Deprecated: The each() function is deprecated. This message will be suppressed on further calls in /home/zhenxiangba/zhenxiangba.com/public_html/phproxy-improved-master/index.php on line 456
JP5222054B2 - Vacuum unit - Google Patents
[go: Go Back, main page]

JP5222054B2 - Vacuum unit - Google Patents

Vacuum unit Download PDF

Info

Publication number
JP5222054B2
JP5222054B2 JP2008190258A JP2008190258A JP5222054B2 JP 5222054 B2 JP5222054 B2 JP 5222054B2 JP 2008190258 A JP2008190258 A JP 2008190258A JP 2008190258 A JP2008190258 A JP 2008190258A JP 5222054 B2 JP5222054 B2 JP 5222054B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
filter
vacuum
opening
fluid
filter case
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2008190258A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2010023214A (en
Inventor
秀三 増尾
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
CKD Corp
Original Assignee
CKD Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by CKD Corp filed Critical CKD Corp
Priority to JP2008190258A priority Critical patent/JP5222054B2/en
Publication of JP2010023214A publication Critical patent/JP2010023214A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP5222054B2 publication Critical patent/JP5222054B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
  • Manipulator (AREA)
  • Compressor (AREA)
  • Jet Pumps And Other Pumps (AREA)

Description

本発明は、ワークを吸着して搬送する真空ユニットに関するものである。   The present invention relates to a vacuum unit that sucks and conveys a workpiece.

従来、ワークを搬送する手段、ワークを位置決めする手段として、真空ユニットが用いられている。真空ユニットは、ワークを吸着するパットなどの吸着手段を備え、当該吸着手段は、真空ユニット本体から供給される負圧流体によりワークを吸着するようになっている。そして、ワークを吸着した状態の吸着手段を移動させ、移動後に吸着状態を解除することにより、ワークを所定位置に搬送又は位置決めする。   Conventionally, a vacuum unit has been used as a means for conveying a work and a means for positioning a work. The vacuum unit includes suction means such as a pad for sucking the work, and the suction means sucks the work with a negative pressure fluid supplied from the vacuum unit main body. Then, the workpiece is conveyed or positioned to a predetermined position by moving the suction means that has sucked the workpiece and releasing the suction state after the movement.

そして、真空ユニットは、吸着する際、ワークごと周りの空気を吸い込むため、埃や塵なども吸い込んでしまう。このような埃や塵は、負圧を発生させるエアを切り替える電磁弁に悪影響を与える虞がある。また、ワークの吸着状態を解除する際には、真空ユニットからエアを送り出しているため、真空ユニット内の埃などが排出される虞もある。そこで、従来の真空ユニットには、埃や塵を取り除くフィルタが備えられている(例えば、特許文献1)。
特開2006−342765号公報
And when a vacuum unit adsorb | sucks, since the surrounding air is suck | inhaled with the workpiece | work, it will also inhale dust, dust, etc. Such dust or dust may adversely affect the electromagnetic valve that switches the air that generates negative pressure. In addition, when releasing the workpiece suction state, air is sent out from the vacuum unit, so there is a risk that dust in the vacuum unit may be discharged. Therefore, a conventional vacuum unit is provided with a filter that removes dust and dirt (for example, Patent Document 1).
JP 2006-342765 A

フィルタに塵や埃などが溜まると、目詰まりして空気の流れが阻害される。このため、フィルタは、定期的に交換されるようになっている。そこで、特許文献1に記載されているように交換可能に構成されている。   If dust or dust accumulates on the filter, it clogs and obstructs the flow of air. For this reason, the filter is regularly replaced. Therefore, as described in Patent Document 1, it is configured to be replaceable.

ところで、ワークは複数同時に搬送されることが多いため、真空ユニットは、通常、ユニット本体が複数連結されて利用されている。複数連結されるため、各ユニット本体のピッチ寸法が短くなっており、例えば、10mm程度の間隔で連結されていた(すなわち、ユニット本体が薄型化していた)。このようにピッチ寸法が短くなった場合、フィルタやフィルタを押さえる蓋部材の大きさなども小さくなっていた。従って、フィルタを交換する際、ユニット本体から取り外した蓋部材を落としてしまう、蓋部材が小さくて着脱しにくい等、手間がかかるという問題があった。また、複数のフィルタを同時に交換するため、小さい蓋部材をいくつも着脱させることに手間がかかっていた。   By the way, since a plurality of workpieces are often conveyed simultaneously, the vacuum unit is usually used with a plurality of unit bodies connected. Since the plurality of units are connected, the pitch dimension of each unit main body is shortened, and for example, they are connected at an interval of about 10 mm (that is, the unit main body is thinned). When the pitch dimension is shortened in this way, the size of the filter and the lid member that holds the filter is also reduced. Therefore, when replacing the filter, there is a problem that it takes time and effort, such as dropping the lid member removed from the unit main body or making the lid member small and difficult to attach and detach. Further, since a plurality of filters are exchanged at the same time, it takes time and effort to attach and detach several small lid members.

この発明は、このような従来技術に存在する問題点に着目してなされたものである。その目的は、フィルタを交換する際の作業効率を向上させることができる真空ユニットを提供することにある。   The present invention has been made paying attention to such problems existing in the prior art. An object of the present invention is to provide a vacuum unit capable of improving the working efficiency when replacing the filter.

上記目的を達成するために、請求項1に記載の発明は、吸着手段に連結され、当該吸着手段から流体を吸入し、真空状態にすることによりワークを吸着させると共に、前記吸着手段に吸着されたワークが搬送された後、流体を前記吸着手段に対して排出することにより前記吸着手段からワークを離脱させるユニット本体が複数連結される真空ユニットにおいて、前記ユニット本体には、真空状態を作り出す負圧流体を供給する真空ポートと、真空状態を破壊する圧力流体を供給する供給ポートと、流体に含まれる塵埃を除去するフィルタを収容するフィルタケースと、真空ポートからの負圧流体の供給及び遮断を切り替えると共に、供給ポートからの圧力流体の供給及び遮断を切り替える切替手段と、を備え、前記フィルタケースには、フィルタを交換するための開口部が形成されているとともに、当該開口部は、閉塞手段により閉塞されるように構成されており、前記フィルタケースの各開口部は、同方向に開口するように構成されており、複数の前記閉塞手段は、一体化されており、前記閉塞手段は、前記フィルタケースの各開口部に取り付けられ、前記吸着手段と連結するための配管ポート部材と、前記フィルタケースの開口部が設けられた面全体を覆うフィルタカバーを備えており、前記フィルタカバーには、開口部に応じて切り欠き部が形成されている一方、前記配管ポート部材には、前記フィルタカバーの各切り欠き部と係合する係合部が形成されており、前記配管ポート部材は、当該切り欠き部と係合部を係合させることにより、前記フィルタカバーと共に前記フィルタケースに対して着脱可能に構成されていることを要旨とする。 In order to achieve the above object, the invention described in claim 1 is connected to the suction means, sucks a fluid from the suction means, and makes a vacuum state so that the work is sucked and sucked by the suction means. In a vacuum unit in which a plurality of unit main bodies for detaching the work from the suction means by discharging a fluid to the suction means after the transferred work is connected, the unit main body has a negative state that creates a vacuum state. A vacuum port that supplies pressurized fluid, a supply port that supplies pressurized fluid that breaks the vacuum state, a filter case that houses a filter that removes dust contained in the fluid, and supply and shutoff of negative pressure fluid from the vacuum port switches the, and a switching means for switching supply and shutoff of the pressure fluid from the supply port, before notated Irutakesu, Fi An opening for exchanging the filter is formed, the opening is configured to be closed by closing means, and each opening of the filter case is configured to open in the same direction. The plurality of closing means are integrated, and the closing means is attached to each opening of the filter case, and is connected to the suction means. A filter cover that covers the entire surface provided with the opening, and the filter cover has a notch formed in accordance with the opening, while the piping port member includes each of the filter covers. An engagement portion that engages with the notch portion is formed, and the piping port member engages the notch portion with the engagement portion to thereby engage the filter cover with the filter cover. It is summarized as that is configured to be detachable from the Takesu.

上記目的を達成するために、請求項2に記載の発明は、吸着手段に連結され、当該吸着手段から流体を吸入し、真空状態にすることによりワークを吸着させると共に、前記吸着手段に吸着されたワークが搬送された後、流体を前記吸着手段に対して排出することにより前記吸着手段からワークを離脱させるユニット本体が複数連結される真空ユニットにおいて、前記ユニット本体は、真空状態を作り出す負圧流体を供給する真空ポートと、真空状態を破壊する圧力流体を供給する供給ポートと、流体に含まれる塵埃を除去するフィルタを収容するフィルタケースと、真空ポートからの負圧流体の供給及び遮断を切り替えると共に、供給ポートからの圧力流体の供給及び遮断を切り替える切替手段と、を備え、前記フィルタケースには、連結される複数の前記ユニット本体の各フィルタをユニット本体毎に収容する複数のフィルタ室が形成されるとともに、各フィルタ室には外部に開口する開口部が前記フィルタケースの同方向に開口するように形成されており、前記フィルタケースの各開口部は、前記フィルタケースの各開口部が設けられた面全体を覆うフィルタカバーと、前記フィルタケースの各開口部に取り付けられて前記吸着手段と連結する配管ポート部材とを備える閉塞手段により閉塞されるように構成されており、前記配管ポート部材は、前記フィルタカバーと一体化されて前記フィルタケースに対して着脱可能に構成されていることを要旨とする。
請求項に記載の発明は、請求項1又は請求項2に記載の発明において、前記フィルタケースの底部には、前記フィルタを開口部方向へ押し出す弾性力を加える弾性部材が設けられていることを要旨とする。
In order to achieve the above object, the invention described in claim 2 is connected to the suction means, sucks a fluid from the suction means, and makes the workpiece vacuum by sucking the work and is sucked by the suction means. In a vacuum unit in which a plurality of unit main bodies for detaching the work from the suction means by discharging a fluid to the suction means after the work is transported is connected, the unit main body has a negative pressure that creates a vacuum state. A vacuum port that supplies fluid, a supply port that supplies pressure fluid that breaks the vacuum state, a filter case that houses a filter that removes dust contained in the fluid, and supply and shutoff of negative pressure fluid from the vacuum port And switching means for switching between supply and shutoff of the pressure fluid from the supply port, and connected to the filter case. A plurality of filter chambers for accommodating the filters of the plurality of unit main bodies for each unit main body, and an opening opening to the outside is formed in each filter chamber so as to open in the same direction as the filter case. Each of the openings of the filter case includes a filter cover that covers the entire surface of the filter case where the openings are provided, and a pipe that is attached to the openings of the filter case and is connected to the suction means. The pipe port member is integrated with the filter cover and is configured to be detachable from the filter case. .
According to a third aspect of the present invention, in the first or second aspect of the present invention, the bottom of the filter case is provided with an elastic member that applies an elastic force that pushes the filter toward the opening. Is the gist.

請求項4に記載の発明は、請求項1〜請求項3のうちいずれか一項に記載の発明において、前記フィルタケースは、収容しているフィルタの様子を目視できるように透明素材により形成されていることを要旨とする。   According to a fourth aspect of the present invention, in the invention according to any one of the first to third aspects, the filter case is formed of a transparent material so that the state of the accommodated filter can be visually observed. It is a summary.

本発明によれば、フィルタを交換する際の作業効率を向上させることができる。   According to the present invention, it is possible to improve the working efficiency when replacing the filter.

以下、本発明にかかわる真空ユニット10を具体化した一実施形態を図1〜図5に基づいて説明する。
図1及び図2に示すように真空ユニット10は、複数(本実施形態では8つ)のユニット本体11が連結されて構成されている。各ユニット本体11は、切替手段としての電磁弁12と、通過する流体の流量を検出する流量センサ13と、フィルタ14が収容されるフィルタケース15を備え、板状のベース部材16に固定されている。
Hereinafter, an embodiment embodying a vacuum unit 10 according to the present invention will be described with reference to FIGS.
As shown in FIGS. 1 and 2, the vacuum unit 10 is configured by connecting a plurality (eight in the present embodiment) of unit bodies 11. Each unit main body 11 includes an electromagnetic valve 12 as switching means, a flow rate sensor 13 for detecting the flow rate of fluid passing therethrough, and a filter case 15 in which a filter 14 is accommodated, and is fixed to a plate-like base member 16. Yes.

本実施形態において、ベース部材16は、複数のユニット本体11に亘って一体化されている。すなわち、長方形の板状のベース部材16に、各ユニット本体11の電磁弁12、各ユニット本体11の流量センサ13、フィルタケース15がそれぞれネジにより取り付けられるようになっている。このベース部材16には、図示しない真空ポンプがチューブを介して接続された真空ポート17が接続されている。そして、真空ポート17は、図3に示すように、ベース部材16内部に形成された流体通路16aを介して各電磁弁12に連結されている。この真空ポート17は、所定圧の負圧流体を各電磁弁12へ供給するようになっている。   In the present embodiment, the base member 16 is integrated over the plurality of unit main bodies 11. That is, the solenoid valve 12 of each unit main body 11, the flow sensor 13 of each unit main body 11, and the filter case 15 are attached to the rectangular plate-shaped base member 16 by screws. A vacuum port 17 to which a vacuum pump (not shown) is connected via a tube is connected to the base member 16. As shown in FIG. 3, the vacuum port 17 is connected to each electromagnetic valve 12 via a fluid passage 16 a formed inside the base member 16. The vacuum port 17 supplies a negative pressure fluid having a predetermined pressure to each electromagnetic valve 12.

また、ベース部材16には、図示しない圧力流体を供給する供給ポート18が接続されている。そして、供給ポート18は、図3に示すように、ベース部材16内部に形成され、前記真空ポート17が接続されている流体通路16aとは別の流体通路16bを介して各電磁弁12に連結されている。そして、供給ポート18は、流体通路16bを介して各電磁弁12に対して真空状態破壊用の圧力流体(圧縮エア)を供給するようになっている。   The base member 16 is connected to a supply port 18 for supplying a pressure fluid (not shown). As shown in FIG. 3, the supply port 18 is formed inside the base member 16 and is connected to each electromagnetic valve 12 via a fluid passage 16b different from the fluid passage 16a to which the vacuum port 17 is connected. Has been. The supply port 18 supplies a pressure fluid (compressed air) for breaking the vacuum state to each electromagnetic valve 12 through the fluid passage 16b.

電磁弁12は、真空ポート17からの負圧流体の供給及び遮断を切り替えることができるように構成されている。また、同様に、電磁弁12は、供給ポート18からの圧力流体の供給及び遮断を切り替えることができるように構成されている。電磁弁12から供給される流体は、ベース部材16に形成された流体通路16c(前記真空ポート17及び供給ポート18に接続される流体通路16a,16bとは別の流体通路)を通過して、流量センサ13に供給されるようになっている。   The solenoid valve 12 is configured to be able to switch between supply and shutoff of negative pressure fluid from the vacuum port 17. Similarly, the solenoid valve 12 is configured to be able to switch between supply and shutoff of the pressure fluid from the supply port 18. The fluid supplied from the solenoid valve 12 passes through a fluid passage 16c formed in the base member 16 (a fluid passage different from the fluid passages 16a and 16b connected to the vacuum port 17 and the supply port 18), It is supplied to the flow rate sensor 13.

前記流量センサ13は、電磁弁12から供給される流体(負圧流体及び圧力流体)の流量を計測することができるように構成されている。流体の流量を計測することにより、真空状態であるか、負圧流体が供給されているか、及び圧力流体が供給されているかを判断することができる。電磁弁12から供給され、計測された流体は、ベース部材16に形成された流体通路16dを介して、フィルタケース15に供給される。   The flow sensor 13 is configured to measure the flow rate of the fluid (negative pressure fluid and pressure fluid) supplied from the electromagnetic valve 12. By measuring the flow rate of the fluid, it is possible to determine whether it is in a vacuum state, a negative pressure fluid is supplied, and a pressure fluid is supplied. The fluid supplied and measured from the electromagnetic valve 12 is supplied to the filter case 15 via a fluid passage 16 d formed in the base member 16.

フィルタケース15は、図1に示すように、ベース部材16の短手方向端部に固定されている。フィルタケース15は、複数のユニット本体11に亘って一体化されている。その一方で、供給される流体は、ユニット本体11個別のフィルタ室20にそれぞれ供給されるようになっている。なお、前記フィルタ室20は、その横断面が円形に形成されている。また、フィルタケース15は、透明素材(透明樹脂材料)により形成されており、フィルタ室20の中身が目視できるように構成されている。   As shown in FIG. 1, the filter case 15 is fixed to the end of the base member 16 in the short direction. The filter case 15 is integrated over the plurality of unit bodies 11. On the other hand, the supplied fluid is supplied to the filter chamber 20 of each unit main body 11 individually. The filter chamber 20 has a circular cross section. The filter case 15 is formed of a transparent material (transparent resin material) and is configured so that the contents of the filter chamber 20 can be visually observed.

各フィルタ室20の底部20aには、図4に示すように、流量センサ13から供給される流体が流体通路16dを介して供給される通過孔20bが形成されている。この通過孔20bを介してフィルタ室20内に流体が供給されるようになっている。   As shown in FIG. 4, a passage hole 20b through which the fluid supplied from the flow sensor 13 is supplied through the fluid passage 16d is formed in the bottom 20a of each filter chamber 20. A fluid is supplied into the filter chamber 20 through the passage hole 20b.

また、前記フィルタ室20の底部20aには、図4及び図5に示すように、抜け止めピン21によりフィルタ室20の上下方向(図4の上下方向)に沿って移動可能に固定されている円盤状の支持部22が取り付けられている。詳しくは、支持部22の中心には貫通孔22aが形成されており、抜け止めピン21は、この貫通孔22aを貫通してフィルタ室20の底部20aに固定されている。そして、抜け止めピン21の頭部には、貫通孔22aの径よりも大きい径を有する円盤状の抜け止め部21aが形成されており、前記支持部22は、当該抜け止め部21aと係合することにより、フィルタ室20の底部20aからはずれることが防止される。   Further, as shown in FIGS. 4 and 5, the filter chamber 20 is fixed to the bottom portion 20 a of the filter chamber 20 by a retaining pin 21 so as to be movable in the vertical direction of the filter chamber 20 (vertical direction in FIG. 4). A disk-shaped support 22 is attached. Specifically, a through hole 22 a is formed at the center of the support portion 22, and the retaining pin 21 passes through the through hole 22 a and is fixed to the bottom portion 20 a of the filter chamber 20. A disc-shaped retaining portion 21a having a diameter larger than the diameter of the through hole 22a is formed at the head of the retaining pin 21, and the support portion 22 is engaged with the retaining portion 21a. This prevents the filter chamber 20 from being detached from the bottom 20a.

また、支持部22の外径は、フィルタ室20の内径とほぼ一致している。これにより、支持部22とフィルタ室20の間から流体が通過することを防止している。その一方で、貫通孔22aの径は、抜け止めピン21の径(抜け止め部21a以外の部分の径)と比較して大きく形成されている。このため、フィルタ室20の底部20aに供給された流体は、貫通孔22aと抜け止めピン21の間を通過することができるようになっている。また、支持部22は、弾性部材としてのバネ25を介してフィルタ室20の底部20aに設置されている。そして、支持部22は、このバネ25により上方向に弾性力を受けている。   Further, the outer diameter of the support portion 22 substantially matches the inner diameter of the filter chamber 20. Thereby, the fluid is prevented from passing between the support portion 22 and the filter chamber 20. On the other hand, the diameter of the through hole 22a is formed larger than the diameter of the retaining pin 21 (the diameter of the portion other than the retaining portion 21a). For this reason, the fluid supplied to the bottom 20 a of the filter chamber 20 can pass between the through hole 22 a and the retaining pin 21. Moreover, the support part 22 is installed in the bottom part 20a of the filter chamber 20 via the spring 25 as an elastic member. The support portion 22 receives an elastic force upward by the spring 25.

そして、各フィルタ室20は、上下端部が開口している円筒形状のフィルタ14(フィルタエレメント)をそれぞれ収容している。各フィルタ室20に設置された支持部22は、当該フィルタ14を支持するようになっている。前記フィルタ14は、繊維によって編み目状に形成されており、内部から外部へ、又は外部から内部へ流体を濾過しつつ、通過させるように構成されている。すなわち、フィルタ14を流体が通過することにより、流体に含まれる塵埃などの汚れが取り除かれるようになっている。なお、前記支持部22には、径がフィルタ14の内径とほぼ一致する突出部22bが形成されており、前記フィルタ14は、支持部22の突出部22bに嵌め込まれるようになっている。これにより、フィルタ14は、支持部22の突出部22bと係合して、支持部22に対して径方向にずれることがないようになっている。   Each filter chamber 20 accommodates a cylindrical filter 14 (filter element) whose upper and lower ends are open. A support portion 22 installed in each filter chamber 20 supports the filter 14. The filter 14 is formed in a knitted pattern with fibers, and is configured to pass a fluid while filtering from the inside to the outside or from the outside to the inside. That is, when the fluid passes through the filter 14, dirt such as dust contained in the fluid is removed. The support portion 22 is formed with a protruding portion 22b whose diameter substantially matches the inner diameter of the filter 14, and the filter 14 is fitted into the protruding portion 22b of the support portion 22. As a result, the filter 14 is engaged with the protruding portion 22 b of the support portion 22 so as not to shift in the radial direction with respect to the support portion 22.

また、フィルタ室20の上部(底部20aの反対側)には、開口部20cが設けられており、当該開口部20cを介してフィルタ14が交換可能に構成されている。なお、真空ユニット10に設けられたフィルタ室20の開口部20cは、全て同方向を向くように形成されている。   In addition, an opening 20c is provided in the upper part of the filter chamber 20 (on the side opposite to the bottom 20a), and the filter 14 is configured to be replaceable via the opening 20c. The openings 20c of the filter chamber 20 provided in the vacuum unit 10 are all formed so as to face the same direction.

このフィルタ室20の開口部20cは、配管ポート部材26が取り付けられるようになっている。前記配管ポート部材26は、図4及び図5に示すように、有底円筒形状に形成されており、配管ポート部材26の底部は、フィルタ14の上側端部(支持部22により支持される側とは反対側端部)により閉塞されている。この配管ポート部材26の底部には、支持部22と同様に、突出部26bが形成されている。この突出部26bは、フィルタ14の端部を閉塞したときに、フィルタ14の内部に突出して、フィルタ14の内周と係合している。これにより、フィルタ14が、配管ポート部材26に対して径方向にずれないようになっている。   A pipe port member 26 is attached to the opening 20c of the filter chamber 20. As shown in FIGS. 4 and 5, the piping port member 26 is formed in a bottomed cylindrical shape, and the bottom of the piping port member 26 is the upper end portion (the side supported by the support portion 22) of the filter 14. Is closed by the opposite end). Similar to the support portion 22, a protruding portion 26 b is formed at the bottom of the piping port member 26. The protrusion 26 b protrudes into the filter 14 when the end of the filter 14 is closed, and engages with the inner periphery of the filter 14. As a result, the filter 14 is prevented from shifting in the radial direction with respect to the piping port member 26.

また、配管ポート部材26は、フィルタ室20の開口部20cを閉塞するように構成されている。なお、フィルタ室20と、配管ポート部材26の間にOリング24を介在させてより完全に閉塞するように構成されている。そして、Oリング24の位置よりも下方(フィルタ側)であって、配管ポート部材26の側面には、配管ポート部材26の内部と連通する連通口26cが形成されている。この連通口26cを介して、フィルタ室20に供給される流体が配管ポート部材26の内部に通過するようになっている。   The piping port member 26 is configured to close the opening 20c of the filter chamber 20. The O-ring 24 is interposed between the filter chamber 20 and the piping port member 26 so as to be more completely closed. A communication port 26 c that communicates with the inside of the piping port member 26 is formed below the position of the O-ring 24 (on the filter side) and on the side surface of the piping port member 26. The fluid supplied to the filter chamber 20 passes through the inside of the piping port member 26 through the communication port 26c.

そして、フィルタケース15には、フィルタ室20の開口部20cが形成されている平面全体を覆うフィルタカバー27が備えられている。前記フィルタカバー27は、フィルタケース15の開口部が形成されている面全体をカバーするように長板状に形成されている。このフィルタカバー27には、各開口部20cに対応するように切り欠き部27aが形成されている。この切り欠き部27aから、各開口部20cに取り付けられた配管ポート部材26が突出するようになっている。   The filter case 15 is provided with a filter cover 27 that covers the entire plane in which the opening 20c of the filter chamber 20 is formed. The filter cover 27 is formed in a long plate shape so as to cover the entire surface where the opening of the filter case 15 is formed. The filter cover 27 is formed with notches 27a so as to correspond to the openings 20c. The piping port member 26 attached to each opening 20c protrudes from the notch 27a.

また、配管ポート部材26は、図4に示すように、フィルタ室20から突出した部分において周方向全体に係合部28(くびれ)が形成されている。配管ポート部材26は、当該係合部28に沿って、フィルタカバー27の切り欠き部27aに嵌め込まれるように構成されている。このように嵌め込むことにより、係合部28と、フィルタカバー27の切り欠き部27aが上下方向に移動しないように係合するようになっている。そして、フィルタカバー27は、フィルタケース15から取り外す際、係合部28が係合している配管ポート部材26も共に、取り外されるようになっている。また、切り欠き部27aに配管ポート部材26を嵌め込んだ状態で、フィルタカバー27をフィルタケース15に取り付けることができるようになっている。   Further, as shown in FIG. 4, the piping port member 26 has an engagement portion 28 (constriction) formed in the entire circumferential direction at a portion protruding from the filter chamber 20. The piping port member 26 is configured to be fitted into the cutout portion 27 a of the filter cover 27 along the engaging portion 28. By fitting in this way, the engaging portion 28 and the cutout portion 27a of the filter cover 27 are engaged so as not to move in the vertical direction. When the filter cover 27 is removed from the filter case 15, the piping port member 26 with which the engaging portion 28 is engaged is also removed. Further, the filter cover 27 can be attached to the filter case 15 in a state where the piping port member 26 is fitted in the notch 27a.

これにより、フィルタカバー27は、配管ポート部材26と一体となって、全てのフィルタ室20の開口部20cを閉塞するようになっている。従って、本実施形態のフィルタカバー27及び配管ポート部材26は、フィルタ室20の開口部20cを閉塞する閉塞手段となっている。   Thereby, the filter cover 27 is integrated with the piping port member 26 so as to close the openings 20 c of all the filter chambers 20. Therefore, the filter cover 27 and the piping port member 26 of the present embodiment serve as a closing unit that closes the opening 20c of the filter chamber 20.

このフィルタカバー27の長手方向両端部には、フィルタケース15の長手方向両端部に形成されたネジ孔29に対応させて貫通孔27bが形成されている。当該貫通孔27bを介してネジ(ローレットネジ)30が、ネジ孔29に取り付けられることによりフィルタカバー27がフィルタケース15に固定されるようになっている。   Through holes 27 b are formed at both ends in the longitudinal direction of the filter cover 27 so as to correspond to screw holes 29 formed at both ends in the longitudinal direction of the filter case 15. The filter cover 27 is fixed to the filter case 15 by attaching a screw (knurled screw) 30 to the screw hole 29 through the through hole 27b.

そして、配管ポート部材26の端部には、チューブ31が連結されている。このチューブ31は、吸着手段32に連結されており、ユニット本体11からの流体が吸着手段32に対して供給されるようになっている。   A tube 31 is connected to the end of the piping port member 26. The tube 31 is connected to the adsorbing means 32 so that the fluid from the unit main body 11 is supplied to the adsorbing means 32.

次に、このように構成された真空ユニット10の作用について説明する。
まず、吸着手段32を搬送するワークに近づける。次に、真空ポート17からの負圧流体がユニット本体11に供給されるように電磁弁12を切り替える。真空ポート17から負圧流体が供給されることにより、吸着手段32は、ワーク周りの空気と共に、ワークを吸い込む。吸い込まれた空気がフィルタケース15を通過する際、フィルタ14により塵埃が取り除かれる。フィルタケース15を通過した空気は、流量センサ13に送られ、流量センサ13によりその流量が計測される。また、計測後の空気は、真空ポート17に吸い込まれる。
Next, the operation of the vacuum unit 10 configured as described above will be described.
First, the suction means 32 is brought close to the work to be conveyed. Next, the solenoid valve 12 is switched so that the negative pressure fluid from the vacuum port 17 is supplied to the unit body 11. When the negative pressure fluid is supplied from the vacuum port 17, the suction unit 32 sucks the workpiece together with the air around the workpiece. When the sucked air passes through the filter case 15, dust is removed by the filter 14. The air that has passed through the filter case 15 is sent to the flow sensor 13, and the flow rate is measured by the flow sensor 13. Further, the measured air is sucked into the vacuum port 17.

吸着手段32がワークを吸着すると、流量センサ13は、真空状態となり、通過流量が制限されてワークが吸着されたことを確認して報知する。作業者は、吸着手段32毎ワークを搬送させる。搬送後、真空ポート17からの負圧流体の供給を遮断し、供給ポート18からの圧力流体がユニット本体11に供給されるように電磁弁12を切り替える。供給ポート18に切り替えられると、供給ポート18からの圧力流体が、電磁弁12、流量センサ13を介して、フィルタケース15に供給される。フィルタケース15に供給された圧力流体は、フィルタ14を通過する際、塵埃が取り除かれる。そして、フィルタ14を通過して、塵埃が取り除かれた後、配管ポート部材26及びチューブ31を通過し、吸着手段32から排出される。これにより、真空状態が確実に解除され、吸着手段32からワークが離脱される。これにより、ワークを搬送することができる。   When the suction means 32 sucks the workpiece, the flow rate sensor 13 is in a vacuum state, and confirms and notifies that the passing flow rate is limited and the workpiece is sucked. The operator conveys the work for each suction means 32. After the conveyance, the supply of the negative pressure fluid from the vacuum port 17 is shut off, and the electromagnetic valve 12 is switched so that the pressure fluid from the supply port 18 is supplied to the unit body 11. When switched to the supply port 18, the pressure fluid from the supply port 18 is supplied to the filter case 15 via the electromagnetic valve 12 and the flow rate sensor 13. When the pressure fluid supplied to the filter case 15 passes through the filter 14, dust is removed. Then, after passing through the filter 14 and removing dust, the dust passes through the piping port member 26 and the tube 31 and is discharged from the adsorption means 32. Thereby, the vacuum state is reliably released, and the workpiece is detached from the suction means 32. Thereby, a workpiece | work can be conveyed.

次に、フィルタ14を交換する際の方法について説明する。
まず、フィルタカバー27の両端を止めているローレットネジ30を回してローレットネジ30をフィルタケース15から外す。次に、フィルタカバー27をフィルタケース15から取り外す。その際、フィルタカバー27と係合している配管ポート部材26も共に開口部20cから外される。フィルタカバー27をフィルタ室20の開口部20cから取り除くと、バネ25により弾性力が加えられる支持部22が、開口部20c方向へ抜け止めピン21の抜け止め部21aと係合するまで移動する。支持部22が開口部20c方向へ移動すると、それに伴いフィルタ14も開口部20c方向へ移動する。これにより、フィルタ室20の開口部20cからフィルタ14の端部が突出するようになる。このため、作業者は、フィルタケース15の中からフィルタ14を取りやすくなる。フィルタ14を交換した後、配管ポート部材26を各開口部20cに取り付けるようにあわせて、フィルタカバー27により、フィルタ室20の開口部20cを閉塞する。これにより、フィルタ14の端部は、フィルタカバー27(及び配管ポート部材26)により押圧され、フィルタ室20内に収容される。その後、ローレットネジ30にてフィルタカバー27をフィルタケース15に固定する。これにより、フィルタ14の交換が終了する。
Next, a method for replacing the filter 14 will be described.
First, the knurled screw 30 that stops both ends of the filter cover 27 is turned to remove the knurled screw 30 from the filter case 15. Next, the filter cover 27 is removed from the filter case 15. At that time, the piping port member 26 engaged with the filter cover 27 is also removed from the opening 20c. When the filter cover 27 is removed from the opening 20c of the filter chamber 20, the support portion 22 to which the elastic force is applied by the spring 25 moves in the direction of the opening 20c until it engages with the retaining portion 21a of the retaining pin 21. When the support part 22 moves in the direction of the opening 20c, the filter 14 also moves in the direction of the opening 20c. As a result, the end of the filter 14 protrudes from the opening 20 c of the filter chamber 20. For this reason, the operator can easily remove the filter 14 from the filter case 15. After the filter 14 is replaced, the opening 20c of the filter chamber 20 is closed by the filter cover 27 so that the piping port member 26 is attached to each opening 20c. As a result, the end of the filter 14 is pressed by the filter cover 27 (and the piping port member 26) and accommodated in the filter chamber 20. Thereafter, the filter cover 27 is fixed to the filter case 15 with the knurled screw 30. Thereby, the replacement of the filter 14 is completed.

以上詳述したように、本実施形態は、以下の効果を有する。
(1)フィルタケース15には、フィルタ室20の開口部20cを閉塞する全ての配管ポート部材26と係合するフィルタカバー27が備えられている。このため、フィルタ室20の開口部20cを開口させる際に、1枚のフィルタカバー27を取り外せば良い。従って、ユニット本体11が薄く形成され、開口部20cが小さくなっても、大きいフィルタカバー27を取り外せば良いため、開口させやすく、フィルタカバー27を紛失しにくい。また、開口部20c毎に開口させる必要がないため、手間を省くことができる。
As described above in detail, the present embodiment has the following effects.
(1) The filter case 15 is provided with a filter cover 27 that engages with all the piping port members 26 that close the opening 20 c of the filter chamber 20. For this reason, when opening the opening part 20c of the filter chamber 20, the one filter cover 27 should just be removed. Therefore, even if the unit main body 11 is formed thin and the opening 20c is small, it is only necessary to remove the large filter cover 27, so that it is easy to open and the filter cover 27 is not easily lost. Moreover, since it is not necessary to open for every opening part 20c, an effort can be saved.

(2)フィルタケース15の底部には、フィルタ14を開口部方向へ押し出すバネ25が設けられている。このため、フィルタカバー27が取り外された際、フィルタ14は、バネ25の弾性力により支持部22ごと開口部方向へ移動させられ、その端部が、開口部から突出するようになっている。従って、フィルタ14を交換する際、フィルタ14を摘みやすくなっており、交換しやすい。   (2) A spring 25 is provided at the bottom of the filter case 15 to push the filter 14 toward the opening. For this reason, when the filter cover 27 is removed, the filter 14 is moved in the direction of the opening along with the support portion 22 by the elastic force of the spring 25, and its end protrudes from the opening. Therefore, when exchanging the filter 14, the filter 14 is easily picked and is easily exchanged.

(3)フィルタケース15の開口部20cに取り付けられる配管ポート部材26には、フィルタカバー27と係合する係合部28が形成されている。そして、フィルタカバー27をフィルタケース15から取り外す際、フィルタケース15の切り欠き部27aと係合させて、フィルタカバー27と共に、フィルタケース15から取り外すようになっている。また、配管ポート部材26を、係合部28に沿ってフィルタケース15の切り欠き部27aに嵌め込むことにより、フィルタカバー27と共に配管ポート部材26をフィルタ室20の開口部20cに取り付けることができるように構成されている。これにより、フィルタ14を交換する際、配管ポート部材26がばらばらになって紛失することを防止することができる。このため、フィルタ14の交換効率や、手間を少なくすることができる。   (3) The piping port member 26 attached to the opening 20c of the filter case 15 is formed with an engaging portion 28 that engages with the filter cover 27. When removing the filter cover 27 from the filter case 15, the filter cover 27 is engaged with the notch 27 a of the filter case 15 and is removed from the filter case 15 together with the filter cover 27. Further, the piping port member 26 can be attached to the opening 20 c of the filter chamber 20 together with the filter cover 27 by fitting the piping port member 26 into the notch 27 a of the filter case 15 along the engaging portion 28. It is configured as follows. Thereby, when replacing | exchanging the filter 14, it can prevent that the piping port member 26 falls apart and is lost. For this reason, the replacement efficiency and labor of the filter 14 can be reduced.

(4)フィルタケース15は、収容しているフィルタ14の様子を目視できるように透明素材により形成されている。このため、フィルタケース15からフィルタ14を出さなくても、フィルタ14の交換時期を目視により確認することができる。   (4) The filter case 15 is formed of a transparent material so that the state of the filter 14 accommodated can be seen. For this reason, even when the filter 14 is not taken out from the filter case 15, the replacement time of the filter 14 can be visually confirmed.

尚、上記実施形態は、次のような別の実施形態(別例)にて具体化できる。
○上記実施形態では、流体の流れを検出して、真空状態であるか否かを検出するために流量センサ13を備えたが、流体の圧力を検出する圧力センサを備えても良い。
In addition, the said embodiment can be embodied in another embodiment (another example) as follows.
In the above embodiment, the flow sensor 13 is provided to detect the flow of the fluid and detect whether it is in a vacuum state, but a pressure sensor that detects the pressure of the fluid may be provided.

○上記実施形態では、フィルタケース15を透明素材にて形成したが、透明素材でなくても良い。
○上記実施形態において、ユニット本体11の数は、8つであったが、任意に変更しても良い。
In the above embodiment, the filter case 15 is formed of a transparent material, but it may not be a transparent material.
In the above embodiment, the number of unit main bodies 11 is eight, but may be arbitrarily changed.

○上記実施形態では、フィルタカバー27に切り欠き部27aを設け、切り欠き部27aに配管ポート部材26を嵌め込むことにより、開口部20cに配管ポート部材26を取り付けつつ、開口部20cを閉塞するように構成されていた。この別例として、配管ポート部材を別の箇所に設置して、フィルタカバー27のみで開口部20cを閉塞するようにしても良い。例えば、図6に示すように、全ての開口部20cをフィルタカバー50で閉塞する。そして、フィルタ14により濾過された流体を再びベース部材16を通過させて、ベース部材16の端部から供給するようにしてもよい。   In the embodiment described above, the cutout portion 27a is provided in the filter cover 27, and the piping port member 26 is fitted into the cutout portion 27a, whereby the opening portion 20c is closed while the piping port member 26 is attached to the opening portion 20c. It was configured as follows. As another example, the pipe port member may be installed at another location, and the opening 20c may be closed only by the filter cover 27. For example, as shown in FIG. 6, all the openings 20 c are closed with the filter cover 50. Then, the fluid filtered by the filter 14 may be passed again through the base member 16 and supplied from the end of the base member 16.

○上記実施形態では、支持部22とフィルタ室20の底部20aとの間に、バネ25を設置したが、設置しなくても良い。
○上記実施形態では、支持部22をフィルタ室20の底部20aに固定するために、抜け止めピン21を設けたが、なくてもよい。
In the above embodiment, the spring 25 is installed between the support portion 22 and the bottom portion 20a of the filter chamber 20, but it may not be installed.
In the above embodiment, the retaining pin 21 is provided in order to fix the support portion 22 to the bottom portion 20a of the filter chamber 20, but it may be omitted.

○上記実施形態の配管ポート部材26は、フィルタ14の上方向(フィルタカバー27の平面に対して垂直方向)に向かって開口するように構成されていたが、配管ポート部材26の開口部の方向を任意に変更しても良い。例えば、図7(a)に示すように、配管ポート部材26の開口部55の方向を、横方向(フィルタカバー27の平面に対して水平方向)に向かって開口するように構成してもよく、図7(b)に示すように、配管ポート部材26の開口部56の方向を、フィルタカバー27の平面に対して斜め45度上方に向かって開口するように構成してもよい。   The piping port member 26 of the above embodiment is configured to open toward the upper direction of the filter 14 (perpendicular to the plane of the filter cover 27), but the direction of the opening of the piping port member 26 May be arbitrarily changed. For example, as shown in FIG. 7A, the direction of the opening 55 of the piping port member 26 may be configured to open in the lateral direction (the horizontal direction with respect to the plane of the filter cover 27). As shown in FIG. 7B, the direction of the opening 56 of the piping port member 26 may be configured to open obliquely upward 45 degrees with respect to the plane of the filter cover 27.

○上記実施形態において、ユニット本体11内に、供給ポート18からの圧縮流体の供給流量を制限するオリフィス又は流量制限弁を有する構成にしてもよい。   In the above embodiment, the unit main body 11 may be configured to have an orifice or a flow restriction valve that restricts the supply flow rate of the compressed fluid from the supply port 18.

真空ユニットを示す斜視図。The perspective view which shows a vacuum unit. フィルタカバーを取り外したときの真空ユニットを示す斜視図。The perspective view which shows a vacuum unit when a filter cover is removed. ユニット本体を示す回路図。The circuit diagram which shows a unit main body. フィルタケースを示す断面図。Sectional drawing which shows a filter case. フィルタケース及びフィルタを示す分解斜視図。The disassembled perspective view which shows a filter case and a filter. フィルタケースの別例を示す斜視図。The perspective view which shows another example of a filter case. (a)及び(b)は、配管ポート部材の別例を示す斜視図。(A) And (b) is a perspective view which shows another example of a piping port member.

符号の説明Explanation of symbols

10…真空ユニット、11…ユニット本体、12…電磁弁、13…流量センサ、14…フィルタ、15…フィルタケース、16…ベース部材、17…真空ポート、18…供給ポート、20…フィルタ室、21…抜け止めピン、22…支持部、26…配管ポート部材、27…フィルタカバー、32…吸着手段。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Vacuum unit, 11 ... Unit main body, 12 ... Solenoid valve, 13 ... Flow sensor, 14 ... Filter, 15 ... Filter case, 16 ... Base member, 17 ... Vacuum port, 18 ... Supply port, 20 ... Filter chamber, 21 DESCRIPTION OF SYMBOLS ... Retaining pin, 22 ... Support part, 26 ... Piping port member, 27 ... Filter cover, 32 ... Adsorption means.

Claims (4)

吸着手段に連結され、当該吸着手段から流体を吸入し、真空状態にすることによりワークを吸着させると共に、前記吸着手段に吸着されたワークが搬送された後、流体を前記吸着手段に対して排出することにより前記吸着手段からワークを離脱させるユニット本体が複数連結される真空ユニットにおいて、
前記ユニット本体には、
真空状態を作り出す負圧流体を供給する真空ポートと、
真空状態を破壊する圧力流体を供給する供給ポートと、
流体に含まれる塵埃を除去するフィルタを収容するフィルタケースと、
真空ポートからの負圧流体の供給及び遮断を切り替えると共に、供給ポートからの圧力流体の供給及び遮断を切り替える切替手段と、を備え、
記フィルタケースには、フィルタを交換するための開口部が形成されているとともに、当該開口部は、閉塞手段により閉塞されるように構成されており、
前記フィルタケースの各開口部は、同方向に開口するように構成されており、複数の前記閉塞手段は、一体化されており、
前記閉塞手段は、前記フィルタケースの各開口部に取り付けられ、前記吸着手段と連結するための配管ポート部材と、前記フィルタケースの開口部が設けられた面全体を覆うフィルタカバーを備えており、
前記フィルタカバーには、開口部に応じて切り欠き部が形成されている一方、前記配管ポート部材には、前記フィルタカバーの各切り欠き部と係合する係合部が形成されており、
前記配管ポート部材は、当該切り欠き部と係合部を係合させることにより、前記フィルタカバーと共に前記フィルタケースに対して着脱可能に構成されていることを特徴とする真空ユニット。
Connected to the suction means, sucks the fluid from the suction means and creates a vacuum to suck the work, and after the work sucked by the suction means is transported, the fluid is discharged to the suction means In a vacuum unit in which a plurality of unit bodies for detaching the workpiece from the suction means are connected,
In the unit body,
A vacuum port for supplying a negative pressure fluid to create a vacuum state;
A supply port for supplying pressure fluid that breaks the vacuum;
A filter case that houses a filter that removes dust contained in the fluid;
Switching means for switching the supply and blocking of the negative pressure fluid from the vacuum port, and switching the supply and blocking of the pressure fluid from the supply port,
The front notated Irutakesu, with opening for exchanging the filter is formed, the opening is configured to be closed by closure means,
Each opening of the filter case is configured to open in the same direction, and the plurality of blocking means are integrated ,
The closing means includes a pipe port member that is attached to each opening of the filter case and is connected to the suction means, and a filter cover that covers the entire surface on which the opening of the filter case is provided,
The filter cover has a notch formed in accordance with the opening, while the piping port member has an engaging portion that engages with each notch of the filter cover.
The said piping port member is comprised so that attachment or detachment with respect to the said filter case is possible with the said filter cover by engaging the said notch part and an engaging part .
吸着手段に連結され、当該吸着手段から流体を吸入し、真空状態にすることによりワークを吸着させると共に、前記吸着手段に吸着されたワークが搬送された後、流体を前記吸着手段に対して排出することにより前記吸着手段からワークを離脱させるユニット本体が複数連結される真空ユニットにおいて、  Connected to the suction means, sucks the fluid from the suction means and creates a vacuum to suck the work, and after the work sucked by the suction means is transported, the fluid is discharged to the suction means In a vacuum unit in which a plurality of unit bodies for detaching the workpiece from the suction means are connected,
前記ユニット本体は、  The unit body is
真空状態を作り出す負圧流体を供給する真空ポートと、  A vacuum port for supplying a negative pressure fluid to create a vacuum state;
真空状態を破壊する圧力流体を供給する供給ポートと、  A supply port for supplying pressure fluid that breaks the vacuum;
流体に含まれる塵埃を除去するフィルタを収容するフィルタケースと、  A filter case that houses a filter that removes dust contained in the fluid;
真空ポートからの負圧流体の供給及び遮断を切り替えると共に、供給ポートからの圧力流体の供給及び遮断を切り替える切替手段と、を備え、  Switching means for switching the supply and blocking of the negative pressure fluid from the vacuum port, and switching the supply and blocking of the pressure fluid from the supply port,
前記フィルタケースには、連結される複数の前記ユニット本体の各フィルタをユニット本体毎に収容する複数のフィルタ室が形成されるとともに、各フィルタ室には外部に開口する開口部が前記フィルタケースの同方向に開口するように形成されており、  The filter case is formed with a plurality of filter chambers for accommodating the filters of the plurality of unit bodies to be coupled for each unit body, and each filter chamber has an opening that opens to the outside of the filter case. It is formed to open in the same direction,
前記フィルタケースの各開口部は、前記フィルタケースの各開口部が設けられた面全体を覆うフィルタカバーと、前記フィルタケースの各開口部に取り付けられて前記吸着手段と連結する配管ポート部材とを備える閉塞手段により閉塞されるように構成されており、  Each opening of the filter case includes a filter cover that covers the entire surface of the filter case where the openings are provided, and a piping port member that is attached to each opening of the filter case and is connected to the suction means. It is configured to be closed by the closing means provided,
前記配管ポート部材は、前記フィルタカバーと一体化されて前記フィルタケースに対して着脱可能に構成されていることを特徴とする真空ユニット。  The vacuum unit, wherein the piping port member is integrated with the filter cover and is detachable from the filter case.
前記フィルタケースの底部には、前記フィルタを開口部方向へ押し出す弾性力を加える弾性部材が設けられていることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の真空ユニット。 The bottom of the filter case, a vacuum unit according to claim 1 or claim 2, characterized in that the elastic member for applying an elastic force to push the filter into the opening direction. 前記フィルタケースは、収容しているフィルタの様子を目視できるように透明素材により形成されていることを特徴とする請求項1〜請求項3のうちいずれか一項に記載の真空ユニット。   The vacuum unit according to any one of claims 1 to 3, wherein the filter case is formed of a transparent material so that the state of the filter accommodated therein can be visually observed.
JP2008190258A 2008-07-23 2008-07-23 Vacuum unit Active JP5222054B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008190258A JP5222054B2 (en) 2008-07-23 2008-07-23 Vacuum unit

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008190258A JP5222054B2 (en) 2008-07-23 2008-07-23 Vacuum unit

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2010023214A JP2010023214A (en) 2010-02-04
JP5222054B2 true JP5222054B2 (en) 2013-06-26

Family

ID=41729528

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2008190258A Active JP5222054B2 (en) 2008-07-23 2008-07-23 Vacuum unit

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5222054B2 (en)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101251825B1 (en) * 2011-09-06 2013-04-09 이우승 Vacuum Pump
JP5969188B2 (en) * 2011-10-04 2016-08-17 富士機械製造株式会社 Mounting head
JP6276291B2 (en) * 2014-01-07 2018-02-07 富士機械製造株式会社 Filter unit changer
WO2017092795A1 (en) * 2015-12-01 2017-06-08 Ateliers Busch S.A. Vacuum pump with filtering element
JP6672771B2 (en) * 2015-12-18 2020-03-25 村田機械株式会社 Suction device and work support device
CN119373689B (en) * 2024-12-30 2025-04-18 吉林省送变电工程有限公司 A high-stability interconnected vacuum device and its use method

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0311440Y2 (en) * 1984-09-10 1991-03-19
JP3332391B2 (en) * 1991-06-28 2002-10-07 エスエムシー株式会社 Vacuum supply device
JP3349517B2 (en) * 1991-09-09 2002-11-25 エスエムシー株式会社 Vacuum supply device
JP2007291939A (en) * 2006-04-25 2007-11-08 Toyota Motor Corp Oil filter
JP3136158U (en) * 2006-09-05 2007-10-18 株式会社Jcd Cartridge type oil filter and engine cleaning device

Also Published As

Publication number Publication date
JP2010023214A (en) 2010-02-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5222054B2 (en) Vacuum unit
KR100387364B1 (en) Vacuum-Generating Unit
JP6966883B2 (en) Blade attachment / detachment jig, blade attachment / detachment method, blade removal method, and cutting equipment
CN101146470B (en) Method for cleaning a vacuum cleaner filter and vacuum cleaner for carrying out the method
KR101066212B1 (en) Quick-Release Vacuum Pumps
EP3431423B1 (en) Vacuum gripper unit comprising vacuum pump
US20100031824A1 (en) Vacuum system using a filter cartridge
EP2662574B1 (en) Quick-release vacuum pump
AU2023391402A1 (en) Vertical vacuum gripper device
JP6535847B2 (en) Suction hand
CN101791910B (en) Liquid-suctioning tank and droplet discharge device with the same
KR200497336Y1 (en) Vacuum valve and vacuum chuck equipped with vacuum valve
JPH10236759A (en) Control valve for vacuum pad and carrying system using this control valve for vacuum pad
CN119304667A (en) Clamping systems for machine tools
JP4707132B2 (en) Suction filtration funnel and suction filtration member
KR20190088785A (en) Sawing Apparatus of Semiconductor Materials
JP5279542B2 (en) Machine Tools
JP3791944B2 (en) Vacuum unit
KR20190056864A (en) A vacuum chuck comprising a removable vacuum module
JP7295366B2 (en) Suction jig
KR20140058150A (en) Vacuum filter unit and apparatus for picking up a electronic device
JP3140036B2 (en) Water separation filter and adsorption transfer device having the same
JP2010017832A (en) Workpiece suction device
CN215839567U (en) Sand blasting host computer and sand blasting clean tooth equipment
KR101650052B1 (en) Apparatus for synthesis of organic compound

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20110210

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20110927

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20120619

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20120808

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20130226

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20130308

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160315

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5222054

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150