JP5269363B2 - アクチュエータにおける原点出し方法およびアクチュエータにおける原点出しストッパ装置 - Google Patents

Description

本発明は、作動領域端で、高速での原点復帰が可能となり、装置の原点出し時間の短縮を図ることができるアクチュエータにおける原点出し方法およびアクチュエータにおける原点出しストッパ装置に関する。

一般に、産業用ロボットとして利用される単軸ロボットアクチュエータは、駆動源にサーボモータ等を用いるとともに、この駆動源に連結されたボールネジが作動領域に設けられている。このボールネジにはボールナットが回転を規制された状態で、螺合しており、このボールナットにスライダが取付けられている。スライダには、作動領域内で作動させる各種の機器が搭載される。

この種の単軸ロボットアクチュエータでは、サーボモータを適宜の方向に回転させることによって、ボールネジを同方向に回転させ、ボールネジの回転に伴って移動するボールナットを介してスライダを適宜の方向に移動させることができる（特許文献１参照）。
スライダが往復動のストローク端の位置まで移動した後には逆方向のストローク端の位置に向けてスライダを駆動する。
実開昭６３−１２０７５２号公報 特開２００３−３０９９９０号公報 特開平７−１５１２０５号公報

スライダの移動をこのように制御する場合は、エンコーダなどによってモータの回転数を検出して、回転数からスライダの位置を検出するか、ストローク端にセンサを設けて往復動ストローク位置を検出する必要がある。
このようなストローク端の位置を検出してこの位置を動作基準点とし、スライダを制御するもので、この動作基準点を決定することを原点出しという。この原点出しには、通常位置検出センサを用いて制御部に原点位置を認識させている。
しかしながら、位置検出センサを用いた場合、配線、設置スペースおよび制御対象が増えるという問題がある。
そこで、位置検出センサを用いない方法として、モータのフィードバック制御を用いた原点出し方法がある。この種のアクチュエータにおける原点出し方法としては、モータのフィードバック制御を用いて、作動領域端のストッパにスライダを押し付けて原点を認識させる方法が考えられる（特許文献２参照）。
しかしながら、このようなストッパが可動部と可動端の間に緩衝用としてゴム材等の弾性体を用いた場合（特許文献３参照）、弾性体の経年劣化により原点位置の基準の再現性が取れない場合がある。また、ストッパ材を金属の剛体にした場合、緩衝効果がなく、原点復帰時は、アクチュエータの破損を避けるため、低速でストッパへ押し当てることとなる。結果、可動域の範囲が広い場合、原点復帰完了までには時間が必要となる。

本発明は、上記課題を解決し、作動領域端で、高速での原点復帰が可能となり、装置の原点出し時間の短縮を図ることができるアクチュエータにおける原点出し方法およびアクチュエータにおける原点出しストッパ装置を提供することを目的とする。

本発明は、上記課題を解決するため、ハウジング内に設けられた駆動機構によって一定の作動領域内で往復動操作されるスライダを停止させるストローク端に、緩衝材と剛体部からなるストッパ装置を配設し、上記スライダを通常の駆動速度で上記ストローク端まで移動させてストッパ装置の緩衝材に当接させて減速させ、さらにスライダを作動して、上記通常速度より極低速状態で上記ストッパ装置に押し当てて、緩衝材の弾性に抗して緩衝材を押し込み、該ストッパ装置の剛体部によってスライダを停止させて原点出しをするアクチュエータにおける原点出し方法において、上記ハウジングは、底面を構成する長尺のリニアガイドレールと、このリニアガイドレールの両側に設けられた一対のサイドカバーと、これらリニアガイドレールおよび一対のサイドカバーの前後方向の両側に装着される上記剛体部としてのフランジおよびブラケットと、これらフランジおよびブラケット相互間に上記一対のサイドカバー上面相互の間隙を塞ぐように上記ハウジングの開口溝に沿って配設された帯状のステンレスシートとで構成され、上記スライダは、上記ステンレスシートに摺動可能に装着された摺動部材と、上記一対のサイドカバーと上記ステンレスシートの上部側に、上記摺動部材を覆うように配置されたテーブルカバーと、上記摺動部材を保持するとともに、上記テーブルカバーの上面を通して被操作体を支持するスライダ本体とを備え、上記緩衝材として弾性体を用いるとともに、該弾性体を上記剛体部に、凹部の入り口側の径を拡大するように形成した座繰り穴に収容し、該弾性体を上記剛体部よりも突出させて配置し、上記スライダに当接した該弾性体が上記座繰り穴内で弾性変形してから、上記剛体部によって上記スライダを停止させ、上記スライダと上記剛体部が接触した状態で、原点出しをすることにある。
また、本発明は、ハウジング内に内蔵された駆動機構によって一定の作動領域内で往復動操作されるスライダを、停止させるハウジング両側のストローク端に、スライダを停止させる剛体部を設け、該剛体部の上記スライダに対向する面に凹部を形成し、該凹部内に上記剛体部の端面よりも突出させて弾性体を配設し、上記スライダを上記弾性体によって減速させてから、上記剛体部によって原点位置で停止させるようにしたアクチュエータにおける原点出しストッパ装置において、上記ハウジングは、底面を構成する長尺のリニアガイドレールと、このリニアガイドレールの両側に設けられた一対のサイドカバーと、これらリニアガイドレールおよび一対のサイドカバーの前後方向の両側に装着される上記剛体部としてのフランジおよびブラケットと、これらフランジおよびブラケット相互間に上記一対のサイドカバー上面相互の間隙を塞ぐように上記ハウジングの開口溝に沿って配設された帯状のステンレスシートとで構成され、上記スライダは、上記ステンレスシートに摺動可能に装着された摺動部材と、上記一対のサイドカバーと上記ステンレスシートの上部側に、上記摺動部材を覆うように配置されたテーブルカバーと、上記摺動部材を保持するとともに、上記テーブルカバーの上面を通して被操作体を支持するスライダ本体とを備え、上記剛体部に凹部の入り口側の径を拡大するように座繰り穴を形成し、該座繰り穴に上記弾性体を収容したことにある。
さらに、本発明は、上記弾性体にゴム材あるいは低反発ゴム材を用いたことにある。

本発明によれば、位置検出センサを用いず、モータに複雑な制御対象を増やすことなく、繰り返しの原点出しに再現性を持たせることができる。また、スライダに当接した該弾性体が上記座繰り穴内で弾性変形して座繰り穴内に収まるので、剛体部によって上記スライダを一定位置で停止させることができることから、常に一定位置での原点出しを行なうことができる。
本発明によれば、弾性体によってスライダの速度を減速させてから剛体によってスライダを停止させるので、高速での原点復帰が可能である。また、座繰り穴に上記弾性体を収容できるので、弾性体が経年劣化によって変形しても、剛体部で常時原点復帰の基準が決定されることから、安定した位置決め基準を保つことができる。
本発明によれば、スライダの速度を効果的に減速することができるので、高速での原点出しを行なうことができることから原点出し時間の短縮を図ることができる。

以下図示の実施の形態を、図面を参照しながら詳細に説明する。
図１ないし図６は単軸ロボットアクチュエータを示し、図９はシートを組み付けた摺動部材を示す図である。図１０は可動スライダを示す図である。

図１ないし図６は、単軸ロボットアクチュエータを示したもので、アクチュエータ１の機構部１Ａと駆動部１Ｂとで構成されている。

上記機構部１Ａは、ハウジング２Ａ内にボールネジ軸３とボールネジナット４を内蔵し、ボールネジナット４と共に移動する可動スライダ５がハウジング２Ａ上面に設けられている。ハウジング２Ａは、底面を構成する長尺のリニアガイドレール６と、このリニアガイドレール６の両側に設けられた一対のサイドカバー７と、これらリニアガイドレール６および一対のサイドカバー７の前後方向の両側に装着される剛体部としてのフランジ８およびブラケット９と、これらフランジ８およびブラケット９相互間に上記一対のサイドカバー７上面相互の間隙を塞ぐようにハウジング２Ａの開口溝２ａに沿って配設された帯状のステンレスシート１０とで構成されている。

上記ボールネジ軸３は一端を回転軸受け１１を介して上記フランジ８に支持され、他端を回転軸受け１２を介してブラケット９に支持されている。このボールネジ軸３の他端の先は、カップリング１３を介して駆動部１Ｂに設けられたサーボモータ１４の回転軸１４ａに連結している。

可動スライダ５は、ハウジング２Ａの上面に長手方向、すなわち上記開口溝２ａに沿ってスライドするもので、この可動スライダ５は、図９に示すように、上記一対のサイドカバー７とステンレスシート１０の上部側に、後述する摺動部材１６を覆うように配置された箱形のテーブルカバー１５と、上記ステンレスシート１０に摺動可能に装着された摺動部材１６と、この摺動部材１６を保持するとともに、上記テーブルカバー１５の上面を通して被操作体を支持するスライダ本体１７とを備えている。このスライダ本体１７は、上記リニアガイドレール６に沿って摺動可能に配設されたリニアガイドブロック１８と一体的に設けられており、上記ボールネジナット４の移動とともに上記ボールネジ軸３に沿ってハウジング２Ａ内を往復動作されるものである。

このスライダ本体１７は、図１０（ａ）（ｂ）（ｃ）および図１１（ａ）（ｂ）に示すように、略四角形の上面の四隅に支柱１７ａが立設され、かつ上面の前後方向を斜面に形成された台形の凸面部１７ｂが設けられている。この凸面部１７ｂの両側を挟むように上記前後一対の支柱１７ａが設けられており、前部の支柱１７ａ相互間および後部の支柱１７ａ相互間を連結部材１７ｃでそれぞれ連結している。上記支柱１７ａの上面には、被操作体を支持するネジ孔等の螺子孔となる取付部１７ｄが設けられている。上記ステンレスシート１０はスライダ本体１７の凸面部１７ｂと連結部材１７ｃとの間隙１７ｆを通して組み付けられている（図９参照）。上記スライダ本体１７の凸面部１７ｂの上面には、上記摺動部材１６の後述する樹脂シャフト２１にそれぞれ対応する断面円弧状の２つの凹条１７ｅが幅方向に沿って形成されている。上記スライダ本体１７には、テーブルカバー１５を組み付けるためのネジ孔１７ｇが連結部材１７ｃの上面中央部に形成され、上記支柱１７ａの外側面には、上面に取付孔１７ｈを形成した突起部１７ｉが外方に向けて突設されている。

上記摺動部材１６は、図９に示すように、互いに所定間隔を置いて対向する長尺の樹脂プレートから構成された一対のローラーホルダ１９と、これら一対のローラーホルダ１９の前端部相互間および後端部相互間を互いに連結したステンレス製のシャフト２０₁，２０₂と、一対のローラーホルダ１９の中間部相互間を互いに連結した樹脂製のシャフト２１とで、構成されている。ローラーホルダ１９は、合成樹脂材料により成形された長尺のプレート薄板状に構成されており、上記スライダ本体１７の支柱１７ａに対応する上記プレートの外側側面に、前後方向に一定長さの凹部１９ａが内側に向けて２箇所形成され、かつ下面側にも前後方向に一定長さの切り欠き部１９ｂが２箇所形成されている。

上記シャフト２０₁，２０₂は、図９に示すように、ステンレス製のもので、一対のローラーホルダ１９の凹部１９ａよりも前側および後側の内側面に形成された凹状の軸受けハウジング１９ｃに軸受け２２を介して支持されており、このシャフト２０₁，２０₂の途中には、それぞれゴム等の弾性体で成形されたＯリング等の弾性ローラ２３が複数個（図示例では２個）互いに所定間隔を置いて装着されている。ローラーホルダ１９の軸受けハウジング１９ｃは、樹脂成形されるローラーホルダ１９の成形時に一体に成形されている。

一方、上記樹脂シャフト２１は、図９に示すように、ローラーホルダ１９の中間部相互間を連結したもので、ローラーホルダ１９に設けられた２箇所の凹部１９ａの間で、上記シャフト２０₁，２０₂の位置よりも、スライダ本体１７の凸面部１７ｂの高さを考慮して、わずかに上方に配置されている。上記樹脂シャフト２１は、実施例では、ローラーホルダ１９の長手方向にずらせて２本設けられているが、必要に応じて１本あるいは３本以上設けることもできる。この樹脂シャフト２１は、軸方向に沿って径の大きい大径部２１ａと、径の小さい小径部２１ｂが一定間隔で交互に設けられている。上記樹脂シャフト２１は、両端を上記ローラーホルダ１９の側面に固定してもよく、あるいは回動可能に組みつけてもよい。また、大径部２１ａと小径部２１ｂは、軸方向に凹凸が設けられていれば良く、グリス等の潤滑油が外部に流出しない程度の径の差を設けて形成されている。

上記摺動部材１６は、図９に示すように、一対のローラーホルダ１９と、シャフト２０₁，２０₂と、樹脂シャフト２１とで囲まれる開口部２４に、上記スライダ本体１７の支柱１７ａおよび連結部材１７ｃを合わせてスライダ本体１７に組付けられている。上記摺動部材１６は、一対のローラーホルダ１９の切り欠き部１９ｂを上記スライダ本体１７の突起部１７ｉに係合させて上記スライダ本体１７に組み付けられており、一対のローラーホルダ１９が上記スライダ本体１７の支柱１７ａの外側面にガイドされて位置決めされている。上記摺動部材１６の樹脂シャフト２１は、上記スライダ本体１７の凸面部１７ｂの２つの凹条１７ｅに対応するように配置されている。

上記ステンレスシート１０は、上記摺動部材１６の片側のシャフト２０₁（２０₂）の下方開口を通してスライダ本体１７の凸面部１７ｂと連結部材１７ｃとの間隙１７ｆの一方から、樹脂シャフト２１の上面を通して反対側の間隙１７ｆを通して、他方側の上記摺動部材１６のシャフト２０₂（２０₁）の下面側を通して組み付けられている。上記摺動部材１６のシャフト２０₁，２０₂は、スライダ本体１７の凸面部１７ｂの外側で、上記ステンレスシート１０を、上記一対のサイドカバー７上面に押し付けるように配置されている。

上記テーブルカバー１５は、図９に示すように、四角形の上面１５Ａと、上面１５Ａの四辺に、斜め下方向に向けて設けられた側壁面１５Ｂとで蓋形状に形成されており、上記摺動部材１６の上から被せるようにしてスライダ本体１７に組みつけられている。テーブルカバー１５の上面１５Ａ四隅には、スライダ本体１７の支柱１７ａに対応するように開口穴１５ａが形成されており、この開口穴１５ａに支柱１７ａの先端が組み付けられている。この支柱１７ａの先端の取付部１７ｄに被操作体を組付けるものである。テーブルカバー１５の上面１５Ａ中央部両側には、２箇所の取付穴１５ｂが形成されており、この取付穴１５ｂに図示しないネジを通して、上記スライダ本体１７の連結部材１７ｃに形成したネジ孔１７ｇに螺合している。上記テーブルカバー１５の幅方向の側壁面１５Ｂには、それぞれ内側に向けて凹部１５ｃが２箇所に設けられており、この凹部１５ｃにスライダ本体１７の突起部１７ｉに設けられた係合部１７ｊに係合する開口部１５ｄが設けられている。

上記フランジ８およびブラケット９には、図４ないし図８に示すように、可動スライダ５に対向する面に、それぞれ凹部８ａ，９ａが形成されており、この凹部８ａ，９ａにはゴム材、あるいは低反発ゴム材で形成した円柱状の弾性体２５，２６が緩衝材として配設されている。この弾性体２５，２６は、剛体部としての上記フランジ８およびブラケット９の表面よりも突出するようにして凹部８ａ，９ａに接着あるいは圧入によって配設されており、上記フランジ８およびブラケット９の面よりも先に弾性体２５，２６が可動スライダ５に当接して可動スライダ５の速度を減速させるものである。
この弾性体２５，２６の周囲の上記フランジ８およびブラケット９の面には、凹部８ａ，９ａの入り口側の径を拡大するように、座繰り穴８ｂ，９ｂが形成されている。剛体部としての上記フランジ８およびブラケット９は、衝撃吸収部としての弾性体２５，２６とともに、それぞれストッパ装置が構成されている。
上記フランジ８およびブラケット９には、上記ステンレスシート１０の前後の両端部を押えるシート押さえ２７，２８が設けられている。

上記駆動部１Ｂに設けられたモータ１４は、ハウジング２Ｂ内に収納されており、このハウジング２Ｂの後端には、モータ１４に電力および駆動信号を送るケーブルコネクタ２９を収納する端末カバー３０が、着脱可能に装着されている。端末カバー３０は、モータ１４後端と一定の空間を形成するように箱形に形成されており、下部側の一側を切り欠いて凹部３０ａを形成し、この凹部３０ａの下面側にケーブル３１を通す相通孔３０ｂが形成されている。

次に、単軸ロボットアクチュエータの作動に先立ってアクチュエータの原点出し方法を説明する。
原点出しは、可動スライダ５を通常速度で駆動し、たとえば、上記フランジ８に向けて走行させる。可動スライダ５は、スライダ本体１７が弾性体２５に当接し、弾性体２５を変形させる。弾性体２５は変形しながら押し潰させて座繰り穴８ｂ内に圧縮され座繰り穴８ｂ内に収納される。こうして、可動スライダ５は、スライダ本体１７が剛体部としてのフランジ８表面に当接して停止される。このようにして、片方の位置決めが図られて原点出しが行なわれる。また、逆方向に同様の動作が可能であり、可動スライダ５を作動し、可動スライダ５をブラケット９に向けて走行させて、スライダ本体１７を弾性体２６に当接させ、弾性体２６を圧縮させる。そして、弾性体２６を変形させて座繰り穴９ｂ内に収納させる。スライダ本体１７は、剛体部としてのブラケット９表面に当接して停止され、原点出しが行なわれる。こうして、原点出しが行なわれると、この位置を基準にして制御部では、可動スライダ５の制御を開始する。

そして、原点出しされたデータをもとに制御部では、可動スライダ５の往復動制御を開始する。通常の走行に際しては、駆動コントローラからケーブル３１を介して駆動信号が送られると、ケーブルコネクタ２９を通してモータ１４に駆動信号が送られ、モータ１４を回転駆動する。モータ１４の回転は、カップリング１３を介してボールネジ軸３に伝達され、ボールネジ軸３の回転にともなって、ボールネジナット４がボールネジ軸３に沿って移動する。そして、ボールネジナット４と一体に移動するスライダ本体１７が、上記リニアガイドレール６に沿って摺動可能に配設されたリニアガイドブロック１８とともに移動を開始する。こうして、スライダ本体１７とともに可動スライダ５が移動し、可動スライダ５に装着された被操作体を移動操作する。可動スライダ５はテーブルカバー１５の内部で、ステンレスシート１０を摺動部材１６で支え、摺動部材１６の弾性ローラ２３と樹脂シャフト２１によって、ステンレスシート１０を保持する。ステンレスシート１０は片側のシャフト２０₁（２０₂）の弾性ローラ２３の下面側を通して、樹脂シャフト２１の上面側を通し、他方側のシャフト２０₂（２０₁）の弾性ローラ２３の下面側を通して組み付けられている。摺動部材１６の弾性ローラ２３は、シャフト２０₁，２０₂とともに自由に回転するので、可動スライダ５の移動をスムーズに行なうことができる。また、摺動部材１６の樹脂シャフト２１は、合成樹脂で形成されているので、ステンレスシート１０の滑りが良く、可動スライダ５の移動を効率的に行なうことができる。
こうして、可動スライダ５はボールネジ軸３によって、開口溝２ａに沿って往復動され、可動スライダ５の取付部１７ｄに取付けられた被操作体を往復制御する。

上記実施の形態によると、両端の原点出しが行なわれると、この位置を基準にして制御部では、可動スライダ５の制御を開始するので、原点位置の基準の再現性が確保され、安定した位置決め基準が保たれることから、確実な往復動制御を行なうことができる。弾性体２５，２６は、座繰り孔８ｂ，９ｂ内に弾性変形して圧縮されるので、可動スライダ５は、フランジ８およびブラケット９に当接して原点位置が決められることから、原点位置の基準が変動しない。よって、確実な往復動駆動を行なうことができる。

また、可動スライダ５は、スライダ本体１７に、摺動部材１６を組付け、摺動部材１６の上にテーブルカバー１５を被せて一体に組み付けられる。さらに、摺動部材１６を、樹脂材料で成形した一対のローラーホルダ１９と、これら一対のローラーホルダ１９の前端部相互間および後端部相互間を互いに連結したステンレス製のシャフト２０₁，２０₂と、一対のローラーホルダ１９の中間部相互間を互いに連結した樹脂シャフト２１とで構成し、シャフト２０₁，２０₂の途中には、それぞれゴム等の弾性体で成形されたＯリング等の一対の弾性ローラ２３が互いに所定間隔を置いて装着されているので、軽量で、かつステンレスシート１０との滑りが良好である。また、ステンレスシート１０との接触が滑らかであることからステンレスシート１０に必要以上の負荷を加えず、ステンレスシート１０の耐久性の向上を図ることができる。

またさらに、摺動部材１６の上にテーブルカバー１５を被せて一体に組み付けているので、内部のスライダ本体１７等が側壁面１５Ｂによって外部から見えず外観の向上を図ることができるとともに、外部から埃、ごみ等が入り込まない。また、中間部相互間を互いに連結した樹脂シャフト２１には、大径部２１ａと小径部２１ｂを設けているので、グリス等の潤滑油が小径部２１ｂに溜まり外部に漏れ出る虞がない。さらに、被操作体を取付部１７ｄに取付けることによって、可動スライダ５に被操作体を取付けることができるので、被操作体を強固に固定することができる。可動スライダ５をコンパクトな構成にすることができるので、アクチュエータ１の全長を短縮して小型化を図ることができる。またさらに、前部の支柱１７ａ相互間および後部の支柱１７ａ相互間を連結部材１７ｃでそれぞれ連結しているので、応力が集中する肉厚の薄い部分あるいは被操作体の取付部の剛性を確保することができる。

なお、本発明は、上記実施の形態のみに限定されるものではなく、例えば、本実施の形態では、可動スライダ５は、剛体部であるフランジ８およびブラケット９に当接して原点位置を決めているが、可動スライダ５に図４に示すようなストッパ３２を設けて、このストッパ３２を、たとえばフランジ８（もしくはブラケット９）側に設けられた固定部３３に当接させて原点出しを行なうようにすることもできる。これによって、フランジ８および可動スライダ５相互の接触に伴う損傷などを防ぐことができる。など、その他、本発明の要旨を変更しない範囲内で適宜変更して実施し得ることはいうまでもない。

本発明の実施の形態によるロボットアクチュエータにおけるスライダ構造を示す平面図である。 本発明の実施の形態によるロボットアクチュエータにおけるスライダ構造を示す正面図である。 図１のＡ−Ａ線断面図である。 図２のＢ−Ｂ線断面図である。 図２のＣ−Ｃ線断面図である。 図２のＤ−Ｄ線断面図である。 図５のＦ−Ｆ線断面図である。 図６のＧ−Ｇ線断面図である。 図１の可動スライダを示す分解斜視図である。 スライダ本体を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）は右側面図である。 （ａ）は、図１０（ｂ）のＨ−Ｈ線断面図、（ｂ）は図１０（ａ）のＩ−Ｉ線断面図である。 ステンレス製のシートを組み付けた摺動部材を示し、図９のＪ−Ｊ線断面図である。

符号の説明

１ アクチュエータ
１Ａ 機構部
１Ｂ 駆動部
２Ａ，２Ｂ ハウジング
３ ボールネジ軸
４ ボールネジナット
５ 可動スライダ
６ リニアガイドレール
７ サイドカバー
８ フランジ（剛体部）
８ｂ 座繰り孔
９ ブラケット（剛体部）
９ｂ 座繰り孔
１０ ステンレスシート
１１，１２ 回転軸受け
１３ カップリング
１４ サーボモータ（モータ）
１５ テーブルカバー
１６ 摺動部材
１７ スライダ本体
１７ａ 支柱
１７ｂ 凸面部
１７ｃ 連結部材
１７ｄ 取付部
１７ｅ 凹条
１８ リニアガイドブロック
１９ ローラーホルダ
１９ｃ 軸受けハウジング
２０₁，２０₂ ステンレス製のシャフト
２１ 樹脂シャフト
２２ 軸受け
２３ 弾性ローラ
２４ 開口部
２５，２６ 弾性体
２７，２８ シート押さえ
３０ 端末カバー

Claims (3)

1. ハウジング内に設けられた駆動機構によって一定の作動領域内で往復動操作されるスライダを停止させるストローク端に、緩衝材と剛体部からなるストッパ装置を配設し、上記スライダを通常の駆動速度で上記ストローク端まで移動させてストッパ装置の緩衝材に当接させて減速させ、さらにスライダを作動して、上記通常速度より極低速状態で上記ストッパ装置に押し当てて、緩衝材の弾性に抗して緩衝材を押し込み、該ストッパ装置の剛体部によってスライダを停止させて原点出しをするアクチュエータにおける原点出し方法において、
   上記ハウジングは、底面を構成する長尺のリニアガイドレールと、このリニアガイドレールの両側に設けられた一対のサイドカバーと、これらリニアガイドレールおよび一対のサイドカバーの前後方向の両側に装着される上記剛体部としてのフランジおよびブラケットと、
   これらフランジおよびブラケット相互間に上記一対のサイドカバー上面相互の間隙を塞ぐように上記ハウジングの開口溝に沿って配設された帯状のステンレスシートとで構成され、
   上記スライダは、上記ステンレスシートに摺動可能に装着された摺動部材と、
   上記一対のサイドカバーと上記ステンレスシートの上部側に、上記摺動部材を覆うように配置されたテーブルカバーと、
   上記摺動部材を保持するとともに、上記テーブルカバーの上面を通して被操作体を支持するスライダ本体とを備え、
   上記緩衝材として弾性体を用いるとともに、該弾性体を上記剛体部に、凹部の入り口側の径を拡大するように形成した座繰り穴に収容し、該弾性体を上記剛体部よりも突出させて配置し、上記スライダに当接した該弾性体が上記座繰り穴内で弾性変形してから、上記剛体部によって上記スライダを停止させ、上記スライダと上記剛体部が接触した状態で、原点出しをすることを特徴とするアクチュエータにおける原点出し方法。
2. ハウジング内に内蔵された駆動機構によって一定の作動領域内で往復動操作されるスライダを、停止させるハウジング両側のストローク端に、スライダを停止させる剛体部を設け、該剛体部の上記スライダに対向する面に凹部を形成し、該凹部内に上記剛体部の端面よりも突出させて弾性体を配設し、上記スライダを上記弾性体によって減速させてから、上記剛体部によって原点位置で停止させるようにしたアクチュエータにおける原点出しストッパ装置において、
   上記ハウジングは、底面を構成する長尺のリニアガイドレールと、このリニアガイドレールの両側に設けられた一対のサイドカバーと、これらリニアガイドレールおよび一対のサイドカバーの前後方向の両側に装着される上記剛体部としてのフランジおよびブラケットと、
   これらフランジおよびブラケット相互間に上記一対のサイドカバー上面相互の間隙を塞ぐように上記ハウジングの開口溝に沿って配設された帯状のステンレスシートとで構成され、
   上記スライダは、上記ステンレスシートに摺動可能に装着された摺動部材と、
   上記一対のサイドカバーと上記ステンレスシートの上部側に、上記摺動部材を覆うように配置されたテーブルカバーと、
   上記摺動部材を保持するとともに、上記テーブルカバーの上面を通して被操作体を支持するスライダ本体とを備え、
   上記剛体部に凹部の入り口側の径を拡大するように座繰り穴を形成し、該座繰り穴に上記弾性体を収容したことを特徴とするアクチュエータにおける原点出しストッパ装置。
3. 上記弾性体にゴム材あるいは低反発ゴム材を用いたことを特徴とする請求項２に記載のアクチュエータにおける原点出しストッパ装置。

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