JP5224077B2 - 撮像装置および光学装置 - Google Patents

Description

本発明は、ゴミの除去効果に優れた撮像装置および光学装置に関する。

近年、レンズ交換式デジタルカメラなどでは、撮像素子のフィルタ表面にゴミが付着し、撮影した映像にゴミが写りこむなどの問題がある。このような問題を解消するために、防塵部材を、撮像素子と光学系との間に配置し、撮像素子およびフィルタなどの防塵を図ると共に、防塵部材に付着したゴミなどを振動により除去するシステムが開発されている（特許文献１参照）。

しかしながら、従来のシステムでは、防塵部材が円形のために、撮像素子をカバーするためには、大型の防塵部材が必要であり、撮像装置の小型化の要請に反していた。また、従来のシステムでは、防塵部材の振動モードに関して考慮されていないため、防塵部材の表面に付着したゴミなどを有効に除去することが困難であった。

特開２００３−３１９２２２号公報

本発明は、このような実状に鑑みてなされ、その目的は、光透過性の防塵部材の表面に付着したゴミなどを有効に除去することが可能であり、しかも防塵部材を有効に使用することができる部分（撮像素子に対応する部分）を大きく確保することができる撮像装置と、その撮像装置を有する光学装置とを提供することである。

上記目的を達成するために、本発明に係る撮像装置（４）は、
光学系による像を撮像する撮像部よりも前記光学系側に備えられ、光透過性を有する光透過性部材（１８）と、
前記光透過性部材を屈曲振動させる振動部材（２０）と、
前記振動部材を駆動することにより、第１方向に沿って前記光透過性部材を屈曲振動させるとともに、前記第１方向と交差する第２方向に沿って前記光透過性部材を屈曲振動させる駆動部（５６）とを含み、
前記駆動部（５６）は、前記第１方向について、第１振動モード、前記第１振動モードよりも高次の第２振動モード、及び、前記第１振動モードよりも低次の第３振動モードで前記光透過性部材を屈曲振動可能であり、前記第２方向について、第４振動モードで前記光透過性部材を屈曲振動可能であり、
前記第１振動モードにおける共振周波数は前記第４振動モードにおける共振周波数と略等しく、
前記第２振動モードにおける共振周波数は前記第１振動モードにおける共振周波数及び前記第４振動モードにおける共振周波数よりも高く、
前記第３振動モードにおける共振周波数は前記第１振動モードにおける共振周波数及び前記第４振動モードにおける共振周波数よりも低いことを特徴とする。

本発明に係る光学装置は、上記の撮像装置を有する光学装置であり、カメラに限らず、顕微鏡、携帯電話などの光学装置も含む。

なお、本発明をわかりやすく説明するために、実施形態を示す図面の符号に対応付けて説明したが、本発明は、これに限定されるものでない。後述の実施形態の構成を適宜改良してもよく、また、少なくとも一部を他の構成に代替させてもよい。更に、その配置について特に限定のない構成要件は、実施形態で開示した配置に限らず、その機能を達成できる位置に配置することができる。

図１は本発明の第１実施形態に係る撮像装置の概略斜視図である。 図２は図１に示すII−II線に沿う概略断面図である。 図３はカメラの全体ブロック図である。 図４（Ａ）は図１に示す光透過性部材の平面図、図４（Ｂ）および図４（Ｃ）は図４（Ａ）に示すＢ−Ｂ線に沿う要部断面図である。 図５（Ａ）は図１に示す光透過性部材の平面図、図５（Ｂ）および図５（Ｃ）は図５（Ａ）に示すＢ−Ｂ線に沿う要部断面図である。

第１実施形態
図１および図２に示すように、本発明の一実施形態に係るブレ補正装置２は、撮像素子１２が備えられ固定部６に対してＸ軸およびＹ軸方向に相対移動可能な撮像素子ユニット４を有する。固定部６は、図３に示すカメラボディ４０に対して固定してある。撮像素子ユニット４は、カメラボディ４０に対して着脱自在に取り付けられるレンズ鏡筒４２に内蔵してある光学レンズ群４８の光軸Ｚ方向に対して垂直なＸ軸およびＹ軸方向に沿って移動自在に配置してある。なお、Ｘ軸とＹ軸とは垂直である。

図１および図２に示すように、撮像素子ユニット４は、固定部６に対してＸ軸方向およびＹ軸方向に移動可能な可動板１０を有する。可動板１０の中央部上面には、撮像素子１２が固定してあり、その上に、スペーサ１３を介して光学ローパスフィルタ（ＯＬＰＦ）１４が配置してある。撮像素子１２は、その表面に照射された光学画像を電気信号に変換するための素子である。光学ローパスフィルタ（ＯＬＰＦ）１４は、いわゆるモアレ現象を除去するために設けられている。

光学ローパスフィルタ１４の上には、シール部材１６を介して透明なガラス板１８が配置してある。シール部材１６により、撮像素子１２と光学ローパスフィルタ１４との間、光学ローパスフィルタ１４とガラス板１８との間を密封している。すなわち、ガラス板１８は、光透過性の防塵部材であり、塵埃などが光学ローパスフィルタ１４および撮像素子１２に付着することを防止している。

本実施形態では、ガラス板１８は、光学ローパスフィルタ１４よりも、Ｘ軸方向に幅広く形成してあり、各側端部がシール部材１６よりも飛び出しており、各側端部の下面または上面には、振動部材としての圧電素子２０が、たとえば接着剤などで貼り付けられている。圧電素子２０は、たとえばPZTで構成される。

圧電素子２０が接着されたガラス板１８の下方には、ガイド部２２が配置してあり、それぞれのガイド部２２は、防振シート２４を介して可動板１０に対して固定してある。防振シート２４は、撮像素子１２とシール部材１６の間に塵などが入らないように密閉する部材である。また、圧電素子２０の振動によりフレキのコネクタ接続部や撮像素子１２と基板の接着、さらには位置検出センサのマグネット等に悪影響を与える可能性があるため、防振シート２４は、それらの振動を伝わりづらくする機能もある。防振シート２４は、ゴム製シートなどの弾性部材で構成してあるが、弾性を有する接着剤などでも良い。

一対のガイド部２２のうちの一方には、ガイドロッド８の第１軸８ａが挿通するためのスライド孔が形成してあり、ガイド部２２は、第１軸８ａに沿って、Ｙ軸方向に相対移動可能になっている。ガイドロッド８は、略Ｌ字形状に加工してあり、第１軸８ａに対して垂直に折り曲げられた第２軸８ｂを有する。第２軸８ｂは、二つのガイド部２３，２３に形成してある挿通孔を通り、これらのガイド部２３，２３によりＸ軸方向に沿って相対移動自在に保持してある。これらのガイド部２３，２３は、防振シート２５を介して固定部６に対して固定してある。すなわち、撮像素子ユニット４は、固定部６に対して、ガイドロッド８により、Ｘ軸方向およびＹ軸方向の相対移動が案内され、しかも光軸Ｚ方向周り（θ方向）の回転を防止している。

固定部６は、撮像素子ユニット４の周囲四方を囲むように配置してあり、固定部６におけるＸ軸方向の一辺位置には、固定部６に対して、撮像素子ユニット４をＸ軸方向に移動させるための永久磁石２６ｘを保持してあるヨーク３０ｘが固定してある。永久磁石２６ｘには、撮像素子ユニット４における可動板１０に固定してあるコイル２８ｘが向き合い、コイル２８ｘへの電流制御により、可動板１０を介して撮像素子ユニット４がＸ軸方向に移動制御されるようになっている。すなわち、コイル２８ｘと永久磁石２６ｘは、Ｘ軸方向移動手段としてのボイスコイルモータ（ＶＣＭ）を構成している。なお、Ｘ軸方向移動手段としては、ＶＣＭに限定されず、その他のアクチュエータを用いることができる。

また、固定部６におけるＹ軸方向の一辺位置には、固定部６に対して、撮像素子ユニット４をＹ軸方向に移動させるための永久磁石２６ｙを保持してあるヨーク３０ｙが固定してある。永久磁石２６ｙには、撮像素子ユニット４における可動板１０に固定してあるコイル２８ｙが向き合い、コイル２８ｙへの電流制御により、可動板１０を介して撮像素子ユニット４がＹ軸方向に移動制御されるようになっている。すなわち、コイル２８ｙと永久磁石２６ｙは、Ｙ軸方向移動手段としてのボイスコイルモータ（ＶＣＭ）を構成している。なお、Ｙ軸方向移動手段としては、ＶＣＭに限定されず、その他のアクチュエータを用いることができる。

固定部６に対しての撮像素子ユニット４の相対移動位置を検出するために、固定部６には、位置センサ３３が装着してある。位置センサ３３は、ホール素子３２を有し、そのホール素子３２に対応する位置に、永久磁石３４が可動板１０の表面に装着してある。永久磁石３４が可動板１０と共にＸ軸およびＹ軸方向に移動することで、そのＸ軸およびＹ軸方向の移動量を位置センサ３３が検出するようになっている。なお、検出部としての位置センサ３３としては、磁気式センサに限らず、ＰＳＤ、光学式のセンサであっても良い。

次に、図３に基づき、カメラ全体について説明する。図１〜図３に示す撮像素子ユニット４を有するブレ補正装置２は、カメラボディ４０の内部に、光軸Ｚに対して撮像素子ユニット４のガラス板１８が垂直になるように配置される。ガラス板１８は、図２に示す光学ローパスフィルタ１４および撮像素子１２に対して平行である。

図３に示すように、カメラボディ４０には、レンズ鏡筒４２が着脱自在に装着される。なお、コンパクトカメラなどでは、レンズ鏡筒４２とカメラボディ４０とが一体であるカメラもあり、本発明では、カメラの種類は特に限定されない。また、スチルカメラに限らず、ビデオカメラ、顕微鏡、携帯電話などの光学機器にも適用できる。以下の説明では、説明の容易化のために、レンズ鏡筒４２とカメラボディ４０とが着脱自在となる一眼レフカメラについて説明する。

カメラボディ４０の内部において、撮像素子ユニット４のＺ軸方向の前方には、シャッタ部材４４が配置してある。シャッタ部材４４のＺ軸方向の前方には、ミラー４６が配置してあり、そのＺ軸方向の前方には、レンズ鏡筒４２に内蔵してある絞り部４７および光学レンズ群４８が配置してある。

カメラボディ４０には、ボディＣＰＵ５０が内蔵してあり、レンズ接点５４を介してレンズＣＰＵ５８に接続してある。レンズ接点５４は、カメラボディ４０に対してレンズ鏡筒４２を連結することで、ボディＣＰＵ５０と、レンズＣＰＵ５８とを電気的に接続するようになっている。ボディＣＰＵ５０には、電源５２が接続してある。電源５２は、カメラボディ４０に内蔵してある。

ボディＣＰＵ５０には、レリーズスイッチ５１、ストロボ５３、表示部５５、ジャイロセンサ７０、ＥＥＰＲＯＭ（メモリ）６０、防振スイッチ６２、防塵フィルタ駆動回路５６、画像処理コントローラ５９、ＡＦセンサ７２、防振追随制御ＩＣ７４などが接続してある。画像コントローラ５９には、インターフェース回路５７を介して、撮像素子ユニット４の撮像素子１２（図２参照）が接続してあり、撮像素子１２にて撮像された画像の画像処理を制御可能になっている。

ボディＣＰＵ５０は、レンズ鏡筒４２との通信機能と、カメラボディ４０の制御機能を有している。また、ボディＣＰＵ５０はＥＥＰＲＯＭ６０から入力された情報と、ジャイロセンサ７０からの出力を受けて算出したブレの角度、焦点距離情報、距離情報から、防振駆動部目標位置を算出し、その防振駆動部目標位置を防振追従制御ＩＣ７４へ出力する。また、ボディＣＰＵ５０は、ジャイロセンサ７０のセンサ出力を図示しないアンプを介してボディＣＰＵ５０に入力し、ジャイロセンサ７０の角速度を積分することによって、振れ角度を求める。

また、ボディＣＰＵは、レンズ鏡筒４２との装着が完全であるか否かの通信を行い、レンズＣＰＵ５８から入力された焦点距離、距離情報とジャイロセンサから目標位置を演算する。レリーズスイッチ５１が半押し時であれば、ＡＥ、ＡＦ、状況に応じて防振駆動等の撮影準備動作の指示を、レンズＣＰＵ５８と、防振追従制御ＩＣ７４とに出力する。全押し時にはミラー駆動、シャッター駆動、絞り駆動等の指示を出力する。

表示部５５は、主として液晶表示装置などで構成され、出力結果やメニューなどを表示する。レリーズスイッチ５１は、シャッター駆動のタイミングを操作するスイッチであり、ボディＣＰＵ５０にスイッチの状態を出力し、半押し時にはＡＦ、ＡＥ、状況により防振駆動を行い、全押し時には、ミラーアップ、シャッター駆動等を行う。

ミラー４６は、構図決定の際にファインダーに像を映し出すためのもので、露光中は光路から退避する。ボディＣＰＵ５０からレリーズスイッチ５１の情報が入力され、全押し時にミラーアップ、露光終了後にミラーダウンを行う。不図示のミラー駆動部（例えばＤＣモータ）により駆動される。ミラー４６には、サブミラー４６ａが連結してある。

サブミラー４６ａは、ＡＦセンサに光を送るためのミラーであり、ミラーを通過した光束を反射してＡＦセンサに導く。このサブミラー４６ａは、露光中は光路から退避する。

シャッタ部材４４は、露光時間を制御する機構である。ボディＣＰＵ５０からレリーズスイッチ５１の情報が入力され、全押し時にシャッター駆動を行う。不図示のシャッター駆動部（例えばＤＣモータ）により駆動される。

ＡＦセンサ７２は、オートフォーカス（ＡＦ）を行うためのセンサである。このＡＦセンサとしては、通常ＣＣＤが用いられる。防振スイッチ６２は、防振ＯＮ、ＯＦＦの状態を撮像素子ユニットＣＰＵに出力する。ジャイロセンサ７０は、ボディに生じるブレの角速度を検出し、ボディＣＰＵ５０に出力する。ＥＥＰＲＯＭ６０は、ジャイロセンサのゲイン値、角度調整値などの情報を有し、ボディＣＰＵに出力する。

防塵駆動フィルタ駆動回路５６は、図１および図２に示す圧電素子２０に接続してあり、所定条件を満足する場合に、圧電素子２０を駆動し、図４（Ｂ）および図４（Ｃ）に示すように、あるいは図５（Ｂ）および図５（Ｃ）に示すように、
ガラス板１８を振動させ、ガラス板１８の表面に付着している塵埃などを飛ばして除去する動作を行う。

たとえば圧電素子２０には、周期的な矩形波もしくはサイン波等の電圧を印加する。圧電素子２０に負の電圧を印加するとガラス板はたとえば上側に凸に変形し、逆に正の電圧を印加すると下側に凸に変形する。このように防塵フィルタ駆動回路５６を制御して圧電素子２０に周期的な電圧を印加することにより、塵がガラス面から受けた慣性力が塵の付着力を上回るとガラス面から離れる。

圧電素子２０の周期的な駆動は、低電圧でなるべく大きな振幅を得るために、ガラス板１８の表面を共振させる振動数で圧電素子２０を駆動させることが好ましい。共振する周波数は、形状と材質と支持の方法と振動モードによって決まる。ガラスを支持する部分では振幅０となる節位置にて支持するようにすることが好ましい。

本実施形態では、防塵駆動フィルタ駆動回路５６には、振動モード選択回路８０が接続してある。振動モード選択回路８０は、ボディＣＰＵ５０を通して、防塵駆動フィルタ駆動回路５６を制御する。振動モード選択回路８０による制御の詳細については、後述する。

防振追従制御ＩＣ７４は、防振制御を行うためのＩＣである。ボディＣＰＵ５０から入力された防振駆動部目標位置と、位置検出部から入力された防振駆動部位置情報から、防振駆動部移動量を算出し、防振駆動ドライバ７６へ出力する。すなわち、防振追随制御ＩＣ７４には、位置センサ３３からの撮像素子ユニットの位置信号が入力されると共に、ボディＣＰＵ５０からの出力信号が入力される。ボディＣＰＵ５０では、ジャイロセンサ７０の出力を受けて算出したブレの角度、焦点距離エンコーダで検出された焦点距離情報、距離エンコーダ６４で検出された距離情報などから、防振駆動部目標位置を算出し、その防振駆動部目標位置を防振追従制御ＩＣ７４へ出力する。

防振駆動ドライバ７６は、防振駆動部を制御するためのドライバであり、防振追従制御ＩＣから駆動量の入力を受けて、防振駆動部の駆動方向、駆動量を制御する。すなわち、防振駆動ドライバ７６は、防振追従制御ＩＣ７４からの入力情報に基づき、コイル２８ｘ，２８ｙに駆動電流を流し、撮像素子ユニット４を固定部６に対してＸ軸およびＹ軸方向に移動させ、像ブレ補正制御を行う。

図３に示すレンズ鏡筒４２には、焦点距離エンコーダ６６、距離エンコーダ６４、絞り部４７、絞り部４７を制御する駆動モータ６８、レンズＣＰＵ５８、ボディ部とのレンズ接点５４、及び、複数のレンズ群４８が具備してある。レンズ接点５４には、カメラボディ４０からレンズ駆動系電源を供給するための接点と、レンズＣＰＵ５８を駆動するためのＣＰＵ電源の接点とデジタル通信用の接点がある。

駆動系電源およびＣＰＵ電源はカメラボディ４０の電源５２から供給され、レンズＣＰＵ５８や駆動系の電源を供給している。デジタル通信用接点ではレンズＣＰＵ５８から出力された焦点距離、被写体距離、フォーカス位置情報等のデジタル情報をボディＣＰＵ５０に入力するための通信と、ボディＣＰＵ５０から出力されたフォーカス位置や絞り量等のデジタル情報をレンズＣＰＵ５８に入力するための通信を行う。ボディＣＰＵ５０からのフォーカス位置情報や絞り量情報を受けてレンズＣＰＵ５８がＡＦ、絞り制御を行う。

焦点距離エンコーダ６６は、ズームレンズ群の位置情報より焦点距離を換算する。すなわち、焦点距離エンコーダ６６は、焦点距離をエンコードし、レンズＣＰＵに出力する。

距離エンコーダ６４は、フォーカシングレンズ群の位置情報より被写体距離を換算する。すなわち、距離エンコーダ６４は、被写体距離をエンコードし、レンズＣＰＵに出力する。

レンズＣＰＵは、カメラボディ４０との通信機能、レンズ群４８の制御機能を有している。レンズＣＰＵには、焦点距離、被写体距離等が入力され、レンズ接点を介してボディＣＰＵ５０に出力する。ボディＣＰＵ５０からレンズ接点５４を介して、レリーズ情報、ＡＦ情報が入力される。

次に、主として図３〜図５に基づき、圧電素子２０によるガラス板１８の振動モードについて説明する。

本実施形態では、図３に示す振動モード選択回路８０から防塵フィルタ駆動回路５６に信号を送り、たとえば図４（Ｂ）に示すように、ガラス板１８をＸ軸方向に沿って１次振動モードで振動させる。ガラス板１８の寸法が横２０mm、縦２８mm、厚さ０．４mmとし、圧電素子２０の寸法が横４mm、縦１２mm、厚さ０．５mmとすると、図４（Ｂ）に示す１次振動モードの振動周波数は、たとえば約１２６０Ｈｚである。図４（Ｂ）は、ガラス板１８が上に凸の状態を示すが、実際には、下に凸の状態と上に凸の状態とを交互に繰り返して振動する。

ガラス板１８のＸ軸方向（長辺方向）に沿った２次振動モード（図示省略）の振動周波数は、たとえば約３７９０Ｈｚであり、図４（Ｃ）に示す３次振動モードの振動周波数は、たとえば約７６８９Ｈｚである。また、図５（Ｂ）に示すように、Ｙ軸方向（短辺方向）に沿った１次振動モードの振動周波数は、たとえば約３７００Ｈｚであり、図５（Ｃ）に示す３次振動モードの振動周波数は、たとえば約１６５００Ｈｚである。

これらの振動モードは、ガラス板１８におけるＸ軸方向の両端中央位置に配置してある一対の圧電素子２０を所定の周波数で駆動することで実現することができるが、場合によっては、ガラス板１８の四方位置に各々圧電素子２０を配置しても良い。

ただし、本実施形態のように、圧電素子２０を、ガラス板１８におけるＸ軸方向の両端中央位置のみに配置することで、ガラス板１８を大型にすることなく、有効に使用することができる部分（撮像素子が配置される部分）１２ａを大きく確保することができる。また、本発明では、ガラス板１８の四方位置のいずれか一つの位置のみに圧電素子２０を配置することでも、複数の振動モードを実現することができる。

本実施形態では、図３に示す振動モード選択回路８０に基づき、防塵駆動回路５６を制御して図４および図５に示すガラス板１８に生じさせる振動モードは、発生する加速度（ゴミを除去する力）や、節の位置を考慮して、複数の振動モードに切り替えられることが好ましい。なお、ガラス板１８における振動の節の位置では、振動しないためにゴミの除去が不十分となりがちであるので、圧電素子２０の駆動振動数を変えて振動モードを変えることにより、ガラス板１８の振動の節の位置を変化させ、ガラス板１８の全域に渡りゴミ除去が可能になる。

たとえば図４（Ｂ）に示すように、Ｘ軸方向に沿った１次の屈曲振動モードのみでは、十分なゴミ除去効果が得られない場合には、次のような制御を行う。すなわち、図３に示す振動モード選択手段８０から防塵フィルタ駆動回路５６に制御信号を送り、図４（Ｃ）に示すように、圧電素子２０の駆動周波数を高く設定し、ガラス板１８を３次の屈曲振動モードで振動させるのである。その場合には、より高いゴミ除去効果が得られる。

さらに、図３に示す振動モード選択手段８０から防塵フィルタ駆動回路５６に制御信号を送り、図５（Ｂ）および図５（Ｃ）に示すように、Ｙ軸方向に沿って、ガラス板１８を１次から３次の屈曲振動モードで振動させてもよい。さらに、Ｘ軸およびＹ軸方向の双方共に、さらに高次の屈曲振動モードを併用することも可能である。また、異なる屈曲振動モードを交互に繰り返す制御も可能であり、ゴミ除去効果が高まる。

一方、駆動回路のコストなどの制限により、上記のように広い範囲の駆動周波数（１２６０〜１６５００Ｈｚ）を用いられない場合には、Ｘ軸方向に沿った２次の屈曲振動モード（３７９０Ｈｚ）と、Ｙ軸に沿った１次の屈曲振動モード（約３７００Ｈｚ）とを用いてもよい。その場合には、小さい周波数の変化で、振動モードを変化させることができるので、必要な周波数範囲が狭くなり、駆動回路などを簡便且つ安価に構成することが可能となる。

また、本実施形態では、圧電素子２０に印加する駆動周波数を調整することにより、長方形のガラス板１８の縦横比に合った好適な励振が可能になる。また、Ｘ軸方向に沿った屈曲振動とＹ軸方向に沿った屈曲振動とのタイミングを適宜調整することによっても、長方形のガラス板１８の縦横比に合った好適な励振が可能になる。

さらに、本実施形態では、Ｘ軸方向に沿った屈曲振動とＹ軸方向に沿った屈曲振動との「タイミング」および/または「周波数」を異ならせることにより、Ｘ軸方向の振動とＹ軸方向の振動とが干渉し難くなる。

さらにまた、本実施形態では、Ｘ軸方向およびＹ軸方向の少なくとも一方について、複数の振動モードで透過性部材を屈曲振動させることにより、振動の節の位置と振動の腹の位置とが入れ替わり、常に振動しない位置（常に振動の節）が少なくなる。このため、ゴミが落ちない領域が少なくなる。

なお、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲内で種々に改変することができる。

たとえば、防塵性を有する光透過部材としては、ガラス板１８に限らず、その他の光透過部材を用いても良い。また、振動部材としては、圧電素子以外に、その他の振動部材を用いても良い。

２… ブレ補正装置
４… 撮像素子ユニット
１２… 撮像素子
１２ａ… 撮像素子が配置される部分
１８… ガラス板
２０… 圧電素子
５６… 防塵フィルタ駆動回路
８０… 振動モード選択回路

Claims (15)

1. 光学系による像を撮像する撮像部よりも前記光学系側に備えられ、光透過性を有する光透過性部材と、
   前記光透過性部材を屈曲振動させる振動部材と、
   前記振動部材を駆動することにより、第１方向に沿って前記光透過性部材を屈曲振動させるとともに、前記第１方向と交差する第２方向に沿って前記光透過性部材を屈曲振動させる駆動部とを含み、
   前記駆動部は、前記第１方向について、第１振動モード、前記第１振動モードよりも高次の第２振動モード、及び、前記第１振動モードよりも低次の第３振動モードで前記光透過性部材を屈曲振動可能であり、前記第２方向について、第４振動モードで前記光透過性部材を屈曲振動可能であり、
   前記第１振動モードにおける共振周波数は前記第４振動モードにおける共振周波数と略等しく、
   前記第２振動モードにおける共振周波数は前記第１振動モードにおける共振周波数及び前記第４振動モードにおける共振周波数よりも高く、
   前記第３振動モードにおける共振周波数は前記第１振動モードにおける共振周波数及び前記第４振動モードにおける共振周波数よりも低いことを特徴とする撮像装置。
2. 請求項１に記載された撮像装置であって、
   前記第１振動モードの振動の次数と、前記第４振動モードの振動の次数とは異なることを特徴とする撮像装置。
3. 請求項１又は請求項２に記載された撮像装置であって、
   前記第１振動モードにおける共振周波数は３７９０Ｈｚであり、前記第２振動モードにおける共振周波数は７６８９Ｈｚであり、前記第３振動モードにおける共振周波数は１２６０Ｈｚであり、前記第４振動モードにおける共振周波数は３７００Ｈｚであることを特徴とする撮像装置。
4. 請求項１から請求項３までの何れか１項に記載された撮像装置であって、
   前記駆動部は、前記振動部材を駆動することにより、前記光透過性部材に前記第１方向に沿った振動の節を持つ屈曲振動が生じるように第１周波数で前記光透過性部材を屈曲振動させるとともに、前記光透過性部材に前記第２方向に沿った振動の節を持つ屈曲振動が生じるように前記第１周波数とは異なる第２周波数で前記光透過性部材を屈曲振動させることを特徴とする撮像装置。
5. 請求項４に記載された撮像装置であって、
   前記駆動部は、前記第１周波数で前記光透過性部材を屈曲振動させるタイミングと、前記第２周波数で前記光透過性部材を屈曲振動させるタイミングとを異ならせることを特徴とする撮像装置。
6. 請求項１から請求項５までの何れか１項に記載された撮像装置であって、
   前記光透過性部材は矩形であることを特徴とする撮像装置。
7. 請求項１から請求項６までの何れか１項に記載された撮像装置であって、
   前記光透過性部材は前記撮像部と対向する平面を有し、前記第１方向及び前記第２方向は前記平面と平行な方向であることを特徴とする撮像装置。
8. 請求項１から請求項７までの何れか１項に記載された撮像装置を備えたことを特徴とする光学装置。
9. 第１方向に沿って光透過性部材を屈曲振動させるとともに、前記第１方向と交差する第２方向に沿って前記光透過性部材を屈曲振動させる方法であって、
   前記第１方向について、第１振動モード、前記第１振動モードよりも高次の第２振動モード、及び、前記第１振動モードよりも低次の第３振動モードで前記光透過性部材を屈曲振動させ、前記第２方向について、第４振動モードで前記光透過性部材を屈曲振動させることが可能であり、
   前記第１振動モードにおける共振周波数は前記第４振動モードにおける共振周波数と略等しく、
   前記第２振動モードにおける共振周波数は前記第１振動モードにおける共振周波数及び前記第４振動モードにおける共振周波数よりも高く、
   前記第３振動モードにおける共振周波数は前記第１振動モードにおける共振周波数及び前記第４振動モードにおける共振周波数よりも低いことを特徴とする方法。
10. 請求項９に記載された方法であって、
    前記第１振動モードの振動の次数と、前記第４振動モードの振動の次数とは異なることを特徴とする方法。
11. 請求項９又は請求項１０に記載された方法であって、
    前記第１振動モードにおける共振周波数は３７９０Ｈｚであり、前記第２振動モードにおける共振周波数は７６８９Ｈｚであり、前記第３振動モードにおける共振周波数は１２６０Ｈｚであり、前記第４振動モードにおける共振周波数は３７００Ｈｚであることを特徴とする方法。
12. 請求項９から請求項１１までの何れか１項に記載された方法であって、
    前記駆動部は、前記振動部材を駆動することにより、前記光透過性部材に前記第１方向に沿った振動の節を持つ屈曲振動が生じるように第１周波数で前記光透過性部材を屈曲振動させるとともに、前記光透過性部材に前記第２方向に沿った振動の節を持つ屈曲振動が生じるように前記第１周波数とは異なる第２周波数で前記光透過性部材を屈曲振動させることを特徴とする方法。
13. 請求項１２に記載された方法であって、
    前記駆動部は、前記第１周波数で前記光透過性部材を屈曲振動させるタイミングと、前記第２周波数で前記光透過性部材を屈曲振動させるタイミングとを異ならせることを特徴とする方法。
14. 請求項９から請求項１３までの何れかに記載された方法であって、
    前記光透過性部材は矩形であることを特徴とする方法。
15. 請求項９から請求項１４までの何れかに記載された方法であって、
    前記光透過性部材は前記撮像部と対向する平面を有し、前記第１方向及び前記第２方向は前記平面と平行な方向であることを特徴とする方法。

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