JP5466522B2 - Photocurable resin composition, dry film and cured product thereof, and printed wiring board using them - Google Patents
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Description
本発明は、プリント配線基板のソルダーレジスト等として用いられる光硬化性樹脂組成物、そのドライフィルム及び硬化物並びにそれらを用いたプリント配線板に関する。 The present invention relates to a photocurable resin composition used as a solder resist or the like for a printed wiring board, a dry film and a cured product thereof, and a printed wiring board using them.
近年、エレクトロニクス機器の軽薄短小化に伴うプリント配線板の高密度化に対応して、ソルダーレジストにも作業性や高性能化が要求されている。また、最近では、電子機器の小型化、軽量化、高性能化に伴い、半導体パッケージの小型化、多ピン化が実用化され、量産化が進んでいる。このような高密度化に対応して、QFP(クワッド・フラットパック・パッケージ)、SOP(スモール・アウトライン・パッケージ)等と呼ばれるICパッケージに代わって、BGA(ボール・グリッド・アレイ)、CSP(チップ・スケール・パッケージ)等と呼ばれるICパッケージが登場した。このようなパッケージ基板や車載用のプリント配線板に用いられるソルダーレジストとしては、従来、種々の光硬化性樹脂組成物が提案されている(例えば、特許文献1参照)。 In recent years, solder resists are required to have higher workability and higher performance in response to the increase in the density of printed wiring boards accompanying the reduction in the size of electronic devices. Recently, along with the downsizing, lightening, and high performance of electronic devices, downsizing of semiconductor packages and increasing the number of pins have been put into practical use, and mass production is progressing. In response to this high density, BGA (ball grid array), CSP (chip) instead of IC packages called QFP (quad flat pack package), SOP (small outline package), etc. An IC package called “Scale Package” has appeared. As a solder resist used for such a package substrate or an in-vehicle printed wiring board, various photocurable resin compositions have been conventionally proposed (for example, see Patent Document 1).
ソルダーレジストなどの絶縁材料に対しては、高い絶縁信頼性が要求されており、また、例えば、BGA(ボールグリッドアレイ)、CSP(チップサイズパッケージ)等の半導体パッケージにおいて、高信頼性を得るために、特に耐湿熱性ともいうべきPCT(プレッシャークッカーテスト)耐性が要求されている。 Insulating materials such as solder resists are required to have high insulation reliability. For example, in order to obtain high reliability in semiconductor packages such as BGA (ball grid array) and CSP (chip size package). In particular, PCT (pressure cooker test) resistance, which should also be referred to as moisture and heat resistance, is required.
一方、生産性の観点からは、ドライフィルム型ソルダーレジストにおいては、(1)ハンドリングクラックの発生を抑制すること、(2)ドライフィルムシートの切断時にクラックを発生させないこと、(3)フィルム切断時に樹脂の飛散を解消することが要求されている。しかしながら、従来の光硬化性樹脂組成物からドライフィルム型ソルダーレジストを調製した場合、ハンドリング時にクラックが発生したり、ドライフィルムシートの切断時にクラックが発生したり、またフィルム切断時に樹脂の飛散が発生し易いという問題があった。 On the other hand, from the viewpoint of productivity, in the dry film type solder resist, (1) suppressing the generation of handling cracks, (2) not generating cracks when cutting the dry film sheet, (3) when cutting the film It is required to eliminate the scattering of resin. However, when a dry film type solder resist is prepared from a conventional photocurable resin composition, cracks occur during handling, cracks occur when cutting a dry film sheet, and resin scatter occurs during film cutting. There was a problem that it was easy to do.
従って、本発明の目的は、ドライフィルムを調製したときのハンドリングクラックの発生、ドライフィルムシートの切断時におけるクラックの発生、フィルム切断時の樹脂の飛散を抑制できると共に、PCT時に生じるソルダーレジストの膨れや剥がれを抑制でき、また、これらの特性に加えて、従来からのプリント配線板のソルダーレジストや多層配線板の層間絶縁材料等に要求される耐熱性、密着性、解像性、無電解めっき耐性、PCT耐性等の特性を向上させ、且つ、特にICパッケージに要求される弾性や強靭性等の特性に優れる硬化皮膜が得られ、プリント配線板の高密度化、面実装化に対応可能で、アルカリ現像可能な光硬化性樹脂組成物を提供することにある。
さらに本発明の目的は、このような光硬化性樹脂組成物を用いることによって得られる上記のような諸特性に優れたドライフィルム及び硬化物、並びに該ドライフィルムや硬化物によりソルダーレジスト等の硬化皮膜が形成されてなるプリント配線板を提供することにある。
Therefore, the object of the present invention is to suppress the generation of handling cracks when a dry film is prepared, the generation of cracks when cutting a dry film sheet, and the scattering of resin when the film is cut, and the swelling of the solder resist that occurs during PCT In addition to these characteristics, heat resistance, adhesion, resolution, and electroless plating required for conventional solder resists for printed wiring boards and interlayer insulation materials for multilayer wiring boards Hardened film with improved properties such as resistance and PCT resistance and excellent properties such as elasticity and toughness especially required for IC packages can be obtained, and can be used for high-density printed circuit boards and surface mounting. An object of the present invention is to provide a photocurable resin composition that can be developed with an alkali.
Furthermore, the object of the present invention is to obtain a dry film and a cured product excellent in various properties as described above obtained by using such a photocurable resin composition, and to cure a solder resist or the like with the dry film or the cured product. It is providing the printed wiring board by which a membrane | film | coat is formed.
前記目的を達成するために、本発明によれば、カルボキシル基含有樹脂、光重合開始剤、フィラー、及びエラストマーを含む組成物であって、上記フィラーの含有量は組成物の不揮発成分全体量の25〜40容量%であり、上記エラストマーの含有割合は、フィラー:エラストマー=90:10〜70:30(質量比)の範囲内にあることを特徴とするアルカリ溶液により現像可能な光硬化性樹脂組成物が提供される。
好適な態様においては、前記エラストマーは不飽和二重結合を有し、この場合、光硬化性樹脂組成物はさらに酸化防止剤を含む。別の好適な態様においては、前記カルボキシル基含有樹脂は、エチレン性不飽和二重結合を有するカルボキシル基含有感光性樹脂である。
To achieve the above object, according to the present invention, a composition comprising a carboxyl group-containing resin, a photopolymerization initiator, a filler, and an elastomer, wherein the filler content is the total amount of nonvolatile components in the composition. The photo-curable resin that can be developed with an alkaline solution, wherein the content of the elastomer is in the range of filler: elastomer = 90: 10 to 70:30 (mass ratio). A composition is provided.
In a preferred embodiment, the elastomer has an unsaturated double bond, and in this case, the photocurable resin composition further contains an antioxidant. In another preferred embodiment, the carboxyl group-containing resin is a carboxyl group-containing photosensitive resin having an ethylenically unsaturated double bond.
また、本発明によれば、前記光硬化性樹脂組成物を、フィルムに塗布・乾燥して得られるドライフィルムが提供される。さらに、前記光硬化性樹脂組成物を基材に塗布し、又は前記光硬化性樹脂組成物をフィルムに塗布・乾燥して得られるドライフィルムを基材上にラミネートし、活性エネルギー線の照射により光硬化させて得られる硬化物、特に銅上にて光硬化させて得られる硬化物や、パターン状に光硬化して得られる硬化物も提供される。
さらに本発明によれば、前記光硬化性樹脂組成物を基材上に塗布して形成した塗膜、又は前記光硬化性樹脂組成物をフィルムに塗布・乾燥して得られるドライフィルムを基材上にラミネートし形成した塗膜を、パターン状に光硬化させて得られる硬化皮膜を有することを特徴とするプリント配線板も提供される。
Moreover, according to this invention, the dry film obtained by apply | coating and drying the said photocurable resin composition to a film is provided. Furthermore, the photocurable resin composition is applied to a base material, or a dry film obtained by applying and drying the photocurable resin composition to a film is laminated on the base material, and irradiated with active energy rays. A cured product obtained by photocuring, particularly a cured product obtained by photocuring on copper, and a cured product obtained by photocuring in a pattern are also provided.
Furthermore, according to the present invention, a coating film formed by applying the photocurable resin composition on a substrate, or a dry film obtained by applying and drying the photocurable resin composition on a film is used as a substrate. There is also provided a printed wiring board characterized by having a cured film obtained by photocuring a coating film formed by laminating on a film.
本発明の光硬化性樹脂組成物は、カルボキシル基含有樹脂、光重合開始剤、フィラー、及びエラストマーを含む組成物であって、上記フィラーの含有量が組成物の不揮発成分全体量の25〜40容量%であり、上記エラストマーの含有割合がフィラー:エラストマー=90:10〜70:30(質量比)の範囲内にあるため、ドライフィルムを調製したときのハンドリングクラックの発生、ドライフィルムシートの切断時におけるクラックの発生、フィルム切断時の樹脂の飛散を抑制できると共に、高感度を有し、且つ、その硬化物において、例えばプリント配線板や半導体パッケージに用いられる際に、優れた解像性、PCT耐性、高い信頼性を得ることが可能となる。 The photocurable resin composition of the present invention is a composition containing a carboxyl group-containing resin, a photopolymerization initiator, a filler, and an elastomer, and the content of the filler is 25 to 40 of the total amount of nonvolatile components of the composition. Since the content ratio of the elastomer is in the range of filler: elastomer = 90: 10 to 70:30 (mass ratio), generation of handling cracks when a dry film is prepared, and cutting of the dry film sheet The generation of cracks at the time, the scattering of the resin at the time of film cutting can be suppressed, and it has high sensitivity, and in its cured product, for example, when used for a printed wiring board or a semiconductor package, excellent resolution, PCT resistance and high reliability can be obtained.
本発明者らは、前述した課題を解決するため鋭意検討を重ねた結果、エラストマーと共にフィラーを配合することにより、組成物の必須成分であるフィラーを25〜40容量%の範囲の高含有量で配合できること、及びそれにより本発明の光硬化性樹脂組成物から得られる硬化物のガラス転移温度Tgが上昇し、PCT耐性が向上することを見出した。さらに、フィラーと共にエラストマーをバランス良く併用することにより、ドライフィルムシートを切断するときに発生するクラックを解消し、ハンドリングクラックも発生しないことを見出し、本発明を完成するに至ったものである。即ち、本発明によれば、上記のような優れた特性を発揮でき、また、作業性が良好で、高感度を有し、且つ、その硬化物において、例えばプリント配線板や半導体パッケージに用いられる際に、優れたPCT耐性、クラック耐性、解像性を発揮することができるアルカリ溶液により現像可能な光硬化性樹脂組成物を提供することができる。
さらに本発明者らの研究によれば、エラストマーが不飽和二重結合を有する場合には耐熱性が向上することも判明した。この場合、エラストマーの酸化・分解による塗膜劣化を防止するという理由から、酸化防止剤を配合することが好ましい。
As a result of intensive studies to solve the above-mentioned problems, the present inventors have blended a filler together with an elastomer so that the filler, which is an essential component of the composition, has a high content in the range of 25 to 40% by volume. It discovered that it could mix | blend and that the glass transition temperature Tg of the hardened | cured material obtained from the photocurable resin composition of this invention rose, and PCT tolerance improved. Furthermore, it has been found that by using an elastomer together with a filler in a well-balanced manner, cracks that occur when cutting a dry film sheet are eliminated and handling cracks are not generated, and the present invention has been completed. That is, according to the present invention, the above excellent characteristics can be exhibited, the workability is good, the sensitivity is high, and the cured product is used for, for example, a printed wiring board or a semiconductor package. In this case, it is possible to provide a photocurable resin composition that can be developed with an alkaline solution that can exhibit excellent PCT resistance, crack resistance, and resolution.
Further, according to the study by the present inventors, it has been found that the heat resistance is improved when the elastomer has an unsaturated double bond. In this case, it is preferable to add an antioxidant for the reason of preventing coating film deterioration due to oxidation and decomposition of the elastomer.
本発明の光硬化性樹脂組成物は、カルボキシル基含有樹脂を用いることでアルカリ現像性を付与することが可能となる。カルボキシル基含有樹脂としては、分子中にカルボキシル基を有している従来公知の各種カルボキシル基含有樹脂を使用できる。特に、分子中にエチレン性不飽和二重結合を有するカルボキシル基含有感光性樹脂が、光硬化性や耐現像性の面からより好ましい。そして、その不飽和二重結合は、アクリル酸もしくはメタアクリル酸又はそれらの誘導体由来のものが好ましい。尚、エチレン性不飽和二重結合を有さないカルボキシル基含有樹脂のみを用いる場合、組成物を光硬化性とするためには、後述する分子中に複数のエチレン性不飽和基を有する化合物、即ち光重合性モノマーを併用する必要がある。
カルボキシル基含有樹脂の具体例としては、以下に列挙するような化合物(オリゴマー及びポリマーのいずれでもよい)を好適に使用できる。
The photocurable resin composition of the present invention can impart alkali developability by using a carboxyl group-containing resin. As the carboxyl group-containing resin, various conventionally known carboxyl group-containing resins having a carboxyl group in the molecule can be used. In particular, a carboxyl group-containing photosensitive resin having an ethylenically unsaturated double bond in the molecule is more preferable in terms of photocurability and development resistance. And the unsaturated double bond is preferably derived from acrylic acid, methacrylic acid or derivatives thereof. In the case of using only a carboxyl group-containing resin having no ethylenically unsaturated double bond, in order to make the composition photocurable, a compound having a plurality of ethylenically unsaturated groups in the molecule described below, That is, it is necessary to use a photopolymerizable monomer in combination.
As specific examples of the carboxyl group-containing resin, compounds listed below (any of oligomers and polymers) can be suitably used.
(1)(メタ)アクリル酸等の不飽和カルボン酸と、スチレン、α−メチルスチレン、低級アルキル(メタ)アクリレート、イソブチレン等の不飽和基含有化合物との共重合により得られるカルボキシル基含有樹脂。 (1) A carboxyl group-containing resin obtained by copolymerization of an unsaturated carboxylic acid such as (meth) acrylic acid and an unsaturated group-containing compound such as styrene, α-methylstyrene, lower alkyl (meth) acrylate, and isobutylene.
(2)脂肪族ジイソシアネート、分岐脂肪族ジイソシアネート、脂環式ジイソシアネート、芳香族ジイソシアネート等のジイソシアネートと、ジメチロールプロピオン酸、ジメチロールブタン酸等のカルボキシル基含有ジアルコール化合物及びポリカーボネート系ポリオール、ポリエーテル系ポリオール、ポリエステル系ポリオール、ポリオレフィン系ポリオール、アクリル系ポリオール、ビスフェノールA系アルキレンオキシド付加体ジオール、フェノール性ヒドロキシル基及びアルコール性ヒドロキシル基を有する化合物等のジオール化合物の重付加反応によるカルボキシル基含有ウレタン樹脂。 (2) Diisocyanates such as aliphatic diisocyanates, branched aliphatic diisocyanates, alicyclic diisocyanates, and aromatic diisocyanates; carboxyl group-containing dialcohol compounds such as dimethylolpropionic acid and dimethylolbutanoic acid, polycarbonate polyols, and polyethers A carboxyl group-containing urethane resin by a polyaddition reaction of a diol compound such as a polyol, a polyester-based polyol, a polyolefin-based polyol, an acrylic polyol, a bisphenol A-based alkylene oxide adduct diol, a compound having a phenolic hydroxyl group and an alcoholic hydroxyl group.
(3)ジイソシアネートと、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビキシレノール型エポキシ樹脂、ビフェノール型エポキシ樹脂等の2官能エポキシ樹脂の(メタ)アクリレートもしくはその部分酸無水物変性物、カルボキシル基含有ジアルコール化合物及びジオール化合物の重付加反応によるカルボキシル基含有感光性ウレタン樹脂。 (3) Diisocyanate and bifunctional epoxy resin such as bisphenol A type epoxy resin, hydrogenated bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, bixylenol type epoxy resin, biphenol type epoxy resin ( A carboxyl group-containing photosensitive urethane resin obtained by a polyaddition reaction of (meth) acrylate or a partially acid anhydride-modified product thereof, a carboxyl group-containing dialcohol compound, and a diol compound.
(4)前記(2)又は(3)の樹脂の合成中に、ヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート等の分子中に1つの水酸基と1つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物を加え、末端(メタ)アクリル化したカルボキシル基含有感光性ウレタン樹脂。 (4) During the synthesis of the resin of (2) or (3), a compound having one hydroxyl group and one or more (meth) acryloyl groups in a molecule such as hydroxyalkyl (meth) acrylate is added, and the terminal ( (Meth) acrylic carboxyl group-containing photosensitive urethane resin.
(5)前記(2)又は(3)の樹脂の合成中に、イソホロンジイソシアネートとペンタエリスリトールトリアクリレートの等モル反応物など、分子中に1つのイソシアネート基と1つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物を加え末端(メタ)アクリル化したカルボキシル基含有感光性ウレタン樹脂。 (5) During the synthesis of the resin of (2) or (3), one isocyanate group and one or more (meth) acryloyl groups are introduced into the molecule, such as an equimolar reaction product of isophorone diisocyanate and pentaerythritol triacrylate. A carboxyl group-containing photosensitive urethane resin obtained by adding a compound having a terminal (meth) acrylate.
(6)後述するような2官能又はそれ以上の多官能(固形)エポキシ樹脂に(メタ)アクリル酸を反応させ、側鎖に存在する水酸基に2塩基酸無水物を付加させたカルボキシル基含有感光性樹脂。 (6) Carboxyl group-containing photosensitivity in which (meth) acrylic acid is reacted with a bifunctional or higher polyfunctional (solid) epoxy resin as described later and a dibasic acid anhydride is added to the hydroxyl group present in the side chain. Resin.
(7)後述するような2官能(固形)エポキシ樹脂の水酸基をさらにエピクロロヒドリンでエポキシ化した多官能エポキシ樹脂に(メタ)アクリル酸を反応させ、生じた水酸基に2塩基酸無水物を付加させたカルボキシル基含有感光性樹脂。 (7) A polyfunctional epoxy resin obtained by epoxidizing a hydroxyl group of a bifunctional (solid) epoxy resin as described later with epichlorohydrin is reacted with (meth) acrylic acid, and a dibasic acid anhydride is added to the resulting hydroxyl group. Added carboxyl group-containing photosensitive resin.
(8)後述するような2官能オキセタン樹脂にアジピン酸、フタル酸、ヘキサヒドロフタル酸等のジカルボン酸を反応させ、生じた1級の水酸基に無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸等の2塩基酸無水物を付加させたカルボキシル基含有ポリエステル樹脂。 (8) A dicarboxylic acid such as adipic acid, phthalic acid or hexahydrophthalic acid is reacted with a bifunctional oxetane resin as described later, and the resulting primary hydroxyl group is phthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride or hexahydrophthalic anhydride. A carboxyl group-containing polyester resin to which a dibasic acid anhydride such as
(9)1分子中に複数のフェノール性水酸基を有する化合物とエチレンオキシド、プロピレンオキシド等のアルキレンオキシドとを反応させて得られる反応生成物に不飽和基含有モノカルボン酸を反応させ、得られる反応生成物に多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有感光性樹脂。 (9) Reaction product obtained by reacting a compound obtained by reacting a compound having a plurality of phenolic hydroxyl groups in one molecule with an alkylene oxide such as ethylene oxide or propylene oxide with an unsaturated group-containing monocarboxylic acid. A carboxyl group-containing photosensitive resin obtained by reacting a product with a polybasic acid anhydride.
(10)1分子中に複数のフェノール性水酸基を有する化合物とエチレンカーボネート、プロピレンカーボネート等の環状カーボネート化合物とを反応させて得られる反応生成物に不飽和基含有モノカルボン酸を反応させ、得られる反応生成物に多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有感光性樹脂。 (10) Obtained by reacting a compound having a plurality of phenolic hydroxyl groups in one molecule with a reaction product obtained by reacting a cyclic carbonate compound such as ethylene carbonate or propylene carbonate with an unsaturated group-containing monocarboxylic acid. A carboxyl group-containing photosensitive resin obtained by reacting a reaction product with a polybasic acid anhydride.
(11)上記(1)〜(10)の樹脂に、さらにグリシジル(メタ)アクリレート、α−メチルグリシジル(メタ)アクリレート等の1分子中に1つのエポキシ基と1つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物を付加してなるカルボキシル基含有感光性樹脂。
なお、本明細書において、(メタ)アクリレートとは、アクリレート、メタクリレート及びそれらの混合物を総称する用語で、他の類似の表現についても同様である。
(11) In addition to the resins (1) to (10) above, one epoxy group and one or more (meth) acryloyl groups in one molecule such as glycidyl (meth) acrylate and α-methylglycidyl (meth) acrylate A carboxyl group-containing photosensitive resin obtained by adding a compound having the following.
In addition, in this specification, (meth) acrylate is a term that collectively refers to acrylate, methacrylate, and mixtures thereof, and the same applies to other similar expressions.
前記のようなカルボキシル基含有樹脂は、バックボーン・ポリマーの側鎖に多数のカルボキシル基を有するため、希アルカリ水溶液による現像が可能になる。
また、前記カルボキシル基含有樹脂の酸価は、40〜200mgKOH/gの範囲が適当であり、より好ましくは45〜120mgKOH/gの範囲である。カルボキシル基含有樹脂の酸価が40mgKOH/g未満であるとアルカリ現像が困難となり、一方、200mgKOH/gを超えると現像液による露光部の溶解が進むために、必要以上にラインが痩せたり、場合によっては、露光部と未露光部の区別なく現像液で溶解剥離してしまい、正常なレジストパターンの描画が困難となるので好ましくない。
Since the carboxyl group-containing resin as described above has a large number of carboxyl groups in the side chain of the backbone polymer, development with a dilute alkaline aqueous solution becomes possible.
The acid value of the carboxyl group-containing resin is suitably in the range of 40 to 200 mgKOH / g, more preferably in the range of 45 to 120 mgKOH / g. When the acid value of the carboxyl group-containing resin is less than 40 mgKOH / g, alkali development becomes difficult. On the other hand, when the acid value exceeds 200 mgKOH / g, dissolution of the exposed area by the developer proceeds and the line becomes thinner than necessary. Depending on the case, the exposed portion and the unexposed portion are not distinguished from each other by dissolution and peeling with a developer, which makes it difficult to draw a normal resist pattern.
また、前記カルボキシル基含有樹脂の重量平均分子量は、樹脂骨格により異なるが、一般的に2,000〜150,000、さらには5,000〜100,000の範囲にあるものが好ましい。重量平均分子量が2,000未満であると、タックフリー性能が劣ることがあり、露光後の塗膜の耐湿性が悪く、現像時に膜減りが生じ、解像度が大きく劣ることがある。一方、重量平均分子量が150,000を超えると、現像性が著しく悪くなることがあり、貯蔵安定性が劣ることがある。 Moreover, although the weight average molecular weight of the said carboxyl group containing resin changes with resin frame | skeletons, what is generally in the range of 2,000-150,000, Furthermore, 5,000-100,000 is preferable. When the weight average molecular weight is less than 2,000, tack-free performance may be inferior, the moisture resistance of the coated film after exposure may be poor, film thickness may be reduced during development, and resolution may be greatly inferior. On the other hand, when the weight average molecular weight exceeds 150,000, developability may be remarkably deteriorated, and storage stability may be inferior.
このようなカルボキシル基含有樹脂の配合量は、全組成物中に、20〜60質量%、好ましくは30〜50質量%の範囲が適当である。カルボキシル基含有樹脂の配合量が上記範囲より少ない場合、皮膜強度が低下したりするので好ましくない。一方、上記範囲より多い場合、組成物の粘性が高くなったり、塗布性等が低下するので好ましくない。 The amount of such a carboxyl group-containing resin is 20 to 60% by mass, preferably 30 to 50% by mass in the entire composition. When the amount of the carboxyl group-containing resin is less than the above range, the film strength is lowered, which is not preferable. On the other hand, when the amount is larger than the above range, the viscosity of the composition is increased or the coating property is lowered, which is not preferable.
これらカルボキシル基含有樹脂は、前記列挙したものに限らず使用することができ、1種類でも複数種混合しても使用することができる。特に前記カルボキシル基含有樹脂の中で芳香環を有している樹脂は屈折率が高く、解像性に優れるので好ましく、さらにノボラック構造を有しているカルボキシル基含有樹脂が解像性だけで無く、PCTやクラック耐性に優れているので好ましい。また、カルボキシル基含有樹脂(9)、(10)のごときフェノール化合物を出発原料として使用するカルボキシル基含有樹脂も同様にPCTが向上するため好ましい。これはフィラー成分の増加により、フィラーと樹脂の界面で吸水が起こりやすくなるのに対して、ノボラック構造を有しているカルボキシル基含有樹脂や(9)(10)のごときカルボキシル基含有樹脂は、フィラー成分が増加してもPCT耐性は非常に優れた結果であった。これは、前者はノボラックの構造により疎水性が向上しており、後者は類似の構造を形成できるカルボキシル基含有樹脂(6)、(7)がエポキシアクリレート構造で水酸基を有しているのに対して、カルボキシル基含有樹脂(9)、(10)は水酸基がなく、著しく疎水性が向上していると考えられる。 These carboxyl group-containing resins can be used without being limited to those listed above, and can be used singly or in combination. In particular, among the carboxyl group-containing resins, resins having an aromatic ring are preferable because they have a high refractive index and excellent resolution, and the carboxyl group-containing resins having a novolak structure are not only high in resolution. It is preferable because it is excellent in PCT and crack resistance. Also, carboxyl group-containing resins such as carboxyl group-containing resins (9) and (10) that use a phenol compound as a starting material are also preferable because PCT is improved. This is because water absorption tends to occur at the interface between the filler and the resin due to an increase in the filler component, whereas carboxyl group-containing resins such as (9) and (10) having a novolac structure are Even if the filler component increased, the PCT resistance was very excellent. This is because the former is improved in hydrophobicity by the structure of novolac, while the latter is a carboxyl group-containing resin (6), (7) that can form a similar structure, whereas the epoxy acrylate structure has a hydroxyl group. Thus, it is considered that the carboxyl group-containing resins (9) and (10) have no hydroxyl groups and have significantly improved hydrophobicity.
光重合開始剤としては、オキシムエステル基を有するオキシムエステル系光重合開始剤、α−アミノアセトフェノン系光重合開始剤、アシルホスフィンオキサイド系光重合開始剤からなる群から選択される1種以上の光重合開始剤を使用することができる。 The photopolymerization initiator includes at least one light selected from the group consisting of an oxime ester photopolymerization initiator having an oxime ester group, an α-aminoacetophenone photopolymerization initiator, and an acylphosphine oxide photopolymerization initiator. A polymerization initiator can be used.
オキシムエステル系光重合開始剤としては、市販品として、チバ・ジャパン社製のCGI−325、イルガキュアーOXE01、イルガキュアーOXE02、アデカ社製N−1919、NCI−831などが挙げられる。また、分子中に2個のオキシムエステル基を有する光重合開始剤も好適に用いることができ、具体的には、下記一般式で表されるカルバゾール構造を有するオキシムエステル化合物が挙げられる。
特に前記一般式中、X、Yが、それぞれ、メチル基又はエチル基であり、Zはメチル又はフェニルであり、nは0であり、Arは、結合か、フェニレン、ナフチレン、チオフェン又はチエニレンであることが好ましい。 In particular, in the above general formula, X and Y are each a methyl group or an ethyl group, Z is methyl or phenyl, n is 0, and Ar is a bond, phenylene, naphthylene, thiophene or thienylene. It is preferable.
このようなオキシムエステル系光重合開始剤の配合量は、カルボキシル基含有樹脂100質量部に対して、0.01〜5質量部とすることが好ましい。0.01質量部未満であると、銅上での光硬化性が不足し、塗膜が剥離するとともに、耐薬品性などの塗膜特性が低下する。一方、5質量部を超えると、ソルダーレジスト塗膜表面での光吸収が激しくなり、深部硬化性が低下する傾向がある。より好ましくは、0.5〜3質量部である。 It is preferable that the compounding quantity of such an oxime ester system photoinitiator shall be 0.01-5 mass parts with respect to 100 mass parts of carboxyl group-containing resin. When it is less than 0.01 parts by mass, the photocurability on copper is insufficient, the coating film is peeled off, and the coating properties such as chemical resistance are deteriorated. On the other hand, when it exceeds 5 parts by mass, light absorption on the surface of the solder resist coating film becomes violent, and the deep curability tends to decrease. More preferably, it is 0.5-3 mass parts.
α−アミノアセトフェノン系光重合開始剤としては、具体的には2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルホリノプロパノン−1、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブタン−1−オン、2−(ジメチルアミノ)−2−[(4−メチルフェニル)メチル]−1−[4−(4−モルホリニル)フェニル]−1−ブタノン、N,N−ジメチルアミノアセトフェノンなどが挙げられる。市販品としては、チバ・ジャパン社製のイルガキュアー907、イルガキュアー369、イルガキュアー379などが挙げられる。 As the α-aminoacetophenone photopolymerization initiator, specifically, 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropanone-1, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butan-1-one, 2- (dimethylamino) -2-[(4-methylphenyl) methyl] -1- [4- (4-morpholinyl) phenyl] -1-butanone, N , N-dimethylaminoacetophenone and the like. Examples of commercially available products include Irgacure 907, Irgacure 369, and Irgacure 379 manufactured by Ciba Japan.
アシルホスフィンオキサイド系光重合開始剤としては、具体的には2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルホスフィンオキサイド、ビス(2,6−ジメトキシベンゾイル)−2,4,4−トリメチル−ペンチルホスフィンオキサイドなどが挙げられる。市販品としては、BASF社製のルシリンTPO、チバ・ジャパン社製のイルガキュアー819などが挙げられる。 Specific examples of the acylphosphine oxide photopolymerization initiator include 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide, bis (2,4,6-trimethylbenzoyl) -phenylphosphine oxide, and bis (2,6-dimethoxy). And benzoyl) -2,4,4-trimethyl-pentylphosphine oxide. Commercially available products include Lucilin TPO manufactured by BASF, Irgacure 819 manufactured by Ciba Japan.
これらα−アミノアセトフェノン系光重合開始剤、アシルホスフィンオキサイド系光重合開始剤の配合量は、カルボキシル基含有樹脂100質量部に対して、0.01〜15質量部であることが好ましい。0.01質量部未満であると、同様に銅上での光硬化性が不足し、塗膜が剥離するとともに、耐薬品性などの塗膜特性が低下する。一方、15質量部を超えると、アウトガスの低減効果が得られず、さらにソルダーレジスト塗膜表面での光吸収が激しくなり、深部硬化性が低下する傾向がある。より好ましくは0.5〜10質量部である。 The blending amount of these α-aminoacetophenone photopolymerization initiator and acylphosphine oxide photopolymerization initiator is preferably 0.01 to 15 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the carboxyl group-containing resin. If it is less than 0.01 parts by mass, the photo-curability on copper is similarly insufficient, the coating film peels off, and the coating properties such as chemical resistance deteriorate. On the other hand, when the amount exceeds 15 parts by mass, the effect of reducing the outgas cannot be obtained, the light absorption on the surface of the solder resist coating film becomes intense, and the deep curability tends to be lowered. More preferably, it is 0.5-10 mass parts.
ここで、用いる光重合開始剤としては、前記オキシムエステル系開始剤が添加量も少なく、アウトガスが抑えられるため好ましい。また、オキシムエステル系開始剤に加えてアシルホスフィンオキサイド系光重合開始剤を併用することにより、解像性において良好な形状が得られるため、特に好ましい。 Here, as the photopolymerization initiator to be used, the oxime ester-based initiator is preferable because the addition amount is small and outgassing is suppressed. Further, it is particularly preferable to use an acylphosphine oxide photopolymerization initiator in combination with the oxime ester initiator, since a good shape can be obtained in terms of resolution.
その他、本実施形態の光硬化性樹脂組成物に好適に用いることができる光重合開始剤、光開始助剤及び増感剤としては、ベンゾイン化合物、アセトフェノン化合物、アントラキノン化合物、チオキサントン化合物、ケタール化合物、ベンゾフェノン化合物、3級アミン化合物、及びキサントン化合物などを挙げることができる。 In addition, as a photopolymerization initiator, a photoinitiator assistant and a sensitizer that can be suitably used for the photocurable resin composition of the present embodiment, a benzoin compound, an acetophenone compound, an anthraquinone compound, a thioxanthone compound, a ketal compound, Examples include benzophenone compounds, tertiary amine compounds, and xanthone compounds.
これらの光重合開始剤、光開始助剤及び増感剤は、単独で又は2種類以上の混合物として使用することができる。
このような光重合開始剤、光開始助剤、及び増感剤の総量は、前記カルボン酸含有樹脂100質量部に対して35質量部以下であることが好ましい。35質量部を超えると、これらの光吸収により深部硬化性が低下する傾向にある。
These photopolymerization initiators, photoinitiator assistants, and sensitizers can be used alone or as a mixture of two or more.
The total amount of such photopolymerization initiator, photoinitiator assistant, and sensitizer is preferably 35 parts by mass or less with respect to 100 parts by mass of the carboxylic acid-containing resin. When it exceeds 35 parts by mass, the deep curability tends to decrease due to light absorption.
なお、これら光重合開始剤、光開始助剤、及び増感剤は、特定の波長を吸収するため、場合によっては感度が低くなり、紫外線吸収剤として働くことがある。しかしながら、これらは組成物の感度を向上させることだけの目的に用いられるものではない。必要に応じて特定の波長の光を吸収させて、表面の光反応性を高め、レジストのライン形状及び開口を垂直、テーパー状、逆テーパー状に変化させるとともに、ライン幅や開口径の加工精度を向上させることができる。 In addition, since these photopolymerization initiators, photoinitiator assistants, and sensitizers absorb a specific wavelength, in some cases, the sensitivity is lowered, and the photopolymerization initiator, the photoinitiator assistant, and the sensitizer may function as an ultraviolet absorber. However, they are not used only for the purpose of improving the sensitivity of the composition. Absorbs light of a specific wavelength as necessary to improve the photoreactivity of the surface, change the resist line shape and opening to vertical, tapered, reverse taper, and processing accuracy of line width and opening diameter Can be improved.
本発明の光硬化性樹脂組成物にはフィラーを配合しているが、フィラーの配合量について詳細に検討を行った結果、組成物の不揮発成分全体量の25〜40容量%のフィラーを加えることにより、エラストマーを併用しているにもかかわらずTgが上昇し、クラック耐性とPCT耐性が向上することが見出された。さらに、硬化時に生じる反りを抑制することも見出された。 The photo-curable resin composition of the present invention contains a filler, but as a result of detailed examination of the amount of the filler, 25 to 40% by volume of the total amount of nonvolatile components in the composition is added. Thus, it was found that Tg was increased despite the combined use of the elastomer, and crack resistance and PCT resistance were improved. Furthermore, it has been found that the warpage occurring during curing is suppressed.
本発明に用いることができるフィラーとして、例えばシリカ、硫酸バリウム、タルク、クレー、炭酸マグネシウム、炭酸カルシウム、酸化アルミニウム、水酸化アルミニウム、ベーマイト、雲母粉、ハイドロタルサイトなどの公知慣用の無機充填剤が使用できる。これらの中でも、硫酸バリウム(屈折率:1.64)、タルク(屈折率:1.57)、水酸化アルミ(屈折率:1.57)、ベーマイト(屈折率:1.62)、ハイドロタルサイト(屈折率:1.50)や、シリチン、シリコロイドと呼ばれる球状のシリカと板状のカオリナイトから構成される化合物及びそのアミノシラン、ビニールシラン、メタクリルシラン、エポキシシラン、メルカプトシラン、アルキルシラン等の表面処理剤による処理品(屈折率:1.55)(商品名アクティジル、HOFFMANN MINERAL社製)が好ましい。さらに、PCT耐性が優れた芳香環を有する樹脂と屈折率が近く、解像性が優れることから、屈折率が1.52から1.59の範囲に入るフィラーが特に好ましい。 Examples of fillers that can be used in the present invention include known and commonly used inorganic fillers such as silica, barium sulfate, talc, clay, magnesium carbonate, calcium carbonate, aluminum oxide, aluminum hydroxide, boehmite, mica powder, and hydrotalcite. Can be used. Among these, barium sulfate (refractive index: 1.64), talc (refractive index: 1.57), aluminum hydroxide (refractive index: 1.57), boehmite (refractive index: 1.62), hydrotalcite (Refractive index: 1.50), a compound composed of spherical silica and plate-shaped kaolinite called silitin or silicocolloid and its surface such as aminosilane, vinylsilane, methacrylsilane, epoxysilane, mercaptosilane, alkylsilane A treated product with a treating agent (refractive index: 1.55) (trade name Actidil, manufactured by HOFFMAN MINEAL) is preferable. Furthermore, since the refractive index is close to the resin having an aromatic ring excellent in PCT resistance and the resolution is excellent, a filler having a refractive index in the range of 1.52 to 1.59 is particularly preferable.
フィラーの総量は、組成物の不揮発成分全体量の25〜40容量%の範囲が適当である。フィラーの含有量が25容量%より少ない場合、光硬化性樹脂組成物の硬化物においてTgの上昇が見られず、PCT耐性が悪化するので好ましくない。一方、40容量%を超えた場合、組成物の粘度が高くなり、塗布、成形性が低下し、さらに吸水性も増すことからPCT耐性とクラック耐性が悪化するので好ましくない。また、これらのフィラーは、単独で又は2種類以上を併用することができる。 The total amount of the filler is suitably in the range of 25 to 40% by volume of the total amount of nonvolatile components of the composition. When the filler content is less than 25% by volume, no increase in Tg is observed in the cured product of the photocurable resin composition, and the PCT resistance deteriorates. On the other hand, if it exceeds 40% by volume, the viscosity of the composition increases, the coating and moldability deteriorates, and the water absorption also increases, so the PCT resistance and crack resistance deteriorate, which is not preferable. Moreover, these fillers can be used individually or in combination of 2 or more types.
さらに本発明の光硬化性樹脂組成物は、前記フィラーと共にエラストマーを含有していることを特徴としている。このエラストマーをフィラーと共にバランス良く添加することにより、具体的には、エラストマーの含有割合を、フィラー:エラストマー=90:10〜70:30(質量比)の範囲内とすることにより、ハンドリングクラックの発生を抑制し、ドライフィルムシートの切断時にクラックを発生させず、樹脂の飛散を解消できることを見出した。さらに、前記フィラーを不揮発成分全体量の25〜40容量%の範囲で併用していることで、硬化時に発生するそりを抑制し、PCT耐性が向上することも見出された。
また、エラストマーが不飽和二重結合を有する場合には、耐熱性が向上することも判明した。
Furthermore, the photocurable resin composition of the present invention is characterized by containing an elastomer together with the filler. By adding this elastomer in a well-balanced manner together with the filler, specifically, handling cracks are generated by setting the elastomer content in the range of filler: elastomer = 90: 10 to 70:30 (mass ratio). It was found that the scattering of the resin can be eliminated without generating cracks when cutting the dry film sheet. Furthermore, it has also been found that the use of the filler in the range of 25 to 40% by volume of the total amount of nonvolatile components suppresses warpage that occurs during curing and improves PCT resistance.
It has also been found that heat resistance is improved when the elastomer has an unsaturated double bond.
本発明に使用することができるエラストマーとしては、例えば商品名を挙げるとR−45HT、Poly bd HTP−9(以上、出光興産(株)製)、エポリード PB3600(ダイセル化学工業(株)製)、デナレックス R−45EPT(ナガセケムテックス(株)製)、Ricon 130、Ricon 131、Ricon 134、Ricon 142、Ricon 150、Ricon 152、Ricon 153、Ricon 154、Ricon 156、Ricon 157、Ricon 100、Ricon 181、Ricon 184、Ricon 130MA8、Ricon 130MA13、Ricon 130MA20、Ricon 131MA5、Ricon 131MA10、Ricon 131MA17、Ricon 131MA20、Ricon 184MA6、Ricon 156MA17(以上、サートマー社製)などがある。ポリエステル系エラストマー、ポリウレタン系エラストマー、ポリエステルウレタン系エラストマー、ポリアミド系エラストマー、ポリエステルアミド系エラストマー、アクリル系エラストマー、オレフィン系エラストマーを用いることができる。また、種々の骨格を有するエポキシ樹脂の一部又は全部のエポキシ基を両末端カルボン酸変性型ブタジエン−アクリロニトリルゴムで変性した樹脂なども使用できる。更にはエポキシ含有ポリブタジエン系エラストマー、アクリル含有ポリブタジエン系エラストマー、水酸基含有ポリブタジエン系エラストマー、水酸基含有イソプレン系エラストマーなども使用することができる。これらのエラストマーは、単独で又は2種類以上を併用することができる。さらに、上記エラストマーの酸化による分解を防ぐために、後述する酸化防止剤を配合することが好ましく、特にエラストマーが不飽和二重結合を有する場合には、酸化防止剤は必ず使用したほうが良い。 Examples of elastomers that can be used in the present invention include R-45HT, Poly bd HTP-9 (manufactured by Idemitsu Kosan Co., Ltd.), Epolide PB3600 (manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd.), Denarex R-45EPT (manufactured by Nagase ChemteX Corporation), Ricon 130, Ricon 131, Ricon 134, Ricon 142, Ricon 150, Ricon 152, Ricon 153, Ricon 154, Ricon 156, Ricon 157, Ricon 100, Ricon 18 Ricon 184, Ricon 130MA8, Ricon 130MA13, Ricon 130MA20, Ricon 131MA5, Ricon 131MA10, Ricon 131MA17, Ri con 131MA20, Ricon 184MA6, Ricon 156MA17 (above, manufactured by Sartomer). Polyester elastomers, polyurethane elastomers, polyester urethane elastomers, polyamide elastomers, polyesteramide elastomers, acrylic elastomers, and olefin elastomers can be used. Moreover, the resin etc. which modified the one part or all part of the epoxy resin which has various frame | skeleton with the both-ends carboxylic acid modified butadiene-acrylonitrile rubber | gum can be used. Furthermore, epoxy-containing polybutadiene elastomers, acrylic-containing polybutadiene elastomers, hydroxyl group-containing polybutadiene elastomers, hydroxyl group-containing isoprene elastomers, and the like can also be used. These elastomers can be used alone or in combination of two or more. Furthermore, in order to prevent decomposition of the elastomer due to oxidation, it is preferable to add an antioxidant described later. In particular, when the elastomer has an unsaturated double bond, the antioxidant should be used.
本発明の光硬化性樹脂組成物には、メルカプト化合物を添加することができる。
メルカプト化合物としては、例えばメルカプトエタノール、メルカプトプロパノール、メルカプトブタノール、メルカプトプロパンジオール、メルカプトブタンジオール、ヒドロキシベンゼンチオール及びその誘導体である、1−ブタンチオール、ブチル−3−メルカプトプロピオネート、メチル−3−メルカプトプロピオネート、2,2−(エチレンジオキシ)ジエタンチオール、エタンチオール、4−メチルベンゼンチオール、ドデシルメルカプタン、プロパンチオール、ブタンチオール、ペンタンチオール、1−オクタンチオール、シクロペンタンチオール、シクロヘキサンチオール、チオグリセロール、4,4−チオビスベンゼンチオール等が挙げられる。
これらの市販品としては、例えばBMPA、MPM、EHMP、NOMP、MBMP、STMP、TMMP、PEMP、DPMP、及びTEMPIC(以上、堺化学工業(株)製)、カレンズMT−PE1、カレンズMT−BD1、及びカレンズ−NR1(以上、昭和電工(株)製)等を挙げることができる。
A mercapto compound can be added to the photocurable resin composition of the present invention.
Examples of the mercapto compound include mercaptoethanol, mercaptopropanol, mercaptobutanol, mercaptopropanediol, mercaptobutanediol, hydroxybenzenethiol and derivatives thereof such as 1-butanethiol, butyl-3-mercaptopropionate, methyl-3- Mercaptopropionate, 2,2- (ethylenedioxy) diethanethiol, ethanethiol, 4-methylbenzenethiol, dodecyl mercaptan, propanethiol, butanethiol, pentanethiol, 1-octanethiol, cyclopentanethiol, cyclohexanethiol , Thioglycerol, 4,4-thiobisbenzenethiol and the like.
Examples of these commercially available products include BMPA, MPM, EHMP, NOMP, MBMP, STMP, TMMP, PMP, DPMP, and TEMPIC (above, manufactured by Sakai Chemical Industry Co., Ltd.), Karenz MT-PE1, Karenz MT-BD1, And Karenz-NR1 (manufactured by Showa Denko KK).
さらに、複素環を有するメルカプト化合物として、例えば、メルカプト−4−ブチロラクトン(別名:2−メルカプト−4−ブタノリド)、2−メルカプト−4−メチル−4−ブチロラクトン、2−メルカプト−4−エチル−4−ブチロラクトン、2−メルカプト−4−ブチロチオラクトン、2−メルカプト−4−ブチロラクタム、N−メトキシ−2−メルカプト−4−ブチロラクタム、N−エトキシ−2−メルカプト−4−ブチロラクタム、N−メチル−2−メルカプト−4−ブチロラクタム、N−エチル−2−メルカプト−4−ブチロラクタム、N−(2−メトキシ)エチル−2−メルカプト−4−ブチロラクタム、N−(2−エトキシ)エチル−2−メルカプト−4−ブチロラクタム、2−メルカプト−5−バレロラクトン、2−メルカプト−5−バレロラクタム、N−メチル−2−メルカプト−5−バレロラクタム、N−エチル−2−メルカプト−5−バレロラクタム、N−(2−メトキシ)エチル−2−メルカプト−5−バレロラクタム、N−(2−エトキシ)エチル−2−メルカプト−5−バレロラクタム、2−メルカプトベンゾチアゾール、2−メルカプト−5−メチルチオ−チアジアゾール、2−メルカプト−6−ヘキサノラクタム、2,4,6−トリメルカプト−s−トリアジン(三協化成(株)製:商品名ジスネットF)、2−ジブチルアミノ−4,6−ジメルカプト−s−トリアジン(三協化成(株)製:商品名ジスネットDB)、及び2−アニリノ−4,6−ジメルカプト−s−トリアジン(三協化成(株)製:商品名ジスネットAF)等が挙げられる。
これらの中でも、2−メルカプトベンゾイミダゾール、2−メルカプトベンゾオキサゾール、2−メルカプトベンゾチアゾール(川口化学工業(株)製:商品名アクセルM)、3−メルカプト−4−メチル−4H−1,2,4−トリアゾール、5−メチル−1,3,4−チアジアゾール−2−チオール、1−フェニル−5−メルカプト−1H−テトラゾールが好ましい。
Further, examples of the mercapto compound having a heterocyclic ring include mercapto-4-butyrolactone (also known as 2-mercapto-4-butanolide), 2-mercapto-4-methyl-4-butyrolactone, and 2-mercapto-4-ethyl-4. -Butyrolactone, 2-mercapto-4-butyrothiolactone, 2-mercapto-4-butyrolactam, N-methoxy-2-mercapto-4-butyrolactam, N-ethoxy-2-mercapto-4-butyrolactam, N-methyl- 2-mercapto-4-butyrolactam, N-ethyl-2-mercapto-4-butyrolactam, N- (2-methoxy) ethyl-2-mercapto-4-butyrolactam, N- (2-ethoxy) ethyl-2-mercapto- 4-butyrolactam, 2-mercapto-5-valerolactone, 2-mer Pto-5-valerolactam, N-methyl-2-mercapto-5-valerolactam, N-ethyl-2-mercapto-5-valerolactam, N- (2-methoxy) ethyl-2-mercapto-5-valerolactam N- (2-ethoxy) ethyl-2-mercapto-5-valerolactam, 2-mercaptobenzothiazole, 2-mercapto-5-methylthio-thiadiazole, 2-mercapto-6-hexanolactam, 2,4,6 -Trimercapto-s-triazine (manufactured by Sankyo Kasei Co., Ltd .: trade name Disnet F), 2-dibutylamino-4,6-dimercapto-s-triazine (manufactured by Sankyo Kasei Co., Ltd .: trade name Disnet DB) , And 2-anilino-4,6-dimercapto-s-triazine (manufactured by Sankyo Kasei Co., Ltd .: trade name DISNET AF).
Among these, 2-mercaptobenzimidazole, 2-mercaptobenzoxazole, 2-mercaptobenzothiazole (manufactured by Kawaguchi Chemical Co., Ltd .: trade name Accel M), 3-mercapto-4-methyl-4H-1,2, 4-Triazole, 5-methyl-1,3,4-thiadiazole-2-thiol and 1-phenyl-5-mercapto-1H-tetrazole are preferred.
このようなメルカプト化合物の配合量は、前記カルボキシル基含有樹脂100質量部に対して、0.01質量部以上、10.0質量部以下が適当であり、さらに好ましくは0.05質量部以上、5部質量部以下である。0.01質量部未満では、メルカプト化合物添加の効果としての密着性の向上が確認されず、一方、10.0質量部を超えると、光硬化性樹脂組成物の現像不良、乾燥管理幅の低下などを引き起こすおそれがあるので好ましくない。これらのメルカプト化合物は、単独又は2種以上を併用することができる。 The blending amount of such a mercapto compound is suitably 0.01 parts by weight or more and 10.0 parts by weight or less, more preferably 0.05 parts by weight or more, with respect to 100 parts by weight of the carboxyl group-containing resin. 5 parts by mass or less. If it is less than 0.01 part by mass, the improvement in adhesion as an effect of adding a mercapto compound is not confirmed. On the other hand, if it exceeds 10.0 parts by mass, the development failure of the photocurable resin composition and the decrease in the dry management width will be confirmed. This is not preferable because it may cause These mercapto compounds can be used alone or in combination of two or more.
本発明の光硬化性樹脂組成物には、熱硬化成分を加えることができる。本発明に用いられる熱硬化成分としては、メラミン樹脂、ベンゾグアナミン樹脂、メラミン誘導体、ベンゾグアナミン誘導体等のアミノ樹脂、ブロックイソシアネート化合物、シクロカーボネート化合物、多官能エポキシ化合物、多官能オキセタン化合物、エピスルフィド樹脂、ビスマレイミド、カルボジイミド樹脂等の公知の熱硬化性樹脂が使用できる。特に好ましいのは、分子中に複数の環状エーテル基及び/又は環状チオエーテル基(以下、環状(チオ)エーテル基と略す)を有する熱硬化成分である。 A thermosetting component can be added to the photocurable resin composition of the present invention. Examples of thermosetting components used in the present invention include amino resins such as melamine resins, benzoguanamine resins, melamine derivatives, benzoguanamine derivatives, blocked isocyanate compounds, cyclocarbonate compounds, polyfunctional epoxy compounds, polyfunctional oxetane compounds, episulfide resins, bismaleimides. Well-known thermosetting resins such as carbodiimide resins can be used. Particularly preferred is a thermosetting component having a plurality of cyclic ether groups and / or cyclic thioether groups (hereinafter abbreviated as cyclic (thio) ether groups) in the molecule.
このような分子中に複数の環状(チオ)エーテル基を有する熱硬化成分の配合量は、カルボキシル基含有樹脂のカルボキシル基1当量に対して、0.6〜2.5当量が好ましい。配合量が0.6未満である場合、ソルダーレジスト膜にカルボキシル基が残り、耐熱性、耐アルカリ性、電気絶縁性等が低下する。一方、2.5当量を超える場合、低分子量の環状(チオ)エーテル基が乾燥塗膜に残存することにより、塗膜の強度等が低下する。より好ましくは、0.8〜2.0当量である。 As for the compounding quantity of the thermosetting component which has a some cyclic | annular (thio) ether group in such a molecule | numerator, 0.6-2.5 equivalent is preferable with respect to 1 equivalent of carboxyl groups of carboxyl group-containing resin. When the blending amount is less than 0.6, a carboxyl group remains in the solder resist film, and heat resistance, alkali resistance, electrical insulation and the like are lowered. On the other hand, when the amount exceeds 2.5 equivalents, the low molecular weight cyclic (thio) ether group remains in the dry coating film, thereby reducing the strength of the coating film. More preferably, it is 0.8-2.0 equivalent.
分子中に複数の環状(チオ)エーテル基を有する熱硬化成分を使用する場合、熱硬化触媒を含有することが好ましい。そのような熱硬化触媒としては、例えば、イミダゾール、2−メチルイミダゾール、2−エチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、2−フェニルイミダゾール、4−フェニルイミダゾール、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾール、1−(2−シアノエチル)−2−エチル−4−メチルイミダゾール等のイミダゾール誘導体;ジシアンジアミド、ベンジルジメチルアミン、4−(ジメチルアミノ)−N,N−ジメチルベンジルアミン、4−メトキシ−N,N−ジメチルベンジルアミン、4−メチル−N,N−ジメチルベンジルアミン等のアミン化合物、アジピン酸ジヒドラジド、セバシン酸ジヒドラジド等のヒドラジン化合物;トリフェニルホスフィン等のリン化合物等が挙げられる。また、市販されているものとしては、例えば四国化成工業社製の2MZ−A、2MZ−OK、2PHZ、2P4BHZ、2P4MHZ(いずれもイミダゾール系化合物の商品名)、サンアプロ社製のU−CAT(登録商標)3503N、U−CAT3502T(いずれもジメチルアミンのブロックイソシアネート化合物の商品名)、DBU、DBN、U−CATSA102、U−CAT5002(いずれも二環式アミジン化合物及びその塩)等が挙げられる。特に、これらに限られるものではなく、エポキシ樹脂やオキセタン化合物の熱硬化触媒、もしくはエポキシ基及び/又はオキセタニル基とカルボキシル基の反応を促進するものであればよく、単独で又は2種以上を混合して使用してもかまわない。また、グアナミン、アセトグアナミン、ベンゾグアナミン、メラミン、2,4−ジアミノ−6−メタクリロイルオキシエチル−S−トリアジン、2−ビニル−2,4−ジアミノ−S−トリアジン、2−ビニル−4,6−ジアミノ−S−トリアジン・イソシアヌル酸付加物、2,4−ジアミノ−6−メタクリロイルオキシエチル−S−トリアジン・イソシアヌル酸付加物等のS−トリアジン誘導体を用いることもでき、好ましくはこれら密着性付与剤としても機能する化合物を熱硬化触媒と併用する。 When using the thermosetting component which has a some cyclic | annular (thio) ether group in a molecule | numerator, it is preferable to contain a thermosetting catalyst. Examples of such thermosetting catalysts include imidazole, 2-methylimidazole, 2-ethylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-phenylimidazole, 4-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazole. Imidazole derivatives such as 1- (2-cyanoethyl) -2-ethyl-4-methylimidazole; dicyandiamide, benzyldimethylamine, 4- (dimethylamino) -N, N-dimethylbenzylamine, 4-methoxy-N, N -Amine compounds such as dimethylbenzylamine and 4-methyl-N, N-dimethylbenzylamine; hydrazine compounds such as adipic acid dihydrazide and sebacic acid dihydrazide; and phosphorus compounds such as triphenylphosphine. Examples of commercially available products include 2MZ-A, 2MZ-OK, 2PHZ, 2P4BHZ, 2P4MHZ (both trade names of imidazole compounds) manufactured by Shikoku Kasei Kogyo Co., Ltd., and U-CAT (registered by San Apro). Trademarks) 3503N, U-CAT3502T (all are trade names of blocked isocyanate compounds of dimethylamine), DBU, DBN, U-CATSA102, U-CAT5002 (all are bicyclic amidine compounds and salts thereof), and the like. In particular, it is not limited to these, as long as it is a thermosetting catalyst for epoxy resins or oxetane compounds, or a catalyst that promotes the reaction of epoxy groups and / or oxetanyl groups with carboxyl groups, either alone or in combination of two or more. Can be used. Also, guanamine, acetoguanamine, benzoguanamine, melamine, 2,4-diamino-6-methacryloyloxyethyl-S-triazine, 2-vinyl-2,4-diamino-S-triazine, 2-vinyl-4,6-diamino S-triazine derivatives such as -S-triazine and isocyanuric acid adducts and 2,4-diamino-6-methacryloyloxyethyl-S-triazine and isocyanuric acid adducts can also be used. A compound that also functions in combination with a thermosetting catalyst.
これら熱硬化触媒の配合量は、通常の量的割合で充分であり、例えばカルボキシル基含有樹脂又は分子中に複数の環状(チオ)エーテル基を有する熱硬化成分100質量部に対して、好ましくは0.1〜20質量部、より好ましくは0.5〜15.0質量部である。 The blending amount of these thermosetting catalysts is sufficient in a normal quantitative ratio. For example, preferably 100 parts by mass of the thermosetting component having a carboxyl group-containing resin or a plurality of cyclic (thio) ether groups in the molecule. It is 0.1-20 mass parts, More preferably, it is 0.5-15.0 mass parts.
さらに、本発明の光硬化性樹脂組成物においては、着色剤を配合することができる。着色剤としては、赤、青、緑、黄などの慣用公知の着色剤を使用することができ、顔料、染料、色素のいずれでもよい。但し、環境負荷低減並びに人体への影響の観点からハロゲンを含有しないことが好ましい。具体的には、下記のようなカラーインデックス(C.I.;ザ ソサイエティ オブ ダイヤーズ アンド カラリスツ(The Society of Dyers and Colourists)発行)番号が付されているものを挙げることができる。 Furthermore, in the photocurable resin composition of this invention, a coloring agent can be mix | blended. As the colorant, conventionally known colorants such as red, blue, green and yellow can be used, and any of pigments, dyes and dyes may be used. However, it is preferable not to contain a halogen from the viewpoint of reducing the environmental burden and affecting the human body. Specific examples include those with the following color index numbers (CI; issued by The Society of Dyers and Colorists).
赤色着色剤:
赤色着色剤としてはモノアゾ系、ジズアゾ系、アゾレーキ系、ベンズイミダゾロン系、ペリレン系、ジケトピロロピロール系、縮合アゾ系、アントラキノン系、キナクリドン系などがあり、具体的には以下のものが挙げられる。
モノアゾ系:Pigment Red 1, 2, 3, 4, 5, 6, 8, 9, 12, 14, 15, 16, 17, 21, 22, 23, 31, 32, 112, 114, 146, 147, 151, 170, 184, 187, 188, 193, 210, 245, 253, 258, 266, 267, 268, 269。
ジスアゾ系:Pigment Red 37, 38, 41。
モノアゾレーキ系:Pigment Red 48:1, 48:2, 48:3, 48:4, 49:1, 49:2, 50:1, 52:1, 52:2, 53:1, 53:2, 57:1, 58:4, 63:1, 63:2, 64:1,68。
ベンズイミダゾロン系:Pigment Red 171、Pigment Red 175、Pigment Red 176、Pigment Red 185、Pigment Red 208。
ぺリレン系:Solvent Red 135、Solvent Red 179、Pigment Red 123、Pigment Red 149、Pigment Red 166、Pigment Red 178、Pigment Red 179、Pigment Red 190、Pigment Red 194、Pigment Red 224。
ジケトピロロピロール系:Pigment Red 254、Pigment Red 255、Pigment Red 264、Pigment Red 270、Pigment Red 272。
縮合アゾ系:Pigment Red 220、Pigment Red 144、Pigment Red 166、Pigment Red 214、Pigment Red 220、Pigment Red 221、Pigment Red 242。
アンスラキノン系:Pigment Red 168、Pigment Red 177、Pigment Red 216、Solvent Red 149、Solvent Red 150、Solvent Red 52、Solvent Red 207。
キナクリドン系:Pigment Red 122、Pigment Red 202、Pigment Red 206、Pigment Red 207、Pigment Red 209。
Red colorant:
Examples of red colorants include monoazo, diazo, azo lake, benzimidazolone, perylene, diketopyrrolopyrrole, condensed azo, anthraquinone, and quinacridone. It is done.
Monoazo: Pigment Red 1, 2, 3, 4, 5, 6, 8, 9, 12, 14, 15, 16, 17, 21, 22, 23, 31, 32, 112, 114, 146, 147, 151 , 170, 184, 187, 188, 193, 210, 245, 253, 258, 266, 267, 268, 269.
Disazo: Pigment Red 37, 38, 41.
Monoazo lakes: Pigment Red 48: 1, 48: 2, 48: 3, 48: 4, 49: 1, 49: 2, 50: 1, 52: 1, 52: 2, 53: 1, 53: 2, 57 : 1, 58: 4, 63: 1, 63: 2, 64: 1,68.
Benzimidazolone series: Pigment Red 171, Pigment Red 175, Pigment Red 176, Pigment Red 185, Pigment Red 208.
Perylene series: Solvent Red 135, Solvent Red 179, Pigment Red 123, Pigment Red 149, Pigment Red 166, Pigment Red 178, Pigment Red 179, Pigment Red 190, Pigment Red 194, Pigment Red 224.
Diketopyrrolopyrrole series: Pigment Red 254, Pigment Red 255, Pigment Red 264, Pigment Red 270, Pigment Red 272.
Condensed azo series: Pigment Red 220, Pigment Red 144, Pigment Red 166, Pigment Red 214, Pigment Red 220, Pigment Red 221 and Pigment Red 242.
Anthraquinone series: Pigment Red 168, Pigment Red 177, Pigment Red 216, Solvent Red 149, Solvent Red 150, Solvent Red 52, Solvent Red 207.
Kinacridone series: Pigment Red 122, Pigment Red 202, Pigment Red 206, Pigment Red 207, Pigment Red 209.
青色着色剤:
青色着色剤としてはフタロシアニン系、アントラキノン系があり、顔料系はピグメント(Pigment)に分類されている化合物、具体的には、下記のようなものを挙げることができる:Pigment Blue 15、Pigment Blue 15:1、Pigment Blue 15:2、Pigment Blue 15:3、Pigment Blue 15:4、Pigment Blue 15:6、Pigment Blue 16、Pigment Blue 60。
染料系としては、Solvent Blue 35、Solvent Blue 63、Solvent Blue 68、Solvent Blue 70、Solvent Blue 83、Solvent Blue 87、Solvent Blue 94、Solvent Blue 97、Solvent Blue 122、Solvent Blue 136、Solvent Blue 67、Solvent Blue 70等を使用することができる。上記以外にも、金属置換もしくは無置換のフタロシアニン化合物も使用することができる。
Blue colorant:
Blue colorants include phthalocyanine-based and anthraquinone-based pigments, and pigment-based compounds such as Pigment Blue 15 and Pigment Blue 15 are listed below. : 1, Pigment Blue 15: 2, Pigment Blue 15: 3, Pigment Blue 15: 4, Pigment Blue 15: 6, Pigment Blue 16, and Pigment Blue 60.
The dye systems include Solvent Blue 35, Solvent Blue 63, Solvent Blue 68, Solvent Blue 70, Solvent Blue 83, Solvent Blue 87, Solvent Blue 94, Solvent Blue 97, Solvent Blue 122, Solvent Blue 136, Solvent Blue 67, Solvent Blue 70 etc. can be used. In addition to the above, a metal-substituted or unsubstituted phthalocyanine compound can also be used.
緑色着色剤:
緑色着色剤としては、同様にフタロシアニン系、アントラキノン系、ペリレン系があり、具体的にはPigment Green 7、Pigment Green 36、Solvent Green 3、Solvent Green 5、Solvent Green 20、Solvent Green 28等を使用することができる。上記以外にも、金属置換もしくは無置換のフタロシアニン化合物も使用することができる。
Green colorant:
Similarly, green colorants include phthalocyanine, anthraquinone, and perylene. Specifically, Pigment Green 7, Pigment Green 36, Solvent Green 3, Solvent Green 5, Solvent Green 20, Solvent Green 28, etc. are used. be able to. In addition to the above, a metal-substituted or unsubstituted phthalocyanine compound can also be used.
黄色着色剤:
黄色着色剤としてはモノアゾ系、ジスアゾ系、縮合アゾ系、ベンズイミダゾロン系、イソインドリノン系、アントラキノン系等があり、具体的には以下のものが挙げられる。
アントラキノン系:Solvent Yellow 163、Pigment Yellow 24、Pigment Yellow 108、Pigment Yellow 193、Pigment Yellow 147、Pigment Yellow 199、Pigment Yellow 202。
イソインドリノン系:Pigment Yellow 110、Pigment Yellow 109、Pigment Yellow 139、Pigment Yellow 179、Pigment Yellow 185。
縮合アゾ系:Pigment Yellow 93、Pigment Yellow 94、Pigment Yellow 95、Pigment Yellow 128、Pigment Yellow 155、Pigment Yellow 166、Pigment Yellow 180。
ベンズイミダゾロン系:Pigment Yellow 120、Pigment Yellow 151、Pigment Yellow 154、Pigment Yellow 156、Pigment Yellow 175、Pigment Yellow 181。
モノアゾ系:Pigment Yellow 1, 2, 3, 4, 5, 6, 9, 10, 12, 61, 62, 62:1, 65, 73, 74, 75, 97, 100, 104, 105, 111, 116, 167, 168, 169, 182, 183。
ジスアゾ系:Pigment Yellow 12, 13, 14, 16, 17, 55, 63, 81, 83, 87, 126, 127, 152, 170, 172, 174, 176, 188, 198。
Yellow colorant:
Examples of yellow colorants include monoazo, disazo, condensed azo, benzimidazolone, isoindolinone, anthraquinone, and the like.
Anthraquinone series: Solvent Yellow 163, Pigment Yellow 24, Pigment Yellow 108, Pigment Yellow 193, Pigment Yellow 147, Pigment Yellow 199, Pigment Yellow 202.
Isoindolinone type: Pigment Yellow 110, Pigment Yellow 109, Pigment Yellow 139, Pigment Yellow 179, Pigment Yellow 185.
Condensed azo series: Pigment Yellow 93, Pigment Yellow 94, Pigment Yellow 95, Pigment Yellow 128, Pigment Yellow 155, Pigment Yellow 166, Pigment Yellow 180.
Benzimidazolone series: Pigment Yellow 120, Pigment Yellow 151, Pigment Yellow 154, Pigment Yellow 156, Pigment Yellow 175, Pigment Yellow 181.
Monoazo: Pigment Yellow 1, 2, 3, 4, 5, 6, 9, 10, 12, 61, 62, 62: 1, 65, 73, 74, 75, 97, 100, 104, 105, 111, 116 , 167, 168, 169, 182, 183.
Disazo: Pigment Yellow 12, 13, 14, 16, 17, 55, 63, 81, 83, 87, 126, 127, 152, 170, 172, 174, 176, 188, 198.
その他、色調を調整する目的で紫、オレンジ、茶色、黒などの着色剤を加えてもよい。
具体的に例示すれば、Pigment Violet 19、23、29、32、36、38、42、Solvent Violet 13、36、C.I.ピグメントオレンジ1、C.I.ピグメントオレンジ5、C.I.ピグメントオレンジ13、C.I.ピグメントオレンジ14、C.I.ピグメントオレンジ16、C.I.ピグメントオレンジ17、C.I.ピグメントオレンジ24、C.I.ピグメントオレンジ34、C.I.ピグメントオレンジ36、C.I.ピグメントオレンジ38、C.I.ピグメントオレンジ40、C.I.ピグメントオレンジ43、C.I.ピグメントオレンジ46、C.I.ピグメントオレンジ49、C.I.ピグメントオレンジ51、C.I.ピグメントオレンジ61、C.I.ピグメントオレンジ63、C.I.ピグメントオレンジ64、C.I.ピグメントオレンジ71、C.I.ピグメントオレンジ73、C.I.ピグメントブラウン23、C.I.ピグメントブラウン25、C.I.ピグメントブラック1、C.I.ピグメントブラック7等がある。
In addition, a colorant such as purple, orange, brown, or black may be added for the purpose of adjusting the color tone.
Specifically, Pigment Violet 19, 23, 29, 32, 36, 38, 42, Solvent Violet 13, 36, CI Pigment Orange 1, CI Pigment Orange 5, CI Pigment Orange 13, CI Pigment Orange 14, CI CI Pigment Orange 16, CI Pigment Orange 17, CI Pigment Orange 24, CI Pigment Orange 34, CI Pigment Orange 36, CI Pigment Orange 38, CI Pigment Orange 40, CI Pigment Orange 43, CI Pigment Orange 46, CI Pigment Orange 49, CI CI Pigment Orange 51, CI Pigment Orange 61, CI Pigment Orange 63, CI Pigment Orange 64, CI Pigment Orange 71, CI Pigment Orange 73, CI Pigment Brown 23, CI Pigment Brown 25, CI Pigment Black 1, CI Pigment Black And the like.
前記したような着色剤は適宜配合できるが、カルボキシル基含有樹脂又は熱硬化性成分100質量部に対して、10質量部以下とすることが好ましい。より好ましくは0.1〜5質量部である。 The colorant as described above can be appropriately blended, but is preferably 10 parts by mass or less with respect to 100 parts by mass of the carboxyl group-containing resin or the thermosetting component. More preferably, it is 0.1-5 mass parts.
本発明の光硬化性樹脂組成物には、分子中に複数のエチレン性不飽和基を有する化合物を配合することができる。本発明の光硬化性樹脂組成物に用いられる分子中に複数のエチレン性不飽和基を有する化合物は、活性エネルギー線照射により、光硬化して、本発明の感光性化合物や前記カルボキシル基含有感光性樹脂を、アルカリ水溶液に不溶化、又は不溶化を助けるものである。このような化合物としては、慣用公知のポリエステル(メタ)アクリレート、ポリエーテル(メタ)アクリレート、ウレタン(メタ)アクリレート、カーボネート(メタ)アクリレート、エポキシ(メタ)アクリレート、ウレタン(メタ)アクリレートが使用でき具体的には、2−ヒドロキシエチルアクリレート、2−ヒドロキシプロピルアクリレートなどのヒドロキシアルキルアクリレート類;エチレングリコール、メトキシテトラエチレングリコール、ポリエチレングリコール、プロピレングリコールなどのグリコールのジアクリレート類;N,N−ジメチルアクリルアミド、N−メチロールアクリルアミド、N,N−ジメチルアミノプロピルアクリルアミドなどのアクリルアミド類;N,N−ジメチルアミノエチルアクリレート、N,N−ジメチルアミノプロピルアクリレートなどのアミノアルキルアクリレート類;ヘキサンジオール、トリメチロールプロパン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトール、トリス−ヒドロキシエチルイソシアヌレートなどの多価アルコール又はこれらのエチレオキサイド付加物、プロピレンオキサイド付加物、もしくはε−カプロラクトン付加物などの多価アクリレート類;フェノキシアクリレート、ビスフェノールAジアクリレート、及びこれらのフェノール類のエチレンオキサイド付加物もしくはプロピレンオキサイド付加物などの多価アクリレート類;グリセリンジグリシジルエーテル、グリセリントリグリシジルエーテル、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテル、トリグリシジルイソシアヌレートなどのグリシジルエーテルの多価アクリレート類;上記に限らず、ポリエーテルポリオール、ポリカーボネートジオール、水酸基末端ポリブタジエン、ポリエステルポリオールなどのポリオールを直接アクリレート化、もしくは、ジイソシアネートを介してウレタンアクリレート化したアクリレート類及びメラミンアクリレート、及び/又は上記アクリレートに対応する各メタクリレート類などが挙げられる。 The photocurable resin composition of the present invention can contain a compound having a plurality of ethylenically unsaturated groups in the molecule. The compound having a plurality of ethylenically unsaturated groups in the molecule used in the photocurable resin composition of the present invention is photocured by irradiation with active energy rays, and the photosensitive compound of the present invention or the carboxyl group-containing photosensitivity. The insoluble resin is insolubilized in the aqueous alkali solution or helps insolubilization. As such a compound, conventionally known polyester (meth) acrylate, polyether (meth) acrylate, urethane (meth) acrylate, carbonate (meth) acrylate, epoxy (meth) acrylate, and urethane (meth) acrylate can be used. Specifically, hydroxyalkyl acrylates such as 2-hydroxyethyl acrylate and 2-hydroxypropyl acrylate; diacrylates of glycols such as ethylene glycol, methoxytetraethylene glycol, polyethylene glycol, and propylene glycol; N, N-dimethylacrylamide, Acrylamides such as N-methylolacrylamide and N, N-dimethylaminopropylacrylamide; N, N-dimethylaminoethyl acrylate, N, -Aminoalkyl acrylates such as dimethylaminopropyl acrylate; polyhydric alcohols such as hexanediol, trimethylolpropane, pentaerythritol, dipentaerythritol, tris-hydroxyethylisocyanurate or their ethylene oxide adducts, propylene oxide adducts, Or polyvalent acrylates such as ε-caprolactone adduct; phenoxy acrylate, bisphenol A diacrylate, and polyvalent acrylates such as ethylene oxide adduct or propylene oxide adduct of these phenols; glycerin diglycidyl ether, glycerin tri Glycidyl such as glycidyl ether, trimethylolpropane triglycidyl ether, triglycidyl isocyanurate Polyvalent acrylates of ethers: not limited to the above, acrylates and melamine acrylates obtained by directly acrylated polyols such as polyether polyols, polycarbonate diols, hydroxyl-terminated polybutadienes, polyester polyols, or urethane acrylates via diisocyanates, and And / or methacrylates corresponding to the acrylate.
さらに、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂等の多官能エポキシ樹脂に、アクリル酸を反応させたエポキシアクリレート樹脂や、さらにそのエポキシアクリレート樹脂の水酸基に、ペンタエリスリトールトリアクリレート等のヒドロキシアクリレートとイソホロンジイソシアネート等のジイソシアネートのハーフウレタン化合物を反応させたエポキシウレタンアクリレート化合物等が挙げられる。このようなエポキシアクリレート系樹脂は、指触乾燥性を低下させることなく、光硬化性を向上させることができる。 Furthermore, an epoxy acrylate resin obtained by reacting acrylic acid with a polyfunctional epoxy resin such as a cresol novolac type epoxy resin, and further a hydroxy acrylate such as pentaerythritol triacrylate and a diisocyanate such as isophorone diisocyanate on the hydroxyl group of the epoxy acrylate resin. The epoxy urethane acrylate compound etc. which made the half urethane compound react are mentioned. Such an epoxy acrylate resin can improve photocurability without deteriorating the touch drying property.
このような複数のエチレン性不飽和基を有する化合物は、1種を単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。特に1分子中に4個から6個のエチレン性不飽和基を有する化合物が光反応性と解像性の観点から好ましく、さらに1分子中に2個のエチレン性不飽和基を有する化合物を用いると、硬化物のTgは上昇し、さらに線膨張係数が低下することで、冷熱サイクル試験時におけるクラックの発生が低減されることが見出されたことから好ましい。
このような分子中に複数のエチレン性不飽和基を有する化合物の配合量は、カルボキシル基含有樹脂100質量部に対して、5〜100質量部が好ましい。配合量が、5質量部未満の場合、光硬化性が低下し、活性エネルギー線照射後のアルカリ現像により、パターン形成が困難となる。一方、100質量部を超えた場合、希アルカリ水溶液に対する溶解性が低下して、塗膜が脆くなる。より好ましくは、1〜70質量部である。
Such compounds having a plurality of ethylenically unsaturated groups can be used singly or in combination of two or more. In particular, a compound having 4 to 6 ethylenically unsaturated groups in one molecule is preferable from the viewpoint of photoreactivity and resolution, and a compound having two ethylenically unsaturated groups in one molecule is used. When the Tg of the cured product is increased and the coefficient of linear expansion is further decreased, it has been found that the occurrence of cracks during the thermal cycle test is reduced.
As for the compounding quantity of the compound which has several ethylenically unsaturated groups in such a molecule | numerator, 5-100 mass parts is preferable with respect to 100 mass parts of carboxyl group-containing resin. When the blending amount is less than 5 parts by mass, photocurability is lowered, and pattern formation becomes difficult by alkali development after irradiation with active energy rays. On the other hand, when it exceeds 100 mass parts, the solubility with respect to dilute alkali aqueous solution falls, and a coating film becomes weak. More preferably, it is 1-70 mass parts.
さらに、本発明の光硬化性樹脂組成物は、前記カルボキシル基含有樹脂の合成や組成物の調製のため、又は基板やキャリアフィルムに塗布するための粘度調整のため、有機溶剤を使用することができる。
このような有機溶剤としては、ケトン類、芳香族炭化水素類、グリコールエーテル類、グリコールエーテルアセテート類、エステル類、アルコール類、脂肪族炭化水素、石油系溶剤などが挙げることができる。より具体的には、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類;トルエン、キシレン、テトラメチルベンゼン等の芳香族炭化水素類;セロソルブ、メチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、カルビトール、メチルカルビトール、ブチルカルビトール、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールジエチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル等のグリコールエーテル類;酢酸エチル、酢酸ブチル、ジプロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールブチルエーテルアセテートなどのエステル類;エタノール、プロパノール、エチレングリコール、プロピレングリコール等のアルコール類;オクタン、デカン等の脂肪族炭化水素;石油エーテル、石油ナフサ、水添石油ナフサ、ソルベントナフサ等の石油系溶剤などである。このような有機溶剤は、単独で又は2種以上の混合物として用いられる。
Furthermore, the photocurable resin composition of the present invention may use an organic solvent for the synthesis of the carboxyl group-containing resin, the preparation of the composition, or the viscosity adjustment for application to a substrate or a carrier film. it can.
Examples of such organic solvents include ketones, aromatic hydrocarbons, glycol ethers, glycol ether acetates, esters, alcohols, aliphatic hydrocarbons, petroleum solvents, and the like. More specifically, ketones such as methyl ethyl ketone and cyclohexanone; aromatic hydrocarbons such as toluene, xylene and tetramethylbenzene; cellosolve, methyl cellosolve, butyl cellosolve, carbitol, methyl carbitol, butyl carbitol, propylene glycol monomethyl Glycol ethers such as ether, dipropylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol diethyl ether, triethylene glycol monoethyl ether; ethyl acetate, butyl acetate, dipropylene glycol methyl ether acetate, propylene glycol methyl ether acetate, propylene glycol ethyl ether acetate , Esters such as propylene glycol butyl ether acetate; ethanol, propano , Ethylene glycol, alcohols such as propylene glycol; octane, aliphatic hydrocarbons decane; petroleum ether is petroleum naphtha, hydrogenated petroleum naphtha, and petroleum solvents such as solvent naphtha. Such organic solvents are used alone or as a mixture of two or more.
本発明の光硬化性樹脂組成物には、ラジカル補足剤又は/及び酸化防止剤を添加することが好ましい。ラジカル補足剤又は/及び酸化防止剤を加えることにより、PCT耐性とクラック耐性が向上することが認められた。これは、樹脂組成物において(1)発生したラジカルを無効化するようなラジカル補足剤又は/及び(2)発生した過酸化物を無害な物質に分解し、新たなラジカルが発生しないようにする過酸化物分解剤等の酸化防止剤が添加されたことにより、樹脂組成物中のエラストマーの酸化が抑制されたためであると考えられる。 It is preferable to add a radical scavenger or / and an antioxidant to the photocurable resin composition of the present invention. It was confirmed that the PCT resistance and the crack resistance were improved by adding a radical scavenger or / and an antioxidant. This is because in the resin composition (1) a radical scavenger that invalidates the generated radicals and / or (2) the generated peroxide is decomposed into harmless substances so that no new radicals are generated. This is probably because the oxidation of the elastomer in the resin composition was suppressed by the addition of an antioxidant such as a peroxide decomposer.
ラジカル補足剤として働く酸化防止剤としては、例えば、ヒドロキノン、4−t−ブチルカテコール、2−t−ブチルヒドロキノン、ヒドロキノンモノメチルエーテル、2,6−ジ−t−ブチル−p−クレゾール、2,2−メチレン−ビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、1,1,3−トリス(2−メチル−4−ヒドロキシ−5−t−ブチルフェニル)ブタン、1,3,5−トリメチル−2,4,6−トリス(3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシベンジル)ベンゼン、1,3,5−トリス(3’,5’−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシベンジル)−S−トリアジン−2,4,6−(1H,3H,5H)トリオン等のフェノール系、メタキノン、ベンゾキノン等のキノン系化合物、ビス(2,2,6,6−テトラメチル−4−ピペリジル)−セバケート、フェノチアジン等のアミン系化合物等が挙げられる。 Examples of the antioxidant acting as a radical scavenger include hydroquinone, 4-t-butylcatechol, 2-t-butylhydroquinone, hydroquinone monomethyl ether, 2,6-di-t-butyl-p-cresol, 2,2 -Methylene-bis (4-methyl-6-tert-butylphenol), 1,1,3-tris (2-methyl-4-hydroxy-5-tert-butylphenyl) butane, 1,3,5-trimethyl-2 , 4,6-tris (3,5-di-t-butyl-4-hydroxybenzyl) benzene, 1,3,5-tris (3 ′, 5′-di-t-butyl-4-hydroxybenzyl)- Phenolic compounds such as S-triazine-2,4,6- (1H, 3H, 5H) trione, quinone compounds such as metaquinone and benzoquinone, bis (2,2,6,6-tetramethyl-4 -Piperidyl) -amine compounds such as sebacate and phenothiazine.
ラジカル補足剤は市販のものであってもよく、例えば、アデカスタブAO−30、アデカスタブAO−330、アデカスタブAO−20、アデカスタブLA−77、アデカスタブLA−57、アデカスタブLA−67、アデカスタブLA−68、アデカスタブLA−87(いずれも旭電化社製)、IRGANOX 1010、IRGANOX 1035、IRGANOX 1076、IRGANOX 1135、TINUVIN 111FDL、TINUVIN 123、TINUVIN 144、TINUVIN 152、TINUVIN 292、TINUVIN 5100(いずれもチバ・ジャパン社製)等が挙げられる。 The radical scavenger may be commercially available, for example, ADK STAB AO-30, ADK STAB AO-330, ADK STAB AO-20, ADK STAB LA-77, ADK STAB LA-57, ADK STAB LA-67, ADK STAB LA-68, ADK STAB LA-87 (all manufactured by Asahi Denka), IRGANOX 1010, IRGANOX 1035, IRGANOX 1076, IRGANOX 1135, TINUVIN 111FDL, TINUVIN 123, TINUVIN 144, TINUVIN 152, TINUVIN 292, all manufactured by TINUVIN 5100 ) And the like.
過酸化物分解剤として働く酸化防止剤としては、例えば、トリフェニルフォスファイト等のリン系化合物、ペンタエリスリトールテトララウリルチオプロピオネート、ジラウリルチオジプロピオネート、ジステアリル3,3’−チオジプロピオネート等の硫黄系化合物等が挙げられる。
過酸化物分解剤は市販のものであってもよく、例えば、アデカスタブTPP(旭電化社製)、マークAO−412S(アデカ・アーガス化学社製)、スミライザーTPS(住友化学社製)等が挙げられる。このような酸化防止剤は、1種を単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。
Examples of the antioxidant acting as a peroxide decomposer include phosphorus compounds such as triphenyl phosphite, pentaerythritol tetralauryl thiopropionate, dilauryl thiodipropionate, distearyl 3,3′-thiodipro Sulfur compounds such as pionate can be mentioned.
The peroxide decomposing agent may be commercially available, and examples thereof include ADK STAB TPP (manufactured by Asahi Denka Co., Ltd.), Mark AO-412S (manufactured by Adeka Argus Chemical Co., Ltd.), and Sumilizer TPS (manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd.). It is done. Such antioxidant can be used individually by 1 type or in combination of 2 or more types.
本発明の光硬化性樹脂組成物には、酸化防止剤の他に、紫外線吸収剤を使用することができる。
このような紫外線吸収剤としては、ベンゾフェノン誘導体、ベンゾエート誘導体、ベンゾトリアゾール誘導体、トリアジン誘導体、ベンゾチアゾール誘導体、シンナメート誘導体、アントラニレート誘導体、ジベンゾイルメタン誘導体等が挙げられる。
In addition to the antioxidant, an ultraviolet absorber can be used in the photocurable resin composition of the present invention.
Examples of such ultraviolet absorbers include benzophenone derivatives, benzoate derivatives, benzotriazole derivatives, triazine derivatives, benzothiazole derivatives, cinnamate derivatives, anthranilate derivatives, dibenzoylmethane derivatives, and the like.
ベンゾフェノン誘導体としては、例えば、2−ヒドロキシ−4−メトキシ−ベンゾフェノン2−ヒドロキシ−4−メトキシベンゾフェノン、2−ヒドロキシ−4−n−オクトキシベンゾフェノン、2,2’−ジヒドロキシ−4−メトキシベンゾフェノン及び2,4−ジヒドロキシベンゾフェノン等が挙げられる。 Examples of the benzophenone derivatives include 2-hydroxy-4-methoxy-benzophenone 2-hydroxy-4-methoxybenzophenone, 2-hydroxy-4-n-octoxybenzophenone, 2,2′-dihydroxy-4-methoxybenzophenone and 2 , 4-dihydroxybenzophenone and the like.
ベンゾエート誘導体としては、例えば、2−エチルヘキシルサリチレート、フェニルサリチレート、p−t−ブチルフェニルサリチレート、2,4−ジ−t−ブチルフェニル−3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシベンゾエート及びヘキサデシル−3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシベンゾエート等が挙げられる。 Examples of the benzoate derivative include 2-ethylhexyl salicylate, phenyl salicylate, pt-butylphenyl salicylate, 2,4-di-t-butylphenyl-3,5-di-t-butyl- Examples include 4-hydroxybenzoate and hexadecyl-3,5-di-t-butyl-4-hydroxybenzoate.
ベンゾトリアゾール誘導体としては、例えば、2−(2’−ヒドロキシ−5’−t−ブチルフェニル)ベンゾトリアゾール、2−(2’−ヒドロキシ−5’−メチルフェニル)エンゾトリアゾール、2−(2’−ヒドロキシ−3’−t−ブチル−5’−メチルフェニル)−5−クロロベンゾトリアゾール、2−(2’−ヒドロキシ−3’,5’−ジ−t−ブチルフェニル)−5−クロロベンゾトリアゾール、2−(2’−ヒドロキシ−5’−メチルフェニル)ベンゾトリアゾール及び2−(2’−ヒドロキシ−3’,5’−ジ−t−アミルフェニル)ベンゾトリアゾール等が挙げられる。 Examples of the benzotriazole derivatives include 2- (2′-hydroxy-5′-t-butylphenyl) benzotriazole, 2- (2′-hydroxy-5′-methylphenyl) enzotriazole, 2- (2′- Hydroxy-3′-t-butyl-5′-methylphenyl) -5-chlorobenzotriazole, 2- (2′-hydroxy-3 ′, 5′-di-t-butylphenyl) -5-chlorobenzotriazole, Examples include 2- (2′-hydroxy-5′-methylphenyl) benzotriazole and 2- (2′-hydroxy-3 ′, 5′-di-t-amylphenyl) benzotriazole.
トリアジン誘導体としては、例えば、ヒドロキシフェニルトリアジン、ビスエチルヘキシルオキシフェノールメトキシフェニルトリアジン等が挙げられる。
紫外線吸収剤としては、市販のものであってもよく、例えば、TINUVI PS、TINUVIN 99−2、TINUVIN 109、TINUVIN 384−2、TINUVIN 900、TINUVIN 928、TINUVIN 1130、TINUVIN 400、TINUVIN 405、TINUVIN 460、TINUVIN 479(いずれもチバ・ジャパン社製)等が挙げられる。このような紫外線吸収剤は、1種を単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができ、酸化防止剤と併用することで、本発明の光硬化性樹脂組成物より得られる成形物の安定化を図ることができる。
Examples of the triazine derivative include hydroxyphenyl triazine, bisethylhexyloxyphenol methoxyphenyl triazine, and the like.
Ultraviolet absorbers may be commercially available, for example, TINUVI PS, TINUVIN 99-2, TINUVIN 109, TINUVIN 384-2, TINUVIN 900, TINUVIN 928, TINUVIN 1130, TINUVIN 400, TINUVIN 405, TINUVIN 460. , TINUVIN 479 (both manufactured by Ciba Japan). Such ultraviolet absorbers can be used singly or in combination of two or more, and can be used in combination with an antioxidant to stabilize the molded product obtained from the photocurable resin composition of the present invention. Can be achieved.
本発明の光硬化性樹脂組成物は、さらに必要に応じて、公知の熱重合禁止剤、微粉シリカ、有機ベントナイト、モンモリロナイト等の公知の増粘剤、シリコーン系、フッ素系、高分子系等の消泡剤及び/又はレベリング剤、イミダゾール系、チアゾール系、トリアゾール系等のシランカップリング剤、酸化防止剤、防錆剤等のような公知の添加剤類を配合することができる。 The photo-curable resin composition of the present invention may further include a known thickener such as a known thermal polymerization inhibitor, fine silica, organic bentonite, and montmorillonite, a silicone-based, a fluorine-based, a polymer-based, etc., if necessary. Known additives such as antifoaming agents and / or leveling agents, imidazole-based, thiazole-based, triazole-based silane coupling agents, antioxidants, rust inhibitors, and the like can be blended.
熱重合禁止剤は、重合性化合物の熱的な重合又は経時的な重合を防止するために用いることができる。熱重合禁止剤としては、例えば、4−メトキシフェノール、ハイドロキノン、アルキル又はアリール置換ハイドロキノン、t−ブチルカテコール、ピロガロール、2−ヒドロキシベンゾフェノン、4−メトキシ−2−ヒドロキシベンゾフェノン、塩化第一銅、フェノチアジン、クロラニル、ナフチルアミン、β−ナフトール、2,6−ジ−t−ブチル−4−クレゾール、2,2’−メチレンビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、ピリジン、ニトロベンゼン、ジニトロベンゼン、ピクリン酸、4−トルイジン、メチレンブルー、銅と有機キレート剤反応物、サリチル酸メチル、及びフェノチアジン、ニトロソ化合物、ニトロソ化合物とAlとのキレート等が挙げられる。 The thermal polymerization inhibitor can be used for preventing thermal polymerization or polymerization with time of the polymerizable compound. Examples of the thermal polymerization inhibitor include 4-methoxyphenol, hydroquinone, alkyl or aryl-substituted hydroquinone, t-butylcatechol, pyrogallol, 2-hydroxybenzophenone, 4-methoxy-2-hydroxybenzophenone, cuprous chloride, phenothiazine, Chloranil, naphthylamine, β-naphthol, 2,6-di-tert-butyl-4-cresol, 2,2′-methylenebis (4-methyl-6-tert-butylphenol), pyridine, nitrobenzene, dinitrobenzene, picric acid, 4-Toluidine, methylene blue, copper and organic chelating agent reactant, methyl salicylate, phenothiazine, nitroso compound, chelate of nitroso compound and Al, and the like.
本発明の光硬化性樹脂組成物には、層間の密着性、又は形成される樹脂絶縁層と基材との密着性を向上させるために、密着促進剤を用いることができる。このような密着促進剤例としては、例えば、ベンゾイミダゾール、ベンゾオキサゾール、ベンゾチアゾール、3−モルホリノメチル−1−フェニル−トリアゾール−2−チオン、5−アミノ−3−モルホリノメチル−チアゾール−2−チオン、トリアゾール、テトラゾール、ベンゾトリアゾール、カルボキシベンゾトリアゾール、アミノ基含有ベンゾトリアゾール、シランカップリング剤等がある。 In the photocurable resin composition of the present invention, an adhesion promoter can be used in order to improve adhesion between layers or adhesion between the formed resin insulation layer and the substrate. Examples of such adhesion promoters include, for example, benzimidazole, benzoxazole, benzothiazole, 3-morpholinomethyl-1-phenyl-triazole-2-thione, 5-amino-3-morpholinomethyl-thiazole-2-thione. , Triazole, tetrazole, benzotriazole, carboxybenzotriazole, amino group-containing benzotriazole, silane coupling agent and the like.
このように構成される本発明の光硬化性樹脂組成物は、所定の組成に調製した後、例えば、有機溶剤で塗布方法に適した粘度に調整し、基材上に、ディップコート法、フローコート法、ロールコート法、バーコーター法、スクリーン印刷法、カーテンコート法等の方法により塗布する。
そして、約60〜100℃の温度で、組成物中に含まれる有機溶剤を揮発乾燥(仮乾燥)させ、タックフリーの塗膜(樹脂絶縁層)を形成する。このとき、揮発乾燥は、熱風循環式乾燥炉、IR炉、ホットプレート、コンベクションオーブン等(蒸気による空気加熱方式の熱源を備えたものを用いて乾燥機内の熱風を向流接触させる方法及びノズルより支持体に吹き付ける方式)を用いて行うことができる。
After the photocurable resin composition of the present invention configured as described above is prepared to a predetermined composition, it is adjusted to a viscosity suitable for a coating method with an organic solvent, for example, on a substrate, a dip coating method, a flow The coating method is a coating method, a roll coating method, a bar coater method, a screen printing method, a curtain coating method, or the like.
And the organic solvent contained in a composition is volatilized and dried (temporary drying) at the temperature of about 60-100 degreeC, and a tack-free coating film (resin insulating layer) is formed. At this time, the volatile drying is performed by using a hot air circulation drying furnace, an IR furnace, a hot plate, a convection oven or the like (using a method having a heat source of an air heating method using steam in a countercurrent contact with hot air in the dryer) A method of spraying on a support).
また、光硬化性樹脂組成物よりドライフィルムを形成し、これを基材上に張り合わせることにより、樹脂絶縁層を形成してもよい。
ドライフィルムは、例えばポリエチレンテレフタレート等のキャリアフィルムと、ソルダーレジスト層などの樹脂絶縁層と、必要に応じて用いられる剥離可能なカバーフィルムとが、この順序に積層された構造を有するものである。
Moreover, you may form a resin insulating layer by forming a dry film from a photocurable resin composition and bonding this on a base material.
The dry film has, for example, a structure in which a carrier film such as polyethylene terephthalate, a resin insulating layer such as a solder resist layer, and a peelable cover film used as necessary are laminated in this order.
樹脂絶縁層は、光硬化性樹脂組成物をキャリアフィルム又はカバーフィルムに塗布・乾燥して得られる層である。このような樹脂絶縁層は、本発明の光硬化性樹脂組成物をブレードコーター、リップコーター、コンマコーター、フィルムコーター等で、キャリアフィルムに、10〜150μmの厚さで均一に塗布し、乾燥して形成される。そして、さらに必要に応じてカバーフィルムを積層することにより、ドライフィルムが形成される。このとき、光硬化性樹脂組成物をカバーフィルムに塗布、乾燥した後、キャリアフィルムを積層してもよい。 A resin insulation layer is a layer obtained by apply | coating and drying a photocurable resin composition to a carrier film or a cover film. For such a resin insulation layer, the photo-curable resin composition of the present invention is uniformly applied to a carrier film with a thickness of 10 to 150 μm using a blade coater, a lip coater, a comma coater, a film coater, etc., and dried. Formed. And a dry film is formed by laminating | stacking a cover film further as needed. At this time, the carrier film may be laminated after the photocurable resin composition is applied to the cover film and dried.
キャリアフィルムとしては、例えば2〜150μmの厚みのポリエステルフィルム等の熱可塑性フィルムが用いられる。
カバーフィルムとしては、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム等を使用することができるが、ソルダーレジスト層との接着力が、キャリアフィルムよりも小さいものが良い。
As the carrier film, for example, a thermoplastic film such as a polyester film having a thickness of 2 to 150 μm is used.
As the cover film, a polyethylene film, a polypropylene film, or the like can be used, but a cover film having a smaller adhesive force than the solder resist layer is preferable.
このようなドライフィルムを用いて、カバーフィルムが用いられた場合はこれを剥がした後、樹脂絶縁層と基材を重ね、ラミネーター等を用いて張り合わせることにより、基材上に樹脂絶縁層が形成される。なお、キャリアフィルムは、後述する露光の前又は後に剥離すればよい。 If such a dry film is used and the cover film is used, after peeling off the cover film, the resin insulation layer and the base material are stacked and bonded together using a laminator or the like, so that the resin insulation layer is formed on the base material. It is formed. In addition, what is necessary is just to peel a carrier film before or after the exposure mentioned later.
このとき、塗膜が形成される、あるいはドライフィルムを張り合わせる基材としては、予め回路形成されたプリント配線板やフレキシブルプリント配線板の他、紙−フェノール樹脂、紙−エポキシ樹脂、ガラス布−エポキシ樹脂、ガラス−ポリイミド、ガラス布/不繊布−エポキシ樹脂、ガラス布/紙−エポキシ樹脂、合成繊維−エポキシ樹脂、フッ素樹脂・ポリエチレン・PPO・シアネートエステル等の複合材を用いた全てのグレード(FR−4等)の銅張積層板、ポリイミドフィルム、PETフィルム、ガラス基板、セラミック基板、ウエハ板等を用いることができる。 At this time, as a base material on which a coating film is formed or a dry film is laminated, paper-phenol resin, paper-epoxy resin, glass cloth--in addition to a printed circuit board and a flexible printed circuit board in which circuits are formed in advance Epoxy resin, glass-polyimide, glass cloth / non-woven cloth-epoxy resin, glass cloth / paper-epoxy resin, synthetic fiber-epoxy resin, all grades using composite materials such as fluororesin / polyethylene / PPO / cyanate ester ( FR-4 etc.) copper-clad laminate, polyimide film, PET film, glass substrate, ceramic substrate, wafer plate and the like.
さらに、接触式(又は非接触方式)により、パターンを形成したフォトマスクを通して、選択的に活性エネルギー線により露光もしくはレーザーダイレクト露光機により直接パターン露光する。塗膜は、露光部(活性エネルギー線により照射された部分)が硬化する。
活性エネルギー線照射に用いられる露光機としては、直接描画装置(例えばコンピューターからのCADデータにより直接レーザーで画像を描くレーザーダイレクトイメージング装置)、メタルハライドランプを搭載した露光機、(超)高圧水銀ランプを搭載した露光機、水銀ショートアークランプを搭載した露光機、もしくは(超)高圧水銀ランプ等の紫外線ランプを使用した直接描画装置を用いることができる。
Further, the pattern is exposed by an active energy beam or directly by a laser direct exposure machine through a photomask having a pattern formed by a contact method (or non-contact method). In the coating film, the exposed portion (the portion irradiated by the active energy ray) is cured.
As an exposure machine used for active energy ray irradiation, a direct drawing device (for example, a laser direct imaging device that draws an image directly with a laser using CAD data from a computer), an exposure device equipped with a metal halide lamp, and an (ultra) high-pressure mercury lamp It is possible to use an exposure machine mounted, an exposure machine equipped with a mercury short arc lamp, or a direct drawing apparatus using an ultraviolet lamp such as a (super) high pressure mercury lamp.
活性エネルギー線としては、最大波長が350〜410nmの範囲にあるレーザー光を用いることが好ましい。最大波長をこの範囲とすることにより、光重合開始剤から効率よくラジカルを生成することができる。この範囲のレーザー光を用いていればガスレーザー、固体レーザーのいずれでもよい。また、その露光量は膜厚等によって異なるが、一般には5〜500mJ/cm2、好ましくは10〜300mJ/cm2の範囲内とすることができる。 As the active energy ray, it is preferable to use laser light having a maximum wavelength in the range of 350 to 410 nm. By setting the maximum wavelength within this range, radicals can be efficiently generated from the photopolymerization initiator. If a laser beam in this range is used, either a gas laser or a solid laser may be used. Further, the exposure amount varies depending the thickness or the like, generally 5~500mJ / cm 2, preferably be in the range of 10 to 300 mJ / cm 2.
直接描画装置としては、例えば、日本オルボテック社製、ペンタックス社製等のものを使用することができ、最大波長が350〜410nmのレーザー光を発振する装置であればいずれの装置を用いてもよい。 As the direct drawing device, for example, a device manufactured by Nippon Orbotech, manufactured by Pentax, or the like can be used, and any device that oscillates laser light having a maximum wavelength of 350 to 410 nm may be used. .
そして、このようにして露光することにより、露光部(活性エネルギー線により照射された部分)を硬化させ、未露光部を希アルカリ水溶液(例えば、0.3〜3wt%炭酸ソーダ水溶液)により現像して、硬化物(パターン)が形成される。
このとき、現像方法としては、ディッピング法、シャワー法、スプレー法、ブラシ法等によることができる。また、現像液としては、水酸化カリウム、水酸化ナトリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、リン酸ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、アンモニア、アミン類等のアルカリ水溶液を用いることができる。
And by exposing in this way, an exposed part (part irradiated with the active energy ray) is hardened, and an unexposed part is developed with a dilute alkaline aqueous solution (for example, 0.3 to 3 wt% sodium carbonate aqueous solution). Thus, a cured product (pattern) is formed.
At this time, as a developing method, a dipping method, a shower method, a spray method, a brush method, or the like can be used. Further, as the developer, an alkaline aqueous solution such as potassium hydroxide, sodium hydroxide, sodium carbonate, potassium carbonate, sodium phosphate, sodium silicate, ammonia, amines and the like can be used.
さらに、熱硬化成分を加えた場合、例えば約140〜180℃の温度に加熱して熱硬化させることにより、カルボキシル基含有樹脂のカルボキシル基と、例えば分子中に複数の環状エーテル基及び/又は環状チオエーテル基を有する熱硬化成分が反応し、耐熱性、耐薬品性、耐吸湿性、密着性、電気特性等の諸特性に優れた硬化物(パターン)を形成することができる。尚、熱硬化性成分を含有していない場合でも、熱処理することにより、露光時に未反応の状態で残った光硬化性成分のエチレン性不飽和結合が熱ラジカル重合し、塗膜特性が向上するため、目的・用途により、熱処理(熱硬化)してもよい。 Further, when a thermosetting component is added, for example, by heating to a temperature of about 140 to 180 ° C. and thermosetting, the carboxyl group of the carboxyl group-containing resin and, for example, a plurality of cyclic ether groups and / or cyclic groups in the molecule A thermosetting component having a thioether group reacts to form a cured product (pattern) excellent in various properties such as heat resistance, chemical resistance, moisture absorption resistance, adhesion, and electrical characteristics. In addition, even when it does not contain a thermosetting component, by performing heat treatment, the ethylenically unsaturated bond of the photocurable component remaining in an unreacted state at the time of exposure undergoes thermal radical polymerization, and the coating film characteristics are improved. Therefore, heat treatment (thermosetting) may be performed depending on the purpose and application.
このように、本発明の光硬化性樹脂組成物においては、カルボキシル基含有樹脂、光重合開始剤、フィラー、エラストマー、さらに好ましくは熱硬化性樹脂、及び酸化防止剤を含有することにより、その硬化物において、電子部品などに用いられる際に要求される耐熱性を損なうことなく冷熱サイクル耐性やPCT耐性などの信頼性を得ることができる。そして、このような硬化物をプリント配線板などに用いることにより、高い信頼性を得ることが可能となる。 Thus, in the photocurable resin composition of the present invention, by containing a carboxyl group-containing resin, a photopolymerization initiator, a filler, an elastomer, more preferably a thermosetting resin, and an antioxidant, the curing thereof is achieved. It is possible to obtain reliability such as thermal cycle resistance and PCT resistance without impairing the heat resistance required when used in electronic parts. And it becomes possible by using such hardened | cured material for a printed wiring board etc. to obtain high reliability.
以下に実施例及び比較例を示して本発明について具体的に説明するが、本発明が下記実施例に限定されるものではないことはもとよりである。尚、以下において「部」及び「%」とあるのは、特に断りのない限り全て質量基準である。 EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to examples and comparative examples, but the present invention is not limited to the following examples. In the following description, “parts” and “%” are based on mass unless otherwise specified.
合成例1
温度計、窒素導入装置兼アルキレンオキシド導入装置及び撹拌装置を備えたオートクレーブに、ノボラック型クレゾール樹脂(商品名「ショーノールCRG951」、昭和高分子(株)製、OH当量:119.4)119.4部、水酸化カリウム1.19部及びトルエン119.4部を仕込み、撹拌しつつ系内を窒素置換し、加熱昇温した。次に、プロピレンオキシド63.8部を徐々に滴下し、125〜132℃、0〜4.8kg/cm2で16時間反応させた。その後、室温まで冷却し、この反応溶液に89%リン酸1.56部を添加混合して水酸化カリウムを中和し、不揮発分62.1%、水酸基価が182.2g/eq.であるノボラック型クレゾール樹脂のプロピレンオキシド反応溶液を得た。これは、フェノール性水酸基1当量当りアルキレンオキシドが平均1.08モル付加しているものであった。
得られたノボラック型クレゾール樹脂のアルキレンオキシド反応溶液293.0部、アクリル酸43.2部、メタンスルホン酸11.53部、メチルハイドロキノン0.18部及びトルエン252.9部を、撹拌機、温度計及び空気吹き込み管を備えた反応器に仕込み、空気を10ml/分の速度で吹き込み、撹拌しながら、110℃で12時間反応させた。反応により生成した水は、トルエンとの共沸混合物として、12.6部の水が留出した。その後、室温まで冷却し、得られた反応溶液を15%水酸化ナトリウム水溶液35.35部で中和し、次いで水洗した。その後、エバポレーターにてトルエンをジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート118.1部で置換しつつ留去し、ノボラック型アクリレート樹脂溶液を得た。次に、得られたノボラック型アクリレート樹脂溶液332.5部及びトリフェニルホスフィン1.22部を、撹拌器、温度計及び空気吹き込み管を備えた反応器に仕込み、空気を10ml/分の速度で吹き込み、撹拌しながら、テトラヒドロフタル酸無水物60.8部を徐々に加え、95〜101℃で6時間反応させ、冷却後、取り出した。このようにして、不揮発分65%、固形物の酸価87.7mgKOH/gのカルボキシル基含有感光性樹脂の溶液(以下、A−1と略称する)を得た。
Synthesis example 1
A novolac-type cresol resin (trade name “Shonol CRG951”, manufactured by Showa Polymer Co., Ltd., OH equivalent: 119.4) is added to an autoclave equipped with a thermometer, a nitrogen introduction device / alkylene oxide introduction device, and a stirring device. 4 parts, 1.19 parts of potassium hydroxide and 119.4 parts of toluene were charged, the system was purged with nitrogen while stirring, and the temperature was raised. Next, 63.8 parts of propylene oxide was gradually added dropwise and reacted at 125 to 132 ° C. and 0 to 4.8 kg / cm 2 for 16 hours. Thereafter, the reaction solution was cooled to room temperature, and 1.56 parts of 89% phosphoric acid was added to and mixed with the reaction solution to neutralize potassium hydroxide. The nonvolatile content was 62.1% and the hydroxyl value was 182.2 g / eq. A novolak-type cresol resin propylene oxide reaction solution was obtained. This was an average of 1.08 moles of alkylene oxide added per equivalent of phenolic hydroxyl group.
293.0 parts of an alkylene oxide reaction solution of the obtained novolak-type cresol resin, 43.2 parts of acrylic acid, 11.53 parts of methanesulfonic acid, 0.18 part of methylhydroquinone and 252.9 parts of toluene were mixed with a stirrer and a temperature. A reactor equipped with a meter and an air blowing tube was charged, air was blown at a rate of 10 ml / min, and the reaction was carried out at 110 ° C. for 12 hours while stirring. 12.6 parts of water was distilled from the water produced by the reaction as an azeotrope with toluene. Thereafter, the reaction solution was cooled to room temperature, neutralized with 35.35 parts of a 15% aqueous sodium hydroxide solution, and then washed with water. Thereafter, toluene was distilled off while substituting 118.1 parts of diethylene glycol monoethyl ether acetate with an evaporator to obtain a novolak acrylate resin solution. Next, 332.5 parts of the obtained novolak acrylate resin solution and 1.22 parts of triphenylphosphine were charged into a reactor equipped with a stirrer, a thermometer and an air blowing tube, and air was supplied at a rate of 10 ml / min. While blowing and stirring, 60.8 parts of tetrahydrophthalic anhydride was gradually added, reacted at 95 to 101 ° C. for 6 hours, cooled and taken out. In this way, a solution (hereinafter abbreviated as A-1) of a carboxyl group-containing photosensitive resin having a non-volatile content of 65% and a solid acid value of 87.7 mgKOH / g was obtained.
合成例2
クレゾールノボラック型エポキシ樹脂(エピクロンN−695、DIC(株)製、エポキシ当量220)330gを、ガス導入管、撹拌装置、冷却管及び温度計を備えたフラスコに入れ、カルビトールアセテート340gを加え、加熱溶解し、ハイドロキノン0.46gと、トリフェニルホスフィン1.38gを加えた。この混合物を95〜105℃に加熱し、アクリル酸108gを徐々に滴下し、16時間反応させた。この反応生成物を、80〜90℃まで冷却し、テトラヒドロフタル酸無水物68gを加え、8時間反応させ、冷却させた。このようにして、固形物の酸価50mgKOH/g、不揮発分60%のカルボキシル基含有感光性樹脂の溶液(以下、A−4と略称する)を得た。
Synthesis example 2
Add 330 g of cresol novolac type epoxy resin (Epiclon N-695, manufactured by DIC Corporation, epoxy equivalent 220) to a flask equipped with a gas introduction tube, a stirrer, a cooling tube and a thermometer, add 340 g of carbitol acetate, The mixture was dissolved by heating, and 0.46 g of hydroquinone and 1.38 g of triphenylphosphine were added. This mixture was heated to 95 to 105 ° C., 108 g of acrylic acid was gradually added dropwise, and reacted for 16 hours. The reaction product was cooled to 80 to 90 ° C., 68 g of tetrahydrophthalic anhydride was added, reacted for 8 hours, and cooled. In this way, a solution (hereinafter abbreviated as A-4) of a carboxyl group-containing photosensitive resin having a solid acid value of 50 mgKOH / g and a nonvolatile content of 60% was obtained.
実施例1〜21及び比較例1〜7
上記合成例の樹脂溶液を用い、下記表1及び表2に示す種々の成分と共に表1及び表2に示す割合(質量部)にて配合し、攪拌機にて予備混合した後、3本ロールミルで混練し、ソルダーレジスト用感光性樹脂組成物を調製した。
Examples 1-21 and Comparative Examples 1-7
Using the resin solution of the above synthesis example, blended in the proportions (parts by mass) shown in Tables 1 and 2 together with various components shown in Tables 1 and 2 below, premixed with a stirrer, The mixture was kneaded to prepare a photosensitive resin composition for solder resist.
前記表1及び表2中の各添数字の意味は以下のとおりである。
*1: ZFR−1401H(不揮発分65.0%、固形分酸価100mgKOH/g、日本化薬(株)製)
*2: ZCR−1601H(不揮発分65.0%、固形分酸価100mgKOH/g、日本化薬(株)製)
*3: エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]1,1−(O−アセチルオキシム)(チバ・ジャパン社製)
*4: ルシリンTPO(BASF社製)
*5: 日本タルク(株)製SG−2000
*6: 堺化学工業(株)製B−33
*7: 昭和電工(株)製ハイジライトH−42M
*8: 堺化学工業(株)製MGZ−3
*9: Nabaltec社製ACTILOX400SM
*10: (株)アドマテックス製SO−E2
*11: HOFFMANN MINERAL社製(球状のシリカと板状のカオリナイトから構成される化合物であるシリチンのアミノシランカップリング材処理品)
*12: 協和化学工業(株)製DHT−4A
*13: エポキシ化ポリブタジエン(分子量:3000、エポキシ当量:200、ダイセル化学(株)製)
*14: 水酸基末端ポリブタジエン(出光興産(株)製)
*15: 2−メルカプトベンゾチアゾール(川口化学工業(株)製)
*16: 2,4,6−トリメルカプト−s−トリアジン(三協化成(株)製)
*17: 1,4−ビス(3−メルカプトブチリルオキシ)ブタン(昭和電工(株)製)
*18: ビキシレノール型エポキシ樹脂(ジャパンエポキシレジン(株)製)
*19: ビスフェノール型エポキシ樹脂(東都化成社製)
*20: 酸化防止剤(チバ・ジャパン社製)
*21: ブロックイソシアネート(旭化成ケミカルズ(株)製)
*22: C.I.Pigment Blue 15:3
*23: C.I.Pigment Yellow 147
*24: ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(日本化薬(株)製)
*25: トリシクロデカンジメタノールジアクリレート(新中村化学工業(株)製)
The meanings of the suffixes in Tables 1 and 2 are as follows.
* 1: ZFR-1401H (nonvolatile content: 65.0%, solid content acid value: 100 mgKOH / g, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.)
* 2: ZCR-1601H (nonvolatile content 65.0%, solid content acid value 100 mgKOH / g, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.)
* 3: Ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl] 1,1- (O-acetyloxime) (manufactured by Ciba Japan)
* 4: Lucillin TPO (BASF)
* 5: Nippon Talc Co., Ltd. SG-2000
* 6: Sakai Chemical Industry Co., Ltd. B-33
* 7: Showa Denko Hijilite H-42M
* 8: Sakai Chemical Industry Co., Ltd. MGZ-3
* 9: ACTILOX400SM manufactured by Nabaltec
* 10: Admatechs SO-E2
* 11: Made by HOFFMANN MINALAL (treated with aminosilane coupling material of silitin, a compound composed of spherical silica and plate-shaped kaolinite)
* 12: DHT-4A manufactured by Kyowa Chemical Industry Co., Ltd.
* 13: Epoxidized polybutadiene (molecular weight: 3000, epoxy equivalent: 200, manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd.)
* 14: Hydroxyl-terminated polybutadiene (made by Idemitsu Kosan Co., Ltd.)
* 15: 2-mercaptobenzothiazole (manufactured by Kawaguchi Chemical Industry Co., Ltd.)
* 16: 2,4,6-trimercapto-s-triazine (manufactured by Sankyo Kasei Co., Ltd.)
* 17: 1,4-bis (3-mercaptobutyryloxy) butane (manufactured by Showa Denko KK)
* 18: Bixylenol type epoxy resin (Japan Epoxy Resin Co., Ltd.)
* 19: Bisphenol type epoxy resin (manufactured by Toto Kasei)
* 20: Antioxidant (Ciba Japan)
* 21: Block isocyanate (manufactured by Asahi Kasei Chemicals Corporation)
* 22: CIPigment Blue 15: 3
* 23: CIPigment Yellow 147
* 24: Dipentaerythritol hexaacrylate (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.)
* 25: Tricyclodecane dimethanol diacrylate (manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.)
特性試験:
前記実施例及び比較例の組成物を、パターン形成された銅箔基板上にスクリーン印刷で全面塗布し、80℃で30分乾燥し、室温まで放冷した。この基板に高圧水銀灯を搭載した露光装置を用いて最適露光量でソルダーレジストパターンを露光し、30℃の1wt%炭酸ナトリウム水溶液をスプレー圧0.2MPaの条件で90秒間現像を行い、レジストパターンを得た。この基板を、UVコンベア炉にて積算露光量1000mJ/cm2の条件で紫外線照射した後、160℃で60分加熱して硬化した。得られたプリント基板(評価基板)に対して以下のように特性を評価した。
Characteristic test:
The compositions of Examples and Comparative Examples were applied on the entire surface of a patterned copper foil substrate by screen printing, dried at 80 ° C. for 30 minutes, and allowed to cool to room temperature. Using this exposure apparatus equipped with a high-pressure mercury lamp on this substrate, the solder resist pattern is exposed at an optimum exposure amount, and developed with a 1 wt% sodium carbonate aqueous solution at 30 ° C. under a spray pressure of 0.2 MPa for 90 seconds. Obtained. This substrate was irradiated with ultraviolet rays under a condition of an integrated exposure amount of 1000 mJ / cm 2 in a UV conveyor furnace, and then cured by heating at 160 ° C. for 60 minutes. The characteristics of the obtained printed circuit board (evaluation board) were evaluated as follows.
<はんだ耐熱性>
ロジン系フラックスを塗布した評価基板を、予め260℃に設定したはんだ槽に浸漬し、変性アルコールでフラックスを洗浄した後、目視によるレジスト層の膨れ・剥がれについて評価した。判定基準は以下のとおりである。
◎:10秒間浸漬を6回以上繰り返しても剥がれが認められない。
○:10秒間浸漬を3回以上繰り返しても剥がれが認められない。
△:10秒間浸漬を3回以上繰り返すと少し剥がれる。
×:10秒間浸漬を3回以内にレジスト層に膨れ、剥がれがある。
<Solder heat resistance>
The evaluation board | substrate which apply | coated the rosin-type flux was immersed in the solder tank previously set to 260 degreeC, and after washing | cleaning the flux with denatured alcohol, the swelling / peeling of the resist layer by visual observation was evaluated. The judgment criteria are as follows.
A: Peeling is not observed even after 10 seconds of immersion for 6 or more times.
○: No peeling is observed even if the immersion for 10 seconds is repeated 3 times or more.
(Triangle | delta): It peels for a while when immersion for 10 seconds is repeated 3 times or more.
X: The resist layer swells and peels off within 3 times for 10 seconds.
<無電解金めっき耐性>
市販品の無電解ニッケルめっき浴及び無電解金めっき浴を用いて、ニッケル0.5μm、金0.03μmの条件でめっきを行い、テープピーリングにより、レジスト層の剥がれの有無やめっきのしみ込みの有無を評価した後、テープピーリングによりレジスト層の剥がれの有無を評価した。判定基準は以下のとおりである。
◎:染み込み、剥がれが見られない。
○:めっき後に少し染み込みが確認されるが、テープピール後は剥がれない。
△:めっき後にほんの僅かしみ込みが見られ、テープピール後に剥がれも見られる。
×:めっき後に剥がれが有る。
<Electroless gold plating resistance>
Using commercially available electroless nickel plating bath and electroless gold plating bath, plating is performed under the conditions of nickel 0.5 μm and gold 0.03 μm, and the tape peeling causes the presence or absence of resist layer peeling or plating penetration. After evaluating the presence or absence, the presence or absence of peeling of the resist layer was evaluated by tape peeling. The judgment criteria are as follows.
A: No soaking or peeling is observed.
○: Slight penetration is confirmed after plating, but does not peel off after tape peeling.
Δ: Slight penetration after plating and peeling after tape peel.
X: There is peeling after plating.
<PCT耐性>
121℃、2気圧、湿度100%の高圧高温高湿槽に168時間入れ、硬化塗膜の状態変化を評価した。以下の評価基準で評価した。
◎:顕著な膨れ、変色なし。
×:顕著な膨れ、変色あり。
<PCT resistance>
It was placed in a high-pressure, high-temperature, high-humidity tank at 121 ° C., 2 atm and 100% humidity for 168 hours, and the state change of the cured coating film was evaluated. Evaluation was made according to the following evaluation criteria.
A: No noticeable swelling or discoloration.
X: Remarkable swelling and discoloration.
<クラック耐性>
−55℃で30分間、125℃で30分間を1サイクルとして熱履歴を加え、1000サイクル経過後、光学顕微鏡観察した。
◎:クラック発生なし。
△:クラック発生あり。
×:クラック発生著しい。
<Crack resistance>
Thermal history was added for 30 minutes at -55 ° C and 30 minutes at 125 ° C, and after 1000 cycles, observation with an optical microscope was performed.
(Double-circle): There is no crack generation.
Δ: Cracks occurred.
X: Crack generation is remarkable.
<解像性>
解像性評価用ネガマスクとしてビア開口径60μmを有するネガパターンを用い、ソルダーレジスト開口部のボトム径を1000倍の走査型電子顕微鏡(SEM)にて観察及び測長をし、以下の評価基準で評価した。
◎:ボトム径が55〜60μm
○:ボトム径が50〜55μm
×:ボトム径が50μm未満
<Resolution>
A negative pattern having a via opening diameter of 60 μm was used as a negative mask for resolution evaluation, and the bottom diameter of the solder resist opening was observed and measured with a scanning electron microscope (SEM) of 1000 times. evaluated.
A: Bottom diameter is 55-60 μm
○: Bottom diameter is 50 to 55 μm
X: Bottom diameter is less than 50 μm
<線膨張係数及びガラス転移温度(Tg)>
3mm×10mmのサイズの硬化塗膜を、セイコーインスツールメンツ社製TMA6100にて10gの荷重を加えながら一定の昇温速度で0℃−260℃の温度範囲で引張り試験を行い、線膨張係数及びTgを測定した。
<Linear expansion coefficient and glass transition temperature (Tg)>
A tensile coating of a 3 mm × 10 mm cured coating film was performed in a temperature range of 0 ° C. to 260 ° C. at a constant temperature increase rate while applying a 10 g load with TMA6100 manufactured by Seiko Instruments Inc. Tg was measured.
<切り出し時の状態確認>
得られた光硬化性樹脂組成物をアプリケーターにて乾燥後の膜厚が約20μmとなるように16μm厚のPETフィルムに塗工し、80℃にて30分間予備乾燥を行い、カッターナイフで10cm角に切り出した際に、光硬化性樹脂組成物の飛散及びクラックの発生状況を目視で評価した。
◎:樹脂飛散及びクラック発生なし。
△:樹脂飛散及びクラック発生あり。
×:樹脂飛散及びクラック発生著しい。
<Confirmation of status when cutting out>
The obtained photocurable resin composition was coated on a 16 μm thick PET film so that the film thickness after drying with an applicator was about 20 μm, preliminarily dried at 80 ° C. for 30 minutes, and 10 cm with a cutter knife. When cut into corners, the occurrence of scattering and cracking of the photocurable resin composition was visually evaluated.
A: No resin scattering or cracking.
Δ: Resin scattering and cracking occurred.
X: Resin scattering and cracking are remarkable.
<折り曲げ性の確認>
得られた光硬化性樹脂組成物をアプリケーターにて乾燥後の膜厚が約20μmとなるように16μm厚のPETフィルムに塗工し、80℃にて30分間予備乾燥を行ない、その後、得られたドライフィルムをPETフィルム面を内側にして180°折り曲げ、クラックの発生の有無を確認した。
◎:クラック発生なし。
△:クラック発生あり。
×:クラック発生著しい。
<Verification of bendability>
The obtained photocurable resin composition was coated on a 16 μm-thick PET film so that the film thickness after drying with an applicator was about 20 μm, and pre-dried at 80 ° C. for 30 minutes, and then obtained. The dried film was bent 180 ° with the PET film surface inside, and the presence or absence of cracks was confirmed.
(Double-circle): There is no crack generation.
Δ: Cracks occurred.
X: Crack generation is remarkable.
<リワーク性の確認>
得られた光硬化性樹脂組成物をアプリケーターにて乾燥後の膜厚が約20μmとなるように16μm厚のPETフィルムに塗工し、80℃にて30分間予備乾燥を行ない、その後、得られたドライフィルムを試験基板にPETフィルム面を上面にして、樹脂組成物層が接触するように重ね合わした際のリワーク性の有無を確認した。
◎:リワーク可能
×:リワーク不可能
<Confirmation of reworkability>
The obtained photocurable resin composition was coated on a 16 μm-thick PET film so that the film thickness after drying with an applicator was about 20 μm, and pre-dried at 80 ° C. for 30 minutes, and then obtained. The dry film was checked for the presence or absence of reworkability when the dry film was superimposed on the test substrate with the PET film surface as the upper surface so that the resin composition layer was in contact.
◎: Rework possible ×: Rework impossible
上記各試験の結果を表3及び表4にまとめて示す。
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