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JP5494402B2 - Screen printing machine and screen printing method - Google Patents
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Description

本発明は、マスクの開口部を介して基板上の電極にペーストを転写するスクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法に関するものである。   The present invention relates to a screen printing machine and a screen printing method for transferring a paste to an electrode on a substrate through an opening of a mask.

基板に半田ペースト等のペーストの印刷を行うスクリーン印刷機は、基板上の電極の配置に応じた複数の開口部が設けられたマスク、一対のクランプ部材により基板をクランプした状態で基板を上昇させ、基板及び一対のクランプ部材の上面をマスクの下面に接触させる基板保持移動手段、マスクの上方で水平面内方向に移動されるスキージベース、スキージベースに設けられたアクチュエータによりスキージベースの下方で昇降されるスキージを備え、基板の電極とマスクの開口部とが合致するように基板とマスクを接触させた後、スキージベースに対して下降させたスキージをクランプ部材上(マスクに接触させたクランプ部材上)に当接させてからスキージベースを水平面内方向に移動させ、マスク上に供給されたペーストをスキージによって掻き寄せることにより、マスクの開口部を介して電極にペーストを転写させるようになっている(例えば、特許文献1)。   A screen printing machine that prints paste such as solder paste on a substrate raises the substrate in a state where the substrate is clamped by a mask provided with a plurality of openings according to the arrangement of electrodes on the substrate and a pair of clamp members. A substrate holding / moving means for bringing the upper surface of the substrate and the pair of clamp members into contact with the lower surface of the mask; a squeegee base that is moved in the horizontal plane above the mask; and an actuator provided on the squeegee base. The squeegee that is lowered with respect to the squeegee base is placed on the clamp member (on the clamp member that is in contact with the mask). ), Move the squeegee base in the horizontal plane direction, and paste the paste supplied on the mask into the squeegee. By Therefore the scrape, so as to transfer the paste electrode through the opening of the mask (e.g., Patent Document 1).

特開2008−49669号公報JP 2008-49669 A

このようなスクリーン印刷機では、スキージはマスクの大きさ等に応じてサイズを変更することができるようにするため、アクチュエータによりスキージベースの下方で昇降されるスキージホルダに着脱自在に取り付けられるようになっている。しかしながら、このため、オペレータがスキージホルダにスキージを取り付け忘れた場合などには、スキージホルダにスキージが取り付けられていない状態でスクリーン印刷作業を開始してしまうことがあり、基板の生産性を低下させるおそれがあった。   In such a screen printing machine, the squeegee can be removably attached to a squeegee holder that is moved up and down below the squeegee base by an actuator so that the size of the squeegee can be changed according to the size of the mask. It has become. However, if the operator forgets to attach the squeegee to the squeegee holder, the screen printing operation may be started without the squeegee being attached to the squeegee holder, thereby reducing the productivity of the substrate. There was a fear.

そこで本発明は、スキージホルダにスキージが取り付けられていない状態でスクリーン印刷を開始してしまうことを防止することができるスクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法を提供すること目的とする。   Accordingly, an object of the present invention is to provide a screen printing machine and a screen printing method capable of preventing screen printing from being started in a state where no squeegee is attached to the squeegee holder.

請求項1に記載のスクリーン印刷機は、基板上の電極の配置に応じた複数の開口部が設けられたマスクと、一対のクランプ部材により基板をクランプした状態で基板を上昇させ、基板上の電極とマスクの開口部とが合致するように基板及び一対のクランプ部材の上面をマスクの下面に接触させる基板保持移動手段と、マスクの上方で水平面内方向に移動されるスキージベースと、スキージベースに設けられたアクチュエータによりスキージベースの下方で昇降されるスキージホルダと、スキージホルダに着脱自在に取り付けられるスキージと、スキージホルダが、スキージホルダに取り付けられたスキージがマスクに接触したクランプ部材に当接する当接位置に位置しているか否かの検出を行うホルダ位置検出手段と、前記アクチュエータの作動制御を行ってスキージホルダを下降させ、ホルダ位置検出手段によりスキージホルダが前記当接位置に位置したことが検出されたときにスキージホルダの下降を停止させるスキージ下降制御手段と、スキージホルダの下降が停止されてから所定時間が経過した後、ホルダ位置検出手段によりスキージホルダが前記当接位置に位置していることが検出された場合には、スキージベースを水平面内方向に移動させてマスクの開口部を介した基板上の電極へのペーストの転写を行い、スキージホルダの下降が停止されてから前記所定時間が経過した後、ホルダ位置検出手段によりスキージホルダが前記当接位置に位置していないことが検出された場合には、報知手段を介してスキージホルダにスキージが取り付けられていない旨の報知を行う制御手段とを備えた。   The screen printing machine according to claim 1, wherein the substrate is lifted in a state where the substrate is clamped by a mask provided with a plurality of openings according to the arrangement of electrodes on the substrate and a pair of clamp members, Substrate holding and moving means for bringing the upper surface of the substrate and the pair of clamp members into contact with the lower surface of the mask so that the electrode and the opening of the mask coincide with each other, a squeegee base moved in the horizontal plane above the mask, and a squeegee base A squeegee holder that is moved up and down below the squeegee base by an actuator provided on the squeegee, a squeegee that is detachably attached to the squeegee holder, and the squeegee holder that abuts against a clamp member that contacts the mask. A holder position detecting means for detecting whether or not the actuator is located at the contact position; A squeegee lowering control means for lowering the squeegee holder when the squeegee holder is moved down by performing dynamic control and the holder position detecting means detects that the squeegee holder is located at the contact position; After a lapse of a predetermined time from when the squeegee is stopped, if the holder position detecting means detects that the squeegee holder is located at the contact position, the squeegee base is moved in the horizontal plane to move the mask. After the predetermined time has elapsed after the paste is transferred to the electrode on the substrate through the opening and the descent of the squeegee holder is stopped, the squeegee holder is positioned at the contact position by the holder position detecting means. If it is detected that no squeegee is attached to the squeegee holder, a notification is made that the squeegee is not attached to the squeegee holder. And means.

請求項2に記載のスクリーン印刷方法は、基板上の電極の配置に応じた複数の開口部が設けられたマスクと、一対のクランプ部材により基板をクランプした状態で基板を上昇させ、基板上の電極とマスクの開口部とが合致するように基板及び一対のクランプ部材の上面をマスクの下面に接触させる基板保持移動手段と、マスクの上方で水平面内方向に移動されるスキージベースと、スキージベースに設けられたアクチュエータによりスキージベースの下方で昇降されるスキージホルダと、スキージホルダに着脱自在に取り付けられるスキージと、スキージホルダが、スキージホルダに取り付けられたスキージがマスクに接触したクランプ部材に当接する当接位置に位置しているか否かの検出を行うホルダ位置検出手段とを備えたスクリーン印刷機によるスクリーン印刷方法であって、前記アクチュエータの作動制御を行ってスキージホルダを下降させ、ホルダ位置検出手段によりスキージホルダが前記当接位置に位置したことが検出されたときにスキージホルダの下降を停止させる工程と、スキージホルダの下降を停止させてから所定時間が経過した後、ホルダ位置検出手段によりスキージホルダが前記当接位置に位置していることが検出された場合に、スキージベースを水平面内方向に移動させてマスクの開口部を介した基板上の電極へのペーストの転写を行う工程と、スキージホルダの下降を停止させてから前記所定時間が経過した後、ホルダ位置検出手段によりスキージホルダが前記当接位置に位置していないことが検出された場合に、スキージホルダにスキージが取り付けられていない旨の報知を行う工程とを含む。   The screen printing method according to claim 2, wherein the substrate is lifted in a state where the substrate is clamped by a mask provided with a plurality of openings according to the arrangement of the electrodes on the substrate and a pair of clamp members, Substrate holding and moving means for bringing the upper surface of the substrate and the pair of clamp members into contact with the lower surface of the mask so that the electrode and the opening of the mask coincide with each other, a squeegee base moved in the horizontal plane above the mask, and a squeegee base A squeegee holder that is moved up and down below the squeegee base by an actuator provided on the squeegee, a squeegee that is detachably attached to the squeegee holder, and the squeegee holder that abuts against a clamp member that contacts the mask. A screen mark provided with holder position detecting means for detecting whether or not it is located at the contact position A screen printing method using a printing machine, wherein the actuator is controlled to lower the squeegee holder, and the squeegee holder is lowered when the holder position detecting means detects that the squeegee holder is located at the contact position. And a step of stopping the squeegee base when the squeegee holder is located at the abutting position after the predetermined time has elapsed after stopping the descent of the squeegee holder. A process of transferring the paste to the electrode on the substrate through the opening of the mask by moving inward, and after the predetermined time has elapsed after stopping the descent of the squeegee holder, the holder position detecting means uses the squeegee A squeegee is attached to the squeegee holder when it is detected that the holder is not located at the contact position. Which includes a step of performing a notification to the effect not.

本発明では、下降させているスキージホルダが当接位置に位置したことが検出されたときにスキージホルダの下降を停止させるが、それから所定時間が経過した後、スキージホルダが当接位置に位置していないことが検出された場合には、スキージホルダにスキージが取り付けられていないとしてその旨の報知を行うようになっている。このため、スキージホルダにスキージが取り付けられていない状態でスクリーン印刷を開始してしまうことが防止でき、基板の生産性の低下を防ぐことができる。   In the present invention, the descent of the squeegee holder is stopped when it is detected that the squeegee holder being lowered is positioned at the contact position, but after a predetermined time has elapsed, the squeegee holder is positioned at the contact position. If it is detected that no squeegee is attached, the squeegee holder is notified that the squeegee is not attached. For this reason, it is possible to prevent screen printing from being started in a state where the squeegee is not attached to the squeegee holder, and it is possible to prevent a reduction in substrate productivity.

本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の平面図The top view of the screen printer in one embodiment of the present invention 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の正面図The front view of the screen printer in one embodiment of the present invention 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の側面図The side view of the screen printer in one embodiment of the present invention 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるマスクホルダ及びマスクの平面図The top view of the mask holder with which the screen printing machine in one embodiment of this invention is equipped, and a mask 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の制御系統を示すブロック図The block diagram which shows the control system of the screen printer in one embodiment of this invention (a)(b)(c)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるスキージホルダの下降動作を示す図(A) (b) (c) The figure which shows the descent | fall operation | movement of the squeegee holder with which the screen printer in one embodiment of this invention is provided. (a)(b)(c)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるスキージホルダの下降動作を示す図(A) (b) (c) The figure which shows the descent | fall operation | movement of the squeegee holder with which the screen printer in one embodiment of this invention is provided. 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が実行するスクリーン印刷工程の流れを示すメインルーチンのフローチャートThe flowchart of the main routine which shows the flow of the screen printing process which the screen printer in one embodiment of this invention performs 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が実行するスクリーン印刷工程の流れを示すサブルーチンのフローチャートThe flowchart of the subroutine which shows the flow of the screen printing process which the screen printer in one embodiment of this invention performs (a)(b)(c)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が実行するスクリーン印刷工程の実行手順を説明する図(A) (b) (c) The figure explaining the execution procedure of the screen printing process which the screen printer in one embodiment of this invention performs (a)(b)(c)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が実行するスクリーン印刷工程の実行手順を説明する図(A) (b) (c) The figure explaining the execution procedure of the screen printing process which the screen printer in one embodiment of this invention performs (a)(b)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が実行するスクリーン印刷工程の実行手順を説明する図(A) (b) The figure explaining the execution procedure of the screen printing process which the screen printer in one embodiment of this invention performs (a)(b)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が実行するスクリーン印刷工程の実行手順を説明する図(A) (b) The figure explaining the execution procedure of the screen printing process which the screen printer in one embodiment of this invention performs (a)(b)(c)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が実行するスクリーン印刷工程の実行手順を説明する図(A) (b) (c) The figure explaining the execution procedure of the screen printing process which the screen printer in one embodiment of this invention performs

以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。図1、図2及び図3において、本実施の形態におけるスクリーン印刷機1は、基板2の表面の電極3上に部品(電子部品)4を実装して実装基板を生産する部品実装システム(図示せず)を構成する部品実装用装置の一種であり、上流側から投入された基板2を搬入して位置決めし、基板2の表面の電極3上に半田ペーストや導電性ペースト等のペーストPst(図3参照)を転写するスクリーン印刷を行って下流側に搬出する動作を連続実行するものである。以下、説明の便宜上、スクリーン印刷機1において基板2を搬送する水平面内方向をX軸方向とし、X軸方向と直交する水平面内方向をY軸方向、上下方向をZ軸とする。更に、Y軸方向をスクリーン印刷機1の前後方向、X軸方向を横(左右)方向とし、前後方向のうち、スクリーン印刷機1に対してオペレータOP(図1)が作業を行う側(図1の紙面下方)をスクリーン印刷機1の前方、その反対側(図1の紙面上方)を後方とする。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. 1, 2, and 3, the screen printing machine 1 according to the present embodiment mounts a component (electronic component) 4 on an electrode 3 on the surface of a substrate 2 to produce a mounting substrate (FIG. 1). (Not shown) is a kind of component mounting apparatus, which carries in and positions the substrate 2 put in from the upstream side, and pastes Pst (such as solder paste or conductive paste) on the electrodes 3 on the surface of the substrate 2 The operation of performing screen printing for transferring the image (see FIG. 3) and carrying it out to the downstream side is continuously executed. Hereinafter, for convenience of explanation, the horizontal plane direction in which the substrate 2 is transported in the screen printing machine 1 is defined as the X-axis direction, the horizontal plane direction orthogonal to the X-axis direction is defined as the Y-axis direction, and the vertical direction is defined as the Z-axis. Further, the Y-axis direction is the front-rear direction of the screen printing machine 1 and the X-axis direction is the horizontal (left-right) direction, and the operator OP (FIG. 1) performs the operation on the screen printing machine 1 in the front-rear direction (FIG. 1). 1 is the front side of the screen printing machine 1, and the opposite side (the upper side of the page in FIG. 1) is the rear side.

図1、図2及び図3において、スクリーン印刷機1は、基台11上に設けられた基板保持移動手段である基板保持移動ユニット12のほか、基板保持移動ユニット12の上方に設けられた金属製の薄板材料から成るプレート状のマスク13、前後一対のスキージ14及びカメラユニット15を備えている。   1, 2, and 3, the screen printing machine 1 includes a substrate holding / moving unit 12 that is a substrate holding / moving unit provided on a base 11 and a metal provided above the substrate holding / moving unit 12. A plate-shaped mask 13 made of a thin plate material, a pair of front and rear squeegees 14 and a camera unit 15 are provided.

図2及び図3において、基板保持移動ユニット12は、水平移動部21、昇降部22、コンベア部23、基板支持部24及び基板クランプ部25から成る。   2 and 3, the substrate holding and moving unit 12 includes a horizontal moving unit 21, an elevating unit 22, a conveyor unit 23, a substrate supporting unit 24, and a substrate clamping unit 25.

図2及び図3において、水平移動部21は、Yテーブル駆動モータMyの作動によって基台11に対してY軸方向に移動するYテーブル21a、Xテーブル駆動モータMxの作動によってYテーブル21aに対してX軸方向に移動するXテーブル21b、Xテーブル21bに対してZ軸回りに回転するθテーブル21c、θテーブル21cの上面に固定されたベーステーブル21d及びベーステーブル21dの上面から上方に延びて設けられた複数の昇降テーブルガイド21eから成る。   2 and 3, the horizontal moving unit 21 moves to the Y table 21a that moves in the Y-axis direction with respect to the base 11 by the operation of the Y table drive motor My, and to the Y table 21a by the operation of the X table drive motor Mx. The X table 21b that moves in the X axis direction, the θ table 21c that rotates around the Z axis with respect to the X table 21b, the base table 21d that is fixed to the upper surface of the θ table 21c, and the upper surface of the base table 21d that extends upward It consists of a plurality of lift table guides 21e provided.

図2及び図3において、昇降部22は、水平移動部21の複数の昇降テーブルガイド21eにガイドされてベーステーブル21dに対して昇降する昇降テーブル22a及び昇降テーブル22aの上面から上方に延びて設けられた複数の下受けユニット昇降ガイド22bから成る。   2 and 3, the elevating unit 22 is provided to extend upward from the upper surface of the elevating table 22a and the elevating table 22a which are guided by a plurality of elevating table guides 21e of the horizontal moving unit 21 and elevate with respect to the base table 21d. And a plurality of support unit lifting guides 22b.

図2及び図3において、コンベア部23は下受けユニット昇降ガイド22bの上端に取り付けられて昇降テーブル22aとともにベーステーブル21dに対して昇降する前後一対のベルトコンベア支持部材23aと、各ベルトコンベア支持部材23aに支持された前後一対のベルトコンベア23bから成っており、これら前後のベルトコンベア23bが同期して作動することにより、基板2のX軸方向への搬送がなされる。   2 and 3, the conveyor unit 23 is attached to the upper end of the lower support unit elevating guide 22b, and a pair of front and rear belt conveyor supporting members 23a that elevate with respect to the base table 21d together with the elevating table 22a, and each belt conveyor supporting member. A pair of front and rear belt conveyors 23b supported by 23a is provided, and the front and rear belt conveyors 23b are operated in synchronization to carry the substrate 2 in the X-axis direction.

図2及び図3において、基板支持部24は、コンベア部23の下方において、下受けユニット昇降ガイド22bにガイドされて昇降する下受けユニット支持テーブル24a及び下受けユニット支持テーブル24aの上面に設けられた下受けユニット24bから成り、下受けユニット24bの上面には複数の下受けピン24cが上方に延びて設けられている。基板支持部24は、下受けユニット24bが下受けユニット支持テーブル24aとともに昇降テーブル22aに対して昇降し、複数の下受けピン24cを前後のベルトコンベア23bによって両端が支持された基板2の下面に当接させることによって基板2を下方から支持する。   2 and 3, the substrate support portion 24 is provided below the conveyor portion 23 on the upper surface of the lower support unit support table 24a and the lower support unit support table 24a which are guided by the lower support unit lifting guide 22b. The lower receiving unit 24b is provided with a plurality of lower receiving pins 24c extending upward. The substrate support unit 24 is configured such that the lower support unit 24b moves up and down with respect to the lift table 22a together with the lower support unit support table 24a, and a plurality of the lower support pins 24c are supported on the lower surface of the substrate 2 supported at both ends by the front and rear belt conveyors 23b. The substrate 2 is supported from below by making contact.

図2及び図3において、基板クランプ部25は、コンベア部23が備える前後のベルトコンベア支持部材23aそれぞれの上部にY軸方向に移動自在に設けられた前後一対のクランプ部材25a(図1も参照)から成り、前後のベルトコンベア23bによって両端部が支持され、下受けユニット24bによって下面が支持された基板2のY軸方向の両側部(両端面)を基板2の外方から挟んでクランプする。   2 and 3, the substrate clamp portion 25 is a pair of front and rear clamp members 25a provided on the upper portions of the front and rear belt conveyor support members 23a provided in the conveyor portion 23 so as to be movable in the Y-axis direction (see also FIG. 1). ), Both ends of the substrate 2 supported by the front and rear belt conveyors 23b and the lower surface of the substrate 2 are supported by the lower receiving unit 24b. .

図1及び図2において、基板保持移動ユニット12を構成するコンベア部23の上流側には前後一対のベルトコンベア26aから成る基板搬入コンベア26が設けられており、コンベア部23の下流側には前後一対のベルトコンベア27aから成る基板搬出コンベア27が設けられている。基板搬入コンベア26は、スクリーン印刷機1の外部(上流側)から投入された基板2を搬入して基板保持移動ユニット12のコンベア部23に受け渡し、基板搬出コンベア27は、基板保持移動ユニット12のコンベア部23から受け渡された基板2をスクリーン印刷機1の外部に搬出する。このように、基板搬入コンベア26、基板保持移動ユニット12のコンベア部23及び基板搬出コンベア27は基板2の搬送を行う基板搬送路28(図1)として機能する。   In FIG. 1 and FIG. 2, a substrate carry-in conveyor 26 comprising a pair of front and rear belt conveyors 26 a is provided on the upstream side of the conveyor unit 23 constituting the substrate holding and moving unit 12, and the downstream side of the conveyor unit 23 is A substrate carry-out conveyor 27 comprising a pair of belt conveyors 27a is provided. The substrate carry-in conveyor 26 carries in the substrate 2 input from the outside (upstream side) of the screen printing machine 1 and delivers it to the conveyor unit 23 of the substrate holding and moving unit 12. The substrate 2 delivered from the conveyor unit 23 is carried out of the screen printer 1. As described above, the substrate carry-in conveyor 26, the conveyor unit 23 of the substrate holding and moving unit 12 and the substrate carry-out conveyor 27 function as a substrate carrying path 28 (FIG. 1) for carrying the substrate 2.

図1及び図2において、基台11上には基板搬入コンベア26及び基板搬出コンベア27をそれぞれY軸方向に跨ぐ一対の門型フレーム31が設けられており、これら一対の門型フレーム31によってマスクホルダ32が支持されている。   In FIG. 1 and FIG. 2, a pair of portal frames 31 are provided on the base 11 so as to straddle the substrate carry-in conveyor 26 and the substrate carry-out conveyor 27 in the Y-axis direction. The holder 32 is supported.

図2、図3及び図4において、マスクホルダ32は、門型フレーム31に両端が取り付けられて基板保持移動ユニット12の上方をX軸方向に延びて配置された前後一対のガイド部材33と、一対のガイド部材33上をY軸方向に延びて設けられた左右一対のマスク支持レール34とから成る。マスク13はマスクホルダ32が備える左右一対のマスク支持レール34によって左右両端が支持されて基板保持移動ユニット12の上方に水平姿勢に保持される。   2, 3, and 4, the mask holder 32 includes a pair of front and rear guide members 33 that are attached to the gate-type frame 31 and extend in the X-axis direction above the substrate holding and moving unit 12. It consists of a pair of left and right mask support rails 34 extending in the Y-axis direction on a pair of guide members 33. The mask 13 is held in a horizontal position above the substrate holding and moving unit 12 with both left and right ends supported by a pair of left and right mask support rails 34 provided in the mask holder 32.

図1及び図4において、マスク13は平面視において矩形の枠状部材から成るマスク枠13wによって四辺が支持されており、マスク枠13wによって囲まれた矩形の領域には、基板2上の複数の電極3に対応した多数の開口部13a(パターン孔)が設けられている。すなわちマスク13は、基板2上の電極3の配置に応じた複数の開口部13aが設けられた構成となっている。   In FIG. 1 and FIG. 4, the mask 13 is supported by a mask frame 13w made of a rectangular frame-like member in plan view, and a rectangular region surrounded by the mask frame 13w has a plurality of areas on the substrate 2. A large number of openings 13a (pattern holes) corresponding to the electrodes 3 are provided. That is, the mask 13 has a configuration in which a plurality of openings 13 a corresponding to the arrangement of the electrodes 3 on the substrate 2 are provided.

図1において、基板2の対角位置には2つ一組の基板側位置合わせ用マークmkが設けられている。一方、図4において、マスク13には、基板側位置合わせ用マークmkに対応して配置された2つ一組のマスク側位置合わせ用マークMKが設けられている。これら基板側位置合わせ用マークmkとマスク側位置合わせ用マークMKとが平面視において一致する状態で基板2をマスク13に接触させると、基板2の電極3とマスク13の開口部13aとが合致した状態となる。   In FIG. 1, two sets of substrate side alignment marks mk are provided at diagonal positions of the substrate 2. On the other hand, in FIG. 4, the mask 13 is provided with a pair of mask side alignment marks MK arranged in correspondence with the substrate side alignment marks mk. When the substrate 2 is brought into contact with the mask 13 in a state where the substrate-side alignment mark mk and the mask-side alignment mark MK match in plan view, the electrode 3 of the substrate 2 and the opening 13a of the mask 13 match. It will be in the state.

図2及び図3において、一対の門型フレーム31には、X軸方向に延びたX軸ステージ35の両端部がY軸方向にスライド自在に支持されている。X軸ステージ35上にはカメラ支持ステージ36がX軸方向に移動自在に設けられており、カメラ支持ステージ36には前述のカメラユニット15が取り付けられている。カメラユニット15は、撮像視野を下方に向けた第1カメラ15aと撮像視野を上方に向けた第2カメラ15bを備えている。   2 and 3, the pair of portal frames 31 support both ends of an X-axis stage 35 extending in the X-axis direction so as to be slidable in the Y-axis direction. A camera support stage 36 is provided on the X-axis stage 35 so as to be movable in the X-axis direction. The camera unit 15 is attached to the camera support stage 36. The camera unit 15 includes a first camera 15a whose imaging field is directed downward and a second camera 15b whose imaging field is directed upward.

図1及び図2において、一対の門型フレーム31にはX軸方向に延びたスキージベース37の両端が支持されており、スキージベース37はマスク13の上方で門型フレーム31に沿って水平面内方向(Y軸方向)に往復移動自在となっている。   In FIG. 1 and FIG. 2, both ends of a squeegee base 37 extending in the X-axis direction are supported by a pair of portal frames 31, and the squeegee base 37 is positioned in a horizontal plane along the portal frame 31 above the mask 13. It can freely reciprocate in the direction (Y-axis direction).

図1、図2及び図3において、スキージベース37の上面中央部のY軸方向に対向する位置には2つのスキージ昇降シリンダ38が設けられている。これら2つのスキージ昇降シリンダ38からはそのピストンロッドから成るスキージ昇降軸38aがスキージベース37を上下方向に貫通して下方に延びている。   1, 2, and 3, two squeegee raising / lowering cylinders 38 are provided at positions in the center of the upper surface of the squeegee base 37 that face each other in the Y-axis direction. From these two squeegee raising / lowering cylinders 38, a squeegee raising / lowering shaft 38a comprising a piston rod extends through the squeegee base 37 in the vertical direction and extends downward.

図2及び図3において、各スキージ昇降シリンダ38が備えるスキージ昇降軸38aの下端にはX軸方向に延びたスキージ取り付け部であるスキージホルダ39が設けられており、各スキージホルダ39の下部には、スキージホルダ39に沿ってX軸方向に延びた「へら」状の部材から成る前述のスキージ14が着脱自在に取り付けられている。   2 and 3, a squeegee holder 39 that is a squeegee mounting portion extending in the X-axis direction is provided at the lower end of the squeegee lifting shaft 38 a provided in each squeegee lifting cylinder 38. The above-described squeegee 14 made of a “spar” -like member extending in the X-axis direction along the squeegee holder 39 is detachably attached.

各スキージ昇降シリンダ38によりスキージ昇降軸38aが下方に突没作動されると、スキージ昇降軸38aの下端部に取り付けられたスキージホルダ39が(したがってスキージ14が)、スキージベース37に対して昇降する。すなわち各スキージホルダ39は(各スキージ14は)、スキージベース37に設けられたアクチュエータであるスキージ昇降シリンダ38によって、スキージベース37の下方で昇降される構成となっている。なお、マスク13とスキージベース37の上下方向の間隔は変化しないので、スキージ昇降軸38aを作動させると、スキージホルダ39(スキージ14)はマスク13に対して昇降することになる。   When the squeegee elevating shaft 38a is projected and retracted downward by each squeegee elevating cylinder 38, the squeegee holder 39 attached to the lower end of the squeegee elevating shaft 38a (and hence the squeegee 14) moves up and down with respect to the squeegee base 37. . That is, each squeegee holder 39 (each squeegee 14) is configured to be raised and lowered below the squeegee base 37 by a squeegee lifting cylinder 38 that is an actuator provided on the squeegee base 37. Since the vertical distance between the mask 13 and the squeegee base 37 does not change, the squeegee holder 39 (squeegee 14) moves up and down with respect to the mask 13 when the squeegee lifting shaft 38a is operated.

基板2の搬送を行う基板搬送路28としての基板搬入コンベア26、基板保持移動ユニット12のコンベア部23及び基板搬出コンベア27の各動作は、基台11内に設けられた制御装置40(図5)の作業実行制御部40a(図5)が図示しないアクチュエータ等から成る基板搬送路作動機構41(図5)の作動制御を行うことによってなされる。   Each operation of the substrate carry-in conveyor 26 as the substrate carrying path 28 for carrying the substrate 2, the conveyor unit 23 of the substrate holding and moving unit 12, and the substrate carry-out conveyor 27 is controlled by a control device 40 (FIG. 5) provided in the base 11. The work execution control unit 40a (FIG. 5) performs operation control of the substrate transport path operation mechanism 41 (FIG. 5) including an actuator (not shown).

基板保持移動ユニット12の水平移動部21の作動(Yテーブル21aのY軸方向への移動、Yテーブル21aに対するXテーブル21bのX軸方向への移動及びXテーブル21bに対するθテーブル21cの(すなわちベーステーブル21dの)Z軸回りの回転)は、制御装置40の作業実行制御部40aが前述のYテーブル駆動モータMyやXテーブル駆動モータMxを含むアクチュエータ等から成る水平面内方向移動機構42(図5)の作動制御を行うことによってなされる。   Actuation of the horizontal movement unit 21 of the substrate holding and moving unit 12 (movement of the Y table 21a in the Y-axis direction, movement of the X table 21b in the X-axis direction relative to the Y table 21a, and movement of the θ table 21c relative to the X table 21b (ie, the base The rotation of the table 21d around the Z axis) is performed by the work execution control unit 40a of the control device 40 in the horizontal plane inward movement mechanism 42 (FIG. 5) including the actuator including the Y table drive motor My and the X table drive motor Mx described above. ).

基板保持移動ユニット12の昇降部22の作動(ベーステーブル21dに対する昇降テーブル22aの昇降)動作は、制御装置40の作業実行制御部40aが図示しないアクチュエータ等から成る上下方向移動機構43(図5)の作動制御を行うことによってなされる。   The operation of the lifting / lowering unit 22 of the substrate holding / moving unit 12 (the lifting / lowering of the lifting / lowering table 22a with respect to the base table 21d) is performed by the work execution control unit 40a of the control device 40 in the up-and-down direction moving mechanism 43 (FIG. 5) including an actuator (not shown). This is done by performing the operation control.

基板保持移動ユニット12の下受けユニット24bの昇降動作、すなわち昇降テーブル22aに対する下受けユニット支持テーブル24aの昇降動作は、制御装置40の作業実行制御部40aが図示しないアクチュエータ等から成る下受けユニット昇降機構44(図5)の作動制御を行うことによってなされる。   The raising / lowering operation of the lower receiving unit 24b of the substrate holding / moving unit 12, that is, the raising / lowering operation of the lower receiving unit support table 24a with respect to the raising / lowering table 22a is performed by the work execution control unit 40a of the control device 40. This is done by controlling the operation of the mechanism 44 (FIG. 5).

基板保持移動ユニット12の基板クランプ部25の作動(前後のクランプ部材25aの開閉作動)による基板2のクランプ及びその解除動作は、制御装置40の作業実行制御部40aが図示しないアクチュエータ等から成る基板クランプ部作動機構45(図5)の作動制御を行うことによってなされる。   Clamping and releasing operation of the substrate 2 by the operation of the substrate clamping unit 25 of the substrate holding and moving unit 12 (opening and closing operation of the front and rear clamp members 25a) is performed by the work execution control unit 40a of the control device 40 including an actuator (not shown). This is done by controlling the operation of the clamp portion operating mechanism 45 (FIG. 5).

基板保持移動ユニット12は、後述するように、一対のクランプ部材25aにより基板2をクランプした状態で基板2を上昇させ、基板2上の電極3とマスク13の開口部13aとが合致するように基板2及び一対のクランプ部材25aの上面をマスク13の下面に接触させるように動作される。   As will be described later, the substrate holding and moving unit 12 raises the substrate 2 in a state where the substrate 2 is clamped by a pair of clamp members 25a, so that the electrode 3 on the substrate 2 and the opening 13a of the mask 13 match. The substrate 2 and the upper surfaces of the pair of clamp members 25 a are operated so as to contact the lower surface of the mask 13.

カメラユニット15の水平面内での移動動作(一対の門型フレーム31に対するX軸ステージ35のY軸方向への移動動作及びX軸ステージ35に対するカメラ支持ステージ36のX軸方向への移動動作)は、制御装置40の作業実行制御部40aが図示しないアクチュエータから成るカメラユニット移動機構46(図5)の作動制御を行うことによってなされる。   The movement operation of the camera unit 15 in the horizontal plane (the movement operation of the X-axis stage 35 in the Y-axis direction with respect to the pair of portal frames 31 and the movement operation of the camera support stage 36 in the X-axis direction with respect to the X-axis stage 35) The work execution control unit 40a of the control device 40 controls the operation of the camera unit moving mechanism 46 (FIG. 5) including an actuator (not shown).

前後のスキージ14をY軸方向に往復移動させるスキージベース37の作動制御は、制御装置40の作業実行制御部40aが図示しないアクチュエータ等から成るスキージベース移動機構47(図5)の制御を行うことによってなされる。また、各スキージ14のスキージベース37に対する昇降動作は、制御装置40の作業実行制御部40aがスキージベース37の上部に取り付けられた2つのスキージ昇降シリンダ38の作動制御を行うことによってなされる。   The operation control of the squeegee base 37 for reciprocating the front and rear squeegees 14 in the Y-axis direction is performed by the work execution control unit 40a of the control device 40 controlling the squeegee base moving mechanism 47 (FIG. 5) including an actuator (not shown). Made by. In addition, the ascending / descending operation of each squeegee 14 with respect to the squeegee base 37 is performed when the work execution control unit 40 a of the control device 40 controls the operation of the two squeegee elevating cylinders 38 attached to the upper part of the squeegee base 37.

カメラユニット15を構成する第1カメラ15aは、制御装置40の作業実行制御部40aに制御されて、基板保持移動ユニット12の基板支持部24及び基板クランプ部25から成る基板保持部によって保持された基板2の基板側位置合わせ用マークmkの撮像を行い、第2カメラ15bは、制御装置40の作業実行制御部40aに制御されて、マスク13に設けられたマスク側位置合わせ用マークMKの撮像を行う。第1カメラ15aの撮像によって得られた画像データと第2カメラ15bの撮像によって得られた画像データはともに制御装置40に入力され、画像認識部40b(図5)において画像認識処理がなされる。   The first camera 15 a constituting the camera unit 15 is controlled by the work execution control unit 40 a of the control device 40 and is held by the substrate holding unit including the substrate support unit 24 and the substrate clamp unit 25 of the substrate holding and moving unit 12. The substrate 2 alignment mark mk of the substrate 2 is imaged, and the second camera 15 b is controlled by the work execution control unit 40 a of the control device 40 to image the mask side alignment mark MK provided on the mask 13. I do. Both the image data obtained by imaging with the first camera 15a and the image data obtained by imaging with the second camera 15b are input to the control device 40, and image recognition processing is performed in the image recognition unit 40b (FIG. 5).

図5に示すように、スクリーン印刷機1には制御装置40に繋がる入出力装置としてのタッチパネル48が設けられており、オペレータOPは、このタッチパネル48から所定の操作を行うことにより、スクリーン印刷機1によるスクリーン印刷動作を行わせる操作や、実行中のスクリーン印刷機作業を停止させる操作等を行うことができるようになっている。   As shown in FIG. 5, the screen printing machine 1 is provided with a touch panel 48 as an input / output device connected to the control device 40, and the operator OP performs a predetermined operation from the touch panel 48, whereby the screen printing machine 1 The operation for performing the screen printing operation by 1 and the operation for stopping the screen printing machine operation being performed can be performed.

図2及び図3に示すように、各スキージ昇降シリンダ38の内部には、そのスキージ昇降シリンダ38のピストンロッドであるスキージ昇降軸38aの下方へのストロークを検出することによってスキージベース37に対するスキージホルダ39の位置(スキージホルダ39の代表点の位置。例えば、スキージホルダ39の上面の位置)を検出するホルダ位置検出センサ50が設けられており、各ホルダ位置検出センサ50によるスキージベース37に対する各スキージホルダ39の位置の情報は制御装置40に入力されるようになっている(図5)。   As shown in FIGS. 2 and 3, each squeegee lifting cylinder 38 has a squeegee holder for the squeegee base 37 by detecting a downward stroke of a squeegee lifting shaft 38 a that is a piston rod of the squeegee lifting cylinder 38. A holder position detection sensor 50 for detecting the position 39 (the position of the representative point of the squeegee holder 39. For example, the position of the upper surface of the squeegee holder 39) is provided, and each squeegee with respect to the squeegee base 37 by each holder position detection sensor 50 is provided. Information on the position of the holder 39 is input to the control device 40 (FIG. 5).

制御装置40のホルダ位置検出部40c(図5)は、ホルダ位置検出センサ50によって検出されるスキージベース37に対するスキージホルダ39の位置に基づいて、スキージホルダ39が、スキージホルダ39に取り付けられたスキージ14がクランプ部材25aの上面(マスク13に接触したクランプ部材25aの上面)に当接する当接位置PG(図6及び図7)に位置しているか否かの検出を行う。そして、制御装置40の作業実行制御部40aは、スキージ14をマスク13の上面に当接させるためにスキージホルダ39を下降させているときに、ホルダ位置検出部40cによってスキージホルダ39が当接位置PGに位置した(スキージホルダ39が当接位置PGに到達した)ことが検出されたとき(図6(a)及び図7(b))には、スキージ昇降シリンダ38に作動停止信号(スキージホルダ39の下降停止信号)を出力して、スキージホルダ39の下降を停止させるようになっている。   The holder position detection unit 40 c (FIG. 5) of the control device 40 is configured so that the squeegee holder 39 is attached to the squeegee holder 39 based on the position of the squeegee holder 39 relative to the squeegee base 37 detected by the holder position detection sensor 50. It is detected whether or not 14 is located at a contact position PG (FIGS. 6 and 7) that contacts the upper surface of the clamp member 25a (the upper surface of the clamp member 25a in contact with the mask 13). Then, when the squeegee holder 39 is lowered to bring the squeegee 14 into contact with the upper surface of the mask 13, the work execution control unit 40 a of the control device 40 causes the holder position detection unit 40 c to contact the squeegee holder 39. When it is detected that the squeegee holder 39 has reached the contact position PG (FIGS. 6A and 7B), an operation stop signal (squeegee holder) is sent to the squeegee lifting cylinder 38. 39), the descent of the squeegee holder 39 is stopped.

ここで、スキージホルダ39にスキージ14が取り付けられている状態である場合(図6(a))、クランプ部材25a(マスク13に接触したクランプ部材25a)の上方からスキージホルダ39を下降させると、スキージホルダ39が当接位置PGに位置した(スキージホルダ39が当接位置PGに到達した)ところで(図6(b))、スキージ14がクランプ部材25a(マスク13に接触したクランプ部材25a)の上面に当接する。このため、制御装置40のホルダ位置検出部40cによりスキージホルダ39が当接位置PGに位置したことが検出された時点で制御装置40の作動実行制御部40aがスキージ昇降シリンダ38の作動停止信号(スキージホルダ39の下降停止信号)を出力すると、スキージホルダ39は当接位置PGで停止し、そこにとどまることになる(図6(c))。したがって制御装置40は、スキージホルダ39の下降停止信号を出力したときから一定時間経過した後においても、スキージホルダ39が当接位置PGに位置している状態を検知することになる。   Here, when the squeegee 14 is attached to the squeegee holder 39 (FIG. 6A), when the squeegee holder 39 is lowered from above the clamp member 25a (the clamp member 25a in contact with the mask 13), When the squeegee holder 39 is located at the contact position PG (the squeegee holder 39 has reached the contact position PG) (FIG. 6B), the squeegee 14 is attached to the clamp member 25a (the clamp member 25a contacting the mask 13). Abuts the top surface. For this reason, when the holder position detection unit 40c of the control device 40 detects that the squeegee holder 39 is positioned at the contact position PG, the operation execution control unit 40a of the control device 40 detects the operation stop signal ( When the squeegee holder 39 lowering stop signal) is output, the squeegee holder 39 stops at the contact position PG and stays there (FIG. 6C). Accordingly, the control device 40 detects a state in which the squeegee holder 39 is located at the contact position PG even after a predetermined time has elapsed since the descent stop signal of the squeegee holder 39 was output.

これに対し、例えば、オペレータOPがスキージホルダ39にスキージ14を取り付け忘れるなどしてスキージホルダ39にスキージ14が取り付けられていない状態である場合(図7(a))、クランプ部材25aの上方からスキージホルダ39を下降させても、スキージホルダ39が当接位置PGに位置したところで(図7(b))、スキージ14がクランプ部材25aの上面に当接することはない。このため、制御装置40のホルダ位置検出部40cによりスキージホルダ39が当接位置PGに位置したことが検出された時点で、制御装置40の作動実行制御部40aがスキージ昇降シリンダ38の作動停止信号(スキージホルダ39の下降停止信号)を出力しても、スキージホルダ39は当接位置PGでは停止せず、当接位置PGを下方に超えた位置において停止することになる(図7(c))。したがって、制御装置40は、スキージホルダ39の下降停止信号を出力したときから一定時間経過した後では、スキージホルダ39が当接位置PGに位置していない状態を検知することになる。なお、図7(a),(b),(c)中には、実際には取り付けられていないスキージ14を破線によって示している。   On the other hand, for example, when the operator OP forgets to attach the squeegee 14 to the squeegee holder 39 and the squeegee 14 is not attached to the squeegee holder 39 (FIG. 7A), from above the clamp member 25a. Even when the squeegee holder 39 is lowered, when the squeegee holder 39 is positioned at the contact position PG (FIG. 7B), the squeegee 14 does not contact the upper surface of the clamp member 25a. Therefore, when the holder position detection unit 40c of the control device 40 detects that the squeegee holder 39 is located at the contact position PG, the operation execution control unit 40a of the control device 40 detects the operation stop signal of the squeegee lifting cylinder 38. Even if (the squeegee holder 39 lowering stop signal) is output, the squeegee holder 39 does not stop at the contact position PG, but stops at a position beyond the contact position PG (FIG. 7C). ). Therefore, the control device 40 detects a state in which the squeegee holder 39 is not positioned at the contact position PG after a predetermined time has elapsed since the descent stop signal of the squeegee holder 39 was output. In FIGS. 7A, 7B, and 7C, the squeegee 14 that is not actually attached is indicated by a broken line.

制御装置40は、スキージホルダ39の下降を停止させた後、ホルダ位置検出部40cによって、所定時間(この所定時間は数マイクロ秒程度の時間とする)を経過した後にスキージホルダ39が当接位置PGに位置していることが検出された場合には、スキージホルダ39にスキージ14が取り付けられているとして、マスク13の開口部13aを介した基板2上の電極3へのペーストPstの転写を行う。このペーストPstの転写は、具体的には、後述するように、スキージ14がマスク13上(クランプ部材25aと接触したマスク13上)に当接している状態から、スキージベース37を水平面内方向(Y軸方向)に移動させることにより、スキージ14をマスク13上で摺動させ、マスク13上に供給したペーストPstをスキージ14で掻き寄せることによって行う。   After the controller 40 stops the descent of the squeegee holder 39, the holder position detection unit 40c causes the squeegee holder 39 to be in a contact position after a predetermined time (this predetermined time is about several microseconds). If the squeegee 14 is detected to be positioned on the PG, it is assumed that the squeegee 14 is attached to the squeegee holder 39, and the transfer of the paste Pst to the electrode 3 on the substrate 2 is performed via the opening 13a of the mask 13. Do. Specifically, the transfer of the paste Pst is performed by moving the squeegee base 37 in the horizontal plane direction from the state in which the squeegee 14 is in contact with the mask 13 (on the mask 13 in contact with the clamp member 25a), as will be described later. The squeegee 14 is slid on the mask 13 by moving in the Y axis direction), and the paste Pst supplied on the mask 13 is scraped by the squeegee 14.

一方、制御装置40は、スキージホルダ39の下降を停止させた後、ホルダ位置検出部40cによって、上記所定時間が経過した後にスキージホルダ39が当接位置PGに位置していないことが検出された場合には、スキージホルダ39にスキージ14が取り付けられていないとして、その旨の情報(エラー情報)を、前述のタッチパネル48等を用いてオペレータOPに報知する。   On the other hand, after stopping the descent of the squeegee holder 39, the control device 40 detects that the squeegee holder 39 is not located at the contact position PG after the predetermined time has elapsed by the holder position detection unit 40c. In this case, assuming that the squeegee 14 is not attached to the squeegee holder 39, information (error information) to that effect is notified to the operator OP using the touch panel 48 or the like.

このように本実施の形態において、タッチパネル48は、スキージホルダ39にスキージ14が取り付けられていない場合にその旨の報知を行う報知手段として機能する。   Thus, in the present embodiment, the touch panel 48 functions as an informing means for informing when the squeegee 14 is not attached to the squeegee holder 39.

次に、図8及び図9のフローチャート及び図10〜図14の説明図を加えてスクリーン印刷機1によるスクリーン印刷作業の実行手順を説明する。ここで、図8はスクリーン印刷機1が実行するスクリーン印刷工程の流れを示すメインルーチンのフローチャートであり、図9はメインルーチンの中の一工程のサブルーチンのフローチャートである。   Next, the execution procedure of the screen printing operation by the screen printer 1 will be described with reference to the flowcharts of FIGS. 8 and 9 and the explanatory diagrams of FIGS. Here, FIG. 8 is a flowchart of a main routine showing the flow of the screen printing process executed by the screen printer 1, and FIG. 9 is a flowchart of a subroutine of one process in the main routine.

本実施の形態におけるスクリーン印刷機1によりスクリーン印刷作業を行う場合、制御装置40は先ず、このスクリーン印刷機1が備えるディスプレイ装置51(図5)を介した画像表示により、オペレータOPにペーストPstの供給を促す。オペレータOPは、現在マスク13上に残っているペーストPstを目視し、そのペーストPstの量に基づいてペーストPstの供給(補充)を行うべきかどうかの判断を行う。そして、ペーストPstの供給を行うべきと判断したときには、別途用意したペースト供給シリンジ(図示せず)により、マスク13上へのペーストPstの供給を行い、ペーストPstの供給が終わったら、このスクリーン印刷機1が備える動作開始ボタン52(図5)の操作を行う。オペレータOPは、ペーストPstの供給が不要と判断した場合においても、動作開始ボタン52の操作を行う。   When screen printing work is performed by the screen printer 1 in the present embodiment, the control device 40 first displays the paste Pst on the operator OP by displaying an image via the display device 51 (FIG. 5) provided in the screen printer 1. Encourage supply. The operator OP visually checks the paste Pst remaining on the mask 13 and determines whether or not to supply (supplement) the paste Pst based on the amount of the paste Pst. When it is determined that the paste Pst should be supplied, the paste Pst is supplied onto the mask 13 by a separately prepared paste supply syringe (not shown), and when the supply of the paste Pst is finished, the screen printing is performed. The operation start button 52 (FIG. 5) provided in the machine 1 is operated. The operator OP operates the operation start button 52 even when it is determined that the supply of the paste Pst is unnecessary.

制御装置40はオペレータOPによって動作開始ボタン52が操作されたことを検知したら、基板搬入コンベア26とコンベア部23を連動作動させ、スクリーン印刷機1の上流側に設置された他の装置から送られてきた基板2をスクリーン印刷機1内に搬入したうえで、基板2をコンベア部23上の所定の作業位置に静止させる(図10(a)。図8に示すステップST1の基板搬入工程)。   When the control device 40 detects that the operation start button 52 has been operated by the operator OP, the control device 40 operates the substrate carry-in conveyor 26 and the conveyor unit 23 in conjunction with each other and is sent from another device installed on the upstream side of the screen printing machine 1. After the board | substrate 2 which came in is carried in in the screen printer 1, the board | substrate 2 is made still at the predetermined work position on the conveyor part 23 (FIG. 10 (a). Board | substrate carrying-in process of step ST1 shown in FIG. 8).

制御装置40は、ステップST1の基板搬入工程が終了したら、前後のクランプ部材25aを閉作動させて、コンベア部23上の基板2をY軸方向からクランプする(図10(b)。図中に示す矢印A1)。そして、昇降テーブル22aをベーステーブル21dに対する下降位置に位置させたまま、下受けユニット24bを上昇させる(図10(c)中に示す矢印B1)。   When the substrate carrying-in process in step ST1 is completed, the control device 40 closes the front and rear clamping members 25a and clamps the substrate 2 on the conveyor unit 23 from the Y-axis direction (FIG. 10B). Arrow A1) shown. Then, the lower receiving unit 24b is raised while the lifting table 22a is positioned at the lowered position with respect to the base table 21d (arrow B1 shown in FIG. 10C).

制御装置40は、下受けユニット24bを上昇させることによって、下受けユニット24bの下受けピン24cを基板2の中央部の下面に下方から当接させて基板2を上方に押し上げ、基板2の両端部を前後のベルトコンベア23bから上方に離間させ、かつ、基板2の両端部(両側面)を前後のクランプ部材25aに対して摺動させながら基板2を上方に移動させる。そして、基板2の上面の高さがクランプ部材25aの上面と同じ高さとなったところで下受けユニット24bの上昇を停止させる。これにより基板2は基板保持部(基板支持部24及び基板クランプ部25)によって保持された状態となる(図10(c)。図8に示すステップST2の基板保持工程)。   The control device 40 raises the lower receiving unit 24b to bring the lower receiving pin 24c into contact with the lower surface of the central part of the substrate 2 from below to push the substrate 2 upward. The substrate 2 is moved upward while the both ends (both sides) of the substrate 2 are slid with respect to the front and rear clamp members 25a. And when the height of the upper surface of the board | substrate 2 becomes the same height as the upper surface of the clamp member 25a, the raise of the receiving unit 24b is stopped. As a result, the substrate 2 is held by the substrate holding portion (the substrate support portion 24 and the substrate clamp portion 25) (FIG. 10C). The substrate holding step in step ST2 shown in FIG.

制御装置40は、ステップST2の基板保持工程が終了したら、カメラユニット移動機構46の作動制御を行い、X軸ステージ35をY軸方向に移動させるとともに、カメラ支持ステージ36をX軸方向に移動させることによって、第1カメラ15aを基板2に設けられた基板側位置合わせ用マークmkの直上に位置させる。そして、第1カメラ15aに基板側位置合わせ用マークmkの撮像を行わせてその画像データを取得し、基板2の位置を検出する(図11(a)。図8に示すステップST3の基板位置検出工程)。また制御装置40は、第2カメラ15bをマスク13に設けられたマスク側位置合わせ用マークMKの直下に位置させ、第2カメラ15bにマスク側位置合わせ用マークMKの撮像を行わせることによってその画像データを取得し、マスク13の位置を検出する(図11(b)。図8に示すステップST4のマスク位置検出工程)。   When the substrate holding process in step ST2 is completed, the control device 40 controls the operation of the camera unit moving mechanism 46, moves the X-axis stage 35 in the Y-axis direction, and moves the camera support stage 36 in the X-axis direction. Thus, the first camera 15a is positioned immediately above the substrate-side alignment mark mk provided on the substrate 2. Then, the first camera 15a is caused to image the board-side alignment mark mk to acquire the image data, and the position of the board 2 is detected (FIG. 11A). Board position of step ST3 shown in FIG. Detection step). Further, the control device 40 positions the second camera 15b immediately below the mask side alignment mark MK provided on the mask 13, and causes the second camera 15b to image the mask side alignment mark MK. Image data is acquired and the position of the mask 13 is detected (FIG. 11B) (mask position detection step of step ST4 shown in FIG. 8).

制御装置40は、ステップST4のマスク位置検出工程が終了したら、基板保持移動ユニット12が備える水平移動部21の作動制御を行って基板保持部(基板支持部24及び基板クランプ部25)により保持した基板2を水平面内方向に移動させ、基板側位置合わせ用マークmkとマスク側位置合わせ用マークMKが上下に対向するようにして、マスク13に対する基板2の水平面内方向の位置合わせを行う(図8に示すステップST5の位置合わせ工程)。   When the mask position detection process in step ST4 is completed, the control device 40 controls the operation of the horizontal moving unit 21 included in the substrate holding and moving unit 12 and holds it by the substrate holding unit (the substrate support unit 24 and the substrate clamp unit 25). The substrate 2 is moved in the horizontal plane direction so that the substrate-side alignment mark mk and the mask-side alignment mark MK are vertically opposed to each other to align the substrate 2 in the horizontal plane direction with respect to the mask 13 (FIG. Step ST5 alignment step shown in FIG.

制御装置40は、ステップST5の位置合わせ工程が終了したら、昇降テーブル22aをベーステーブル21dに対して上昇させることにより(図11(c)中に示す矢印C1)、基板2の上面(被印刷面)と両クランプ部材25aの上面をマスク13の下面に接触させる(図11(c)。図8に示すステップST6の接触工程)。これにより基板2の電極3とマスク13の開口部13aとが合致し、基板2はスキージ14によるペーストPstの転写作業が行われる位置に位置した状態となる。   When the positioning process of step ST5 is completed, the control device 40 raises the lifting table 22a with respect to the base table 21d (arrow C1 shown in FIG. 11C), whereby the upper surface of the substrate 2 (printed surface). And the upper surfaces of the clamp members 25a are brought into contact with the lower surface of the mask 13 (FIG. 11C), the contacting step of step ST6 shown in FIG. As a result, the electrode 3 of the substrate 2 and the opening 13a of the mask 13 coincide with each other, and the substrate 2 is in a state where the paste Pst is transferred by the squeegee 14.

制御装置40はステップST6の接触工程が終了したら、2つのスキージ14のうちの一方のスキージ14を下降させて、そのスキージ14の下端をマスク13のクランプ部材25a(2つのクランプ部材25aのうちの一方)と接触している部分に上方から当接させる(図12(a)→図12(b)。図8に示すステップST7のスキージ当接工程)。   When the contact process of step ST6 is completed, the control device 40 lowers one of the two squeegees 14 and moves the lower end of the squeegee 14 to the clamp member 25a of the mask 13 (of the two clamp members 25a). On the other hand, contact is made from above (FIG. 12 (a) → FIG. 12 (b). Squeegee contact step of step ST7 shown in FIG. 8).

このときマスク13に当接させるスキージ14は、スキージベース37が前方のクランプ部材25aの上方に位置しているときには(図12(a))、前方のスキージ14(図12(a),(b)における紙面左側のスキージ14)であり、スキージベース37が後方のクランプ部材25aの上方に位置しているときには、後方のスキージ14(図12(a),(b)における紙面右側のスキージ14)である。   When the squeegee 14 is in contact with the mask 13 at this time, when the squeegee base 37 is positioned above the front clamp member 25a (FIG. 12A), the front squeegee 14 (FIGS. 12A and 12B). When the squeegee base 37 is positioned above the rear clamp member 25a, the rear squeegee 14 (the right squeegee 14 in FIGS. 12A and 12B). It is.

ここで、ステップST7のスキージ当接工程では、制御装置40は、図9のサブルーチンに示すように、先ず、作業実行制御部40aからスキージ昇降シリンダ38の作動制御を行ってスキージホルダ39を下降させる(図9に示すステップST21のホルダ下降工程)。   Here, in the squeegee contact process of step ST7, as shown in the subroutine of FIG. 9, the control device 40 first controls the operation of the squeegee lifting cylinder 38 from the work execution control unit 40a to lower the squeegee holder 39. (Holder lowering step of step ST21 shown in FIG. 9).

制御装置40は、スキージ14を下降させ始めたら、ホルダ位置検出部40cにおいて、ホルダ位置検出センサ50により検出されるスキージホルダ39の位置をモニターすることにより、現在下降させているスキージホルダ39が前述の当接位置PGに位置した(到達した)状態の検出を行う(図9に示すステップST22の当接位置到達検出工程)。   When the control device 40 starts to lower the squeegee 14, the holder position detection unit 40c monitors the position of the squeegee holder 39 detected by the holder position detection sensor 50, so that the squeegee holder 39 currently being lowered is described above. The state of (arrived) at the contact position PG is detected (contact position arrival detection step of step ST22 shown in FIG. 9).

制御装置40は、現在下降させているスキージホルダ39が当接位置PGに位置した(到達した)状態を検知したら、作業実行制御部40aからスキージ昇降シリンダ38の作動制御を行って、スキージホルダ39の下降を停止させる(図9に示すステップST23のホルダ下降停止工程)。   When the control device 40 detects that the squeegee holder 39 that is currently lowered is positioned (arrived) at the contact position PG, the control device 40 controls the operation of the squeegee lifting cylinder 38 from the work execution control unit 40a. Is stopped (holder lowering stop step of step ST23 shown in FIG. 9).

制御装置40は、ステップST23でスキージホルダ39の下降を停止させたら、図示しないタイマーによって時間計測を行いつつ、予め定めた所定時間待機する(図9に示すステップST24の下降停止後待機工程)。そして、スキージホルダ39の下降停止から所定時間が経過したら、ホルダ位置検出部40cにより、現在スキージホルダ39が当接位置PGに位置しているか否かの検出を行う(図9に示すステップST25のホルダ位置検出工程)。   After stopping the descent of the squeegee holder 39 in step ST23, the control device 40 waits for a predetermined time while measuring time with a timer (not shown) (standby step after descent stop in step ST24 shown in FIG. 9). When a predetermined time elapses after the squeegee holder 39 is lowered, the holder position detection unit 40c detects whether or not the squeegee holder 39 is currently in the contact position PG (in step ST25 shown in FIG. 9). Holder position detection step).

制御装置40は、ステップST25において、ホルダ位置検出部40cにより、スキージホルダ39が当接位置PGに位置していることが検出された場合(図6(c))には、スキージホルダ39にスキージ14が取り付けられているとして、このサブルーチンを抜けてメインルーチンに戻る。   When the holder position detection unit 40c detects that the squeegee holder 39 is located at the contact position PG (FIG. 6C), the control device 40 moves the squeegee holder 39 to the squeegee holder 39. 14 is attached, the process exits from this subroutine and returns to the main routine.

一方、制御装置40は、ステップST25において、ホルダ位置検出部40cにより、スキージホルダ39が当接位置PGに位置していないことが検出された場合(図7(c))には、スキージホルダ39にスキージ14が取り付けられていないとして、その旨の情報(エラー情報)を、前述のタッチパネル48を用いてオペレータOPに報知する(図9に示すステップST26の報知工程)。   On the other hand, when the squeegee holder 39 is not positioned at the contact position PG by the holder position detection unit 40c in step ST25 (FIG. 7C), the control device 40 squeegee holder 39. If the squeegee 14 is not attached, information (error information) to that effect is notified to the operator OP using the touch panel 48 described above (notification step of step ST26 shown in FIG. 9).

制御装置40は、ステップST26でオペレータOPへの報知を行ったら、作業実行制御部40aからスキージ昇降シリンダ38を作動させて、スキージホルダ39を上昇させる(図9に示すステップST27のホルダ上昇工程)。   After notifying the operator OP in step ST26, the control device 40 operates the squeegee lifting cylinder 38 from the work execution control unit 40a to raise the squeegee holder 39 (holder raising process in step ST27 shown in FIG. 9). .

オペレータOPは、タッチパネル48にスキージホルダ39にスキージ14が取り付けられていない旨の報知がなされた後、スキージホルダ39が上昇されたことを確認したら、スキージホルダ39にスキージ14を取り付け、タッチパネル48からスキージホルダ39にスキージ14を取り付けた旨を制御装置40に教示する所定の操作入力(スキージ取り付け終了操作入力)を行う。   When the operator OP confirms that the squeegee 14 is not attached to the squeegee holder 39 on the touch panel 48 and confirms that the squeegee holder 39 has been lifted, the operator OP attaches the squeegee 14 to the squeegee holder 39 and A predetermined operation input (squeegee attachment end operation input) for instructing the control device 40 that the squeegee 14 is attached to the squeegee holder 39 is performed.

制御装置40は、スキージホルダ39を上昇させた後、オペレータOPによってタッチパネル48に上記スキージ取り付け終了操作入力がなされるまで待機し(図9に示すステップST28の操作入力待機工程)、オペレータOPによってタッチパネル48にスキージ取り付け終了操作がなされたことを検知した場合には、ステップST21〜ステップST25の工程を再度実行する。これにより、最初スキージホルダ39にスキージ14が取り付けられていなかった場合であっても、オペレータOPによってスキージホルダ39にスキージ14が取り付けられることとなり、また、オペレータOPによってスキージホルダ39にスキージ14が取り付けられた後は、改めて行われるステップST21〜ステップST23の工程によって、スキージ14はマスク13に当接されることとなる。   After raising the squeegee holder 39, the control device 40 waits until the operator OP inputs the squeegee attachment end operation input to the touch panel 48 (operation input standby step in step ST28 shown in FIG. 9), and the operator OP touches the touch panel. If it is detected at 48 that the squeegee attachment end operation has been performed, the steps ST21 to ST25 are executed again. Thus, even if the squeegee 14 is not initially attached to the squeegee holder 39, the squeegee 14 is attached to the squeegee holder 39 by the operator OP, and the squeegee 14 is attached to the squeegee holder 39 by the operator OP. After being performed, the squeegee 14 is brought into contact with the mask 13 by the steps ST21 to ST23 performed again.

制御装置40は、スキージ14をマスク13の上面に当接させたら、スキージベース37を移動させる。ここで、マスク13に当接させたスキージ14が前方のスキージ14であればスキージベース37を後方に移動させ(図13(a)中に示す矢印D1)、マスク13に当接させたスキージ14が後方のスキージ14であればスキージベース37を前方に移動させる(図13(b)中に示す矢印D2)。   The control device 40 moves the squeegee base 37 when the squeegee 14 is brought into contact with the upper surface of the mask 13. Here, if the squeegee 14 in contact with the mask 13 is the front squeegee 14, the squeegee base 37 is moved backward (arrow D <b> 1 shown in FIG. 13A), and the squeegee 14 in contact with the mask 13. If is the rear squeegee 14, the squeegee base 37 is moved forward (arrow D2 shown in FIG. 13B).

これによりスキージ14はマスク13に対して相対移動(摺動)し、マスク13上のペーストPstはスキージ14のペースト掻き寄せ面で掻き寄せられてマスク13の開口部13a内に押し込まれるので、基板2の電極3上にペーストPstが転写された状態となる(図8に示すステップST8のペースト転写工程)。   As a result, the squeegee 14 moves (slids) relative to the mask 13, and the paste Pst on the mask 13 is scraped by the paste scraping surface of the squeegee 14 and pushed into the opening 13 a of the mask 13. The paste Pst is transferred onto the second electrode 3 (paste transfer step of step ST8 shown in FIG. 8).

制御装置40は、メインルーチンのステップST8のペースト転写工程が終了したら、スキージ14を上昇させて、スキージ14をマスク13から離間させる(図8に示すステップST9のスキージ離間工程)。   When the paste transfer process of step ST8 of the main routine is completed, the control device 40 raises the squeegee 14 and separates the squeegee 14 from the mask 13 (squeegee separation process of step ST9 shown in FIG. 8).

制御装置40は、ステップST9のスキージ離間工程が終了したら、昇降テーブル22aをベーステーブル21dに対して下降させ(図14(a)中に示す矢印C2)、マスク13から基板2を離間させる(図14(a))。これにより版離れが行われる(図8に示すステップST10の版離れ工程)。   When the squeegee separation process of step ST9 is completed, the control device 40 lowers the lifting table 22a with respect to the base table 21d (arrow C2 shown in FIG. 14A), and separates the substrate 2 from the mask 13 (FIG. 14 (a)). Thus, the plate separation is performed (the plate separation step of step ST10 shown in FIG. 8).

制御装置40は、ステップST10の版離れ工程が終了したら、基板クランプ部25を作動させて基板2のクランプを解除したうえで(図14(b)中に示す矢印A2)、下受けユニット24bを昇降テーブル22aに対して下降させる(図14(c)中に示す矢印B2)。これにより基板2はコンベア部23上に降ろされて基板保持部(基板支持部24及び基板クランプ部25)による基板2の保持が解除される(図14(c)。図8に示すステップST11の基板保持解除工程)。   When the plate separation process of step ST10 is completed, the control device 40 operates the substrate clamp unit 25 to release the clamp of the substrate 2 (arrow A2 shown in FIG. 14B), and then moves the receiving unit 24b. The lift table 22a is lowered (arrow B2 shown in FIG. 14C). Thereby, the board | substrate 2 is dropped on the conveyor part 23, and the holding | maintenance of the board | substrate 2 by a board | substrate holding part (the board | substrate support part 24 and the board | substrate clamp part 25) is cancelled | released (FIG.14 (c)) of step ST11 shown in FIG. Substrate holding release step).

制御装置40は、ステップST11の基板保持解除工程が終了したら、基板保持移動ユニット12が備える水平移動部21を作動させ、基板搬出コンベア27に対するコンベア部23の位置調整を行ったうえで、コンベア部23と基板搬出コンベア27を連動作動させ、コンベア部23上の基板2を基板搬出コンベア27に受け渡してそのまま基板2をスクリーン印刷機1の外部に搬出する(図8に示すステップST12の基板搬出工程)。   When the substrate holding release process of step ST11 is completed, the control device 40 operates the horizontal moving unit 21 included in the substrate holding and moving unit 12 to adjust the position of the conveyor unit 23 with respect to the substrate carry-out conveyor 27, and then the conveyor unit 23 and the substrate carry-out conveyor 27 are operated in an interlocked manner, the substrate 2 on the conveyor unit 23 is transferred to the substrate carry-out conveyor 27, and the substrate 2 is directly carried out of the screen printing machine 1 (the substrate carry-out process of step ST12 shown in FIG. 8). ).

制御装置40は、ステップST12の基板搬出工程が終了したら、他にスクリーン印刷を施す基板2があるかどうかの判断を行う(図8に示すステップST13の基板有無判断工程)。その結果、他にスクリーン印刷を施す基板2があった場合にはステップST1に戻って新たな基板2の搬入を行い、他にスクリーン印刷を施す基板2がなかった場合には一連のスクリーン印刷作業を終了する。   When the substrate carry-out process in step ST12 is completed, the control device 40 determines whether there is another substrate 2 to be screen-printed (substrate presence determination process in step ST13 shown in FIG. 8). As a result, if there is another substrate 2 to be screen-printed, the process returns to step ST1 to carry in a new substrate 2, and if there is no other substrate 2 to be screen-printed, a series of screen printing operations. Exit.

スクリーン印刷機1から搬出された基板2は、スクリーン印刷機1の下流側に位置する部品装着機等の他の部品実装用装置(図示せず)に受け渡される。   The substrate 2 carried out from the screen printing machine 1 is delivered to another component mounting apparatus (not shown) such as a component mounting machine located on the downstream side of the screen printing machine 1.

以上説明したように、本実施の形態におけるスクリーン印刷機1は、スキージホルダ39が、スキージホルダ39に取り付けられたスキージ14がマスク13に接触したクランプ部材25aに当接する当接位置PGに位置しているか否かの検出を行うホルダ位置検出手段(ホルダ位置検出センサ50及び制御装置40のホルダ位置検出部40c)と、スキージ昇降シリンダ38の作動制御を行ってスキージホルダ39を下降させ、ホルダ位置検出手段によりスキージホルダ39が当接位置PGに位置したことが検出されたときにスキージホルダ39の下降を停止させるスキージ下降制御手段としての制御装置40の作業実行制御部40aと、スキージホルダ39の下降が停止されてから所定時間が経過した後、ホルダ位置検出手段によりスキージホルダ39が当接位置PGに位置していることが検出された場合には、スキージベース37を水平面内方向に移動させてマスク13の開口部13aを介した基板2上の電極3へのペーストPstの転写を行い、スキージホルダ39の下降が停止されてから所定時間が経過した後、ホルダ位置検出手段によりスキージホルダ39が当接位置PGに位置していないことが検出された場合には、報知手段であるタッチパネル48を介してスキージホルダ39にスキージ14が取り付けられていない旨の報知を行う制御手段(制御装置40)を備えたものとなっている。   As described above, in the screen printing machine 1 according to the present embodiment, the squeegee holder 39 is positioned at the contact position PG where the squeegee 14 attached to the squeegee holder 39 contacts the clamp member 25 a that contacts the mask 13. Holder position detecting means (holder position detecting sensor 50 and holder position detecting portion 40c of control device 40) and squeegee raising / lowering cylinder 38 are controlled to lower the squeegee holder 39 to detect the holder position. When the detection means detects that the squeegee holder 39 is located at the contact position PG, the work execution control unit 40a of the control device 40 as the squeegee lowering control means for stopping the squeegee holder 39 from descending, and the squeegee holder 39 After a predetermined time has elapsed since the descent was stopped, the holder position detecting means When it is detected that the jig holder 39 is located at the contact position PG, the squeegee base 37 is moved in the horizontal plane direction to paste the electrode 3 on the substrate 2 through the opening 13a of the mask 13. When Pst is transferred and a predetermined time has elapsed after the descent of the squeegee holder 39 is stopped, when the holder position detecting means detects that the squeegee holder 39 is not located at the contact position PG, Control means (control device 40) for notifying that the squeegee 14 is not attached to the squeegee holder 39 via the touch panel 48 as notification means is provided.

また、本実施の形態におけるスクリーン印刷方法は、上記スクリーン印刷機1によるスクリーン印刷方法であり、スキージ昇降シリンダ38の作動制御を行ってスキージホルダ39を下降させ、ホルダ位置検出手段によりスキージホルダ39が当接位置PGに位置したことが検出されたときにスキージホルダ39の下降を停止させる工程(ステップST21〜ステップST23の工程)と、スキージホルダ39の下降を停止させてから所定時間が経過した後、ホルダ位置検出手段によりスキージホルダ39が当接位置PGに位置していることが検出された場合に、スキージベース37を水平面内方向に移動させてマスク13の開口部13aを介した基板2上の電極3へのペーストPstの転写を行う工程(ステップST24、ステップST25及びステップST8)と、スキージホルダ39の下降を停止させてから所定時間が経過した後、ホルダ位置検出手段によりスキージホルダ39が当接位置PGに位置していないことが検出された場合に、スキージホルダ39にスキージ14が取り付けられていない旨の報知を行う工程(ステップST24、ステップST25及びステップST26)を含むものとなっている。   Further, the screen printing method in the present embodiment is a screen printing method by the screen printing machine 1, and the operation of the squeegee lifting cylinder 38 is controlled to lower the squeegee holder 39, and the squeegee holder 39 is moved by the holder position detecting means. A step of stopping the descent of the squeegee holder 39 when it is detected that the squeegee holder PG is located (steps ST21 to ST23), and a predetermined time after the descent of the squeegee holder 39 is stopped. When the holder position detecting means detects that the squeegee holder 39 is located at the contact position PG, the squeegee base 37 is moved in the horizontal plane direction on the substrate 2 through the opening 13a of the mask 13. Step of transferring the paste Pst to the electrode 3 (step ST24, step ST2 And step ST8), and when a predetermined time has elapsed after stopping the descent of the squeegee holder 39, and when the holder position detecting means detects that the squeegee holder 39 is not positioned at the contact position PG, This includes a step of notifying that the squeegee 14 is not attached to the holder 39 (step ST24, step ST25 and step ST26).

本実施の形態におけるスクリーン印刷機1及びスクリーン印刷方法では、下降させているスキージホルダ39が当接位置PGに位置したことが検出されたときにスキージホルダ39の下降を停止させるが、それから所定時間が経過した後、スキージホルダ39が当接位置PGに位置していないことが検出された場合には、スキージホルダ39にスキージ14が取り付けられていないとしてその旨の報知を行うようになっているので、スキージホルダ39にスキージ14が取り付けられていない状態でスクリーン印刷を開始してしまうことが防止でき、基板2の生産性の低下を防ぐことができる。   In the screen printing machine 1 and the screen printing method according to the present embodiment, when it is detected that the squeegee holder 39 being lowered is positioned at the contact position PG, the descent of the squeegee holder 39 is stopped. When it is detected that the squeegee holder 39 is not positioned at the contact position PG, the squeegee 14 is informed that the squeegee 14 is not attached to the squeegee holder 39. Therefore, it is possible to prevent screen printing from being started in a state where the squeegee 14 is not attached to the squeegee holder 39, and to prevent the productivity of the substrate 2 from being lowered.

なお、本実施の形態において、スキージ14が取り付けられているかどうかの検出の対象となっているスキージホルダ39をクランプ部材25aに対して下降させたときに、スキージホルダ39に取り付けられたスキージ14がクランプ部材25a上(前方のクランプ部材25aと接するマスク13上)に供給したペーストPst上に降りてしまい、ペーストPstの厚みの影響等によって、スキージ14がクランプ部材25aに当接した状態であるにも拘らず、スキージホルダ39が当接位置PGに位置していることが検出されないなどの不都合が起きる可能性がある場合には、スキージ14が取り付けられているかどうかの検出の対象となっているスキージホルダ39を、ペーストPstが供給された側とは反対側のクランプ部材25aの上方で下降させるようにする。例えば、ペースト供給シリンジによってペーストPstを前方のクランプ部材25a上に供給した場合には、スキージホルダ39にスキージ14が取り付けられているかどうかの検査は、後方のクランプ部材25aの上方で行うようにする。これによりスキージ14がペーストPst上に降りることはなく、上記不都合が解消される。   In the present embodiment, the squeegee 14 attached to the squeegee holder 39 is lowered when the squeegee holder 39 to be detected as to whether the squeegee 14 is attached is lowered with respect to the clamp member 25a. The squeegee 14 is in contact with the clamp member 25a due to the influence of the thickness of the paste Pst and the like, because it has fallen onto the supplied paste Pst on the clamp member 25a (on the mask 13 in contact with the front clamp member 25a). Nevertheless, if there is a possibility that the squeegee holder 39 is not located at the contact position PG, there is a possibility that the squeegee 14 is attached. The squeegee holder 39 is clamped on the opposite side of the paste member Pst to the clamp member 25a. So that lowering above. For example, when the paste Pst is supplied onto the front clamp member 25a by the paste supply syringe, whether or not the squeegee 14 is attached to the squeegee holder 39 is checked above the rear clamp member 25a. . Thereby, the squeegee 14 does not descend onto the paste Pst, and the above inconvenience is solved.

これまで本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上述したものに限定されない。例えば、上述の実施の形態では、スクリーン印刷機1はスキージ14を2つ備えた構成であったが、スキージ14の数は2つに限られず、1つであってもよい。   Although the embodiment of the present invention has been described so far, the present invention is not limited to the above. For example, in the above-described embodiment, the screen printing machine 1 is configured to include two squeegees 14, but the number of squeegees 14 is not limited to two and may be one.

また、ホルダ位置検出手段は、スキージホルダ39が、スキージホルダ39に取り付けられたスキージ14がマスク13に接触したクランプ部材25aに当接する当接位置PGに位置しているか否かの検出を行うことができるものであればよく、上述の実施の形態に示したように、スキージベース37に対するスキージホルダ39の位置を検出する構成を有していなくてもよい。   Further, the holder position detecting means detects whether or not the squeegee holder 39 is located at the contact position PG where the squeegee 14 attached to the squeegee holder 39 contacts the clamp member 25 a that contacts the mask 13. However, as shown in the above-described embodiment, the configuration for detecting the position of the squeegee holder 39 relative to the squeegee base 37 may not be provided.

スキージホルダにスキージが取り付けられていない状態でスクリーン印刷を開始してしまうことを防止することができるスクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法を提供する。   A screen printing machine and a screen printing method capable of preventing screen printing from being started in a state where a squeegee is not attached to a squeegee holder.

1 スクリーン印刷機
2 基板
3 電極
12 基板保持移動ユニット(基板保持移動手段)
13 マスク
13a 開口部
14 スキージ
25a クランプ部材
37 スキージベース
38 スキージ昇降シリンダ(アクチュエータ)
39 スキージホルダ
40 制御装置(制御手段)
40a 作業実行制御部(スキージ下降制御手段)
40c ホルダ位置検出部(ホルダ位置検出手段)
48 タッチパネル(報知手段)
50 ホルダ位置検出センサ(ホルダ位置検出手段)
PG 当接位置
Pst ペースト
1 Screen Printer 2 Substrate 3 Electrode 12 Substrate Holding / Moving Unit (Substrate Holding / Moving Unit)
13 Mask 13a Opening 14 Squeegee 25a Clamp member 37 Squeegee base 38 Squeegee lifting cylinder (actuator)
39 Squeegee holder 40 Control device (control means)
40a Work execution control unit (squeegee lowering control means)
40c Holder position detection unit (holder position detection means)
48 Touch panel (notification means)
50 Holder position detection sensor (holder position detection means)
PG contact position Pst paste

Claims (2)

基板上の電極の配置に応じた複数の開口部が設けられたマスクと、
一対のクランプ部材により基板をクランプした状態で基板を上昇させ、基板上の電極とマスクの開口部とが合致するように基板及び一対のクランプ部材の上面をマスクの下面に接触させる基板保持移動手段と、
マスクの上方で水平面内方向に移動されるスキージベースと、
スキージベースに設けられたアクチュエータによりスキージベースの下方で昇降されるスキージホルダと、
スキージホルダに着脱自在に取り付けられるスキージと、
スキージホルダが、スキージホルダに取り付けられたスキージがマスクに接触したクランプ部材に当接する当接位置に位置しているか否かの検出を行うホルダ位置検出手段と、
前記アクチュエータの作動制御を行ってスキージホルダを下降させ、ホルダ位置検出手段によりスキージホルダが前記当接位置に位置したことが検出されたときにスキージホルダの下降を停止させるスキージ下降制御手段と、
スキージホルダの下降が停止されてから所定時間が経過した後、ホルダ位置検出手段によりスキージホルダが前記当接位置に位置していることが検出された場合には、スキージベースを水平面内方向に移動させてマスクの開口部を介した基板上の電極へのペーストの転写を行い、スキージホルダの下降が停止されてから前記所定時間が経過した後、ホルダ位置検出手段によりスキージホルダが前記当接位置に位置していないことが検出された場合には、報知手段を介してスキージホルダにスキージが取り付けられていない旨の報知を行う制御手段とを備えたことを特徴とするスクリーン印刷機。
A mask provided with a plurality of openings according to the arrangement of the electrodes on the substrate;
Substrate holding and moving means for raising the substrate in a state where the substrate is clamped by the pair of clamp members, and bringing the upper surface of the substrate and the pair of clamp members into contact with the lower surface of the mask so that the electrode on the substrate and the opening of the mask coincide with each other When,
A squeegee base that is moved in the horizontal plane above the mask;
A squeegee holder that is moved up and down below the squeegee base by an actuator provided on the squeegee base;
A squeegee that is detachably attached to the squeegee holder;
A holder position detecting means for detecting whether or not the squeegee holder is located at a contact position where the squeegee attached to the squeegee holder contacts the clamp member contacting the mask;
Squeegee lowering control means for controlling the actuator to lower the squeegee holder and stopping the squeegee holder from lowering when the holder position detecting means detects that the squeegee holder is positioned at the contact position;
After a predetermined time has elapsed after the squeegee holder has stopped descending, if the holder position detecting means detects that the squeegee holder is in the contact position, the squeegee base is moved in the horizontal plane. Then, the paste is transferred to the electrode on the substrate through the opening of the mask, and after the predetermined time has elapsed after the descent of the squeegee holder is stopped, the holder position detecting means causes the squeegee holder to move to the contact position. And a control means for notifying that the squeegee is not attached to the squeegee holder via the notification means when it is detected that the squeegee is not located on the screen printing machine.
基板上の電極の配置に応じた複数の開口部が設けられたマスクと、一対のクランプ部材により基板をクランプした状態で基板を上昇させ、基板上の電極とマスクの開口部とが合致するように基板及び一対のクランプ部材の上面をマスクの下面に接触させる基板保持移動手段と、マスクの上方で水平面内方向に移動されるスキージベースと、スキージベースに設けられたアクチュエータによりスキージベースの下方で昇降されるスキージホルダと、スキージホルダに着脱自在に取り付けられるスキージと、スキージホルダが、スキージホルダに取り付けられたスキージがマスクに接触したクランプ部材に当接する当接位置に位置しているか否かの検出を行うホルダ位置検出手段とを備えたスクリーン印刷機によるスクリーン印刷方法であって、
前記アクチュエータの作動制御を行ってスキージホルダを下降させ、ホルダ位置検出手段によりスキージホルダが前記当接位置に位置したことが検出されたときにスキージホルダの下降を停止させる工程と、
スキージホルダの下降を停止させてから所定時間が経過した後、ホルダ位置検出手段によりスキージホルダが前記当接位置に位置していることが検出された場合に、スキージベースを水平面内方向に移動させてマスクの開口部を介した基板上の電極へのペーストの転写を行う工程と、
スキージホルダの下降を停止させてから前記所定時間が経過した後、ホルダ位置検出手段によりスキージホルダが前記当接位置に位置していないことが検出された場合に、スキージホルダにスキージが取り付けられていない旨の報知を行う工程とを含むことを特徴とするスクリーン印刷方法。
The mask is provided with a plurality of openings according to the arrangement of the electrodes on the substrate, and the substrate is lifted while the substrate is clamped by a pair of clamp members so that the electrodes on the substrate and the openings of the mask match. A substrate holding and moving means for bringing the upper surface of the substrate and the pair of clamp members into contact with the lower surface of the mask, a squeegee base moved in the horizontal plane above the mask, and an actuator provided on the squeegee base, below the squeegee base. Whether the squeegee holder that is raised and lowered, the squeegee that is detachably attached to the squeegee holder, and whether the squeegee holder is in a contact position where the squeegee attached to the squeegee holder contacts the clamp member that contacts the mask. A screen printing method by a screen printer provided with a holder position detecting means for performing detection,
Performing the operation control of the actuator to lower the squeegee holder, and stopping the lowering of the squeegee holder when the holder position detecting means detects that the squeegee holder is located at the contact position;
After a lapse of a predetermined time after stopping the descent of the squeegee holder, when the holder position detecting means detects that the squeegee holder is located at the contact position, the squeegee base is moved in the horizontal plane. Transferring the paste to the electrode on the substrate through the opening of the mask;
A squeegee is attached to the squeegee holder when the holder position detecting means detects that the squeegee holder is not positioned at the contact position after the predetermined time has elapsed since the descent of the squeegee holder was stopped. And a step of notifying that there is no screen printing method.
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