JP5493329B2 - Transport system - Google Patents
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Description
本発明は、例えば半導体装置製造用の各種基板などの荷を搬送する複数の搬送手段を備える搬送システムの技術分野に関する。 The present invention relates to a technical field of a transfer system including a plurality of transfer means for transferring loads such as various substrates for manufacturing semiconductor devices.
この種の搬送システムとして、例えば複数のエリアに夫々配置されており、複数のエリアの内部の各々に存在する搬送車を夫々管理する複数のエリアコントローラを備えるものがある(特許文献1参照)。該搬送システムによれば、経路又はその一部を変更する際に、複数のエリアコントローラのうちの一台のエリアコントローラに記憶される経路情報が更新される。すると、その一台のエリアコントローラから、他のエリアコントローラに、更新された経路情報が送信され、他のエリアコントローラに記憶された経路情報が更新される。すると、複数のエリアコントローラの各々から、それら管理下にある複数の搬送車に、更新された経路情報が送信され、複数の搬送車に記憶された経路情報が更新される。 As this type of transport system, for example, there is a system that includes a plurality of area controllers that are respectively disposed in a plurality of areas and that respectively manage transport vehicles existing in each of the plurality of areas (see Patent Document 1). According to the transport system, when changing the route or a part thereof, the route information stored in one area controller of the plurality of area controllers is updated. Then, the updated route information is transmitted from the one area controller to the other area controllers, and the route information stored in the other area controllers is updated. Then, the updated route information is transmitted from each of the plurality of area controllers to the plurality of transport vehicles under their management, and the route information stored in the plurality of transport vehicles is updated.
しかしながら、上述の特許文献1によれば、経路情報を搬送車に送信する方法として、1回の通信に1台の搬送車にのみ経路情報を送信したり、複数の搬送車に同時に経路情報を送信することが記載されており、エリアコントローラ及び搬送車間の通信時間が軽減されている。
However, according to
上述した内容に対し、本願発明者が知るところによれば、例えば搬送車1台ずつ送信を行ったのでは、即ち個別配信方式の場合には、通信時間が「搬送車1台に対する送信時間」に「搬送車台数」を乗じた時間となり、通信に長時間を要することになりかねない。 In contrast to the contents described above, the inventors of the present application know that, for example, in the case of transmitting one vehicle at a time, that is, in the case of an individual distribution method, the communication time is “transmission time for one vehicle”. Multiplied by the “number of transported vehicles”, and communication may take a long time.
また、例えばブロードキャスト方式で複数の搬送車に対して一斉送信を行う場合に、通信不良により通信が途中で途切れると、経路情報の一部が飛んでしまい、完全な経路情報が受信できず、その一斉送信が失敗に終わってしまう。即ち、通信中に一度でも通信不良が生じると、一斉送信が再度実行される。よって、通信不良が度々生じる環境では通信が長期化してしまいかねないという技術的問題点がある。 Also, for example, when broadcasting to a plurality of transport vehicles by broadcast method, if communication is interrupted due to poor communication, part of the route information will be skipped and complete route information cannot be received. Simultaneous transmission ends in failure. That is, if communication failure occurs even once during communication, simultaneous transmission is executed again. Therefore, there is a technical problem that communication may be prolonged in an environment where frequent communication failures occur.
本発明は、上述した問題点に鑑みなされたものであり、例えば地図データ、教示データ等の基準データの配信時間をなるべく短くしつつ、該基準データを効率よく配信可能な搬送システムを提供することを課題とする。 The present invention has been made in view of the above-described problems. For example, the present invention provides a transport system capable of efficiently delivering reference data while shortening the delivery time of reference data such as map data and teaching data as much as possible. Is an issue.
本発明に係る搬送システムは上記課題を解決するために、軌道に関する地図を示す地図データを含む基準データに対して、修正が加えられる場合に、前記基準データのうち前記修正が反映された基準データ部分である修正用データを、生成するデータ生成手段と、前記生成された修正用データを、ブロードキャスト方式で配信する配信手段と、複数の搬送手段であって、各々が、前記軌道を走行可能であり且つ荷を搬送可能である搬送車、前記配信された修正用データを受信する通信手段、前記受信された修正用データで更新され得る前記基準データに従う搬送計画で走行し且つ搬送するように、前記搬送車を制御する搬送制御手段、及び前記受信される修正用データの通信に係るエラーを検出するエラー検出手段を備える、前記複数の搬送手段と、前記エラーが検出された場合に、前記生成された修正用データを再度配信するように、前記配信手段を制御する再配信制御手段とを備え、前記再配信制御手段は、前記エラーが検出された場合に、前記生成された修正用データを、前記ブロードキャスト方式により再度配信するか、前記複数の搬送手段のうち前記エラーが検出された一の搬送手段の前記通信手段に対して個別配信方式で再度配信するか、を選択する。 In order to solve the above-described problem, the transport system according to the present invention provides a reference data in which the correction is reflected among the reference data when the reference data including the map data indicating the map relating to the trajectory is corrected. A data generating means for generating correction data that is a part, a distribution means for distributing the generated correction data by a broadcast method, and a plurality of transport means, each of which is capable of traveling on the track. A transport vehicle that is capable of transporting a load, a communication means for receiving the distributed correction data, and traveling and transporting in a transport plan according to the reference data that can be updated with the received correction data, The plurality of transports, comprising transport control means for controlling the transport vehicle, and error detection means for detecting an error related to communication of the received correction data. And redistribution control means for controlling the distribution means so that the generated correction data is distributed again when the error is detected, and the redistribution control means If detected, the generated correction data is distributed again by the broadcast method, or is individually distributed to the communication means of one of the plurality of transport means in which the error is detected. Select whether to distribute again by the method.
本発明の搬送システムによれば、例えば半導体素子製造の工場内において、例えばFOUP(Front Opening Unified Pod)等の荷は、例えばOHT(Overhead Hoist Transport)、ビークル等の搬送手段によって、例えば製造装置、ストッカ(或いはスタッカ)等の作業装置が一若しくは複数設けられた、例えば天井又は床に敷設されたレール等の軌道上を搬送される。 According to the transport system of the present invention, for example, in a factory for manufacturing a semiconductor device, a load such as FOUP (Front Opening Unified Pod), for example, is produced by a transport means such as an OHT (Overhead Hoist Transport), a vehicle, One or a plurality of work devices such as a stocker (or stacker) are provided, for example, on a track such as a rail laid on the ceiling or floor.
軌道上の全ての搬送手段は、例えば通常、同一の基準データに従う搬送計画で走行しつつ搬送するように、例えばビークル等の搬送車を制御する。その搬送の基準となる基準データに対して、修正或いは調整が加えられる場合に、修正すべき基準データが一斉配信されるが、その配信の方法によっては、配信時間(即ち、通信時間)が長期化してしまいかねない。ここで「搬送計画」とは、例えば軌道上で搬送車が如何に搬送するかを計画することを意味する。 For example, all the transport means on the track usually control a transport vehicle such as a vehicle so as to transport while traveling according to a transport plan according to the same reference data. When corrections or adjustments are made to the reference data serving as a reference for the transport, the reference data to be corrected is distributed all at once, but depending on the distribution method, the distribution time (that is, communication time) is long. It may become. Here, the “conveyance plan” means, for example, planning how the transport vehicle transports on a track.
しかるに本発明では、例えば複数の搬送手段の走行又は搬送中に、基準データに対して修正が加えられる場合に、先ず、例えばOHVC(Overhead Hoist Vehicle Controller)に含まれるデータ生成手段によって、基準データのうち修正が反映された基準データの部分である修正用データが、生成される。すると、例えばOHVCに含まれる配信手段によって、生成された修正用データがブロードキャスト方式で配信される。ここで「修正用データ」とは、例えば基準データに修正或いは調整を加える、又は基準データを更新するための修正用の基準データであってもよく、走行又は搬送時に実際に運用されるものではない。このような修正用データは、基準データにおいて、1つ生成されてもいいし、複数生成されても構わない。「ブロードキャスト方式」とは、典型的には、配信手段及び複数の搬送手段の各々にある受信手段を収容してなるネットワーク内で、複数の搬送手段の全体に向って配信することを意味する。例えば、複数の搬送手段の各々に備えられた受信手段の個々に割り振られたアドレスを指定するのではなく、全搬送手段にある複数の受信手段の全体を意味する特殊なアドレスを指定することで行われる。 However, in the present invention, for example, when correction is made to the reference data during traveling or conveyance of a plurality of conveying means, first, for example, by the data generating means included in OHVC (Overhead Hoist Vehicle Controller), Among them, correction data that is a part of the reference data reflecting the correction is generated. Then, for example, the generated correction data is distributed by a broadcast method by a distribution unit included in OHVC. Here, the “correction data” may be, for example, reference data for correction for correcting or adjusting the reference data, or for updating the reference data. Absent. One such correction data may be generated in the reference data, or a plurality of correction data may be generated. The “broadcast method” typically means delivery to the entirety of a plurality of transport means in a network that accommodates the receiving means in each of the delivery means and the plurality of transport means. For example, instead of specifying the individually assigned addresses of the receiving means provided in each of the plurality of conveying means, by specifying a special address that means the whole of the plurality of receiving means in all the conveying means Done.
上述した配信が行われると、複数の搬送手段の各々において、受信手段を含む通信手段によって、配信された修正用データが受信される。すると、エラー検出手段によって、受信された修正用データの通信に係るエラーが検出される。ここで「通信」とは、例えば配信手段による配信、複数の搬送手段の各々における通信手段による受信、並びに配信手段及び通信手段間の通信等を意味する。このような通信に係る「エラー」とは、例えばノイズ、混信等による配信不能、受信不能、並びに受信された修正用データの読み取り不能等を意味し、そのエラーの検出に伴って、エラーが検出された搬送手段及び修正用データを識別する情報が示されてもよい。 When the distribution described above is performed, the distributed correction data is received by the communication means including the reception means in each of the plurality of transport means. Then, an error relating to the communication of the received correction data is detected by the error detection means. Here, “communication” means, for example, distribution by a distribution unit, reception by a communication unit in each of a plurality of transport units, communication between the distribution unit and the communication unit, and the like. “Error” related to such communication means, for example, inability to deliver or receive due to noise, interference, etc., and inability to read received correction data, and an error is detected when the error is detected. Information for identifying the transporting means and the correction data may be indicated.
上述したエラーが実際に検出された場合に、例えばOHVCに含まれる再配信制御手段によって、配信手段が制御され、修正用データが、例えばブロードキャスト方式又は個別配信方式で、再度配信される。その配信により、複数の搬送手段のうち少なくともエラーが検出された搬送手段において、再度配信された修正用データが再度受信される。その後、遅延なく又は適当なタイミングにて、例えばコントローラ等の搬送制御手段によって、再度受信された修正用データで、例えば搬送手段が有する基準データを置き換えることにより、搬送の基準となる該基準データが更新される。その後は、更新された基準データに従う搬送計画に基づいて、搬送車が制御される。 When the above-described error is actually detected, the distribution unit is controlled by, for example, the redistribution control unit included in the OHVC, and the correction data is distributed again by the broadcast method or the individual distribution method, for example. As a result of the distribution, the correction data distributed again is received again by at least the conveyance means in which an error is detected among the plurality of conveyance means. After that, at a suitable timing, for example, by replacing the reference data of the transport unit with the correction data received again by the transport control unit such as a controller, the reference data serving as the transport reference is obtained. Updated. Thereafter, the transport vehicle is controlled based on the transport plan according to the updated reference data.
このように、基準データに対して修正が加えられる場合に、修正が加えられた基準データを直接に配信せずに、修正が加えられた基準データの部分である修正用データを、ブロードキャスト方式で配信することにより、その配信に要する時間を最小限に抑える。即ち、例えば通信不良が度々生じる環境であったとしても、配信が失敗に終わった修正用データを示すエラーを検出すると共に、そのエラーに示される修正用データを再度配信することで、再度配信された完全なる修正用データにより搬送手段側で基準データに対して修正が加えられる。従って、基準データ、率直に言えば、基準データを更新可能な修正用データの配信時間を短縮しつつ、基準データを効率よく更新することが可能となる。 In this way, when corrections are made to the reference data, the correction data, which is a part of the reference data that has been corrected, is not broadcast directly, but the reference data that has been corrected is not distributed directly. By distributing, minimize the time required for distribution. That is, for example, even in an environment where communication failures frequently occur, an error indicating correction data that has failed to be distributed is detected, and the correction data indicated by the error is distributed again to be distributed again. The reference data is corrected on the conveying means side by the complete correction data. Therefore, it is possible to efficiently update the reference data while shortening the delivery time of the correction data that can update the reference data.
本発明の搬送システムの一態様では、前記再配信制御手段は、前記エラーが検出された場合に、前記生成された修正用データを、前記複数の搬送手段のうち前記エラーが検出された一の搬送手段に備えられた前記受信手段に対して、個別配信方式で再度配信するように、前記配信手段を制御する。 In one aspect of the transport system of the present invention, when the error is detected, the redistribution control means uses the generated correction data as the one of the plurality of transport means in which the error is detected. The delivery means is controlled so as to be delivered again by the individual delivery method to the receiving means provided in the transport means.
この態様によれば、エラー検出手段によりエラーが実際に検出されると、再配信制御手段によって、配信手段が制御され、データ生成手段による修正用データが、エラーが検出された一の搬送手段に対して、個別配信方式で再度配信される。ここで「個別配信方式」とは、例えば配信手段及び複数の搬送手段の各々にある受信手段を収容してなるネットワーク内で、特定の搬送手段に向って配信することを意味する。例えば、受信手段の個々に割り振られたアドレスを指定することで、行われる。このように、修正用データの配信が失敗した場合に、その修正用データを個別に再度配信することにより、その修正用データを受信すべき一の搬送手段に対して、基準データを確実に更新することが可能となる。 According to this aspect, when the error is actually detected by the error detection means, the distribution means is controlled by the redistribution control means, and the correction data by the data generation means is transferred to the one conveying means in which the error is detected. On the other hand, it is delivered again by the individual delivery method. Here, “individual distribution method” means, for example, distribution to a specific conveying means within a network that accommodates receiving means in each of the distributing means and the plurality of conveying means. For example, this is done by designating the address assigned to each receiving means. In this way, when the delivery of the correction data fails, the reference data is reliably updated to the one transport means that should receive the correction data by individually delivering the correction data again. It becomes possible to do.
本発明の搬送システムの他の態様では、前記配信手段により前記修正用データの配信が一通り完了された後に、前記配信の進捗を示す進捗値を特定する特定手段を更に備え、前記データ生成手段は、前記修正用データを複数の修正用データ区分に区分けし、前記配信手段は、前記複数の修正用データ区分を複数回に分けて配信し、前記特定手段は、前記複数の修正用データ区分の配信が完了された後に、前記エラーが検出された前記修正用データ区分の数に応じて前記進捗値を特定し、前記再配信制御手段は、前記特定された進捗値が所定の閾値より大きい場合に、前記修正用データを個別配信方式で、再度配信するように前記配信手段を制御し、前記特定された進捗値が所定の閾値より小さい場合に、前記修正用データを前記ブロードキャスト方式で再度配信する。 In another aspect of the transport system of the present invention, the data generation unit further includes a specifying unit that specifies a progress value indicating a progress of the distribution after the distribution of the correction data is completed by the distribution unit. Divides the correction data into a plurality of correction data sections, the distribution means distributes the plurality of correction data sections in a plurality of times, and the specifying means includes the plurality of correction data sections. After the distribution of the data is completed, the progress value is determined according to the number of the correction data sections in which the error is detected, and the redistribution control means has the specified progress value larger than a predetermined threshold value. In this case, the distribution means is controlled to distribute the correction data again by the individual distribution method, and the correction data is broadcasted when the specified progress value is smaller than a predetermined threshold value. To deliver again in the door system.
この態様によれば、修正用データの配信が一通り完了されると、特定手段によって、進捗値が特定される。ここで「一通り」とは、例えば修正用データが区分けされ、区分けされた修正用データ部分がn回に分けて配信される場合に、第1回目から第n回目までの一連の配信を意味する。「進捗値」とは、例えば全ての修正用データ部分の配信が完了している複数の搬送手段の台数、配信が失敗している修正用データ部分の総数等であってもよい。このような進捗値に対する「特定」とは、例えば無作為に選択された複数の搬送手段における進捗を調査し、その調査の結果を示す進捗値に基づいて、全ての搬送手段における進捗値を算出、推定、又は特定することを意味してもよい。尚、進捗の状況を「調査する」とは、例えば通信手段により受信された修正用データ部分を1つ1つ読み取ってもいいし、通信手段における受信記録を確認してもよい。 According to this aspect, when the distribution of the correction data is completed, the progress value is specified by the specifying unit. Here, “one way” means, for example, a series of distribution from the first time to the n-th time when correction data is divided and the divided correction data portion is distributed in n times. To do. The “progress value” may be, for example, the number of a plurality of conveyance means for which distribution of all correction data portions has been completed, the total number of correction data portions for which distribution has failed, or the like. “Specification” for such a progress value is, for example, investigating the progress in a plurality of transport means selected at random, and calculating the progress value in all the transport means based on the progress value indicating the result of the investigation. , Estimation, or identification. Note that “investigating” the progress status may be, for example, reading the correction data portions received by the communication means one by one or checking the reception record in the communication means.
上述した進捗値が特定されると、再配信制御手段によって、進捗値が所定の閾値より大きい場合に、修正用データが個別配信方式で再度配信される。一方、進捗値が所定の閾値より小さい場合に、修正用データがブロードキャスト方式で再度配信される。ここで「所定の閾値」とは、例えば修正用データの配信を個別配信方式で行うか、ブロードキャスト方式で行うかを判定するための閾値であってもよい。このような閾値は、例えば再度配信すべき修正用データのデータ量、その配信時間、及び個別配信方式で配信されるべき搬送手段の総数等を考慮して設定されてもよい。尚、進捗値が所定の閾値と同値であった場合には、どちらの方式で配信を行っても構わない。尚、再度配信される修正用データは、例えば修正用データのうち、エラーに示される修正用データ部分だけであってもよい。 When the progress value is specified, the redistribution control means redistributes the correction data by the individual distribution method when the progress value is larger than a predetermined threshold value. On the other hand, when the progress value is smaller than the predetermined threshold value, the correction data is distributed again by the broadcast method. Here, the “predetermined threshold value” may be a threshold value for determining whether the distribution of the correction data is performed by the individual distribution method or the broadcast method, for example. Such a threshold value may be set in consideration of, for example, the data amount of correction data to be distributed again, the distribution time thereof, the total number of conveying means to be distributed by the individual distribution method, and the like. When the progress value is the same as the predetermined threshold value, the distribution may be performed by either method. The correction data distributed again may be, for example, only the correction data portion indicated by the error in the correction data.
このように、配信の進捗に応じて、配信の方式を切り替えることにより、基準データの通信時間をより短縮しつつ、基準データをより効率よく配信することが可能となる。 As described above, by switching the distribution method according to the progress of distribution, it is possible to distribute the reference data more efficiently while further reducing the communication time of the reference data.
本発明の搬送システムの他の態様では、前記配信手段は、前記修正用データを、複数のセグメントに区分けした上で該セグメント毎に順番に配信し、前記エラー検出手段は、前記セグメント毎に前記エラーを検出し、前記再配信制御手段は、前記エラーが検出された場合に、前記生成された修正用データを前記セグメントの単位で再度配信するように、前記配信手段を制御する。 In another aspect of the transport system of the present invention, the distribution unit divides the correction data into a plurality of segments and distributes the correction data in order for each segment. An error is detected, and the redistribution control unit controls the distribution unit so that the generated correction data is distributed again in units of segments when the error is detected.
この態様によれば、データ生成手段により修正用データが生成されると、配信手段によって、生成された修正用データが複数のセグメントに区分けされ、区分けされたセグメント毎に順番に配信される。ここで「セグメント」とは、例えばブロードキャストデータ等の修正用データ部分であって、例えば数百キロバイトの莫大な基準データ或いは修正用データを、区分けする又は配信する単位を意味してもよい。或いは、ECCブロックのようなエラー訂正単位や、一個若しくは複数個のパケット又はパケットの集合の如き、比較的小さい任意の単位を意味してもよい。 According to this aspect, when the correction data is generated by the data generation unit, the generated correction data is divided into a plurality of segments by the distribution unit, and distributed in order for each of the divided segments. Here, the “segment” is a correction data portion such as broadcast data, for example, and may mean a unit for dividing or distributing enormous reference data or correction data of, for example, several hundred kilobytes. Alternatively, it may mean an error correction unit such as an ECC block, or a relatively small arbitrary unit such as one or a plurality of packets or a set of packets.
修正用データがセグメント毎に配信されると、複数の搬送手段の各々において、エラー検出手段によって、配信された修正用データに対して、セグメント毎にエラーが検出される。すると、実際にエラーが検出された場合に、再配信制御手段によって、配信手段が制御され、生成された修正用データがセグメントの単位で再度配信される。 When the correction data is distributed for each segment, an error is detected for each segment of the distributed correction data by the error detection means in each of the plurality of transport means. Then, when an error is actually detected, the distribution unit is controlled by the redistribution control unit, and the generated correction data is distributed again in units of segments.
このように、修正用データを複数のセグメントに区分けし、複数のセグメント毎に配信又は再度配信することにより、その配信又は再配信に要する時間を最小限に抑えられる。 In this way, by dividing the correction data into a plurality of segments and distributing or redistributing each of the plurality of segments, the time required for the distribution or redistribution can be minimized.
この態様では、前記データ生成手段は、前記セグメントの単位で前記修正用データを生成すると共に、前記生成された修正用データを、前記セグメントの単位で格納してもよい。 In this aspect, the data generation means may generate the correction data in the unit of the segment and store the generated correction data in the unit of the segment.
このように構成すれば、基準データに対して修正が加えられる場合に、データ生成手段によって、修正用データがセグメントの単位で生成される。すると、生成された修正用データがセグメントの単位で、例えばデータベース等の記憶手段に格納される。例えば修正用データがn個のセグメントに区分けされる。この場合に、第1セグメント、第2セグメント、…、第nセグメントが生成され、生成された第1セグメント、第2セグメント、…、第nセグメントが個別に格納される。このように、修正用データの生成段階から、修正用データをセグメントの単位で扱うことにより、搬送システムの各部が同一のデータ構成を持つことができる。よって、例えば修正用データの配信時等に、修正用データの変換(具体的には、区分け)が不要となり、基準データをより効率よく更新することが可能となる。 With this configuration, when correction is made to the reference data, correction data is generated in units of segments by the data generation means. Then, the generated correction data is stored in a storage unit such as a database in units of segments. For example, the correction data is divided into n segments. In this case, the first segment, the second segment,..., The nth segment are generated, and the generated first segment, second segment,. In this way, by handling the correction data in units of segments from the correction data generation stage, each part of the transport system can have the same data configuration. Therefore, for example, when the correction data is distributed, conversion of the correction data (specifically, classification) becomes unnecessary, and the reference data can be updated more efficiently.
この態様では、前記セグメントは、前記軌道が敷設された全領域が区分けされた複数のエリアに夫々対応していてもよい。 In this aspect, the segment may correspond to each of a plurality of areas in which the entire region where the track is laid is divided.
このように構成すれば、例えば全領域が複数のエリアに区分けされた場合に、全領域に対応する基準データが、複数のエリアに夫々対応すべく複数のセグメントに区分けされる。これにより、基準データをエリアの単位で更新することができ、基準データをより効率よく配信することが可能となる。 With this configuration, for example, when the entire region is divided into a plurality of areas, the reference data corresponding to the entire region is divided into a plurality of segments so as to respectively correspond to the plurality of areas. Thereby, the reference data can be updated in units of areas, and the reference data can be distributed more efficiently.
この態様では、前記セグメントは、前記軌道が敷設された全領域が区分けされた複数のエリアに夫々対応しているデータブロックが更に細分化されてなってもよい。 In this aspect, the segment may be obtained by further subdividing data blocks respectively corresponding to a plurality of areas into which the entire area where the track is laid is divided.
このように構成すれば、例えば全領域が複数のエリアに区分けされた場合に、全領域に対応する基準データが、複数のエリアに夫々対応すべく複数のデータブロックに区分けされる。一のエリアに対応する一のデータブロックは、更に複数のセグメントに細分化される。ここで「細分化されてなるセグメント」とは、地図上におけるエリア或いは領域とは無関係であるデータの区分けである、例えばフレームである。これにより、基準データをデータブロックの単位で且つセグメントの単位で更新することができ、基準データを更に効率よく配信することが可能となる。 With this configuration, for example, when the entire area is divided into a plurality of areas, the reference data corresponding to the entire area is divided into a plurality of data blocks to respectively correspond to the plurality of areas. One data block corresponding to one area is further subdivided into a plurality of segments. Here, the “segmented segment” is, for example, a frame, which is a segmentation of data that is unrelated to an area or region on the map. Thereby, the reference data can be updated in units of data blocks and in units of segments, and the reference data can be distributed more efficiently.
本発明の搬送システムの他の態様では、前記搬送制御手段は、前記基準データを格納する格納手段と、所定のトリガーを受けて、前記受信された修正用データで、前記格納されている前記基準データの少なくも一部を置き換える又は上書きする更新手段と、前記格納されている基準データに従って、前記軌道上で前記搬送車が如何に搬送するかを決め、該決められた通りに搬送するように前記搬送車を制御する決定制御手段とを備える。 In another aspect of the transport system of the present invention, the transport control means includes a storage means for storing the reference data, and the received reference data stored in the reference data received in response to a predetermined trigger. According to the updating means for replacing or overwriting at least a part of the data, and according to the stored reference data, it is determined how the transport vehicle is transported on the track, and is transported as determined. Determination control means for controlling the transport vehicle.
この態様によれば、例えば複数の搬送手段の走行又は搬送中に、複数の搬送手段の各々において、通信手段によって、配信手段からの修正用データが受信される。この後に、所定のトリガーが受け取られると、更新手段によって、遅延なく又は所定時間経過後に、例えばメモリ等の格納手段により格納される基準データの少なくとも一部が置き換えられる(即ち、基準データが更新される)。すると、決定制御手段によって、搬送車が制御され、更新された基準データに従って、搬送が行われる。ここで「所定のトリガー」は、例えば搬送手段の外部からの信号であってもいいし、所定の条件を満たした後に、搬送手段の内部で指示されるコマンドであってもよい。基準データにおける「少なくとも一部」は、例えば修正が加えられた基準データの部分だけでもいいし、基準データ全体であってもよい。このように、配信手段からの基準データを実際に受信することなく、所定のトリガーを受けて修正用データで、基準データを比較的短時間で更新する。これにより、基準データの配信時間を短縮しつつ、基準データを効率よく更新することが可能となる。 According to this aspect, for example, during travel or conveyance of the plurality of conveyance units, the correction data from the distribution unit is received by the communication unit in each of the plurality of conveyance units. After this, when a predetermined trigger is received, at least a part of the reference data stored by the storage means such as a memory is replaced by the update means without delay or after a predetermined time has elapsed (that is, the reference data is updated). ) Then, the transport vehicle is controlled by the decision control means, and transport is performed according to the updated reference data. Here, the “predetermined trigger” may be, for example, a signal from the outside of the transport unit or a command instructed inside the transport unit after satisfying a predetermined condition. The “at least part” in the reference data may be, for example, only the part of the reference data that has been modified, or the entire reference data. In this way, the reference data is updated with the correction data in a relatively short time in response to a predetermined trigger without actually receiving the reference data from the distribution means. This makes it possible to efficiently update the reference data while shortening the reference data distribution time.
本発明の搬送システムの他の態様では、前記基準データは、地図要素を含む基準地図データを含んでおり、前記基準地図データは、前記軌道の配置、前記軌道沿いの各種装置の配置、及び前記軌道に付されており且つ前記搬送車により読取可能であるマークの配置のうち、少なくとも一つを地図要素として含む。 In another aspect of the transport system of the present invention, the reference data includes reference map data including a map element, and the reference map data includes the arrangement of the trajectory, the arrangement of various devices along the trajectory, and the At least one of the mark arrangements attached to the track and readable by the carrier vehicle is included as a map element.
この態様によれば、例えば軌道部分が追加又は除外される等の軌道の配置、例えば一の製造装置を追加又は除外する等の各種装置の配置、及び例えば識別コードを移動、追加又は削除する等のマークの配置のうち、少なくとも一つが、地図要素として基準地図データに含まれている。このような地図要素の変更に伴って、基準データに対して修正が加えられる場合に、基準データを効率よく更新することが可能となる。 According to this aspect, for example, the arrangement of the track such as the addition or removal of the track portion, the arrangement of various devices such as adding or excluding one manufacturing device, and moving, adding or deleting the identification code, for example, etc. At least one of the mark arrangements is included in the reference map data as a map element. The reference data can be efficiently updated when corrections are made to the reference data in accordance with such changes in the map elements.
本発明の搬送システムの他の態様では、前記基準データは、地図要素を含む基準地図データに加えて、前記軌道上で停止する又は前記荷を移載する際の位置決めの基準となる、予め教示された基準教示データを含む。 In another aspect of the transport system of the present invention, the reference data is previously taught as a reference for positioning when stopping on the track or transferring the load in addition to reference map data including map elements. Reference teaching data.
この態様によれば、基準データには、基準地図データに加えて、例えば搬送車の停止位置、移載位置等を示す基準教示データが含まれている。このような基準教示データの変更に伴って、基準データに対して修正が加えられる場合に、基準データを効率よく更新することが可能となる。 According to this aspect, in addition to the reference map data, the reference data includes reference teaching data indicating, for example, the stop position of the transport vehicle, the transfer position, and the like. The reference data can be efficiently updated when the reference data is modified along with the change of the reference teaching data.
本発明の搬送システムの他の態様では、前記データ生成手段は、前記軌道が敷設された全領域が区分けされた複数のエリアに対応する複数のエリア別データ生成手段を有し、前記配信手段は、前記複数のエリアに対応して複数のエリア別配信手段を有し、前記複数のエリアの各々に対応して更に、前記配信された修正用データを受信するエリア別通信手段と、前記受信される修正用データの通信に係るエラーを検出するエリア別エラー検出手段と、前記複数のエリアのうち自らが対応するエリア以外の他のエリアについて、前記エラーが検出された場合に、前記生成された修正用データを前記他のエリアに向けて再度配信するように、前記自らが対応するエリアにおける前記エリア別配信手段を制御するエリア別再配信制御手段とを備える。 In another aspect of the transport system of the present invention, the data generation means includes a plurality of area-specific data generation means corresponding to a plurality of areas into which the entire area where the track is laid is divided, and the distribution means includes Each of the plurality of areas corresponding to each of the plurality of areas, and each of the plurality of areas further receiving the distributed correction data; The error detection means for each area that detects an error related to the communication of the correction data to be generated, and when the error is detected in other areas other than the area to which the self corresponds, among the plurality of areas, the generated A redistribution control unit for each area that controls the distribution unit for each area in the area corresponding to the area so that the correction data is distributed again to the other area.
この態様によれば、複数のエリアの各々には、エリア別データ生成手段、エリア別配信手段、及びエリア別再配信制御手段が備えられている。例えば一のエリアに在る複数の搬送手段の走行又は搬送中に、基準データのうち、一のエリアに対応する一のデータブロックに対して修正が加えられる場合に、一のエリア別データ生成手段によって、一のデータブロックのうち修正が反映された一のデータブロックの部分である修正用データが、生成される。すると、エリア別配信手段によって、生成された修正用データがブロードキャスト方式で配信される。 According to this aspect, each of the plurality of areas is provided with area-specific data generation means, area-specific distribution means, and area-specific redistribution control means. For example, when correction is made to one data block corresponding to one area of reference data during traveling or conveyance of a plurality of conveying means in one area, one area-specific data generating means Thus, correction data that is a part of one data block in which the correction is reflected in one data block is generated. Then, the generated correction data is distributed by the broadcast method by the distribution means for each area.
上述した配信が行われると、複数の搬送手段の各々において、エリア別通信手段によって、配信された修正用データが受信される。すると、エリア別エラー検出手段によって、受信された修正用データの通信に係るエラーが検出される。 When the distribution described above is performed, the distributed correction data is received by the area-specific communication means in each of the plurality of transport means. Then, the error relating to the communication of the received correction data is detected by the area-specific error detection means.
自らが対応するエリア以外の他のエリアの各々において、上述したエラーが実際に検出された場合に、エリア別再配信制御手段によって、自らが対応するエリアにおけるエリア別配信手段が制御され、自らが対応するエリア以外の他のエリアに向けて、修正用データが、例えばブロードキャスト方式又は個別配信方式で、再度配信される。その配信により、複数の搬送手段のうち少なくともエラーが検出された搬送手段において、再度配信された修正用データが再度受信される。その後、遅延なく又は適当なタイミングにて、エリア別搬送制御手段によって、再度受信された修正用データで、例えば搬送手段が有する一のデータブロックを置き換えることにより、搬送の基準となる基準データが更新される。その後は更新された基準データに従う搬送計画に基づいて、搬送車が制御される。 When the above-mentioned error is actually detected in each of the other areas other than the area to which it corresponds, the area-specific redistribution control means controls the area-specific distribution means in the area to which it corresponds. The correction data is distributed again to other areas other than the corresponding area by, for example, the broadcast method or the individual distribution method. As a result of the distribution, the correction data distributed again is received again by at least the conveyance means in which an error is detected among the plurality of conveyance means. After that, at a suitable timing, the reference data serving as the transport reference is updated by replacing, for example, one data block of the transport means with the correction data received again by the transport control means for each area by the area-specific transport control means. Is done. Thereafter, the transport vehicle is controlled based on the transport plan according to the updated reference data.
このように、一のデータブロックに対して修正が加えられる場合にも、修正が反映された一のデータブロックの部分である修正用データを、ブロードキャスト方式で配信することにより、その配信に要する時間を最小限に抑える。即ち、配信が失敗に終わった修正用データを示すエラーを検出すると共に、そのエラーに示される修正用データを再度配信する。これにより、基準データ(率直に言えば、基準データを更新可能な修正用データ)の配信時間を短縮しつつ、基準データを効率よく更新することが可能となる。 In this way, even when a correction is made to one data block, the time required for the distribution by distributing the correction data that is a part of the one data block in which the correction is reflected by the broadcast method. To minimize. That is, an error indicating correction data for which delivery has failed is detected, and the correction data indicated by the error is distributed again. This makes it possible to efficiently update the reference data while reducing the delivery time of the reference data (or frankly, correction data that can update the reference data).
本発明の作用及び他の利得は次に説明する実施するための最良の形態から明らかにされる。 The operation and other advantages of the present invention will become apparent from the best mode for carrying out the invention described below.
以下、本発明の実施形態について図を参照しつつ説明する。
(第1実施形態)
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
(First embodiment)
先ず、本発明の第1実施形態に係る搬送システムの構成について説明する。ここに図1は、第1実施形態に係る搬送システムの機能を示し、図2は、第1実施形態に係る基準データの構成を示す。 First, the configuration of the transport system according to the first embodiment of the present invention will be described. FIG. 1 shows functions of the transport system according to the first embodiment, and FIG. 2 shows a configuration of reference data according to the first embodiment.
図1において、本実施形態に係る搬送システム100は、軌道1、複数のビークル3、搬送コントローラ10、及び製造指示部20を備える。製造指示部20は、搬送コントローラ10と有線により接続されており、半導体素子製造工程に従って、不図示のFOUPの搬送或いは移載を搬送コントローラ10に指示する。
In FIG. 1, a
搬送コントローラ10は、製造指示部20からの指示に基づいて、搬送スケジュールを設計し、設計された搬送スケジュールに従って、複数のビークル3を総括的に制御する。搬送コントローラ10は、複数のビークル3と無線により接続されている。本実施形態では、搬送コントローラ10は、データ生成部11、配信部12、及び再配信制御部13を備える。
The
データ生成部11は、本発明に係る「データ生成手段」の一例として、搬送計画の設計に使用される基準データに修正が加えられる場合に、その修正が反映された基準データを区分けし、区分けされた基準データの部分を複数のブロードキャストデータ(本発明に係る「修正用データ」の一例)として生成する。このように修正が反映された基準データが区分けされてなるブロードキャストデータは、軌道や軌道沿いの装置等に変更が行われた場合に、調整が必要となる地図データ部分を意味することから、「調整地図データ」と呼ぶこともできる。
As an example of the “data generation unit” according to the present invention, the
図2において、6つのブロードキャストデータ20は、6つのブロードキャストナンバに夫々紐付けられ、ブロードキャストデータ単位で、搬送コントローラ10に設けられた不図示の記憶手段、及び複数のビークル3の各々に設けられた後述するメモリ5に格納される。
In FIG. 2, six
配信部12は、本発明に係る「配信手段」の一例として、データ生成部11による6つのブロードキャストデータを、ブロードキャストデータ毎に、ブロードキャストナンバの小さい順に配信する(即ち、ブロードキャスト方式による配信)。配信部12は、ブロードキャストデータの一通りの配信を行った後に、配信の進捗を確認するための進捗問い合わせ信号を配信する。
As an example of the “distribution means” according to the present invention, the
再配信制御部13は、本発明に係る「再配信制御手段」及び「特定手段」の一例として、後述するエラー信号を受信した場合に、配信の進捗に応じて、少なくともエラー信号に示されるブロードキャストデータを再度配信するように、配信部12を制御する。
As an example of the “redistribution control unit” and the “specifying unit” according to the present invention, the
具体的には、例えば第2番目に配信された第2ブロードキャストデータF2、及び第6番目に配信された第6ブロードキャストデータF6について、エラー信号が受信される。この場合に、再配信制御部13は、配信の進捗を示す進捗値を、ブロードキャスト総数「6」から、エラー信号に示されるブロードキャストデータ数「2」を減算した値である「4」と特定する。再配信制御部13は、例えば所定の進捗値閾値(即ち、本発明に係る「所定の閾値」の一例)を6つのブロードキャストデータの半数「3」に設定している。この場合に、再配信制御部13は、特定された進捗値「4」が進捗値閾値「3」以上であるとして、配信部12を制御して、エラー信号に示される第2ブロードキャストデータF2及び第6ブロードキャストデータF6のみ再度配信させる。
Specifically, for example, the error signal is received for the second broadcast data F2 distributed second and the sixth broadcast data F6 distributed sixth. In this case, the
一方、例えば第2ブロードキャストデータF2から第6ブロードキャストデータF6について、エラー信号が受信される。この場合に、再配信制御部13は、進捗値を、ブロードキャスト総数「6」から、エラー信号に示されるブロードキャストデータ数「4」を減算した値である「2」と特定する。再配信制御部13は、特定された進捗値「2」が進捗値閾値「3」以上でないとして、配信部12を制御して、全ブロードキャストデータ(第1ブロードキャストデータF1から第6ブロードキャストデータF6)を再度配信させる。このように、再配信制御部13は、配信の進捗に応じて、エラー信号に示されるブロードキャストデータのみを再度配信する個別配信方式、又は全てのブロードキャストデータを再度配信するブロードキャスト方式のいずれか一方を選択する配信方法選択処理を行う。このような配信方法選択処理は、本発明に係る情報配信処理に組み入れられている。
On the other hand, for example, the error signal is received for the second broadcast data F2 to the sixth broadcast data F6. In this case, the
複数のビークル3は、本発明に係る「複数の搬送手段」の一例として、搬送コントローラ10により制御され、軌道1上を走行すると共に、FOUPを不図示の作業装置に搬送する(又は、作業装置間で移載する)。複数のビークル3の各々は、制御部4、メモリ5、及びエラー検出部6を備える。
The plurality of vehicles 3 are controlled by the
制御部4は、本発明に係る「搬送制御手段」の一例として、ビークル3の各部を制御する。制御部4は、その制御により、最新の基準データに従う搬送計画で走行させつつ搬送させる。 The control unit 4 controls each unit of the vehicle 3 as an example of the “transport control unit” according to the present invention. The control part 4 is made to convey, making it drive | work by the conveyance plan according to the newest reference data by the control.
メモリ5は、本発明に係る「格納手段」の一例として、配信部12からの6つのブロードキャストデータを、ブロードキャストデータ単位で格納する。また、格納されている最新の6つのブロードキャストデータから基準データを構成する。メモリ5は、配信部12からのブロードキャストデータが不図示の通信部により受信される度に、基準データを更新する。
The
エラー検出部6は、本発明に係る「エラー検出手段」の一例として、配信部12との間の通信に係るエラーを検出する。具体的には、例えば第3番目に配信された第3ブロードキャストデータF3が通信部により受信される間に、配信部12との間の通信が途切れた場合に、エラー検出部6は、第3ブロードキャストデータF3についてエラーを検出する。また、検出されたエラーを示す信号(以下、「エラー信号」と言う)を、搬送コントローラ10に送信する。本実施形態では、エラー信号が送信される時期は、配信部12からの進捗問い合わせ信号を受信した後とする。
(本発明の配信方法選択処理)
The error detection unit 6 detects an error related to communication with the
(Delivery method selection processing of the present invention)
次に、再配信制御部13による配信方法選択処理について図3を参照して説明する。ここに図3は、本発明に係る配信方法選択処理を示すフローチャートである。
Next, a distribution method selection process by the
図3において、先ず配信部12によって、6つのブロードキャストデータ(即ち、図3において「BCデータ」と示す)のブロードキャスト方式による配信が開始され(ステップS41)、この後に、全てのブロードキャストの配信が一通り完了したか否かが判定される(ステップS42)。この判定の結果、一通り完了していない場合に(ステップS42:NO)、一通り完了するまでその判定が繰り返される。
In FIG. 3, first, the
一方、ステップS42の判定の結果、配信が一通り完了した場合に(ステップS42:YES)、配信部12によって、進捗問い合わせ信号が送信され、配信の進捗が確認される(ステップS43)。すると、進捗問い合わせ信号を受信した全てのビークル3の各々において、エラー検出部6によるエラー信号が送信されたか否か(即ち、全てのブロードキャストデータの格納が完了したか否か)が判定される(ステップS44)。この判定の結果、いずれかのエラー検出部6によりエラー信号が送信された場合(即ち、全てのビークル3において、全てのブロードキャストデータが未だ格納されていない場合)に(ステップS44:NO)、再配信制御部13によって、受信されたエラー信号に示される情報に基づいて進捗値が特定され、特定された進捗値が所定の進捗値閾値以上か否かが判定される(ステップS45)。この判定の結果、進捗値閾値より少ない場合に(ステップS45:NO)、ステップS41の処理(即ち、ブロードキャスト方式による再度配信)を行う。
On the other hand, as a result of the determination in step S42, when the distribution is completed (step S42: YES), the
一方、ステップS45の判定の結果、特定された進捗値が進捗値閾値以上である場合に(ステップS45:YES)、エラー信号に示されるブロードキャストデータが個別配信方式で再度配信される(ステップS46)。この後に、ステップS43の処理(即ち、配信の進捗確認)を行う。 On the other hand, as a result of the determination in step S45, if the identified progress value is equal to or greater than the progress value threshold (step S45: YES), the broadcast data indicated by the error signal is distributed again by the individual distribution method (step S46). . Thereafter, the process of step S43 (that is, confirmation of the progress of distribution) is performed.
一方、ステップS44の判定の結果、進捗問い合わせ信号を受信した全てのビークル3の各々において、エラー検出部6によるエラー信号が送信されない(即ち、全てのブロードキャストデータが既に格納された場合)に(ステップS44:YES)、搬送システム100において1つのエリアを設定された第1実施形態では、ステップS47の処理をスキップして、一連の配信方法選択処理が終了する。
On the other hand, as a result of the determination in step S44, in each of all the vehicles 3 that have received the progress inquiry signal, the error signal by the error detection unit 6 is not transmitted (that is, when all the broadcast data has already been stored) (step S40). (S44: YES) In the first embodiment in which one area is set in the
尚、搬送システムにおいて複数のエリアが設定された、後述する第2実施形態では、ステップS44が「YES」と判定された後に、複数のエリア毎に、全てのビークル3において、全てのブロードキャストデータが格納されたか否かが判定される(ステップS47)。この判定の結果、いずれかのエリアで、全てのビークル3において、全てのブロードキャストデータが未だ格納されていない場合に(ステップS47:NO)、そのエリアについて、ステップS44の処理が行われる。 In the second embodiment, which will be described later, in which a plurality of areas are set in the transport system, all the broadcast data is stored in all the vehicles 3 for each of the plurality of areas after step S44 is determined as “YES”. It is determined whether it has been stored (step S47). As a result of this determination, if all broadcast data is not yet stored in all the vehicles 3 in any area (step S47: NO), the process of step S44 is performed for that area.
一方、全てのエリアで、全てのビークル3において、全てのブロードキャストデータが既に格納された場合に(ステップS47:YES)、一連の配信方法選択処理が終了する。
(第1実施形態の情報配信処理)
On the other hand, when all the broadcast data has already been stored in all the vehicles 3 in all the areas (step S47: YES), a series of distribution method selection processing is completed.
(Information distribution process of the first embodiment)
次に、第1実施形態に係る搬送システムによる情報配信処理について、図4を参照して説明する。ここに図4は、第1実施形態に係る情報配信処理を示すシーケンスチャートである。第1実施形態の情報配信処理では、1つの搬送コントローラ10によって、3台のビークル3a〜3cに夫々格納される基準データが更新される。
Next, information distribution processing by the transport system according to the first embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 4 is a sequence chart showing information distribution processing according to the first embodiment. In the information distribution process of the first embodiment, the reference data stored in each of the three vehicles 3a to 3c is updated by one
図3において、基準データに対して修正を加える場合に、先ず搬送コントローラ10において、データ生成部11によって、修正が反映された基準データから、6つのブロードキャストデータF1〜F6が生成され、配信部12によって、第1ブロードキャストデータF1が配信される(ステップS51)。続いて、第2ブロードキャストデータF2が配信されるが(ステップS52)、この際に、1台のビークル3cにおいて、エラー検出部6によって、エラーが検出される(ステップS53)。
In FIG. 3, when correction is made to the reference data, first, in the
続いて、第3ブロードキャストデータF3が配信されるが(ステップS54)、この際に、ビークル3bにおいて、エラー検出部6によって、エラーが検出される(ステップS55)。この後、第4ブロードキャストデータF4から第6ブロードキャストF6まで配信される(ステップS56)。この後、配信部12によって、進捗問い合わせ信号が配信される(ステップS57)。すると、これに応答して、ビークル3aにおいて、エラー検出部6からエラー信号は送信されない(即ち、基準データの更新を完了した旨が示される)(ステップS58)。また、ビークル3bにおいて、エラー検出部6によって、第3ブロードキャストデータF3の情報を含むエラー信号が搬送コントローラ10に送信される(即ち、第3ブロードキャストデータF3の更新が未だ完了していない旨が示される)(ステップS59)。また、ビークル3cにおいて、エラー検出部6によって、第2ブロードキャストデータF2の情報を含むエラー信号が搬送コントローラ10に送信される(即ち、第2ブロードキャストデータF2の更新が未だ完了していない旨が示される)(ステップS60)。 Subsequently, the third broadcast data F3 is distributed (step S54). At this time, an error is detected by the error detection unit 6 in the vehicle 3b (step S55). Thereafter, the fourth broadcast data F4 to the sixth broadcast F6 are distributed (step S56). Thereafter, a progress inquiry signal is distributed by the distribution unit 12 (step S57). Then, in response to this, the error signal is not transmitted from the error detection unit 6 in the vehicle 3a (that is, it is indicated that the update of the reference data is completed) (step S58). In the vehicle 3b, the error detection unit 6 transmits an error signal including the information of the third broadcast data F3 to the transport controller 10 (that is, it indicates that the update of the third broadcast data F3 has not been completed yet). (Step S59). In the vehicle 3c, the error detection unit 6 transmits an error signal including the information of the second broadcast data F2 to the transport controller 10 (that is, the update of the second broadcast data F2 has not been completed yet). (Step S60).
ビークル3b及び3cによりエラー信号が送信された後に、再配信制御部13によって、第3ブロードキャストF3がビークル3bに再度配信される(ステップS61)。すると、その配信が完了された時に、ビークル3bによって、その配信が完了した旨を示す信号が搬送コントローラ10に送信される(ステップS62)。続いて、再配信制御部13によって、第2ブロードキャストF2がビークル3cに再度配信される(ステップS63)。すると、その配信が完了された時に、ビークル3cによって、その配信が完了した旨を示す信号が搬送コントローラ10に送信される(ステップS64)。これにより、一連の情報配信処理が終了する。
After the error signal is transmitted by the vehicles 3b and 3c, the third broadcast F3 is again distributed to the vehicle 3b by the redistribution control unit 13 (step S61). Then, when the distribution is completed, a signal indicating that the distribution is completed is transmitted to the
このように、第1実施形態の情報配信処理によれば、基準データに修正が加えられる場合に、修正が反映された基準データから複数のブロードキャストデータを生成し、これをブロードキャスト方式で配信することにより、その配信に要する時間を最小限に抑える。即ち、失敗に終わった配信を示すエラーを検出すると共に、少なくともそのエラーに示されるブロードキャストデータを再度配信する。従って、基準データ(率直に言えば、基準データを更新可能な複数のブロードキャストデータ)の通信時間を短縮しつつ、基準データを効率よく更新することが可能となる。
(第2実施形態)
Thus, according to the information distribution processing of the first embodiment, when correction is made to the reference data, a plurality of broadcast data is generated from the reference data reflecting the correction, and this is distributed by the broadcast method. To minimize the time it takes to deliver. That is, an error indicating distribution that has failed is detected, and at least broadcast data indicated by the error is distributed again. Accordingly, it is possible to efficiently update the reference data while shortening the communication time of the reference data (or frankly, a plurality of broadcast data that can update the reference data).
(Second Embodiment)
次に、本発明の第2実施形態に係る搬送システムの構成について、図5から図7を参照して説明する。ここに図5は、第2実施形態に係る搬送システムの機能を示し、図6は、図5の複数の搬送手段に走行される複数の領域を示し、図7は、第2実施形態に係る基準データの構成を示す。尚、第2実施形態では、図1の搬送システムと同一に構成される要素について、その説明を省略すると共に同一の符号を付し、図1の搬送システムとの違いのみ説明する。 Next, the structure of the conveyance system which concerns on 2nd Embodiment of this invention is demonstrated with reference to FIGS. Here, FIG. 5 shows functions of the transport system according to the second embodiment, FIG. 6 shows a plurality of areas traveled by the plurality of transport means in FIG. 5, and FIG. 7 shows the second embodiment. The structure of the reference data is shown. In the second embodiment, elements that are configured in the same manner as the transport system of FIG. 1 are not described and are denoted by the same reference numerals, and only differences from the transport system of FIG. 1 are described.
図5において、本実施形態に係る搬送システム300は、軌道1、複数のビークル103、搬送コントローラ110x(110a,110b…110f)、及び製造指示部120を備える。製造指示部120は、複数の搬送コントローラ110と有線により接続されており、FOUPの搬送或いは移載を複数の搬送コントローラ110に指示する。
5, the
軌道1は、複数のエリアAxに渡って敷設されている。図6において、複数のエリアAxの各々は、基準データを区分けする単位を示す。
The
複数の搬送コントローラ110xは、複数のエリアAxに夫々対応している。複数の搬送コントローラ110xは、対応する複数のエリアAxで区分けされた、複数のエリアAx毎の基準データを基準データブロック(本発明に係る「データブロック」の一例)として設定している。各搬送コントローラ110xは、自身に対応するエリアAxの内部に在るビークル3と無線により接続されており、その接続されているビークル3を制御しつつ、自身に対応する基準データブロックを管理する。各搬送コントローラ110xは、図1の搬送コントローラ10と同様にして、データ生成部11、配信部12、及びエラー検出部13を備える。
The plurality of transport controllers 110x correspond to the plurality of areas Ax, respectively. The plurality of transport controllers 110x set the reference data for each of the plurality of areas Ax divided by the corresponding plurality of areas Ax as reference data blocks (an example of the “data block” according to the present invention). Each transport controller 110x is wirelessly connected to the vehicle 3 in the area Ax corresponding to itself, and manages the reference data block corresponding to itself while controlling the connected vehicle 3. Each transport controller 110x includes a
次に、各搬送コントローラ110xの各部について説明する。図6において、6つのエリアA1〜A6には、6つの搬送コントローラ110a〜110fが夫々対応している。ここで、修正が加えられる基準データブロックに対応するエリアを「A1」(即ち、図6における最も左側且つ上側に設定されるエリア)とし、修正が加えられない基準データブロックに対応するエリアを「A2〜A6」とする。 Next, each part of each transport controller 110x will be described. In FIG. 6, six transport controllers 110a to 110f correspond to six areas A1 to A6, respectively. Here, the area corresponding to the reference data block to be corrected is “A1” (that is, the area set on the leftmost and upper side in FIG. 6), and the area corresponding to the reference data block to which no correction is applied is “ A2 to A6 ”.
エリアA1に対応する搬送コントローラ110aが備えるデータ生成部11(以下、単に「エリアA1のデータ生成部11」と言う)は、エリアA1に対応する基準データブロックB1に修正が加えられる場合に、その修正が反映された基準データブロックを区分けし、区分けされた複数の基準データブロックの部分を複数のブロードキャストデータとして生成する。
The data generation unit 11 (hereinafter simply referred to as “
図7において、図6に示される6つのエリアA1〜A6に対応する6つの基準データブロック220(即ち、B1〜B6)の各々は、6つのブロードキャストデータに細分化されている。6つの基準データブロックB1〜B6の各々を構成する6つのブロードキャストデータは、6つのブロードキャストナンバに夫々紐付けられ、ブロードキャストデータ単位で、各搬送コントローラ110xにおける不図示の記憶手段、及び各ビークル3におけるメモリ5に格納される。
In FIG. 7, each of the six reference data blocks 220 (that is, B1 to B6) corresponding to the six areas A1 to A6 shown in FIG. 6 is subdivided into six broadcast data. The six broadcast data constituting each of the six reference data blocks B1 to B6 are respectively linked to the six broadcast numbers, and in the broadcast data unit, storage means (not shown) in each transport controller 110x and each vehicle 3 Stored in the
エリアA1の配信部12は、エリアA1のデータ生成部11による複数のブロードキャストデータを、エリアA2〜A6の搬送コントローラ110b〜110f、及びエリアA1に在るビークル103に、ブロードキャスト方式で配信する。
The
エリアA2〜A6の各配信部12は、エリアA1の配信部12からの複数のブロードキャストデータを受信すると共に、受信した複数のブロードキャストデータを自身の領域A2〜A6に在るビークル3に、ブロードキャスト方式で配信する。
Each
エリアA1〜A6の各配信部12は、一通りの配信を行った後に、配信の進捗を確認するための進捗問い合わせ信号を自身の領域A1〜A6に在るビークル3に配信する。
Each
エリアA1〜A6の各再配信制御部13は、ビークル3におけるエラー検出部6からのエラー信号を受信した場合に、配信の進捗に応じて、少なくともエラー信号に示されるブロードキャストデータを再度配信するように、配信部12を制御する。
When each of the
複数のビークル3の各々は、自身が存在するエリアAxの搬送コントローラ110により制御され、FOUPの搬送又は移載を実行する。
(第2実施形態の情報配信処理)
Each of the plurality of vehicles 3 is controlled by the
(Information distribution processing of the second embodiment)
次に、第2実施形態に係る搬送システムによる情報配信処理について、図8を参照して説明する。ここに図8は、第2実施形態に係る情報配信処理を示すシーケンスチャートである。第2実施形態の情報配信処理では、ブロードキャストデータの配信中、ビークル3が2つの搬送コントローラ10に対応する2つの領域を乗り移る。
Next, information distribution processing by the transport system according to the second embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 8 is a sequence chart showing the information distribution process according to the second embodiment. In the information distribution process of the second embodiment, the vehicle 3 changes between two areas corresponding to the two
図8において、エリアA1に対応する基準データブロックに対して修正を加える場合に、先ずエリアA1において、データ生成部11により生成されたn個のブロードキャストデータF1〜Fnのうちの第1ブロードキャストデータF1が、配信部12によって、エリアA2の搬送コントローラ110b、及びエリアA1に在るビークル3に配信される(ステップS71)。続いて、第2ブロードキャストデータF2が、エリアA2の搬送コントローラ110b、及びエリアA1に在るビークル3に配信される(ステップS72)。ここで、制御部4によって、エリアA1に在るビークル3がエリアA2へ乗り移る。この乗り移りと併行して、エリアA1においては、その配信部12によって、第3ブロードキャストデータF3、第4ブロードキャストデータF4…の配信が行われ(ステップS74)、エリアA2においては、その配信部12によって、第1から第4ブロードキャストデータF1〜F4の配信が行われる(ステップS75)。
In FIG. 8, when the reference data block corresponding to the area A1 is modified, first, the first broadcast data F1 among the n pieces of broadcast data F1 to Fn generated by the
続いて、エリアA2において、配信部12によって、第5ブロードキャストデータF5が配信される。すると、エリア1からの乗り移りを遂げた、現在エリアA2に在るビークル3において、第5ブロードキャストデータF5が受信される(ステップS76)。この後、最後の第nブロードキャストデータFnまで配信される(ステップS77)。すると、配信部12によって、進捗問い合わせ信号がエリアA2に在るビークル3に送信される(ステップS78)。すると、進捗問い合わせ信号を受信したビークル3において、再配信制御部13によって、格納されるべき第1ブロードキャストデータF1から第nブロードキャストデータFnが順番に読み取られる。この読み取り時に、第3ブロードキャストデータが読み取られない場合に、第3ブロードキャストデータF3を示すエラー信号が搬送コントローラ110bに送信される(即ち、第3ブロードキャストデータF3の欠落が示される)(ステップS79)。すると、配信部12によって、第3ブロードキャストデータF3が個別配信方式で配信される(ステップS80)。また、続く第4ブロードキャストデータF4が読み取られない場合に、第4ブロードキャストデータF4を示すエラー信号が搬送コントローラ110bに送信される(即ち、第4ブロードキャストデータF4の欠落が示される)(ステップS81)。すると、配信部12によって、第4ブロードキャストデータF4が配信される(ステップS82)。この後に、エリアA2に在るビークル3において、第5ブロードキャストデータF5から第nブロードキャストデータFnが全て読み取られた場合に、全てのブロードキャストデータが配信された旨を示す信号が搬送コントローラ110bに送信される(ステップS83)。これにより、一連の情報配信処理が終了する。
Subsequently, the fifth broadcast data F5 is distributed by the
このように、第2実施形態の情報配信処理によれば、一のエリアに対応する一の基準データブロックに修正が加えられる場合に、修正が反映された一の基準データブロックから複数のブロードキャストデータを生成し、これをブロードキャスト方式で配信することにより、その配信に要する時間を最小限に抑える。即ち、失敗に終わった配信を示すエラーを検出すると共に、少なくともそのエラーに示されるブロードキャストデータを再度配信する。従って、複数の基準データブロックに区分けされた基準データ(率直に言えば、基準データを更新可能な複数のブロードキャストデータ)の通信時間を短縮しつつ、その基準データを効率よく更新することが可能となる。 As described above, according to the information distribution process of the second embodiment, when one reference data block corresponding to one area is corrected, a plurality of broadcast data is transmitted from the one reference data block in which the correction is reflected. Is generated and distributed in a broadcast manner, thereby minimizing the time required for the distribution. That is, an error indicating distribution that has failed is detected, and at least broadcast data indicated by the error is distributed again. Accordingly, it is possible to efficiently update the reference data while reducing the communication time of the reference data divided into a plurality of reference data blocks (to be frank, a plurality of broadcast data that can update the reference data). Become.
本発明は、上述した実施形態に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨或いは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う搬送システムもまた本発明の技術的範囲に含まれるものである。 The present invention is not limited to the above-described embodiment, and can be appropriately changed without departing from the gist or concept of the invention that can be read from the claims and the entire specification. It is included in the technical scope of the present invention.
3…ビークル、5…メモリ、6…エラー検出部、10…搬送コントローラ、11…データ生成部、12…配信部、13…再配信制御部、100…搬送システム DESCRIPTION OF SYMBOLS 3 ... Vehicle, 5 ... Memory, 6 ... Error detection part, 10 ... Conveyance controller, 11 ... Data generation part, 12 ... Distribution part, 13 ... Redistribution control part, 100 ... Conveyance system
Claims (10)
前記生成された修正用データを、ブロードキャスト方式で配信する配信手段と、
複数の搬送手段であって、各々が、前記軌道を走行可能であり且つ荷を搬送可能である搬送車、前記配信された修正用データを受信する通信手段、前記受信された修正用データで更新され得る前記基準データに従う搬送計画で走行し且つ搬送するように、前記搬送車を制御する搬送制御手段、及び前記受信される修正用データの通信に係るエラーを検出するエラー検出手段を備える、前記複数の搬送手段と、
前記エラーが検出された場合に、前記生成された修正用データを再度配信するように、前記配信手段を制御する再配信制御手段と
を備え、
前記再配信制御手段は、前記エラーが検出された場合に、前記生成された修正用データを、前記ブロードキャスト方式により再度配信するか、前記複数の搬送手段のうち前記エラーが検出された一の搬送手段の前記通信手段に対して個別配信方式で再度配信するか、を選択する
ことを特徴とする搬送システム。 Data correction means for generating correction data, which is a reference data portion in which the correction is reflected in the reference data, when correction is made to the reference data including map data indicating a map relating to the trajectory;
Distribution means for distributing the generated correction data by a broadcast method;
A plurality of transport means, each of which is capable of traveling on the track and capable of transporting a load; a communication means for receiving the distributed correction data; and updating with the received correction data A transport control means for controlling the transport vehicle so as to travel and transport the transport plan according to the reference data that can be performed, and an error detection means for detecting an error related to the communication of the received correction data, A plurality of conveying means;
Redistribution control means for controlling the distribution means so as to distribute the generated correction data again when the error is detected, and
When the error is detected, the re-distribution control unit distributes the generated correction data again by the broadcast method, or one of the plurality of transport units in which the error is detected It is selected whether to deliver again by the individual delivery method to the communication means of the means .
前記データ生成手段は、前記修正用データを複数の修正用データ区分に区分けし、
前記配信手段は、前記複数の修正用データ区分を複数回に分けて配信し、
前記特定手段は、前記複数の修正用データ区分の配信が完了された後に、前記エラーが検出された前記修正用データ区分の数に応じて前記進捗値を特定し、
前記再配信制御手段は、前記特定された進捗値が所定の閾値より大きい場合に、前記修正用データを個別配信方式で、再度配信するように前記配信手段を制御し、前記特定された進捗値が所定の閾値より小さい場合に、前記修正用データを前記ブロードキャスト方式で再度配信する
ことを特徴とする請求項1に記載の搬送システム。 After the distribution of the correction data is completed by the distribution means, the information processing apparatus further comprises a specifying means for specifying a progress value indicating the progress of the distribution,
The data generation means divides the correction data into a plurality of correction data sections,
The distribution means distributes the plurality of correction data sections in a plurality of times,
The specifying means specifies the progress value according to the number of the correction data sections in which the error is detected after the delivery of the plurality of correction data sections is completed,
The redistribution control means controls the distribution means to redistribute the correction data by an individual distribution method when the specified progress value is larger than a predetermined threshold, and the specified progress value 2. The transport system according to claim 1, wherein the correction data is delivered again by the broadcast method when is smaller than a predetermined threshold.
前記エラー検出手段は、前記セグメント毎に前記エラーを検出し、
前記再配信制御手段は、前記エラーが検出された場合に、前記生成された修正用データを前記セグメントの単位で再度配信するように、前記配信手段を制御する
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の搬送システム。 The distribution means divides the correction data into a plurality of segments and distributes the segments in order for each segment.
The error detection means detects the error for each segment,
The redistribution control means controls the distribution means so as to redistribute the generated correction data in units of the segments when the error is detected. 2. The transport system according to 2.
ことを特徴とする請求項3に記載の搬送システム。 The transport system according to claim 3, wherein the data generation unit generates the correction data in units of the segments and stores the generated correction data in units of the segments.
前記基準データを格納する格納手段と、
所定のトリガーを受けて、前記受信された修正用データで、前記格納されている前記基準データの少なくも一部を置き換える又は上書きする更新手段と、
前記格納されている基準データに従って、前記軌道上で前記搬送車が如何に搬送するかを決め、該決められた通りに搬送するように前記搬送車を制御する決定制御手段と
を備えることを特徴とする請求項1から6のいずれか一項に記載の搬送システム。 The transport control means includes
Storage means for storing the reference data;
An updating means for receiving a predetermined trigger and replacing or overwriting at least a part of the stored reference data with the received correction data;
Determination control means for determining how the transport vehicle is transported on the track according to the stored reference data, and for controlling the transport vehicle so as to transport the transport vehicle as determined. The transfer system according to any one of claims 1 to 6.
前記基準地図データは、前記軌道の配置、前記軌道沿いの各種装置の配置、及び前記軌道に付されており且つ前記搬送車により読取可能であるマークの配置のうち、少なくとも一つを地図要素として含むことを特徴とする請求項1から7のいずれか一項に記載の搬送システム。 The reference data includes reference map data including map elements,
The reference map data includes at least one of the arrangement of the trajectory, the arrangement of various devices along the trajectory, and the arrangement of marks attached to the trajectory and readable by the carrier vehicle as a map element. The conveyance system according to claim 1, wherein the conveyance system is included.
前記複数のエリアの各々に対応して更に、
前記配信された修正用データを受信するエリア別通信手段と、
前記受信される修正用データの通信に係るエラーを検出するエリア別エラー検出手段と、
前記複数のエリアのうち自らが対応するエリア以外の他のエリアについて、前記エラーが検出された場合に、前記生成された修正用データを前記他のエリアに向けて再度配信するように、前記自らが対応するエリアにおける前記エリア別配信手段を制御するエリア別再配信制御手段と
を備えることを特徴とする請求項1から9のいずれか一項に記載の搬送システム。 The data generation means includes a plurality of area-specific data generation means corresponding to a plurality of areas into which the entire region where the trajectory is laid is divided, and the distribution means includes a plurality of areas corresponding to the plurality of areas. Have distribution means by area,
In correspondence with each of the plurality of areas,
Area-specific communication means for receiving the distributed correction data;
Area-specific error detection means for detecting an error relating to communication of the received correction data;
When the error is detected for an area other than the area corresponding to the area among the plurality of areas, the generated correction data is distributed again to the other area. An area-specific redistribution control means for controlling the area-specific distribution means in an area corresponding to the transport system according to any one of claims 1 to 9.
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