JP5325821B2 - ヒートシンクの製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、発熱を伴う電気回路部品を冷却するヒートシンクの製造方法およびヒートシンクに関する。

近年、自動車の電動化が進み電力変換装置が自動車に搭載されるようになり、スペース上の制約から電力変換装置にはコンパクト化と高性能化が求められている。

従来、車両の電力変換装置内のヒートシンクは、一般にアルミニウムによって形成されていたが、コンパクト化の要請により、アルミニウムよりも熱伝導率が高い銅や銅合金が使用されるようになった。

しかし、銅や銅合金は、押出し等の成形において変形抵抗が高く成形性に劣り、従来アルミニウム成形で採用された形状をそのまま適用できないことがあり、敢えて、制限された形状により成形を行う場合、金型に負荷が大となって金型寿命が短くなり、その結果、製造コストが増加する。

本発明は、ベースプレートとフィンを一体成形したヒートシンクの製造方法であって、円管ベースと、円管ベースの外周に放射状に配設された複数の放熱フィンとを備えた第１中間ブランクを成形する工程と、前記第１中間ブランクを切断して円弧状の第２中間ブランクを得る工程と、前記第２中間ブランクの前記放熱フィンの間隙底面と前記第２中間ブランクの円弧状ベース内周とを局部的に狭圧して第２中間ブランクを平面化する工程とを備えることを特徴とする。

特開２００９−８１９９３

特許文献１記載の製造方法では、ベースプレートとフィンの間にロウ材が介在するため、熱抵抗が大きく、熱伝導が低下する。
したがって、ベースプレートとフィンを一体化したヒートシンクを安価に製造する製造方法が要請されている。

本発明は、ベースプレートとフィンを一体成形したヒートシンクの製造方法であって、円管ベースと、円管ベースの外周に放射状に配設された複数の放熱フィンとを備えた第１中間ブランクを成形する工程と、前記第１中間ブランクの前記放熱フィンの間隙底面と前記第１中間ブランクの円弧状ベース内周とを局部的に狭圧して第１中間ブランクを平面化する工程とを備えることを特徴とする。
本発明はまた、ベースプレートとフィンを一体成形した銅または銅合金のヒートシンクであって、円管ベースと、円管ベースの外周に放射状に配設された複数の放熱フィンとを備えた第１中間ブランクを成形し、前記第１中間ブランクの前記放熱フィンの間隙底面と前記第１中間ブランクの円弧状ベース内周とを局部的に狭圧して、第１中間ブランクを平面化することによって製造されたヒートシンク素材を用いて製造されたことを特徴とする。

本発明によれば、熱伝導率が高い銅、銅合金などの金属材料を用いた一体的なヒートシンクを安価に製造できる。

本発明による製造方法の第１の実施の形態により製造された素材を用いたヒートシンクを示す縦断面図。 第１の実施の形態による素材成型過程を示す斜視図。 第１の実施の形態の第１中間ブランク前方押出し工程の加工直前の状態を示す縦断面図。 第１の実施の形態の第１中間ブランク前方押出し工程の中間状態を示す縦断面図。 第１の実施の形態の第１中間ブランク前方押出し工程における次の円管ブランク投入状態を示す縦断面図。 第１の実施の形態の第１中間ブランク前方押出し工程における先の円管ブランクの押出完了状態を示す縦断面図。 図３のＩ−Ｉ断面図。 図２におけるヒートシンクのＪ−Ｊ断面図。 図２の第２中間ブランクの平面化の工程における平面成形直前の状態を示す縦断面図。 図２における第２中間ブランクの平面化の工程における平面成形直後の状態を示す縦断面図。 図１０の平面化後の更なる平面化の工程を示す縦断面図。 本発明による製造方法の第２の実施の形態を説明する図であって、第２中間ブランクの平面化の工程における平面成形直前の状態を示す縦断面図。 本発明による製造方法の第３の実施の形態を説明する図であって、第２中間ブランクの平面化の工程における平面成形直前の状態を示す縦断面図。

以下、本発明による製造方法の実施の形態を図面を参照して説明する。
［第１の実施の形態］
［パワーモジュール］
図１は、本発明の製造方法で得られる銅または銅合金のヒートシンクを自動車用電力変換装置のパワーモジュールに使用した場合の断面図である。自動車に搭載される電力変換装置のパワーモジュール１０では、ＩＧＢＴに代表されるパワー半導体素子を実装した半導体チップ１０１が使用される。パワー半導体素子を許容温度内で使用するため、電力変換装置は、半導体チップ１０１を冷却する冷却装置を備えている。

図1に示すパワーモジュール１０の構成を説明すると、ＩＧＢＴチップ１０１は絶縁基板１０２上に高温半田１０３にてロウ付けされており、絶縁基板１０２は低温半田１０４にてヒートシンク１００の表面に固着されている。

ヒートシンク１００は、表面側のベースプレート１００ａと、ベースプレート１００ａの裏面に下方に向かって一体的に突設された複数の放熱フィン１００ｂとを含んで構成され、上述した絶縁基板１０２は、ベースプレート１００ａの表面にロウ付けされている。ヒートシンク１００は、ネジ１０７等によって水路形成体１０５に固定され、放熱フィン１００ｂは、水路形成体１０５に穿設された水路１０５ａ内に挿入されている。これにより、冷却フィン１００ｂを介して、ベースプレート１００ａが水路１０５ａを循環流動する冷却水１０６により水冷され、その結果、絶縁基板１０２が水冷される。

水路形成体１０５には、水路１０５ａを取り囲むようにＯリング収納溝１０５ｂが形成され、Ｏリング収納溝１０５ｂにはＯリング１０８が収納されている。Ｏリング１０８はベースプレート１００ａによって圧縮されつつ、ベースプレート１００ａの裏面およびＯリング収納溝１０５ｂの内面に密接し、水路１０５ａをシールしている。これによって冷却水の洩れが防止されている。

ベースプレート１００ａとフィン１００ｂとを一体化したヒートシンク１００は、フィンをロウ付けした従来のヒートシンクに比較して極めて優れた冷却効果を得ることができる。さらに、ヒートシンク１００の材質は銅または銅合金であるので、従来のアルミニウム合金よりなるヒートシンクに比較して熱伝導率が高く、高い冷却性能を得ることができる。

［製造工程の概要］
図２に示すように、ヒートシンク１００は、円管ブランク２００を粗材とし、第１中間ブランク２１０、第２中間ブランク２２０、ヒートシンク素材２３０の中間段階を経て成形される。

製造工程は概ね以下の（１）〜（５）の工程を含む。
（１）円管ブランク作製工程
円管ブランク２００を作製する。円管ブランク２００は、ヒートシンク１００の高さに略対応した厚さの円筒形状である。
（２）第１中間ブランク作製工程
円管ブランク２００を前方押出しして第１中間ブランク２１０を成形する。第１中間ブランク２１０は、円管ベース２１２の外周に、放熱フィン１００ｂに対応したフィン形状２１４が形成されたものである。
（３）第２中間ブランク作製工程
第１中間ブランク２１０を中心軸に沿って切断して２分割し、第２中間ブランク２２０を得る。すなわち、第２中間ブランク２２０は、第１中間ブランク２１０を半径方向に２分割したものである。

（４）ヒートシンク素材作製工程
第２中間ブランク２２０を平面化してヒートシンク素材２３０を得る。ヒートシンク素材２３０の平面度が不充分な場合には、さらに、平面矯正を行なう。

（５）ヒートシンク作製工程
ヒートシンク素材２３０を熱処理２４０し、その後に切削加工、メッキ処理を施すことによって、ヒートシンク１００を得る。

［製造工程の詳細］
次に、図２〜図１１を参照して製造工程の詳細を上記工程（１）〜（５）ごとに説明する。
（１）円管ブランク作製工程
まず、円管ブランク２００を準備する。
円管ブランク２００は、パイプ材を所要の長さに切断する方法や、円柱状ブランクを鍛造によりカップ状に押出成形後、カップ底面を穴抜きして成形する方法等により製造する。

（２）第１中間ブランク作製工程
図３〜図７に示すように上型３００と下型４００を備える押し出し金型を用いて、円管ブランク２００を前方押出工程により成形し、第1中間ブランク２１０を製造する。

図３のI―I線断面図である図７にも示すように、押し出し金型は、上型３００と下型４００とを含んで構成される。
上型３００は、円柱状のオピン３１０と、円筒状のオガタ３２０とを備えている。下型４００は、略円環状のメガタ（押出しダイス）３３０を備え、メガタ３３０は、外周に補強リング４３８が外装されて補強されている。メガタ３３０は下型４００の図示を省略したメガタ装着部に装着される。下型４００にセットされた円管ブランク２００は上型３００により押し出し加工され、第１中間ブランク２１０が成形される。

オピン３１０には、その前端部に内周成形部３１１が形成され、後端部にオガタ押部３１４が形成されている。内周成形部３１１は、成形すべき第１中間ブランク２１０の内周面２１１（図２参照）と略同形状を呈し、円管ブランク２１０の内周面２０１より僅かに小径である。オガタ押部３１４は、内周成形部３１１と胴体３１２によって連結されている。

オガタ３２０は円筒形状であり、中空部の後端側に、後方に向かって大径となる段差部３２２が形成され、オガタ押部３１４が段差部３２２に係合している。図示しない加圧装置によりオピン３１０に加えられる前方押し駆動力は、この係合構造によりオガタ３２０に伝達される。オガタ３２０の外径は、円管状ブランク２００の外周面２０２（図２参照）の外径と略同形状である。オガタ３２０の前端面は円管ブランク２００の後端面に当接しつつ、円管ブランク２００を前方に押す。

円環形状のメガタ３３０には中空部が形成され、中空部の後端側には、オガタ３２０が嵌合するキャビティ３３３が形成され、メガタ３３０と、オガタ３２０およびオピン３１０とのが芯合わせを正確に行うことができる。これによって、第１中間ブランク２１０の内外周の同芯度を確保することができる。
なお、キャビティ３３３に円管ブランク２００が装着されて押し出し加工される。

メガタ３３０の中空部前端側には、第１中間ブランク２１０の放熱フィン１００ｂに対応したフィン成形部４３１が形成されている。フィン成形部４３１には、ヒートシンク１００の放熱フィン１００ｂと相補関係を持つ略同形状のフィン（相補フィンと呼ぶ）が放射状に突設されている。

ここで、フィン成形部４３１の寸法、形状について、図７および図８を参照して説明する。
図８は、製作後のヒートシンク１００（図２参照）のＪ−Ｊ断面図である。放熱フィン１００ｂは、ピッチ１００ｃで成形されている。放熱フィン１００ｂのベースプレート１００ａに対する角度は、ヒートシンク１００のフィン立ち上がり角度として所定角度に設定されている。フィン１００ｂの間をフィン間隙１００ｄと呼ぶ。

図７には、フィン成形部４３１の相補フィンピッチとして、フィン内周径上での相補フィンピッチ４３２Ｐと、フィン外周径上での相補フィンピッチ４３３Ｐとが示されている。フィン内周径上での相補フィンピッチ４３２Ｐは、ヒートシンク１００のフィンピッチ１００ｃと略等しい値に設定されている。

第１中間ブランク２１０の成形に際して、図３に示すように、円管ブランク２００はメガタ３３０のキャビティ３３３に投入され、図４に示すように、押圧力３４０により上型３００を前進（下降）させる。円管ブランク２００は、フィン成形部４３１と内周成形部３１１とで構成される隙間４３７に押出され、押残り部２０５ａを有する成形途中品２０５に変形する。

次に、一旦、上型３００を引上げ、図５に示すように、次に加工すべき円管ブランク２００’を、成形途中品２０５に重ねてキャビティ３３３へ投入する。

図６に示すように、再押圧力３４０’により上型３００を下降させて、円管ブランク２００’とともに成形途中品２０５を前進させ、オピン１４の内周成形部３１１を、メガタ３３０の底部３３４から排出させると、成形途中品２０５の押残り部２０５ａに放熱フィン１００ｂが形成されて、第１中間ブランク２１０が形成される。２番目にメガタ４００に投入した円管ブランク２００’は、成形途中品２０５”の状態まで成形される。

このように成形された第１中間ブランク２１０は、図２に示すように、ベースプレート１００ａに対応した円管ベース２１２と、円管ベース２１２の外周に放射状に配設された放熱フィン１００ｂとを備えることになる。

一方、円管ブランク２００’は押残り部２０５’を有する成形途中品２０５’となりメガタ３３０内に留まる。

以後の第１中間ブランク前方押出工程では、図５、図６の工程の繰返しとなり、メガタ３３０内には常に成形途中品２０５ａが１個残る。

（３）第２中間ブランク作製工程
次に、第１中間ブランク２１０を、中心軸に沿って、軸方向に切断し第２中間ブランク２２０（図２参照）を製造する。この際、平面化後の所要のベースプレート幅Ｗになるように切断する必要がある。そのため、円弧状ベース外周２２１の周長Ｌを、平面化、矯正後のベースプレート幅Ｗに設定する。

周長Ｌ設定のための工程設計においては、第１中間ブランク２１０の円管ベース外周２１３の周長ＬＬを、平面化後の（ベースプレート幅Ｗ＋切断代）の倍数に設定し、１個の円管ブランク２００から複数のヒートシンク素材２３０を製造する。これによって、材料歩留は優れたものとなる。

なお、コンフォーム押出し等により連続押出したものを、所要の長さ周長に切断することによって第２中間ブランク２２０を成形してもよい。

（４）ヒートシンク素材作製工程
次に、第２中間ブランク２２０を平面化し、矯正して、ヒートシンク素材２３０を形成する。平面化に際しては、図９、図１０に示すように、第２中間ブランク２２０の内外周を上型６００と下型６２０とによって挟圧する。

下型６２０には、水平平面状の平座面６２３と、平座面６２３の一端で上方に突出する断面略三角形突起状の成形部６２１と、平座面６２３に連続する半円弧状の曲座面６２２とが形成されている。成形部６２１は、第２中間ブランク２２０の軸方向に伸び、放熱フィン１００ｂの全長に対応した、円弧状ベース内周２２４を成形することができる。曲座面６２２の半円弧は、第２中間ブランク２２０の円弧状ベース内周２２４に略対応した半径に設定されている。

上型６００は、平座面６２３の上方に配置され上下揺動可能な本体６０２と、成形部６２１の上方の位置で本体６０２の下面から下方に突出された受圧部６０１を備える。受圧部６０１は、成形すべき放熱フィン１００ｂの間隙１００ｄ(図８参照)に対応した略台形状の断面を有する。

平面化開始時には、曲座面６２２に第２中間ブランク２２０を添わせて配置し、その後、第２中間ブランク２２０を平座面６２３方向に順次シフトしつつ、上型６００に下方への押圧力６５０（図１０）を加え、受圧部６０１と成形部６２１とによって、第２中間ブランク２２０を挟圧する。

受圧部６０１は放熱フィン１００ｂの間隙１００ｄに挿入され、間隙１００ｄの底面２２３ａにおいて、円弧状ベース外周２２３を押圧する。これによって、放熱フィン１００ｂの円弧状ベース外周２２３に対する角度を狭めるように、円弧状ベース外周２２３を成形する。この成形にともない、円弧状ベース内周２２４は平面に成形されるが、このとき、間隙底面２２３ａに対応した位置の変形が特に大きく、成形部６２１は、この大きな変形の塑性流動を促す。

平面化は、曲座面６２２にセットされた第２中間ブランク２２０の上端から順次行ない、図９、図１０では、８番目の放熱フィン１００ｂと９番目の放熱フィン１００ｂとの間の間隙底面２２３ａを平面化している。
平面化によって、放熱フィン１００ｂの円弧状ベース外周２２３に対する立ち上がり角度が、あらかじめ設定した立ち上がり角度に修正される。すなわち、設定立ち上がり角度からの偏差θを解消し、θ＝０度となるような成形を行う。図９の成形直前の状態ではθ＞０度であるが、図１０の成形完了時には、θ＝０度となっている。

受圧部６０１は、間隙底面２２３ａのみを押圧し、放熱フィン１００ｂ自体には負荷を与えることがなく、また、受圧部６０１の形状は、成形すべき放熱フィン１００ｂの間隙に対応した略台形状断面であるので、放熱フィン１００ｂの形状や円弧状ベース外周２２３の形状を変形させない。
これによって、放熱フィン１００ｂの形状崩れやフィンピッチ１００ｃのズレを最小限に抑え精度の優れた平面化を行なうことができる。

すなわち、間隙底面２２３ａの近傍では実質的に塑性流動を生じさせず、主に、三角状突起である成形部６２１が接触する円弧状ベース内周２２４の近傍において塑性流動６３０を生じさせる。

一般に、負荷が加えられた材料は、特別な拘束が無ければ、規定以上の面圧に達した時に塑性流動が生じるが、成形部６２１を突起状にすることにより狭圧初期の段階から、円弧状ベース内周２２４の成形部６２１近傍において急激に面圧が上昇し、その付近の材料のみ周方向に塑性流動６３０して、円弧状ベース狭圧部２２６を、周方向に離間するように（矢印２２７の方向）に変形させる。

平面化のための成形は、放熱フィン１００ｂの間隙底面２２３ａの各々に行なう必要があるものの、各々の箇所の加工条件は均一に出来る為、平面化の精度は安定している。

さらに、曲座面６２２を平座面６２３に連続して設けたことにより、成形前に第２中間ブランク２２０の位置を固定でき、作業性が高まる。

なお、上型６００、下型６２０によって平面化したヒートシンク素材２３０の平面度をさらに向上させる矯正を行うためには、例えば、図１１に示すように、全箇所の放熱フィン１００ｂと間隙底面２２３ａを金型７００、７２０で拘束しつつ、上下から挟圧し、平面成形で生じた波打や凹凸を平準化する。このとき、凸部の材料は凹部へ流動して、平面が形成される。

（５）ヒートシンク作製工程
平面化によって製造されたヒートシンク素材２３０は、押出加工や平面化の際に発生した残留応力を除去する為に熱処理２４０される。

（熱処理）
絶縁基板１０２をベースプレート１０ａにロウ付けする際の半田の溶解熱や、パワーモジュール１０の動作時のＩＧＢＴチップ発熱等により、ベースプレート１００ａの残留応力が解放されてベースプレート１００ａに反りが発生することがある。これは、半田や基盤における亀裂等の欠陥の原因となる。
上記熱処理によって、このような残留応力があらかじめ解放され、欠陥の発生が防止される。

（切削加工、めっき処理）
熱処理２４０後は、絶縁基板１０２をロウ付けする基板ロウ付け面１００ｅ（図２参照）、Ｏリング１０８にてシーリングするシール面１００ｆ（図２参照）、ネジ取付け用の穴１００ｇ（図２参照）等を切削加工で仕上げた後、耐食性を考慮してメッキを行いヒートシンク１００を得る。切削加工に際しては、外形寸法調整や、不要な放熱フィン１００ｂの除去も行う。

以上説明したように、本発明のヒートシンク素材２３０は、ベースプレート１００ａと放熱フィン１００ｂの一体成形が図られた銅または銅合金の熱伝導率の優れたヒートシンク素材であり、自動車用電力変換装置のパワーモジュール１０の高性能化とコンパクト化が図れる。

また、中間ブランクはプレス機械による押出により成形可能で、コンフォーム成形機等の特別な成形機が無くても生産可能である。

しかも、円管ブランク２００から成形することで、押出成形時の金型に異常に高い応力が生じることはなく、応力状態が適正である。このため充分高いアスペクト比の放熱フィンを成形することができる。

さらに次のような作用効果も得られる。
第１中間ブランク２１０において、放射状にフィン成形部４３１を形成することにより、フィン内周ピッチ４３２ｐよりもフィン外周ピッチ４３３ｐの間隔を大きく設定でき、最終的な放熱フィン１００ｂのピッチ１００ｃ（図８参照）よりもフィン外周ピッチ４３３ｐを大きく設定できる。この結果、押し出される円管ブランク２００のフィン間の断面積を、直接、平面的なフィンを押し出し加工する場合に比べて大きく設定できる。そのため、成形時に高応力が生じるフィン成形部４３１の応力緩和が図られ、充分大きなアスペクト比の放熱フィン１００ｂを成形できる。
また放熱フィン１００ｂを直接押出し成形するよりも、金型を長寿命化することができる。

第１中間ブランク２１０は円筒状であるので、フィン成形部４３１の断面は、メガタ３３０の中心軸に対して点対称形状であり、ヒートシンク１００の形状に直接押出しするよりも、応力状態の均一化が図られ、この点においても、金型を長寿命化することができる。

補強リング４３７は、焼嵌め４３４等により、メガタ３３０に嵌合されているが、フィン成形部４３１の断面がメガタ３３０中心軸に対して対称形状なので、補強による応力は、メガタ３３０に均一かつ効果的に作用する。

焼嵌め４３４による圧縮力は、フィン外周径４３３に圧縮応力４３５を生じさせ、成形時に発生する引張応力４３６の全部または一部を相殺する。これによって、フィン成形部４３１の金型割れ発生を抑え、金型を長寿命化する。

なお、ヒートシンク１００の形状に直接押出しする場合は、応力状態が不均一となり効果的な補強構造は実現できない。
［第２の実施の形態］

次に、本発明による製造方法の第２の実施の形態を、図１２を参照して説明する。
なお、図中、第１の実施の形態と同一もしくは相当部分には同一符号を付し、説明を省略する。

第１の実施の形態では、平面化に際して、間隙底面２２３ａと円弧ベース内周２２４とを狭圧して、円弧状ベース２２３を平面化したが、図１２に示すように、上型６００の本体６０２によって放熱フィン１００ｂの先端１００ｈをさらに押圧してもよい。

要するに、円弧状ベース内周２２４の材料のみを周方向に塑性流動させることが重要である。
［第３の実施の形態］

次に、本発明による製造方法の第３の実施の形態を、図１３を参照して説明する。
なお、図中、第１の実施の形態と同一もしくは相当部分には同一符号を付し、説明を省略する。

第１の実施の形態では、第２中間ブランク２２０の円弧ベース内周２２４は平滑な円弧面としたが、図１３に示すように、円弧状ベース内周２２４に、第２中間ブランク２２０の軸方向全長に渡って伸びる凸部、凹部を周方向に配列した凹凸１００ｊを、あらかじめ形成してもよい。

凹凸１００ｊは、例えば、第１中間ブランク前方押出工程において形成される。
平面化に際して、凹凸１００ｊにおける凸部を狭圧することで、狭圧初期の面圧を更に上げることができる。
これによって、平面化の精度を向上させたり、突起状の成形部６２１の高さを低くして、基盤ロウ付け面１００ｅの切削加工代を低減することも可能である。

なお、以上で説明したヒートシンクならびにその製造方法は一例であり、本発明を逸脱しない限り、種々の形態を採用することができる。
したがって、本発明は、ベースプレートとフィンを一体成形したヒートシンクの製造方法であって、円管ベースと、円管ベースの外周に放射状に配設された複数の放熱フィンとを備えた第１中間ブランクを成形する工程と、第１中間ブランクの放熱フィンの間隙底面と第１中間ブランクの円弧状ベース内周とを局部的に狭圧して第１中間ブランクを平面化する工程とを備えたあらゆるヒートシンクの製造方法に適用できる。

１００：ヒートシンク
１００ａ：ベースプレート
１００ｂ：放熱フィン
１００ｄ：間隙
２００：円管ブランク
２１０：第１中間ブランク
２２３：円弧状ベース外周
２２３ａ：間隙底面
２２４：円弧状ベース内周
２３０：ヒートシンク素材
３００：上型
３３０：メガタ
６０１：受圧部
６２１：成形部

Claims (7)

1. ベースプレートとフィンを一体成形したヒートシンクの製造方法であって、
   円管ベースと、円管ベースの外周に放射状に配設された複数の放熱フィンとを備えた第１中間ブランクを成形する工程と、
   前記第１中間ブランクを切断して円弧状の第２中間ブランクを得る工程と、
   前記第２中間ブランクの前記放熱フィンの間隙底面と前記第２中間ブランクの円弧状ベース内周とを局部的に狭圧して第２中間ブランクを平面化する工程と、
   を備えたことを特徴とするヒートシンクの製造方法。
2. 請求項１記載の製造方法において、
   前記第２中間ブランクを平面化する工程に際して、前記円弧状ベース内周に、第２中間ブランクの軸方向に延びる突起状の成形部を当接することを特徴とするヒートシンクの製造方法。
3. 請求項１または２に記載の製造方法において、
   前記第１中間ブランクを成形する工程は、ブランクを押出成形する工程を含み、
   前記第１中間ブランクを成形する工程に先立って前記ブランクを準備する工程をさらに含むことを特徴とするヒートシンクの製造方法。
4. 請求項３記載の製造方法において、
   前記押出成形する工程は、補強リングにより補強された押出しダイスにより行うことを特徴とするヒートシンクの製造方法。
5. 請求項３または４に記載の製造方法において、
   前記押出成形に使用する前記ブランクは円管状であることを特徴とするヒートシンクの製造方法。
6. 請求項１記載の製造方法であって、
   第１中間ブランクを成形する工程では、前記第１中間ブランクの円弧状ベース内周に、凹凸を形成する工程を含むことを特徴とするヒートシンクの製造方法。
7. 請求項６記載の製造方法において、
   前記平面化の工程は、前記円弧状ベース内周の前記凹凸の凸部を押圧して平面状に成形する工程を含むことを特徴とするヒートシンクの製造方法。

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