Deprecated: The each() function is deprecated. This message will be suppressed on further calls in /home/zhenxiangba/zhenxiangba.com/public_html/phproxy-improved-master/index.php on line 456
JP5329980B2 - Solar cell module - Google Patents
[go: Go Back, main page]

JP5329980B2 - Solar cell module - Google Patents

Solar cell module Download PDF

Info

Publication number
JP5329980B2
JP5329980B2 JP2009001895A JP2009001895A JP5329980B2 JP 5329980 B2 JP5329980 B2 JP 5329980B2 JP 2009001895 A JP2009001895 A JP 2009001895A JP 2009001895 A JP2009001895 A JP 2009001895A JP 5329980 B2 JP5329980 B2 JP 5329980B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
wiring
electrode
solar cell
substrate
solar
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2009001895A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2009071339A5 (en
JP2009071339A (en
Inventor
聡 田中
智弘 町田
邦夫 上村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sharp Corp
Original Assignee
Sharp Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sharp Corp filed Critical Sharp Corp
Priority to JP2009001895A priority Critical patent/JP5329980B2/en
Publication of JP2009071339A publication Critical patent/JP2009071339A/en
Publication of JP2009071339A5 publication Critical patent/JP2009071339A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5329980B2 publication Critical patent/JP5329980B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10FINORGANIC SEMICONDUCTOR DEVICES SENSITIVE TO INFRARED RADIATION, LIGHT, ELECTROMAGNETIC RADIATION OF SHORTER WAVELENGTH OR CORPUSCULAR RADIATION
    • H10F19/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one photovoltaic cell covered by group H10F10/00, e.g. photovoltaic modules
    • H10F19/90Structures for connecting between photovoltaic cells, e.g. interconnections or insulating spacers
    • H10F19/902Structures for connecting between photovoltaic cells, e.g. interconnections or insulating spacers for series or parallel connection of photovoltaic cells
    • H10F19/908Structures for connecting between photovoltaic cells, e.g. interconnections or insulating spacers for series or parallel connection of photovoltaic cells for back-contact photovoltaic cells
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10FINORGANIC SEMICONDUCTOR DEVICES SENSITIVE TO INFRARED RADIATION, LIGHT, ELECTROMAGNETIC RADIATION OF SHORTER WAVELENGTH OR CORPUSCULAR RADIATION
    • H10F77/00Constructional details of devices covered by this subclass
    • H10F77/20Electrodes
    • H10F77/206Electrodes for devices having potential barriers
    • H10F77/211Electrodes for devices having potential barriers for photovoltaic cells
    • H10F77/219Arrangements for electrodes of back-contact photovoltaic cells
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E10/00Energy generation through renewable energy sources
    • Y02E10/50Photovoltaic [PV] energy

Landscapes

  • Photovoltaic Devices (AREA)

Description

本発明は太陽電池モジュールに関し、特にFF(Fill Factor)値が大きい太陽電池を安価に製造することができる太陽電池モジュールに関する。 The present invention relates to a solar cell module, particularly to FF (Fill Factor) solar battery module is Ru can be produced at low cost a large solar cell value.

近年、エネルギ資源の枯渇の問題や大気中のCO2の増加のような地球環境問題などからクリーンなエネルギの開発が望まれており、特に太陽電池セルを複数接続して構成される太陽電池モジュール用いた太陽光発電が新しいエネルギ源として開発、実用化され、発展の道を歩んでいる。 In recent years, development of clean energy has been desired due to the problem of depletion of energy resources and global environmental problems such as an increase in CO 2 in the atmosphere. In particular, a solar cell module configured by connecting a plurality of solar cells. The solar power generation used has been developed and put into practical use as a new energy source, and is on the path of development.

太陽電池モジュールを構成する太陽電池セルは、従来から、たとえば単結晶または多結晶のシリコン基板の面のうち太陽光が入射する側の面(受光面)にシリコン基板の導電型と反対の導電型となる不純物を拡散することによってpn接合を形成し、シリコン基板の受光面とその反対側にある裏面にそれぞれ電極を形成して製造される。また、シリコン基板の裏面にはシリコン基板と同じ導電型の不純物を高濃度で拡散することによって、裏面電界効果による高出力化を図ることも一般的となっている。   Conventionally, a solar cell constituting a solar cell module has a conductivity type opposite to the conductivity type of the silicon substrate on the surface (light receiving surface) on the side where sunlight enters among the surfaces of a single crystal or polycrystalline silicon substrate, for example. A pn junction is formed by diffusing impurities to be formed, and electrodes are formed on the light receiving surface of the silicon substrate and the back surface on the opposite side. It is also common to increase the output by the back surface field effect by diffusing impurities of the same conductivity type as the silicon substrate at a high concentration on the back surface of the silicon substrate.

また、シリコン基板の受光面には電極を形成せず、シリコン基板の裏面のみに異なる導電型の電極を形成するいわゆる裏面接合型太陽電池セルが開発されている。裏面接合型太陽電池セルにおいては、電極が形成されているシリコン基板の裏面側からしか電力を取り出すことができないため、その電極は裏面接合型太陽電池セルおよびこれが複数接続されてなる太陽電池モジュールの出力の観点から非常に重要である。   In addition, so-called back junction solar cells have been developed in which electrodes are not formed on the light receiving surface of a silicon substrate, but electrodes of different conductivity types are formed only on the back surface of the silicon substrate. In the back junction solar cell, since power can be taken out only from the back side of the silicon substrate on which the electrode is formed, the electrode is a back junction solar cell and a solar cell module in which a plurality of these are connected. Very important from an output perspective.

図11に従来の裏面接合型太陽電池セルの一例の模式的な断面図を示す。この従来の裏面接合型太陽電池セルは、たとえばn型のシリコン基板101の受光面に反射防止膜(図示せず)が形成されており、シリコン基板101の裏面にn+層105とp+層106とが裏面に沿って交互に所定の間隔をあけて形成されている。そして、p+層106上にはp電極111が形成され、n+層105上にはn電極112が形成されている。この裏面接合型太陽電池セルの受光面に太陽光が入射すると、シリコン基板101の受光面近傍で生じたキャリアが裏面に形成されたpn接合まで到達し、p電極111およびn電極112に電流として収集され、外部に取り出されて太陽電池セルの出力となる。   FIG. 11 shows a schematic cross-sectional view of an example of a conventional back junction solar cell. In this conventional back junction solar cell, for example, an antireflection film (not shown) is formed on the light receiving surface of an n-type silicon substrate 101, and an n + layer 105 and a p + layer are formed on the back surface of the silicon substrate 101. 106 are alternately formed along the back surface at predetermined intervals. A p electrode 111 is formed on the p + layer 106, and an n electrode 112 is formed on the n + layer 105. When sunlight is incident on the light receiving surface of the back junction solar cell, carriers generated in the vicinity of the light receiving surface of the silicon substrate 101 reach the pn junction formed on the back surface, and current is supplied to the p electrode 111 and the n electrode 112 as current. Collected and taken out to be output of the solar battery cell.

また、図12に従来の裏面接合型太陽電池セルの裏面の一例の模式的な平面図を示す。図12に示すように、この従来の裏面接合型太陽電池セルにおいては、太陽電池セルの出力を向上させる観点から、シリコン基板101の裏面の内部にp電極111およびn電極112がそれぞれ裏面全体を覆うように櫛形状に形成される。   Moreover, the typical top view of an example of the back surface of the conventional back junction type photovoltaic cell is shown in FIG. As shown in FIG. 12, in this conventional back junction solar cell, from the viewpoint of improving the output of the solar cell, a p-electrode 111 and an n-electrode 112 are respectively disposed inside the back surface of the silicon substrate 101. It is formed in a comb shape so as to cover.

図13に従来の裏面接合型太陽電池セルの製造工程の一例のフローチャートを示す。まず、ステップ1a(S1a)において、n型単結晶シリコン基板を用意する。そして、ステップ2a(S2a)において、APCVD法(常圧CVD法)を用いて、このシリコン基板の両面にSiOx膜を堆積させる。そして、ステップ3a(S3a)において、このシリコン基板の裏面にホトエッチング法によって櫛形状パターンの窓明けを行なった後にBBr3気相拡散を行なうことによりp+層を形成する。続いて、ステップ4a(S4a)において、シリコン基板の受光面に耐酸性テープを貼り付けた後に裏面についてHF(フッ化水素)によるクリーニングを行なう。そして、受光面の耐酸性テープを剥離した後に再度裏面にSiOx膜を堆積させる。次いで、ステップ5a(S5a)において、シリコン基板の裏面に櫛形状のp+層の櫛歯の間にp+層と向き合うようにしてホトエッチング法により櫛形状パターンの窓明けを行なった後にPOCl3気相拡散によってn+層を、p+層の櫛歯とn+層の櫛歯とが向き合うようにして形成する。そして、ステップ6a(S6a)において、シリコン基板の全面をHFによりクリーニングした後、シリコン基板の受光面にプラズマCVD法によりSiN膜を堆積させる。 FIG. 13 shows a flowchart of an example of a manufacturing process of a conventional back junction solar cell. First, in step 1a (S1a), an n-type single crystal silicon substrate is prepared. In step 2a (S2a), SiOx films are deposited on both surfaces of the silicon substrate by using an APCVD method (atmospheric pressure CVD method). In step 3a (S3a), a p + layer is formed by performing BBr 3 vapor phase diffusion after opening a comb-shaped pattern on the back surface of the silicon substrate by a photo-etching method. Subsequently, in step 4a (S4a), after the acid-resistant tape is attached to the light receiving surface of the silicon substrate, the back surface is cleaned with HF (hydrogen fluoride). Then, after removing the acid-resistant tape on the light receiving surface, a SiOx film is deposited again on the back surface. Then, POCl 3 in step 5a (S5a), after performing a window dawn comb-shaped pattern by photoetching method so as to face the p + layer between the comb teeth of the p + layer of a comb shape on the back surface of the silicon substrate The n + layer is formed by vapor phase diffusion so that the p + layer comb teeth and the n + layer comb teeth face each other. In step 6a (S6a), after cleaning the entire surface of the silicon substrate with HF, a SiN film is deposited on the light receiving surface of the silicon substrate by plasma CVD.

次に、ステップ7a(S7a)において、図14に示すように、シリコン基板101の裏面に形成されたp+層の範囲内にp電極111を、n+層の範囲内にn電極112をそれぞれ点状にスクリーン印刷し、その後焼成することにより形成する。ここで、スクリーン印刷材料としては銀ペーストが用いられ、スクリーン印刷された銀ペーストを乾燥した後に酸化性雰囲気下で焼成することによってp電極111およびn電極112が形成される。   Next, in step 7a (S7a), as shown in FIG. 14, the p-electrode 111 is placed within the range of the p + layer formed on the back surface of the silicon substrate 101, and the n-electrode 112 is placed within the range of the n + layer. It is formed by screen printing in the form of dots and then firing. Here, a silver paste is used as the screen printing material, and the p-electrode 111 and the n-electrode 112 are formed by drying the screen-printed silver paste and baking it in an oxidizing atmosphere.

その後、ステップ8a(S8a)において、点状のp電極111およびn電極112をそれぞれ電気的に接続する直線状の連結電極パターンを銀ペーストを用いたスクリーン印刷により形成し、その後焼成することによって、図15に示すように銀からなる連結電極113a、113bを形成する。そして、ステップ9a(S9a)において、p電極111、n電極112、連結電極113a、113bは、フラックスへ浸漬させられた後に乾燥され、はんだ浴に浸漬させられてはんだコーティングされる。その後、これらの電極が洗浄された後乾燥されて太陽電池セルが完成する。   Thereafter, in step 8a (S8a), by forming a linear connection electrode pattern that electrically connects the dotted p-electrode 111 and the n-electrode 112 by screen printing using a silver paste, and then firing, As shown in FIG. 15, connecting electrodes 113a and 113b made of silver are formed. In step 9a (S9a), the p-electrode 111, the n-electrode 112, and the connecting electrodes 113a and 113b are dried after being dipped in the flux, dipped in a solder bath, and solder-coated. Thereafter, these electrodes are washed and then dried to complete a solar battery cell.

また、このようにして得られた太陽電池セルを複数用い、図16に示すように、複数ある太陽電池セルのうち一の太陽電池セルの連結電極113aと他の太陽電池セルの連結電極113bとをこれらの電極にはんだ付けされた接続電極107によって電気的に接続して太陽電池モジュールが製造される。そして、この太陽電池モジュールをEVA(エチレンビニルアセテート)樹脂で挟んでガラス基板に貼り付けることもできる。   Further, using a plurality of solar cells thus obtained, as shown in FIG. 16, the connection electrode 113a of one solar cell and the connection electrode 113b of another solar cell among the plurality of solar cells Are electrically connected by connection electrodes 107 soldered to these electrodes to produce a solar cell module. And this solar cell module can also be stuck on a glass substrate between EVA (ethylene vinyl acetate) resin.

米国特許第4133697号明細書U.S. Pat. No. 4,133,697 米国特許第5185042号明細書US Pat. No. 5,185,042

しかしながら、上記のようにして得られた従来の太陽電池セルおよび太陽電池モジュールにおいては、銀ペーストを焼成して形成された点状のp電極およびn電極と、同じく銀ペーストを焼成して形成された連結電極との接触抵抗が大きいためFF値を向上させることができないという問題があった。また、太陽電池セルを1枚製造するにあたって使用される銀ペースト量も多くなるため安価に製造することができないという問題もあった。   However, in the conventional solar battery cell and solar battery module obtained as described above, the dot-like p-electrode and n-electrode formed by baking the silver paste and the same silver paste are formed. There was a problem that the FF value could not be improved because the contact resistance with the connecting electrode was large. Moreover, since the amount of the silver paste used when manufacturing one photovoltaic cell also increases, there also existed a problem that it cannot manufacture cheaply.

そこで、本発明の目的は、FF(Fill Factor)値が大きい太陽電池を安価に製造することができる太陽電池モジュールを提供することにある。 An object of the present invention is to provide a solar cell module that Ru can be manufactured at low cost FF (Fill Factor) is greater value solar cell.

また、本発明は半導体基板の一面側にp電極とn電極とを備えてなる太陽電池セルの複数と、太陽電池セルのp電極を接続するp配線と太陽電池セルのn電極を接続するn配線とが絶縁性基板の一面側に形成された配線基板とを含む太陽電池モジュールであって、配線基板は、太陽電池セルが配置されるセル配置部を複数備え、配線基板のセル配置部のそれぞれにおいて、p配線およびn配線はそれぞれ櫛形状に形成されるとともに、p配線およびn配線はそれぞれp配線の櫛歯に相当する部分とn配線の櫛歯に相当する部分とが交互に配列されるように電気的に分離して設置されており、配線基板の隣り合うセル配置部においては、隣り合う一方のセル配置部のp配線の櫛歯に相当する部分を接続する部分と、隣り合う他方のセル配置部のn配線の櫛歯に相当する部分を接続する部分とが電気的に接続されている太陽電池モジュールである。 The present onset Ming, connecting a plurality of solar cells formed by a p-electrode and n electrode on one side of the semiconductor substrate, an n-electrode of the p wiring and solar cells connected to the p-electrode of the solar cell The n wiring is a solar cell module including a wiring substrate formed on one side of an insulating substrate, and the wiring substrate includes a plurality of cell arrangement portions in which solar cells are arranged, and the cell arrangement of the wiring substrate In each of the sections, the p wiring and the n wiring are respectively formed in a comb shape, and the p wiring and the n wiring each have a portion corresponding to a comb tooth of the p wiring and a portion corresponding to a comb tooth of the n wiring alternately. In the adjacent cell placement portion of the wiring substrate, the portion connecting the portions corresponding to the comb teeth of the p wiring of one of the adjacent cell placement portions; The other adjacent cell arrangement part a portion for connecting the portion corresponding to the comb teeth of the n wires is a solar cell module is electrically connected.

また、本発明の太陽電池モジュールにおいては、太陽電池セルのp電極およびn電極がそれぞれ銀を含む材料により形成されているとともに、配線基板のp配線およびn配線はそれぞれ銅を含む材料により形成されており、太陽電池セルのp電極と配線基板のp配線とがはんだにより接続されており、太陽電池セルのn電極と配線基板のn配線とがはんだにより接続されていることが好ましい。 In the solar cell module of the present invention, the p electrode and the n electrode of the solar cell are each formed of a material containing silver, and the p wiring and the n wiring of the wiring board are each formed of a material containing copper. It is preferable that the p electrode of the solar battery cell and the p wiring of the wiring board are connected by solder, and the n electrode of the solar battery cell and the n wiring of the wiring board are connected by solder .

本発明によれば、FF(Fill Factor)値が大きい太陽電池を安価に製造することができる太陽電池モジュールを提供することができる。 According to the present invention, it is possible to provide a solar cell module that Ru can be manufactured at low cost FF (Fill Factor) is greater value solar cell.

本発明の太陽電池セルの好ましい一例の模式的な断面図である。It is typical sectional drawing of a preferable example of the photovoltaic cell of this invention. 本発明の太陽電池セルの製造工程の好ましい一例のフローチャートである。It is a flowchart of a preferable example of the manufacturing process of the photovoltaic cell of this invention. 本発明に用いられる半導体基板の受光面に形成されたp電極およびn電極の配列の好ましい一例の模式的な平面図である。FIG. 3 is a schematic plan view of a preferred example of an arrangement of p electrodes and n electrodes formed on a light receiving surface of a semiconductor substrate used in the present invention. 本発明に用いられる配線基板の好ましい一例の模式的な平面図である。It is a typical top view of a desirable example of a wiring board used for the present invention. 本発明に用いられる配線基板が太陽電池ウエハの裏面上に設置されるときの好ましい一例の模式的な平面図である。It is a typical top view of a preferable example when the wiring board used for this invention is installed on the back surface of a solar cell wafer. 本発明の太陽電池セルの好ましい他の一例の模式的な側面図である。It is a typical side view of another example of the preferable photovoltaic cell of this invention. 本発明に用いられる半導体基板の受光面に形成されたn電極の配列の好ましい一例の模式的な平面図である。It is a typical top view of a preferable example of the arrangement | sequence of the n electrode formed in the light-receiving surface of the semiconductor substrate used for this invention. 本発明の太陽電池モジュールの裏面の好ましい一例の模式的な平面図である。It is a typical top view of a preferable example of the back surface of the solar cell module of the present invention. 本発明の太陽電池モジュールに用いられる太陽電池ウエハが配列されている状態の好ましい一例の模式的な平面図である。It is a typical top view of a desirable example of the state where the solar cell wafer used for the solar cell module of the present invention is arranged. 本発明の太陽電池モジュールに用いられる配線基板の好ましい一例の模式的な平面図である。It is a typical top view of a desirable example of a wiring board used for a solar cell module of the present invention. 従来の裏面接合型太陽電池セルの一例の模式的な断面図である。It is typical sectional drawing of an example of the conventional back junction type photovoltaic cell. 従来の裏面接合型太陽電池セルの裏面の一例の模式的な平面図である。It is a typical top view of an example of the back surface of the conventional back junction type photovoltaic cell. 従来の裏面接合型太陽電池セルの製造工程の一例のフローチャートである。It is a flowchart of an example of the manufacturing process of the conventional back junction type photovoltaic cell. 従来の裏面接合型太陽電池セルの裏面に形成されたp電極とn電極の配列を示した模式的な平面図である。It is the typical top view which showed the arrangement | sequence of the p electrode and n electrode which were formed in the back surface of the conventional back junction type photovoltaic cell. 従来の裏面接合型太陽電池セルの裏面に形成された連結電極の一例を示した模式的な平面図である。It is the typical top view which showed an example of the connection electrode formed in the back surface of the conventional back junction type photovoltaic cell. 従来の太陽電池モジュールの裏面の一例の模式的な平面図である。It is a typical top view of an example of the back of the conventional solar cell module.

以下、本発明の実施の形態について説明する。なお、本願の図面において、同一の参照符号は同一部分または相当部分を表わすものとする。また、本明細書において、太陽電池モジュールに太陽光が入射する側の面を受光面とし、受光面の反対側にあって太陽光が入射しない側の面を裏面とする。   Embodiments of the present invention will be described below. In the drawings of the present application, the same reference numerals represent the same or corresponding parts. Further, in this specification, a surface on the side where sunlight enters the solar cell module is defined as a light receiving surface, and a surface on the opposite side of the light receiving surface and on which sunlight does not enter is defined as a back surface.

図1に、本発明の太陽電池セルの好ましい一例の模式的な断面図を示す。この太陽電池セルは、シリコン基板などの半導体基板1の裏面にp+層6とn+層5とが裏面に沿って交互に間隔をあけてそれぞれ複数形成されており、p+層6上に点状のp電極11が形成され、n+層5上に点状のn電極12が形成されている太陽電池ウエハ17と、p配線14とn配線15とが絶縁性基板16上に形成されている配線基板18とを含む。そして、太陽電池ウエハ17の裏面上に配線基板18が設置され、p電極11上にはんだ19を介してp配線14が設置されて複数の点状のp電極11が電気的に接続され、n電極12上にはんだ19を介してn配線15が設置されて複数の点状のn電極12が電気的に接続されている。   In FIG. 1, typical sectional drawing of a preferable example of the photovoltaic cell of this invention is shown. In this solar cell, a plurality of p + layers 6 and n + layers 5 are formed on the back surface of a semiconductor substrate 1 such as a silicon substrate at intervals along the back surface. A solar cell wafer 17 in which a dotted p-electrode 11 is formed and a dotted n-electrode 12 is formed on the n + layer 5, a p-wiring 14 and an n-wiring 15 are formed on an insulating substrate 16. Wiring board 18. Then, the wiring substrate 18 is installed on the back surface of the solar cell wafer 17, the p wiring 14 is installed on the p electrode 11 via the solder 19, and the plurality of dotted p electrodes 11 are electrically connected, and n An n wiring 15 is installed on the electrode 12 via a solder 19, and a plurality of dot-like n electrodes 12 are electrically connected.

図2に、本発明の太陽電池セルの製造工程の好ましい一例のフローチャートを示す。まず、ステップ1(S1)において、半導体基板1としてたとえばn型単結晶シリコン基板を用意する。そして、ステップ2(S2)において、APCVD法(常圧CVD法)を用いて、この半導体基板1の両面にSiOx膜を堆積させる。そして、ステップ3(S3)において、この半導体基板1の裏面にホトエッチング法により櫛形状パターンの窓明けを行なった後にBBr3気相拡散を行なうことによってp+層6を形成する。続いて、ステップ4(S4)において、半導体基板1の受光面に耐酸性テープを貼り付けた後に裏面についてHF(フッ化水素)によるクリーニングを行なう。そして、受光面の耐酸性テープを剥離した後に再度裏面にSiOx膜を堆積させる。次いで、ステップ5(S5)において、半導体基板1の裏面に櫛形状のp+層6と向き合うようにしてホトエッチング法により櫛形状パターンの窓明けを行なった後にPOCl3気相拡散によって櫛形状のn+層5を、p+層6の櫛歯とn+層5の櫛歯とが向き合うようにして半導体基板1の裏面に沿ってこれらの櫛歯が交互に配列されるように形成する。そして、ステップ6(S6)において、半導体基板1の全面をHFによりクリーンニングした後、半導体基板1の受光面にたとえばプラズマCVD法などによりSiN膜を堆積させる。 In FIG. 2, the flowchart of a preferable example of the manufacturing process of the photovoltaic cell of this invention is shown. First, in step 1 (S1), for example, an n-type single crystal silicon substrate is prepared as the semiconductor substrate 1. In step 2 (S2), SiOx films are deposited on both surfaces of the semiconductor substrate 1 by using an APCVD method (atmospheric pressure CVD method). Then, in step 3 (S3), a p + layer 6 is formed by carrying out BBr 3 vapor phase diffusion after opening a comb-shaped pattern on the back surface of the semiconductor substrate 1 by photo etching. Subsequently, in step 4 (S4), after the acid-resistant tape is attached to the light receiving surface of the semiconductor substrate 1, the back surface is cleaned with HF (hydrogen fluoride). Then, after removing the acid-resistant tape on the light receiving surface, a SiOx film is deposited again on the back surface. Next, in step 5 (S5), a comb-shaped pattern is opened by a photo-etching method on the back surface of the semiconductor substrate 1 so as to face the comb-shaped p + layer 6, and then the comb-shaped pattern is formed by POCl 3 vapor phase diffusion. The n + layer 5 is formed so that the comb teeth of the p + layer 6 and the comb teeth of the n + layer 5 face each other, and these comb teeth are alternately arranged along the back surface of the semiconductor substrate 1. In step 6 (S6), after cleaning the entire surface of the semiconductor substrate 1 with HF, a SiN film is deposited on the light receiving surface of the semiconductor substrate 1 by, for example, plasma CVD.

次に、ステップ7(S7)において、図3の模式的平面図に示すように、半導体基板1の裏面に形成されたp+層6の範囲内にp電極11を、n+層5の範囲内にn電極12をそれぞれ複数の点状にスクリーン印刷し、その後焼成することにより形成する。ここで、太陽光の反射および導電性を向上させる観点からp電極11およびn電極12は銀からなり、スクリーン印刷材料としては銀ペーストが用いられる。そして、スクリーン印刷されたp電極11とn電極12とを乾燥して銀ペーストに含まれる溶剤を蒸発させた後に酸化性雰囲気下で焼成することによって銀からなるp電極11およびn電極12が形成される。また、図3に示すように、p電極11およびn電極12はそれぞれ直線状に配列されており、p電極11の配列ラインとn電極12の配列ラインとはそれぞれ半導体基板1の裏面に沿って交互に配列されている。   Next, in step 7 (S7), as shown in the schematic plan view of FIG. 3, the p electrode 11 is placed in the range of the p + layer 6 formed on the back surface of the semiconductor substrate 1, and the range of the n + layer 5 is reached. The n-electrodes 12 are formed by screen printing in a plurality of dot shapes, and then firing. Here, from the viewpoint of improving sunlight reflection and conductivity, the p-electrode 11 and the n-electrode 12 are made of silver, and a silver paste is used as the screen printing material. Then, the p-electrode 11 and the n-electrode 12 made of silver are formed by drying the screen-printed p-electrode 11 and the n-electrode 12 and evaporating the solvent contained in the silver paste, followed by firing in an oxidizing atmosphere. Is done. Further, as shown in FIG. 3, the p electrode 11 and the n electrode 12 are arranged linearly, and the arrangement line of the p electrode 11 and the arrangement line of the n electrode 12 are respectively along the back surface of the semiconductor substrate 1. They are arranged alternately.

そして、ステップ8(S8)において、p電極11およびn電極12はフラックスへ浸漬させられた後に乾燥される。その後、p電極11およびn電極12ははんだ浴に浸漬させられた後に洗浄および乾燥されてp電極11およびn電極12の表面にはんだ19がコーティングされて太陽電池ウエハ17が形成される。   In step 8 (S8), the p electrode 11 and the n electrode 12 are dipped in the flux and then dried. Thereafter, the p electrode 11 and the n electrode 12 are immersed in a solder bath, washed and dried, and the surface of the p electrode 11 and the n electrode 12 is coated with the solder 19 to form the solar cell wafer 17.

続いて、ステップ9(S9)において、絶縁性基板16の一面上にたとえば銅からなるp配線14とn配線15とが形成されている図4の模式的平面図に示すような配線基板18が用意される。ここで、配線基板18は、p配線14とn配線15とがそれぞれ複数の櫛歯を含む櫛形状に形成され、p配線14とn配線15とが互いにそれぞれの櫛歯を向き合わせて設置されている。そして、p配線14の櫛歯とn配線15の櫛歯とが絶縁性基板16の一面に沿って交互に配列されている。この配線基板18は、たとえば絶縁性基板16の一面の全面に銅からなる膜を形成した後に、銅からなる膜の一部をエッチングして除去することによってp配線14およびn配線15を形成して作製される。ここで、p配線14とn配線15の表面には、はんだがコーティングされる。   Subsequently, in step 9 (S9), the wiring substrate 18 as shown in the schematic plan view of FIG. 4 in which the p wiring 14 and the n wiring 15 made of, for example, copper are formed on one surface of the insulating substrate 16 is formed. Prepared. Here, the wiring substrate 18 is formed such that the p wiring 14 and the n wiring 15 each have a comb shape including a plurality of comb teeth, and the p wiring 14 and the n wiring 15 are disposed with their comb teeth facing each other. ing. Then, comb teeth of the p wiring 14 and comb teeth of the n wiring 15 are alternately arranged along one surface of the insulating substrate 16. In this wiring substrate 18, for example, after forming a film made of copper on the entire surface of the insulating substrate 16, a part of the film made of copper is removed by etching to form the p wiring 14 and the n wiring 15. Produced. Here, the surface of the p wiring 14 and the n wiring 15 is coated with solder.

そして、この配線基板18が太陽電池ウエハ17の裏面上に設置され、図5の模式的平面図に示すように、p電極11上およびn電極12上にそれぞれp配線14およびn配線15が設置される。そして、たとえば太陽電池ウエハ17側から熱風を吹きつけて双方のはんだを溶解させた後に冷却することによって、太陽電池ウエハ17と配線基板18とが一体化された太陽電池セルが完成する。   And this wiring board 18 is installed on the back surface of the solar cell wafer 17, and p wiring 14 and n wiring 15 are installed on the p electrode 11 and the n electrode 12, respectively, as shown in the schematic plan view of FIG. Is done. Then, for example, by blowing hot air from the solar cell wafer 17 side to melt both solders and then cooling, a solar cell in which the solar cell wafer 17 and the wiring substrate 18 are integrated is completed.

ここで、FF値の向上の観点から、図1に示す絶縁性基板16のp配線14とn配線15とが形成されている側と反対側の面に蒸着法などによりアルミニウム膜を反射膜として形成することもできる。この場合には、反射膜によって反射した太陽光が絶縁性基板16を透過する必要があるため、絶縁性基板16は透明であることが必要である。   Here, from the viewpoint of improving the FF value, an aluminum film is used as a reflective film on the surface opposite to the side where the p wiring 14 and the n wiring 15 of the insulating substrate 16 shown in FIG. It can also be formed. In this case, since the sunlight reflected by the reflective film needs to pass through the insulating substrate 16, the insulating substrate 16 needs to be transparent.

このように、上記においては、表面がはんだ19でコーティングされた銀からなる複数の点状のp電極11およびn電極12が、同じく表面がはんだ19でコーティングされた銅からなるp配線14およびn配線15によってそれぞれはんだ19を介して電気的に接続される。これにより、従来から大きな接触抵抗を引き起こしていた、銀ペーストを焼成して形成された点状の銀からなるp電極およびn電極と、同じく銀ペーストを焼成して形成された銀からなる連結電極との接触を回避することができる。したがって、本発明の太陽電池セルのFF(Fill Factor)値を従来よりも向上させることができる。また、連結電極の形成に用いられる銀ペースト量を減少させることができるため、従来よりも安価に製造することができる。さらに、配線基板を用いることによって、本発明の太陽電池セルの補強効果を得ることもできる。   Thus, in the above, a plurality of dot-like p-electrodes 11 and n-electrodes 12 made of silver whose surfaces are coated with solder 19, p-wires 14 and n made of copper whose surfaces are also coated with solder 19. The wirings 15 are electrically connected to each other via solder 19. As a result, a p-electrode and an n-electrode made of pointed silver formed by firing a silver paste, and a connecting electrode made of silver also formed by firing the silver paste, which has caused a large contact resistance. Can be avoided. Therefore, the FF (Fill Factor) value of the solar battery cell of the present invention can be improved as compared with the conventional case. Moreover, since the amount of silver paste used for formation of a connection electrode can be reduced, it can manufacture at a cheaper cost than before. Furthermore, the reinforcement effect of the photovoltaic cell of this invention can also be acquired by using a wiring board.

図6の模式的側面図に、本発明の太陽電池セルの好ましい他の一例の模式的な側面図を示す。この太陽電池セルの太陽電池ウエハ17においては、たとえばp型のシリコン基板からなる半導体基板1の受光面にn+層5が形成されており、n+層5上に反射防止膜(図示せず)と銀からなるn電極12とが設置されている。そして、半導体基板1の裏面にはp+層6が形成されており、半導体基板1の裏面の全面にp電極11が形成されている。また、太陽電池ウエハ17の受光面上には銅からなるn配線15が形成された配線基板18が設置されており、n配線15とn電極12とははんだ19を介して電気的に接続されている。   The schematic side view of FIG. 6 shows a schematic side view of another preferred example of the solar battery cell of the present invention. In solar cell wafer 17 of this solar cell, n + layer 5 is formed on the light receiving surface of semiconductor substrate 1 made of, for example, a p-type silicon substrate, and an antireflection film (not shown) is formed on n + layer 5. ) And an n-electrode 12 made of silver. A p + layer 6 is formed on the back surface of the semiconductor substrate 1, and a p-electrode 11 is formed on the entire back surface of the semiconductor substrate 1. Further, a wiring board 18 on which an n wiring 15 made of copper is formed is installed on the light receiving surface of the solar cell wafer 17, and the n wiring 15 and the n electrode 12 are electrically connected via a solder 19. ing.

ここで、n電極12とn配線15の表面にそれぞれはんだ19がコーティングがされており、複数の点状のn電極12は図7の模式的平面図に示すようにn+層5上にフィッシュボーン(魚の骨)状に配列されている。そして、太陽電池ウエハ17のn電極12上に、配線基板18に予めフィッシュボーン状に形成されているn配線15を設置して、たとえば太陽電池ウエハ17側から熱風を吹きつけて双方のはんだ19を溶解させた後に冷却することによって、太陽電池ウエハ17と配線基板18とが一体化されて図6に示す太陽電池セルが完成する。ここで、配線基板18における絶縁性基板16は透明であり、配線基板18側から入射してきた太陽光は透明である絶縁性基板16を透過して半導体基板1の受光面に到達する。   Here, the surfaces of the n electrode 12 and the n wiring 15 are respectively coated with solder 19, and the plurality of dot-like n electrodes 12 are fished on the n + layer 5 as shown in the schematic plan view of FIG. It is arranged in the shape of a bone (fish bone). Then, an n wiring 15 formed in a fishbone shape in advance on the wiring substrate 18 is installed on the n electrode 12 of the solar cell wafer 17, and hot air is blown from the solar cell wafer 17 side, for example, to both solders 19. Then, the solar cell wafer 17 and the wiring substrate 18 are integrated to complete the solar cell shown in FIG. Here, the insulating substrate 16 in the wiring substrate 18 is transparent, and sunlight incident from the wiring substrate 18 side passes through the transparent insulating substrate 16 and reaches the light receiving surface of the semiconductor substrate 1.

この太陽電池セルにおいても、表面がはんだ19でコーティングされた銀からなる複数の点状のn電極12が、同じく表面がはんだ19でコーティングされた銅からなるn配線15によってそれぞれはんだ19を介して電気的に接続されるので、太陽電池セルのFF(Fill Factor)値を従来よりも向上させることができる。また、上記の太陽電池セルと同様に、太陽電池セルの製造コストを低減させることができ、配線基板18による補強効果も得ることができる。また、この太陽電池セルにおいては半導体基板1の受光面にn電極12を形成し、このn電極12が配線基板18のn配線15と電気的に接続されているが、半導体基板1の受光面にp電極を形成し、このp電極が配線基板18のp配線と電気的に接続されていてもよいことは言うまでもない。   Also in this solar cell, a plurality of dot-like n electrodes 12 made of silver whose surface is coated with solder 19 are respectively connected via solder 19 by n wiring 15 made of copper whose surface is coated with solder 19. Since it is electrically connected, the FF (Fill Factor) value of the solar battery cell can be improved as compared with the prior art. Moreover, like the above-described solar battery cell, the manufacturing cost of the solar battery cell can be reduced, and the reinforcing effect by the wiring board 18 can also be obtained. In this solar cell, an n electrode 12 is formed on the light receiving surface of the semiconductor substrate 1, and the n electrode 12 is electrically connected to the n wiring 15 of the wiring substrate 18. It goes without saying that a p-electrode may be formed on the p-electrode, and this p-electrode may be electrically connected to the p-wiring of the wiring board 18.

図8に、本発明の太陽電池モジュールの裏面の好ましい一例の模式的な平面図を示す。この太陽電池モジュールは、図1に示す太陽電池ウエハと同じ構成を有する図9に示す太陽電池ウエハ17a、17b、17cと、図10に示す絶縁性基板16の一面にp電極11を電気的に接続するp配線14とn電極12を電気的に接続するn配線15とこれらの配線を電気的に接続する接続電極20とが形成されている配線基板18とを含む。そして、太陽電池ウエハ17のうち一の太陽電池ウエハ17aのp電極11が配線基板18のp配線14と電気的に接続されており、一の太陽電池ウエハ17aとは異なる他の太陽電池ウエハ17bのn電極12がn配線15と電気的に接続されている。また、太陽電池ウエハ17bのp電極11が配線基板18のp配線14と電気的に接続されており、太陽電池ウエハ17cのn電極12がn配線15と電気的に接続されている。   In FIG. 8, the typical top view of a preferable example of the back surface of the solar cell module of this invention is shown. This solar cell module is electrically connected to the solar cell wafers 17a, 17b, 17c shown in FIG. 9 having the same configuration as the solar cell wafer shown in FIG. 1, and the p-electrode 11 on one surface of the insulating substrate 16 shown in FIG. The wiring board 18 in which the p wiring 14 to connect, the n wiring 15 which electrically connects the n electrode 12, and the connection electrode 20 which electrically connects these wiring are formed is included. Then, the p-electrode 11 of one solar cell wafer 17a among the solar cell wafers 17 is electrically connected to the p-wiring 14 of the wiring substrate 18, and another solar cell wafer 17b different from the one solar cell wafer 17a. N electrode 12 is electrically connected to n wiring 15. The p-electrode 11 of the solar cell wafer 17 b is electrically connected to the p-wiring 14 of the wiring substrate 18, and the n-electrode 12 of the solar cell wafer 17 c is electrically connected to the n-wiring 15.

この太陽電池モジュールはたとえば以下のようにして製造される。まず、図9の模式的平面図に示すように、上記のようにして形成された太陽電池ウエハ17a、17b、17cをこれらの裏面側を上方に向けて配列する。次に、図10の模式的平面図に示すように、櫛形状の銅からなるp配線14とn配線15とがそれぞれ互いの複数の櫛歯を向き合わせてそれぞれの櫛歯が絶縁性基板16の一面に沿って交互に配列されるように形成されており、p配線14とn配線15とを電気的に接続する接続電極20が絶縁性基板16の一面に形成されている配線基板18を用意する。そして、この配線基板18をこれらの太陽電池ウエハ17a、17b、17cの裏面上に設置して、配線基板18のp配線14およびn配線15と太陽電池ウエハ17a、17b、17cのp電極11およびn電極12とをはんだを介してそれぞれ電気的に接続する。これにより、図8に示す本発明の太陽電池モジュールが完成する。なお、本発明においては、この太陽電池モジュールをEVA樹脂で挟んだ後にガラス基板などの基板に貼り付けることもできる。   This solar cell module is manufactured as follows, for example. First, as shown in the schematic plan view of FIG. 9, the solar cell wafers 17a, 17b, and 17c formed as described above are arranged with their back surfaces facing upward. Next, as shown in the schematic plan view of FIG. 10, the p wiring 14 and the n wiring 15 made of comb-shaped copper face each other, and each comb tooth is an insulating substrate 16. The wiring substrate 18 is formed so as to be alternately arranged along one surface, and the connection electrode 20 that electrically connects the p wiring 14 and the n wiring 15 is formed on one surface of the insulating substrate 16. prepare. And this wiring board 18 is installed on the back surface of these solar cell wafers 17a, 17b, 17c, and p wiring 14 and n wiring 15 of wiring board 18 and p electrode 11 of solar cell wafers 17a, 17b, 17c and The n electrode 12 is electrically connected to each other through solder. Thereby, the solar cell module of the present invention shown in FIG. 8 is completed. In the present invention, the solar cell module can be attached to a substrate such as a glass substrate after being sandwiched between EVA resins.

このように、本発明の太陽電池モジュールにおいては、点状に形成された太陽電池ウエハ17a、17b、17cのp電極11およびn電極12が配線基板18に予め形成されているp配線14およびn配線15とはんだを介してそれぞれ電気的に接続されている。これにより、太陽電池ウエハ17a、17b、17cのp電極11およびn電極12が銀からなる場合でも、p電極11とp配線14、n電極12とn配線15のそれぞれの接触抵抗を従来よりも低減することができる。また、予め接続電極20が設置された配線基板18を用いることによって、太陽電池ウエハ17a、17b、17cの電気的な接続と構成を同時に、しかも簡便に形成することができる。   Thus, in the solar cell module of the present invention, the p-electrode 11 and the n-electrode 12 of the solar cell wafers 17a, 17b, and 17c formed in a dot shape are formed in advance on the wiring board 18 and the p-wiring 14 and n. They are electrically connected to the wiring 15 via solder. Thereby, even when the p-electrode 11 and the n-electrode 12 of the solar cell wafers 17a, 17b, and 17c are made of silver, the contact resistances of the p-electrode 11 and the p-wiring 14, and the n-electrode 12 and the n-wiring 15 are made higher than those of the conventional one. Can be reduced. Further, by using the wiring substrate 18 on which the connection electrodes 20 are previously installed, the electrical connection and configuration of the solar cell wafers 17a, 17b, and 17c can be simultaneously and easily formed.

なお、上記において、配線基板18の絶縁性基板16としては、たとえばガラス基板、ガラス繊維からなる不織布にエポキシ樹脂を浸漬させて形成されたガラエポ基板、透明なポリエステルフィルム(PETフィルム)、ポリエチレンナフタレートフィルム(PENフィルム)、ポリイミドフィルムまたはポリプロピレンフィルムなども用いることができる。   In the above, as the insulating substrate 16 of the wiring substrate 18, for example, a glass substrate, a glass epoxy substrate formed by immersing an epoxy resin in a nonwoven fabric made of glass fiber, a transparent polyester film (PET film), polyethylene naphthalate A film (PEN film), a polyimide film, or a polypropylene film can also be used.

また、上記において、点状のp電極11およびn電極12はそれぞれ直線状に配列されているが、直線状に限定されず曲線状や渦巻き状などのライン状に配列されていればよい。   In the above description, the dot-like p-electrode 11 and the n-electrode 12 are each arranged in a straight line, but are not limited to a straight line and may be arranged in a line such as a curved line or a spiral.

また、上記において、配線基板18を構成する絶縁性基板16は、特に配線基板18が太陽電池ウエハ17の受光面上に設置される場合には、太陽光を透過させる観点から透明であることが好ましい。   In the above, the insulating substrate 16 constituting the wiring board 18 is transparent from the viewpoint of transmitting sunlight, particularly when the wiring board 18 is installed on the light receiving surface of the solar cell wafer 17. preferable.

また、上記において、n型とp型の導電型が入れ替わっていてもよいことは言うまでもない。   In the above description, it is needless to say that n-type and p-type conductivity may be interchanged.

また、上記において、p電極11、n電極12、p配線14およびn配線15の表面にはんだをコーティングしなくてもよいが、FF値の向上の観点からは、はんだをコーティングすることが好ましい。   Moreover, in the above, it is not necessary to coat the surface of the p electrode 11, the n electrode 12, the p wiring 14 and the n wiring 15, but from the viewpoint of improving the FF value, it is preferable to coat the solder.

また、上記において、p電極11およびn電極12は銀以外の材質からなっていてもよく、p配線14およびn配線15は銅以外の材質からなっていてもよいことは言うまでもない。   In the above description, it goes without saying that the p electrode 11 and the n electrode 12 may be made of a material other than silver, and the p wiring 14 and the n wiring 15 may be made of a material other than copper.

(実施例1)
以下のようにして図1に示す太陽電池セルを製造した。まず、アルカリ溶液を用いてエッチングされた幅125mm×長さ125mm×厚さ240μmの平板状のn型単結晶シリコン基板からなる半導体基板1の受光面および裏面に、APCVD法により約200nmのSiOx膜を堆積させた。次に、この半導体基板1の裏面にホトエッチング法により幅250μmの櫛形状の窓明けを行なった後、BBr3気相拡散を970℃で50分間行ない、約30Ω/□のp+層6を形成した。続いて、半導体基板1の受光面に耐酸性テープを貼り付けた後に裏面についてHF(フッ化水素)によるクリーニングを行なった。そして、半導体基板1の受光面の耐酸性テープを剥離した後に再度APCVD法により裏面にSiOx膜を約200nm堆積させた。次いで、半導体基板1の裏面に櫛形状のp+層6と向き合うようにしてホトエッチング法により幅250μmの櫛形状パターンの窓明けを行なった後にPOCl3気相拡散を830℃で20分間行ない、約40Ω/□の櫛形状のn+層5を形成した。ここで、p+層6およびn+層5は、p+層6の櫛歯とn+層5の櫛歯とが向き合うようにして半導体基板1の裏面に沿ってこれらの櫛歯が交互に配列されるように形成された。そして、半導体基板1の全面をHFによりクリーニングした後、半導体基板1の受光面にプラズマCVD法により700nmの厚みのSiN膜を堆積させた。
Example 1
The solar battery cell shown in FIG. 1 was manufactured as follows. First, a SiOx film of about 200 nm is formed on the light-receiving surface and the back surface of a semiconductor substrate 1 made of a flat n-type single crystal silicon substrate having a width of 125 mm, a length of 125 mm, and a thickness of 240 μm etched using an alkaline solution by an APCVD method. Was deposited. Next, a comb-shaped window having a width of 250 μm is opened on the back surface of the semiconductor substrate 1 by photo-etching, and BBr 3 vapor phase diffusion is performed at 970 ° C. for 50 minutes to form a p + layer 6 of about 30Ω / □. Formed. Subsequently, after the acid-resistant tape was attached to the light receiving surface of the semiconductor substrate 1, the back surface was cleaned with HF (hydrogen fluoride). Then, after the acid-resistant tape on the light receiving surface of the semiconductor substrate 1 was peeled off, an SiOx film was deposited on the back surface by about 200 nm again by the APCVD method. Next, a comb-shaped pattern having a width of 250 μm is opened on the back surface of the semiconductor substrate 1 so as to face the comb-shaped p + layer 6 by photo etching, and then POCl 3 vapor phase diffusion is performed at 830 ° C. for 20 minutes. A comb-shaped n + layer 5 of about 40Ω / □ was formed. Here, the p + layer 6 and the n + layer 5 are alternately arranged along the back surface of the semiconductor substrate 1 so that the comb teeth of the p + layer 6 and the comb teeth of the n + layer 5 face each other. Formed to be arranged. Then, after cleaning the entire surface of the semiconductor substrate 1 with HF, a SiN film having a thickness of 700 nm was deposited on the light receiving surface of the semiconductor substrate 1 by plasma CVD.

次に、図3に示すように、半導体基板1の裏面に形成されたp+層6の範囲内に複数の点状のp電極11を、n+層5の範囲内に複数の点状のn電極12をそれぞれ銀ペーストを用いてスクリーン印刷した。ここで、p電極11およびn+層5の上面の直径は150μmであった。その後、スクリーン印刷された銀ペーストを約150℃の温度で乾燥させた後、約620℃の酸化性雰囲気下で1〜2分程度焼成した。その後、p電極11およびn電極12をフラックスへ浸漬させた後に乾燥した。そして、約200℃のはんだ浴に浸漬させてはんだ19をコーティングし、p電極11およびn電極12を洗浄および乾燥させた後、太陽電池ウエハ17を形成した。   Next, as shown in FIG. 3, a plurality of dot-like p-electrodes 11 are formed in the range of the p + layer 6 formed on the back surface of the semiconductor substrate 1, and a plurality of dot-like p-type electrodes are formed in the range of the n + layer 5. Each n-electrode 12 was screen-printed using a silver paste. Here, the diameters of the upper surfaces of the p electrode 11 and the n + layer 5 were 150 μm. Thereafter, the screen-printed silver paste was dried at a temperature of about 150 ° C. and then fired in an oxidizing atmosphere at about 620 ° C. for about 1 to 2 minutes. Thereafter, the p electrode 11 and the n electrode 12 were immersed in the flux and then dried. And it immersed in the solder bath of about 200 degreeC, the solder 19 was coated, the p electrode 11 and the n electrode 12 were wash | cleaned and dried, and the solar cell wafer 17 was formed.

一方、幅150mm×長さ150mm×厚さ1.6mmの平板状のガラエポ基板からなる絶縁性基板16の一面上に、表面にはんだコーティングされた銅からなる厚さ20μmのp配線14とn配線15とが形成されている図4に示す配線基板18を用意した。そして、図5に示すように、90℃に予備加熱されたこの配線基板18の位置合わせマーカーに太陽電池ウエハ17を重ね合わせ、太陽電池ウエハ17側から熱風を吹きつけて双方のはんだを溶解させた後に冷却することによって、太陽電池ウエハ17と配線基板18とが一体化された図1に示す太陽電池セルを完成した。   On the other hand, on one surface of an insulating substrate 16 made of a flat glass epoxy substrate having a width of 150 mm, a length of 150 mm, and a thickness of 1.6 mm, a p wiring 14 and a n wiring made of copper having a surface coated with solder are formed. A wiring board 18 shown in FIG. Then, as shown in FIG. 5, the solar cell wafer 17 is superposed on the alignment marker of the wiring board 18 preheated to 90 ° C., and hot air is blown from the solar cell wafer 17 side to melt both solders. After cooling, the solar battery cell shown in FIG. 1 in which the solar battery wafer 17 and the wiring board 18 were integrated was completed.

この太陽電池セルの電流−電圧曲線を作製し、この電流−電圧曲線から、短絡電流Isc(mA)、開放電圧Voc(mA)、FF値および最大電力値Pm(W)を算出した。その結果を表1に示す。   A current-voltage curve of this solar battery cell was prepared, and the short-circuit current Isc (mA), the open-circuit voltage Voc (mA), the FF value, and the maximum power value Pm (W) were calculated from the current-voltage curve. The results are shown in Table 1.

(実施例2)
図4に示す絶縁性基板16としてガラエポ基板の代わりに、厚みが約200μmのポリエステルフィルムを用いたこと以外は実施例1と同様にして太陽電池セルを製造した。そして、この太陽電池セルの電流−電圧曲線を作製し、この電流−電圧曲線から、短絡電流Isc(mA)、開放電圧Voc(mA)、FF値および最大電力値Pm(W)を算出した。その結果を表1に示す。
(Example 2)
A solar battery cell was manufactured in the same manner as in Example 1 except that a polyester film having a thickness of about 200 μm was used instead of the glass epoxy substrate as the insulating substrate 16 shown in FIG. And the current-voltage curve of this photovoltaic cell was produced, and short circuit current Isc (mA), open circuit voltage Voc (mA), FF value, and maximum electric power value Pm (W) were computed from this current-voltage curve. The results are shown in Table 1.

(実施例3)
実施例2のポリエステルフィルムのp配線およびn配線が形成されている側の面と反対側の面に厚みが約2μmのアルミニウム膜を反射膜として蒸着させたこと以外は実施例2と同様にして太陽電池セルを製造した。そして、この太陽電池セルの電流−電圧曲線を作製し、この電流−電圧曲線から、短絡電流Isc(mA)、開放電圧Voc(mA)、FF値および最大電力値Pm(W)を算出した。その結果を表1に示す。
(Example 3)
Except that an aluminum film having a thickness of about 2 μm was deposited as a reflective film on the surface opposite to the surface on which the p wiring and n wiring of the polyester film of Example 2 were formed, the same as in Example 2. Solar cells were manufactured. And the current-voltage curve of this photovoltaic cell was produced, and short circuit current Isc (mA), open circuit voltage Voc (mA), FF value, and maximum electric power value Pm (W) were computed from this current-voltage curve. The results are shown in Table 1.

(比較例1)
図4に示す配線基板18を用いずに、図15に示す連結電極113a、113bを形成してp電極111およびn電極112を電気的に接続したこと以外は実施例1と同様にして図11に示す太陽電池セルを製造した。ここで、連結電極113a、113bは、幅180μmの銀ペーストをスクリーン印刷した後に約150℃の温度で乾燥させ、約620℃の酸化性雰囲気下で1〜2分程度焼成することによって形成された。そして、この太陽電池セルの電流−電圧曲線を作製し、この電流−電圧曲線から、短絡電流Isc(mA)、開放電圧Voc(mA)、FF値および最大電力値Pm(W)を算出した。その結果を表1に示す。
(Comparative Example 1)
11 except that the connection electrodes 113a and 113b shown in FIG. 15 are formed and the p-electrode 111 and the n-electrode 112 are electrically connected without using the wiring substrate 18 shown in FIG. The solar battery cell shown in FIG. Here, the connection electrodes 113a and 113b were formed by screen-printing a silver paste having a width of 180 μm, drying the paste at a temperature of about 150 ° C., and firing it for about 1 to 2 minutes in an oxidizing atmosphere of about 620 ° C. . And the current-voltage curve of this photovoltaic cell was produced, and short circuit current Isc (mA), open circuit voltage Voc (mA), FF value, and maximum electric power value Pm (W) were computed from this current-voltage curve. The results are shown in Table 1.

Figure 0005329980
Figure 0005329980

表1に示すように、実施例1〜3の太陽電池セルは比較例1の太陽電池セルと比べて、FF値およびPmが共に増大する傾向にあった。これは、実施例1〜3の太陽電池セルにおいては銅からなるp配線14とn配線15とが形成されている配線基板18の設置によって太陽電池セルの銀からなるp電極11およびn電極12がはんだを介して電気的に接続されているため、p配線14とp電極11間、n配線15とn電極12間の接触抵抗が増大しなかったことによるものと考えられる。   As shown in Table 1, both the FF value and Pm tended to increase for the solar cells of Examples 1 to 3 as compared to the solar cell of Comparative Example 1. This is because, in the solar cells of Examples 1 to 3, the p-electrode 11 and the n-electrode 12 made of silver of the solar cell are provided by installing the wiring substrate 18 on which the p-wiring 14 and the n-wiring 15 made of copper are formed. Is electrically connected via the solder, it is considered that the contact resistance between the p wiring 14 and the p electrode 11 and between the n wiring 15 and the n electrode 12 did not increase.

また、実施例3の太陽電池セルは実施例1〜2の太陽電池セルと比べてPmが増大する傾向にあった。これは、ポリエステルフィルムに形成された反射膜の効果によるものと考えられる。   Moreover, the solar cell of Example 3 tended to increase Pm as compared with the solar cells of Examples 1-2. This is considered to be due to the effect of the reflective film formed on the polyester film.

(実施例4)
以下のようにして図6に示すような太陽電池セルを製造した。まず、テクスチャエッチングされた幅125mm×長さ125mm×厚み330μmのp型シリコン基板からなる半導体基板1の受光面に、リンを含む溶液を塗布した後、約900℃で熱拡散を行うことにより、約50Ω/□の面抵抗値を有するn+層5を形成した。そして、n+層5上に厚さ約60nmのTiOx膜からなる反射防止膜(図示せず)を形成した。
Example 4
A solar battery cell as shown in FIG. 6 was produced as follows. First, by applying a solution containing phosphorus on the light-receiving surface of the semiconductor substrate 1 made of a p-type silicon substrate having a width of 125 mm, a length of 125 mm, and a thickness of 330 μm, and performing thermal diffusion at about 900 ° C., An n + layer 5 having a sheet resistance value of about 50Ω / □ was formed. Then, an antireflection film (not shown) made of a TiOx film having a thickness of about 60 nm was formed on the n + layer 5.

次に、半導体基板1の裏面の全面にアルミニウムペーストをスクリーン印刷により約50μmの厚さで印刷し、150℃で約4分間乾燥させて、p+層6とp電極11とを同時に形成した。また、半導体基板1の受光面側に銀ペーストを点状に複数スクリーン印刷し、150℃で約4分間乾燥させて、銀からなるn電極12を形成して太陽電池ウエハ17を完成させた。ここで、n電極12は、図7の模式的平面図に示すように、半導体基板1の受光面にフィッシュボーン状に形成された。その後、n電極12をはんだ槽に浸漬させて、その表面にはんだコーティングを行なった。   Next, an aluminum paste was printed on the entire back surface of the semiconductor substrate 1 to a thickness of about 50 μm by screen printing, and dried at 150 ° C. for about 4 minutes to form the p + layer 6 and the p electrode 11 simultaneously. Further, a plurality of silver pastes were printed on the light receiving surface side of the semiconductor substrate 1 in the form of dots and dried at 150 ° C. for about 4 minutes to form an n-electrode 12 made of silver, thereby completing the solar cell wafer 17. Here, the n-electrode 12 was formed in a fishbone shape on the light-receiving surface of the semiconductor substrate 1 as shown in the schematic plan view of FIG. Thereafter, the n-electrode 12 was immersed in a solder bath, and the surface thereof was coated with solder.

また、表面にはんだコーティングされた銅からなるn配線15がポリエステルフィルムに形成された配線基板18を太陽電池ウエハ17の受光面上に設置し、上記と同様の方法で太陽電池ウエハ17側から熱風を吹きつけて双方のはんだを溶解させた後に冷却することによって、太陽電池ウエハ17と配線基板18とが一体化されて図6に示す太陽電池セルを製造した。   In addition, a wiring board 18 having a n-wiring 15 made of copper coated with solder and formed on a polyester film is placed on the light-receiving surface of the solar cell wafer 17, and hot air is blown from the solar cell wafer 17 side in the same manner as described above. The solar battery wafer 17 and the wiring board 18 were integrated with each other by cooling after melting both solders by spraying the solar cell shown in FIG.

この太陽電池セルの電流−電圧曲線を作製して電流−電圧曲線から短絡電流Isc(mA)、開放電圧Voc(mA)およびFF値を算出した。その結果を表2に示す。   A current-voltage curve of this solar battery cell was prepared, and a short-circuit current Isc (mA), an open circuit voltage Voc (mA), and an FF value were calculated from the current-voltage curve. The results are shown in Table 2.

(比較例2)
配線基板18を用いることなく、銀からなる連結電極によって複数の点状のn電極12を電気的に接続したこと以外は実施例4と同様にして太陽電池セルを製造した。そして、この太陽電池セルの電流−電圧曲線を作製し、この電流−電圧曲線から、短絡電流Isc(mA)、開放電圧Voc(mA)およびFF値を算出した。その結果を表2に示す。
(Comparative Example 2)
A solar battery cell was manufactured in the same manner as in Example 4 except that the plurality of dot-like n electrodes 12 were electrically connected by a connecting electrode made of silver without using the wiring substrate 18. And the current-voltage curve of this photovoltaic cell was produced, and short circuit current Isc (mA), open circuit voltage Voc (mA), and FF value were computed from this current-voltage curve. The results are shown in Table 2.

Figure 0005329980
Figure 0005329980

表2に示すように、太陽電池ウエハ17の受光面上に配線基板18を設置した場合であっても複数の点状の銀からなるn電極12が銅からなるn配線15によって電気的に接続されているため接触抵抗が減少し、実施例4の太陽電池セルは比較例2の太陽電池セルと同等の大きなFF値を有していた。   As shown in Table 2, even when the wiring substrate 18 is installed on the light receiving surface of the solar cell wafer 17, a plurality of dotted n-electrodes 12 are electrically connected by an n-wiring 15 made of copper. Therefore, the contact resistance decreased, and the solar cell of Example 4 had a large FF value equivalent to that of the solar cell of Comparative Example 2.

(実施例5)
図10に示す絶縁性基板16として幅150mm×長さ550mmのガラエポ基板を用意した。そして、このガラエポ基板に表面がはんだ19によってコーティングされた銅からなるp配線14とn配線15とを形成し、さらに幅15mm×長さ150mmの銅からなる接続電極20を形成して、図10に示す配線基板18を形成した。
(Example 5)
A glass epoxy substrate having a width of 150 mm and a length of 550 mm was prepared as the insulating substrate 16 shown in FIG. Then, the p wiring 14 and the n wiring 15 made of copper whose surfaces are coated with the solder 19 are formed on the glass epoxy substrate, and the connection electrode 20 made of copper having a width of 15 mm × a length of 150 mm is formed. The wiring board 18 shown in FIG.

また、図9に示すように幅125mm×長さ125mmの太陽電池ウエハ17a、17b、17cを3枚配列した。そして、これらの太陽電池ウエハ17a、17b、17cの裏面上に配線基板18を設置して、配線基板18の銅からなるp配線14およびn配線15と太陽電池ウエハ17a、17b、17cの銀からなるp電極11およびn電極12とをそれぞれはんだを介して電気的に接続した。これにより、図8に示す太陽電池モジュールを製造した。この太陽電池モジュールの出力を測定したところ3.5Wであった。   Further, as shown in FIG. 9, three solar cell wafers 17a, 17b, and 17c each having a width of 125 mm and a length of 125 mm were arranged. And wiring board 18 is installed on the back of these solar cell wafers 17a, 17b and 17c, and p wiring 14 and n wiring 15 made of copper of wiring board 18 and silver of solar cell wafers 17a, 17b and 17c. The p electrode 11 and the n electrode 12 are electrically connected to each other through solder. Thereby, the solar cell module shown in FIG. 8 was manufactured. It was 3.5W when the output of this solar cell module was measured.

今回開示された実施の形態および実施例はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。   It should be understood that the embodiments and examples disclosed herein are illustrative and non-restrictive in every respect. The scope of the present invention is defined by the terms of the claims, rather than the description above, and is intended to include any modifications within the scope and meaning equivalent to the terms of the claims.

本発明によれば、FF(Fill Factor)値が大きい太陽電池を安価に製造することができる太陽電池モジュールを提供することができるので、本発明は、太陽電池分野に好適に利用することができる。 According to the present invention, it is possible to provide a solar cell module that Ru can be manufactured at low cost FF (Fill Factor) is greater value solar cell, the present invention is preferably utilized to the solar cell field Can do.

1 半導体基板、5,105 n+層、6,106 p+層、11,111 p電極、12,112 n電極、14 p配線、15 n配線、16 絶縁性基板、17,17a,17b,17c 太陽電池ウエハ、18 配線基板、19 はんだ、20,107 接続電極、101 シリコン基板、113a,113b 連結電極。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Semiconductor substrate, 5,105 n + layer, 6,106 p + layer, 11,111 p electrode, 12,112 n electrode, 14 p wiring, 15 n wiring, 16 Insulating substrate, 17, 17a, 17b, 17c Solar cell wafer, 18 wiring board, 19 solder, 20, 107 connection electrode, 101 silicon substrate, 113a, 113b connecting electrode.

Claims (2)

半導体基板の一面側にp電極とn電極とを備えてなる太陽電池セルの複数と、
前記太陽電池セルの前記p電極を接続するp配線と前記太陽電池セルの前記n電極を接続するn配線とが絶縁性基板の一面側に形成された配線基板と、を含む太陽電池モジュールであって、
前記配線基板は、前記太陽電池セルが配置されるセル配置部を複数備え、
前記配線基板の前記セル配置部のそれぞれにおいて、前記p配線および前記n配線はそれぞれ櫛形状に形成されるとともに、前記p配線および前記n配線はそれぞれ前記p配線の櫛歯に相当する部分と前記n配線の櫛歯に相当する部分とが交互に配列されるように電気的に分離して設置されており、
前記配線基板の隣り合う前記セル配置部においては、隣り合う一方の前記セル配置部の前記p配線の前記櫛歯に相当する部分を接続する部分と、隣り合う他方の前記セル配置部の前記n配線の前記櫛歯に相当する部分を接続する部分とが電気的に接続されている、太陽電池モジュール。
A plurality of solar cells each including a p-electrode and an n-electrode on one surface side of the semiconductor substrate;
A solar cell module comprising: a p-wiring connecting the p-electrode of the solar battery cell; and an n-wiring connecting the n-electrode of the solar battery cell formed on one surface side of the insulating substrate. And
The wiring board includes a plurality of cell arrangement portions on which the solar cells are arranged,
In each of the cell placement portions of the wiring board, the p wiring and the n wiring are each formed in a comb shape, and the p wiring and the n wiring are respectively a portion corresponding to a comb tooth of the p wiring and the The n wirings are arranged so as to be electrically separated so that the portions corresponding to the comb teeth are alternately arranged,
In the adjacent cell placement portions of the wiring board, a portion connecting the portions corresponding to the comb teeth of the p wiring of the adjacent one of the cell placement portions and the n of the other adjacent cell placement portion. The solar cell module in which the part which connects the part corresponded to the said comb-tooth of wiring is electrically connected.
前記太陽電池セルの前記p電極および前記n電極がそれぞれ銀を含む材料により形成されているとともに、
前記配線基板の前記p配線および前記n配線はそれぞれ銅を含む材料により形成されており、
前記太陽電池セルの前記p電極と前記配線基板の前記p配線とがはんだにより接続されており、
前記太陽電池セルの前記n電極と前記配線基板の前記n配線とがはんだにより接続されていることを特徴とする、請求項に記載の太陽電池モジュール。
The p electrode and the n electrode of the solar battery cell are each formed of a material containing silver,
The p wiring and the n wiring of the wiring board are each formed of a material containing copper,
The p electrode of the solar battery cell and the p wiring of the wiring substrate are connected by solder,
The solar cell module according to claim 1 , wherein the n electrode of the solar battery cell and the n wiring of the wiring substrate are connected by solder.
JP2009001895A 2009-01-07 2009-01-07 Solar cell module Expired - Fee Related JP5329980B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009001895A JP5329980B2 (en) 2009-01-07 2009-01-07 Solar cell module

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009001895A JP5329980B2 (en) 2009-01-07 2009-01-07 Solar cell module

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004154845A Division JP2005340362A (en) 2004-05-25 2004-05-25 Solar cell and solar cell module

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2009071339A JP2009071339A (en) 2009-04-02
JP2009071339A5 JP2009071339A5 (en) 2009-05-14
JP5329980B2 true JP5329980B2 (en) 2013-10-30

Family

ID=40607189

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2009001895A Expired - Fee Related JP5329980B2 (en) 2009-01-07 2009-01-07 Solar cell module

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5329980B2 (en)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6141223B2 (en) 2013-06-14 2017-06-07 三菱電機株式会社 Light receiving element module and manufacturing method thereof
CN107454983B (en) * 2015-03-30 2019-08-09 松下知识产权经营株式会社 solar cell module
WO2016157696A1 (en) * 2015-03-31 2016-10-06 パナソニックIpマネジメント株式会社 Solar cell module

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6388868A (en) * 1986-10-01 1988-04-19 Mitsubishi Electric Corp Integrated amorphous photovoltaic power generating element
JPS63287077A (en) * 1987-05-20 1988-11-24 Hitachi Ltd Photoelectric conversion device
JPS6467978A (en) * 1987-09-08 1989-03-14 Mitsubishi Electric Corp Amorphous photocell
JPH07101752B2 (en) * 1991-09-11 1995-11-01 株式会社日立製作所 Solar cell element and method of manufacturing the same
JPH08298334A (en) * 1995-04-26 1996-11-12 Mitsubishi Electric Corp Solar cell plate
JP3174486B2 (en) * 1995-09-08 2001-06-11 シャープ株式会社 Solar cell and method of manufacturing the same
JPH09255487A (en) * 1996-03-18 1997-09-30 Sony Corp Manufacturing method of thin film semiconductor
JPH1140832A (en) * 1997-07-17 1999-02-12 Ion Kogaku Kenkyusho:Kk Thin film solar cell and method of manufacturing the same
JPH11307797A (en) * 1998-04-20 1999-11-05 Sharp Corp Crystal solar cell, solar cell module, and method of manufacturing the same
DE19854269B4 (en) * 1998-11-25 2004-07-01 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Thin-film solar cell arrangement and method for producing the same
JP4441938B2 (en) * 1998-12-28 2010-03-31 ソニー株式会社 Integrated thin film device and method of manufacturing the same
JP2001217443A (en) * 2000-02-04 2001-08-10 Sony Corp Semiconductor element and method for manufacturing the same, solar cell and method for manufacturing the same, and optical element using semiconductor element
JP2001281354A (en) * 2000-03-30 2001-10-10 Kawaguchiko Seimitsu Co Ltd Solar dial for timepiece

Also Published As

Publication number Publication date
JP2009071339A (en) 2009-04-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2005340362A (en) Solar cell and solar cell module
JP6400071B2 (en) Self-supporting metal articles for semiconductors
CN106057919B (en) Solar cell with the metal gate by electroplating manufacture
JP4738149B2 (en) Solar cell module
JP6328606B2 (en) Semiconductor wafer cell and module processing for back contact photovoltaic modules
US8563347B2 (en) Method for producing a thin-film photovoltaic cell having an etchant-resistant electrode and an integrated bypass diode and a panel incorporating the same
US10249775B2 (en) Solar cell and method for producing solar cell
US20170288081A1 (en) Photovoltaic module
JP5726303B2 (en) Solar cell and method for manufacturing the same
US20170170338A1 (en) Solar cell and method for producing thereof
JPWO2008090718A1 (en) Solar cell, solar cell array and solar cell module
US20200091362A1 (en) Solar cell module and method for producing same
JP2016512394A (en) Self-supporting metal articles for semiconductors
JPH0621501A (en) Solar cell module and method of manufacturing the same
CN102077358B (en) Photoelectromotive force device and manufacturing method thereof
JP5329980B2 (en) Solar cell module
JP4185332B2 (en) Solar cell and solar cell module using the same
KR101038967B1 (en) Solar cell and manufacturing method thereof
JP2003224289A (en) Solar cell, solar cell connection method, and solar cell module
US20120295395A1 (en) Method for producing an array of thin-film photovoltaic cells having a totally separated integrated bypass diode associated with a plurality of cells and method for producing a panel incorporating the same
WO2013094556A1 (en) Solar cell with wiring sheet, solar cell module, and solar cell manufacturing method
CN104300019B (en) Solar cell, module thereof and manufacturing method thereof
JP6792709B2 (en) Photoelectric converter, solar cell string with it, and solar cell module with any of them
JP6455099B2 (en) Solar cell unit and method for manufacturing solar cell unit
JPWO2018150598A1 (en) Method of manufacturing solar cell and solar cell

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20090205

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20090310

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20111213

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20121113

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20121211

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20130702

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20130725

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5329980

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees