JP5375442B2 - 基板搬送用パレット - Google Patents

Description

本発明は、ガラス基板を水平に積載した、積重が可能な基板搬送用パレットに関するものであり、特に、上蓋が軽量で安価な基板搬送用パレット、及び空の基板搬送用パレットの積重する際には、より多数を積重できる基板搬送用パレットに関する。

近年、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイなどのフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）に用いられるガラス基板の大型化が進んでいる。この大型ガラス基板を効率よく、かつ安定して搬送するための手段として、ガラス基板を水平に積載することが可能な基板搬送用パレット、及びそれを使用した搬送方法が、例えば、特開２００７−１５３３９５に開示されている。

図１は、開示されている基板搬送用パレット（板状体梱包箱）の概略を示す側断面図である。図１に示すように、この基板搬送用パレット（１）は、ガラス基板を積載する台座（３）と、天板と４側面を有する上蓋（２）と、ガラス基板を上方から固定する押さえ具（５）で構成されている。上蓋（２）は台座に対し着脱可能であり、台座上にガラス基板（４）を水平に積載できる空間を有し、台座上のガラス基板を覆うことができる。
この基板搬送用パレット（１）は、複数枚のガラス基板を水平に積載した状態で収納する。

この基板搬送用パレット（１）は、複数枚のガラス基板を水平に収納できるので、基板搬送用パレットの高さを低くすることができる。従って、天井の低い格納室にも収納することができる。また、基板搬送用パレットの上蓋（２）と、台座（３）の下部に嵌合部（６Ａ、６Ｂ）を設けているので、複数の基板搬送用パレットを上下に積重するすることが可能である。図２は、基板搬送用パレット（１）が上下に積重された状態を示す側断面図である。
この基板搬送用パレットを積重して用いることにより、収納、及び搬送効率が向上したものとなる。

しかし、上記基板搬送用パレット（１）においては、上蓋（２）に嵌合部（６Ａ）を設けて、上下に基板搬送用パレットを積重することを可能にしているため、上蓋は十分な耐荷重性を有していなければならない。従って、上蓋には重量の増加、及びコストの上昇をもたらすことになる。また、重量が増加することにより、人手による取り扱いが困難となる。すなわち、開梱設備には、ガラス基板の積み下ろし機構のみでなく、上蓋の取り外し機構が必要になり、設備のコストの上昇が伴ってくる。

また、上蓋（２）の上部に積重用の嵌合部（６Ａ）、台座（３）の下部に嵌合部（６Ｂ）を設けているので、ガラス基板を積み下ろした後の、空パレットの状態においても、ガラス基板を積載した状態と同じ積重の形態をとることになる。すなわち、空パレットの状態においては、ガラス基板を積載するスペース効率は悪化するといった問題がある。

特開２００７−１５３３９５号公報

本発明は、上記の問題を解決するためになされたものであり、ガラス基板を水平に積載した、積重が可能な基板搬送用パレットであって、水平に積載したガラス基板を保護するための上蓋が軽量で安価な基板搬送用パレットを提供することを課題とするものである。これにより、設備のコストは低減されたものとなる。
また、空の基板搬送用パレットの輸送費用を低減させるため、空の基板搬送用パレットを積重する際には、ガラス基板積載時の基板搬送用パレットを積重する際よりも高密度、すなわち、より多数の基板搬送用パレットを上下に積重できる基板搬送用パレットを提供すること課題とする。

本発明は、ガラス基板を水平に積載したパレットを積重して搬送する基板搬送用パレットにおいて、
１）前記基板搬送用パレットは、少なくとも、ガラス基板を水平に積載するステージ、該ステージに対し着脱可能なカバー、パレットを積重するための連結部で構成され、
２）前記ステージの底板は、その四隅に底板の延長部を有し、該延長部の裏面には連結用穴が設けられ、該連結用穴に対応した底板の延長部の表面上には、筒状枠部からなる連結部が設けられており、
３）基板搬送用パレットを積重する際には、その上部に連結用突起を有する積重用部材を上記筒状枠部内に装着し、積重する基板搬送用パレットの、底板の延長部の裏面に設けられた連結用穴を、上記筒状枠部内に装着した積重用部材の連結用突起に嵌合し、
底板の延長部の表面上の連結部と積重用部材とで積重する基板搬送用パレットを保持し、前記連結部は筒状枠部内の一部に座台を有し、
Ａ）ガラス基板積載時の基板搬送用パレットを積重する際には、積重用部材を筒状枠部内の座台上に装着して積重用部材上部の高さをカバーより高くし、積重する基板搬送用パレットの、底板の延長部の裏面に設けられた連結用穴を積重用部材の連結用突起に嵌合し、Ｂ）空の基板搬送用パレットを積重する際には、積重用部材を筒状枠部内の延長部の表面上に装着して積重用部材上部の高さをステージの上板より高くし、積重する基板搬送用パレットの、底板の延長部の裏面に設けられた連結用穴を積重用部材の連結用突起に嵌合することを特徴とする基板搬送用パレットである。

また、本発明は、上記発明による基板搬送用パレットにおいて、前記連結部の筒状枠部が平面視で逆さ凸の字状であり、
１）該逆さ凸の字状の、筒状枠部内の上半部左右に座台を設け、
２）直方体の積重用部材を延長部の表面上に装着するための連結部の底面の矩形形状と、直方体の積重用部材を座台上に装着するための面の矩形形状を同一の矩形形状とし、
Ａ）ガラス基板積載時の基板搬送用パレットを積重する際には、直方体の積重用部材を上記座台上に装着し、
Ｂ）空の基板搬送用パレットを積重する際には、直方体の積重用部材を上記延長部の表面上に装着することを特徴とする基板搬送用パレットである。

また、本発明は、ガラス基板を水平に積載したパレットを積重して搬送する基板搬送用パレットにおいて、
１）前記基板搬送用パレットは、少なくとも、ガラス基板を水平に積載するステージ、該ステージに対し着脱可能なカバー、パレットを積重するための連結部で構成され、
２）前記ステージは、その四隅側面に無蓋箱状の連結部を有し、該連結部の底板の裏面には連結用穴が設けられており、
３）基板搬送用パレットを積重する際には、その上部に連結用突起を有する積重用部材を上記無蓋箱状の連結部内に装着し、積重する基板搬送用パレットの、連結部の底板の裏面に設けられた連結用穴を、上記無蓋箱状の連結部内に装着した積重用部材の連結用突起に嵌合し、
ステージの四隅側面の連結部と積重用部材とで積重する基板搬送用パレットを保持し、
前記無蓋箱状の連結部内の一部に座台を有し、
Ａ）ガラス基板積載時の基板搬送用パレットを積重する際には、積重用部材を連結部内の座台上に装着して積重用部材上部の高さをカバーより高くし、積重する基板搬送用パレットの、連結部の底板の裏面に設けられた連結用穴を積重用部材の連結用突起に嵌合し、
Ｂ）空の基板搬送用パレットを積重する際には、積重用部材を連結部内の底板の表面上に装着して積重用部材上部の高さをステージの上板より高くし、積重する基板搬送用パレットの、連結部の底板の裏面に設けられた連結用穴を積重用部材の連結用突起に嵌合することを特徴とする基板搬送用パレットである。

また、本発明は、上記発明による基板搬送用パレットにおいて、前記無蓋箱状の連結部が平面視で逆さ凸の字状であり、
１）該逆さ凸の字状の、連結部内の上半部左右に座台を設け、
２）直方体の積重用部材を底板の表面上に装着するための連結部の底面の矩形形状と、直方体の積重用部材を座台上に装着するための面の矩形形状を同一の矩形形状とし、
Ａ）ガラス基板積載時の基板搬送用パレットを積重する際には、直方体の積重用部材を上記座台上に装着し、
Ｂ）空の基板搬送用パレットを積重する際には、直方体の積重用部材を上記底板の表面上に装着することを特徴とする基板搬送用パレットである。

本発明は、ステージの底板は、その四隅に底板の延長部を有し、該延長部の裏面には連結用穴が設けられ、該連結用穴に対応した底板の延長部の表面上には、筒状枠部からなる連結部が設けられており、或いは、ステージは、その四隅側面に無蓋箱状の連結部を有し、該連結部の底板の裏面には連結用穴が設けられており、基板搬送用パレットを積重する際には、その上部に連結用突起を有する積重用部材を上記連結部に装着し、積重する基板搬送用パレットに設けられた連結用穴を、積重用部材の連結用突起に嵌合し、連結部と積重用部材とで積重する基板搬送用パレットを保持するので、上蓋が軽量で安価な基板搬送用パレットとなり、設備のコストは低減されたものとなる。

また、本発明は、連結部は筒状枠部内の一部に座台を有し、或いは、無蓋箱状の連結部内の一部に座台を有し、ガラス基板積載時の基板搬送用パレットを積重する際には、積重用部材を座台上に装着して積重用部材上部の高さをカバーより高くして、積重する基板搬送用パレットに設けられた連結用穴を積重用部材の連結用突起に嵌合し、空の基板搬送用パレットを積重する際には、積重用部材を筒状枠部内の延長部の表面上に装着して、或いは、積重用部材を連結部内の底板の表面上に装着して積重用部材上部の高さをステージの上板より高くし、積重する基板搬送用パレットに設けられた連結用穴を積重用部材の連結用突起に嵌合するので、空の基板搬送用パレットを積重する際には、高密度、すなわち、より多数の基板搬送用パレットを上下に積重でき、基板搬送用パレットの輸送費用を低減できる基板搬送用パレットとなる。

また、本発明は、連結部の筒状枠部が平面視で逆さ凸の字状であり、筒状枠部内の上半部左右に座台を設け、積重用部材を延長部の表面上に装着するための連結部の底面と、積
重用部材を座台上に装着するための面を同一の矩形形状とし、ガラス基板積載時の基板搬送用パレットを積重する際には、直方体の積重用部材を上記座台上に装着し、空の基板搬送用パレットを積重する際には、直方体の積重用部材を延長部の表面上に装着するので、或いは、無蓋箱状の連結部が平面視で逆さ凸の字状であり、該逆さ凸の字状の、連結部内の上半部左右に座台を設け、直方体の積重用部材を底板の表面上に装着するための連結部の底面の矩形形状と、直方体の積重用部材を座台上に装着するための面の矩形形状を同一の矩形形状とし、ガラス基板積載時の基板搬送用パレットを積重する際には、直方体の積重用部材を上記座台上に装着し、空の基板搬送用パレットを積重する際には、直方体の積重用部材を上記底板の表面上に装着するので、空の基板搬送用パレットを積重する際には、高密度、すなわち、より多数の基板搬送用パレットを上下に積重でき、基板搬送用パレットの輸送費用を低減できる基板搬送用パレットとなる。

基板搬送用パレット（板状体梱包箱）の概略を示す側断面図である。 基板搬送用パレットが上下に積重された状態を示す側断面図である。 本発明による基板搬送用パレットの一例の概略を示す側断面図である。 本発明による基板搬送用パレットの一例の概略を示す平面図である。 本発明による基板搬送用パレットの一例の概略を示す底面図（底板の裏面）である。 図４に符号（Ａ）で囲む、延長部の表面上に設けられた連結部を拡大して示す平面図である。 図５に符号（Ｂ）で囲む、延長部の裏面の近傍を拡大して示す底面図である。 図６のＸ−Ｘ線での断面図である。 （ａ）、（ｂ）は、基板搬送用パレットを積重する際の積重用部材の一例の平面図及び側面図である。 積重用部材を連結部内に装着し、基板搬送用パレットを積重した状態である。 １基の基板搬送用パレット上に、２基の基板搬送用パレットが積重された状態を示す側断面である。 連結部の筒状枠部内に設ける座台の例を示す平面図である。 連結部が筒状枠部内の一部に座台を有している他の例を示す平面図である。 連結部が筒状枠部内の一部に座台を有している他の例を示す底面図である。 図１３のＸ−Ｘ線での断面図である。 図１３のＹ−Ｙ線での断面図である。 連結部の底面の平面視の形状の説明図である。 積重用部材が座台上で装着される面の形状の説明図である。 （ａ）、（ｂ）、（ｃ）は、積重用部材の平面図、正面図、及び側面図である。 空の基板搬送用パレット上に、２基の空の基板搬送用パレットが積重された状態を表した側断面図である。 請求項４に係わる発明の基板搬送用パレットの一例の概略を示す側断面図である。 ステージの一隅側面に設けられた連結部の近傍を拡大して示す平面図である。 連結部の裏面の近傍を拡大して示す底面図である。 図２２のＸ−Ｘ線での断面図である。 積重用部材を連結部内に装着し、基板搬送用パレットを積重した状態の部分である。 請求項５に係わる発明における連結部内に設ける座台の例を示す平面図である。 請求項６に係わる発明を説明する平面図である。 請求項６に係わる発明を説明する底面図である。 請求項６に係わる発明を説明するＸ−Ｘ線での断面図である。 請求項６に係わる発明を説明するＹ−Ｙ線での断面図である。 連結部の底面の平面視の形状の説明図である。 積重用部材が座台上で装着される面の形状の説明図である。

以下に、本発明を実施の形態に基づいて説明する。
図３は、本発明による基板搬送用パレットの一例の概略を示す側断面図である。また、図４は平面図、図５は底面図（底板の裏面）である。本発明による基板搬送用パレットは、ガラス基板を水平に積載したパレットを上下に積重して搬送する基板搬送用パレットである。図３〜図５に示すように、基板搬送用パレット（１０）は、ガラス基板を水平に積載するステージ（１３）、ステージに対し着脱可能なカバー（１１）、カバーの４辺を固定する側面ガイド（１２）、基板搬送用パレットを積重するための連結部（２０）で構成されている。

ガラス基板を水平に積載するステージ（１３）は、上板（１３Ａ）、桟（１３Ｂ）、底板（１３Ｃ）で構成され、ステージの底板（１３Ｃ）は、その四隅に底板の延長部（１３Ｄ）を有している。延長部（１３Ｄ）には連結部（２０）が設けられる。また、フォークリフトのフォークを受けるためのフォークリフト用穴（１４）がステージ（１３）の側面に設けられる。

ステージに対し着脱可能なカバー（１１）は、天板と４側面とで空間を形成し、ガラス基板の複数枚を水平に積載した積層体（３０）を覆うようになっている。
側面ガイド（１２）は、カバー（１１）の４辺を固定している。筒状枠部からなる連結部（２０Ｂ）は、底板（１３Ｃ）の四隅に設けられた延長部（１３Ｄ）の表面上に設けられており、上下に積重する基板搬送用パレット（１０）を保持するものである。

図６は、図４に符号（Ａ）で囲む、延長部（１３Ｄ）の表面上に設けられた連結部（２０Ｂ）の近傍を拡大して示す平面図である。また、図７は、図５に符号（Ｂ）で囲む、延長部（１３Ｄ）の裏面の近傍を拡大して示す底面図である。
図６と図７は、図４中、右方上端の一隅にある延長部（１３Ｄ）の表面と裏面の関係になる。また、図８は、図６のＸ−Ｘ線での断面図である。

図６〜図８に示すように、延長部（１３Ｄ）の裏面には連結用穴（１５Ｂ）が設けられている。また、延長部（１３Ｄ）の表面には、裏面の連結用穴（１５Ｂ）に対応し、筒状枠部からなる連結部（２０Ｂ）が設けられている。連結部（２０Ｂ）の中央に連結用穴（１５Ｂ）が位置している。
筒状枠部は、平面視で正方形であり、内寸法は（ａ×ａ）で表される。連結部（２０Ｂ）の底面に相当する部位は、底板（１３Ｃ）の延長部（１３Ｄ）の表面である。

図９（ａ）、（ｂ）は、基板搬送用パレット（１０）を積重する際に用いる積重用部材（４０Ｂ）の一例の平面図及び側面図である。積重用部材（４０Ｂ）は、平面視で正方形であり、外寸法は（ａ’×ａ’）で表される。図８に点線で示すように、積重用部材（４０Ｂ）は筒状枠部からなる連結部（２０Ｂ）内に、隙間なく良好に装着されるようになっている（ａ’＜ａ）。積重用部材（４０Ｂ）は、その上部に連結用突起（４５Ｂ）を有している。
積重用部材（４０Ｂ）の高さ（ｃ’）は、積重用部材（４０Ｂ）を連結部（２０Ｂ）内に装着した際に、ガラス基板の積層体を覆うカバー（１１）よりも、積重用部材（４０Ｂ）の上部（ｊ）が高くなる高さである。

図１０は、積重用部材（４０Ｂ）を連結部（２０Ｂ）内に装着し、基板搬送用パレット（１０）を積重した状態の部分を表したものである。基板搬送用パレットを積重する際には、先ず、下方にある基板搬送用パレットの筒状枠部からなる連結部（２０Ｂ）内に、上部に連結用突起（４５Ｂ）を有する積重用部材（４０Ｂ）を装着する。次に、積重する基板搬送用パレットの、底板の延長部（１３Ｄ）の裏面に設けられた連結用穴（１５Ｂ）を、下方にある積重用部材の連結用突起（４５Ｂ）に嵌合して積重を行う。

これにより、底板の延長部の表面上の連結部（２０Ｂ）と積重用部材（４０Ｂ）とで、積重する基板搬送用パレット（１０）を保持することになる。
図１１は、１基の基板搬送用パレット（１０）上に、２基の基板搬送用パレット（１０）が積重された状態を示す側断面図である。

上記のように、本発明による基板搬送用パレットはガラス基板を水平に積載した、積重が可能な基板搬送用パレットであって、水平に積載したガラス基板を保護するための上蓋が軽量で安価な基板搬送用パレットとなり、設備のコストは低減されたものとなる。

また、本発明は、延長部の表面上に設けられた連結部（２０）が筒状枠部（２３）内の一部に座台（２２）を有しており、ガラス基板積載時の基板搬送用パレット（１０）を積重する際には、先ず、積重用部材（４０）を筒状枠部内の座台（２２）上に装着して、積重用部材（４０）上部の高さをカバー（１１）より高い状態とし、次に、積重する基板搬送用パレットの、底板の延長部の裏面に設けられた連結用穴（１５）を、下方にある基板搬送用パレットの積重用部材の連結用突起（４５）に嵌合する。
また、空の基板搬送用パレット（１０）を積重する際には、先ず、積重用部材（４０）
を筒状枠部（２３）内の延長部の表面上に装着して、積重用部材（４０）上部の高さをステージの上板（１３Ａ）より高い状態とし、次に、積重する基板搬送用パレットの、底板の延長部の裏面に設けられた連結用穴（１５）を、下方にある基板搬送用パレットの積重用部材の連結用突起（４５）に嵌合することを特徴としている。

これは、特に、空の基板搬送用パレット（１０）を積重する際には、ガラス基板積載時の基板搬送用パレット（１０）を積重する際よりも高密度、すなわち、より多数の基板搬送用パレットを上下に積重すること目的としたものである。

図１２は、連結部の筒状枠部内に設ける座台の例を示す平面図である。図１２（ａ）は、平面視で正方形の筒状枠部（２３Ｃ）内の、右半部に座台（２２Ｃ）が設けられた例であり、空の基板搬送用パレットを積重する際には、筒状枠部（２３Ｃ）内の左半部の、矩形状（Ｔ３）の延長部（１３Ｄ）の表面上に積重用部材を装着する。装着する積重用部材の形状は、符号（Ｔ３）で示す平面視で矩形である。

また、ガラス基板積載時の基板搬送用パレットを積重する際には、筒状枠部（２３Ｃ）内の右半部の、矩形状（Ｔ４）の座台（２２Ｃ）上に同一の積重用部材を装着する。座台（２２Ｃ）の形状は、符号（Ｔ４）で示す平面視で矩形である（Ｔ３＝Ｔ４）。

図１２（ｂ）は、平面視で十字状の筒状枠部（２３Ｄ）内の、左右部に座台（２２Ｄ）が設けられた例であり、空の基板搬送用パレットを積重する際には、筒状枠部（２３Ｄ）内の左右中央部の、延長部（１３Ｄ）の表面上の矩形状（Ｔ５）の部分に積重用部材を装着する。装着する積重用部材の形状は、符号（Ｔ５）で示す平面視で矩形であり、矩形の長手の辺をＹ軸と平行としている。

また、ガラス基板積載時の基板搬送用パレットを積重する際には、筒状枠部（２３Ｃ）内の左右部の、座台（２２Ｄ）上の矩形状（Ｔ６）の面に同一の積重用部材を装着する。装着する矩形状の積重用部材は、その長手の辺をＸ軸と平行としている。

図１３〜図１６は、連結部（２０）が筒状枠部（２３）内の一部に座台（２２）を有している他の例を示す平面図、底面図、及び断面図である。図１３と図１４は、図４中、右方上端の一隅にある延長部（１３Ｄ）の表面と裏面を拡大して表したものである。また、図１５は図１３のＸ−Ｘ線での断面図、図１６は図１３のＹ−Ｙ線での断面図である。
図１３〜図１６に示すように、延長部（１３Ｄ）の裏面には４個の連結用穴（１５）が設けられている。また、延長部（１３Ｄ）の表面には、裏面の４個の連結用穴（１５）に対応し、筒状枠部（２３）と座台（２２）からなる連結部（２０）が設けられている。

連結部（２０）の筒状枠部（２３）は平面視で逆さ凸の字状であり、この逆さ凸の字状の、筒状枠部（２３）内の上半部左右に座台（２２）が設けられている。連結部（２０）の底面に相当する部位は、底板（１３Ｃ）の延長部（１３Ｄ）の表面である。
連結部（２０）の底面の平面視の形状は、図１７に符号（Ｔ１）で示すように、（ｅ×ｆ）で表される矩形である。この矩形は、その長辺（ｅ）をＹ軸と平行にしている。

また、この底面に装着される積重用部材（４０）と同一の積重用部材が、上半部左右の座台（２２）上にも装着されるので、積重用部材が座台（２２）上で装着される面（Ｔ２）は、図１８に符号（Ｔ２）で示すように、同じく（ｅ×ｆ）で表される矩形となっている。この矩形は、その長辺（ｅ）をＸ軸と平行にしている。

図１９は、基板搬送用パレット（１０）を積重する際に用いられる積重用部材（４０）の平面図、正面図、及び側面図である。積重用部材（４０）は、平面視で矩形であり、外
寸法は（ｅ’×ｆ’）で表される。図１７に示す連結部（２０）の底面（延長部（１３Ｄ）の表面）に、図１６に点線で示すように、隙間なく良好に装着されるようになっている（ｅ’＜ｅ、ｆ’＜ｆ）。積重用部材（４０）は、その長手方向（ｅ’）をＹ軸と平行にして延長部（１３Ｄ）の表面（連結部（２０）の底面）上に装着される。

積重用部材（４０）は、その上部に連結用突起（４５）を有している。積重用部材（４０）の高さ（ｇ’）は、積重用部材（４０）を延長部（１３Ｄ）の表面上に装着した際に、ステージの上板（１３Ａ）の高さよりも、積重用部材（４０）の上部（ｋ）が高くなる高さである。

また、図１８に示すように、積重用部材（４０）は、積重用部材が座台（２２）上にて装着される面（Ｔ２）に、図１５に点線で示すように、隙間なく良好に装着されるようになっている。積重用部材（４０）は、その長手方向（ｅ’）をＸ軸と平行にして座台（２２）上に装着される。
積重用部材（４０）の上部（ｌ）の高さは、積重用部材を座台（２２）上に装着した際に、ガラス基板の積層体を覆うカバー（１１）よりも、高くなる高さである。座台（２２）の高さ（ｈ’）は、積重用部材（４０）の上部（ｌ）の高さがカバー（１１）よりも高くなるように設定される。

図２０は、１基の空の基板搬送用パレット（１０）上に、２基の空の基板搬送用パレット（１０）が積重された状態を表した側断面図である。図１１に示す、積重した基板搬送用パレットの高さ（Ｈ１）と対比して、本発明による空の基板搬送用パレットを積重した高さ（Ｈ２）は、著しく低いことが示されている（Ｈ２＜Ｈ１）。

上記のように、本発明による基板搬送用パレットは、連結部の筒状枠部が平面視で逆さ凸の字状であり、筒状枠部内の上半部左右に座台を設け、直方体の積重用部材を装着する連結部の底面の矩形形状と、座台上に装着するための面の矩形形状を同一とし、基板積載時の基板搬送用パレットを積重する際には、積重用部材を座台上に装着し、空の基板搬送用パレットを積重する際には、積重用部材を延長部に装着するので、空の基板搬送用パレットを積重する際には、高密度に積重でき、基板搬送用パレットの輸送費用を低減させることができる。

図２１は、請求項４に係わる発明による基板搬送用パレットの一例の概略を示す側断面図である。図２１に示すように、基板搬送用パレット（１０’）は、ガラス基板を水平に積載するステージ（１６）、ステージに対し着脱可能なカバー（１１）、カバーの４辺を固定する側面ガイド（１２）、基板搬送用パレットを積重するための連結部（５０）で構成されている。基板搬送用パレット（１０’）は、平面視で正方形である。

ガラス基板を水平に積載するステージ（１６）は、上板（１６Ａ）、桟（１６Ｂ）、底板（１６Ｃ）で構成され、ステージ（１６）は、その四隅側面に無蓋箱状の連結部（５０）を有している。また、フォークリフトのフォークを受けるためのフォークリフト用穴（１４）がステージ（１６）の上記四隅側面とは異なる側面に設けられる。

ステージに対し着脱可能なカバー（１１）は、天板と４側面とで空間を形成し、ガラス基板の複数枚を水平に積載した積層体（３０）を覆うようになっている。
側面ガイド（１２）は、カバー（１１）の４辺を固定している。連結部（５０Ｂ）は、ステージ（１６）の四隅側面に設けられており、上下に積重する基板搬送用パレット（１０’）を保持するものである。

図２２は、図２１に示すステージ（１６）の一隅側面に設けられた連結部（５０Ｂ）の
近傍を拡大して示す平面図である。また、図２３は、この連結部（５０Ｂ）の裏面の近傍を拡大して示す底面図である。
図２２と図２３は、ステージ（１６）の一隅にある連結部（５０Ｂ）の表面と裏面の関係になる。また、図２４は、図２２のＸ−Ｘ線での断面図である。

図２２〜図２４に示すように、連結部（５０Ｂ）は、側板（５３Ｂ）と底板（５４Ｂ）で構成され、上部には天板を有しない無蓋箱状である。連結部（５０Ｂ）は、ステージ（１６）の四隅の側面（１６Ｅ）に設けられている。また、連結部（５０Ｂ）の底板（５４Ｂ）の裏面には連結用穴（１５Ｂ）が設けられている。連結部（５０Ｂ）の中央に連結用穴（１５Ｂ）が位置している。連結部（５０Ｂ）は、平面視で正方形であり、内寸法は（ａ×ａ）で表される。

前記図９（ａ）、（ｂ）は、基板搬送用パレット（１０’）を積重する際に用いる積重用部材（４０Ｂ）の一例の平面図及び側面図である。積重用部材（４０Ｂ）は、平面視で正方形であり、外寸法は（ａ’×ａ’）で表される。図２４に点線で示すように、積重用部材（４０Ｂ）は連結部（５０Ｂ）の側板（５３Ｂ）内に、隙間なく良好に装着されるようになっている（ａ’＜ａ）。積重用部材（４０Ｂ）は、その上部に連結用突起（４５Ｂ）を有している。
積重用部材（４０Ｂ）の高さ（ｃ’）は、積重用部材（４０Ｂ）を連結部（５０Ｂ）内に装着した際に、ガラス基板の積層体を覆うカバー（１１）よりも、積重用部材（４０Ｂ）の上部（ｊ）が高くなる高さである。

図２５は、積重用部材（４０Ｂ）を連結部（５０Ｂ）内に装着し、基板搬送用パレット（１０’）を積重した状態の部分を表したものである。基板搬送用パレットを積重する際には、先ず、下方にある基板搬送用パレットの連結部（５０Ｂ）内に、上部に連結用突起（４５Ｂ）を有する積重用部材（４０Ｂ）を装着する。次に、積重する基板搬送用パレットの、連結部（５０Ｂ）の底板（５４Ｂ）の裏面に設けられた連結用穴（１５Ｂ）を、下方にある積重用部材の連結用突起（４５Ｂ）に嵌合して積重を行う。

これにより、連結部（５０Ｂ）と積重用部材（４０Ｂ）とで、積重する基板搬送用パレット（１０’）を保持することになる。
上記のように、本発明による基板搬送用パレットはガラス基板を水平に積載した、積重が可能な基板搬送用パレットであって、水平に積載したガラス基板を保護するための上蓋が軽量で安価な基板搬送用パレットとなり、設備のコストは低減されたものとなる。

図２６は、請求項５に係わる発明における連結部内に設ける座台の一例を示す平面図である。図２６は、平面視で正方形の側板（５３Ｃ）内の、右半部に座台（５２Ｃ）が設けられた例であり、空の基板搬送用パレットを積重する際には、側板（５３Ｃ）内の左半部の、矩形状（Ｔ３）の底板（５４Ｃ）上に積重用部材を装着する。装着する積重用部材の形状は、符号（Ｔ３）で示す平面視で矩形である。

また、ガラス基板積載時の基板搬送用パレットを積重する際には、側板（５３Ｃ）内の右半部の、矩形状（Ｔ４）の座台（５２Ｃ）上に同一の積重用部材を装着する。座台（５２Ｃ）の形状は、符号（Ｔ４）で示す平面視で矩形である（Ｔ３＝Ｔ４）。

図２７〜図３０は、請求項６に係わる発明を説明する図であり、連結部（５０）内の一部に座台（５２）を有している他の例を示す平面図、底面図、及び断面図である。図２７と図２８は、図２２と同様に、ステージ（１６）の一隅にある連結部の表面と裏面を拡大して表したものである。また、図２９は図２７のＸ−Ｘ線での断面図、図３０は図２７のＹ−Ｙ線での断面図である。

図２７〜図３０に示すように、連結部（５０）は、側板（５３Ｃ）と底板（５４Ｃ）と座台（５２Ｃ）で構成され、上部には天板を有しない無蓋箱状である。連結部（５０）は、ステージ（１６）の四隅側面（１６Ｅ）に設けられている。また、連結部（５０）の底板（５４Ｃ）の裏面には４個の連結用穴（１５）が設けられている。

連結部（５０）は平面視で逆さ凸の字状であり、この逆さ凸の字状の、側板（５３Ｃ）内の上半部左右に座台（５２）が設けられている。
連結部（５０）の底面の平面視の形状は、図３１に符号（Ｔ１）で示すように、（ｅ×ｆ）で表される矩形である。この矩形は、その長辺（ｅ）をＹ軸と平行にしている。

また、この底面に装着される積重用部材（４０）と同一の積重用部材が、上半部左右の座台（５２）上にも装着されるので、積重用部材が座台（５２）上で装着される面（Ｔ２）は、図３２に符号（Ｔ２）で示すように、同じく（ｅ×ｆ）で表される矩形となっている。この矩形は、その長辺（ｅ）をＸ軸と平行にしている。

前記図１９は、基板搬送用パレット（１０’）を積重する際に用いられる積重用部材（４０）の平面図、正面図、及び側面図である。積重用部材（４０）は、平面視で矩形であり、外寸法は（ｅ’×ｆ’）で表される。図３１に示す連結部（５０）の底面に、図３０に点線で示すように、隙間なく良好に装着されるようになっている（ｅ’＜ｅ、ｆ’＜ｆ）。積重用部材（４０）は、その長手方向（ｅ’）をＹ軸と平行にして連結部（５０）の底板（５４）上に装着される。

積重用部材（４０）は、その上部に連結用突起（４５）を有している。積重用部材（４０）の高さ（ｇ’）は、積重用部材（４０）を底板（５４）上に装着した際に、ステージの上板（１６Ａ）の高さよりも、積重用部材（４０）の上部（ｋ）が高くなる高さである。

また、図３２に示すように、積重用部材（４０）は、積重用部材が座台（５２）上にて装着される面（Ｔ２）に、図２９に点線で示すように、隙間なく良好に装着されるようになっている。積重用部材（４０）は、その長手方向（ｅ’）をＸ軸と平行にして座台（２２）上に装着される。
積重用部材（４０）の上部（ｌ）の高さは、積重用部材を座台（５２）上に装着した際に、ガラス基板の積層体を覆うカバー（１１）よりも、高くなる高さである。座台（５２）の高さ（ｈ’）は、積重用部材（４０）の上部（ｌ）の高さがカバー（１１）よりも高くなるように設定される。

上記のように、本発明による基板搬送用パレットは、連結部が平面視で逆さ凸の字状であり、連結部内の上半部左右に座台を設け、直方体の積重用部材を装着する連結部の底面の矩形形状と、座台上に装着するための面の矩形形状を同一とし、基板積載時の基板搬送用パレットを積重する際には、積重用部材を座台上に装着し、空の基板搬送用パレットを積重する際には、積重用部材を底面に装着するので、空の基板搬送用パレットを積重する際には、高密度に積重でき、基板搬送用パレットの輸送費用を低減させることができる。

１・・・基板搬送用パレット
２・・・上蓋
３・・・台座
４・・・ガラス基板
５・・・押さえ具
６Ａ、６Ｂ・・・嵌合部
１０、１０’・・・本発明による基板搬送用パレット
１１・・・着脱可能なカバー
１２・・・側面ガイド
１３、１６・・・ガラス基板を水平に積載するステージ
１３Ａ、１６Ａ・・・ステージの上板
１３Ｂ、１６Ｂ・・・ステージの桟
１３Ｃ、１６Ｃ・・・ステージの底板
１３Ｄ・・・底板の延長部
１５、１５Ｂ、４５、４５Ｂ・・・連結用穴
１６Ｅ・・・ステージの側面
２０、２０Ｂ、５０、５０Ｂ・・・パレットを積重するための連結部
２２、２２Ｃ、５２、５２Ｃ・・・座台
２３、２３Ｃ・・・筒状枠部
４０、４０Ｂ・・・積重用部材
５３、５３Ｂ、５３Ｃ・・・側板
５４、５４Ｂ、５４Ｃ・・・底板
Ｔ１〜Ｔ６・・・積重用部材を装着する延長部又は座台の矩形状

Claims (4)

1. ガラス基板を水平に積載したパレットを積重して搬送する基板搬送用パレットにおいて、
   １）前記基板搬送用パレットは、少なくとも、ガラス基板を水平に積載するステージ、該ステージに対し着脱可能なカバー、パレットを積重するための連結部で構成され、
   ２）前記ステージの底板は、その四隅に底板の延長部を有し、該延長部の裏面には連結用穴が設けられ、該連結用穴に対応した底板の延長部の表面上には、筒状枠部からなる連結部が設けられており、
   ３）基板搬送用パレットを積重する際には、その上部に連結用突起を有する積重用部材を上記筒状枠部内に装着し、積重する基板搬送用パレットの、底板の延長部の裏面に設けられた連結用穴を、上記筒状枠部内に装着した積重用部材の連結用突起に嵌合し、
   底板の延長部の表面上の連結部と積重用部材とで積重する基板搬送用パレットを保持し、前記連結部は筒状枠部内の一部に座台を有し、
   Ａ）ガラス基板積載時の基板搬送用パレットを積重する際には、積重用部材を筒状枠部内の座台上に装着して積重用部材上部の高さをカバーより高くし、積重する基板搬送用パレットの、底板の延長部の裏面に設けられた連結用穴を積重用部材の連結用突起に嵌合し、Ｂ）空の基板搬送用パレットを積重する際には、積重用部材を筒状枠部内の延長部の表面上に装着して積重用部材上部の高さをステージの上板より高くし、積重する基板搬送用パレットの、底板の延長部の裏面に設けられた連結用穴を積重用部材の連結用突起に嵌合することを特徴とする基板搬送用パレット。
2. 前記連結部の筒状枠部が平面視で逆さ凸の字状であり、
   １）該逆さ凸の字状の、筒状枠部内の上半部左右に座台を設け、
   ２）直方体の積重用部材を延長部の表面上に装着するための連結部の底面の矩形形状と、直方体の積重用部材を座台上に装着するための面の矩形形状を同一の矩形形状とし、
   Ａ）ガラス基板積載時の基板搬送用パレットを積重する際には、直方体の積重用部材を上記座台上に装着し、
   Ｂ）空の基板搬送用パレットを積重する際には、直方体の積重用部材を上記延長部の表面上に装着することを特徴とする請求項１記載の基板搬送用パレット。
3. ガラス基板を水平に積載したパレットを積重して搬送する基板搬送用パレットにおいて、
   １）前記基板搬送用パレットは、少なくとも、ガラス基板を水平に積載するステージ、該
   ステージに対し着脱可能なカバー、パレットを積重するための連結部で構成され、
   ２）前記ステージは、その四隅側面に無蓋箱状の連結部を有し、該連結部の底板の裏面には連結用穴が設けられており、
   ３）基板搬送用パレットを積重する際には、その上部に連結用突起を有する積重用部材を上記無蓋箱状の連結部内に装着し、積重する基板搬送用パレットの、連結部の底板の裏面に設けられた連結用穴を、上記無蓋箱状の連結部内に装着した積重用部材の連結用突起に嵌合し、
   ステージの四隅側面の連結部と積重用部材とで積重する基板搬送用パレットを保持し、
   前記無蓋箱状の連結部内の一部に座台を有し、
   Ａ）ガラス基板積載時の基板搬送用パレットを積重する際には、積重用部材を連結部内の座台上に装着して積重用部材上部の高さをカバーより高くし、積重する基板搬送用パレットの、連結部の底板の裏面に設けられた連結用穴を積重用部材の連結用突起に嵌合し、
   Ｂ）空の基板搬送用パレットを積重する際には、積重用部材を連結部内の底板の表面上に装着して積重用部材上部の高さをステージの上板より高くし、積重する基板搬送用パレットの、連結部の底板の裏面に設けられた連結用穴を積重用部材の連結用突起に嵌合することを特徴とする基板搬送用パレット。
4. 前記無蓋箱状の連結部が平面視で逆さ凸の字状であり、
   １）該逆さ凸の字状の、連結部内の上半部左右に座台を設け、
   ２）直方体の積重用部材を底板の表面上に装着するための連結部の底面の矩形形状と、直方体の積重用部材を座台上に装着するための面の矩形形状を同一の矩形形状とし、
   Ａ）ガラス基板積載時の基板搬送用パレットを積重する際には、直方体の積重用部材を上記座台上に装着し、
   Ｂ）空の基板搬送用パレットを積重する際には、直方体の積重用部材を上記底板の表面上に装着することを特徴とする請求項３記載の基板搬送用パレット。
   

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