JP5508741B2 - Treatment equipment for persistent liquids containing organochlorine compounds - Google Patents
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Description
本発明は、非平衡プラズマによる難分解性廃液の分解処理に係り、有機塩素化合物の分解に好適な無害化処理装置に関する。 The present invention relates to a decomposition treatment of a hardly decomposable waste liquid by non-equilibrium plasma, and relates to a detoxification treatment apparatus suitable for decomposition of an organic chlorine compound.
従来から変圧器には優れた電気絶縁特性、難燃性を備えたPCB(ポリ塩化ビフェニール)を含有した絶縁油が使用されている。しかし、当該PCBは、その毒性や蓄積性などから持続性のある環境破壊物質として、人体並びに環境に悪影響を及ぼす有害な物質であるため、今日、国がその使用を禁止している。したがって、使用済みとなった変圧器において、当該絶縁油を処分する場合、変圧器から該PCBを抜油して、これを無害化処理する必要がある。 Conventionally, insulation oil containing PCB (polychlorinated biphenyl) having excellent electrical insulation characteristics and flame retardancy has been used for transformers. However, since the PCB is a harmful substance that adversely affects the human body and the environment as a sustainable environmentally destructive substance due to its toxicity and accumulation, the country prohibits its use today. Therefore, when disposing the insulating oil in a used transformer, it is necessary to remove the PCB from the transformer and detoxify it.
上記無害化処理技術としては種々の提案がなされている。最も簡易かつ周知な方法としては燃焼による処分が一般的だが、該PCB等の塩化化合物はダイオキシンの発生が懸念されるため、近年、これに代わるより高度な処理技術が求められている。 Various proposals have been made for the above-mentioned detoxification processing technology. As the simplest and well-known method, disposal by combustion is generally used. However, since chloride compounds such as PCB are concerned about the generation of dioxins, in recent years, more advanced treatment techniques have been demanded instead.
代替処理技術としては、プラズマを利用した分解処理技術が知られている。その一例として、下記特許文献1記載のプラズマ分解処理技術が挙げられる。
As an alternative processing technique, a decomposition processing technique using plasma is known. As an example, there is a plasma decomposition treatment technique described in
特許文献1記載のプラズマ分解処理技術は、水蒸気プラズマを発生させた後、アルゴンガスを利用してプローブを介してフロン液を液状のまま水蒸気プラズマ中に供給する。これにより、フロンと水蒸気は一万度もの熱プラズマにより原子・分子状に分解され、その後の冷却過程において炭酸ガスや酸性ガスに変化される。そして、該炭酸ガスはそのまま排出し、酸性ガスはアルカリ水溶液と中和させて食塩等の無公害な物質に変え、排水するものである。
In the plasma decomposition processing technique described in
当該技術は、従前の技術が熱プラズマの上方からフロンなどを供給するタイプであったのに対し、熱プラズマの下方から水蒸気や分解すべきフロンを供給するようにしたことで、未分解の液体状フロンが下方を滴下することを確実に防止して、これが誤って外部に排出されることを未然に防止できるといった効果を備えている。 This technology is a type in which chlorofluorocarbons and the like are supplied from the upper side of the thermal plasma in the previous technology, but by supplying water vapor or chlorofluorocarbon to be decomposed from the lower side of the thermal plasma, It is possible to reliably prevent the chlorofluorocarbon from dropping downward and to prevent it from being accidentally discharged to the outside.
然るに、上記特許文献1記載の技術は熱プラズマ(熱平衡プラズマ)を利用した処理技術であるため以下に記す欠点が存在する。つまり、熱プラズマ(熱平衡プラズマ)は、電離した原子核、電子が高温の熱平衡状態にある必要があるため、この状態を作り出すために非常に多くのエネルギーが必要となる。したがって、分解処理に要するランニングコストが必然的に大きくなるといった問題があった。
However, since the technique described in
また、高周波誘導の熱プラズマであることが装置の小型化を難しくするとともに、アルゴンガスの使用が、分解処理コストをより高騰させる原因ともなっていた。 In addition, the high-frequency induction thermal plasma makes it difficult to reduce the size of the apparatus, and the use of argon gas has caused the cost of decomposition treatment to increase further.
上記問題を解決するために、当該熱平衡プラズマに代えて非平衡プラズマを利用した分解処理技術が提案されている。そして、非平衡プラズマを利用した分解処理技術としては、コロナ放電を利用したものが一般的に知られている(特開2000−325735号公報)。 In order to solve the above problem, a decomposition treatment technique using non-equilibrium plasma instead of the thermal equilibrium plasma has been proposed. As a decomposition processing technique using non-equilibrium plasma, a technique using corona discharge is generally known (Japanese Patent Laid-Open No. 2000-325735).
この方法によれば、特許文献1記載の熱平衡プラズマによる分解処理技術と比較して非常に少ないエネルギーでプラズマを生じさせることができるばかりか、プレート状の電極間、或いは、線対平板、線対円筒等、比較的簡単な構造の電極でも放電を発生できるといったメリットを有する。
According to this method, it is possible not only to generate plasma with much less energy than the decomposition treatment technique using thermal equilibrium plasma described in
しかしながら、コロナ放電は一般的に放電状態が不安定であり、火花放電に移行しやすい欠点を有する。つまり、コロナ放電が火花放電に移行することに伴い、一旦発生したプラズマが消失してしまい、安定して対象の分解処理を継続することが困難になるといった欠点を有する。 However, corona discharge generally has an unstable discharge state and has a drawback that it easily shifts to spark discharge. That is, as the corona discharge shifts to the spark discharge, the once generated plasma disappears, and it is difficult to continue the target decomposition process stably.
そこで、本発明は、斯かる問題点を解決すべく、PCB(ポリ塩化ビフェニール)等の有機塩素化合物を含有する難分解性の廃液を分解処理する装置に関し、従前の熱平衡プラズマと比較してエネルギー効率を向上させるとともに、コロナ放電による場合と比較して、安定した放電を実現して、効率的に廃液の分解処理をすることのできる難分解性廃液の処理装置を提供することを目的とする。 Therefore, the present invention relates to an apparatus for decomposing a difficult-to-decompose waste liquid containing an organic chlorine compound such as PCB (polychlorinated biphenyl) in order to solve such a problem, and has an energy higher than that of a conventional thermal equilibrium plasma. An object of the present invention is to provide a processing apparatus for difficult-to-decompose waste liquid that improves efficiency and realizes stable discharge as compared with the case of corona discharge and can efficiently decompose waste liquid. .
請求項1記載の発明は、反応ガスを反応部に供給する反応ガス供給部と、マイクロ波を前記反応部に入射させて、前記反応ガスをプラズマ化させるマイクロ波発生装置と、廃液を投入する廃液投入部と、廃液投入部から投入された廃液をプラズマ中に滴下する細管を備えて構成される難分解性廃液の処理装置において、細管の下端部を反応部の上部位置に延出させ、かつ、前記反応部は、細管より滴下される廃液をプラズマ発生位置で保持する試料台を備えて構成したことを特徴とする。 According to the first aspect of the present invention, a reaction gas supply unit that supplies a reaction gas to the reaction unit, a microwave generator that causes microwaves to enter the reaction unit and converts the reaction gas into plasma, and a waste solution are charged. In the processing apparatus for the hardly decomposable waste liquid configured to include a waste liquid input section and a thin tube for dropping the waste liquid input from the waste liquid input section into the plasma, the lower end of the thin pipe is extended to the upper position of the reaction section , And the said reaction part was comprised with the sample stand which hold | maintains the waste liquid dripped from a thin tube in a plasma generation position, It is characterized by the above-mentioned.
請求項1記載の発明によれば、廃液を反応部に滴下する細管の下端部を反応部の上部位置に延出させて構成したので、プラズマ発生位置に廃液を連続的に滴下できるとともに、グロー放電で生じたプラズマ中に廃液を直接投入しても、プラズマが消失することなく、連続・安定的に廃液および有機塩素化合物の分解処理が可能となる。 According to the first aspect of the present invention, since the lower end portion of the thin tube for dropping the waste liquid to the reaction portion is extended to the upper position of the reaction portion , the waste liquid can be continuously dropped at the plasma generation position, and Even if the waste liquid is directly put into the plasma generated by the discharge, the waste liquid and the organic chlorine compound can be decomposed continuously and stably without the plasma disappearing.
また、請求項1記載の発明によれば、プローブより滴下した廃液を試料台上においてプラズマ中に長時間保持できるので、廃液および有機塩素化合物の分解率を向上させることができる。 According to the first aspect of the present invention, the waste liquid dropped from the probe can be held in the plasma for a long time on the sample stage, so that the decomposition rate of the waste liquid and the organic chlorine compound can be improved.
以下、本発明の実施形態について図1および図2を用いて説明する。図1は本発明に係る有機塩素化合物を含有する廃液処理装置の一形態を示すものである。図1に示すように、本発明の廃液処理装置Aは、マイクロ波発生装置1と、マイクロ波導波管2、廃液投入部3、反応ガス供給部4、プラズマ反応管5、および、真空ポンプ6と、廃液の分解処理後の生成物を捕集する捕集部7によって概略構成されており、有機塩素化合物を含有した難分解性廃液を分解処理するものである。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 and 2. FIG. 1 shows an embodiment of a waste liquid treatment apparatus containing an organochlorine compound according to the present invention. As shown in FIG. 1, the waste liquid treatment apparatus A of the present invention includes a
8はマイクロ波発生装置1から発振されたマイクロ波が反射して当該装置1内に入ることを防止するために、反射したマイクロ波を吸収するために備えられたアイソレータであり、9はマイクロ波の強さを調べるパワーモニタである。
8 is an isolator provided to absorb the reflected microwave in order to prevent the microwave oscillated from the
10は前記マイクロ波を共振させ、プラズマの発生位置に焦点を合わせるスタブチューナであり、11は真空ポンプ6によって気圧調整されるプラズマ反応管5内の気圧を測定する圧力計である。
また、前記捕集部7は、廃液を分解した結果、生成される生成物のうち、水を冷却して捕集するコールドトラップ12と、塩化水素を捕集するガス洗浄瓶13によって構成されており、ガス洗浄瓶13は、水を内部に封入した瓶(図1では2個備えた場合を示しているが、個数に限定はない)を備えて構成されている。
In addition, the collection unit 7 includes a
14はプラズマの発生状況を目視するための観察窓であり、図2に示すプラズマ反応部の状況を確認することができる。プラズマ反応部Xは、マイクロ波導波管2に対して垂直にプラズマ反応管5が設置されており、その上部は前記廃液投入部3および反応ガス供給部4に接続され、下部は前記捕集部7および真空ポンプ6に接続されている。
前記プラズマ反応管5内には、上端を前記廃液投入部3に接続した細管(以下、プローブという)15の下端がマイクロ波によって生じるプラズマの発生位置上部に延出しており、該プラズマ発生位置の下部には、廃液投入部3からプローブ15を介して供給された廃液をプラズマ発生位置において長時間滞留させるための試料台16が設置されている。
In the
なお、前記プラズマ反応管5は、例えば、透明の石英管によって形成されるものであり、図1に示すプラズマ発生装置1から発振してプラズマ導波管2を通過したマイクロ波を該プラズマ反応管5内に良好に通過させることができる。
The
つづいて、本発明の廃液の処理装置Aによる廃液処理動作について詳細に説明する。本発明の廃液処理装置Aは、有機塩素化合物を含有する難分解性廃液を分解処理する用に供するものであるため、まず、処理対象としてPCB(ポリ塩化ビフェニール)を含有する絶縁油を分解処理する場合について説明する。 Next, the waste liquid processing operation by the waste liquid processing apparatus A of the present invention will be described in detail. Since the waste liquid treatment apparatus A of the present invention is used for decomposing a hardly decomposable waste liquid containing an organic chlorine compound, first, an insulating oil containing PCB (polychlorinated biphenyl) as a treatment target is decomposed. The case where it does is demonstrated.
絶縁油としては、例えば、柱上変圧器用の電気絶縁油を用いる。該絶縁油を今回元素分析してみるに、炭素および水素から構成されており、その他の元素は含まれない純粋な炭化水素であった。 As the insulating oil, for example, an electric insulating oil for a pole transformer is used. When this elemental analysis of the insulating oil was conducted this time, it was a pure hydrocarbon composed of carbon and hydrogen and not containing other elements.
上記絶縁油を分解処理するにあたって、まず、図1に示す反応ガス供給部4から反応ガスとして酸素を供給する(例えば、3L/min)。当該酸素は、プラズマ反応管5内を図1に示す下方へ通過し、図2に示すプラズマ反応部Xに供給される。
In decomposing the insulating oil, first, oxygen is supplied as a reaction gas from the reaction gas supply unit 4 shown in FIG. 1 (for example, 3 L / min). The oxygen passes through the
次に、真空ポンプ6および圧力計11を用いて、プラズマ反応管5内を所定圧力(例えば、1.5kPa)に減圧・固定し、この状態でマイクロ波発生装置1によって生成したマイクロ波を所定の出力(670W等)で発振する。
Next, the inside of the
マイクロ波発生装置1から出力されたマイクロ波は、マイクロ波導波管2、アイソレータ8を介してパワーモニタ9に伝播し、当該パワーモニタ9により入射電力が検出される。このとき、アイソレータ8は反射したマイクロ波を吸収することによって、マイクロ波発生装置1を保護する。反射したマイクロ波にあっては、その電力がパワーモニタ9によって検出される。
The microwave output from the
導波管2内を通過したマイクロ波は、スタブチューナ10によって共振され図2に示すプラズマ発生位置に焦点が合わされ、プラズマ反応部Xに入射する。
The microwave that has passed through the
プラズマ反応部Xに入射したマイクロ波は、透明石英管等からなるプラズマ反応管5を良好に透過する。このとき、プラズマ反応管5内には、図1に示す反応ガス供給部4より反応ガスとして酸素が供給されており、当該酸素は入射したマイクロ波によって電離してプラズマ化される。
The microwaves incident on the plasma reaction part X pass through the
なお、このとき発生するプラズマは、プラズマ反応管5内が前述した如く一定圧に減圧(例えば、1.5kPa)されており、グロー放電によって生じることとなる。グロー放電は、コロナ放電と比較してより広範囲で安定した放電であり、また、アーク放電と比較して低エネルギーで生じさせることができる利点を有する。
Note that the plasma generated at this time is generated by glow discharge because the inside of the
プラズマ反応部Xにグロー放電プラズマを発生させたら、処理対象であるPCB(ポリ塩化ビフェニール)を含有した絶縁油を液体の状態で廃油供給部3に投入する(例えば、21.2mg/s)。投入した廃油は、図1又は図2に示すプローブ15内を下降するが、当該絶縁油は常温で粘度が高いので、プローブ15内に留まってしまう問題がある。
When glow discharge plasma is generated in the plasma reaction part X, insulating oil containing PCB (polychlorinated biphenyl) to be treated is introduced into the waste oil supply part 3 in a liquid state (for example, 21.2 mg / s). The introduced waste oil descends in the
そこで、廃油供給部3に絶縁油を投入する際に、プローブ15に酸素等の気体(例えば、50ml/s)を導入することとした。当該気体の導入により、投入した絶縁油は、プローブ15内を下方に押し出され、図2に示す下端(先端)からプラズマ反応部Xに連続的に滴下される。
Therefore, when the insulating oil is introduced into the waste oil supply unit 3, a gas such as oxygen (for example, 50 ml / s) is introduced into the
このとき、プラズマ反応部Xにはグロー放電プラズマが生じているので、プローブ15の下端から滴下された絶縁油は当該プラズマによって分解される。ここで、絶縁油は前述したように、炭素および水素からなる純粋な炭化水素であるので、絶縁油は二酸化炭素と炭素(煤)および水に分解される。
At this time, since glow discharge plasma is generated in the plasma reaction part X, the insulating oil dropped from the lower end of the
また、プローブ15から滴下された絶縁油は、プラズマ発生部Xの下部に設置された試料台16上に滞留するため、長時間プラズマ中に留まることができ、絶縁油のプラズマによる分解率を向上させることができる。
Further, since the insulating oil dropped from the
そして、分解により生じた煤(炭素)は、反応ガス供給部4より供給された酸素と結合し、二酸化炭素としてプラズマ反応部Xの下方へプラズマ反応管5内を下降する。したがって、煤(炭素)がプラズマ反応管5内に付着することにより、マイクロ波が当該反応管5を透過することを妨げ、プラズマの生成に障害をきたすことを確実に防止できる。
The soot (carbon) generated by the decomposition is combined with oxygen supplied from the reaction gas supply unit 4 and descends in the
絶縁油の分解により生じた水や二酸化炭素も同様に、プラズマ反応管5内を下降し、水または氷はコールドトラップ12による冷却過程を通じて捕集され、二酸化炭素は、その後のガス洗浄瓶13内を通過して無害な気体として外部環境へ排出される。
Similarly, water and carbon dioxide generated by the decomposition of the insulating oil descend in the
なお、未分解の絶縁油は、プラズマ放電管5下部の装置内に滞留するため、プラズマ放電管5その他の配管をヘキサン等の有機溶剤により洗浄して回収すれば良い。装置を洗浄して得られた未分解の絶縁油とヘキサンの混合液は、濾過後にロータリーエバポレータを用いてヘキサンを除去し、未分解の絶縁油のみとして重量測定できる。これにより、絶縁油の分解率の計算が可能となり、併せて、絶縁油の投入速度と分解率の関係を調べることができる。
Since undecomposed insulating oil stays in the apparatus below the
その結果、本発明の難分解性の廃液処理装置Aによれば、難分解性廃液として投入した絶縁油をプラズマ分解処理することによって、化合物をほぼ完全に分解することができた。弊社による検討の結果としては、絶縁油の投入速度が5mg/s以下と極微量の場合は、投入した絶縁油は全量分解可能であり、投入速度を反応ガスである酸素との当量反応である21.2mg/sを超えても80%程度の分解が可能であった。 As a result, according to the hardly decomposable waste liquid treatment apparatus A of the present invention, the compound could be almost completely decomposed by subjecting the insulating oil introduced as the hardly decomposable waste liquid to plasma decomposition. As a result of our investigation, when the input speed of the insulating oil is 5 mg / s or less, the amount of the injected insulating oil can be decomposed, and the input speed is equivalent reaction with oxygen as the reaction gas. Even when it exceeded 21.2 mg / s, decomposition of about 80% was possible.
また、発生させたプラズマがグロー放電であることにより、コロナ放電プラズマと比較して安定した放電を実現でき、また、プラズマ反応部Xにプローブ15を介して絶縁油を滴下することにより、プラズマが分解処理途中で消失してしまう問題もなく、絶縁油の分解効率を向上させることができた。
Further, since the generated plasma is a glow discharge, a stable discharge can be realized as compared with the corona discharge plasma, and the insulating oil is dropped into the plasma reaction part X via the
次に、本装置(難分解性廃液の処理装置)Aによるマイクロ波プラズマの脱塩素能力を検討してみる。ここでは、PCB(ポリ塩化ビフェニール)の代替物質としてトリクロロベンゼンを用いた。これは、PCBが発癌性等、人体への悪影響が懸念されており、現在では法律で使用および排出が厳しく制限されているため、PCBの使用量を最小限に抑えるための措置である。 Next, the dechlorination ability of the microwave plasma by this apparatus (treatment apparatus for persistent liquid waste) A will be examined. Here, trichlorobenzene was used as a substitute for PCB (polychlorinated biphenyl). This is a measure for minimizing the amount of PCB used since PCBs are concerned about adverse effects on the human body, such as carcinogenicity, and are currently strictly restricted in use and discharge by law.
まず、トリクロロベンゼンの融点は17℃で、常温付近の温度変化で固体になってしまうので、図1に示す廃液投入部3からプローブ15内を通過させた場合、該プローブ15内で閉塞してしまう可能性がある。そこで、該トリクロロベンゼンをテトラデカンで10%に希釈して試料とした。
First, since the melting point of trichlorobenzene is 17 ° C. and becomes a solid due to a temperature change near room temperature, when it passes through the
なお、希釈した試料を酸素等の気体をプローブ15内に導入することにより、プローブ15内を下方へ押し出して、当該試料がプローブ15内に閉塞することを防止しても良いことは前述した場合と同様である。
In the case described above, it is possible to prevent the sample from being blocked in the
プローブ15内を押し出された希釈した試料は、図2に示すプローブ15の下端からプラズマ反応部X内に連続的に滴下される。このとき、プラズマ反応管5内は、マイクロ波発生装置1からマイクロ波導波管2を介して出力されたマイクロ波が反応ガス(酸素)と反応することによってグロー放電プラズマを発生していることにより、当該試料は該プラズマにより脱塩素化され、塩化水素を発生する。また、同時に二酸化炭素および水も発生する。
The diluted sample pushed out of the
また、当該試料は、プラズマ反応部Xに設置した試料台14上に長時間滞留することにより、より分解率を高めることができる。 Moreover, the said sample can raise a decomposition rate more by staying on the sample stand 14 installed in the plasma reaction part X for a long time.
分解により生じた塩化水素と二酸化炭素および水は、図2に示すプラズマ反応管5内を下降し、水は図1に示すコールドトラップ8によって水または氷として捕集される。一方、塩化水素は、当該コールドトラップ8によって捕集することも可能であるが、その後段に設置したガス洗浄瓶9の瓶内に封入した水に溶解させることによって完全に捕集することが可能である。
Hydrogen chloride, carbon dioxide and water generated by the decomposition descend in the
また、二酸化炭素は、ガス洗浄瓶9を通過して無害な気体として外部環境に排出される。一方、未分解のトリクロロベンゼンは、プラズマ反応管5下部の装置内に滞留するため、回収すれば良い。
Carbon dioxide passes through the gas cleaning bottle 9 and is discharged to the outside environment as a harmless gas. On the other hand, undecomposed trichlorobenzene stays in the apparatus below the
弊社による検討の結果としては、重量比でトリクロロベンゼン10%、テトラデカン90%の混合溶液は、投入速度21mg/s程度が当量反応であり、当量反応前後で塩素回収量に大きな変化はなく、未分解のトリクロロベンゼンに含まれる塩素量は、13〜22%、コールドトラップ12で捕集される塩素量は51〜67%、排気中に含まれる塩素量は3%以下であった。
As a result of our investigation, a mixed solution of 10% trichlorobenzene and 90% tetradecane by weight ratio has an equivalent reaction with an input rate of about 21 mg / s, and there is no significant change in the amount of chlorine recovered before and after the equivalent reaction. The amount of chlorine contained in the decomposed trichlorobenzene was 13 to 22%, the amount of chlorine collected by the
前述した絶縁油の分解率同様、当量反応付近では8割程度の分解率を得ることができた。つまり、マイクロ波プラズマによる分解によれば、炭化水素の分解と塩化物の脱塩素化に大きな差はなく、微量PCB含有絶縁油を分解した場合でも、絶縁油とPCBの分解率に大きな差はなかった。 Similar to the decomposition rate of the insulating oil described above, a decomposition rate of about 80% was obtained in the vicinity of the equivalent reaction. In other words, according to the decomposition by microwave plasma, there is no big difference between hydrocarbon decomposition and chloride dechlorination, and even when a trace amount of PCB-containing insulating oil is decomposed, there is no big difference in the decomposition rate of insulating oil and PCB. There wasn't.
また、未分解の試料をガスクロマトグラフ質量分析計で調べた結果、トリクロロベンゼンおよびテトラデカンのみ検出され、ビフェニル、フランおよび多環芳香族は検出されなかったことから、プラズマ分解で新たな環式有機化合物が生成されることはなく、PCBを用いた場合でもより毒性の強いダイオキシン等に変異することはなかった。 In addition, as a result of examining the undecomposed sample with a gas chromatograph mass spectrometer, only trichlorobenzene and tetradecane were detected, but biphenyl, furan and polycyclic aromatics were not detected. Was not produced, and even when PCB was used, it was not mutated into more toxic dioxins or the like.
以上説明したように、本発明の有機化合物を含有する難分解性廃液の処理装置は、絶縁油およびこれに含有する有機塩素化合物を高分解率で分解処理することができ、また、分解に際し、新たな環式有機化合物を生成することもなく、より有毒な化合物を発生させることのない安全で有効な分解処理技術を提供することができる。 As described above, the processing device for the hardly decomposable waste liquid containing the organic compound of the present invention can decompose the insulating oil and the organic chlorine compound contained therein at a high decomposition rate, and in the decomposition, It is possible to provide a safe and effective decomposition treatment technique that does not generate a new cyclic organic compound and does not generate a more toxic compound.
また、本発明によれば、グロー放電プラズマによって廃液の分解を行うのでコロナ放電プラズマの場合と比較してより安定した放電が実現でき、分解率の向上を図ることができる。また、アーク放電と比較しても低エネルギーでの分解処理が可能である。 Further, according to the present invention, since the waste liquid is decomposed by glow discharge plasma, more stable discharge can be realized as compared with the case of corona discharge plasma, and the decomposition rate can be improved. In addition, decomposition processing with low energy is possible even compared with arc discharge.
さらに、本発明によれば、廃液をプラズマ反応部にプローブを利用して滴下することにより、グロー放電が消失してしまうことを良好に防止することができ、廃液の分解処理が途中で中断されることを確実に防止して、廃液の分解率を向上することができる。 Furthermore, according to the present invention, it is possible to satisfactorily prevent the disappearance of the glow discharge by dropping the waste liquid into the plasma reaction section using a probe, and the decomposition process of the waste liquid is interrupted in the middle. This can be reliably prevented and the decomposition rate of the waste liquid can be improved.
しかも、本発明によれば、試料台上に廃液を滞留させることにより、プラズマ中に長時間廃液を留まらせることができるので、廃液の分解率をより一層、向上させることができる。 Moreover, according to the present invention, the waste liquid can be retained in the plasma for a long time by retaining the waste liquid on the sample stage, so that the decomposition rate of the waste liquid can be further improved.
なお、上記実施例では、絶縁油および絶縁油に含有した有機塩素化合物の分解処理を例にとり説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、液体に混入したフロン等の有機化合物にも適用可能である。 In the above embodiment, the example of the insulating oil and the decomposition treatment of the organic chlorine compound contained in the insulating oil has been described as an example. Is also applicable.
マイクロ波非平衡プラズマを用いて、難分解性廃液を液体のまま直接分解することのできる無害化処理装置を提供するものである。 The present invention provides a detoxification treatment apparatus capable of directly decomposing a hardly decomposable waste liquid in a liquid state using microwave non-equilibrium plasma.
1 マイクロ波発生装置
2 マイクロ波導波管
3 廃液投入部
4 反応ガス供給部
5 プラズマ反応管
6 真空ポンプ
7 捕集部
8 アイソレータ
9 パワーモニタ
10 スタブチューナ
11 圧力計
12 コールドトラップ
13 ガス洗浄瓶
14 プラズマ観察窓
15 細管(プローブ)
16 試料台
A 有機塩素化合物を含有する難燃性廃液の処理装置
X プラズマ反応部
DESCRIPTION OF
16 Sample stage A Treatment equipment for flame retardant waste liquid containing organochlorine compounds X Plasma reaction section
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