JP5483936B2

JP5483936B2 - Linear drive

Info

Publication number: JP5483936B2
Application number: JP2009144037A
Authority: JP
Inventors: 昭夫石水
Original assignee: Nidec Sankyo Corp
Current assignee: Nidec Instruments Corp
Priority date: 2009-06-17
Filing date: 2009-06-17
Publication date: 2014-05-07
Anticipated expiration: 2029-06-17
Also published as: JP2011004484A

Description

本発明は、リニア駆動装置に関し、更に詳しくは、ロータの回転動作（回転動力）を、軸線方向における出力軸の進退動作（直線動力）に変換して出力するリニア駆動装置に関するものである。 The present invention relates to a linear drive device, and more particularly to a linear drive device that converts a rotational operation (rotational power) of a rotor into an advancing / retreating operation (linear power) of an output shaft in the axial direction.

気体や液体の流路を開閉する弁体の駆動用などに用いられるリニア駆動装置が知られている（例えば、特許文献１参照。）。この種のリニア駆動装置は、ステータによって回転させられるロータと、このロータに螺合される出力軸とを備え、回転方向の動きが規制されている出力軸が、ロータの正転・逆転に伴ってその軸線方向に進退動作するというものである。つまり、ロータの回転動力が、出力軸の直線動力に変換されて被駆動体に出力される構成を備える。 A linear drive device used for driving a valve body that opens and closes a flow path of gas or liquid is known (for example, see Patent Document 1). This type of linear drive device includes a rotor that is rotated by a stator and an output shaft that is screwed into the rotor, and the output shaft whose movement in the rotational direction is restricted is associated with forward and reverse rotation of the rotor. It moves forward and backward in the axial direction. That is, a configuration is provided in which the rotational power of the rotor is converted into linear power of the output shaft and output to the driven body.

特許文献１に記載のリニア駆動装置では、ロータは軸線方向の両側（出力側および反出力側）で回転可能に支持されている。ロータの反出力側端面を回転可能に支持するベアリングとして、付勢部材（板ばね）によって付勢されたスライドベアリングが採用され、このスライドベアリングとロータとの間には、摩擦によるエネルギロスを低減するためのボール（ベアリング）が介在されている。かかる構成では、スライドベアリングとケース内壁とが当接（摺動）しており、これによってロータは径方向に位置ずれしないよう規制されている。また、スライドベアリングは付勢部材によって常に出力側へ付勢されており、この付勢力によってロータは軸方向への動きが規制されている。 In the linear drive device described in Patent Document 1, the rotor is rotatably supported on both sides (output side and counter-output side) in the axial direction. A slide bearing energized by an energizing member (leaf spring) is used as a bearing that rotatably supports the non-output side end face of the rotor, and energy loss due to friction is reduced between the slide bearing and the rotor. A ball (bearing) for interposing is interposed. In such a configuration, the slide bearing and the inner wall of the case are in contact (sliding), thereby restricting the rotor from being displaced in the radial direction. The slide bearing is always urged to the output side by the urging member, and the movement of the rotor in the axial direction is restricted by this urging force.

ＵＳ２００６−００７１１９０Ａ１号公報US2006-0071190A1 Publication

しかしながら、特許文献１に記載されるリニア駆動装置では、上記のように付勢されたスライドベアリングとボールを用いてロータの反出力側端面が支持されるという構造であるため、ロータの反出力側（ケースの内底面側）の構造が複雑になるという問題があった。 However, since the linear drive device described in Patent Document 1 has a structure in which the end face on the counter-output side of the rotor is supported using the slide bearing and the ball biased as described above, the counter-output side of the rotor There was a problem that the structure on the inner bottom side of the case was complicated.

上記問題に鑑みて、本発明が解決しようとする課題は、ロータをその径方向および軸方向に位置規制しながら回転可能に支持する簡易なロータ支持構造を備えたリニア駆動装置を提供することにある。 In view of the above problems, the problem to be solved by the present invention is to provide a linear drive device having a simple rotor support structure that rotatably supports the rotor while regulating its position in the radial and axial directions. is there.

上記課題を解決するため、本願発明者は、ロータの支持構造を簡略化するため、種々の研究を重ね、特願２００８−１８３５９９号に示す構成を考えた。具体的には、ロータの反出力側端面から軸部を突出形成し、この軸部をラジアルベアリングで支持させる構成を考えた。かかる構成では、軸線方向に進退動作する出力軸が螺合されたロータの凹部内の空気を逃がすため、凹部の底面と軸部の先端との間に空気抜孔を形成する必要がある。ところが、軸部とラジアルベアリングの摺動により生ずる摩耗粉等が空気抜孔を塞いでしまい、出力軸が進退動作する際に、凹部内の空気を外部に逃がしたり、外部から空気を凹部内に取り込むことができないという問題があった。すなわち、ロータに突出形成された軸部をラジアルベアリングで支持する支持構造は、簡易な構成ではあるものの、回転動力が直線動力に変換される際、凹部内の空気の圧縮・膨張によるエネルギロスが生じてしまうとの知見を得た。 In order to solve the above problems, the inventor of the present application has made various studies in order to simplify the support structure of the rotor, and considered the configuration shown in Japanese Patent Application No. 2008-183599. Specifically, a configuration was considered in which a shaft portion is formed so as to protrude from the end face on the counter-output side of the rotor, and this shaft portion is supported by a radial bearing. In such a configuration, in order to escape the air in the concave portion of the rotor screwed with the output shaft that moves forward and backward in the axial direction, it is necessary to form an air vent hole between the bottom surface of the concave portion and the tip of the shaft portion. However, the wear dust generated by the sliding of the shaft and the radial bearing blocks the air vent hole, and when the output shaft moves forward and backward, the air in the recess is released to the outside or the air is taken into the recess from the outside. There was a problem that I could not. In other words, the support structure for supporting the shaft portion protruding from the rotor with the radial bearing has a simple configuration, but when the rotational power is converted into linear power, the energy loss due to the compression / expansion of the air in the recess is reduced. The knowledge that it will occur was obtained.

本発明は、このような知見に基づいてなされたもので、内周面に雌ねじ部が形成された凹部を有するロータと、該ロータの雌ねじ部に螺合する雄ねじ部が外周面に形成された出力軸と、前記ロータが収納される有底のケースとを備え、前記ロータの回転に伴って回転方向の動きが規制された前記出力軸を軸方向に進退動させるリニア駆動装置において、前記ケースの内底面側には、外周面に突起が形成された円盤状フランジ部を有するラジアルベアリングが固定され、前記ロータにはその反出力側端面から前記ラジアルベアリングの前記円盤状フランジ部に回転可能に支持される軸部が突出形成されると共に前記凹部の内底面から該軸部の先端までを連通する空気抜孔が形成され、前該空気抜孔の反出力側には、前記円盤状フランジ部と前記ケースとで囲まれ、前記突起によって前記円盤状フランジ部の外周面と前記ケースの内周面との間に形成されるクリアランスにより開放した空間が設けられていることを要旨とするものである。
前記突起は、前記円盤状フランジ部の周方向において等間隔に形成されており、前記ラジアルベアリングは、前記ケースの内周面に接触する前記突起が潰されるようにして前記ケースの内底面側に圧入されているとよい。
前記ラジアルベアリングは、前記円盤状フランジ部およびこの円盤状フランジ部から反出力側に向かって突出した支持部を有し、該支持部が前記ケースの内底面に当接した状態で固定されているとよい。 The present invention has been made on the basis of such knowledge, and a rotor having a concave portion in which an internal thread portion is formed on an inner peripheral surface and an external thread portion that is screwed into the internal thread portion of the rotor are formed on the outer peripheral surface. A linear drive device comprising: an output shaft; and a bottomed case in which the rotor is housed, wherein the output shaft, whose movement in the rotational direction is restricted as the rotor rotates, moves forward and backward in the axial direction. the inner bottom surface side of the radial bearing is fixed with a disk-shaped flange portion which projections are formed on an outer peripheral surface, rotatably in said rotor from the counter output side edge to the disc-shaped flange portion of the radial bearing wherein the inner bottom surface of the recess together with the shaft portion to be supported is protruded and air vent hole is formed for communicating the to the tip of the shaft portion, the opposite output side of the front air vent holes, and the disc-shaped flange portion Surrounded by the over scan, it is an summarized in that space opened by clearance formed between the outer peripheral surface and the inner peripheral surface of the casing of the disc-shaped flange portion is provided by the projection .
The protrusions are formed at equal intervals in the circumferential direction of the disk-shaped flange portion, and the radial bearing is disposed on the inner bottom surface side of the case so that the protrusions that contact the inner peripheral surface of the case are crushed. It should be press-fitted.
The radial bearing has the disc-shaped flange portion and a support portion protruding from the disc-shaped flange portion toward the opposite output side, and the support portion is fixed in a state of being in contact with the inner bottom surface of the case. Good.

このような構成の本発明によれば、ロータの反出力側端面から軸部が突出形成され、これをケースに固定されたラジアルベアリングで支持するという簡易なロータ支持構造であるため、スライドベアリングやボールを用いたような従来型のリニア駆動装置と比較して、製造コストを低減することができる。さらに、このような軸部を設ける場合、凹部内の空気を逃がす空気抜孔を軸部に設ける必要があるところ、空気抜孔の反出力側（先端側）に所定の大きさの空間を設けておけば、この空間にラジアルベアリングと軸部との摺動による摩耗粉等が溜められるため、空気抜孔に摩耗粉等が入り込むことによって空気抜孔が閉塞してしまうおそれが低減される。つまり、ロータの回転動力から出力軸の直線動力に変換される際における凹部内の空気の膨張・収縮によるエネルギロスを低減することができる。 According to the present invention having such a configuration, since the shaft portion is formed so as to protrude from the end face on the opposite side of the rotor and is supported by the radial bearing fixed to the case, the slide bearing or Compared with a conventional linear drive device using a ball, the manufacturing cost can be reduced. Further, when such a shaft portion is provided, it is necessary to provide an air vent hole in the shaft portion for escaping air in the recess, and therefore a space of a predetermined size may be provided on the non-output side (tip side) of the air vent hole. In this case, since wear powder or the like due to sliding between the radial bearing and the shaft portion is accumulated in this space, the possibility that the air vent hole is blocked due to the wear powder or the like entering the air vent hole is reduced. That is, it is possible to reduce energy loss due to expansion / contraction of air in the recess when the rotational power of the rotor is converted to the linear power of the output shaft.

この場合、前記ロータは、その軸部の先端が前記円盤状フランジ部の前記空間側端面から突出し、前記軸部の先端まで形成された前記空気抜孔の先端が前記軸部と前記円盤状フランジ部とが摺動する摺動面より突出しているとよい。 In this case, the rotor protrudes from the space-side end face of the distal end of the shaft portion the discotic flange portion, the distal end of the air vent holes formed to the tip of the shaft portion the shaft portion and the disk-shaped flange portion It is good to project from the sliding surface on which the slider slides .

このように、ラジアルベアリングに回転可能に支持されるロータの軸部が、ラジアルベアリングの反出力側端面から突出するようにすれば、軸部とラジアルベアリングの摺動面から発生する摩耗粉が空気抜孔に入り込みにくくなる。 In this way, if the shaft portion of the rotor that is rotatably supported by the radial bearing protrudes from the end surface on the non-output side of the radial bearing, the wear powder generated from the sliding surface of the shaft portion and the radial bearing will be air. It becomes difficult to enter the hole.

さらにこの場合、前記ロータは、前記円盤状フランジ部の前記空間側端面から突出した前記軸部の先端に当接した付勢部材により出力側に付勢されていればよい。 Furthermore, in this case, the rotor may be biased to the output side by a biasing member that is in contact with the tip of the shaft portion protruding from the space-side end surface of the disk-shaped flange portion .

このように、ロータは、軸部の端部に当接した付勢部材により出力側に付勢されているため、ロータの軸方向におけるがたつきを防止することができる。また、この付勢部材は、ラジアルベアリングの反出力側端面から突出した軸部の先端に当接しているため、ラジアルベアリングと軸部との摺動面から発生する摩耗粉の上記空間への落下（逃がし）が付勢部材によって妨げられることがなく、空気抜孔の閉塞を確実に防止することができる。 Thus, since the rotor is urged to the output side by the urging member in contact with the end portion of the shaft portion, rattling in the axial direction of the rotor can be prevented. Further, since this urging member is in contact with the tip of the shaft portion protruding from the opposite end surface of the radial bearing, the wear powder generated from the sliding surface between the radial bearing and the shaft portion falls into the space. (Relief) is not hindered by the biasing member, and the air vent hole can be reliably prevented from being blocked.

本発明は、ロータの反出力側端面から突出形成された軸部が、ケースに固定されたラジアルベアリングで支持されるという簡易なロータ支持構造であるため、装置の製造コストを低減することができる。さらに、軸部に形成された空気抜孔の反出力側（先端側）に所定の大きさの空間を設けられているため、この空間にラジアルベアリングと軸部との摺動による摩耗粉等が溜められ、摩耗粉等が空気抜孔に入り込むおそれを低減することができる。 The present invention has a simple rotor support structure in which the shaft portion that is formed to project from the end face on the counter-output side of the rotor is supported by a radial bearing fixed to the case, so that the manufacturing cost of the device can be reduced. . In addition, since a space of a predetermined size is provided on the non-output side (front end side) of the air vent hole formed in the shaft portion, wear powder or the like due to sliding between the radial bearing and the shaft portion is accumulated in this space. This can reduce the risk of wear powder and the like entering the air vent hole.

本発明の一実施形態に係るリニア駆動装置の外観斜視図である。1 is an external perspective view of a linear drive device according to an embodiment of the present invention. 図１に示したリニア駆動装置の断面図である。It is sectional drawing of the linear drive device shown in FIG. 図１および図２に示したリニア駆動装置が備える反出力側におけるロータの支持構造を説明するための拡大断面図である。It is an expanded sectional view for demonstrating the support structure of the rotor in the non-output side with which the linear drive device shown in FIG.1 and FIG.2 is provided. 図１および図２に示したリニア駆動装置が備えるラジアルベアリングを反出力側から見た外観斜視図である。It is the external appearance perspective view which looked at the radial bearing with which the linear drive device shown in FIG.1 and FIG.2 is provided from the non-output side. 第一の変形例に係るリニア駆動装置のロータの支持構造を説明するための断面図である。It is sectional drawing for demonstrating the support structure of the rotor of the linear drive device which concerns on a 1st modification. 第二の変形例に係るリニア駆動装置のロータの支持構造を説明するための断面図である。It is sectional drawing for demonstrating the support structure of the rotor of the linear drive device which concerns on a 2nd modification. 第三の変形例に係るリニア駆動装置のロータの支持構造を説明するための断面図である。It is sectional drawing for demonstrating the support structure of the rotor of the linear drive device which concerns on a 3rd modification. 第四の変形例に係るリニア駆動装置のロータの支持構造を説明するための断面図である。It is sectional drawing for demonstrating the support structure of the rotor of the linear drive device which concerns on a 4th modification.

以下、本発明の一実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。図１は、本発明の一実施形態に係る弁体駆動装置１（リニア駆動装置）の外観を示す斜視図であり、図２は、その断面図である。なお、以下の説明において、図２における上方を出力側といい、下方を反出力側という。 Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a perspective view showing an external appearance of a valve body drive device 1 (linear drive device) according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a sectional view thereof. In the following description, the upper side in FIG. 2 is called the output side, and the lower side is called the counter-output side.

弁体駆動装置１は、大まかには、金属製のケース３と、このケース３内に収納され、ケース３の外側に位置するステータ部２０から発生する磁界を受けて回転するロータ５０と、このロータ５０に螺合してその軸線方向に進退移動する出力軸８と、ロータ５０の反出力側を回転自在に支持するラジアルベアリング６とを備える。 The valve body driving device 1 is roughly composed of a metal case 3, a rotor 50 housed in the case 3 and rotated by receiving a magnetic field generated from the stator portion 20 located outside the case 3, An output shaft 8 that is screwed into the rotor 50 and moves forward and backward in the axial direction thereof, and a radial bearing 6 that rotatably supports the counter-output side of the rotor 50 are provided.

ケース３は、有底の円筒状隔壁部３３と、円筒状隔壁部３３の開口縁で拡径する円環状のフランジ部３１とを備えており、円筒状隔壁部３３の周りには、ステッピングモータ２の円筒状のステータ部２０が同心状に配置されている。円筒状隔壁部３３には環状の段部３３５が形成されており、かかる段部３３５によって、ステータ部２０の軸線方向Ｌの位置が規定されている。かかるケース３は、薄くて非磁性の金属板に深絞り加工などを行なうことによって形成される。 The case 3 includes a cylindrical partition wall portion 33 having a bottom and an annular flange portion 31 whose diameter is increased at the opening edge of the cylindrical partition wall portion 33. A stepping motor is disposed around the cylindrical partition wall portion 33. Two cylindrical stator portions 20 are arranged concentrically. An annular step portion 335 is formed in the cylindrical partition wall portion 33, and the position in the axial direction L of the stator portion 20 is defined by the step portion 335. The case 3 is formed by performing deep drawing or the like on a thin nonmagnetic metal plate.

ステータ部２０は、軸線方向Ｌに重ねて配置された一対のステータ組２１、２２を有しており、ステータ組２１、２２は各々、インシュレータに巻回された環状のコイル、およびコイルの軸線方向Ｌの両側に配置された一対のステータコアを備えている。一対のステータコアは各々、コイルの内周面に沿って起立形成された多数の極歯を備えており、ステータ組２１を構成した状態で、一対のステータコアに形成された極歯は周方向に交互に配置された状態となる。ステータ部２０の側面部には端子台２６が形成されており、かかる端子台２６には複数本の端子２７が固定されている。また、端子台２６を覆うようにコネクタ部２８が形成されている。 The stator part 20 has a pair of stator sets 21 and 22 arranged so as to overlap in the axial direction L. Each of the stator sets 21 and 22 is an annular coil wound around an insulator, and the axial direction of the coil. A pair of stator cores disposed on both sides of L are provided. Each of the pair of stator cores includes a large number of pole teeth standing up along the inner peripheral surface of the coil, and the pole teeth formed on the pair of stator cores are alternately arranged in the circumferential direction in a state where the stator assembly 21 is configured. It will be in the state arranged in. A terminal block 26 is formed on the side surface of the stator unit 20, and a plurality of terminals 27 are fixed to the terminal block 26. A connector portion 28 is formed so as to cover the terminal block 26.

ケース３の円筒状隔壁部３３の内側には、下方から、ラジアルベアリング６、円筒状のロータ５０、円盤状の出力側軸受９、円筒状支持部材４がこの順に重ねて配設されており、ロータ５０、出力側軸受９および円筒状支持部材４の内側には、軸線方向Ｌに延びた出力軸８が配設されている。 A radial bearing 6, a cylindrical rotor 50, a disk-shaped output side bearing 9, and a cylindrical support member 4 are arranged in this order on the inner side of the cylindrical partition wall 33 of the case 3 from below. An output shaft 8 extending in the axial direction L is disposed inside the rotor 50, the output side bearing 9, and the cylindrical support member 4.

これらの部材のうち、ラジアルベアリング６、ステータ部２０、および円筒状支持部材４は、ケース３に固定されている。ロータ５０は軸線周りに回転すると、円筒状支持部材４に係合して回転方向の動きが規制されている出力軸８は軸線方向Ｌに移動する。 Of these members, the radial bearing 6, the stator portion 20, and the cylindrical support member 4 are fixed to the case 3. When the rotor 50 rotates around the axis, the output shaft 8 that engages with the cylindrical support member 4 and is restricted from moving in the rotational direction moves in the axial direction L.

ロータ５０は、有底円筒状のロータ部材５１を有しており、その外周面にはロータマグネット５２が固定されている。ロータマグネット５２の外周面では、周方向でＳ極とＮ極とが交互に並んでおり、かかる外周面は、ケース３の円筒状隔壁部３３を介してステータ部２０の内周面に対向している。 The rotor 50 has a bottomed cylindrical rotor member 51, and a rotor magnet 52 is fixed to the outer peripheral surface thereof. On the outer peripheral surface of the rotor magnet 52, the S pole and the N pole are alternately arranged in the circumferential direction, and the outer peripheral surface is opposed to the inner peripheral surface of the stator portion 20 via the cylindrical partition wall portion 33 of the case 3. ing.

また、ロータ５０は、出力側に向かって開口した凹部５０１が形成された有底筒状の形状を有する。凹部５０１の内側には出力軸８が配設されている。具体的には、凹部５０１は、ロータ部材５１の中央に形成されており、その内周面には送りねじ機構用の雌ねじ５８が形成されている。一方、出力軸８においてロータ５０の凹部５０１に挿入された部分には送りねじ機構用の雄ねじ８８が形成されており、出力軸８の雄ねじ８８は、ロータ部材５１の雌ねじ５８に螺合されている。また、円筒状支持部材４の上板部に形成された穴４９は断面Ｄ形状である。一方、出力軸８は、穴４９の内側に位置する部分も含め、上半部が断面Ｄ形状になっている。このため、ロータ５０が回転した際、出力軸８も回転しようとするが、出力軸８と円筒状支持部材４の穴４９との係合部分は共回り防止機構として機能し、出力軸８は回転不能である。よって、ロータ５０が回転した際、出力軸８は、ロータ５０に共回りせずに軸線方向Ｌに移動する。このようにして、本実施形態では、ロータ５０の回転動力を出力軸８の直線動力に変換する回転直動変換機構が構成されている。 Further, the rotor 50 has a bottomed cylindrical shape in which a concave portion 501 opened toward the output side is formed. An output shaft 8 is disposed inside the recess 501. Specifically, the recess 501 is formed in the center of the rotor member 51, and a female screw 58 for a feed screw mechanism is formed on the inner peripheral surface thereof. On the other hand, a male screw 88 for a feed screw mechanism is formed in a portion of the output shaft 8 inserted into the concave portion 501 of the rotor 50, and the male screw 88 of the output shaft 8 is screwed into the female screw 58 of the rotor member 51. Yes. The hole 49 formed in the upper plate portion of the cylindrical support member 4 has a D-shaped cross section. On the other hand, the upper half of the output shaft 8 including the portion located inside the hole 49 has a D-shaped cross section. For this reason, when the rotor 50 rotates, the output shaft 8 also tries to rotate. However, the engagement portion between the output shaft 8 and the hole 49 of the cylindrical support member 4 functions as a co-rotation preventing mechanism. Cannot rotate. Therefore, when the rotor 50 rotates, the output shaft 8 moves in the axial direction L without rotating together with the rotor 50. In this way, in this embodiment, a rotation / linear motion conversion mechanism that converts the rotational power of the rotor 50 into linear power of the output shaft 8 is configured.

かかる構成を有するロータ５０は、出力側軸受９およびラジアルベアリング６によって回転自在に支持されている。出力側軸受９は、ロータ５０の出力側を回転自在に支持するスラスト軸受であって、出力側（ロータ部材５１側）に配置される円環状の第一支持板９１と、第一支持板９１に軸線方向Ｌで対向するように反出力側（円筒状支持部材４側）に配置される円環状の第二支持板９２とを有する。第一支持板９１と第二支持板９２との間には環状の転動路が形成されており、かかる転動路には、ボール９３が複数配置されている。本実施形態では、第一支持板９１はロータ部材５１側に保持され、第二支持板９２は、円筒状支持部材４の側に保持されており、出力軸８は、第一支持板９１および第二支持板９２の中央に形成されている穴を貫通してロータ５０に螺合されている。本実施形態において、第一支持板９１および第二支持板９２はいずれもＳＵＳ製である。 The rotor 50 having such a configuration is rotatably supported by the output side bearing 9 and the radial bearing 6. The output side bearing 9 is a thrust bearing that rotatably supports the output side of the rotor 50, and an annular first support plate 91 disposed on the output side (rotor member 51 side), and a first support plate 91. And an annular second support plate 92 disposed on the non-output side (cylindrical support member 4 side) so as to face each other in the axial direction L. An annular rolling path is formed between the first support plate 91 and the second support plate 92, and a plurality of balls 93 are arranged on the rolling path. In the present embodiment, the first support plate 91 is held on the rotor member 51 side, the second support plate 92 is held on the cylindrical support member 4 side, and the output shaft 8 includes the first support plate 91 and The second support plate 92 is screwed into the rotor 50 through a hole formed in the center. In the present embodiment, both the first support plate 91 and the second support plate 92 are made of SUS.

かかる出力側軸受９において、本実施形態では、第一支持板９１および第二支持板９２はいずれも、軸線方向Ｌに対して同一方向に斜めに傾き、第一支持板９１と第二支持板９２は平行である。このため、第一支持板９１と第二支持板９２との対向距離は、内周側から外周側に向かって同一である。また、第一支持板９１および第二支持板９２は、内周側から外周側において屈曲部分を有しない連続面になっている。このため、ボール９３は、第一支持板９１および第二支持板９２の各々に対して１箇所で接している。 In the output side bearing 9, in the present embodiment, the first support plate 91 and the second support plate 92 are both inclined obliquely in the same direction with respect to the axial direction L, and the first support plate 91 and the second support plate 92 is parallel. For this reason, the opposing distance of the 1st support plate 91 and the 2nd support plate 92 is the same toward the outer peripheral side from an inner peripheral side. The first support plate 91 and the second support plate 92 are continuous surfaces that do not have a bent portion from the inner peripheral side to the outer peripheral side. Therefore, the ball 93 is in contact with each of the first support plate 91 and the second support plate 92 at one location.

一方、ロータ５０の反出力側は、ラジアルベアリング６によって回転自在に支持されている。図示されるように、ロータ部材５１の反出力側端面５１０からは丸棒状の軸部５５が下方に突出しており、かかる軸部５５は、ラジアルベアリング６の軸孔６５に嵌っている。この状態で、ロータ５０は、軸部５５を介してラジアルベアリング６により回転可能に支持されている。ラジアルベアリング６の構成ならびにこのラジアルベアリング６によるロータ５０の支持構造の詳細については後述する。 On the other hand, the non-output side of the rotor 50 is rotatably supported by the radial bearing 6. As illustrated, a round bar-shaped shaft portion 55 projects downward from the non-output side end surface 510 of the rotor member 51, and the shaft portion 55 is fitted in the shaft hole 65 of the radial bearing 6. In this state, the rotor 50 is rotatably supported by the radial bearing 6 via the shaft portion 55. Details of the structure of the radial bearing 6 and the support structure of the rotor 50 by the radial bearing 6 will be described later.

ロータ部材５１の軸部５５には、凹部５０１の底面から軸部５５の先端までを連通する空気抜孔５７が形成されている。かかる空気抜孔５７は、回転動力を直線動力に変換する時のエネルギロスを防止するため、ロータ５０が回転することに伴い出力軸８が軸線方向Ｌに進退動作する際、凹部５０１内の空気を外部に逃がすために設けられている。 The shaft portion 55 of the rotor member 51 is formed with an air vent hole 57 that communicates from the bottom surface of the recess 501 to the tip of the shaft portion 55. In order to prevent energy loss when converting rotational power into linear power, the air vent hole 57 removes air in the recess 501 when the output shaft 8 moves back and forth in the axial direction L as the rotor 50 rotates. It is provided for escape to the outside.

そして、出力軸８の上端部には出力軸８よりも大径の弁体８５が取り付けられている。弁体８５は、出力軸８の上端部に完全固定されており、弁体８５と出力軸８は一体になっている。弁体８５の側面には周溝が形成されており、かかる周溝には、ゴム製のＯリングなどからなるシール部材８６が装着されている。かかる弁体８５は、流路の開口形成部に当接することにより、流路の開口を閉鎖した状態とする。 A valve body 85 having a diameter larger than that of the output shaft 8 is attached to the upper end portion of the output shaft 8. The valve body 85 is completely fixed to the upper end portion of the output shaft 8, and the valve body 85 and the output shaft 8 are integrated. A circumferential groove is formed on the side surface of the valve body 85, and a seal member 86 made of a rubber O-ring or the like is attached to the circumferential groove. The valve body 85 closes the opening of the flow path by coming into contact with the opening forming portion of the flow path.

円筒状支持部材４の周りには、付勢部材としてのコイルばね５が装着されており、かかるコイルばね５は、両端部が各々、弁体８５の基端側に形成されたフランジ部８５１と、円筒状支持部材４との間で圧縮された状態で支持されている。円筒状支持部材４は、弾性を有する止め輪３５によって、ケース３の環状の段部３３５に押圧されており、軸線方向Ｌの移動および軸線周りの回転が規制された状態でケース３に固定されている。 A coil spring 5 as an urging member is mounted around the cylindrical support member 4, and both ends of the coil spring 5 have flange portions 851 formed on the proximal end side of the valve body 85. The cylindrical support member 4 is supported in a compressed state. The cylindrical support member 4 is pressed against the annular step 335 of the case 3 by an elastic retaining ring 35, and is fixed to the case 3 in a state where movement in the axial direction L and rotation around the axial line are restricted. ing.

以下、弁他駆動装置１が備える上記ラジアルベアリング６の具体的な構成、ならびにこのラジアルベアリング６によるロータ５０の支持構造について詳細に説明する。 Hereinafter, a specific configuration of the radial bearing 6 included in the valve and other drive device 1 and a support structure of the rotor 50 by the radial bearing 6 will be described in detail.

図３は、ラジアルベアリング６付近を拡大して示した断面図であり、図４は、そのラジアルベアリング６を下方（反出力側）から見た外観斜視図である。ラジアルベアリング６は、円盤状フランジ部６１と支持部６２とを有する。円盤状フランジ部６１の外周面には、円周上等間隔に４個所の突起６１０が形成されており、円盤状フランジ部６１の下面には、支持部６２の外側に環状溝６６が形成されている。この環状溝６６によって、円盤状フランジ部６１の外周部分には弾性が付与されている。ラジアルベアリング６は、円盤状フランジ部６１の外周面の突起６１０が潰されるようにしてケース３の円筒状隔壁部３３に弾性をもって当接し、ケース３の円筒状隔壁部３３に圧入固定された状態にある。このように突起６１０を設けることによって、圧入強度が増加するためラジアルベアリング６の位置ずれが防止されると共に、円盤状フランジ部６１の外周面と、ケース３の円筒状隔壁部３３の内周面との間には、突起６１０が存在している部分を除き微小なクリアランスＣが形成される。 FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view showing the vicinity of the radial bearing 6, and FIG. 4 is an external perspective view of the radial bearing 6 as viewed from below (on the opposite output side). The radial bearing 6 has a disc-shaped flange portion 61 and a support portion 62. Four protrusions 610 are formed on the outer peripheral surface of the disc-shaped flange portion 61 at equal intervals on the circumference, and an annular groove 66 is formed outside the support portion 62 on the lower surface of the disc-shaped flange portion 61. ing. The annular groove 66 provides elasticity to the outer peripheral portion of the disc-shaped flange portion 61. The radial bearing 6 is in a state in which the projection 610 on the outer peripheral surface of the disc-shaped flange portion 61 is crushed so as to elastically contact the cylindrical partition wall portion 33 of the case 3 and is press-fitted and fixed to the cylindrical partition wall portion 33 of the case 3. It is in. By providing the protrusions 610 in this manner, the press-fitting strength increases, so that the radial bearing 6 is prevented from being displaced, and the outer peripheral surface of the disc-shaped flange portion 61 and the inner peripheral surface of the cylindrical partition wall portion 33 of the case 3. Between the two, a minute clearance C is formed except for a portion where the protrusion 610 exists.

また、円盤状フランジ部６１の中央には、軸孔６５が形成され、この軸孔６５にロータ５０の軸部５５が回転可能に支持されている。つまり、ラジアルベアリング６の軸孔６５の内周面は、ロータ５０の軸部５５の外周面を支持する摺動面として機能する。これにより、ロータ５０は軸線方向Ｌと直交する方向（ラジアル方向）への動きが規制（位置ずれが防止）されている。 A shaft hole 65 is formed in the center of the disc-shaped flange portion 61, and the shaft portion 55 of the rotor 50 is rotatably supported by the shaft hole 65. That is, the inner peripheral surface of the shaft hole 65 of the radial bearing 6 functions as a sliding surface that supports the outer peripheral surface of the shaft portion 55 of the rotor 50. Thereby, the movement of the rotor 50 in the direction (radial direction) orthogonal to the axial direction L is restricted (positional deviation is prevented).

一方、支持部６２は、円盤状フランジ部６１から反出力側に向けて円周上等間隔に突出した三つの突起である。ラジアルベアリング６は、支持部６２がケース３の円筒状隔壁部３３の底部３３２に当接した状態で固定されている。つまり、支持部６２の高さ分、ケース３の円筒状隔壁部３３と円盤状フランジ部６１との間には、所定の大きさの空間Ｓが形成される。 On the other hand, the support part 62 is three protrusions which protrude from the disk-shaped flange part 61 toward the counter-output side at equal intervals on the circumference. The radial bearing 6 is fixed in a state where the support portion 62 is in contact with the bottom portion 332 of the cylindrical partition wall portion 33 of the case 3. That is, a space S having a predetermined size is formed between the cylindrical partition wall portion 33 and the disc-shaped flange portion 61 of the case 3 by the height of the support portion 62.

ラジアルベアリング６の軸孔６５に挿通されたロータ５０の軸部５５は、ラジアルベアリング６の反出力側端面６８から突出し、その先端が空間Ｓ内に位置している。すなわち、軸部５５に形成された空気抜孔５７によってロータ５０の凹部５０１と、空間Ｓとは連通されている。ここで、上記したように、円盤状フランジ部６１の外周面に形成された突起６１０により、円盤状フランジ部６１の外周面と、ケース３の円筒状隔壁部３３の内周面との間には、突起６１０が存在している部分を除き微小なクリアランスＣが生じているため、空間Ｓが密閉空間となることはない。したがって、出力軸８が後退動作する際、凹部５０１内の空気は、空気抜孔５７を通って空間Ｓを経由しクリアランスＣから押し出される。一方、出力軸８が前進動作する際には、クリアランスＣから空間Ｓを経由して凹部５０１内に空気が吸引される。 The shaft portion 55 of the rotor 50 inserted through the shaft hole 65 of the radial bearing 6 protrudes from the non-output side end face 68 of the radial bearing 6, and the tip thereof is located in the space S. That is, the concave portion 501 of the rotor 50 and the space S are communicated by the air vent hole 57 formed in the shaft portion 55. Here, as described above, the protrusion 610 formed on the outer peripheral surface of the disc-shaped flange portion 61 causes a gap between the outer peripheral surface of the disc-shaped flange portion 61 and the inner peripheral surface of the cylindrical partition wall portion 33 of the case 3. Since the minute clearance C is generated except for the portion where the projection 610 exists, the space S does not become a sealed space. Therefore, when the output shaft 8 moves backward, the air in the recess 501 is pushed out of the clearance C through the air vent hole 57 and the space S. On the other hand, when the output shaft 8 moves forward, air is sucked into the recess 501 from the clearance C via the space S.

そして、空間Ｓを利用して、ケース３の底部３３２には、舌片状の板ばね７が固定されている。ロータ５０は、ラジアルベアリング６の反出力側端面６８から突出した軸部５５の先端に当接した板ばね７によって出力側に向けて付勢されている。これにより、ロータ５０は板ばね７と出力側軸受９との間に挟まれ（板ばね７の付勢力によって出力側軸受９に押しつけられ）、その軸線方向Ｌ（スラスト方向）の動きが規制（位置ずれが防止）されている。 A tongue-shaped leaf spring 7 is fixed to the bottom 332 of the case 3 using the space S. The rotor 50 is urged toward the output side by a leaf spring 7 that is in contact with the tip of the shaft portion 55 protruding from the counter-output side end face 68 of the radial bearing 6. Thus, the rotor 50 is sandwiched between the leaf spring 7 and the output side bearing 9 (pressed against the output side bearing 9 by the urging force of the leaf spring 7), and the movement in the axial direction L (thrust direction) is restricted ( Misalignment is prevented).

このような反出力側におけるロータ５０の支持構造は、ロータ５０の反出力側から突出形成された軸部５５をラジアルベアリング６で支持するという簡易なものであり、製造コストを低く抑えることができる。 Such a support structure of the rotor 50 on the non-output side is a simple structure in which the shaft portion 55 protruding from the counter-output side of the rotor 50 is supported by the radial bearing 6, and the manufacturing cost can be kept low. .

そして、このような軸部５５をラジアルベアリング６で支持するという構成を採用すると、軸部５５とラジアルベアリング６との摺動による摩耗粉が発生し、この摩耗粉により空気抜孔５７が閉塞してしまうおそれがあるところ、本実施形態では、このような摩耗粉が発生しても、ラジアルベアリング６とケース３（円筒状隔壁部３３）とによって形成される空間Ｓに溜め込まれるため、摩耗粉による空気抜孔５７の閉塞のおそれが低減される。しかも、多くの摩耗粉は、両者が摺動する摺動面の端部（図３においてＰで示す部分）から流出する。本実施形態では、軸部５５の先端がラジアルベアリング６の反出力側端面６８から反出力側に突出しているため、流出する摩耗粉が空気抜孔５７に入り込みにくく、空気抜孔５７の閉塞のおそれがさらに低減される。 When such a configuration in which the shaft portion 55 is supported by the radial bearing 6 is employed, wear powder is generated due to sliding between the shaft portion 55 and the radial bearing 6, and the air vent hole 57 is blocked by the wear powder. In this embodiment, even if such wear powder is generated, it is stored in the space S formed by the radial bearing 6 and the case 3 (cylindrical partition wall 33). The risk of blockage of the air vent hole 57 is reduced. Moreover, much wear powder flows out from the end of the sliding surface on which both slide (portion indicated by P in FIG. 3). In this embodiment, since the tip of the shaft portion 55 protrudes from the counter-output side end face 68 of the radial bearing 6 to the counter-output side, the flowing out wear powder is difficult to enter the air vent hole 57 and the air vent hole 57 may be blocked. Further reduced.

また、空間Ｓは、摩耗粉を溜めるためだけでなく、ロータ５０を出力側に付勢する付勢部材を配設するために利用されている。そして、この付勢部材である板ばね７は、ラジアルベアリング６の反出力側端面６８から突出した軸部５５の先端に当接しているため、この板ばね７が図３におけるＰ部から流出する摩耗粉の空間Ｓへの落下（逃がし）を妨げることはない。つまり、摩耗粉による空気抜孔５７の閉塞がより確実に防止される。 Further, the space S is used not only for accumulating wear powder but also for disposing a biasing member that biases the rotor 50 to the output side. Since the leaf spring 7 as the biasing member is in contact with the tip of the shaft portion 55 protruding from the counter-output side end face 68 of the radial bearing 6, the leaf spring 7 flows out from the portion P in FIG. It does not prevent the wear powder from dropping into the space S. That is, the air vent hole 57 is more reliably prevented from being blocked by wear powder.

なお、上記空間Ｓの大きさは、発生するおそれのある摩耗粉の量の大小等に応じて適宜増減させることができる。例えば、ラジアルベアリング６の支持部６２の大きさ（高さ）を変化させることにより空間Ｓの大きさを増減させることができる。 The size of the space S can be appropriately increased or decreased according to the amount of wear powder that may be generated. For example, the size of the space S can be increased or decreased by changing the size (height) of the support portion 62 of the radial bearing 6.

ラジアルベアリング６の構成ならびにこのラジアルベアリング６によるロータ５０の支持構造については、種々の変形例が考えられる。 Various modifications of the configuration of the radial bearing 6 and the support structure of the rotor 50 by the radial bearing 6 are conceivable.

図５は、第一の変形例に係るロータ５０の支持構造を説明するための断面図である。この例は、ロータ５０を出力側に付勢する付勢部材として、板ばね７ではなく、コイルばね７１を用いた構成である。かかる構成としても、上記実施形態と同様に、弁体駆動装置１の製造コストを低く抑えることができると共に、摩耗粉による空気抜孔５７の閉塞が防止される。 FIG. 5 is a cross-sectional view for explaining the support structure of the rotor 50 according to the first modification. In this example, a coil spring 71 is used instead of the leaf spring 7 as a biasing member that biases the rotor 50 to the output side. Even with such a configuration, the manufacturing cost of the valve body driving device 1 can be kept low, and the air vent hole 57 can be prevented from being blocked by wear powder, as in the above embodiment.

なお、図５に示すように、コイルばね７１は、出力側に向かって先細りとなるような螺旋形状に形成されたものであることが好ましい。かかる構成とすれば、軸線方向Ｌにおけるコイルばね７１の寸法を小さくすることができ（同じ付勢力を有するものであれば、螺旋が円筒状に形成されたものよりも小さくなる。）、装置の小型化につながる。また、軸部５５の先端に当接するコイルばね７１の先端部分を軸部５５より細くすれば、軸部５５とラジアルベアリング６の摺動で発生する摩耗粉を、コイルばね７１の周囲から確実に落下させる（逃がす）ことができる。 As shown in FIG. 5, the coil spring 71 is preferably formed in a spiral shape that tapers toward the output side. With such a configuration, the dimension of the coil spring 71 in the axial direction L can be reduced (if it has the same urging force, the spiral is smaller than that formed in a cylindrical shape), and the apparatus is thus configured. It leads to miniaturization. Further, if the tip end portion of the coil spring 71 in contact with the tip end of the shaft portion 55 is made thinner than the shaft portion 55, the wear powder generated by the sliding of the shaft portion 55 and the radial bearing 6 is surely prevented from the periphery of the coil spring 71. Can be dropped (released).

図６は、第二の変形例に係るロータ５０の支持構造を説明するための断面図である。この例では、ラジアルベアリング６は側方から見た形状が例えば略Ｔ字状に形成され、軸孔６５が形成された中央の肉厚部分（反出力側端面）が円筒状隔壁部３３の底部３３２に当接させた状態で配設されている。そして、軸部５５は基端側の大径部５５ａおよび先端側の小径部５５ｂとからなる。ラジアルベアリング６の軸孔６５は、軸部５５の大径部５５ａが回転自在に支持されるような大きさに形成されている。つまり、ロータ５０は大径部５５ａによって回転自在に支持され、これにより軸線方向Ｌと直交する方向（ラジアル方向）への動きが規制（位置ずれが防止）されている。そして、大径部５５ａの先端側を小径部５５ｂとして段差を設けることにより、軸部５５とラジアルベアリング６との間に所定の大きさの空間Ｓが生まれる。この空間Ｓに、ラジアルベアリング６の軸孔６５内で大径部５５ａが回転することによって発生する摩耗粉を溜めることができる。 FIG. 6 is a cross-sectional view for explaining the support structure of the rotor 50 according to the second modification. In this example, the radial bearing 6 is formed in, for example, a substantially T shape when viewed from the side, and the central thick portion (the end face on the non-output side) where the shaft hole 65 is formed is the bottom of the cylindrical partition wall 33. It is arranged in a state of being in contact with 332. The shaft portion 55 includes a large diameter portion 55a on the proximal end side and a small diameter portion 55b on the distal end side. The shaft hole 65 of the radial bearing 6 is formed in such a size that the large diameter portion 55a of the shaft portion 55 is rotatably supported. That is, the rotor 50 is rotatably supported by the large-diameter portion 55a, thereby restricting the movement in the direction (radial direction) orthogonal to the axial direction L (preventing displacement). A space S having a predetermined size is created between the shaft portion 55 and the radial bearing 6 by providing a step with the distal end side of the large diameter portion 55a as the small diameter portion 55b. In this space S, wear powder generated by the rotation of the large diameter portion 55a in the shaft hole 65 of the radial bearing 6 can be accumulated.

第二の変形例では、図６（ａ）に示すように、軸部５５（小径部５５ｂ）の先端を円筒状隔壁部３３の底部３３２に当接させた構成とすることにより、ロータ５０のスラスト方向における位置決めがなされるようにすればよい。この場合、軸部５５に形成された空気抜孔５７が底部３３２によって覆われた状態となるため、空気抜孔５７に摩耗粉が入り込みにくい。 In the second modification, as shown in FIG. 6A, the tip of the shaft portion 55 (small diameter portion 55b) is brought into contact with the bottom portion 332 of the cylindrical partition wall portion 33, whereby the rotor 50 Positioning in the thrust direction may be performed. In this case, since the air vent hole 57 formed in the shaft portion 55 is covered with the bottom portion 332, it is difficult for wear powder to enter the air vent hole 57.

また、図６（ｂ）に示すように、コイルばね７１（付勢部材）を、小径部５５ｂに挿通させて軸部５５の段差と円筒状隔壁部３３の底部３３２との間に挟まれて圧縮された状態で配設した構成としてもよい。このようなコイルばね７１を用いれば、コイルばね７１によってロータ５０が出力側に向けて付勢されるため、ロータ５０は板ばね７と出力側軸受９との間に挟まれ、その軸線方向Ｌ（スラスト方向）の動きが規制（位置ずれが防止）される。 Also, as shown in FIG. 6B, a coil spring 71 (biasing member) is inserted between the small diameter portion 55 b and sandwiched between the step of the shaft portion 55 and the bottom portion 332 of the cylindrical partition wall portion 33. It is good also as a structure arrange | positioned in the compressed state. If such a coil spring 71 is used, the rotor 50 is biased toward the output side by the coil spring 71, so that the rotor 50 is sandwiched between the leaf spring 7 and the output side bearing 9, and its axial direction L The movement in the (thrust direction) is restricted (prevents displacement).

図７は、第三の変形例に係るロータ５０の支持構造を説明するための断面図である。この例では、円筒状のラジアルベアリング６が、円筒状隔壁部３３の底部３３２から離間させた状態で配設されている。このラジアルベアリング６の軸孔６５に、軸部５５が回転可能に支持されている。これにより、ロータ５０の軸線方向Ｌと直交する方向（ラジアル方向）への動きが規制（位置ずれが防止）されている。かかる構成では、円筒状隔壁部３３とラジアルベアリング６とで囲まれた空間Ｓに、ラジアルベアリング６の軸孔６５内で軸部５５が回転することによって発生する摩耗粉を溜めることができる。 FIG. 7 is a cross-sectional view for explaining the support structure of the rotor 50 according to the third modification. In this example, the cylindrical radial bearing 6 is disposed in a state of being separated from the bottom portion 332 of the cylindrical partition wall portion 33. The shaft portion 55 is rotatably supported in the shaft hole 65 of the radial bearing 6. As a result, the movement of the rotor 50 in the direction (radial direction) perpendicular to the axial direction L is restricted (prevention of displacement). In such a configuration, wear powder generated by the rotation of the shaft portion 55 in the shaft hole 65 of the radial bearing 6 can be stored in the space S surrounded by the cylindrical partition wall portion 33 and the radial bearing 6.

第二の変形例と同様、第三の変形例でも、図７（ａ）に示すように、軸部５５（小径部５５ｂ）の先端を円筒状隔壁部３３の底部３３２に当接させた構成とすることにより、ロータ５０の軸線方向Ｌ（スラスト方向）における位置決めがなされるようにすればよい。この場合、軸部５５に形成された空気抜孔５７が底部３３２によって覆われた状態となるため、空気抜孔５７に摩耗粉が入り込みにくい。 As in the second modification, the third modification also has a configuration in which the tip of the shaft portion 55 (small diameter portion 55b) is brought into contact with the bottom portion 332 of the cylindrical partition wall portion 33 as shown in FIG. By doing so, the rotor 50 may be positioned in the axial direction L (thrust direction). In this case, since the air vent hole 57 formed in the shaft portion 55 is covered with the bottom portion 332, it is difficult for wear powder to enter the air vent hole 57.

また、図７（ｂ）に示すように、コイルばね７１（付勢部材）を、軸部５５に挿通させ、ラジアルベアリング６の反出力側端面と円筒状隔壁部３３の底部３３２との間で圧縮された状態で配設した構成としてもよい。このようなコイルばね７１を用いれば、コイルばね７１によってラジアルベアリング６を介してロータ５０が出力側に向けて付勢されるため、ロータ５０はコイルばね７１と出力側軸受９との間に挟まれ、その軸線方向Ｌ（スラスト方向）の動きが規制（位置ずれが防止）される。 Further, as shown in FIG. 7B, the coil spring 71 (biasing member) is inserted through the shaft portion 55, and between the non-output side end surface of the radial bearing 6 and the bottom portion 332 of the cylindrical partition wall portion 33. It is good also as a structure arrange | positioned in the compressed state. If such a coil spring 71 is used, the rotor 50 is biased toward the output side by the coil spring 71 via the radial bearing 6, so that the rotor 50 is sandwiched between the coil spring 71 and the output side bearing 9. Thus, the movement in the axial direction L (thrust direction) is restricted (prevents displacement).

図８は、第四の変形例に係るロータ５０の支持構造を説明するための断面図である。この例のラジアルベアリング６は、円盤状フランジ部６１および支持部６２とからなり、軸孔６５が有底形状である点で図３に示した構成と異なる。図示されるように、軸孔６５の底面には、軸孔６５の底面を貫通した排気口６５０が、軸部５５に形成された空気抜孔５７と連通して設けられている。円筒状隔壁部３３と円盤状フランジ部６１との間には、所定の大きさの空間Ｓが形成される。軸部５５は、有底の軸孔６５の内周面および底面と摺動しながら回転する。これにより、ロータ５０の軸線方向Ｌ（スラスト方向）および軸線方向Ｌと直交する方向（ラジアル方向）への移動が規制（位置ずれが防止）される。 FIG. 8 is a cross-sectional view for explaining the support structure of the rotor 50 according to the fourth modification. The radial bearing 6 of this example includes a disk-like flange portion 61 and a support portion 62, and differs from the configuration shown in FIG. 3 in that the shaft hole 65 has a bottomed shape. As shown in the figure, an exhaust port 650 that penetrates the bottom surface of the shaft hole 65 is provided on the bottom surface of the shaft hole 65 so as to communicate with an air vent hole 57 formed in the shaft portion 55. A space S having a predetermined size is formed between the cylindrical partition wall portion 33 and the disk-shaped flange portion 61. The shaft portion 55 rotates while sliding with the inner peripheral surface and the bottom surface of the bottomed shaft hole 65. As a result, the movement of the rotor 50 in the axial direction L (thrust direction) and the direction orthogonal to the axial direction L (radial direction) is restricted (prevents displacement).

かかる構成において、軸部５５と有底の軸孔６５との摺動によって発生する摩耗粉は、シャフトの後退動作に伴って空気抜孔５７から排出される凹部５０１内の空気と共に排気口６５０を通り空間Ｓに向けて排出される。つまり、シャフトの後退動作がなされる度に摩耗粉の排出がなされるため、摩耗粉が入り込むことによる空気抜孔５７の閉塞が確実に防止される。 In such a configuration, wear powder generated by sliding between the shaft portion 55 and the bottomed shaft hole 65 passes through the exhaust port 650 together with the air in the recess 501 discharged from the air vent hole 57 as the shaft moves backward. It is discharged toward the space S. That is, since the wear powder is discharged every time the shaft is retracted, the air vent hole 57 is reliably prevented from being blocked by the wear powder entering.

以上のような構成を備える弁体駆動装置１は、次のように動作する。弁体駆動装置１では、弁体８５が流路の開口を閉状態としているとき、弁体８５および出力軸８は上方に位置する。この状態で弁体８５を開方向（下方／反出力側方向）に移動させるには、ステータ部２０に給電し、ロータ５０を正回転させる。そうすると、回転方向の動きが規制されている出力軸８は、雌ねじ５８および雄ねじ８８からなる送りねじ機構により後退し、弁体８５はコイルばね５の付勢力に抗して下方に移動するので、弁体８５は流路の開口を開状態とする。かかる開状態は、ステータ部２０への給電によってロータ５０とステータ部２０との間に作用する保持力で維持される。 The valve body drive device 1 having the above configuration operates as follows. In the valve body driving device 1, when the valve body 85 is closing the opening of the flow path, the valve body 85 and the output shaft 8 are positioned upward. In this state, in order to move the valve body 85 in the opening direction (downward / counter output side direction), power is supplied to the stator unit 20 and the rotor 50 is rotated forward. Then, the output shaft 8 whose movement in the rotational direction is restricted is retracted by the feed screw mechanism including the female screw 58 and the male screw 88, and the valve body 85 moves downward against the biasing force of the coil spring 5. The valve body 85 opens the opening of the flow path. Such an open state is maintained by a holding force that acts between the rotor 50 and the stator unit 20 by supplying power to the stator unit 20.

一方、流路を開状態から閉状態とするには、ロータ５０を開方向に移動させる場合とは逆回転させればよい。そうすると、回転方向の動きが規制されている出力軸８は、雌ねじ５８および雄ねじ８８からなる送りねじ機構により前進し、弁体８５は閉方向（上方／出力側方向）に移動する。 On the other hand, in order to change the flow path from the open state to the closed state, the rotor 50 may be rotated in the reverse direction to the case of moving in the opening direction. Then, the output shaft 8 whose movement in the rotational direction is regulated is advanced by the feed screw mechanism including the female screw 58 and the male screw 88, and the valve body 85 moves in the closing direction (upward / output side direction).

また、弁体８５が開状態にある場合において、ガス流量の異常時や地震発生時に遮断命令が発せられると、ステータ部２０にはロータ５０を逆回転させる駆動信号が印加され、出力軸８は、雌ねじ５８および雄ねじ８８からなる送りねじ機構により前進し、弁体８５は閉方向に移動するよう制御される。これにより、弁体８５は流路の開口を閉状態とした状態で停止する。 Further, when the valve body 85 is in an open state, when a shut-off command is issued when the gas flow rate is abnormal or an earthquake occurs, a drive signal for reversely rotating the rotor 50 is applied to the stator unit 20, and the output shaft 8 is The valve body 85 is controlled to move in the closing direction by advancing by a feed screw mechanism including the female screw 58 and the male screw 88. Thereby, the valve body 85 stops in the state which made the opening of the flow path closed.

また、弁体８５が開状態にある場合において、停電等によりステータ部２０への給電が停止したとき、出力軸８は、コイルばね５の付勢力によって閉方向に移動し、弁体８５は流路の開口形成部に当接して開口を閉鎖した状態で急停止する。つまり、弁体駆動装置１では、給電が停止した場合、弁体８５が、コイルばね５によって流路を閉鎖させる安全側に移動させられるように構成されている。 Further, when the valve body 85 is in the open state, when the power supply to the stator unit 20 is stopped due to a power failure or the like, the output shaft 8 moves in the closing direction by the urging force of the coil spring 5, and the valve body 85 does not flow. Suddenly stop in a state where the opening is closed by contacting the opening forming portion of the road. That is, in the valve body drive device 1, the valve body 85 is configured to be moved to the safe side that closes the flow path by the coil spring 5 when power supply is stopped.

以上、本発明の実施の形態について詳細に説明したが、本発明は上記実施の形態に何ら限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の改変が可能である。 Although the embodiments of the present invention have been described in detail above, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications can be made without departing from the gist of the present invention.

１弁体駆動装置
３ケース
５０ロータ
５０１凹部
５５軸部
５７空気抜孔
５８雄ねじ部
６ラジアルベアリング
６８反出力側端面
７板ばね
７１コイルばね
８出力軸
８８雄ねじ部
Ｓ空間 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Valve body drive device 3 Case 50 Rotor 501 Recess 55 Shaft part 57 Air vent hole 58 Male thread part 6 Radial bearing 68 Opposite output side end surface 7 Leaf spring 71 Coil spring 8 Output shaft 88 Male thread part S Space

Claims

A rotor having a recess having an internal thread portion formed on the inner peripheral surface, an output shaft having an external thread portion formed on the outer peripheral surface to be screwed into the female thread portion of the rotor, and a bottomed case in which the rotor is accommodated. A linear drive device that advances and retracts the output shaft in the axial direction, the movement of the rotational direction being restricted with the rotation of the rotor;
On the inner bottom surface side of the case, a radial bearing having a disc-shaped flange portion with protrusions formed on the outer peripheral surface is fixed,
The air shaft portion rotatably supported to communicate from the inner bottom surface to the tip of the shaft portion of the concave portion while being protruded to the rotor from the counter output side edge to the disc-shaped flange portion of the radial bearing A hole is formed,
The opposite output side of the front air vent holes, surrounded by the said disk-shaped flange portion case, the clearance formed between the inner peripheral surface of the casing and the outer peripheral surface of the disc-shaped flange portion by the projection A linear drive device characterized in that an open space is provided.

The rotor protrudes from the space-side end surface of the distal end is the disk-shaped flange portion of the shaft portion, the tip of the air vent holes formed to the tip of the shaft portion and the shaft portion and the disk-shaped flange portion is slidingly The linear drive device according to claim 1, wherein the linear drive device protrudes from a moving sliding surface .

3. The linear device according to claim 2, wherein the rotor is biased to the output side by a biasing member that is in contact with a tip end of the shaft portion protruding from the space-side end surface of the disk-shaped flange portion. Drive device.

The protrusions are formed at equal intervals in the circumferential direction of the disc-shaped flange portion ,
4. The radial bearing according to claim 1, wherein the radial bearing is press-fitted to the inner bottom surface side of the case so that the protrusion contacting the inner peripheral surface of the case is crushed. 5. The linear drive device described in 1.

The radial bearing is
The disk-shaped flange portion and a support portion protruding from the disk-shaped flange portion toward the opposite output side,
The support portion is fixed in a state of being in contact with the inner bottom surface of the case.
The linear drive device according to any one of claims 1 to 4, wherein the linear drive device is provided.