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JP5345104B2 - Metallized film, method for producing the same, and metallized film capacitor using the metallized film - Google Patents
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JP5345104B2 - Metallized film, method for producing the same, and metallized film capacitor using the metallized film - Google Patents

Metallized film, method for producing the same, and metallized film capacitor using the metallized film Download PDF

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Description

本発明は、金属化フィルムおよびその製造方法、ならびに該金属化フィルムを用いた金属化フィルムコンデンサに関する。   The present invention relates to a metallized film, a method for producing the same, and a metallized film capacitor using the metallized film.

従来から、金属化フィルムコンデンサ等に用いられる金属化フィルムの製造方法としては、例えば、フィルムにオイルを蒸着等により付着させた後に金属蒸着を行うことにより、フィルムの表面に金属蒸着層を形成するとともに、絶縁マージンを形成する方法が用いられている(例えば、特許文献1、2参照)。   Conventionally, as a method for producing a metallized film used for a metallized film capacitor or the like, for example, a metal vapor deposition layer is formed on the surface of the film by performing metal vapor deposition after attaching oil to the film by vapor deposition or the like. At the same time, a method of forming an insulation margin is used (for example, see Patent Documents 1 and 2).

従来の金属化フィルム80の製造方法について、図7を用いて説明する。
図7(a)は、従来の金属化フィルム80の製造方法においてフィルム89にオイル88を蒸着させたときの一例を模式的に示す断面図である。図7(b)は、(a)に示したフィルム89に金属蒸着を行ったときの状態を模式的に示す断面図である。
The manufacturing method of the conventional metallized film 80 is demonstrated using FIG.
FIG. 7A is a cross-sectional view schematically showing an example when oil 88 is vapor-deposited on the film 89 in the conventional method for producing the metallized film 80. FIG. 7B is a cross-sectional view schematically showing a state when metal deposition is performed on the film 89 shown in FIG.

従来の金属化フィルムの製造方法では、図7(a)に示すように、まず、フィルム89の表面89aに、オイル88を蒸着する。オイル88は、中央部分が隆起した裾広の山状を呈し、少なくともマージン部89M(マージン形成予定部)を覆う。オイル88の付着範囲は比較的広く、蒸着部89D(金属蒸着予定部)にも及んでいる。
続いて、オイル88が蒸着されたフィルム89に金属蒸着を行うことにより、図7(b)に示す金属化フィルム80を得ることができる。
In the conventional method for producing a metallized film, as shown in FIG. 7A, first, oil 88 is vapor-deposited on the surface 89 a of the film 89. The oil 88 has a broad mountain shape with a raised central portion and covers at least the margin portion 89M (margin formation scheduled portion). The adhesion range of the oil 88 is relatively wide and extends to the vapor deposition part 89D (metal vapor deposition scheduled part).
Subsequently, metallization is performed on the film 89 on which the oil 88 is deposited, whereby the metallized film 80 shown in FIG. 7B can be obtained.

金属化フィルム80は、フィルム89と、フィルム89の表面89aに形成された金属蒸着層81とからなる。フィルム89は、マージン部89Mと蒸着部89Dとからなる。マージン部89Mは、金属蒸着層81が形成されない部分である。蒸着部89Dは、金属蒸着層81が形成される部分である。
金属蒸着においては、オイルが少量でも付着していれば、必ずマスクできるというものではなく、ある一定以上の量(厚さ)のオイルが付着していなければ、繰り返し衝突する金属粒子によりオイルが取り除かれるか、または再蒸発等により拡散してしまい、蒸着金属が付着してしまうので、オイル88の裾部まで金属蒸着層81が形成されることになる。
The metallized film 80 includes a film 89 and a metal vapor deposition layer 81 formed on the surface 89 a of the film 89. The film 89 includes a margin part 89M and a vapor deposition part 89D. The margin portion 89M is a portion where the metal vapor deposition layer 81 is not formed. The vapor deposition part 89D is a part where the metal vapor deposition layer 81 is formed.
In metal deposition, if even a small amount of oil is attached, it is not always possible to mask, and if a certain amount of oil (thickness) is not attached, the oil is removed by repeatedly colliding metal particles. Or diffused by re-evaporation or the like, and the deposited metal adheres, so that the deposited metal layer 81 is formed up to the bottom of the oil 88.

金属化フィルムコンデンサでは、互いに異極となる電極(+と−)が交互に重なるので、電極引き出しと反対側の端部には、絶縁するための絶縁マージンが必要となる。マージン部89Mは、その絶縁マージンとなる部分である。金属蒸着層81は、マージン部89Mの近傍部分に、マージン部89Mに近づくにつれて厚みが減少する傾斜部81Sを有する。   In a metallized film capacitor, electrodes (+ and −) having different polarities are alternately overlapped, so that an insulating margin for insulation is required at the end opposite to the electrode lead-out. The margin portion 89M is a portion that becomes the insulation margin. The metal vapor-deposited layer 81 has an inclined portion 81S whose thickness decreases near the margin portion 89M in the vicinity of the margin portion 89M.

このように、図7を用いて説明した金属化フィルム80の製造方法によれば、蒸着部89Dとマージン部89Mとの境界に向けて厚みが徐々に減少する金属蒸着層81が形成される。   As described above, according to the method for manufacturing the metallized film 80 described with reference to FIG. 7, the metal vapor deposition layer 81 whose thickness gradually decreases toward the boundary between the vapor deposition portion 89D and the margin portion 89M is formed.

特開平9−266127号公報JP 9-266127 A 特開2001−76960号公報JP 2001-76960 A

しかしながら、図7に示す金属化フィルムの製造方法によれば、マージン部89Mの形成が、オイル蒸着のみによって行われ、オイル蒸着では、フィルム89に局所的にオイル88を付着させることが難しいので、図7(a)に示すように、オイル88が広範囲に拡散し、裾広で低い山形となる。そのようなフィルム89を用いて金属化フィルム80を製造すると、図7(b)に示すように、マージン部89Mの境界に向けて厚みが徐々に減少する傾斜部81Sが、なだらかに広い幅(例えば、0.1〜0.5mm)で発生する。   However, according to the metallized film manufacturing method shown in FIG. 7, the margin portion 89M is formed only by oil vapor deposition, and it is difficult to locally attach the oil 88 to the film 89 by oil vapor deposition. As shown to Fig.7 (a), the oil 88 spread | diffuses in a wide range, and becomes a mountain shape which is wide and low. When the metallized film 80 is manufactured using such a film 89, as shown in FIG. 7B, the inclined portion 81S whose thickness gradually decreases toward the boundary of the margin portion 89M has a gently wide width ( For example, it occurs at 0.1 to 0.5 mm.

このような金属化フィルム80を用いたコンデンサでは、金属蒸着層81のマージン部89M側の先端部81Tに電界が集中し、酸化劣化による金属蒸着層81の消失(膜後退)が生じ易いという問題があった。   In such a capacitor using the metallized film 80, the electric field concentrates on the tip portion 81T of the metal vapor deposition layer 81 on the margin portion 89M side, and the metal vapor deposition layer 81 is likely to disappear (film receding) due to oxidative degradation. was there.

前記問題を解決する方法としては、例えば、ノズルからのオイル噴出角度を調整し、オイル量を増やすことで、金属蒸着層を切り立った形状とする方法がある。
その方法について、図8を用いて説明する。
図8(a)は、従来の金属化フィルムの製造方法においてフィルムにオイルを蒸着させたときの他の例を模式的に示す断面図である。図8(b)は、(a)に示したフィルムに金属蒸着を行ったときの状態を模式的に示す断面図である。なお、図8では、図7と同一部分に、図7と同じ符号を付している。
As a method for solving the above problem, for example, there is a method of adjusting the oil ejection angle from the nozzle and increasing the amount of oil to make the metal deposition layer stand out.
This method will be described with reference to FIG.
Fig.8 (a) is sectional drawing which shows typically the other example when oil is vapor-deposited on a film in the manufacturing method of the conventional metallized film. FIG.8 (b) is sectional drawing which shows typically a state when metal vapor deposition is performed to the film shown to (a). In FIG. 8, the same parts as those in FIG. 7 are denoted by the same reference numerals as those in FIG.

この金属化フィルムの製造方法では、図8(a)に示すように、まず、フィルム89の表面89aに、オイル98を蒸着する。オイル98は、図7(a)に示したオイル88と同様に、少なくともマージン部89Mを覆うが、オイル88より高く盛り上がっており、オイル98の量は、オイル88の量より多い。
続いて、オイル98が蒸着されたフィルム89に金属蒸着を行うことにより、図8(b)に示す金属化フィルム90を得ることができる。
In this metallized film manufacturing method, oil 98 is first deposited on the surface 89a of the film 89, as shown in FIG. The oil 98 covers at least the margin portion 89 </ b> M similarly to the oil 88 shown in FIG. 7A, but rises higher than the oil 88, and the amount of the oil 98 is larger than the amount of the oil 88.
Subsequently, the metallized film 90 shown in FIG. 8B can be obtained by performing metal deposition on the film 89 on which the oil 98 is deposited.

金属化フィルム90は、フィルム89と、フィルム89の表面89aに形成された金属蒸着層91とからなる。金属蒸着層91は、マージン部89Mの近傍部分に、マージン部89Mに近づくにつれて厚みが減少する傾斜部91Sを有する。傾斜部91Sの幅(例えば、1〜100μm)は、図7(b)に示す傾斜部81Sの幅より狭く、傾斜部91Sの立ち上がり角は、傾斜部81Sより急である。   The metallized film 90 includes a film 89 and a metal vapor-deposited layer 91 formed on the surface 89 a of the film 89. The metal vapor-deposited layer 91 has an inclined portion 91S whose thickness decreases near the margin portion 89M in the vicinity of the margin portion 89M. The width of the inclined portion 91S (for example, 1 to 100 μm) is narrower than the width of the inclined portion 81S shown in FIG. 7B, and the rising angle of the inclined portion 91S is steeper than that of the inclined portion 81S.

このように、図8を用いて説明した金属化フィルムの製造方法によれば、傾斜部91Sの立ち上がり角が急な金属蒸着層91を形成することができる。   Thus, according to the manufacturing method of the metallized film demonstrated using FIG. 8, the metal vapor deposition layer 91 with which the rising angle of the inclination part 91S was steep can be formed.

しかしながら、図8に示す金属化フィルムの製造方法によれば、オイル98の拡散を防ぐためには、オイル噴出口(図示せず)とフィルム89とを充分に近づける必要があり、また、大量のオイルを付着させなければならない。そのため、フィルム89の巻取り性が著しく低下し、結果として生産性が低下するという問題があった。   However, according to the method of manufacturing a metallized film shown in FIG. 8, in order to prevent the oil 98 from diffusing, it is necessary to bring the oil jet (not shown) and the film 89 sufficiently close to each other, and a large amount of oil is required. Must be attached. Therefore, there is a problem that the winding property of the film 89 is remarkably lowered, and as a result, the productivity is lowered.

また、従来の金属化フィルムの製造方法としては、フィルムにオイルを蒸着するのではなく、オイルを印刷した後に金属蒸着を行うことにより、フィルムの表面に金属蒸着層を形成する方法がある。   In addition, as a conventional method for producing a metallized film, there is a method in which a metal vapor deposition layer is formed on the surface of a film by performing metal vapor deposition after printing oil, instead of depositing oil on the film.

この金属化フィルムの製造方法におけるオイル印刷工程について、図9を用いて説明する。
図9(a)〜(c)は、オイル印刷の工程を模式的に示す断面図である。なお、図9では、図7と同一部分に、図7と同じ符号を付している。
The oil printing process in this metallized film manufacturing method will be described with reference to FIG.
9A to 9C are cross-sectional views schematically showing the oil printing process. In FIG. 9, the same parts as those in FIG. 7 are denoted by the same reference numerals as those in FIG.

図9(a)に示すように、フィルム89の表面89aにオイル78を印刷する場合、まず、印刷治具70Pの凸部70Bに適量のオイル78を付着させ、凸部70Bをマージン部89Mの上方に位置させる。
次に、図9(b)に示すように、フィルム89の表面89aに印刷治具70Pを近づけて、凸部70Bをフィルム89の表面89aに押し付け、凸部70Bに付着したオイル78を、フィルム89の表面89aに転写する。
As shown in FIG. 9A, when the oil 78 is printed on the surface 89a of the film 89, first, an appropriate amount of oil 78 is attached to the convex portion 70B of the printing jig 70P, and the convex portion 70B is attached to the margin portion 89M. Position it above.
Next, as shown in FIG. 9B, the printing jig 70P is brought close to the surface 89a of the film 89, the convex portion 70B is pressed against the surface 89a of the film 89, and the oil 78 adhered to the convex portion 70B Transfer to the surface 89a of 89.

次に、図9(c)に示すように、フィルム89の表面89aから印刷治具70Pを遠ざけ、凸部70Bとオイル78とを離す。これにより、オイル78の印刷が完了する。
フィルム89に印刷されたオイル78は、マージン部89Mを覆い、さらにマージン部89Mの両側に位置する蒸着部89Dの一部を覆う。また、フィルム89に印刷されたオイル78は、図9(b)に示すように凸部70Bがフィルム89の表面89aに押し付けられることにより、フィルム89に印刷されているので、その中央部78Cが凹み、中央部78Cの両側の縁部78Bが盛り上がっている。
Next, as shown in FIG. 9C, the printing jig 70 </ b> P is moved away from the surface 89 a of the film 89, and the convex portion 70 </ b> B and the oil 78 are separated. Thereby, the printing of the oil 78 is completed.
The oil 78 printed on the film 89 covers the margin part 89M and further covers a part of the vapor deposition part 89D located on both sides of the margin part 89M. Also, the oil 78 printed on the film 89 is printed on the film 89 by pressing the convex portion 70B against the surface 89a of the film 89 as shown in FIG. The dents and the edge portions 78B on both sides of the central portion 78C are raised.

オイル印刷は、局所的に一定量のオイル78を付着させることに適しているが、この方法では、印刷治具70Pの凸部70Bの先端に付いたオイル78をフィルム89に押し付けて印刷するため、図9(a)〜(c)に示した工程を経たフィルム89では、オイル78の中央部78Cのオイル量が少なくなる。   The oil printing is suitable for locally attaching a certain amount of oil 78, but in this method, the oil 78 attached to the tip of the convex portion 70B of the printing jig 70P is pressed against the film 89 for printing. In the film 89 that has undergone the steps shown in FIGS. 9A to 9C, the amount of oil in the central portion 78C of the oil 78 decreases.

金属蒸着においては、オイルが少量でも付着していれば、必ずマスクできるというものではなく、ある一定以上の量(厚さ)のオイルが付着していなければ、繰り返し衝突する金属粒子によりオイルが取り除かれるか、または拡散してしまい、蒸着金属が付着してしまう。
そのため、図9(c)に示すフィルム89に金属蒸着を行うと、中央部78Cに対応した部分に蒸着金属が付着してしまうという問題があった。
In metal deposition, if even a small amount of oil is attached, it is not always possible to mask, and if a certain amount of oil (thickness) is not attached, the oil is removed by repeatedly colliding metal particles. Or diffuses and deposits the deposited metal.
Therefore, when metal vapor deposition is performed on the film 89 shown in FIG. 9C, there is a problem that the vapor deposition metal adheres to a portion corresponding to the central portion 78C.

上記の問題に鑑みて、本発明の課題は、フィルムの巻取り性を低下させることなく、金
属化フィルムにおける酸化劣化による金属蒸着層の消失(膜後退)を抑制することができる金属化フィルムの製造方法を提供することである。
In view of the above problems, an object of the present invention is to provide a metallized film that can suppress disappearance (film receding) of a metal vapor deposition layer due to oxidative degradation in a metallized film without reducing the rollability of the film. It is to provide a manufacturing method.

オイル蒸着では、図7(a)に示すように、オイル88の中央部分が盛り上がるので、マージン部89Mを確実に確保できるというメリットがあるが、図7(b)に示すように、金属蒸着層81の傾斜部81Sが広い幅で発生するというデメリットがある。
一方、オイル印刷では、図9(c)に示すように、オイル78の中央部78Cが凹んでしまうので、本来マージン部89Mとなるべき位置に蒸着金属が付着してしまうというデメリットがあるが、フィルム89の表面89aと接触する部分におけるオイル78の立ち上がり角は大きくなるというメリットがある。
In the oil vapor deposition, as shown in FIG. 7 (a), the central portion of the oil 88 is raised, so that there is a merit that the margin portion 89M can be surely secured. However, as shown in FIG. There is a demerit that 81 inclined portions 81S are generated with a wide width.
On the other hand, in the oil printing, as shown in FIG. 9C, since the central portion 78C of the oil 78 is recessed, there is a demerit that the deposited metal adheres to a position that should originally become the margin portion 89M. There is an advantage that the rising angle of the oil 78 at the portion in contact with the surface 89a of the film 89 is increased.

本発明は、それぞれのメリットを利用しデメリットを克服することで、広範囲へのオイルマスクは蒸着によって行い、蒸着金属とマージン部(絶縁マージン)との境界部分にオイル印刷を行うことで、上述した本発明の課題を解決したものである。   The present invention overcomes the disadvantages by using the respective merits, performs the oil mask over a wide area by vapor deposition, and performs the oil printing on the boundary portion between the vapor deposition metal and the margin part (insulation margin). It solves the problem of the present invention.

具体的に、本発明は、以下の構成を採用する。
(1) 誘電体フィルムの表面に、金属蒸着層が形成される蒸着部と、該蒸着部に隣接するマージン部とを有する金属化フィルムの製造方法であって、
オイルを蒸発させて前記誘電体フィルムの表面に付着させ、マージン部を形成するオイル蒸着工程と、
前記マージン部上で該マージン部の縁に沿って、オイルを印刷するオイル印刷工程と、
前記オイル蒸着工程および前記オイル印刷工程の後に金属蒸着を行うことにより、前記蒸着部に前記金属蒸着層を形成する金属蒸着工程と、
を含むことを特徴とする金属化フィルムの製造方法。
Specifically, the present invention employs the following configuration.
(1) A method for producing a metallized film having a vapor deposition portion where a metal vapor deposition layer is formed on a surface of a dielectric film, and a margin portion adjacent to the vapor deposition portion,
An oil vapor deposition step of evaporating oil to adhere to the surface of the dielectric film and forming a margin;
An oil printing step of printing oil on the margin portion along an edge of the margin portion;
A metal vapor deposition step of forming the metal vapor deposition layer on the vapor deposition portion by performing metal vapor deposition after the oil vapor deposition step and the oil printing step;
The manufacturing method of the metallized film characterized by including.

前記(1)の構成によれば、オイルを蒸発させて前記誘電体フィルムの表面に付着させ、マージン部を形成するオイル蒸着工程と、前記マージン部上で該マージン部の縁に沿って、オイルを印刷するオイル印刷工程と、前記オイル蒸着工程および前記オイル印刷工程の後に金属蒸着を行うことにより、蒸着部に金属蒸着層を形成する金属蒸着工程とを有することにより、マージン部を確実に確保しつつ、金属蒸着層の立ち上がり角を大きくすることができる。
具体的には、オイル印刷によりマージン部との境界部分における金属層の傾斜を急峻にするとともに、オイル蒸着により付着オイル中央部の厚みを確保し、マージン部に金属蒸着層が形成されるのを抑制することができる。
その結果、金属化フィルムにおける酸化劣化による金属蒸着層の消失(膜後退)を抑制することができる。
また、マージン部の縁に印刷されたオイルにより、オイルの立ち上がり角を大きくするので、オイルの噴射量を少なくすることができる。従って、フィルムの巻取り性を低下させることがなく、また金属化フィルムの滑り性が向上する。
According to the configuration of (1), oil is evaporated to adhere to the surface of the dielectric film, and an oil vapor deposition process for forming a margin portion, and an oil along the edge of the margin portion on the margin portion. With the oil printing process that prints and the metal vapor deposition process that forms the metal vapor deposition layer on the vapor deposition part by performing the metal vapor deposition after the oil vapor deposition process and the oil printing process, the margin part is surely secured However, the rising angle of the metal vapor deposition layer can be increased.
Specifically, the oil printing makes the slope of the metal layer steep at the boundary with the margin portion, and the thickness of the deposited oil central portion is secured by oil vapor deposition, so that the metal vapor deposition layer is formed in the margin portion. Can be suppressed.
As a result, disappearance (film receding) of the metal vapor deposition layer due to oxidative degradation in the metallized film can be suppressed.
Further, since the rising angle of the oil is increased by the oil printed on the edge of the margin portion, the oil injection amount can be reduced. Therefore, the rollability of the film is not deteriorated, and the slipperiness of the metallized film is improved.

なお、金属化フィルムを製造する際にマスクによるマージン部の形成を行えば、金属蒸着層のマージン部側の際を切り立った形状とすることができる。しかし、マスク蒸着では、マスクに蒸着金属が堆積していくため、長時間の蒸着ができず、生産性が悪いという問題がある。
そのため、現在、金属化フィルムを製造するときの金属蒸着としては、オイルの蒸着によるマージン部の形成が主流となっている。このような状況において、本発明は、オイル噴き付けによるマージン部の形成でも、マスク蒸着を行った場合と同様の形状の蒸着金属層を得ることを可能とするものである。
In addition, if the margin part is formed by the mask when the metallized film is manufactured, the shape on the margin part side of the metal vapor deposition layer can be made to be a sharp shape. However, in mask vapor deposition, vapor deposition metal is deposited on the mask, so that there is a problem that long-time vapor deposition cannot be performed and productivity is poor.
Therefore, at present, as a metal vapor deposition when producing a metallized film, the formation of a margin part by the vapor deposition of oil is mainly used. In such a situation, the present invention makes it possible to obtain a deposited metal layer having a shape similar to that obtained when mask deposition is performed even when a margin portion is formed by oil spraying.

ここで、本発明において、誘電体フィルムは、「蒸着部」と「マージン部」とからなるが、物理的な金属層の有無によって区別されているわけではない。
本発明の「蒸着部」とは、コンデンサとして構成したときに、電極として静電容量に寄与する部分(または電極引出し部分と電気的に接続されている部分)、「マージン部」とは、電極として静電容量に寄与しない部分(金属が部分的に付着しているとしても、電極と接続されていない部分)をいう。
よって、「突条部」(後述)は、「マージン部」に形成される金属層であるが、本発明の「金属蒸着層」には含まれない。すなわち、本発明の「金属蒸着層」は、「蒸着部」に意図的に蒸着させる金属層を指す。
Here, in the present invention, the dielectric film is composed of “evaporation part” and “margin part”, but is not distinguished by the presence or absence of a physical metal layer.
The “evaporation part” of the present invention is a part that contributes to electrostatic capacity as an electrode (or a part that is electrically connected to the electrode lead-out part) when configured as a capacitor, and the “margin part” is an electrode The portion that does not contribute to the capacitance (the portion that is not connected to the electrode even though the metal is partially attached).
Therefore, the “projection portion” (described later) is a metal layer formed in the “margin portion”, but is not included in the “metal vapor deposition layer” of the present invention. That is, the “metal vapor deposition layer” of the present invention refers to a metal layer intentionally deposited on the “vapor deposition part”.

本発明は、さらに、以下の構成を採用することができる。
(2) 前記(1)の金属化フィルムの製造方法であって、
前記オイル印刷工程においてオイルを印刷する位置は、前記オイル蒸着工程においてオイルを付着させる領域の外縁位置と重複していることを特徴とする。
The present invention can further employ the following configurations.
(2) It is a manufacturing method of the metallized film of the above (1),
The position where the oil is printed in the oil printing process overlaps with the outer edge position of the region where the oil is deposited in the oil vapor deposition process.

(2)の構成によれば、誘電体フィルムへのオイルの付着量を少なくしつつ、金属蒸着層の立ち上がり角を大きくすることができる。   According to the configuration of (2), the rising angle of the metal vapor deposition layer can be increased while reducing the amount of oil attached to the dielectric film.

本発明は、さらに、以下の構成を採用することができる。
(3)誘電体フィルムの表面に、金属蒸着層が形成される蒸着部と、該蒸着部に隣接するマージン部とを有する金属化フィルムにおいて、
前記金属蒸着層は、前記マージン部と隣接する隣接部分に前記マージン部に近づくにつれて厚みが減少する傾斜部を備え、
前記傾斜部の幅は、1〜100μmであり、
前記マージン部には、前記金属蒸着層から離間するとともに前記金属蒸着層の縁に沿った突条部が形成されていることを特徴とする金属化フィルム。
The present invention can further employ the following configurations.
(3) In a metallized film having a vapor deposition portion where a metal vapor deposition layer is formed on the surface of the dielectric film and a margin portion adjacent to the vapor deposition portion,
The metal vapor deposition layer includes an inclined portion whose thickness decreases as it approaches the margin portion in an adjacent portion adjacent to the margin portion,
The inclined portion has a width of 1 to 100 μm,
Wherein the margin, metalized film characterized that you ridges along the edge of the metallized layer with away from the metal vapor deposition layer is formed.

(3)の構成によれば、マージン部が確実に確保され、かつ金属蒸着層の立ち上がり角(急傾斜部の立ち上がり角)が大きい。従って、金属化フィルムにおける酸化劣化による金属蒸着層の消失(膜後退)を抑制することができる。   According to the structure of (3), a margin part is ensured reliably and the rising angle (rise angle of a steeply inclined part) of a metal vapor deposition layer is large. Therefore, disappearance (film receding) of the metal vapor deposition layer due to oxidative degradation in the metallized film can be suppressed.

本発明は、さらに、以下の構成を採用することができる。
(4) 前記(4)に記載の金属化フィルムが巻回または積層されてなるコンデンサ素子が用いられていることを特徴とする金属化フィルムコンデンサ。
The present invention can further employ the following configurations.
(4) A metallized film capacitor using a capacitor element in which the metallized film according to (4) is wound or laminated.

(4)の構成によれば、マージン部が確実に確保され、かつ金属蒸着層の立ち上がり層の立ち上がり角が大きく、酸化劣化による金属蒸着層の消失(膜後退)を抑制できる金属化フィルムを使用しているので、金属化フィルムコンデンサの信頼性を向上できる。   According to the configuration of (4), a metallized film is used in which a margin is ensured, the rising angle of the rising layer of the metal vapor deposition layer is large, and the disappearance (film receding) of the metal vapor deposition layer due to oxidative degradation can be suppressed. Therefore, the reliability of the metallized film capacitor can be improved.

本発明の金属化フィルムの製造方法によれば、フィルムの巻取り性を低下させることなく、金属化フィルムにおける酸化劣化による金属蒸着層の消失(膜後退)を抑制することができる。   According to the method for producing a metallized film of the present invention, the disappearance (film receding) of the metal vapor deposition layer due to oxidative degradation in the metallized film can be suppressed without lowering the winding property of the film.

(a)は、オイル蒸着工程を行ったときの誘電体フィルムを模式的に示す部分断面図であり、(b)は、オイル蒸着工程後にオイル印刷工程を行ったときの誘電体フィルムを模式的に示す部分断面図であり、(c)は、金属蒸着工程を行ったときの金属化フィルムを模式的に示す部分断面図である。(A) is a fragmentary sectional view which shows typically the dielectric film when an oil vapor deposition process is performed, (b) is a schematic diagram of the dielectric film when an oil printing process is performed after an oil vapor deposition process. (C) is a fragmentary sectional view which shows typically a metallized film when performing a metal vapor deposition process. (a)は、オイル印刷工程を行ったときの誘電体フィルムを模式的に示す部分断面図であり、(b)は、オイル印刷工程後にオイル蒸着工程を行ったときの誘電体フィルムを模式的に示す部分断面図である。(A) is a fragmentary sectional view which shows typically the dielectric film when an oil printing process is performed, (b) is a schematic diagram of the dielectric film when an oil vapor deposition process is performed after an oil printing process. FIG. (a)は、オイル蒸着工程の状態を模式的に示す斜視図であり、(b)は、そのA−A線断面図である。(A) is a perspective view which shows the state of an oil vapor deposition process typically, (b) is the AA sectional view taken on the line. (a)は、図3(a)に示すオイル蒸着工程を誘電体フィルムの進行方向の下流側から上流側を見たときの状態を模式的に示す図であり、(b)は、図3(b)に示す断面図におけるノズル近傍を模式的に示す部分拡大図である。(A) is a figure which shows typically a state when the upstream side is seen from the downstream of the advancing direction of a dielectric film in the oil vapor deposition process shown to Fig.3 (a), (b) is a figure which shows FIG. It is the elements on larger scale which show typically the nozzle vicinity in sectional drawing shown in (b). (a)は、オイル印刷工程の状態を模式的に示す図であり、(b)は、(a)に示すオイル印刷工程によりオイルが印刷された誘電体フィルムの平面図である。(A) is a figure which shows typically the state of an oil printing process, (b) is a top view of the dielectric material film in which oil was printed by the oil printing process shown to (a). 従来の方法、本発明による方法、従来の方法(オイル増量)について、金属蒸着前から金属蒸着後までの状態を比較した図である。It is the figure which compared the state from before metal vapor deposition to after metal vapor deposition about the conventional method, the method by this invention, and the conventional method (oil increase). (a)は、従来の金属化フィルムの製造方法においてフィルムにオイルを蒸着させたときの一例を模式的に示す断面図であり、(b)は、(a)に示したフィルムに金属蒸着を行ったときの状態を模式的に示す断面図である。(A) is sectional drawing which shows typically an example when oil was vapor-deposited on the film in the manufacturing method of the conventional metallized film, (b) is metal vapor deposition to the film shown to (a). It is sectional drawing which shows the state when performed typically. (a)は、従来の金属化フィルムの製造方法においてフィルムにオイルを蒸着させたときの他の例を模式的に示す断面図であり、(b)は、(a)に示したフィルムに金属蒸着を行ったときの状態を模式的に示す断面図である。(A) is sectional drawing which shows typically the other example when oil is vapor-deposited on the film in the manufacturing method of the conventional metallized film, (b) is metal in the film shown to (a). It is sectional drawing which shows typically a state when vapor deposition is performed. (a)〜(c)は、従来のオイル印刷の工程を模式的に示す断面図である。(A)-(c) is sectional drawing which shows the process of the conventional oil printing typically.

本発明の金属化フィルムの製造方法について、図1を用いて説明する。
図1(a)は、オイル蒸着工程を行ったときの誘電体フィルムを模式的に示す部分断面図である。図1(b)は、オイル蒸着工程後にオイル印刷工程を行ったときの誘電体フィルムを模式的に示す部分断面図である。図1(c)は、金属蒸着工程を行ったときの金属化フィルムを模式的に示す部分断面図である。
The manufacturing method of the metallized film of this invention is demonstrated using FIG.
Fig.1 (a) is a fragmentary sectional view which shows typically the dielectric material film when an oil vapor deposition process is performed. FIG. 1B is a partial cross-sectional view schematically showing a dielectric film when the oil printing process is performed after the oil vapor deposition process. FIG.1 (c) is a fragmentary sectional view which shows typically the metallized film when a metal vapor deposition process is performed.

図中、19は、誘電体フィルムを指し、19aは、誘電体フィルム19の表面を指し、19Dは、蒸着部を指し、19Mは、マージン部を指す。誘電体フィルムとしては、特に限定されず、例えば、PP(ポリプロピレン)フィルム等を挙げることができる。   In the figure, 19 indicates a dielectric film, 19a indicates the surface of the dielectric film 19, 19D indicates a vapor deposition portion, and 19M indicates a margin portion. The dielectric film is not particularly limited, and examples thereof include a PP (polypropylene) film.

図1に示す金属化フィルムの製造方法では、まず、図1(a)に示すように、誘電体フィルム19の表面19aに、オイル18Dを蒸着させる。オイル18Dは、マージン部19Mの全域を覆い、さらに、蒸着部19Dの一部を覆っている。また、オイル18Dは、オイル88(図7(a))よりも蒸着高さが低く、蒸着範囲が狭い。
このように、本発明では、オイル印刷を併用するので、オイルの蒸着量を少なく設定することができる。なお、オイル18Dは、図中における手前側から奥側へ向けて延びる平面視帯状を呈するように蒸着されている。
In the metallized film manufacturing method shown in FIG. 1, first, oil 18D is vapor-deposited on the surface 19a of the dielectric film 19, as shown in FIG. The oil 18D covers the entire area of the margin portion 19M and further covers a part of the vapor deposition portion 19D. Further, the oil 18D has a lower deposition height and a narrower deposition range than the oil 88 (FIG. 7A).
Thus, in the present invention, since oil printing is used in combination, the amount of oil deposition can be set small. The oil 18D is vapor-deposited so as to exhibit a planar view band shape extending from the near side to the far side in the drawing.

次に、マージン部19Mの縁に沿って、誘電体フィルム19の表面19aにオイルを印刷する。オイルの印刷量は、オイルの蒸着量より少ない。その結果、図1(b)に示すように、オイル18Dの両脇には、凸部18aが形成される。本実施形態において、凸部18aは、マージン部19Mに形成されている。   Next, oil is printed on the surface 19a of the dielectric film 19 along the edge of the margin portion 19M. The amount of oil printed is less than the amount of oil deposited. As a result, as shown in FIG. 1B, convex portions 18a are formed on both sides of the oil 18D. In the present embodiment, the convex portion 18a is formed in the margin portion 19M.

ここで、凸部18a(オイル印刷工程においてオイルが印刷された位置にあるオイル)の最頂部は、図1(b)に示すように、突出している。なお、図1(b)は、オイルの形状の一例を模式的に示すものであり、実際のオイルの形状を厳密に反映したものではない。   Here, as shown in FIG. 1B, the topmost portion of the convex portion 18a (the oil at the position where the oil is printed in the oil printing step) protrudes. FIG. 1B schematically shows an example of the shape of the oil, and does not strictly reflect the actual shape of the oil.

次に、図1(b)に示した誘電体フィルム19に金属蒸着を行う。金属蒸着としては、従来公知の方法を用いることができる。
以上の工程を経た後、オイルは蒸着用の蒸発源からの輻射熱により除去され、図1(c)に示す金属化フィルム10を得ることができる。金属化フィルム10が、本発明の金属化フィルムである。
金属化フィルム10は、誘電体フィルム19と、誘電体フィルム19の表面19aに形成された金属蒸着層11とからなる。金属蒸着層11は、アルミニウムからなる。
Next, metal deposition is performed on the dielectric film 19 shown in FIG. A conventionally well-known method can be used as metal vapor deposition.
After going through the above steps, the oil is removed by radiant heat from the evaporation source for vapor deposition, and a metallized film 10 shown in FIG. 1 (c) can be obtained. The metallized film 10 is the metallized film of the present invention.
The metallized film 10 includes a dielectric film 19 and a metal vapor deposition layer 11 formed on the surface 19 a of the dielectric film 19. The metal vapor deposition layer 11 consists of aluminum.

誘電体フィルム19は、マージン部19Mと、蒸着部19Dとからなる。マージン部19Mは、金属蒸着層11が形成されない部分である。蒸着部19Dは、金属蒸着層11が形成される部分である。金属蒸着層11は、マージン部19Mの近傍部分に、マージン部19Mに近づくにつれて厚みが減少する傾斜部11Sを有する。   The dielectric film 19 includes a margin portion 19M and a vapor deposition portion 19D. The margin portion 19M is a portion where the metal vapor deposition layer 11 is not formed. The vapor deposition part 19D is a part where the metal vapor deposition layer 11 is formed. The metal vapor-deposited layer 11 has an inclined portion 11S whose thickness decreases as it approaches the margin portion 19M in the vicinity of the margin portion 19M.

傾斜部11Sは、マージン部19M側に向かって曲線を描いて傾斜している。傾斜部11Sの幅は、例えば、1〜100μmである。   The inclined part 11S is inclined in a curved line toward the margin part 19M. The width of the inclined portion 11S is, for example, 1 to 100 μm.

また、マージン部19Mには、金属蒸着層11から間隔を空け、かつ金属蒸着層11の縁に沿う突条部12が形成されている。突条部12は、オイル18の両外縁部に形成されている凸部18aに対して内側に、凸部18aが形成されていた領域(スリット19S)に隣接するように形成されている。
金属蒸着層11の縁は、図中における手前側から奥側へ向けて延びる直線状を呈し、突条部12は、金属蒸着層11の縁と平行な平面視帯状を呈する。金属蒸着層11と突条部12との間の間隔は、スリット19Sとなっている。
Further, the margin portion 19 </ b> M is formed with a ridge portion 12 spaced from the metal vapor deposition layer 11 and along the edge of the metal vapor deposition layer 11. The ridge portion 12 is formed on the inner side of the convex portion 18a formed on both outer edge portions of the oil 18 so as to be adjacent to the region (slit 19S) where the convex portion 18a is formed.
The edge of the metal vapor deposition layer 11 has a linear shape extending from the near side to the back side in the figure, and the protrusion 12 has a planar view band shape parallel to the edge of the metal vapor deposition layer 11. The interval between the metal vapor deposition layer 11 and the protrusion 12 is a slit 19S.

図1では、まずオイル蒸着工程を行い、その後にオイル印刷工程を行う場合について説明したが、本発明において、オイル蒸着工程とオイル印刷工程との順序は、この例に限定されず、まずオイル印刷工程を行い、その後にオイル蒸着工程を行うこととしてもよい。   In FIG. 1, the case where the oil vapor deposition process is performed first and then the oil printing process is described. However, in the present invention, the order of the oil vapor deposition process and the oil printing process is not limited to this example. It is good also as performing a process and performing an oil vapor deposition process after that.

次に、まずオイル印刷工程を行い、その後にオイル蒸着工程を行う場合について、図2を用いて説明する。
図2(a)は、オイル印刷工程を行ったときの誘電体フィルムを模式的に示す部分断面図である。図2(b)は、オイル印刷工程後にオイル蒸着工程を行ったときの誘電体フィルムを模式的に示す部分断面図である。
Next, the case where an oil printing process is performed first and then an oil vapor deposition process is performed will be described with reference to FIG.
Fig.2 (a) is a fragmentary sectional view which shows typically the dielectric film when an oil printing process is performed. FIG. 2B is a partial cross-sectional view schematically showing the dielectric film when the oil vapor deposition process is performed after the oil printing process.

図2に示す金属化フィルムの製造方法では、まず、図2(a)に示すように、誘電体フィルム19の表面19aに、オイル18Pを印刷する。オイル18Pは、マージン部19M上において、マージン部19Mの縁に沿うように印刷される。なお、本発明のオイル印刷工程において、オイル18Pが印刷される面積は小さく、オイル18Pの量は少ないので、オイル18Pの横方向の広がりは抑えられる。従って、オイル18Pは、図9(c)に示したような形状にはならない。   In the metallized film manufacturing method shown in FIG. 2, first, oil 18 </ b> P is printed on the surface 19 a of the dielectric film 19 as shown in FIG. The oil 18P is printed on the margin portion 19M along the edge of the margin portion 19M. In the oil printing process of the present invention, since the area where the oil 18P is printed is small and the amount of the oil 18P is small, the lateral spread of the oil 18P can be suppressed. Therefore, the oil 18P does not have a shape as shown in FIG.

次に、図2(b)に示すように、誘電体フィルム19の表面19aに、オイル18を蒸着させる。オイル18は、マージン部19Mの全域を覆い、さらに、蒸着部19Dの一部に及んでいる。また、オイル18Pが印刷されていた位置では、オイル18Pの上に、オイル18が蒸着されることにより、凸部18aが形成されている。   Next, as shown in FIG. 2B, oil 18 is deposited on the surface 19 a of the dielectric film 19. The oil 18 covers the entire area of the margin portion 19M and further reaches a part of the vapor deposition portion 19D. Further, at the position where the oil 18P has been printed, the oil 18 is vapor-deposited on the oil 18P, thereby forming a convex portion 18a.

図2(a)に示したオイル印刷工程と、図2(b)に示したオイル蒸着工程とを終えた後に、金属蒸着を行い、オイルを除去することにより、図1(c)に示した金属化フィルム10を得ることができる。   After finishing the oil printing process shown in FIG. 2A and the oil vapor deposition process shown in FIG. 2B, metal vapor deposition is performed to remove the oil, and the oil is removed as shown in FIG. A metallized film 10 can be obtained.

本発明の金属化フィルムの製造方法において、誘電体フィルムの搬送方法は、特に限定されない。   In the method for producing a metallized film of the present invention, the method for transporting the dielectric film is not particularly limited.

次に、オイル蒸着工程とオイル印刷工程とについて説明する。
まず、オイル蒸着工程について説明する。
図3(a)は、オイル蒸着工程の状態を模式的に示す斜視図である。図3(b)は、そのA−A線断面図である。図4(a)は、図3(a)に示すオイル蒸着工程を誘電体フィルムの進行方向の下流側から上流側を見たときの様子を模式的に示す図である。図4(b)は、図3(b)に示す断面図におけるノズル近傍を模式的に示す部分拡大図である。
Next, the oil vapor deposition process and the oil printing process will be described.
First, the oil vapor deposition process will be described.
Fig.3 (a) is a perspective view which shows typically the state of an oil vapor deposition process. FIG. 3B is a cross-sectional view taken along the line AA. Fig.4 (a) is a figure which shows typically a mode when the upstream side is seen from the downstream of the advancing direction of a dielectric film in the oil vapor deposition process shown to Fig.3 (a). FIG. 4B is a partially enlarged view schematically showing the vicinity of the nozzle in the cross-sectional view shown in FIG.

図3(a)に示す誘電体フィルム19は、下流側の巻出ロール(図示せず)から上流側の巻取ロール(図示せず)に向けて搬送される。図中、白抜きの矢印は、誘電体フィルム19の搬送方向を示す。誘電体フィルム19の近くには、ドラム状のオイル噴射ロール20が設置されている。オイル噴射ロール20の外周面には、スリット状のノズルNが、複数形成されている。   The dielectric film 19 shown in FIG. 3A is conveyed from a downstream winding roll (not shown) toward an upstream winding roll (not shown). In the figure, white arrows indicate the transport direction of the dielectric film 19. A drum-shaped oil injection roll 20 is installed near the dielectric film 19. A plurality of slit-like nozzles N are formed on the outer peripheral surface of the oil injection roll 20.

図3(a)および図4(a)に示すように、複数のノズルNは、各ノズルNの長手方向が誘電体フィルム19の搬送方向に対して垂直になるように、ドラム状のオイル噴射ロール20の外周における誘電体フィルム19の表面19aに最も近い場所において、間隔を空けて、一列に並んでいる。オイル噴射ロール20はヒータ(図示せず)を備えており、ヒータが加熱されることにより、オイルOが蒸発し、蒸発したオイルVがノズルNから噴射される。   As shown in FIGS. 3 (a) and 4 (a), the plurality of nozzles N has a drum-shaped oil jet so that the longitudinal direction of each nozzle N is perpendicular to the transport direction of the dielectric film 19. In a place closest to the surface 19 a of the dielectric film 19 on the outer periphery of the roll 20, the rolls 20 are arranged in a line at intervals. The oil injection roll 20 includes a heater (not shown). When the heater is heated, the oil O evaporates and the evaporated oil V is injected from the nozzle N.

図3(b)に示すように、オイル噴射ロール20のノズルNから噴射された、蒸発したオイルVは、誘電体フィルム19の表面19aに付着する。   As shown in FIG. 3B, the evaporated oil V ejected from the nozzle N of the oil ejection roll 20 adheres to the surface 19 a of the dielectric film 19.

図4(b)に示すように、ノズルNから噴射されたオイルVは、誘電体フィルム19の表面19aにオイル18として付着する。図中、寸法aは、ノズルNからフィルム19の表面19aまでの距離を示し、例えば、1mm以下である。寸法bは、ノズルNの長手方向の幅を示し、例えば、2〜8mm程度である。寸法cは、誘電体フィルム19の表面19aにおけるオイル18の幅を示し、例えば、bより若干大きい。
図4(b)は、オイル印刷を行う前にオイル蒸着を行う場合におけるオイル蒸着の状態を示しているが、寸法a〜cについては、オイル印刷を行った後にオイル蒸着を行う場合であっても同じである。
As shown in FIG. 4B, the oil V sprayed from the nozzle N adheres to the surface 19 a of the dielectric film 19 as the oil 18. In the figure, the dimension a indicates the distance from the nozzle N to the surface 19a of the film 19, and is, for example, 1 mm or less. The dimension b indicates the width in the longitudinal direction of the nozzle N and is, for example, about 2 to 8 mm. The dimension c indicates the width of the oil 18 on the surface 19a of the dielectric film 19, and is slightly larger than b, for example.
FIG. 4B shows a state of oil vapor deposition when oil vapor deposition is performed before oil printing, and dimensions a to c are cases where oil vapor deposition is performed after oil printing. Is the same.

次に、オイル印刷工程について説明する。
本発明において、オイル印刷工程では、回転ロールによる印刷が行われる。
図5(a)は、オイル印刷工程の状態を模式的に示す図である。図5(b)は、図5(a)に示すオイル印刷工程によりオイルが印刷された誘電体フィルム19の平面図である。図5(a)において、白抜きの矢印は、誘電体フィルム19の搬送方向を示す。
Next, the oil printing process will be described.
In the present invention, printing with a rotating roll is performed in the oil printing step.
Fig.5 (a) is a figure which shows typically the state of an oil printing process. FIG. 5B is a plan view of the dielectric film 19 on which oil is printed by the oil printing process shown in FIG. In FIG. 5A, white arrows indicate the transport direction of the dielectric film 19.

図5(a)に示すように、オイル印刷工程では、印刷ロール21により、誘電体フィルム19へのオイル印刷が行われる。図中、印刷ロール21上に示した矢印は、ロール回転方向を示している。印刷ロール21の表面には、それぞれロール径方向に突出した、円筒軸方向に延びる凸状部21aと、ロール周方向に延びる凸状部21bとが形成されている。   As shown in FIG. 5A, in the oil printing process, oil printing is performed on the dielectric film 19 by the printing roll 21. In the drawing, the arrow shown on the printing roll 21 indicates the roll rotation direction. On the surface of the printing roll 21, a convex portion 21 a extending in the cylindrical axis direction and a convex portion 21 b extending in the roll circumferential direction are formed.

凸状部21a、21bと誘電体フィルム19との接触位置より上流側では、これらの凸状部にオイル18が付着している。オイル18は、印刷ロール21の回転に伴って、凸状部21a、21bと誘電体フィルム19との接触位置において、誘電体フィルム19の表面19aに転写される。
その結果、誘電体フィルム19の表面19aには、凸状部21a、21bのパターンに応じたオイルの凸部18aと凸部18b(スリットパターン)が形成され、図5(b)に示す形状となる。図中、19Mは、マージン予定部であり、19Dは、金属蒸着予定部である。
On the upstream side of the contact position between the convex portions 21 a and 21 b and the dielectric film 19, the oil 18 adheres to these convex portions. The oil 18 is transferred to the surface 19 a of the dielectric film 19 at the contact position between the convex portions 21 a and 21 b and the dielectric film 19 as the printing roll 21 rotates.
As a result, on the surface 19a of the dielectric film 19, oil convex portions 18a and convex portions 18b (slit patterns) corresponding to the patterns of the convex portions 21a and 21b are formed, and the shape shown in FIG. Become. In the figure, 19M is a margin planned portion, and 19D is a metal vapor deposition scheduled portion.

上述したオイル蒸着工程およびオイル印刷工程の後に、金属蒸着工程を行うことにより、金属化フィルム10を製造することができる。   The metallized film 10 can be manufactured by performing a metal vapor deposition process after the oil vapor deposition process and the oil printing process described above.

本発明の金属化フィルムの製造方法によれば、オイルの噴射量を小さくすることができるとともに、金属蒸着層の立ち上がり角を大きくすることができ、さらにマージン部の幅を充分に確保することができる。この点について、図6を用いて説明する。   According to the method for producing a metallized film of the present invention, it is possible to reduce the oil injection amount, increase the rising angle of the metal vapor deposition layer, and sufficiently secure the margin width. it can. This point will be described with reference to FIG.

図6は、従来の方法、本発明による方法、従来の方法(オイル増量)について、金属蒸着前から金属蒸着後までの状態を比較した図である。
図6(a)は、図7に示す従来方法を示しており、図7と同一部分には、同様の符号を付している。また、二点破線は金属蒸着前の蒸着オイル形状である。
図6(b)は、図1に示す本発明に係る方法を示しており、図1と同一部分には、同様の符号を付している。また、一点破線は従来の金属蒸着前の蒸着オイル形状であり、二点破線は本発明に係る方法による金属蒸着前の蒸着オイル形状である。
図6(c)は、図8に示す従来方法(オイル増量)を示しており、図6(c)では、図8と同一部分には、同様の符号を付している。また、二点破線は金属蒸着前の蒸着オイル形状である。
なお、図6において、Nは、ノズルを示している。
FIG. 6 is a diagram comparing the state from before metal deposition to after metal deposition in the conventional method, the method according to the present invention, and the conventional method (oil increase).
FIG. 6A shows the conventional method shown in FIG. 7, and the same parts as those in FIG. Further, the two-dot broken line is a vapor deposition oil shape before metal vapor deposition.
FIG. 6B shows the method according to the present invention shown in FIG. 1, and the same parts as those in FIG. Moreover, a dashed-dotted line is the conventional vapor deposition oil shape before metal vapor deposition, and a dashed-two dotted line is the vapor deposition oil shape before metal vapor deposition by the method which concerns on this invention.
FIG. 6 (c) shows the conventional method (oil increase) shown in FIG. 8. In FIG. 6 (c), the same parts as those in FIG. Further, the two-dot broken line is a vapor deposition oil shape before metal vapor deposition.
In FIG. 6, N indicates a nozzle.

図6(a)〜(c)より明らかなように、本発明の方法(図6(b))におけるオイルの付着量は、他の方法(図6(a)、(c))よりも少ない。また、本発明の方法においては、オイルの付着量が少ないにもかかわらず、マージン部と隣接する隣接部分における金属蒸着層の立ち上がり角は、他の方法よりも大きく、本発明の方法におけるマージン部の幅W1は、従来の方法(図6(a))と同程度であり、充分に確保されている。
これに対し、従来の方法(図6(a))では、本発明の方法(図6(b))と比べて、オイルの付着量が多く、マージン部と隣接する隣接部分における金属蒸着層の立ち上がり角は、小さくなっている。また、従来の方法(オイル増量)(図6(c))では、マージン部の幅W2が最大で、オイルの付着量も最も多い。
従って、本発明の金属化フィルムの製造方法によれば、オイルの噴射量を少なくすることができるとともに、金属蒸着層の立ち上がり角を大きくすることができ、さらに、マージン部の幅を必要最小限に確保することができる。
As is clear from FIGS. 6 (a) to 6 (c), the amount of oil attached in the method of the present invention (FIG. 6 (b)) is smaller than that in the other methods (FIGS. 6 (a) and (c)). . In addition, in the method of the present invention, the rising angle of the metal vapor deposition layer in the adjacent portion adjacent to the margin portion is larger than that in other methods even though the amount of oil adhesion is small. The width W1 is approximately the same as that of the conventional method (FIG. 6A), and is sufficiently secured.
On the other hand, in the conventional method (FIG. 6A), the amount of oil deposited is larger than that in the method of the present invention (FIG. 6B), and the metal vapor deposition layer in the adjacent portion adjacent to the margin portion is increased. The rising angle is small. Further, in the conventional method (oil increase) (FIG. 6C), the margin width W2 is the largest and the amount of oil adhering is the largest.
Therefore, according to the method for producing a metallized film of the present invention, the amount of oil spray can be reduced, the rising angle of the metal vapor deposition layer can be increased, and the margin width can be minimized. Can be secured.

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は、上述した実施形態に限定されない。
図1(a)では、オイル蒸着工程において、オイル18Dをマージン部19の全域を覆うように蒸着させる場合について説明したが、オイル蒸着工程においてオイルを蒸着する範囲は、少なくともマージン部の略全域を覆う範囲であればよく、オイル蒸着工程のみによって、必ずしも、マージン部の全域にオイルを蒸着する必要はない。オイル蒸着工程およびオイル印刷工程を終えたときにオイルがマージン部の全域を覆っていればよい。
As mentioned above, although embodiment of this invention was described, this invention is not limited to embodiment mentioned above.
In FIG. 1A, the case where the oil 18D is vapor deposited so as to cover the entire area of the margin portion 19 in the oil vapor deposition process has been described. However, the oil is vapor-deposited in the oil vapor deposition process at least over substantially the entire margin area. It suffices to cover the oil, and it is not always necessary to deposit oil over the entire margin portion only by the oil deposition process. It is only necessary that the oil covers the entire area of the margin when the oil vapor deposition process and the oil printing process are completed.

すなわち、オイル蒸着工程では、オイル蒸着工程およびオイル印刷工程を終えたときにオイルがマージン部の全域を覆うように、オイルを蒸着すればよい。
例えば、オイル蒸着工程を行ってからオイル印刷工程を行う場合、オイル蒸着工程では、マージン部の縁部に、オイルが蒸着されていない領域があってもよい。オイル蒸着工程の後のオイル印刷工程において、該領域にオイルを印刷すれば、オイル蒸着工程およびオイル印刷工程を終えたときにオイルがマージン部の全域を覆うことになる。
一方、オイル印刷工程を行ってからオイル蒸着工程を行う場合、オイル蒸着工程を終えた時点で、オイルがマージン部の全域を覆っている必要がある。
That is, in the oil vapor deposition process, the oil may be vapor deposited so that the oil covers the entire area of the margin portion when the oil vapor deposition process and the oil printing process are completed.
For example, when the oil printing process is performed after the oil vapor deposition process, the oil vapor deposition process may include a region where no oil is vapor deposited at the edge of the margin portion. In the oil printing process after the oil vapor deposition process, if oil is printed in the region, the oil covers the entire margin portion when the oil vapor deposition process and the oil printing process are completed.
On the other hand, when the oil vapor deposition process is performed after the oil printing process is performed, it is necessary that the oil covers the entire area of the margin portion when the oil vapor deposition process is completed.

また、オイル蒸着工程においてオイルが蒸着される範囲は、マージン部と蒸着部との境界を越えて蒸着部に達していてもよい。ただし、オイルがマージン部を越えて蒸着部に達する範囲は、できるだけ狭い方が好ましい。オイルの付着量をできるだけ少なくすることにより、金属化フィルムの巻取り性を低下させることなく、金属化フィルムの滑り性を向上させることができるからである。   In addition, the range in which oil is deposited in the oil deposition step may reach the deposition section beyond the boundary between the margin section and the deposition section. However, the range where the oil reaches the vapor deposition part beyond the margin part is preferably as narrow as possible. It is because the slipperiness of the metallized film can be improved without reducing the winding property of the metallized film by reducing the amount of oil attached as much as possible.

オイルが印刷される範囲とオイルが蒸着される範囲との関係について、オイルが印刷される範囲は、図1(b)に示すように、オイルが蒸着される範囲の外縁であるか、またはオイルが蒸着される範囲の外側である。オイルが充分に蒸着される部分(例えば、図1に示すオイル18Dの中央部分)にオイルを印刷しても、金属蒸着層の立ち上がり角の増大に寄与しないからである。   Regarding the relationship between the range where oil is printed and the range where oil is deposited, the range where oil is printed is the outer edge of the range where oil is deposited, as shown in FIG. Is outside the range where is deposited. This is because even if the oil is printed on a portion where the oil is sufficiently deposited (for example, the central portion of the oil 18D shown in FIG. 1), it does not contribute to an increase in the rising angle of the metal deposition layer.

オイルを印刷する位置と、オイルを蒸着する位置との少なくとも一部が重複した場合、金属蒸着によって金属蒸着層から間隔(図1(c)に示すスリット19S)を空け、かつ金属蒸着層の縁に沿う突条部(図1(c)に示す突条部12)が形成される。   When at least a part of the position where the oil is printed and the position where the oil is deposited overlap, the metal deposition layer is spaced from the metal deposition layer (slit 19S shown in FIG. 1C), and the edge of the metal deposition layer Is formed (the protruding portion 12 shown in FIG. 1C).

オイルを印刷する位置(スリットを形成する位置)は、蒸着によるオイル付着が少なくなって蒸着金属が付着し始める位置、すなわち蒸着されるオイルの少なくとも一部が重複する位置であることが好ましい。   The position where oil is printed (position where slits are formed) is preferably a position where oil deposition due to vapor deposition decreases and vapor deposition metal begins to adhere, that is, a position where at least a part of the vapor deposited oil overlaps.

上述した実施形態では、金属蒸着層11がアルミニウムからなる場合について説明したが、本発明において、金属蒸着層の形成に用いられる金属は、この例に限定されず、例えば、亜鉛、ニッケル、銅またはこれらの合金等を挙げることができる。   In the embodiment described above, the case where the metal vapor deposition layer 11 is made of aluminum has been described. However, in the present invention, the metal used for forming the metal vapor deposition layer is not limited to this example. For example, zinc, nickel, copper, or These alloys can be mentioned.

オイル蒸着工程のオイルとしては、特に限定されず、例えば、シリコーン系オイル、フッ素系オイル等を挙げることができる。シリコーン系オイルとしては、例えば、ジメチルポリシロキサン、メチルフェニルポリシロキサン等を挙げることができる。フッ素系オイルとしては、例えば、パーフルオロオレフィン、パーフルオロアルキルポリエーテル等を挙げることができる。   The oil in the oil vapor deposition step is not particularly limited, and examples thereof include silicone oil and fluorine oil. Examples of the silicone oil include dimethylpolysiloxane and methylphenylpolysiloxane. Examples of the fluorinated oil include perfluoroolefin and perfluoroalkyl polyether.

また、オイル印刷工程のオイルとしては、特に限定されず、例えば、上述したオイル蒸着工程において使用され得るオイルを挙げることができる。オイル蒸着工程とオイル印刷工程とで同じオイルを用いてもよく、異なるオイルを用いてもよい。   Moreover, it does not specifically limit as oil of an oil printing process, For example, the oil which can be used in the oil vapor deposition process mentioned above can be mentioned. The same oil may be used in the oil vapor deposition step and the oil printing step, or different oils may be used.

上述した金属化フィルムを用いることにより、本発明の金属化フィルムコンデンサを製造することができる。本発明の金属化フィルムコンデンサは、本発明の金属化フィルムが巻回または積層されて用いられるものであるが、その点を除けば、従来公知の構成を採用することができ、従来公知の方法により製造することができる。   By using the metallized film described above, the metallized film capacitor of the present invention can be manufactured. The metallized film capacitor of the present invention is used by winding or laminating the metallized film of the present invention. Except for this point, a conventionally known configuration can be adopted, and a conventionally known method is used. Can be manufactured.

なお、本発明は、上述した例に限定されるものではなく、本発明の構成を充足する範囲内で、適宜設計変更を行うことが可能である。   Note that the present invention is not limited to the above-described example, and it is possible to make design changes as appropriate within a range that satisfies the configuration of the present invention.

10 金属化フィルム
11 金属蒸着層
11S 傾斜部
11T 先端部
12 突条部
18 オイル
18a 凸部
18D (蒸着された)オイル
18P (印刷された)印刷オイル
19 誘電体フィルム
19a (誘電体フィルム19の)表面
19D 蒸着部
19M マージン部
19S スリット
20 オイル噴射ロール
21 オイル印刷ロール
21a 凸状部(ロール円筒軸方向)
21a 凸状部(ロール周方向)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Metallized film 11 Metal vapor deposition layer 11S Inclination part 11T Tip part 12 Projection part 18 Oil 18a Protrusion part 18D (Deposited) Oil 18P (Printed) Printing oil 19 Dielectric film 19a (Dielectric film 19) Surface 19D Vapor deposition part 19M Margin part 19S Slit 20 Oil injection roll 21 Oil printing roll 21a Convex part (roll cylindrical axis direction)
21a Convex part (roll circumferential direction)

Claims (4)

誘電体フィルムの表面に、金属蒸着層が形成される蒸着部と、該蒸着部に隣接するマージン部とを有する金属化フィルムの製造方法であって、
オイルを蒸発させて前記誘電体フィルムの表面に付着させ、マージン部を形成するオイル蒸着工程と、
前記マージン部上で該マージン部の縁に沿って、オイルを印刷するオイル印刷工程と、
前記オイル蒸着工程および前記オイル印刷工程の後に金属蒸着を行うことにより、前記蒸着部に前記金属蒸着層を形成する金属蒸着工程と、
を含むことを特徴とする金属化フィルムの製造方法。
A method for producing a metallized film having a vapor deposition portion where a metal vapor deposition layer is formed on a surface of a dielectric film, and a margin portion adjacent to the vapor deposition portion,
An oil vapor deposition step of evaporating oil to adhere to the surface of the dielectric film and forming a margin;
An oil printing step of printing oil on the margin portion along an edge of the margin portion;
A metal vapor deposition step of forming the metal vapor deposition layer on the vapor deposition portion by performing metal vapor deposition after the oil vapor deposition step and the oil printing step;
The manufacturing method of the metallized film characterized by including.
前記オイル印刷工程においてオイルを印刷する位置は、前記オイル蒸着工程においてオイルを付着させる領域の外縁位置と重複していることを特徴とする請求項1に記載の金属化フィルムの製造方法。   2. The method for producing a metallized film according to claim 1, wherein a position where the oil is printed in the oil printing process overlaps with an outer edge position of a region where the oil is deposited in the oil vapor deposition process. 誘電体フィルムの表面に、金属蒸着層が形成される蒸着部と、該蒸着部に隣接するマージン部とを有する金属化フィルムにおいて、
前記金属蒸着層は、前記マージン部と隣接する隣接部分に前記マージン部に近づくにつれて厚みが減少する傾斜部を備え、
前記傾斜部の幅は、1〜100μmであり、
前記マージン部には、前記金属蒸着層から離間するとともに前記金属蒸着層の縁に沿った突条部が形成されていることを特徴とする金属化フィルム。
In a metallized film having a vapor deposition portion where a metal vapor deposition layer is formed on the surface of the dielectric film, and a margin portion adjacent to the vapor deposition portion,
The metal vapor deposition layer includes an inclined portion whose thickness decreases as it approaches the margin portion in an adjacent portion adjacent to the margin portion,
The inclined portion has a width of 1 to 100 μm,
Wherein the margin, metalized film characterized that you ridges along the edge of the metallized layer with away from the metal vapor deposition layer is formed.
請求項3に記載の金属化フィルムが巻回または積層されてなるコンデンサ素子が用いられていることを特徴とする金属化フィルムコンデンサ。   A capacitor element formed by winding or laminating the metallized film according to claim 3 is used.
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