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JP5370118B2 - Information recording apparatus and light beam generating apparatus - Google Patents
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide high-reliability devices capable of acquiring composite light which has sufficiently high intensity, in an information recording device and an optical-beam generating device which uses a light generated by combining a plurality of light beams with one another. <P>SOLUTION: The information recording device includes a light source 190, and a thermally assisted magnetic head 110. Each component and a function are described, as in the following section. The light source 190 includes a plurality of light-emitting parts for emitting light beams with differing frequencies, and a minimum frequency difference &Delta;f among a plurality of light beams emitted from the plurality of light-emitting parts is set larger than a recording frequency fm, corresponding to the shortest recording length of an information recording medium 300. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&amp;INPIT

Description

本発明は、情報記録装置及び光ビーム生成装置に関し、より詳細には、複数の光を合波して一つの光ビームを生成する機能を有する情報記録装置及び光ビーム生成装置に関する。   The present invention relates to an information recording apparatus and a light beam generating apparatus, and more particularly to an information recording apparatus and a light beam generating apparatus having a function of combining a plurality of lights to generate one light beam.

従来、レーザ光を用いた種々の記録装置が開発されている。その中の一つに、熱アシスト磁気記録方式を用いた情報記録装置がある。   Conventionally, various recording apparatuses using laser light have been developed. One of them is an information recording apparatus using a heat-assisted magnetic recording system.

熱アシスト磁気記録方式は、HDD(Hard Disk Drive)への次世代の情報記録技術として注目されている。この方式では、磁性材料からなる記録層の所定領域に光を照射して加熱することにより記録層の保磁力を低下させ、その保磁力の低下した領域に磁界を印加して情報記録を行う。   The heat-assisted magnetic recording method is attracting attention as a next-generation information recording technology for HDD (Hard Disk Drive). In this method, a predetermined area of a recording layer made of a magnetic material is irradiated and heated to reduce the coercivity of the recording layer, and information recording is performed by applying a magnetic field to the area where the coercivity is reduced.

その熱アシスト磁気記録装置に対して用いる光源として、従来、VCSEL(Vertical Cavity Surface Emitting LASER:垂直共振器面発光レーザ)を用いた磁気記録装置が提案されている(例えば、特許文献1参照)。VSCELは、一般的なファブリペロー型レーザに比べて、消費電力が小さく且つレーザの寸法も小型であるだけでなく高速変調駆動が可能である。それゆえ、熱アシスト磁気記録装置の光源として、VCSELを用いた場合には、転送速度をより高速にすることができる。   As a light source used for the heat-assisted magnetic recording apparatus, a magnetic recording apparatus using a VCSEL (Vertical Cavity Surface Emitting LASER) has been proposed (for example, see Patent Document 1). VSCEL not only consumes less power and has a smaller laser size than a general Fabry-Perot laser, but also enables high-speed modulation driving. Therefore, when a VCSEL is used as the light source of the heat-assisted magnetic recording apparatus, the transfer speed can be further increased.

また、熱アシスト磁気記録装置以外で、レーザ光を用いる記録装置としては、例えば、レーザ光により所望の画像を記録紙上に記録するレーザビーム記録装置が従来提案されている(例えば、特許文献2参照)。   In addition to the heat-assisted magnetic recording apparatus, as a recording apparatus using laser light, for example, a laser beam recording apparatus that records a desired image on a recording paper using laser light has been proposed (for example, see Patent Document 2). ).

特許文献2では、画像記録信号によって強度変調された複数のレーザビームを記録紙上に照射して所望の画像を記録している。特許文献2で提案されている技術では、波長がある程度離れた複数のレーザ光源からの出射光を同一光学系で集光する。その際、各出射光の集光位置がずれることを利用して、スポットサイズの異なる複数の光の合成光を記録紙上に照射する。この場合、大きなスポットサイズの光の光エネルギーが小さいスポットサイズの光に加算され、小さいスポットサイズの光の光強度を増大させることができる。   In Patent Document 2, a desired image is recorded by irradiating a recording paper with a plurality of laser beams whose intensity is modulated by an image recording signal. In the technique proposed in Patent Document 2, light emitted from a plurality of laser light sources having wavelengths that are separated to some extent is collected by the same optical system. At that time, the combined light of a plurality of lights having different spot sizes is irradiated onto the recording paper by utilizing the fact that the condensing position of each outgoing light is shifted. In this case, the light energy of the large spot size light is added to the small spot size light, and the light intensity of the small spot size light can be increased.

特開2005−78689号公報JP 2005-78689 A 特開平06−234226号公報Japanese Patent Laid-Open No. 06-234226

上記特許文献1では、熱アシスト磁気記録装置において、光源にVCSELを用いる技術が提案されているが、VCSELの光出力は、ファブリペロー型レーザに比べて小さいので、熱アシスト磁気記録に必要な強度の光を安定して生成できない可能性がある。この問題を解決する方法として、上記特許文献2で提案されているように、複数の光を合波する方法が考えられる。   In the above-mentioned Patent Document 1, a technique using a VCSEL as a light source is proposed in a heat-assisted magnetic recording apparatus. However, since the optical output of the VCSEL is smaller than that of a Fabry-Perot laser, the intensity required for the heat-assisted magnetic recording. May not be able to generate stable light. As a method for solving this problem, as proposed in Patent Document 2, a method of multiplexing a plurality of lights is conceivable.

しかしながら、上記特許文献2に記載の技術を熱アシスト磁気記録装置に適用すると、スポット径の大きな光も記録媒体に照射されるので、不要な領域まで加熱することになる。この場合、エネルギー効率が悪くなるとともに、信頼性の低下という問題が生じる恐れもある。   However, when the technique described in Patent Document 2 is applied to a heat-assisted magnetic recording apparatus, light having a large spot diameter is also irradiated to the recording medium, and thus heating is performed to an unnecessary area. In this case, energy efficiency is deteriorated, and there is a possibility that a problem of reduced reliability may occur.

また、上記種々の問題を解決するために、同一波長の複数の光を合波する手法も考えられる。しかしながら、本発明者がそのような構成について様々な構成を検討したところ、実際には複数の光の波長を完全に一致させることは難しく、それにより安定した光強度を有する合波光を得ることが困難であることが分かった。   In order to solve the above various problems, a method of combining a plurality of lights having the same wavelength is also conceivable. However, when the present inventor examined various configurations for such a configuration, in practice, it is difficult to perfectly match the wavelengths of a plurality of lights, and thereby it is possible to obtain combined light having stable light intensity. It turned out to be difficult.

本発明は上記状況を鑑みなされたものである。本発明の目的は、複数の光を合波して生成された光を利用する情報記録装置及び光ビーム生成装置において、十分な光強度の合波光を得ることができ且つ信頼性の高い装置を提供することである。   The present invention has been made in view of the above situation. An object of the present invention is to provide an information recording apparatus and a light beam generating apparatus that use light generated by combining a plurality of lights, and capable of obtaining combined light with sufficient light intensity and having high reliability. Is to provide.

上記課題を解決するために、本発明の情報記録装置は、光源と、熱アシスト磁気ヘッドとを備える構成とし、各部の構成及び機能を次のようにする。光源は、互いに周波数の異なる光を射出する複数の発光部を有し、該複数の発光部からそれぞれ射出される複数の光間の最小周波数差Δfが情報記録媒体の最短記録長に対応する記録周波数fmより大きい。また、熱アシスト磁気ヘッドは、光源から射出された複数の光の合波光を用いて情報記録媒体に情報を熱アシスト磁気記録する。   In order to solve the above problems, an information recording apparatus of the present invention is configured to include a light source and a heat-assisted magnetic head, and the configuration and function of each unit are as follows. The light source has a plurality of light emitting portions that emit light having different frequencies, and the minimum frequency difference Δf between the plurality of lights respectively emitted from the plurality of light emitting portions corresponds to the shortest recording length of the information recording medium. Greater than frequency fm. The heat-assisted magnetic head performs heat-assisted magnetic recording of information on the information recording medium using the combined light of a plurality of lights emitted from the light source.

また、本発明の光ビーム生成装置は、光源と、光ビーム出射部とを備える構成とし、各部の構成及び機能を次のようにする。光源は、互いに周波数の異なる光を射出する複数の発光部を有し、該複数の発光部からそれぞれ射出される複数の光間の最小周波数差が最短発光時間に対応する周波数より大きい。また、光ビーム射出部は、光源から射出された複数の光を合波して、該合波した光ビームを射出する。   Moreover, the light beam generation apparatus of this invention is set as the structure provided with a light source and a light beam emission part, and the structure and function of each part are as follows. The light source includes a plurality of light emitting units that emit light having different frequencies, and a minimum frequency difference between the plurality of lights respectively emitted from the plurality of light emitting units is greater than a frequency corresponding to the shortest light emission time. The light beam emitting unit multiplexes a plurality of lights emitted from the light source and emits the combined light beam.

本発明の情報記録装置及び光ビーム生成装置では、上述のように、互いに周波数の異なる光を射出する複数の発光部を有する光源を備え、合波する複数の光間の最小周波数差を最短記録長(最短発光時間)に対応する周波数より大きくする。本発明によれば、光源をこのような構成にすることにより、十分な光強度の合波光を得ることができ且つ信頼性の高い装置を提供することができる。この効果が得られる原理については、後で詳述する。   As described above, the information recording apparatus and the light beam generating apparatus of the present invention include a light source having a plurality of light emitting portions that emit light having different frequencies, and records the minimum frequency difference between the plurality of lights to be combined in the shortest recording time. The frequency is set higher than the frequency corresponding to the long (shortest light emission time). According to the present invention, by configuring the light source in this way, it is possible to provide a highly reliable apparatus that can obtain combined light with sufficient light intensity. The principle of obtaining this effect will be described in detail later.

複数のコヒーレント光を合波した際に発生する低周波ノイズの問題を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the problem of the low frequency noise which generate | occur | produces when a some coherent light is combined. 複数のコヒーレント光を合波した際に発生する低周波ノイズの問題を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the problem of the low frequency noise which generate | occur | produces when a some coherent light is combined. 熱アシスト磁気記録時の記録光及び記録磁界の理想的な時間変化特性である。This is an ideal time-varying characteristic of recording light and recording magnetic field during heat-assisted magnetic recording. 低周波ノイズの影響がある場合における熱アシスト磁気記録時の記録光及び記録磁界の時間変化特性である。It is a time change characteristic of the recording light and the recording magnetic field at the time of thermally assisted magnetic recording when there is an influence of low frequency noise. 第1の実施形態に係る熱アシスト磁気記録装置の概略構成図である。1 is a schematic configuration diagram of a thermally-assisted magnetic recording apparatus according to a first embodiment. 第1の実施形態の熱アシスト磁気記録装置における浮上スライダヘッド付近の拡大側面図である。FIG. 3 is an enlarged side view of the vicinity of a flying slider head in the heat-assisted magnetic recording apparatus of the first embodiment. 第1の実施形態の熱アシスト磁気記録装置における熱アシスト磁気ヘッド付近の概略断面図である。FIG. 2 is a schematic cross-sectional view of the vicinity of a thermally assisted magnetic head in the thermally assisted magnetic recording apparatus of the first embodiment. 第1の実施形態の熱アシスト磁気ヘッドにおける記録光生成部の概略構成図である。FIG. 3 is a schematic configuration diagram of a recording light generation unit in the thermally-assisted magnetic head of the first embodiment. 第1の実施形態の熱アシスト磁気ヘッドにおける集光部の概略構成図である。It is a schematic block diagram of the condensing part in the heat-assisted magnetic head of 1st Embodiment. 第1の実施形態の熱アシスト磁気ヘッドにおける光射出部の概略構成図である。It is a schematic block diagram of the light emission part in the heat-assisted magnetic head of 1st Embodiment. 第1の実施形態の熱アシスト磁気記録装置における光源の一構成例を示す図である。It is a figure which shows the example of 1 structure of the light source in the heat-assisted magnetic recording device of 1st Embodiment. 変形例1の熱アシスト磁気ヘッドにおける集光部の概略構成図である。FIG. 10 is a schematic configuration diagram of a light condensing unit in a heat-assisted magnetic head of Modification 1; 変形例2の熱アシスト磁気ヘッドにおける記録光生成部の概略構成図である。FIG. 10 is a schematic configuration diagram of a recording light generation unit in a heat-assisted magnetic head according to Modification 2. 変形例3の熱アシスト磁気記録装置における光学系の概略構成図である。FIG. 10 is a schematic configuration diagram of an optical system in a heat-assisted magnetic recording apparatus of modification example 3. 変形例4の熱アシスト磁気記録装置における光学系の概略構成図である。FIG. 10 is a schematic configuration diagram of an optical system in a heat-assisted magnetic recording apparatus of modification example 4. 変形例5の熱アシスト磁気ヘッドにおける記録光生成部の概略構成図である。FIG. 10 is a schematic configuration diagram of a recording light generation unit in a heat-assisted magnetic head of Modification Example 5. 変形例6の熱アシスト磁気ヘッドにおける集光部の概略構成図である。FIG. 10 is a schematic configuration diagram of a light condensing unit in a heat-assisted magnetic head of Modification Example 6. 変形例7の熱アシスト磁気ヘッドにおける集光部の概略構成図である。FIG. 10 is a schematic configuration diagram of a light collecting unit in a heat-assisted magnetic head of Modification Example 7. 第2の実施形態に係る熱アシスト磁気記録装置の熱アシスト磁気ヘッド付近の概略構成図である。It is a schematic block diagram of the vicinity of the heat-assisted magnetic head of the heat-assisted magnetic recording apparatus according to the second embodiment. 第2の実施形態の熱アシスト磁気ヘッドにおける集光動作を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the condensing operation | movement in the heat-assisted magnetic head of 2nd Embodiment. 第3の実施形態の熱アシスト磁気記録装置における光源の概略構成図である。It is a schematic block diagram of the light source in the heat-assisted magnetic recording device of 3rd Embodiment.

以下に、本発明の実施形態に係る熱アシスト磁気記録装置の構成例を、図面を参照しながら以下の順で説明する。なお、本発明は、以下の例に限定されるものではない。
1.第1の実施形態:複数の光源からの入射光をグレーティングカプラで集光する熱アシスト磁気記録装置の構成例
2.第1の実施形態の熱アシスト磁気記録装置における種々の変形例
3.第2の実施形態:入射光の入射方向と光導波路の延在方向とが同じである熱アシスト磁気記録装置の構成例
4.第3の実施形態:光源内の各発光部の等価抵抗を等しくする構成例
Hereinafter, a configuration example of a thermally-assisted magnetic recording apparatus according to an embodiment of the present invention will be described in the following order with reference to the drawings. In addition, this invention is not limited to the following examples.
1. First Embodiment: Configuration Example of Thermally Assisted Magnetic Recording Device that Condenses Incident Light from Multiple Light Sources with Grating Coupler 2. Various modifications of the heat-assisted magnetic recording apparatus according to the first embodiment. Second embodiment: Configuration example of a thermally-assisted magnetic recording apparatus in which the incident direction of incident light is the same as the extending direction of the optical waveguide. Third Embodiment: Configuration Example for Equivalent Equivalent Resistance of Each Light-Emitting Unit in a Light Source

<1.第1の実施形態>
本発明の第1の実施形態に係る熱アシスト磁気記録装置の構成を説明する前に、複数の光源からの出射光を合波して記録光を生成する際に生じる問題、及び、その解決手法(本発明の動作原理)についてより詳細に説明する。
<1. First Embodiment>
Before describing the configuration of the thermally-assisted magnetic recording apparatus according to the first embodiment of the present invention, problems that occur when the recording light is generated by combining the light emitted from the plurality of light sources, and a method for solving the problem The (operation principle of the present invention) will be described in more detail.

[低周波ノイズの影響及びその解決手法]
複数の光を合波して記録光の強度を増大させる場合、コストの観点から同種の光源を複数用いることが好ましい。また、理想的には、複数の光間における波長差Δλ(周波数差Δf)及び位相ずれが零であることが好ましい。しかしながら、実際には、例えば光源の製造ばらつき等により、そのような理想状態を実現することは困難である。それゆえ、同種の光源を複数用いた場合においても、複数の光間には多少の周波数差Δfが発生する。
[Influence of low frequency noise and its solution]
When combining a plurality of lights to increase the intensity of the recording light, it is preferable to use a plurality of light sources of the same type from the viewpoint of cost. Ideally, it is preferable that the wavelength difference Δλ (frequency difference Δf) and the phase shift between the plurality of lights are zero. However, in practice, it is difficult to realize such an ideal state due to, for example, manufacturing variations of light sources. Therefore, even when a plurality of light sources of the same type are used, a slight frequency difference Δf occurs between the plurality of lights.

そこで、本発明者が複数の光間に周波数差Δf(波長差Δλ)が存在する場合の影響について検証したところ、この場合には、複数の光間で干渉が発生し、低周波のノイズが発生することが分かった。   Therefore, the present inventor has examined the influence of the case where there is a frequency difference Δf (wavelength difference Δλ) between a plurality of lights. In this case, interference occurs between the plurality of lights, and low-frequency noise is generated. It was found to occur.

具体的には、互いの波長が近接し且つコヒーレント長の長い複数の光源(例えばVCSEL等)からの出射光を同一箇所に集光して合波した状態を検証した結果、光同士が干渉し、低周波のノイズが発生することが分かった。また、この場合、複数の光間には位相の相関が無く、且つ、複数の光間に相関を持たせる制御も困難であるので、予測が困難なノイズが発生することが分かった。   Specifically, as a result of verifying a state where light emitted from a plurality of light sources (for example, VCSELs) whose wavelengths are close to each other and have a long coherent length are collected and combined at the same location, the lights interfere with each other. It was found that low frequency noise was generated. Further, in this case, it has been found that there is no phase correlation between the plurality of lights and it is difficult to control the correlation between the plurality of lights, so that noise that is difficult to predict is generated.

上述のような予測困難な低周波のノイズが、記録媒体に情報記録を行う際の記録周波数程度となった場合、熱アシスト磁気記録の際に記録光強度が時間変動して、熱の印加状態が所望の状態とならず、正確な情報記録が行えない可能性がある。以下、この問題を、図面を参照しながら、より具体的に説明する。   When the low-frequency noise that is difficult to predict as described above is about the recording frequency when information is recorded on the recording medium, the recording light intensity varies with time during the heat-assisted magnetic recording, and the heat application state May not be in a desired state and accurate information recording may not be performed. Hereinafter, this problem will be described more specifically with reference to the drawings.

ここでは、周波数差がΔf(>0)の2つの光を合波する場合を考える。この場合、2つの光の各電界E及びEは下記式で表される。 Here, a case where two lights having a frequency difference of Δf (> 0) are combined is considered. In this case, 1 and E 2 each electric field E of the two light is represented by the following formula.

Figure 0005370118
Figure 0005370118

また、各光の光強度(電界強度)は、電界を2乗することにより得られ、下記式で表される。   The light intensity (electric field strength) of each light is obtained by squaring the electric field and is represented by the following formula.

Figure 0005370118
Figure 0005370118

そして、2つの光の合波光の光強度|E+Eは、下記式のように表される。 The light intensity | E 1 + E 2 | 2 of the combined light of the two lights is represented by the following equation.

Figure 0005370118
Figure 0005370118

いま、2つの光の周波数差Δfが小さい場合(f>Δf)を考えているので、上記式3中の右辺の最終項(cos[2π(Δf)t])が、最も低い周波数成分となる。   Now, since the case where the frequency difference Δf between the two lights is small (f> Δf) is considered, the last term (cos [2π (Δf) t]) on the right side in Equation 3 is the lowest frequency component. .

ここで、図1に、上記式2において、f=1及びΔf=0.1としたときの光強度|E及び|Eの特性(計算結果)を示す。図1の特性では、横軸に時間tを取り、縦軸に光強度|E及び|Eを取る。また、図1中の破線の特性が光強度|Eの特性であり、実線の特性が光強度|Eの特性である。また、図2に、上記式3において、f=1及びΔf=0.1としたときの合波光の光強度|E+Eの特性(計算結果)を示す。図2の特性では、横軸に時間tを取り、縦軸に光強度|E+Eを取る。 Here, FIG. 1 shows characteristics (calculation results) of the light intensities | E 1 | 2 and | E 2 | 2 when f = 1 and Δf = 0.1 in the above formula 2. In the characteristics shown in FIG. 1, it takes a time t on the horizontal axis, the light intensity on the vertical axis | E 1 | 2 and | take 2 | E 2. The broken line characteristic light intensity in FIG. 1 | a characteristic of 2, solid characteristic light intensity | | E 1 is a characteristic of 2 | E 2. FIG. 2 shows the characteristic (calculation result) of the light intensity | E 1 + E 2 | 2 of the combined light when f = 1 and Δf = 0.1 in the above equation 3. In the characteristic of FIG. 2, the horizontal axis represents time t, and the vertical axis represents light intensity | E 1 + E 2 | 2 .

図1に示すように、2つの光の間に周波数差Δfが存在すると、両者の位相差が時間により変動する。その結果、2つの光を合波した場合、その合波光の光強度|E+Eは、図2中の破線に示すように、時間に対して低周波数で周期的に変動する(光ビート雑音が生じる)。そして、光強度|E+Eの変動の包絡線(図2中の破線)は、上記式3中の最も低い周波数成分の項cos[2π(Δf)t]の成分に対応する。 As shown in FIG. 1, when a frequency difference Δf exists between two lights, the phase difference between the two lights varies with time. As a result, when two lights are combined, the light intensity | E 1 + E 2 | 2 of the combined light periodically fluctuates at a low frequency with respect to time, as indicated by a broken line in FIG. Optical beat noise occurs). The envelope of fluctuation of the light intensity | E 1 + E 2 | 2 (broken line in FIG. 2) corresponds to the component of the term cos [2π (Δf) t] of the lowest frequency component in the above equation 3.

すなわち、記録光の強度を増大させるために複数の光源からの出射光を合波する場合、合波する光間の波長が互いに近接し且つ各光がコヒーレント長の長い光であると、その合波光の強度に低周波ノイズが発生する。   That is, when combining light emitted from a plurality of light sources in order to increase the intensity of the recording light, if the wavelengths of the combined light are close to each other and each light is a light having a long coherent length, Low frequency noise is generated in the intensity of wave light.

ただし、例えばLED(Light Emitting Diode)等からの出射光のようにインコヒーレントな光を複数合波した場合、各LEDの基本周波数fの変動が大きいので、上述した低周波ノイズは観測されない。また、光源として、例えばDFB(Distributed Feedback)レーザやVSCEL等のコヒーレント長の長い光を射出する光源を用いた場合においても、合波する複数の光の周波数及び位相が完全に一致した状態(理想状態)では、低周波ノイズは観測されない。   However, when a plurality of incoherent lights such as light emitted from LEDs (Light Emitting Diodes) are combined, for example, the above-mentioned low frequency noise is not observed because the fundamental frequency f of each LED varies greatly. In addition, even when a light source that emits light having a long coherent length, such as a DFB (Distributed Feedback) laser or VSCEL, is used as a light source, the frequency and phase of a plurality of lights to be combined are perfectly matched (ideal In the state), no low frequency noise is observed.

ここで、さらに、記録媒体に熱アシスト磁気記録を行うときに、記録光に上述した低周波ノイズが存在する場合に生じる問題を、図面を参照しながらより具体的に説明する。   Here, the problem that occurs when the above-mentioned low-frequency noise is present in the recording light when performing heat-assisted magnetic recording on the recording medium will be described more specifically with reference to the drawings.

図3(a)及び(b)に、熱アシスト磁気記録方式における記録光の出射特性及び記録磁界の印加特性の理想的な特性例をそれぞれ示す。いま、図3(a)に示すように、記録光が時刻t0〜t1の間、記録光が記録媒体に照射され、記録磁界が、時刻t0〜t1間の範囲で、時刻t2〜t3間及び時刻t4〜t5間(t0<t2<t3<t4<t5<t1)に印加される場合を考える。   FIGS. 3A and 3B show ideal characteristic examples of recording light emission characteristics and recording magnetic field application characteristics in the heat-assisted magnetic recording system, respectively. Now, as shown in FIG. 3 (a), the recording light is applied to the recording medium during the time t0 to t1, and the recording magnetic field is in the range between the times t0 and t1 and between the times t2 and t3. Consider a case where the voltage is applied between times t4 and t5 (t0 <t2 <t3 <t4 <t5 <t1).

なお、この例では、時刻t2〜t3間が最短記録長に対応する磁界印加時間(最短記録周期Tmin)であり、時刻t4〜t5間の時間が最短記録周期Tminの約3倍である例を説明する。また、図3(a)中の点線は、熱アシスト磁気記録可能な光強度の下限値(閾値)である。すなわち、図3(a)及び(b)に示す例では、時刻t2〜t3間及びt4〜t5間に、熱アシスト磁気記録により情報が記録媒体に記録される。   In this example, the time between time t2 and t3 is the magnetic field application time corresponding to the shortest recording length (shortest recording cycle Tmin), and the time between time t4 and t5 is about three times the shortest recording cycle Tmin. explain. Also, the dotted line in FIG. 3A is the lower limit (threshold value) of the light intensity that can be thermally assisted magnetic recording. That is, in the example shown in FIGS. 3A and 3B, information is recorded on the recording medium by heat-assisted magnetic recording between times t2 and t3 and between t4 and t5.

それに対して、記録光の光強度に低周波ノイズが生じた場合における記録光の出射特性例及び記録磁界の印加特性例を、それぞれ図4(a)及び(b)に示す。   On the other hand, FIGS. 4A and 4B show an example of the recording light emission characteristic and the recording magnetic field application characteristic when low frequency noise is generated in the light intensity of the recording light, respectively.

記録光の光強度に低周波ノイズが存在すると、図4(a)に示すように、光強度が低周波周期で変動する。その結果、時刻t0〜t1の間において、光強度が熱アシスト磁気記録に必要な光強度の閾値(図4(a)中の点線)以下になる時間帯が生じる。低周波ノイズにより光強度がその閾値(図4(a)中の点線)以下になる時間帯と記録磁界の印加時間とが重なると、その時間帯では熱アシスト磁気記録ができなくなり、所望の記録マークを記録媒体に形成することができなくなる。例えば、図4(a)及び(b)に示す例では、時刻t4〜t5間の時刻t6〜t7(t4<t6<t7<t5)において、熱アシスト磁気記録が不可能となる。   If low-frequency noise exists in the light intensity of the recording light, the light intensity fluctuates in a low-frequency cycle as shown in FIG. As a result, a time period in which the light intensity falls below the light intensity threshold (dotted line in FIG. 4A) necessary for the heat-assisted magnetic recording occurs between the times t0 and t1. If the time zone in which the light intensity falls below the threshold value (dotted line in FIG. 4A) due to low-frequency noise and the application time of the recording magnetic field overlap, heat-assisted magnetic recording cannot be performed in that time zone, and desired recording can be performed. The mark cannot be formed on the recording medium. For example, in the example shown in FIGS. 4A and 4B, the heat-assisted magnetic recording is not possible at times t6 to t7 (t4 <t6 <t7 <t5) between times t4 and t5.

熱アシスト磁気記録時における上述した光強度の低周波ノイズの問題は、低周波ノイズの周波数が、最短記録長に対応する記録周波数程度及びそれ以下になる場合(低周波ノイズの周期が最短記録長に対応する記録光の照射周期以上の場合)により顕著に現れる。特に、この低周波ノイズ(光ビート雑音)の問題は、光源として例えばVSCEL等のコヒーレント長の長い光を射出する光源を用いた場合に発生しやすい。   The above-mentioned problem of the low frequency noise of the light intensity during the heat-assisted magnetic recording is that the frequency of the low frequency noise is about the recording frequency corresponding to the shortest recording length or less (the frequency of the low frequency noise is the shortest recording length). (When the recording light irradiation period corresponds to or more). In particular, the problem of low frequency noise (optical beat noise) is likely to occur when a light source that emits light having a long coherent length, such as VSCEL, is used as the light source.

上述のような問題を解消するための一つの方法としては、合波する2つの光間で周波数(波長)を完全に一致させることが考えられるが、上述のように、実際には、そのような理想状態を実現することは困難である。また、たとえ、2つの光間で周波数を完全に一致させることができても、2つの光間で位相が180度異なると、コヒーレント長の範囲で完全に打ち消しあい、合波光の強度が低下する。   As one method for solving the above-mentioned problem, it is conceivable that the frequencies (wavelengths) are perfectly matched between the two lights to be combined. It is difficult to realize an ideal state. Moreover, even if the frequencies of the two lights can be perfectly matched, if the phases of the two lights differ by 180 degrees, they completely cancel each other within the coherent length range, and the intensity of the combined light decreases. .

そこで、本発明では、上記問題を解決するために、合波する2つの光間で周波数(波長)を完全に一致させるのではなく、複数の光間に予め所定の周波数差Δfを設定し、合波光に発生する低周波ノイズの周波数をより高くする。具体的には、低周波ノイズの周波数成分は、上記式3で説明したように、合波する2つの光間の周波数差Δfの成分(cos[2π(Δf)t])に対応する。それゆえ、本発明では、合波する2つの光間の周波数差Δfが最短記録長に対応する記録周波数より十分高くなるように、合波する2つの光間の周波数(波長)を互いに異ならせる。例えば、最短記録長が約1nsec程度である場合には、それに対応する記録周波数は約1GHz程度となるので、合波する2つの光間の周波数差Δfを約1GHzより十分高くなるように調整する。   Therefore, in the present invention, in order to solve the above problem, the frequency (wavelength) is not completely matched between the two lights to be multiplexed, but a predetermined frequency difference Δf is set in advance between the plurality of lights, Increase the frequency of the low frequency noise generated in the combined light. Specifically, the frequency component of the low-frequency noise corresponds to the component (cos [2π (Δf) t]) of the frequency difference Δf between the two lights to be combined, as described in Equation 3 above. Therefore, in the present invention, the frequencies (wavelengths) between the two lights to be combined are made different from each other so that the frequency difference Δf between the two lights to be combined is sufficiently higher than the recording frequency corresponding to the shortest recording length. . For example, when the shortest recording length is about 1 nsec, the corresponding recording frequency is about 1 GHz. Therefore, the frequency difference Δf between the two lights to be combined is adjusted to be sufficiently higher than about 1 GHz. .

合波する2つの光間の周波数差Δfを最短記録長に対応する記録周波数より高くすると、最短記録長に対応する周期の間に記録光強度が変動しても、その期間で少なくとも一回は光強度を熱アシスト磁気記録に必要な閾値以上に上昇させることができる。このような状況における記録媒体の記録応答は、平均光強度の記録光を照射した状況と同様となり、上述した情報の誤記録という問題は解消される。それゆえ、本発明では、2つの光間に発生する低周波ノイズの周波数(=Δf)が、上述した低周波ノイズの問題が生じない値まで高くなるように、2つの光間に予め所定の周波数差Δfを設定する。例えば、2つの光の波長差Δλ=0.1nmとして、2つの光間の周波数差Δf(低周波ノイズの周波数)を40GHz程度にする。   If the frequency difference Δf between the two lights to be combined is higher than the recording frequency corresponding to the shortest recording length, even if the recording light intensity fluctuates during the period corresponding to the shortest recording length, at least once in that period. The light intensity can be increased above the threshold required for heat-assisted magnetic recording. The recording response of the recording medium in such a situation is similar to the situation in which the recording light with the average light intensity is irradiated, and the above-described problem of erroneous recording of information is solved. Therefore, in the present invention, the frequency of the low frequency noise (= Δf) generated between the two lights is increased in advance to a value that does not cause the above-described problem of the low frequency noise. A frequency difference Δf is set. For example, the wavelength difference Δλ of two lights is set to 0.1 nm, and the frequency difference Δf (frequency of low frequency noise) between the two lights is set to about 40 GHz.

ここで、2つの光間に発生する低周波ノイズの周波数(=Δf)を、上述した低周波ノイズの問題が生じない値まで高くするための条件を導出する。まず、上記式1を、波長λを用いて書き直すと下記式のようになる。なお、下記式中の「c」は光速度であり、約3×10[m/s]である。 Here, a condition for deriving the frequency (= Δf) of the low-frequency noise generated between the two lights to a value that does not cause the above-described low-frequency noise problem is derived. First, when the above equation 1 is rewritten using the wavelength λ, the following equation is obtained. In the following formula, “c” is the speed of light, which is about 3 × 10 8 [m / s].

Figure 0005370118
Figure 0005370118

上記式4から、低周波ノイズの周波数(=Δf)を求めると、次のようになる。ただし、下記式では、Δf≪fとして近似している。   When the frequency (= Δf) of the low frequency noise is obtained from the above equation 4, it is as follows. However, in the following formula, it is approximated as Δf << f.

Figure 0005370118
Figure 0005370118

すなわち、上記式5から、2つの光の波長差Δλを大きくすれば、低周波ノイズの周波数(=Δf)を大きくすることができることが分かる。   That is, it can be seen from the above formula 5 that the frequency (= Δf) of the low frequency noise can be increased by increasing the wavelength difference Δλ between the two lights.

本実施形態では、Δf≪fの仮定を満たす範囲内で、合波する2つの光間の波長差Δλを大きくして、2つの光間の周波数差Δfを最短記録長に対応する記録周波数fmより大きくする。すなわち、下記式を満足するように、合波する2つの光の波長をそれぞれ設定することにより、上述した低周波ノイズ(光ビート雑音)の問題を解消することができる。   In the present embodiment, the wavelength difference Δλ between the two lights to be combined is increased within a range satisfying the assumption of Δf << f, and the frequency difference Δf between the two lights is set to the recording frequency fm corresponding to the shortest recording length. Make it bigger. That is, by setting the wavelengths of the two lights to be combined so as to satisfy the following expression, the above-described problem of low frequency noise (optical beat noise) can be solved.

Figure 0005370118
Figure 0005370118

上記説明では、2つの光を合波して記録光を生成する例を説明したが、3つ以上の光源からの出射光を合波する場合においても、上述した低周波ノイズの周波数成分は、波長差Δλが最も小さくなる光間で生じる。それゆえ、3つ以上の光源からの出射光を合波する場合には、波長差Δλ(周波数差Δf)が最小となる光間において、上記式6を満足させることにより、上述した低周波ノイズの問題を解消することができる。   In the above description, an example in which recording light is generated by combining two lights has been described, but even in the case where light emitted from three or more light sources is combined, the frequency component of the low frequency noise described above is It occurs between the lights with the smallest wavelength difference Δλ. Therefore, when combining light emitted from three or more light sources, the above-described low-frequency noise is satisfied by satisfying the above equation 6 between the lights having the smallest wavelength difference Δλ (frequency difference Δf). The problem can be solved.

なお、実際に、上記式6に基づいて例えばN個の光源の波長λ〜λを選択する際には、上記式6中の波長λとしては、複数の光の波長λ〜λの平均値λmを用いてもよいし、複数の光の波長λ〜λのいずれかの値を用いてもよい。上述のように、Δf≪fの仮定のもとでは、波長λ〜λは近接した値となるので、複数の光の波長λ〜λの平均値λmと、各光の波長λ(k=1〜N)の値との間に大きな差はない。それゆえ、上記式6中の波長λとしては、両者のいずれを用いても、算出される周波数差Δfの値に大きな差は現れない。すなわち、本発明では、上記式6の代わりに、下記式に基づいて複数(例えばN個)の光源の波長(周波数)を選択してもよい。 Incidentally, actually, when selecting the wavelength lambda 1 to [lambda] N of for example N number of light sources based on the above equation 6, as the wavelength lambda in the above formula 6, the wavelength of the plurality of light lambda 1 to [lambda] N May be used, or any one of the wavelengths λ 1 to λ N of a plurality of lights may be used. As described above, since the wavelengths λ 1 to λ N are close values under the assumption of Δf << f, the average value λm of the wavelengths λ 1 to λ N of the plurality of lights and the wavelength λ of each light There is no significant difference from the value of k (k = 1 to N). Therefore, as for the wavelength λ in the above equation 6, no significant difference appears in the calculated frequency difference Δf regardless of which of the two is used. That is, in the present invention, the wavelengths (frequency) of a plurality of (for example, N) light sources may be selected based on the following equation instead of the above equation 6.

Figure 0005370118
Figure 0005370118

[熱アシスト磁気記録装置の構成]
次に、本発明の第1の実施形態に係る熱アシスト磁気記録装置(情報記録装置)の構成について説明する。図5に、本実施形態に係る熱アシスト磁気記録装置の構成の概略構成例を示す。なお、本実施形態では、熱アシスト磁気ヘッドから例えば近接場光等の微小光を記録媒体に照射して情報の記録及び/または再生を行う熱アシスト磁気記録装置の構成について説明する。
[Configuration of heat-assisted magnetic recording device]
Next, the configuration of the heat-assisted magnetic recording device (information recording device) according to the first embodiment of the invention will be described. FIG. 5 shows a schematic configuration example of the configuration of the thermally-assisted magnetic recording apparatus according to the present embodiment. In the present embodiment, the configuration of a thermally assisted magnetic recording apparatus that records and / or reproduces information by irradiating a recording medium with minute light such as near-field light from a thermally assisted magnetic head will be described.

熱アシスト磁気記録装置100は、浮上スライダ101と、浮上スライダ101を支持するサスペンション102と、浮上スライダ101を駆動するヘッドアクチュエータ103と、スピンドル104とを備える。なお、記録媒体300(情報記録媒体)は、スピンドル104の回転軸105に固定され、回転駆動される。   The heat-assisted magnetic recording apparatus 100 includes a flying slider 101, a suspension 102 that supports the flying slider 101, a head actuator 103 that drives the flying slider 101, and a spindle 104. The recording medium 300 (information recording medium) is fixed to the rotating shaft 105 of the spindle 104 and is driven to rotate.

記録媒体300は、ディスク状の媒体であり、垂直磁気記録方式または面内磁気記録方式で情報記録可能な記録媒体である。また、図5には示さないが、記録媒体300は、基板301と、その基板301上に形成された磁気記録層302とを備える(後述の図7及び8参照)。そして、磁気記録層302が浮上スライダ101の下面と対向するように、記録媒体300がスピンドル104に装着される。また、記録媒体300の表面には、熱アシスト磁気記録装置100の動作時における浮上スライダ101と記録媒体300との接触による損傷を防ぐために、適宜潤滑剤及び保護膜が薄厚で形成される。   The recording medium 300 is a disk-shaped medium and is a recording medium capable of recording information by a perpendicular magnetic recording method or an in-plane magnetic recording method. Although not shown in FIG. 5, the recording medium 300 includes a substrate 301 and a magnetic recording layer 302 formed on the substrate 301 (see FIGS. 7 and 8 to be described later). Then, the recording medium 300 is mounted on the spindle 104 so that the magnetic recording layer 302 faces the lower surface of the flying slider 101. In addition, a lubricant and a protective film are appropriately formed on the surface of the recording medium 300 to have a thin thickness in order to prevent damage due to contact between the flying slider 101 and the recording medium 300 during operation of the heat-assisted magnetic recording apparatus 100.

図6に、本実施形態の熱アシスト磁気記録装置100の浮上スライダ101付近の拡大側面図を示す。浮上スライダ101は、スライダ本体106と、スライダ本体106の先端部に搭載された熱アシスト磁気ヘッド110とを備える。スライダ本体106は、熱アシスト磁気記録装置100の動作時には、記録媒体300と対向して近接して配置される。この際、熱アシスト磁気ヘッド110もまた、記録媒体300と対向するように配置される。なお、熱アシスト磁気ヘッド110の構成については、後で詳述する。   FIG. 6 shows an enlarged side view of the vicinity of the flying slider 101 of the heat-assisted magnetic recording apparatus 100 of the present embodiment. The flying slider 101 includes a slider body 106 and a heat-assisted magnetic head 110 mounted at the tip of the slider body 106. The slider body 106 is disposed in close proximity to the recording medium 300 when the heat-assisted magnetic recording apparatus 100 is in operation. At this time, the heat-assisted magnetic head 110 is also disposed so as to face the recording medium 300. The configuration of the heat-assisted magnetic head 110 will be described in detail later.

また、本実施形態では、熱アシスト磁気記録装置100として、情報の記録及び/または再生可能な記録再生装置を例に挙げ説明したが、本発明はこれに限定されない。記録専用の記録装置に対しても、本発明は同様に適用可能であり、同様の効果が得られる。   In the present embodiment, the heat-assisted magnetic recording apparatus 100 has been described by taking a recording / reproducing apparatus capable of recording and / or reproducing information as an example, but the present invention is not limited to this. The present invention can be similarly applied to a recording apparatus dedicated to recording, and similar effects can be obtained.

さらに、本実施形態では、スライダタイプの熱アシスト磁気記録装置100を説明したが、本発明はこれに限定されない。熱アシスト磁気ヘッドと記録媒体との距離をアクチュエータで制御するタイプの熱アシスト磁気記録装置にも同様に適用可能であり、同様の効果が得られる。   Furthermore, in the present embodiment, the slider type heat-assisted magnetic recording apparatus 100 has been described, but the present invention is not limited to this. The present invention can be similarly applied to a heat-assisted magnetic recording apparatus of a type in which the distance between the heat-assisted magnetic head and the recording medium is controlled by an actuator, and similar effects can be obtained.

[熱アシスト磁気ヘッドの構成]
次に、本実施形態の熱アシスト磁気ヘッド110の構成について説明する。図7に、熱アシスト磁気記録装置100の熱アシスト磁気ヘッド110付近の概略構成断面図を示す。なお、図7は、記録媒体300の移動方向に沿う方向の断面図である。
[Configuration of heat-assisted magnetic head]
Next, the configuration of the heat-assisted magnetic head 110 of this embodiment will be described. FIG. 7 shows a schematic cross-sectional view of the vicinity of the heat-assisted magnetic head 110 of the heat-assisted magnetic recording apparatus 100. FIG. 7 is a cross-sectional view in the direction along the moving direction of the recording medium 300.

本実施形態では、熱アシスト磁気ヘッド110は、スライダ本体106の記録媒体300と対向する面S1と直交する空気流出側の面S2(以下、トレーリング面S2という)上に形成される。また、光源190は、熱アシスト磁気ヘッド110のトレーリング面S2とは反対側の面S4(以下、先端面S4という)に設けられた電極パッド180を介して実装される。なお、本実施形態では、波長が互いに異なる4つの光(波長λ1〜λ4)が、光源190から熱アシスト磁気ヘッド110に射出される構成例を説明する。   In the present embodiment, the heat-assisted magnetic head 110 is formed on an air outflow side surface S2 (hereinafter referred to as a trailing surface S2) perpendicular to the surface S1 of the slider body 106 facing the recording medium 300. The light source 190 is mounted via an electrode pad 180 provided on a surface S4 opposite to the trailing surface S2 of the heat-assisted magnetic head 110 (hereinafter referred to as a tip surface S4). In the present embodiment, a configuration example in which four lights having different wavelengths (wavelengths λ1 to λ4) are emitted from the light source 190 to the thermally-assisted magnetic head 110 will be described.

また、熱アシスト磁気ヘッド110の先端面S4を構成する後述の絶縁部50の表面には4つの凹部51がアレイ状に形成されており、各凹部51の底部は先端面S4に対して所定の角度で傾斜している。そして、本実施形態では、光源190(VCSELチップ)の後述する4つのメサ(発光部)と、それぞれ対応する4つの凹部51とが対向するように、光源190が熱アシスト磁気ヘッド110の先端面S4に実装される。このように光源190を実装すると、各メサから射出された光は、対応する凹部51の底部のプリズム効果により光路変更され、後述する記録光生成部40の集光部に斜め入射される。光源190の構成については、後で詳述する。 In addition, four concave portions 51 are formed in an array on the surface of an insulating portion 50 (to be described later) that constitutes the distal end surface S4 of the thermally assisted magnetic head 110, and the bottom of each concave portion 51 is predetermined with respect to the distal end surface S4. It is inclined at an angle. In the present embodiment, the light source 190 has a front end surface of the heat-assisted magnetic head 110 such that four mesas (light emitting units), which will be described later, of the light source 190 (VCSEL chip) and four corresponding recesses 51 face each other. Implemented in S4. With this implement source 190, light emitted from each mesa optical path is changed by the prism effect of the bottom of the corresponding recess 51, is obliquely incident on the condenser portion of the recording light generator 4 0, which will be described later. The configuration of the light source 190 will be described in detail later.

熱アシスト磁気ヘッド110は、磁気再生素子10と、磁気シールド20と、記録磁界生成部30と、記録光生成部40(光ビーム出射部)とを備える。なお、各部は、絶縁部50を介してスライダ本体106のトレーリング面S2上に積層して形成される。各部の形成方法としては、例えば半導体素子の製造プロセス等に適用される従来のフォトリソグラフィ技術を用いることができる。また、絶縁部50は、光透過性を有する絶縁材料で形成され、必要とする光学特性(例えば屈折率等)により適宜選択される。   The heat-assisted magnetic head 110 includes a magnetic reproducing element 10, a magnetic shield 20, a recording magnetic field generating unit 30, and a recording light generating unit 40 (light beam emitting unit). Each part is formed by being laminated on the trailing surface S2 of the slider body 106 via the insulating part 50. As a method for forming each part, for example, a conventional photolithography technique applied to a semiconductor element manufacturing process or the like can be used. The insulating part 50 is formed of an insulating material having light transparency, and is appropriately selected depending on required optical characteristics (for example, refractive index).

磁気再生素子10は、磁気記録層302の記録磁区から漏洩する磁界を検出する。なお、磁気再生素子10は、磁気シールド20と記録磁界生成部30の後述するリターンヨーク32との間に配置され、その検出面が記録媒体300と対向するように配置される。また、磁気再生素子10としては、例えば、GMR(Giant Magneto Resistance)素子、TMR(Tunnel Magneto Resistance)素子等の磁気抵抗効果素子を用いることができる。なお、本実施形態の熱アシスト磁気記録装置100では、磁気再生素子10で検出した信号に基づいて、情報再生が行われる。   The magnetic reproducing element 10 detects a magnetic field leaking from the recording magnetic domain of the magnetic recording layer 302. The magnetic reproducing element 10 is disposed between the magnetic shield 20 and a return yoke 32 (to be described later) of the recording magnetic field generating unit 30, and is disposed so that its detection surface faces the recording medium 300. As the magnetic reproducing element 10, for example, a magnetoresistive effect element such as a GMR (Giant Magneto Resistance) element or a TMR (Tunnel Magneto Resistance) element can be used. In the heat-assisted magnetic recording apparatus 100 of this embodiment, information is reproduced based on the signal detected by the magnetic reproducing element 10.

磁気シールド20は、絶縁部50を介して、スライダ本体106のトレーリング面S2上に形成される。また、磁気シールド20は、従来の熱アシスト磁気ヘッドのそれと同様の材料で形成することができる。   The magnetic shield 20 is formed on the trailing surface S <b> 2 of the slider body 106 via the insulating unit 50. The magnetic shield 20 can be formed of the same material as that of the conventional heat-assisted magnetic head.

記録磁界生成部30は、記録磁極部31と、リターンヨーク32と、接続磁極部33と、接続磁極部33に巻かれた励磁コイル34とで構成される。なお、本実施形態では、励磁コイル34に電流を流すことにより、記録磁極部31の先端から記録磁界を発生し、その記録磁界を記録媒体300の所定領域に印加する。   The recording magnetic field generation unit 30 includes a recording magnetic pole part 31, a return yoke 32, a connection magnetic pole part 33, and an excitation coil 34 wound around the connection magnetic pole part 33. In the present embodiment, a current is passed through the excitation coil 34 to generate a recording magnetic field from the tip of the recording magnetic pole portion 31 and apply the recording magnetic field to a predetermined area of the recording medium 300.

記録磁極部31は、先端から記録磁界を発生させる磁極であり、スライダ本体106のトレーリング面S2と平行に延在した棒状の磁性体で構成される。なお、本実施形態では記録磁極部31の延在方向に直交する断面の形状は正方形とする。また、記録磁極部31は、その延在途中でトレーリング面S2に向かって折れ曲がっており、延在方向に沿う方向の断面形状は略S字状となる。   The recording magnetic pole portion 31 is a magnetic pole that generates a recording magnetic field from the tip, and is composed of a rod-shaped magnetic body that extends in parallel with the trailing surface S2 of the slider body 106. In the present embodiment, the cross-sectional shape orthogonal to the extending direction of the recording magnetic pole portion 31 is a square. In addition, the recording magnetic pole portion 31 is bent toward the trailing surface S2 in the middle of its extension, and the cross-sectional shape in the direction along the extending direction is substantially S-shaped.

なお、記録磁極部31の接続磁極部33に接続されている領域の磁極部(折れ曲がる前の磁極部)の厚さ(トレーリング面S2に直交する方向の磁極厚さ)は、折れ曲がった後の領域の磁極部の厚さより厚くする。さらに、記録磁極部31の折れ曲がった後の領域の磁極部の幅は、その先端に向かうほど狭くなる。なお、記録磁極部31の構成(例えば形状及び寸法等)は、図7に示す例に限定されず、例えば必要とする磁界強度、用途等に応じて適宜変更することができる。   The thickness of the magnetic pole part (the magnetic pole part before bending) in the region connected to the connecting magnetic pole part 33 of the recording magnetic pole part 31 (the magnetic pole thickness in the direction orthogonal to the trailing surface S2) is the value after bending. It is made thicker than the thickness of the magnetic pole part in the region. Furthermore, the width of the magnetic pole part in the region after the recording magnetic pole part 31 is bent becomes narrower toward the tip. Note that the configuration (for example, the shape and dimensions) of the recording magnetic pole portion 31 is not limited to the example shown in FIG. 7, and can be appropriately changed according to, for example, the required magnetic field strength and application.

また、記録媒体300に対して熱アシスト磁気記録方式により高密度記録を実現するためには、磁気記録層302の所定領域に光を照射して加熱した直後(または同時に)記録磁界を印加する必要がある。それゆえ、記録磁極部31の先端部(接続磁極部側とは反対側の端部)は、記録光生成部40の後述する光射出部43の近傍に配置する。   Further, in order to realize high-density recording on the recording medium 300 by the heat-assisted magnetic recording method, it is necessary to apply a recording magnetic field immediately after (or simultaneously with) heating a predetermined region of the magnetic recording layer 302 with light. There is. Therefore, the tip of the recording magnetic pole part 31 (the end opposite to the connection magnetic pole part side) is disposed in the vicinity of the light emitting part 43 described later of the recording light generating part 40.

リターンヨーク32は、記録磁極部31の先端で発生した記録磁界の磁気力線(磁束)をスライダ本体106のトレーリング面S2側に戻すための磁極である。励磁コイル34に電流が流されている間、磁気力線は、接続磁極部33を介してリターンヨーク32及び記録磁極部31間でループして閉じた状態となり、リターンヨーク32と記録磁極部31とは磁気的(物理的)に接続された状態となる。これにより、記録磁極部31の先端における記録磁界の強度をより強くすることができる。また、さらに強い記録磁界を発生させるためには、記録磁極部31の先端をリターンヨーク32により近づけることが好ましい。これらのことから、記録光生成部40の後述する光射出部43は、本実施形態のように、記録磁極部31とリターンヨーク32との間に配置することが好ましい。   The return yoke 32 is a magnetic pole for returning the magnetic field lines (magnetic flux) of the recording magnetic field generated at the tip of the recording magnetic pole portion 31 to the trailing surface S 2 side of the slider body 106. While the current flows through the exciting coil 34, the magnetic field lines are looped and closed between the return yoke 32 and the recording magnetic pole portion 31 via the connecting magnetic pole portion 33, and the return yoke 32 and the recording magnetic pole portion 31 are closed. Is a magnetically (physically) connected state. Thereby, the intensity of the recording magnetic field at the tip of the recording magnetic pole part 31 can be further increased. In order to generate a stronger recording magnetic field, it is preferable to bring the tip of the recording magnetic pole portion 31 closer to the return yoke 32. For these reasons, it is preferable to arrange a light emitting portion 43 (to be described later) of the recording light generating portion 40 between the recording magnetic pole portion 31 and the return yoke 32 as in this embodiment.

なお、本実施形態では、上述のように、リターンヨーク32と磁気シールド20との間に磁気再生素子10を配置するので、リターンヨーク32は、磁気シールドとしても用いる。それゆえ、本実施形態では、リターンヨーク32の構成(形状及び寸法)を磁気シールド20のそれと同様とする。ただし、リターンヨーク32の構成は、図7に示す例に限定されず、例えば磁気再生素子10の配置位置等に応じて適宜変更することができる。   In the present embodiment, since the magnetic reproducing element 10 is disposed between the return yoke 32 and the magnetic shield 20 as described above, the return yoke 32 is also used as a magnetic shield. Therefore, in this embodiment, the configuration (shape and size) of the return yoke 32 is the same as that of the magnetic shield 20. However, the configuration of the return yoke 32 is not limited to the example shown in FIG. 7, and can be changed as appropriate according to the arrangement position of the magnetic reproducing element 10, for example.

接続磁極部33は、記録磁極部31とリターンヨーク32とを接続する棒状の磁極である。本実施形態では、接続磁極部33の延在方向に直交する断面の形状は正方形とする。なお、接続磁極部33の構成(例えば形状及び寸法等)は、例えば必要とする磁界強度、用途等に応じて適宜変更することができる。また、励磁コイル34に電流が流されている間、接続磁極部33内には、記録磁極部31からリターンヨーク32に向かう方向、または、その逆方向に向かって磁路が生成される。   The connecting magnetic pole portion 33 is a rod-shaped magnetic pole connecting the recording magnetic pole portion 31 and the return yoke 32. In the present embodiment, the shape of the cross section orthogonal to the extending direction of the connecting magnetic pole portion 33 is a square. Note that the configuration (for example, shape and size) of the connecting magnetic pole portion 33 can be changed as appropriate according to, for example, the required magnetic field strength and application. Further, while a current is flowing through the exciting coil 34, a magnetic path is generated in the connecting magnetic pole portion 33 from the recording magnetic pole portion 31 toward the return yoke 32 or in the opposite direction.

なお、記録磁極部31、リターンヨーク32及び接続磁極部33の形成材料には、従来の熱アシスト磁気ヘッドまたは磁気ヘッド等で用いられる磁極と同様の磁性材料を用いることができる。例えば、記録磁極部31、リターンヨーク32及び接続磁極部33の形成材料として、NiFe、CoFeNi等の磁性材料を用いることができる。   Note that the magnetic material similar to the magnetic pole used in the conventional heat-assisted magnetic head or magnetic head can be used as the material for forming the recording magnetic pole part 31, the return yoke 32 and the connecting magnetic pole part 33. For example, a magnetic material such as NiFe or CoFeNi can be used as a material for forming the recording magnetic pole part 31, the return yoke 32, and the connection magnetic pole part 33.

次に、記録光生成部40の構成を、図7及び8を参照しながら説明する。なお、図8は、光源190側から見た記録光生成部40の概略正面図である。   Next, the configuration of the recording light generator 40 will be described with reference to FIGS. FIG. 8 is a schematic front view of the recording light generator 40 viewed from the light source 190 side.

記録光生成部40は、4つの集光部41a〜41dと、それらにそれぞれ接続された4つのシングルモード導波路42a〜42d(合波部)と、光射出部43とを備える。   The recording light generating unit 40 includes four light collecting units 41 a to 41 d, four single mode waveguides 42 a to 42 d (combining units) connected to them, and a light emitting unit 43.

4つの集光部41a〜41dは、光源190からの出射光191〜194をそれぞれ受光し、その受光した光を対応するシングルモード導波路42a〜42dにそれぞれ導く。なお、この際、本実施形態では、4つの集光部41a〜41dのそれぞれにおいて、受光した光を集光して、その集光した光を対応するシングルモード導波路に導く。すなわち、本実施形態では、4つの集光部41a〜41dのそれぞれは、対応する入射光に対して光路変換動作と集光動作とを同時に行う。   The four light converging parts 41a to 41d receive the emitted lights 191 to 194 from the light source 190, respectively, and guide the received lights to the corresponding single mode waveguides 42a to 42d, respectively. At this time, in the present embodiment, the received light is condensed in each of the four light collecting portions 41a to 41d, and the collected light is guided to the corresponding single mode waveguide. That is, in this embodiment, each of the four light condensing units 41a to 41d performs the optical path conversion operation and the light condensing operation on the corresponding incident light at the same time.

なお、本実施形態では、図8に示すように、4つの入射光191〜194の入射位置が異なるので、4つの集光部41a〜41dの配置位置及び4つのシングルモード導波路42a〜42dの延在長さも互いに異なる。   In the present embodiment, as shown in FIG. 8, the incident positions of the four incident lights 191 to 194 are different. Therefore, the arrangement positions of the four light collecting portions 41 a to 41 d and the four single mode waveguides 42 a to 42 d The extended lengths are also different from each other.

本実施形態では、入射光の光路変換動作を行うため、集光部として、入射光側の表面に所定周期の凹凸パターン(周期構造)が形成されたグレーティングカプラを用いる。図9に、その一構成例を示す。なお、図9は、4つの集光部41a〜41dのうち、集光部41cの構成のみを示す。その他の集光部41a、41b及び41dは、集光部41cと同様の構成である。それゆえ、ここでは、集光部41cのみの構成を説明する。   In the present embodiment, in order to perform an optical path conversion operation of incident light, a grating coupler in which a concavo-convex pattern (periodic structure) having a predetermined period is formed on the surface on the incident light side is used as a condensing part. FIG. 9 shows an example of the configuration. In addition, FIG. 9 shows only the structure of the condensing part 41c among the four condensing parts 41a-41d. The other light collecting portions 41a, 41b, and 41d have the same configuration as the light collecting portion 41c. Therefore, here, the configuration of only the light collecting unit 41c will be described.

本実施形態では、集光部41cとして、その入射面が扇状であるグレーティングカプラを用いる。そして、集光部41cの頂角側の端部(光出射口)をシングルモード導波路42cに接続する。   In the present embodiment, a grating coupler whose incident surface has a fan shape is used as the light collecting portion 41c. Then, an end (light exit port) on the apex angle side of the light collecting portion 41c is connected to the single mode waveguide 42c.

本実施形態では、集光部41cにおいて高効率の光結合を実現するために、入射光193の波面に対して凹凸パターン(凹部45及び凸部46)の周期が適宜設定される。また、凹凸パターンで受光した光を効率よく集光するために、凹凸パターンを集光部41cのシングルモード導波路42c側の接続部に対して同心円状とし、集光部41cの受光面の幅をシングルモード導波路42c側の接続部に向かって直線的に狭くする。なお、集光部41cは、その周囲に形成される絶縁部50より屈折率の高い光透過性材料で形成する。   In the present embodiment, in order to realize high-efficiency optical coupling in the condensing part 41c, the period of the concavo-convex pattern (the concave part 45 and the convex part 46) is appropriately set with respect to the wavefront of the incident light 193. Further, in order to efficiently collect the light received by the concavo-convex pattern, the concavo-convex pattern is concentric with the connection portion on the single mode waveguide 42c side of the condensing part 41c, and the width of the light receiving surface of the condensing part 41c Is narrowed linearly toward the connecting portion on the single mode waveguide 42c side. The condensing part 41c is formed of a light transmissive material having a higher refractive index than the insulating part 50 formed around the condensing part 41c.

ただし、集光部41cの凹凸パターンの構成(例えば周期、凸部46の高さ等)は、例えば、入射光193(伝播光)の波長、入射光193の集光部41cへの入射角、集光部41cの形成材料、及び、周囲の絶縁部50の形成材料等を考慮して適宜設定される。   However, the configuration of the concavity and convexity pattern of the condensing part 41c (for example, the period, the height of the convex part 46, etc.) is, for example, the wavelength of the incident light 193 (propagating light), the incident angle of the incident light 193 to the condensing part 41c, It is set as appropriate in consideration of the material for forming the condensing part 41c, the material for forming the surrounding insulating part 50, and the like.

4つのシングルモード導波路42a〜42dは、対応する4つの集光部41a〜41dから導かれた各光を光射出部43に伝播する。なお、各シングルモード導波路(光導波路)内を伝播する光の伝播モードは一つ(シングルモード)であり、各シングルモード導波路の形状及び寸法は、伝播光がシングルモードになるように設定される。このように、光導波路内の伝播光をシングルモードにすることにより、伝播光の波面が伝播距離に依存せず安定し、安定した強度特性を有する記録光を光射出部43に導入することができる。この結果、光射出部43を安定して駆動することができ、記録媒体300に強度変動の少ない光を安定して照射することができる。なお、各シングルモード導波路は、集光部41cと同様に、その周囲に形成される絶縁部50より屈折率の高い光透過性材料で形成する。   The four single mode waveguides 42 a to 42 d propagate the light guided from the corresponding four light collecting portions 41 a to 41 d to the light emitting portion 43. The propagation mode of light propagating in each single mode waveguide (optical waveguide) is one (single mode), and the shape and dimensions of each single mode waveguide are set so that the propagation light is single mode. Is done. In this way, by setting the propagation light in the optical waveguide to a single mode, the wavefront of the propagation light can be stabilized without depending on the propagation distance, and recording light having stable intensity characteristics can be introduced into the light emitting portion 43. it can. As a result, the light emitting unit 43 can be driven stably, and the recording medium 300 can be irradiated with light with little fluctuation in intensity. Each single mode waveguide is formed of a light transmissive material having a refractive index higher than that of the insulating portion 50 formed around the single mode waveguide, like the light collecting portion 41c.

また、本実施形態では、各シングルモード導波路内の伝播モードをシングルモードにするので、各シングルモード導波路の延在方向に直交する断面の形状及び寸法は、各シングルモード導波路の延在方向に沿って一定とする。なお、各シングルモード導波路の延在方向に直交する断面の形状は、シングルモードで光が伝播可能な形状であれば、任意の形状にすることができる。例えば、各シングルモード導波路の断面の形状を、例えば円形、正方形、台形等にすることができる。また、各シングルモード導波路の断面の寸法は、例えば光導波路の形成材料、光導波路の周囲部材(クラッド材)の形成材料、伝播させる光の波長等に応じて適宜設定される。   In this embodiment, since the propagation mode in each single mode waveguide is set to a single mode, the shape and size of the cross section orthogonal to the extending direction of each single mode waveguide are the extension of each single mode waveguide. Constant along the direction. In addition, the shape of the cross section orthogonal to the extending direction of each single mode waveguide can be any shape as long as the light can propagate in the single mode. For example, the cross-sectional shape of each single mode waveguide can be set to, for example, a circle, a square, a trapezoid, or the like. Further, the dimensions of the cross section of each single mode waveguide are appropriately set according to, for example, the formation material of the optical waveguide, the formation material of the peripheral member (cladding material) of the optical waveguide, the wavelength of light to be propagated, and the like.

また、各シングルモード導波路は、図8に示すように、記録磁界生成部30の接続磁極部33を迂回するように(不図示)、略L字状に曲げられて形成される。そして、4つのシングルモード導波路42a〜42dの光射出面S3側の端部は、光射出部43付近で接続される。なお、本実施形態のように光導波路を、接続磁極部33を迂回するように形成した場合には、伝播光により接続磁極部33が加熱されないので、磁極全体の磁気特性の劣化を抑制することができる。   Further, as shown in FIG. 8, each single mode waveguide is formed by being bent into a substantially L shape so as to bypass the connection magnetic pole portion 33 of the recording magnetic field generation unit 30 (not shown). And the edge part by the side of the light emission surface S3 of the four single mode waveguides 42a-42d is connected in the light emission part 43 vicinity. When the optical waveguide is formed so as to bypass the connecting magnetic pole portion 33 as in the present embodiment, the connecting magnetic pole portion 33 is not heated by the propagating light, so that deterioration of the magnetic characteristics of the entire magnetic pole is suppressed. Can do.

なお、シングルモード導波路では、所定の曲率の範囲であれば光路を曲げても、無損失または低損失で光を伝播させることができる。それゆえ、本実施形態のように、各シングルモード導波路の延在途中で接続磁極部33と迂回するように光導波路を曲げたりしても、その曲率が所定の範囲内であれば無損失または低損失で光を伝播させることができる。なお、この曲率の範囲は、光導波路とその周囲の材料(絶縁部50)との屈折率差により決定される。   In the single mode waveguide, light can be propagated with no loss or low loss even if the optical path is bent within a predetermined curvature range. Therefore, even if the optical waveguide is bent so as to bypass the connecting magnetic pole portion 33 in the middle of the extension of each single mode waveguide as in this embodiment, if the curvature is within a predetermined range, there is no loss. Alternatively, light can be propagated with low loss. The curvature range is determined by the refractive index difference between the optical waveguide and the surrounding material (insulating portion 50).

また、本実施形態では、各シングルモード導波路の延在長さ(光路長)は、光射出部43の構成により適宜設定される。例えば、光射出部43で必要とする導入光の偏光方向が、光射出面S3と平行な方向である場合には、複数の伝播光が光射出部43付近で合波される際に、同位相で合波されるように各シングルモード導波路の延在長さを設定する。一方、光射出部43で必要とする導入光の偏光方向が、光射出面S3と直交する方向である場合には、複数の伝播光が光射出部43付近で合波される際に、逆位相で合波されるように各シングルモード導波路の延在長さを設定する。   In the present embodiment, the extension length (optical path length) of each single mode waveguide is appropriately set depending on the configuration of the light emitting unit 43. For example, when the polarization direction of the introduced light required by the light emitting unit 43 is a direction parallel to the light emitting surface S3, when the plurality of propagating lights are combined in the vicinity of the light emitting unit 43, the same The extension length of each single mode waveguide is set so as to be multiplexed in phase. On the other hand, when the polarization direction of the introduced light required by the light emitting unit 43 is a direction orthogonal to the light emitting surface S3, the reverse is applied when a plurality of propagating lights are combined in the vicinity of the light emitting unit 43. The extension length of each single mode waveguide is set so as to be multiplexed in phase.

なお、各シングルモード導波路の構成は、図8に示す例に限定されず、例えば、複数の入射光の入射位置、記録磁界生成部30の接続磁極部33の配置位置及び光射出部43の配置位置等に応じて適宜変更できる。また、十分に安定した強度を有する光を光射出部43に導入することが可能な構成であれば、例えば光導波路をマルチモード導波路で構成してもよい。例えば、光導波路を比較的短くすることができる場合には、安定した強度を有する光を光射出部43に導入することが可能なマルチモード導波路の設計が比較的容易である。それゆえ、そのような場合には、光導波路をマルチモード導波路で構成してもシングルモード導波路を用いた場合と同様の効果が得られる。さらに、本実施形態では、光導波路を設けずに、集光部で集光した光を直接光射出部43に導入するように、各集光部を構成してもよい。   The configuration of each single mode waveguide is not limited to the example shown in FIG. 8. For example, the incident position of a plurality of incident lights, the arrangement position of the connecting magnetic pole part 33 of the recording magnetic field generating unit 30, and the light emitting part 43 It can be appropriately changed according to the arrangement position. Further, for example, the optical waveguide may be configured by a multimode waveguide as long as light having sufficiently stable intensity can be introduced into the light emitting unit 43. For example, when the optical waveguide can be made relatively short, it is relatively easy to design a multimode waveguide that can introduce light having stable intensity into the light emitting portion 43. Therefore, in such a case, even if the optical waveguide is constituted by a multimode waveguide, the same effect as that obtained when the single mode waveguide is used can be obtained. Further, in the present embodiment, each light condensing unit may be configured such that light collected by the light converging unit is directly introduced into the light emitting unit 43 without providing an optical waveguide.

次に、光射出部43の一構成例を、図10を参照しながら説明する。なお、図10は、光射出面S3側から見た光射出部43近傍の概略斜視図である。本実施形態では、記録媒体300に情報記録を行う際、例えば近接場光等の微小光を用いて熱アシスト記録を行う。それゆえ、本実施形態では、光射出部43として、そのような微小光を射出可能な表面プラズモン発生素子を用いる。   Next, a configuration example of the light emitting unit 43 will be described with reference to FIG. FIG. 10 is a schematic perspective view of the vicinity of the light emitting portion 43 viewed from the light emitting surface S3 side. In the present embodiment, when information is recorded on the recording medium 300, heat assist recording is performed using minute light such as near-field light, for example. Therefore, in this embodiment, a surface plasmon generating element capable of emitting such minute light is used as the light emitting unit 43.

光射出部43は、4つシングルモード導波路42a〜42dを介して導入される4つの伝播光の合波光160の偏光方向A3に沿う方向に、互いに所定間隔離れて配置された一対の金属膜43a及び43b(金属構造体)で構成される。なお、一対の金属膜43a及び43bの間隔は、必要とする最短記録マークのサイズ程度に設定される。このように構成の表面プラズモン発生素子に、一対の金属膜43a及び43b間の対向方向と同じ方向の偏光方向A3を有する合波光160(伝播光)が照射されると、一対の金属膜43a及び43bの対向面に表面プラズモンが発生する。その結果、一対の金属膜43a及び43b間から、両者の間隔程度の径を有する微小光170が射出され、その微小光170が記録媒体300の所定領域に照射される。   The light emitting portion 43 is a pair of metal films disposed at a predetermined distance from each other in the direction along the polarization direction A3 of the combined light 160 of the four propagating lights introduced through the four single mode waveguides 42a to 42d. It is comprised by 43a and 43b (metal structure). The interval between the pair of metal films 43a and 43b is set to the size of the required shortest recording mark. When the surface plasmon generating element configured as described above is irradiated with the combined light 160 (propagating light) having the polarization direction A3 in the same direction as the facing direction between the pair of metal films 43a and 43b, the pair of metal films 43a and 43b Surface plasmons are generated on the facing surface of 43b. As a result, minute light 170 having a diameter of about the distance between the pair of metal films 43 a and 43 b is emitted, and the minute light 170 is irradiated onto a predetermined area of the recording medium 300.

また、本実施形態では、各金属膜の光入射側の端面で表面プラズモン共鳴現象を発生させるために、該端面に、合波光160の偏光方向A3に沿って所定周期で凸部と凹部とを交互に配置した凹凸パターンを形成する。このような構成にすることにより、一対の金属膜43a及び43b間の対向面だけでなく凹部及び凸部間の側面においても表面プラズモンが発生し、それらの表面プラズモンが凹凸パターンの周期方向(偏光方向A3)に伝播して互いに同位相で重なる。この結果、一対の金属膜43a及び43b間の対向面で発生する表面プラズモンの強度が増大し、一対の金属膜43a及び43b間からより高強度の微小光170を射出させることができる。   Further, in the present embodiment, in order to generate a surface plasmon resonance phenomenon at the end surface on the light incident side of each metal film, a convex portion and a concave portion are formed on the end surface at a predetermined cycle along the polarization direction A3 of the multiplexed light 160. An uneven pattern arranged alternately is formed. With such a configuration, surface plasmons are generated not only on the facing surface between the pair of metal films 43a and 43b but also on the side surfaces between the concave and convex portions, and these surface plasmons are generated in the periodic direction (polarized light) of the concave / convex pattern. Propagate in direction A3) and overlap each other in phase. As a result, the intensity of the surface plasmon generated on the opposing surface between the pair of metal films 43a and 43b is increased, and the high-intensity minute light 170 can be emitted from between the pair of metal films 43a and 43b.

なお、光射出部43(表面プラズモン発生素子)の構成は、図10に示す構成に限定されず、偏光方向A3を有する合波光160が照射された際に、金属膜の端面に表面プラズモンが発生する構成であれば、任意の構成にすることができる。例えば、一対の金属膜43a及び43bの一方の金属膜のみで光射出部43を構成してもよい。また、本実施形態では、光射出部43としては、例えば近接場光等の微小光を生成することが可能な光射出部であれば、任意の構成の光射出部を用いることができる。   The configuration of the light emitting portion 43 (surface plasmon generating element) is not limited to the configuration shown in FIG. 10, and surface plasmon is generated on the end face of the metal film when the combined light 160 having the polarization direction A3 is irradiated. If it is the structure to do, it can be set as arbitrary structures. For example, the light emitting portion 43 may be configured by only one metal film of the pair of metal films 43a and 43b. Moreover, in this embodiment, as the light emission part 43, if it is a light emission part which can generate | occur | produce minute lights, such as near-field light, for example, the light emission part of arbitrary structures can be used.

また、光射出部43として表面プラズモン発生素子を用いた場合、光射出部43の効率を向上させるために、例えば、4つシングルモード導波路42a〜42dの伝播光の射出口近傍をテイパー状に加工してもよいし、レンズ状の構造体を設けてもよい。   Further, when a surface plasmon generating element is used as the light emitting portion 43, in order to improve the efficiency of the light emitting portion 43, for example, the vicinity of the light emission exits of the four single mode waveguides 42a to 42d is formed into a taper shape. It may be processed or a lens-like structure may be provided.

[光源の構成]
熱アシスト磁気ヘッド110に射出する複数の光の生成源としては、複数の光源を用いてもよいし、一つの光源で複数の光を射出可能な構成の光源を用いてもよい。後者の例としては、例えば複数のメサを同一基板上に配置したVCSELチップ等が挙げられる。レーザ光の発光層を含むメサは、同一基板上に複数設けることが製造上容易である。本実施形態では、光源190として、4つのメサを同一基板上に配置したVCSELチップを用いる。
[Configuration of light source]
As a generation source of the plurality of lights emitted to the heat-assisted magnetic head 110, a plurality of light sources may be used, or a light source configured to emit a plurality of lights with one light source may be used. An example of the latter is a VCSEL chip in which a plurality of mesas are arranged on the same substrate. It is easy to manufacture a plurality of mesas including a laser light emitting layer on the same substrate. In this embodiment, a VCSEL chip in which four mesas are arranged on the same substrate is used as the light source 190.

図11に、本実施形態の熱アシスト磁気記録装置100で用いる光源190の概略構成を示す。光源190は、基板195と、4つの円板状凸部196a〜196d(土台部)と、4つのメサ190a〜190d(発光層を含む)とを備える。   FIG. 11 shows a schematic configuration of a light source 190 used in the heat-assisted magnetic recording apparatus 100 of the present embodiment. The light source 190 includes a substrate 195, four disk-shaped convex portions 196a to 196d (base portions), and four mesas 190a to 190d (including a light emitting layer).

4つの円板状凸部196a〜196dは、基板195上に形成され、熱アシスト磁気ヘッド110の先端面S4に形成された4つの凹部51の配置に対応する位置にアレイ状に配置される。また、4つのメサ190a〜190dは、それぞれ、4つの円板状凸部196a〜196d上に形成される。そして、4つのメサ190a〜190dの発光層はそれぞれ、波長λ1〜λ4の光191〜194を射出する。   The four disk-like convex portions 196a to 196d are formed on the substrate 195 and arranged in an array at positions corresponding to the arrangement of the four concave portions 51 formed on the front end surface S4 of the heat-assisted magnetic head 110. The four mesas 190a to 190d are formed on the four disk-shaped convex portions 196a to 196d, respectively. The light emitting layers of the four mesas 190a to 190d emit light 191 to 194 having wavelengths λ1 to λ4, respectively.

本実施形態では、4つの円板状凸部196a〜196dの基板195面内における径を変えることにより、4つのメサ190a〜190dからそれぞれ射出される光191〜194の波長λ1〜λ4(周波数f1〜f4)を変化させる。このような構成で、各メサの発光層からの出射光の波長を変えることができる理由は、次の通りである。   In the present embodiment, the wavelengths λ1 to λ4 (frequency f1) of the light 191 to 194 emitted from the four mesas 190a to 190d are changed by changing the diameters of the four disk-shaped convex portions 196a to 196d in the surface of the substrate 195. To change f4). The reason why the wavelength of the emitted light from the light emitting layer of each mesa can be changed with such a configuration is as follows.

各発光層は、対応する円板状凸部上に、例えばMOCVD法等の手法により形成される。この場合、結晶成長時における気相状態の原料濃度の基板195面内の勾配は、基板195上の凹凸パターンの形状により異なる。すなわち、発光層の土台となる円板状凸部の径を変えることにより、円板状凸部上の原料濃度の勾配を変えることができ、その結果、形成された発光層から射出される光の波長も変化させることができる。それゆえ、本実施形態のように、4つの円板状凸部196a〜196dの径を全て変えることにより、4つのメサ190a〜190dの発光層からそれぞれ射出される光191〜194の波長λ1〜λ4を互いに異ならせることができる。   Each light emitting layer is formed on the corresponding disk-shaped convex part by a technique such as MOCVD. In this case, the gradient of the raw material concentration in the vapor phase during crystal growth in the surface of the substrate 195 varies depending on the shape of the uneven pattern on the substrate 195. That is, by changing the diameter of the disk-shaped convex part that becomes the base of the light-emitting layer, the gradient of the raw material concentration on the disk-shaped convex part can be changed, and as a result, the light emitted from the formed light-emitting layer The wavelength of can also be changed. Therefore, as in this embodiment, by changing all the diameters of the four disk-shaped convex portions 196a to 196d, the wavelengths λ1 to λ1 of the light 191 to 194 emitted from the light emitting layers of the four mesas 190a to 190d, respectively. λ4 can be different from each other.

なお、円板状凸部の径が小さくなるほど、発光層から射出される光の波長は長くなる。それゆえ、図11に示す例では、4つの光191〜194の波長λ1〜λ4の間には、λ1<λ2<λ3<λ4の関係が成立する。   In addition, the wavelength of the light inject | emitted from a light emitting layer becomes long, so that the diameter of a disk-shaped convex part becomes small. Therefore, in the example shown in FIG. 11, a relationship of λ1 <λ2 <λ3 <λ4 is established between the wavelengths λ1 to λ4 of the four lights 191 to 194.

本実施形態では、4つの光191〜194間の最小周波数差Δf(最小波長差Δλ)と、記録媒体300の最短記録長に対応する記録周波数fmとの間に上記式6または7の関係が成立するように、各円板状凸部の径(各発光層からの出射光の波長)を適宜設定する。   In the present embodiment, the relationship of the above formula 6 or 7 exists between the minimum frequency difference Δf (minimum wavelength difference Δλ) between the four lights 191 to 194 and the recording frequency fm corresponding to the shortest recording length of the recording medium 300. The diameter of each disc-shaped convex portion (the wavelength of the emitted light from each light emitting layer) is appropriately set so as to be established.

なお、各発光層から射出される光の偏光方向は、微小光を射出する光射出部43の構成に応じて適宜設定される。   The polarization direction of the light emitted from each light emitting layer is appropriately set according to the configuration of the light emitting unit 43 that emits minute light.

具体的には、例えば図10に示す表面プラズモン発生素子で光射出部43を構成する場合、4つの光191〜194の偏向方向を、各集光部の入射面内において、シングルモード導波路の延在方向に直交する方向に合わせる(図8中の太矢印)。また、例えば、光射出部43の一対の金属膜の対向方向が図10中の光射出面S3の短手方向である場合には、4つの入射光191〜194の偏向方向を、それぞれ対応する集光部の入射面内において、シングルモード導波路の延在方向と一致する方向に合わせる。なお、発光層から射出される光の偏光方向は、例えば、発光層の光の出射口周辺を所定形状にエッチングし、光の出射口に所定方向の応力を与えることにより調整することができる。   Specifically, for example, when the light emitting unit 43 is configured by the surface plasmon generating element shown in FIG. 10, the deflection directions of the four lights 191 to 194 are changed in the incident surface of each condensing unit of the single mode waveguide. Match the direction perpendicular to the extending direction (thick arrow in FIG. 8). Further, for example, when the facing direction of the pair of metal films of the light emitting portion 43 is the short direction of the light emitting surface S3 in FIG. 10, the deflection directions of the four incident lights 191 to 194 correspond respectively. In the incident surface of the light condensing unit, the direction is matched with the extending direction of the single mode waveguide. The polarization direction of the light emitted from the light emitting layer can be adjusted by, for example, etching the periphery of the light emitting port of the light emitting layer into a predetermined shape and applying a stress in the predetermined direction to the light emitting port.

なお、図11に示す例では、基板上に凸部を設け、その上に発光層(メサ)を形成する例を説明したが、本発明はこれに限定されない。基板上に凹部を設け、その凹部内に発光層を例えばMOCVD法等の手法により形成してもよい。この場合においても、凹部の基板面内方向の寸法、具体的には、凹部の開口幅を変えることにより、発光層から射出される光の波長を変化させることができる。さらに、基板上に凸部及び凹部の両方を設け、それらの領域上に発光層を例えばMOCVD法等の手法により形成してもよい。   In the example shown in FIG. 11, the example in which the convex portion is provided on the substrate and the light emitting layer (mesa) is formed thereon is described, but the present invention is not limited to this. A recess may be provided on the substrate, and the light emitting layer may be formed in the recess by a technique such as MOCVD. Even in this case, the wavelength of light emitted from the light emitting layer can be changed by changing the dimension of the recess in the substrate surface direction, specifically, the opening width of the recess. Furthermore, both the convex portion and the concave portion may be provided on the substrate, and the light emitting layer may be formed on those regions by a technique such as MOCVD.

また、本実施形態の記録光生成部40の構成では、各集光部から光射出部43に至る各伝播光の光路が異なり、光射出部43に導入される複数の伝播光の入射角も互いに異なる。この場合、例えば光射出面S3の面内方向おける光強度分布も伝播光毎に異なるので、所望の光強度分布を有する合波光を安定して効率よく光射出部43に導入することが困難になる恐れもある。それゆえ、このような問題が生じる場合には、光源190から射出される各光の発光強度を変えて、光射出部43に導入される複数の伝播光の強度分布が互いに同じになるように調整することが好ましい。   Further, in the configuration of the recording light generation unit 40 of the present embodiment, the optical path of each propagation light from each condensing unit to the light emission unit 43 is different, and the incident angles of a plurality of propagation lights introduced into the light emission unit 43 are also included. Different from each other. In this case, for example, the light intensity distribution in the in-plane direction of the light exit surface S3 is also different for each propagating light, so that it is difficult to stably and efficiently introduce the combined light having the desired light intensity distribution into the light exit unit 43. There is also a fear. Therefore, when such a problem occurs, the emission intensity of each light emitted from the light source 190 is changed so that the intensity distributions of the plurality of propagation lights introduced into the light emitting unit 43 are the same. It is preferable to adjust.

[熱アシスト磁気記録装置の動作]
本実施形態の熱アシスト磁気記録装置100では、光源190(VCSELチップ)から熱アシスト磁気ヘッド110に射出された4つの光191〜194は、それぞれ、4つの集光部41a〜41dで光路変更及び集光される。そして、4つの集光部41a〜41dでそれぞれ集光された光は、対応するシングルモード導波路に導入される。
[Operation of heat-assisted magnetic recording device]
In the heat-assisted magnetic recording apparatus 100 of the present embodiment, the four light beams 191 to 194 emitted from the light source 190 (VCSEL chip) to the heat-assisted magnetic head 110 are changed in optical path by four light converging units 41a to 41d, respectively. Focused. The lights collected by the four light collecting portions 41a to 41d are introduced into the corresponding single mode waveguides.

各シングルモード導波路に導入された伝播光は、各シングルモード導波路内を伝播し、光射出部43付近で合波され、その合波光が光射出部43に入射される。そして、光射出部43では、入射された合波光により例えば近接場光等の微小光を生成し、その微小光を記録媒体300の所定領域に射出する。   The propagating light introduced into each single mode waveguide propagates through each single mode waveguide, and is multiplexed in the vicinity of the light emitting portion 43, and the combined light is incident on the light emitting portion 43. The light emitting unit 43 generates minute light such as near-field light from the incident combined light, and emits the minute light to a predetermined area of the recording medium 300.

本実施形態の熱アシスト磁気記録装置100では、上述のように、4つの集光部41a〜41dに入射される4つの光191〜194間の最小周波数差Δfと、記録媒体300の最短記録長に対応する記録周波数fmとの間に、上記式6または7の関係が成立する。すなわち、本実施形態では、4つの光191〜194が合波された際に発生する低周波ノイズの周波数(=Δf)が最短記録長に対応する記録周波数fmより大きくなる。   In the heat-assisted magnetic recording apparatus 100 according to the present embodiment, as described above, the minimum frequency difference Δf between the four lights 191 to 194 incident on the four light converging units 41 a to 41 d and the shortest recording length of the recording medium 300 are obtained. The relationship of the above formula 6 or 7 is established with the recording frequency fm corresponding to. That is, in the present embodiment, the frequency (= Δf) of the low frequency noise generated when the four lights 191 to 194 are combined is greater than the recording frequency fm corresponding to the shortest recording length.

それゆえ、本実施形態の熱アシスト磁気記録装置100を用いて記録媒体300に熱アシスト磁気記録を行った際には、上述した低周波ノイズの影響による誤記録という問題を解消することができる。したがって、本実施形態によれば、より高強度の記録光を安定して記録媒体300に照射することができ、装置の信頼性をより向上させることができる。   Therefore, when the thermally assisted magnetic recording is performed on the recording medium 300 using the thermally assisted magnetic recording apparatus 100 of the present embodiment, the above-described problem of erroneous recording due to the influence of low frequency noise can be solved. Therefore, according to the present embodiment, the recording medium 300 can be stably irradiated with higher intensity recording light, and the reliability of the apparatus can be further improved.

<2.第1の実施形態の熱アシスト磁気記録装置における種々の変形例>
次に、上述した第1の実施形態の熱アシスト磁気記録装置100の種々の変形例について説明する。なお、以下の各種変形例では、主に、第1の実施形態の熱アシスト磁気記録装置100と異なる構成のみを説明する。また、下記説明において、上記第1の実施形態と同じ構成には、同じ符号を付して説明する。
<2. Various modifications of the thermally-assisted magnetic recording apparatus of the first embodiment>
Next, various modifications of the heat-assisted magnetic recording apparatus 100 of the first embodiment described above will be described. In the following various modifications, only the configuration different from the heat-assisted magnetic recording apparatus 100 of the first embodiment will be mainly described. In the following description, the same components as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals.

[変形例1]
上記第1の実施形態では、光源190から射出された4つの光191〜194を、それぞれ別個に設けられた4つの集光部41a〜41dで受光する例を説明したが、本発明はこれに限定されない。例えば、4つの光191〜194を一つの集光部で受光してもよい。変形例1では、その一構成例を説明する。
[Modification 1]
In the first embodiment, the example in which the four light beams 191 to 194 emitted from the light source 190 are received by the four light collecting units 41a to 41d provided separately has been described. It is not limited. For example, the four light beams 191 to 194 may be received by one light collecting unit. In Modification 1, one configuration example will be described.

図12に、変形例1の熱アシスト磁気ヘッドで用いる集光部の概略構成を示す。この例では、集光部60を、その入射面が扇状であるグレーティングカプラで構成する。そして、集光部60の頂角側の端部をシングルモード導波路63に接続する。   FIG. 12 shows a schematic configuration of the light collecting unit used in the heat-assisted magnetic head of the first modification. In this example, the condensing part 60 is comprised with the grating coupler whose incident surface is fan shape. Then, the end of the light collecting unit 60 on the apex angle side is connected to the single mode waveguide 63.

この例では、4つの光191〜194を一つの集光部60で受光するので、シングルモード導波路63も一つだけ設ける。また、シングルモード導波路63は、図示しないが、第1の実施形態と同様に、記録磁界生成部30の接続磁極部33を迂回するように形成される。なお、シングルモード導波路63の形状及び寸法は、導波路内部を伝播する光がシングルモードになるように設定される。   In this example, since the four light beams 191 to 194 are received by one light collecting unit 60, only one single mode waveguide 63 is provided. Although not shown, the single mode waveguide 63 is formed so as to bypass the connection magnetic pole portion 33 of the recording magnetic field generation unit 30 as in the first embodiment. Note that the shape and dimensions of the single mode waveguide 63 are set so that the light propagating inside the waveguide becomes a single mode.

この例では、集光部60での高効率の光結合を実現するために、上記第1の実施形態と同様に、集光部60の入射面には、入射される4つの光191〜194の波面に対して凹凸パターン(凹部61及び凸部62)の周期が適宜設定される。また、この例では、凹凸パターンで受光した光を効率よく集光するために、凹凸パターンを集光部60のシングルモード導波路63側の接続部に対して同心円状とし、集光部60の受光面の幅をシングルモード導波路63側の接続部に向かって直線的に狭くする。   In this example, in order to realize high-efficiency optical coupling at the condensing unit 60, four incident lights 191 to 194 are incident on the incident surface of the condensing unit 60, as in the first embodiment. The period of the concavo-convex pattern (concave part 61 and convex part 62) is appropriately set with respect to the wavefront. In this example, in order to efficiently collect the light received by the concavo-convex pattern, the concavo-convex pattern is concentric with respect to the connection portion on the single mode waveguide 63 side of the condensing unit 60, and The width of the light receiving surface is linearly narrowed toward the connection portion on the single mode waveguide 63 side.

なお、集光部60は、上記第1の実施形態で説明した4つの集光部41a〜41dと同じ材料で形成することができる。また、集光部60の凹凸パターンの構成(例えば周期、凸部62の高さ等)は、例えば、入射光の波長、入射光の集光部60への入射角、集光部60の形成材料、及び集光部60の周囲の絶縁部50の形成材料を考慮して適宜設定される。   In addition, the condensing part 60 can be formed with the same material as the four condensing parts 41a-41d demonstrated in the said 1st Embodiment. Further, the configuration of the concave / convex pattern of the light collecting unit 60 (for example, the period, the height of the convex portion 62, etc.) includes, for example, the wavelength of incident light, the incident angle of incident light to the light collecting unit 60, It is set as appropriate in consideration of the material and the material for forming the insulating portion 50 around the light collecting portion 60.

この例の集光部60は、受光した4つの光191〜194を光路変更して、集光する。この際、集光部60は、さらに、受光した4つの光191〜194を合波して、その合波光をシングルモード導波路63に導入する。すなわち、この例では、集光部60は、受光した光に対して光路変換動作、集光動作及び合波動作を同時に行う。   The condensing unit 60 of this example condenses the received four lights 191 to 194 by changing the optical path. At this time, the condensing unit 60 further combines the received four lights 191 to 194 and introduces the combined light into the single mode waveguide 63. That is, in this example, the condensing unit 60 simultaneously performs an optical path changing operation, a condensing operation, and a combining operation on the received light.

なお、この例の集光部60と、図10に示す光射出部43とを組み合わせて用いる場合、集光部60に入射される各光の偏光方向を、それぞれ集光部60の凹凸パターンの周期方向に対して直交する方向に合わせることが好ましい(図12中の太矢印)。この場合、シングルモード導波路63の導入口付近で合波された光の偏光方向を、集光部60の受光面と同一面内の方向であり且つ光の伝播方向に対して直交する方向に合わせることができる。なお、光射出部43の構成上、合波光の偏光方向を、集光部60の受光面と直交し且つ光の伝播方向に対して直交する方向に合わせる必要がある場合には、集光部60に入射される各光の偏光方向を、集光部60の凹凸パターンの周期方向に合わせられる。   In addition, when using the condensing part 60 of this example, and the light-projection part 43 shown in FIG. 10, the polarization direction of each light which injects into the condensing part 60 is each of the uneven | corrugated pattern of the condensing part 60, respectively. It is preferable to match the direction perpendicular to the periodic direction (thick arrow in FIG. 12). In this case, the polarization direction of the light combined near the inlet of the single mode waveguide 63 is in the same plane as the light receiving surface of the condensing unit 60 and orthogonal to the light propagation direction. Can be matched. In addition, when it is necessary to match the polarization direction of the combined light with the direction orthogonal to the light receiving surface of the condensing unit 60 and orthogonal to the light propagation direction due to the configuration of the light emitting unit 43, the condensing unit The polarization direction of each light incident on 60 is matched with the periodic direction of the concavo-convex pattern of the condenser 60.

この例においても、集光部60に入射される4つの光191〜194間の最小周波数差Δfと、記録媒体300の最短記録長に対応する記録周波数fmとの間に、上記式6または7の関係を満足させることにより、上記第1の実施形態と同様の効果が得られる。   Also in this example, between the minimum frequency difference Δf between the four lights 191 to 194 incident on the light collecting unit 60 and the recording frequency fm corresponding to the shortest recording length of the recording medium 300, the above formula 6 or 7 By satisfying this relationship, the same effect as in the first embodiment can be obtained.

[変形例2]
上記第1の実施形態では、熱アシスト磁気ヘッドに入射される複数の光のそれぞれに対して、別個に集光部及び光導波路を設ける例を説明したが、本発明はこれに限定されず、例えば、複数の集光部及び光導波路が一体的に設けられていてもよい。変形例2では、その一構成例を説明する。
[Modification 2]
In the first embodiment, the example in which the light collecting unit and the optical waveguide are separately provided for each of the plurality of lights incident on the heat-assisted magnetic head has been described, but the present invention is not limited thereto, For example, a plurality of light collecting portions and optical waveguides may be provided integrally. In the second modification, one configuration example will be described.

図13に、変形例2の熱アシスト磁気ヘッドにおける記録光生成部の概略構成を示す。なお、図13は、この例の記録光生成部の受光面側の概略平面図である。また、図13に示す例では、記録光生成部で3つの光を受光する例を示すが、本発明はこれに限定されず、受光する光の数は、例えば必要とする光強度等に応じて適宜変更できる。   FIG. 13 shows a schematic configuration of a recording light generation unit in the heat-assisted magnetic head of Modification 2. FIG. 13 is a schematic plan view on the light receiving surface side of the recording light generating unit of this example. In the example shown in FIG. 13, an example in which the recording light generation unit receives three lights is shown. However, the present invention is not limited to this, and the number of received lights depends on, for example, the required light intensity. Can be changed as appropriate.

この例の記録光生成部70は、平面導波路部73とグレーティングカプラ74a〜74cと光射出部72とを備える。なお、光射出部72は、上記第1の実施形態の光射出部43(例えば図10)と同様の構成にすることができる。それゆえ、ここでは、光射出部72の説明を省略する。 The recording light generation unit 70 in this example includes a planar waveguide unit 73, grating couplers 74 a to 74 c, and a light emission unit 72. In addition, the light emission part 72 can be set as the structure similar to the light emission part 43 (for example, FIG. 10) of the said 1st Embodiment. Therefore, description of the light emission part 72 is abbreviate | omitted here.

記録光生成部70は、主に、平面導波路部73(合波部)と、その受光面に形成された3つのグレーティングカプラ74a〜74c(集光部)とで構成される。 The recording light generation unit 70 mainly includes a planar waveguide unit 73 (combining unit) and three grating couplers 74a to 74c (condensing units) formed on the light receiving surface.

平面導波路部73は、略台形状の板状部材であり、その上辺及び下辺は直線状であり、上辺の長さは、下辺の長さより長い。また、平面導波路部73の上辺及び下辺間を繋ぐ側辺部は、外側に向かって凸状となる曲線であり、平面導波路部73の上辺から下辺に向かう方向(長手方向)に対して対称形状を有する。そして、平面導波路部73の下辺の中央に、光射出部72が配置される。なお、平面導波路部73は、上記第1の実施形態のシングルモード導波路と同様の材料で形成される。   The planar waveguide portion 73 is a substantially trapezoidal plate-like member, and its upper side and lower side are linear, and the length of the upper side is longer than the length of the lower side. Moreover, the side part which connects between the upper side and lower side of the planar waveguide part 73 is a curve which becomes convex outward, and it is with respect to the direction (longitudinal direction) which goes to the lower side from the upper side of the planar waveguide part 73. It has a symmetrical shape. Then, the light emitting part 72 is arranged in the center of the lower side of the planar waveguide part 73. The planar waveguide portion 73 is formed of the same material as that of the single mode waveguide of the first embodiment.

3つのグレーティングカプラ74a〜74cは、図13に示す例では、平面導波路部73の長手方向の中心軸AX上に等間隔で配置される。なお、この例では、3つのグレーティングカプラ74a〜74cは、同じ構成とする。   In the example shown in FIG. 13, the three grating couplers 74 a to 74 c are arranged at equal intervals on the central axis AX in the longitudinal direction of the planar waveguide portion 73. In this example, the three grating couplers 74a to 74c have the same configuration.

各グレーティングカプラでは、所定周期の2つの凹凸パターン(周期構造)が、平面導波路部73の中心軸AXに対して対称形状を有する。また、各凹凸パターンの周期方向が、中心軸AXに対して所定の角度で対称的に傾くように、各凹凸パターンが形成される。なお、この例では、各グレーティングカプラに集光機能を持たせるために、各凹凸パターンは円弧状とする。また、各凹凸パターンの周期方向は、各凹凸パターンで受光した光が平面導波路部73の側面で反射して光射出部72に導入されるように調整される。   In each grating coupler, two concavo-convex patterns (periodic structure) having a predetermined period have a symmetrical shape with respect to the central axis AX of the planar waveguide portion 73. Moreover, each concavo-convex pattern is formed such that the periodic direction of each concavo-convex pattern is symmetrically inclined at a predetermined angle with respect to the central axis AX. In this example, each concavo-convex pattern has an arc shape in order to give each grating coupler a condensing function. The periodic direction of each concavo-convex pattern is adjusted so that the light received by each concavo-convex pattern is reflected by the side surface of the planar waveguide portion 73 and introduced into the light emitting portion 72.

ただし、この例では、各グレーティングカプラ内の2つの凹凸パターンが、平面導波路部73の中心軸AXに対して対称になるように形成したが、本発明はこれに限定されない。各グレーティングカプラ内の2つの凹凸パターンは、光射出部72に合波光を導入する際に必要とされる合波光の偏光方向に応じて適宜変更することができる。例えば、合波光の偏光方向を中心軸AXと直交する方向にする必要がある場合には、この例のように、2つの凹凸パターンを中心軸AXに対して対称になるように形成する。また、例えば、合波光の偏光方向を中心軸AXに沿う方向にする必要がある場合には、一方の凹凸パターンを他方の凹凸パターンに対して中心軸AXに沿って半周期ずらして形成すればよい。   However, in this example, the two concavo-convex patterns in each grating coupler are formed so as to be symmetric with respect to the central axis AX of the planar waveguide portion 73, but the present invention is not limited to this. The two concavo-convex patterns in each grating coupler can be appropriately changed according to the polarization direction of the combined light required when the combined light is introduced into the light emitting portion 72. For example, when the polarization direction of the combined light needs to be a direction orthogonal to the central axis AX, the two uneven patterns are formed to be symmetric with respect to the central axis AX as in this example. Further, for example, when it is necessary to make the polarization direction of the combined light in a direction along the central axis AX, one concavo-convex pattern may be formed with a half-cycle shift along the central axis AX with respect to the other concavo-convex pattern. Good.

上述した構成の記録光生成部70では、例えば、グレーティングカプラ74aに入射された光251は、グレーティングカプラ74a内の2つの凹凸パターンの周期方向にそって2つの伝播光(図13中の破線)に分波される。そして、分波された各伝播光は、平面導波路部73の側面で反射され、光射出部72に導入される。他のグレーティングカプラ74b及び74cにそれぞれ入射された光252及び253もまた、入射光251と同様にして、平面導波路部73の側面で反射され、光射出部72に導入される。   In the recording light generation unit 70 having the above-described configuration, for example, the light 251 incident on the grating coupler 74a has two propagation lights (broken lines in FIG. 13) along the periodic direction of the two concavo-convex patterns in the grating coupler 74a. Is demultiplexed. Each split propagation light is reflected by the side surface of the planar waveguide portion 73 and introduced into the light emitting portion 72. Lights 252 and 253 respectively incident on the other grating couplers 74 b and 74 c are also reflected by the side surface of the planar waveguide portion 73 and introduced into the light emitting portion 72 in the same manner as the incident light 251.

なお、この例では、3つのグレーティングカプラ74a〜74cは、同じ構成であり且つ平面導波路部73の中心軸AX上に等間隔で配置するので、3つのグレーティングカプラ74a〜74cから光射出部72に導入される3つの伝播光の光路は互いに異なる。すなわち、この例の記録光生成部70の構成では、3つのグレーティングカプラ74a〜74cから光射出部72に導入される3つの伝播光の入射角が互いに異なる。それゆえ、この例では、所望の光強度分布を有する合波光を安定して効率よく光射出部72に導入するために、光源から射出される各光の発光強度を変えて、光射出部72に導入される複数の光の強度分布が互いに同じになるように調整することが好ましい。   In this example, the three grating couplers 74a to 74c have the same configuration and are arranged at equal intervals on the central axis AX of the planar waveguide portion 73. Therefore, the light emitting portions 72 from the three grating couplers 74a to 74c. The optical paths of the three propagating lights introduced into are different from each other. That is, in the configuration of the recording light generation unit 70 of this example, the incident angles of the three propagation lights introduced from the three grating couplers 74a to 74c into the light emission unit 72 are different from each other. Therefore, in this example, in order to stably and efficiently introduce the combined light having a desired light intensity distribution into the light emitting unit 72, the light emitting unit 72 changes the light emission intensity of each light emitted from the light source. It is preferable to adjust so that the intensity distribution of the plurality of lights introduced to the same is the same.

また、この例においても、記録光生成部70への3つの入射光251〜253間の最小周波数差Δfと、記録媒体の最短記録長に対応する記録周波数fmとの間に、上記式6または7の関係を満足させることにより、上記第1の実施形態と同様の効果が得られる。   Also in this example, between the minimum frequency difference Δf between the three incident lights 251 to 253 to the recording light generation unit 70 and the recording frequency fm corresponding to the shortest recording length of the recording medium, By satisfying the relationship of 7, the same effect as the first embodiment can be obtained.

[変形例3]
上記第1の実施形態の熱アシスト磁気ヘッド110のように、集光部をグレーティングカプラで構成する場合、その受光面の凹凸パターンの領域を入射光のスポット径より大きくしすぎないことが好ましい。これは、次の理由によるものである。グレーティングカプラは、外部から光を受光する性質も有するが、内部を伝播する光を外部に放射する性質も有する。それゆえ、受光面の凹凸パターンの領域が入射光のスポット径より大きすぎると、外部から受光した光がグレーティングカプラ内を伝搬する間に凹凸パターンの領域で外部に放出され、グレーティングカプラの光結合率が低下する。
[Modification 3]
When the condensing part is configured by a grating coupler as in the heat-assisted magnetic head 110 of the first embodiment, it is preferable that the region of the concave / convex pattern on the light receiving surface is not made larger than the spot diameter of incident light. This is due to the following reason. The grating coupler has a property of receiving light from the outside, but also has a property of radiating light propagating inside to the outside. Therefore, if the concave / convex pattern area on the light-receiving surface is too larger than the spot diameter of the incident light, the light received from the outside is emitted to the outside in the concave / convex pattern area while propagating through the grating coupler, and the optical coupling of the grating coupler The rate drops.

また、光源に出力波面の安定したVCSEL、いわゆるシングルモードVCSELと呼ばれる光源を用いた場合には、上述したグレーティングカプラの性質から、次のような問題が生じる。シングルモードVCSELからの出射光のスポット径は非常に小さく、約10μm以下である。それゆえ、集光部としてグレーティングカプラを用いた場合、グレーティングカプラのサイズも小さくする必要がある。この場合、グレーティングカプラの凹凸パターンの寸法精度、及び、実装精度をより向上させる必要があり、グレーティングカプラ及び熱アシスト磁気ヘッドの製造がより難しくなる。   Further, when a VCSEL having a stable output wavefront, that is, a so-called single mode VCSEL, is used as the light source, the following problems occur due to the properties of the grating coupler described above. The spot diameter of the emitted light from the single mode VCSEL is very small, about 10 μm or less. Therefore, when a grating coupler is used as the light collecting portion, it is necessary to reduce the size of the grating coupler. In this case, it is necessary to further improve the dimensional accuracy and mounting accuracy of the concave / convex pattern of the grating coupler, and it becomes more difficult to manufacture the grating coupler and the heat-assisted magnetic head.

変形例3では、上述した問題を解消することのできる熱アシスト磁気記録装置の一例を説明する。図14に、変形例3の熱アシスト磁気記録装置における光源付近の概略構成を示す。なお、図14において、上記実施形態(図7)と同様の構成には、同じ符号を付して示す。また、図14では、説明を簡略化するため、光源190中に設けられる4つのメサ190a〜190dのうち、メサ190a(波長λ1の光を射出するメサ)付近の構成のみを示す。   In Modification 3, an example of a heat-assisted magnetic recording apparatus that can solve the above-described problem will be described. FIG. 14 shows a schematic configuration in the vicinity of the light source in the heat-assisted magnetic recording apparatus of Modification 3. In FIG. 14, the same components as those in the embodiment (FIG. 7) are denoted by the same reference numerals. Further, in FIG. 14, only the configuration near the mesa 190a (the mesa that emits light having the wavelength λ1) among the four mesas 190a to 190d provided in the light source 190 is shown for the sake of simplicity.

この例では、上記問題を解消するために、光源190のメサ190aと、熱アシスト磁気ヘッド110(図14では不図示)との間に、メサ190aから射出される光のスポット径を拡大するための光学系80を設ける。なお、この例では、他の3つのメサ190b〜190dに対しても、光学系80と同様の構成の光学系をそれぞれ設ける。   In this example, in order to solve the above problem, the spot diameter of light emitted from the mesa 190a is enlarged between the mesa 190a of the light source 190 and the heat-assisted magnetic head 110 (not shown in FIG. 14). The optical system 80 is provided. In this example, an optical system having the same configuration as that of the optical system 80 is provided for each of the other three mesas 190b to 190d.

光学系80は、ビームエクスパンダ81と、プリズム82とを備える。そして、ビームエクスパンダ81及びプリズム82は、光源190側からこの順で配置される。なお、この例では、光源190と光学系80との間で光が広がることを抑制するために、図14に示すように、光学系80を光源190の光出射面に接して設ける。ただし、本発明はこれに限定されず、例えば必要とする光の拡大率等に応じて、光学系80と光源190の光出射面との間に隙間を設けてもよい。   The optical system 80 includes a beam expander 81 and a prism 82. The beam expander 81 and the prism 82 are arranged in this order from the light source 190 side. In this example, in order to suppress the spread of light between the light source 190 and the optical system 80, the optical system 80 is provided in contact with the light emitting surface of the light source 190 as shown in FIG. However, the present invention is not limited to this, and a gap may be provided between the optical system 80 and the light exit surface of the light source 190, for example, according to the required light magnification factor.

ビームエクスパンダ81は、メサ190aから入射された光191のスポット径を所定のスポット径に拡大し、その拡大した光を平行光に変換して射出する。   The beam expander 81 expands the spot diameter of the light 191 incident from the mesa 190a to a predetermined spot diameter, converts the expanded light into parallel light, and emits it.

プリズム82は、ビームエクスパンダ81から射出された平行光の方向を所定方向に変化させる。具体的には、プリズム82は、ビームエクスパンダ81から射出された平行光が記録光生成部40内のグレーティングカプラからなる集光部41a(図14では不図示)に所定の角度で斜め入射されるように、平行光の方向を変化させる。   The prism 82 changes the direction of the parallel light emitted from the beam expander 81 to a predetermined direction. Specifically, in the prism 82, parallel light emitted from the beam expander 81 is obliquely incident at a predetermined angle on a condensing unit 41a (not shown in FIG. 14) made of a grating coupler in the recording light generation unit 40. Thus, the direction of the parallel light is changed.

上述のような構成の光学系80を光源190のメサ190aと熱アシスト磁気ヘッド110(図14では不図示)との間に設けることにより、拡大された光191EXを記録光生成部40内の集光部41a(グレーティングカプラ)に入射することができる。この場合、グレーティングカプラ及びその凹凸パターンの寸法を大きくすることができ、グレーティングカプラ及び熱アシスト磁気ヘッドの製造がより容易になる。   By providing the optical system 80 configured as described above between the mesa 190a of the light source 190 and the heat-assisted magnetic head 110 (not shown in FIG. 14), the expanded light 191EX is collected in the recording light generation unit 40. It can enter into the optical part 41a (grating coupler). In this case, the dimensions of the grating coupler and its concavo-convex pattern can be increased, and the manufacturing of the grating coupler and the heat-assisted magnetic head becomes easier.

さらに、この例においても、光源190から射出される4つの光間の最小周波数差Δfと、記録媒体の最短記録長に対応する記録周波数fmとの間に、上記式6または7の関係を満足させることにより、上記第1の実施形態と同様の効果が得られる。   Further, also in this example, the relationship of the above formula 6 or 7 is satisfied between the minimum frequency difference Δf between the four lights emitted from the light source 190 and the recording frequency fm corresponding to the shortest recording length of the recording medium. By doing so, the same effect as the first embodiment can be obtained.

なお、この例では、ビームエクスパンダ81から射出された平行光を集光部41aに斜め入射させるために、プリズム82を用いる例を説明したが、本発明はこれに限定されない。例えば、上記第1の実施形態の熱アシスト磁気ヘッド110(図7)のように、絶縁部50の先端面S4における光源190からの光の入射位置にプリズム機能を果たす凹部51を設けた場合にはプリズム82を設けなくてもよい。また、光源190及び光学系80からなる入射光生成部を、熱アシスト磁気ヘッド110の先端面S4に対して所定の角度で斜め実装して、光源190からの光をグレーティングカプラからなる集光部に斜め入射してもよい。この場合もまた、光学系80にプリズム82を設けなくてもよい。   In this example, the example in which the prism 82 is used in order to make the parallel light emitted from the beam expander 81 obliquely incident on the condensing unit 41a has been described. However, the present invention is not limited to this. For example, as in the heat-assisted magnetic head 110 (FIG. 7) of the first embodiment, when the concave portion 51 that performs the prism function is provided at the light incident position from the light source 190 on the tip surface S4 of the insulating portion 50. May not be provided with the prism 82. In addition, an incident light generation unit including the light source 190 and the optical system 80 is obliquely mounted at a predetermined angle with respect to the front end surface S4 of the heat-assisted magnetic head 110, and the light from the light source 190 is condensed by a grating coupler. May be incident obliquely. Also in this case, the prism 82 may not be provided in the optical system 80.

[変形例4]
上記第1の実施形態及び変形例2で説明したように、記録光生成部内で光射出部に導入される複数の伝播光の入射角が互いに異なる場合、所望の光強度分布を有する合波光を安定して効率よく光射出部に導入することが困難になる恐れがある。上記第1の実施形態及び変形例2の構成では、この問題を解消するために、光源から射出される各光の発光強度をそれぞれ調整すればよい。ただし、上記問題を解消する手法はこの手法に限定されず、変形例4では、別の手法で上記問題を解決することのできる構成例を説明する。
[Modification 4]
As described in the first embodiment and the second modification, when the incident angles of the plurality of propagating lights introduced into the light emitting unit in the recording light generating unit are different from each other, combined light having a desired light intensity distribution is obtained. There is a possibility that it is difficult to stably and efficiently introduce it into the light emitting portion. In the configurations of the first embodiment and the second modification, in order to solve this problem, the emission intensity of each light emitted from the light source may be adjusted. However, the method for solving the above problem is not limited to this method, and in Modification 4, a configuration example that can solve the above problem by another method will be described.

図15に、変形例4の熱アシスト磁気記録装置における光源付近の概略構成を示す。なお、この例では、図15に示すように、光源250として、3つの発光部(メサ)250a〜250cからそれぞれ波長λ1〜λ3の光(図15中のそれぞれ破線、実線及び一点鎖線)を射出するVCSELチップを用いる。なお、VCSELチップに搭載するメサの数は、この例に限定されず、例えば必要とする光強度等に応じて適宜変更できる。   FIG. 15 shows a schematic configuration in the vicinity of the light source in the heat-assisted magnetic recording apparatus of Modification 4. In this example, as shown in FIG. 15, light of wavelengths λ1 to λ3 (a broken line, a solid line, and an alternate long and short dash line in FIG. 15) is emitted from three light emitting units (mesas) 250 a to 250 c as light sources 250. Use VCSEL chip. Note that the number of mesas mounted on the VCSEL chip is not limited to this example, and can be appropriately changed according to, for example, the required light intensity.

この例では、光源250と、熱アシスト磁気ヘッド(図15では不図示)との間に、光源250から射出された3つの光に対して拡大及び合波するための光学系85を設ける。   In this example, an optical system 85 is provided between the light source 250 and a heat-assisted magnetic head (not shown in FIG. 15) for expanding and multiplexing the three lights emitted from the light source 250.

光学系85は、ミラー部86と、拡大光生成部87と、コリメートレンズ88と、プリズム89とを備える。そして、ミラー部86、拡大光生成部87、コリメートレンズ88及びプリズム89は、光源250側からこの順で配置される。なお、この例では、光源250と光学系85との間で光が広がることを抑制するために、図15に示すように、光学系85を光源250の光出射面に接して設ける。ただし、本発明はこれに限定されず、例えば必要とする光の拡大率等に応じて、光学系85と光源250の光出射面との間に隙間を設けてもよい。   The optical system 85 includes a mirror unit 86, an enlarged light generation unit 87, a collimator lens 88, and a prism 89. The mirror unit 86, the enlarged light generation unit 87, the collimating lens 88, and the prism 89 are arranged in this order from the light source 250 side. In this example, in order to suppress the spread of light between the light source 250 and the optical system 85, the optical system 85 is provided in contact with the light emitting surface of the light source 250 as shown in FIG. However, the present invention is not limited to this, and a gap may be provided between the optical system 85 and the light exit surface of the light source 250, for example, depending on the required light magnification ratio.

ミラー部86は、光透過性材料で形成され、その内部に4つの反射ミラー86a〜86dが設けられる。反射ミラー86aは、メサ250aの光出射面に対向する位置に配置され、反射ミラー86dは、メサ250cの光出射面に対向する位置に配置される。また、反射ミラー86b及び86cは、メサ250bの光出射面と対向する位置付近に配置され、メサ250bの光出射面の対向位置より、それぞれ反射ミラー86a側及び反射ミラー86d側に配置される。なお、4つの反射ミラー86a〜86dの角度は、ミラー部86から拡大光生成部87に射出される3つの光の出射方向が略平行となるように調整される。   The mirror part 86 is formed of a light transmissive material, and four reflection mirrors 86a to 86d are provided therein. The reflection mirror 86a is disposed at a position facing the light exit surface of the mesa 250a, and the reflection mirror 86d is disposed at a position facing the light exit surface of the mesa 250c. The reflection mirrors 86b and 86c are disposed in the vicinity of the position facing the light emitting surface of the mesa 250b, and are disposed on the reflecting mirror 86a side and the reflecting mirror 86d side from the position facing the light emitting surface of the mesa 250b, respectively. The angles of the four reflection mirrors 86a to 86d are adjusted so that the emission directions of the three lights emitted from the mirror part 86 to the enlarged light generation part 87 are substantially parallel.

4つの反射ミラー86a〜86dを上述のように配置すると、メサ250aから射出された波長λ1の光(図15中の破線)は、反射ミラー86a及び86bで反射され、拡大光生成部87に入射される。一方、メサ250cから射出された波長λ3の光(図15中の一点鎖線)は、反射ミラー86d及び86cで反射され、拡大光生成部87に入射される。また、メサ250bから射出された波長λ2の光(図15中の実線)は、光路変更されることなく直進して拡大光生成部87に入射される。すなわち、ミラー部86は、光源250から射出された3つの光間の出力ピッチを小さくして、3つの光を拡大光生成部87に射出する。   When the four reflection mirrors 86a to 86d are arranged as described above, the light having the wavelength λ1 emitted from the mesa 250a (broken line in FIG. 15) is reflected by the reflection mirrors 86a and 86b and enters the enlarged light generation unit 87. Is done. On the other hand, the light having the wavelength λ3 emitted from the mesa 250c (the one-dot chain line in FIG. 15) is reflected by the reflection mirrors 86d and 86c and enters the enlarged light generation unit 87. Further, the light of wavelength λ2 emitted from the mesa 250b (solid line in FIG. 15) travels straight without being changed in the optical path and is incident on the enlarged light generation unit 87. In other words, the mirror unit 86 decreases the output pitch between the three lights emitted from the light source 250 and emits the three lights to the enlarged light generation unit 87.

なお、この例では、ミラー部86内を伝播する3つの光の径がその伝播中に広がることを抑制するために、各伝播光の光路を導波路構造とすることが好ましい。また、この例では、後述するように、ミラー部86から射出された3つの光は拡大光生成部87で合波される。それゆえ、この例では、メサ250bから射出された波長λ2の光の光路を挟んで配置する反射ミラー86b及び86cの間隔をできる限り狭くして、3つの出射光間の出力ピッチをできるかぎり小さくする(例えば、数μm程度以下)ことが好ましい。   In this example, in order to prevent the diameters of the three lights propagating in the mirror part 86 from spreading during the propagation, it is preferable that the optical path of each propagating light has a waveguide structure. In this example, as will be described later, the three lights emitted from the mirror unit 86 are combined by the enlarged light generation unit 87. Therefore, in this example, the interval between the reflecting mirrors 86b and 86c arranged across the optical path of the light having the wavelength λ2 emitted from the mesa 250b is made as narrow as possible, and the output pitch between the three outgoing lights is made as small as possible. It is preferable (for example, about several μm or less).

拡大光生成部87は、光透過性材料で形成され、例えば従来のレンズ材料と同様の材料で形成される。拡大光生成部87は、ミラー部86から入射された3つの光のスポット径を所定のサイズに拡大するとともに、該3つの光を合波する。具体的には、ミラー部86から入射された各光のスポット径は、拡大光生成部87内において回折現象により広がり、それにより、3つの光が合波される。そして、拡大光生成部87は、合波及び拡大した光をコリメートレンズ88に射出する。なお、拡大光生成部87の構成(例えば形成材料、厚さ等)は、例えば必要とする光の拡大率、集光部の構成等に応じて適宜設定される。   The enlarged light generator 87 is made of a light transmissive material, for example, a material similar to a conventional lens material. The magnified light generation unit 87 expands the spot diameter of the three lights incident from the mirror unit 86 to a predetermined size and multiplexes the three lights. Specifically, the spot diameter of each light incident from the mirror part 86 is spread by a diffraction phenomenon in the enlarged light generation part 87, and thereby the three lights are multiplexed. Then, the enlarged light generation unit 87 emits the combined and enlarged light to the collimator lens 88. Note that the configuration (for example, the forming material and the thickness) of the magnified light generation unit 87 is appropriately set according to, for example, the required light magnification ratio and the configuration of the light collecting unit.

コリメートレンズ88は、拡大光生成部87で所定のスポット径に拡大された合波光を平行光に変換し、その平行光をプリズム89に射出する。   The collimator lens 88 converts the combined light that has been enlarged to a predetermined spot diameter by the enlarged light generation unit 87 into parallel light, and emits the parallel light to the prism 89.

プリズム89は、コリメートレンズ88から射出された平行光の方向を所定方向に変化させる。具体的には、プリズム89は、コリメートレンズ88から射出された平行光が記録光生成部(不図示)内のグレーティングカプラからなる集光部(不図示)に所定の角度で斜め入射されるように、平行光の方向を変化させる。   The prism 89 changes the direction of the parallel light emitted from the collimating lens 88 to a predetermined direction. Specifically, the prism 89 causes the parallel light emitted from the collimator lens 88 to be incident obliquely at a predetermined angle on a condensing unit (not shown) made of a grating coupler in a recording light generation unit (not shown). The direction of the parallel light is changed.

なお、この例の構成では、複数の光を合波して、その合波光を熱アシスト磁気ヘッドの記録光生成部に導入するので、グレーティングカプラからなる集光部及び集光した光を光射出部に導く光導波路は、ともに一つ設ければよい。   In the configuration of this example, a plurality of lights are combined, and the combined light is introduced into the recording light generation section of the thermally assisted magnetic head. It is only necessary to provide one optical waveguide leading to the part.

ここで、上記構成の光学系85における光の拡大率の一例を簡単に説明する。例えば、拡大光生成部87の屈折率を1.45とし、拡大光生成部87の光の伝播方向の厚さを300μmとし、入射光の波長を850nmとした場合を考える。この場合、拡大光生成部87の光入射面に約3μmのスポット径の光を入射すると、上記構成の光学系85では、コリメートレンズ88の光出射面の平行光の径を約75μm程度(拡大率:約25倍)に拡大することができる。   Here, an example of the magnification factor of light in the optical system 85 configured as described above will be briefly described. For example, consider a case where the refractive index of the magnified light generation unit 87 is 1.45, the thickness of the light propagation direction of the magnified light generation unit 87 is 300 μm, and the wavelength of incident light is 850 nm. In this case, when light having a spot diameter of about 3 μm is incident on the light incident surface of the magnified light generator 87, the optical system 85 having the above configuration sets the diameter of parallel light on the light exit surface of the collimator lens 88 to about 75 μm (enlarged). (Ratio: about 25 times).

上述のような構成の光学系85を用いると、複数の光を合波して、その合波光を熱アシスト磁気ヘッドの記録光生成部に導入するので、各光の光射出部までの光路を同じ(共通)にすることができる。それゆえ、光射出部に導入され複数の光の入射角が互いに同じになり、上述した問題を解消することができ、所望の光強度分布を有する合波光を安定して効率よく光射出部に導入することができる。   When the optical system 85 configured as described above is used, a plurality of lights are combined and the combined light is introduced into the recording light generation unit of the heat-assisted magnetic head. Can be the same (common). Therefore, the incident angles of a plurality of lights introduced into the light emitting part are the same, and the above-described problems can be solved, and the combined light having a desired light intensity distribution can be stably and efficiently applied to the light emitting part. Can be introduced.

また、この例では、光源250から射出された複数の光を拡大して熱アシスト磁気ヘッドに導入する。それゆえ、この例では、変形例2と同様に、グレーティングカプラ及びその凹凸パターンの寸法を大きくすることができ、グレーティングカプラ及び熱アシスト磁気ヘッドの製造をより容易にすることができる。   In this example, a plurality of lights emitted from the light source 250 are enlarged and introduced into the heat-assisted magnetic head. Therefore, in this example, as in the second modification, the dimensions of the grating coupler and its concavo-convex pattern can be increased, and the manufacturing of the grating coupler and the heat-assisted magnetic head can be facilitated.

さらに、この例では、3つのメサ250a〜250cからそれぞれ射出される3つの光間の最小周波数差Δfと、記録媒体の最短記録長に対応する記録周波数fmとの間に、上記式6または7の関係を満足させる。それゆえ、この例においても、上記第1の実施形態と同様の効果が得られる。   Further, in this example, between the minimum frequency difference Δf between the three lights respectively emitted from the three mesas 250a to 250c and the recording frequency fm corresponding to the shortest recording length of the recording medium, the above formula 6 or 7 Satisfy the relationship. Therefore, also in this example, the same effect as the first embodiment can be obtained.

なお、この例では、コリメートレンズ88から射出された平行光を記録光生成部の集光部(不図示)に斜め入射させるために、プリズム89を用いる例を説明したが、本発明はこれに限定されない。例えば、上記第1の実施形態の熱アシスト磁気ヘッド110(図7)のように、絶縁部50の先端面S4における光源190からの光の入射位置にプリズム機能を果たす凹部51を設けた場合にはプリズム89を設けなくてもよい。また、光源250及び光学系85からなる入射光生成部を、熱アシスト磁気ヘッドの先端面S4に対して所定の角度で斜め実装して、光源250からの光をグレーティングカプラからなる集光部に斜め入射してもよい。この場合もまた、光学系85にプリズム89を設けなくてもよい。   In this example, the example in which the prism 89 is used to obliquely enter the parallel light emitted from the collimator lens 88 into the light collecting unit (not shown) of the recording light generation unit has been described. It is not limited. For example, as in the heat-assisted magnetic head 110 (FIG. 7) of the first embodiment, when the concave portion 51 that performs the prism function is provided at the light incident position from the light source 190 on the tip surface S4 of the insulating portion 50. May not be provided with the prism 89. In addition, an incident light generation unit including the light source 250 and the optical system 85 is obliquely mounted at a predetermined angle with respect to the front end surface S4 of the heat-assisted magnetic head, and the light from the light source 250 is applied to the condensing unit including a grating coupler. It may be incident obliquely. Also in this case, the prism 89 may not be provided in the optical system 85.

[変形例5]
上記第1の実施形態では、4つの集光部41a〜41dをグレーティングカプラで構成する例を説明したが、本発明はこれに限定されない。光源190から入射される光に対して光路変換及び集光の両動作を行うことができる構成であれば、任意の構成の集光部を用いることができる。変形例2では、その一構成例を示す。
[Modification 5]
In the first embodiment, the example in which the four light collecting portions 41a to 41d are configured by grating couplers has been described, but the present invention is not limited to this. A condensing unit having an arbitrary configuration can be used as long as both light path conversion and condensing operations can be performed on light incident from the light source 190. Modification 2 shows an example of the configuration.

図16に、変形例5の熱アシスト磁気ヘッドで用いる記録光生成部の概略構成を示す。なお、図16において、上記第1の実施形態の記録光生成部40(図8)と同様の構成には、同じ符号を付して示す。   FIG. 16 shows a schematic configuration of a recording light generator used in the heat-assisted magnetic head of the fifth modification. In FIG. 16, the same components as those of the recording light generator 40 (FIG. 8) of the first embodiment are denoted by the same reference numerals.

変形例5の記録光生成部90は、4つの金属膜91a〜91dと、それらにそれぞれ接続された4つのシングルモード導波路42a〜42dと、光射出部43とを備える。すなわち、この例では、第1の実施形態の記録光生成部40(図8)において、グレーティングカプラの代わりに金属膜を用いて各集光部を構成する。   The recording light generation unit 90 of Modification 5 includes four metal films 91a to 91d, four single mode waveguides 42a to 42d connected to them, and a light emission unit 43, respectively. That is, in this example, in the recording light generation unit 40 (FIG. 8) of the first embodiment, each light condensing unit is configured using a metal film instead of the grating coupler.

図17に、金属膜からなる集光部付近の概略構成を示す。なお、図17には、4つの金属膜91a〜91dのうち、金属膜91c付近の構成のみを示す。その他の金属膜付近の構成は、金属膜91c付近と同様の構成である。それゆえ、ここでは、金属膜91cのみの構成を説明する。   FIG. 17 shows a schematic configuration in the vicinity of the light collecting portion made of a metal film. FIG. 17 shows only the configuration in the vicinity of the metal film 91c among the four metal films 91a to 91d. Other configurations in the vicinity of the metal film are the same as those in the vicinity of the metal film 91c. Therefore, here, only the configuration of the metal film 91c will be described.

この例では、金属膜91c(ミラー構造体)は、表面が矩形状の金属膜であり、その幅は、対応するシングルモード導波路42cの幅より広く、厚さは、シングルモード導波路42cの厚さと同じである。そして、金属膜91cの光193の受光側の表面のサイズを受光側とは反対側の表面のサイズより小さくし、且つ、金属膜91cのシングルモード導波路42c側の端面92cをテイパー状にする。なお、シングルモード導波路42cへの光の導光効率の低下を抑制するため、金属膜91cの厚さ及び幅は、ともに、シングルモード導波路42cのそれらの値以上とすることが好ましい。   In this example, the metal film 91c (mirror structure) is a metal film having a rectangular surface, the width is wider than the width of the corresponding single mode waveguide 42c, and the thickness is the same as that of the single mode waveguide 42c. Same as thickness. Then, the size of the surface of the metal film 91c on the light receiving side of the light 193 is made smaller than the size of the surface on the opposite side to the light receiving side, and the end surface 92c of the metal film 91c on the single mode waveguide 42c side is made into a taper shape. . In order to suppress a decrease in light guiding efficiency to the single mode waveguide 42c, both the thickness and width of the metal film 91c are preferably equal to or greater than those of the single mode waveguide 42c.

このような構成の金属膜91cを用いることにより、金属膜91cとシングルモード導波路42cとの界面には、ミラー部93c(反射ミラー)が画成される。そして、このミラー部93cに、光源190からの光193が導入されると、その光は、ミラー部93cで反射され、シングルモード導波路42cに導光される。なお、この際、光源190と記録光生成部90との間に例えば集光レンズ等を配置して、ミラー部93cに導入される光193のスポットサイズを、シングルモード導波路42cのサイズに適したサイズに絞り込むことが好ましい。この場合、ミラー部93cで反射された光を効率よくシングルモード導波路42cに導入することができる。   By using the metal film 91c having such a configuration, a mirror part 93c (reflection mirror) is defined at the interface between the metal film 91c and the single mode waveguide 42c. When the light 193 from the light source 190 is introduced into the mirror part 93c, the light is reflected by the mirror part 93c and guided to the single mode waveguide 42c. At this time, for example, a condensing lens is disposed between the light source 190 and the recording light generation unit 90, and the spot size of the light 193 introduced into the mirror unit 93c is suitable for the size of the single mode waveguide 42c. It is preferable to narrow down to a different size. In this case, the light reflected by the mirror part 93c can be efficiently introduced into the single mode waveguide 42c.

上述のように、この例の金属膜からなる集光部においても、第1の実施形態と同様に、光源190から入射される光に対して光路変換及び集光の両動作を行うことができる。   As described above, also in the light collecting unit made of the metal film of this example, both the optical path conversion and the light collecting operations can be performed on the light incident from the light source 190 as in the first embodiment. .

この例においても、記録光生成部90に入射される4つの光191〜194間の最小周波数差Δfと、記録媒体300の最短記録長に対応する記録周波数fmとの間に、上記式6または7の関係を満足させることにより、上記第1の実施形態と同様の効果が得られる。   Also in this example, between the minimum frequency difference Δf between the four lights 191 to 194 incident on the recording light generator 90 and the recording frequency fm corresponding to the shortest recording length of the recording medium 300, the above formula 6 or By satisfying the relationship of 7, the same effect as the first embodiment can be obtained.

[変形例6]
上記変形例5では、光源190から射出された4つの光191〜194を、それぞれ別個に設けられた4つの金属膜91a〜91dからなる集光部で受光する例を説明したが、本発明はこれに限定されない。例えば、4つの光191〜194を一つの金属膜からなる集光部で受光してもよい。変形例6では、その一構成例を説明する。
[Modification 6]
In the above-described modification 5, the example in which the four light beams 191 to 194 emitted from the light source 190 are received by the condensing unit including the four metal films 91a to 91d provided separately has been described. It is not limited to this. For example, you may receive four light 191-194 with the condensing part which consists of one metal film. In Modification 6, one configuration example will be described.

図18に、変形例6の集光部の概略構成を示す。この例の集光部95は、金属膜96と、金属膜96及びシングルモード導波路99間を接続する集光導波路98とで構成される。なお、この例では、変形例1と同様に、4つの光191〜194を一つの集光部95で受光するので、シングルモード導波路99も一つだけ設ける。なお、集光導波路98は、シングルモード導波路99と同様の材料で形成される。   In FIG. 18, the schematic structure of the condensing part of the modification 6 is shown. The condensing unit 95 in this example includes a metal film 96 and a condensing waveguide 98 that connects the metal film 96 and the single mode waveguide 99. In this example, as in the first modification, the four light beams 191 to 194 are received by the single condensing unit 95, so that only one single mode waveguide 99 is provided. The condensing waveguide 98 is formed of the same material as the single mode waveguide 99.

金属膜96は、表面が略矩形状の金属膜であり、その集光導波路98側の端面97は、テイパー状であり、且つ、シングルモード導波路99の光導入口に対して円弧状の曲面で形成される。そして、この例では、金属膜96の集光導波路98側の円弧状の端面97に沿って4つの光191〜194を所定間隔で入射する。なお、この例では、4つの光191〜194の入射位置に応じて、光源190内の4つのメサ190a〜190dの形成位置も適宜変更する。   The metal film 96 is a metal film having a substantially rectangular surface, and the end surface 97 on the condensing waveguide 98 side has a taper shape and is an arc-shaped curved surface with respect to the optical entrance of the single mode waveguide 99. Formed with. In this example, four lights 191 to 194 are incident at predetermined intervals along the arc-shaped end surface 97 of the metal film 96 on the condensing waveguide 98 side. In this example, the formation positions of the four mesas 190a to 190d in the light source 190 are appropriately changed according to the incident positions of the four lights 191 to 194.

この例の構成では、金属膜96の集光導波路98側の端面97がミラー部(反射ミラー)として作用する。この端面97に光源190から4つの光191〜194が導入されると、それらの光は、端面97で反射され、集光導波路98に導入される。そして、導入された4つの光は、集光導波路98内で、集光及び合波され、合波された光がシングルモード導波路99に導光される。   In the configuration of this example, the end surface 97 of the metal film 96 on the condensing waveguide 98 side functions as a mirror portion (reflection mirror). When the four light beams 191 to 194 are introduced from the light source 190 to the end face 97, the lights are reflected by the end face 97 and introduced into the condensing waveguide 98. Then, the introduced four lights are condensed and combined in the condensing waveguide 98, and the combined light is guided to the single mode waveguide 99.

上述のように、この例の集光部95では、光源190から入射される光に対して光路変換、集光及び合波の動作を同時に行うことができる。   As described above, the light condensing unit 95 in this example can simultaneously perform optical path conversion, light condensing, and multiplexing operations on the light incident from the light source 190.

この例においても、集光部95に入射される4つの光191〜194間の最小周波数差Δfと、記録媒体300の最短記録長に対応する記録周波数fmとの間に、上記式6または7の関係を満足させることにより、上記第1の実施形態と同様の効果が得られる。   Also in this example, between the minimum frequency difference Δf between the four lights 191 to 194 incident on the light condensing unit 95 and the recording frequency fm corresponding to the shortest recording length of the recording medium 300, the above formula 6 or 7 By satisfying this relationship, the same effect as in the first embodiment can be obtained.

<3.第2の実施形態>
上記第1の実施形態及び各種変形例では、光源190を熱アシスト磁気ヘッド110の先端面S4(空気流出側の端面)上に設けた例を説明したが、本発明はこれに限定されない。例えば、光源を光導波路の延在方向と同じ方向に配置してもよい。第2の実施形態では、その一構成例について説明する。
<3. Second Embodiment>
In the first embodiment and various modifications, the example in which the light source 190 is provided on the front end surface S4 (end surface on the air outflow side) of the heat-assisted magnetic head 110 has been described, but the present invention is not limited to this. For example, the light source may be arranged in the same direction as the extending direction of the optical waveguide. In the second embodiment, an example of the configuration will be described.

[熱アシスト磁気ヘッドの構成]
図19に、本発明の第2の実施形態に係る熱アシスト磁気ヘッドの概略構成を示す。なお、図19において、上記第1の実施形態の熱アシスト磁気ヘッド110(図7及び8)と同様の構成には同じ符号を付して示す。
[Configuration of heat-assisted magnetic head]
FIG. 19 shows a schematic configuration of a thermally-assisted magnetic head according to the second embodiment of the present invention. In FIG. 19, the same components as those of the heat-assisted magnetic head 110 (FIGS. 7 and 8) of the first embodiment are denoted by the same reference numerals.

また、本実施形態の熱アシスト磁気ヘッド200では、記録磁界生成部の構成を上記第1の実施形態(図7)と同じ構成とする。それゆえ、図19では記録磁界生成部の構成を省略し、以下の説明においても、記録磁界生成部の構成の説明を省略する。   In the thermally-assisted magnetic head 200 of this embodiment, the configuration of the recording magnetic field generation unit is the same as that of the first embodiment (FIG. 7). Therefore, the configuration of the recording magnetic field generation unit is omitted in FIG. 19, and the description of the configuration of the recording magnetic field generation unit is also omitted in the following description.

本実施形態では、熱アシスト磁気ヘッド200は、スライダ本体106のトレーリング面S2上に形成される。また、光源250は、熱アシスト磁気ヘッド200の記録媒体300側とは反対側の面S5上に実装される。   In the present embodiment, the heat-assisted magnetic head 200 is formed on the trailing surface S2 of the slider body 106. The light source 250 is mounted on the surface S5 of the thermally assisted magnetic head 200 on the side opposite to the recording medium 300 side.

なお、本実施形態では、光源400として、同一基板面上に配列された3つのメサ400a〜400cからなるVCSELチップを用いる。そして、3つのメサ400a〜400c(発光部)から、それぞれ3つの光401〜403を熱アシスト磁気ヘッド200に射出する。また、本実施形態では、3つのメサ400a〜400cを、トレーリング面S2に沿った方向で且つ後述する光導波路202の延在方向に直交する方向(図19中のy方向)に一列に配置する。なお、メサ400a〜400cは、後述する第1集光部211と対向する位置に配置される。   In the present embodiment, a VCSEL chip including three mesas 400a to 400c arranged on the same substrate surface is used as the light source 400. And three light 401-403 is each inject | emitted from the three mesa 400a-400c (light emission part) to the heat-assisted magnetic head 200. FIG. In the present embodiment, the three mesas 400a to 400c are arranged in a row in the direction along the trailing surface S2 and in the direction orthogonal to the extending direction of the optical waveguide 202 described later (y direction in FIG. 19). To do. Note that the mesas 400a to 400c are arranged at positions facing a first light collecting unit 211 described later.

なお、本実施形態では、第1の実施形態で用いた光源190(図11)と同様に、各メサを形成する際の土台となる円板状凸部(不図示)の径を変えることにより、3つのメサ400a〜400cからそれぞれ射出される光の波長(周波数)を変化させる。   In the present embodiment, similarly to the light source 190 (FIG. 11) used in the first embodiment, the diameter of the disk-shaped convex portion (not shown) that serves as a base for forming each mesa is changed. The wavelength (frequency) of the light emitted from each of the three mesas 400a to 400c is changed.

具体的には、本実施形態では、3つのメサ400a〜400cから射出される光の波長λ1〜λ3の間に、λ1<λ2<λ3の関係が成り立つように各円板状凸部の径を設定する。さらに、本実施形態では、3つの光401〜403間の最小周波数差Δfと、記録媒体300の最短記録長に対応する記録周波数fmとの間に、上記式6または7の関係が成立するように、各円板状凸部の径を設定する。   Specifically, in this embodiment, the diameter of each disk-shaped convex portion is set so that the relationship of λ1 <λ2 <λ3 is established between the wavelengths λ1 to λ3 of the light emitted from the three mesas 400a to 400c. Set. Further, in the present embodiment, the relationship of the above formula 6 or 7 is established between the minimum frequency difference Δf between the three lights 401 to 403 and the recording frequency fm corresponding to the shortest recording length of the recording medium 300. Next, the diameter of each disk-shaped convex part is set.

次に、本実施形態の記録光生成部210(光ビーム出射部)の構成について説明する。   Next, the configuration of the recording light generating unit 210 (light beam emitting unit) of the present embodiment will be described.

記録光生成部210は、集光部201と、光導波路202と、光射出部43とで構成される。各部は、絶縁部50を介してスライダ本体106のトレーリング面S2上に積層して形成される。各部の形成方法としては、例えば半導体素子の製造プロセス等に適用される従来のフォトリソグラフィ技術を用いることができる。   The recording light generating unit 210 includes a light collecting unit 201, an optical waveguide 202, and a light emitting unit 43. Each part is formed by being laminated on the trailing surface S2 of the slider body 106 via the insulating part 50. As a method for forming each part, for example, a conventional photolithography technique applied to a semiconductor element manufacturing process or the like can be used.

集光部201は、第1集光部211と、第2集光部212とで構成される。本実施形態では、第1集光部211を、熱アシスト磁気ヘッド200の光入射側の端面S5の近傍に配置する。また、第2集光部212は、絶縁部50を介して第1集光部211より熱アシスト磁気ヘッド200の光射出部43側の位置に配置する。そして、第2集光部212の光射出部43側端部と光導波路202の一方の端部と接続する。なお、第1集光部211、第2集光部212及び光導波路202は、光の伝播方向(図19中のz方向)において、同軸上に配置される。   The light collecting unit 201 includes a first light collecting unit 211 and a second light collecting unit 212. In the present embodiment, the first light collector 211 is disposed in the vicinity of the end surface S5 on the light incident side of the heat-assisted magnetic head 200. In addition, the second light collecting unit 212 is disposed at a position closer to the light emitting unit 43 of the heat-assisted magnetic head 200 than the first light collecting unit 211 via the insulating unit 50. Then, the second light condensing unit 212 is connected to the light emitting unit 43 side end and one end of the optical waveguide 202. In addition, the 1st condensing part 211, the 2nd condensing part 212, and the optical waveguide 202 are coaxially arrange | positioned in the propagation direction (z direction in FIG. 19) of light.

第1集光部211は、スライダ本体106のトレーリング面S2に直交する方向(図19中のx方向)に、互いに所定間隔離して形成された4つの屈折部材213で構成される。各屈折部材213は、トレーリング面S2に沿った方向で且つ光導波路202の延在方向に直交する方向(図19中のy方向)に延在した四角柱状部材である。また、各屈折部材213は、絶縁部50より高屈折率の材料で形成される。   The first light collecting unit 211 includes four refracting members 213 that are formed at a predetermined distance from each other in the direction orthogonal to the trailing surface S2 of the slider body 106 (the x direction in FIG. 19). Each refracting member 213 is a quadrangular columnar member extending in a direction along the trailing surface S2 and in a direction orthogonal to the extending direction of the optical waveguide 202 (y direction in FIG. 19). Each refractive member 213 is formed of a material having a higher refractive index than that of the insulating portion 50.

上述のように、本実施形態では、トレーリング面S2に直交する方向(図19中のx方向)にストライプ状に配置された4つの屈折部材213で、第1集光部211を構成する。このような構成にすると、第1集光部211は、フレネルレンズと同様の集光レンズとして機能する。その結果、光源400から第1集光部211に入射される3つの光401〜403は、第1集光部211により、図19中の矢印L1に示すように、トレーリング面S2に直交する方向(図19中のx方向)に集光される。   As described above, in the present embodiment, the first condensing unit 211 is configured by the four refracting members 213 arranged in stripes in the direction orthogonal to the trailing surface S2 (the x direction in FIG. 19). With such a configuration, the first condensing unit 211 functions as a condensing lens similar to the Fresnel lens. As a result, the three light beams 401 to 403 incident on the first light collecting unit 211 from the light source 400 are orthogonal to the trailing surface S2 by the first light collecting unit 211 as indicated by an arrow L1 in FIG. The light is condensed in the direction (x direction in FIG. 19).

なお、第1集光部211では、各屈折部材213の例えば材料、厚さ及び幅等の構成、並びに、屈折部材213間の距離などを適宜調整することにより、光源400から射出された各光のスポット径を所定の割合で縮小することができる。また、この例では、第1集光部211からの出射光を第2集光部212の第1集光部211側の端面212aに効率よく集光できるように、各屈折部材213の構成を設定する。   In the first condensing unit 211, each light emitted from the light source 400 is appropriately adjusted by appropriately adjusting the configuration of each refractive member 213, such as the material, thickness, and width, and the distance between the refractive members 213. The spot diameter can be reduced at a predetermined rate. Further, in this example, the configuration of each refracting member 213 is configured so that the emitted light from the first light collector 211 can be efficiently condensed on the end surface 212a of the second light collector 212 on the first light collector 211 side. Set.

なお、図19に示す例では、第1集光部211を構成する4つの屈折部材213の光源400側の端面が、熱アシスト磁気ヘッド200の光入射側端面S5に露出するように形成する例を示すが、本発明は、これに限定されない。例えば、光源400から第1集光部211に十分な光量の光を導入することが可能であれば、屈折部材213の光源400側の端面が、光入射側端面S5に露出していなくてもよい。なお、本実施形態のように、屈折部材213の光源400側の端面を光入射側端面S5に露出するように第1集光部211を構成した場合、光利用効率の低下をより抑制することができる。   In the example shown in FIG. 19, the end surfaces on the light source 400 side of the four refractive members 213 constituting the first light collector 211 are formed so as to be exposed on the light incident side end surface S <b> 5 of the heat-assisted magnetic head 200. However, the present invention is not limited to this. For example, if it is possible to introduce a sufficient amount of light from the light source 400 to the first light collecting unit 211, the end surface on the light source 400 side of the refractive member 213 is not exposed to the light incident side end surface S5. Good. In addition, when the 1st condensing part 211 is comprised so that the end surface by the side of the light source 400 of the refractive member 213 may be exposed to light incident side end surface S5 like this embodiment, the fall of light utilization efficiency is suppressed more. Can do.

第2集光部212は、トレーリング面S2に直交する方向(図19中のx方向)の厚さが一定の板状部材である。第2集光部212の表面は、トレーリング面S2と平行であり、その形状は略扇状である。そして、第2集光部212の略扇状表面の頂角側の端面(側面)が光導波路202に接続され、円弧状の長辺側の端面212aが第1集光部211と対向するように配置される。第2集光部212は、光導波路202と同じ材料で形成される。   The second light collector 212 is a plate-like member having a constant thickness in a direction orthogonal to the trailing surface S2 (x direction in FIG. 19). The surface of the 2nd condensing part 212 is parallel to the trailing surface S2, and the shape is a substantially fan shape. Then, the end face (side face) on the apex angle side of the substantially fan-shaped surface of the second light collecting section 212 is connected to the optical waveguide 202, and the end face 212 a on the arcuate long side faces the first light collecting section 211. Be placed. The second light collector 212 is formed of the same material as the optical waveguide 202.

第2集光部212を上述した構成にすると、第1集光部211から第2集光部212の円弧状の端面212aに入射された光は、図19中の矢印L2に示すように、第2集光部212内において、光の伝播方向に直交する方向(図19中のy方向)に集光される。この際、3つの光401〜403は集光とともに合波される。そして、第2集光部212は、その内部において、光の伝播方向に直交する方向(図19中のy方向)に集光して合波された光を光導波路202に射出する。   When the second light collector 212 is configured as described above, the light incident on the arc-shaped end surface 212a of the second light collector 212 from the first light collector 211 is indicated by an arrow L2 in FIG. In the 2nd condensing part 212, it condenses in the direction (y direction in FIG. 19) orthogonal to the propagation direction of light. At this time, the three lights 401 to 403 are combined with the condensed light. Then, the second condensing unit 212 emits the light, which is condensed and combined in the direction orthogonal to the light propagation direction (the y direction in FIG. 19), into the optical waveguide 202.

光導波路202は、第2集光部212の光出射面(略扇状表面の頂角側の端面)から、熱アシスト磁気ヘッド200の媒体対向面(S1)に向かって延在して形成され、その媒体対向面近傍には、光射出部43が設けられる。なお、光射出部43は、上記第1の実施形態と同様の構成(例えば図10に示す構成等)とすることができる。   The optical waveguide 202 is formed to extend from the light exit surface of the second light collector 212 (the end surface on the apex angle side of the substantially fan-shaped surface) toward the medium facing surface (S1) of the heat-assisted magnetic head 200, A light emitting unit 43 is provided in the vicinity of the medium facing surface. In addition, the light emission part 43 can be set as the structure similar to the said 1st Embodiment (for example, the structure etc. which are shown in FIG. 10).

また、本実施形態では、光導波路202を、上記第1の実施形態と同様に、シングルモード導波路で構成する。なお、光導波路202の形状及び寸法は、内部を伝播する光がシングルモードになるように設定される。   In the present embodiment, the optical waveguide 202 is configured by a single mode waveguide, as in the first embodiment. The shape and dimensions of the optical waveguide 202 are set so that the light propagating inside becomes a single mode.

[記録光の生成動作]
次に、本実施形態の熱アシスト磁気ヘッド200における記録光の生成動作を、図20(a)及び(b)を参照しながら説明する。なお、図20(a)は、記録光生成部210の光の集光状態を示す図であり、図20(b)は、各集光段階における光スポットの変化を示す図である。
[Recording light generation operation]
Next, the recording light generation operation in the heat-assisted magnetic head 200 of this embodiment will be described with reference to FIGS. 20 (a) and 20 (b). FIG. 20A is a diagram illustrating the light condensing state of the recording light generating unit 210, and FIG. 20B is a diagram illustrating the change of the light spot in each condensing stage.

まず、光源250から互いに波長の異なる3つの光251〜253が第1集光部211に射出される。なお、ここでは、第1集光部211に入射される各光のスポット形状は、図20(b)中のスポットSP0で示すように円形とする。なお、図20(b)中の実線矢印は、光の偏光方向を示している。ここでは、光射出部43として、図10に示す構成を想定しているので、光の偏光方向は、図20(b)中のy方向(光の伝播方向に直交する方向)とする。   First, three lights 251 to 253 having different wavelengths from the light source 250 are emitted to the first light collecting unit 211. Here, the spot shape of each light incident on the first light collecting portion 211 is circular as shown by a spot SP0 in FIG. In addition, the solid line arrow in FIG.20 (b) has shown the polarization direction of light. Here, since the structure shown in FIG. 10 is assumed as the light emitting portion 43, the polarization direction of light is set to the y direction (direction orthogonal to the light propagation direction) in FIG.

第1集光部211に入射された各光は、第1集光部211において、スライダ本体106のトレーリング面S2に直交する方向(図20(a)中のx方向)に集光される。この結果、第1集光部211で集光された各光のスポット形状は、図20(b)中のスポットSP1に示すように、図20(b)中のx方向に縮小された楕円形となる。   Each light incident on the first light collecting unit 211 is collected in the first light collecting unit 211 in a direction perpendicular to the trailing surface S2 of the slider body 106 (x direction in FIG. 20A). . As a result, the spot shape of each light collected by the first light collecting unit 211 is an elliptical shape reduced in the x direction in FIG. 20B, as indicated by a spot SP1 in FIG. 20B. It becomes.

そして、第1集光部211で集光された各光が第2集光部212に入射されると、その光は、第2集光部212の内部において、光の伝播方向に直交する方向(図20(a)中のy方向)に集光される。この際、第2集光部212は、3つの光401〜403を集光するとともに合波する。その結果、第2集光部212から光導波路202に射出される合波された光L3のスポット形状は、図20(b)中のスポットSP2に示すように、スポットSP1の状態からさらに図20(b)中のy方向に縮小され、円形となる。   And when each light condensed by the 1st condensing part 211 injects into the 2nd condensing part 212, the light will be orthogonal to the propagation direction of light inside the 2nd condensing part 212 The light is condensed in the y direction in FIG. At this time, the second light collecting unit 212 condenses and combines the three lights 401 to 403. As a result, the spot shape of the combined light L3 emitted from the second light collecting unit 212 to the optical waveguide 202 is further changed from the state of the spot SP1 to the spot SP1 as shown by the spot SP2 in FIG. In (b), it is reduced in the y direction and becomes a circle.

上述のように、本実施形態の記録光生成部210では、光源400から入射される光に対して、その伝播方向に直交する一次元方向の集光動作を2段階で行い、入射光を所定のスポットサイズに集光する。   As described above, in the recording light generation unit 210 of the present embodiment, the light incident from the light source 400 is subjected to a light collecting operation in a one-dimensional direction orthogonal to the propagation direction in two stages, and the incident light is predetermined. Focus on the spot size.

そして、第2集光部212から光導波路202に導入された光L3(合波光)は、光導波路202を伝播し、光射出部43に入射される。そして、光射出部43では、入射された合波光により例えば近接場光等の微小光を生成し、その微小光を記録媒体300の所定領域に射出する。   Then, the light L <b> 3 (combined light) introduced from the second light collector 212 into the optical waveguide 202 propagates through the optical waveguide 202 and enters the light emitting unit 43. The light emitting unit 43 generates minute light such as near-field light from the incident combined light, and emits the minute light to a predetermined area of the recording medium 300.

なお、光源400から射出される各光の偏光方向は、微小光を射出する光射出部43の構成に応じて適宜設定される。例えば、光射出部43を、図10と同様に、一対の金属膜43a及び43bで構成し、一対の金属膜43a及び43b間の対向方向を光射出面S3の短手方向(図10中のx方向)にした場合には、光源400からの出射光の偏光方向もその方向に合わせる。   The polarization direction of each light emitted from the light source 400 is appropriately set according to the configuration of the light emitting unit 43 that emits minute light. For example, the light emitting portion 43 is configured by a pair of metal films 43a and 43b as in FIG. 10, and the opposing direction between the pair of metal films 43a and 43b is the short direction of the light emitting surface S3 (in FIG. x direction), the polarization direction of the light emitted from the light source 400 is also adjusted to that direction.

上述のように、本実施形態においても、熱アシスト磁気ヘッド200に入射される3つの光401〜403間の最小周波数差Δfと、記録媒体300の最短記録長に対応する記録周波数fmとの間に、上記式6または7の関係が成立するように構成されている。すなわち、本実施形態においても、3つの光401〜403が合波された際に発生する低周波ノイズの周波数(=Δf)が最短記録長に対応する記録周波数fmより大きくなる。   As described above, also in this embodiment, between the minimum frequency difference Δf between the three lights 401 to 403 incident on the heat-assisted magnetic head 200 and the recording frequency fm corresponding to the shortest recording length of the recording medium 300. In addition, the above-described expression 6 or 7 is established. That is, also in the present embodiment, the frequency (= Δf) of the low frequency noise generated when the three lights 401 to 403 are combined is larger than the recording frequency fm corresponding to the shortest recording length.

それゆえ、本実施形態の熱アシスト磁気記録装置を用いて記録媒体300に熱アシスト磁気記録を行った際にも、上述した低周波ノイズの影響による誤記録という問題を解消することができる。したがって、本実施形態によれば、第1の実施形態と同様に、より高強度の記録光を安定して記録媒体300に照射することができ、装置の信頼性をより向上させることができる。   Therefore, even when the heat-assisted magnetic recording is performed on the recording medium 300 using the heat-assisted magnetic recording apparatus of the present embodiment, the above-described problem of erroneous recording due to the influence of low frequency noise can be solved. Therefore, according to the present embodiment, similarly to the first embodiment, it is possible to stably irradiate the recording medium 300 with higher intensity recording light, and to further improve the reliability of the apparatus.

<4.第3の実施形態>
上記第1及び第2の実施形態及び各種変形例の熱アシスト磁気記録装置において、高出力の記録光を生成するために、光源内に設けられた複数の発光部(例えば上記実施形態では発光層等)の発光タイミングを同じにすることが望ましい。この動作は、例えば、各発光部の駆動用電極端子(電極パッド)を共通にして同時駆動することにより実現することができる。この場合、光源の実装面積をより小さくすることができる。
<4. Third Embodiment>
In the heat-assisted magnetic recording apparatus according to the first and second embodiments and various modifications, a plurality of light emitting units (for example, the light emitting layer in the above embodiment) provided in the light source to generate high output recording light. Etc.) is preferably the same. This operation can be realized, for example, by simultaneously driving the driving electrode terminals (electrode pads) of the light emitting units in common. In this case, the mounting area of the light source can be further reduced.

しかしながら、発光部間の駆動用電極端子を共通にした場合であっても、複数の発光部間において、各発光部の等価抵抗にばらつきが存在すると、各発光部に流れる電流にもばらつきが生じ、出力も発光部毎に異なる可能性がある。この場合、発光部毎に寿命が変化するといった問題や、合波された光の光強度のプロファイルが光源毎に異なるといった問題が生じる。第3の実施形態では、このような問題を解消することのできる光源の構成例を示す。   However, even if the drive electrode terminals between the light emitting units are shared, if the equivalent resistance of each light emitting unit varies among the plurality of light emitting units, the current flowing through each light emitting unit also varies. The output may be different for each light emitting unit. In this case, there arises a problem that the lifetime changes for each light emitting unit, and a problem that the light intensity profile of the combined light differs for each light source. In the third embodiment, a configuration example of a light source that can solve such a problem is shown.

図21に、本実施形態の熱アシスト磁気記録装置に用いる光源の概略構成を示す。なお、本実施形態の熱アシスト磁気記録装置では、光源の構成以外は、上記第1の実施形態(図7及び8)で説明した熱アシスト磁気記録装置と同様に構成することができる。   FIG. 21 shows a schematic configuration of a light source used in the heat-assisted magnetic recording apparatus of this embodiment. The heat-assisted magnetic recording apparatus of this embodiment can be configured in the same manner as the heat-assisted magnetic recording apparatus described in the first embodiment (FIGS. 7 and 8) except for the configuration of the light source.

本実施形態の光源500は、4つの発光部501〜504と、それらを駆動するドライバ505と、4つの抵抗調整素子506〜509とを備える。なお、本実施形態においても、4つの発光部501〜504から射出される4つの光間の最小周波数差Δfと、記録媒体300の最短記録長に対応する記録周波数fmとの間に、上記式6または7の関係が成立するように光源500が構成される。   The light source 500 of the present embodiment includes four light emitting units 501 to 504, a driver 505 that drives them, and four resistance adjusting elements 506 to 509. Also in this embodiment, the above formula is between the minimum frequency difference Δf between the four lights emitted from the four light emitting units 501 to 504 and the recording frequency fm corresponding to the shortest recording length of the recording medium 300. The light source 500 is configured so that the relationship 6 or 7 is established.

4つの抵抗調整素子506〜509は、4つの発光部501〜504に直列にそれぞれ接続される。また、本実施形態では、発光部及び抵抗調整素子からなる各直列回路の両駆動用電極端子500a及び500bが共通である。そして、一方の駆動用電極端子500aがドライバ505の一方の出力端子に接続され、他方の駆動用電極端子500bがドライバ505の他方の出力端子に接続される。   The four resistance adjusting elements 506 to 509 are connected in series to the four light emitting units 501 to 504, respectively. In the present embodiment, both drive electrode terminals 500a and 500b of each series circuit including the light emitting section and the resistance adjusting element are common. One drive electrode terminal 500 a is connected to one output terminal of the driver 505, and the other drive electrode terminal 500 b is connected to the other output terminal of the driver 505.

各抵抗調整素子は、発光部及び抵抗調整素子からなる各直列回路の等価抵抗が、全ての直列回路において等しくなるように設定される。抵抗調整素子としては、例えば、配線パターン等で構成することができる。この場合、配線パターンの線幅を、抵抗調整素子毎に、例えばレーザアブレーション等の手法により適宜調整して、4つの直列回路の等価抵抗を等しくする。これにより、複数の発光部間に等価抵抗のばらつきがある場合の上述した問題を解消することができる。   Each resistance adjusting element is set so that the equivalent resistance of each series circuit including the light emitting section and the resistance adjusting element is equal in all the series circuits. For example, the resistance adjusting element can be configured by a wiring pattern or the like. In this case, the line width of the wiring pattern is appropriately adjusted for each resistance adjusting element by a technique such as laser ablation, so that the equivalent resistances of the four series circuits are made equal. Thereby, the above-described problem in the case where there is a variation in equivalent resistance among the plurality of light emitting units can be solved.

なお、複数の発光部間における等価抵抗のばらつきを解消するための光源の構成は、図21に示す例に限定されない。例えば、光源内に、外部から小型の抵抗素子(部品)を挿入することができる配線パターンを形成し、必要に応じて、外部から小型の抵抗素子をその配線パターンに挿入して発光部を含む回路系統の等価抵抗を調整してもよい。   Note that the configuration of the light source for eliminating variation in equivalent resistance among the plurality of light emitting units is not limited to the example shown in FIG. For example, a wiring pattern in which a small resistance element (component) can be inserted from the outside in the light source is formed, and if necessary, a small resistance element is inserted into the wiring pattern from the outside to include a light emitting unit. The equivalent resistance of the circuit system may be adjusted.

また、この例では、抵抗調整素子を発光部の一方の駆動用電源端子側に設ける例を説明したが、本発明はこれに限定されず、発光部の他方の駆動用電源端子側に抵抗調整素子を設けてもよいし、両方の駆動用電源端子にそれぞれ抵抗調整素子を接続してもよい。さらに、抵抗調整素子を発光部に対して並列に接続してもよい。   In this example, the example in which the resistance adjusting element is provided on one driving power supply terminal side of the light emitting unit has been described. However, the present invention is not limited thereto, and the resistance adjustment is performed on the other driving power supply terminal side of the light emitting unit. An element may be provided, or a resistance adjusting element may be connected to each of the driving power supply terminals. Further, the resistance adjusting element may be connected in parallel to the light emitting unit.

上述のように、本実施形態においても、光源500から射出する4つの光間の最小周波数差Δfと、記録媒体300の最短記録長に対応する記録周波数fmとの間には、上記式6または7の関係が成立する。   As described above, also in this embodiment, between the minimum frequency difference Δf between the four lights emitted from the light source 500 and the recording frequency fm corresponding to the shortest recording length of the recording medium 300, the above equation 6 or 7 is established.

それゆえ、本実施形態の熱アシスト磁気記録装置を用いて記録媒体300に熱アシスト磁気記録を行った際にも、上述した低周波ノイズの影響による誤記録という問題を解消することができる。したがって、本実施形態によれば、第1の実施形態と同様に、より高強度の記録光を安定して記録媒体300に照射することができ、装置の信頼性をより向上させることができる。   Therefore, even when the heat-assisted magnetic recording is performed on the recording medium 300 using the heat-assisted magnetic recording apparatus of the present embodiment, the above-described problem of erroneous recording due to the influence of low frequency noise can be solved. Therefore, according to the present embodiment, similarly to the first embodiment, it is possible to stably irradiate the recording medium 300 with higher intensity recording light, and to further improve the reliability of the apparatus.

さらに、本発明によれば、複数の発光部間における等価抵抗のばらつきにより生じる上記問題を解消することができ、より一層信頼性の高い熱アシスト磁気記録装置を提供することができる。   Furthermore, according to the present invention, it is possible to solve the above-mentioned problem caused by variations in equivalent resistance among a plurality of light emitting sections, and to provide a more reliable heat-assisted magnetic recording apparatus.

上記第1〜第3の実施形態並びに各種変形例の光源では、複数のメサ(発光部:発光層を含む)を同一基板上に一体的に構成する例を説明したが、本発明はこれに限定されない。例えば、VCSELの代わりにコヒーレント長の長い光を射出するDFBレーザを用い、複数の発光層を同一基板上に形成して光源を構成してもよい。また、例えば別体で用意した複数の発光部を用いて光源を構成し、それらを同時発光するように構成してもよい。   In the light sources of the first to third embodiments and various modified examples, the example in which a plurality of mesas (light emitting unit: including a light emitting layer) are integrally formed on the same substrate has been described. It is not limited. For example, a light source may be configured by using a DFB laser that emits light having a long coherent length instead of VCSEL and forming a plurality of light emitting layers on the same substrate. Further, for example, a light source may be configured using a plurality of light emitting units prepared separately, and may be configured to emit light simultaneously.

また、上記第1〜第3の実施形態並びに各種変形例では、本発明を熱アシスト磁気記録装置に適用する例を説明したが、本発明はこれに限定されない。複数の光を合波して、その合波光を用いて所定の処理を行う光学装置(光ビーム生成装置)であれば、任意の装置に適用可能であり、同様の効果が得られる。   In the first to third embodiments and various modifications, the example in which the present invention is applied to the heat-assisted magnetic recording apparatus has been described. However, the present invention is not limited to this. Any optical device (light beam generation device) that combines a plurality of lights and performs predetermined processing using the combined light can be applied to any device, and the same effect can be obtained.

例えば、本発明を、例えば上記特許文献2等に記載されているようなレーザ光により所望の画像を記録紙上に記録するレーザビーム記録装置に適用してもよい。また、例えば、複数のレーザ光を合波して、その合波光を所定の対象物に照射して、例えば切断等の加工処理を行うレーザビーム加工機にも適用可能である。このような用途では、レーザ光の発光制御(加工制御)時の最短発光時間に対応する周波数が、上記第1〜第3の実施形態並びに各種変形例で説明した最短記録長に対応する記録周波数fmと等価になる。   For example, the present invention may be applied to a laser beam recording apparatus that records a desired image on a recording sheet with a laser beam as described in, for example, Patent Document 2 above. Further, for example, the present invention can also be applied to a laser beam processing machine that combines a plurality of laser beams, irradiates a predetermined object with the combined beams, and performs a processing process such as cutting. In such an application, the frequency corresponding to the shortest light emission time at the time of laser light emission control (processing control) corresponds to the shortest recording length described in the first to third embodiments and various modifications. Equivalent to fm.

それゆえ、上述した用途では、光学装置(光ビーム生成装置)を、複数(例えばN個)の発光部からなる光源と、該光源から射出される複数の光を合波し、該合波した光ビームを射出する光ビーム出射部とを備える構成とする。そして、合波する複数の光間の最小周波数差Δfと、最短発光時間に対応する周波数(fm)との間に、上記式6または7の関係が成立するように、各光の周波数(波長)を調整すればよい。これにより、上述した合波光に発生する低周波ノイズの影響を低減するでき、上記第1〜第3の実施形態並びに各種変形例と同様の効果が得られる。   Therefore, in the above-described application, the optical device (light beam generation device) combines a light source composed of a plurality of (for example, N) light emitting units and a plurality of lights emitted from the light source, and combines them. And a light beam emitting unit for emitting a light beam. Then, the frequency (wavelength) of each light so that the relationship of the above expression 6 or 7 is established between the minimum frequency difference Δf between the plurality of lights to be combined and the frequency (fm) corresponding to the shortest light emission time. ) Should be adjusted. Thereby, the influence of the low frequency noise which generate | occur | produces in the combined light mentioned above can be reduced, and the effect similar to the said 1st-3rd embodiment and various modifications is acquired.

10…磁気再生素子、20…磁気シールド、30…記録磁界生成部、40,210…記録光生成部、41a〜41d…集光部、42a〜42d…シングルモード導波路、43…光射出部、50…絶縁部、100…熱アシスト磁気記録装置、101…浮上スライダヘッド、106…スライダ本体、110…熱アシスト磁気ヘッド、190,400,500…光源、190a〜190d,400a〜400c…メサ、191〜194,401〜403…入射光、201…集光部、202…光導波路、211…第1集光部、212…第2集光部、300…記録媒体、501〜504…発光部、505…ドライバ、506〜509…抵抗調整素子   DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Magnetic reproducing element, 20 ... Magnetic shield, 30 ... Recording magnetic field production | generation part, 40, 210 ... Recording light production | generation part, 41a-41d ... Condensing part, 42a-42d ... Single mode waveguide, 43 ... Light emission part, DESCRIPTION OF SYMBOLS 50 ... Insulating part, 100 ... Thermally assisted magnetic recording apparatus, 101 ... Flying slider head, 106 ... Slider main body, 110 ... Thermally assisted magnetic head, 190, 400, 500 ... Light source, 190a-190d, 400a-400c ... Mesa, 191 194, 401 to 403 ... incident light, 201 ... condensing part, 202 ... optical waveguide, 211 ... first condensing part, 212 ... second condensing part, 300 ... recording medium, 501-504 ... light emitting part, 505 ... Drivers, 506 to 509 ... Resistance adjustment elements

Claims (18)

互いに周波数の異なる光を射出する複数の発光部を有し、該複数の発光部からそれぞれ射出される複数の光間の最小周波数差Δfが情報記録媒体の最短記録長に対応する記録周波数fmより大きい光源と、
前記光源から射出された前記複数の光の合波光を用いて前記情報記録媒体に情報を熱アシスト磁気記録する熱アシスト磁気ヘッドと
を備える情報記録装置。
It has a plurality of light emitting portions that emit light having different frequencies, and the minimum frequency difference Δf between the plurality of lights respectively emitted from the plurality of light emitting portions is based on the recording frequency fm corresponding to the shortest recording length of the information recording medium. A large light source,
An information recording apparatus comprising: a thermally assisted magnetic head that thermally assisted magnetically records information on the information recording medium using the combined light of the plurality of lights emitted from the light source.
前記複数の光間の最小波長差をΔλとし、前記複数の光の波長の平均値をλmとし、光の速度をcとしたとき、
c×(Δλ/λm)>fm
の関係が成立する
請求項1に記載の情報記録装置。
When the minimum wavelength difference between the plurality of lights is Δλ, the average value of the wavelengths of the plurality of lights is λm, and the speed of light is c,
c × (Δλ / λm 2 )> fm
The information recording apparatus according to claim 1, wherein the relationship is established.
前記熱アシスト磁気ヘッドが、前記複数の光をそれぞれ集光する複数の集光部と、該複数の集光部からそれぞれ射出される複数の光を合波する合波部とを有する
請求項1に記載の情報記録装置。
The heat-assisted magnetic head includes a plurality of condensing units that condense the plurality of lights, and a combining unit that combines the plurality of lights respectively emitted from the plurality of condensing units. The information recording device described in 1.
前記集光部が、光の入射面に所定の凹凸パターンが形成されたグレーティングカプラで構成されている
請求項3に記載の情報記録装置。
The information recording apparatus according to claim 3, wherein the condensing unit is configured by a grating coupler in which a predetermined uneven pattern is formed on a light incident surface.
前記合波部が、前記複数の集光部から射出される複数の集光光をそれぞれ伝播させる複数の光導波路を有し、該複数の光導波路の伝播光の出射口が互いに接続されている
請求項4に記載の情報記録装置。
The multiplexing unit has a plurality of optical waveguides for propagating a plurality of condensed light beams emitted from the plurality of condensing units, and the propagation light emission ports of the plurality of optical waveguides are connected to each other. The information recording apparatus according to claim 4.
前記光導波路が、シングルモード導波路である
請求項5に記載の情報記録装置。
The information recording apparatus according to claim 5, wherein the optical waveguide is a single mode waveguide.
前記光源から射出される前記複数の光の偏光方向がそれぞれ所定の方向に設定されており、前記複数の光導波路のそれぞれの長さは、前記合波した光の偏光方向が所定の方向に向くように設定されている
請求項5に記載の情報記録装置。
The polarization directions of the plurality of lights emitted from the light source are respectively set to predetermined directions, and the lengths of the plurality of optical waveguides are such that the polarization directions of the combined lights are directed to the predetermined directions. The information recording apparatus according to claim 5, wherein the information recording apparatus is set as follows.
前記集光部が、前記光源から入射される光を所定方向に反射して前記合波部に導くミラー構造体で構成される
請求項3に記載の情報記録装置。
The information recording apparatus according to claim 3, wherein the light collecting unit includes a mirror structure that reflects light incident from the light source in a predetermined direction and guides the light to the multiplexing unit.
前記熱アシスト磁気ヘッドが、さらに、前記合波した光を受光して、該受光した光をそれより小さなスポット径の記録光に変換して、該記録光を前記情報記録媒体に射出する金属構造体を有する
請求項3に記載の情報記録装置。
The heat-assisted magnetic head further receives the combined light, converts the received light into recording light having a smaller spot diameter, and emits the recording light to the information recording medium The information recording device according to claim 3, further comprising a body.
前記複数の集光部と、前記合波部とが一体的に形成されている
請求項3に記載の情報記録装置。
The information recording apparatus according to claim 3, wherein the plurality of condensing units and the combining unit are integrally formed.
さらに、前記光源と、前記熱アシスト磁気ヘッドとの間に設けられ、且つ、前記光源から射出される各光の径を拡大する光学系を備える
請求項4に記載の情報記録装置。
The information recording apparatus according to claim 4, further comprising an optical system that is provided between the light source and the heat-assisted magnetic head and that enlarges the diameter of each light emitted from the light source.
前記光学系が、前記発光部毎に設けられている
請求項11に記載の情報記録装置。
The information recording apparatus according to claim 11, wherein the optical system is provided for each of the light emitting units.
前記複数の発光部の発光タイミングが同じである
請求項1に記載の情報記録装置。
The information recording apparatus according to claim 1, wherein the light emission timings of the plurality of light emitting units are the same.
前記複数の発光部の駆動用電源端子が共通である
請求項13に記載の情報記録装置。
The information recording apparatus according to claim 13 , wherein driving power terminals of the plurality of light emitting units are common.
前記光源が、さらに、前記発光部に接続され且つ前記発光部を含む回路系統の等価抵抗を調整するための抵抗調整素子を有する
請求項14に記載の情報記録装置。
The information recording apparatus according to claim 14 , wherein the light source further includes a resistance adjusting element for adjusting an equivalent resistance of a circuit system connected to the light emitting unit and including the light emitting unit.
前記光源が、さらに、前記発光部を含む回路系統の等価抵抗を調整するための抵抗調整用素子を外部から装着するための配線パターンを有する
請求項14に記載の情報記録装置。
The information recording apparatus according to claim 14 , wherein the light source further includes a wiring pattern for mounting a resistance adjustment element for adjusting an equivalent resistance of a circuit system including the light emitting unit from the outside.
前記光源が、基板と、該基板上に形成された凸部及び/または凹部からなり且つ該凸部及び/または凹部の前記基板の面内方向の寸法が互いに異なる複数の土台部と、該複数の土台部上にそれぞれ形成された前記複数の発光部とを有する
請求項1に記載の情報記録装置。
The light source includes a substrate, and a plurality of base portions each including a convex portion and / or a concave portion formed on the substrate, wherein the convex portion and / or the concave portion have different in-plane direction dimensions of the substrate. The information recording device according to claim 1, further comprising: the plurality of light emitting units respectively formed on a base portion of the base.
互いに周波数の異なる光を射出する複数の発光部を有し、該複数の発光部からそれぞれ射出される複数の光間の最小周波数差が最短発光時間に対応する周波数より大きい光源と、
前記光源から射出された前記複数の光を合波して、該合波した光ビームを射出する光ビーム出射部と
を備える光ビーム生成装置。
A light source having a plurality of light emitting units that emit light having different frequencies from each other, and a light source having a minimum frequency difference between the plurality of light emitted from the plurality of light emitting units greater than the frequency corresponding to the shortest light emission time;
A light beam generating apparatus comprising: a light beam emitting unit that multiplexes the plurality of lights emitted from the light source and emits the combined light beam.
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