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JP5370697B2 - Linear motor - Google Patents
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Abstract

The invention provides a linear motor, which enables the stability and reliability to be improved and the machine body miniaturization to be realized. The linear motor comprises a first shaft, a second shaft parallelly arranged with the first shaft; two connecting parts for connecting the end parts of the first and second shafts; a first frame possessing a first penetrating hole penetrating the first shaft; a second frame possessing a second penetrating hole penetrating the second shaft; a linear coder possessing a scale and a sensor and configured such that the separation direction of the scale and the sensor is generally constant with the direction of a surface comprising the first shaft axis and the second shaft axis. By setting the first and second shafts and the connecting parts as rotors and setting the first and second frames as stators, the linear motor goes forward and back and moves relatively to the axis direction.

Description

開示の実施形態は、リニアモータに関する。   The disclosed embodiment relates to a linear motor.

従来、円筒状の磁性体よりなる金属パイプの内径側に円筒状に巻回したコイルを軸方向に複数個並べた固定子と、固定子の内側に磁気的空隙を介して配置された円筒状のシャフト(キャン)の内径側に永久磁石を軸方向に複数個挿設した可動子とを備えた円筒形のリニアモータが提案されている(例えば、特許文献1参照)。このリニアモータは、シャフトに設けられたスケール(リニアスケール)と、金属パイプに設けられたセンサ(検出器)とからなるリニアエンコーダを有している。   Conventionally, a stator in which a plurality of coils wound in a cylindrical shape on the inner diameter side of a metal pipe made of a cylindrical magnetic material are arranged in the axial direction, and a cylindrical shape that is disposed inside the stator via a magnetic gap There has been proposed a cylindrical linear motor provided with a mover in which a plurality of permanent magnets are inserted in the axial direction on the inner diameter side of the shaft (can) (see, for example, Patent Document 1). This linear motor has a linear encoder including a scale (linear scale) provided on a shaft and a sensor (detector) provided on a metal pipe.

国際公開第2007/046161号パンフレット(第8−9図)International Publication No. 2007/046161 Pamphlet (Figure 8-9)

上記従来技術のリニアモータにおいては、リニアエンコーダのスケールがシャフトに設けられ、センサが金属パイプに設けられた構成となっているため、シャフトに外力や振動が作用することによってスケールとセンサとのギャップが変動するおそれがある。すなわち、ロバスト性に向上の余地がある。また、コイルと永久磁石により可動子の推力を発生する電磁部と、スケール及びセンサを有するリニアエンコーダが設けられるエンコーダ部は、その構造上、ストロークの2倍のスペースがそれぞれ必要となるが、上記従来技術では電磁部とリニアエンコーダとが直列に配置されているため、モータの軸方向寸法が大きくなり、体格が大型化するという課題があった。   In the above-described prior art linear motor, the scale of the linear encoder is provided on the shaft and the sensor is provided on the metal pipe, so that an external force or vibration acts on the shaft to cause a gap between the scale and the sensor. May fluctuate. That is, there is room for improvement in robustness. In addition, the electromagnetic part that generates the thrust of the mover by the coil and the permanent magnet and the encoder part provided with the linear encoder having the scale and the sensor each require a space twice as large as the stroke. In the prior art, since the electromagnetic part and the linear encoder are arranged in series, there has been a problem that the axial dimension of the motor increases and the physique increases.

本発明の目的は、ロバスト性を向上しつつ、体格を小型化できるリニアモータを提供することにある。   An object of the present invention is to provide a linear motor that can be reduced in size while improving robustness.

上記課題を解決するため、本発明の一の観点によれば、所定の第1軸線を備えた第1シャフトと、所定の第2軸線を備えた第2シャフトと、を有し、前記第1軸線と前記第2軸線とが互いに異軸線でかつ平行となるように、前記第1シャフトと前記第2シャフトとが並列配置されたリニアモータであって、前記第1シャフトに前記第1軸線に沿って配列された複数の磁極と、前記第1シャフトと前記第2シャフトの端部を連結する少なくとも2つの連結部材と、前記第1シャフトが貫通する第1貫通孔及び前記第2シャフトが貫通する第2貫通孔を有し、前記第1貫通孔の内周面に複数の電機子巻線が配列されたフレームと、前記第2シャフトの外周面と前記第2貫通孔の内周面のいずれか一方に設けられたスケール及び他方に設けられたセンサを有し、前記スケールと前記センサとのギャップ方向が、前記第1シャフトの前記第1軸線と前記第2シャフトの前記第2軸線を含む面方向と略一致しかつ前記第1軸線と前記第2軸線との間に位置するように配設された磁気式リニアエンコーダと、を備え、前記第1シャフト、前記第2シャフト及び前記連結部材と、前記フレームとの、いずれか一方を可動子、他方を固定子として、前記軸方向に相対的に進退移動するリニアモータが適用される。 To solve the above problems, according to one aspect of the present invention includes a first shaft having a predetermined first axis, a second shaft with a predetermined second axis, the said first A linear motor in which the first shaft and the second shaft are arranged in parallel so that an axis and the second axis are different from each other and parallel to each other, and the first shaft is connected to the first axis. A plurality of magnetic poles arranged along, at least two connecting members connecting the end portions of the first shaft and the second shaft, a first through hole through which the first shaft passes, and the second shaft penetrating. A frame having a plurality of armature windings arranged on an inner peripheral surface of the first through hole, an outer peripheral surface of the second shaft, and an inner peripheral surface of the second through hole. Scale provided on either side and cell provided on the other Has a support, a gap direction between the scale and the sensor, the said first shaft of said first axis and said second shaft of the second axis substantially coincides vital the first axis and the plane direction including the A magnetic linear encoder disposed so as to be positioned between the first axis , the second shaft, the connecting member, and the frame. A linear motor that relatively moves forward and backward in the axial direction is used with the other as the stator.

本発明のリニアモータによれば、ロバスト性を向上しつつ、体格を小型化することができる。   According to the linear motor of the present invention, the physique can be reduced in size while improving the robustness.

一実施の形態のリニアモータの全体構成を表す側断面図である。It is a sectional side view showing the whole linear motor composition of one embodiment. 図1中II−II断面に相当するリニアモータの横断面図である。It is a cross-sectional view of the linear motor corresponding to the II-II cross section in FIG. リニアエンコーダを第2シャフトの第1方向他方側に配置する変形例におけるリニアモータの全体構成を表す側断面図である。It is a sectional side view showing the whole linear motor composition in the modification which arranges a linear encoder in the 1st direction other side of the 2nd shaft. 図3中IV−IV断面に相当するリニアモータの横断面図である。FIG. 4 is a transverse sectional view of the linear motor corresponding to the IV-IV section in FIG. 3. 第2シャフトを中空構造とする変形例におけるリニアモータの全体構成を表す側断面図である。It is a sectional side view showing the whole linear motor composition in the modification which makes the 2nd shaft a hollow structure. 図3中VI−VI断面に相当するリニアモータの横断面図である。It is a cross-sectional view of the linear motor corresponding to the VI-VI cross section in FIG.

以下、一実施の形態について図面を参照して説明する。   Hereinafter, an embodiment will be described with reference to the drawings.

図1及び図2において、本実施形態のリニアモータ1は、可動子を2軸構造としたピストン型のリニアモータである。このリニアモータ1は、第1フレーム2Aと、第2フレーム2Bと、2つの連結部材3と、第1シャフトSH1と、第1シャフトSH1と平行となるように並列配置された第2シャフトSH2と、リニアエンコーダ10とを備えている。   1 and 2, a linear motor 1 according to this embodiment is a piston-type linear motor having a movable element having a two-axis structure. The linear motor 1 includes a first frame 2A, a second frame 2B, two connecting members 3, a first shaft SH1, and a second shaft SH2 arranged in parallel so as to be parallel to the first shaft SH1. The linear encoder 10 is provided.

第1フレーム2Aは、第1シャフトSH1が貫通する第1貫通孔4と、第1貫通孔4の両端に配置され、第1シャフトSH1を軸方向(図1中左右方向、図2中紙面手前奥方向)に直線移動可能に支持する2つの第1直動軸受5とを有している。第1貫通孔4の内周面には、銅線等で円筒状に巻回された電機子巻線7が軸方向に複数個配列されている。   The first frame 2A is disposed at both ends of the first through-hole 4 through which the first shaft SH1 passes and the first through-hole 4, and the first shaft SH1 is arranged in the axial direction (left-right direction in FIG. 1, front side in FIG. 2). And two first linear motion bearings 5 supported so as to be linearly movable in the back direction). A plurality of armature windings 7 wound in a cylindrical shape with a copper wire or the like are arranged in the axial direction on the inner peripheral surface of the first through hole 4.

第2フレーム2Bは、第1フレーム2Aと別体として構成されており、適宜の固着剤を介して第1フレーム2Aと連結されている。これら第1フレーム2A及び第2フレーム2Bが、特許請求の範囲に記載のフレームに相当する。なお、第1フレーム2Aと第2フレーム2Bとを一体的に構成、すなわち1つのフレームとして構成してもよい。この第2フレーム2Bは、第2シャフトSH2が貫通する第2貫通孔8と、第2貫通孔8の両端に配置され、第2シャフトSH2を軸方向に直線移動可能に支持する2つの第2直動軸受9とを有している。   The second frame 2B is configured as a separate body from the first frame 2A, and is connected to the first frame 2A via an appropriate fixing agent. The first frame 2A and the second frame 2B correspond to the frames described in the claims. The first frame 2A and the second frame 2B may be configured integrally, that is, configured as one frame. The second frame 2B is disposed at both ends of the second through hole 8 through which the second shaft SH2 passes and the second through hole 8, and supports the second second shaft SH2 so as to be linearly movable in the axial direction. And a linear motion bearing 9.

連結部材3は、第1フレーム2A及び第2フレーム2Bの負荷側(図1中右側)及び反負荷側(図1中左側)に設けられている。これら連結部材3は、それぞれの内側(第1フレーム2A及び第2フレーム2Bに対向する側)に設けられた図示しない凹部に、第1シャフトSH1と第2シャフトSH2との端部がそれぞれ嵌合されることにより、第1フレーム2A及び第2フレーム2Bの負荷側及び反負荷側において、第1シャフトSH1と第2シャフトSH2との端部を連結している。   The connecting member 3 is provided on the load side (right side in FIG. 1) and the anti-load side (left side in FIG. 1) of the first frame 2A and the second frame 2B. The end portions of the first shaft SH1 and the second shaft SH2 are fitted into recesses (not shown) provided on the inner sides (sides facing the first frame 2A and the second frame 2B) of the connecting members 3, respectively. Thus, the end portions of the first shaft SH1 and the second shaft SH2 are connected on the load side and the anti-load side of the first frame 2A and the second frame 2B.

第1シャフトSH1は、第1フレーム2Aの第1貫通孔4を貫通しており、第1貫通孔4の両端に設けられた第1直動軸受5により軸方向に直線移動可能に軸支されている。この第1シャフトSH1には、複数の磁極を構成する永久磁石6が軸方向に所定のピッチで配列されている。複数の永久磁石6は、それらの磁極面が第1貫通孔4の内周面に配列された複数の電機子巻線7と磁気的空隙を介して対向すると共に、軸方向にN極同士又はS極同士が対向するように、交互に向きを反転させて配列されている。すなわち、永久磁石6が配列された部分では、N極の磁極とS極の磁極とが軸方向に交互に配列されている。なお、磁極を構成する部材としては、永久磁石に限られず、その他の部材(例えば電磁石等)を用いてもよい。   The first shaft SH1 passes through the first through hole 4 of the first frame 2A, and is supported by a first linear bearing 5 provided at both ends of the first through hole 4 so as to be linearly movable in the axial direction. ing. On the first shaft SH1, permanent magnets 6 constituting a plurality of magnetic poles are arranged at a predetermined pitch in the axial direction. The plurality of permanent magnets 6 are opposed to the plurality of armature windings 7 whose magnetic pole surfaces are arranged on the inner peripheral surface of the first through-hole 4 through magnetic gaps, and are arranged with N poles in the axial direction or They are arranged with their directions reversed alternately so that the S poles face each other. That is, in the portion where the permanent magnets 6 are arranged, the N-pole magnetic poles and the S-pole magnetic poles are alternately arranged in the axial direction. In addition, as a member which comprises a magnetic pole, it is not restricted to a permanent magnet, You may use other members (for example, electromagnet etc.).

第2シャフトSH2は、第2フレーム2Bの第2貫通孔8を貫通しており、第2貫通孔8の両端に設けられた第2直動軸受9により軸方向に直線移動可能に軸支されている。この第2シャフトSH2は、その外周面のうち、軸方向と直交する第1方向(図1及び図2中上下方向)の一方側(図1及び図2中下側)の面が、平坦面となっている。そして、この第2シャフトSH2の第1方向一方側に、リニアエンコーダ10が配置されている。   The second shaft SH2 passes through the second through hole 8 of the second frame 2B, and is supported by the second linear bearings 9 provided at both ends of the second through hole 8 so as to be linearly movable in the axial direction. ing. The second shaft SH2 has a flat surface on one side (lower side in FIGS. 1 and 2) of the first direction (vertical direction in FIGS. 1 and 2) orthogonal to the axial direction of the outer peripheral surface. It has become. And the linear encoder 10 is arrange | positioned at the 1st direction one side of this 2nd shaft SH2.

リニアエンコーダ10は、この例では磁気式エンコーダであり、磁気パターンが設けられたスケール101と、基板102と、スケール101に設けられた磁気パターンによる磁界を検出するセンサ103とを有している。スケール101は、第2シャフトSH2の外周面のうち上記第1方向一方側の平坦面に設けられている。基板102は、第2フレーム2Bの第2貫通孔8の内周面の一部を構成する、第1フレーム2Aの外周面のうち上記第1方向他方側(図1及び図2中上側)の面に設けられている。センサ103は、スケール101と上記第1方向のギャップGを介して対向するように基板102に設けられている。なお、センサ103が基板102に設けられることは、センサ103が第2フレーム2Bの第2貫通孔8の内周面の一部を構成する、第1フレーム2Aの外周面のうち上記第1方向他方側の面に設けられることと同等である。そして、このリニアエンコーダ10は、スケール101とセンサ103との上記第1方向のギャップGに係る方向のうち、センサ103における軸方向と直交する第2方向(図1中紙面手前奥方向、図2中左右方向)の略中央を通るギャップ方向Aが、第1シャフトSH1の軸線AX1と第2シャフトSH2の軸線AX2とを含む面方向Bと略一致するように配設されている。   In this example, the linear encoder 10 is a magnetic encoder, and includes a scale 101 provided with a magnetic pattern, a substrate 102, and a sensor 103 that detects a magnetic field generated by the magnetic pattern provided on the scale 101. The scale 101 is provided on the flat surface on the one side in the first direction among the outer peripheral surfaces of the second shaft SH2. The substrate 102 constitutes a part of the inner peripheral surface of the second through hole 8 of the second frame 2B, and is on the other side in the first direction (upper side in FIGS. 1 and 2) of the outer peripheral surface of the first frame 2A. It is provided on the surface. The sensor 103 is provided on the substrate 102 so as to face the scale 101 via the gap G in the first direction. Note that the sensor 103 is provided on the substrate 102 that the sensor 103 forms a part of the inner peripheral surface of the second through hole 8 of the second frame 2B in the first direction of the outer peripheral surface of the first frame 2A. It is equivalent to being provided on the other side surface. The linear encoder 10 has a second direction orthogonal to the axial direction of the sensor 103 among the directions related to the gap G in the first direction between the scale 101 and the sensor 103 (the front and back direction in FIG. 1, FIG. 2). The gap direction A passing through the substantially center of the center (left and right direction) is disposed so as to substantially coincide with the surface direction B including the axis AX1 of the first shaft SH1 and the axis AX2 of the second shaft SH2.

以上のように構成されたリニアモータ1においては、第1シャフトSH1、第2シャフトSH2、及び連結部材3等が可動子30を構成し、第1フレーム2A及び第2フレーム2B等が固定子40を構成している。そして、このリニアモータ1においては、可動子30と固定子40とが、軸方向に相対的に進退移動する。すなわち、第1フレーム2A側(第1シャフトSH1側)に設けられた電磁部60において、電機子巻線7に通電すると、電機子巻線7に流れる電流と永久磁石6により形成される磁束との相互作用によって、電機子巻線7と永久磁石6の磁極との間に吸引力及び反発力が発生し、これが推進力となって、可動子30が軸方向に進退移動する。また、可動子30が移動するときに、第2フレーム2B側(第2シャフトSH2側)に設けられたエンコーダ部70において、センサ103によりスケール101に設けられた磁気パターンによる磁界を検出することによって、可動子30の位置(移動量)を検出することができる。   In the linear motor 1 configured as described above, the first shaft SH1, the second shaft SH2, the connecting member 3 and the like constitute the mover 30, and the first frame 2A and the second frame 2B and the like are the stator 40. Is configured. And in this linear motor 1, the needle | mover 30 and the stator 40 move forward / backward relatively in an axial direction. That is, when the armature winding 7 is energized in the electromagnetic part 60 provided on the first frame 2A side (first shaft SH1 side), the current flowing in the armature winding 7 and the magnetic flux formed by the permanent magnet 6 Due to this interaction, an attractive force and a repulsive force are generated between the armature winding 7 and the magnetic poles of the permanent magnet 6, and this becomes a driving force, and the mover 30 moves forward and backward in the axial direction. Further, when the mover 30 moves, the encoder unit 70 provided on the second frame 2B side (second shaft SH2 side) detects the magnetic field generated by the magnetic pattern provided on the scale 101 by the sensor 103. The position (movement amount) of the mover 30 can be detected.

以上説明したように、本実施形態のリニアモータ1においては、並列配置された第1シャフトSH1及び第2シャフトSH2と、これらの端部を連結する2つの連結部材3と、第1フレーム2A及び第2フレーム2Bとを有しており、可動子30と固定子40とを軸方向に相対的に進退移動させる。また、本実施形態のリニアモータ1は、リニアエンコーダ10を有している。リニアエンコーダ10は、第2シャフトSH2の外周面に設けられたスケール101、及び、第2フレーム2Bの第2貫通孔8の内周面に設けられたセンサ103を有しており、スケール101とセンサ103とのギャップ方向Aが、第1シャフトSH1の軸線AX1と第2シャフトSH2の軸線AX2を含む面方向Bと略一致するように配設されている。   As described above, in the linear motor 1 of the present embodiment, the first shaft SH1 and the second shaft SH2 that are arranged in parallel, the two connecting members 3 that connect these end portions, the first frame 2A, The second frame 2B is provided, and the mover 30 and the stator 40 are relatively moved forward and backward in the axial direction. Further, the linear motor 1 of the present embodiment includes a linear encoder 10. The linear encoder 10 includes a scale 101 provided on the outer peripheral surface of the second shaft SH2 and a sensor 103 provided on the inner peripheral surface of the second through hole 8 of the second frame 2B. The gap direction A with respect to the sensor 103 is disposed so as to substantially coincide with the surface direction B including the axis AX1 of the first shaft SH1 and the axis AX2 of the second shaft SH2.

このように、第1シャフトSH1及び第2シャフトSH2の端部を連結部材3で連結することにより、これらを枠型の構造とすることができ、上記面方向Bに対する第2シャフトSH2の剛性を向上できる。これにより、上記ギャップ方向Aに対する第2シャフトSHの剛性を向上できるため、スケール101とセンサ103とのギャップGの変動を抑制することができる。したがって、ロバスト性を向上できる。   Thus, by connecting the end portions of the first shaft SH1 and the second shaft SH2 with the connecting member 3, these can be formed into a frame-type structure, and the rigidity of the second shaft SH2 with respect to the surface direction B can be increased. It can be improved. Thereby, since the rigidity of 2nd shaft SH with respect to the said gap direction A can be improved, the fluctuation | variation of the gap G of the scale 101 and the sensor 103 can be suppressed. Therefore, robustness can be improved.

また、リニアモータ1においては、電機子巻線7と永久磁石8により可動子30の推力を発生する電磁部60と、スケール101及びセンサ102を有するリニアエンコーダ10が設けられるエンコーダ部70とは、その構造上、ストロークの2倍のスペースがそれぞれ必要となるが、本実施形態においては、電磁部60とエンコーダ部70とを並列に配置するため、これらを直列に配置する場合に比べてリニアモータ1の軸方向寸法を大幅に小さくすることができる。さらに、これらを直列に配置する場合には、エンコーダ部は電磁部に比べて半径方向に小さく構成できるにもかかわらず、これらを同径のフレームに収納するのが一般的であり、リニアモータの体格が不必要に大型化する。これに対し、本実施形態では、電磁部60とエンコーダ部70とを並列に配置するため、エンコーダ部70の配置スペースが必要最小限となるように第1フレーム2A及び第2フレーム2Bを構成することが可能となり、リニアモータ1の体格を小型化することができる。   In the linear motor 1, the electromagnetic unit 60 that generates the thrust of the mover 30 by the armature winding 7 and the permanent magnet 8, and the encoder unit 70 provided with the linear encoder 10 having the scale 101 and the sensor 102 are: Because of its structure, a space twice as long as the stroke is required, but in this embodiment, the electromagnetic unit 60 and the encoder unit 70 are arranged in parallel, so that the linear motor is compared to the case where they are arranged in series. The axial dimension of 1 can be greatly reduced. Furthermore, when these are arranged in series, the encoder section can be configured to be smaller in the radial direction than the electromagnetic section, but these are generally housed in a frame of the same diameter. The physique is unnecessarily enlarged. On the other hand, in this embodiment, since the electromagnetic unit 60 and the encoder unit 70 are arranged in parallel, the first frame 2A and the second frame 2B are configured so that the arrangement space of the encoder unit 70 is minimized. Thus, the size of the linear motor 1 can be reduced.

したがって、本実施形態によれば、ロバスト性を向上しつつ、リニアモータ1の体格を小型化することができる。   Therefore, according to this embodiment, the physique of the linear motor 1 can be reduced in size while improving the robustness.

また、本実施形態では特に、次のような効果を得ることができる。すなわち、一般に、リニアモータのエンコーダとしては、主として光学式と磁気式が用いられる。磁気式エンコーダは、光学式エンコーダと比較して、構造がシンプルで部品点数が少なく、低コストであるが、ギャップ変動に弱くロバスト性が低いという特性がある。一方、光学式エンコーダは、磁気式エンコーダと比較して位置分解性能に優れ、ロバスト性が高いが、高コストである。本実施形態では、スケール101とセンサ103とのギャップGの変動を抑制できることから、リニアエンコーダ10として磁気式エンコーダを用いている。これにより、リニアエンコーダ10の低コスト化を図ることができる。   In the present embodiment, the following effects can be obtained. That is, in general, an optical type and a magnetic type are mainly used as an encoder of a linear motor. The magnetic encoder has a simple structure, a small number of parts, and a low cost compared to the optical encoder, but has a characteristic that it is weak against gap fluctuation and low in robustness. On the other hand, the optical encoder has excellent position resolution performance and high robustness compared with the magnetic encoder, but is expensive. In this embodiment, since the fluctuation of the gap G between the scale 101 and the sensor 103 can be suppressed, a magnetic encoder is used as the linear encoder 10. Thereby, cost reduction of the linear encoder 10 can be achieved.

なお、実施の形態は、上記内容に限られるものではなく、その趣旨及び技術的思想を逸脱しない範囲内で種々の変形が可能である。以下、そのような変形例を順を追って説明する。   The embodiment is not limited to the above contents, and various modifications can be made without departing from the spirit and technical idea of the embodiment. Hereinafter, such modifications will be described in order.

(1)リニアエンコーダを第2シャフトの第1方向他方側に配置する場合
上記実施形態においては、リニアエンコーダ10を第2シャフトSH2の第1方向一方側に配置していたが、これに限られず、リニアエンコーダを第2シャフトの第1方向他方側に配置してもよい。
(1) In the case where the linear encoder is disposed on the other side in the first direction of the second shaft In the above embodiment, the linear encoder 10 is disposed on the one side in the first direction of the second shaft SH2, but this is not restrictive. The linear encoder may be arranged on the other side in the first direction of the second shaft.

図3及び図4において、本変形例のリニアモータ1′の第2シャフトSH2′は、その外周面のうち、軸方向(図3中左右方向、図4中紙面手前奥方向)と直交する第1方向(図3及び図4中上下方向)の他方側(図3及び図4中上側)の面が、平坦面となっている。そして、この第2シャフトSH2′の第1方向他方側に、リニアエンコーダ10′が配置されている。   3 and 4, the second shaft SH2 'of the linear motor 1' of the present modification is orthogonal to the axial direction (the left-right direction in FIG. 3, the front to back direction in FIG. 4) of the outer peripheral surface. The surface on the other side (upper side in FIGS. 3 and 4) in one direction (up and down direction in FIGS. 3 and 4) is a flat surface. A linear encoder 10 'is arranged on the other side in the first direction of the second shaft SH2'.

リニアエンコーダ10′のスケール101′は、第2シャフトSH2′の外周面のうち上記第1方向他方側の平坦面に設けられている。基板102′は、前述の第2フレーム2Bの第2貫通孔8の内周面のうち上記第1方向他方側の面に設けられている。センサ103′は、スケール101′と上記第1方向のギャップG′を介して対向するように基板102′に設けられている。なお、センサ103′が基板102′に設けられることは、センサ103′が第2フレーム2Bの第2貫通孔8の内周面のうち上記第1方向他方側の面に設けられることと同等である。そして、このリニアエンコーダ10′は、上記実施形態におけるリニアエンコーダ10と同様、スケール101′とセンサ103′との上記第1方向のギャップG′に係る方向のうち、センサ103′における軸方向と直交する第2方向(図3中紙面手前奥方向、図4中左右方向)の略中央を通るギャップ方向A′が、第1シャフトSH1の軸線AX1と第2シャフトSH2′の軸線AX2′とを含む面方向B′と略一致するように配設されている。   The scale 101 ′ of the linear encoder 10 ′ is provided on the flat surface on the other side in the first direction of the outer peripheral surface of the second shaft SH2 ′. The substrate 102 'is provided on the surface on the other side in the first direction among the inner peripheral surfaces of the second through holes 8 of the second frame 2B. The sensor 103 'is provided on the substrate 102' so as to face the scale 101 'via the gap G' in the first direction. The provision of the sensor 103 'on the substrate 102' is equivalent to the provision of the sensor 103 'on the other surface in the first direction of the inner peripheral surface of the second through hole 8 of the second frame 2B. is there. The linear encoder 10 'is orthogonal to the axial direction of the sensor 103' in the direction related to the gap G 'in the first direction between the scale 101' and the sensor 103 ', like the linear encoder 10 in the above embodiment. The gap direction A ′ passing through the approximate center of the second direction (the front and back direction in FIG. 3 and the left and right direction in FIG. 4) includes the axis AX1 of the first shaft SH1 and the axis AX2 ′ of the second shaft SH2 ′. They are arranged so as to substantially coincide with the surface direction B ′.

本変形例のリニアモータ1′においては、前述の第1シャフトSH1、第2シャフトSH2′、及び前述の連結部材3等が可動子30′を構成し、前述の第1フレーム2A及び第2フレーム2B等が固定子40を構成している。そして、このリニアモータ1′においては、可動子30′と固定子40とが、軸方向に相対的に進退移動する。   In the linear motor 1 'of the present modification, the first shaft SH1, the second shaft SH2', the connection member 3 and the like described above constitute a mover 30 ', and the first frame 2A and the second frame described above. 2B and the like constitute the stator 40. In this linear motor 1 ′, the mover 30 ′ and the stator 40 relatively move forward and backward in the axial direction.

リニアモータ1′の上記以外の構成は、上記実施形態のリニアモータ1と同様である。   The other configuration of the linear motor 1 ′ is the same as that of the linear motor 1 of the above embodiment.

以上説明した本変形例によれば、上記実施形態と同様、ロバスト性を向上しつつ、リニアモータ1′の体格を小型化することができる。   According to this modified example described above, the physique of the linear motor 1 ′ can be reduced in size while improving the robustness as in the above embodiment.

(2)第2シャフトを中空構造とする場合
図5及び図6において、本変形例のリニアモータ1″の第2シャフトSH2″は、中空構造であり、中空部12を有している。この第2シャフトSH2″は、前述の実施形態における第2シャフトSH2と同様、その外周面のうち、軸方向(図5中左右方向、図6中紙面手前奥方向)と直交する第1方向(図5及び図5中上下方向)の一方側(図5及び図5中下側)の面が、平坦面となっている。そして、この第2シャフトSH2″の第1方向一方側に、前述のリニアエンコーダ10が配置されている。
(2) Case where the second shaft has a hollow structure In FIGS. 5 and 6, the second shaft SH <b> 2 ″ of the linear motor 1 ″ of this modification has a hollow structure and has a hollow portion 12. As with the second shaft SH2 in the above-described embodiment, the second shaft SH2 ″ has a first direction (right and left direction in FIG. 5 and the front and back direction in FIG. 6) perpendicular to the axial direction of the outer peripheral surface thereof. The surface on one side (the lower side in FIGS. 5 and 5) in FIG. 5 and FIG. 5 is a flat surface. The linear encoder 10 is arranged.

リニアエンコーダ10は、前述の実施形態と同様、前述のスケール101と前述のセンサ103との上記第1方向のギャップGに係る方向のうち、センサ103における軸方向と直交する第2方向(図5中紙面手前奥方向、図5中左右方向)の略中央を通るギャップ方向A″が、前述の第1シャフトSH1の軸線AX1と第2シャフトSH2″の軸線AX2″とを含む面方向B″と略一致するように配設されている。   The linear encoder 10 has a second direction orthogonal to the axial direction of the sensor 103 among the directions related to the gap G in the first direction between the scale 101 and the sensor 103 (see FIG. 5). A gap direction A ″ passing through the approximate center of the front side of the middle sheet surface (left and right direction in FIG. 5) is a plane direction B ″ including the axis AX1 of the first shaft SH1 and the axis AX2 ″ of the second shaft SH2 ″. It arrange | positions so that it may correspond substantially.

また、2つの連結部材3″は、前述の実施形態における2つの連結部材3と同様、前述の第1フレーム2A及び第2フレーム2Bの負荷側(図5中右側)及び反負荷側(図6中左側)に設けられている。これら連結部材3″は、それぞれの内側に設けられた図示しない凹部に、第1シャフトSH1の端部がそれぞれ嵌合されると共に、それぞれの内側に設けられた図示しない貫通孔に、第2シャフトSH2″がそれぞれ挿通されることにより、第1フレーム2A及び第2フレーム2Bの負荷側及び反負荷側において、第1シャフトSH1と第2シャフトSH2″との端部を連結している。   Further, the two connecting members 3 ″ are the same as the two connecting members 3 in the above-described embodiment, on the load side (right side in FIG. 5) and the anti-load side (FIG. 6) of the first frame 2A and the second frame 2B. These connecting members 3 ″ are provided in the recesses (not shown) provided on the inner sides of the first shafts SH1 and the end portions of the first shaft SH1 are provided on the inner sides. By inserting the second shaft SH2 ″ through the through holes (not shown), the ends of the first shaft SH1 and the second shaft SH2 ″ on the load side and the non-load side of the first frame 2A and the second frame 2B. The parts are connected.

本変形例のリニアモータ1″においては、第1シャフトSH1、第2シャフトSH2″、及び連結部材3″等が可動子30″を構成し、第1フレーム2A及び第2フレーム2B等が固定子40を構成している。そして、このリニアモータ1″においては、可動子30″と固定子40とが、軸方向に相対的に進退移動する。   In the linear motor 1 ″ of this modification, the first shaft SH1, the second shaft SH2 ″, the connecting member 3 ″ and the like constitute a mover 30 ″, and the first frame 2A and the second frame 2B and the like are stators. 40. In this linear motor 1 ″, the mover 30 ″ and the stator 40 move relatively back and forth in the axial direction.

また、第2シャフトSH2″の軸線AX2″上、詳細には、第2シャフトSH2″の負荷側の端部(以下適宜、「第2シャフトSH2″の負荷側先端部」と称する)には、機器・部品等をハンドリングするための治具として、電動グリッパ14が取り付けられている。電動グリッパ14は、2つの爪141を有しており、当該2つの爪141で機器・部品等を把持可能な治具である。この電動グリッパ14は、可動子30″の移動に伴って移動される。そして、電動グリッパ14に一端側が接続され当該電動グリッパ14に対して電力を供給するための配線13が、第2シャフトSH2″の内部の中空部12にこの例では2本挿通され配設されている。したがって、配線13を介して、電動グリッパ14に電力を供給することができる。   Further, on the axis AX2 ″ of the second shaft SH2 ″, more specifically, at the load side end portion of the second shaft SH2 ″ (hereinafter referred to as “load side tip portion of the second shaft SH2 ″” as appropriate) An electric gripper 14 is attached as a jig for handling equipment / parts. The electric gripper 14 has two claws 141, and is a jig that can grip devices, parts, and the like with the two claws 141. The electric gripper 14 is moved along with the movement of the movable element 30 ″. A wiring 13 for connecting one end side to the electric gripper 14 and supplying electric power to the electric gripper 14 is connected to the second shaft SH2. In this example, two are inserted and disposed in the hollow portion 12 inside. Therefore, electric power can be supplied to the electric gripper 14 via the wiring 13.

リニアモータ1″の上記以外の構成は、前述の実施形態のリニアモータ1と同様である。   The other configuration of the linear motor 1 ″ is the same as that of the linear motor 1 of the above-described embodiment.

以上説明した本変形例によれば、前述の実施形態と同様、ロバスト性を向上しつつ、リニアモータ1″の体格を小型化することができる。また、本変形例においては、第2シャフトSH2″が中空構造であり、第1シャフトSH1、第2シャフトSH2″、及び連結部材3″等が可動子30″である。そして、機器・部品等をハンドリングするために第2シャフトSH2″の負荷側先端部に設けられる電動グリッパ14に対して電力を供給するための配線13を、第2シャフトSH2″の内部の中空部12を挿通して配設している。これにより、配線13を第2シャフトSH2″の先端部に横方向より接続する必要がないので、配線13のテンションによって可動子30″に作用する駆動抵抗を軽減することができる。また、流路方向を変更するための部材等も不要となるため、可動子30″の重量を軽減することができる。したがって、タクトタイムを向上することができる。さらに、上記流路方向を変更する部材が不要となることで、可動子30″の軸ブレを防止するためのガイド部材等も不要となるので、リニアモータ1″全体の重量をさらに軽減し、且つ小型化を図ることができる。また、配線13を第2シャフトSH2″内に配設できるので、配線をリニアモータ外部において引き回す場合に比べて省スペース化を図ることができる。   According to the present modification described above, the physique of the linear motor 1 ″ can be reduced in size while improving the robustness, as in the above-described embodiment. In the present modification, the second shaft SH2 is reduced. ″ Is a hollow structure, and the first shaft SH1, the second shaft SH2 ″, the connecting member 3 ″ and the like are the mover 30 ″. The load of the second shaft SH2 ″ for handling devices and parts, etc. A wiring 13 for supplying electric power to the electric gripper 14 provided at the side tip portion is disposed through the hollow portion 12 inside the second shaft SH2 ″. Since it is not necessary to connect to the tip of the two shafts SH2 ″ from the lateral direction, it is possible to reduce the driving resistance acting on the movable element 30 ″ due to the tension of the wiring 13. Also, the flow path direction is changed. Since the order of the members such as is also unnecessary, it is possible to reduce the weight of the mover 30 ". Therefore, the tact time can be improved. Further, since the member for changing the flow path direction is not necessary, a guide member for preventing the axial movement of the mover 30 ″ is not necessary, so that the weight of the entire linear motor 1 ″ is further reduced. In addition, the size can be reduced. Further, since the wiring 13 can be disposed in the second shaft SH2 ″, space can be saved as compared with the case where the wiring is routed outside the linear motor.

なお、第2シャフトSH2″の負荷側先端部に取り付ける治具としては、上記電動グリッパ14に限られず、他の治具を取り付けてもよい。例えば、第2シャフトSH2″の負荷側先端部に、治具として機器・部品等を真空吸着可能なピックを取り付けた場合には、ピックに一端側が接続され当該ピックに対して空気等の流体を吸引するための流体用チューブを、第2シャフトSH2″の中空部12を挿通して配設することができる。この場合には、流体用チューブを第2シャフトSH2″の先端部に横方向より接続する必要がないので、流体用チューブのテンションによって可動子30″に作用する駆動抵抗を軽減することができる。また、流体用チューブを第2シャフトSH2″内に配設できるので、流体用チューブをリニアモータ外部において引き回す場合に比べて省スペース化を図ることができる。   The jig attached to the load side tip of the second shaft SH2 ″ is not limited to the electric gripper 14. For example, another jig may be attached to the load side tip of the second shaft SH2 ″. When a pick capable of vacuum-sucking equipment / components as a jig is attached, a fluid tube for sucking a fluid such as air is connected to the pick and the second shaft SH2 is connected to the pick at one end side. The hollow portion 12 "can be inserted and disposed. In this case, it is not necessary to connect the fluid tube to the tip of the second shaft SH2" from the lateral direction. The driving resistance acting on the mover 30 ″ can be reduced. Further, since the fluid tube can be disposed in the second shaft SH2 ″, the fluid tube is disposed outside the linear motor. It is possible to achieve a space saving compared to the case where routed Oite.

(3)その他
以上では、リニアエンコーダ10等のスケール101等を第2シャフトSH2等の外周面に設け、センサ103等を第2フレーム2Bの第2貫通孔8の内周面に設ける構成としたが、反対に、スケールを第2フレーム2Bの第2貫通孔8の内周面に設け、センサを第2シャフトSH2等の外周面に設ける構成としてもよい。
(3) Others In the above, the scale 101 or the like such as the linear encoder 10 is provided on the outer peripheral surface of the second shaft SH2 or the like, and the sensor 103 or the like is provided on the inner peripheral surface of the second through hole 8 of the second frame 2B. However, on the contrary, the scale may be provided on the inner peripheral surface of the second through hole 8 of the second frame 2B, and the sensor may be provided on the outer peripheral surface of the second shaft SH2.

また以上では、第1シャフトSH1と第2シャフトSH2等とを連結する連結部材3等を2つ設ける構成としたが、これに限られず、連結部材を3つ以上設ける構成としてもよい。   In the above description, the two connecting members 3 and the like for connecting the first shaft SH1 and the second shaft SH2 and the like are provided. However, the present invention is not limited to this, and a configuration in which three or more connecting members are provided may be used.

また以上では、リニアエンコーダ10等が磁気式エンコーダである場合を一例として説明したが、これに限られず、リニアエンコーダが光学式エンコーダである場合に対しても適用可能である。   Moreover, although the case where the linear encoder 10 etc. was a magnetic encoder was demonstrated as an example above, it is not restricted to this, It can apply also when the linear encoder is an optical encoder.

さらに以上では、第1シャフトSH1、第2シャフトSH2等、及び連結部材3等が可動子、第1フレーム2A及び第2フレーム2B等が固定子である場合を一例として説明したが、反対に、第1シャフト、第2シャフト、及び連結部材が固定子、フレームが可動子である場合に対しても適用可能である。   Further, the case where the first shaft SH1, the second shaft SH2, etc. and the connecting member 3 etc. are movers and the first frame 2A, the second frame 2B etc. are stators has been described as an example. The present invention is also applicable to the case where the first shaft, the second shaft, and the connecting member are a stator and the frame is a mover.

また、以上既に述べた以外にも、上記実施形態や各変形例による手法を適宜組み合わせて利用しても良い。   In addition to those already described above, the methods according to the above-described embodiments and modifications may be used in appropriate combination.

その他、一々例示はしないが、上記実施形態や各変形例は、その趣旨を逸脱しない範囲内において、種々の変更が加えられて実施されるものである。   In addition, although not illustrated one by one, the above-mentioned embodiment and each modification are implemented with various modifications within a range not departing from the gist thereof.

1,1′,1″ リニアモータ
2A 第1フレーム
2B 第2フレーム
3,3″ 連結部材
4 第1貫通孔
6 永久磁石
7 電機子巻線
8 第2貫通孔
10,10′ リニアエンコーダ
30,30′,30″ 可動子
40 固定子
101,101′ スケール
103,103′ センサ
A,A′,A″ ギャップ方向
AX1 軸線(第1シャフトの軸線)
AX2,AX2′,AX2″ 軸線(第2シャフトの軸線)
B,B′,B″ 面方向
SH1 第1シャフト
SH2,SH2′,SH2″ 第2シャフト
1, 1 ', 1 "linear motor 2A first frame 2B second frame 3, 3" connecting member 4 first through hole 6 permanent magnet 7 armature winding 8 second through hole 10, 10' linear encoder 30, 30 ', 30 "Movable element 40 Stator 101, 101' Scale 103, 103 'Sensor A, A', A" Gap direction AX1 axis (axis of first shaft)
AX2, AX2 ', AX2 "axis (axis of second shaft)
B, B ', B "surface direction SH1 first shaft SH2, SH2', SH2" second shaft

Claims (2)

所定の第1軸線を備えた第1シャフトと、
所定の第2軸線を備えた第2シャフトと、
を有し、
前記第1軸線と前記第2軸線とが互いに異軸線でかつ平行となるように、前記第1シャフトと前記第2シャフトとが並列配置されたリニアモータであって、
前記第1シャフトに前記第1軸線に沿って配列された複数の磁極と、
前記第1シャフトと前記第2シャフトの端部を連結する少なくとも2つの連結部材と、
前記第1シャフトが貫通する第1貫通孔及び前記第2シャフトが貫通する第2貫通孔を有し、前記第1貫通孔の内周面に複数の電機子巻線が配列されたフレームと、
前記第2シャフトの外周面と前記第2貫通孔の内周面のいずれか一方に設けられたスケール及び他方に設けられたセンサを有し、前記スケールと前記センサとのギャップ方向が、前記第1シャフトの前記第1軸線と前記第2シャフトの前記第2軸線を含む面方向と略一致しかつ前記第1軸線と前記第2軸線との間に位置するように配設された磁気式リニアエンコーダと、を備え、
前記第1シャフト、前記第2シャフト及び前記連結部材と、前記フレームとの、いずれか一方を可動子、他方を固定子として、前記軸方向に相対的に進退移動する
ことを特徴とするリニアモータ。
A first shaft having a predetermined first axis ;
A second shaft having a predetermined second axis ;
Have
A linear motor in which the first shaft and the second shaft are arranged in parallel so that the first axis and the second axis are different from each other and parallel to each other;
A plurality of magnetic poles arranged along the first axis on the first shaft;
At least two connecting members that connect ends of the first shaft and the second shaft;
A frame having a first through-hole through which the first shaft passes and a second through-hole through which the second shaft passes, and a plurality of armature windings arranged on an inner peripheral surface of the first through-hole;
A scale provided on one of an outer peripheral surface of the second shaft and an inner peripheral surface of the second through-hole and a sensor provided on the other; and a gap direction between the scale and the sensor is 1 linear magnetic disposed so as to be positioned between the plane direction including the second axis of the first axis and the second shaft of the shaft substantially coincides vital said first axis and said second axis An encoder, and
One of the first shaft, the second shaft, the connecting member, and the frame is used as a mover and the other as a stator, and the linear motor moves relatively back and forth in the axial direction. .
前記第2シャフトは、中空構造である
ことを特徴とする請求項1に記載のリニアモータ
The linear motor according to claim 1, wherein the second shaft has a hollow structure .
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