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JP5284296B2 - Dye-sensitized solar cell - Google Patents
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Description

本発明は、色素増感太陽電池に関する。 The present invention relates to a dye-sensitized solar cell .

色素増感太陽電池は、スイスのグレッツェルらにより開発されたものであり、光電変換効率が高く、製造コストが安い等の利点をもち、新しいタイプの太陽電池として注目を集めている(例えば、特許文献1、非特許文献1、特願2001−400593号など参照)。   Dye-sensitized solar cells were developed by Gretzel of Switzerland and have advantages such as high photoelectric conversion efficiency and low manufacturing costs, and are attracting attention as new types of solar cells (for example, patents) Reference 1, Non-Patent Document 1, Japanese Patent Application No. 2001-400593, etc.).

図8(a)、(b)は、従来の色素増感太陽電池の一例を示すものである。この色素増感太陽電池は、電極基板1上に、酸化チタンなどの酸化物半導体微粒子からなり、光増感色素が担持された酸化物半導体多孔膜2を有する作用極3と、この作用極3に対向して設けられた対極4とを備えている。そして、これらの作用極3と対極4との間には、電解液が充填されることにより電解質層5が形成されている。   8A and 8B show an example of a conventional dye-sensitized solar cell. The dye-sensitized solar cell includes a working electrode 3 having an oxide semiconductor porous film 2 made of oxide semiconductor fine particles such as titanium oxide and carrying a photosensitizing dye on an electrode substrate 1, and the working electrode 3. And a counter electrode 4 provided to face each other. An electrolyte layer 5 is formed between the working electrode 3 and the counter electrode 4 by being filled with an electrolytic solution.

前記電極基板1は、ガラス板などの基材10上に、スズ添加酸化インジウム(ITO)やフッ素添加酸化スズ(FTO)などからなる透明導電層11を形成したものである。また、酸化物半導体多孔膜2からの集電効率を向上するため、透明導電層11の上に、金、白金、銀などからなる格子状の金属配線層12が設られている。さらに、金属配線層12や透明導電層11の表面は、金属配線層12の腐食、電解質層5との短絡や漏れ電流(逆電子移動)等による出力低下などの不都合を抑制するため、ITO、FTO、酸化チタン、酸化亜鉛などの酸化物半導体からなる遮蔽層13により被覆されている。
また、電解質層5に代えて、p型半導体などからなる固体の電荷移送層6を用いることもある。
この色素増感太陽電池においては、基材10側から太陽光などの光が入射すると、作用極3と対極4との間に起電力が生じるようになっている。
The electrode substrate 1 is formed by forming a transparent conductive layer 11 made of tin-added indium oxide (ITO), fluorine-added tin oxide (FTO) or the like on a base material 10 such as a glass plate. Further, in order to improve the current collection efficiency from the oxide semiconductor porous film 2, a grid-like metal wiring layer 12 made of gold, platinum, silver or the like is provided on the transparent conductive layer 11. Furthermore, the surface of the metal wiring layer 12 or the transparent conductive layer 11 is made of ITO, in order to suppress inconveniences such as corrosion of the metal wiring layer 12, short circuit with the electrolyte layer 5, output decrease due to leakage current (reverse electron transfer), etc. It is covered with a shielding layer 13 made of an oxide semiconductor such as FTO, titanium oxide, or zinc oxide.
Further, instead of the electrolyte layer 5, a solid charge transport layer 6 made of a p-type semiconductor or the like may be used.
In this dye-sensitized solar cell, an electromotive force is generated between the working electrode 3 and the counter electrode 4 when light such as sunlight enters from the substrate 10 side.

特開平01−220380号公報Japanese Patent Laid-Open No. 01-220380

ミカエル・グレーツェル(M. Graetzel)ら、ネイチャー(Nature)誌、(英国)、1991年、第737号、p.353M. Graetzel et al., Nature, (UK), 1991, No. 737, p. 353

前記遮蔽層13の形成は、スパッタ法やスプレー熱分解法(SPD)などの薄膜形成法を用いて、酸化物半導体からなる膜を金属配線層12上に成膜することにより行うことができる。しかし、透明導電層11や金属配線層12の表面はボイドや亀裂、粒界などの微細な凹凸形状(プロファイル)を呈しているため、緻密な遮蔽層13を均一に形成することは難しく、遮蔽層13の形成不良により、金属配線層12が露出された未被覆部分が生じることがある。この場合、金属配線層12の腐食や、金属配線層12から電解質層5などへの逆電子移動による漏れ電流の発生等による出力低下などの不都合を抑制する効果が低下し、該太陽電池(セル)の特性を著しく損ねるおそれがある。
遮蔽層13の形成不良を抑制するため、遮蔽層13の被覆厚を厚くすると、光電子移動の阻害を生じたり、光透過率の低下のため、却って光電変換効率を低下させるおそれがある。
The shielding layer 13 can be formed by forming a film made of an oxide semiconductor on the metal wiring layer 12 by using a thin film forming method such as sputtering or spray pyrolysis (SPD). However, since the surfaces of the transparent conductive layer 11 and the metal wiring layer 12 have fine irregularities (profiles) such as voids, cracks, and grain boundaries, it is difficult to form the dense shielding layer 13 uniformly. The formation failure of the layer 13 may cause an uncovered portion where the metal wiring layer 12 is exposed. In this case, the effect of suppressing inconveniences such as corrosion of the metal wiring layer 12 and reduction in output due to generation of leakage current due to reverse electron transfer from the metal wiring layer 12 to the electrolyte layer 5 or the like is reduced. ) May be significantly impaired.
If the coating thickness of the shielding layer 13 is increased in order to suppress the formation failure of the shielding layer 13, there is a possibility that the photoelectron movement is inhibited or the photoelectric conversion efficiency is lowered due to a decrease in light transmittance.

例えば、金属配線層12の形成を、金属微粒子などの導電性粒子と、ガラスフリットなどの結合剤とを主成分とする導電性ペーストを用いて行う場合、金属配線層12の導電率の点からは、結合剤の配合比は少ないほうがよいが、金属配線層12の内部や表面にボイドやピンホールなどの微細かつ急峻な凹凸、影部が生じやすく、遮蔽層の形成が困難である。結合剤の配合比を増やすと、金属配線層12の導電率が低下するため、集電効率が低下し、セル特性を著しく損ねるおそれがある。   For example, when the metal wiring layer 12 is formed using a conductive paste mainly composed of conductive particles such as metal fine particles and a binder such as glass frit, from the viewpoint of the conductivity of the metal wiring layer 12. Although it is better that the blending ratio of the binder is small, fine and steep irregularities such as voids and pinholes and shadows are likely to be formed in or on the metal wiring layer 12, and it is difficult to form a shielding layer. When the blending ratio of the binder is increased, the conductivity of the metal wiring layer 12 is lowered, so that the current collection efficiency is lowered and the cell characteristics may be remarkably impaired.

また、電極基板1に金属配線層12を設けず、酸化物半導体多孔膜2からの集電を透明導電層11のみで行おうとすると、透明導電層11を構成するFTOなどの半導体の比抵抗が10-4〜10-3Ω・cm程度と、金、銀などの金属の100倍以上となることから、特に大面積セルの場合に光電変換効率の低下が著しくなる。透明導電層11の抵抗を下げるため、その厚さを大きくすると、該透明導電層11の光透過性が著しく低下し、やはり、光電変換効率の低下となる。
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであって、金属配線層と透明導電層を有する電極基板において、金属配線層の腐食や金属配線層からの漏れ電流による特性の劣化を抑制することを課題とする。
Further, when the electrode substrate 1 is not provided with the metal wiring layer 12 and current collection from the oxide semiconductor porous film 2 is performed only by the transparent conductive layer 11, the specific resistance of a semiconductor such as FTO constituting the transparent conductive layer 11 is reduced. Since it is about 10 −4 to 10 −3 Ω · cm, which is 100 times or more that of metals such as gold and silver, particularly in the case of a large-area cell, the photoelectric conversion efficiency is significantly reduced. If the thickness of the transparent conductive layer 11 is increased in order to reduce the resistance of the transparent conductive layer 11, the light transmittance of the transparent conductive layer 11 is remarkably lowered, and the photoelectric conversion efficiency is also lowered.
The present invention has been made in view of the above circumstances, and in an electrode substrate having a metal wiring layer and a transparent conductive layer, suppresses deterioration of characteristics due to corrosion of the metal wiring layer or leakage current from the metal wiring layer. Is an issue.

本発明は、前記課題を解決するため、電極基板と、前記電極基板の表面上に形成された増感色素が担持された酸化物半導体多孔膜と、前記電極基板と対向して設けられた対極との間に形成され、酸化還元対と有機溶媒を含む電解液を用いた電解質層を備える色素増感太陽電池であって、前記対極は、基板と、前記基板上に、導電性酸化物半導体からなる薄膜または導電性材料の層により形成した電極とからなり、前記電極基板は、基材上に、金属配線層と、この金属配線層に電気的に接続された透明導電層とを有し、前記透明導電層の上に前記金属配線層が形成され、前記金属配線層が絶縁層により絶縁被覆されていることを特徴とする色素増感太陽電池を提供する。
このような電極基板によれば、金属配線層が電解質溶液などから確実に遮蔽され、その腐食や漏れ電流を効果的に抑制することができる。従って、導電性に優れる電極基板となる。これにより、電極基板の金属配線層の腐食や漏れ電流などによる出力の低下を抑制し、光電変換効率の高い色素増感太陽電池を得ることができる。
絶縁層は、ガラス成分を含む材料から形成することが好ましく、特に、ガラスフリットを含むペーストの印刷により形成することが好ましい。これにより、金属配線層を確実に絶縁遮蔽できる絶縁層を容易に形成することができる。
また、金属配線層は、印刷法により形成することが好ましい。これにより、所望のパターンを有する金属配線層を容易に形成することができる。
In order to solve the above problems, the present invention provides an electrode substrate, an oxide semiconductor porous film carrying a sensitizing dye formed on the surface of the electrode substrate, and a counter electrode provided facing the electrode substrate. A dye-sensitized solar cell comprising an electrolyte layer using an electrolyte containing an oxidation-reduction pair and an organic solvent , wherein the counter electrode is a conductive oxide semiconductor on the substrate and the substrate The electrode substrate has a metal wiring layer and a transparent conductive layer electrically connected to the metal wiring layer on a base material. Provided is a dye-sensitized solar cell , wherein the metal wiring layer is formed on the transparent conductive layer, and the metal wiring layer is covered with an insulating layer.
According to such an electrode substrate, the metal wiring layer is reliably shielded from the electrolyte solution and the like, and corrosion and leakage current can be effectively suppressed. Therefore, the electrode substrate is excellent in conductivity. Thereby, the fall of the output by the corrosion of the metal wiring layer of an electrode substrate, leakage current, etc. can be suppressed, and a dye-sensitized solar cell with high photoelectric conversion efficiency can be obtained.
The insulating layer is preferably formed from a material containing a glass component, and particularly preferably formed by printing a paste containing glass frit. As a result, an insulating layer capable of reliably insulating and shielding the metal wiring layer can be easily formed.
The metal wiring layer is preferably formed by a printing method. Thereby, a metal wiring layer having a desired pattern can be easily formed.

以上説明したように、本発明の電極基板は、基材上に、金属配線層と、この金属配線層に電気的に接続された透明導電層を有し、前記金属配線層が絶縁層により絶縁被覆されているものであるので、金属配線層が電解質溶液などから確実に遮蔽され、その腐食や漏れ電流を効果的に抑制することができる。また、透明導電層のみを電極の導電体として用いた場合に比べて、抵抗を下げ、導電性に優れた電極基板を得ることができる。   As described above, the electrode substrate of the present invention has a metal wiring layer and a transparent conductive layer electrically connected to the metal wiring layer on the base material, and the metal wiring layer is insulated by the insulating layer. Since it is covered, the metal wiring layer is reliably shielded from the electrolyte solution and the like, and its corrosion and leakage current can be effectively suppressed. Moreover, compared with the case where only a transparent conductive layer is used as an electrode conductor, the resistance can be lowered and an electrode substrate excellent in conductivity can be obtained.

このような電極基板を光電変換素子に用いた場合には、酸化物半導体多孔膜を通ってくる電子を、透明導電層を介して集電し、さらに金属配線層により集電効率を向上することができる。このため、該電極基板の抵抗を低下させるとともに、金属配線層の腐食等による品質の劣化、漏れ電流等による出力の低下などの不都合を抑制することができるので、例えば、絶縁層を設けない場合に比べて、例えば、100mm角級の大面積セルにおいても、光電変換効率を大幅に向上することができる。   When such an electrode substrate is used for a photoelectric conversion element, the electrons passing through the oxide semiconductor porous film are collected through the transparent conductive layer, and further the current collection efficiency is improved by the metal wiring layer. Can do. For this reason, it is possible to reduce the resistance of the electrode substrate and to suppress inconveniences such as deterioration of quality due to corrosion of the metal wiring layer, output reduction due to leakage current, etc. For example, when an insulating layer is not provided As compared with the above, for example, even in a large area cell of 100 mm square class, the photoelectric conversion efficiency can be greatly improved.

本発明の(a)光電変換素子、および(b)電極基板の一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows an example of (a) photoelectric conversion element of this invention, and (b) electrode substrate. 金属配線層の概略形状の一例を示す部分平面図である。It is a fragmentary top view which shows an example of schematic shape of a metal wiring layer. 本発明の電極基板の第2の実施の形態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows 2nd Embodiment of the electrode substrate of this invention. 本発明の電極基板の第3の実施の形態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows 3rd Embodiment of the electrode substrate of this invention. 本発明の電極基板の第4の実施の形態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows 4th Embodiment of the electrode substrate of this invention. 本発明の電極基板の第5の実施の形態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows 5th Embodiment of the electrode substrate of this invention. 本発明の電極基板の第6の実施の形態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows 6th Embodiment of the electrode substrate of this invention. 従来の光電変換素子の一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows an example of the conventional photoelectric conversion element.

以下、実施の形態に基づいて、本発明を詳しく説明する。図1(a)は、本発明の光電変換素子の一例を示す断面図であり、図1(b)は、この光電変換素子に用いられている電極基板1を示す断面図である。
図1中、図8で用いた符号と同一の符号は、図1の構成と同様のものであることを意味する。この光電変換素子は、従来のものと同様の作用効果により、基材10側から太陽光などの光が入射すると、作用極3と対極4との間に起電力が生じ、これにより電力が得られる色素増感太陽電池である。
本実施の形態の光電変換素子が従来のものと異なる点は、図1(b)に示すように、電極基板1が、基材10上に、透明導電層11と、この透明導電層11の上に形成された金属配線層12と、この金属配線層12の表面を被覆する絶縁層14とを備えており、この絶縁層14により、金属配線層12の上が被覆されていることである。
Hereinafter, the present invention will be described in detail based on embodiments. Fig.1 (a) is sectional drawing which shows an example of the photoelectric conversion element of this invention, FIG.1 (b) is sectional drawing which shows the electrode substrate 1 used for this photoelectric conversion element.
In FIG. 1, the same reference numerals as those used in FIG. 8 mean the same configurations as those in FIG. In this photoelectric conversion element, an electromotive force is generated between the working electrode 3 and the counter electrode 4 when light such as sunlight enters from the substrate 10 side due to the same effect as that of the conventional device, thereby obtaining electric power. A dye-sensitized solar cell.
The photoelectric conversion element of the present embodiment is different from the conventional one in that, as shown in FIG. 1B, the electrode substrate 1 is formed on a base material 10 with a transparent conductive layer 11 and the transparent conductive layer 11. The metal wiring layer 12 formed above and an insulating layer 14 covering the surface of the metal wiring layer 12 are provided, and the metal wiring layer 12 is covered with the insulating layer 14. .

基材10の材料としては、用途上、光透過性の高いものが好ましく、ガラスの他、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート(PEN)、ポリカーボネート(PC)、ポリエーテルスルホン(PES)などの透明プラスチックシート、酸化チタン、アルミナなどのセラミックスの研磨板などを用いることができる。   As a material of the base material 10, a material having high light transmittance is preferable for use. Besides glass, polyethylene terephthalate (PET), polyethylene naphthalate (PEN), polycarbonate (PC), polyethersulfone (PES), and the like. A transparent plastic sheet, a polishing plate made of ceramics such as titanium oxide, and alumina can be used.

透明導電層11は、基材10上に、金属配線層12の形成領域より広い領域に亘って形成されており、その材料としては特に限定されるものではないが、例えば、スズ添加酸化インジウム(ITO)、酸化スズ(SnO2)、フッ素添加酸化スズ(FTO)等の導電性金属酸化物が挙げられる。
透明導電層11を形成する方法としては、透明導電層11の材料に応じた公知の適切な方法を用いればよいが、例えば、スパッタ法、蒸着法、SPD法、CVD法などが挙げられる。そして、光透過性と導電性を考慮して、通常0.001μm〜10μm程度の膜厚に形成される。
The transparent conductive layer 11 is formed on the substrate 10 over a region wider than the region where the metal wiring layer 12 is formed, and the material thereof is not particularly limited. For example, tin-doped indium oxide ( Examples thereof include conductive metal oxides such as ITO), tin oxide (SnO 2 ), and fluorine-added tin oxide (FTO).
As a method for forming the transparent conductive layer 11, a known appropriate method according to the material of the transparent conductive layer 11 may be used. Examples thereof include a sputtering method, a vapor deposition method, an SPD method, and a CVD method. In consideration of light transmittance and conductivity, the film is usually formed to a thickness of about 0.001 μm to 10 μm.

金属配線層12は、金、銀、白金、アルミニウム、ニッケル、チタンなどの金属を、図2にしめすように格子状、縞状、櫛型などのパターンにより、配線として形成したものである。電極基板1の光透過性を著しく損ねないためには、各配線の幅を1000μm以下と細くすることが好ましい。金属配線層12の各配線の厚さ(高さ)は、特に制限されないが、0.1〜10μmとすることが好ましい。   The metal wiring layer 12 is formed by wiring a metal such as gold, silver, platinum, aluminum, nickel, titanium or the like in a pattern such as a grid, stripe, or comb as shown in FIG. In order not to significantly impair the light transmittance of the electrode substrate 1, it is preferable that the width of each wiring is as thin as 1000 μm or less. The thickness (height) of each wiring of the metal wiring layer 12 is not particularly limited, but is preferably 0.1 to 10 μm.

金属配線層12を形成する方法としては、例えば、導電粒子となる金属粉とガラス微粒子などの結合剤を配合してペースト状にし、これをスクリーン印刷法、メタルマスク法、インクジェット法などの印刷法を用いて所定のパターンを形成するように塗膜し、加熱して焼成によって導電粒子を融着させる方法が挙げられる。焼成温度としては、例えば、基材10がガラスである場合には600℃以下、より好ましくは550℃以下とすることが好ましい。この他、スパッタ法、蒸着法、メッキ法などの形成方法を用いることもできる。
導電性の観点から、金属配線層12の体積抵抗率は、10-5Ω・cm以下であることが好ましい。金属配線層12の表面は滑らかであることが好ましいが、多少の起伏や凹凸等の存在は差し支えない。
As a method for forming the metal wiring layer 12, for example, a metal powder that becomes conductive particles and a binder such as glass fine particles are mixed to form a paste, and this is a printing method such as a screen printing method, a metal mask method, or an inkjet method. There is a method in which a coating film is formed so as to form a predetermined pattern using, and the conductive particles are fused by heating and baking. As the firing temperature, for example, when the substrate 10 is glass, it is preferably 600 ° C. or lower, more preferably 550 ° C. or lower. In addition, a forming method such as a sputtering method, a vapor deposition method, or a plating method can also be used.
From the viewpoint of conductivity, the volume resistivity of the metal wiring layer 12 is preferably 10 −5 Ω · cm or less. The surface of the metal wiring layer 12 is preferably smooth, but there may be some unevenness or unevenness.

絶縁層14は、樹脂、セラミックス、ガラス等の絶縁材料を1種類または複数種類用い、1層または複数層、金属配線層12が形成された領域の上に重ねて成膜することにより、形成することができる。絶縁層14が形成される領域は、光の入射や透明導電層11への電荷移動をさほど阻害しない程度であれば、金属配線層12のパターンの周辺に、はみ出してもよい。   The insulating layer 14 is formed by using one or a plurality of insulating materials such as resin, ceramics, glass, and the like, and depositing one or more layers on the region where the metal wiring layer 12 is formed. be able to. The region where the insulating layer 14 is formed may protrude from the periphery of the pattern of the metal wiring layer 12 as long as the incidence of light and charge transfer to the transparent conductive layer 11 are not so hindered.

絶縁層14の形成方法としては、必ずしも限定されるものではないが、ガラスフリットに適宜の増粘剤、結合剤、分散剤、溶剤などを配合してなるガラスペーストを用いて、スクリーン印刷法、メタルマスク法、インクジェット法などの印刷法により、金属配線層12のパターンに重なるように塗膜し、加熱して焼成する方法は、パターン形成の容易性、コスト面などの観点から好適である。焼成温度としては、600℃以下、より好ましくは550℃以下とすることが好ましい。このような温度で焼成可能なガラスとしては、非晶質もしくは結晶性ガラス系として、酸化鉛系、ホウ酸鉛系、ホウ酸鉛ビスマス系といった市販の含鉛系ハンダガラスのほか、非鉛系ハンダガラス等を用いることができる。絶縁層14の層数は1層としても複数層としてもよく、複数層とする場合は、1種類のガラスペーストを2回以上成膜してもよいし、または、溶融温度が異なる2種類以上のガラスペーストを用いてもよい。   The method for forming the insulating layer 14 is not necessarily limited, but a screen printing method using a glass paste obtained by blending a glass frit with an appropriate thickener, binder, dispersant, solvent, and the like. A method of coating a film so as to overlap the pattern of the metal wiring layer 12 by a printing method such as a metal mask method or an ink jet method, and heating and baking is preferable from the viewpoints of ease of pattern formation and cost. The firing temperature is preferably 600 ° C. or lower, more preferably 550 ° C. or lower. Glass that can be fired at such temperatures includes amorphous lead-based solder glass such as lead oxide, lead borate, and lead bismuth borate, as well as non-lead or amorphous glass. Solder glass or the like can be used. The number of layers of the insulating layer 14 may be one layer or a plurality of layers. In the case of a plurality of layers, one type of glass paste may be formed twice or more, or two or more types having different melting temperatures. A glass paste of may be used.

上述のようにして作製された電極基板1の表面上には、増感色素が担持された酸化物半導体多孔膜2が形成されており、電極基板1と酸化物半導体多孔膜2とにより、光電変換素子の作用極3が構成される。   An oxide semiconductor porous film 2 carrying a sensitizing dye is formed on the surface of the electrode substrate 1 manufactured as described above. The electrode substrate 1 and the oxide semiconductor porous film 2 are used to A working electrode 3 of the conversion element is configured.

酸化物半導体多孔膜2は、酸化チタン(TiO2)、酸化スズ(SnO2)、酸化タングステン(WO3)、酸化亜鉛(ZnO)、酸化ニオブ(Nb25)などの1種または2種以上を複合させた平均粒径1〜1000nmの酸化物半導体微粒子からなり、厚さが0.5〜50μm程度の多孔質の薄膜である。 The oxide semiconductor porous film 2 is one or two of titanium oxide (TiO 2 ), tin oxide (SnO 2 ), tungsten oxide (WO 3 ), zinc oxide (ZnO), niobium oxide (Nb 2 O 5 ), and the like. This is a porous thin film made of oxide semiconductor fine particles having an average particle diameter of 1 to 1000 nm and having a thickness of about 0.5 to 50 μm.

酸化物半導体多孔膜2を形成するためには、例えば、市販の酸化物半導体微粒子を所望の分散媒に分散させた分散液、あるいは、ゾル−ゲル法により調整できるコロイド溶液を、必要に応じて所望の添加剤を添加した後、スクリーンプリント法、インクジェットプリント法、ロールコート法、ドクターブレード法、スピンコート法、スプレー塗布法など公知の塗布により塗布するほか、コロイド溶液中に電極基板1を浸漬して電気泳動により酸化物半導体微粒子を電極基板1上に付着させる泳動電着法、コロイド溶液や分散液に発泡剤を混合して塗布した後、焼結して多孔質化する方法、ポリマーマイクロビーズを混合して塗布した後、このポリマーマイクロビーズを加熱処理や化学処理により除去して空隙を形成させ多孔質化する方法などを適用することができる。   In order to form the oxide semiconductor porous membrane 2, for example, a dispersion in which commercially available oxide semiconductor fine particles are dispersed in a desired dispersion medium or a colloid solution that can be adjusted by a sol-gel method is used as necessary. After adding a desired additive, the electrode substrate 1 is immersed in a colloidal solution in addition to coating by a known application such as a screen printing method, an ink jet printing method, a roll coating method, a doctor blade method, a spin coating method, or a spray coating method. Electrophoretic electrodeposition in which oxide semiconductor fine particles are deposited on the electrode substrate 1 by electrophoresis, a method in which a foaming agent is mixed and applied to a colloidal solution or dispersion, and then sintered and made porous. After mixing and applying the beads, this polymer microbead is removed by heat treatment or chemical treatment to form voids, etc. It is possible to apply.

酸化物半導体多孔膜2に担持される増感色素は、特に制限されるものではなく、例えば、ビピリジン構造、ターピリジン構造などを含む配位子を有するルテニウム錯体や鉄錯体、ポルフィリン系やフタロシアニン系の金属錯体をはじめ、エオシン、ローダミン、メロシアニンなどの有機色素などから、用途や酸化物半導体多孔膜の材料に応じて適宜選択して用いることができる。   The sensitizing dye supported on the oxide semiconductor porous film 2 is not particularly limited. For example, a ruthenium complex or iron complex having a ligand including a bipyridine structure or a terpyridine structure, a porphyrin series, or a phthalocyanine series. From metal complexes, organic dyes such as eosin, rhodamine, merocyanine, etc., they can be appropriately selected and used according to the application and the material of the oxide semiconductor porous film.

電解質層5を形成するための電解液としては、酸化還元対を含む有機溶媒や室温溶融塩などを用いることができる。前記有機溶媒としては、アセトニトリル、メトキシアセトニトリル、プロピオニトリル、エチレンカーボネート、プロピレンカーボネート、ジエチルカーボネート、γ−ブチロラクトンなどが例示される。また、室温溶融塩としては、四級化イミダゾリウム系カチオンとヨウ化物イオンまたはビストリフルオロメチルスルホニルイミドアニオンなどからなる塩類が例示される。   As an electrolytic solution for forming the electrolyte layer 5, an organic solvent containing a redox couple, a room temperature molten salt, or the like can be used. Examples of the organic solvent include acetonitrile, methoxyacetonitrile, propionitrile, ethylene carbonate, propylene carbonate, diethyl carbonate, and γ-butyrolactone. Examples of the room temperature molten salt include salts composed of a quaternized imidazolium cation and an iodide ion or a bistrifluoromethylsulfonylimide anion.

前記電解液に含有される酸化還元対としては、特に限定されることなく、ヨウ素/ヨウ化物イオン、臭素/臭化物イオンなどのペアを添加して得ることができる。ヨウ化物イオンまたは臭化物イオンの供給源としては、リチウム塩、四級化イミダゾリウム塩、テトラブチルアンモニウム塩などを単独または複合して用いることができる。
この電解液には、必要に応じてtert−ブチルピリジンなどの添加物を添加することができる。また、適当なゲル化剤によりゲル化させて流動性を抑制したものを用いてもよい。
The redox pair contained in the electrolytic solution is not particularly limited, and can be obtained by adding a pair such as iodine / iodide ion or bromine / bromide ion. As a supply source of iodide ion or bromide ion, lithium salt, quaternized imidazolium salt, tetrabutylammonium salt and the like can be used alone or in combination.
Additives such as tert-butylpyridine can be added to the electrolytic solution as necessary. Moreover, you may use what gelatinized with the suitable gelling agent and suppressed fluidity | liquidity.

また、電解質層5に代えて、p型半導体などからなる固体の電荷移送層6を用いることもできる。前記p型半導体としては、例えば、ヨウ化銅、チオシアン化銅などの一価銅化合物を好適に用いることができる。電荷移送層6の形成方法は特に制限されず、公知の方法を適用することができるが、例えば、キャスティング法、スパッタ法、蒸着法などが例示される。また、この電荷移送層6には、層形成の必要に応じて添加物を含んでいてもよい。   Further, instead of the electrolyte layer 5, a solid charge transfer layer 6 made of a p-type semiconductor or the like can also be used. As the p-type semiconductor, for example, a monovalent copper compound such as copper iodide or copper thiocyanide can be suitably used. A method for forming the charge transfer layer 6 is not particularly limited, and a known method can be applied. Examples thereof include a casting method, a sputtering method, and a vapor deposition method. In addition, the charge transport layer 6 may contain an additive as required for layer formation.

対極4としては、例えば、ガラスなどの非導電性材料からなる基板上に、ITOやFTO等の導電性酸化物半導体からなる薄膜を形成したもの、あるいは、基板上に、金、白金、炭素系材料などの導電性材料を蒸着、塗布などすることにより電極を形成したものを用いることができる。また、ITOやFTO等の導電性酸化物半導体の薄膜上に白金、カーボンなどの層を形成したものとすることもできる。   As the counter electrode 4, for example, a thin film made of a conductive oxide semiconductor such as ITO or FTO is formed on a substrate made of a nonconductive material such as glass, or a gold, platinum, or carbon-based material is formed on the substrate. A material in which an electrode is formed by vapor deposition or application of a conductive material such as a material can be used. Alternatively, a layer of platinum, carbon, or the like may be formed on a thin film of a conductive oxide semiconductor such as ITO or FTO.

このような対極4を作製する方法としては、例えば、塩化白金酸の塗布後に熱処理することにより、白金層を形成する方法が挙げられる。または、蒸着法やスパッタ法によって電極を基板上に形成してもよい。
また、電解質層5に代えて電荷移送層6を用いた場合は、該電荷移送層6上に、対極4の電極となる導電性材料を直接スパッタや塗布などの方法により層形成する方法を用いることもできる。
Examples of a method for producing such a counter electrode 4 include a method of forming a platinum layer by performing a heat treatment after applying chloroplatinic acid. Alternatively, the electrode may be formed on the substrate by vapor deposition or sputtering.
When the charge transport layer 6 is used instead of the electrolyte layer 5, a method is used in which a conductive material to be the electrode of the counter electrode 4 is directly formed on the charge transport layer 6 by a method such as sputtering or coating. You can also.

本実施の形態の電極基板によれば、透明導電層11と金属配線層12とが接触していて、電気的に接続されているので、酸化物半導体多孔膜2からの電子を、透明導電層11により集電し、さらに、金属配線層12を介して集電効率を高めることができる。また、金属配線層12が電解質層5の溶液などから確実に遮蔽され、その腐食や漏れ電流を効果的に抑制することができる。従って、導電特性に優れる電極基板1とすることができるので、本実施の形態の電極基板を用いて、光電変換素子の作用極を構成することにより、金属配線層12と電解質層5との接触を防止し、腐食や、漏れ電流による出力の低下を抑制し、光電変換効率の高い光電変換素子を製造することができる。   According to the electrode substrate of the present embodiment, since the transparent conductive layer 11 and the metal wiring layer 12 are in contact and electrically connected, electrons from the oxide semiconductor porous film 2 are transferred to the transparent conductive layer. 11 and current collection efficiency can be increased through the metal wiring layer 12. Further, the metal wiring layer 12 is reliably shielded from the solution of the electrolyte layer 5 and the like, and the corrosion and leakage current can be effectively suppressed. Therefore, since it can be set as the electrode substrate 1 which is excellent in an electroconductive characteristic, the contact of the metal wiring layer 12 and the electrolyte layer 5 is comprised by comprising the working electrode of a photoelectric conversion element using the electrode substrate of this Embodiment. Can be prevented, corrosion and a decrease in output due to leakage current can be suppressed, and a photoelectric conversion element with high photoelectric conversion efficiency can be manufactured.

図3は、本発明の電極基板の第2の実施の形態を示す概略断面図である。この例の電極基板1では、金属配線層12が基材10の上に設けられており、透明導電層11は、金属配線層12の上を跨り、該金属配線層12が形成されている領域より広い領域に亘って、形成されている。また、絶縁層14は、透明導電層11の上に、金属配線層12のパターンに重ね合わされて、金属配線層12の上面と側面を被覆するように形成されている。つまり、絶縁層14は、透明導電層11を介して、金属配線層12の上に設けられている。
このような電極基板1によれば、上記第1の実施の形態の電極基板1と同様に、絶縁層14により金属配線層12を絶縁遮蔽することができるので、漏れ電流の発生を抑制し、導電特性に優れる電極基板1とすることができる。また、この電極基板1を用いても、光電変換効率の高い光電変換素子を製造することができる。
FIG. 3 is a schematic cross-sectional view showing a second embodiment of the electrode substrate of the present invention. In the electrode substrate 1 of this example, the metal wiring layer 12 is provided on the base material 10, and the transparent conductive layer 11 straddles the metal wiring layer 12 and is a region where the metal wiring layer 12 is formed. It is formed over a wider area. The insulating layer 14 is formed on the transparent conductive layer 11 so as to overlap the pattern of the metal wiring layer 12 so as to cover the upper surface and side surfaces of the metal wiring layer 12. That is, the insulating layer 14 is provided on the metal wiring layer 12 via the transparent conductive layer 11.
According to such an electrode substrate 1, since the metal wiring layer 12 can be insulated and shielded by the insulating layer 14, similarly to the electrode substrate 1 of the first embodiment, the occurrence of leakage current is suppressed, It can be set as the electrode substrate 1 which is excellent in an electroconductive characteristic. Moreover, even if this electrode substrate 1 is used, a photoelectric conversion element with high photoelectric conversion efficiency can be manufactured.

本発明の電極基板の他の実施の形態を示す。
第3の実施の形態の電極基板は、図4に示すように、基材10上に透明導電層11が形成されており、この透明導電層11上に、格子状などのパターンとして、金属配線層12が形成されている。そして、透明導電層11の上に、酸化物半導体の薄膜からなる遮蔽層13が設けられ、金属配線層12の上に絶縁層14が形成されている。
また、第4の実施の形態の電極基板は、図5に示すように、基材10上に、格子状などのパターンとして、金属配線層12が形成されており、この金属配線層12の上に、該金属配線層12が形成された領域より広い領域に亘って、透明導電層11が形成されている。そして、透明導電層11の上に、酸化物半導体の薄膜からなる遮蔽層13が設けられている。さらに、絶縁層14が、遮蔽層13の上に、金属配線層12のパターンに重ね合わされて、金属配線層12の上面と側面を被覆するように形成されている。
金属配線層12と比較すれば問題は小さいが、透明導電層11からの逆電子移動も指摘されていることから、図4や図5に示すように、透明導電層11の上に遮蔽層13を設けることにより、より高い遮蔽効果を得ることができる。
Another embodiment of the electrode substrate of the present invention is shown.
As shown in FIG. 4, in the electrode substrate of the third embodiment, a transparent conductive layer 11 is formed on a base material 10, and a metal wiring is formed on the transparent conductive layer 11 as a pattern such as a lattice pattern. Layer 12 is formed. A shielding layer 13 made of an oxide semiconductor thin film is provided on the transparent conductive layer 11, and an insulating layer 14 is formed on the metal wiring layer 12.
Further, as shown in FIG. 5, the electrode substrate of the fourth embodiment has a metal wiring layer 12 formed on the base material 10 as a lattice pattern or the like. In addition, the transparent conductive layer 11 is formed over a region wider than the region where the metal wiring layer 12 is formed. A shielding layer 13 made of an oxide semiconductor thin film is provided on the transparent conductive layer 11. Further, the insulating layer 14 is formed on the shielding layer 13 so as to overlap the pattern of the metal wiring layer 12 so as to cover the upper surface and side surfaces of the metal wiring layer 12.
Although the problem is small as compared with the metal wiring layer 12, since reverse electron transfer from the transparent conductive layer 11 is pointed out, the shielding layer 13 is formed on the transparent conductive layer 11 as shown in FIGS. By providing this, a higher shielding effect can be obtained.

遮蔽層13の材料としては、酸化還元種を含む電解液との電子移動反応速度が低く、かつ光透過性や、光電子の移動能が高い化合物が選択され、酸化チタン、酸化亜鉛、酸化ニオブ、酸化スズ、フッ素添加酸化スズ(FTO)、スズ添加酸化インジウム(ITO)などが例示される。
遮蔽層13は、透明導電層11への電子移動を妨げない程度に薄く形成されていることが必要であり、10〜3000nm程度の厚さとすることが好ましい。遮蔽層13の形成方法としては、スパッタ法、蒸着法、SPD法、スピンコート法、ディッピング法、ドクターブレード法などが挙げられる。しかし、これらの方法では、遮蔽層13の緻密さや、基材10の表面形状への適応性が必ずしも十分とは言えず、金属配線層12の遮蔽性能を十分に得ることが難しい。このため、遮蔽層13を形成した場合にも、金属配線層12の上に、直接、あるいは、透明導電層11や遮蔽層13等を介して、絶縁層14を形成することが必要であり、これにより、金属配線層12の絶縁遮蔽を十分に行うことができる。
As the material of the shielding layer 13, a compound having a low electron transfer reaction rate with an electrolytic solution containing a redox species and having a high light transmission property and a high photoelectron transfer capability is selected. Titanium oxide, zinc oxide, niobium oxide, Examples include tin oxide, fluorine-added tin oxide (FTO), and tin-added indium oxide (ITO).
The shielding layer 13 needs to be formed so thin that it does not hinder the movement of electrons to the transparent conductive layer 11, and preferably has a thickness of about 10 to 3000 nm. Examples of the method for forming the shielding layer 13 include a sputtering method, a vapor deposition method, an SPD method, a spin coating method, a dipping method, and a doctor blade method. However, in these methods, the denseness of the shielding layer 13 and the adaptability to the surface shape of the substrate 10 are not necessarily sufficient, and it is difficult to obtain sufficient shielding performance of the metal wiring layer 12. For this reason, even when the shielding layer 13 is formed, it is necessary to form the insulating layer 14 directly on the metal wiring layer 12 or via the transparent conductive layer 11 or the shielding layer 13. Thereby, the insulation shielding of the metal wiring layer 12 can be sufficiently performed.

遮蔽層13を形成する方法としては、特に限定はなく、例えば、目的化合物である酸化物半導体またはその前駆体をスパッタ法、蒸着法、CVD法などの乾式法(気相法)により製膜する方法が挙げられる。例えば金属などの前駆体を製膜した場合には、加熱処理または化学処理などにより酸化させることにより、遮蔽層13を得ることができる。
湿式法の場合、目的化合物またはその前駆体を含有する液をスピンコート法、ディッピング法、ブレードコート法などの方法により塗布したのち、加熱処理や化学処理などにより目的の化合物に化学変化させることにより、遮蔽層13を得ることができる。前駆体としては、目的化合物の構成金属元素を有する塩類、錯体などが例示される。緻密な膜を得るためには、分散液より溶液がより好ましい。
遮蔽層13を形成する他の方法として、例えば、スプレー熱分解法(SPD)を用い、透明導電層11を有する基材10を加熱した状態で、この基材10に向けて遮蔽層13の前駆体となる物質を噴霧して熱分解させ、目的とする酸化物半導体に変化させることにより、遮蔽層13を形成する方法を用いることもできる。
このようにして、透明導電層11を遮蔽するための遮蔽層13を設けることにより、透明導電層11からの逆電子移動を抑制することができるので、本実施の形態の電極基板を用いることにより、光電変換効率の高い光電変換素子を作製することができる。
The method for forming the shielding layer 13 is not particularly limited, and for example, an oxide semiconductor as a target compound or a precursor thereof is formed by a dry method (vapor phase method) such as a sputtering method, a vapor deposition method, or a CVD method. A method is mentioned. For example, when a precursor such as metal is formed, the shielding layer 13 can be obtained by oxidation by heat treatment or chemical treatment.
In the case of the wet method, a liquid containing the target compound or its precursor is applied by a method such as spin coating, dipping, or blade coating, and then chemically changed to the target compound by heat treatment or chemical treatment. The shielding layer 13 can be obtained. Examples of the precursor include salts and complexes having a constituent metal element of the target compound. In order to obtain a dense film, a solution is more preferable than a dispersion.
As another method for forming the shielding layer 13, for example, using a spray pyrolysis method (SPD), the substrate 10 having the transparent conductive layer 11 is heated and the precursor of the shielding layer 13 is directed toward the substrate 10. A method of forming the shielding layer 13 can also be used by spraying a substance that becomes a body and thermally decomposing it into a target oxide semiconductor.
By providing the shielding layer 13 for shielding the transparent conductive layer 11 in this way, reverse electron transfer from the transparent conductive layer 11 can be suppressed, and therefore by using the electrode substrate of the present embodiment. A photoelectric conversion element with high photoelectric conversion efficiency can be manufactured.

また、遮蔽層13には、特性上の必要に応じて、例えば絶縁層14とは異なる目的での保護層としての効果を持たせることができる。
例えば、図6に、本発明の第5の実施の形態の電極基板を示す。この電極基板1においては、遮蔽層13が、透明導電層11の上のみならず、金属配線層12や絶縁層14の上まで跨って形成されている。これにより、遮蔽層13を金属配線層12や絶縁層14の保護層としても用いることができる。
In addition, the shielding layer 13 can have an effect as a protective layer for a purpose different from that of the insulating layer 14, for example, as required in characteristics.
For example, FIG. 6 shows an electrode substrate according to a fifth embodiment of the present invention. In the electrode substrate 1, the shielding layer 13 is formed not only on the transparent conductive layer 11 but also on the metal wiring layer 12 and the insulating layer 14. Thereby, the shielding layer 13 can also be used as a protective layer for the metal wiring layer 12 and the insulating layer 14.

本発明の電極基板のさらに他の実施の形態を示す。図7は、本発明の第6の実施の形態の電極基板を示す概略断面図である。この電極基板1は、第1の透明導電層11aの上に、格子状、縞状、櫛型など、配線状のパターンとして金属配線層12が形成されており、この金属配線層12の上に、該金属配線層12を被覆するための絶縁層14が設けられている。さらに、金属配線層12や絶縁層14の上を跨って、第2の透明導電層11bが形成されている。つまり、金属配線層12や絶縁層14が、第1の透明導電層11aと第2の透明導電層11bの間に挟まれたようになっている。第1および第2の透明導電層11a、11bは、上述の透明導電層11と同様のものであり、ITO、FTO等の導電性金属酸化物からなる薄膜である。
このような電極基板1によれば、絶縁層14により、金属配線層12の絶縁遮蔽を行うとともに、第2の透明導電層11bにより、金属配線層12や絶縁層14を保護することができる。また、第1の透明導電層11aに併せて第2の透明導電層11bを有することにより、集電効率の向上が期待できる。
Another embodiment of the electrode substrate of this invention is shown. FIG. 7 is a schematic cross-sectional view showing an electrode substrate according to a sixth embodiment of the present invention. In this electrode substrate 1, a metal wiring layer 12 is formed on the first transparent conductive layer 11 a as a wiring pattern such as a lattice shape, a stripe shape, or a comb shape. An insulating layer 14 for covering the metal wiring layer 12 is provided. Further, a second transparent conductive layer 11b is formed across the metal wiring layer 12 and the insulating layer 14. That is, the metal wiring layer 12 and the insulating layer 14 are sandwiched between the first transparent conductive layer 11a and the second transparent conductive layer 11b. The 1st and 2nd transparent conductive layers 11a and 11b are the same as the above-mentioned transparent conductive layer 11, and are thin films which consist of conductive metal oxides, such as ITO and FTO.
According to such an electrode substrate 1, the metal wiring layer 12 can be insulated and shielded by the insulating layer 14, and the metal wiring layer 12 and the insulating layer 14 can be protected by the second transparent conductive layer 11 b. Further, by having the second transparent conductive layer 11b in addition to the first transparent conductive layer 11a, it can be expected to improve the current collection efficiency.

以上、本発明を好適な実施の形態に基づいて説明してきたが、本発明はこの実施の形態のみに限定されるものではなく本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の改変が可能である。
例えば、本発明の電極基板は、光化学電池や光センサーなど、太陽電池以外の光電変換素子にも応用することができる。この場合にも、電極基板1の金属配線層12が絶縁層14により被覆され、金属配線層12への電解質溶液等の接触が防止されているので、腐食や短絡などの不都合が抑制され、品質の劣化や、光電変換特性、光応答性などの低下を抑制することができる。
Although the present invention has been described based on the preferred embodiment, the present invention is not limited to this embodiment, and various modifications can be made without departing from the gist of the present invention.
For example, the electrode substrate of the present invention can also be applied to photoelectric conversion elements other than solar cells, such as photochemical cells and optical sensors. Also in this case, since the metal wiring layer 12 of the electrode substrate 1 is covered with the insulating layer 14 and the contact of the electrolyte solution or the like to the metal wiring layer 12 is prevented, inconveniences such as corrosion and short circuit are suppressed, and the quality is improved. Deterioration, photoelectric conversion characteristics, photoresponsiveness, and the like can be suppressed.

以下、本発明を具体例により詳しく説明する。
<実施例1>
〔電極基板の作製〕
透明導電層11(11a)および基材10として、100mm×100mmのFTO膜付きガラス基板を用い、この表面に、印刷用銀ペースト(焼結後の体積抵抗率が3×10-6Ωのもの)を格子状にスクリーン印刷し、10分間のレベリング後、135℃、20分間熱風循環炉で乾燥し、550℃、15分間かけて焼成して、銀回路からなる金属配線層12を形成した。金属配線層12の回路幅は150μm、膜厚は5μmであった。
CCDカメラを用いて位置合わせを行いながら、スクリーン印刷により、金属配線層12と重ね合わせてガラスペーストを印刷し、10分間のレベリング後、135℃、20分間熱風循環炉で乾燥し、550℃、15分間かけて焼成して、絶縁層14を形成した。得られた絶縁層14の幅は250μm、ガラス基板の表面からの膜厚は10μmであった。このため、金属配線層12上には、約5μmの厚さで絶縁層14が形成されたことになる。
この絶縁層14の表面を走査電子顕微鏡(SEM)により観察したところ、ガラスフリット粒は溶融して互いに融着しており、絶縁層14の表面は緻密であって、顕著なピンホールなどの欠陥がないことが分かった。
さらに、SPD法により、金属配線層12や絶縁層14の上を跨るようにして、保護層、遮蔽層13を兼ねた第2の透明導電層11bとなるFTO膜を形成し、図6(および図7)に示す構成の電極基板1を作製した。
Hereinafter, the present invention will be described in detail by way of specific examples.
<Example 1>
[Production of electrode substrate]
As a transparent conductive layer 11 (11a) and a substrate 10, a glass substrate with an FTO film of 100 mm × 100 mm is used, and a silver paste for printing (with a volume resistivity of 3 × 10 −6 Ω after sintering) is applied to this surface. ) Was screen-printed in a lattice shape, leveled for 10 minutes, dried in a hot air circulating furnace at 135 ° C. for 20 minutes, and baked at 550 ° C. for 15 minutes to form a metal wiring layer 12 made of a silver circuit. The metal wiring layer 12 had a circuit width of 150 μm and a film thickness of 5 μm.
While aligning using a CCD camera, the glass paste is printed on the metal wiring layer 12 by screen printing, and after leveling for 10 minutes, it is dried in a hot air circulating oven at 135 ° C. for 20 minutes, 550 ° C., The insulating layer 14 was formed by baking for 15 minutes. The width of the obtained insulating layer 14 was 250 μm, and the film thickness from the surface of the glass substrate was 10 μm. Therefore, the insulating layer 14 is formed on the metal wiring layer 12 with a thickness of about 5 μm.
When the surface of the insulating layer 14 was observed with a scanning electron microscope (SEM), the glass frit grains were melted and fused to each other, the surface of the insulating layer 14 was dense, and had defects such as significant pinholes. I found that there was no.
Further, an FTO film serving as the second transparent conductive layer 11b that also serves as the protective layer and the shielding layer 13 is formed by the SPD method so as to straddle the metal wiring layer 12 and the insulating layer 14, and FIG. An electrode substrate 1 having the configuration shown in FIG. 7) was produced.

〔光電変換素子の作製〕
得られた電極基板1の上に、酸化チタン(平均粒径25nm)の分散水溶液を塗布し、乾燥後、450℃にて1時間加熱処理することにより、厚さ10μmの酸化物半導体多孔膜2を形成した。さらに、ルテニウムビピリジン錯体(N3色素)のエタノール溶液中に8時間浸漬して色素担持させ、作用極3を作製した。
対極4として、白金スパッタFTOガラス電極基板を用い、この対極4と前記作用極3とを、50μm厚の熱可塑性ポリオレフィン樹脂シートをスペーサーとして介在させた状態で対向させ、前記樹脂シートの熱溶融により、両電極3、4を固定した。この際、電解質の注液口とするため、対極4側の一部を空けておいた。この注液口から、0.5Mのヨウ化物塩と0.05Mのヨウ素とを主成分に含むメトキシアセトニトリル溶液を注入して電解質層5を形成したのち、周辺部と注液口とをエポキシ系封止樹脂により本封止し、集電部に銀ペーストを塗布して試験セルとなる光電変換素子を作製した。
この試験セルの光電変換特性を、エアマス(AM)が1.5の擬似太陽光により評価したところ、変換効率は3.0%であった。
[Production of photoelectric conversion element]
A dispersed aqueous solution of titanium oxide (average particle size 25 nm) is applied on the obtained electrode substrate 1, dried, and then heat-treated at 450 ° C. for 1 hour, whereby an oxide semiconductor porous film 2 having a thickness of 10 μm. Formed. Furthermore, the working electrode 3 was produced by immersing the dye in an ethanol solution of ruthenium bipyridine complex (N3 dye) for 8 hours to carry the dye.
A platinum sputtered FTO glass electrode substrate is used as the counter electrode 4, and the counter electrode 4 and the working electrode 3 are opposed to each other with a 50 μm-thick thermoplastic polyolefin resin sheet interposed as a spacer, and the resin sheet is thermally melted. Both electrodes 3 and 4 were fixed. At this time, a part of the counter electrode 4 side was left open to serve as an electrolyte injection port. After injecting a methoxyacetonitrile solution containing 0.5M iodide salt and 0.05M iodine as main components from the injection port to form the electrolyte layer 5, the peripheral portion and the injection port are connected to the epoxy system. This was sealed with a sealing resin, and a silver paste was applied to the current collector to produce a photoelectric conversion element serving as a test cell.
When the photoelectric conversion characteristics of this test cell were evaluated with simulated sunlight having an air mass (AM) of 1.5, the conversion efficiency was 3.0%.

<実施例2>
〔電極基板の作製〕
基材10として、100mm×100mmの耐熱ガラス基板を用い、この表面に、実施例1と同様の手順により、印刷用銀ペーストを用いて、回路幅50μm、膜厚5μmの金属配線層12を形成したのち、この金属配線層12の上にSPD法により透明導電層11となるFTO膜を形成した。さらに、実施例1と同様の手法を用いて、ガラスペーストの印刷により、金属配線層12のパターンに合わせて絶縁層14を形成して、図3に示す構成の電極基板1を作製した。
〔光電変換素子の作製〕
この電極基板1を用いて、実施例1と同様の手順により、試験セルとなる光電変換素子を作製した。この試験セルの光電変換特性を、エアマス(AM)が1.5の擬似太陽光により評価したところ、変換効率は2.5%であった。
<Example 2>
[Production of electrode substrate]
Using a heat-resistant glass substrate of 100 mm × 100 mm as the base material 10, a metal wiring layer 12 having a circuit width of 50 μm and a film thickness of 5 μm is formed on this surface by using the same silver paste for printing as in Example 1. After that, an FTO film to be the transparent conductive layer 11 was formed on the metal wiring layer 12 by the SPD method. Further, using the same method as in Example 1, the insulating layer 14 was formed in accordance with the pattern of the metal wiring layer 12 by printing a glass paste to produce the electrode substrate 1 having the configuration shown in FIG.
[Production of photoelectric conversion element]
Using this electrode substrate 1, a photoelectric conversion element to be a test cell was produced by the same procedure as in Example 1. When the photoelectric conversion characteristics of this test cell were evaluated with simulated sunlight having an air mass (AM) of 1.5, the conversion efficiency was 2.5%.

<実施例3>
〔電極基板の作製〕
透明導電層11および基材10として、100mm×100mmのFTO膜付きガラス基板を用い、この表面に、アディティブめっき法により、回路幅50μm、膜厚5μmの金回路からなる金属配線層12を形成した。この金属配線層12上に実施例1と同様の手法を用いて、ガラスペーストの印刷により、金属配線層12のパターンに合わせて絶縁層14を形成して、図1(b)に示す構成の電極基板1を作製した。
〔光電変換素子の作製〕
この電極基板1を用いて、実施例1と同様の手順により、試験セルとなる光電変換素子を作製した。この試験セルの光電変換特性を、エアマス(AM)が1.5の擬似太陽光により評価したところ、変換効率は3.3%であった。
<Example 3>
[Production of electrode substrate]
A 100 mm × 100 mm glass substrate with an FTO film was used as the transparent conductive layer 11 and the base material 10, and a metal wiring layer 12 made of a gold circuit having a circuit width of 50 μm and a film thickness of 5 μm was formed on this surface by an additive plating method. . An insulating layer 14 is formed on the metal wiring layer 12 in accordance with the pattern of the metal wiring layer 12 by printing a glass paste using the same method as in the first embodiment, and the structure shown in FIG. An electrode substrate 1 was produced.
[Production of photoelectric conversion element]
Using this electrode substrate 1, a photoelectric conversion element to be a test cell was produced by the same procedure as in Example 1. When the photoelectric conversion characteristics of this test cell were evaluated with simulated sunlight having an air mass (AM) of 1.5, the conversion efficiency was 3.3%.

<比較例1>
〔電極基板の作製〕
基材10として、100mm×100mmの耐熱ガラス基板を用い、この表面に、実施例1と同様の手順により、印刷用銀ペーストを用いて回路幅100μm、膜厚5μmの金属配線層12を形成したのち、この金属配線層12上に実施例2と同様の手順により、透明導電層11および遮蔽層13となるFTO膜を形成して、電極基板1を作製した。
〔光電変換素子の作製〕
この電極基板1を用いて、実施例1と同様の手順により、試験セルとなる光電変換素子を作製した。この試験セルに注液された電解質を観察したところ、注液直後には茶褐色を呈していたものが、数分後には、ほぼ透明に変わっていた。これは、電解質中のI3 -イオンが、銀回路の遮蔽が不十分であるため、露出されている銀と反応してI-に還元されたものと考えられる。また、この試験セルの光電変換特性を、エアマス(AM)が1.5の擬似太陽光により評価したところ、光電変換効率は0.24%であった。
このことから、絶縁層14を設けない場合、銀回路の遮蔽が不十分であり、光電変換素子の光電変換効率が低下しやすいことが分かる。
<Comparative Example 1>
[Production of electrode substrate]
A 100 mm × 100 mm heat-resistant glass substrate was used as the base material 10, and a metal wiring layer 12 having a circuit width of 100 μm and a film thickness of 5 μm was formed on the surface using a silver paste for printing using the same procedure as in Example 1. Thereafter, an FTO film to be the transparent conductive layer 11 and the shielding layer 13 was formed on the metal wiring layer 12 by the same procedure as in Example 2, and the electrode substrate 1 was produced.
[Production of photoelectric conversion element]
Using this electrode substrate 1, a photoelectric conversion element to be a test cell was produced by the same procedure as in Example 1. When the electrolyte injected into the test cell was observed, the one that was brown immediately after the injection was almost transparent after a few minutes. This is probably because I 3 ions in the electrolyte were reduced to I by reacting with the exposed silver because the silver circuit was not sufficiently shielded. Moreover, when the photoelectric conversion characteristic of this test cell was evaluated with artificial sunlight having an air mass (AM) of 1.5, the photoelectric conversion efficiency was 0.24%.
From this, it can be seen that when the insulating layer 14 is not provided, the silver circuit is not sufficiently shielded, and the photoelectric conversion efficiency of the photoelectric conversion element tends to decrease.

<比較例2>
〔電極基板の作製〕
透明導電層11および基材10として、100mm×100mmのFTO膜付きガラス基板を用い、この表面に、アディティブめっき法により、回路幅50μm、膜厚5μmの金回路からなる金属配線層12を形成した。この金属配線層12上に、実施例2と同様の手法を用いて、透明導電層11および遮蔽層13となる厚さ300nmのFTO膜を形成して、電極基板1を作製した。
このようにして形成された電極基板1の表面をSEM、EDXにより観察したところ、金属配線層12の底部でめっきレジストの裾引きに起因すると思われる潜り込みがあり、この潜り込みの影部分にはFTOの被覆が形成されていなかった。
〔光電変換素子の作製〕
この電極基板1を用いて、実施例1と同様の手順により、試験セルとなる光電変換素子を作製した。この試験セルの光電変換特性を、エアマス(AM)が1.5の擬似太陽光により評価したところ、変換効率は0.30%であった。このことから、導電層の遮蔽のため、絶縁層14を設けず、遮蔽層13のみを設けた場合、金属配線層12が露出されやすくなり、金属配線層12が露出された場合、光電変換素子の光電変換効率が著しく低下することがあり、問題であることが分かる。
<Comparative example 2>
[Production of electrode substrate]
A 100 mm × 100 mm glass substrate with an FTO film was used as the transparent conductive layer 11 and the base material 10, and a metal wiring layer 12 made of a gold circuit having a circuit width of 50 μm and a film thickness of 5 μm was formed on this surface by an additive plating method. . On the metal wiring layer 12, an FTO film having a thickness of 300 nm to be the transparent conductive layer 11 and the shielding layer 13 was formed using the same method as in Example 2, and the electrode substrate 1 was manufactured.
When the surface of the electrode substrate 1 formed in this way was observed by SEM and EDX, there was a stagnation that could be attributed to the skirting of the plating resist at the bottom of the metal wiring layer 12. The coating was not formed.
[Production of photoelectric conversion element]
Using this electrode substrate 1, a photoelectric conversion element to be a test cell was produced by the same procedure as in Example 1. When the photoelectric conversion characteristics of this test cell were evaluated with simulated sunlight having an air mass (AM) of 1.5, the conversion efficiency was 0.30%. Therefore, when the insulating layer 14 is not provided and only the shielding layer 13 is provided for shielding the conductive layer, the metal wiring layer 12 is easily exposed, and when the metal wiring layer 12 is exposed, the photoelectric conversion element It can be seen that this is a problem because the photoelectric conversion efficiency of the film may be significantly reduced.

<比較例3>
〔電極基板の作製〕
透明導電層11および基材10として、100mm×100mmのFTO膜付きガラス基板を用い、この表面に金属配線層12を設けることなく、FTO膜付きガラス基板そのものを電極基板1として用いて、実施例1と同様の手順により、試験セルとなる光電変換素子を作製した。この試験セルの光電変換特性を、エアマス(AM)が1.5の擬似太陽光により評価したところ、変換効率は0.11%であった。このことから、金属配線層12を設けない場合、電極基板1の抵抗が大きいために光電変換素子の光電変換効率が低くなっていることが分かる。
<Comparative Example 3>
[Production of electrode substrate]
As the transparent conductive layer 11 and the base material 10, a glass substrate with an FTO film of 100 mm × 100 mm was used, and the glass substrate with an FTO film itself was used as the electrode substrate 1 without providing the metal wiring layer 12 on this surface. The photoelectric conversion element used as a test cell was produced by the same procedure as 1. When the photoelectric conversion characteristics of this test cell were evaluated with simulated sunlight having an air mass (AM) of 1.5, the conversion efficiency was 0.11%. From this, it can be seen that when the metal wiring layer 12 is not provided, the photoelectric conversion efficiency of the photoelectric conversion element is low because the resistance of the electrode substrate 1 is large.

1…電極基板、10…基材、11…透明導電層、12…金属配線層、13…遮蔽層、14…絶縁層。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Electrode substrate, 10 ... Base material, 11 ... Transparent conductive layer, 12 ... Metal wiring layer, 13 ... Shielding layer, 14 ... Insulating layer.

Claims (5)

電極基板と、前記電極基板の表面上に形成された増感色素が担持された酸化物半導体多孔膜と、前記電極基板と対向して設けられた対極との間に形成され、酸化還元対と有機溶媒を含む電解液を用いた電解質層を備える色素増感太陽電池であって、
前記対極は、基板と、前記基板上に、導電性酸化物半導体からなる薄膜または導電性材料の層により形成した電極とからなり、
前記電極基板は、基材上に、金属配線層と、この金属配線層に電気的に接続された透明導電層とを有し、前記透明導電層の上に前記金属配線層が形成され、前記金属配線層が絶縁層により絶縁被覆されていることを特徴とする色素増感太陽電池。
Formed between an electrode substrate, an oxide semiconductor porous film carrying a sensitizing dye formed on the surface of the electrode substrate, and a counter electrode provided facing the electrode substrate ; A dye-sensitized solar cell including an electrolyte layer using an electrolytic solution containing an organic solvent ,
The counter electrode comprises a substrate and an electrode formed on the substrate by a thin film made of a conductive oxide semiconductor or a layer of a conductive material,
The electrode substrate has a metal wiring layer and a transparent conductive layer electrically connected to the metal wiring layer on a base material, and the metal wiring layer is formed on the transparent conductive layer, A dye-sensitized solar cell, wherein a metal wiring layer is covered with an insulating layer.
前記対極は、前記電極に導電性材料の層を有し、前記導電性材料が、金、白金、またはカーボンであることを特徴とする請求項1に記載の色素増感太陽電池。   The dye-sensitized solar cell according to claim 1, wherein the counter electrode has a layer of a conductive material on the electrode, and the conductive material is gold, platinum, or carbon. 前記絶縁層が、ガラス成分を含む材料から形成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の色素増感太陽電池。   The dye-sensitized solar cell according to claim 1 or 2, wherein the insulating layer is formed of a material containing a glass component. 前記絶縁層が、ガラスフリットを含むペーストを印刷することにより形成されていることを特徴とする請求項3に記載の色素増感太陽電池。   The dye-sensitized solar cell according to claim 3, wherein the insulating layer is formed by printing a paste containing glass frit. 前記金属配線層が、印刷法により形成されたものであることを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載の色素増感太陽電池。   The dye-sensitized solar cell according to any one of claims 1 to 4, wherein the metal wiring layer is formed by a printing method.
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