JP5253677B2 - ヘキサクロロジシラン含有蒸気の廃棄処理方法 - Google Patents
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Description
ヘキサクロロジシランは、チップ製造において増大する規模で使用されている。しばしば、これは、ＣＶＤプロセスを用いて気相を経て堆積される。この場合に、しかしながらなお蒸気が残留し、これらの蒸気は、堆積室を去った後に処理されなければならない。
米国特許出願公開(US-A1)第2009/0104100号明細書には、ヘキサクロロジシラン含有廃ガスの処理が記載されている。この場合に、前記廃ガスは、繁雑な装置中でまず最初に水分の排除下に酸化されてから、水が充填されているスクラバーに導通される。
ヘキサクロロジシランと水又は水分との反応の際に、一般的に、ＨＣｌガスが放出される。このガスはケイ素−ケイ素結合を攻撃する。これにより、Ｓｉ−Ｈ含有加水分解生成物が生じ、これらの生成物は機械的な接触の際に、例えば摩擦により、火花を発生しながら分解する。固体形の加水分解生成物は、それどころか水中で火花を発生しながら分解しうる。
本発明の課題は、技術水準を改善すること、特にヘキサクロロジシラン残留物が危険なく廃棄処理されることができる方法を提供することである。
この点では、蒸気あるいはまた液体ヘキサクロロジシランの危険のない廃棄処理を可能にする方法が探求されなければならなかった。ヘキサクロロジシランを尿素とアルコールとの混合物へ通す場合に、可燃性混合物が生じないことが見出された。
尿素が、一方では、放出されたＨＣｌを結合するのに十分に塩基性であるが、しかしながら他方では、ヘキサクロロジシランの転位に全く触媒作用を及ぼさないことが意外にも見出された。
本発明の対象は、ヘキサクロロジシラン含有蒸気の廃棄処理方法であって、ヘキサクロロジシラン含有蒸気が、以下：９００〜１１００ｈＰａ及び２５℃で液体の無極性炭化水素と、尿素と、９００〜１１００ｈＰａ及び２５℃で液体のアルコールとの混合物へ通されることにより特徴付けられる。
溶剤として、次の無極性炭化水素が使用されることができる：
好ましくは無極性炭化水素、例えば脂肪族又は芳香族の炭化水素、より好ましくは常圧（９００〜１１００ｈＰａ）で好ましくは１００℃未満の沸点を有する炭化水素をベースとする溶剤、好ましくは炭素原子１〜２０個を有する、より好ましくは炭素原子６〜１２個を有する炭化水素、特に好ましくはオクタン、ノナン、デカン、ベンゼン、トルエン、キシレン、その際にキシレンが特に好ましい。
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アルコールとして、次のものが使用されることができる：
好ましくは９００〜１１００ｈＰａ及び２５℃で液体であるアルコール、好ましくは全て９００〜１１００ｈＰａの圧力で５０℃〜１５０℃、より好ましくは９０℃〜１１０℃、特に好ましくは１００℃〜１２０℃の沸点を有し、好ましくは炭素原子１〜６個、好ましくは炭素原子３〜５個を有する、単官能性のアルコール、二官能性又は多官能性のアルコール、特に好ましくはペンタノール類、例えば１−ペンタノール、２−ペンタノール、３−ペンタノール並びに１−ブタノール、２−ブタノール、３−ブタノール、１−プロパノール、２−プロパノール、その際に３−ブタノールが特に好ましい。
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廃ガス処理するために高沸点アルコールを使用する場合には、アルコール１モルを基準として：
・尿素０．１〜０．５モル、特に好ましくは０．２〜０．４モル
・溶剤１０〜２００ｍｌ、特に好ましくは溶剤５０〜１００ｍｌが使用される。
・尿素０．１〜０．５モル、特に好ましくは０．２〜０．４モル
・溶剤１０〜２００ｍｌ、特に好ましくは溶剤５０〜１００ｍｌが使用される。
ヘキサクロロジシラン含有廃ガスの処理
ヘキサクロロジシランが窒素下に蒸留される装置からの廃ガスを、キシレン５０ｍｌ、ｔ−ブタノール５０ｍｌ及び尿素１０ｇの混合物に通す。混合物を、マグネチックスターラーを用いて撹拌する。ガス出口で、廃ガスをシリコーン油のみに通す装置とは異なり、金属と接触する際に発火する白色付着物は形成されない。
ヘキサクロロジシランが窒素下に蒸留される装置からの廃ガスを、キシレン５０ｍｌ、ｔ−ブタノール５０ｍｌ及び尿素１０ｇの混合物に通す。混合物を、マグネチックスターラーを用いて撹拌する。ガス出口で、廃ガスをシリコーン油のみに通す装置とは異なり、金属と接触する際に発火する白色付着物は形成されない。
本発明の範囲内で、それぞれ他に記載されない場合には、全ての量及びパーセントの記載は質量を基準としており、かつ全てのパーセントの記載は、全質量を基準としており、全ての温度は室温２５℃であり、かつ全ての圧力は周囲大気、すなわち９００〜１１００ｈＰａである。全ての粘度は、２５℃で測定される。
Claims (7)
- ヘキサクロロジシラン含有蒸気の廃棄処理方法であって、
ヘキサクロロジシラン含有蒸気を、９００〜１１００ｈＰａ及び２５℃で液体の無極性炭化水素と、尿素と、９００〜１１００ｈＰａ及び２５℃で液体のアルコールとを含有する混合物へ通す
ことを特徴とする、ヘキサクロロジシラン含有蒸気の廃棄処理方法。 - 炭化水素が常圧（９００〜１１００ｈＰａ）で１００℃未満の沸点を有する、請求項１記載のヘキサクロロジシラン含有蒸気の廃棄処理方法。
- 炭化水素が炭素原子１〜２０個を有する、請求項１又は２記載のヘキサクロロジシラン含有蒸気の廃棄処理方法。
- 炭化水素が炭素原子６〜１２個を有する、請求項３記載のヘキサクロロジシラン含有蒸気の廃棄処理方法。
- 炭化水素がキシレンである、請求項１から４までのいずれか１項記載のヘキサクロロジシラン含有蒸気の廃棄処理方法。
- アルコールが、炭素原子１〜６個を有するアルコールである、請求項１から５までのいずれか１項記載のヘキサクロロジシラン含有蒸気の廃棄処理方法。
- アルコールが、１−ペンタノール、２−ペンタノール、３−ペンタノール、１−ブタノール、２−ブタノール、３−ブタノール、１−プロパノール、２−プロパノールから選択される、請求項１から６までのいずれか１項記載のヘキサクロロジシラン含有蒸気の廃棄処理方法。
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