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JP5370143B2 - Electronic component package base, electronic component package - Google Patents
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JP5370143B2 - Electronic component package base, electronic component package - Google Patents

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JP5370143B2 JP2009298567A JP2009298567A JP5370143B2 JP 5370143 B2 JP5370143 B2 JP 5370143B2 JP 2009298567 A JP2009298567 A JP 2009298567A JP 2009298567 A JP2009298567 A JP 2009298567A JP 5370143 B2 JP5370143 B2 JP 5370143B2
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  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Description

本発明は電子機器等に用いられる電子部品用パッケージのベース、電子部品用パッケージに関する。   The present invention relates to a base for an electronic component package used in an electronic device or the like, and an electronic component package.

気密封止を必要とする電子部品の例として、水晶振動子、水晶フィルタ、水晶発振器等の圧電振動デバイスが挙げられる。これら各製品では、いずれも水晶振動板の表面に金属薄膜電極が形成され、この金属薄膜電極を外気から保護するために水晶振動板(具体的には金属薄膜電極が気密封止されている。   Examples of electronic components that require hermetic sealing include piezoelectric vibration devices such as crystal resonators, crystal filters, and crystal oscillators. In each of these products, a metal thin film electrode is formed on the surface of the crystal diaphragm, and the crystal diaphragm (specifically, the metal thin film electrode is hermetically sealed to protect the metal thin film electrode from the outside air.

これら圧電振動デバイスは部品の表面実装化の要求から、セラミック材料からなるパッケージ内に気密的に収納する構成が増加している。例えば、特許文献1には、水晶振動板などの電子部品素子の搭載部を有する断面が凹形のベース(実装基板)と蓋(カバー)とからなり、これらを気密的に封止したセラミック材料からなるパッケージ構成が開示されている。この圧電振動デバイスでは、ベースの内底面に位置決め用のパターンが形成され、画像認識による電子部品素子の搭載精度を高めるものである。   Due to the demand for surface mounting of components, these piezoelectric vibration devices are increasingly being housed in a package made of a ceramic material. For example, Patent Document 1 discloses a ceramic material in which a cross-section having a mounting portion for an electronic component element such as a quartz crystal diaphragm is formed of a concave base (mounting substrate) and a lid (cover), and these are hermetically sealed. A package configuration is disclosed. In this piezoelectric vibration device, a positioning pattern is formed on the inner bottom surface of the base, and the mounting accuracy of electronic component elements by image recognition is improved.

特開平11−251839号JP 11-251839 A

近年、電子部品の小型化に伴ってベースに対して電子部品素子を搭載するための精度向上がより一層求められるようになっている。上述のような画像認識により電子部品素子を搭載するための位置決め用のパターンでは画像認識の基準点として設定するため、この位置決め用のパターンの構成だけでなくその形成状態などにより位置ずれが生じることがあった。そこで位置決め用のパターンを基準点として設定しやすく、かつ形成状態の良し悪しに影響させないことが、画像認識により電子部品素子をベースに搭載精度を高めるうえで重要な課題となっている。   In recent years, with the miniaturization of electronic components, an improvement in accuracy for mounting electronic component elements on a base has been further demanded. The positioning pattern for mounting the electronic component element by image recognition as described above is set as a reference point for image recognition, so that there is a positional shift not only by the configuration of the positioning pattern but also by its formation state. was there. Therefore, it is an important issue to improve the mounting accuracy based on the electronic component element by image recognition that it is easy to set the positioning pattern as a reference point and does not affect the quality of the formation state.

上記特許文献1では、位置決めパターンの中心点を割り出す構成としているため、そのパターンの少なくとも2方向の幅寸法と位置を認識し、各方向のパターン端部からの中心幅を算出して中心点の位置を設定する必要がある。この手法では寸法誤差や形成ずれなど位置決めパターンの形成状態の悪影響もより受けやすくなり、小型化とともにより正確な位置決め用基準点の認識が行えないものであった。例えばベースサイズが2.0mm×1.6mm以下のものでは、積層ずれで位置決めパターンの一部がベースの壁部(堤)の内壁面に潜り込み(交差)んだり、ベースの壁部に延出されて形成されることで、パターンずれや寸法誤差を生じやすくなることがあった。またセラミック材料のベースではメタライズにより位置決めパターンを印刷する構成であるため、パターン端部も印刷時の形成不具合(印刷物の塗布過多や塗布過少等)により、パターン端部にボケや形状不良が生じることがあった。以上により位置決め用基準点としても寸法誤差や位置ずれを生じ、正確な位置決め用基準点の認識が行えず、画像認識による電子部品素子をベースに搭載する際の精度が低下するという問題があった。   In the above-mentioned Patent Document 1, since the center point of the positioning pattern is determined, the width dimension and position in at least two directions of the pattern are recognized, the center width from the pattern end in each direction is calculated, and the center point is calculated. It is necessary to set the position. This method is more susceptible to the adverse effects of the positioning pattern formation state such as dimensional errors and formation deviations, and the positioning reference points cannot be recognized more accurately along with downsizing. For example, when the base size is 2.0 mm x 1.6 mm or less, a part of the positioning pattern may sink into (intersect) the inner wall surface of the base wall (bank) or extend to the base wall due to misalignment. In some cases, pattern deviation and dimensional error are likely to occur. In addition, since the positioning pattern is printed by metallization on the base of ceramic material, the pattern edge part may be blurred or defective in shape due to formation defects during printing (excessive application or insufficient application of printed matter). was there. As a result, there is a problem that a dimensional error or a positional deviation occurs as a positioning reference point, the positioning reference point cannot be accurately recognized, and the accuracy when mounting an electronic component element on the base by image recognition is reduced. .

本発明は上記問題点を解決するためになされたもので、小型化された電子部品における電子部品素子の搭載精度を高めることができ、安価で信頼性の高い電子部品用パッケージのベース、電子部品用パッケージを提供することを目的とするものである。   The present invention has been made to solve the above-described problems, and can improve the mounting accuracy of electronic component elements in a miniaturized electronic component, and can provide an inexpensive and highly reliable electronic component package base and electronic component The purpose is to provide a package.

上記の目的を達成するため、矩形状の電子部品素子を保持する電子部品用パッケージのベースにおいて、前記ベースは平面視矩形状で壁部と開口部と内部収納部を具備しており、当該内部収納部の一端部上面には前記電子部品素子を搭載して接続する一対の電極パッドと、当該電極パッドからベースの内部収納部の他端部に向かってベースの壁部の一辺と平行に外表面に露出した状態で所定幅にて延出された一対の引き回しパターンが形成されており、前記引き回しパターンのうちベースの内部収納部の他端部よりの位置には、前記ベースの壁部の一辺と離れ、かつ当該壁部の一辺に対して背向する方向に張り出した位置決め用基準点としての引き回しパターンの一対の拡幅部が設けられ、前記引き回しパターンの幅寸法をa、前記拡幅部の最大張り出し寸法をbとした際に、前記拡幅部の最大張り出し寸法bが、前記引き回しパターンの幅寸法aの1/2以上で形成されてなり、かつ前記ベースの内部収納部に収まる寸法で形成されてなり、前記一対の電極パッドの間隔に対して、前記一対の拡幅部の間隔を広くしたことを特徴とする。 In order to achieve the above object, in a base for an electronic component package for holding a rectangular electronic component element, the base has a rectangular shape in plan view and includes a wall portion, an opening portion, and an internal storage portion. A pair of electrode pads on which the electronic component element is mounted and connected to the upper surface of one end portion of the storage portion, and an outer side parallel to one side of the base wall portion from the electrode pad toward the other end portion of the base internal storage portion. A pair of routing patterns extending at a predetermined width in a state of being exposed on the surface is formed, and the position of the wall portion of the base at the position from the other end of the internal storage portion of the base is formed in the routing pattern. one side and away and the pair of the widening section of the routing pattern as positioning reference point overhanging in a direction turned away with respect to one side of the wall part is provided, the width dimension of the lead-out pattern a, of the wider section When the large overhang dimension is b, the maximum overhang dimension b of the widened portion is formed to be 1/2 or more of the width dimension a of the routing pattern, and the dimension fits in the internal storage portion of the base. it has been Ri Na, with respect to the spacing of the pair of electrode pads, characterized in that widening the spacing of the pair of the widening section.

この構成により、電子部品素子を搭載する電極パッドの辺りと引き回しパターンの拡幅部の辺りを位置決め用基準点として画像認識に利用することで、前記ベースの壁部に沿ってより正確な画像認識が行え、電子部品素子の搭載精度(X方向の位置精度、Y方向の位置精度、θの位置精度等)を高めることができる。そしてパターン形成ずれ影響やベースがセラミックの場合の積層ずれの影響によって、ベースの壁部に対して引き回しパターンとその拡幅部が潜り込み(交差)んだり、延出されることがなく、位置決め用基準点の機能を妨げることが一切ない。また、電子部品の小型化や高密度実装化などにともなって引き回しパターンの形成領域が小さくなったとしても、拡幅部の最大張り出し寸法bが、前記引き回しパターンの幅寸法aの1/2以上でかつ前記ベースの内部収納部に収まる寸法で形成されているので、当該拡幅部は安定した状態で形成することができ、その位置ずれやボケが生じることがなくなる。当該拡幅部は製造ばらつきなどによる形成状態の良し悪しに影響しない、位置決め用基準点として安定した正確なものとすることができる。結果として、小型化あるいは高密度実装化された電子部品に対してもこのような拡幅部の辺りを位置決め用基準点として画像認識することで電子部品素子をベースに搭載する際の精度を高めることができる。   With this configuration, the vicinity of the electrode pad on which the electronic component element is mounted and the vicinity of the widened portion of the routing pattern are used for positioning as a reference point for positioning, thereby enabling more accurate image recognition along the wall portion of the base. It is possible to increase the mounting accuracy of electronic component elements (position accuracy in the X direction, position accuracy in the Y direction, position accuracy of θ, etc.). The positioning reference point does not sneak (intersect) or extend the lead pattern and its widened part against the wall of the base due to the effect of pattern formation deviation or lamination deviation when the base is ceramic. It will not interfere with the functions of Even if the formation area of the lead pattern is reduced due to downsizing and high-density mounting of electronic components, the maximum overhang dimension b of the widened portion is 1/2 or more of the width dimension a of the lead pattern. And since it is formed in the dimension which can be accommodated in the internal storage part of the said base, the said wide part can be formed in the stable state, and the position shift and blurring do not arise. The widened portion can be stable and accurate as a positioning reference point that does not affect the quality of the formation state due to manufacturing variations or the like. As a result, even when electronic components are miniaturized or mounted with high density, the accuracy when mounting electronic component elements on the base is improved by recognizing the area around the widened portion as a positioning reference point. Can do.

また、請求項2記載の発明では上記構成に加えて、前記引き回しパターンの端部の一部と前記拡幅部の端部の一部が交差する角度が45°以上135°以下にて形成されてなり、前記交差した部分を位置決め用の基準点として設定してもよい。   In the invention according to claim 2, in addition to the above configuration, an angle at which a part of the end portion of the routing pattern and a part of the end portion of the widened portion intersect is 45 ° or more and 135 ° or less. Thus, the intersecting portion may be set as a positioning reference point.

このような構成では上述の作用効果に加えて、従来のように特定のパターンの画像データから算出してその特定パターンの中心点を位置決め用基準点とするのではなく、前記引き回しパターンの端部の一部と前記拡幅部の端部の一部が交差した部分を直接位置決め用基準点として設定することができるため、パターンの複数方向からの幅寸法と位置を認識することなく、寸法誤差や形成ずれなど位置決めパターンの形成状態の悪影響も受けにくくできる。加えて引き回しパターンの端部の一部と前記拡幅部の端部の一部が交差する角度が45°以上135°以下に設定されているので、交差部分のパターン形成ボケの悪影響も受けにくくできる。以上により小型化されても正確な基準点の認識が行える。   In such a configuration, in addition to the above-described effects, the end of the routing pattern is not calculated from the image data of a specific pattern as in the prior art and the center point of the specific pattern is used as a positioning reference point. Since a part where the part of the widened part and a part of the end part of the widened part intersect each other can be directly set as a reference point for positioning, a dimensional error or It is difficult to be adversely affected by the formation state of the positioning pattern such as formation deviation. In addition, since the angle at which a part of the end portion of the routing pattern and a part of the end portion of the widened portion intersect is set to 45 ° or more and 135 ° or less, it is difficult to be adversely affected by the pattern formation blur at the intersecting portion. . As described above, accurate reference point recognition can be performed even if the size is reduced.

また、請求項3記載の本発明では上記構成に加えて、前記拡幅部に角部を形成し、当該角部の角度が45°以上135°以下にて形成されてなり、前記角部を位置決め用の基準点として設定してもよい。   According to a third aspect of the present invention, in addition to the above configuration, a corner portion is formed in the widened portion, and the corner portion is formed at an angle of 45 ° to 135 °, and the corner portion is positioned. It may be set as a reference point for use.

このような構成では上述の作用効果に加えて、従来のように特定のパターンの画像データから算出してその特定パターンの中心点を位置決め用基準点とするのではなく、前記拡幅部に角部を直接位置決め用基準点として設定することができるため、パターンの複数方向からの幅寸法と位置を認識することなく、寸法誤差や形成ずれなど位置決めパターンの形成状態の悪影響も受けにくくできる。加えて角部の角度が45°以上135°以下に設定されているので、角部のパターン形成ボケの悪影響も受けにくくできる。以上により小型化されても正確な基準点の認識が行える。   In such a configuration, in addition to the above-described operation and effect, it is calculated from the image data of a specific pattern as in the prior art, and the center point of the specific pattern is not used as a reference point for positioning, but the widened portion has a corner portion. Can be directly set as a positioning reference point, and the width dimension and position of the pattern from a plurality of directions can be recognized without being adversely affected by the positioning pattern formation state such as a dimensional error or formation deviation. In addition, since the angle of the corner is set to 45 ° or more and 135 ° or less, it is difficult to be adversely affected by the pattern formation blur at the corner. As described above, accurate reference point recognition can be performed even if the size is reduced.

また、上述の電子部品用パッケージのベースを用い、電極パッドに対して電子部品素子が接合されて搭載されており、当該電子部品素子が搭載されたベースの開口部を蓋で気密封止することを特徴とする電子部品用パッケージであってもよい。この構成により上述の作用効果が得られるベースを用いて気密封止された電子部品パッケージが得られるので、小型化された電子部品における電子部品素子の搭載精度を高めることができ、安価で信頼性の高い電子部品用パッケージを提供することができる。   In addition, the electronic component element is bonded and mounted on the electrode pad using the base of the electronic component package described above, and the opening of the base on which the electronic component element is mounted is hermetically sealed with a lid. It may be a package for electronic parts characterized by the following. With this configuration, an electronic component package that is hermetically sealed using a base that can obtain the above-described operational effects can be obtained. Therefore, the mounting accuracy of the electronic component element in the miniaturized electronic component can be increased, and it is inexpensive and reliable. It is possible to provide a package for electronic components having a high height.

本発明によれば、小型化された電子部品における電子部品素子の搭載精度を高めることができ、安価で信頼性の高い電子部品用パッケージのベース、電子部品用パッケージを提供することができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the mounting precision of the electronic component element in a miniaturized electronic component can be improved, and the base of the electronic component package which is cheap and highly reliable, and the electronic component package can be provided.

第1の実施例を示す表面実装型水晶振動子用ベースの平面図。FIG. 3 is a plan view of a surface-mount type crystal resonator base according to the first embodiment. 図1の一部拡大図。The partially expanded view of FIG. 第1の実施例を示す表面実装型水晶振動子の断面図。1 is a cross-sectional view of a surface-mounted crystal resonator showing a first embodiment. 第2の実施例を示す表面実装型水晶振動子用ベースの平面図。The top view of the base for surface mount-type crystal units which shows a 2nd Example. 第3の実施例を示す表面実装型水晶振動子用ベースの平面図。FIG. 6 is a plan view of a surface-mount type crystal resonator base according to a third embodiment.

以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。なお、以下に示す各実施例では、電子部品として表面実装型の水晶振動子に本発明を適用した場合を示す。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In each of the following embodiments, the case where the present invention is applied to a surface-mount type crystal resonator as an electronic component is shown.

実施例1にかかる表面実装型の水晶振動子は、図1、図2、図3に示すように、電子部品素子である水晶振動板3と、上部が開口した凹部を有し水晶振動板3を保持する(収納する)ベース1と、ベース1の開口部に接合してベース1に保持した水晶振動板3を気密封止する蓋2とからなる。   As shown in FIGS. 1, 2, and 3, the surface-mount type crystal resonator according to Example 1 includes a crystal diaphragm 3 that is an electronic component element, and a crystal diaphragm 3 that has a recess that is open at the top. And a lid 2 that hermetically seals the crystal diaphragm 3 held on the base 1 by being joined to the opening of the base 1.

ベース1は、全体として直方体で、アルミナ等のセラミックとタングステンやモリブデン等の導電材料を適宜積層した構成からなる。このベース1は、図3に示すように、断面視凹形の収納部10(内部収納部)と、収納部10を囲むようにその周囲に設けられた堤部11(壁部)を有する。具体的に、ベース1は、矩形(平面視矩形)の平板形状のセラミックのベース基体1aと、中央部分が大きく穿設されるとともに外形サイズ(平面視外形サイズ)がベース基体1aとほぼ等しいセラミックの枠体1bからなり、ベース基体1aと枠体1bと封止部材11aとが一体的に焼成されている。なお、堤部11(枠体1b)の上面は平坦であり、堤部11上に封止部材11a(封止材料や金属層等)が形成されている。例えば封止部材11aとしてガラス、あるいはタングステンやモリブデン等によるメタライズ層の上面にニッケルメッキ層、金メッキ層の各層が形成された構成としたり、さらにこれら各層の上部に金属リングが形成された構成としてもよい。   The base 1 is a rectangular parallelepiped as a whole, and has a configuration in which a ceramic such as alumina and a conductive material such as tungsten or molybdenum are appropriately laminated. As shown in FIG. 3, the base 1 includes a storage section 10 (internal storage section) having a concave shape in cross section, and a bank portion 11 (wall section) provided around the storage section 10 so as to surround the storage section 10. Specifically, the base 1 is a rectangular (planar view rectangular) flat plate-shaped ceramic base base 1a, and a ceramic having a large central portion and an outer size (planar view outer size) substantially equal to the base base 1a. The base body 1a, the frame body 1b, and the sealing member 11a are integrally fired. The top surface of the bank portion 11 (frame body 1b) is flat, and a sealing member 11a (a sealing material, a metal layer, or the like) is formed on the bank portion 11. For example, the sealing member 11a may have a structure in which a nickel plating layer or a gold plating layer is formed on the upper surface of glass or a metallized layer made of tungsten, molybdenum, or the like, or a metal ring is formed on the upper part of each layer. Good.

また、ベース1の外周(平面視外周縁)の4つの角であってベース1の側面には、ベース1の底面から天面(上面)にかけて上下にキャスタレーションが形成されている。また、これらのキャスタレーションの下方には図示しない側面端子電極が形成され、側面端子電極はベースの底面に形成された端子電極18,19と電気的につながっている(接続されている)。   Also, castellations are formed vertically on the side surface of the base 1 from the bottom surface to the top surface (upper surface) of the four corners of the outer periphery (outer peripheral edge in plan view) of the base 1. Further, side terminal electrodes (not shown) are formed below these castellations, and the side terminal electrodes are electrically connected (connected) to terminal electrodes 18 and 19 formed on the bottom surface of the base.

ベース1は平面視矩形とされ、このベース1の収納部10の内底面のうち一端部側(堤部11の一辺113側)上面には、後述する水晶振動板3を搭載して接続する一対の電極パッド12,13と、当該電極パッド12,13からベースの内底面の他端部側(堤部11の一辺114側)に向かってベースの堤部11の一辺111,112と平行に外表面に露出した状態で一定の幅にて延出された一対の引き回しパターン14,15が形成されている。またベース1の収納部10の内底面のうち他端部側(堤部11の一辺114側)中央付近の上面には、後述する水晶振動板3を搭載した際の傾きを規制する枕部材Mが形成されている。実施例1では各電極パッド12,13は方形状とし、各引き回しパターン14,15の端部の一部と各電極パッド12,13の端部の一部が交差する部分121,131の角度(交差角)を約90°にて形成している。   The base 1 has a rectangular shape in plan view, and a pair of quartz diaphragms 3 to be described later is mounted and connected to the upper surface of one end (on the side 113 of the bank 11) of the inner bottom surface of the storage portion 10 of the base 1. Electrode pads 12, 13, and the electrode pads 12, 13 toward the other end of the inner bottom surface of the base (on the side 114 of the bank 11) and parallel to the sides 111, 112 of the base bank 11 A pair of routing patterns 14 and 15 extending with a certain width in a state of being exposed on the surface are formed. Also, a pillow member M that regulates the inclination when a later-described crystal diaphragm 3 is mounted on the upper surface of the inner bottom surface of the storage portion 10 of the base 1 near the center of the other end side (one side 114 side of the bank portion 11). Is formed. In the first embodiment, each of the electrode pads 12 and 13 has a rectangular shape, and an angle (a portion 121 or 131) at which a part of the end of each of the routing patterns 14 and 15 and a part of the end of each of the electrode pads 12 and 13 intersect. (Intersection angle) is formed at about 90 °.

一対の引き回しパターン14,15のうち、ベース1の内底面の他端部よりの位置には、ベース1の堤部11の一辺111,112に対してそれぞれ背向する方向(離れる方向)に張り出した位置決め用基準点としての一対の引き回しパターンの拡幅部16,17が設けられている。実施例1ではこの一対の拡幅部16,17は方形状とし、各引き回しパターン14,15の端部の一部と各拡幅部16,17の端部の一部が交差する部分161,162,171の角度(交差角)を約90°にて形成しており、かつ拡幅部16,17の角部163,164,173,174の角度についても約90°にて形成している。   Of the pair of routing patterns 14, 15, the base 1 protrudes in a direction facing away from the one side 111, 112 of the bank 11 of the base 1 at a position from the other end of the inner bottom surface of the base 1. A pair of widened portions 16 and 17 of the routing pattern are provided as positioning reference points. In the first embodiment, the pair of widened portions 16 and 17 have a rectangular shape, and portions 161 and 162 where a part of the end portions of the routing patterns 14 and 15 and a part of the end portions of the widened portions 16 and 17 intersect. The angle 171 (crossing angle) is formed at about 90 °, and the angles 163, 164, 173, and 174 of the widened portions 16 and 17 are also formed at about 90 °.

また実施例1では、図2に示すように、各引き回しパターン14,15のうち拡幅部16,17に近接する部分の幅寸法をa、各拡幅部16,17の最大張り出し寸法をb、各拡幅部16,17の最大張り出し幅寸法をcとした際に、ベース1の内底面に収まる寸法で形成され、拡幅部16,17の最大張り出し寸法bと拡幅部16,17の最大張り出し幅寸法cの両方が、引き回しパターン14,15の幅寸法a以上の寸法で形成している。また実施例1では、電極パッド12と電極パッド13の間隔に対して拡幅部16と拡幅部17の間隔を広く寸法設計し、かつベース1の堤部11の一辺111と一辺112の中心線に対して線対称に拡幅部16と拡幅部17を形成している。なお、これらの電極パッド12,13、引き回しパターン14,15、拡幅部16,17は、タングステン、モリブデン等のメタライズ材料をペースト状にしたものを印刷して形成しており、ベース1と一体的に焼成してメタライズを形成し、その上部にニッケルメッキを形成し、その上部に金メッキを形成して構成されている。特に、前記拡幅部16,17の形成に関して基礎となる引き回しパターン14,15の幅寸法aは0.05mm以上で構成している。実施例1ではメタライズを印刷で形成する際の安定性を考慮して例えば0.1mm程度で構成している。このため拡幅部の形成状態もより一層安定し、位置決め用基準としての正確さも高まる。   Further, in Example 1, as shown in FIG. 2, the width dimension of the portion adjacent to the widened portions 16 and 17 in each of the routing patterns 14 and 15 is a, the maximum projecting dimension of each widened portion 16 and 17 is b, When the maximum projecting width dimension of the widened parts 16 and 17 is c, the maximum projecting dimension b of the widened parts 16 and 17 and the maximum projecting width dimension of the widened parts 16 and 17 are formed so as to fit within the inner bottom surface of the base 1. Both c are formed with a dimension equal to or larger than the width dimension a of the routing patterns 14 and 15. In the first embodiment, the distance between the widened portion 16 and the widened portion 17 is designed to be wider than the distance between the electrode pad 12 and the electrode pad 13, and the center line of the one side 111 and one side 112 of the bank 11 of the base 1 is used. On the other hand, the widened portion 16 and the widened portion 17 are formed in line symmetry. The electrode pads 12 and 13, the routing patterns 14 and 15, and the widened portions 16 and 17 are formed by printing a paste of a metallized material such as tungsten or molybdenum, and are integrated with the base 1. The metallization is formed by firing, nickel plating is formed on the upper part, and gold plating is formed on the upper part. In particular, the width dimension “a” of the routing patterns 14 and 15 as the basis for forming the widened portions 16 and 17 is 0.05 mm or more. In the first embodiment, the metallization is configured to have a thickness of, for example, about 0.1 mm in consideration of stability when formed by printing. For this reason, the formation state of the widened portion is further stabilized, and the accuracy as a positioning reference is increased.

電極パッド12,13間には、水晶振動板3(本発明でいう電子部品素子)が搭載されている。水晶振動板3の表裏面には図示しない一対の励振電極と引出電極が形成されている。一対の励振電極と引出電極は、例えば水晶振動板3に接して(水晶振動板3上から)クロム,金の順に、クロム,金,クロムの順に、クロム,銀,クロムの順に、あるいはクロム,銀の順に積層して形成されている。これら各電極(一対の励振電極と引出電極)は真空蒸着法やスパッタリング法等の薄膜形成手段により形成することができる。そして、電極パッド122,132に対して水晶振動板3の引出電極が導電性接合材(図示せず)により導電接合され、ベース1の一端部側に水晶振動板3が片側保持されている。例えば、水晶振動板3の励振電極と、ベース1の電極パッド122,123との導電接合には、導電性樹脂接着剤や金属バンプ・金属めっきバンプ・ろう材などの導電性接合材を用いることができる。   Between the electrode pads 12 and 13, a quartz crystal plate 3 (an electronic component element in the present invention) is mounted. A pair of excitation electrodes and extraction electrodes (not shown) are formed on the front and back surfaces of the crystal diaphragm 3. The pair of excitation electrodes and extraction electrodes are in contact with, for example, the quartz diaphragm 3 (from the top of the quartz diaphragm 3) in the order of chromium, gold, chromium, gold, chromium, chromium, silver, chromium, or chromium, It is formed by laminating in the order of silver. Each of these electrodes (a pair of excitation electrode and extraction electrode) can be formed by a thin film forming means such as a vacuum evaporation method or a sputtering method. The extraction electrode of the crystal diaphragm 3 is conductively bonded to the electrode pads 122 and 132 by a conductive bonding material (not shown), and the crystal diaphragm 3 is held on one side of the base 1. For example, a conductive bonding material such as a conductive resin adhesive, a metal bump, a metal plating bump, or a brazing material is used for conductive bonding between the excitation electrode of the crystal diaphragm 3 and the electrode pads 122 and 123 of the base 1. Can do.

ベース1を気密封止する蓋2には、板状のアルミナ等のセラミック材料にガラス封止材等の封止部材11aが形成されたもの、あるいは金属母材に金属ろう材等の封止材11aが形成された金属部材が用いられる。蓋2の平面視外形はベース1の当該外形とほぼ同じであるか、若干小さい構成となっている。   The lid 2 for hermetically sealing the base 1 has a plate-like ceramic material such as alumina formed with a sealing member 11a such as a glass sealing material, or a metal base material such as a metal brazing material. A metal member formed with 11a is used. The plan view outline of the lid 2 is substantially the same as or slightly smaller than the outline of the base 1.

このようなベース1の収納部10に水晶振動板3を格納し、蓋2にて被覆して加熱炉による溶融接合、あるいはシーム溶接やビーム照射による溶接などの手法により気密封止を行うことで表面実装型の水晶振動子(電子部品用パッケージ)の完成となる。   By storing the quartz crystal plate 3 in the storage portion 10 of the base 1 and covering it with the lid 2 and performing hermetic sealing by a technique such as fusion bonding by a heating furnace, seam welding or beam irradiation welding. The surface-mounted crystal unit (electronic component package) is completed.

以下、本発明の実施例1の水晶振動子による水晶振動板の搭載手順について説明する。上述のように、内底面のうち一端部側上面に一対の電極パッド12,13と、当該電極パッド12,13からベースの内底面の他端部側に向かってベースの堤部11の一辺111,112と平行に外表面に露出した状態で一定の幅にて延出された一対の引き回しパターン14,15と、当該一対の引き回しパターン14,15の他端部で、ベース1の堤部11の一辺111,112に対してそれぞれ背向する方向(離れる方向)に張り出した拡幅部16,17が形成されたベース1を用意する。   Hereinafter, a mounting procedure of the crystal diaphragm using the crystal resonator according to the first embodiment of the present invention will be described. As described above, the pair of electrode pads 12 and 13 on the upper surface on one end side of the inner bottom surface, and one side 111 of the base bank portion 11 from the electrode pads 12 and 13 toward the other end side of the inner bottom surface of the base. , 112 and a pair of routing patterns 14, 15 extending at a constant width in a state of being exposed on the outer surface in parallel to the outer surface, and the other end portions of the pair of routing patterns 14, 15, and the bank portion 11 of the base 1. A base 1 is prepared in which widened portions 16 and 17 projecting in a direction (separating direction) from the sides 111 and 112 are formed.

そして図1の矢印部分に示すように、事前にベース1の各引き回しパターン14,15の端部の一部と各電極パッド12,13の端部の一部が交差する部分121,131と、ベース1の各引き回しパターン14,15の端部の一部と各拡幅部16,17の端部の一部が交差する部分161,171とを、画像認識用の位置決め用基準点として設定し、例えばこの各交差する部分121,131,161,171から各電極パッド12,13の中心付近までの相対的な位置情報や距離情報などを画像認識装置に記憶させる。同様に水晶振動板3の外周端部から図示しない引出電極の中心付近までの相対的な位置情報や距離情報などを水晶振動板搭載装置(電子部品搭載装置)の画像認識システムに記憶させる。なお、拡幅部16に関連する位置決め用の基準点の設定場所として、図2に示すように、交差部分161だけでなく、他の交差部分162、あるいは角部163や164に設定してもよい。拡幅部17に関連する位置決め用の基準点の設定場所としても、図1に示すように、交差部分171だけでなく、角部173や174に設定してもよい。   And as shown in the arrow part of FIG. 1, the part 121,131 where a part of the end part of each routing pattern 14,15 of the base 1 and a part of the end part of each electrode pad 12,13 intersect in advance, A portion 161, 171 where a part of the end of each routing pattern 14, 15 of the base 1 and a part of the end of each widened portion 16, 17 intersect is set as a positioning reference point for image recognition. For example, relative position information and distance information from the intersecting portions 121, 131, 161, 171 to the vicinity of the centers of the electrode pads 12, 13 are stored in the image recognition apparatus. Similarly, relative position information, distance information, and the like from the outer peripheral end of the crystal diaphragm 3 to the vicinity of the center of an extraction electrode (not shown) are stored in the image recognition system of the crystal diaphragm mounting device (electronic component mounting device). In addition, as shown in FIG. 2, as a setting place of the positioning reference point related to the widened portion 16, it may be set not only at the intersecting portion 161 but also at other intersecting portions 162 or corner portions 163 and 164. . As shown in FIG. 1, not only the intersecting portion 171 but also the corner portions 173 and 174 may be set as the setting location of the positioning reference point related to the widened portion 17.

次に、上記画像認識システムで記憶した情報に基づいて、水晶振動板搭載装置の作業領域に対して所定の位置や向きにあわせてベース1を配置する。具体的には前記交差する部分121と131からベース1の位置(X方向の位置、Y方向の位置)とベースの向き(各電極パッド12,13の位置)を認識し、前記交差する部分121と161、あるいは前記交差する部分131と171からベースの配置される角度(θ)を認識する。   Next, based on the information stored in the image recognition system, the base 1 is arranged in a predetermined position and orientation with respect to the work area of the crystal diaphragm mounting device. Specifically, the position of the base 1 (the position in the X direction and the position in the Y direction) and the direction of the base (the positions of the electrode pads 12 and 13) are recognized from the intersecting portions 121 and 131, and the intersecting portions 121 are detected. 161, or the angle (θ) at which the base is arranged is recognized from the intersecting portions 131 and 171.

次に、上記画像認識システムで記憶した情報に基づいて、上記作業領域の所定位置に配置されたベース1の電極パッド12,13の所定位置に対して導電性接合材を配置形成する。具体的には前記交差する部分121と131から電極パッド12,13の中央付近の位置(X方向の位置、Y方向の位置)を認識する。   Next, based on the information stored in the image recognition system, a conductive bonding material is arranged and formed at predetermined positions of the electrode pads 12 and 13 of the base 1 arranged at predetermined positions in the work area. Specifically, a position near the center of the electrode pads 12 and 13 (position in the X direction, position in the Y direction) is recognized from the intersecting portions 121 and 131.

次に、上記画像認識システムで記憶した情報に基づいて、上記作業領域の所定位置に配置され、かつ電極パッド12,13の所定位置に導電性接合材が配置形成されたベース1に対して水晶振動板3を搭載接合する。具体的には水晶振動板3の4角や4辺などから水晶振動板の外周端部の位置(X方向の端部位置、Y方向の端部位置)と水晶振動板の配置される角度(θ)を認識し、水晶振動板3の4角と引出電極の位置から水晶振動板の向きと水晶振動板の外周端部から引出電極の中心付近までの相対的な位置を認識する。また前記交差する部分121と131から電極パッド12,13の中央付近の位置(X方向の位置、Y方向の位置)を認識する。さらにベースの収納部10と水晶振動板3の外周端部の相対位置や角度、ベースの電極パッド12,13と水晶振動板の引出電極との相対位置など認識している。   Next, based on the information stored in the image recognition system, a quartz crystal is formed on the base 1 arranged at a predetermined position in the work area and having a conductive bonding material arranged at a predetermined position on the electrode pads 12 and 13. The diaphragm 3 is mounted and joined. Specifically, from the four corners or four sides of the crystal diaphragm 3, the position of the outer peripheral edge of the crystal diaphragm (end position in the X direction, end position in the Y direction) and the angle at which the crystal diaphragm is disposed ( θ) and the relative position from the four corners of the crystal diaphragm 3 and the position of the extraction electrode to the orientation of the crystal diaphragm and the outer peripheral end of the crystal diaphragm to the vicinity of the center of the extraction electrode. Further, a position near the center of the electrode pads 12 and 13 (a position in the X direction and a position in the Y direction) is recognized from the intersecting portions 121 and 131. Further, the relative position and angle of the base housing portion 10 and the outer peripheral end of the quartz crystal plate 3, and the relative position between the base electrode pads 12 and 13 and the lead electrode of the quartz plate are recognized.

以下、本発明の実施例2について、図4を参照して説明する。なお、上記実施例1と同様の部分については同番号を付すとともに、説明の一部を省略して説明する。   A second embodiment of the present invention will be described below with reference to FIG. In addition, the same number is attached | subjected about the part similar to the said Example 1, and a part of description is abbreviate | omitted and demonstrated.

ベース1は平面視矩形とされ、このベース1の収納部10の内底面のうち一端部側(堤部11の一辺113側)上面には、後述する水晶振動板3を搭載して接続する一対の電極パッド12,13と、当該電極パッド12,13からベースの内底面の他端部側(堤部11の一辺114側)に向かってベースの堤部11の一辺111,112と平行に外表面に露出した状態で一定の幅にて延出された一対の引き回しパターン141,15と、前記引き回しパターン141から段違いの状態でベースの内底面の他端部側(堤部11の一辺114側)に向かってベースの堤部11の一辺111と平行に外表面に露出した状態で一定の幅にて延出された引き回しパターン142とが形成されている。またベース1の収納部10の内底面のうち他端部側(堤部11の一辺114側)中央付近の上面には、後述する水晶振動板3を搭載した際の傾きを規制する枕部材Mが形成されている。実施例2では各電極パッド12,13は方形状とし、各引き回しパターン14,15の端部の一部と各電極パッド12,13の端部の一部が交差する部分121,122,131の角度(交差角)を約90°にて形成している。   The base 1 has a rectangular shape in plan view, and a pair of quartz diaphragms 3 to be described later is mounted and connected to the upper surface of one end (on the side 113 of the bank 11) of the inner bottom surface of the storage portion 10 of the base 1. Electrode pads 12, 13, and the electrode pads 12, 13 toward the other end of the inner bottom surface of the base (on the side 114 of the bank 11) and parallel to the sides 111, 112 of the base bank 11 A pair of routing patterns 141 and 15 extending at a constant width in a state of being exposed on the surface, and the other end side of the inner bottom surface of the base in a state of being different from the routing pattern 141 (one side 114 side of the bank portion 11) ) And a routing pattern 142 extending at a constant width in a state of being exposed on the outer surface in parallel with the side 111 of the base bank portion 11. Also, a pillow member M that regulates the inclination when a later-described crystal diaphragm 3 is mounted on the upper surface of the inner bottom surface of the storage portion 10 of the base 1 near the center of the other end side (one side 114 side of the bank portion 11). Is formed. In the second embodiment, the electrode pads 12 and 13 have a rectangular shape, and portions 121, 122, and 131 where a part of the end portions of the routing patterns 14 and 15 and a part of the end portions of the electrode pads 12 and 13 intersect each other. The angle (crossing angle) is formed at about 90 °.

引き回しパターン141と142の接続部分には、ベース1の堤部11の一辺111に対して背向する方向(離れる方向)に張り出した位置決め用基準点としての引き回しパターンの拡幅部16が設けられている。また引き回しパターン15のうち、ベース1の内底面の他端部よりの位置には、ベース1の堤部11の一辺112に対して背向する方向(離れる方向)に張り出した位置決め用基準点としての引き回しパターンの拡幅部17が設けられている。実施例2では拡幅部16は三角形状、拡幅部17は五角形状としている。引き回しパターン141および142の端部の一部と拡幅部16の端部の一部が交差する部分161と162の角度(交差角)をそれぞれ約135°と約90°にて形成しており、かつ拡幅部16の角部163の角度については約45°にて形成している。引き回しパターン15の端部の一部と拡幅部17の端部の一部が交差する部分171の角度(交差角)をそれぞれ約90°にて形成しており、かつ拡幅部17の角部173と174と175の角度については約112.5°と約112.5°と約135°にて形成している。   The connection portion between the routing patterns 141 and 142 is provided with a widening portion 16 of the routing pattern as a positioning reference point protruding in a direction facing away from the one side 111 of the bank portion 11 of the base 1 (a direction away from the side). Yes. Further, in the routing pattern 15, as a positioning reference point that protrudes in a direction facing away from the one side 112 of the bank portion 11 of the base 1 (a direction away from the other end portion of the inner bottom surface of the base 1). The widened portion 17 of the routing pattern is provided. In Example 2, the widened portion 16 has a triangular shape, and the widened portion 17 has a pentagonal shape. Angles (intersection angles) of portions 161 and 162 where a part of the end portions of the routing patterns 141 and 142 and a part of the end portion of the widened portion 16 intersect are formed at about 135 ° and about 90 °, respectively. The angle of the corner portion 163 of the widened portion 16 is about 45 °. The angle (intersection angle) of the portion 171 where a part of the end portion of the routing pattern 15 and a part of the end portion of the widened portion 17 intersect is formed at about 90 °, and the corner portion 173 of the widened portion 17 is formed. Are formed at about 112.5 °, about 112.5 °, and about 135 °.

また実施例2では、図4に示すように、各引き回しパターン141,15のうち拡幅部16,17に近接する部分の幅寸法をa、各拡幅部16,17の最大張り出し寸法をb1,b2、各拡幅部16,17の最大張り出し幅寸法をc1、c2とした際に、ベース1の内底面に収まる寸法で形成され、拡幅部16の最大張り出し寸法b1と最大張り出し幅寸法c1の両方が、引き回しパターン14の幅寸法a以上の寸法で形成され、拡幅部17の最大張り出し寸法b2のみが、引き回しパターン15の幅寸法a以上の寸法で形成している。なお、これらの電極パッド12,13、引き回しパターン14,15、拡幅部16,17は、タングステン、モリブデン等のメタライズ材料をペースト状にしたものを印刷して形成しており、ベース1と一体的に焼成してメタライズを形成し、その上部にニッケルメッキを形成し、その上部に金メッキを形成して構成されている。   In the second embodiment, as shown in FIG. 4, the width dimension of the portions of the routing patterns 141 and 15 adjacent to the widened portions 16 and 17 is a, and the maximum projecting dimension of the widened portions 16 and 17 is b1 and b2. When the maximum projecting width dimensions of the widened portions 16 and 17 are c1 and c2, they are formed so as to fit on the inner bottom surface of the base 1, and both the maximum projecting dimension b1 and the maximum projecting width dimension c1 of the widened section 16 are The lead pattern 14 is formed with a dimension that is greater than or equal to the width dimension a, and only the maximum projecting dimension b2 of the widened portion 17 is formed with a dimension that is greater than or equal to the width dimension a of the lead pattern 15. The electrode pads 12 and 13, the routing patterns 14 and 15, and the widened portions 16 and 17 are formed by printing a paste of a metallized material such as tungsten or molybdenum, and are integrated with the base 1. The metallization is formed by firing, nickel plating is formed on the upper part, and gold plating is formed on the upper part.

本発明の実施例2の水晶振動子では、例えば、各引き回しパターン141,15の端部の一部と各電極パッド12,13の端部の一部が交差する部分121,131と、ベース1の引き回しパターン141の端部の一部と拡幅部16の端部の一部が交差する部分161、拡幅部16の角部163、拡幅部17の角部175とを、画像認識用の位置決め用基準点として設定している。なお、拡幅部16に関連する位置決め用の基準点の設定場所として、図4に示すように、交差部分161や角部163だけでなく、他の交差部分162などを含みこれらのいずれか一つ以上適宜選択して設定してもよい。拡幅部17に関連する位置決め用の基準点の設定場所としても、図4に示すように、角部175だけでなく、交差部分171や角部173や角部174などを含みこれらのいずれか一つ以上を適宜選択して設定してもよい。   In the crystal resonator according to the second embodiment of the present invention, for example, portions 121 and 131 where a part of the end portions of the routing patterns 141 and 15 and a part of the end portions of the electrode pads 12 and 13 intersect, and the base 1 A portion 161 where a part of the end of the lead pattern 141 and a part of the end of the widened portion 16 intersect, a corner 163 of the widened portion 16, and a corner 175 of the widened portion 17 are used for positioning for image recognition. It is set as a reference point. In addition, as shown in FIG. 4, not only the intersection portion 161 and the corner portion 163 but also other intersection portions 162 are set as the setting location of the positioning reference point related to the widened portion 16, and any one of them is included. You may select and set suitably as mentioned above. As shown in FIG. 4, not only the corner portion 175 but also the intersection portion 171, the corner portion 173, the corner portion 174, and the like are set as locations for setting the reference points for positioning related to the widened portion 17. Two or more may be selected and set as appropriate.

以下、本発明の実施例3について、図5を参照して説明する。なお、上記実施例1,2と同様の部分については同番号を付すとともに、説明の一部を省略して説明する。   Embodiment 3 of the present invention will be described below with reference to FIG. The same parts as those in the first and second embodiments are denoted by the same reference numerals and a part of the description is omitted.

ベース1は平面視矩形とされ、このベース1の収納部10の内底面のうち一端部側の一端(堤部11の一辺113側で堤部11の一辺111に近接した一端側)上面には、後述する水晶振動板3の一端側を搭載して接続する電極パッド12と、当該電極パッド12からベースの内底面の他端部側の一端(堤部11の一辺114側で堤部11の一辺111に近接した一端側)に向かってベースの堤部11の一辺111と平行に外表面に露出した状態で一定の幅にて延出された引き回しパターン14が形成されている。またベース1の収納部10の内底面のうち他端部側の他端(堤部11の一辺114側で堤部11の一辺112に近接した他端側)上面には、後述する水晶振動板3の一端側を搭載して接続する電極パッド13と、当該電極パッド13からベースの内底面の一端部側の他端(堤部11の一辺113側で堤部11の一辺112に近接した他端側)に向かってベースの堤部11の一辺112と平行に外表面に露出した状態で一定の幅にて延出された引き回しパターン15が形成されている。実施例3では各電極パッド12,13は方形状とし、各引き回しパターン14,15の端部の一部と各電極パッド12,13の端部の一部が交差する部分121,131の角度(交差角)を約90°にて形成している。   The base 1 has a rectangular shape in plan view, and one end on one end side of the inner bottom surface of the storage portion 10 of this base 1 (one end side close to one side 111 on the side 113 of the bank 11) The electrode pad 12 to which one end side of the crystal diaphragm 3 described later is mounted and connected, and one end on the other end side of the inner bottom surface of the base from the electrode pad 12 (on the side 114 side of the bank portion 11) A routing pattern 14 extending in a certain width is formed in a state of being exposed to the outer surface in parallel with the side 111 of the base bank 11 toward one end side close to the side 111. Also, a quartz crystal plate, which will be described later, is formed on the upper surface of the other bottom side of the inner bottom surface of the storage portion 10 of the base 1 (the other end side close to the one side 112 on the side 114 of the bank 11). Electrode pad 13 to which one end side of 3 is mounted and connected, and the other end on one end side of the inner bottom surface of the base from the electrode pad 13 (the other side close to one side 112 of the bank 11 on one side 113 side) A routing pattern 15 extending in a certain width is formed in a state of being exposed to the outer surface in parallel with the one side 112 of the base bank portion 11 toward the end side. In the third embodiment, the electrode pads 12 and 13 are formed in a square shape, and the angles of the portions 121 and 131 where a part of the end portions of the routing patterns 14 and 15 and a part of the end portions of the electrode pads 12 and 13 intersect ( (Intersection angle) is formed at about 90 °.

引き回しパターン14のうち、ベース1の内底面の他端部よりの位置には、少なくとも一部がベース1の堤部11の一辺111に対して背向する方向(離れる方向)に張り出した位置決め用基準点としての引き回しパターンの拡幅部16が設けられている。また引き回しパターン15のうち、ベース1の内底面の一端部よりの位置には、少なくとも一部がベース1の堤部11の一辺112に対して背向する方向(離れる方向)に張り出した位置決め用基準点としての引き回しパターンの拡幅部17が設けられている。実施例3では拡幅部16は円形状、拡幅部17は六角形状としている。引き回しパターン14の端部の一部と拡幅部16の円周の一部が交差する部分161の角度(交差角)を約120°にて形成している。引き回しパターン15の端部の一部と各拡幅部17の端部の一部が交差する部分171の角度(交差角)をそれぞれ約45°にて形成しており、かつ拡幅部17の角部173と174と175の角度については約90°と約135°と約90°にて形成している。なお、本発明における引き回しパターンの拡幅部は、ベースの上下面へ電極を引き回すためのビア形成領域として活用してもよい。例えば、実施例3では拡幅部17に対してビアVを形成しており、引き回しパターンの形成領域を拡大することなく、電極パッド13をベース1裏面の端子電極の一部に対して引き出すことができる。   In the routing pattern 14, for positioning, at least a part projects from the other end portion of the inner bottom surface of the base 1 in a direction facing away from the one side 111 of the bank 11 of the base 1 (a direction away from it). A widened portion 16 of a routing pattern as a reference point is provided. Further, in the routing pattern 15, for positioning, at least a part projects from the one end portion of the inner bottom surface of the base 1 in a direction facing away from the one side 112 of the bank portion 11 of the base 1 (a direction away from it). A widened portion 17 of a routing pattern as a reference point is provided. In Example 3, the widened portion 16 has a circular shape, and the widened portion 17 has a hexagonal shape. An angle (intersection angle) of a portion 161 where a part of the end portion of the routing pattern 14 and a part of the circumference of the widened portion 16 intersect is formed at about 120 °. The angle (intersection angle) of a portion 171 where a part of the end portion of the routing pattern 15 and a part of the end portion of each widened portion 17 intersect is formed at about 45 °, and the corner portion of the widened portion 17 The angles 173, 174, and 175 are formed at about 90 °, about 135 °, and about 90 °. The widened portion of the routing pattern in the present invention may be used as a via formation region for routing the electrode to the upper and lower surfaces of the base. For example, in the third embodiment, the via V is formed in the widened portion 17, and the electrode pad 13 can be drawn out to a part of the terminal electrode on the back surface of the base 1 without enlarging the formation area of the drawing pattern. it can.

また実施例3では、図5に示すように、各引き回しパターン14,15のうち拡幅部16,17に近接する部分の幅寸法をa、各拡幅部16,17の最大張り出し寸法をb1,b2、各拡幅部16,17の最大張り出し幅寸法をc1,c2とした際に、ベース1の内底面に収まる寸法で形成され、拡幅部16の最大張り出し寸法b1が、引き回しパターン14の幅寸法aの1/2の寸法で形成され、拡幅部16の最大張り出し幅寸法c1のみが、引き回しパターン14の幅寸法a以上の寸法で形成されている。また拡幅部17の最大張り出し寸法b2と最大張り出し幅寸法c2の両方が、引き回しパターン14の幅寸法a以上の寸法で形成している。なお、これらの電極パッド12,13、引き回しパターン14,15、拡幅部16,17は、タングステン、モリブデン等のメタライズ材料をペースト状にしたものを印刷して形成しており、ベース1と一体的に焼成してメタライズを形成し、その上部にニッケルメッキを形成し、その上部に金メッキを形成して構成されている。   Further, in Example 3, as shown in FIG. 5, the width dimension of the portions adjacent to the widened portions 16 and 17 in the respective drawing patterns 14 and 15 is a, and the maximum projecting dimension of each widened portion 16 and 17 is b1 and b2. When the maximum projecting width dimension of each of the widened portions 16 and 17 is set to c1 and c2, it is formed with a dimension that fits on the inner bottom surface of the base 1, and the maximum projecting dimension b1 of the widened section 16 is the width dimension a of the routing pattern 14. Only the maximum projecting width dimension c1 of the widened portion 16 is formed with a dimension equal to or larger than the width dimension a of the routing pattern 14. Further, both the maximum overhanging dimension b2 and the maximum overhanging width dimension c2 of the widened portion 17 are formed to be larger than the width dimension a of the routing pattern 14. The electrode pads 12 and 13, the routing patterns 14 and 15, and the widened portions 16 and 17 are formed by printing a paste of a metallized material such as tungsten or molybdenum, and are integrated with the base 1. The metallization is formed by firing, nickel plating is formed on the upper part, and gold plating is formed on the upper part.

本発明の実施例3の水晶振動子では、例えば、各引き回しパターン14,15の端部の一部と各電極パッド12,13の端部の一部が交差する部分121,131と、ベース1の引き回しパターン14の端部の一部と拡幅部16の端部の一部が交差する部分161、引き回しパターン15の端部の一部と拡幅部17の端部の一部が交差する部分171とを、画像認識用の位置決め用基準点として設定している。なお、拡幅部17に関連する位置決め用の基準点の設定場所としても、図5に示すように、交差部分171だけでなく、角部173や角部174や角部175などを含みこれらのいずれか一つ以上を適宜選択して設定してもよい。   In the crystal resonator according to the third embodiment of the present invention, for example, portions 121 and 131 where a part of the end portions of the routing patterns 14 and 15 and a part of the end portions of the electrode pads 12 and 13 intersect, and the base 1 A portion 161 where a part of the end portion of the routing pattern 14 and a part of the end portion of the widened portion 16 intersect, and a portion 171 where a part of the end portion of the routing pattern 15 and a part of the end portion of the widened portion 17 intersect. Are set as positioning reference points for image recognition. In addition, as shown in FIG. 5, the setting location of the reference point for positioning related to the widened portion 17 includes not only the intersection portion 171 but also the corner portion 173, the corner portion 174, the corner portion 175, etc. One or more may be selected and set as appropriate.

本発明の実施例による構成により、水晶振動板3を搭載する電極パッド12,13の辺りと引き回しパターンの拡幅部16,17の辺りを位置決め用基準点として画像認識に利用することで、前記ベースの堤部の辺11,112に沿ってより正確な画像認識が行え、水晶振動板3の搭載精度(X方向の位置精度、Y方向の位置精度、θの位置精度等)を高めることができる。そして、引き回しパターンの拡幅部16,17は、ベース1の堤部11の一辺に対してそれぞれ背向する方向(離れる方向)に張り出して形成されているので、パターン形成ずれ影響やベースがセラミックの場合の積層ずれの影響によって、ベースの堤部11に対して引き回しパターン14,15とその拡幅部16,17が潜り込み(交差)んだり、延出されることがなく、位置決め用基準点の機能を妨げることが一切ない。また、表面実装型の水晶振動子の小型化や高密度実装化などにともなって引き回しパターン14,15の形成領域が小さくなったとしても、拡幅部16,17の最大張り出し寸法b,b1,b2が、引き回しパターン14,15の幅寸法aの1/2以上でかつベースの収納部10に収まる寸法で形成されているので、拡幅部16,17はその位置ずれやボケが生じることがなくなる。加えて、拡幅部16,17の最大張り出し幅寸法c,c1,c2が、引き回しパターン14,15の幅寸法aの1/2以上でかつベースの収納部10に収まる寸法で形成されていれば、拡幅部16,17はより安定した状態で形成することができさらに好ましい形態となる。つまり拡幅部16,17は製造ばらつきなどによる形成状態の良し悪しに影響しない、位置決め用基準点として安定した正確なものとすることができる。結果として、小型化あるいは高密度実装化された電子部品に対してもこのような拡幅部16,17の辺りを位置決め用基準点として画像認識することで水晶振動板をベース1に搭載する際の精度を高めることができる。   According to the configuration of the embodiment of the present invention, the base around the electrode pads 12 and 13 on which the crystal diaphragm 3 is mounted and the wide portions 16 and 17 of the routing pattern are used as positioning reference points for image recognition. Image recognition can be performed more accurately along the sides 11 and 112 of the bank portion, and the mounting accuracy of the crystal diaphragm 3 (position accuracy in the X direction, position accuracy in the Y direction, position accuracy of θ, etc.) can be improved. . Further, the widened portions 16 and 17 of the routing pattern are formed so as to protrude in the direction facing away from the one side of the bank portion 11 of the base 1 (in the direction away from each other). In this case, the routing patterns 14 and 15 and the widened portions 16 and 17 do not sink (intersect) or extend with respect to the base bank portion 11 due to the effect of misalignment of the base, so that the function of the positioning reference point can be achieved. There is no hindrance. Further, even if the formation area of the routing patterns 14 and 15 is reduced due to downsizing and high-density mounting of the surface-mount type crystal resonator, the maximum projecting dimensions b, b1 and b2 of the widened portions 16 and 17 are reduced. However, since it is formed with a dimension that is 1/2 or more of the width dimension a of the routing patterns 14 and 15 and can be accommodated in the storage part 10 of the base, the widened parts 16 and 17 are prevented from being displaced or blurred. In addition, if the maximum projecting width dimensions c, c1, c2 of the widened portions 16, 17 are not less than 1/2 of the width dimension a of the routing patterns 14, 15, and are formed so as to fit in the storage portion 10 of the base. The widened portions 16 and 17 can be formed in a more stable state, which is a more preferable form. That is, the widened portions 16 and 17 can be made stable and accurate as positioning reference points that do not affect the quality of the formation state due to manufacturing variations or the like. As a result, even when the electronic component is miniaturized or mounted with high density, the vicinity of the widened portions 16 and 17 is image-recognized as a positioning reference point to mount the crystal diaphragm on the base 1. Accuracy can be increased.

また、上記各実施例では、引き回しパターン14,15,141,142の端部の一部と前記拡幅部16,17の端部の一部が交差する部分121,122,131,161,162,171について、角度が45°以上135°以下にて形成され、前記交差した部分を位置決め用の基準点として設定しているので、パターンの複数方向からの幅寸法と位置を認識することなく、寸法誤差や形成ずれなど位置決めパターンの形成状態の悪影響も受けにくくできる。加えて交差部分のパターン形成ボケの悪影響も受けにくくできる。また、上記各実施例では、拡幅部16,17に角部163,164,173,174,175を形成し、当該角部の角度が45°以上135°以下にて形成され、前記角部を位置決め用の基準点として設定しているので、パターンの複数方向からの幅寸法と位置を認識することなく、寸法誤差や形成ずれなど位置決めパターンの形成状態の悪影響も受けにくくできる。加えて角部のパターン形成ボケの悪影響も受けにくくできる。以上により小型化されても正確な基準点の認識が行える。   Further, in each of the above embodiments, the portions 121, 122, 131, 161, 162, where a part of the end portions of the routing patterns 14, 15, 141, 142 and a part of the end portions of the widened portions 16, 17 intersect. 171 is formed at an angle of 45 ° or more and 135 ° or less, and the intersecting portion is set as a reference point for positioning. Therefore, the dimensions can be measured without recognizing the width and position of the pattern from a plurality of directions. It can be made difficult to be adversely affected by the formation state of the positioning pattern, such as errors and misalignment. In addition, it is difficult to be adversely affected by pattern formation blur at the intersection. In each of the above embodiments, the corners 163, 164, 173, 174, and 175 are formed in the widened portions 16 and 17, and the corners are formed at an angle of 45 ° to 135 °. Since it is set as a reference point for positioning, it is difficult to be adversely affected by the formation state of the positioning pattern such as dimensional errors and formation deviations without recognizing the width dimension and position of the pattern from a plurality of directions. In addition, it is difficult to be adversely affected by blurred pattern formation at the corners. As described above, accurate reference point recognition can be performed even if the size is reduced.

上記実施形態では、表面実装型水晶振動子を例にしているが、水晶フィルタ、水晶発振器など電子機器等に用いられる他の表面実装型の電子部品用パッケージにも適用できる。例えば水晶発振器については電子部品素子として水晶振動板だけに限らず、集積回路素子や他の電子部品の搭載に適用してもよい。また絶縁性のパッケージ(ベース)として、セラミック材料を開示しているが、ガラス材料など他の絶縁材料を用いたものであってもよい。端子電極の金属膜としてメタライズを開示しているが、めっき材料など他の構成であってもよい。   In the above-described embodiment, a surface-mount type crystal resonator is taken as an example, but the present invention can also be applied to other surface-mount type electronic component packages used in electronic devices such as crystal filters and crystal oscillators. For example, the crystal oscillator is not limited to a crystal diaphragm as an electronic component element, but may be applied to mounting an integrated circuit element or other electronic components. Further, although a ceramic material is disclosed as an insulating package (base), another insulating material such as a glass material may be used. Although metallization is disclosed as the metal film of the terminal electrode, other configurations such as a plating material may be used.

本発明は、その精神または主要な特徴から逸脱することなく、他のいろいろな形で実施できるので、限定的に解釈してはならない。本発明の範囲は特許請求範囲によって示すものであって、明細書本文に拘束されるものではない。さらに、特許請求の範囲の均等範囲に属する変形や変更は、全て本発明の範囲内のものである。   The present invention can be implemented in various other forms without departing from the spirit or main features thereof, and should not be interpreted in a limited manner. The scope of the present invention is indicated by the claims, and is not limited by the text of the specification. Further, all modifications and changes belonging to the equivalent scope of the claims are within the scope of the present invention.

本発明は、水晶振動子等の電子部品用パッケージ、電子部品用パッケージのベースに適用できる。   The present invention can be applied to an electronic component package such as a crystal resonator and a base of an electronic component package.

1 ベース
2 蓋
3 水晶振動板(電子部品素子)
1 Base 2 Lid 3 Crystal Diaphragm (Electronic Component Element)

Claims (4)

矩形状の電子部品素子を保持する電子部品用パッケージのベースにおいて、
前記ベースは平面視矩形状で壁部と開口部と内部収納部を具備しており、当該内部収納部の一端部上面には前記電子部品素子を搭載して接続する一対の電極パッドと、当該電極パッドからベースの内部収納部の他端部に向かってベースの壁部の一辺と平行に外表面に露出した状態で所定幅にて延出された一対の引き回しパターンが形成されており、
前記引き回しパターンのうちベースの内部収納部の他端部よりの位置には、前記ベースの壁部の一辺と離れ、かつ当該壁部の一辺に対して背向する方向に張り出した位置決め用基準点としての引き回しパターンの一対の拡幅部が設けられ、
前記引き回しパターンの幅寸法をa、前記拡幅部の最大張り出し寸法をbとした際に、
前記拡幅部の最大張り出し寸法bが、前記引き回しパターンの幅寸法aの1/2以上で形成されてなり、かつ前記ベースの内部収納部に収まる寸法で形成されてなり、前記一対の電極パッドの間隔に対して、前記一対の拡幅部の間隔を広くしたことを特徴とする電子部品用パッケージのベース。
In the base of the electronic component package holding the rectangular electronic component element,
The base has a rectangular shape in plan view and includes a wall portion, an opening portion, and an internal storage portion. A pair of electrode pads for mounting and connecting the electronic component element on an upper surface of one end portion of the internal storage portion, A pair of routing patterns are formed extending from the electrode pad toward the other end of the internal storage portion of the base in a predetermined width in a state of being exposed to the outer surface in parallel with one side of the wall portion of the base,
A positioning reference point that protrudes in a direction away from one side of the wall portion of the base and facing away from one side of the wall portion at a position from the other end of the internal storage portion of the base in the routing pattern. A pair of widened portions of the routing pattern as provided,
When the width dimension of the routing pattern is a and the maximum projecting dimension of the widened portion is b,
Maximum overhang dimension b of the wider section, wherein it is formed in 1/2 or more of the width a of the lead-out pattern, and Ri Na is formed dimensioned to fit inside housing portion of the base, the pair of electrode pads A base for an electronic component package, characterized in that the interval between the pair of widened portions is increased with respect to the interval .
前記引き回しパターンの端部の一部と前記拡幅部の端部の一部が交差する角度が45°以上135°以下にて形成されてなり、前記交差した部分を位置決め用の基準点として設定してなることを特徴とする特許請求項1、または特許請求項2記載の電子部品用パッケージのベース。 An angle at which a part of the end portion of the routing pattern and a part of the end portion of the widened portion intersect is formed at 45 ° to 135 °, and the intersected portion is set as a reference point for positioning. The base of the package for electronic components according to claim 1 or claim 2, wherein 前記拡幅部に角部を形成し、当該角部の角度が45°以上135°以下にて形成されてなり、前記角部を位置決め用の基準点として設定してなることを特徴とする特許請求項1、2記載の電子部品用パッケージのベース。 A corner portion is formed in the widened portion, the corner portion is formed at an angle of 45 ° to 135 °, and the corner portion is set as a reference point for positioning. Item 1. A base for an electronic component package according to item 1 or 2. 請求項1乃至3のうちいずれか1つに記載の電子部品用パッケージのベースを用い、電極パッドに対して電子部品素子が接合されて搭載されており、当該電子部品素子が搭載されたベースの開口部を蓋で気密封止することを特徴とする電子部品用パッケージ。 An electronic component element is bonded and mounted on an electrode pad using the base of the electronic component package according to any one of claims 1 to 3, and the base on which the electronic component element is mounted is mounted. A package for electronic parts, wherein the opening is hermetically sealed with a lid.
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