JP5511240B2 - Gas cooling device for work and gas cooling method - Google Patents
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Description
本発明は、ワークのガス冷却装置およびガス冷却方法に関する。 The present invention relates to a work gas cooling apparatus and a gas cooling method.
自動車の内部部品(例えばトランスミッション部品等)に用いられる歯車等のワーク(鋼部品)の製造過程においては、焼入れ処理を行うために、前段工程において加熱処理が行われた後、冷却装置によってワークの冷却が行われる。そこで、特許文献1にはワーク(鋼部品)を入れた減圧密閉容器内に冷却ガスを封入し、その冷却ガスを減圧密閉容器内でファンによって循環させワークを強制対流冷却させるガス冷却方法およびガス冷却装置が開示されている。 In the manufacturing process of gears and other workpieces (steel parts) used for automobile internal parts (for example, transmission parts, etc.), in order to perform quenching processing, after the heat treatment is performed in the previous step, the cooling device Cooling takes place. Therefore, Patent Document 1 discloses a gas cooling method and gas in which a cooling gas is enclosed in a vacuum sealed container containing a workpiece (steel part), and the cooling gas is circulated by a fan in the vacuum sealed container to forcibly cool the workpiece. A cooling device is disclosed.
図1には、特許文献1に開示されている従来のガス冷却装置における減圧密閉状態である容器100の縦断面図を示す。容器100は外筒108と内筒109から成る二重構造であり、この二重筒間には冷却水が通る冷却水路110が形成されている。内筒109の中心部111には支持台112が設けられ支持台112には冷却対象であるワーク120が保持される。また、内筒109と支持台112の間には中間筒114が配置され、この中間筒114と内筒109の間、中間筒114と容器100の上蓋101との間および中間筒114と容器100の底板102との間には流体流路122〜124が形成されている。中間筒114の内周面には、中心部111で最も狭くなり、これより上下方向に向かって次第に広がる逆円錐台形状および円錐台形状の断面形状を持つ空間126、127が形成されるような環状壁129が設けられている。
In FIG. 1, the longitudinal cross-sectional view of the
また、中間筒114内の上部中央には回転軸131に支持される循環ファン130が設置され、上蓋101上部に載置されたモーター133の動力によって循環ファン130が稼動(回転)する。循環ファン130の下面と支持台112間の空間126には空間126を流れる流体を整流するための内部ダクト135が配置される。
In addition, a
図2(a)にはこの内部ダクト135の平面図、図2(b)には内部ダクト135の正面図を示す。図2に示すように内部ダクト135は、空間126の上部から中心部111に向かって延びる逆円錐台形状のコア部136と、コア部136の外周面に互いに円周方向に離間して上下方向および半径方向外側に延び、その上端が互いに同一円周方向に弧状に湾曲する複数のガイド片137から構成される。このガイド片137の任意のものが中間筒114の環状壁129に固定されることで、内部ダクト135は固定される。
FIG. 2A shows a plan view of the
また、内筒109の内周面には伝熱フィン140が設置されている。一方、容器1下方の底板102上には、その中央部が円錐台形状に上方に盛り上がり、周辺部が弧状に上方に湾曲する下部整流板145が設置され、容器100上方の上蓋101下面には、その中央部が逆円錐台形状に下方に突出する上部整流板146が設置される。なお、モーター133の回転軸148はこの上部整流板146の中央部を貫通して循環ファン130に連通する構成となっている。
A
以上説明したように構成される従来のガス冷却装置において、ワーク120が支持台112に保持された後、容器100内に冷却ガスが導入され、容器100に冷却ガスが封入される。そして、循環ファン130をモーター133の稼動により回転させ、冷却ガスを図1に示す矢印のように流体流路122〜124において循環させる。ワーク120は容器100内を循環する冷却ガスによって所定の時間冷却される。ここで、容器100内の冷却ガスは、冷却水路110を通る冷却水によって水冷された伝熱フィン140に接触することによって随時冷却され、その冷却性能が常時担保される。
In the conventional gas cooling apparatus configured as described above, after the
冷却ガスをしては、例えば一種の不活性ガス、一種または二種以上の混合不活性ガス、または水素ガス単体や、水素ガスと不活性ガスの混合ガスが用いられる。 As the cooling gas, for example, one kind of inert gas, one kind or two or more kinds of mixed inert gas, hydrogen gas alone, or a mixed gas of hydrogen gas and inert gas is used.
しかしながら、上記特許文献1に記載のガス冷却装置を用いてワークの冷却を行う場合、ワークの上面に、上方から冷却ガスが接触し、その後ワークの側面、下面に冷却ガスが接触するというように、常時均一に冷却ガスがワークに接触する状態での冷却ができなかった。ワークとしては例えば歯車が例示されるが、その歯車の歯部は側面に設けられているため、ワークが歯車である場合、歯部の冷却が均一に行われない恐れがあった。歯車の歯部にはその性質上極めて緻密な精度での焼入れ処理が求められるため、上面、側面、下面に対し高精度に均一な焼入れ処理(冷却)が行われる必要がある。即ち、ワークの焼入れ処理に極めて高精度な均一性が求められる場合、上記特許文献1に記載のガス冷却装置ではその冷却において十分な精度が担保されないという問題点があった。 However, when the workpiece is cooled using the gas cooling device described in Patent Document 1, the cooling gas contacts the upper surface of the workpiece from above, and then the cooling gas contacts the side and lower surfaces of the workpiece. The cooling in a state where the cooling gas was always in contact with the work could not be performed. As the workpiece, for example, a gear is exemplified, but since the tooth portion of the gear is provided on the side surface, when the workpiece is a gear, the tooth portion may not be uniformly cooled. Since the gear teeth are required to be hardened with extremely high precision due to their properties, it is necessary to perform uniform hardening (cooling) on the upper surface, side surface, and lower surface with high accuracy. That is, when extremely high accuracy uniformity is required for the work hardening process, the gas cooling device described in Patent Document 1 has a problem that sufficient accuracy cannot be ensured in the cooling.
また、ワーク上面と下面の冷却が均一に行われないために、例えば歯車の歯部だけに限らず、ワーク全体の形状が変形してしまう恐れがあった。これは、ワーク上面に接触する冷却ガスの速度とワーク下面に接触する冷却ガスの速度が異なるため、上面と下面での冷却速度に差異が生じてしまうためである。 In addition, since the upper surface and the lower surface of the workpiece are not uniformly cooled, there is a possibility that the shape of the entire workpiece is deformed, not limited to the gear teeth. This is because the speed of the cooling gas that contacts the upper surface of the workpiece is different from the speed of the cooling gas that contacts the lower surface of the workpiece, which causes a difference in the cooling rate between the upper surface and the lower surface.
そこで、上記問題点に鑑み、本発明の目的は、ワークの焼入れ処理を行う場合に、該ワークの上面、側面および下面に均一な冷却ガスを接触させ、ワークの焼入れ処理(冷却)を極めて高精度で均一に行う、ワークのガス冷却装置およびガス冷却方法を提供することにある。 Accordingly, in view of the above problems, the object of the present invention is to make the work quenching process (cooling) extremely high by bringing a uniform cooling gas into contact with the upper surface, side surface and lower surface of the work when performing the work hardening process. An object of the present invention is to provide a gas cooling apparatus and a gas cooling method for a workpiece which are uniformly performed with high accuracy.
本発明によれば、ワークに冷却ガスを接触させて冷却するガス冷却装置であって、ワークを入れる減圧密閉容器と、前記減圧密閉容器内を真空にする真空ポンプと、前記減圧密閉容器内に冷却ガスを供給する冷却ガス供給源と、を備え、前記減圧密閉容器は上蓋、底板、外筒および内筒から成り、前記外筒と前記内筒の間に設けられる冷却媒体が流れる冷却流体流路と、前記内筒の中心部に設けられる前記ワークを保持する支持台と、前記内筒と前記支持台の間に配置される中間筒と、前記中間筒と前記内筒、前記上蓋および前記底板との間にそれぞれ形成される冷却ガス流路と、前記中間筒と前記支持台の間に設けられ、冷却ガスを前記ワークの側面に向けて整流する整流機構と、前記中間筒の上部中央に配置される循環ファンと、前記循環ファンを駆動させるためのモーターと、を備えるガス冷却装置が提供される。 According to the present invention, there is provided a gas cooling device that cools a workpiece by bringing a cooling gas into contact with the workpiece, the vacuum sealed container for storing the workpiece, a vacuum pump for evacuating the vacuum sealed container, and the vacuum sealed container A cooling gas supply source for supplying a cooling gas, wherein the decompression sealed container includes an upper lid, a bottom plate, an outer cylinder, and an inner cylinder, and a cooling fluid flow through which a cooling medium provided between the outer cylinder and the inner cylinder flows. A path, a support base for holding the workpiece provided at the center of the inner cylinder, an intermediate cylinder disposed between the inner cylinder and the support base, the intermediate cylinder, the inner cylinder, the upper lid, and the A cooling gas flow path formed between the bottom plate, a rectifying mechanism provided between the intermediate cylinder and the support, for rectifying the cooling gas toward the side surface of the workpiece, and an upper center of the intermediate cylinder A circulation fan arranged on the circulation circuit, and the circulation fan Gas cooling apparatus is provided comprising, a motor for driving the fan.
また、前記内筒の内周面に冷却フィンが形成されていてもよく、前記循環ファンの回転数が可変であってもよい。前記循環ファンの下面と前記支持台との間に前記中間筒内を流れる冷却ガスを整流するための内部ダクトを有していてもよい。また、前記内部ダクトは、円錐台形状のコア部と、前記コア部の外周面に互いに相離れた上下方向および半径方向に延び、その上端が互いに同一円周方向に弧状に湾曲する複数のガイド片とから成っていてもよい。 Further, cooling fins may be formed on the inner peripheral surface of the inner cylinder, and the rotational speed of the circulation fan may be variable. An internal duct for rectifying the cooling gas flowing in the intermediate cylinder may be provided between the lower surface of the circulation fan and the support base. The internal duct includes a truncated cone-shaped core portion and a plurality of guides extending in an up-down direction and a radial direction spaced apart from each other on an outer peripheral surface of the core portion, the upper ends of which are curved in an arc shape in the same circumferential direction. It may consist of pieces.
前記底板の上面に、その中央部が円錐台形状に上方に盛り上がり、周辺部が弧状に上方に湾曲する下部整流板を有していても良く、前記上蓋の下面に、その中央部が逆円錐台形状に下方に突出する上部整流板を有していてもよい。 On the upper surface of the bottom plate, there may be a lower rectifying plate whose central portion swells upward in a truncated cone shape and whose peripheral portion is curved upward in an arc shape, and whose central portion is an inverted cone on the lower surface of the upper lid. You may have the upper baffle which protrudes below in trapezoid shape.
一方、別な観点からの本発明によれば、上記ガス冷却装置を用いてワークを冷却するガス冷却方法であって、前記ワークを入れた減圧密閉容器に冷却ガスを封入し、前記減圧密閉容器の上部中央に設けた循環ファンにより冷却ガスを前記減圧密閉容器内で循環させ、前記ワークの側面部に、均一に冷却ガスを接触させて前記ワークを冷却する、ガス冷却方法が提供される。 On the other hand, according to another aspect of the present invention, there is provided a gas cooling method for cooling a workpiece using the gas cooling apparatus , wherein a cooling gas is enclosed in a vacuum sealed container containing the workpiece, and the vacuum sealed container There is provided a gas cooling method in which a cooling gas is circulated in the reduced-pressure sealed container by a circulation fan provided in the upper center of the container, and the workpiece is cooled by bringing the cooling gas into uniform contact with the side surface of the workpiece.
前記循環ファンの回転数は自在に変更可能であってもよく、前記冷却ガスは、1MPa以下の圧力の不活性ガス、水素ガスまたはこれら2種の混合ガスであってもよい。 The number of rotations of the circulation fan may be freely changed, and the cooling gas may be an inert gas having a pressure of 1 MPa or less, hydrogen gas, or a mixed gas of these two kinds.
本発明によれば、ワークの焼入れ処理を行う場合に、該ワークの上面、側面および下面に均一な冷却ガスを接触させ、ワークの焼入れ処理(冷却)を極めて高精度で均一に行い、ワークの変形を防止することが可能となる。また、使用圧力が低く、複雑な熱交換器を必要とせず、モーターも低出力の汎用モーターを使用することができるため、設備の簡素化、設備コストの低減が可能となる。 According to the present invention, when quenching a workpiece, uniform cooling gas is brought into contact with the upper surface, side surface and lower surface of the workpiece, and the workpiece is quenched and cooled uniformly with extremely high accuracy. Deformation can be prevented. Moreover, since the working pressure is low, a complicated heat exchanger is not required, and a general-purpose motor having a low output can be used, the equipment can be simplified and the equipment cost can be reduced.
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。なお、本明細書および図面において、実質的に同一の機能構成を有する構成要素については、同一の符号を付することにより重複説明を省略する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the present specification and drawings, components having substantially the same functional configuration are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted.
図3は本実施の形態にかかるガス冷却装置1全体の概略説明図である。ワーク5が投入される、減圧および密閉可能な容器10は、排気バルブ11を備える排気路12を介して、真空ポンプ14に連通している。また、容器10は、導入バルブ16を備える導入路17を介して、冷却ガスを貯留する貯留部20と連通している。
FIG. 3 is a schematic explanatory diagram of the entire gas cooling apparatus 1 according to the present embodiment. The
また、図4は容器10の構成を示す説明図である。容器10は外筒24と内筒25からなる二重筒構造であり、この外筒24と内筒25の間には冷却水が通る冷却水路28が形成されている。容器10の側面にはワーク5の搬入・搬出を行う出入口27が設けられている。内筒25の中心部にはワーク5を保持する支持台30が設置されており、例えば、歯車等のリング状の鋼部品であるワーク5の冷却時には、この支持台30に保持される。また、内筒25と支持台30の間には中間筒32が配置される。中間筒32と容器10の上蓋34、中間筒32と内筒25および中間筒32と容器10の底板35との間には流体通路37〜39が形成される。なお、上蓋34には図3で示した導入路17が設けられ、底板35には図3で示した排気路12が設けられており、図4には図示しないが、それぞれ貯留部20、真空ポンプ14に連通している。
FIG. 4 is an explanatory view showing the configuration of the
中間筒32の内部中央の支持台30上部には、円錐台形状(上に凸形状)の内部ダクト40が配置されており、内部ダクト40の側方、即ち中間筒32と内部ダクト40の間には、下方向に向かって狭くなる空間42が形成されている。図5には、内部ダクト40の平面図(図5a)および正面図(図5b)を示す。ここで、内部ダクト40は、円錐台形状のコア部40aとコア部40aの外周面に互いに相離れた上下方向および半径方向に延び、その上端が互いに同一円周状に弧状に湾曲する複数のガイド片40bから成っている。このガイド片40bに沿って冷却ガスが流動する構成となっている。
A frustoconical (upwardly convex)
また、空間42の下部には、空間42を流れる流体を支持台30の方向(ワーク5の方向)に整流する整流機構45が設置されている。整流機構45は支持台30およびワーク5を囲むようなドーナツ形状であり、複数の湾曲した整流流路45aと冷却後のガスを排出する排出部45bから構成されている。図4に示すように、整流流路45aの一方の端部は空間42に面して上方に開口しており、他方の端部は支持台30に保持された状態のワーク5側面に対向するように開口している。また、整流流路45aの下部には容器10の下方に向かって広がる円錐台形状の排出部45bが配置される。
In addition, a
中間筒32内の上部中央には回転軸49に支持される循環ファン50が設置され、回転軸49と接続されている上蓋34上部に載置されるモーター51の駆動により循環ファン50は回転する。
A
また、図4に示すように、内筒25の内周面には、鋼製の伝熱フィン53が複数取り付けられ、冷却水路28の冷却能が伝熱フィン53に伝達される構成となっている。一方、上蓋34の下面には、その中央部60aが逆円錐台形状に下方に突出する上部整流板60が配置され、底板35の上面にはその中央部61aが円錐台形状に盛り上がり、周辺部61bが弧状に上方に湾曲する下部整流板61が配置される。
As shown in FIG. 4, a plurality of steel
以上図3および図4を参照して説明したように構成されるガス冷却装置1において、例えば鋼部品の焼入れ処理等に代表されるワーク5のガス冷却が行われる。以下にそのガス冷却について説明する。
In the gas cooling apparatus 1 configured as described above with reference to FIGS. 3 and 4, for example, gas cooling of the
まず、貯留部20から例えば窒素、ヘリウム等の不活性ガス、水素ガスあるいはこれらのガスを2種ないし3種を混合したガスである冷却ガスが導入路17を介して容器10に導入される。この冷却ガスの導入に際し、容器10内部は真空ポンプ14の稼動により減圧される。冷却ガス導入後の容器10内の内圧は1MPa以下であることが好ましく、該圧力で十分な冷却能力を有し、且つ均一な冷却が可能である。そして、前段工程において加熱処理がなされた高温のワーク5が出入口27から容器10へ搬入される。搬入されたワーク5は支持台30に保持される。
First, for example, an inert gas such as nitrogen or helium, hydrogen gas, or a cooling gas that is a mixture of two or three of these gases is introduced from the
続いて、モーター51の稼動により循環ファン50が回転し、容器10内部に導入された冷却ガスの循環が行われる。ここで、容器10内部における冷却ガスの循環経路は、上部整流板60、下部整流板61および整流機構45による冷却ガスの整流に伴い、空間42、整流機構45内部、流体通路39、38、37を経由する経路(図4中の矢印に示すような経路)となる。所定の時間循環ファン50を回転させて冷却ガスを容器10内に循環させ、ワーク5の冷却が行われる。ここで、流体通路38を通過する冷却ガスは、内筒25の内周面に取り付けられた伝熱フィン53に接触する。伝熱フィン53は冷却水路28の冷却能によって水冷されているため、伝熱フィン53に接触した冷却ガスもまた冷却される。即ち、容器10内を循環する冷却ガスは、高熱のワーク5との熱交換によりワーク5を冷却するとともに、伝熱フィン53との接触により冷却されるため、冷却ガスの冷却能が担保され、ワーク5の冷却が効率的に行われる。
Subsequently, the
図6は、本実施の形態にかかるガス冷却装置1におけるワーク5近傍の冷却ガスの流れを示す説明図である。なお、図6中の矢印が冷却ガスの流れを示す。図6に示されるように、整流流路45aの開口部は、ワーク5の側面に垂直に冷却ガスが噴射されるように開口している。そのため、ワーク5の側面に冷却ガスは均一に噴射され、冷却が均一に行われる。また、整流機構45(整流流路45a)とワーク5の位置関係を適宜変更することにより、図6中の矢印に示すようにワーク5の上面および下面に冷却ガスが均一に流動・接触させられるような装置構成をとることが可能であるため、整流機構45とワーク5の位置関係を適当なものとすることにより、ワーク5の上面および下面に均一に冷却ガスを流動・接触させることが可能となる。即ち、整流機構45とワーク5の位置関係を好適なものとすることにより、ワーク5側面、上面および下面に均一に冷却ガスを接触させることができる。
FIG. 6 is an explanatory diagram showing the flow of the cooling gas in the vicinity of the
従って、従来のワーク上面方向から冷却ガスを流動させる方法と比べ、ワーク5の上面と下面に対する冷却ガスの噴射量や流動速度が均一となり、ワーク5の上面と下面の冷却が均一に行われるため、ワーク5の上面と下面での冷却が不均一に行われることによって発生するワーク5の変形が防止されることとなる。また、ワーク5として例示される歯車における歯部は、通常ワーク5の側面部であり、本実施の形態にかかるガス冷却装置1によれば、この側面部全体に対する冷却も均一に行われることから、極めて緻密な均一性が求められる歯車の歯部の冷却(焼入れ)においても、本実施の形態にかかるガス冷却装置1は有用である。
Therefore, compared to the conventional method of flowing the cooling gas from the upper surface side of the workpiece, the amount of the cooling gas sprayed on the upper surface and the lower surface of the
以上、本発明の実施の形態の一例を説明したが、本発明は図示の形態に限定されない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された思想の範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。 As mentioned above, although an example of embodiment of this invention was demonstrated, this invention is not limited to the form of illustration. It is obvious for those skilled in the art that various modifications or modifications can be conceived within the scope of the idea described in the claims, and these naturally belong to the technical scope of the present invention. It is understood.
例えば、上記実施の形態においては、整流流路45aの開口部はワーク5の側面に垂直に冷却ガスが噴射されるように配置されるとしたが、これに限られるものではなく、ワーク5の側面および上面・下面に均一に冷却ガスが接触するように開口部の角度や整流流路45aの位置を調整することが望ましい。また、内部ダクト40の形状は円錐台形状であるとし、上部整流板60は、その中央部60aが逆円錐台形状に下方に突出する形状であり、下部整流板61は、その中央部61aが円錐台形状に盛り上がり、周辺部61bが弧状に上方に湾曲する形状であるとしたが、本発明はこれに限られることはなく、容器10内を冷却ガスが効率的に循環するような整流板の形状を適宜定めることが望ましい。
For example, in the above-described embodiment, the opening of the rectifying
また、上記実施の形態において、ワーク5として鋼部品である歯車を例示して説明したが、本発明の適用対象はこれに限られるものではなく、加熱処理等がなされた高温の鋼材や部品等であれば、容易に本発明を用いて均一な冷却を行うことが可能である。
Moreover, in the said embodiment, although the gear which is a steel component was illustrated and demonstrated as the workpiece |
本発明は、ワークのガス冷却装置およびガス冷却方法に適用できる。 The present invention is applicable to a work gas cooling apparatus and a gas cooling method.
1…ガス冷却装置
5…ワーク
10…容器
11…排気バルブ
12…排気路
16…導入バルブ
17…導入路
20…貯留部
24…外筒
25…内筒
27…出入口
28…冷却水路
30…支持台
32…中間筒
34…上蓋
35…底板
37、38、39…流体通路
40…内部ダクト
40a…コア部
40b…ガイド片
42…空間
45…整流機構
45a…整流流路
45b…排出部
49…回転軸
50…循環ファン
53…伝熱フィン
60…上部整流板
61…下部整流板
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ...
Claims (11)
ワークを入れる減圧密閉容器と、
前記減圧密閉容器内を真空にする真空ポンプと、
前記減圧密閉容器内に冷却ガスを供給する冷却ガス供給源と、を備え、
前記減圧密閉容器は上蓋、底板、外筒および内筒から成り、
前記外筒と前記内筒の間に設けられる冷却媒体が流れる冷却流体流路と、
前記内筒の中心部に設けられる前記ワークを保持する支持台と、
前記内筒と前記支持台の間に配置される中間筒と、
前記中間筒と前記内筒、前記上蓋および前記底板との間にそれぞれ形成される冷却ガス流路と、
前記中間筒と前記支持台の間に設けられ、冷却ガスを前記ワークの側面に向けて整流する整流機構と、
前記中間筒の上部中央に配置される循環ファンと、
前記循環ファンを駆動させるためのモーターと、を備えるガス冷却装置。 A gas cooling device that cools a workpiece by bringing cooling gas into contact therewith,
A vacuum sealed container to put the work,
A vacuum pump for evacuating the vacuum sealed container;
A cooling gas supply source for supplying a cooling gas into the vacuum sealed container,
The vacuum sealed container is composed of an upper lid, a bottom plate, an outer cylinder and an inner cylinder,
A cooling fluid flow path through which a cooling medium provided between the outer cylinder and the inner cylinder flows;
A support base for holding the workpiece provided at the center of the inner cylinder;
An intermediate cylinder disposed between the inner cylinder and the support;
A cooling gas flow path formed between the intermediate cylinder and the inner cylinder, the upper lid and the bottom plate,
A rectifying mechanism that is provided between the intermediate cylinder and the support and rectifies the cooling gas toward the side surface of the workpiece;
A circulation fan disposed in the upper center of the intermediate cylinder;
A gas cooling device comprising: a motor for driving the circulation fan.
前記ワークを入れた減圧密閉容器に冷却ガスを封入し、前記減圧密閉容器の上部中央に設けた循環ファンにより冷却ガスを前記減圧密閉容器内で循環させ、
前記ワークの側面部に、均一に冷却ガスを接触させて前記ワークを冷却する、ガス冷却方法。 A gas cooling method for cooling a workpiece using the gas cooling device according to claim 1 ,
Cooling gas is sealed in a vacuum sealed container containing the workpiece, and the cooling gas is circulated in the vacuum sealed container by a circulation fan provided in the upper center of the vacuum sealed container.
A gas cooling method in which a cooling gas is uniformly brought into contact with a side surface portion of the workpiece to cool the workpiece.
The gas cooling method according to claim 9 or 10, wherein the cooling gas is an inert gas, a hydrogen gas, or a mixed gas of these two at a pressure of 1 MPa or less.
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