JP5453602B2 - 無電解Cuめっき液および無電解Cuめっき方法 - Google Patents
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そして、この特許文献1では、無電解Cuめっき皮膜中にCNTを混入できることにも言及している。
しかしながら、無電解Cuめっきの場合には、電解Cuめっきとはめっきの原理が異なり、電解Cuめっきの場合ほどは、Cuめっき皮膜中にCNTを良好に取り込むことはできなかった。
トリメチルセチルアンモニウム塩は、トリメチルセチルアンモニウムクロリドが好適である。
また、無電解Cuめっきであることから、被めっき物が複雑な形状のものであっても均一な膜厚が得られる。
本実施の形態における無電解Cuめっき液は、CNTと、該CNTを分散させるトリメチルセチルアンモニウム塩を含むことを特徴とする。
トリメチルセチルアンモニウム塩としては、トリメチルセチルアンモニウムクロリドが好適である。
CNTの種類は特に限定されないが、VGCF(商標)のような、太さが100nm〜200nmで、長さが10μm〜20μmの大きなサイズのCNTもめっき皮膜中に取り込むことができる。
このような大きなサイズのCNTは、長さを3〜4μm程度のものに調整したものの方が、めっき皮膜中に良好に取り込むことができた。
なお、本実施の形態において、CNTとは、カーボンナノチューブの他、フッ素化カーボンナノチューブなど、カーボンナノチューブの誘導体も含むものとする。
このトリメチルセチルアンモニウム塩は、CNTを無電解Cuめっき液中に良好に分散させることができる。
上記のように、トリメチルセチルアンモニウム塩はカチオン系の界面活性剤であって、めっき液中で正に帯電し、直鎖状の長い分子でCNTによく絡みつき、CNTを正に帯電させると考えられる。そして、CNTがこのように正に帯電することから、CNTが無電解Cuめっき皮膜に強く吸着され、この状態でさらにめっき皮膜が積み上がっていくことから、CNTがめっき皮膜中に良好に取り込まれると考えられる。直鎖状の長い分子であることから、VGCF(商標)のような太いCNTであっても、CNTによく絡みつき、CNTが良好にめっき皮膜中に取り込まれる一因となっていると考えられる。なお、VGCF(商標)を3〜4μm程度に短く切断した方が、めっき皮膜中への取り込み性は良好であった。
上記のように、正に帯電したCNTは、一端においてめっき皮膜に強く吸着され、この状態でめっき皮膜が積み上がっていくことから、CNTはめっき皮膜中で斜めに取り込まれるものが多いと考えられる。
また、被めっき物が金属、非金属に関わらずめっきが可能であり、各種電気・電子機器における電磁波シールド効果が期待できる。
CuSO4・5H2O 0.06M
CHOCOOH・H2O 0.03M
EDTA・2Na 0.1M
分散剤TMSAC 1.7×10−3、1.7×10−4、1.7×10−5M
CNT 2g/l
なお、TMSACは、トリメチルセチルアンモニウムクロリドである。
また、CNTは、ILIJIN社製のMWCNT:直径10〜15nm、長さ10〜20μmのものを用いた。
基板
銅板(3.3cm×3cm)
前処理
通常法(酸性SnCl2溶液を用いた感受性化+酸性PdCl2溶液を用いた活性化)
めっき条件
温度:50℃、pH:12.1、時間:120分、攪拌:スターラー攪拌(1500rpm)
膜の評価
微細構造:FE−SEM(電界放出型走査電子顕微鏡)
図1(A)は、分散剤(TMSAC)を1.7×10−3M添加したもので、図1(B)はその拡大写真である。図1(B)に示されるように、CNTは、めっき膜表面に露出気味ではあるが、Cuめっき膜中に取り込まれている。
図1(E)は、分散剤(TMSAC)を1.7×10−5M添加したもので、図1(F)はその拡大写真である。図1(F)に示されるように、CNTは、Cuめっき膜中に取り込まれている。
また、カチオン系ではないが、ポリエチレングリコールモノ−p−ノニルフェニルエーテルや、ポリアクリルアミドを分散剤として用いたところ、CNTを無電解Cuめっき液中に良好に分散させることはできなかった。
Claims (4)
- 無電解Cuめっき液において、
CNTと、
該CNTを分散させるトリメチルセチルアンモニウム塩を含むことを特徴とする無電解Cuめっき液。 - トリメチルセチルアンモニウム塩がトリメチルセチルアンモニウムクロリドであることを特徴とする請求項1記載の無電解Cuめっき液。
- 請求項1または2記載の無電解Cuめっき液を用いて無電解めっきを行い、被めっき物に、CNTが埋没した無電解Cuめっき皮膜を形成することを特徴とする無電解Cuめっき方法。
- 請求項1または2記載の無電解Cuめっき液を用いて無電解めっきを行い、被めっき物に、表面にCNTの先端が突出した無電解Cuめっき皮膜を形成することを特徴とする無電解Cuめっき方法。
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