JP5418980B2

JP5418980B2 - Hearth liner cover replacement mechanism

Info

Publication number: JP5418980B2
Application number: JP2010003984A
Authority: JP
Inventors: 周平和田
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2010-01-12
Filing date: 2010-01-12
Publication date: 2014-02-19
Anticipated expiration: 2030-01-12
Also published as: JP2011146430A

Description

本発明は、成膜装置のハースライナーカバーを自動交換するためのハースライナーカバー交換機構に関する。 The present invention relates to a hearth liner cover replacement mechanism for automatically replacing a hearth liner cover of a film forming apparatus.

図２１に示すように、スパッタリング装置は成膜時に内部が真空状態となる成膜装置１００を備えている。成膜装置１００の内部には、供給用ストッカー１０２及び排出用ストッカー１０４が配置されている。供給用ストッカー１０２は新たな成膜材料１０６をそれぞれ積層状態で収容するものであり、排出用ストッカー１０４は成膜に使用された使用済みの成膜材料１０６をそれぞれ積層状態で収容するものである。供給用ストッカー１０２及び排出用ストッカー１０４には、成膜材料１０６をそれぞれのストッカーの内部で上下動させる駆動手段１０８，１１０が設けられている（下記特許文献１の図１及び図２参照、従来技術１）。 As shown in FIG. 21, the sputtering apparatus includes a film forming apparatus 100 that is in a vacuum state during film formation. Inside the film forming apparatus 100, a supply stocker 102 and a discharge stocker 104 are arranged. The supply stocker 102 stores new film forming materials 106 in a stacked state, and the discharge stocker 104 stores used film forming materials 106 used for film forming in a stacked state. . The supply stocker 102 and the discharge stocker 104 are provided with driving means 108 and 110 for moving the film forming material 106 up and down inside each stocker (refer to FIGS. 1 and 2 of the following Patent Document 1, see below). Technology 1).

ところが、従来技術１では、複数の駆動手段が必要となるため、装置全体が大型化かつ複雑化する問題がある。 However, since the prior art 1 requires a plurality of driving means, there is a problem that the entire apparatus becomes large and complicated.

図２２に示すように、成膜材料１０６は、鎌状のハンド１１２で搬送される。すなわち、ハンド１１２の先端部には、成膜材料１０６のフランジ部１０６Ａを下から支えるＵ字状の係止部１１２Ａが形成されている。このハンド１１２により成膜材料１０６のフランジ部１０６Ａが下方から支持された状態で、成膜材料１０６が搬送される（下記特許文献１の図４参照）。 As shown in FIG. 22, the film forming material 106 is conveyed by a sickle-shaped hand 112. That is, a U-shaped locking portion 112 A that supports the flange portion 106 A of the film forming material 106 from below is formed at the distal end portion of the hand 112. The film forming material 106 is conveyed in a state where the flange portion 106A of the film forming material 106 is supported from below by the hand 112 (see FIG. 4 of Patent Document 1 below).

ところが、蒸着装置におけるハースライナーカバーは、フランジ部を冷却装置に置くため、鎌状のハンドで搬送することが困難になる。 However, since the hearth liner cover in the vapor deposition apparatus places the flange portion on the cooling device, it is difficult to carry it with a sickle-shaped hand.

ここで、成膜装置の内部に、ハースライナーカバーのストックやハースライナーカバー交換機構が設けられていない構成を検討する。成膜装置の内部に、ハースライナーカバーのストックやハースライナーカバー交換機構が設けられていない構成では、ハースライナーカバーを交換するために、その都度、成膜装置の内部を大気に戻した後、作業者によりハースライナーカバーを交換し、その後、再度、成膜装置を所定の真空度にする必要がある。 Here, a configuration in which the hearth liner cover stock and the hearth liner cover replacement mechanism are not provided in the film forming apparatus will be considered. In the configuration in which the stock of the hearth liner cover and the hearth liner cover replacement mechanism are not provided inside the film forming apparatus, in order to replace the hearth liner cover, each time after returning the inside of the film forming apparatus to the atmosphere, An operator needs to replace the hearth liner cover, and then it is necessary to set the film forming apparatus to a predetermined degree of vacuum again.

ところが、上記工程を経ると、蒸着装置が長時間停滞することになる。すなわち、蒸着装置の稼働率が著しく低下する問題が生じる。 However, after going through the above steps, the vapor deposition apparatus stagnates for a long time. That is, the problem that the operating rate of a vapor deposition apparatus falls remarkably arises.

そこで、成膜装置の内部に、成膜材料の飛散を防止するためのハースライナーカバーを設置する構成を検討する（下記特許文献２の図１参照、従来技術２）。 Therefore, a configuration in which a hearth liner cover for preventing scattering of the film forming material is installed inside the film forming apparatus is examined (see FIG. 1 of Patent Document 2 below, Prior Art 2).

特開２０００−２７３６３１号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2000-273631 特開２００６−３４８３１８号公報JP 2006-348318 A

従来技術２の構成では、ハースライナーカバーには、常時、成膜材料が付着しているため、少なくとも１日１回はハースライナーカバーを交換する必要がある。また、一般に成膜装置のような高真空装置の場合、成膜装置の内部を大気圧開放する度に、成膜装置における被処理物の処理を長時間中止しなければならない。このため、ハースライナーカバーを交換すると、成膜装置の内部を大気圧開放することになるが、ハースライナーカバーの交換の度に、成膜装置の内部を大気圧開放していたのでは、成膜装置での処理を長時間中止しなければならなくなり、成膜装置の稼働率と被処理物の処理効率が著しく低下する問題がある。 In the configuration of Prior Art 2, since the film forming material is always attached to the hearth liner cover, it is necessary to replace the hearth liner cover at least once a day. In general, in the case of a high vacuum apparatus such as a film forming apparatus, every time the inside of the film forming apparatus is opened to atmospheric pressure, processing of an object to be processed in the film forming apparatus must be stopped for a long time. For this reason, when the hearth liner cover is replaced, the inside of the film forming apparatus is opened to atmospheric pressure. However, if the inside of the film forming apparatus is opened to atmospheric pressure every time the hearth liner cover is replaced, There is a problem that the processing in the film apparatus must be stopped for a long time, and the operation rate of the film forming apparatus and the processing efficiency of the object to be processed are significantly reduced.

そこで、本発明は、上記問題点に鑑み、成膜装置の真空度を保ったままハースライナーカバーを自動交換することにより、成膜装置の稼働率と被処理物の処理効率を向上させることができるハースライナーカバー交換機構を提供することを目的とする。 Therefore, in view of the above problems, the present invention can improve the operation rate of the film forming apparatus and the processing efficiency of the object to be processed by automatically replacing the hearth liner cover while maintaining the vacuum degree of the film forming apparatus. An object of the present invention is to provide a hearth liner cover exchange mechanism that can be used.

本発明は、小径孔と大径孔とで構成された鍵穴状の穴が形成された鍔部を有し成膜装置のハースの上部に設けられるハースライナーカバー、を交換するハースライナーカバー交換機構であって、垂直方向に移動可能となり、かつ垂直方向に延びる軸の軸回りに回転可能になるハンドを有し、前記ハンドは、前記穴に引っ掛けて前記ハースライナーカバーを保持する保持部を備え、前記ハンドが前記軸の軸回りに回転するときの回転方向の接線は、前記小径孔から前記大径孔に延びる前記穴の中心線と一致し、前記保持部が前記穴に挿入された状態で、前記ハンドが前記軸の軸回りに回転することにより、前記保持部と前記穴が係合する。 The present invention relates to a hearth liner cover exchange mechanism for exchanging a hearth liner cover provided on the hearth of a film forming apparatus having a collar portion formed with a keyhole-shaped hole composed of a small-diameter hole and a large-diameter hole. A hand that is movable in a vertical direction and that can rotate about an axis extending in a vertical direction, the hand being provided with a holding portion that holds the hearth liner cover by being hooked in the hole. The tangent in the rotational direction when the hand rotates about the axis of the shaft coincides with the center line of the hole extending from the small diameter hole to the large diameter hole, and the holding portion is inserted into the hole Thus, when the hand rotates around the axis of the shaft, the holding portion and the hole are engaged.

これによれば、ハンドが軸の軸回りに回転するときの回転方向の接線は、小径孔から大径孔に延びる穴の中心線と一致しているため、ハンドの保持部が穴に挿入された状態でハンドが軸の軸回りに回転（θ回転駆動）することにより、保持部と穴が係合する。なお、保持部が穴に接近する場合には、ハンドが垂直方向（Ｚ軸駆動）に移動することにより容易に実現される。 According to this, since the tangent in the rotation direction when the hand rotates about the axis of the shaft coincides with the center line of the hole extending from the small diameter hole to the large diameter hole, the holding portion of the hand is inserted into the hole. When the hand rotates around the axis of the shaft (θ rotation drive), the holding portion and the hole are engaged. In addition, when a holding | maintenance part approaches a hole, it is implement | achieved easily by moving a hand to a perpendicular direction (Z-axis drive).

このように、ハンドがθ回転駆動とＺ軸駆動するだけで、保持部と穴とを係合させることができる。これにより、ハースライナーカバーをハンドで保持して搬送する場合には、複雑な構造の保持装置が不要になる。 In this way, the holding portion and the hole can be engaged simply by driving the hand with the θ rotation and the Z axis. Thereby, when holding and transporting the hearth liner cover with a hand, a holding device having a complicated structure becomes unnecessary.

また、ハースライナーカバーは、通常、冷却しながら使用するため、鍔部を冷却部（冷却ステージ）に密着させておく必要がある。ここで、ハンドがＺ軸駆動によりハースライナーカバーの鍔部に接近して、上方側からハースライナーカバーを保持することにより、ハースライナーカバーを冷却部にそのまま載置して鍔部を冷却部に密着させることができる。このため、ハースライナーカバーを冷却部に密着させるために、特殊な構造のピックアップ装置などが不要となる。 Further, since the hearth liner cover is usually used while being cooled, it is necessary to keep the collar portion in close contact with the cooling portion (cooling stage). Here, the hand approaches the collar part of the hearth liner cover by Z-axis driving and holds the hearth liner cover from above, so that the hearth liner cover is placed on the cooling part as it is and the collar part becomes the cooling part. It can be adhered. This eliminates the need for a pickup device having a special structure in order to bring the hearth liner cover into close contact with the cooling unit.

以上のように、本発明のハースライナーカバー交換機構を成膜装置の内部に設けることにより、ハースライナーカバーの交換時に必要な複雑な構造の装置類が不要となるため、成膜装置の内部を高真空状態にしたままで、ハースライナーカバーの交換が可能になる。 As described above, by providing the hearth liner cover replacement mechanism of the present invention inside the film forming apparatus, it is not necessary to have complicated structures necessary when replacing the hearth liner cover. The hearth liner cover can be replaced while maintaining a high vacuum.

この場合、前記保持部が前記大径孔を貫通した状態で、前記ハンドが前記軸の軸回りに回転することにより前記保持部が前記小径孔に進入して前記鍔部を支持することが好ましい。 In this case, it is preferable that the holding portion enters the small-diameter hole and supports the flange portion when the hand rotates around the axis of the shaft while the holding portion penetrates the large-diameter hole. .

これによれば、保持部が大径孔を貫通した状態で、ハンドが軸の軸回りに回転することにより保持部が小径孔に進入して鍔部を支持する。これにより、ハンドによりハースライナーカバーを容易かつ確実に保持して搬送することができる。 According to this, with the holding part penetrating the large-diameter hole, the hand rotates around the axis of the shaft, so that the holding part enters the small-diameter hole and supports the collar part. Thereby, the hearth liner cover can be easily and reliably held and transported by the hand.

この場合、前記ハースライナーカバーは、ハースの周辺に設けられた冷却部に保持されて前記成膜装置で使用されるものであり、前記ハースライナーカバーは、前記冷却部に形成された位置決め穴に挿入されて前記ハースライナーカバーを前記軸の軸回り方向に位置決めするための位置決めピンを有していることが好ましい。 In this case, the hearth liner cover is used in the film forming apparatus held by a cooling unit provided around the hearth, and the hearth liner cover is inserted into a positioning hole formed in the cooling unit. It is preferable to have a positioning pin that is inserted to position the hearth liner cover in the direction around the axis of the shaft.

これによれば、ハースライナーカバーの位置決めピンが冷却部に形成された位置決め穴に挿入されることにより、ハースライナーカバーが軸の軸回り方向に位置決めされる。これにより、ハースライナーカバーを冷却部に載せた状態でハンドが軸回りに回転しても、ハースライナーカバーが連れ回りしない。この結果、ハンドとハースライナーカバーとの着脱を確実かつ円滑に行うことができる。 According to this, the hearth liner cover is positioned in the direction around the axis of the shaft by inserting the positioning pin of the hearth liner cover into the positioning hole formed in the cooling portion. Thereby, even if the hand rotates around the axis with the hearth liner cover placed on the cooling part, the hearth liner cover does not rotate. As a result, the hand and the hearth liner cover can be attached and detached reliably and smoothly.

この場合、前記ハースライナーカバーを収容する収容装置を有することが好ましい。 In this case, it is preferable to have a storage device for storing the hearth liner cover.

これによれば、ハースライナーカバーを収容する収容装置を有しているため、例えば、ハースライナーカバーを交換するときに発生する使用済みのハースライナーカバーを収容装置にそのまま収容することができる。これにより、ハースライナーカバーを交換する度に、使用済みのハースライナーカバーを成膜装置の外部に排出する必要がなくなる。この結果、成膜装置の内部が高真空状態のまま、ハースライナーカバーを交換することができるため、成膜装置における成膜処理の効率を高めることができる。また、新品のハースライナーカバーを収容することにより、新品のハースライナーカバーを常に用意しておくことができる。 According to this, since the housing device for housing the hearth liner cover is provided, for example, a used hearth liner cover that is generated when the hearth liner cover is replaced can be housed in the housing device as it is. This eliminates the need to discharge the used hearth liner cover to the outside of the film forming apparatus each time the hearth liner cover is replaced. As a result, since the hearth liner cover can be replaced while the inside of the film forming apparatus is in a high vacuum state, the efficiency of the film forming process in the film forming apparatus can be increased. Further, by accommodating a new hearth liner cover, a new hearth liner cover can always be prepared.

この場合、前記収容装置は、前記ハースライナーカバーを供給する供給側収容装置と、前記ハースライナーカバーを排出する排出側収容装置と、を有し、前記排出側収容装置は、直線方向に移動可能に設けられ、前記ハースライナーカバーを支持する支持部材と、所定の回転角度の範囲にわたって軸回りに回転することにより前記ハースライナーカバーを前記支持部材に載置可能にし、前記支持部材に積み重ねられた前記ハースライナーカバーの前記鍔部が接触可能になるとともに、前記鍔部から押圧されることにより軸回りの回転が阻止されるロック部材と、前記支持部材に対して弾性力を作用させて前記支持部材を直線方向に移動させ、前記支持部材に積み重ねられた前記ハースライナーカバーの前記鍔部を前記ロック部材に押圧させる弾性部材と、を有することが好ましい。 In this case, the storage device includes a supply-side storage device that supplies the hearth liner cover and a discharge-side storage device that discharges the hearth liner cover, and the discharge-side storage device is movable in a linear direction. And a support member that supports the hearth liner cover, and that the hearth liner cover can be placed on the support member by rotating around the axis over a range of a predetermined rotation angle, and is stacked on the support member. The lock of the hearth liner cover can be contacted, and a lock member that is prevented from rotating around the axis when pressed by the hook, and an elastic force is applied to the support member to support the support member. The member is moved in a linear direction, and the lock member is pressed against the flange portion of the hearth liner cover stacked on the support member. It is preferred to have a sexual member.

これによれば、ロック部材を軸回りに回転させることにより、ハースライナーカバーが支持部材に載置される。弾性部材が支持部材に対して弾性力を作用させることにより、支持部材に積み重ねられたハースライナーカバーの鍔部がロック部材に押圧される。このとき、ロック部材は、鍔部から押圧されることにより軸回りの回転が阻止される。これにより、ハースライナーカバーをロック部材と支持部材との間に挟み、強固に支持（保持）することができる。 According to this, the hearth liner cover is placed on the support member by rotating the lock member around the axis. When the elastic member applies an elastic force to the support member, the collar portion of the hearth liner cover stacked on the support member is pressed against the lock member. At this time, the lock member is prevented from rotating around the axis by being pressed from the flange portion. As a result, the hearth liner cover can be sandwiched between the lock member and the support member and firmly supported (held).

さらに、蒸着を行うハースライナーと前記供給側収容装置と前記排出側収容装置とが、前記ハンドの回転軸を中心に、同一円周上に配置されていることが好ましい。 Furthermore, it is preferable that the hearth liner for performing vapor deposition, the supply-side storage device, and the discharge-side storage device are arranged on the same circumference around the rotation axis of the hand.

本発明によれば、成膜装置の真空度を保ったままハースライナーカバーを自動交換することにより、成膜装置の稼働率と被処理物の処理効率を向上させることができる。 According to the present invention, the operation rate of the film forming apparatus and the processing efficiency of the object to be processed can be improved by automatically replacing the hearth liner cover while maintaining the degree of vacuum of the film forming apparatus.

本発明の第１実施形態に係るハースライナーカバー交換機構の構成図である。It is a block diagram of the hearth liner cover exchange mechanism which concerns on 1st Embodiment of this invention. 本発明の第１実施形態に係るハースライナーカバー交換機構のハンドが下方に移動して冷却部上のハースライナーカバーに接近するときの斜視図である。It is a perspective view when the hand of the hearth liner cover replacement mechanism according to the first embodiment of the present invention moves downward and approaches the hearth liner cover on the cooling unit. 本発明の第１実施形態に係るハースライナーカバー交換機構のハンドの位置決めピンが冷却部上のハースライナーカバーの大径孔に挿入されたときの斜視図である。It is a perspective view when the positioning pin of the hand of the hearth liner cover exchange mechanism which concerns on 1st Embodiment of this invention is inserted in the large diameter hole of the hearth liner cover on a cooling unit. 本発明の第１実施形態に係るハースライナーカバー交換機構のハンドがθ回転して位置決めピンが冷却部上のハースライナーカバーの小径孔に移動したときの斜視図である。It is a perspective view when the hand of the hearth liner cover replacement mechanism according to the first embodiment of the present invention rotates θ and the positioning pin moves to the small diameter hole of the hearth liner cover on the cooling unit. 本発明の第１実施形態に係るハースライナーカバー交換機構のハンドの位置決めピンが冷却部上のハースライナーカバーの穴と係合してハースライナーカバーが冷却部上から取り出されるときの斜視図である。It is a perspective view when the positioning pin of the hand of the hearth liner cover replacement mechanism according to the first embodiment of the present invention engages with the hole of the hearth liner cover on the cooling unit and the hearth liner cover is taken out from the cooling unit. . 本発明の第１実施形態に係るハースライナーカバー交換機構のハンドの位置決めピンが冷却部上のハースライナーカバーの穴と係合してハースライナーカバーがハンドで保持された状態をハースライナーカバー裏面側から見た斜視図である。The back side of the hearth liner cover is a state in which the positioning pin of the hand of the hearth liner cover replacement mechanism according to the first embodiment of the present invention is engaged with the hole of the hearth liner cover on the cooling unit and the hearth liner cover is held by the hand. It is the perspective view seen from. 本発明の第１実施形態に係るハースライナーカバー交換機構のハンドの位置決めピンが冷却部上のハースライナーカバーの大径孔に挿入された状態をハースライナーカバー裏面側からみた説明図である。It is explanatory drawing which looked at the state in which the positioning pin of the hand of the hearth liner cover exchange mechanism which concerns on 1st Embodiment of this invention was inserted in the large diameter hole of the hearth liner cover on a cooling unit seen from the back side of the hearth liner cover. 本発明の第１実施形態に係るハースライナーカバー交換機構のハンドの位置決めピンが冷却部上のハースライナーカバーの小径孔に挿入された状態をハースライナーカバー裏面側からみた説明図である。It is explanatory drawing which looked at the state in which the positioning pin of the hand of the hearth liner cover exchange mechanism which concerns on 1st Embodiment of this invention was inserted in the small diameter hole of the hearth liner cover on a cooling part seen from the back side of the hearth liner cover. 本発明の第１実施形態に係るハースライナーカバー交換機構のハンドの位置決めピンが冷却部上のハースライナーカバーの穴に挿入されたときの断面方向からみた説明図である。It is explanatory drawing seen from the cross-sectional direction when the positioning pin of the hand of the hearth liner cover exchange mechanism which concerns on 1st Embodiment of this invention is inserted in the hole of the hearth liner cover on a cooling unit. 本発明の第１実施形態に係るハースライナーカバー交換機構の収容装置の第１ストック部に新品のハースライナーカバーが収容された状態の斜視図である。It is a perspective view in the state where a new Hearth liner cover was stored in the 1st stock part of the storage device of the Hearth liner cover exchange mechanism concerning a 1st embodiment of the present invention. 本発明の第１実施形態に係るハースライナーカバー交換機構の収容装置の第１ストック部に新品のハースライナーカバーが収容され、かつ第２ストック部に使用済みのハースライナーカバーが収容された状態の斜視図である。A new hearth liner cover is accommodated in the first stock portion of the accommodation device of the hearth liner cover replacement mechanism according to the first embodiment of the present invention, and a used hearth liner cover is accommodated in the second stock portion. It is a perspective view. 本発明の第１実施形態に係るハースライナーカバー交換機構の収容装置の第２ストック部に使用済みのハースライナーカバーが収容された状態の斜視図である。It is a perspective view in the state where the used Hearth liner cover was stored in the 2nd stock part of the storage device of the Hearth liner cover exchange mechanism concerning a 1st embodiment of the present invention. 本発明の第１実施形態に係るハースライナーカバー交換機構の収容装置の第２ストック部に使用済みのハースライナーカバーが収容されるときの第１段階の説明図である。It is explanatory drawing of the 1st step when a used hearth liner cover is accommodated in the 2nd stock part of the accommodation device of the hearth liner cover exchange mechanism concerning a 1st embodiment of the present invention. 本発明の第１実施形態に係るハースライナーカバー交換機構の収容装置の第２ストック部に使用済みのハースライナーカバーが収容されるときの第２段階の説明図である。It is explanatory drawing of the 2nd step when a used Hearth liner cover is accommodated in the 2nd stock part of the accommodation apparatus of the Hearth liner cover exchange mechanism concerning a 1st embodiment of the present invention. 本発明の第１実施形態に係るハースライナーカバー交換機構の収容装置の第２ストック部に使用済みのハースライナーカバーが収容されるときの第３段階の説明図である。It is explanatory drawing of the 3rd step when a used hearth liner cover is accommodated in the 2nd stock part of the accommodation apparatus of the hearth liner cover exchange mechanism which concerns on 1st Embodiment of this invention. 本発明の第１実施形態に係るハースライナーカバー交換機構の収容装置の第２ストック部に使用済みのハースライナーカバーが収容されるときの第４段階の説明図である。It is explanatory drawing of the 4th step when a used Hearth liner cover is accommodated in the 2nd stock part of the accommodation apparatus of the Hearth liner cover exchange mechanism concerning a 1st embodiment of the present invention. 本発明の第１実施形態に係るハースライナーカバー交換機構の収容装置の第２ストック部に使用済みのハースライナーカバーが収容されるときの第５段階の説明図である。It is explanatory drawing of the 5th stage when a used hearth liner cover is accommodated in the 2nd stock part of the accommodation apparatus of the hearth liner cover exchange mechanism which concerns on 1st Embodiment of this invention. 本発明の第１実施形態に係るハースライナーカバー交換機構の収容装置の第２ストック部に使用済みのハースライナーカバーが収容されるときの第６段階（ハースライナーカバーが挟持されたとき）の説明図である。Description of the sixth stage (when the hearth liner cover is sandwiched) when the used hearth liner cover is accommodated in the second stock portion of the accommodation device of the hearth liner cover replacement mechanism according to the first embodiment of the present invention. FIG. 成膜処理が実行されるときのハースライナーとハースライナーカバーとの位置関係を示した説明図である。It is explanatory drawing which showed the positional relationship of a hearth liner and a hearth liner cover when a film-forming process is performed. 本発明の第１実施形態に係るハースライナーカバー交換機構が適用される成膜装置の部分的な構成図である。It is a partial block diagram of the film-forming apparatus with which the hearth liner cover exchange mechanism which concerns on 1st Embodiment of this invention is applied. 従来技術となる成膜装置の内部に配置される供給用ストッカー及び排出用ストッカーの構成図である。It is a block diagram of the supply stocker and discharge | emission stocker arrange | positioned inside the film-forming apparatus used as the prior art. 従来技術となる成膜材料を搬送するための鎌状のハンドの説明図である。It is explanatory drawing of the sickle-shaped hand for conveying the film-forming material used as a prior art.

本発明の第１実施形態に係るハースライナーカバー交換機構について、図面を参照して説明する。 A hearth liner cover replacement mechanism according to a first embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

先ず、ハースライナーカバー交換機構により交換されるハースライナーカバーについて説明する。図１、図１９及び図２０に示すように、ハースライナーカバー１０は、ハースライナー１２の上部に設けられる。ここで、ハースライナー１２とは、電子ビーム蒸着法において、ハース１４（例えば、銅で構成され水冷されるもの）に装着し、蒸着材料を入れるルツボ状の容器をいう。ハースライナー１２の機能は、蒸着材料とハース１４とが、直接、接触しないようにすることで、以下のような効果を目的としている。すなわち、水冷銅のハース１４と蒸着材料との間を断熱して、蒸着材料の温度上昇を容易にして溶解を容易にしたり、蒸着効率を上げる。また、ハース１４への蒸着材料の食い付きや合金化を防止して、ハース１４を清潔に保ち、クリーニングを容易にする。また、ハース１４に残留した以前の蒸着材料の残存物からのコンタミネーションを防止する。 First, the hearth liner cover exchanged by the hearth liner cover exchange mechanism will be described. As shown in FIGS. 1, 19, and 20, the hearth liner cover 10 is provided on the top of the hearth liner 12. Here, the hearth liner 12 refers to a crucible-like container that is attached to the hearth 14 (for example, made of copper and water-cooled) in an electron beam vapor deposition method and into which a vapor deposition material is placed. The function of the hearth liner 12 aims at the following effects by preventing the vapor deposition material and the hearth 14 from directly contacting each other. That is, the water-cooled copper hearth 14 and the vapor deposition material are insulated to facilitate the temperature rise of the vapor deposition material to facilitate dissolution and increase the vapor deposition efficiency. Further, the hearth 14 is prevented from biting and alloying with the vapor deposition material, so that the hearth 14 is kept clean and easy to clean. Further, contamination from the residue of the previous vapor deposition material remaining in the hearth 14 is prevented.

上記ハースライナー１２には、成膜材料が仕込まれている。ハースライナー１２は、電子銃５０（図２０参照）から発せられた電子ビームによって成膜材料を溶融、蒸発させて成膜する成膜装置の内部に配置されている。ハースライナーカバー１０は、蒸発物質などが他のハースライナー１２に混入しないように、ハースライナー１２の上部に設けられている。 The hearth liner 12 is charged with a film forming material. The hearth liner 12 is disposed inside a film forming apparatus that forms a film by melting and evaporating a film forming material by an electron beam emitted from an electron gun 50 (see FIG. 20). The hearth liner cover 10 is provided on the upper part of the hearth liner 12 so that evaporative substances and the like are not mixed into the other hearth liners 12.

図６及び図１９に示すように、ハースライナーカバー１０は、円筒状に形成されたカバー本体１０Ａと、カバー本体１０Ａに形成された鍔部１０Ｂと、を有している。ハースライナーカバー１０の使用時には、カバー本体１０Ａの外周面が傾斜面になっており、カバー本体１０Ａの内部にはハースライナー１２の上部が挿入される。図６、図７及び図８に示すように、鍔部１０Ｂには、複数の鍵穴状の穴１６が鍔部１０Ｂの厚み方向に貫通するように形成されている。穴１６は、大径孔１６Ａと小径孔１６Ｂとが連通して全体としてひょうたん形状になっている。ここで、小径孔１６Ｂから大径孔１６Ａに延びる穴１６の中心線Ｌ（図７及び図８参照）が、後述のハンド３６（例えば、図１参照）が駆動軸（軸）３０（例えば、図１参照）の軸回りに回転するときの回転方向の接線Ｍ（図７及び図８参照）と一致するように、鍔部１０Ｂの鍵穴状の穴１６の位置及び向きが設定されている。また、図６に示すように、鍔部１０Ｂの下面には、複数の位置決めピン１８が形成されている。この位置決めピン１８は、ハースライナーカバー１０が冷却ステージ（冷却部）２０（図１参照）に載置されたときに、冷却ステージ２０に形成された位置決め穴２２（図５参照）に挿入されて、ハースライナーカバー１０をハンド３６の回転方向に沿って位置決めする。これにより、冷却ステージ２０にハースライナーカバー１０を載せた状態でハンド３６が軸回りに回転しても、ハースライナーカバー１０が連れ回りしない。この結果、ハンド３６とハースライナーカバー１０との着脱を確実かつ円滑に行うことができる。また、図６に示すように、鍔部１０Ｂの外周面には、カバーストッカ４４（例えば、図１参照（収容装置））に収容されるときに位置決めされる複数（２個）の位置決め溝２４が形成されている。また、鍔部１０Ｂの外周面の一部には、大きな開口溝２６が形成されている。開口溝２６は、電子銃５０から発せられた電子ビームがハースライナーカバー１０と干渉せずに通過するための切り欠きである。 As shown in FIGS. 6 and 19, the hearth liner cover 10 has a cover body 10A formed in a cylindrical shape, and a flange portion 10B formed in the cover body 10A. When the hearth liner cover 10 is used, the outer peripheral surface of the cover main body 10A is an inclined surface, and the upper part of the hearth liner 12 is inserted into the cover main body 10A. As shown in FIGS. 6, 7, and 8, a plurality of keyhole-shaped holes 16 are formed in the flange portion 10 B so as to penetrate in the thickness direction of the flange portion 10 B. The hole 16 has a gourd shape as a whole, with the large-diameter hole 16A and the small-diameter hole 16B communicating with each other. Here, the center line L (see FIGS. 7 and 8) of the hole 16 extending from the small-diameter hole 16B to the large-diameter hole 16A is the hand 36 (for example, see FIG. 1) described later, and the drive shaft (shaft) 30 (for example, The position and orientation of the keyhole-shaped hole 16 of the collar portion 10B are set so as to coincide with the tangent line M (see FIGS. 7 and 8) in the rotation direction when rotating around the axis of FIG. Further, as shown in FIG. 6, a plurality of positioning pins 18 are formed on the lower surface of the flange portion 10B. The positioning pin 18 is inserted into a positioning hole 22 (see FIG. 5) formed in the cooling stage 20 when the hearth liner cover 10 is placed on the cooling stage (cooling unit) 20 (see FIG. 1). Then, the hearth liner cover 10 is positioned along the rotation direction of the hand 36. Thereby, even if the hand 36 rotates around the axis while the hearth liner cover 10 is placed on the cooling stage 20, the hearth liner cover 10 does not rotate. As a result, the hand 36 and the hearth liner cover 10 can be attached and detached reliably and smoothly. As shown in FIG. 6, a plurality (two) of positioning grooves 24 positioned on the outer peripheral surface of the collar portion 10 B when being accommodated in a cover stocker 44 (for example, see FIG. 1 (accommodating device)). Is formed. A large opening groove 26 is formed in a part of the outer peripheral surface of the flange portion 10B. The opening groove 26 is a notch through which an electron beam emitted from the electron gun 50 passes without interfering with the hearth liner cover 10.

位置決めピン１８の３つのうちの１つはダミーピンであり、ハースライナーカバー１０を冷却部に位置決めするときは、位置決め機能を有さない。ダミーピンに対面する支持溝４０にはダミーピンに接触しないように十分大きな逃げ穴があいている。また、ダミーピンは、収容装置にてハースライナーカバー１０を積み重ねるときに、他の位置決めピン１８とともに脚（下駄）としての役割を有する。収容装置にハースライナーカバー１０を積み重ねたとき、鍔部１０Ｂは重ならず一定間隔で積み上られ、引っ掛けピン３８の先端頭部が入るだけの空間が空いている。 One of the three positioning pins 18 is a dummy pin, and does not have a positioning function when positioning the hearth liner cover 10 on the cooling unit. The support groove 40 facing the dummy pin has a sufficiently large escape hole so as not to contact the dummy pin. The dummy pins have a role as legs (clogs) together with the other positioning pins 18 when the hearth liner cover 10 is stacked in the storage device. When the hearth liner cover 10 is stacked on the storage device, the collar portions 10B are stacked at a constant interval without overlapping, and a space for receiving the tip head of the hook pin 38 is vacant.

次に、ハースライナーカバー１０を交換するハースライナーカバー交換機構を説明する。 Next, a hearth liner cover replacement mechanism for replacing the hearth liner cover 10 will be described.

図１に示すように、ハースライナーカバー交換機構は、真空容器底板２８を備えている。真空容器底板２８には、駆動軸３０が貫通している。この駆動軸３０は、高さ方向（Ｚ方向（図１中矢印Ｚ方向））に延びており、軸回りの回転（θ回転（図１中矢印θ方向））可能に構成されている。駆動軸３０は、θ回転駆動装置３２により回転駆動される。また、駆動軸３０には、ハンド３６が取り付けられている。また、θ回転駆動装置３２には、Ｚ軸駆動装置３４が接続されている。Ｚ軸駆動装置３４は、θ回転駆動装置３２を高さ方向（Ｚ方向）に移動させるものである。θ回転駆動装置３２が上方向（図１中矢印Ｕ方向）に移動することにより、駆動軸３０及びハンド３６も上方向に移動する。また、θ回転駆動装置３２が下方向（図１中矢印Ｄ方向）に移動することにより、駆動軸３０及びハンド３６も下方向に移動する。これにより、ハンド３６は、駆動軸３０の軸回りの回転運動と高さ方向の直進運動を同時に実行することが可能になる。なお、θ回転駆動装置３２は、駆動軸３０と、駆動軸３０を回転可能に支持するベアリングと、駆動軸３０を回転させる駆動源（モータ）などにより構成される。また、Ｚ軸駆動装置３４は、θ回転駆動装置３２を上下方向（Ｚ方向）に移動させるための油圧式のピストンロッドやスライド機構などにより構成される。 As shown in FIG. 1, the hearth liner cover replacement mechanism includes a vacuum vessel bottom plate 28. A drive shaft 30 passes through the vacuum vessel bottom plate 28. The drive shaft 30 extends in the height direction (Z direction (arrow Z direction in FIG. 1)) and is configured to be rotatable around the axis (θ rotation (arrow θ direction in FIG. 1)). The drive shaft 30 is rotationally driven by a θ rotation drive device 32. A hand 36 is attached to the drive shaft 30. A Z-axis drive device 34 is connected to the θ rotation drive device 32. The Z-axis drive device 34 moves the θ rotation drive device 32 in the height direction (Z direction). When the θ rotation drive device 32 moves upward (in the direction of arrow U in FIG. 1), the drive shaft 30 and the hand 36 also move upward. Further, when the θ rotation drive device 32 moves downward (in the direction of arrow D in FIG. 1), the drive shaft 30 and the hand 36 also move downward. As a result, the hand 36 can simultaneously execute the rotational movement around the drive shaft 30 and the straight movement in the height direction. The θ rotation drive device 32 includes a drive shaft 30, a bearing that rotatably supports the drive shaft 30, a drive source (motor) that rotates the drive shaft 30, and the like. The Z-axis drive device 34 is configured by a hydraulic piston rod, a slide mechanism, or the like for moving the θ rotation drive device 32 in the vertical direction (Z direction).

図２及び図９に示すように、ハンド３６は、引っ掛けピン（保持部）３８を備えている。引っ掛けピン３８は、くびれ部３８Ａと、先端頭部３８Ｂと、で構成されている。ここで、図７及び図８に示すように、引っ掛けピン３８の先端頭部３８Ｂの径は、ハースライナーカバー１０の鍔部１０Ｂに形成された鍵穴状の穴１６の大径孔１６Ａの径よりも小さく、かつ小径孔１６Ｂの径よりも大きくなるように設定されている。引っ掛けピン３８のくびれ部３８Ａの径は、ハースライナーカバー１０の鍔部１０Ｂに形成された鍵穴状の穴１６の大径孔１６Ａの径及び小径孔１６Ｂの径よりも小さくなるように設定されている。また、ハンド３６が駆動軸３０の軸回りに回転するときの回転方向の接線Ｍ（図７及び図８参照）は、小径孔１６Ｂから大径孔１６Ａに延びる穴１６の中心線Ｌ（図７及び図８参照）と一致する。 As shown in FIGS. 2 and 9, the hand 36 includes a hook pin (holding portion) 38. The hook pin 38 includes a constricted portion 38A and a tip head portion 38B. Here, as shown in FIGS. 7 and 8, the diameter of the tip head portion 38 B of the hook pin 38 is larger than the diameter of the large-diameter hole 16 A of the keyhole-shaped hole 16 formed in the flange portion 10 B of the hearth liner cover 10. Is set to be smaller and larger than the diameter of the small-diameter hole 16B. The diameter of the constricted portion 38A of the hook pin 38 is set to be smaller than the diameter of the large-diameter hole 16A and the diameter of the small-diameter hole 16B of the keyhole-shaped hole 16 formed in the flange portion 10B of the hearth liner cover 10. Yes. Further, the tangent line M (see FIGS. 7 and 8) in the rotation direction when the hand 36 rotates around the axis of the drive shaft 30 is the center line L (FIG. 7) of the hole 16 extending from the small diameter hole 16B to the large diameter hole 16A. And FIG. 8).

図１に示すように、真空容器底板２８の上面には、冷却ステージ２０が設けられている。冷却ステージ２０は、銅で構成されており、水冷により冷却可能となっている。図５に示すように、冷却ステージ２０の上面には、ハースライナーカバー１０の鍔部１０Ｂが載置される支持溝４０が形成されている。ハースライナーカバー１０の鍔部１０Ｂが支持溝４０に密着することにより、ハースライナーカバー１０の鍔部１０Ｂが冷却される。支持溝４０には、ハンド３６の位置決めピン１８が挿入する位置決め穴２２が形成されている。なお、冷却ステージ２０の材質はステンレス製でもよい。 As shown in FIG. 1, a cooling stage 20 is provided on the upper surface of the vacuum vessel bottom plate 28. The cooling stage 20 is made of copper and can be cooled by water cooling. As shown in FIG. 5, a support groove 40 on which the flange portion 10 B of the hearth liner cover 10 is placed is formed on the upper surface of the cooling stage 20. When the flange portion 10B of the hearth liner cover 10 is in close contact with the support groove 40, the flange portion 10B of the hearth liner cover 10 is cooled. A positioning hole 22 into which the positioning pin 18 of the hand 36 is inserted is formed in the support groove 40. The material of the cooling stage 20 may be made of stainless steel.

さらに、図５及び図９に示すように、支持溝４０には、ハースライナーカバー１０の鍔部１０Ｂに形成された穴１６に引っ掛けピン３８が挿入したときに引っ掛けピン３８の先端頭部３８Ｂが入り込むための複数の干渉回避穴４２が形成されている。各干渉回避穴４２は、掘り込み状の凹部に形成されている。また、干渉回避穴４２は、ハースライナーカバー１０の鍔部１０Ｂの位置決めピン１８が位置決め穴２２に挿入されてハースライナーカバー１０の鍔部１０Ｂが支持溝４０に密着した状態で、鍔部１０Ｂに形成されている穴１６（大径孔１６Ａ及び小径孔１６Ｂ）の下方に位置する部位（穴１６と対面する部位）に形成されている。 Further, as shown in FIGS. 5 and 9, the support groove 40 has a tip head portion 38B of the hook pin 38 when the hook pin 38 is inserted into the hole 16 formed in the flange portion 10B of the hearth liner cover 10. A plurality of interference avoidance holes 42 for entering are formed. Each interference avoidance hole 42 is formed in a digging recess. Further, the interference avoidance hole 42 is formed in the flange portion 10B in a state where the positioning pin 18 of the flange portion 10B of the hearth liner cover 10 is inserted into the positioning hole 22 and the flange portion 10B of the hearth liner cover 10 is in close contact with the support groove 40. It is formed in the site | part (site which faces the hole 16) located under the formed hole 16 (large diameter hole 16A and small diameter hole 16B).

図１に示すように、真空容器底板２８の上面には、カバーストッカ４４（収容装置）が設けられている。カバーストッカ４４は、新品又は使用済みのハースライナーカバー１０を収容するためのものである。図１０、図１１及び図１２に示すように、カバーストッカ４４は、新品のハースライナーカバー１１Ａ（１０）をストックする第１ストック部（供給側収容装置）４６と、使用済みのハースライナーカバー１１Ｂ（１０）をストックする第２ストック部（排出側収容装置）４８と、を有している。なお、蒸着を行うハースライナー１２と第１ストック部４６と第２ストック部４８とが、ハンド３６の回転軸を中心に、同一円周上に配置されている。 As shown in FIG. 1, a cover stocker 44 (accommodating device) is provided on the upper surface of the vacuum vessel bottom plate 28. The cover stocker 44 is for accommodating a new or used hearth liner cover 10. As shown in FIGS. 10, 11 and 12, the cover stocker 44 includes a first stock portion (supply side accommodating device) 46 for stocking a new hearth liner cover 11A (10) and a used hearth liner cover 11B. And a second stock portion (discharge side accommodating device) 48 for stocking (10). The hearth liner 12, the first stock portion 46, and the second stock portion 48 that perform vapor deposition are arranged on the same circumference around the rotation axis of the hand 36.

第１ストック部４６は、新品のハースライナーカバー１１Ａ（１０）を下方から支持するプレート４６Ａと、２本の位置決め棒４６Ｂと、を有している。新品のハースライナーカバー１１Ａ（１０）の鍔部１０Ｂの外周面に形成された位置決め溝２４に位置決め棒４６Ｂが挿入されるようにして、新品のハースライナーカバー１１Ｂ（１０）がプレートに載せられている。これにより、新品のハースライナーカバー１１Ｂ（１０）は、プレート上に位置決めされた状態でストックされる。なお、新品のハースライナーカバー１１Ａ（１０）は、複数枚のハースライナーカバー１０が積み重ねられるようにしてストックされていく。 The first stock portion 46 includes a plate 46A that supports a new hearth liner cover 11A (10) from below and two positioning rods 46B. The new Hearth liner cover 11B (10) is placed on the plate so that the positioning rod 46B is inserted into the positioning groove 24 formed on the outer peripheral surface of the flange portion 10B of the new Hearth liner cover 11A (10). Yes. As a result, the new hearth liner cover 11B (10) is stocked while being positioned on the plate. The new Hearth liner cover 11A (10) is stocked so that a plurality of Hearth liner covers 10 are stacked.

第２ストック部４８は、２本の位置決めロッド４８Ａと、２本の位置決めロッド４８Ａに支持されて位置決めロッド４８Ａの軸上を移動可能な移動プレート４８Ｂと、移動プレート４８Ｂを下方から支持するとともに下方から所定の弾性力を作用させるコイルばね（弾性部材）４８Ｃと、移動プレート４８Ｂに積み重ねられた使用済みのハースライナーカバー１１Ｂ（１０）を挟持するロック部材４８Ｄと、を有している。図１３に示すように、ロック部材４８Ｄは、位置決めロッド４８Ａの軸方向に対して直交する方向に延びる回転軸４８Ｅの軸回りに回転する支持片４８Ｆを有している。支持片４８Ｆは、外力が作用していない場合には、バネ部材４８Ｇからの弾性力を受けて初期位置（図１３の状態）、すなわち、位置決めロッド４８Ａの軸方向に対して直交する方向に延びるように設定されている。また、図１４乃至図１６に示すように、支持片４８Ｆが上方から圧力を受けた場合には、支持片４８Ｆは、バネ部材４８Ｇの弾性力に対抗して下方向（図１４乃至図１６中の矢印Ｒ方向）に向って回転軸４８Ｅの軸回りを回転する。支持片４８Ｆに作用する上方から圧力が解除されると、図１７に示すように、支持片４８Ｆがバネ部材４８Ｇからの弾性力を受けて初期状態に戻る。さらに、図１８に示すように、ハンド３６からの圧力が解除されると、使用済みのハースライナーカバー１１Ｂ（１１）が移動プレート４８Ｂに載せられた状態で、移動プレート４８Ｂは、コイルばね４８Ｃの弾性力を受けて上方に移動する。このとき、移動プレート４８Ｂが所定の位置に到達すると、移動プレート４８Ｂに載せられた使用済みのハースライナーカバー１１Ｂ（１０）の鍔部１０Ｂが支持片４８Ｆを下方から押圧する。なお、支持片４８Ｆは、初期状態から上方向に向っては回転軸４８Ｅの軸回りを回転しないように設定されている。このため、移動プレート４８Ｂに載せられた使用済みのハースライナーカバー１１Ｂ（１１）の鍔部１０Ｂは、移動プレート４８Ｂとロック部材４８Ｄの支持片４８Ｆとの間に挟持された状態になる。 The second stock portion 48 includes two positioning rods 48A, a moving plate 48B supported by the two positioning rods 48A and movable on the axis of the positioning rod 48A, and a lower plate that supports the moving plate 48B from below. A coil spring (elastic member) 48C for applying a predetermined elastic force, and a lock member 48D for clamping the used hearth liner cover 11B (10) stacked on the moving plate 48B. As shown in FIG. 13, the lock member 48 D has a support piece 48 F that rotates about the axis of the rotation shaft 48 E that extends in a direction orthogonal to the axial direction of the positioning rod 48 A. When an external force is not applied, the support piece 48F receives an elastic force from the spring member 48G and extends in an initial position (state shown in FIG. 13), that is, a direction orthogonal to the axial direction of the positioning rod 48A. Is set to Further, as shown in FIGS. 14 to 16, when the support piece 48F receives pressure from above, the support piece 48F opposes the elastic force of the spring member 48G (in FIG. 14 to FIG. 16). ) Around the axis of the rotation axis 48E. When the pressure is released from above, acting on the support piece 48F, the support piece 48F receives the elastic force from the spring member 48G and returns to the initial state as shown in FIG. Furthermore, as shown in FIG. 18, when the pressure from the hand 36 is released, the moving plate 48B is placed on the moving plate 48B while the used hearth liner cover 11B (11) is placed on the moving plate 48B. Moves upward in response to elastic force. At this time, when the moving plate 48B reaches a predetermined position, the collar portion 10B of the used hearth liner cover 11B (10) placed on the moving plate 48B presses the support piece 48F from below. The support piece 48F is set so as not to rotate around the axis of the rotation shaft 48E from the initial state to the upward direction. For this reason, the collar part 10B of the used hearth liner cover 11B (11) placed on the moving plate 48B is sandwiched between the moving plate 48B and the support piece 48F of the lock member 48D.

なお、真空容器底板２８の上方側が真空側になり、下方側が大気圧側になる。図１において、真空容器底板２８には複数の穴があいているが、これらはハースや電子銃を取り付けるための穴であり、空間的には上方側と下方側は遮断されている。 The upper side of the vacuum vessel bottom plate 28 is the vacuum side, and the lower side is the atmospheric pressure side. In FIG. 1, the vacuum vessel bottom plate 28 has a plurality of holes. These holes are for attaching a hearth or an electron gun, and the upper side and the lower side are spatially blocked.

図１及び図２０に示すように、真空容器底板２８の上面には、ハース１４が回転可能に配置される。ハース１４には、複数の凹部１４Ａが形成されており、凹部１４Ａにハースライナー１２が収容されている。ハース１４は、水冷式となるように構成されている。ハース１４の凹部１４Ａに収容されているハースライナー１２には、成膜材料が仕込まれている。なお、ハース１４の上方には、冷却ステージ２０が掛け渡されている。 As shown in FIGS. 1 and 20, the hearth 14 is rotatably disposed on the upper surface of the vacuum vessel bottom plate 28. A plurality of recesses 14A are formed in the hearth 14, and the hearth liner 12 is accommodated in the recesses 14A. Hearth 14 is configured to be water-cooled. A film forming material is charged in the hearth liner 12 accommodated in the recess 14 A of the hearth 14. A cooling stage 20 is stretched over the hearth 14.

図２０に示すように、真空容器底板２８の上面には、電子銃５０が設けられている。この電子銃５０から発せられた電子ビームによってハースライナー１２に仕込まれた成膜材料を溶融、蒸発させて成膜が行われ、所定の時間が経過すると成膜が完了する。ただし、ハースライナー内の成膜材料がなくなったり、材料を変更（つまりハースライナーの変更）しなければならない場合に、ハース１４が回転して、隣接する凹部１４Ａに収容されたハース１４が電子銃５０の電子ビーム照射対象となる位置まで移動する。なお、ハースライナーカバー１０の内面に成膜によって蒸着材料が堆積付着するので、ハースライナーカバー１０はハースライナー１２と固着する前に、ハースライナーカバー交換機構により自動交換される。交換時期は連続して成膜した累積時間やビューポート等からの目視確認によって判断することが多い。 As shown in FIG. 20, an electron gun 50 is provided on the upper surface of the vacuum vessel bottom plate 28. The film forming material charged in the hearth liner 12 is melted and evaporated by the electron beam emitted from the electron gun 50, and film formation is performed. When a predetermined time elapses, the film formation is completed. However, when there is no film forming material in the hearth liner, or when the material has to be changed (that is, the hearth liner is changed), the hearth 14 rotates and the hearth 14 accommodated in the adjacent recess 14A becomes the electron gun. It moves to a position to be irradiated with 50 electron beams. Since the vapor deposition material is deposited on the inner surface of the hearth liner cover 10 by film formation, the hearth liner cover 10 is automatically replaced by the hearth liner cover replacement mechanism before being fixed to the hearth liner 12. The replacement time is often judged by visual confirmation from the accumulated time of continuous film formation or a viewport.

次に、本実施形態のハースライナーカバー交換機構の作用について説明する。
なお、以下では、ハースライナー１２の成膜材料を用いた成膜処理が実行されて、冷却ステージ２０に載せられたハースライナーカバー１０が交換されるタイミングを基準として説明する。 Next, the operation of the hearth liner cover replacement mechanism of this embodiment will be described.
In the following description, the timing at which the film forming process using the film forming material of the hearth liner 12 is executed and the hearth liner cover 10 placed on the cooling stage 20 is replaced will be described as a reference.

図１９及び図２０に示すように、ハース１４の凹部１４Ａに収容されたハースライナー１２の成膜材料を用いた成膜処理が実行される。このとき、ハースライナーカバー１０の鍔部１０Ｂが冷却ステージ２０の支持溝４０と密着されている。このように、ハースライナー１２の成膜処理による成膜処理が実行されるときには、成膜材料の飛散を防止するため、ハースライナーカバー１０の鍔部１０Ｂが冷却ステージ２０に密着して冷却されている。そして、ハースライナー１２の成膜材料を用いた成膜処理が実行された後、使用済みとなるハースライナーカバー１１Ｂ（１０）が冷却ステージ２０から取り出され、新品のハースライナーカバー１１Ａ（１０）と交換される。 As shown in FIGS. 19 and 20, a film forming process using the film forming material of the hearth liner 12 housed in the recess 14 A of the hearth 14 is executed. At this time, the flange portion 10 B of the hearth liner cover 10 is in close contact with the support groove 40 of the cooling stage 20. As described above, when the film forming process by the film forming process of the hearth liner 12 is executed, the collar portion 10B of the hearth liner cover 10 is closely adhered to the cooling stage 20 and cooled in order to prevent the film forming material from scattering. Yes. Then, after the film forming process using the film forming material of the hearth liner 12 is executed, the used hearth liner cover 11B (10) is taken out from the cooling stage 20, and a new hearth liner cover 11A (10) and Exchanged.

ここで、図１、図２及び図３に示すように、ハンド３６は、Ｚ軸駆動装置３４により上方から下方向（図１中矢印Ｄ方向）に移動されて、ハースライナーカバー１０に接近する。そして、図９に示すように、ハンド３６の下面の引っ掛けピン３８の先端頭部３８Ｂが鍔部１０Ｂの穴１６の大径孔１６Ａに挿入される（図９中矢印Ｄ方向）。このとき、引っ掛けピン３８の先端頭部３８Ｂが冷却ステージ２０の干渉回避穴４２に進入し、かつくびれ部３８Ａが大径孔１６Ａの内部に位置している。このように、引っ掛けピン３８の先端頭部３８Ｂが冷却ステージ２０の干渉回避穴４２に進入しているため、引っ掛けピン３８と冷却ステージ２０とが干渉することを防止できる。 Here, as shown in FIGS. 1, 2, and 3, the hand 36 is moved from above to below (in the direction of arrow D in FIG. 1) by the Z-axis drive device 34 and approaches the hearth liner cover 10. . Then, as shown in FIG. 9, the tip head portion 38B of the hook pin 38 on the lower surface of the hand 36 is inserted into the large-diameter hole 16A of the hole 16 of the flange portion 10B (in the direction of arrow D in FIG. 9). At this time, the tip head portion 38B of the hook pin 38 enters the interference avoidance hole 42 of the cooling stage 20, and the constricted portion 38A is located inside the large diameter hole 16A. Thus, since the tip head portion 38B of the hook pin 38 enters the interference avoidance hole 42 of the cooling stage 20, it is possible to prevent the hook pin 38 and the cooling stage 20 from interfering with each other.

図３及び図４に示すように、引っ掛けピン３８の先端頭部３８Ｂが冷却ステージ２０の干渉回避穴４２に進入し、かつくびれ部３８Ａが大径孔１６Ａの内部に位置した状態から、ハンド３６がθ回転駆動装置３２により所定の回転角度だけ所定の方向（正方向：係合方向と定義する）に向かって回転駆動される。これにより、ハンド３６が所定の回転角度だけ所定の方向（正方向：係合方向と定義する）に向かって駆動軸３０の軸回りに回転する。 As shown in FIGS. 3 and 4, the tip 36B of the hook pin 38 enters the interference avoidance hole 42 of the cooling stage 20 and the neck portion 38A is located inside the large diameter hole 16A. Is rotated by a θ rotation drive device 32 in a predetermined direction (positive direction: defined as an engagement direction) by a predetermined rotation angle. As a result, the hand 36 rotates around the axis of the drive shaft 30 toward a predetermined direction (positive direction: defined as an engagement direction) by a predetermined rotation angle.

ここで、大径孔１６Ａから小径孔１６Ｂに延びる穴１６の中心線Ｌ（図７及び図８参照）が、ハンド３６が駆動軸３０の軸回りに回転するときの回転方向の接線Ｍ（図７及び図８参照）と一致するように、鍔部１０Ｂの鍵穴状の穴１６の位置及び向きが設定されている。このため、ハンド３６が所定の回転角度だけ駆動軸３０の軸回りに回転することにより、引っ掛けピン３８が穴１６の内部を移動する。具体的には、引っ掛けピン３８のくびれ部３８Ａが大径孔１６Ａから小径孔１６Ｂに向って移動する。このとき、先端頭部３８Ｂは、干渉回避穴４２の内部を移動するため、先端頭部３８Ｂが冷却ステージ２０の支持溝４０と干渉せず、ハンド３６の回転運動が円滑に実行される。 Here, the center line L (see FIGS. 7 and 8) of the hole 16 extending from the large-diameter hole 16A to the small-diameter hole 16B is a tangent line M (see FIG. 7) when the hand 36 rotates around the axis of the drive shaft 30. 7 and FIG. 8), the position and orientation of the keyhole-shaped hole 16 of the collar portion 10B are set. For this reason, when the hand 36 rotates about the axis of the drive shaft 30 by a predetermined rotation angle, the hook pin 38 moves inside the hole 16. Specifically, the constricted portion 38A of the hook pin 38 moves from the large diameter hole 16A toward the small diameter hole 16B. At this time, since the tip head 38B moves inside the interference avoidance hole 42, the tip head 38B does not interfere with the support groove 40 of the cooling stage 20, and the rotational movement of the hand 36 is smoothly executed.

図７及び図８に示すように、引っ掛けピン３８のくびれ部３８Ａが大径孔１６Ａから小径孔１６Ｂに向って移動することにより、先端頭部３８Ｂも干渉回避穴４２を移動して、小径孔１６Ｂの下方に位置する。その後、図５に示すように、ハンド３６がＺ軸駆動装置３４により上方向（図９中矢印Ｕ方向）に僅かに移動すると、先頭頭部３８Ｂの径が小径孔１６Ｂの径よりも大きいため、小径孔１６Ｂが先端頭部３８Ｂに支持されてハースライナーカバー１０の穴１６が引っ掛けピン３８と係合する。これにより、ハンド３６がＺ軸駆動装置３４により上方向（図５中矢印Ｕ方向）にさらに移動すると、ハースライナーカバー１０がハンド３６により引き上げられる。なお、ハンド３６には、複数の引っ掛けピン３８が設けられており、ハースライナーカバー１０の鍔部１０Ｂには複数の穴１６が形成されているため、それぞれの引っ掛けピン３８がハースライナーカバー１０の穴１６と係合する。このため、ハースライナーカバー１０とハンド３６との係合力（密着度）が高まり、ハンド３６によるハースライナーカバー１０のハンドリング時において、ハンド３６に対してハースライナーカバー１０が位置ずれすることを防止できる。このようにして、冷却ステージ２０に載せられた使用済みのハースライナーカバー１０がハンド３６によって取り除かれる。 As shown in FIGS. 7 and 8, when the constricted portion 38A of the hook pin 38 moves from the large-diameter hole 16A toward the small-diameter hole 16B, the distal end head portion 38B also moves through the interference avoidance hole 42, thereby reducing the small-diameter hole. It is located below 16B. After that, as shown in FIG. 5, when the hand 36 is slightly moved upward (in the direction of arrow U in FIG. 9) by the Z-axis drive device 34, the diameter of the head portion 38B is larger than the diameter of the small diameter hole 16B. The small-diameter hole 16B is supported by the tip head portion 38B, and the hole 16 of the hearth liner cover 10 is engaged with the hook pin 38. Accordingly, when the hand 36 is further moved upward (in the direction of arrow U in FIG. 5) by the Z-axis drive device 34, the hearth liner cover 10 is pulled up by the hand 36. The hand 36 is provided with a plurality of hook pins 38, and a plurality of holes 16 are formed in the collar portion 10 B of the hearth liner cover 10, so that each hook pin 38 of the hearth liner cover 10 is formed. Engage with hole 16. For this reason, the engaging force (adhesion degree) between the hearth liner cover 10 and the hand 36 is increased, and the hearth liner cover 10 can be prevented from being displaced relative to the hand 36 when the hearth liner cover 10 is handled by the hand 36. . In this way, the used hearth liner cover 10 placed on the cooling stage 20 is removed by the hand 36.

なお、冷却ステージ２０に新品のハースライナーカバー１０をセットする場合については、上記方法とは逆の方法で実行する。すなわち、新品のハースライナーカバー１０を保持したハンド３６がＺ軸駆動装置３４により下方向（図１矢印Ｄ方向）に移動して新品のハースライナーカバー１０の鍔部１０Ｂを冷却ステージ２０の支持溝４０に載せる。なお、ハースライナーカバー１０がハンド３６に保持された状態とは、引っ掛けピン３８のくびれ部３８Ａが小径孔１６Ｂに位置しており、ハースライナーカバー１０の穴１６が引っ掛けピン３８と係合した状態をいう。このとき、ハースライナーカバー１０の鍔部１０Ｂの下面に形成された位置決めピン１８が支持溝４０に形成された位置決め穴２２に挿入される。これにより、ハースライナーカバー１０がハンド３６の回転方向に沿って位置決めされ、冷却ステージ２０にハースライナーカバー１０を載せた状態でハンド３６が軸回りに回転しても、ハースライナーカバー１０が連れ回りしない。なお、このとき、引っ掛けピン３８の先端頭部３８Ｂが冷却ステージ２０の干渉回避穴４２に進入しているため、引っ掛けピン３８の先端頭部３８Ｂと冷却ステージ２０の干渉を防止できる。 In the case where a new hearth liner cover 10 is set on the cooling stage 20, the method is executed in the reverse manner to the above method. That is, the hand 36 holding the new hearth liner cover 10 is moved downward (in the direction of arrow D in FIG. 1) by the Z-axis drive device 34 so that the flange portion 10B of the new hearth liner cover 10 is supported in the support groove of the cooling stage 20. 40. The state where the hearth liner cover 10 is held by the hand 36 is a state where the constricted portion 38A of the hook pin 38 is located in the small diameter hole 16B and the hole 16 of the hearth liner cover 10 is engaged with the hook pin 38. Say. At this time, the positioning pin 18 formed on the lower surface of the flange portion 10 B of the hearth liner cover 10 is inserted into the positioning hole 22 formed in the support groove 40. As a result, the hearth liner cover 10 is positioned along the rotation direction of the hand 36, and even if the hand 36 rotates about the axis with the hearth liner cover 10 placed on the cooling stage 20, the hearth liner cover 10 is rotated. do not do. At this time, since the tip head portion 38B of the hook pin 38 has entered the interference avoidance hole 42 of the cooling stage 20, interference between the tip head portion 38B of the hook pin 38 and the cooling stage 20 can be prevented.

次に、ハースライナーカバー１０の鍔部１０Ｂが支持溝４０に密着した状態で、ハンド３６がθ回転駆動装置３２により所定の回転角度だけ所定の方向（負方向：係合解除方向と定義する）に向かって回転駆動される。これにより、ハンド３６が所定の回転角度だけ所定の方向（負方向：係合解除方向と定義する）に向かって駆動軸３０の軸回りに回転する。 Next, in a state where the collar portion 10B of the hearth liner cover 10 is in close contact with the support groove 40, the hand 36 is rotated by the θ rotation drive device 32 in a predetermined direction (negative direction: defined as a disengagement direction). It is driven to rotate. As a result, the hand 36 rotates around the axis of the drive shaft 30 in a predetermined direction (negative direction: defined as a disengagement direction) by a predetermined rotation angle.

ここで、大径孔１６Ａから小径孔１６Ｂに延びる穴１６の中心線Ｌ（図７及び図８参照）が、ハンド３６が駆動軸３０の軸回りに回転するときの回転方向の接線Ｍ（図７及び図８参照）と一致するように、鍔部１０Ｂの鍵穴状の穴１６の位置及び向きが設定されている。このため、ハンド３６が所定の回転角度だけ駆動軸３０の軸回りに回転することにより、引っ掛けピン３８が穴１６の内部を移動する。具体的には、引っ掛けピン３８のくびれ部３８Ａが小径孔１６Ｂから大径孔１６Ａに向って移動する。このとき、先端頭部３８Ｂは、干渉回避穴４２の内部を移動するため、先端頭部３８Ｂが冷却ステージ２０の支持溝４０と干渉せず、ハンド３６の回転運動が円滑に実行される。 Here, the center line L (see FIGS. 7 and 8) of the hole 16 extending from the large-diameter hole 16A to the small-diameter hole 16B is a tangent line M (see FIG. 7) when the hand 36 rotates around the axis of the drive shaft 30. 7 and FIG. 8), the position and orientation of the keyhole-shaped hole 16 of the collar portion 10B are set. For this reason, when the hand 36 rotates about the axis of the drive shaft 30 by a predetermined rotation angle, the hook pin 38 moves inside the hole 16. Specifically, the constricted portion 38A of the hook pin 38 moves from the small diameter hole 16B toward the large diameter hole 16A. At this time, since the tip head 38B moves inside the interference avoidance hole 42, the tip head 38B does not interfere with the support groove 40 of the cooling stage 20, and the rotational movement of the hand 36 is smoothly executed.

図９に示すように、引っ掛けピン３８のくびれ部３８Ａが大径孔１６Ａに位置したときに、ハンド３６がＺ軸駆動装置３４により上方向（図１及び図９矢印Ｕ方向）に移動して、新品のハースライナーカバー１１Ａ（１０）の鍔部１０Ｂの穴１６と引っ掛けピン３８との係合が解除される。これにより、新品のハースライナーカバー１１Ａ（１０）を冷却ステージ２０にセットすることができる。その後、ハースライナー１２の成膜材料を用いた成膜処理が実行される。 As shown in FIG. 9, when the constricted portion 38A of the hook pin 38 is positioned in the large-diameter hole 16A, the hand 36 is moved upward (in the direction of the arrow U in FIGS. 1 and 9) by the Z-axis drive device 34. The engagement between the hole 16 of the flange portion 10B of the new Hearth liner cover 11A (10) and the hook pin 38 is released. Thereby, a new hearth liner cover 11 A (10) can be set on the cooling stage 20. Thereafter, a film forming process using the film forming material of the hearth liner 12 is executed.

なお、ハンド３６によるハースライナーカバー１０の脱着作業は、ハンド３６の先端に回転機構（図示省略）を設けて行うようにしてもよい。 Note that the hearth liner cover 10 may be removed and attached by the hand 36 by providing a rotation mechanism (not shown) at the tip of the hand 36.

次に、カバーストッカ４４の作用により説明する。先ず、ハンド３６により新品のハースライナーカバー１１Ａ（１０）がカバーストッカ４４の第１ストック部４６から取り出されるときの作用について説明する。 Next, the operation of the cover stocker 44 will be described. First, an operation when the new Hearth liner cover 11A (10) is taken out from the first stock portion 46 of the cover stocker 44 by the hand 36 will be described.

図１０乃至図１２に示すように、第１ストック部４６では、新品のハースライナーカバー１１Ａ（１０）の鍔部１０Ｂの外周面に形成された位置決め溝２４に位置決め棒４６Ｂが挿入されるようにして、新品のハースライナーカバー１１Ａ（１０）がプレート４６Ａに載せられている。これにより、新品のハースライナーカバー１１Ａ（１０）は、プレート４６Ａ上に位置決めされた状態でストックされている。なお、新品のハースライナーカバー１１Ａ（１０）は、複数枚のハースライナーカバー１１Ａ（１０）が高さ方向に積み重ねられるようにしてストックされている。 As shown in FIGS. 10 to 12, in the first stock portion 46, the positioning rod 46B is inserted into the positioning groove 24 formed on the outer peripheral surface of the flange portion 10B of the new hearth liner cover 11A (10). A new hearth liner cover 11A (10) is placed on the plate 46A. Thereby, the new Hearth liner cover 11A (10) is stocked in a state of being positioned on the plate 46A. The new Hearth liner cover 11A (10) is stocked such that a plurality of Hearth liner covers 11A (10) are stacked in the height direction.

このため、ハンド３６がＺ軸駆動装置３４及びθ回転駆動装置３２により移動して、プレート４６Ａに積まれている新品のハースライナーカバー１１Ａ（１０）（複数枚のハースライナーカバー１１Ａ（１０）の最上位位置）に接近して、引っ掛けピン３８が鍔部１０Ｂの穴１６に挿入されて係合される。そして、新品のハースライナーカバー１１Ａ（１０）を保持したハンド３６がＺ軸駆動装置３４及びθ回転駆動装置３２により移動して、新品のハースライナーカバー１１Ａ（１０）が冷却ステージ２０に載せられる。なお、ハンド３６による新品のハースライナーカバー１１Ａ（１０）の保持及び保持の解除については、上記の内容と同様であるため、説明を省略する。 For this reason, the hand 36 is moved by the Z-axis drive device 34 and the θ rotation drive device 32, and the new Hearth liner cover 11A (10) (a plurality of Hearth liner covers 11A (10)) stacked on the plate 46A is obtained. The hook pin 38 is inserted into the hole 16 of the collar portion 10B and engaged with the uppermost position). Then, the hand 36 holding the new hearth liner cover 11A (10) is moved by the Z-axis driving device 34 and the θ rotation driving device 32, and the new hearth liner cover 11A (10) is placed on the cooling stage 20. In addition, about holding | maintenance of the new hearth liner cover 11A (10) by the hand 36, and cancellation | release of holding | maintenance are the same as said content, description is abbreviate | omitted.

次に、ハンド３６により使用済みのハースライナーカバー１１Ｂ（１０）がカバーストッカ４４の第２ストック部４８に収容されるときの作用について説明する。 Next, an operation when the used hearth liner cover 11B (10) is accommodated in the second stock portion 48 of the cover stocker 44 by the hand 36 will be described.

図１０乃至図１２に示すように、使用済みのハースライナーカバー１１Ｂ（１０）は、ハンド３６によりカバーストッカ４４の第２ストック部４８に収容される。すなわち、使用済みのハースライナーカバー１１Ｂ（１０）がハンド３６により保持された状態で、ハンド３６がＺ軸駆動装置３４及びθ回転駆動装置３２により移動して、使用済みのハースライナーカバー１１Ｂ（１０）がカバーストッカ４４の第２ストック部４８まで運ばれる。 As shown in FIGS. 10 to 12, the used hearth liner cover 11 B (10) is accommodated in the second stock portion 48 of the cover stocker 44 by the hand 36. That is, in a state where the used hearth liner cover 11B (10) is held by the hand 36, the hand 36 is moved by the Z-axis driving device 34 and the θ rotation driving device 32, and the used hearth liner cover 11B (10 ) Is carried to the second stock portion 48 of the cover stocker 44.

ここで、図１３に示すように、第２ストック部４８の位置決めロッド４８Ａが使用済みのハースライナーカバー１１Ｂ（１０）の位置決め溝２４に挿入するように、ハンド３６の位置及び向きがＺ軸駆動装置３４及びθ回転駆動装置３２により制御されて、使用済みのハースライナーカバー１１Ｂ（１０）が移動プレート４８Ｂに載せられる。そして、図１４、図１５及び図１６に示すように、使用済みのハースライナーカバー１１Ｂ（１０）を保持したハンド３６がロック部材４８Ｄの支持片４８Ｆを上方向から所定の圧力で押圧する。これにより、ハンド３６から支持片４８Ｆに作用する圧力がバネ部材４８Ｇの弾性力及びコイルばね４８Ｃの弾性力の合力よりも大きい場合には、支持片４８Ｆは、バネ部材４８Ｇから作用する弾性力に対抗しながら回転軸４８Ｅの軸回りを下方向に回転する。また同時に、移動プレート４８Ｂがコイルばね４８Ｃの弾性力に対抗しながら下方向に移動する。なお、図１７に示すように、移動プレート４８Ｂがコイルばね４８Ｃの弾性力に対抗しながら下方向に移動する間、ロック部材４８Ｄの支持片４８Ｆにはハンド３６からの圧力が作用していないため、ロック部材４８Ｄの支持片４８Ｆがバネ部材４８Ｇからの弾性力を受けて初期位置（図１３及び図１７の状態）に戻る。 Here, as shown in FIG. 13, the position and orientation of the hand 36 is Z-axis driven so that the positioning rod 48A of the second stock portion 48 is inserted into the positioning groove 24 of the used hearth liner cover 11B (10). The used hearth liner cover 11B (10) is placed on the moving plate 48B under the control of the device 34 and the θ rotation driving device 32. Then, as shown in FIGS. 14, 15 and 16, the hand 36 holding the used hearth liner cover 11B (10) presses the support piece 48F of the lock member 48D from above with a predetermined pressure. As a result, when the pressure acting on the support piece 48F from the hand 36 is greater than the resultant force of the spring member 48G and the elastic force of the coil spring 48C, the support piece 48F applies the elastic force acting on the spring member 48G. It rotates around the axis of the rotation shaft 48E while facing it. At the same time, the moving plate 48B moves downward while resisting the elastic force of the coil spring 48C. As shown in FIG. 17, pressure from the hand 36 does not act on the support piece 48F of the lock member 48D while the moving plate 48B moves downward while resisting the elastic force of the coil spring 48C. The support piece 48F of the lock member 48D receives the elastic force from the spring member 48G and returns to the initial position (the state shown in FIGS. 13 and 17).

使用済みのハースライナーカバー１１Ｂ（１０）が移動プレート４８Ｂに載せられて下方向に移動した後、ハンド３６がＺ軸駆動装置３４によって上方向に移動する。これにより、図１８に示すように、移動プレート４８Ｂがコイルばね４８Ｃからの弾性力を受けて上方向に移動する。そして、使用済みのハースライナーカバー１１Ｂ（１０）の鍔部１０Ｂが支持片４８Ｆの下面を下方から所定の圧力で押圧する。これにより、使用済みのハースライナーカバー１１Ｂ（１０）は、コイルばね４８Ｃからの弾性力により上方向に付勢され、かつ鍔部１０Ｂが支持片４８Ｆからの反作用力により下方向に押圧される。この結果、使用済みのハースライナーカバー１１Ｂ（１０）は、ロック部材４８Ｄの支持片４８Ｆと移動プレート４８Ｂとにより上下方向から挟持された状態となって固定される。 After the used Hearth liner cover 11B (10) is placed on the moving plate 48B and moved downward, the hand 36 is moved upward by the Z-axis drive device 34. Thereby, as shown in FIG. 18, the moving plate 48B receives the elastic force from the coil spring 48C and moves upward. Then, the collar portion 10B of the used hearth liner cover 11B (10) presses the lower surface of the support piece 48F from below with a predetermined pressure. As a result, the used hearth liner cover 11B (10) is biased upward by the elastic force from the coil spring 48C, and the flange portion 10B is pressed downward by the reaction force from the support piece 48F. As a result, the used hearth liner cover 11B (10) is fixed in a state of being sandwiched from above and below by the support piece 48F of the lock member 48D and the moving plate 48B.

その後、ハンド３６の引っ掛けピン３８と使用済みのハースライナーカバー１１Ｂ（１０）の鍔部１０Ｂの穴１６との係合が解除される。なお、ハンド３６の引っ掛けピン３８と使用済みのハースライナーカバー１１Ｂ（１０）の鍔部１０Ｂの穴１６との係合の解除方法については、上述した通りであるため、省略する。 Thereafter, the engagement between the hook pin 38 of the hand 36 and the hole 16 of the collar portion 10B of the used hearth liner cover 11B (10) is released. The method for releasing the engagement between the hook pin 38 of the hand 36 and the hole 16 of the collar portion 10B of the used hearth liner cover 11B (10) is the same as described above, and is therefore omitted.

以上のような工程を経て、使用済みのハースライナーカバー１１Ｂ（１０）が順次、移動プレート４８Ｂに載せられて、第２ストック部４８に収容されていく。これにより、移動プレート４８Ｂ上には、複数枚の使用済みのハースライナーカバー１１Ｂ（１０）が高さ方向に積み重ねられていく。 Through the above steps, the used hearth liner cover 11B (10) is sequentially placed on the moving plate 48B and accommodated in the second stock portion 48. Thereby, a plurality of used hearth liner covers 11B (10) are stacked in the height direction on the moving plate 48B.

第１実施形態のハースライナーカバー交換機構によれば、ハンド３６がＺ軸駆動装置３４及びθ回転駆動装置３２よりＺ軸駆動及びθ回転駆動するだけで、ハースライナーカバー１０の保持と保持解除（脱着作業）が可能になる。このため、ハンド３６にハースライナーカバー１０を保持させたり、保持を解除させるための複雑な機構の装置が不要になる。特に、静電チャックなどの装置が一切不要になる。これにより、ハースライナーカバー交換機構の構成を簡易なものにすることができ、小型化及び低コスト化（ハースライナーカバー交換機構の製造コストの削減）を図ることができる。 According to the hearth liner cover replacement mechanism of the first embodiment, the hearth liner cover 10 can be held and released only by the hand 36 being driven in the Z axis drive and the θ rotation by the Z axis drive device 34 and the θ rotation drive device 32 ( Desorption work) becomes possible. For this reason, the apparatus of the complicated mechanism for making the hand 36 hold | maintain the Hearth liner cover 10 and cancel | release a holding | maintenance becomes unnecessary. In particular, no device such as an electrostatic chuck is required. Thereby, the configuration of the hearth liner cover replacement mechanism can be simplified, and downsizing and cost reduction (reduction in manufacturing cost of the hearth liner cover replacement mechanism) can be achieved.

また、ハンド３６がＺ軸駆動装置３４及びθ回転駆動装置３２によりＺ軸駆動及びθ回転駆動されるだけで、ハンド３６の引っ掛けピン３８がハースライナーカバー１０の穴１６と係合してハースライナーカバー１０がハンド３６により保持される。このため、他のハンドを用いることなく、ハースライナーカバー１０の鍔部１０Ｂを冷却ステージ２０の支持溝４０に密着させることができる。 Further, the hook 36 of the hand 36 is engaged with the hole 16 of the hearth liner cover 10 only by the Z axis driving and the θ rotation driving of the hand 36 by the Z axis driving device 34 and the θ rotation driving device 32, and the hearth liner is engaged. The cover 10 is held by the hand 36. For this reason, the collar part 10 B of the hearth liner cover 10 can be brought into close contact with the support groove 40 of the cooling stage 20 without using another hand.

なお、ハースライナーカバー１０の鍔部１０Ｂには、鍵穴状の穴１６が形成されているだけで、ハンド３６による保持が可能になる。このため、ハースライナーカバー１０の形状の自由度（設計自由度）を高めることができる。 Note that the hand 36 can be held only by forming the keyhole-shaped hole 16 in the collar portion 10 B of the hearth liner cover 10. For this reason, the freedom degree (design freedom degree) of the shape of the hearth liner cover 10 can be raised.

また、カバーストッカ４４の第１ストック部４６に新品のハースライナーカバー１１Ａ（１０）が収容されており、第２ストック部４８に使用済みのハースライナーカバー１１Ｂ（１０）が収容される。特に、ハンド３６で使用済みのハースライナーカバー１１Ｂ（１０）を保持した状態で第２ストック部４８に使用済みのハースライナーカバー１１Ｂ（１０）をそのまま収容することができるため、収容性を格段に向上させるこができる。 Further, a new hearth liner cover 11A (10) is accommodated in the first stock portion 46 of the cover stocker 44, and a used hearth liner cover 11B (10) is accommodated in the second stock portion 48. In particular, since the used Hearth liner cover 11B (10) can be stored in the second stock portion 48 in a state where the used Hearth liner cover 11B (10) is held by the hand 36, the storage capacity is remarkably improved. Can be improved.

また、カバーストッカ４４には、ハースライナーカバー１０を収容するための駆動機構を設ける必要がないため、カバーストッカ４４を簡易な構成のものにすることができる。この結果、カバーストッカ４４を小型化及び低コストすることができる。 Further, since it is not necessary to provide the cover stocker 44 with a drive mechanism for housing the hearth liner cover 10, the cover stocker 44 can be of a simple configuration. As a result, the cover stocker 44 can be reduced in size and cost.

さらに、ハースライナーカバー交換機構及びカバーストッカ４４を成膜装置に適用することにより、成膜装置の真空状態を維持した状態で、ハースライナーカバーを交換することができる。これにより、成膜装置の稼働率を高めることができる。 Furthermore, by applying the hearth liner cover replacement mechanism and the cover stocker 44 to the film forming apparatus, it is possible to replace the hearth liner cover while maintaining the vacuum state of the film forming apparatus. Thereby, the operation rate of the film-forming apparatus can be increased.

１０ハースライナーカバー
１０Ｂ鍔部
１６穴
１６Ａ大径孔
１６Ｂ小径孔
１８位置決めピン
２０冷却ステージ（冷却部）
２２位置決め穴
３０駆動軸（軸）
３６ハンド
３８引っ掛けピン（保持部）
４４カバーストッカ（収容装置）
４６第１ストック部（供給側収容装置）
４８第２ストック部（排出側収容装置）
４８Ｂ移動プレート
４８Ｃコイルばね（弾性部材）
４８Ｄロック部材
10 Hearth liner cover 10B collar 16 hole 16A large diameter hole 16B small diameter hole 18 positioning pin 20 cooling stage (cooling part)
22 Positioning hole 30 Drive shaft (axis)
36 Hand 38 Hook pin (holding part)
44 Cover stocker
46 1st stock section (supply side storage device)
48 Second stock section (discharge-side storage device)
48B Moving plate 48C Coil spring (elastic member)
48D Lock member

Claims

A hearth liner cover exchange mechanism for exchanging a hearth liner cover provided on an upper part of a hearth of a film forming apparatus having a collar part formed with a keyhole-shaped hole composed of a small diameter hole and a large diameter hole,
Having a hand that is movable in the vertical direction and rotatable about the axis of the axis extending in the vertical direction;
The hand includes a holding unit that holds the hearth liner cover by being hooked in the hole,
The tangent in the rotational direction when the hand rotates about the axis of the shaft coincides with the center line of the hole extending from the small diameter hole to the large diameter hole,
A hearth liner cover replacement mechanism in which the holding portion and the hole engage with each other when the hand rotates around the axis of the shaft while the holding portion is inserted into the hole.

The said holding | maintenance part advances into the said small diameter hole, and supports the said collar part by the said hand rotating around the axis | shaft of the said axis | shaft in the state which the said holding | maintenance part penetrated the said large diameter hole. Hearth liner cover replacement mechanism.

The hearth liner cover is used in the film forming apparatus held in a cooling unit provided around the hearth,
The said Hearth liner cover has a positioning pin inserted in the positioning hole formed in the said cooling part, and positioning the said Hearth liner cover in the circumference direction of the said axis | shaft. Hearth liner cover replacement mechanism.

The hearth liner cover replacement mechanism according to any one of claims 1 to 3, further comprising a storage device that stores the hearth liner cover.

The storage device includes a supply-side storage device that supplies the hearth liner cover, and a discharge-side storage device that discharges the hearth liner cover,
The discharge-side storage device is
A support member provided so as to be movable in a linear direction and supporting the hearth liner cover;
The hearth liner cover can be placed on the support member by rotating about an axis over a range of a predetermined rotation angle, and the flange portion of the hearth liner cover stacked on the support member can be contacted. A locking member that is prevented from rotating about an axis by being pressed from the flange,
An elastic member that causes an elastic force to act on the support member, moves the support member in a linear direction, and presses the lock member of the hearth liner cover stacked on the support member;
The hearth liner cover replacement mechanism according to claim 4, comprising:

The hearth according to claim 5, wherein the hearth liner that performs vapor deposition, the supply-side storage device, and the discharge-side storage device are arranged on the same circumference around the rotation axis of the hand. Liner cover replacement mechanism.