JP5284020B2

JP5284020B2 - Sliding bearing unit and rotary anode type X-ray tube device

Info

Publication number: JP5284020B2
Application number: JP2008236965A
Authority: JP
Inventors: 弘行杉浦
Original assignee: Toshiba Corp; Toshiba Electron Tubes and Devices Co Ltd
Current assignee: Toshiba Corp; Canon Electron Tubes and Devices Co Ltd
Priority date: 2008-09-16
Filing date: 2008-09-16
Publication date: 2013-09-11
Anticipated expiration: 2028-09-16
Also published as: JP2010073365A

Description

この発明は、すべり軸受ユニット及び回転陽極型Ｘ線管装置に関する。 The present invention relates to a plain bearing unit and a rotary anode type X-ray tube apparatus.

一般に、Ｘ線管装置として、回転陽極型Ｘ線管装置が使用されている。回転陽極型Ｘ線管装置は、Ｘ線を放射する回転陽極型Ｘ線管と、ステータコイルと、これら回転陽極型Ｘ線管及びステータコイルを収容した筐体と、を備えている。回転陽極型Ｘ線管は、すべり軸受ユニットと、陽極ターゲットと、陰極と、真空外囲器と、を備えている。すべり軸受ユニットは、回転軸を中心に回転可能な筒状の回転体と、この回転体の内部に嵌合され、回転体を回転可能に支持する円柱状の固定体と、回転体及び固定体の隙間に充填された金属潤滑剤と、を有している。陽極ターゲットは、回転体に固定されている。陰極は、陽極ターゲットに対向配置されている。真空外囲器は、すべり軸受ユニット、陽極ターゲット及び陰極を収容している。 In general, a rotary anode type X-ray tube device is used as the X-ray tube device. The rotary anode X-ray tube device includes a rotary anode X-ray tube that emits X-rays, a stator coil, and a housing that houses the rotary anode X-ray tube and the stator coil. The rotary anode type X-ray tube includes a plain bearing unit, an anode target, a cathode, and a vacuum envelope. The sliding bearing unit includes a cylindrical rotating body that can rotate around a rotating shaft, a cylindrical fixed body that is fitted inside the rotating body and rotatably supports the rotating body, and the rotating body and the fixed body. And a metal lubricant filled in the gap. The anode target is fixed to the rotating body. The cathode is disposed opposite the anode target. The vacuum envelope contains a plain bearing unit, an anode target, and a cathode.

固定体の軸受面に、ヘリンボン・パターンの溝が形成されている。すべり軸受ユニットは、軸受として、動圧式すべり軸受を使っている（例えば、特許文献１、特許文献２及び特許文献３参照）。金属潤滑剤は、Ｇａ（ガリウム）又はＧａＩｎＳｎ（ガリウム・インジウム・錫）合金等の材料を用いている。 A herringbone pattern groove is formed on the bearing surface of the fixed body. The sliding bearing unit uses a dynamic pressure type sliding bearing as a bearing (see, for example, Patent Document 1, Patent Document 2, and Patent Document 3). As the metal lubricant, a material such as Ga (gallium) or GaInSn (gallium / indium / tin) alloy is used.

上記回転陽極型Ｘ線管装置の動作状態において、ステータコイルは回転体に与える磁界を発生するため、回転体及び陽極ターゲットは回転する。また、陰極は陽極ターゲットに対して電子ビームを照射する。これにより、陽極ターゲットは、電子と衝突するときにＸ線を放出する。 In the operating state of the rotary anode X-ray tube device, the stator coil generates a magnetic field applied to the rotating body, and therefore the rotating body and the anode target rotate. The cathode irradiates the anode target with an electron beam. Thus, the anode target emits X-rays when colliding with electrons.

また、上記回転体の回転動作中において、回転体の軸受面と、固定体の軸受面とは、２０乃至３０μｍ程度の隙間が置かれ、非接触状態に保たれる。このように、軸受面間に金属潤滑剤が薄い膜として介在すれば、軸受面同士の擦れやそれによる傷の発生等は生じない。 Further, during the rotating operation of the rotating body, a clearance of about 20 to 30 μm is placed between the bearing surface of the rotating body and the bearing surface of the fixed body, and is kept in a non-contact state. In this way, if the metal lubricant is interposed between the bearing surfaces as a thin film, the bearing surfaces are not rubbed or damaged.

その他、回転陽極型Ｘ線管装置は、軸受けの温度を検出する温度検出機能と、潤滑剤を解凍する解凍機能とを有し、ステータコイルの駆動を制御する制御部を備えている（例えば、特許文献４参照）。制御部は、軸受けの温度を検出し、潤滑剤が固体状態であるか液体状態であるかを判別し、解凍機能を制御し、ステータコイルの駆動を制御するものである。これにより、軸受けに与えるダメージを低減することができる。
特開昭６０−１１７５３１号公報特開平２−２２７９４８号公報特開平５−１４４３９６号公報特開平５−２１７５３１号公報 In addition, the rotary anode X-ray tube device has a temperature detection function for detecting the temperature of the bearing and a thawing function for thawing the lubricant, and includes a control unit that controls the driving of the stator coil (for example, (See Patent Document 4). The control unit detects the temperature of the bearing, determines whether the lubricant is in a solid state or a liquid state, controls the thawing function, and controls the driving of the stator coil. Thereby, the damage given to a bearing can be reduced.
JP 60-117531 A JP-A-2-227948 JP-A-5-144396 Japanese Patent Laid-Open No. 5-217531

ところで、動圧すべり軸受けは、玉軸受けと異なり、回転動作中に回転体の軸受けが浮上して固定体に非接触状態となる。このため、回転体の回転動作中に動圧すべり軸受けがダメージを受けることはない。しかし、回転体の非動作時、回転体及び固定体は接触状態となる。 By the way, the dynamic pressure sliding bearing is different from the ball bearing, and the bearing of the rotating body floats during the rotating operation and is in a non-contact state with the fixed body. For this reason, the dynamic pressure sliding bearing is not damaged during the rotating operation of the rotating body. However, when the rotating body is not operating, the rotating body and the fixed body are in contact with each other.

このため、回転体の回転動作起動中及び回転動作停止中において、回転体及び固定体の軸受面同士は、接触する。 For this reason, the bearing surfaces of the rotating body and the fixed body are in contact with each other while the rotating operation of the rotating body is being started and when the rotating operation is stopped.

すなわち、軸受面間に金属潤滑剤が十分に存在しない状態となる恐れがあり、その状態となった場合、軸受面同士が擦れてしまう。 That is, there is a possibility that a sufficient amount of metal lubricant does not exist between the bearing surfaces, and in this case, the bearing surfaces are rubbed with each other.

軸受面同士が擦れると、軸受面はそれぞれ削られ、このとき多く発生する微細金属紛のような異物が金属潤滑剤に混入してしまう。さらに、微細金属紛と金属潤滑剤との反応による反応生成物が異物となって金属潤滑剤に混入することも考えられる。 When the bearing surfaces rub against each other, the bearing surfaces are each scraped, and foreign matters such as fine metal powder generated frequently at this time are mixed into the metal lubricant. Furthermore, it is conceivable that a reaction product resulting from the reaction between the fine metal powder and the metal lubricant becomes a foreign substance and enters the metal lubricant.

金属潤滑剤に異物が混入すると、異物はすり潰されるまで軸受面間に留まり、軸受面に無数の傷を生じさせる原因となってしまう。さらに、ヘリンボン・パターンの溝の内部に異物の堆積が徐々に進むと、溝の深さが徐々に浅くなり、所要の動圧が発生しなくなり、動圧軸受の機能が低下してしまう。 When a foreign substance is mixed in the metal lubricant, the foreign substance stays between the bearing surfaces until it is ground, causing countless scratches on the bearing surface. Further, when the foreign matter is gradually accumulated inside the groove of the herringbone pattern, the depth of the groove gradually becomes shallow, the required dynamic pressure is not generated, and the function of the hydrodynamic bearing is deteriorated.

上記したように、軸受面間に金属潤滑剤が存在しない状態が生じて軸受面同士が接触し、金属潤滑剤に異物が混入すると、軸受面にダメージが生じ、また、トルクの上昇を招いてしまう。このため、軸受面に生じるダメージ及びトルクの上昇をそれぞれ抑制する必要がある。
この発明は以上の点に鑑みなされたもので、その目的は、安定した動圧を得ることができ、良好な軸受動作を維持することができるすべり軸受ユニット及び回転陽極型Ｘ線管装置を提供することにある。 As described above, a state in which no metal lubricant is present between the bearing surfaces occurs, the bearing surfaces come into contact with each other, and if foreign matter enters the metal lubricant, the bearing surfaces are damaged and the torque is increased. End up. For this reason, it is necessary to suppress the damage and torque increase that occur on the bearing surface.
The present invention has been made in view of the above points, and an object of the present invention is to provide a sliding bearing unit and a rotary anode type X-ray tube device that can obtain a stable dynamic pressure and can maintain a good bearing operation. There is to do.

上記課題を解決するため、本発明の態様に係るすべり軸受ユニットは、
回転軸に沿って延出して筒状に形成され、内面に軸受面を含み、前記回転軸を中心に回転可能な回転体と、
前記回転軸に沿って延出して前記回転体の内部に嵌合され、外面に前記軸受面と対向した他の軸受面を含み、前記回転体を回転可能に支持する固定体と、
前記軸受面及び他の軸受面間の隙間に充填され、前記軸受面及び他の軸受面とともにすべり軸受けを形成する潤滑剤と、
前記回転体を回転させる第１機能と、前記回転体に振動を与える第２機能と、を有している回転駆動機構と、を備え、
前記回転駆動機構が前記第２機能を発揮するために発生する振動数は、前記回転駆動機構が前記第１機能を発揮するために発生する回転駆動周波数と異なる。 In order to solve the above problem, a plain bearing unit according to an aspect of the present invention is provided.
A rotating body that extends along the rotation axis, is formed in a cylindrical shape, includes a bearing surface on the inner surface, and is rotatable about the rotation axis;
A fixed body that extends along the rotating shaft, is fitted inside the rotating body, includes another bearing surface facing the bearing surface on an outer surface, and rotatably supports the rotating body;
A lubricant that fills a gap between the bearing surface and the other bearing surface, and forms a sliding bearing together with the bearing surface and the other bearing surface;
Wherein comprising a first function of the rotator Ru is rotated, and a second function of providing a vibration to the rotating body, and a rotary drive mechanism having a
The frequency generated for the rotation drive mechanism to perform the second function is different from the rotation drive frequency generated for the rotation drive mechanism to perform the first function.

また、本発明の他の態様に係る回転陽極型Ｘ線管装置は、
電子を放出する陰極と、
前記陰極から放出される電子が衝突されることによりＸ線を放出する陽極ターゲットと、
前記陽極ターゲットを固定し、回転軸に沿って延出して筒状に形成され、内面に軸受面を含み、前記回転軸を中心に回転可能な回転体と、
前記回転軸に沿って延出して前記回転体の内部に嵌合され、外面に前記軸受面と対向した他の軸受面を含み、前記回転体を回転可能に支持する固定体と、
前記軸受面及び他の軸受面間の隙間に充填され、前記軸受面及び他の軸受面とともにすべり軸受けを形成する潤滑剤と、
前記陰極及び陽極ターゲットを収容した真空外囲器と、
前記回転体を回転させる第１機能と、前記回転体に振動を与える第２機能と、を有している回転駆動機構と、を備え、
前記回転駆動機構が前記第２機能を発揮するために発生する振動数は、前記回転駆動機構が前記第１機能を発揮するために発生する回転駆動周波数と異なる。 Moreover, the rotary anode X-ray tube apparatus according to another aspect of the present invention includes:
A cathode that emits electrons;
An anode target that emits X-rays when electrons emitted from the cathode collide;
The anode target is fixed, is formed in a cylindrical shape extending along the rotation axis, includes a bearing surface on the inner surface, and a rotating body that is rotatable about the rotation axis;
A fixed body that extends along the rotating shaft, is fitted inside the rotating body, includes another bearing surface facing the bearing surface on an outer surface, and rotatably supports the rotating body;
A lubricant that fills a gap between the bearing surface and the other bearing surface, and forms a sliding bearing together with the bearing surface and the other bearing surface;
A vacuum envelope containing the cathode and anode target;
Wherein comprising a first function of the rotator Ru is rotated, and a second function of providing a vibration to the rotating body, and a rotary drive mechanism having a
The frequency generated for the rotation drive mechanism to perform the second function is different from the rotation drive frequency generated for the rotation drive mechanism to perform the first function.

この発明によれば、安定した動圧を得ることができ、良好な軸受動作を維持することができるすべり軸受ユニット及び回転陽極型Ｘ線管装置を提供することができる。 According to the present invention, it is possible to provide a sliding bearing unit and a rotary anode type X-ray tube device that can obtain a stable dynamic pressure and can maintain a good bearing operation.

以下、図面を参照しながらこの発明の実施の形態に係るすべり軸受ユニット及びこのすべり軸受ユニットを備えた回転陽極型Ｘ線管装置について詳細に説明する。
図１に示すように、回転陽極型Ｘ線管装置は、回転陽極型Ｘ線管１と、回転駆動機構として磁界を発生させるステータコイル（電磁コイル）６と、回転陽極型Ｘ線管及びステータコイルを収容した筐体２と、筐体内に充填された冷却液としての絶縁油３と、制御機構７と、加振器８と、振動検出器９と、冷却部３０とを備えている。 Hereinafter, a sliding bearing unit according to an embodiment of the present invention and a rotary anode type X-ray tube apparatus including the sliding bearing unit will be described in detail with reference to the drawings.
As shown in FIG. 1, the rotary anode X-ray tube device includes a rotary anode X-ray tube 1, a stator coil (electromagnetic coil) 6 that generates a magnetic field as a rotation drive mechanism, a rotary anode X-ray tube, and a stator. A housing 2 containing a coil, insulating oil 3 as a cooling liquid filled in the housing, a control mechanism 7, a vibrator 8, a vibration detector 9, and a cooling unit 30 are provided.

図１、図２及び図３に示すように、回転陽極型Ｘ線管１は、回転体１２と、固定体１５と、潤滑剤としての金属潤滑剤１９と、陽極ターゲット１１と、陰極１８ａと、真空外囲器１７とを備え、すべり軸受を使っている。なお、図２及び図３において、固定体１５は断面を示してはおらず、ここでは正面図である。 As shown in FIGS. 1, 2 and 3, the rotary anode X-ray tube 1 includes a rotary body 12, a fixed body 15, a metal lubricant 19 as a lubricant, an anode target 11, and a cathode 18a. And a vacuum envelope 17 and use a plain bearing. 2 and 3, the fixed body 15 does not show a cross section, but is a front view here.

回転体１２は、筒状に形成され、一端部が閉塞されている。回転体１２は、この回転体の回転動作の中心軸となる回転軸ａに沿って延出している。回転体１２は、回転軸ａを中心に回転可能である。回転体１２は、Ｆｅ（鉄）やＭｏ（モリブデン）等の材料で形成されている。回転体１２は、この回転体の内面に軸受面１２Ｓを有している。 The rotating body 12 is formed in a cylindrical shape, and one end thereof is closed. The rotating body 12 extends along a rotation axis a that is a central axis of the rotating operation of the rotating body. The rotating body 12 can rotate around the rotation axis a. The rotating body 12 is made of a material such as Fe (iron) or Mo (molybdenum). The rotating body 12 has a bearing surface 12S on the inner surface of the rotating body.

固定体１５は柱状に形成されている。固定体１５の直径は回転体１２の内径より小さい。固定体１５は、回転体１２と同軸的に設けられ、回転軸ａに沿って延出している。固定体１５は、この固定体の外面に軸受面１２Ｓと対向した他の軸受面１５Ｓを有している。固定体１５は、ＦｅやＭｏ等の材料で形成されている。固定体１５の一端部は回転体１２の閉塞された一端部側に位置し、固定体１５の他端部は回転体１２の外側に突出し露出されている。 The fixed body 15 is formed in a column shape. The diameter of the fixed body 15 is smaller than the inner diameter of the rotating body 12. The fixed body 15 is provided coaxially with the rotating body 12 and extends along the rotation axis a. The fixed body 15 has another bearing surface 15S facing the bearing surface 12S on the outer surface of the fixed body. The fixed body 15 is made of a material such as Fe or Mo. One end portion of the fixed body 15 is located on the closed one end side of the rotating body 12, and the other end portion of the fixed body 15 protrudes to the outside of the rotating body 12 and is exposed.

回転体１２及び固定体１５は、軸受面１２Ｓ及び他の軸受面１５Ｓの対向した領域を含む全対向領域で、互いに２０乃至３０μｍ程度の隙間を置いて設けられている。固定体１５は、回転体１２を回転可能に支持している。 The rotating body 12 and the fixed body 15 are provided in a total facing region including a region where the bearing surface 12S and the other bearing surface 15S face each other with a gap of about 20 to 30 μm. The fixed body 15 supports the rotating body 12 in a rotatable manner.

金属潤滑剤１９は、回転体１２及び固定体１５間の隙間に充填されている。この実施の形態において、金属潤滑剤１９は、ガリウム・インジウム・錫合金（ＧａＩｎＳｎ）である。軸受面１２Ｓ、他の軸受面１５Ｓ及び金属潤滑剤１９は、すべり軸受けを形成している。 The metal lubricant 19 is filled in the gap between the rotating body 12 and the fixed body 15. In this embodiment, the metal lubricant 19 is a gallium / indium / tin alloy (GaInSn). The bearing surface 12S, the other bearing surface 15S, and the metal lubricant 19 form a sliding bearing.

回転体１２の開口した他端部にシール部１６が設けられている。シール部１６は、回転体１２の他端部に固定ねじで固着されている。シール部１６は、円環状に形成され、固定体１５の側面全周に亘って隙間を置いて設けられている。シール部１６は、回転体１２及び固定体１５の回転軸ａに沿った方向への相対的なズレを規制するものである。 A seal portion 16 is provided at the other end of the rotating body 12 that is open. The seal portion 16 is fixed to the other end portion of the rotating body 12 with a fixing screw. The seal portion 16 is formed in an annular shape, and is provided with a gap around the entire side surface of the fixed body 15. The seal portion 16 regulates relative displacement of the rotating body 12 and the fixed body 15 in the direction along the rotation axis a.

シール部１６及び固定体１５間の隙間（クリアランス）は、回転体１２の回転を維持するとともに金属潤滑剤１９の漏洩を抑制できる値に設定されている。上記したことから、隙間はわずかである。このため、シール部１６は、ラビリンスシールリング（labyrinth seal ring）として機能する。また、回転軸ａに沿った方向において、回転体１２、固定体１５、シール部１６及び金属潤滑剤１９は、スラスト軸受けを形成している。 The clearance (clearance) between the seal portion 16 and the fixed body 15 is set to a value that can maintain the rotation of the rotating body 12 and suppress the leakage of the metal lubricant 19. From the above, the gap is slight. For this reason, the seal part 16 functions as a labyrinth seal ring. In the direction along the rotation axis a, the rotary body 12, the fixed body 15, the seal portion 16, and the metal lubricant 19 form a thrust bearing.

陽極ターゲット１１は、回転軸ａに沿った方向に、固定体１５の一端部に対向配置されている。陽極ターゲット１１は、この陽極ターゲットの外面に位置したターゲット層１１ａを有している。陽極ターゲット１１は、回転体１２の閉塞された一端部にナット１４で固定されている。陽極ターゲット１１は、形状が円環状であり、重金属等の材料で形成されている。陽極ターゲット１１は、回転体１２及び固定体１５と同軸的に設けられている。陽極ターゲット１１は、回転軸ａを中心に回転可能である。陽極ターゲット１１は、陰極１８ａから放出される電子が衝突されることによりＸ線を放出するものである。 The anode target 11 is disposed to face one end of the fixed body 15 in the direction along the rotation axis a. The anode target 11 has a target layer 11a located on the outer surface of the anode target. The anode target 11 is fixed to a closed end of the rotating body 12 with a nut 14. The anode target 11 has an annular shape and is formed of a material such as heavy metal. The anode target 11 is provided coaxially with the rotating body 12 and the fixed body 15. The anode target 11 can rotate around the rotation axis a. The anode target 11 emits X-rays when electrons emitted from the cathode 18a collide.

陰極１８ａは、陽極ターゲット１１のターゲット層１１ａに間隔を置いて対向配置されている。陰極１８ａは、陰極構体１８に取付けられている。陰極１８ａは電子を放出するものである。 The cathode 18a is disposed to face the target layer 11a of the anode target 11 with a space therebetween. The cathode 18 a is attached to the cathode structure 18. The cathode 18a emits electrons.

真空外囲器１７は、円筒状に形成されている。真空外囲器１７は金属およびガラスで形成されている。 The vacuum envelope 17 is formed in a cylindrical shape. The vacuum envelope 17 is made of metal and glass.

真空外囲器１７において、陽極ターゲット１１と対向した個所の径は、回転体１２と対向した個所の径より大きい。真空外囲器１７は、真空外囲器１７の気密状態を維持するよう、固定体１５の他端部及び陰極構体１８と接合されている。真空外囲器１７は、陰極１８ａと対向したターゲット層１１ａ付近にＸ線を出射させるＸ線放射窓１７ａを有している。真空外囲器１７は、密閉され、回転体１２、固定体１５、金属潤滑剤１９、陽極ターゲット１１及び陰極１８ａ等を収容している。真空外囲器１７の内部は真空状態に維持されている。 In the vacuum envelope 17, the diameter of the part facing the anode target 11 is larger than the diameter of the part facing the rotating body 12. The vacuum envelope 17 is joined to the other end of the fixed body 15 and the cathode assembly 18 so as to maintain the airtight state of the vacuum envelope 17. The vacuum envelope 17 has an X-ray emission window 17a that emits X-rays in the vicinity of the target layer 11a facing the cathode 18a. The vacuum envelope 17 is hermetically sealed and contains the rotating body 12, the fixed body 15, the metal lubricant 19, the anode target 11, the cathode 18a, and the like. The inside of the vacuum envelope 17 is maintained in a vacuum state.

ステータコイル６は、回転体１２の側面に対向して真空外囲器１７の外側を囲むように設けられている。ステータコイル６は回転体１２を回転させるものである。ステータコイル６に所定の電流が供給されることで回転体１２が所定の速度で回転され、陽極ターゲット１１が所定の速度で回転される。 The stator coil 6 is provided so as to face the side surface of the rotating body 12 and surround the outside of the vacuum envelope 17. The stator coil 6 rotates the rotating body 12. By supplying a predetermined current to the stator coil 6, the rotating body 12 is rotated at a predetermined speed, and the anode target 11 is rotated at a predetermined speed.

筐体２は、陰極１８ａと対向したターゲット層１１ａ付近にＸ線を出射させるＸ線放射窓２ａを有している。筐体２の内部には、回転陽極型Ｘ線管１及びステータコイル６が収容されている他、絶縁油３が充填されている。 The housing 2 has an X-ray emission window 2a for emitting X-rays in the vicinity of the target layer 11a facing the cathode 18a. The casing 2 is filled with a rotating anode type X-ray tube 1 and a stator coil 6 and an insulating oil 3.

冷却部３０は、冷却器（熱交換器）３１及びポンプ（絶縁油循環ポンプ）３２を有している。筐体２内に供給される絶縁油３は、冷却器３１により冷却される。ポンプ３２は、絶縁油３を、冷却器３１を循環させるとともに、筐体２に設けられた入り口及び出口を介し、筐体２内に形成された循環路を循環させる。これにより、回転陽極型Ｘ線管１において発生する熱が、絶縁油３を媒介として、筐体２の外部へ放出される。 The cooling unit 30 includes a cooler (heat exchanger) 31 and a pump (insulating oil circulation pump) 32. The insulating oil 3 supplied into the housing 2 is cooled by the cooler 31. The pump 32 circulates the insulating oil 3 through the cooler 31 and circulates in a circulation path formed in the housing 2 through an inlet and an outlet provided in the housing 2. Thereby, the heat generated in the rotary anode X-ray tube 1 is released to the outside of the housing 2 through the insulating oil 3.

加振器８は、筐体２の外面に直接固定されている。加振器８は、回転陽極型Ｘ線管１のすべり軸受けに振動を加えるものである。加振器８の発生する振動数は、ステータコイル６が回転体１２を回転させるための回転駆動周波数と異なっている。 The vibrator 8 is directly fixed to the outer surface of the housing 2. The vibrator 8 applies vibration to the slide bearing of the rotary anode X-ray tube 1. The frequency generated by the vibrator 8 is different from the rotational drive frequency for the stator coil 6 to rotate the rotating body 12.

振動検出器９は、筐体２の外面に直接固定されている。振動検出器９は振動信号を出力するものである。振動検出器９は、回転体１２の回転に伴って生じる回転体１２の振動数を検出するものである。 The vibration detector 9 is directly fixed to the outer surface of the housing 2. The vibration detector 9 outputs a vibration signal. The vibration detector 9 is for detecting the vibration frequency of the rotating body 12 generated with the rotation of the rotating body 12.

制御機構（ステータコイル駆動電源制御機構）７は、主制御部３８、加振器制御部３７、ステータコイル６に回転駆動電力を供給して回転体１２及び陽極ターゲット１１の回転を制御するステータコイル駆動電源部３５、及び回転状態検出部３６を備えている。 The control mechanism (stator coil drive power supply control mechanism) 7 is a stator coil that controls the rotation of the rotating body 12 and the anode target 11 by supplying rotational drive power to the main controller 38, the vibrator controller 37, and the stator coil 6. A drive power supply unit 35 and a rotation state detection unit 36 are provided.

主制御部３８は、図示しないＸ線発生用Ｘ線管制御電源及び回転状態検出部３６からの信号を得て、ステータコイル駆動電源部３５及び加振器制御部３７を制御するものである。回転状態検出部３６は、振動検出器９に結線され振動検出器から出力される振動信号を振動周波数データーに変換し主制御部３８に送るものである。加振器制御部３７は、加振器８と結線され、加振器を制御加振する。 The main control unit 38 obtains signals from an X-ray generation X-ray tube control power source (not shown) and the rotation state detection unit 36, and controls the stator coil drive power source unit 35 and the vibrator control unit 37. The rotation state detector 36 converts the vibration signal connected to the vibration detector 9 and output from the vibration detector into vibration frequency data and sends it to the main controller 38. The vibrator control unit 37 is connected to the vibrator 8 and controls and vibrates the vibrator.

上記したように、回転陽極型Ｘ線管装置が構成されている。少なくとも、回転体１２、固定体１５、金属潤滑剤１９、ステータコイル６及び加振器８は、すべり軸受ユニットを形成している。 As described above, the rotary anode type X-ray tube apparatus is configured. At least the rotating body 12, the fixed body 15, the metal lubricant 19, the stator coil 6, and the vibrator 8 form a plain bearing unit.

ここで、すべり軸受ユニットについて詳細に説明する。
固定体１５は、回転軸ａに沿った方向に並んだ複数の掻き込み部１５ａ、１５ｂ、１５ｃ、１５ｄを有している。掻き込み部１５ａ、１５ｂ、１５ｃ、１５ｄは、他の軸受面１５Ｓに形成され、かつ、回転体１２の回転方向に沿って並べられているとともに回転方向に対して斜線状に延出して配列されている複数のパターン部Ｐをそれぞれ有している。この実施の形態において、パターン部Ｐは、数十μｍの深さを有した溝で形成されている。 Here, the sliding bearing unit will be described in detail.
The fixed body 15 has a plurality of scraping portions 15a, 15b, 15c, and 15d arranged in a direction along the rotation axis a. The scraping portions 15a, 15b, 15c, and 15d are formed on the other bearing surface 15S, arranged along the rotational direction of the rotating body 12, and arranged so as to extend obliquely with respect to the rotational direction. Each has a plurality of pattern portions P. In this embodiment, the pattern portion P is formed by a groove having a depth of several tens of μm.

隣合う一対の掻き込み部１５ａ、１５ｂは、ヘリンボン・パターンを形作っている。隣合う一対の掻き込み部１５ｃ、１５ｄは、ヘリンボン・パターンを形作っている。このため、２組のヘリンボン・パターンが固定体１５に形作られている。 A pair of adjacent scraping portions 15a and 15b form a herringbone pattern. A pair of adjacent scraping portions 15c, 15d forms a herringbone pattern. For this reason, two sets of herringbone patterns are formed on the fixed body 15.

次に、上記回転陽極型Ｘ線管装置の稼動方法について説明する。
図１乃至図６に示すように、回転陽極型Ｘ線管装置の稼動を開始すると、時点ｔ１において、まず、制御機構７は、加振器８をＯＮにし、ステータコイル６の電源をＯＦＦにする。すなわち、制御機構７は、加振器８を稼動させ、すべり軸受けに振動を加える。なお、時点ｔ１において、制御機構７は、ステータコイル６の稼動を開始しておらず、回転体１２は停止状態である。 Next, an operation method of the rotary anode type X-ray tube apparatus will be described.
As shown in FIGS. 1 to 6, when the operation of the rotary anode X-ray tube apparatus is started, at time t1, the control mechanism 7 first turns on the vibrator 8 and turns off the power of the stator coil 6. To do. That is, the control mechanism 7 operates the vibration exciter 8 and applies vibration to the slide bearing. At time t1, the control mechanism 7 has not started the operation of the stator coil 6, and the rotating body 12 is in a stopped state.

続いて、時点ｔ２において、制御機構７は、加振器８をＯＮに維持し、ステータコイル６の電源をＯＮに切替える。すなわち、制御機構７は、新たにステータコイル６の稼動を開始する。すると、ステータコイル６は回転体１２に与える磁界を発生するため、回転体１２及び陽極ターゲット１１は回転する。 Subsequently, at time t2, the control mechanism 7 keeps the vibration exciter 8 ON and switches the power supply of the stator coil 6 ON. That is, the control mechanism 7 newly starts the operation of the stator coil 6. Then, since the stator coil 6 generates a magnetic field applied to the rotating body 12, the rotating body 12 and the anode target 11 rotate.

時点ｔ２を過ぎると、制御機構７は、振動検出器９が検出した振動数が、回転体１２が固定体１５に非接触状態となる非接触振動数以上かどうか判断する。すなわち、制御機構７は、回転体１２の回転数が所定回転数に到達したかどうか判断する。制御機構７は、検出した振動数（回転数）が非接触振動数（所定回転数）未満の場合に加振器８を継続して稼動させ、検出した振動数（回転数）が非接触振動数（所定回転数）以上の場合に加振器８の稼動を停止させる。 After the time t2, the control mechanism 7 determines whether or not the frequency detected by the vibration detector 9 is equal to or higher than the non-contact frequency at which the rotating body 12 is in a non-contact state with the fixed body 15. That is, the control mechanism 7 determines whether or not the rotational speed of the rotating body 12 has reached a predetermined rotational speed. The control mechanism 7 continuously operates the vibration exciter 8 when the detected frequency (number of rotations) is less than the non-contact frequency (predetermined number of rotations), and the detected frequency (number of rotations) is non-contact vibration. When the number is more than the number (predetermined number of revolutions), the operation of the vibrator 8 is stopped.

次いで、時点ｔ３において、振動数（回転数）が非接触振動数（所定回転数）に到達すると、制御機構７は、ステータコイル６の電源をＯＮに維持し、加振器８をＯＦＦに切替える。 Next, when the frequency (the number of rotations) reaches the non-contact frequency (the predetermined number of rotations) at the time point t3, the control mechanism 7 maintains the power of the stator coil 6 on and switches the vibrator 8 off. .

時点ｔ２から時点ｔ３までの回転体１２の回転動作起動中、すべり軸受けに振動を加え、軸受面１２Ｓ及び他の軸受面１５Ｓが振動を受けることで、軸受面間に起こる摩擦抵抗は分散される。軸受面間に金属潤滑剤１９が十分に存在する状態にすることにより、軸受面間を非接触状態にできるため、軸受面同士が擦れ、削られることを抑制することができる。 During the start of the rotation operation of the rotating body 12 from the time point t2 to the time point t3, the sliding bearing is vibrated, and the bearing surface 12S and the other bearing surface 15S are subjected to vibration, whereby the frictional resistance generated between the bearing surfaces is dispersed. . By making the metal lubricant 19 sufficiently present between the bearing surfaces, the bearing surfaces can be brought into a non-contact state, so that the bearing surfaces can be prevented from being rubbed and scraped.

なお、振動数（回転数）が非接触振動数（所定回転数）に到達すると、既に、軸受面間は非接触状態（回転体１２は浮上状態）になっているため、すべり軸受けへの加振は不要となる。従って、時点ｔ３において、制御機構７は、加振器８をＯＦＦに切替えている。 When the frequency (number of rotations) reaches the non-contact frequency (predetermined number of rotations), the bearing surfaces are already in a non-contact state (the rotator 12 is in a floating state). Shaking is unnecessary. Therefore, at the time t3, the control mechanism 7 switches the vibration exciter 8 to OFF.

また、金属潤滑剤１９は、軸受面１２Ｓ及び他の軸受面１５Ｓ間の隙間に与えられる。そして、金属潤滑剤１９は、掻き込み部１５ａ、１５ｂ、１５ｃ、１５ｄにより、軸受面１２Ｓ、他の軸受面１５Ｓ、掻き込み部１５ａ及び掻き込み部１５ｂ間、並びに軸受面１２Ｓ、他の軸受面１５Ｓ、掻き込み部１５ｃ及び掻き込み部１５ｄ間にそれぞれ掻き集められ、動圧が発生する。軸受面１２Ｓ及び他の軸受面１５Ｓは、隙間が置かれ、非接触状態に保たれる。 Further, the metal lubricant 19 is given to the gap between the bearing surface 12S and the other bearing surface 15S. The metal lubricant 19 is applied to the bearing surface 12S, the other bearing surface 15S, the portion between the scraping portion 15a and the scraping portion 15b, the bearing surface 12S, and the other bearing surface by the scraping portions 15a, 15b, 15c, and 15d. 15S, the scraping portion 15c, and the scraping portion 15d are each scraped and dynamic pressure is generated. The bearing surface 12S and the other bearing surface 15S have a gap and are kept in a non-contact state.

時点ｔ３を過ぎると、回転体１２の回転数は到達回転数に達する。そして、陰極１８ａは、陽極ターゲット１１のターゲット層１１ａに対して電子ビームを照射する。これにより、ターゲット層１１ａは、電子と衝突するときにＸ線を放出し、放出されたＸ線はＸ線放射窓１７ａ及びＸ線放射窓２ａを介して筐体２外部に放出される。 After the time point t3, the rotational speed of the rotating body 12 reaches the reached rotational speed. The cathode 18 a irradiates the target layer 11 a of the anode target 11 with an electron beam. Thereby, the target layer 11a emits X-rays when colliding with electrons, and the emitted X-rays are emitted outside the housing 2 through the X-ray radiation window 17a and the X-ray radiation window 2a.

その後、Ｘ線の放出が終了すると、時点ｔ４において、制御機構７は、ステータコイル６の電源をＯＦＦに切替え、加振器８をＯＮに切替える。すると、回転体１２の回転も徐々に低下し、時点ｔ５において、回転体１２は停止状態となる。また、時点ｔ５において、制御機構７は、加振器８をＯＦＦに切替えることで、回転陽極型Ｘ線管装置の稼動は終了する。制御機構７は、自動制御により、加振器８をＯＮ又はＯＦＦに切替えるよう構成されていても良い。 Thereafter, when the emission of X-rays ends, at time t4, the control mechanism 7 switches the power supply of the stator coil 6 to OFF and switches the vibrator 8 to ON. Then, the rotation of the rotator 12 also gradually decreases, and the rotator 12 is stopped at time t5. Further, at time t5, the control mechanism 7 switches the vibration exciter 8 to OFF so that the operation of the rotary anode X-ray tube device is completed. The control mechanism 7 may be configured to switch the vibration exciter 8 to ON or OFF by automatic control.

なお、時点ｔ４から時点ｔ５までの回転体１２の回転動作停止中、すべり軸受けに振動が加えられる。回転動作停止中も軸受面間を非接触状態にできるため、軸受面同士が擦れ、削られることを抑制することができる。 It should be noted that vibration is applied to the sliding bearing while the rotation of the rotating body 12 is stopped from time t4 to time t5. Since the bearing surfaces can be brought into a non-contact state even when the rotation operation is stopped, the bearing surfaces can be prevented from being rubbed and scraped.

以上のように構成されたすべり軸受ユニットを備えた回転陽極型Ｘ線管装置によれば、回転陽極型Ｘ線管装置は、回転体１２、固定体１５、金属潤滑剤１９、ステータコイル６及び加振器８を備えている。加振器８はすべり軸受けに振動を加えることができる。このため、回転体１２の回転動作起動中及び回転動作停止中に、軸受面１２Ｓ及び他の軸受面１５Ｓ間を非接触状態に保つことができる。 According to the rotary anode type X-ray tube device provided with the plain bearing unit configured as described above, the rotary anode type X-ray tube device includes the rotary body 12, the fixed body 15, the metal lubricant 19, the stator coil 6, and A vibration exciter 8 is provided. The vibration exciter 8 can apply vibration to the sliding bearing. For this reason, it is possible to keep the bearing surface 12S and the other bearing surface 15S in a non-contact state while the rotating body 12 is starting up and stopped.

これにより、軸受面１２Ｓ及び他の軸受面１５Ｓ同士の接触を抑制することができる。さらに、軸受面１２Ｓ及び他の軸受面１５Ｓの少なくとも一方が削られてなる異物の発生自体を抑制することができるため、異物の金属潤滑剤１９への混入を抑制することができ、軸受面１２Ｓ及び他の軸受面１５Ｓに与えるダメージを抑制することができる。 Thereby, contact between bearing surface 12S and other bearing surfaces 15S can be suppressed. Furthermore, since it is possible to suppress the occurrence of the foreign matter itself formed by scraping at least one of the bearing surface 12S and the other bearing surface 15S, it is possible to suppress the entry of the foreign matter into the metal lubricant 19, and the bearing surface 12S. And damage to the other bearing surface 15S can be suppressed.

上記したことから、安定した動圧を得ることができ、良好な軸受動作を維持することができるすべり軸受ユニット及び回転陽極型Ｘ線管装置を得ることができる。 From the above, it is possible to obtain a sliding bearing unit and a rotary anode type X-ray tube device that can obtain a stable dynamic pressure and can maintain a good bearing operation.

なお、この発明は上記実施の形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化可能である。また、上記実施の形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。 Note that the present invention is not limited to the above-described embodiment as it is, and can be embodied by modifying the components without departing from the scope of the invention in the implementation stage. Various inventions can be formed by appropriately combining a plurality of constituent elements disclosed in the embodiments. For example, some components may be deleted from all the components shown in the embodiment.

例えば、図７に示すように、加振器８は、回転軸ａに沿った方向にすべり軸受けに並んで位置していても良い。ここでは、加振器８は筐体２の外面に直接固定されている。なお、加振器８は筐体２の内部に設けられていても良く、すべり軸受けに振動を加えることができるように設けられていれば良い。 For example, as shown in FIG. 7, the vibrator 8 may be positioned side by side with the slide bearing in the direction along the rotation axis a. Here, the vibrator 8 is directly fixed to the outer surface of the housing 2. Note that the vibrator 8 may be provided inside the housing 2 and may be provided so as to apply vibration to the sliding bearing.

図８に示すように、冷却部３０（ポンプ３２）は筐体２に直接固定されていても良い。そして、冷却部３０（ポンプ３２）の振動を利用し、上記加振器８の機能を冷却部３０（ポンプ３２）に持たせても良い。但し、ポンプ駆動が商用周波数となる可能性が高いため、陽極起動周波数はインバータ電源を使用し６０Ｈｚよりも高くすることが望ましい。 As shown in FIG. 8, the cooling unit 30 (pump 32) may be directly fixed to the housing 2. And you may give the function of the said vibrator 8 to the cooling part 30 (pump 32) using the vibration of the cooling part 30 (pump 32). However, since there is a high possibility that the pump drive becomes a commercial frequency, it is desirable that the anode starting frequency be higher than 60 Hz using an inverter power supply.

その他、上記加振器８の機能をステータコイル６に持たせても良い。この場合、ステータコイル駆動電源部３５に切り替えスイッチを設け、回転のできない周波数帯で回転体１２に振動を与えても良い。 In addition, the stator coil 6 may have the function of the vibrator 8. In this case, a changeover switch may be provided in the stator coil drive power supply unit 35 to apply vibration to the rotating body 12 in a frequency band where rotation is not possible.

加振器８の発生する振動数は、ステータコイル６が回転体１２を回転させるための回転駆動周波数と異なっていれば良い。加振器８の発生する振動数が回転駆動周波数と等しい場合、回転体１２がステータコイル６から受ける電磁振幅と加振振動が共振し、異常に大きな増幅共振が発生し、軸受面にダメージを与えてしまう恐れがある。加振器８の発生する振動数は、回転駆動周波数より高くても低くても良い。加振器８の発生する振動数は、数キロＨｚの高周波でも良い。 The frequency generated by the vibrator 8 may be different from the rotational driving frequency for the stator coil 6 to rotate the rotating body 12. When the vibration frequency generated by the vibration exciter 8 is equal to the rotational drive frequency, the electromagnetic amplitude received by the rotating body 12 from the stator coil 6 and the vibration vibration resonate, resulting in an abnormally large resonance and damage to the bearing surface. There is a risk of giving. The frequency generated by the vibrator 8 may be higher or lower than the rotational drive frequency. The vibration frequency generated by the vibrator 8 may be a high frequency of several kiloHz.

固定体１５の他の軸受面１５Ｓにらせん溝やその他の溝が形成されていても上述した効果を得ることができる。また、固定体１５が掻き込み部１５ａ、１５ｂ、１５ｃ、１５ｄ等を設けずに形成されていても、すなわち、他の軸受面１５Ｓが平滑な面であっても、上記した効果を得ることができる。
すべり軸受ユニットは、回転陽極型Ｘ線管装置に限らず、各種装置に適用することができる。
以下に、本願出願の当初の特許請求の範囲に記載された発明を付記する。
［１］回転軸に沿って延出して筒状に形成され、内面に軸受面を含み、前記回転軸を中心に回転可能な回転体と、
前記回転軸に沿って延出して前記回転体の内部に嵌合され、外面に前記軸受面と対向した他の軸受面を含み、前記回転体を回転可能に支持する固定体と、
前記軸受面及び他の軸受面間の隙間に充填され、前記軸受面及び他の軸受面とともにすべり軸受けを形成する潤滑剤と、
前記回転体を回転させる回転駆動機構と、
前記すべり軸受けに振動を加える加振器と、を備えたすべり軸受ユニット。
［２］電子を放出する陰極と、
前記陰極から放出される電子が衝突されることによりＸ線を放出する陽極ターゲットと、
前記陽極ターゲットを固定し、回転軸に沿って延出して筒状に形成され、内面に軸受面を含み、前記回転軸を中心に回転可能な回転体と、
前記回転軸に沿って延出して前記回転体の内部に嵌合され、外面に前記軸受面と対向した他の軸受面を含み、前記回転体を回転可能に支持する固定体と、
前記軸受面及び他の軸受面間の隙間に充填され、前記軸受面及び他の軸受面とともにすべり軸受けを形成する潤滑剤と、
前記陰極及び陽極ターゲットを収容した真空外囲器と、
前記回転体を回転させる回転駆動機構と、
前記すべり軸受けに振動を加える加振器と、を備えた回転陽極型Ｘ線管装置。
［３］前記加振器の発生する振動数は、前記回転駆動機構が前記回転体を回転させるための回転駆動周波数と異なる［２］に記載の回転陽極型Ｘ線管装置。
［４］前記加振器を稼動させ前記すべり軸受けに振動を加えた後、前記回転駆動機構を稼動させ前記回転体を回転させる制御機構をさらに備えた［２］に記載の回転陽極型Ｘ線管装置。
［５］前記回転体の回転に伴って生じる前記回転体の振動数を検出する振動検出器をさらに備え、
前記制御機構は、前記振動検出器が検出した振動数が、前記回転体が前記固定体に非接触状態となる非接触振動数以上かどうか判断し、前記検出した振動数が前記非接触振動数未満の場合に前記加振器を継続して稼動させ、前記検出した振動数が前記非接触振動数以上の場合に前記加振器の稼動を停止させる［４］に記載の回転陽極型Ｘ線管装置。
［６］前記回転駆動機構を稼動させ前記回転体を回転させた後、前記回転駆動機構の稼動を停止させ、前記回転駆動機構の稼動を停止してから前記回転体の回転が停止するまでの間に前記加振器を稼動させる制御機構をさらに備えた［２］に記載の回転陽極型Ｘ線管装置。 The effects described above can be obtained even if the other bearing surface 15S of the fixed body 15 is formed with a spiral groove or other grooves. Further, even if the fixed body 15 is formed without providing the scraping portions 15a, 15b, 15c, and 15d, that is, even if the other bearing surface 15S is a smooth surface, the above-described effects can be obtained. it can.
The plain bearing unit can be applied not only to the rotary anode type X-ray tube device but also to various devices .
Hereinafter, the invention described in the scope of claims of the present application will be appended.
[1] A rotating body that extends along the rotation axis and is formed in a cylindrical shape, includes a bearing surface on an inner surface, and is rotatable about the rotation axis;
A fixed body that extends along the rotating shaft, is fitted inside the rotating body, includes another bearing surface facing the bearing surface on an outer surface, and rotatably supports the rotating body;
A lubricant that fills a gap between the bearing surface and the other bearing surface, and forms a sliding bearing together with the bearing surface and the other bearing surface;
A rotation drive mechanism for rotating the rotating body;
A slide bearing unit comprising: a vibrator for applying vibration to the slide bearing.
[2] a cathode that emits electrons;
An anode target that emits X-rays when electrons emitted from the cathode collide;
The anode target is fixed, is formed in a cylindrical shape extending along the rotation axis, includes a bearing surface on the inner surface, and a rotating body that is rotatable about the rotation axis;
A fixed body that extends along the rotating shaft, is fitted inside the rotating body, includes another bearing surface facing the bearing surface on an outer surface, and rotatably supports the rotating body;
A lubricant that fills a gap between the bearing surface and the other bearing surface, and forms a sliding bearing together with the bearing surface and the other bearing surface;
A vacuum envelope containing the cathode and anode target;
A rotation drive mechanism for rotating the rotating body;
A rotary anode type X-ray tube device comprising: a vibrator for applying vibration to the sliding bearing.
[3] The rotating anode X-ray tube device according to [2], wherein a frequency generated by the vibrator is different from a rotation driving frequency for the rotation driving mechanism to rotate the rotating body.
[4] The rotating anode X-ray according to [2], further comprising a control mechanism that operates the vibration exciter and applies vibration to the slide bearing, and then operates the rotation driving mechanism to rotate the rotating body. Tube equipment.
[5] The apparatus further includes a vibration detector that detects a frequency of the rotating body that is generated as the rotating body rotates.
The control mechanism determines whether the frequency detected by the vibration detector is equal to or higher than a non-contact frequency at which the rotating body is in a non-contact state with the fixed body, and the detected frequency is the non-contact frequency. The rotating anode type X-ray according to [4], wherein the vibrator is continuously operated when the frequency is less than, and the operation of the vibrator is stopped when the detected frequency is equal to or higher than the non-contact frequency. Tube equipment.
[6] After the rotation drive mechanism is operated and the rotation body is rotated, the rotation drive mechanism is stopped, and the rotation drive mechanism is stopped until the rotation of the rotation body is stopped. The rotary anode X-ray tube device according to [2], further comprising a control mechanism for operating the vibrator in between.

この発明の実施の形態に係る回転陽極型Ｘ線管装置を示す断面図。Sectional drawing which shows the rotary anode type | mold X-ray tube apparatus which concerns on embodiment of this invention. 図１に示した回転陽極型Ｘ線管を示す断面図。Sectional drawing which shows the rotating anode type | mold X-ray tube shown in FIG. 図２に示した回転陽極型Ｘ線管の一部を示す拡大断面図であり、特に、固定体、回転体及び金属潤滑剤を示す図。FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view showing a part of the rotary anode type X-ray tube shown in FIG. 2, and in particular, a view showing a fixed body, a rotary body and a metal lubricant. 上記回転陽極型Ｘ線管装置の稼動方法において、加振器のＯＮ／ＯＦＦを切替える状態を示すタイミングチャート。The timing chart which shows the state which switches ON / OFF of a vibration exciter in the operating method of the said rotary anode type X-ray tube apparatus. 上記回転陽極型Ｘ線管装置の稼動方法において、ステータコイルの電源のＯＮ／ＯＦＦを切替える状態を示すタイミングチャート。The timing chart which shows the state which switches ON / OFF of the power supply of a stator coil in the operating method of the said rotary anode type X-ray tube apparatus. 上記回転陽極型Ｘ線管装置の稼動方法において、回転体の回転状態を示すタイミングチャート。The timing chart which shows the rotation state of a rotary body in the operating method of the said rotary anode type X-ray tube apparatus. 上記回転陽極型Ｘ線管装置の変形例を示す図。The figure which shows the modification of the said rotating anode type X-ray tube apparatus. 上記回転陽極型Ｘ線管装置の他の変形例を示す図。The figure which shows the other modification of the said rotating anode type X-ray tube apparatus.

Explanation of symbols

１…回転陽極型Ｘ線管、２…筐体、３…絶縁油、６…ステータコイル、７…制御機構、８…加振器、９…振動検出器、１１…陽極ターゲット、１１ａ…ターゲット層、１２…回転体、１２Ｓ…軸受面、１５…固定体、１５Ｓ…他の軸受面、１６…シール部、１７…真空外囲器、１８ａ…陰極、１９…金属潤滑剤、３０…冷却部、３１…冷却器、３２…ポンプ、３５…ステータコイル駆動電源部、３６…回転状態検出部、３７…加振器制御部、３８…主制御部、ａ…回転軸。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Rotary anode type X-ray tube, 2 ... Housing, 3 ... Insulating oil, 6 ... Stator coil, 7 ... Control mechanism, 8 ... Exciter, 9 ... Vibration detector, 11 ... Anode target, 11a ... Target layer , 12 ... Rotating body, 12S ... Bearing surface, 15 ... Fixed body, 15S ... Other bearing surface, 16 ... Sealing part, 17 ... Vacuum envelope, 18a ... Cathode, 19 ... Metal lubricant, 30 ... Cooling part, DESCRIPTION OF SYMBOLS 31 ... Cooler, 32 ... Pump, 35 ... Stator coil drive power supply part, 36 ... Rotation state detection part, 37 ... Exciter control part, 38 ... Main control part, a ... Rotating shaft.

Claims

A rotating body that extends along the rotation axis, is formed in a cylindrical shape, includes a bearing surface on the inner surface, and is rotatable about the rotation axis;
A fixed body that extends along the rotating shaft, is fitted inside the rotating body, includes another bearing surface facing the bearing surface on an outer surface, and rotatably supports the rotating body;
A lubricant that fills a gap between the bearing surface and the other bearing surface, and forms a sliding bearing together with the bearing surface and the other bearing surface;
Wherein comprising a first function of the rotator Ru is rotated, and a second function of providing a vibration to the rotating body, and a rotary drive mechanism having a
Frequency is different to slip bearing unit with rotational driving frequency which the rotary drive mechanism is generated in order to exert said first function the rotation driving mechanism is generated in order to exert said second function.

A cathode that emits electrons;
An anode target that emits X-rays when electrons emitted from the cathode collide;
The anode target is fixed, is formed in a cylindrical shape extending along the rotation axis, includes a bearing surface on the inner surface, and a rotating body that is rotatable about the rotation axis;
A fixed body that extends along the rotating shaft, is fitted inside the rotating body, includes another bearing surface facing the bearing surface on an outer surface, and rotatably supports the rotating body;
A lubricant that fills a gap between the bearing surface and the other bearing surface, and forms a sliding bearing together with the bearing surface and the other bearing surface;
A vacuum envelope containing the cathode and anode target;
Wherein comprising a first function of the rotator Ru is rotated, and a second function of providing a vibration to the rotating body, and a rotary drive mechanism having a
The rotational frequency of the drive mechanism occurs to exert the second function, the rotary drive mechanism rotates the driving frequency is different from the rotating anode X-ray tube device for generating in order to exert said first function.

The rotary anode X-ray tube apparatus according to claim 2, further comprising a control mechanism that causes the rotation drive mechanism to exhibit the first function after the rotation drive mechanism exhibits the second function .

A vibration detector for detecting the frequency of the rotating body that is generated along with the rotation of the rotating body;
The control mechanism determines whether the frequency detected by the vibration detector is equal to or higher than a non-contact frequency at which the rotating body is in a non-contact state with the fixed body, and the detected frequency is the non-contact frequency. the rotation driving mechanism to continue the demonstration of the second function in the case of less than, claim frequency that the detection to stop the exhibition of the second function to the rotary drive mechanism in the case of more than the non-contact frequency 4. A rotating anode X-ray tube device according to item 3 .

After said rotary drive Organization to be exhibited the first function by rotating the rotating body, the exertion of the first function to the rotary drive Organization is stopped, the first function to the rotary drive Organization the rotary rotating anode X-ray tube apparatus according to claim 2, further comprising a control mechanism to exert the second function to the drive mechanism until the rotation of the exhibit stopped by either et the rotating body is stopped .

  A cathode that emits electrons;
  An anode target that emits X-rays when electrons emitted from the cathode collide;
  The anode target is fixed, is formed in a cylindrical shape extending along the rotation axis, includes a bearing surface on the inner surface, and a rotating body that is rotatable about the rotation axis;
  A fixed body that extends along the rotating shaft, is fitted inside the rotating body, includes another bearing surface facing the bearing surface on an outer surface, and rotatably supports the rotating body;
  A lubricant that fills a gap between the bearing surface and the other bearing surface, and forms a sliding bearing together with the bearing surface and the other bearing surface;
  A vacuum envelope containing the cathode and anode target;
  A rotation drive mechanism for rotating the rotating body;
  A vibrator for applying vibration to the sliding bearing;
  A control mechanism for operating the vibration exciter and applying vibration to the sliding bearing, and then operating the rotation drive mechanism to rotate the rotating body;
  A vibration detector that detects the frequency of the rotating body that is generated along with the rotation of the rotating body,
  The control mechanism determines whether the frequency detected by the vibration detector is equal to or higher than a non-contact frequency at which the rotating body is in a non-contact state with the fixed body, and the detected frequency is the non-contact frequency. A rotating anode X-ray tube device that continuously operates the vibrator when the frequency is less than the frequency, and stops the operation of the vibrator when the detected frequency is equal to or higher than the non-contact frequency.