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JP5324348B2 - Displacement detection member - Google Patents
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To detect relative displacement of a magnetic sensor and to improve the mechanical strength. <P>SOLUTION: Grooves 11a are formed at fixed intervals in the surface of a magnetic metal member 11; a conductive mixture material 12 consisting of a mixture of copper or a conductive material having conductivity equal to or higher than the copper and a thermal spray material harder than copper is embedded in the grooves 11a by thermal spraying, and the entire surface is covered with a surface reinforcing material 13 by thermal spraying. By detecting the difference in the eddy current loss and magnetic resistance between a region of the groove 11a and an area outside the groove 11a by a magnetic sensor D, relative displacement for the magnetic sensor D can be detected. Since the groove 11a is filled with the conductive mixture material 12 which is harder than copper by thermal spraying, mechanical strength can be improved. Since the entire surface is covered with the surface-reinforcing material 13 which is harder than copper by thermal spraying, the mechanical strength is improved. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&amp;INPIT

Description

本発明は、変位検出用部材に関し、さらに詳しくは、機械的強度を向上させた変位検出用部材に関する。   The present invention relates to a displacement detection member, and more particularly to a displacement detection member having improved mechanical strength.

従来、磁気センサと組み合わせて磁気センサに対する相対変位を検出するための変位検出用部材であって、強磁性材製のロッドに一定間隔おきに溝を形成し、その溝に非磁性材を埋め込んで、磁性材部と非磁性材部とが交互に並ぶようにした変位検出用部材が知られている(例えば、特許文献1参照。)。
他方、可動体を支持する磁性材製ガイドの表面に凹凸を設けると共に溶射により表面をセラミックで覆った磁性材製ガイドが知られている(例えば、特許文献2参照。)。
Conventionally, a displacement detecting member for detecting a relative displacement with respect to a magnetic sensor in combination with a magnetic sensor, wherein grooves are formed in a rod made of a ferromagnetic material at regular intervals, and a nonmagnetic material is embedded in the groove. A member for detecting displacement in which magnetic material portions and nonmagnetic material portions are alternately arranged is known (for example, see Patent Document 1).
On the other hand, there is known a magnetic material guide in which unevenness is provided on the surface of a magnetic material guide that supports a movable body and the surface is covered with ceramic by thermal spraying (see, for example, Patent Document 2).

特開平5−196478号公報([0016]、図4)JP-A-5-196478 ([0016], FIG. 4) 特開2009−117803号公報([0025]、図6)JP 2009-117803 A ([0025], FIG. 6)

上記従来の変位検出用部材の具体例としては、例えば炭素鋼製の円柱状のロッドに一定間隔おきに円環状に形成した溝をそれぞれめっきにより銅で埋め、磁性材部と導電材部が交互に並ぶようにしたものがある。磁性材部と導電材部における渦電流損および磁気抵抗の違いを磁気センサ(例えば励磁コイルと出力コイル、あるいは、磁気抵抗素子)で検出することにより、磁気センサに対するロッドの相対変位を検出できる。
しかし、銅は柔らかいため、銅の部分が摩耗してしまう問題点がある。
これに対して、表面にクロム層をめっきして機械的強度を改善することが行われている。
しかし、パッキンなどから外力が加わると、銅の部分の変形によりクロム層が割れたり剥がれたりする問題点がある。
そこで、本発明の目的は、機械的強度を向上させた変位検出用部材を提供することにある。
As a specific example of the conventional displacement detecting member, for example, a groove formed in an annular shape at a predetermined interval in a cylindrical rod made of carbon steel is filled with copper by plating, and a magnetic material portion and a conductive material portion are alternately arranged. There are things that are arranged in line. By detecting the difference in eddy current loss and magnetic resistance between the magnetic material portion and the conductive material portion with a magnetic sensor (for example, an excitation coil and an output coil or a magnetoresistive element), the relative displacement of the rod with respect to the magnetic sensor can be detected.
However, since copper is soft, there is a problem that the copper portion is worn.
On the other hand, a chromium layer is plated on the surface to improve mechanical strength.
However, when an external force is applied from packing or the like, there is a problem that the chromium layer is broken or peeled off due to deformation of the copper portion.
Accordingly, an object of the present invention is to provide a displacement detecting member having improved mechanical strength.

第1の観点では、本発明は、磁気センサと組み合わせて前記磁気センサに対する相対変位を検出するための変位検出用部材であって、磁性金属部材(11)の表面に一定間隔おきに溝(11a)を形成し、前記溝(11a)に銅または銅と同等以上の導電率を有する導電材と銅よりも硬い溶射材料を混合した導電性混合材(12)を溶射により埋め込んだことを特徴とする変位検出用部材(10)を提供する。
第2の観点では、本発明は、前記第1の観点による変位検出用部材(10)において、前記磁性金属部材(11)が炭素鋼であり、前記銅または銅と同等以上の導電率を有する導電材が銅、アルミニウム、亜鉛、銀、金のいずれかであり、前記銅よりも硬い溶射材料が炭化タングステン・コバルト、炭化タングステン・ニッケル、炭化タングステン・コバルトクロム、炭化タングステン・ニッケルクロム、サーメット、セラミックのうちのいずれかであることを特徴とする変位検出用部材(10)を提供する。
上記第1および第2の観点による変位検出用部材(10)では、溝(11a)の部分と溝(11a)でない部分における渦電流損および磁気抵抗の違いを磁気センサで検出することにより、磁気センサに対する相対変位を検出できる。また、溶射により銅よりも硬い混合材(12)で溝(11a)を埋めるため、機械的強度を向上させることが出来る。
In a first aspect, the present invention is a displacement detection member for detecting relative displacement with respect to the magnetic sensor in combination with a magnetic sensor, wherein grooves (11a) are formed on the surface of the magnetic metal member (11) at regular intervals. ), And the groove (11a) is filled with a conductive mixture (12) obtained by spraying copper or a conductive material having a conductivity equal to or higher than copper and a thermal spray material harder than copper by thermal spraying. A displacement detecting member (10) is provided.
In a second aspect, the present invention provides the displacement detection member (10) according to the first aspect, wherein the magnetic metal member (11) is carbon steel and has a conductivity equal to or higher than that of the copper or copper. The conductive material is any one of copper, aluminum, zinc, silver, and gold, and the thermal spray material harder than the copper is tungsten carbide / cobalt, tungsten carbide / nickel, tungsten carbide / cobalt chromium, tungsten carbide / nickel chromium, cermet, A displacement detection member (10) is provided which is one of ceramics.
In the displacement detection member (10) according to the first and second aspects, the magnetic sensor detects the difference in eddy current loss and magnetic resistance between the groove (11a) and the non-groove (11a). The relative displacement with respect to the sensor can be detected. Moreover, since the groove | channel (11a) is filled with the mixed material (12) harder than copper by thermal spraying, mechanical strength can be improved.

第3の観点では、本発明は、磁気センサと組み合わせて前記磁気センサに対する相対変位を検出するための変位検出用部材であって、銅または銅と同等以上の導電率を有する導電性金属部材(21)の表面に一定間隔おきに溝(21a)を形成し、前記溝(21a)に磁性材と溶射材料の混合材(22)を溶射により埋め込み、溶射により銅よりも硬い表面強化材(23)で全体表面を覆ったことを特徴とする変位検出用部材(20)を提供する。
第4の観点では、本発明は、前記第3の観点による変位検出用部材(20)において、前記銅または銅と同等以上の導電率を有する導電性金属部材(21)が銅、アルミニウム、亜鉛、銀、金のいずれかであり、前記磁性材がフェライトまたはパーマロイであり、前記溶射材料が炭化タングステン・コバルト、炭化タングステン・ニッケル、炭化タングステン・コバルトクロム、炭化タングステン・ニッケルクロム、サーメット、セラミックのうちのいずれかであり、前記表面強化材(23)が前記混合材(22)と同一材料であることを特徴とする変位検出用部材(20)を提供する。
上記第3および第4の観点による変位検出用部材(20)では、溝(21a)の部分と溝(21a)でない部分における渦電流損および磁気抵抗の違いを磁気センサで検出することにより、磁気センサに対する相対変位を検出できる。また、溶射により銅よりも硬い表面強化材(23)で全体表面を覆ったため、機械的強度を向上させることが出来る。
In a third aspect, the present invention provides a displacement detection member for detecting relative displacement with respect to the magnetic sensor in combination with a magnetic sensor, wherein the conductive metal member has a conductivity equal to or higher than that of copper or copper ( Grooves (21a) are formed at regular intervals on the surface of 21), a mixed material (22) of a magnetic material and a thermal spray material is embedded in the grooves (21a) by thermal spraying, and a surface reinforcing material (23 which is harder than copper by thermal spraying) ) To provide a displacement detecting member (20) characterized by covering the entire surface.
In a fourth aspect, the present invention provides the displacement detecting member (20) according to the third aspect, wherein the conductive metal member (21) having a conductivity equal to or higher than the copper or copper is copper, aluminum, zinc. Silver, gold, the magnetic material is ferrite or permalloy, and the thermal spray material is tungsten carbide / cobalt, tungsten carbide / nickel, tungsten carbide / cobalt chromium, tungsten carbide / nickel chromium, cermet, or ceramic. A displacement detecting member (20) is provided, wherein the surface reinforcing material (23) is the same material as the mixed material (22).
In the displacement detection member (20) according to the third and fourth aspects, the magnetic sensor detects the difference in eddy current loss and magnetic resistance between the groove (21a) and the non-groove (21a), thereby providing a magnetic The relative displacement with respect to the sensor can be detected. Moreover, since the whole surface was covered with the surface reinforcing material (23) harder than copper by spraying, the mechanical strength can be improved.

第5の観点では、本発明は、磁気センサと組み合わせて前記磁気センサに対する相対変位を検出するための変位検出用部材であって、磁性金属部材(11)の表面に一定間隔おきに溝(11a)を形成し、前記溝(11a)に前記磁性金属部材(11)とは透磁率が異なる磁性材と銅よりも硬い溶射材料の混合材(32)を溶射により埋め込んだことを特徴とする変位検出用部材(30)を提供する。
第6の観点では、本発明は、前記第5の観点による変位検出用部材(30)において、前記磁性金属部材(11)が炭素鋼であり、前記磁性金属部材(11)とは透磁率が異なる磁性材がフェライトまたはパーマロイであり、前記銅よりも硬い溶射材料が炭化タングステン・コバルト、炭化タングステン・ニッケル、炭化タングステン・コバルトクロム、炭化タングステン・ニッケルクロム、サーメット、セラミックのうちのいずれかであることを特徴とする変位検出用部材(30)を提供する。
上記第5および第6の観点による変位検出用部材(30)では、溝(11a)の部分と溝(11a)でない部分における渦電流損および磁気抵抗の違いを磁気センサで検出することにより、磁気センサに対する相対変位を検出できる。また、溶射により銅よりも硬い混合材(12)で溝(11a)を埋めるため、機械的強度を向上させることが出来る。
In a fifth aspect, the present invention relates to a displacement detection member for detecting relative displacement with respect to the magnetic sensor in combination with a magnetic sensor, wherein grooves (11a) are formed on the surface of the magnetic metal member (11) at regular intervals. And the groove (11a) is filled with a mixture (32) of a thermal spray material harder than copper and a magnetic material having a magnetic permeability different from that of the magnetic metal member (11). A detection member (30) is provided.
In a sixth aspect, the present invention provides the displacement detection member (30) according to the fifth aspect, wherein the magnetic metal member (11) is carbon steel, and the magnetic metal member (11) has a magnetic permeability. The different magnetic material is ferrite or permalloy, and the thermal spray material harder than the copper is any one of tungsten carbide / cobalt, tungsten carbide / nickel, tungsten carbide / cobalt chromium, tungsten carbide / nickel chromium, cermet, and ceramic. A displacement detecting member (30) is provided.
In the displacement detection member (30) according to the fifth and sixth aspects, the magnetic sensor detects the difference in eddy current loss and magnetic resistance between the groove (11a) and the non-groove (11a). The relative displacement with respect to the sensor can be detected. Moreover, since the groove | channel (11a) is filled with the mixed material (12) harder than copper by thermal spraying, mechanical strength can be improved.

第7の観点では、本発明は、前記第1、前記第2、前記第5、前記第6のいずれかの観点による変位検出用部材(10,30)の表面を溶射により表面強化材(13,33)で覆ったことを特徴とする変位検出用部材(10,30)を提供する。
第8の観点では、本発明は、前記第7の観点による変位検出用部材(10,30)において、前記表面強化材(13,33)が前記混合材(12,32)と同一材料であることを特徴とする変位検出用部材(10,30)を提供する。
上記第7および第8の観点による変位検出用部材(10,30)では、溶射により銅よりも硬い表面強化材(13,33)で全体表面を覆ったため、機械的強度を向上させることが出来る。
In a seventh aspect, the present invention provides a surface reinforcing material (13) by spraying the surface of the displacement detection member (10, 30) according to any one of the first, second, fifth, and sixth aspects. , 33), the displacement detection member (10, 30) is provided.
In an eighth aspect, the present invention provides the displacement detection member (10, 30) according to the seventh aspect, wherein the surface reinforcing material (13, 33) is the same material as the mixed material (12, 32). Displacement detecting members (10, 30) are provided.
In the displacement detection members (10, 30) according to the seventh and eighth aspects, since the entire surface is covered with the surface reinforcing material (13, 33) harder than copper by thermal spraying, the mechanical strength can be improved. .

第9の観点では、本発明は、磁気センサと組み合わせて前記磁気センサに対する相対変位を検出するための変位検出用部材であって、非磁性金属部材(41)の表面に一定間隔おきに溝(41a)を形成し、前記溝(41a)に磁性材と溶射材料を混合した磁性混合材(42)を溶射により埋め込み、溶射により銅よりも硬い表面強化材(43)で全体表面を覆ったことを特徴とする変位検出用部材(40)を提供する。
第10の観点では、本発明は、前記第9の観点による変位検出用部材(40)において、前記非磁性金属部材(41)が銅、アルミニウム、亜鉛、銀、金、SUSのいずれかであり、前記磁性材がフェライトまたはパーマロイであり、前記溶射材料が炭化タングステン・コバルト、炭化タングステン・ニッケル、炭化タングステン・コバルトクロム、炭化タングステン・ニッケルクロム、サーメット、セラミックのうちのいずれかであり、前記表面強化材(43)が前記混合材(42)と同一材料であることを特徴とする変位検出用部材(40)を提供する。
上記第9および第10の観点による変位検出用部材(40)では、溝(41a)の部分と溝(41a)でない部分における渦電流損および磁気抵抗の違いを磁気センサで検出することにより、磁気センサに対する相対変位を検出できる。また、溶射により銅よりも硬い表面強化材(43)で全体表面を覆ったため、機械的強度を向上させることが出来る。
In a ninth aspect, the present invention provides a displacement detection member for detecting a relative displacement with respect to the magnetic sensor in combination with a magnetic sensor, and includes grooves (on the surface of the nonmagnetic metal member (41) at regular intervals). 41a) was formed, and the groove (41a) was filled with a magnetic mixture (42) in which a magnetic material and a thermal spray material were mixed, and the entire surface was covered with a surface reinforcing material (43) harder than copper by thermal spraying. A displacement detecting member (40) is provided.
In a tenth aspect, the present invention provides the displacement detecting member (40) according to the ninth aspect, wherein the nonmagnetic metal member (41) is any one of copper, aluminum, zinc, silver, gold, and SUS. The magnetic material is ferrite or permalloy, and the thermal spray material is any one of tungsten carbide / cobalt, tungsten carbide / nickel, tungsten carbide / cobalt chromium, tungsten carbide / nickel chromium, cermet, ceramic, and the surface. A displacement detecting member (40) is provided, wherein the reinforcing material (43) is the same material as the mixed material (42).
In the displacement detection member (40) according to the ninth and tenth aspects, the magnetic sensor detects the difference in eddy current loss and magnetoresistance between the groove (41a) and the non-groove (41a), thereby providing a magnetic sensor. The relative displacement with respect to the sensor can be detected. Moreover, since the whole surface was covered with the surface reinforcing material (43) harder than copper by thermal spraying, mechanical strength can be improved.

第11の観点では、本発明は、前記第1から第10のいずれかの観点による変位検出用部材(10,20,30,40)において、溶射により溝(11a,21a,41a)を埋める混合材(12,22,32,42)の混合比が少なくとも2段階あり、溝(11a,21a,41a)の底に近い部分の混合比は溝(11a,21a,41a)への密着性を重視した混合比であり、溝(11a,21a,41a)の底から遠い部分の混合比は磁気センサ(D)による検出性を重視した混合比であることを特徴とする変位検出用部材を提供する。
上記第11の観点による変位検出用部材では、溝(11a,21a,41a)への密着性および磁気センサ(D)による検出性のバランスを最適化することが出来る。
In an eleventh aspect, the present invention relates to a displacement detecting member (10, 20, 30, 40) according to any one of the first to tenth aspects, wherein the groove (11a, 21a, 41a) is filled by thermal spraying. There are at least two mixing ratios of the materials (12, 22, 32, 42), and the mixing ratio of the portion near the bottom of the grooves (11a, 21a, 41a) places importance on adhesion to the grooves (11a, 21a, 41a). The displacement detection member is characterized in that the mixing ratio in the portion far from the bottom of the groove (11a, 21a, 41a) is a mixing ratio that places importance on the detection by the magnetic sensor (D). .
In the displacement detection member according to the eleventh aspect, the balance between the adhesion to the grooves (11a, 21a, 41a) and the detection by the magnetic sensor (D) can be optimized.

本発明の変位検出用部材によれば、磁気センサに対する相対変位を検出できる。また、機械的強度を向上させることが出来る。   According to the displacement detection member of the present invention, the relative displacement with respect to the magnetic sensor can be detected. Further, the mechanical strength can be improved.

実施例1に係る変位検出用部材を示す斜視図である。1 is a perspective view showing a displacement detection member according to Embodiment 1. FIG. 実施例1に係る変位検出用部材の表面部分の断面および磁気センサを示す模式図である。FIG. 3 is a schematic diagram illustrating a cross section of a surface portion of a displacement detection member according to Example 1 and a magnetic sensor. 実施例1に係る変位検出用部材の製造手順を示すフロー図である。FIG. 5 is a flowchart illustrating a manufacturing procedure of the displacement detection member according to the first embodiment. 実施例1に係る磁性金属部材を示す斜視図である。1 is a perspective view showing a magnetic metal member according to Example 1. FIG. 溶射により溝を埋めた磁性金属部材を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the magnetic metal member which filled the groove | channel by thermal spraying. 実施例2に係る変位検出用部材を示す斜視図である。6 is a perspective view showing a displacement detection member according to Embodiment 2. FIG. 実施例2に係る変位検出用部材の表面部分の断面および磁気センサを示す模式図である。FIG. 6 is a schematic diagram illustrating a cross section of a surface portion of a displacement detection member according to a second embodiment and a magnetic sensor. 実施例3に係る変位検出用部材を示す斜視図である。FIG. 9 is a perspective view showing a displacement detection member according to Embodiment 3. 実施例3に係る変位検出用部材の表面部分の断面および磁気センサを示す模式図である。FIG. 10 is a schematic diagram showing a cross section of a surface portion of a displacement detection member according to Example 3 and a magnetic sensor. 実施例4に係る変位検出用部材を示す斜視図である。FIG. 10 is a perspective view illustrating a displacement detection member according to a fourth embodiment. 実施例4に係る変位検出用部材の表面部分の断面および磁気センサを示す模式図である。FIG. 10 is a schematic diagram illustrating a cross section of a surface portion of a displacement detection member according to a fourth embodiment and a magnetic sensor.

以下、図に示す実施の形態により本発明をさらに詳細に説明する。なお、これにより本発明が限定されるものではない。   Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to embodiments shown in the drawings. Note that the present invention is not limited thereby.

−実施例1−
図1は、実施例1に係る変位検出用部材10を示す正面図である。図2は、変位検出用部材10の表面部分の断面および磁気センサを示す模式図である。
この変位検出用部材10は、磁性金属部材11の表面に一定間隔Pおきに溝11aを形成し、溝11aに導電性混合材12を溶射により埋め込み、全体表面を溶射により表面強化材13で覆った構成である。
Example 1
FIG. 1 is a front view illustrating a displacement detection member 10 according to the first embodiment. FIG. 2 is a schematic view showing a cross section of the surface portion of the displacement detection member 10 and a magnetic sensor.
This displacement detecting member 10 has grooves 11a formed on the surface of the magnetic metal member 11 at regular intervals P, and the conductive mixed material 12 is buried in the grooves 11a by thermal spraying, and the entire surface is covered with the surface reinforcing material 13 by thermal spraying. It is a configuration.

磁性金属部材11はダイカスト用ロッドであり、母材は炭素鋼S45Cの焼入れ材である。直径は55mm〜180mmであり、全長は700mm〜2200mmである。   The magnetic metal member 11 is a die casting rod, and the base material is a quenching material of carbon steel S45C. The diameter is 55 mm to 180 mm, and the total length is 700 mm to 2200 mm.

溝11aは、磁性金属部材11の外周を取り巻く環状で、深さ0.3mmである。導電性混合材12の付着を良くするため、壁面は垂直面でなく傾斜面になっている。一定間隔Pは16mmであり、溝11aの開口幅は8mmである。   The groove 11a is a ring surrounding the outer periphery of the magnetic metal member 11, and has a depth of 0.3 mm. In order to improve the adhesion of the conductive mixed material 12, the wall surface is not a vertical surface but an inclined surface. The constant interval P is 16 mm, and the opening width of the groove 11a is 8 mm.

導電性混合材12は、銅または銅と同等以上の導電率を有する導電材と銅よりも硬い溶射材料を混合した材料である。
銅または銅と同等以上の導電率を有する導電材は、銅、アルミニウム、亜鉛、銀、金のいずれかである。
銅よりも硬い溶射材料は、炭化タングステン・ニッケルクロム、炭化タングステン・コバルト、炭化タングステン・ニッケル、炭化タングステン・コバルトクロム、サーメット、セラミックのうちのいずれかである。
混合比の具体例を挙げると、Cu10〜30%重量、WC73〜20%重量、Ni7〜20%重量、Cr5〜20%重量、C5〜10%重量である。
The conductive mixed material 12 is a material obtained by mixing copper or a conductive material having conductivity equal to or higher than copper and a thermal spray material harder than copper.
The conductive material having a conductivity equal to or higher than that of copper or copper is any one of copper, aluminum, zinc, silver, and gold.
The thermal spray material harder than copper is any one of tungsten carbide / nickel chromium, tungsten carbide / cobalt, tungsten carbide / nickel, tungsten carbide / cobalt chromium, cermet, and ceramic.
Specific examples of the mixing ratio include Cu 10 to 30%, WC 73 to 20%, Ni 7 to 20%, Cr 5 to 20%, and C 5 to 10%.

表面強化材13は、溶射作業が容易になるため、導電性混合材12と同一材料である。ただし、銅よりも硬い溶射材料のみとしてもよい。   The surface reinforcing material 13 is the same material as the conductive mixed material 12 because the thermal spraying work is facilitated. However, only a thermal spray material harder than copper may be used.

図2に示すように、磁気センサDは、励磁コイルS,−S,C,−Cと、出力コイル21,22,23,24からなり、変位検出用部材10の表面に近接して設置される。   As shown in FIG. 2, the magnetic sensor D includes excitation coils S, −S, C, and −C and output coils 21, 22, 23, and 24, and is installed close to the surface of the displacement detection member 10. The

図3は、変位検出用部材10の製造手順を示すフロー図である。
ステップS1では、図4に示すように表面に一定間隔Pおきに環状の溝11aを刻設した磁性金属部材11を製作する。
FIG. 3 is a flowchart showing the manufacturing procedure of the displacement detection member 10.
In step S1, as shown in FIG. 4, the magnetic metal member 11 having the annular grooves 11a formed on the surface at regular intervals P is manufactured.

ステップS2では、溝11a以外の部分をカバーし(マスキング処理)、ブラスト材を吹き付けて溝11aを粗面化し(ブラスト処理)、密着性を向上するための軟質の金属(例えばNi−P合金)を薄く(例えば100μm)溶射し(アンダーコート処理)、導電性混合材12を溶射し(トップコート処理)、図5に示すように溝11aを導電性混合材12で埋める。
溶射方法は、緻密に溶射するため、HVOF(High Velocity Oxigen Fuel)法またはHVAF(High Velocity Air Fuel)法を用いる。HVOF法の溶射温度は2500℃〜3000℃とし、HVAF法の溶射温度は1400℃〜2000℃とする。導電性混合材12は、粉末を用いる。
In step S2, a portion other than the groove 11a is covered (masking process), a blast material is sprayed to roughen the groove 11a (blast process), and a soft metal (for example, Ni-P alloy) for improving adhesion Is sprayed thinly (for example, 100 μm) (undercoat treatment), the conductive mixed material 12 is sprayed (topcoat treatment), and the groove 11a is filled with the conductive mixed material 12 as shown in FIG.
As the thermal spraying method, HVOF (High Velocity Oxigen Fuel) method or HVAF (High Velocity Air Fuel) method is used for precise spraying. The spraying temperature of the HVOF method is 2500 ° C. to 3000 ° C., and the spraying temperature of the HVAF method is 1400 ° C. to 2000 ° C. The conductive mixed material 12 uses powder.

ステップS3では、カバーを外して全体表面を露出させ、導電性混合材12を溶射し、全体表面を表面強化層13で覆う。   In step S 3, the cover is removed to expose the entire surface, the conductive mixed material 12 is sprayed, and the entire surface is covered with the surface reinforcing layer 13.

ステップS4では、全体表面を研磨して外形寸法を整える。
ステップS5では、全体表面の空孔をエポキシ樹脂、フェノール樹脂、シリコン樹脂などで埋める(封孔処理)。
In step S4, the entire surface is polished to adjust the external dimensions.
In step S5, the holes on the entire surface are filled with epoxy resin, phenol resin, silicon resin, or the like (sealing process).

実施例1に係る変位検出用部材10によれば次の効果が得られる。
(1)溝11aの部分と溝11aでない部分における渦電流損および磁気抵抗の違いを磁気センサDで検出することにより、磁気センサDに対する相対変位を検出できる。
(2)溶射により銅よりも硬い導電性混合材12で溝11aを埋めるため、機械的強度を向上させることが出来る。
(3)溶射により銅よりも硬い表面強化材13で全体表面を覆ったため、機械的強度を向上させることが出来る。
According to the displacement detection member 10 according to the first embodiment, the following effects can be obtained.
(1) By detecting the difference in eddy current loss and magnetic resistance between the groove 11a and the non-groove 11a with the magnetic sensor D, the relative displacement with respect to the magnetic sensor D can be detected.
(2) Since the groove 11a is filled with the conductive mixed material 12 harder than copper by thermal spraying, the mechanical strength can be improved.
(3) Since the entire surface is covered with the surface reinforcing material 13 harder than copper by spraying, the mechanical strength can be improved.

−実施例2−
図6は、実施例2に係る変位検出用部材20を示す正面図である。図7は、変位検出用部材20の表面部分の断面および磁気センサを示す模式図である。
この変位検出用部材20は、導電性金属部材21の表面に一定間隔Pおきに溝21aを形成し、溝21aに磁性混合材22を溶射により埋め込み、全体表面を溶射により銅よりも硬い表面強化材23で覆った構成である。
-Example 2-
FIG. 6 is a front view illustrating the displacement detection member 20 according to the second embodiment. FIG. 7 is a schematic view showing a cross section of the surface portion of the displacement detection member 20 and a magnetic sensor.
This displacement detection member 20 has grooves 21a formed on the surface of the conductive metal member 21 at regular intervals P, the magnetic mixture 22 is embedded in the grooves 21a by thermal spraying, and the entire surface is hardened by copper to be harder than copper. The structure is covered with a material 23.

導電性金属部材21は、銅または銅と同等以上の導電率を有する金属である。   The conductive metal member 21 is copper or a metal having a conductivity equal to or higher than that of copper.

磁性混合材22は、磁性材と溶射材料を混合した材料である。
磁性材は、フェライトまたはパーマロイである。
溶射材料は、炭化タングステン・ニッケルクロム、炭化タングステン・コバルト、炭化タングステン・ニッケル、炭化タングステン・コバルトクロム、サーメット、セラミックのうちのいずれかである。
The magnetic mixed material 22 is a material in which a magnetic material and a thermal spray material are mixed.
The magnetic material is ferrite or permalloy.
The thermal spray material is any of tungsten carbide / nickel chromium, tungsten carbide / cobalt, tungsten carbide / nickel, tungsten carbide / cobalt chromium, cermet, and ceramic.

表面強化材23は、磁性混合材22が銅よりも硬いならば、溶射作業が容易になるため、磁性混合材22と同一材料としてよい。磁性混合材22が銅よりも柔らかいならば、銅よりも硬い溶射材料のみとする。   The surface reinforcing material 23 may be made of the same material as the magnetic mixing material 22 because the thermal spraying work is facilitated if the magnetic mixing material 22 is harder than copper. If the magnetic mixing material 22 is softer than copper, only the thermal spray material harder than copper is used.

変位検出用部材20の製造手順は、図3に準じる。   The manufacturing procedure of the displacement detection member 20 is in accordance with FIG.

実施例2に係る変位検出用部材20によれば次の効果が得られる。
(1)溝21aの部分と溝21aでない部分における渦電流損および磁気抵抗の違いを磁気センサDで検出することにより、磁気センサDに対する相対変位を検出できる。
(2)溶射により銅よりも硬い表面強化材13で全体表面を覆ったため、機械的強度を向上させることが出来る。
According to the displacement detection member 20 according to the second embodiment, the following effects can be obtained.
(1) The relative displacement with respect to the magnetic sensor D can be detected by detecting the difference in eddy current loss and magnetic resistance between the groove 21a and the non-groove 21a with the magnetic sensor D.
(2) Since the entire surface is covered with the surface reinforcing material 13 harder than copper by spraying, the mechanical strength can be improved.

−実施例3−
図8は、実施例3に係る変位検出用部材30を示す正面図である。図9は、変位検出用部材30の表面部分の断面および磁気センサを示す模式図である。
この変位検出用部材30は、磁性金属部材11の表面に一定間隔Pおきに溝11aを形成し、溝11aに磁性混合材32を溶射により埋め込み、全体表面を溶射により表面強化材33で覆った構成である。
-Example 3-
FIG. 8 is a front view illustrating the displacement detection member 30 according to the third embodiment. FIG. 9 is a schematic diagram showing a cross section of the surface portion of the displacement detection member 30 and a magnetic sensor.
This displacement detecting member 30 has grooves 11a formed on the surface of the magnetic metal member 11 at regular intervals P, the magnetic mixture material 32 is buried in the grooves 11a by thermal spraying, and the entire surface is covered with a surface reinforcing material 33 by thermal spraying. It is a configuration.

磁性金属部材11はダイカスト用ロッドであり、母材は炭素鋼S45Cの焼入れ材である。   The magnetic metal member 11 is a die casting rod, and the base material is a quenching material of carbon steel S45C.

磁性混合材32は、磁性金属部材11とは透磁率が異なる磁性材と銅よりも硬い溶射材料を混合した材料である。
磁性材は、フェライトまたはパーマロイである。
溶射材料は、炭化タングステン・ニッケルクロム、炭化タングステン・コバルト、炭化タングステン・ニッケル、炭化タングステン・コバルトクロム、サーメット、セラミックのうちのいずれかである。
The magnetic mixed material 32 is a material in which a magnetic material having a magnetic permeability different from that of the magnetic metal member 11 and a thermal spray material harder than copper are mixed.
The magnetic material is ferrite or permalloy.
The thermal spray material is any of tungsten carbide / nickel chromium, tungsten carbide / cobalt, tungsten carbide / nickel, tungsten carbide / cobalt chromium, cermet, and ceramic.

表面強化材33は、溶射作業が容易になるため、磁性混合材32と同一材料としてよい。ただし、銅よりも硬い溶射材料のみとしてもよい。   The surface reinforcing material 33 may be made of the same material as the magnetic mixed material 32 because the thermal spraying work is facilitated. However, only a thermal spray material harder than copper may be used.

変位検出用部材30の製造手順は、図3に準じる。   The manufacturing procedure of the displacement detection member 30 is in accordance with FIG.

実施例3に係る変位検出用部材30によれば次の効果が得られる。
(1)溝11aの部分と溝11aでない部分における渦電流損および磁気抵抗の違いを磁気センサDで検出することにより、磁気センサDに対する相対変位を検出できる。
(2)溶射により銅よりも硬い磁性混合材32で溝11aを埋めるため、機械的強度を向上させることが出来る。
(3)溶射により銅よりも硬い表面強化材33で全体表面を覆ったため、機械的強度を向上させることが出来る。
According to the displacement detection member 30 according to the third embodiment, the following effects can be obtained.
(1) By detecting the difference in eddy current loss and magnetic resistance between the groove 11a and the non-groove 11a with the magnetic sensor D, the relative displacement with respect to the magnetic sensor D can be detected.
(2) Since the groove 11a is filled with the magnetic mixture material 32 harder than copper by spraying, the mechanical strength can be improved.
(3) Since the entire surface is covered with the surface reinforcing material 33 harder than copper by spraying, the mechanical strength can be improved.

−実施例4−
図10は、実施例4に係る変位検出用部材40を示す正面図である。図11は、変位検出用部材40の表面部分の断面および磁気センサを示す模式図である。
この変位検出用部材40は、非磁性金属部材41の表面に一定間隔Pおきに溝41aを形成し、溝41aに磁性混合材42を溶射により埋め込み、全体表面を溶射により銅よりも硬い表面強化材43で覆った構成である。
Example 4
FIG. 10 is a front view illustrating the displacement detection member 40 according to the fourth embodiment. FIG. 11 is a schematic diagram showing a cross section of the surface portion of the displacement detection member 40 and a magnetic sensor.
This displacement detection member 40 has grooves 41a formed on the surface of the nonmagnetic metal member 41 at regular intervals P, and a magnetic mixture 42 is buried in the grooves 41a by thermal spraying, and the entire surface is hardened by copper to be harder than copper. The structure is covered with a material 43.

非磁性金属部材41は、銅、アルミニウム、亜鉛、銀、金、SUSのいずれかである。   The nonmagnetic metal member 41 is any one of copper, aluminum, zinc, silver, gold, and SUS.

磁性混合材42は、磁性材と溶射材料を混合した材料である。
磁性材は、フェライトまたはパーマロイである。
溶射材料は、炭化タングステン・ニッケルクロム、炭化タングステン・コバルト、炭化タングステン・ニッケル、炭化タングステン・コバルトクロム、サーメット、セラミックのうちのいずれかである。
The magnetic mixed material 42 is a material in which a magnetic material and a thermal spray material are mixed.
The magnetic material is ferrite or permalloy.
The thermal spray material is any of tungsten carbide / nickel chromium, tungsten carbide / cobalt, tungsten carbide / nickel, tungsten carbide / cobalt chromium, cermet, and ceramic.

表面強化材43は、磁性混合材42が銅よりも硬いならば、溶射作業が容易になるため、磁性混合材42と同一材料としてよい。磁性混合材42が銅よりも柔らかいならば、銅よりも硬い溶射材料のみとする。   The surface reinforcing material 43 may be made of the same material as the magnetic mixed material 42 because the thermal spraying work is facilitated if the magnetic mixed material 42 is harder than copper. If the magnetic mixing material 42 is softer than copper, only the thermal spray material harder than copper is used.

変位検出用部材40の製造手順は、図3に準じる。   The manufacturing procedure of the displacement detection member 40 is in accordance with FIG.

実施例4に係る変位検出用部材40によれば次の効果が得られる。
(1)溝41aの部分と溝41aでない部分における渦電流損および磁気抵抗の違いを磁気センサDで検出することにより、磁気センサDに対する相対変位を検出できる。
(2)溶射により銅よりも硬い表面強化材43で全体表面を覆ったため、機械的強度を向上させることが出来る。
According to the displacement detection member 40 according to the fourth embodiment, the following effects can be obtained.
(1) The relative displacement with respect to the magnetic sensor D can be detected by detecting the difference in the eddy current loss and the magnetic resistance in the portion of the groove 41a and the portion that is not the groove 41a with the magnetic sensor D.
(2) Since the entire surface is covered with the surface reinforcing material 43 harder than copper by spraying, the mechanical strength can be improved.

−実施例5−
溶射により溝11a,21a,41aを混合材12,22,32,42で埋める際、溶射を数段階に分けて、始めに近い段階では溝11a,21a,41aへの密着性を重視した混合比とし(溶射材料の混合比を高める)、終わりに近い段階では磁気センサDによる検出性を重視した混合比(導電材または磁性材の混合比を高める)としてもよい。
-Example 5
When the grooves 11a, 21a, 41a are filled with the mixed materials 12, 22, 32, 42 by spraying, the spraying is divided into several stages, and the mixing ratio is focused on the adhesion to the grooves 11a, 21a, 41a at the stage near the beginning. (Increase the mixing ratio of the sprayed material), and near the end, the mixing ratio may be set to emphasize the detectability by the magnetic sensor D (increasing the mixing ratio of the conductive material or the magnetic material).

本発明の変位検出用部材は、空圧シリンダや油圧シリンダ等の位置検出装置に利用できる。   The displacement detection member of the present invention can be used for a position detection device such as a pneumatic cylinder or a hydraulic cylinder.

10 変位検出用部材
11 磁性金属部材
11a 溝
12 導電性混合材
13 表面強化材
20 変位検出用部材
21 導電性金属部材
21a 溝
22 磁性混合材
23 表面強化材
30 変位検出用部材
32 磁性混合材
33 表面強化材
40 変位検出用部材
41 非磁性金属部材
41a 溝
42 磁性混合材
43 表面強化材
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Displacement detection member 11 Magnetic metal member 11a Groove 12 Conductive mixed material 13 Surface reinforcement material 20 Displacement detection member 21 Conductive metal member 21a Groove 22 Magnetic mixture material 23 Surface reinforcement material 30 Displacement detection member 32 Magnetic mixture material 33 Surface reinforcing material 40 Displacement detecting member 41 Non-magnetic metal member 41a Groove 42 Magnetic mixed material 43 Surface reinforcing material

Claims (11)

磁気センサと組み合わせて前記磁気センサに対する相対変位を検出するための変位検出用部材であって、磁性金属部材(11)の表面に一定間隔おきに溝(11a)を形成し、前記溝(11a)に銅または銅と同等以上の導電率を有する導電材と銅よりも硬い溶射材料を混合した導電性混合材(12)を溶射により埋め込んだことを特徴とする変位検出用部材(10)。 A displacement detection member for detecting relative displacement with respect to the magnetic sensor in combination with a magnetic sensor, wherein grooves (11a) are formed on the surface of the magnetic metal member (11) at regular intervals, and the grooves (11a) Displacement detecting member (10), characterized in that copper or a conductive mixed material (12) obtained by mixing a conductive material having conductivity equal to or higher than copper and a thermal spray material harder than copper is embedded by thermal spraying. 請求項1に記載の変位検出用部材(10)において、前記磁性金属部材(11)が炭素鋼であり、前記銅または銅と同等以上の導電率を有する導電材が銅、アルミニウム、亜鉛、銀、金のいずれかであり、前記銅よりも硬い溶射材料が炭化タングステン・コバルト、炭化タングステン・ニッケル、炭化タングステン・コバルトクロム、炭化タングステン・ニッケルクロム、サーメット、セラミックのうちのいずれかであることを特徴とする変位検出用部材(10)。 The displacement detection member (10) according to claim 1, wherein the magnetic metal member (11) is carbon steel, and the conductive material having a conductivity equal to or higher than the copper or copper is copper, aluminum, zinc, silver. The thermal spray material harder than copper is any one of tungsten carbide / cobalt, tungsten carbide / nickel, tungsten carbide / cobalt chromium, tungsten carbide / nickel chromium, cermet, and ceramic. Displacement detecting member (10) characterized. 磁気センサと組み合わせて前記磁気センサに対する相対変位を検出するための変位検出用部材であって、銅または銅と同等以上の導電率を有する導電性金属部材(21)の表面に一定間隔おきに溝(21a)を形成し、前記溝(21a)に磁性材と溶射材料を混合した磁性混合材(22)を溶射により埋め込み、溶射により銅よりも硬い表面強化材(23)で全体表面を覆ったことを特徴とする変位検出用部材(20)。 A displacement detecting member for detecting a relative displacement with respect to the magnetic sensor in combination with a magnetic sensor, wherein grooves are formed on the surface of copper or a conductive metal member (21) having a conductivity equal to or higher than copper at regular intervals. (21a) was formed, and the groove (21a) was filled with a magnetic mixture (22) in which a magnetic material and a thermal spray material were mixed, and the entire surface was covered with a surface reinforcing material (23) harder than copper by thermal spraying. A displacement detection member (20) characterized by the above. 請求項3に記載の変位検出用部材(20)において、前記銅または銅と同等以上の導電率を有する導電性金属部材(21)が銅、アルミニウム、亜鉛、銀、金のいずれかであり、前記磁性材がフェライトまたはパーマロイであり、前記溶射材料が炭化タングステン・コバルト、炭化タングステン・ニッケル、炭化タングステン・コバルトクロム、炭化タングステン・ニッケルクロム、サーメット、セラミックのうちのいずれかであり、前記表面強化材(23)が前記磁性混合材(22)と同一材料であることを特徴とする変位検出用部材(20)。 The displacement detection member (20) according to claim 3, wherein the copper or the conductive metal member (21) having a conductivity equal to or higher than copper is any one of copper, aluminum, zinc, silver, and gold, The magnetic material is ferrite or permalloy, and the thermal spray material is any one of tungsten carbide / cobalt, tungsten carbide / nickel, tungsten carbide / cobalt chromium, tungsten carbide / nickel chromium, cermet, and ceramic, and the surface enhancement The displacement detection member (20), wherein the material (23) is the same material as the magnetic mixed material (22). 磁気センサと組み合わせて前記磁気センサに対する相対変位を検出するための変位検出用部材であって、磁性金属部材(11)の表面に一定間隔おきに溝(11a)を形成し、前記溝(11a)に前記磁性金属部材(11)とは透磁率が異なる磁性材と銅よりも硬い溶射材料を混合した磁性混合材(32)を溶射により埋め込んだことを特徴とする変位検出用部材(30)。 A displacement detection member for detecting relative displacement with respect to the magnetic sensor in combination with a magnetic sensor, wherein grooves (11a) are formed on the surface of the magnetic metal member (11) at regular intervals, and the grooves (11a) A displacement detecting member (30), wherein a magnetic mixed material (32) obtained by mixing a magnetic material having a magnetic permeability different from that of the magnetic metal member (11) and a thermal spray material harder than copper is embedded by thermal spraying. 請求項5に記載の変位検出用部材(30)において、前記磁性金属部材(11)が炭素鋼であり、前記磁性金属部材(11)とは透磁率が異なる磁性材がフェライトまたはパーマロイであり、前記銅よりも硬い溶射材料が炭化タングステン・コバルト、炭化タングステン・ニッケル、炭化タングステン・コバルトクロム、炭化タングステン・ニッケルクロム、サーメット、セラミックのうちのいずれかであることを特徴とする変位検出用部材(30)。 The displacement detection member (30) according to claim 5, wherein the magnetic metal member (11) is carbon steel, and a magnetic material having a magnetic permeability different from that of the magnetic metal member (11) is ferrite or permalloy, The thermal spray material harder than copper is any one of tungsten carbide / cobalt, tungsten carbide / nickel, tungsten carbide / cobalt chromium, tungsten carbide / nickel chromium, cermet, and ceramic. 30). 請求項1、請求項2、請求項5、請求項6のいずれかに記載の変位検出用部材(10,30)の表面を溶射により表面強化材(13,33)で覆ったことを特徴とする変位検出用部材(10,30)。 The surface of the displacement detecting member (10, 30) according to any one of claims 1, 2, 5, and 6 is covered with a surface reinforcing material (13, 33) by thermal spraying. Displacement detecting members (10, 30). 請求項7に記載の変位検出用部材(10,30)において、前記表面強化材(13,33)が前記混合材(12,32)と同一材料であることを特徴とする変位検出用部材(10,30)。 The displacement detection member (10, 30) according to claim 7, wherein the surface reinforcing material (13, 33) is the same material as the mixed material (12, 32). 10, 30). 磁気センサと組み合わせて前記磁気センサに対する相対変位を検出するための変位検出用部材であって、非磁性金属部材(41)の表面に一定間隔おきに溝(41a)を形成し、前記溝(41a)に磁性材と溶射材料を混合した磁性混合材(42)を溶射により埋め込み、溶射により銅よりも硬い表面強化材(43)で全体表面を覆ったことを特徴とする変位検出用部材(40)。 A displacement detection member for detecting a relative displacement with respect to the magnetic sensor in combination with a magnetic sensor, wherein grooves (41a) are formed on the surface of the nonmagnetic metal member (41) at regular intervals, and the grooves (41a A displacement detecting member (40) characterized in that a magnetic mixed material (42) in which a magnetic material and a thermal spray material are mixed with each other is embedded by thermal spraying and the entire surface is covered with a surface reinforcing material (43) harder than copper by thermal spraying. ). 請求項9に記載の変位検出用部材(40)において、前記非磁性金属部材(41)が銅、アルミニウム、亜鉛、銀、金、SUSのいずれかであり、前記磁性材がフェライトまたはパーマロイであり、前記溶射材料が炭化タングステン・コバルト、炭化タングステン・ニッケル、炭化タングステン・コバルトクロム、炭化タングステン・ニッケルクロム、サーメット、セラミックのうちのいずれかであり、前記表面強化材(43)が前記磁性混合材(42)と同一材料であることを特徴とする変位検出用部材(40)。 The displacement detection member (40) according to claim 9, wherein the nonmagnetic metal member (41) is any one of copper, aluminum, zinc, silver, gold, and SUS, and the magnetic material is ferrite or permalloy. The sprayed material is any one of tungsten carbide / cobalt, tungsten carbide / nickel, tungsten carbide / cobalt chromium, tungsten carbide / nickel chromium, cermet, and ceramic, and the surface reinforcing material (43) is the magnetic mixed material. The displacement detection member (40), which is made of the same material as (42). 請求項1から請求項10のいずれかに記載の変位検出用部材(10,20,30,40)において、溶射により溝(11a,21a,41a)を埋める混合材(12,22,32,42)の混合比が少なくとも2段階あり、溝(11a,21a,41a)の底に近い部分の混合比は溝(11a,21a,41a)への密着性を重視した混合比であり、溝(11a,21a,41a)の底から遠い部分の混合比は磁気センサ(D)による検出性を重視した混合比であることを特徴とする変位検出用部材。 The displacement detection member (10, 20, 30, 40) according to any one of claims 1 to 10, wherein the mixture (12, 22, 32, 42) fills the groove (11a, 21a, 41a) by thermal spraying. ) At least in two stages, and the mixing ratio of the portion close to the bottom of the groove (11a, 21a, 41a) is a mixture ratio that places importance on adhesion to the groove (11a, 21a, 41a), and the groove (11a 21a, 41a) is a displacement detection member characterized in that the mixing ratio in the portion far from the bottom is a mixing ratio that places importance on the detection by the magnetic sensor (D).
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