JP5362285B2 - 吸着ロール - Google Patents

Description

本発明は、薄い帯状の有機物フィルムや金属箔など、繊細な取り扱いが必要なウェブを吸着状態で搬送案内、各種処理をするための吸着ロールに関する。

ウェブを吸着状態で搬送案内する吸着ロールとしては、吸着ロールの内部を減圧状態にして、そこから連通した吸着ロール表面に設けた多数の穴を用いて吸着を行なう「スルーホール型」が一般的である。特許文献１にはこのスルーホール型の吸着ロールが示されている。スルーホール型は、ウェブがホール部と接する部分が凹になり、その周囲は引っ張られることになるために、皺も生じやすく、ウェブに処理をすることに適していない。

特許文献２には吸着ロールのウェブに接する部分の一部に多数の多孔質セラミックスを埋設したロールが示されている。この技術は、吸着ロールの長方向にウェブが揃うように提案されたものである。多孔質セラミックスの部分と吸着ロール本体の金属部分は材質も面粗度も異なるために、均一な吸着や、多孔質セラミックス面からの転写により、ウェブ表面の凹凸をなくすことはできない。また、代表図面の２７，２８に示されるような、吸着ロールの一部分だけを吸着する機構が必要となる。これは、吸引に必要としない部分の多孔質セラミックスからの空気の流入（リーク）が大きいために必要な機構であり、費用もかさむ。

特許文献３にはロール表面に多孔質セラミックスを溶射にて形成し、さらにその上から樹脂製の膜を形成したロールである。この発明は、多孔質セラミックスがロール表面に形成されるものの、ロール内部から吸着するわけではなく、溶射で形成された面は面粗さも十分低いとはいえない。

特開平０５−２６２４４５号公報 特開２００４−２６３４８号公報 特開平０８−１２１５１号公報

近年、吸着ロールを用いての送りの状態にて、ウェブへの印刷、塗布、転写、検査などの処理を行なう装置は増加傾向にある。例として図２中のＡで示す箇所に、前記処理を行なうための装置を設置して、吸着ロールに吸着されている部分のウェブに処理を行なう、または検査するものである。
近年、前記処理の精度、均一性は大幅な改善が求められている。先行文献に示されている技術では、ウェブを吸着されている面と考えた場合に、その中でのロール材質の違いや、スルーホール部分の存在により、ウェブが均一に吸着され、搬送案内や各種処理をすることは難しく、従来技術ではいずれも解決することができない。
本発明が解決しようとする課題は、吸着ロールを改善することにより、ウェブの吸着、搬送案内、処理において、ウェブを極めて均一に平滑性を保った状態とすることである。

吸着ロールを一定の連通した微細開気孔を持つ筒状多孔質セラミック焼結体とすることにより、前 記課題を解決した。またウェブと接する面の面粗度を十分低くすることができ、スルーホールタイプのような大きな凹凸が無いために、ウェブを均一な状態で保持、搬送、処理をすることができる。
本発明はロール内部を大気圧以下に減圧することによりロール表面で帯状のウェブを吸着して搬送案内する吸着ロールであって、少なくとも帯状のウェブと接する部分が筒状多孔質セラミック焼結体からなる吸着ロールである。ウェブと接する 部分が筒状多孔質セラミック焼結体であり、ウェブと接する微細気孔のすべてから均等に吸着ができるために、送り中のウェブを均一な状態で送ることが可能に なる。このことは、一部を多孔体で製作したロールや、スルーホールタイプの吸着ロールでは不可能であった。また、セラミック質であるために、長期に渡る使用でも磨耗や腐食の影響がほとんどない。さらに、高温中の用途でもセラミックスは耐熱性に優れるために好適する。

吸着ロールはロールの半径と前記筒状多孔質セラミック焼結体の厚さの比が１０以上であり、かつ、筒状多孔質セラミック焼結体の厚さが０．５ｍｍ以上であることが好ましい。筒状多孔質セラミック焼結体で内部の減圧によりウェブを吸着する場合は、その厚さが厚いほど吸着力は下がり、逆に薄ければ吸着力は上がる。吸着ロール半径と筒状多孔質セラミック焼結体の比を１０以上とし、筒状多孔質セラミック焼結体の厚さを一定以下の厚さとする ことにより、微細気孔を有する筒状多孔質セラミック焼結体で十分な吸引力が得られる。比が１０未満であれば、吸着力が落ちる場合がある。また、厚さが０．５ｍｍより薄い場合は筒状多孔質セラミック焼結体の製造が難しくなるばかりでなく、剛性がそれに応じて下がるために破損しやすい。そのために少なくとも０．５ｍｍ以上の厚さがより望ましい。

前記筒状多孔質セラミック焼結体の少なくともウェブと接する部分の面粗さは、算術平均粗さＲａが１．５μｍ以下かつ最大高さＲｚが１５μｍ以下である前記吸着ロールであることが特によい。ウェブを吸着し、その面を平滑かつ均一に保つためには、中心線平均粗さＲａが １．５μｍ以下、最大面粗さＲｚが１５μｍ以下とすることにより、よりその効果が高まる。これは、ウェブの厚さが薄くなると、吸着時の吸着ロールの面状態がウェブに転写されるために、十分低い面粗さが必要となるためである。薄いフィルムを吸着する場合はＲａが１．５μｍ以下でＲｚ１５μｍ以下が望ましい。なお、前記ＲａおよびＲｚの値は、ＪＩＳ規格２００１年度版に準じた値である。

また、筒状多孔質セラミック焼結体の少なくともウェブと接する外周部の平均気孔径が
２μｍ以下（０は含まず）で気孔率が１５〜４０％であり、気孔により少なくとも外周面と内周面で通気可能である前記吸着ロールであることが好ましい。多孔質セラミックス焼結体の気孔率は、１５％未満であれば、連続した開気孔が得るのが難しく、吸着力を上げるためには、より性能の高い真空ポンプなどが必要となる。反対に４０％よりも大きければ、ウェブと接していない部分からの圧力のリークが起こりやすくなり、吸着面の外周面に対する面積比率を、一定以上に高くする必要が生じる。また、筒状多孔質セラミック焼結体は、連続した開気孔が焼結体全体に均一に存在することにより、表面全体を均等に吸着することができる。また、この場合の平均気孔径が２．０μｍ以下と十分に小さい場合は、表面全面にウェブを吸着した状態でなくとも、たとえば表面積の１／１０程度の面積を吸着した場合においても、それ以外の部分からのリークが極めて少なく、ほとんど無視できる。一般に、吸着ロールの場合は筒状多孔質セラミック焼結体表面積の１／３〜１／２程度の面積にウェブが吸着されるために、十分な吸着力が確保できる。これが平均気孔径が２．０μｍを越えると、ウェブを吸着していない部分からのリークが起こるために、十分な吸着力を得るのが難しくなる。なお、前記平均気孔径および気孔率は水銀圧入法にて測定した値である。

前記筒状多孔質セラミック焼結体の材質はアルミナ、ジルコニア、シリカ、炭化珪素、イットリア、マグネシア、炭化チタン、窒化チタン、炭化チタン、炭化タングステン、窒化珪素、窒化アルミのいずれか１種または２種以上を基とするセラミックスより選択できる。これらのセラミックスは入手の容易さ、製造費用の低さ、剛性、耐摩耗性、耐食性、耐熱性などの観点より、本発明の吸着ロールの筒状多孔質セラミック焼結体に用いるのに特に適している。製造については、原料粉末に有機物を分散させて焼結する方法や、完全に緻密化が起こらないように原料粉末、組成、焼結温度などを調整することなどがあげられる。

また、筒状多孔質セラミック焼結体の筒内に、略円筒状の補強体が嵌合し、筒状多孔質セラミック焼結体の内周部と補強体の外周部とが一体に接合されている前述の吸着ロールはより望ましい。また、さらに本発明は補強体の材質が筒状多孔質セラミック焼結体よりも気孔率または平均気孔径の少なくとも一方、もしくは両方が高い多孔質セラミック焼結体前記吸着ロールとすることが特に好ましい。これまでに述べてきた筒状多孔質セラミック焼結体の厚さが、吸引力の必要性、ロールの大きさ、剛性、製造費用、設計の面などから十分な強度が得られない場合に用いることができる。筒状多孔質セラミック焼結体の内面（ロールの中心）側に略円筒状の補強体を設けることにより、その欠点を解消することができる。この模式図を図１に示す。略円筒状の補強体には、減圧をウェブと接する面まで伝えるための溝や切欠部分を設けるか、補強体そのものを多孔質体とすることにより、負圧をウェブとの接触面まで及ぼすことができる。補強体そのものを多孔体質とする場合は、筒状多孔質セラミック焼結体よりも、少なくとも気孔率か平均気孔径のいずれかが大きい、できれば両方が大きい材質が好ましい。このことにより、補強体を流れる気体の流量が筒状多孔質セラミック焼結体よりも大きくなるために、溝や切 欠部分を設けることなく、内部の加減圧が支障なく筒状多孔質セラミック焼結体まで伝わる。気孔率も平均気孔径も筒状多孔質セラミック焼結体より小さい材質を補強体とした場合は、図１に示すように溝や切欠部分を設ける必要がある。
前記補強体の熱膨張係数と前記筒状多孔質セラミック焼結体の熱膨張係数との差が１．０×１０^６（Ｋ^−１）以下であることが望ましい。使用温度が常温でない場合や、環境によって変化する場合、筒状多孔質セラミック焼結体と補強体はその熱膨張係数の差によっては、接合が外れたり、応力により破壊したりする。本発明のように熱膨張係数の差を１×１０^−６（Ｋ^−１）以下と小さい組合せにすることにより、これらの不具合は起こりにくくなる。

前記補強体を用いる場合は、補強体の材質が筒状多孔質セラミック焼結体と同種のセラミックスを基とすることが望ましい。筒状多孔質セラミック焼結体と補強体が同種のセラミックス基で製作することにより、両者の熱膨張差をより小さくすることができる。熱膨張差が小さければ、常温以外の環境下で使用した場合でも、両者の剥離や破損、変形などをより抑えることが可能である。
例としては、たとえば筒状多孔質セラミック焼結体が微細で連通した開気孔を持つアルミナセラミックスと、補強体である緻密なアルミナセラミックスと組み合わせたり、筒状多孔質セラミック焼結体を微細な気孔を有する炭化珪素セラミックスとし、補強体が比較的大きな連通した気孔を有する多孔質炭化珪素セラミックスという組み合わせなども可能である。
また前記一体に接合する方法では、ガラス系または有機物系いずれかの接着剤にて接着することが望ましい。筒状多孔質セラミック焼結体と補強体とを一体とするには、焼きば め、冷やしばめ、一体焼結、拡散接合などの手段が取れるが、最も適しているのはガラス系、セラミック系または有機物系の接着剤を使った一体化である。他の方法と比較して、一体化工程での失敗が少なく、費用面や製造のしやすさでも最も好ましい。また、使用上では使用温度がたとえば２００℃と高い場合でも、ガラス系の接着剤や高温まで使用できる有機物系の接着剤であれば使用することができる。

前記補強体は、円筒形状の一部を削り取った形状であり、その削り取った部分の少なくとも一部が、ロール内部の減圧を筒状多孔 質セラミック焼結体のウェブと接する部分に及ぼし吸着する経路の一部であることが望ましい。補強体に緻密質の 材料を使った場合は、略円筒状の補強体をたとえば図１に示すように外周部を一部削り取り、スリットを入れることにより、ロール内部から筒状多孔質セラミック焼結体のウェブと接する面に負圧を及ぼすことができる。

ウェブを吸着して搬送案内する吸着ロールに、本発明の吸着ロールを用いることにより、下記１．〜３．の少なくとも1つの課題を解決できる。

１．吸着した部分のウェブ全体を均一に吸着することができる。そのために、ウェブに皺が生じたり、変形するといった問題が解決できる。また、吸着するウェブがロールの表面をすべて覆う必要がなく、ウェブ形状や吸着形態の自由度が高い。
２．従来の多孔質セラミックを用いた吸着ロールなどと比較して、吸着ロール表面の面粗さを低くすることができる。そのため、吸着面の凹凸（面粗度）が、ウェブに転写される現象を、小さく抑えることができる。
３．前記１及び２の特徴より、ウェブの吸着、送りの際に変形が無く、面粗度もよく均一な吸着ができる。そのために、吸着、搬送案内の際に印刷、光学的な検査、塗布、転写などの処理を高品位にて行なうことができる。

本発明を実施するための最良の形態を以下に示す。
まず、吸着部および補強体以外の端部５は、図３を用いて説明するが、鉄材をはじめとする金属材料やセラミック材料にて製作することができる。その際には図４のように両端が一体化している構造も含めて、一般的な形態で製作すればよい。
ロールの内部を負圧とすることに関しては、従来用いられている一般的な方法をいずれも用いることができる。代表的な形態としては図３〜図６に示すように、ロールの中心部付近の空孔部分から、ロールの端部の任意の位置に、真空ポンプなどの減圧装置で内部の気体が移動できる状態に設ければよい。

筒状多孔質セラミック焼結体の端部への固定は、接着剤による固定、ボルト締めなどの機械的手段による固定など、特に制限はない。端部と筒状多孔質セラミック焼結体が使用中に動かないよう固定されていれば問題ない。

筒状多孔質セラミック焼結体は図７に示すような筒状のものを用いる。筒状多孔質セラミック焼結体を得るには、まずセラミックスの原料粉末と成形用バインダーとを乾式または湿式にて混合し、所望の粉末を得た上で、円筒状に成形する。この成形は、円柱状の中芯の周りに粉末をつめてラバープレスまたは冷間静水圧プレスすることにより得られるが、このほかに押し出し成形を行なうことができる。形状によっては金型プレスでもよい。
次に、プレス体に中間加工を施した後、脱脂、焼結を行なう。脱脂は前記成型用バインダーを除去するためであり、脱脂だけを行なってその後に焼結を行なっても、脱脂と焼結を連続的に行なってもどちらでもかまわない。そのセラミック材料に合わせた焼結温度で焼結を行なう。
得られた焼結体を、所望の形状、寸法となるように機械加工を行なう。外径、内径、端部と大きく分けて３箇所の加工が必要となるが、これらは円筒研削盤、内面研削盤、平面研削盤、マシニングセンタなど各種の加工機械にて行なう。この際に、外形は所望の寸法より若干大きめに仕上げておく。
次に、別に準備したロール端部の部材と、筒状多孔質セラミック焼結体を一体化する。このロール端部の部材は、負圧を生じさせる真空ポンプなどとロール中央部を接続するための部分を少なくとも一箇所含む。一体化にはどのような方法も取れるが、筒状多孔質セラミック焼結体端部およびその周辺を接着剤による固定を行なうか、またはボルトなどを使って機械的に固定してもよい。

最後に、ロール端部部材などの部材と一体化した後に、ロール全体を回転させながら、筒状多孔質セラミック焼結体外周部分の研削加工を行なう。こうすることにより、ロール全体と筒状多孔質セラミック焼結体の真円度、円筒度および同軸度を十分高くすることができる。

前記補強体を別に用いる場合には、若干工程が異なる。筒状多孔質セラミック焼結体の内面研削を行った後に、別に準備しておいた補強体と一体化する工程が増える。一体化には焼きばめ、冷やしばめ、拡散接合、一体焼結などの手段をとることができるが、接着剤にて一体化する方法が最も簡単に行なうことができる。

一体化した後に、筒状多孔質セラミック焼結体と合わせて端部や内面の加工を行なう。この後は補強体を用いない場合と同様である。

以下実施例において、発明の具体例を数例示すが、製造方法や使用方法などについては、これらに限定されるものではない。

（実施例１）
１．筒状多孔質セラミック焼結体の製造
原料粉末として０．２５％のマグネシア成分を含むアルミナ粉末を２種用意した。それぞれの平均粒子径は（ａ）２μｍと（ｂ）０．３μｍである。

これらの粉末を（ａ）が８０質量％、（ｂ）が２０質量％の比率で、メタノールを溶媒と成型用バインダーであるポリエチレングリコールをボールミルにて均一に混合し、混合粉末を得た。乾燥後に、ゴム袋に鋼鉄の中芯と、その回りに前記混合粉末を充填し、密封した後に冷間静水圧プレス成形を行い、円筒状のプレス体を得た。

プレス体を脱脂、焼結兼用炉に投入し、大気雰囲気にて１、４００℃にて脱脂、焼結を行なった。焼結体を観察したところ、微細な開気孔が均一に存在していた。気孔を測定したところ、平均気孔径は０．５μｍであった。また、気孔率は２０％であった。

この焼結体の端面、内面、外面をそれぞれ円筒研削盤、内面研削盤、円筒研削盤を用いて所望の円筒形状のアルミナ基の多孔質セラミック焼結体を得た。
２． ロールの端部
前記１．とは別に図３の５に示すように、クロムモリブデン鋼でロールの端部の部材を準備した。部材には一箇所の真空引き用の穴６を設けた。
３． 組み立て
前記１．及び２．にて準備した筒状多孔質セラミック焼結体１およびロール端部の部材５をエポキシ系の接着剤にて、筒状多孔質セラミック焼結体の端部をロール端部の部材に接着した後に１日間乾燥させた。両者は強固に一体化しており、模式図３に示す吸着ロールを得た。この後、一体化した状態で円筒研削盤にて筒状多孔質セラミック焼結体の外周部を仕上げ研削し、本発明の吸着ロールを得た。この吸着ロールをＮｏ．１とした。

本発明の吸着ロールに対する比較用のロールとして、多数の０．５ｍｍのスルーホールを表面からロール内面に設けた「スルーホール」タイプの吸着ロールを用い、これをＮｏ．１１とした。

また、金属ロール表面に多数の多孔質セラミックス（アルミナを使用）を設けた特許文献２に相当するロールをＮｏ．１２とした。

Ｎｏ．１、Ｎｏ．１１およびＮｏ．１２のロールを用いて、図２に示すように、厚さ０．０２５ｍｍのポリイミドをウェブ９として、吸着、搬送案内中に別のロールによるポリイミドへの金属含有インクでパターン印刷処理を行なった。この場合の図２中のＡで示される部分には、印刷用のロールが入る。この印刷の形態を図８に示す。

本発明のＮｏ．１のロールは、全体を均一に保持するために、印刷されたパターンに不具合はなく、正確なパターン印刷を長時間にわたり変わらず得ることができた。

比較例であるＮｏ．１１のロールは、スルーホールにあたる部分を中心に印刷に数〜１０μｍ程度のパターンのゆがみが発生しており、高精度な印刷には適していないことが分かった。スルーホールの周辺はスルーホールに引き込まれて引っ張られるために、このゆがみが起こったと考えられる。

同じく比較例であるＮｏ．１２では、多孔質セラミックスに吸引されている部分と、そうでない部分にウェブの進行方向に波打ったような印刷ムラが見られた。これは、多孔質セラミックに吸着されている部分がそうでない部分を引っ張るために起こったと考えられる。

（実施例２）
吸着ロールの半径及び、筒状多孔質セラミック焼結体の厚さを以下の表1に示すよう設定し、ロールを得た。筒状多孔質セラミック焼結体の材質はすべてアルミナ−２０質量％炭化チタンとした。いずれも気孔率は４０％、平均気孔径は２μｍである。

ロール端部の部材や他の寸法は同じ条件であり、ロールの半径と筒状多孔質セラミック焼結体の厚さの設定を表１に示す。これらのロールを用いて厚さ１０μｍの金箔を吸着、搬送案内し、その吸着状態を調べた。

表１の結果に示すように、ロールの半径と筒状多孔質セラミック焼結体の厚さの比が１０以上であるロールＮｏ．２、Ｎｏ．３、Ｎｏ．４、Ｎｏ．６、Ｎｏ．７は良好な吸着力が得られた。

これに対して、その比が１０未満であるロールＮｏ．５は、筒状多孔質セラミック焼結体の厚さが厚いために、吸着力は吸着、搬送案内可能な程度ではあったものの、他のロールには及ばなかった。

また、筒状多孔質セラミック焼結体の厚さが、１ｍｍより薄いロールＮｏ．２については、吸着状態は良好であったが、薄いために製造時に割れや欠けが起こりやすく、それを解消するために加工能率を落として加工する必要があった。製造費用の面では１ｍｍ以上のものが安価に製作可能であった。

（実施例３）
本発明の、筒状多孔質セラミック焼結体を気孔率が１５％で外周表面の開気孔の平均気孔径が０．４μｍである窒化珪素とした吸着ロールを製作した。筒状多孔質セラミック焼結体のウェブを吸着する部分の面粗さを加工時の砥石の番手などを変えることによって表２に示すよう、それぞれに変えて試験を行なった。この吸着ロールにて、ポリエチレン系で厚さ１０μｍのウェブを吸着、送り中に図９に示すような形態でスクリーン印刷処理を行なった。棒状の塗布工具１０は、先端から速乾性のスラリー１１がウェブの幅方向に対して均等に出てくるようにしてある。

乾燥後のウェブを細かく切り、ＡＦＭ（原子間力顕微鏡）にて表面の状態を観察した。

表２に示す結果のように、中心線平均粗さＲａ≦１．５μｍ、最大高さＲｚ≦１５μｍの吸着ロールがムラの見られない、良好な塗布が行なえることがわかった。面粗さがこれよりも大きいと、筒状多孔質セラミック焼結体の表面の凹凸が、ウェブにも転写されることで、塗布後のウェブの状態に差ができたと考えられる。
本発明の吸着ロールで請求項３の条件を満たすものは、極めて微小な面の状態を制御したい場合に特に有効であった。ただし、一般的な精度の塗布や印刷の場合は試料Ｎｏ．２８、Ｎｏ．２９程度でも使用に問題ない場合が多い。

（実施例４）
実施例１では０．２５％のマグネシア成分を含むアルミナを筒状多孔質セラミック焼結体として用いたが、請求項５に示すいずれのセラミック材料（アルミナ、ジルコニア、シリカ、炭化珪素、イットリア、マグネシア、炭化チタン、窒化チタン、炭化タングステン）でも、気孔の状態を制御することにより同様の吸着ロールを得ることができた。

（実施例５）
アルミナ基の筒状多孔質セラミック焼結体１の厚さを１ｍｍとし、その内面側に補強体２を一体に接合した吸着ロールを製作した。アルミナ基の筒状多孔質セラミック焼結体１の気孔率は３０％、平均気孔径は１．０μｍである。この模式図を図１に示す。
補強体２として用いたのは円筒状の緻密質（密度９９％）のアルミナ焼結体であり、その外形は筒状多孔質セラミック焼結体１の内径より２０μｍ小さくした。この円筒状の補強体の外周にあたる部分は、一部を除いて研削にて削り取り、各角に円弧が残った５角筒形状とし、さらに内面からの減圧を筒状多孔質セラミック焼結体に伝達できるように、内面から外面まで複数のスリット１３を設けた。この補強体の５つの円弧１２にそれぞれに有機接着剤を塗布し、筒状多孔質セラミック焼結体１の内面に接着し、乾燥した。
一体化したものに、焼入れ鋼製の端部をさらに接着することにより、補強体を有する吸着ロールを得た。
補強体を有する吸着ロールの利点を以下に示す。
１．補強体により補強されているために、吸着ロールに生じるたわみなどの変形が少ない。そのために、吸着ロールが長い場合でも、たわみを最小限に抑えることができる。また、補強があるために、更なる吸着力を必要とする場合などは、筒状多孔質セラミック焼結体を薄くすることも可能となる。
２．補強体と筒状多孔質セラミック焼結体の熱膨張係数が小さいために、温度変化などによる変形や破壊が起こらない。本実施例では筒状多孔質セラミック焼結体の熱膨張係数は７．５×１０^−６（Ｋ^−１）であり、補強体のそれは７．４×１０^−６（Ｋ^−１）とほぼ同じであった。そのために、吸着ロールの焼入れ鋼端部が温度変化により収縮するのを妨げ、熱膨張差によって生じる変形や筒状多孔質セラミック焼結体の割れを大幅に緩和することができる。逆に熱膨張差が１．０×１０^−６（Ｋ^−１）以上と大きくなれば、補強体と筒状多孔質セラミック焼結体の熱膨張差により、両者の分離や、筒状多孔質セラミック焼結体の割れなどにつながるために、熱膨張差は１．０×１０^−６（Ｋ^−１）以下がより望ましい。
３．補強体は緻密質のセラミックスも用いることができるために、曲げやねじれなどの応力から筒状多孔質セラミック焼結体を保護するのが容易になる。

また、この実施例では補強材を５角筒に削り取ったが、筒状多孔質セラミック焼結体と十分に接着できる形状であれば、どのような削り取り方をしてもかまわない。

（実施例６）
実施例５と同様に、アルミナ基の筒状多孔質セラミック焼結体１の厚さを１ｍｍとし、その内面側に補強体２を一体に接合した吸着ロールを製作した。アルミナ基の筒状多孔質セラミック焼結体１の気孔率は３０％、平均気孔径は１．０μｍである。
この場合の補強体は円筒状の多孔質アルミナ焼結体２２であり、この模式図を図１０に示す。補強体の気孔率は５０％で、平均気孔径は１０μｍであった。補強体のほうが気孔率、平均気孔径ともに高い。補強体内部の３より減圧を行なうことにより、筒状多孔質セラミック焼結体１は表面にウェブを良好に吸着することができた。
この場合は、緻密質セラミックスを用いた場合と異なり、外形の一部を削り取ることや、溝入れも省くことができる。

本発明の吸着ロールの断面を示す模式図 ウェブを吸着ロールにて吸着、搬送案内する模式図 本発明の吸着ロールの一模式図（補強体無し） 本発明の吸着ロールの一模式図（真空引きを端部の部材より行なう場合、補強体あり） 本発明の吸着ロールの一模式図（真空引きをスペーサを用いて、端部のリング状のスリットより行なう場合、補強体あり） 本発明の吸着ロールの一模式図（真空引きを端部の部材より行なう場合） 本発明の吸着ロールに使用する筒状多孔質セラミック焼結体 ロールを用いてウェブを印刷する模式図 塗布工具にてウェブにスラリーを塗布する模式図 本発明の吸着ロールの断面を示す模式図（補強体に多孔質セラミックスを使用）

符号の説明

１ 筒状多孔質セラミック焼結体
２ 補強体
３ ロール内部の空間
４ 円筒状の補強体を削った部分
５ ロール端部
６ 真空引き経路
７ ウェブの進行方向を変えるローラー
８ 印刷用ロール
９ ウェブ
１０ 塗布工具
１１ 塗布されるスラリー
１２ 接着部
１３ 真空引き経路となるスリット
１４ リング状のスリット（６と常時連通している）
１５ 印刷されたウェブの部分
２２ 補強体（多孔質セラミックス）
１００ 吸着ロール全体
Ａ ウェブを処理する機構が設置される場所

Claims (6)

1. ロール内部全体を大気圧以下に減圧することによりロール表面で帯状のウェブを吸着して搬送案内する吸着ロールであって、
   少なくとも帯状のウェブと接する部分が筒状多孔質セラミック焼結体からなり、
   前記筒状多孔質セラミック焼結体の少なくともウェブと接する外周部の平均気孔径が２μｍ以下（０は含まず）で気孔率が１５〜４０％であり、
   前記多孔質セラミックス焼結体はアルミナ、ジルコニア、炭化珪素、マグネシア、炭化チタン、窒化チタン、炭化チタン、炭化タングステン、窒化珪素、窒化アルミのいずれか１種または２種以上を基とするセラミックスであり、
   前記筒状多孔質セラミック焼結体端部に前記筒状多孔質セラミック焼結体とともに回転
   する端部部材を有し、
   ロールの回転中心付近にロール内部減圧用の通路を有する吸着ロール。
2. ロールの長さ方向に貫通する部材をロールの回転中心にさらに有し、
   前記筒状多孔質セラミック焼結体の筒内で前記筒状多孔質セラミック焼結体の内周部と補強体の外周部とが一体に接合されており、
   前記補強体の材質が前記筒状多孔質セラミック焼結体と同種のセラミックスを基とする材料である請求項１に記載の吸着ロール。
3. 前記帯状のウェブの厚さが２５μｍ以下である請求項１または請求項２に記載の吸着ロール。
4. 前記ロール内部減圧用の通路が、前記ロールの長さ方向に貫通する部材に設けられた請求項１から請求項３のいずれかに記載の吸着ロール。
5. 前記ロール内部減圧用の通路が、前記端部部材の回転中心部に設けられた請求項１から請求項３のいずれかに記載の吸着ロール。
6. 前記筒状多孔質セラミック焼結体の少なくともウェブと接する部分の面粗さが、算術平均粗さＲａが１．５μｍ以下かつ最大高さＲｚが１５μｍ以下である請求項１から請求項５のいずれかに記載の吸着ロール。

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