／またはコストを実質的に低減することができる。たとえば、パルスコンデンサＣｐおよびその初期電圧（ＶｐＩｎｉ）の値を有利に選択し（たとえば十分に小さいキャパシタンス値をコンデンサＣｐに選択することにより）、エネルギー吸収コンデンサＣｔに無関係に最適ピークパルス電流および／またはパルス幅を得ることができる。つまり、さもなければパルス形成要求事項に加えてパルスコンデンサＣｐｕｌｓｅが実行しなければならないことになるエネルギートラッピング要求事項には無関係である。同様に、エネルギー吸収コンデンサＣｔおよびその初期電圧（ＶｔＩｎｉ）の値を独立して選択し（たとえば十分に大きいキャパシタンス値をエネルギー吸収コンデンサＣｔに選択することにより）、故障期間の間、故障エネルギーを速やかに吸収することができる。つまり、コンデンサＣｐによって実行されるパルス形成要求事項には無関係である。

本発明の態様を具体化した回路構造によれば、通過させる故障電流の量を間違いなく少なくすることができ、かつ、遮断器のエネルギー散逸を少なくすることができる。上で言及したように、ダイオードブリッジ２８およびＭＥＭＳスイッチ２０は、ダイオードブリッジ内の寄生インダクタンスおよびＭＥＭＳスイッチへの個々の相互接続を小さくするために、互い緊密に統合してパッケージすることができる（たとえば複合パッケージング）。互い緊密にパッケージすることにより、場合によってはこのような相互接続に蓄積される電気エネルギーの量が漸減する。そうでない場合、スナッバ３３への相互接続による追加インダクタンスによって、接点の係合が解除された瞬間に、ＭＥＭＳスイッチ２０の両端間に接続されている保護回路（たとえばスナッバ３３）による保護作用の効果が減少することになるため、ＭＥＭＳスイッチを開いている間、ＭＥＭＳスイッチの接点を開くことによって電気エネルギーの対応する増分量を散逸させなければならないことになる。スナッバ３３の重要な機能の１つは、過度の電圧勾配の蓄積によるアークの発生を防止するために、接点が開運動をしている間、完全に分離して電圧ホールドオフ機能が達成されるまで、ＭＥＭＳスイッチの両端間の電圧の上昇を遅延させる（減速させる）ことであることに留意されたい。

動作中、本発明の態様を具体化したＭＥＭＳベーススイッチングシステムの中で実行することが可能であるため、以下に示す実例事象シーケンスを介して、（負荷回路に展開する可能性のある故障に応じて）信頼性の高い、実質的に高速の負荷電流ターンオフを達成することができる。コンデンサＣｐｕｌｓｅおよびＣｔは、それぞれ図１０に示す対応する実例電圧極性で初期電圧ＶｐＩｎｉおよびＶｔＩｎｉまで初期充電することができる。ＭＥＭＳスイッチ２０は、最初は、接点ゲート２６を介して印加されるゲート信号に応じてＯＮ（たとえば導通）状態である。故障が発生すると、負荷電流が比較的速い速度（たとえば大きいｄｉ／ｄｔの値）で増加する。たとえば負荷電流の大きさが定義済み閾値を超え、かつ／または負荷電流の変化率（ｄｉ／ｄｔ）が定義済みの値を超えると、パルススイッチ５４がＯＮ状態へトリガされる。次に、Ｉｐｕｌｓｅ電流の値が故障電流値より大きい適切なプリセット（設計）値まで増加する。既に説明したように、パルスダイオードブリッジ２８は、ＭＥＭＳスイッチ２０の両端間の電圧降下がほぼゼロになるように構成されている。ＭＥＭＳスイッチ２０は、Ｉｐｕｌｓｅ電流がピーク値に到達する直前に、ＯＦＦ（非導通）状態へゲートされる。

ＭＥＭＳスイッチの接触圧力がゲート信号の減少に応じて小さくなると、接触抵抗力が増加して電流が負荷回路からダイオードブリッジ２８へ移行する。スイッチ接点２２および２４を通って流れる電流は、これらの接点が離れる前に本質的にゼロまで減少する。接点２２および２４は、ほぼゼロの電圧状態の下で開くことになる。次に、故障電流がダイオードブリッジ２８を通って流れる。Ｉｐｕｌｓｅ電流の値は、Ｉｐｕｌｓｅ電流がそのピーク値に到達すると（たとえば正弦波状に）減少する。増加した故障電流の瞬時値と整合する値までＩｐｕｌｓｅ電流の値が減少すると、ダイオードＤ２およびＤ３の導通が停止する。故障電流は、この時点で、負荷回路からダイオードＤ１およびＤ４を通って流れる。また、パルスコンデンサＣｐｕｌｓｅの電圧は、その電圧極性が反転するまで減少する。故障電流によってコンデンサＣｐｕｌｓｅに蓄積される反転電圧の大きさの増加は、バス源電圧４４とは逆であり、そのために故障電流の上昇率ｄｉ／ｄｔが減少する。

次に、ダイオードブリッジ２８に対するＤＣ入力の両端間の電圧が急激に増加し、その値がコンデンサＣｔに蓄積されている初期電圧（ＶｔＩｎｉｔ）に到達すると、ダイオードＤｔが導通を開始し、回路２００に故障電流が流れる。コンデンサＣｔは、充電されると、故障電流の上昇率を反転させる逆起電力を生成する（たとえば負のｄｉ／ｄｔを生成する）。たとえば、コンデンサＣｔの電圧がバス源電圧に到達すると、故障電流はゼロまで減少する。以上の説明から、エネルギー吸収コンデンサＣｔは、故障によって生じる電気エネルギーをパルス回路に無関係に吸収し、負荷およびパルスインダクタンスとのその共振作用によって負荷電流をゼロまで極端に急激に減少させるように適合されていることは理解されよう。

本発明の態様を具体化した回路構造は、コンデンサＣｔおよびＣｐｕｌｓｅによって提供される機能を有利に分離していることは理解されよう。また、エネルギー吸収コンデンサＣｔを備えた回路分岐は、ダイオードブリッジの両端間の電圧の変化率（たとえば上昇率）を制御（たとえば制限）し、かつ、負荷／電源システムエネルギーを吸収しているという意味においては、「スナッバ」として機能するものとして概念的に解釈することができる。一実例実施形態では、これは、コンデンサＣｔに対する調整可能な予備充電を使用して達成することができる。

図１１は、上で説明した動作概念をグラフ形式で統合したもので、図１０に示すＭＥＭＳベーススイッチングシステムに対する模擬回路信号が時間の関数としてプロットされている。これらの信号は、故障状態に応じて負荷電流のターンオフがスイッチされている間、１０マイクロ秒の実例時間間隔にわたってプロットされている（この時間間隔は、場合によっては、スイッチングシステムの実例初期過渡応答に関する動作の詳細を理解するためには有用である）。一方、図１２は、もっと長い時間間隔、たとえば１２０マイクロ秒にわたってプロットされたこのような模擬回路信号を示したものである（このような長い時間間隔は、場合によっては、その間の動作の詳細を理解し、かつ、負荷電流のターンオフに続くスイッチングシステムの実例応答に関する動作の詳細を理解するためには有用である）。

図１１および１２に示す信号プロットは、図１０に示すシステムに関して次のように識別される。Ｉｄ１およびＩｄ２は、それぞれブリッジダイオードＤ１およびＤ２に流れる電流を表している。Ｉｐｕｌｓｅはパルス電流を表している。Ｉｓｗ＿ｉｎは、ＭＥＭＳスイッチ２０の接点２２および２４を通って流れる電流を表している。Ｉｔｒａｐは、エネルギー吸収回路２００を通って流れる電流を表している。負荷電流は、図１０に示すシステムによって事実上制限される電流などの、故障状態に応じた負荷電流を表している。Ｖ＿Ｃｐｕｌｓｅは、パルスコンデンサ５６の両端間の電圧を表している。Ｖｂｒｉｄｇｅは、ダイオードブリッジ２８の両端間の電圧を表している。Ｖｄ２は、ダイオードＤ２の両端間の電圧を表している。Ｖｓｗは、ＭＥＭＳスイッチ２０の接点２２および２４の両端間の電圧を表している。Ｖｔｒａｐは、エネルギー吸収コンデンサＣｔの両端間の電圧を表している。

以上、本明細書において、本発明の特定の特徴のみを図面に示し、かつ、説明したが、当業者には多くの変更態様および修正が可能であろう。したがって、特許請求の範囲には、このようなあらゆる変更態様および修正を本発明の真の精神の範疇として包含することが意図されていることを理解されたい。

本発明の技法の態様による例示的ＭＥＭＳベーススイッチングシステムのブロック図である。 図１に示す例示的ＭＥＭＳベーススイッチングシステムの略図である。 図２に示すＭＥＭＳベーススイッチングシステムの実例動作を示す略流れ図である。 図２に示すＭＥＭＳベーススイッチングシステムの実例動作を示す略流れ図である。 図２に示すＭＥＭＳベーススイッチングシステムの実例動作を示す略流れ図である。 ＭＥＭＳスイッチの直列−並列アレイを示す略図である。 格付けされたＭＥＭＳスイッチを示す略図である。 図１に示すＭＥＭＳベーススイッチングシステムを有するシステムの動作フローを示す流れ図である。 スイッチングシステムのターンオフを示す実験結果を示すグラフである。 本発明の態様による例示的ＭＥＭＳベーススイッチングシステムを示す略図である。 本発明の態様による、図１０に示すスイッチングシステムの動作を詳細に示す実例回路信号のシミュレーション結果を示すグラフである。 本発明の態様による、図１０に示すスイッチングシステムの動作を詳細に示す実例回路信号のシミュレーション結果を示すグラフである。

符号の説明

１０ アークレス超微小電気機械システムスイッチ（ＭＥＭＳ）ベーススイッチングシステム
１２ ＭＥＭＳベーススイッチング回路
１４ アーク抑制回路
１６、３８ 単一パッケージ
１８ アークレス超微小電気機械システムスイッチ（ＭＥＭＳ）ベーススイッチングシステムの略図
２０、９８、１００、１０２、１０６ ＭＥＭＳスイッチ
２２ 第１の接点
２４ 第２の接点
２６ 第３の接点
２８ 平衡ダイオードブリッジ
２９ 平衡ダイオードブリッジの第１の分岐
３０ 第１のダイオードＤ１
３１ 平衡ダイオードブリッジの第２の分岐
３２ 第２のダイオード
３３ 電圧スナッバ回路
３４ 第３のダイオードＤ３
３６ 第４のダイオードＤ４
４０ 負荷回路
４４ 電圧源Ｖ_ＢＵＳ
４６ 負荷インダクタンス
４８ 負荷抵抗Ｒ_ＬＯＡＤ
５０ 負荷回路電流
５２ パルス回路
５４ パルススイッチ
５６ パルスコンデンサＣ_{ＰＵＬＳＥ}
５８ パルスインダクタンスＬ_{ＰＵＬＳＥ}
６０ 第１のダイオードＤ_Ｐ
６２ パルス回路電流Ｉ_{ＰＵＬＳＥ}
６４ パルス回路をトリガするためのプロセスの略図
６６、６８ パルス回路電流の方向
７０、７２、７４、７６ 電流ベクトル
７８ ＭＥＭＳスイッチの開動作の開始を示す略図
８４、８８ インダクタンス
８６ 負荷電流の方向
９４ 回路エレメントの略図
９６ スイッチング回路の例示的実施形態
１０４ 格付けされたスイッチ回路
１０８ 格付け抵抗
１１０ 格付けコンデンサ
１１２ 例示的論理の流れ図
１１４ 知覚ブロック
１１６ 決定ブロック
１１８ スイッチ条件生成ブロック
１２０ トリガブロック
１２２ 電流方向転換ブロック
１２４ アークレス開動作ブロック
１３０ 実験結果のグラフ表示
１３２ 振幅の変化
１３４ 時間の変化
１３６、１３８、１４０ グラフ表示１３０の第１、第２および第３のセクションを示す参照数表示
１４２、１４４、１４６、１４８ 応答曲線
１５２ スイッチを開くプロセスを示す応答曲線１４２の領域
１５４ スイッチの開状態を示す応答曲線１４２の領域
２００ エネルギー吸収回路

Claims (10)

1. システムであって、
   超微小電気機械システムスイッチ（２０）と、
   前記超微小電気機械システムスイッチの接点と接点の間のアークの形成を抑制するように構成された平衡ダイオードブリッジ（２８）と、
   前記平衡ダイオードブリッジに結合されたパルス回路（５２）であって、前記平衡ダイオードブリッジにパルス電流を流すためのパルス信号を形成するように適合されたパルスコンデンサを備え、前記パルス信号が前記超微小電気機械システムスイッチに結合された負荷回路の故障状態に応じて生成されるパルス回路（５２）と、
   前記パルス回路に並列回路で結合され、エネルギー吸収コンデンサ（Ｃｔ）と、該エネルギー吸収コンデンサに直列に接続されたダイオードとを備えたエネルギー吸収回路（２００）と
   を備え、
   前記エネルギー吸収コンデンサに故障状態に先だって初期電圧値が蓄積され、前記エネルギー吸収コンデンサに前記初期電圧値が蓄積されたときに、前記ダイオード逆バイアス状態となり、前記ダイオードブリッジの両端間に展開する電圧が、前記エネルギー吸収コンデンサに蓄積されている初期電圧値の値と整合する値に到達すると前記ダイオードが、導通状態になるように接続され、
   前記エネルギー吸収コンデンサ（Ｃｔ）が、前記故障状態によって生じる電気エネルギーを吸収し、前記パルス回路によるパルス信号の形成に影響を及ぼすことが無いように構成され、
   前記エネルギー吸収回路（２００）の前記ダイオードの導通状態が、前記ダイオー
   ドブリッジの両端間に展開する電圧が、前記エネルギー吸収コンデンサに蓄積されている初期電圧値の値を超えた後にのみ、前記エネルギー吸収コンデンサ（Ｃｔ）が、故障電流を受けるようにする、
   システム。
2. 前記パルスコンデンサのキャパシタンスの値が、前記エネルギー吸収コンデンサのキャパシタンスの値に無関係に、前記パルス信号の１つまたは複数のパルス信号特性を制御するように選択される、請求項１記載のシステム。
3. 前記パルス信号の前記１つまたは複数のパルス信号特性が、前記パルス信号の幅、前記パルス信号のピークおよび前記パルス信号の前記幅と前記ピークの組合せからなるグループから選択される、請求項２記載のシステム。
4. 前記エネルギー吸収コンデンサのキャパシタンスの値が、前記パルスコンデンサのキャパシタンスの値に無関係に、前記エネルギー吸収コンデンサによって吸収される電気エネルギーの量を制御するように選択される、請求項１記載のシステム。
5. 前記平衡ダイオードブリッジが第１の分岐（および第２の分岐）を備え、前記第１の分岐が、第１の直列回路で結合された第１のダイオードおよび第２のダイオードを備え、前記第２の分岐が、第２の直列回路で結合された第３のダイオードおよび第４のダイオードを備えた、請求項１記載のシステム。
6. 前記超微小電気機械システムスイッチが前記平衡ダイオードブリッジの中点の両端間に並列で結合され、第１の中点が前記第１のダイオードと第２のダイオードの間に位置し、第２の中点が前記第３のダイオードと第４のダイオードの間に位置している、請求項５記載のシステム。
7. 前記超微小電気機械システムスイッチが、前記平衡ダイオードブリッジと共に単一パッケージ内に統合された、請求項１記載のシステム。
8. 前記パルス回路が、さらに、故障状態を検出し、かつ、前記故障状態に応じて前記超微小電気機械システムスイッチの開動作を開始するように構成された、請求項１記載のシステム。
9. 電気的に直列回路で結合された第１の複数の超微小電気機械スイッチをさらに備えた、請求項１記載のシステム。
10. 前記第１の複数の超微小電気機械スイッチのうちの少なくとも１つが、さらに、第２の複数の超微小電気機械スイッチを備えた並列回路で結合された、請求項９記載のシステム。
    

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