JP5518815B2 - Fan filter unit fan structure - Google Patents
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Description
この発明はクリーンルーム内にクリーンエアーを供給するファンフィルタユニット(FFU)のファン構造に関するものである。 The present invention relates to a fan structure of a fan filter unit (FFU) that supplies clean air into a clean room.
従来、クリーンルーム内には、特開2000−205621号公報の3頁4項の23行以下に記載されているように「クリーンルームでは種々の薬品が使用されることから、これらの薬品に侵される可能性がある樹脂製のものよりも、金属(例えば、アルミニウムやステンレス鋼等)部材によって形成されることが好ましい。」とされ、ファンはアルミニウム,ステンレス,メッキ鋼板,鋼板を加工後塗装したものなど0.5〜1.0mm厚程度の金属板の板金加工と組立てによって形成されている。
Conventionally, in a clean room, as described in JP-A-2000-205621,
さらに従来のファンは図4乃至5に示すように、中央を凹部とする平面視円形をした板状の主支持部材Aと該主支持部材Aと同外周径をもって内周側を該主支持部材の凹部と同じ方向に絞り曲げした環状の副支持部材Bと、該主・副支持部材A,B間に跨り且つ相互に等間隔を置いて斜め放射状にて縦設する5つの羽根部材Cと、モータ軸接合用ボスDとを各別に形成し、主/副支持部材A,Bの間に羽根部材Cを位置合わせして、羽根部材Cに設けた爪片cを両支持部材A,Bの貫通穴を通して外側で曲げ止め、接合用ボスDを主支持部材Aの凹部中心に合わせてリベットE止めして接合組立てするので、熟練を要す多数の製造工程を必要とし、さらにプレス成型,組立て用の型費用が例えば外形390φのもので10,000,000円〜20,000,000円というように高額となるためにファンの製造コストが高いものになっているという課題がある。 Further, as shown in FIGS. 4 to 5, the conventional fan has a plate-like main support member A having a circular shape in a plan view with a concave portion at the center, the same outer diameter as the main support member A, and the main support member on the inner peripheral side An annular sub-support member B that is drawn and bent in the same direction as the concave portion, and five blade members C that are vertically arranged in an oblique radial manner across the main and sub-support members A and B at equal intervals. The motor shaft joining boss D is formed separately, the blade member C is aligned between the main / sub support members A and B, and the claw piece c provided on the blade member C is attached to both the support members A and B. Since the boss D for bonding is fixed to the center of the concave portion of the main support member A and assembled by joining and assembling, a large number of skillful manufacturing processes are required, and press molding, The cost of the mold for assembly is, for example, 10,000,000 yen to 20,000,000 yen when the outer shape is 390φ Thus, there is a problem that the manufacturing cost of the fan is high due to the high price.
また、ファンを安定回転させて振動の発生を防止するためにはファンの重量バランスに偏りのないことが重要であるところ、上記のように組み立てた板金製のファンではプレスや溶接時の歪み,接合組立て時のズレなどによって重量バランスにバラつきが生ずることが常であり、このアンバランスを修正するためにはバランシングマシーンで1つひとつのファンを回転させて重量偏位の位置と量とを測り、その反対側にカウンターバランスの錘を固定取付けしてアンバランスを取り除くバランス調整工程を要するため、この手間もコスト高を招く要因のひとつになっているという課題がある。 In addition, in order to prevent the occurrence of vibration by rotating the fan stably, it is important that the fan's weight balance is not biased. However, in the case of a sheet metal fan assembled as described above, distortion during press and welding, It is normal for the weight balance to vary due to misalignment during joining and assembly. To correct this unbalance, the position and amount of weight excursion are measured by rotating each fan on a balancing machine. However, since a counterbalance process is required to fix the counterbalance weight on the opposite side and remove the unbalance, there is a problem that this labor is also one of the causes of high costs.
さらに、金属製で重いファンを組込んだファンフィルタユニットは輸送時にファンの自重で振動し、その振動によって各部材に歪みが生じて新たなアンバランス状態を引き起こして、バランスの再調整を要することがあるという課題がある。
ファンの自重に相乗される衝撃で、モータ回転軸を支持する軸受を損傷することも多く、損傷すると運転時の振動が大きくなったりモータから異音が発生する不具合に繋がるという課題がある。
In addition, a fan filter unit incorporating a heavy fan made of metal vibrates due to the weight of the fan during transportation, and the vibration causes distortion in each member, causing a new unbalanced state and requiring rebalancing. There is a problem that there is.
The impact that is synergistic with the weight of the fan often damages the bearing that supports the motor rotation shaft, and there is a problem in that the vibration during operation increases or abnormal noise is generated from the motor.
また、ファンの重量が重いほど規定回転数までの起動時間が長くなるので、短時間にて規定回転数に到達させるためには通常運転に要するよりも大きめのトルクをもった大型モータを使用する必要があるという課題がある。
またファンのような回転体は遠心力が大きくなるに連れて振動や騒音を発生しやすくなるという問題があり、これを解消するには動バランス修正をしたり、軽量化することが現実的な対応手段であるところ、ファンの安易な軽量化には新たに回転速度(破壊回転数)の課題が生ずることとなる。
Also, the heavier the fan, the longer the startup time to the specified speed, so use a large motor with a larger torque than required for normal operation to reach the specified speed in a short time. There is a problem that it is necessary.
In addition, a rotating body such as a fan has a problem that vibration and noise are likely to occur as the centrifugal force increases, and in order to solve this, it is realistic to correct the dynamic balance or reduce the weight. As a countermeasure, a new problem of rotational speed (destructive rotation speed) arises for easy weight reduction of the fan.
なおクリーンルームの天井などには多数のファンフィルタユニットを設置するためにできるだけ軽量化されることが望まれている。 In addition, it is desired to reduce the weight as much as possible in order to install a large number of fan filter units on the ceiling of a clean room.
本発明は、クリーンルーム内にクリーンエアーを供給するファンであって、ポリスチレンの細粒状ビーズを10〜30%の低発泡率にとどめた発泡と、該各発泡ビーズを一定時間をかけたサイロ内熟成により内部圧力を安定させた後、ヘキサ・ブロモ・シクロ・ドデカン(HBCDD)などの自己消火性の高い難燃助剤を練り込み添加してファン成型用の金型内に充填して成型することにより板金製に近い板厚と難燃性を備え且つ射出成型のプラスチック製品のように強度を高くしてなるファンを形成するようにして、かかる課題を解決したのである。
The present invention is a fan to supply clean air into the clean room, a foam was kept fine particulate beads of polystyrene low foaming rate of 10-30%, the silo was applied for a certain period of time the respective expanded beads ripening by after stabilizing the internal pressure and formed mold was filled in a hex-bromo-cyclo-dodecane (HBCDD) added to the mold for the fan molding kneaded self-extinguishing highly flame retardant aid such as Thus, such a problem is solved by forming a fan having a thickness and flame retardancy close to those of sheet metal and having high strength like an injection molded plastic product .
本発明の発泡スチロールにて成型するファンは、板金製品に要するプレス型と組立用の型の費用に較べて金型費を10分の1以下とすることができるので初期投資コストを著しく低く抑えることができ、さらに金属板材に比較して格段に廉価な発泡スチロール材を使用することで、ファンの製造コストを飛躍的に低廉にすることができるという効果を生ずる。 The fan molded with the polystyrene foam of the present invention can reduce the cost of the mold to 1/10 or less compared with the cost of the press mold and assembly mold required for sheet metal products, so that the initial investment cost can be kept extremely low. In addition, the use of a styrofoam material that is much cheaper than a metal plate material has the effect that the manufacturing cost of the fan can be drastically reduced.
ファンは発泡スチロールの発泡成型にて一体成型または接合の容易な2分割体などにて成型することができるので、製造能率を飛躍的に向上することができるという効果を生ずる。しかも絶対重量がごく小さくなるので、例えば重量バランスに偏位があっても回転に悪影響を及ぼすほどとはならず、すなわち、質量軽減率と同比率で遠心力が抑えられるため偏重心によるアンバランスが生じても影響がでない範囲にとどまるため、ファンのバランス調整の手間を省略することができるという効果を生ずる。 The fan can be molded as a single piece or a two-part body that can be easily joined by foaming of polystyrene foam, so that the production efficiency can be greatly improved. Moreover, since the absolute weight is extremely small, for example, even if there is a deviation in the weight balance, the rotation will not be adversely affected. Even if this occurs, it remains in a range where there is no influence, so that it is possible to eliminate the trouble of adjusting the balance of the fan.
ファンが軽量化されたことでファンフィルタユニットの輸送時の振動が軽減して、振動歪みによるバランス崩れの発生を防止することができ、また、モータ軸を支持する軸受の損傷を回避することができるという効果を生ずる。 By reducing the weight of the fan, vibration during transportation of the fan filter unit can be reduced, preventing the occurrence of balance loss due to vibration distortion, and avoiding damage to the bearing that supports the motor shaft. The effect of being able to be produced.
ファンを軽量化したことにより駆動モータのサイズを小型なものにしても短時間にて規定回転数に到達させるができるので、設備費ならび運転費を軽減することができるという効果を生ずる。 Since the fan is reduced in weight, the drive speed can be reached in a short time even if the size of the drive motor is reduced, so that the equipment cost and the operating cost can be reduced.
ファンは吸音性能が大きい発泡スチロールで形成したので、特別な防振構造を備えなくとも風切り音,モータからの振動を軽減することができるという効果を生ずる。またファンを無電解ニッケルメッキにより被膜したので、発泡スチロール製品の弱点である耐薬品性、耐油性,耐熱性および強度が格段に向上し、発泡スチロールが傷つくことにより生ずる発塵を妨げるとともに、発泡スチロールから発生するガスの飛散を防止することができ、従来の板金製と同等に長年の使用に供することができるという効果を生ずる。 Since the fan is made of foamed polystyrene having high sound absorption performance, the effect of reducing wind noise and vibration from the motor can be obtained without a special vibration isolation structure. In addition, since the fan is coated with electroless nickel plating, the chemical resistance, oil resistance, heat resistance and strength, which are weak points of expanded polystyrene products, are greatly improved, and dust generation caused by damaged expanded polystyrene is prevented and generated from expanded polystyrene. As a result, it is possible to prevent the gas from being scattered and to be used for many years as in the case of conventional sheet metal.
1はファン
1aは主支持部材
1bは副支持部材
1cは羽根部材
1dはモータ軸接合用ボス
2は金型
3は無電解ニッケルメッキ
4はモジュウル
5はモータ
5aはモータの回転軸
6はネジ
7は外箱
8はファフィルタユニット
1 is a fan 1a is a
本発明は、ファンフィルタユニットのファンを発泡率10〜30%とする発泡スチロール材にて形成し、該ファンの全表面を無電解ニッケルメッキにて被膜するようにしたのである。
発泡スチロール成型によりファン製造の型費と材料費を従来の板金製に較べて著しく安価とし、組立て不要の精密な一体成型によりバランス調整を不要にし、大幅な軽量化により輸送時の振動を抑えて新たな歪みの発生を防止し、従来よりも小型のモータによる運転を可能にして、しかも連続運転にも十二分な強度と板金製のファンと同等の耐薬品性、耐油性,耐熱性が得られるようにしたのである。
In the present invention, the fan of the fan filter unit is formed of a foamed polystyrene material having a foaming rate of 10 to 30%, and the entire surface of the fan is coated with electroless nickel plating.
Styrofoam molding makes the cost and material cost of fan production significantly lower than those of conventional sheet metal, and eliminates the need for balance adjustment through precision integral molding that does not require assembly. Prevents the occurrence of excessive distortion, enables operation with a smaller motor than before, and has sufficient strength for continuous operation and chemical resistance, oil resistance, and heat resistance equivalent to a sheet metal fan. It was made to be able to.
図1乃至図3は1実施例を示すもので、発泡スチロールの材料であるポリスチレンをブタン・ペンタンなどの炭化水素ガスで発泡させて直径1mm程度の細粒状ポリスチレン=ポリスチレンビーズに炭化水素ガスを吸収させ、これにポリスチレンの耐熱温度80〜90℃を越える100℃以上の高温蒸気を当てて樹脂を軟化・融解させると共に圧力を加えて発泡させ、発泡したビーズ同士を融着させるビーズ法発泡スチロール (expanded polystyrene、EPS)にて金型2内にてファン1を一体成型する。
FIG. 1 to FIG. 3 show an embodiment, and polystyrene, which is a material of expanded polystyrene, is foamed with a hydrocarbon gas such as butane / pentane, and the hydrocarbon gas is absorbed by fine polystyrene polystyrene beads having a diameter of about 1 mm. This is a polystyrene foam (expanded polystyrene) that applies high-temperature steam of 100 ° C or higher, which exceeds the heat-resistant temperature of 80 to 90 ° C, to soften and melt the resin and foam it by applying pressure to fuse the expanded beads together. , EPS), and the
より具体的には、予備発泡としてポリスチレンビーズを発泡機内に投入し、撹拌しつつ蒸気で加熱してポリスチレンビーズを膨張させる。この工程で発泡率が10〜30%(容積率1.1倍〜1.3倍)の設定値となるようにコントロールしておいてから熟成用サイロの中に移して8〜24時間程度粒子を熟成させて粒子内の圧力を安定させ、その後ポリスチレンビーズをファン成型用の金型2の中に充填し、蒸気により2次発泡させると同時にビーズ間同士を融着させファン1を成型するのである。なお、材料のポリスチレンにあらかじめヘキサ・ブロモ・シクロ・ドデカン(HBCDD)などの自己消火性の高い難燃助剤を練り込み添加して発泡スチロールの難燃性を高めるようにすることもある。
More specifically, polystyrene beads are put into a foaming machine as preliminary foaming, and heated with steam while stirring to expand the polystyrene beads. In this process, the foaming rate is controlled so as to become a set value of 10 to 30% (volume ratio 1.1 times to 1.3 times), and then transferred to an aging silo for about 8 to 24 hours. Is used to stabilize the pressure in the particles, and after that, polystyrene beads are filled into a
金型2はファン1を構成する主支持部材1aと副支持部材1bと羽根部材1cおよびモータ軸接合用ボス1dを一体成型するように造られているので、脱型時に一切の接合組立て作業を要しない一体成型にて完成したファン1が得られるのである。
なお、主支持部材1aとモータ軸接合用のボス1d、副支持部材と1bと羽根部材1cをそれぞれ一体とした2分割などの分割体にて成型し、これらを接着等の手段を用いて接合するようにすることもある。いずれにしても板金製に較べて、組立て作業はごく容易なものとなり、プレスや溶接作業を要しないために歪みが発生することはないものとなる。
The
The main support member 1a and the
ポリスチレンビーズの発泡率を10〜30%にとどめることで、射出成型のプラスチック製品のように強度を非常に高くすることができ、しかも寸法安定性が高く成型精度に優れたファン1を得ることができる。板金製に近い厚みにてファン1、特に羽根部材1cを成型することができるため、従来型の空力特性の設計思想をそのまま活かすことのできるファン1ができるのである。なお、発泡率を10%より低くするとポリスチレンビーズ間の融着力が弱まって成型精度が低くなり、30%より高くすると加工厚みの最低限度が上がり厚みが増すことで空気が流れる側の羽根部材の形状が再現できなくなるおそれがある。また低発泡用ということで耐高圧性を要しない金型2は材質,強度の点できわめて低価格にて製造することが可能である。
By limiting the foaming ratio of polystyrene beads to 10 to 30%, it is possible to obtain a
また、発泡スチロールの原料であるポリスチレンの比重は1.05であるから、発泡率10〜30%にて成型する発泡スチロール製のファン1の重量はステンレス(合金)製のファンに比較して約8分の1〜10分の1、アルミニウム(合金)製の約3分の1〜3.5分の1程度に著しく軽量化されるのである。
In addition, since the specific gravity of polystyrene, which is a raw material of polystyrene foam, is 1.05, the weight of the
次いで脱型したファン1を無電解メッキ槽に入れて5〜20μm厚の無電解ニッケルメッキ3を施すのである。無電解メッキは還元剤の酸化によって放たれる電子イオンが金属イオンに転移して金属皮膜を形成する化学メッキにより発泡スチロールなどの不導体上にも良好な密着製をもって被膜することができて、特にNi−P(ニッケル−リン)合金による無電解ニッケルメッキは、ファン1のような複雑な形状においても均一な膜厚で皮膜を形成する膜厚精度がきわめて高い(±5%)ので、一体成型で得たファン1の重量バランスを損なうことなくして表面硬度を高め、耐食性に優れたものとすることができる。また無電解ニッケルメッキは延性が高いので送風時抵抗による微変形に対しても追従性と復元性の優れたものとなる。この無電解ニッケルメッキによって、発泡スチロールの弱点である耐薬品性,耐油性等が高められ、発泡スチロールが傷つくことによって生ずる発塵を防ぎ、また、発泡スチロールから発生するガスを閉じこめてクリーンルーム内に吹き込むことを防止することができる。さらに,耐熱性が向上することによって消防法上に求められる難燃性の数値をクリアすることもできることとなる。
Next, the removed
以上のようにして製造したファン1は、モータ軸接合用ボスDをモジュウル4に固定したモータ5の軸5aに嵌着し、ネジ6止め固定する。このモジュウル4を外箱に取付けてファンフィルタユニット6とするのである。ファン1がごく軽量化されたことによってモータ5は従来に較べて小型のものを使用しても規定回転数までの起動時間を短くすることができる。またファン1の軽量化によって輸送時の振動発生が低減されて歪みなどによるアンバランスの生ずること、モータ軸受が損傷することなどが予防されることとなり、さらに吸音性が大きい発泡スチロールにて形成することで、特別な防振構造を設けることなくして風切り音やモータからの振動を減衰することができるものとなる。
The
本発明の発泡スチロール製のファンは、新規のファンフィルタユニットのファンまたは既存のファンの交換用として広く利用されるものである。 The styrene foam fan of the present invention is widely used as a fan for a new fan filter unit or as a replacement for an existing fan.
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