JP5511487B2 - Semiconductor device - Google Patents
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Description
この発明は、半導体素子を封止樹脂で封止した樹脂封止型半導体装置のうち、主としてリードフレームの半導体素子搭載面を樹脂で封止した片面封止タイプの樹脂封止型半導体装置に関する。 The present invention, a semiconductor device of a resin sealed semiconductor device sealed with a sealing resin, mainly a semiconductor element mounting surface of the lead frame in a resin-sealed semiconductor equipment of the single-sided sealing type encapsulated with resin Related.
半導体素子の電極を外部の配線等に電気的に接続するためにリードフレームを用いる樹脂封止型半導体装置が広く用いられている。このような半導体装置において、一般にリードフレームは、半導体素子を搭載するための支持部、支持部を支持する吊りリード部、および金属細線を接続するためのリード端子部を備えている。複数の半導体装置を一括で形成できるように、1枚のリードフレームには複数の半導体装置に対応する単位が含まれている。この半導体装置形成単位はほぼ矩形の形状を有し、吊りリード部はこの矩形の角部から内方にのび、リード端子部は辺部から内方にのびる形態を有することが多い。 2. Description of the Related Art Resin-encapsulated semiconductor devices that use a lead frame to electrically connect an electrode of a semiconductor element to an external wiring or the like are widely used. In such a semiconductor device, a lead frame generally includes a support part for mounting a semiconductor element, a suspension lead part for supporting the support part, and a lead terminal part for connecting a thin metal wire. One lead frame includes units corresponding to a plurality of semiconductor devices so that a plurality of semiconductor devices can be formed collectively. In many cases, the semiconductor device forming unit has a substantially rectangular shape, the suspension lead portion extends inward from the rectangular corner portion, and the lead terminal portion extends inward from the side portion.
図5は、このような従来のリードフレームの半導体装置形成単位の角部近傍を拡大して示す図解的な平面図である。
半導体装置形成単位の中央部(矢印Gの方向)には支持部51が配置されており、支持部51からは角部に向かって吊りリード部52がのびている。半導体装置形成単位の辺部には、ほぼ長方形のリード端子部53が配置されている。リード端子部53の半導体装置形成単位の周縁部側は、枠部50に接続されている。吊りリード部52の長手方向とリード端子部53の長手方向とはほぼ45°の角度をなす。
FIG. 5 is an illustrative plan view showing an enlarged vicinity of a corner of a semiconductor device forming unit of such a conventional lead frame.
A
1枚のリードフレームは、このような構造の半導体装置形成単位が、複数個配列されて枠部50に結合された構造を有する。半導体装置の製造において、リードフレームはリード端子部53の底面が露出するように封止樹脂で封止される。その後、リードフレームの1つの単位は、破線で示す切断線Mで切断され、その端面は封止樹脂の側面と実質的に同一面となる。
One lead frame has a structure in which a plurality of semiconductor device forming units having such a structure are arranged and coupled to the
半導体装置の小型化のため、リード端子部53の長さはなるべく短いことが好ましい。しかし、リード端子部53は外部の配線基板との接続用リードの役割も果たすので、ある一定以上の長さ(面積)が必要である。これらの理由により、リード端子部53は必要最小限の所定長さL1で形成される。
また、吊りリード部52と吊りリード部52に隣接したリード端子部53Aとの最近接部の間隔は、これらの間の絶縁信頼性確保のため広くとる必要があるが、半導体装置の小型化のためには狭いことが好ましい。これらの理由により、最近接部の間隔は必要最小限の所定距離L2に設計されている。
In order to reduce the size of the semiconductor device, the length of the
In addition, the distance between the closest portion of the
ところが、このような従来の構造のリードフレームにおいては、所定長さL1や所定距離L2を確保して半導体装置を形成すると、半導体装置の平面方向の大きさが大きくなってしまい、実装面積が大きくなってしまうという問題があった。
そこで、本発明の目的は、リード端子部が外部接続に必要な長さ(面積)を有し、かつ、吊りリード部とリード端子部との絶縁信頼性が確保された半導体装置を提供することである。
However, in the lead frame having such a conventional structure, when the semiconductor device is formed with the predetermined length L1 and the predetermined distance L2 secured, the size of the semiconductor device in the planar direction increases, and the mounting area increases. There was a problem of becoming.
An object of the present invention has the lead terminal portion length required for external connections (area), and to provide a semiconductor equipment that insulation reliability is ensured between the hanging lead portion and the lead terminal portion That is.
本発明の他の目的は、平面方向の大きさが小さく実装面積の小さな半導体装置を提供することである。 Another object of the present invention is to provide a small semiconductor equipment of small footprint size in the plane direction.
上記の目的を達成するための請求項1に記載の発明は、表面に電極を有する半導体素子と、電気接続のための複数のリード端子部と、上記リード端子部に対して斜行して延び、上記半導体素子が搭載される支持部を支持するための吊りリード部とを有するリードフレームと、上記リード端子部と上記半導体素子の電極とを接続する金属細線と、上記半導体素子、上記リードフレームおよび上記金属細線を、上記複数のリード端子部の各一部が露出するように封止する封止樹脂とを含み、上記複数のリード端子部は、上記吊りリード部との干渉を避けるように当該吊りリード部にほぼ沿う面取部を先端に有する面取り形リード端子部を含み、前記支持部は、前記吊りリード部に比して幅が広くなっており、前記リード端子部は、幅広部と、前記リード端子部の上面における幅が前記幅広部よりも狭く、前記リード端子部の底面における幅が前記幅広部と同じである幅狭部とをその先端から交互に少なくとも複数対備え、前記幅広部の幅は前記リード端子部の上面から底面へ向かって幅が狭くなっていることを特徴とする半導体装置である。
In order to achieve the above object, an invention according to claim 1 is directed to a semiconductor element having electrodes on its surface, a plurality of lead terminal portions for electrical connection, and extending obliquely with respect to the lead terminal portion. A lead frame having a suspension lead portion for supporting a support portion on which the semiconductor element is mounted, a metal thin wire connecting the lead terminal portion and the electrode of the semiconductor element, the semiconductor element, and the lead frame And a sealing resin that seals the thin metal wires so that each part of the plurality of lead terminal portions is exposed, and the plurality of lead terminal portions avoid interference with the suspension lead portions. Including a chamfered lead terminal portion having a chamfered portion substantially along the suspension lead portion at the tip, wherein the support portion is wider than the suspension lead portion, and the lead terminal portion is a wide portion And said The wide terminal portion includes at least a plurality of narrow portions alternately having a width on the upper surface of the card terminal portion narrower than the wide portion, and a width on the bottom surface of the lead terminal portion being the same as the wide portion, from the tip thereof. The semiconductor device is characterized in that the width of the lead terminal portion decreases from the top surface to the bottom surface of the lead terminal portion .
リードフレームは、電気接続のための複数のリード端子部と、上記リード端子部に対して斜行して延び、半導体素子が搭載される支持部を支持するための吊りリード部とを有していてもよく、上記複数のリード端子部は、上記吊りリード部との干渉を避けるように当該吊りリード部にほぼ沿って形成された面取部を先端に有する面取り形リード端子部を含み、前記支持部は、前記吊りリード部に比して幅が広くなっていてもよい。 The lead frame has a plurality of lead terminal portions for electrical connection and a suspension lead portion that extends obliquely with respect to the lead terminal portion and supports a support portion on which a semiconductor element is mounted. and may be, the plurality of lead terminals unit includes a chamfer-shaped lead terminal portion having a distal end a chamfered portion formed substantially along the hanging lead portion so as to avoid interference with the hanging lead portion, wherein The support portion may be wider than the suspension lead portion .
請求項1記載の発明によれば、リード端子部は吊りリード部との干渉を避けるようにこの吊りリード部に沿って面取りされているので、その分リード端子部を吊りリード部側に詰めて配置しても、一定以上の間隔を確保することができる。すなわち、従来の構造のリードフレームにおいては、リード端子部は吊りリード部に向かって張り出した角部を有するので、この角部の先端と吊りリード部との干渉を避け、これらの間の距離を一定以上に確保するために、実質的にリード端子部を周縁部側に配置しなければならなかった。このため、半導体装置形成単位のリードフレームが大きくなり、これを用いた半導体装置の平面方向の大きさが大きくなっていた。 According to the first aspect of the present invention, since the lead terminal portion is chamfered along the suspension lead portion so as to avoid interference with the suspension lead portion, the lead terminal portion is packed on the suspension lead portion side accordingly. Even if it arrange | positions, the space | interval more than fixed can be ensured. That is, in a lead frame having a conventional structure, the lead terminal portion has a corner portion that protrudes toward the suspension lead portion, so that interference between the tip of the corner portion and the suspension lead portion is avoided, and the distance between them is increased. In order to ensure a certain level or more, the lead terminal portion has to be disposed substantially on the peripheral edge side. For this reason, the lead frame of the semiconductor device forming unit is large, and the size of the semiconductor device using the lead frame is large.
これに対して、この発明においては、リード端子部は先端に面取部を有し、この部分で吊りリード部に対向しているので、吊りリード部を実質的に内側に配置することができる。したがって、リードフレームの半導体装置形成単位の大きさを小さくすることができ、これを用いた半導体装置の平面方向の大きさを小さくし、実装面積を小さくすることができる。 On the other hand, in the present invention, the lead terminal portion has a chamfered portion at the tip, and this portion faces the suspension lead portion, so that the suspension lead portion can be disposed substantially inside. . Therefore, the size of the semiconductor device forming unit of the lead frame can be reduced, the size of the semiconductor device using the lead frame can be reduced, and the mounting area can be reduced.
面取部は、吊りリード部の側辺に平行な直線的な辺(C面取り)で構成されていることが好ましいが、吊りリード部との干渉を避けるように面取りされているかぎり、同様の効果を奏する。たとえば、面取部が曲線的な辺(たとえばR面取り)で構成されていてもよい。また、面取部はリード端子部の幅方向の一部にのみかかる斜辺であってもよく、請求項7に記載のように、全幅にかかる斜辺であってもよい。
請求項2記載のように、上記リード端子部の外側の端面は、上記封止樹脂の側面と実質的に同一面であってもよい。
上記リードフレームは、請求項3記載のように、上下に対称であってもよく、請求項4記載のように、左右に対称であってもよい。
Chamfer, hanging is preferred Rukoto consists of lead portions parallel straight sides on the side of the (C chamfer), as long as being chamfered to avoid interference with hanging lead portion, similar There is an effect. For example, the chamfered portion may be configured with rounded edges (e.g., R-chamfering). Further, the chamfered portion may be a hypotenuse that covers only a part of the lead terminal portion in the width direction, or may be a hypotenuse that covers the entire width as recited in
According to a second aspect of the present invention, the outer end surface of the lead terminal portion may be substantially flush with the side surface of the sealing resin.
The lead frame may be symmetrical up and down as in
請求項5記載のように、上記面取り形リード端子部が、上記吊りリード部に隣接して配置されていることが好ましい。
さらには、請求項6記載のように、吊りリード部に隣接したリード端子部のみが面取り形リード端子部であることが好ましい。この場合、面取部により極端に短くなるリード端子部は存在しない。このようなリードフレームを用いた半導体装置において、全てのリード端子部に対して、金属細線の接続および外部配線基板との接続を好適に行うことができる。
As claimed in
Further, it is preferable according to
この場合、面取部がリード端子部の全幅にかかる斜辺であると、リードフレームの半導体装置形成単位の大きさを最も小さくすることができ、これを用いた半導体装置の平面方向の大きさを最も小さくすることができる。
請求項8に記載のように、上記支持部における上記半導体素子側の面の面積が、上記半導体素子における上記支持部側の面の面積より小さくされていてもよい。
請求項9に記載のように、上記支持部は、X字形の形状を有していてもよい。
請求項10に記載のように、上記複数のリード端子部が、辺を有する枠部を備えたリードフレームを用いて形成されたものであってもよく、この場合、上記リードフレームにおいて、上記複数のリード端子部に対応する部分は、上記枠部の上記辺に垂直にのびていてもよい。
請求項11に記載のように、平面視において、上記リード端子部は、長手形状を有するとともに、上記吊りリード部は、上記リード端子部の長手方向に対して、45°の角度をなして斜交していてもよい。
請求項12に記載のように、上記吊りリード部の途中に、段差部が形成されていてもよい。この場合、請求項13記載のように、上記段差部により、上記支持部が、上記リード端子部と比べて高い位置にアップセットされていてもよく、この場合、上記支持部に対して、当該半導体装置の底面側に、上記封止樹脂が存在していてもよい。
In this case, when the chamfered portion is a hypotenuse extending over the entire width of the lead terminal portion, the size of the semiconductor device forming unit of the lead frame can be minimized, and the size of the semiconductor device using this can be reduced in the planar direction. Can be the smallest.
According to an eighth aspect of the present invention, the area of the support element side surface of the support portion may be smaller than the area of the support element side surface of the semiconductor element.
As described in claim 9, the support portion may have an X-shape.
According to a tenth aspect of the present invention, the plurality of lead terminal portions may be formed using a lead frame provided with a frame portion having a side. The portion corresponding to the lead terminal portion may extend perpendicularly to the side of the frame portion.
In the planar view, the lead terminal portion has a longitudinal shape, and the suspension lead portion is inclined at an angle of 45 ° with respect to the longitudinal direction of the lead terminal portion. You may be in contact.
As described in claim 12, a stepped portion may be formed in the middle of the suspension lead portion. In this case, as described in claim 13, by the stepped portion, the support portion may be upset at a position higher than the lead terminal portion. The sealing resin may be present on the bottom side of the semiconductor device .
以下では、この発明の実施の形態を、添付図面を参照して詳細に説明する。
図1は、リードフレーム1の半導体装置形成単位を示す図解的な平面図である。1つの半導体装置形成単位は正方形の形状を有し、上下および左右に対称である。このため、左上の4分の1の部分にのみ参照番号を付しているが、他の部分も同様である。半導体装置形成単位は、周縁部に配された枠部2、中央部に配された支持部4,支持部4と枠部2の角部とを接続する吊りリード部3,および枠部2の辺部に配されたリード端子部5を備えている。枠部2には、通常、半導体装置製造工程においてリードフレーム1を位置合わせして固定するためなどに用いる穴(図示しない)が設けられている。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
Figure 1 is a schematic plan view showing a semiconductor device forming units rie de frame 1. One semiconductor device forming unit has a square shape and is symmetrical vertically and horizontally. For this reason, the reference number is given only to the upper left quarter, but the other parts are the same. The semiconductor device forming unit includes a
支持部4は、枠部2の角部から吊りリード部3を介して対角線状にのびている。すなわち、支持部4はX字形の形状を有している。支持部4は吊りリード部3に比して幅が広くなっている。吊りリード部3の途中には段差部3aが形成されており、支持部4は、枠部2と比べて高い位置にアップセットされて配置されている。
リード端子部5は、枠部2の辺部から中心に向かって、辺に垂直にのびている。吊りリード部3は、リード端子部5の長手方向に対し、平面視において約45°の角度をなして斜行している。リード端子部5の長さはいずれも同じである。
The
The lead
このような構造を有する半導体装置形成単位が複数密に配されて1枚のリードフレームを構成する。
半導体装置の製造時、支持部4の上に半導体素子がダイボンディングされ、半導体素子の電極とリード端子部5とが金属細線により接続される。その後、半導体素子、支持部4、吊りリード部3の一部、およびリード端子部5の一部が封止樹脂により覆われ、破線で示す切断線Eの位置でリード端子部5および吊りリード部3が切断される。封止樹脂により覆われる領域は、切断線Eで囲まれた領域である。
A plurality of semiconductor device forming units having such a structure are densely arranged to constitute one lead frame.
At the time of manufacturing the semiconductor device, a semiconductor element is die-bonded on the
図2は、図1のリードフレームの半導体装置形成単位の角部近傍を拡大して示す図解的な平面図である。
リード端子部5のリードフレーム中央部側の先端部の形状は、吊りリード部3に隣接していないリード端子部5Bでは直角の角を有している。一方、吊りリード部3に隣接しているリード端子部5Aでは、吊りリード部3の側辺にほぼ平行な直線状の辺で対向しており、この辺はほぼリード端子部5Aの全幅に渡って形成されている。すなわち、リード端子部5Aは、吊りリード部3との干渉を避けるように吊りリード部3にほぼ沿って形成された面取部を先端に有する面取り形リード端子部となっている。
FIG. 2 is an illustrative plan view showing an enlarged vicinity of a corner portion of a semiconductor device forming unit of the lead frame of FIG.
The shape of the leading end portion of the lead
リード端子部5の側辺には段差が設けられており、リード端子部5の幅はわずかに広い部分とわずかに狭い部分とが存在する。このような形状により、リード端子部5は周縁部側に抜けにくくなっている。
図3は、図2のC−C切断線断面図、およびD−D切断線断面図である。
リード端子部5の幅の広い部分の断面であるC−C切断線断面は、上底の長さがt1、下底の長さがt2(t1>t2)である逆台形の形状を示す(図3(a))。リード端子部5の幅の狭い部分の断面であるD−D切断線断面は、幅がt2である長方形の形状を示す(図3(b))。すなわち、リード端子部5は、上面では幅がt1の部分とt2の部分が存在するが、底面では幅はt2で一定している。
A step is provided on the side of the lead
3 is a cross-sectional view taken along the line CC of FIG. 2 and a cross-sectional view taken along the line DD.
A CC cut line cross section, which is a cross section of the wide portion of the lead
封止樹脂で覆った後には、封止樹脂はリード端子部5の底面と面一の位置Fまで満たされ、リード端子部5の底面は露出して外部接続端子部(アウターリード部)をなす。C−C切断線断面(図3(a))の形状を有する部分では、リード端子部5は、封止樹脂内部の方が幅が広く、封止樹脂の底面側に対向するテーパー面を有しているので、リード端子部5は封止樹脂から下方へ抜けにくくなっている。
After covering with the sealing resin, the sealing resin is filled up to a position F flush with the bottom surface of the lead
再び図2を参照して説明する。
リード端子部5は外部の配線基板等との接続用リードの役割も果たすので、リード端子部5の封止樹脂からの露出面積は一定以上の大きさが必要である。このため、切断後のリード端子部5は、ある一定の長さ以上を確保する必要がある。一方、半導体装置の小型化のため、リード端子部5の長さはなるべく短いことが好ましい。これらの理由により、リード端子部5は必要最小限の所定長さL1で形成される。
A description will be given with reference to FIG. 2 again.
Since the lead
吊りリード部3と吊りリード部3に隣接したリード端子部5Aとの最近接部の間隔は、これらの絶縁信頼性確保のため広くとる必要があるが、半導体装置の小型化のためには狭いことが好ましい。これらの理由により、最近接部の間隔は必要最小限の所定距離L2に設計されている。
従来の形状のリード端子部53を用いて、リード端子部53を所定長さL1とし、最近接部の間隔を所定距離L2とした場合、本実施形態の場合と比べて、リード端子部53はより周縁部側に配置しなければならない。なぜなら、従来の形状のリード端子部53は、最近接部において角部54が吊りリード部52側へ張り出しているため、前端A1を本実施形態における前端B1と同じ位置にすると、最近接部の間隔が所定の間隔L2より短くなってしまうからである。したがって、本実施形態における前端B1は、従来の技術における前端A1と比べて、距離L3だけ内部側に配置させることができる。リード端子部5,53の長さは、いずれも所定長さL1であるので、本実施形態における後端B2は、従来の技術における後端A2より内側になる。すなわち、このようなリードフレーム1は、半導体装置形成単位を小さくすることができる。
The distance between the nearest part of the suspension
When the
また、封止樹脂は後端A2,B2と実質的に同一面に形成されるので、本実施形態のリードフレームを用いた半導体装置は、大きさを一辺の片側で距離L3だけ小さくすることができ、一辺あたり、距離2×L3だけ小さくすることができる。したがって、このような半導体装置は実装面積を小さくすることができる。
図4は、このようなリードフレーム1を用いて形成した半導体装置の図解的な断面図である。リードフレーム1の各部については図1と同じ参照番号を付し説明を省略する。
Further, since the sealing resin is formed on substantially the same plane as the rear ends A2 and B2, the semiconductor device using the lead frame of this embodiment can be reduced in size by the distance L3 on one side of one side. It can be reduced by a distance of 2 × L3 per side. Therefore, such a semiconductor device can reduce the mounting area.
FIG. 4 is a schematic cross-sectional view of a semiconductor device formed using such a lead frame 1. Components of the lead frame 1 are denoted by the same reference numerals as those in FIG.
支持部4の上には直方体状の半導体素子6がダイボンディングされている。支持部4はX字の形状を有しており(図1参照)、支持部4の上面の面積は、半導体素子6の底面積より小さくなっている。半導体素子6の上面に形成された電極とリード端子部5とは、金属細線7で電気的に接続されている。半導体素子6、金属細線7、およびリードフレーム1の一部は封止樹脂8により覆われている。半導体装置の底面において、リード端子部5と封止樹脂8とは面一に形成されており、リード端子部5の底面は露出している。封止樹脂8は、支持部4の下方にアップセット分の厚みで存在する。また、リード端子部5の外側の端面は封止樹脂8の側面と実質同一面になっている。
A rectangular
このような構造の半導体装置は、底面に露出したリード端子部5を外部端子として、配線基板などに表面実装することができる。また、リード端子部5の片面側のみ封止樹脂8により封止されているので、半導体装置の厚みを薄くすることができ、各種薄型機器に好適に搭載することができる。
支持部4の下にも封止樹脂8が存在するので、支持部4および吊りリード部3と封止樹脂8との結合は強固である。支持部4の面積が半導体素子6の底面積より小さいことから、半導体素子6は底面において封止樹脂8と直接接している部分が存在する。これにより、支持部4と半導体素子6との間の界面で生ずる剥離現象を低減することができる。
The semiconductor device having such a structure can be surface-mounted on a wiring board or the like using the
Since the sealing
以上は本発明の実施形態の例であり、特許請求の範囲に記載された事項の範囲で種々の設計変更を施すことが可能である。 The above is an example of an embodiment of the present invention, and various design changes can be made within the scope of the matters described in the claims.
1 リードフレーム
3 吊りリード部
4 支持部
5 リード端子部
6 半導体素子
7 金属細線
8 封止樹脂
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1
Claims (13)
電気接続のための複数のリード端子部と、上記リード端子部に対して斜行して延び、上記半導体素子が搭載される支持部を支持するための吊りリード部とを有するリードフレームと、
上記リード端子部と上記半導体素子の電極とを接続する金属細線と、
上記半導体素子、上記リードフレームおよび上記金属細線を、上記複数のリード端子部の各一部が露出するように封止する封止樹脂とを含み、
上記複数のリード端子部は、上記吊りリード部との干渉を避けるように当該吊りリード部にほぼ沿う面取部を先端に有する面取り形リード端子部を含み、
前記支持部は、前記吊りリード部に比して幅が広くなっており、
前記リード端子部は、幅広部と、前記リード端子部の上面における幅が前記幅広部よりも狭く、前記リード端子部の底面における幅が前記幅広部と同じである幅狭部とをその先端から交互に少なくとも複数対備え、前記幅広部の幅は前記リード端子部の上面から底面へ向かって幅が狭くなっていることを特徴とする半導体装置。 A semiconductor element having an electrode on the surface;
A lead frame having a plurality of lead terminal portions for electrical connection and a suspension lead portion extending obliquely with respect to the lead terminal portion and supporting a support portion on which the semiconductor element is mounted;
A fine metal wire connecting the lead terminal portion and the electrode of the semiconductor element;
A sealing resin that seals the semiconductor element, the lead frame, and the fine metal wires so that each part of the plurality of lead terminal portions is exposed;
The plurality of lead terminal portions include a chamfered lead terminal portion having a chamfered portion substantially along the suspension lead portion at the tip so as to avoid interference with the suspension lead portion,
The support part is wider than the suspension lead part ,
The lead terminal portion includes a wide portion and a narrow portion whose width on the top surface of the lead terminal portion is narrower than that of the wide portion and whose width on the bottom surface of the lead terminal portion is the same as that of the wide portion from the tip. A semiconductor device comprising at least a plurality of pairs alternately, wherein the width of the wide portion decreases from the top surface to the bottom surface of the lead terminal portion .
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