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JP5480070B2 - Front converter and zoom lens inspection method and apparatus using the same - Google Patents
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JP5480070B2 - Front converter and zoom lens inspection method and apparatus using the same - Google Patents

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JP5480070B2 JP2010197656A JP2010197656A JP5480070B2 JP 5480070 B2 JP5480070 B2 JP 5480070B2 JP 2010197656 A JP2010197656 A JP 2010197656A JP 2010197656 A JP2010197656 A JP 2010197656A JP 5480070 B2 JP5480070 B2 JP 5480070B2
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Description

本発明はズームレンズの検査に用いられるフロントコンバータに関するものである。   The present invention relates to a front converter used for inspection of a zoom lens.

また本発明は、そのようなフロントコンバータを用いたズームレンズの検査方法および装置に関するものである。   The present invention also relates to a zoom lens inspection method and apparatus using such a front converter.

従来、ズームレンズを検査する際には、解像力チャートを被写体として用いて、被検レンズにより該チャートの像を結像させ、その像を顕微鏡により観察して結像性能を検査する、あるいはその像を撮像した光電変換素子が出力する電気信号に基づいて結像性能を検査する、といった方法が用いられてきた。   Conventionally, when inspecting a zoom lens, a resolution chart is used as a subject, an image of the chart is formed by a lens to be examined, and the image is observed by a microscope, and the imaging performance is inspected, or the image A method has been used in which imaging performance is inspected based on an electrical signal output by a photoelectric conversion element that has captured the image.

また反対に、上記の場合の結像位置に解像力チャートを配置し、それを被検レンズによって被写体側(上記の場合のチャート側)に逆投影し、投影されたチャートの像を目視して結像性能を検査する方法も一般的に用いられている。   Conversely, a resolution chart is placed at the imaging position in the above case, and it is back projected onto the subject side (the chart side in the above case) by the test lens, and the projected chart image is visually observed. A method for inspecting image performance is also commonly used.

ところが、近年ズームレンズの高倍率化により望遠側の焦点距離が長くなったことに伴い、望遠側では被写体距離による収差の変動が大きくなり、そのために解像力チャートから被検レンズまでの距離が長くなって、検査設備が巨大化する問題が生じてきた。これは、解像力チャートを被検レンズによって投影する場合も同様であり、その場合は被検レンズから投影面までの距離が長大化する。   However, in recent years, as the focal length on the telephoto side has become longer due to the higher magnification of the zoom lens, the variation in aberration due to the subject distance becomes larger on the telephoto side, which increases the distance from the resolution chart to the lens to be examined. As a result, the problem of enlarging inspection facilities has arisen. The same applies to the case where the resolution chart is projected by the test lens. In this case, the distance from the test lens to the projection surface becomes longer.

この問題を解決するために、例えば特許文献1および2に示されるようなクローズアップレンズを挿入することにより、解像力チャートあるいは投影面と被検レンズとの距離を短くして検査できるようにした方法も当分野では知られている。   In order to solve this problem, for example, by inserting a close-up lens as shown in Patent Documents 1 and 2, a resolution chart or a method in which the distance between the projection surface and the test lens can be shortened for inspection Are also known in the art.

特開平7−318801号公報JP 7-318801 A 特開2002−6213号公報JP 2002-6213 A

しかしながら、十分に小さな設備で検査を行うためには、クローズアップレンズを用いる方法ではチャートが細かくなり過ぎ、そのようなチャートを十分な精度で作製するのは困難であるという問題が認められている。また前述の逆投影を行う場合にも、投影像が小さくなり過ぎて、細部の判別が困難になるという問題が認められている。   However, in order to perform inspection with sufficiently small equipment, the method using a close-up lens makes it difficult to produce such a chart with sufficient accuracy because the chart becomes too fine. . Also, when performing the above-described back projection, a problem has been recognized that the projection image becomes too small and it becomes difficult to discriminate details.

本発明は上記の問題に鑑みてなされたものであり、解像力チャートあるいは投影面と被検レンズとの距離を短く設定した上で高精度の検査を行うことができる、ズームレンズの検査方法を提供することを目的とするものである。   The present invention has been made in view of the above problems, and provides a zoom lens inspection method capable of performing high-precision inspection after setting a resolution chart or a distance between a projection surface and a lens to be measured short. It is intended to do.

また本発明は、そのような検査方法を実施することができるズームレンズの検査装置を提供することを目的とするものである。   It is another object of the present invention to provide a zoom lens inspection apparatus capable of performing such an inspection method.

さらに本発明は、そのようなズームレンズの検査方法および装置を実現できるフロントコンバータを提供することを目的とする。   A further object of the present invention is to provide a front converter capable of realizing such a zoom lens inspection method and apparatus.

本発明によるフロントコンバータは、
前述したように、被検体としてのズームレンズにより解像力チャートを結像あるいは投影させて該ズームレンズを検査する際に用いられるフロントコンバータであって、
前記結像がなされる場合の解像力チャートあるいは前記投影がなされる場合の投影面と、広角端以外の状態に設定されたズームレンズとの間に配置されるフロントコンバータにおいて、
ズームレンズと反対側から順に、接合レンズのみから構成されて負の屈折力を有する前群、接合レンズのみから構成されて正の屈折力を有する後群が配設されてなり、
1未満の角倍率を有することを特徴とするものである。
The front converter according to the present invention is
As described above, the front converter is used for inspecting the zoom lens by forming or projecting a resolution chart with a zoom lens as a subject,
In a front converter disposed between a resolution chart when the image is formed or a projection surface when the projection is performed and a zoom lens set to a state other than the wide-angle end,
In order from the opposite side to the zoom lens, a front group composed of only cemented lenses and having negative refractive power, and a rear group composed of only cemented lenses and having positive refractive power are disposed.
It has an angular magnification of less than 1.

他方、本発明によるズームレンズの検査方法は、
前述したように被検体としてのズームレンズにより解像力チャートを結像あるいは投影させて該ズームレンズを検査するズームレンズの検査方法において、
前記結像がなされる場合の解像力チャートあるいは前記投影がなされる場合の投影面と、広角端以外の状態に設定されたズームレンズとの間に、1未満の角倍率を有するフロントコンバータを配置することを特徴とするものである。
On the other hand, the inspection method of the zoom lens according to the present invention is:
In the zoom lens inspection method for inspecting the zoom lens by forming or projecting a resolution chart with the zoom lens as a subject as described above,
A front converter having an angular magnification of less than 1 is disposed between a resolution chart when the image is formed or a projection surface when the projection is performed and a zoom lens set to a state other than the wide-angle end. It is characterized by this.

なお、本発明におけるこの「検査方法」とは、ズームレンズの性能を評価、判別する通常の検査は勿論のこと、解像力チャートを結像あるいは投影させ、それを観察しながら該ズームレンズを調整(例えばレンズの偏心や倒れ、フォーカス状態等の調整)する作業も含むものとする。すなわち、その種の調整作業においても、レンズをどのように調整するかは、当然、ズームレンズの性能の評価、判別に応じて決められるものであるから、作業にズームレンズの検査が含まれることは自明である。   The “inspection method” in the present invention is not only a normal inspection for evaluating and discriminating the performance of the zoom lens, but also the image of the resolution chart is projected or projected, and the zoom lens is adjusted while observing it (see FIG. For example, it includes operations for adjusting the eccentricity, tilting, and focus state of the lens. In other words, even in this type of adjustment work, how to adjust the lens is naturally decided according to the evaluation and discrimination of the performance of the zoom lens, so that the work includes the inspection of the zoom lens. Is self-explanatory.

また、上記の方法を実施するための本発明によるズームレンズの検査装置は、
ズームレンズを検査に供するために、このズームレンズにより解像力チャートを結像あるいは投影させるようにしたズームレンズの検査装置において、
前記結像がなされる場合の解像力チャートあるいは前記投影がなされる場合の投影面と、広角端以外の状態に設定されたズームレンズとの間に、1未満の角倍率を有するフロントコンバータが配置されていることを特徴とするものである。
The zoom lens inspection apparatus according to the present invention for carrying out the above method is
In a zoom lens inspection apparatus in which a resolution chart is formed or projected by the zoom lens in order to use the zoom lens for inspection,
A front converter having an angular magnification of less than 1 is disposed between a resolution chart when the image is formed or a projection surface when the projection is performed and a zoom lens set to a state other than the wide-angle end. It is characterized by that.

なお、より詳細には、本発明のズームレンズの検査方法においても、前述した1未満の角倍率を有するフロントコンバータとして、ズームレンズと反対側から順に、接合レンズのみから構成されて負の屈折力を有する前群、接合レンズのみから構成されて正の屈折力を有する後群が配設されてなるフロントコンバータが用いられる。 More specifically, also in the zoom lens inspection method of the present invention, the front converter having an angular magnification of less than 1 described above is composed of only a cemented lens in order from the opposite side to the zoom lens and has a negative refractive power. A front converter comprising a front group having a positive lens and a rear group having a positive refractive power is used.

また、本発明のズームレンズの検査装置においても、より詳細には、前述した1未満の角倍率を有するフロントコンバータとして、ズームレンズと反対側から順に、接合レンズのみから構成されて負の屈折力を有する前群、接合レンズのみから構成されて正の屈折力を有する後群が配設されてなるフロントコンバータが適用される。Also in the zoom lens inspection apparatus of the present invention, more specifically, as a front converter having an angular magnification of less than 1 as described above, the front converter is composed of only a cemented lens in order from the opposite side to the zoom lens and has a negative refractive power. A front converter having a front group having a positive lens and a rear group having a positive refractive power is applied.

また本発明においては、フロントコンバータの前記前群を構成する正レンズのアッベ数をν1p、負レンズのアッベ数をν1n、前記後群を構成する正レンズのアッベ数をν2p、負レンズのアッベ数をν2nとしたとき、下記の式を満足していることが望ましい。   In the present invention, the Abbe number of the positive lens constituting the front group of the front converter is ν1p, the Abbe number of the negative lens is ν1n, the Abbe number of the positive lens constituting the rear group is ν2p, and the Abbe number of the negative lens Is preferably ν2n, the following equation should be satisfied.

ν1p<ν1n (1)
ν2p>ν2n (2)
さらに本発明においては、フロントコンバータの上記後群を構成する接合レンズの前群側の面と比べて、その反対側の面がより小さな近軸曲率半径の絶対値を有していることが望ましい。
ν1p <ν1n (1)
ν2p> ν2n (2)
Furthermore, in the present invention, it is desirable that the opposite surface has a smaller absolute value of the paraxial curvature radius than the surface of the front lens side of the cemented lens constituting the rear group of the front converter. .

また本発明においては、フロントコンバータの角倍率をγ、前記結像がなされる場合の解像力チャートからフロントコンバータまでの距離が1000mmのときのバックフォーカス(レンズ最後部頂点からレンズ後側焦点までの距離)をfbとしたとき、下記の式を満足していることが望ましい。   In the present invention, the back magnification (distance from the rearmost vertex of the lens to the rear focal point of the lens) when the angular magnification of the front converter is γ and the distance from the resolution chart when the image is formed to the front converter is 1000 mm. ) Is fb, it is desirable that the following formula is satisfied.

0.1<γ<0.9 (3)
−0.25<1000/fb (4)
これらの角倍率γおよびバックフォーカスfbの値は、さらに好ましくは下記の式を満足する範囲内に設定される。
0.1 <γ <0.9 (3)
−0.25 <1000 / fb (4)
The values of the angular magnification γ and the back focus fb are more preferably set within a range that satisfies the following expression.

0.2<γ<0.9 (3)′
−0.25<1000/fb <0.2(4)′
なお本発明において、フロントコンバータの製造誤差による性能への影響をより少なくするためには、フロントコンバータを構成するレンズの全ての面を球面で構成することが望ましい。しかし、本発明では特にそれに限らず、レンズの一部の面が非球面から構成されても構わない。
0.2 <γ <0.9 (3) ′
−0.25 <1000 / fb <0.2 (4) ′
In the present invention, in order to reduce the influence on the performance due to the manufacturing error of the front converter, it is desirable that all the surfaces of the lens constituting the front converter are formed of spherical surfaces. However, the present invention is not limited to this, and a part of the surface of the lens may be composed of an aspherical surface.

望遠側の焦点距離が長いズームレンズを高精度に検査するためには、ある程度の大きさの解像力チャートもしくは投影像が必要となる。しかし、設備を小さくしようとして検査距離を短くすると、解像力チャートもしくは投影像も小さくなってしまう。そこで、前述した特許文献1や2に記載されたクローズアップレンズと併せてフロントワイドコンバータを用いることにより、十分な大きさのチャートを用いながら望遠側の検査を可能にすることが考えられる。なお、その種のワイドコンバータは、例えば特開2006−119346号公報、同2006−39102号公報、同2006−84811号公報、同2007−178826号公報、および特開昭63−100414号公報等に記載がある。しかし、クローズアップレンズとフロントワイドコンバータを併用すると、検査用光学系を複雑化することになり、それは検査精度の低下につながるので好ましくない。   In order to accurately inspect a zoom lens having a long focal length on the telephoto side, a resolution chart or projection image of a certain size is required. However, if the inspection distance is shortened to make the equipment smaller, the resolution chart or the projected image also becomes smaller. Therefore, it is conceivable to use the front wide converter together with the close-up lens described in Patent Documents 1 and 2 described above to enable inspection on the telephoto side while using a sufficiently large chart. Such wide converters are disclosed in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open Nos. 2006-119346, 2006-39102, 2006-84811, 2007-178826, and Japanese Patent Application Laid-Open No. 63-1000041. There is a description. However, when the close-up lens and the front wide converter are used in combination, the inspection optical system becomes complicated, which leads to a decrease in inspection accuracy, which is not preferable.

以上の知見に基づいて本発明は、フロントワイドコンバータにクローズアップレンズの機能を併せ持たせることにより、検査精度を落とすことなく検査装置の小型化を実現したものである。すなわち本発明によるフロントコンバータは、1未満の角倍率を有するものとされていることにより、有限の検査距離(解像力チャートあるいは投影面とズームレンズとの距離)が設定されている場合において、その検査距離よりも遠い距離に虚像を形成して高い検査精度を確保可能となっている。そこで本発明によれば、高倍率のズームレンズに対しても、小さなスペースで望遠側の検査を行うことが可能になる。   Based on the above knowledge, the present invention achieves downsizing of the inspection apparatus without reducing the inspection accuracy by combining the front wide converter with the function of a close-up lens. That is, the front converter according to the present invention has an angular magnification of less than 1, so that when a finite inspection distance (resolving power chart or distance between the projection surface and the zoom lens) is set, the inspection is performed. It is possible to ensure high inspection accuracy by forming a virtual image at a distance farther than the distance. Therefore, according to the present invention, it is possible to inspect the telephoto side in a small space even for a zoom lens with a high magnification.

それに対して従来のフロントワイドコンバータは角倍率が1未満ではあるが、アフォーカル系となっているために、それを適用した場合、高い検査精度を確保しようとすると検査距離を短くすることができない。   On the other hand, the conventional front wide converter has an angular magnification of less than 1, but since it is an afocal system, when it is applied, it is not possible to shorten the inspection distance in order to ensure high inspection accuracy. .

また本発明によれば、検査距離を短縮することにより空気の揺らぎによる影響を少なくする効果も得られる。そして、上述の通りにして検査距離を短縮できれば、同一の架台に被検レンズとフロントコンバータを同架することも容易である。そのようにすれば、被検レンズとフロントコンバータを合わせた光学系の等価的な焦点距離を短くすることができ、振動の影響を小さくすることが可能となる。この空気の揺らぎや振動による影響は、長焦点距離レンズの検査においては深刻な問題となっているので、この影響を排除できることは実用的価値が極めて高いと言える。   Further, according to the present invention, it is possible to obtain an effect of reducing the influence of air fluctuation by shortening the inspection distance. If the inspection distance can be shortened as described above, it is easy to mount the lens to be tested and the front converter on the same frame. By doing so, the equivalent focal length of the optical system that combines the lens to be examined and the front converter can be shortened, and the influence of vibration can be reduced. The influence of the air fluctuation and vibration is a serious problem in the inspection of the long focal length lens. Therefore, it can be said that the practical value is extremely high in eliminating this influence.

ここで、上述のような目的のために使用する本発明のフロントコンバータは、被検体のズームレンズと併せて良好な性能を得るだけでは不十分である。すなわち、そのズームレンズの性能にほとんど変化を与えないことが重要であり、またフロントコンバータの製造誤差に起因してズームレンズの性能に大きな変化を与えるようなことも有ってはならない。さらに、ズームレンズとの相対位置関係についても十分な許容度が必要とされる。   Here, it is not sufficient for the front converter of the present invention used for the above-mentioned purpose to obtain good performance in combination with the zoom lens of the subject. That is, it is important that the performance of the zoom lens is hardly changed, and the performance of the zoom lens should not be greatly changed due to a manufacturing error of the front converter. Furthermore, sufficient tolerance is required for the relative positional relationship with the zoom lens.

その点から本発明のフロントコンバータは、被検体であるズームレンズと反対側から順に、負の屈折力を有する前群、正の屈折力を有する後群が配設されて構成されている。このような構成とすることにより、フロントコンバータの組み立てが容易化され、製造誤差によるレンズ性能への影響を軽減できるようになる。 From this point, the front converter of the present invention is configured such that a front group having a negative refractive power and a rear group having a positive refractive power are arranged in this order from the opposite side to the zoom lens that is the subject . With such a configuration, the assembly of the front converter is facilitated, and the influence on the lens performance due to the manufacturing error can be reduced.

そして、上述のような前群および後群が特に、いずれも接合レンズのみから構成されていることから、各群内のレンズ組み立て誤差の発生が抑制されるので、この組み立て誤差によるレンズ性能への影響も排除できるようになる。 Then, the front group and the rear group as described above is particularly, since both are composed of only a cemented lens, the generation of the lens assembly errors in each group is suppressed, to the lens performance due to the assembly error The influence can be eliminated.

また本発明において、特にフロントコンバータが前記(1)式を満足している場合は倍率の色収差の補正が容易になり、さらに前記(2)式を満足している場合は軸上の色収差の補正も容易となる。   In the present invention, it is easy to correct chromatic aberration of magnification particularly when the front converter satisfies the expression (1), and to correct axial chromatic aberration when the expression (2) is satisfied. Will also be easier.

また本発明において、特にフロントコンバータの後群を構成する接合レンズの前群側の面と比べて、その反対側の面がより小さな近軸曲率半径の絶対値を有している場合は、収差補正の点で有利となる。すなわち、フロントコンバータを本発明の方法におけるようにズームレンズの検査に用いる場合は、歪曲収差は無視することができ、球面収差、コマ収差、非点収差、色収差を主に補正する必要がある。そこで、後群を構成する接合レンズを上述のような構成のものとしておくと、必要な角倍率を確保しつつ、補正が必要な色収差以外の上記各収差を容易に補正可能となる。   In the present invention, particularly when the opposite surface has a smaller absolute value of the paraxial radius of curvature than the surface on the front group side of the cemented lens constituting the rear group of the front converter, the aberration This is advantageous in terms of correction. That is, when the front converter is used for the inspection of the zoom lens as in the method of the present invention, the distortion aberration can be ignored, and it is necessary to mainly correct spherical aberration, coma aberration, astigmatism, and chromatic aberration. Therefore, if the cemented lens constituting the rear group is configured as described above, it is possible to easily correct each of the above-mentioned aberrations other than the chromatic aberration that needs to be corrected while ensuring the necessary angular magnification.

また本発明において、特にフロントコンバータが前記(3)および(4)式を満足している場合は、検査精度の良い検査システムを構築することが可能となる。   In the present invention, in particular, when the front converter satisfies the expressions (3) and (4), it is possible to construct an inspection system with high inspection accuracy.

すなわち、(3)式は角倍率γの好ましい範囲を規定するものであり、角倍率γがそこに規定された下限以下になっているとフロントコンバータによる収差が大きくなり、被検レンズの性能を的確に判断することが難しくなる。また、角倍率γがそこに規定された上限以上になると、フロントコンバータのワイドコンバータとしての機能が弱くなり、解像力チャートもしくは投影像を十分に大きくすることが不可能になる。つまり、この(3)式が満足されていれば、フロントコンバータによる収差を小さく抑え、また解像力チャートもしくは投影像を十分に大きくして、検査精度を高めることができる。   That is, the expression (3) defines a preferable range of the angular magnification γ. When the angular magnification γ is equal to or lower than the lower limit defined therein, the aberration due to the front converter increases, and the performance of the lens to be measured is reduced. It becomes difficult to judge accurately. Further, when the angular magnification γ exceeds the upper limit defined therein, the function of the front converter as a wide converter becomes weak, and it becomes impossible to sufficiently increase the resolution chart or the projected image. That is, if the expression (3) is satisfied, the aberration due to the front converter can be suppressed, and the resolution chart or the projected image can be made sufficiently large to increase the inspection accuracy.

なお、フロントコンバータが前記(3)′式を満足している場合は、角倍率γの下限がより大きくなることにより、上述の収差を抑える効果がより大となる。   When the front converter satisfies the above expression (3) ′, the lower limit of the angular magnification γ becomes larger, so that the effect of suppressing the above-described aberration becomes greater.

一方、(4)式は検査距離を短縮するための条件を示しており、1000/fbの値がそこに規定された下限以下になるとクローズアップレンズとしての機能が弱くなり、十分に検査距離を短縮することができなくなる。ここでは代表的に1000mmの被写体距離(検査距離)での値を用いているが、実際の検査距離は装置の小型化のためにそれよりも近い距離とするのが望ましい。なお、1000mmよりも短い検査距離で、より遠い距離に虚像を形成するためには(4)式は正の値も取り得る。   On the other hand, equation (4) shows the conditions for shortening the inspection distance. When the value of 1000 / fb falls below the lower limit specified therein, the function as a close-up lens is weakened, and the inspection distance is sufficiently set. It cannot be shortened. Here, a value at a subject distance (inspection distance) of 1000 mm is typically used here, but it is desirable that the actual inspection distance is closer than that in order to reduce the size of the apparatus. In order to form a virtual image at a far distance with an inspection distance shorter than 1000 mm, equation (4) can take a positive value.

また、フロントコンバータが前記(4)′式を満足している場合は、フロントコンバータの位置精度が緩和される。つまり、1000/fbの値がそこに規定された上限以上になると、クローズアップレンズの屈折力が強くなり過ぎて、位置精度を確保するのが厳しくなる。   Further, when the front converter satisfies the expression (4) ′, the position accuracy of the front converter is relaxed. That is, when the value of 1000 / fb is equal to or greater than the upper limit defined therein, the refractive power of the close-up lens becomes too strong, and it becomes difficult to ensure positional accuracy.

本発明の一実施形態によるズームレンズの検査装置の概略構成を示す斜視図1 is a perspective view showing a schematic configuration of a zoom lens inspection apparatus according to an embodiment of the present invention. 本発明によるズームレンズの検査装置における実施例1の光学系を示す断面図Sectional drawing which shows the optical system of Example 1 in the inspection apparatus of the zoom lens by this invention 本発明によるズームレンズの検査装置における実施例2の光学系を示す断面図Sectional drawing which shows the optical system of Example 2 in the inspection apparatus of the zoom lens by this invention 本発明によるズームレンズの検査装置における実施例3の光学系を示す断面図Sectional drawing which shows the optical system of Example 3 in the inspection apparatus of the zoom lens by this invention 本発明によるズームレンズの検査装置における実施例4の光学系を示す断面図Sectional drawing which shows the optical system of Example 4 in the inspection apparatus of the zoom lens by this invention 本発明によるズームレンズの検査装置における実施例5の光学系を示す断面図Sectional drawing which shows the optical system of Example 5 in the inspection apparatus of the zoom lens by this invention 図6の光学系の一部を拡大して示す断面図Sectional drawing which expands and shows a part of optical system of FIG. 本発明によるズームレンズの検査装置における実施例6の光学系を示す断面図Sectional drawing which shows the optical system of Example 6 in the inspection apparatus of the zoom lens by this invention 図8の光学系の一部を拡大して示す断面図Sectional drawing which expands and shows a part of optical system of FIG. 本発明によるズームレンズの検査装置における実施例7の光学系を示す断面図Sectional drawing which shows the optical system of Example 7 in the inspection apparatus of the zoom lens by this invention 本発明によるズームレンズの検査装置における実施例8の光学系を示す断面図Sectional drawing which shows the optical system of Example 8 in the inspection apparatus of the zoom lens by this invention (A)〜(D)は上記実施例1のズームレンズのみの各収差図であり、(E)〜(H)は該ズームレンズとフロントコンバータとを合わせた光学系の各収差図(A) to (D) are aberration diagrams of only the zoom lens of Example 1, and (E) to (H) are aberration diagrams of an optical system in which the zoom lens and the front converter are combined. (A)〜(D)は上記実施例2のズームレンズのみの各収差図であり、(E)〜(H)は該ズームレンズとフロントコンバータとを合わせた光学系の各収差図(A) to (D) are aberration diagrams of only the zoom lens of Example 2, and (E) to (H) are aberration diagrams of an optical system in which the zoom lens and the front converter are combined. (A)〜(D)は上記実施例3のズームレンズのみの各収差図であり、(E)〜(H)は該ズームレンズとフロントコンバータとを合わせた光学系の各収差図(A) to (D) are aberration diagrams of the zoom lens only of the third embodiment, and (E) to (H) are aberration diagrams of an optical system in which the zoom lens and the front converter are combined. (A)〜(D)は上記実施例4のズームレンズのみの各収差図であり、(E)〜(H)は該ズームレンズとフロントコンバータとを合わせた光学系の各収差図(A) to (D) are aberration diagrams of only the zoom lens of Example 4, and (E) to (H) are aberration diagrams of an optical system in which the zoom lens and the front converter are combined. (A)〜(D)は上記実施例5のズームレンズのみの各収差図であり、(E)〜(H)は該ズームレンズとフロントコンバータとを合わせた光学系の各収差図(A) to (D) are aberration diagrams of only the zoom lens of Example 5, and (E) to (H) are aberration diagrams of an optical system in which the zoom lens and the front converter are combined. (A)〜(D)は上記実施例6のズームレンズのみの各収差図であり、(E)〜(H)は該ズームレンズとフロントコンバータとを合わせた光学系の各収差図(A) to (D) are aberration diagrams of only the zoom lens of Example 6, and (E) to (H) are aberration diagrams of an optical system in which the zoom lens and the front converter are combined. (A)〜(D)は上記実施例7のズームレンズのみの各収差図であり、(E)〜(H)は該ズームレンズとフロントコンバータとを合わせた光学系の各収差図(A) to (D) are aberration diagrams of the zoom lens only of the seventh embodiment, and (E) to (H) are aberration diagrams of an optical system in which the zoom lens and the front converter are combined. (A)〜(D)は上記実施例8のズームレンズのみの各収差図であり、(E)〜(H)は該ズームレンズとフロントコンバータとを合わせた光学系の各収差図(A) to (D) are aberration diagrams of only the zoom lens of Example 8, and (E) to (H) are aberration diagrams of an optical system in which the zoom lens and the front converter are combined.

以下、図面を参照して本発明の実施形態を詳細に説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

図1は、本発明の一実施形態によるズームレンズの検査装置の概略斜視形状を示すものである。ここに示される通り、従来公知の解像力チャート1が所定位置に配され、この解像力チャート1の像が被検レンズとしてのズームレンズ2およびフロントコンバータ3によって結像される。このときズームレンズ2は広角端以外の状態、多くは望遠端の状態に設定される。そしてこの結像された像が、例えばCCD撮像素子等の撮像素子4によって撮像され、該撮像素子4から上記像を担持する電気的画像信号Sdが出力される。この画像信号Sdは上記像の鮮鋭度や歪み等を示すものとなっているので、この画像信号Sdを所定の処理にかけることにより、ズームレンズ2の性能を検査することができる。   FIG. 1 is a schematic perspective view of a zoom lens inspection apparatus according to an embodiment of the present invention. As shown here, a conventionally known resolving power chart 1 is arranged at a predetermined position, and an image of the resolving power chart 1 is formed by a zoom lens 2 and a front converter 3 as test lenses. At this time, the zoom lens 2 is set to a state other than the wide-angle end, and in many cases, to the telephoto end. The formed image is picked up by an image pickup device 4 such as a CCD image pickup device, and an electric image signal Sd carrying the image is output from the image pickup device 4. Since the image signal Sd indicates the sharpness and distortion of the image, the performance of the zoom lens 2 can be inspected by subjecting the image signal Sd to predetermined processing.

なお、そのように画像信号Sdに基づいてズームレンズ2の性能を検査する他、上記の結像された像を検査者が顕微鏡等で拡大観察することによってズームレンズ2の検査を行うこともできる。また反対に、上記撮像素子4の位置に解像力チャートを配置し、それをズームレンズ2およびフロントコンバータ3によって、上記の場合の解像力チャート1側に投影させ、その投影像を観察する等によってズームレンズ2の検査を行うことも可能である。   In addition to inspecting the performance of the zoom lens 2 based on the image signal Sd as described above, the zoom lens 2 can also be inspected by the inspector magnifying and observing the formed image with a microscope or the like. . On the other hand, a resolution chart is arranged at the position of the image pickup element 4, and is projected onto the resolution chart 1 side in the above case by the zoom lens 2 and the front converter 3, and the projection image is observed, for example. It is also possible to perform two inspections.

上記フロントコンバータ3は、先に述べたように検査距離つまり、解像力チャート1とズームレンズ2との距離を短くしつつ高精度の検査を可能とするために設置されたものである。以下、これらのズームレンズ2およびフロントコンバータ3からなる光学系の具体的な実施例について詳しく説明する。   As described above, the front converter 3 is installed to enable high-precision inspection while shortening the inspection distance, that is, the distance between the resolution chart 1 and the zoom lens 2. Hereinafter, specific examples of the optical system including the zoom lens 2 and the front converter 3 will be described in detail.

《実施例1》
図2に、本実施例におけるズームレンズ2およびフロントコンバータ3の断面形状を示す。ここではフロントコンバータ3をCVとして示してあり、前群のレンズL11、L12および後群のレンズL21、L22から構成されている。ここで、レンズ構成を説明するに当たっては、ズームレンズ2が実際に使用される状態で被写体側となる図中左側を「前」と称し、それと反対の図中右側を「後」と称することとする。その他のレンズL31〜L42並びに開口絞りStおよび平行平板状の光学部材PPは、ズームレンズ2を構成するものである。なお同図におけるSimは、ズームレンズ2およびフロントコンバータ3による結像面を示している。以上の表記法は、後に説明する図3〜11においても同様である。
Example 1
FIG. 2 shows cross-sectional shapes of the zoom lens 2 and the front converter 3 in the present embodiment. Here, the front converter 3 is shown as CV, and is composed of front group lenses L11 and L12 and rear group lenses L21 and L22. Here, in describing the lens configuration, the left side in the figure, which is the subject side in a state where the zoom lens 2 is actually used, is referred to as “front”, and the right side in the opposite figure is referred to as “rear”. To do. The other lenses L31 to L42, the aperture stop St, and the parallel plate-shaped optical member PP constitute the zoom lens 2. Note that Sim in the figure indicates an image plane formed by the zoom lens 2 and the front converter 3. The above notation is the same in FIGS. 3 to 11 described later.

また下記の表1に、本実施例におけるズームレンズ2およびフロントコンバータ3のレンズデータを示す。この表1のレンズデータにおいて、Siの欄には最も物体側(解像力チャート1側)の構成要素の面を1番目として像側に向かうに従い順次増加するi番目(i=1、2、3、…)の面番号を示し、Riの欄にはi番目の面の曲率半径を示し、Diの欄にはi番目の面とi+1番目の面との光軸Z上の面間隔を示している。また、Ndjの欄には最も物体側の光学要素を1番目として像側に向かうに従い順次増加するj番目(j=1、2、3、…)の光学要素のd線(波長587.6nm)に対する屈折率を示し、νdjの欄にはj番目の光学要素のd線に対するアッベ数を示している。なお、曲率半径の符号は、物体側に凸の場合を正、像側に凸の場合を負としている。レンズデータには、解像力チャートOBJ、開口絞りSt、光学部材PPも含めて示している。開口絞りStに相当する面の面番号の欄には面番号とともにそれぞれ(開口絞り)という語句を記載している。以上の表記法は、後に説明する表3,5,7,9,11,13および15においても同様である。

Figure 0005480070
Table 1 below shows lens data of the zoom lens 2 and the front converter 3 in the present embodiment. In the lens data of Table 1, in the column of Si, the surface of the component on the most object side (resolution chart 1 side) is the first and the i-th (i = 1, 2, 3, ...), the Ri column indicates the radius of curvature of the i-th surface, and the Di column indicates the surface spacing on the optical axis Z between the i-th surface and the i + 1-th surface. . In the column of Ndj, the d-line (wavelength: 587.6 nm) of the j-th (j = 1, 2, 3,...) Optical element that sequentially increases toward the image side with the most optical element on the object side as the first. The refractive index with respect to is shown, and the νdj column shows the Abbe number of the j-th optical element with respect to the d-line. The sign of the radius of curvature is positive when convex on the object side and negative when convex on the image side. The lens data includes a resolution chart OBJ, an aperture stop St, and an optical member PP. In the surface number column of the surface corresponding to the aperture stop St, the phrase “aperture stop” is described together with the surface number. The above notation is the same in Tables 3, 5, 7, 9, 11, 13, and 15 described later.
Figure 0005480070

表1のレンズデータでは、非球面は面番号に*印を付しており、非球面の曲率半径として近軸の曲率半径の数値を示している。表2は、これらの非球面に関するデータである非球面係数を示すものである。

Figure 0005480070
In the lens data in Table 1, the surface number of the aspheric surface is marked with *, and the paraxial curvature radius is shown as the curvature radius of the aspheric surface. Table 2 shows aspheric coefficients which are data relating to these aspheric surfaces.
Figure 0005480070

非球面データとしては、以下の式(A)によって表される非球面形状の式における各係数A,Kの値を記す。Zdは、より詳しくは、光軸Zから高さhの位置にある非球面上の点から、非球面の頂点の接平面(光軸Zに垂直な平面)に下ろした垂線の長さ(mm)を示す。 As the aspheric surface data, the values of the coefficients A n and K in the aspheric surface expression represented by the following expression (A) are described. More specifically, Zd is the length of a perpendicular line (mm) drawn from a point on the aspheric surface at a height h from the optical axis Z to the tangential plane (plane perpendicular to the optical axis Z) of the apex of the aspheric surface. ).

Zd=C・h/{1+(1−(K+1)・C・h1/2}+ΣA・h…(A)
(n=3以上の整数)
ただし、
Z:非球面の深さ(mm)
h:光軸からレンズ面までの距離(高さ)(mm)
K:円錐定数
C:近軸曲率=1/R
(R:近軸曲率半径)
:第n次の非球面係数
以上の表記法は、後に説明する表4,6,8,10,12,14および16においても同様である。
Zd = C · h 2 / {1+ (1− (K + 1) · C 2 · h 2 ) 1/2 } + ΣA n · h n (A)
(N = an integer greater than 3)
However,
Z: Depth of aspheric surface (mm)
h: Distance from the optical axis to the lens surface (height) (mm)
K: Conic constant C: Paraxial curvature = 1 / R
(R: paraxial radius of curvature)
A n : n-th aspherical coefficient The above notation is the same in Tables 4, 6, 8, 10, 12, 14 and 16 described later.

なお本実施例では、非球面係数AとしてA〜A20までの次数を適宜有効に用いてZdを表している。 In the present embodiment, it represents Zd by orders appropriately effectively used up to A 3 to A 20 as aspherical coefficients A n.

本実施例においては、検査に際しズームレンズ2は望遠端に設定される。つまりズームレンズ2は無限遠の被写体に合焦する状態とされる。また本実施例において、ズームレンズ2のみの焦点距離f=63.69mm、F値=5.60、画角(2ω)=7.4°であり、ズームレンズ2とフロントコンバータ3とを合わせた光学系の焦点距離f=51.58mm、F値=5.59、画角(2ω)=9.0°である。   In the present embodiment, the zoom lens 2 is set at the telephoto end during inspection. That is, the zoom lens 2 is brought into a state of focusing on a subject at infinity. Further, in this embodiment, the focal length f of the zoom lens 2 alone is 63.69 mm, the F value is 5.60, and the angle of view (2ω) is 7.4 °, and the zoom lens 2 and the front converter 3 are combined. The focal length f of the optical system is 51.58 mm, the F value is 5.59, and the field angle (2ω) is 9.0 °.

本実施例のズームレンズ2のみにおける球面収差、非点収差、ディストーション(歪曲収差)、倍率色収差(倍率の色収差)をそれぞれ図12(A)〜図12(D)に示し、ズームレンズ2とフロントコンバータ3とを合わせた光学系における球面収差、非点収差、ディストーション(歪曲収差)、倍率色収差(倍率の色収差)をそれぞれ図12(E)〜図12(H)に示す。   The spherical aberration, astigmatism, distortion (distortion aberration), and lateral chromatic aberration (chromatic aberration of magnification) in the zoom lens 2 of this embodiment are shown in FIGS. 12A to 12D, respectively. FIGS. 12E to 12H show spherical aberration, astigmatism, distortion (distortion aberration), and chromatic aberration of magnification (chromatic aberration of magnification) in the optical system combined with the converter 3, respectively.

各収差図は波長587.6nmのd線を基準としたものであるが、球面収差図では波長460.0nmと波長615.0nmに関する収差も示し、倍率色収差図では波長460.0nmと波長615.0nmに関する収差を示す。非点収差図では、サジタル方向については実線で、タンジェンシャル方向については破線で示している。球面収差図のFno.はF値を意味し、その他の収差図のωは半画角を意味する。以上の表記法は、後に説明する図13〜19においても同様である。   Each aberration diagram is based on the d-line having a wavelength of 587.6 nm, but the spherical aberration diagram also shows aberrations relating to the wavelength 460.0 nm and the wavelength 615.0 nm, and the magnification chromatic aberration diagram shows the wavelength 460.0 nm and the wavelength 615. Aberrations related to 0 nm are shown. In the astigmatism diagram, the sagittal direction is indicated by a solid line, and the tangential direction is indicated by a broken line. Fno. Of spherical aberration diagram. Means F value, and ω in other aberration diagrams means half angle of view. The above notation is the same in FIGS. 13 to 19 described later.

後に示す表17は、本実施例1および後述する実施例2〜8におけるフロントコンバータ3の角倍率γ、および前述した1000/fbの値をまとめて示すものである。ここに示されている通り、本実施例では角倍率γは1未満となっており、また特に前述した(3)′式の条件も満足している。それにより、フロントコンバータ3による収差を小さく抑え、また解像力チャート1を十分に大きくして、検査精度を高めることができる。さらにこの表17に示されている通り、前述した(4)′式の条件も満足されている。それにより、フロントコンバータ3の位置精度が緩和される。   Table 17 shown later collectively shows the angular magnification γ of the front converter 3 and the above-described value of 1000 / fb in the first embodiment and the second to eighth embodiments described later. As shown here, in this embodiment, the angular magnification γ is less than 1, and the condition of the above-described expression (3) ′ is also satisfied. As a result, the aberration due to the front converter 3 can be kept small, and the resolution chart 1 can be made sufficiently large to increase the inspection accuracy. Further, as shown in Table 17, the above-mentioned condition of the expression (4) ′ is also satisfied. Thereby, the positional accuracy of the front converter 3 is relaxed.

なお表17においては、参考のために、前述した特開2006−119346号公報、同2006−39102号公報、同2006−84811号公報、同2007−178826号公報、および特開昭63−100414号公報に記載された構成における数値も併せて記載してある。   In Table 17, for reference, the above-mentioned JP-A Nos. 2006-119346, 2006-39102, 2006-84811, 2007-178826, and JP-A-63-100404 are described. The numerical values in the configuration described in the publication are also described.

また本実施例では、フロントコンバータ3のレンズL11、L12からなる前群が負の屈折力を有し、レンズL21、L22からなる後群が正の屈折力を有している。それにより、フロントコンバータ3の組み立てが容易化され、製造誤差によるレンズ性能への影響を軽減できるようになる。   In this embodiment, the front group including the lenses L11 and L12 of the front converter 3 has a negative refractive power, and the rear group including the lenses L21 and L22 has a positive refractive power. Thereby, the assembly of the front converter 3 is facilitated, and the influence on the lens performance due to the manufacturing error can be reduced.

そして上記前群および後群は、それぞれ接合レンズのみから構成されている。それにより、各群内のレンズ組み立て誤差の発生が抑制されるので、この組み立て誤差によるレンズ性能への影響も排除できるようになる。   The front group and the rear group are each composed only of a cemented lens. As a result, the occurrence of lens assembly errors in each group is suppressed, so that the influence of the assembly errors on the lens performance can be eliminated.

また、上記前群を構成する正レンズであるレンズL11のアッベ数ν1p=42.82、負レンズであるレンズL12のアッベ数ν1n=61.13であるので、前述した(1)式の条件が満足されている。それにより、フロントコンバータ3の倍率の色収差の補正が容易になる。   Further, since the Abbe number ν1p of the lens L11 that is the positive lens constituting the front group is 42.82 and the Abbe number ν1n of the lens L12 that is the negative lens is 61.13, the condition of the above-described equation (1) is satisfied. Satisfied. This facilitates correction of the chromatic aberration of magnification of the front converter 3.

一方、上記後群を構成する正レンズであるレンズL22のアッベ数ν2p=60.67、負レンズであるレンズL21のアッベ数ν2n=39.24であるので、前述した(2)式の条件が満足されている。それにより、フロントコンバータ3の軸上の色収差の補正も容易となる。   On the other hand, since the Abbe number ν2p = 60.67 of the lens L22 which is the positive lens constituting the rear group and the Abbe number ν2n = 39.24 of the lens L21 which is the negative lens, the condition of the above-described equation (2) is satisfied. Satisfied. This facilitates correction of chromatic aberration on the axis of the front converter 3.

また、上記後群を構成する接合レンズの前群側の面(面番号4の面)の曲率半径=∞であり、それに対してその反対側の面(面番号6の面)の曲率半径=−117.52608であるので、後者の面がより小さな近軸曲率半径の絶対値を有している。それにより、前述したように必要な角倍率γを確保しつつ、補正が必要な球面収差、コマ収差、非点収差等の収差を容易に補正可能となる。   Further, the radius of curvature of the front group side surface (surface of surface number 4) of the cemented lens constituting the rear group is ∞, while the radius of curvature of the opposite surface (surface of surface number 6) is = Since -117.52608, the latter surface has a smaller absolute value of the paraxial radius of curvature. Accordingly, as described above, it is possible to easily correct aberrations such as spherical aberration, coma aberration, and astigmatism that need to be corrected while securing the necessary angular magnification γ.

《実施例2》
図3に、本実施例におけるズームレンズ2およびフロントコンバータ3の断面形状を示す。ここではフロントコンバータ3をCVとして示してあり、前群のレンズL11、L12および後群のレンズL21、L22から構成されている。
Example 2
FIG. 3 shows cross-sectional shapes of the zoom lens 2 and the front converter 3 in the present embodiment. Here, the front converter 3 is shown as CV, and is composed of front group lenses L11 and L12 and rear group lenses L21 and L22.

また下記の表3に、本実施例におけるズームレンズ2およびフロントコンバータ3のレンズデータを示す。

Figure 0005480070
Table 3 below shows lens data of the zoom lens 2 and the front converter 3 in the present embodiment.
Figure 0005480070

表3のレンズデータでは、非球面は面番号に*印を付しており、非球面の曲率半径として近軸の曲率半径の数値を示している。表4は、これらの非球面に関するデータである非球面係数を示すものである。

Figure 0005480070
In the lens data in Table 3, the aspherical surface has a surface number with an asterisk (*), and the paraxial radius of curvature is shown as the radius of curvature of the aspherical surface. Table 4 shows aspheric coefficients which are data relating to these aspheric surfaces.
Figure 0005480070

なお本実施例では、非球面係数AとしてA〜A20までの次数を適宜有効に用いてZdを表している。 In the present embodiment, it represents Zd by orders appropriately effectively used up to A 3 to A 20 as aspherical coefficients A n.

本実施例においては、検査に際しズームレンズ2は5.0m前方に合焦する状態とされる。また本実施例において、ズームレンズ2のみの焦点距離f=63.39mm、F値=5.62、画角(2ω)=7.4°であり、ズームレンズ2とフロントコンバータ3とを合わせた光学系の焦点距離f=48.27mm、F値=5.61、画角(2ω)=9.6°である。   In the present embodiment, the zoom lens 2 is brought into a state of being focused forward by 5.0 m at the time of inspection. In this embodiment, the focal length f of the zoom lens 2 alone is 63.39 mm, the F value is 5.62, the angle of view (2ω) is 7.4 °, and the zoom lens 2 and the front converter 3 are combined. The focal length f of the optical system is 48.27 mm, the F value is 5.61, and the field angle (2ω) is 9.6 °.

本実施例のズームレンズ2のみにおける球面収差、非点収差、ディストーション(歪曲収差)、倍率色収差(倍率の色収差)をそれぞれ図13(A)〜図13(D)に示し、ズームレンズ2とフロントコンバータ3とを合わせた光学系における球面収差、非点収差、ディストーション(歪曲収差)、倍率色収差(倍率の色収差)をそれぞれ図13(E)〜図13(H)に示す。   The spherical aberration, astigmatism, distortion (distortion aberration), and chromatic aberration of magnification (chromatic aberration of magnification) in the zoom lens 2 of the present embodiment are shown in FIGS. 13A to 13D, respectively. FIGS. 13E to 13H show spherical aberration, astigmatism, distortion (distortion aberration), and chromatic aberration of magnification (chromatic aberration of magnification) in the optical system combined with the converter 3, respectively.

前述した表17に示されている通り、本実施例では角倍率γは1未満となっており、また特に前述した(3)′式の条件も満足している。それにより、フロントコンバータ3による収差を小さく抑え、また解像力チャート1を十分に大きくして、検査精度を高めることができる。さらにこの表17に示されている通り、前述した(4)′式の条件も満足されている。それにより、フロントコンバータ3の位置精度が緩和される。   As shown in Table 17 described above, in this embodiment, the angular magnification γ is less than 1, and in particular, the above-described condition of the expression (3) ′ is also satisfied. As a result, the aberration due to the front converter 3 can be kept small, and the resolution chart 1 can be made sufficiently large to increase the inspection accuracy. Further, as shown in Table 17, the above-mentioned condition of the expression (4) ′ is also satisfied. Thereby, the positional accuracy of the front converter 3 is relaxed.

また本実施例では、フロントコンバータ3のレンズL11、L12からなる前群が負の屈折力を有し、レンズL21、L22からなる後群が正の屈折力を有している。それにより、フロントコンバータ3の組み立てが容易化され、製造誤差によるレンズ性能への影響を軽減できるようになる。   In this embodiment, the front group including the lenses L11 and L12 of the front converter 3 has a negative refractive power, and the rear group including the lenses L21 and L22 has a positive refractive power. Thereby, the assembly of the front converter 3 is facilitated, and the influence on the lens performance due to the manufacturing error can be reduced.

そして上記前群および後群は、それぞれ接合レンズのみから構成されている。それにより、各群内のレンズ組み立て誤差の発生が抑制されるので、この組み立て誤差によるレンズ性能への影響も排除できるようになる。   The front group and the rear group are each composed only of a cemented lens. As a result, the occurrence of lens assembly errors in each group is suppressed, so that the influence of the assembly errors on the lens performance can be eliminated.

また、上記前群を構成する正レンズであるレンズL11のアッベ数ν1p=39.24、負レンズであるレンズL12のアッベ数ν1n=60.29であるので、前述した(1)式の条件が満足されている。それにより、フロントコンバータ3の倍率の色収差の補正が容易になる。   Further, since the Abbe number ν1p of the lens L11 which is the positive lens constituting the front group is 39.24 and the Abbe number ν1n of the lens L12 which is the negative lens is 60.29, the condition of the above-described equation (1) is satisfied. Satisfied. This facilitates correction of the chromatic aberration of magnification of the front converter 3.

一方、上記後群を構成する正レンズであるレンズL22のアッベ数ν2p=60.67、負レンズであるレンズL21のアッベ数ν2n=39.24であるので、前述した(2)式の条件が満足されている。それにより、フロントコンバータ3の軸上の色収差の補正も容易となる。   On the other hand, since the Abbe number ν2p = 60.67 of the lens L22 which is the positive lens constituting the rear group and the Abbe number ν2n = 39.24 of the lens L21 which is the negative lens, the condition of the above-described equation (2) is satisfied. Satisfied. This facilitates correction of chromatic aberration on the axis of the front converter 3.

また、上記後群を構成する接合レンズの前群側の面(面番号4の面)の曲率半径=∞であり、それに対してその反対側の面(面番号6の面)の曲率半径=−117.52608であるので、後者の面がより小さな近軸曲率半径の絶対値を有している。それにより、前述したように必要な角倍率γを確保しつつ、補正が必要な球面収差、コマ収差、非点収差等の収差を容易に補正可能となる。   Further, the radius of curvature of the front group side surface (surface of surface number 4) of the cemented lens constituting the rear group is ∞, while the radius of curvature of the opposite surface (surface of surface number 6) is = Since -117.52608, the latter surface has a smaller absolute value of the paraxial radius of curvature. Accordingly, as described above, it is possible to easily correct aberrations such as spherical aberration, coma aberration, and astigmatism that need to be corrected while securing the necessary angular magnification γ.

《実施例3》
図4に、本実施例におけるズームレンズ2およびフロントコンバータ3の断面形状を示す。ここではフロントコンバータ3をCVとして示してあり、前群のレンズL11、L12および後群のレンズL21、L22から構成されている。
Example 3
FIG. 4 shows cross-sectional shapes of the zoom lens 2 and the front converter 3 in the present embodiment. Here, the front converter 3 is shown as CV, and is composed of front group lenses L11 and L12 and rear group lenses L21 and L22.

また下記の表5に、本実施例におけるズームレンズ2およびフロントコンバータ3のレンズデータを示す。

Figure 0005480070
Table 5 below shows lens data of the zoom lens 2 and the front converter 3 in the present embodiment.
Figure 0005480070

表5のレンズデータでは、非球面は面番号に*印を付しており、非球面の曲率半径として近軸の曲率半径の数値を示している。表6は、これらの非球面に関するデータである非球面係数を示すものである。

Figure 0005480070
In the lens data in Table 5, the aspherical surface is marked with * in the surface number, and the paraxial radius of curvature is shown as the radius of curvature of the aspherical surface. Table 6 shows the aspheric coefficients which are data relating to these aspheric surfaces.
Figure 0005480070

なお本実施例では、非球面係数AとしてA〜A10までの次数を適宜有効に用いてZdを表している。 In the present embodiment, it represents Zd by orders appropriately effectively used up to A 3 to A 10 as aspherical coefficients A n.

本実施例においては、検査に際しズームレンズ2は無限遠に合焦する状態とされる。また本実施例において、ズームレンズ2のみの焦点距離f=87.34mm、F値=5.63、画角(2ω)=5.0°であり、ズームレンズ2とフロントコンバータ3とを合わせた光学系の焦点距離f=59.46mm、F値=5.62、画角(2ω)=7.4°である。   In this embodiment, the zoom lens 2 is brought into a state of focusing at infinity during the inspection. In this embodiment, the focal length f of only the zoom lens 2 is 87.34 mm, the F value is 5.63, the angle of view (2ω) is 5.0 °, and the zoom lens 2 and the front converter 3 are combined. The focal length f of the optical system is 59.46 mm, the F value is 5.62, and the field angle (2ω) is 7.4 °.

本実施例のズームレンズ2のみにおける球面収差、非点収差、ディストーション(歪曲収差)、倍率色収差(倍率の色収差)をそれぞれ図14(A)〜図14(D)に示し、ズームレンズ2とフロントコンバータ3とを合わせた光学系における球面収差、非点収差、ディストーション(歪曲収差)、倍率色収差(倍率の色収差)をそれぞれ図14(E)〜図14(H)に示す。   Spherical aberration, astigmatism, distortion (distortion aberration), and lateral chromatic aberration (chromatic aberration of magnification) in only the zoom lens 2 of the present embodiment are shown in FIGS. 14A to 14D, respectively. FIGS. 14E to 14H show spherical aberration, astigmatism, distortion (distortion aberration), and chromatic aberration of magnification (chromatic aberration of magnification) in the optical system combined with the converter 3, respectively.

前述した表17に示されている通り、本実施例では角倍率γは1未満となっており、また特に前述した(3)′式の条件も満足している。それにより、フロントコンバータ3による収差を小さく抑え、また解像力チャート1を十分に大きくして、検査精度を高めることができる。さらにこの表17に示されている通り、前述した(4)′式の条件も満足されている。それにより、フロントコンバータ3の位置精度が緩和される。   As shown in Table 17 described above, in this embodiment, the angular magnification γ is less than 1, and in particular, the above-described condition of the expression (3) ′ is also satisfied. As a result, the aberration due to the front converter 3 can be kept small, and the resolution chart 1 can be made sufficiently large to increase the inspection accuracy. Further, as shown in Table 17, the above-mentioned condition of the expression (4) ′ is also satisfied. Thereby, the positional accuracy of the front converter 3 is relaxed.

また本実施例では、フロントコンバータ3のレンズL11、L12からなる前群が負の屈折力を有し、レンズL21、L22からなる後群が正の屈折力を有している。それにより、フロントコンバータ3の組み立てが容易化され、製造誤差によるレンズ性能への影響を軽減できるようになる。   In this embodiment, the front group including the lenses L11 and L12 of the front converter 3 has a negative refractive power, and the rear group including the lenses L21 and L22 has a positive refractive power. Thereby, the assembly of the front converter 3 is facilitated, and the influence on the lens performance due to the manufacturing error can be reduced.

そして上記前群および後群は、それぞれ接合レンズのみから構成されている。それにより、各群内のレンズ組み立て誤差の発生が抑制されるので、この組み立て誤差によるレンズ性能への影響も排除できるようになる。   The front group and the rear group are each composed only of a cemented lens. As a result, the occurrence of lens assembly errors in each group is suppressed, so that the influence of the assembly errors on the lens performance can be eliminated.

また、上記前群を構成する正レンズであるレンズL11のアッベ数ν1p=40.75、負レンズであるレンズL12のアッベ数ν1n=60.64であるので、前述した(1)式の条件が満足されている。それにより、フロントコンバータ3の倍率の色収差の補正が容易になる。   Further, since the Abbe number ν1p = 40.75 of the lens L11 which is the positive lens constituting the front group and the Abbe number ν1n = 60.64 of the lens L12 which is the negative lens, the condition of the above-described equation (1) is satisfied. Satisfied. This facilitates correction of the chromatic aberration of magnification of the front converter 3.

一方、上記後群を構成する正レンズであるレンズL22のアッベ数ν2p=61.13、負レンズであるレンズL21のアッベ数ν2n=39.24であるので、前述した(2)式の条件が満足されている。それにより、フロントコンバータ3の軸上の色収差の補正も容易となる。   On the other hand, the Abbe number ν2p = 61.13 of the lens L22 which is the positive lens constituting the rear group and the Abbe number ν2n = 39.24 of the lens L21 which is the negative lens are satisfied. Satisfied. This facilitates correction of chromatic aberration on the axis of the front converter 3.

また、上記後群を構成する接合レンズの前群側の面(面番号4の面)の曲率半径=∞であり、それに対してその反対側の面(面番号6の面)の曲率半径=−137.87199であるので、後者の面がより小さな近軸曲率半径の絶対値を有している。それにより、前述したように必要な角倍率γを確保しつつ、補正が必要な球面収差、コマ収差、非点収差等の収差を容易に補正可能となる。   Further, the radius of curvature of the front group side surface (surface of surface number 4) of the cemented lens constituting the rear group is ∞, while the radius of curvature of the opposite surface (surface of surface number 6) is = Since the value is −137.87199, the latter surface has a smaller absolute value of the paraxial radius of curvature. Accordingly, as described above, it is possible to easily correct aberrations such as spherical aberration, coma aberration, and astigmatism that need to be corrected while securing the necessary angular magnification γ.

《実施例4》
図5に、本実施例におけるズームレンズ2およびフロントコンバータ3の断面形状を示す。ここではフロントコンバータ3をCVとして示してあり、前群のレンズL11、L12および後群のレンズL21、L22から構成されている。
Example 4
FIG. 5 shows cross-sectional shapes of the zoom lens 2 and the front converter 3 in the present embodiment. Here, the front converter 3 is shown as CV, and is composed of front group lenses L11 and L12 and rear group lenses L21 and L22.

また下記の表7に、本実施例におけるズームレンズ2およびフロントコンバータ3のレンズデータを示す。

Figure 0005480070
Table 7 below shows lens data of the zoom lens 2 and the front converter 3 in the present embodiment.
Figure 0005480070

表7のレンズデータでは、非球面は面番号に*印を付しており、非球面の曲率半径として近軸の曲率半径の数値を示している。表8は、これらの非球面に関するデータである非球面係数を示すものである。

Figure 0005480070
In the lens data in Table 7, the aspherical surface has a surface number with an asterisk (*), and represents the paraxial radius of curvature as the radius of curvature of the aspherical surface. Table 8 shows the aspheric coefficients which are data relating to these aspheric surfaces.
Figure 0005480070

なお本実施例では、非球面係数AとしてA〜A10までの次数を適宜有効に用いてZdを表している。 In the present embodiment, it represents Zd by orders appropriately effectively used up to A 3 to A 10 as aspherical coefficients A n.

本実施例においては、検査に際しズームレンズ2は5.0m前方に合焦する状態とされる。また本実施例において、ズームレンズ2のみの焦点距離f=87.82mm、F値=5.64、画角(2ω)=4.9°であり、ズームレンズ2とフロントコンバータ3とを合わせた光学系の焦点距離f=54.96mm、F値=5.65、画角(2ω)=7.9°である。   In the present embodiment, the zoom lens 2 is brought into a state of being focused forward by 5.0 m at the time of inspection. In this embodiment, the focal length f of only the zoom lens 2 is 87.82 mm, the F value is 5.64, and the angle of view (2ω) is 4.9 °, and the zoom lens 2 and the front converter 3 are combined. The focal length f of the optical system is 54.96 mm, the F value is 5.65, and the field angle (2ω) is 7.9 °.

本実施例のズームレンズ2のみにおける球面収差、非点収差、ディストーション(歪曲収差)、倍率色収差(倍率の色収差)をそれぞれ図15(A)〜図15(D)に示し、ズームレンズ2とフロントコンバータ3とを合わせた光学系における球面収差、非点収差、ディストーション(歪曲収差)、倍率色収差(倍率の色収差)をそれぞれ図15(E)〜図15(H)に示す。   Spherical aberration, astigmatism, distortion (distortion aberration), and lateral chromatic aberration (chromatic aberration of magnification) in only the zoom lens 2 of the present embodiment are shown in FIGS. 15 (A) to 15 (D), respectively. FIGS. 15E to 15H show spherical aberration, astigmatism, distortion (distortion aberration), and chromatic aberration of magnification (chromatic aberration of magnification) in the optical system combined with the converter 3, respectively.

前述した表17に示されている通り、本実施例では角倍率γは1未満となっており、また特に前述した(3)′式の条件も満足している。それにより、フロントコンバータ3による収差を小さく抑え、また解像力チャート1を十分に大きくして、検査精度を高めることができる。さらにこの表17に示されている通り、前述した(4)′式の条件も満足されている。それにより、フロントコンバータ3の位置精度が緩和される。   As shown in Table 17 described above, in this embodiment, the angular magnification γ is less than 1, and in particular, the above-described condition of the expression (3) ′ is also satisfied. As a result, the aberration due to the front converter 3 can be kept small, and the resolution chart 1 can be made sufficiently large to increase the inspection accuracy. Further, as shown in Table 17, the above-mentioned condition of the expression (4) ′ is also satisfied. Thereby, the positional accuracy of the front converter 3 is relaxed.

また本実施例では、フロントコンバータ3のレンズL11、L12からなる前群が負の屈折力を有し、レンズL21、L22からなる後群が正の屈折力を有している。それにより、フロントコンバータ3の組み立てが容易化され、製造誤差によるレンズ性能への影響を軽減できるようになる。   In this embodiment, the front group including the lenses L11 and L12 of the front converter 3 has a negative refractive power, and the rear group including the lenses L21 and L22 has a positive refractive power. Thereby, the assembly of the front converter 3 is facilitated, and the influence on the lens performance due to the manufacturing error can be reduced.

そして上記前群および後群は、それぞれ接合レンズのみから構成されている。それにより、各群内のレンズ組み立て誤差の発生が抑制されるので、この組み立て誤差によるレンズ性能への影響も排除できるようになる。   The front group and the rear group are each composed only of a cemented lens. As a result, the occurrence of lens assembly errors in each group is suppressed, so that the influence of the assembly errors on the lens performance can be eliminated.

また、上記前群を構成する正レンズであるレンズL11のアッベ数ν1p=39.24、負レンズであるレンズL12のアッベ数ν1n=60.29であるので、前述した(1)式の条件が満足されている。それにより、フロントコンバータ3の倍率の色収差の補正が容易になる。   Further, since the Abbe number ν1p of the lens L11 which is the positive lens constituting the front group is 39.24 and the Abbe number ν1n of the lens L12 which is the negative lens is 60.29, the condition of the above-described equation (1) is satisfied. Satisfied. This facilitates correction of the chromatic aberration of magnification of the front converter 3.

一方、上記後群を構成する正レンズであるレンズL22のアッベ数ν2p=61.13、負レンズであるレンズL21のアッベ数ν2n=39.24であるので、前述した(2)式の条件が満足されている。それにより、フロントコンバータ3の軸上の色収差の補正も容易となる。   On the other hand, the Abbe number ν2p = 61.13 of the lens L22 which is the positive lens constituting the rear group and the Abbe number ν2n = 39.24 of the lens L21 which is the negative lens are satisfied. Satisfied. This facilitates correction of chromatic aberration on the axis of the front converter 3.

また、上記後群を構成する接合レンズの前群側の面(面番号4の面)の曲率半径=∞であり、それに対してその反対側の面(面番号6の面)の曲率半径=−137.87199であるので、後者の面がより小さな近軸曲率半径の絶対値を有している。それにより、前述したように必要な角倍率γを確保しつつ、補正が必要な球面収差、コマ収差、非点収差等の収差を容易に補正可能となる。   Further, the radius of curvature of the front group side surface (surface of surface number 4) of the cemented lens constituting the rear group is ∞, while the radius of curvature of the opposite surface (surface of surface number 6) is = Since the value is −137.87199, the latter surface has a smaller absolute value of the paraxial radius of curvature. Accordingly, as described above, it is possible to easily correct aberrations such as spherical aberration, coma aberration, and astigmatism that need to be corrected while securing the necessary angular magnification γ.

《実施例5》
図6に、本実施例におけるズームレンズ2およびフロントコンバータ3の断面形状を示す。ここではフロントコンバータ3をCVとして示してあり、前群のレンズL11、L12および後群のレンズL21、L22から構成されている。そして図7には、ズームレンズ2の構成を、その範囲をMLとして拡大図示する。
Example 5
FIG. 6 shows cross-sectional shapes of the zoom lens 2 and the front converter 3 in the present embodiment. Here, the front converter 3 is shown as CV, and is composed of front group lenses L11 and L12 and rear group lenses L21 and L22. FIG. 7 is an enlarged view of the configuration of the zoom lens 2 with the range as ML.

また下記の表9に、本実施例におけるズームレンズ2およびフロントコンバータ3のレンズデータを示す。

Figure 0005480070
Table 9 below shows lens data of the zoom lens 2 and the front converter 3 in the present embodiment.
Figure 0005480070

表9のレンズデータでは、非球面は面番号に*印を付しており、非球面の曲率半径として近軸の曲率半径の数値を示している。表10は、これらの非球面に関するデータである非球面係数を示すものである。

Figure 0005480070
In the lens data in Table 9, the aspherical surface has a surface number with an asterisk (*), and shows the numerical value of the paraxial curvature radius as the curvature radius of the aspherical surface. Table 10 shows the aspheric coefficients which are data relating to these aspheric surfaces.
Figure 0005480070

なお本実施例では、非球面係数AとしてA〜A20までの次数を適宜有効に用いてZdを表している。 In the present embodiment, it represents Zd by orders appropriately effectively used up to A 3 to A 20 as aspherical coefficients A n.

本実施例においては、検査に際しズームレンズ2は無限遠に合焦する状態とされる。また本実施例において、ズームレンズ2のみの焦点距離f=121.71mm、F値=5.82、画角(2ω)=3.2°であり、ズームレンズ2とフロントコンバータ3とを合わせた光学系の焦点距離f=49.10mm、F値=5.81、画角(2ω)=9.4°である。   In this embodiment, the zoom lens 2 is brought into a state of focusing at infinity during the inspection. In this embodiment, the focal length f of the zoom lens 2 alone is 121.71 mm, the F value is 5.82, the field angle (2ω) is 3.2 °, and the zoom lens 2 and the front converter 3 are combined. The focal length f of the optical system is 49.10 mm, the F value is 5.81, and the field angle (2ω) is 9.4 °.

本実施例のズームレンズ2のみにおける球面収差、非点収差、ディストーション(歪曲収差)、倍率色収差(倍率の色収差)をそれぞれ図16(A)〜図16(D)に示し、ズームレンズ2とフロントコンバータ3とを合わせた光学系における球面収差、非点収差、ディストーション(歪曲収差)、倍率色収差(倍率の色収差)をそれぞれ図16(E)〜図16(H)に示す。   Spherical aberration, astigmatism, distortion (distortion aberration), and lateral chromatic aberration (chromatic aberration of magnification) in the zoom lens 2 of the present embodiment are shown in FIGS. 16A to 16D, respectively. FIGS. 16E to 16H show spherical aberration, astigmatism, distortion (distortion aberration), and chromatic aberration of magnification (chromatic aberration of magnification) in the optical system combined with the converter 3, respectively.

前述した表17に示されている通り、本実施例では角倍率γは1未満となっており、また特に前述した(3)′式の条件も満足している。それにより、フロントコンバータ3による収差を小さく抑え、また解像力チャート1を十分に大きくして、検査精度を高めることができる。さらにこの表17に示されている通り、前述した(4)′式の条件も満足されている。それにより、フロントコンバータ3の位置精度が緩和される。   As shown in Table 17 described above, in this embodiment, the angular magnification γ is less than 1, and in particular, the above-described condition of the expression (3) ′ is also satisfied. As a result, the aberration due to the front converter 3 can be kept small, and the resolution chart 1 can be made sufficiently large to increase the inspection accuracy. Further, as shown in Table 17, the above-mentioned condition of the expression (4) ′ is also satisfied. Thereby, the positional accuracy of the front converter 3 is relaxed.

また本実施例では、フロントコンバータ3のレンズL11、L12からなる前群が負の屈折力を有し、レンズL21、L22からなる後群が正の屈折力を有している。それにより、フロントコンバータ3の組み立てが容易化され、製造誤差によるレンズ性能への影響を軽減できるようになる。   In this embodiment, the front group including the lenses L11 and L12 of the front converter 3 has a negative refractive power, and the rear group including the lenses L21 and L22 has a positive refractive power. Thereby, the assembly of the front converter 3 is facilitated, and the influence on the lens performance due to the manufacturing error can be reduced.

そして上記前群および後群は、それぞれ接合レンズのみから構成されている。それにより、各群内のレンズ組み立て誤差の発生が抑制されるので、この組み立て誤差によるレンズ性能への影響も排除できるようになる。   The front group and the rear group are each composed only of a cemented lens. As a result, the occurrence of lens assembly errors in each group is suppressed, so that the influence of the assembly errors on the lens performance can be eliminated.

また、上記後群を構成する正レンズであるレンズL22のアッベ数ν2p=81.54、負レンズであるレンズL21のアッベ数ν2n=46.57であるので、前述した(2)式の条件が満足されている。それにより、フロントコンバータ3の軸上の色収差の補正も容易となる。   Further, since the Abbe number ν2p = 81.54 of the lens L22 which is the positive lens constituting the rear group and the Abbe number ν2n = 46.57 of the lens L21 which is the negative lens, the condition of the above-described equation (2) is satisfied. Satisfied. This facilitates correction of chromatic aberration on the axis of the front converter 3.

また、上記後群を構成する接合レンズの前群側の面(面番号4の面)の曲率半径=∞であり、それに対してその反対側の面(面番号6の面)の曲率半径=−84.05283であるので、後者の面がより小さな近軸曲率半径の絶対値を有している。それにより、前述したように必要な角倍率γを確保しつつ、補正が必要な球面収差、コマ収差、非点収差等の収差を容易に補正可能となる。   Further, the radius of curvature of the front group side surface (surface of surface number 4) of the cemented lens constituting the rear group is ∞, while the radius of curvature of the opposite surface (surface of surface number 6) is = Since it is −84.05283, the latter surface has a smaller absolute value of the paraxial radius of curvature. Accordingly, as described above, it is possible to easily correct aberrations such as spherical aberration, coma aberration, and astigmatism that need to be corrected while securing the necessary angular magnification γ.

《実施例6》
図8に、本実施例におけるズームレンズ2およびフロントコンバータ3の断面形状を示す。ここではフロントコンバータ3をCVとして示してあり、前群のレンズL11、L12および後群のレンズL21、L22から構成されている。そして図9には、ズームレンズ2の構成を、その範囲をMLとして拡大図示する。
Example 6
FIG. 8 shows cross-sectional shapes of the zoom lens 2 and the front converter 3 in the present embodiment. Here, the front converter 3 is shown as CV, and is composed of front group lenses L11 and L12 and rear group lenses L21 and L22. FIG. 9 is an enlarged view of the configuration of the zoom lens 2 with the range as ML.

また下記の表11に、本実施例におけるズームレンズ2およびフロントコンバータ3のレンズデータを示す。

Figure 0005480070
Table 11 below shows lens data of the zoom lens 2 and the front converter 3 in the present embodiment.
Figure 0005480070

表11のレンズデータでは、非球面は面番号に*印を付しており、非球面の曲率半径として近軸の曲率半径の数値を示している。表12は、これらの非球面に関するデータである非球面係数を示すものである。

Figure 0005480070
In the lens data in Table 11, the surface number of the aspherical surface is marked with *, and the numerical value of the paraxial curvature radius is shown as the curvature radius of the aspherical surface. Table 12 shows aspheric coefficients which are data relating to these aspheric surfaces.
Figure 0005480070

なお本実施例では、非球面係数AとしてA〜A20までの次数を適宜有効に用いてZdを表している。 In the present embodiment, it represents Zd by orders appropriately effectively used up to A 3 to A 20 as aspherical coefficients A n.

本実施例においては、検査に際しズームレンズ2は7.5m前方に合焦する状態とされる。また本実施例において、ズームレンズ2のみの焦点距離f=139.03mm、F値=5.87、画角(2ω)=3.2°であり、ズームレンズ2とフロントコンバータ3とを合わせた光学系の焦点距離f=40.87mm、F値=5.86、画角(2ω)=10.8°である。   In this embodiment, the zoom lens 2 is in a state of being focused forward by 7.5 m at the time of inspection. In this embodiment, the focal length f of the zoom lens 2 alone is 139.03 mm, the F value is 5.87, and the angle of view (2ω) is 3.2 °, and the zoom lens 2 and the front converter 3 are combined. The focal length f of the optical system is 40.87 mm, the F value is 5.86, and the angle of view (2ω) is 10.8 °.

本実施例のズームレンズ2のみにおける球面収差、非点収差、ディストーション(歪曲収差)、倍率色収差(倍率の色収差)をそれぞれ図17(A)〜図17(D)に示し、ズームレンズ2とフロントコンバータ3とを合わせた光学系における球面収差、非点収差、ディストーション(歪曲収差)、倍率色収差(倍率の色収差)をそれぞれ図17(E)〜図17(H)に示す。   The spherical aberration, astigmatism, distortion (distortion aberration), and chromatic aberration of magnification (chromatic aberration of magnification) in the zoom lens 2 of the present embodiment are shown in FIGS. 17A to 17D, respectively. FIGS. 17E to 17H show spherical aberration, astigmatism, distortion (distortion aberration), and chromatic aberration of magnification (chromatic aberration of magnification) in the optical system combined with the converter 3, respectively.

前述した表17に示されている通り、本実施例では角倍率γは1未満となっており、また特に前述した(3)′式の条件も満足している。それにより、フロントコンバータ3による収差を小さく抑え、また解像力チャート1を十分に大きくして、検査精度を高めることができる。さらにこの表17に示されている通り、前述した(4)′式の条件も満足されている。それにより、フロントコンバータ3の位置精度が緩和される。   As shown in Table 17 described above, in this embodiment, the angular magnification γ is less than 1, and in particular, the above-described condition of the expression (3) ′ is also satisfied. As a result, the aberration due to the front converter 3 can be kept small, and the resolution chart 1 can be made sufficiently large to increase the inspection accuracy. Further, as shown in Table 17, the above-mentioned condition of the expression (4) ′ is also satisfied. Thereby, the positional accuracy of the front converter 3 is relaxed.

また本実施例では、フロントコンバータ3のレンズL11、L12からなる前群が負の屈折力を有し、レンズL21、L22からなる後群が正の屈折力を有している。それにより、フロントコンバータ3の組み立てが容易化され、製造誤差によるレンズ性能への影響を軽減できるようになる。   In this embodiment, the front group including the lenses L11 and L12 of the front converter 3 has a negative refractive power, and the rear group including the lenses L21 and L22 has a positive refractive power. Thereby, the assembly of the front converter 3 is facilitated, and the influence on the lens performance due to the manufacturing error can be reduced.

そして上記前群および後群は、それぞれ接合レンズのみから構成されている。それにより、各群内のレンズ組み立て誤差の発生が抑制されるので、この組み立て誤差によるレンズ性能への影響も排除できるようになる。   The front group and the rear group are each composed only of a cemented lens. As a result, the occurrence of lens assembly errors in each group is suppressed, so that the influence of the assembly errors on the lens performance can be eliminated.

また、上記後群を構成する正レンズであるレンズL22のアッベ数ν2p=81.54、負レンズであるレンズL21のアッベ数ν2n=46.57であるので、前述した(2)式の条件が満足されている。それにより、フロントコンバータ3の軸上の色収差の補正も容易となる。   Further, since the Abbe number ν2p = 81.54 of the lens L22 which is the positive lens constituting the rear group and the Abbe number ν2n = 46.57 of the lens L21 which is the negative lens, the condition of the above-described equation (2) is satisfied. Satisfied. This facilitates correction of chromatic aberration on the axis of the front converter 3.

また、上記後群を構成する接合レンズの前群側の面(面番号4の面)の曲率半径=∞であり、それに対してその反対側の面(面番号6の面)の曲率半径=−84.05283であるので、後者の面がより小さな近軸曲率半径の絶対値を有している。それにより、前述したように必要な角倍率γを確保しつつ、補正が必要な球面収差、コマ収差、非点収差等の収差を容易に補正可能となる。   Further, the radius of curvature of the front group side surface (surface of surface number 4) of the cemented lens constituting the rear group is ∞, while the radius of curvature of the opposite surface (surface of surface number 6) is = Since it is −84.05283, the latter surface has a smaller absolute value of the paraxial radius of curvature. Accordingly, as described above, it is possible to easily correct aberrations such as spherical aberration, coma aberration, and astigmatism that need to be corrected while securing the necessary angular magnification γ.

《実施例7》
図10に、本実施例におけるズームレンズ2およびフロントコンバータ3の断面形状を示す。ここではフロントコンバータ3をCVとして示してあり、前群のレンズL11、L12および後群のレンズL21、L22から構成されている。
Example 7
FIG. 10 shows cross-sectional shapes of the zoom lens 2 and the front converter 3 in the present embodiment. Here, the front converter 3 is shown as CV, and is composed of front group lenses L11 and L12 and rear group lenses L21 and L22.

また下記の表13に、本実施例におけるズームレンズ2およびフロントコンバータ3のレンズデータを示す。

Figure 0005480070
Table 13 below shows lens data of the zoom lens 2 and the front converter 3 in the present embodiment.
Figure 0005480070

表13のレンズデータでは、非球面は面番号に*印を付しており、非球面の曲率半径として近軸の曲率半径の数値を示している。表14は、これらの非球面に関するデータである非球面係数を示すものである。

Figure 0005480070
In the lens data in Table 13, the surface number of the aspheric surface is marked with *, and the paraxial curvature radius is shown as the curvature radius of the aspheric surface. Table 14 shows aspheric coefficients which are data relating to these aspheric surfaces.
Figure 0005480070

なお本実施例では、非球面係数AとしてA〜A20までの次数を適宜有効に用いてZdを表している。 In the present embodiment, it represents Zd by orders appropriately effectively used up to A 3 to A 20 as aspherical coefficients A n.

本実施例においては、検査に際しズームレンズ2は5.0m前方に合焦する状態とされる。また本実施例において、ズームレンズ2のみの焦点距離f=63.39mm、F値=5.62、画角(2ω)=7.4°であり、ズームレンズ2とフロントコンバータ3とを合わせた光学系の焦点距離f=47.99mm、F値=5.61、画角(2ω)=9.6°である。   In the present embodiment, the zoom lens 2 is brought into a state of being focused forward by 5.0 m at the time of inspection. In this embodiment, the focal length f of the zoom lens 2 alone is 63.39 mm, the F value is 5.62, the angle of view (2ω) is 7.4 °, and the zoom lens 2 and the front converter 3 are combined. The focal length f of the optical system is 47.9 mm, the F value is 5.61, and the field angle (2ω) is 9.6 °.

本実施例のズームレンズ2のみにおける球面収差、非点収差、ディストーション(歪曲収差)、倍率色収差(倍率の色収差)をそれぞれ図18(A)〜図18(D)に示し、ズームレンズ2とフロントコンバータ3とを合わせた光学系における球面収差、非点収差、ディストーション(歪曲収差)、倍率色収差(倍率の色収差)をそれぞれ図18(E)〜図18(H)に示す。   Spherical aberration, astigmatism, distortion (distortion aberration), and lateral chromatic aberration (chromatic aberration of magnification) in only the zoom lens 2 of the present embodiment are shown in FIGS. 18 (A) to 18 (D), respectively. FIGS. 18E to 18H show spherical aberration, astigmatism, distortion (distortion aberration), and chromatic aberration of magnification (chromatic aberration of magnification) in the optical system combined with the converter 3, respectively.

前述した表17に示されている通り、本実施例では角倍率γは1未満となっており、また特に前述した(3)′式の条件も満足している。それにより、フロントコンバータ3による収差を小さく抑え、また解像力チャート1を十分に大きくして、検査精度を高めることができる。さらにこの表17に示されている通り、前述した(4)′式の条件も満足されている。それにより、フロントコンバータ3の位置精度が緩和される。   As shown in Table 17 described above, in this embodiment, the angular magnification γ is less than 1, and in particular, the above-described condition of the expression (3) ′ is also satisfied. As a result, the aberration due to the front converter 3 can be kept small, and the resolution chart 1 can be made sufficiently large to increase the inspection accuracy. Further, as shown in Table 17, the above-mentioned condition of the expression (4) ′ is also satisfied. Thereby, the positional accuracy of the front converter 3 is relaxed.

また本実施例では、フロントコンバータ3のレンズL11、L12からなる前群が負の屈折力を有し、レンズL21、L22からなる後群が正の屈折力を有している。それにより、フロントコンバータ3の組み立てが容易化され、製造誤差によるレンズ性能への影響を軽減できるようになる。   In this embodiment, the front group including the lenses L11 and L12 of the front converter 3 has a negative refractive power, and the rear group including the lenses L21 and L22 has a positive refractive power. Thereby, the assembly of the front converter 3 is facilitated, and the influence on the lens performance due to the manufacturing error can be reduced.

そして上記前群および後群は、それぞれ接合レンズのみから構成されている。それにより、各群内のレンズ組み立て誤差の発生が抑制されるので、この組み立て誤差によるレンズ性能への影響も排除できるようになる。   The front group and the rear group are each composed only of a cemented lens. As a result, the occurrence of lens assembly errors in each group is suppressed, so that the influence of the assembly errors on the lens performance can be eliminated.

また、上記前群を構成する正レンズであるレンズL11のアッベ数ν1p=39.24、負レンズであるレンズL12のアッベ数ν1n=60.29であるので、前述した(1)式の条件が満足されている。それにより、フロントコンバータ3の倍率の色収差の補正が容易になる。   Further, since the Abbe number ν1p of the lens L11 which is the positive lens constituting the front group is 39.24 and the Abbe number ν1n of the lens L12 which is the negative lens is 60.29, the condition of the above-described equation (1) is satisfied. Satisfied. This facilitates correction of the chromatic aberration of magnification of the front converter 3.

一方、上記後群を構成する正レンズであるレンズL22のアッベ数ν2p=55.53、負レンズであるレンズL21のアッベ数ν2n=32.10であるので、前述した(2)式の条件が満足されている。それにより、フロントコンバータ3の軸上の色収差の補正も容易となる。   On the other hand, the Abbe number ν2p = 55.53 of the lens L22 which is the positive lens constituting the rear group and the Abbe number ν2n = 32.10 of the lens L21 which is the negative lens are satisfied. Satisfied. This facilitates correction of chromatic aberration on the axis of the front converter 3.

また、上記後群を構成する接合レンズの前群側の面(面番号4の面)の曲率半径=−866.01906であり、それに対してその反対側の面(面番号6の面)の曲率半径=−117.52608であるので、後者の面がより小さな近軸曲率半径の絶対値を有している。それにより、前述したように必要な角倍率γを確保しつつ、補正が必要な球面収差、コマ収差、非点収差等の収差を容易に補正可能となる。   Further, the radius of curvature of the front group side surface (surface of surface number 4) of the cemented lens constituting the rear group is -866.01906, and the opposite surface (surface of surface number 6) is the other side. Since the radius of curvature = −117.52608, the latter surface has a smaller absolute value of the paraxial radius of curvature. Accordingly, as described above, it is possible to easily correct aberrations such as spherical aberration, coma aberration, and astigmatism that need to be corrected while securing the necessary angular magnification γ.

《実施例8》
図11に、本実施例におけるズームレンズ2およびフロントコンバータ3の断面形状を示す。ここではフロントコンバータ3をCVとして示してあり、前群のレンズL11、L12および後群のレンズL21、L22から構成されている。
Example 8
FIG. 11 shows cross-sectional shapes of the zoom lens 2 and the front converter 3 in the present embodiment. Here, the front converter 3 is shown as CV, and is composed of front group lenses L11 and L12 and rear group lenses L21 and L22.

また下記の表15に、本実施例におけるズームレンズ2およびフロントコンバータ3のレンズデータを示す。

Figure 0005480070
Table 15 below shows lens data of the zoom lens 2 and the front converter 3 in the present embodiment.
Figure 0005480070

表15のレンズデータでは、非球面は面番号に*印を付しており、非球面の曲率半径として近軸の曲率半径の数値を示している。表16は、これらの非球面に関するデータである非球面係数を示すものである。

Figure 0005480070
In the lens data of Table 15, the aspherical surface is marked with * in the surface number, and the numerical value of the paraxial radius of curvature is shown as the radius of curvature of the aspherical surface. Table 16 shows the aspheric coefficients which are data relating to these aspheric surfaces.
Figure 0005480070

なお本実施例では、非球面係数AとしてA〜A20までの次数を適宜有効に用いてZdを表している。 In the present embodiment, it represents Zd by orders appropriately effectively used up to A 3 to A 20 as aspherical coefficients A n.

本実施例においては、検査に際しズームレンズ2は5.0m前方に合焦する状態とされる。また本実施例において、ズームレンズ2のみの焦点距離f=63.39mm、F値=5.62、画角(2ω)=7.4°であり、ズームレンズ2とフロントコンバータ3とを合わせた光学系の焦点距離f=48.07mm、F値=5.61、画角(2ω)=9.6°である。   In the present embodiment, the zoom lens 2 is brought into a state of being focused forward by 5.0 m at the time of inspection. In this embodiment, the focal length f of the zoom lens 2 alone is 63.39 mm, the F value is 5.62, the angle of view (2ω) is 7.4 °, and the zoom lens 2 and the front converter 3 are combined. The focal length f of the optical system is 48.07 mm, the F value is 5.61, and the field angle (2ω) is 9.6 °.

本実施例のズームレンズ2のみにおける球面収差、非点収差、ディストーション(歪曲収差)、倍率色収差(倍率の色収差)をそれぞれ図19(A)〜図19(D)に示し、ズームレンズ2とフロントコンバータ3とを合わせた光学系における球面収差、非点収差、ディストーション(歪曲収差)、倍率色収差(倍率の色収差)をそれぞれ図19(E)〜図19(H)に示す。   Spherical aberration, astigmatism, distortion (distortion aberration), and lateral chromatic aberration (chromatic aberration of magnification) in only the zoom lens 2 of the present embodiment are shown in FIGS. 19A to 19D, respectively. FIGS. 19E to 19H show spherical aberration, astigmatism, distortion (distortion aberration), and chromatic aberration of magnification (chromatic aberration of magnification) in the optical system combined with the converter 3, respectively.

前述した表17に示されている通り、本実施例では角倍率γは1未満となっており、また特に前述した(3)′式の条件も満足している。それにより、フロントコンバータ3による収差を小さく抑え、また解像力チャート1を十分に大きくして、検査精度を高めることができる。さらにこの表17に示されている通り、前述した(4)′式の条件も満足されている。それにより、フロントコンバータ3の位置精度が緩和される。   As shown in Table 17 described above, in this embodiment, the angular magnification γ is less than 1, and in particular, the above-described condition of the expression (3) ′ is also satisfied. As a result, the aberration due to the front converter 3 can be kept small, and the resolution chart 1 can be made sufficiently large to increase the inspection accuracy. Further, as shown in Table 17, the above-mentioned condition of the expression (4) ′ is also satisfied. Thereby, the positional accuracy of the front converter 3 is relaxed.

また本実施例では、フロントコンバータ3のレンズL11、L12からなる前群が負の屈折力を有し、レンズL21、L22からなる後群が正の屈折力を有している。それにより、フロントコンバータ3の組み立てが容易化され、製造誤差によるレンズ性能への影響を軽減できるようになる。   In this embodiment, the front group including the lenses L11 and L12 of the front converter 3 has a negative refractive power, and the rear group including the lenses L21 and L22 has a positive refractive power. Thereby, the assembly of the front converter 3 is facilitated, and the influence on the lens performance due to the manufacturing error can be reduced.

そして上記前群および後群は、それぞれ接合レンズのみから構成されている。それにより、各群内のレンズ組み立て誤差の発生が抑制されるので、この組み立て誤差によるレンズ性能への影響も排除できるようになる。   The front group and the rear group are each composed only of a cemented lens. As a result, the occurrence of lens assembly errors in each group is suppressed, so that the influence of the assembly errors on the lens performance can be eliminated.

また、上記前群を構成する正レンズであるレンズL11のアッベ数ν1p=39.24、負レンズであるレンズL12のアッベ数ν1n=60.29であるので、前述した(1)式の条件が満足されている。それにより、フロントコンバータ3の倍率の色収差の補正が容易になる。   Further, since the Abbe number ν1p of the lens L11 which is the positive lens constituting the front group is 39.24 and the Abbe number ν1n of the lens L12 which is the negative lens is 60.29, the condition of the above-described equation (1) is satisfied. Satisfied. This facilitates correction of the chromatic aberration of magnification of the front converter 3.

一方、上記後群を構成する正レンズであるレンズL22のアッベ数ν2p=64.20、負レンズであるレンズL21のアッベ数ν2n=34.47であるので、前述した(2)式の条件が満足されている。それにより、フロントコンバータ3の軸上の色収差の補正も容易となる。   On the other hand, the Abbe number ν2p = 64.20 of the lens L22, which is the positive lens constituting the rear group, and the Abbe number ν2n = 34.47 of the lens L21, which is the negative lens. Satisfied. This facilitates correction of chromatic aberration on the axis of the front converter 3.

また、上記後群を構成する接合レンズの前群側の面(面番号4の面)の曲率半径=658.90737であり、それに対してその反対側の面(面番号6の面)の曲率半径=−129.55152であるので、後者の面がより小さな近軸曲率半径の絶対値を有している。それにより、前述したように必要な角倍率γを確保しつつ、補正が必要な球面収差、コマ収差、非点収差等の収差を容易に補正可能となる。

Figure 0005480070
Further, the curvature radius of the front group side surface (surface of surface number 4) of the cemented lens constituting the rear group is 658.90737, and the curvature of the opposite surface (surface of surface number 6) is the same. Since the radius = -129.55152, the latter surface has a smaller absolute value of the paraxial radius of curvature. Accordingly, as described above, it is possible to easily correct aberrations such as spherical aberration, coma aberration, and astigmatism that need to be corrected while securing the necessary angular magnification γ.
Figure 0005480070

1 解像力チャート
2 ズームレンズ(被検レンズ)
3 フロントコンバータ
4 撮像素子
L11,L12,L21,L22 フロントコンバータのレンズ
1 Resolution chart 2 Zoom lens (test lens)
3 Front converter 4 Image sensor L11, L12, L21, L22 Front converter lens

Claims (15)

被検体としてのズームレンズにより解像力チャートを結像あるいは投影させて該ズームレンズを検査する際に用いられるフロントコンバータであって、
前記結像がなされる場合の解像力チャートあるいは前記投影がなされる場合の投影面と、広角端以外の状態に設定されたズームレンズとの間に配置されるフロントコンバータにおいて、
前記ズームレンズと反対側から順に、接合レンズのみから構成されて負の屈折力を有する前群、接合レンズのみから構成されて正の屈折力を有する後群が配設されてなり、
1未満の角倍率を有することを特徴とするフロントコンバータ。
A front converter used for inspecting the zoom lens by forming or projecting a resolution chart with a zoom lens as a subject,
In a front converter disposed between a resolution chart when the image is formed or a projection surface when the projection is performed and a zoom lens set to a state other than the wide-angle end,
In order from the opposite side to the zoom lens, a front group composed of only cemented lenses and having negative refractive power, and a rear group composed of only cemented lenses and having positive refractive power are disposed.
A front converter having an angular magnification of less than 1.
前記前群を構成する正レンズのアッベ数をν1p、負レンズのアッベ数をν1n、前記後群を構成する正レンズのアッベ数をν2p、負レンズのアッベ数をν2nとしたとき、下記の式を満足していることを特徴とする請求項記載のフロントコンバータ。
ν1p<ν1n (1)
ν2p>ν2n (2)
When the Abbe number of the positive lens constituting the front group is ν1p, the Abbe number of the negative lens is ν1n, the Abbe number of the positive lens constituting the rear group is ν2p, and the Abbe number of the negative lens is ν2n, The front converter according to claim 1, wherein:
ν1p <ν1n (1)
ν2p> ν2n (2)
前記後群を構成する接合レンズの前群側の面と比べて、その反対側の面がより小さな近軸曲率半径の絶対値を有していることを特徴とする請求項または記載のフロントコンバータ。 Compared with the surface of the front group side of the cemented lens constituting the rear group, as claimed in claim 1 or 2, wherein the surface on the opposite side has a more absolute value smaller paraxial radius of curvature Front converter. 前記角倍率をγ、前記結像がなされる場合の解像力チャートからフロントコンバータまでの距離が1000mmのときのバックフォーカスをfbとしたとき、下記の式を満足していることを特徴とする請求項1からいずれか1項記載のフロントコンバータ。
0.1<γ<0.9 (3)
−0.25<1000/fb (4)
The following equation is satisfied, where γ is the angular magnification and fb is the back focus when the distance from the resolution chart when the image is formed to the front converter is 1000 mm. The front converter according to any one of 1 to 3 .
0.1 <γ <0.9 (3)
−0.25 <1000 / fb (4)
前記角倍率γおよびバックフォーカスfbの値が下記の式を満足していることを特徴とする請求項記載のフロントコンバータ。
0.2<γ<0.9 (3)′
−0.25<1000/fb <0.2(4)′
The front converter according to claim 4, wherein values of the angular magnification γ and the back focus fb satisfy the following expression.
0.2 <γ <0.9 (3) ′
−0.25 <1000 / fb <0.2 (4) ′
被検体としてのズームレンズにより解像力チャートを結像あるいは投影させて該ズームレンズを検査するズームレンズの検査方法において、
前記結像がなされる場合の解像力チャートあるいは前記投影がなされる場合の投影面と、広角端以外の状態に設定されたズームレンズとの間に、1未満の角倍率を有するフロントコンバータを配置し、
前記フロントコンバータとして、前記ズームレンズと反対側から順に、接合レンズのみから構成されて負の屈折力を有する前群、接合レンズのみから構成されて正の屈折力を有する後群が配設されてなるものを用いることを特徴とするズームレンズの検査方法。
In a zoom lens inspection method for inspecting the zoom lens by forming or projecting a resolution chart with a zoom lens as a subject,
A projection surface in the case where the resolution chart, or the projection when the imaging is performed is made, between the set zoom lens to a state other than the wide-angle end, placing the front converter with less than one angular magnification ,
As the front converter, in order from the opposite side to the zoom lens, a front group including only a cemented lens and having negative refractive power, and a rear group including only a cemented lens and having positive refractive power are disposed. inspection method of the zoom lens according to claim Rukoto using that is.
前記フロントコンバータとして、前記前群を構成する正レンズのアッベ数をν1p、負レンズのアッベ数をν1n、前記後群を構成する正レンズのアッベ数をν2p、負レンズのアッベ数をν2nとしたとき、下記の式を満足するものを用いることを特徴とする請求項記載のズームレンズの検査方法。
ν1p<ν1n (1)
ν2p>ν2n (2)
As the front converter, the Abbe number of the positive lens constituting the front group is ν1p, the Abbe number of the negative lens is ν1n, the Abbe number of the positive lens constituting the rear group is ν2p, and the Abbe number of the negative lens is ν2n. 7. A method for inspecting a zoom lens according to claim 6, wherein a lens satisfying the following formula is used.
ν1p <ν1n (1)
ν2p> ν2n (2)
前記フロントコンバータとして、後群を構成する接合レンズの前群側の面と比べて、その反対側の面がより小さな近軸曲率半径の絶対値を有するものを用いることを特徴とする請求項または記載のズームレンズの検査方法。 Examples front converter, as compared with the surface of the front group side of the cemented lens constituting the rear group, claims, characterized in that used as the surface of the opposite side has a more absolute value smaller paraxial radius of curvature 6 Or a zoom lens inspection method according to 7 ; 前記フロントコンバータとして、前記角倍率をγ、前記結像がなされる場合の解像力チャートからフロントコンバータまでの距離が1000mmのときのバックフォーカスをfbとしたとき、下記の式を満足するものを用いることを特徴とする請求項からいずれか1項記載のズームレンズの検査方法。
0.1<γ<0.9 (3)
−0.25<1000/fb (4)
As the front converter, one that satisfies the following formula is used, where γ is the angular magnification and fb is the back focus when the distance from the resolution chart when the image is formed to the front converter is 1000 mm. inspection method of the zoom lens according to claim 6 8 any one of claims from, characterized in.
0.1 <γ <0.9 (3)
−0.25 <1000 / fb (4)
前記角倍率γおよびバックフォーカスfbの値が下記の式を満足していることを特徴とする請求項記載のズームレンズの検査方法。
0.2<γ<0.9 (3)′
−0.25<1000/fb <0.2(4)′
The zoom lens inspection method according to claim 9, wherein the values of the angular magnification γ and the back focus fb satisfy the following expression.
0.2 <γ <0.9 (3) ′
−0.25 <1000 / fb <0.2 (4) ′
ズームレンズを検査に供するために、このズームレンズにより解像力チャートを結像あるいは投影させるようにしたズームレンズの検査装置において、
前記結像がなされる場合の解像力チャートあるいは前記投影がなされる場合の投影面と、広角端以外の状態に設定されたズームレンズとの間に、1未満の角倍率を有するフロントコンバータが配置され
前記フロントコンバータとして、前記ズームレンズと反対側から順に、接合レンズのみから構成されて負の屈折力を有する前群、接合レンズのみから構成されて正の屈折力を有する後群が配設されてなるものが用いられていることを特徴とするズームレンズの検査装置。
In a zoom lens inspection apparatus in which a resolution chart is formed or projected by the zoom lens in order to use the zoom lens for inspection,
A front converter having an angular magnification of less than 1 is disposed between a resolution chart when the image is formed or a projection surface when the projection is performed and a zoom lens set to a state other than the wide-angle end. ,
As the front converter, in order from the opposite side to the zoom lens, a front group including only a cemented lens and having negative refractive power, and a rear group including only a cemented lens and having positive refractive power are disposed. What is used is a zoom lens inspection device.
前記フロントコンバータとして、前記前群を構成する正レンズのアッベ数をν1p、負レンズのアッベ数をν1n、前記後群を構成する正レンズのアッベ数をν2p、負レンズのアッベ数をν2nとしたとき、下記の式を満足するものが用いられていることを特徴とする請求項11記載のズームレンズの検査装置。
ν1p<ν1n (1)
ν2p>ν2n (2)
As the front converter, the Abbe number of the positive lens constituting the front group is ν1p, the Abbe number of the negative lens is ν1n, the Abbe number of the positive lens constituting the rear group is ν2p, and the Abbe number of the negative lens is ν2n. 12. The zoom lens inspection apparatus according to claim 11, wherein a lens satisfying the following formula is used.
ν1p <ν1n (1)
ν2p> ν2n (2)
前記フロントコンバータとして、後群を構成する接合レンズの前群側の面と比べて、その反対側の面がより小さな近軸曲率半径の絶対値を有するものが用いられていることを特徴とする請求項11または12記載のズームレンズの検査装置。 The front converter is characterized in that the opposite surface has a smaller absolute value of the paraxial curvature radius than the front lens surface of the cemented lens constituting the rear lens group. The zoom lens inspection apparatus according to claim 11 or 12 . 前記フロントコンバータとして、前記角倍率をγ、前記結像がなされる場合の解像力チャートからフロントコンバータまでの距離が1000mmのときのバックフォーカスをfbとしたとき、下記の式を満足するものが用いられていることを特徴とする請求項11から13いずれか1項記載のズームレンズの検査装置。
0.1<γ<0.9 (3)
−0.25<1000/fb (4)
As the front converter, one satisfying the following formula is used, where γ is the angular magnification and fb is the back focus when the distance from the resolving power chart when the image is formed to the front converter is 1000 mm. and that it inspection apparatus of the zoom lens according to claim 11 to 13, wherein any one of said.
0.1 <γ <0.9 (3)
−0.25 <1000 / fb (4)
前記角倍率γおよびバックフォーカスfbの値が下記の式を満足していることを特徴とする請求項14記載のズームレンズの検査装置。
0.2<γ<0.9 (3)′
−0.25<1000/fb <0.2(4)′
15. The zoom lens inspection apparatus according to claim 14, wherein values of the angular magnification γ and the back focus fb satisfy the following expression.
0.2 <γ <0.9 (3) ′
−0.25 <1000 / fb <0.2 (4) ′
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