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JP5274497B2 - Manufacturing method of sensor cap - Google Patents
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method of manufacturing a sensor cap, capable of increasing the flatness of a contact surface of a flange coming into contact with a diaphragm, when a sensor cap is formed by press working. <P>SOLUTION: The sensor cap 10 of a diaphragm type pressure sensor includes a closed-end cylindrical cap part 11, the flange 12 projecting from an opening end of the cap part 11, the contact surface 13 of the diaphragm formed of the surface on the outer peripheral side of the surface of the flange 12, and an escape part 14 of the diaphragm disposed inside the contact surface 13. In the method of manufacturing the sensor cap 10, an intermediate molding 2 having the cap part 11 and flange 12 is formed from a flat metal plate 1 by press working, then the escape part 14 is formed by single press working, and simultaneously many regularly arranged dimples 15 are formed on the backside of the contact surface 13 of the flange 12. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&amp;INPIT

Description

本発明は、センサキャップの製造方法に関するものであり、詳しくは、ダイアフラムの変形によって流体圧の変化を検出するダイアフラム型圧力センサに用いられるセンサキャップの製造方法に関するものである。   The present invention relates to a method for manufacturing a sensor cap, and more particularly, to a method for manufacturing a sensor cap used in a diaphragm type pressure sensor that detects a change in fluid pressure by deformation of the diaphragm.

流体経路において流体圧の変化を検出する圧力センサとしては種々のものがあるが、中には、例えば図3に示すように、薄い金属板からなるダイアフラム130を用い、このダイアフラム130の変形によって流体圧が所定以上に高くなったことや所定以下に低くなったことを検出するダイアフラム型圧力センサ100がある。   There are various types of pressure sensors for detecting a change in fluid pressure in the fluid path. Among them, for example, as shown in FIG. 3, a diaphragm 130 made of a thin metal plate is used. There is a diaphragm type pressure sensor 100 that detects that the pressure is higher than a predetermined value or lower than a predetermined value.

このダイアフラム型圧力センサ100は、螺着や溶着等によって流体経路に取付けられて内面に流体圧が加わる筒状のセンサ本体110と、このセンサ本体の端部に張設されたダイアフラム130とを備えるものであり、流体圧の変化によって生じるダイアフラム130の変形を歪みセンサ140によって感知するものである。   The diaphragm type pressure sensor 100 includes a cylindrical sensor body 110 that is attached to a fluid path by screwing, welding, or the like, and in which fluid pressure is applied to the inner surface, and a diaphragm 130 that is stretched at an end of the sensor body. The deformation of the diaphragm 130 caused by the change in fluid pressure is sensed by the strain sensor 140.

なお、図3においては、ダイアフラム130に搭載した歪みセンサ140によってダイアフラム130の変形を感知するタイプのダイアフラム型圧力センサ100を例示しているが、ダイアフラム型圧力センサ100としては、これに限らず、歪みセンサ140を内蔵したダイアフラム130を用いたものや、歪みセンサ140自体がシート状であり、この歪みセンサ140によってダイアフラム130が構成されたもの等、種々のタイプのものがある。   3 illustrates a diaphragm type pressure sensor 100 of a type in which the deformation of the diaphragm 130 is sensed by the strain sensor 140 mounted on the diaphragm 130. However, the diaphragm type pressure sensor 100 is not limited to this. There are various types such as those using the diaphragm 130 with the built-in strain sensor 140 and those in which the strain sensor 140 itself has a sheet shape and the diaphragm 130 is configured by the strain sensor 140.

ところで、この種のダイアフラム型圧力センサ100では、ダイアフラム130や歪みセンサ140を保護するためにセンサキャップ120が取付けられている。そして、センサキャップ120は、有底筒状のキャップ部121と、このキャップ部121の開口端から径方向に突出するフランジ部122とを有するものであり、フランジ部122がダイアフラム130の外周縁部分に当接するものである。   By the way, in this type of diaphragm type pressure sensor 100, a sensor cap 120 is attached to protect the diaphragm 130 and the strain sensor 140. The sensor cap 120 includes a bottomed cylindrical cap portion 121 and a flange portion 122 that protrudes in the radial direction from the opening end of the cap portion 121, and the flange portion 122 is an outer peripheral edge portion of the diaphragm 130. It abuts against.

また、センサキャップ120のフランジ部122の表面においては、ダイアフラム130が流体圧の変化によって的確に変形するようダイアフラム130の十分な有効面積を確保すべく、キャップ部121の開口周りである内周側にダイアフラム130と非接触になる逃がし部124が設けられており、この逃がし部124周りのフランジ部122表面、すなわちフランジ部122の外周側の面が、ダイアフラム130と接触する接触面123になっている。   In addition, on the surface of the flange portion 122 of the sensor cap 120, an inner peripheral side around the opening of the cap portion 121 in order to ensure a sufficient effective area of the diaphragm 130 so that the diaphragm 130 is accurately deformed by a change in fluid pressure. An escape portion 124 that is not in contact with the diaphragm 130 is provided, and the surface of the flange portion 122 around the escape portion 124, that is, the outer peripheral surface of the flange portion 122 becomes a contact surface 123 that contacts the diaphragm 130. Yes.

なお、図3に示したダイアフラム型圧力センサ100では、センサ本体10の端面とセンサキャップ120のフランジ部122との間にダイアフラム130が配置され、センサ本体110、ダイアフラム130及びセンサキャップ120の外周縁をレーザー加工等によって溶着することで(図3における薄墨部分A)、センサ本体110とセンサキャップ120との間にてダイアフラム130が挟持されるように、センサ本体110、ダイアフラム130及びセンサキャップ120が一体化されている。   In the diaphragm type pressure sensor 100 shown in FIG. 3, the diaphragm 130 is disposed between the end surface of the sensor body 10 and the flange portion 122 of the sensor cap 120, and the outer peripheral edges of the sensor body 110, the diaphragm 130, and the sensor cap 120. Is welded by laser processing or the like (light ink portion A in FIG. 3), the sensor body 110, the diaphragm 130, and the sensor cap 120 are arranged so that the diaphragm 130 is sandwiched between the sensor body 110 and the sensor cap 120. It is integrated.

また、センサ本体110は、センサキャップ120と同様に、筒状の本体部111の端部にフランジ部112を有するものであり、センサ本体110のフランジ部112の表面には、内周側に逃がし部114が設けられており、逃がし部114周りの面がダイアフラム130の接触面113になっている。   Similarly to the sensor cap 120, the sensor main body 110 has a flange portion 112 at the end of the cylindrical main body portion 111, and the surface of the flange portion 112 of the sensor main body 110 escapes to the inner peripheral side. A portion 114 is provided, and a surface around the relief portion 114 is a contact surface 113 of the diaphragm 130.

ダイアフラム型圧力センサのセンサ本体は切削加工によって形成されるのが通常であり、センサキャップも、切削加工によって形成されるのが一般的であるが、近年においては、プレス加工によって形成したセンサキャップもある。   The sensor body of a diaphragm type pressure sensor is usually formed by cutting, and the sensor cap is also generally formed by cutting. In recent years, sensor caps formed by pressing are also is there.

しかしながら、センサキャップをプレス加工品によって形成すると、次のような問題が生じる。   However, when the sensor cap is formed of a press-processed product, the following problem occurs.

ダイアフラムに接触してセンサ本体とでダイアフラムを挟持するフランジ部の接触面において、切削加工であれば、高度な平坦度を確保することができるのであるが、プレス加工品では、高度な平坦度を確保することが困難である。この理由は、平板状の金属板をプレス加工によって端部にフランジ部を有する筒状に形成するには、複数段階のプレス加工を経る絞り加工が行われるのであるが、このような複数段階のプレス加工を経る絞り加工によると、フランジ部の表面にショックラインが生じるためである。   A high degree of flatness can be ensured by cutting on the contact surface of the flange portion that contacts the diaphragm and clamps the diaphragm with the sensor body. It is difficult to secure. The reason for this is that in order to form a flat metal plate into a cylindrical shape having a flange portion at the end by pressing, drawing processing through multiple stages of pressing is performed. This is because a shock line is generated on the surface of the flange portion according to the drawing process through the press process.

また特に、図3及び図4に示すように、フランジ部122の表面の内周側にダイアフラム130の逃がし部124を有するセンサキャップ120では、逃がし部124をプレス加工によって形成する際に、フランジ部122表面の外周側の面である接触面123の材料、所謂「肉」が逃がし部124側に引っ張られてしまう。よって、高度な平坦度が要求されるフランジ部122の接触面123において、要求される平坦度を得ることは非常に困難である。   In particular, as shown in FIGS. 3 and 4, in the sensor cap 120 having the relief portion 124 of the diaphragm 130 on the inner peripheral side of the surface of the flange portion 122, the flange portion is formed when the relief portion 124 is formed by press working. 122, the material of the contact surface 123, which is the outer peripheral surface of the surface, so-called “meat” is pulled to the escape portion 124 side. Therefore, it is very difficult to obtain the required flatness at the contact surface 123 of the flange portion 122 that requires high flatness.

従って、図5に示すように、プレス加工によって単に形成しただけの従来のセンサキャップ120では、ダイアフラムと接触するフランジ部122の接触面123全体が高度な平坦面になっておらず、最も端側の面である最端面(クロスハッチング部分B)の外側や内側がわずかに後退した面になっており、ダイアフラムと接触してダイアフラムを挟持する接触面123の実質的な有効幅が狭くなっていた。また、ダイアフラムと実際に接触する接触面123の形状も高度な円形状ではなかった。   Therefore, as shown in FIG. 5, in the conventional sensor cap 120 that is simply formed by pressing, the entire contact surface 123 of the flange portion 122 that comes into contact with the diaphragm is not a highly flat surface. The outermost and innermost surfaces (cross-hatched portion B) are slightly receding surfaces, and the substantial effective width of the contact surface 123 that contacts the diaphragm and sandwiches the diaphragm is reduced. . Further, the shape of the contact surface 123 that actually contacts the diaphragm was not an advanced circular shape.

このようにフランジ部の接触面の有効幅が狭く、また、ダイアフラムと実際に接触する接触面の形状が高度な円形状でないセンサキャップによると、流体圧の変化に応じて変形するダイアフラムが設定通りに変形しないといった問題や、変形の際に周方向に均一な応力が加わらずに破損し易くなるといった問題が生じる。よって、センサキャップにおいては、フランジ部の接触面において高度な平坦度が要求されるのであるが、センサキャップをプレス加工によって単に形成するだけでは、この要求を十分に満たすことができなかった。   In this way, the effective width of the contact surface of the flange portion is narrow and the shape of the contact surface that is actually in contact with the diaphragm is not a highly circular sensor cap, so that the diaphragm that deforms according to changes in fluid pressure is as set. There arises a problem that the material is not deformed, and that the material is easily damaged without being applied with a uniform stress in the circumferential direction during the deformation. Therefore, in the sensor cap, a high degree of flatness is required on the contact surface of the flange portion. However, simply forming the sensor cap by press working cannot sufficiently satisfy this requirement.

本発明は、上記実状を鑑みてなされたものであり、センサキャップをプレス加工によって形成するに際して、ダイアフラムと接触してダイアフラムを挟持するフランジ部の接触面の平坦度を高めることができるセンサキャップの製造方法の提供を課題とする。   The present invention has been made in view of the above-described situation, and in forming a sensor cap by press working, a sensor cap that can increase the flatness of a contact surface of a flange portion that comes into contact with the diaphragm and sandwiches the diaphragm. It is an object to provide a manufacturing method.

上記課題を解決するために本発明の採った主要な手段は、
「ダイアフラム型圧力センサのセンサキャップであり、有底筒状のキャップ部と、該キャップ部の開口端から径方向に突出するフランジ部と、該フランジ部の表面の外周側の面によって構成されたダイアフラムの接触面と、該接触面の内側に設けられたダイアフラムの逃がし部とを有するセンサキャップ、の製造方法であって、
プレス加工によって平板状の金属板から前記キャップ部と前記フランジ部とを有する中間成形品を形成した後に、単一のプレス加工によって、前記逃がし部を形成する逃がし部形成加工を行うと同時に、前記フランジ部の前記接触面の裏側に規則的に配設された多数のディンプルを形成するディンプル形成加工を行うことを特徴とするセンサキャップの製造方法」
である。
The main means taken by the present invention to solve the above problems are as follows:
“It is a sensor cap for a diaphragm type pressure sensor, and is composed of a bottomed cylindrical cap portion, a flange portion projecting radially from the opening end of the cap portion, and a surface on the outer peripheral side of the surface of the flange portion. A sensor cap having a contact surface of a diaphragm and a relief portion of the diaphragm provided inside the contact surface,
After forming an intermediate molded product having the cap part and the flange part from a flat metal plate by pressing, the relief part forming process for forming the relief part is performed at the same time by a single pressing process. A dimple forming process for forming a large number of dimples regularly arranged on the back side of the contact surface of the flange portion is performed. "
It is.

ここで、ディンプルの具体的な形状としては、円形状、より具体的に、円柱状、円錐状、半球状等の形状を例示することができるが、これに限らず、三角形や四角形等の角形状、楕円形状、長円形状等であってもよい。   Here, the specific shape of the dimple can be exemplified by a circular shape, more specifically, a cylindrical shape, a conical shape, a hemispherical shape, etc., but is not limited to this, and a corner such as a triangle or a quadrangle. It may be a shape, an elliptical shape, an oval shape, or the like.

また、多数のディンプルを規則的に配設する配設パターンとしては、同一円周上においての所定ピッチ角度で多数のディンプルを配設した円周配設パターン、この円周配設パターンを同心円状に複数列、配列した同心円周配設パターン、格子状のパターン、千鳥状のパターン等を例示することができる。   In addition, as an arrangement pattern in which a large number of dimples are regularly arranged, a circumferential arrangement pattern in which a large number of dimples are arranged at a predetermined pitch angle on the same circumference, and this circumferential arrangement pattern is concentric. A plurality of rows, arranged concentric circumferential arrangement patterns, lattice patterns, staggered patterns, and the like can be exemplified.

上記構成のセンサキャップの製造方法では、フランジ部の裏面に規則的に配設された多数のディンプルを形成することで、ディンプルの分だけフランジ部の裏面側の材料をフランジ部の表面側に流動させることができ、フランジ部の表面側のショックラインを消去することができる。よって、フランジ部の表面の平坦度を向上させるることができる。   In the manufacturing method of the sensor cap having the above configuration, a large number of dimples regularly arranged on the back surface of the flange portion are formed, so that the material on the back surface side of the flange portion flows to the front surface side of the flange portion by the amount of the dimple. And the shock line on the surface side of the flange portion can be eliminated. Therefore, the flatness of the surface of the flange portion can be improved.

また、単一のプレス加工によって、フランジ部の表面側に逃がし部を形成すると同時にフランジ部の裏面側にディンプルを形成するため、逃がし部側に引っ張られて少なくなる接触面側の材料をフランジ部裏面のディンプルの形成によって補填することができる。よって、この点からも、フランジ部の内周側に逃がし部を形成しても、フランジ部の外周側の接触面において、平坦度を向上させることができる。   In addition, since the relief portion is formed on the front surface side of the flange portion and the dimple is formed on the rear surface side of the flange portion by a single press process, the material on the contact surface side that is reduced by being pulled to the relief portion side is reduced to the flange portion. It can be compensated by forming dimples on the back surface. Therefore, also from this point, even if the relief portion is formed on the inner peripheral side of the flange portion, the flatness can be improved on the contact surface on the outer peripheral side of the flange portion.

ところで、ディンプルではなく、フランジ部の裏面に円環状の溝を形成することでフランジ部の表面の平坦化を図ることも想定できるが、円環状の溝では、円環状の溝の形状がフランジ部のショックラインと重なってショックラインの凹凸を助長させてしまい、逆に、フランジ部の表面の平坦度を低下させてしまう虞がある。   By the way, it can be assumed that the surface of the flange portion is flattened by forming an annular groove on the back surface of the flange portion instead of the dimple, but in the annular groove, the shape of the annular groove is the flange portion. There is a possibility that the unevenness of the shock line is promoted by overlapping with the shock line, and conversely, the flatness of the surface of the flange portion may be lowered.

これに対して本発明では、円環状の溝ではなく多数のディンプルにてフランジ部の表面の平坦化を図ることから、ショックラインと合致してショックラインの凹凸を助長することがない。よって、フランジ部表面の平坦化を的確に図ることができる。   On the other hand, in the present invention, since the surface of the flange portion is flattened with a large number of dimples instead of an annular groove, the unevenness of the shock line is not promoted in conformity with the shock line. Therefore, the surface of the flange portion can be accurately flattened.

また、多数のディンプルは規則的に配設されていることから、ディンプル間において材料を均一に流動させることができる。よって、この点からも、フランジ部表面の平坦化を的確に図ることができる。   In addition, since a large number of dimples are regularly arranged, the material can flow uniformly between the dimples. Therefore, also from this point, the surface of the flange portion can be accurately flattened.

上述した手段において、
「前記ディンプル形成加工において、前記フランジ部における前記逃がし部の裏側にも前記ディンプルを形成することを特徴とするセンサキャップの製造方法」
とするのが好適である。
In the means described above,
“In the dimple forming process, the dimple is also formed on the back side of the relief portion in the flange portion”.
Is preferable.

上記構成のセンサキャップの製造方法では、逃がし部の裏面にもディンプルを形成するため、逃がし部裏面側の材料をも接触面側に流動させることができる。よって、フランジ部の接触面の平坦度をより的確に向上させることができる。   In the sensor cap manufacturing method configured as described above, since dimples are formed also on the back surface of the escape portion, the material on the back surface side of the escape portion can also flow to the contact surface side. Therefore, the flatness of the contact surface of the flange portion can be improved more accurately.

また、逃がし部裏面側の材料が接触面側に流動することから、接触面と逃がし部との境界部分の寸法形状として、高精度な寸法形状を実現することができる。   Further, since the material on the back surface side of the relief portion flows toward the contact surface side, a highly accurate dimensional shape can be realized as the dimensional shape of the boundary portion between the contact surface and the relief portion.

上述した通り、本発明に係るセンサキャップの製造方法によれば、センサキャップをプレス加工によって形成するに際して、ダイアフラムと接触してダイアフラムを挟持するフランジ部の接触面の平坦度を高めることができる。   As described above, according to the method for manufacturing a sensor cap according to the present invention, when the sensor cap is formed by press working, the flatness of the contact surface of the flange portion that comes into contact with the diaphragm and sandwiches the diaphragm can be increased.

本発明に係るセンサキャップの製造方法の一例を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows an example of the manufacturing method of the sensor cap which concerns on this invention. 本発明に係るセンサキャップの製造方法によって製造したセンサキャップの一例を示す図であり、(a)は平面図、(b)は底面図である。It is a figure which shows an example of the sensor cap manufactured with the manufacturing method of the sensor cap which concerns on this invention, (a) is a top view, (b) is a bottom view. ダイアフラム型圧力センサの一例を示す断面正面図である。It is a sectional front view showing an example of a diaphragm type pressure sensor. センサキャップの一例を示す斜視図である。It is a perspective view which shows an example of a sensor cap. プレス加工によって製造した従来のセンサキャップの底面図である。It is a bottom view of the conventional sensor cap manufactured by press work.

本発明に係るセンサキャップの製造方法の実施形態としての一例を、以下、図面に従って詳細に説明する。   Hereinafter, an example as an embodiment of a manufacturing method of a sensor cap concerning the present invention is explained in detail according to a drawing.

なお、本例で説明するセンサキャップは、図3に示したダイアフラム型圧力センサ100に用いられるものであり、センサキャップとしての全体形状は、図4に示したセンサキャップ120と同様である。   The sensor cap described in this example is used for the diaphragm type pressure sensor 100 shown in FIG. 3, and the overall shape of the sensor cap is the same as that of the sensor cap 120 shown in FIG.

図1に示すように、まず、圧延鋼板等の適宜の金属素材を打ち抜いて所望形状の平板状の金属板1を形成する(a)。次に、平板状の金属板1をプレス加工することで、より具体的には、複数段階のプレス加工を経た絞り加工を行うことで、有底筒状のキャップ部11と、このキャップ部11の開口端から径方向に突出するフランジ部12とを有し、センサキャップ10としての所望の形状を呈する中間成形品2を形成する。   As shown in FIG. 1, first, an appropriate metal material such as a rolled steel plate is punched to form a flat metal plate 1 having a desired shape (a). Next, by pressing the flat metal plate 1, more specifically, by drawing through a plurality of stages of pressing, the bottomed cylindrical cap portion 11 and the cap portion 11 are processed. An intermediate molded product 2 having a desired shape as the sensor cap 10 is formed.

このようにセンサキャップ10としての形状を呈する中間成形品2を形成した後、最終工程として、プレス加工によって、ダイアフラム側の面であるフランジ部12の表面の内周側にダイアフラムの逃がし部14を形成し、この逃がし部14の外側の面を、ダイアフラムと接触してダイアフラムを挟持する接触面13とする(c)。   After forming the intermediate molded product 2 having the shape as the sensor cap 10 in this manner, as a final step, the diaphragm relief portion 14 is formed on the inner peripheral side of the surface of the flange portion 12 which is the surface on the diaphragm side by pressing. The outer surface of the escape portion 14 is formed as a contact surface 13 that comes into contact with the diaphragm and clamps the diaphragm (c).

ここで、逃がし部14を形成する単一のプレス加工にて、逃がし部14を形成すると同時に、図2(a)に示すように、フランジ部12の裏面に多数のディンプル15を形成する。すると、フランジ部12の表面に生じていたショックラインが消去されて、ダイアフラムと接触してダイアフラムを挟持する接触面13の平坦度として、高度な平坦度を得ることができる。   Here, as shown in FIG. 2A, a large number of dimples 15 are formed on the back surface of the flange portion 12 at the same time as the relief portion 14 is formed by a single press forming the relief portion 14. Then, the shock line generated on the surface of the flange portion 12 is erased, and a high degree of flatness can be obtained as the flatness of the contact surface 13 that comes into contact with the diaphragm and sandwiches the diaphragm.

また、図2(b)に示すように、高度な平坦面となった接触面13全体が高精度でダイアフラムと密着する面となり、ダイアフラムと接触する十分な有効幅を有する接触面13(クロスハッチング部分C)を形成することができる。   Further, as shown in FIG. 2B, the contact surface 13 that is a highly flat surface becomes a surface that comes into close contact with the diaphragm with high accuracy, and has a sufficient effective width for contacting the diaphragm (cross-hatching). Part C) can be formed.

なお、本例では、外径25mm、内径17mm、厚さ1mmのフランジ部12において、外径21mm、深さ0.01〜0.1mm程度の逃がし部14を形成するにあたって、フランジ部12の裏面に、直径0.05〜0.3mm程度の微小な半球状のディンプル15を多数設けるようにしてある。   In this example, in forming the relief portion 14 having an outer diameter of 21 mm and a depth of about 0.01 to 0.1 mm in the flange portion 12 having an outer diameter of 25 mm, an inner diameter of 17 mm, and a thickness of 1 mm, the back surface of the flange portion 12 is formed. In addition, a large number of minute hemispherical dimples 15 having a diameter of about 0.05 to 0.3 mm are provided.

また、多数のディンプル15は規則的に配設されたものであり、本例では、センサキャップ10の軸心回りに、同一円周上に所定ピッチ角度で多数のディンプル15が配置されている。また、同一円周上に所定ピッチ角度で配置された多数のディンプル15の円周パターン列として、この円周パターン列が同心円状に複数配列されている。   A large number of dimples 15 are regularly arranged. In this example, a large number of dimples 15 are arranged around the axis of the sensor cap 10 at a predetermined pitch angle on the same circumference. Further, as a circumferential pattern row of a large number of dimples 15 arranged at a predetermined pitch angle on the same circumference, a plurality of the circumferential pattern rows are arranged concentrically.

ここで、ディンプル15の形状としては、上述のような半球状に限らず、四角形や三角形等、他の形状を採用することができるが、円形状のディンプル15とすると、ディンプル15周りに均一に材料を流動させることができることから好適である。   Here, the shape of the dimple 15 is not limited to the hemisphere as described above, and other shapes such as a quadrangle and a triangle can be adopted. However, when the circular dimple 15 is used, the shape of the dimple 15 is uniform around the dimple 15. It is preferable because the material can flow.

また、ディンプル15を規則的に配設するパターンとしては、上述のパターンに限らず、格子状や千鳥状等、他の配列パターンであってもよいが、フランジ部12の接触面13が円環状であることから、多数のディンプル15を等間隔で円周上に配設するパターンが好適である。多数のディンプル15を等間隔で円周上に配設すれば、円環状の接触面13の周方向において、材料の流動を均一化できるからである。   Further, the pattern in which the dimples 15 are regularly arranged is not limited to the above-mentioned pattern, but may be another arrangement pattern such as a lattice shape or a staggered shape. However, the contact surface 13 of the flange portion 12 has an annular shape. Therefore, a pattern in which a large number of dimples 15 are arranged on the circumference at equal intervals is preferable. This is because the flow of the material can be made uniform in the circumferential direction of the annular contact surface 13 by arranging a large number of dimples 15 on the circumference at equal intervals.

ところで、本例では、図2(a)に示すように、接触面13の裏面ばかりでなく、逃がし部14の裏面にもディンプル15を形成するようにしてある。これにより、逃がし部14裏面側の材料を接触面13側に流動させることができ、フランジ部12の接触面13において、より高度な平坦度を得ることができる。また、逃がし部14裏面側の材料が接触面13側に流動することから、接触面13と逃がし部14との境界部分の寸法形状として、高精度な寸法形状を実現することができる。   By the way, in this example, as shown in FIG. 2A, the dimples 15 are formed not only on the back surface of the contact surface 13 but also on the back surface of the escape portion 14. Thereby, the material on the back surface side of the relief portion 14 can be flowed to the contact surface 13 side, and higher flatness can be obtained on the contact surface 13 of the flange portion 12. In addition, since the material on the back surface side of the relief portion 14 flows toward the contact surface 13, a highly accurate dimensional shape can be realized as the dimensional shape of the boundary portion between the contact surface 13 and the relief portion 14.

以上、本発明に係るセンサキャップの製造方法の一例を示したが、本発明はこの例に限らず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で適宜、変更してもよい。   As mentioned above, although an example of the manufacturing method of the sensor cap which concerns on this invention was shown, this invention is not limited to this example, You may change suitably in the range which does not deviate from the summary of this invention.

例えば、本例では多数のディンプルを同一形状、同一寸法としたが、フランジ部の内側のディンプルと外側のディンプルとで、例えば、内側のディンプルが小さく、外側のディンプルが大きくなるように、或いは、逆に、内側のディンプルが大きく、外側のディンプルが小さくなるように等、形状や寸法が異なるものとしてもよい。   For example, in this example, a large number of dimples have the same shape and the same dimensions, but the inner dimple and the outer dimple of the flange portion, for example, the inner dimple is smaller and the outer dimple is larger, or Conversely, the shape and dimensions may be different, such that the inner dimple is larger and the outer dimple is smaller.

1 金属板
2 中間成形品
10 センサキャップ
11 キャップ部
12 フランジ部
13 接触面
14 逃がし部
15 ディンプル
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Metal plate 2 Intermediate molded product 10 Sensor cap 11 Cap part 12 Flange part 13 Contact surface 14 Relief part 15 Dimple

Claims (2)

ダイアフラム型圧力センサのセンサキャップであり、有底筒状のキャップ部と、該キャップ部の開口端から径方向に突出するフランジ部と、該フランジ部の表面の外周側の面によって構成されたダイアフラムの接触面と、該接触面の内側に設けられたダイアフラムの逃がし部とを有するセンサキャップ、の製造方法であって、
プレス加工によって平板状の金属板から前記キャップ部と前記フランジ部とを有する中間成形品を形成した後に、単一のプレス加工によって、前記逃がし部を形成する逃がし部形成加工を行うと同時に、前記フランジ部の前記接触面の裏側に規則的に配設された多数のディンプルを形成するディンプル形成加工を行うことを特徴とするセンサキャップの製造方法。
Diaphragm type pressure sensor sensor cap, comprising a bottomed cylindrical cap portion, a flange portion projecting radially from the opening end of the cap portion, and a surface on the outer peripheral side of the surface of the flange portion And a sensor cap having a diaphragm relief provided inside the contact surface, comprising:
After forming an intermediate molded product having the cap part and the flange part from a flat metal plate by pressing, the relief part forming process for forming the relief part is performed at the same time by a single pressing process. A method of manufacturing a sensor cap, comprising performing dimple formation processing for forming a large number of dimples regularly arranged on the back side of the contact surface of the flange portion.
前記ディンプル形成加工において、前記フランジ部における前記逃がし部の裏側にも前記ディンプルを形成することを特徴とする請求項1に記載のセンサキャップの製造方法。   The method for manufacturing a sensor cap according to claim 1, wherein, in the dimple formation process, the dimple is also formed on the back side of the relief portion in the flange portion.
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