JP5541316B2 - 電気レオロジーゲルおよびこれを用いた保持具 - Google Patents

Description

本発明は電気レオロジーゲル、およびこれを用いた保持具に関する。

電界を印加することで表面の粘着性が変化する電気レオロジーゲル（以下、「ＥＲゲル」ということもある。）が知られており（例えば、特許文献１）、かかる粘着力で各種ワークを固定する保持具への使用が提案されている（例えば、特許文献２、３）。特許文献１のＥＲゲルは、ポリシロキサン架橋体等のゲル骨格中に液状電気絶縁体が保持され、該液状電気絶縁体中に電気レオロジー粒子（以下、「ＥＲ粒子」ということもある。）が分散されている。

ＥＲゲルは、電圧制御で固定力を変化させることができ、電圧の変化に対する応答性に優れる。特に櫛歯状電極などを用いて、ＥＲゲル層の一方の表面側に正極と負極を配置すると、該表面と対向する他方の表面には電極を配置する必要が無いため、この他方の表面に固定対象物を密着させて固定することができる。そして固定対象物の取り付け時や取り出し時には、電圧を印加しないで固定力を発現させず、搬送時や、固定した状態で加工する等の作業時には電圧を印加して固定力を発現させることができる。

特開２００５−２５５７０１号公報 国際公開第２０１０／１１３４８５号 国際公開第２０１０／１１３４８６号

しかしながら本発明者等の知見によれば、従来のＥＲゲルは、金属板やシリコンウェハ等の導電材料からなるワーク（保持対象物）に対しては、電界印加により良好な固定力を発現できるものの、ガラス等の絶縁材料に対しては固定力が必ずしも十分ではないという問題がある。
かかる問題に対して、ＥＲゲルのゲル骨格に比較的柔軟で表面粘着性の高い材料を用いて、ガラス等の絶縁材料に対する固定力を増大させようとすると、耐擦傷性が劣り、耐久性が不足しやすいという問題がある。

本発明は前記事情に鑑みてなされたもので、ガラス等の絶縁材料に対しても良好な固定力を発現することができるとともに、耐擦傷性も良好な電気レオロジーゲル、およびこれを用いた保持具を提供することを目的とする。

本発明の電気レオロジーゲルは、電気レオロジー粒子（Ｅ）、および樹脂架橋体（Ａ）を含む電気レオロジーゲルであって、導電微粒子（Ｄ）とプロセスオイル（Ｆ）を含み、前記樹脂架橋体（Ａ）が、水酸基含有ポリマーとポリイソシアネート化合物との反応生成物を含み、前記導電微粒子（Ｄ）の比抵抗値が１×１０ ^８ Ω・ｃｍ以下であり、前記導電微粒子（Ｄ）の平均粒径が０．００１〜１０μｍであり、前記導電微粒子（Ｄ）の平均粒径と前記電気レオロジー粒子（Ｅ）の平均粒径との比が、導電微粒子（Ｄ）の平均粒径を１とすると、１．２〜５５０であり、前記導電微粒子（Ｄ）の含有量が０．５〜４０質量％であることを特徴とする。

さらに、前記電気レオロジー粒子（Ｅ）の含有量が３５〜９０質量％であり、前記樹脂架橋体（Ａ）の含有量が５〜６０質量％であり、前記プロセスオイル（Ｆ）の含有量が１〜４０質量％であることが好ましい。
前記樹脂架橋体（Ａ）が、水酸基末端ポリブタジエンとポリイソシアネート化合物との反応生成物を含むことが好ましい。

本発明の保持具は、保持対象物に密着する保持層を備えた保持具であって、前記保持層が、前記電気レオロジーゲルからなり、さらに該保持層に電場を印加するための電極層を備えることを特徴とする保持具。

本発明の電気レオロジーゲルは、ガラス等の絶縁材料に対しても、搬送、加工に耐え得る十分な固定力を発現することができるとともに、耐擦傷性も良好である。
本発明の電気レオロジーゲルからなる保持層を備えた保持具は、ガラス等の絶縁材料に対して良好な固定力を発現することができるとともに、保持層表面の耐擦傷性も良好である。

本発明の保持具の一実施形態を示す平面図である。 保持層の一実施形態を示す断面図である。 電極層の平面形状を示す図である。 図１の保持具を用いた搬送装置の例を示す斜視図である。 保持層の他の実施形態を示す平面図である。

以下、本発明について詳細に説明する。
本発明の電気レオロジーゲル（ＥＲゲル）は流動性を有しないゲル状物であり、樹脂架橋体からなるゲル骨格中に電気レオロジー粒子（ＥＲ粒子）と導電微粒子が分散している。好ましいＥＲゲルは、プロセスオイルを含んだ樹脂架橋体からなるゲル骨格中に電気レオロジー粒子と導電微粒子が分散している。
本発明において、ＥＲ粒子の平均粒径測定方法としては、コールターカウンターＭｕｌｔｉｓｉｚｅｒ２（ベックマン・コールター株式会社製）を用い、１００μｍアパーチャーを使用し体積平均粒子径を測定する方法を用いた。また、導電微粒子の平均粒径測定方法としては、マイクロトラックＨＲＡ（日機装株式会社製）を用い、体積平均粒子径を測定する方法を用いた。

＜樹脂架橋体（Ａ）＞
樹脂架橋体（Ａ）は、ポリマー（主剤（Ｂ））と、架橋剤（Ｃ）としての多官能性化合物と架橋反応させて得られる反応生成物である。ポリマー（主剤（Ｂ））と多官能性化合物（架橋剤（Ｃ））の少なくとも一方が３官能の化合物を含み、樹脂架橋体（Ａ）は３次元に架橋された構造を有する。３次元に架橋された樹脂架橋体は、良好な架橋密度が得られやすく、ＥＲゲルの耐衝撃性、耐擦傷性などの良好な機械的特性が得られやすい。主剤（Ｂ）および架橋剤（Ｃ）は液状のものが用いられる。
樹脂架橋体（Ａ）の具体例としては、水酸基含有ポリマー（主剤（Ｂ））とポリイソシアネート化合物（架橋剤（Ｃ））とを反応させて得られるウレタン系架橋体、ポリシロキサン架橋体、アクリル酸エステル系ポリマー架橋体、ポリスチレン系架橋体などが挙げられる。これらのうち、柔軟性と靭性に優れたＥＲゲルが得られやすい点でウレタン系架橋体が好ましい。

ウレタン系架橋体の製造に用いられる水酸基含有ポリマー（主剤（Ｂ））としては、水酸基末端ポリブタジエン、水酸基末端ポリオレフィン、ポリエーテルポリオール、ポリエステルポリオール、ポリオキシアルキレングリセリルエーテル等が挙げられる。ポリエーテルポリオールとしては、ポリオキシプロピレングリコールが好ましい。ポリオキシアルキレングリセリルエーテルとしては、ポリオキシプロピレングリセリルエーテルが好ましい。水酸基含有ポリマーは１種を用いてもよく、２種以上を混合して用いてもよい。
主剤として用いる水酸基含有ポリマーの水酸基価は特に限定されないが、２０〜４００ｍｇＫＯＨ／ｇが好ましく、４０〜３００ｍｇＫＯＨ／ｇがより好ましい。該水酸基価が上記範囲の下限値以上であると靭性に優れたＥＲゲルが得られやすく、上限値以下であると柔軟性に優れたＥＲゲルが得られやすい。

ウレタン系架橋体の製造に用いられるポリイソシアネート化合物（架橋剤）は、公知のものを適宜用いることができる。３官能以上のポリイソシアネート化合物が好ましい。具体例としては、ヘキサメチレンジイソシアネート、シクロヘキシルジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート等の脂肪族イソシアネート；、トルエンジイソシアネート、キシレンジイソシアネート等の芳香族系のイソシアネート等；これらを、ヌレート、ビューレット、アダクト、プレポリマー等に変性したのも；が挙げられる。特にイソシアヌレートタイプのヘキサメチレンジイソシアネートが好ましい。
ポリイソシアネート化合物中のイソシアネート基（−ＮＣＯ）の含有量（以下、ＮＣＯ含有量ということもある。）は特に限定されないが、５〜３０質量％が好ましく、１０〜２５質量％がより好ましい。該ＮＣＯ含有量が上記範囲の下限値以上であると靭性に優れたＥＲゲルが得られやすく、上限値以下であると柔軟性に優れたＥＲゲルが得られやすい。
ポリイソシアネート化合物（架橋剤（Ｃ））の使用量は、主剤のポリマー中の水酸基（−ＯＨ）１モルに対して架橋剤中の−ＮＣＯ基が０．５〜２．０モルの範囲が好ましい。

ウレタン系架橋体のなかでも、水酸基末端ポリブタジエン（主剤（Ｂ））とポリイソシアネート化合物（架橋剤（Ｃ））とを反応させて得られるポリブタジエン−ウレタン架橋体が、電気絶縁性が優れ、耐衝撃、耐擦傷性に優れる点で特に好ましい。
ポリブタジエン−ウレタン架橋体としては、分子内に水酸基を２個有する水酸基末端ポリブタジエンの１種以上を、３官能以上のポリイソシアネート化合物（架橋剤）の１種以上と反応させたものが、柔軟性と靭性のバランスや、耐寒性が良好となりやすい点でより好ましい。
分子内に水酸基を２個有する水酸基末端ポリブタジエンとしては、良好なゴム弾性が得られやすい点で、１，４−結合型水酸基末端ポリブタジエン、または１，２−結合型水酸基末端ポリブタジエンが好ましく、１，４結合型水酸基末端ポリブタジエンがより好ましい。
３官能以上のポリイソシアネート化合物として、３官能以上のヘキサメチレンジイソシアネート系化合物を用いることが耐候性、機械的特性の点で好ましい。この場合の架橋剤の配合量は、主剤中のポリブタジエンポリマーの−ＯＨ基１モルに対する架橋剤中の−ＮＣＯ基の割合（ＮＣＯ基／ＯＨ基のモル比）が０．７〜１．２の範囲が好ましく、０．８〜１．１がより好ましい。該ＮＣＯ基／ＯＨ基のモル比が上記範囲の下限値以上であると靭性に優れたＥＲゲルが得られやすく、上限値以下であると柔軟性に優れたＥＲゲルが得られやすい。

ポリブタジエン−ウレタン架橋体を構成するポリマー（主剤）として、水酸基末端ポリブタジエンと、他のポリオールとを併用してもよい。該他のポリオールとしては、例えば水酸基末端ポリオレフィンおよびポリオール化合物からなる群から選ばれる１種以上のポリオールが好ましい。
良好なゴム弾性が得られやすい点で、架橋反応させるポリマー（主剤）全体に対して、水酸基末端ポリブタジエンの含有量が５０質量％以上であることが好ましく、８０質量％以上がより好ましい。１００質量％でもよい。
なお、ポリブタジエン−ウレタン架橋体を構成するポリマーとして、水酸基を２個有する水酸基末端ポリブタジエンと他のポリオールを併用する場合、他のポリオールが分子内に３個以上の水酸基を持っていれば、架橋剤が２官能であっても３次元に架橋された樹脂架橋体を得ることができる。

ＥＲゲルの全体（１００質量％）に対して、樹脂架橋体（Ａ）の含有量は５〜６０質量％が好ましく、１０〜５０質量％がより好ましい。樹脂架橋体（Ａ）の含有量が上記下限値以上であると、ＥＲ粒子を良好に保持できる網目構造が得られやすく、十分な強度を持ったＥＲゲルが得らやすい。
一方、樹脂架橋体（Ａ）の含有量が上記上限値以下であると、相対的にＥＲ粒子の良好な含有量を確保することができ、十分な電気レオロジー効果（ＥＲ効果）が得られやすい。

＜電気レオロジー粒子（Ｅ）＞
電気レオロジー粒子（Ｅ）としては、ゲル中に分散された状態で電界を印加するとゲル表面の粘着性が変化する電気レオロジー効果（ＥＲ効果）を発現可能なものであれば特に制限はない。公知のＥＲ粒子を適宜用いることができる。例えばシリカゲル、セルロース、でんぷん、大豆カゼイン、ポリスチレン系イオン交換樹脂などの、粒子の表面に水を吸着保有する固体粒子や、表面を絶縁処理したカーボン粒子などがある。
その他には、有機高分子化合物からなる芯体と、電気半導体性無機物粒子からなる表層とから形成された有機・無機複合粒子、または、有機・無機複合粒子の表層に親和性表面処理が施され、電気絶縁性媒体との親和性が高められている親和性有機・無機複合粒子も使用可能であり、これらを使用すると安定したＥＲ効果を発現し、保存安定性にも優れたＥＲゲルが得られる。これら有機・無機複合粒子および親和性有機・無機複合粒子の詳細および製造方法は、例えば、特開２００１−０２６７９３公報、特開平１０−１２１０８４号公報、特開平０９−０７９４０４号公報などに記載されている。
また、無機物微粒子からなる芯体と、電気半導体性無機物からなる表層とから形成された無機複合粒子も使用できる。該無機複合粒子の詳細および製造方法は特開２０１１−４６７８５号公報に記載されている。

電気レオロジー粒子（Ｅ）の平均粒径は０．１〜１００μｍの範囲が望ましく、１〜５０μｍの範囲がより好ましい。電気レオロジー粒子（Ｅ）の平均粒径が上記範囲の下限値以上であると、印加する電圧が低くても優れた保持力が得られやすく、上記範囲の上限値以下であると、平滑で強度が良好なＥＲゲルが得られやすい。
ＥＲゲルの全体（１００質量％）に対して、電気レオロジー粒子（Ｅ）の含有量は３５〜９０質量％が好ましく、４５〜８５質量％がより好ましい。電気レオロジー粒子（Ｅ）の含有量が上記範囲の下限値以上であると、十分なＥＲ効果が得られやすい。一方、上記範囲の上限値以下であると、ＥＲゲルが硬くなりすぎず、保持対象物との良好な密着性が得られやすい。

＜導電微粒子（Ｄ）＞
導電微粒子（Ｄ）としては、ＥＲゲル内に浮遊導体として存在できる微粒子で有ればよく、特に限定されない。導電微粒子（Ｄ）は導電性を損なわない範囲で、分散性向上のための表面修飾や処理がされていてもよい。
導電微粒子（Ｄ）の材料としては、例えば金、銀、銅、白金、アルミニウム、チタン、タングステン、スズ、亜鉛、ニッケル、インジウム、ジルコニア等の金属；酸化スズ、アンチモンドープ酸化スズ（ＡＴＯ（アンチモンをドープした酸化スズ））、リンドープ酸化スズ、酸化亜鉛、アルミドープ酸化亜鉛、アンチモンドープ酸化亜鉛、アンチモン酸亜鉛、スズドープ酸化インジウム等の金属酸化物；炭素粉、炭化ケイ素、グラファイト、グラフェン、アセチレンブラック、カーボンナノチューブ（ＣＮＴ）等の炭素化合物が挙げられる。
導電微粒子（Ｄ）の比抵抗値（体積抵抗率）は１×１０^８Ω・ｃｍ以下が望ましく、１×１０^３Ω・ｃｍ以下がより望ましく、１×１０^−２Ω・ｃｍ以下がさらに望ましい。導電微粒子の比抵抗値（体積抵抗率）が上記上限値以下であると、導電微粒子の添加効果が良好に得られやすく、絶縁性材料に対するＥＲ効果による良好な固定力が得られやすい。

導電微粒子（Ｄ）の平均粒径は０．００１〜１００μｍの範囲が望ましく、０．００５〜１０μｍの範囲が望ましい。
ＥＲゲル内に存在する電気レオロジー粒子（Ｅ）と導電微粒子（Ｄ）において、導電微粒子の平均粒径が、電気レオロジー粒子の粒径よりも小さいことが必要である。導電微粒子の平均粒径が電気レオロジー粒子の平均粒径より小さいと、電界印加時に導電微粒子が電気レオロジー粒子によるＥＲ効果発現を阻害しにくく、良好なＥＲ効果が得られやすい。
導電微粒子（Ｄ）の平均粒径と電気レオロジー粒子（Ｅ）の平均粒径との比は、導電微粒子（Ｄ）の平均粒径を１とすると、１．２〜８００が好ましく、１．５〜５５０がより好ましい。該平均粒径の比が上記範囲の下限値以上であると保持力の向上が大きく、上記範囲の上限値以下であると導電微粒子のゲル中への分散が安定しやすい。

導電微粒子（Ｄ）の含有量は、ＥＲゲルの全体（１００質量％）に対して０．５〜４０質量％が好ましく、２〜２０質量％がより好ましい。導電微粒子（Ｄ）の含有量が上記範囲の下限値以上であると、絶縁性材料に対する、ＥＲ効果による良好な固定力が得られやすい。一方、導電微粒子（Ｄ）の含有量が上記範囲の上限値以下であると、ＥＲゲルの導電性が高くなりすぎず、ＥＲ効果発現に必要な電位差が得られやすくなるとともに、ＥＲゲルが硬くなりすぎず良好な機械的特性が得られやすい。

ＥＲゲル内において、少なくとも保持対象物と密着する面およびその近傍の表層部分に導電微粒子が存在していることが好ましい。導電微粒子がＥＲゲルの全体に均一に分布していてもよい。

＜プロセスオイル（Ｆ）＞
ＥＲゲルは、プロセスオイル（Ｆ）を含んでもよい。プロセスオイルはＥＲゲルの柔軟性を向上させ、保持対象物との固定力向上に寄与する。
また、後述するＥＲゲルの製造方法において、電気レオロジー粒子、樹脂架橋体（Ａ）を形成するための主剤（Ｂ）、および導電微粒子（Ｄ）を含み、架橋剤（Ｃ）を含まないＥＲゲルベースにプロセスオイル（Ｆ）を含有させることにより、該ＥＲゲルベースと架橋剤（Ｃ）を混合し、反応させ硬化させてＥＲゲルを形成する工程における加工性および潤滑性が向上し、得られるゲル骨格の機械的特性が向上する。

プロセスオイル（Ｆ）は、市販品を適宜用いることができる。絶縁破壊電圧、体積抵抗率などの電気的特性に優れ、物理的、化学的に安定性が高いものが好ましい。特に耐光性が良好であり、有害性成分の含有量が低い点で、パラフィン系オイル、ナフテン系オイルが好ましい。プロセスオイルは１種単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
プロセスオイルの動粘度は特に制限されないが、４０℃において１０〜１０００ｍｍ^２／ｓが好ましく、２０〜５００ｍｍ^２／ｓがより好ましい。該動粘度が１０ｍｍ^２／ｓ以上であると、沸点が高いためＥＲゲルの成形中に蒸発しにくく良好な成形安定性が得られやすい。一方、該動粘度が１０００ｍｍ^２／ｓ以下であると、ＥＲゲルの形成工程において硬化前の組成物の粘度が高くなりすぎず、良好な成形性が得られ、成形物に気泡痕が発生しにくい。
硬化後のＥＲゲルにプロセスオイルが含まれる場合、その含有量はＥＲゲル（１００質量％）に対して１〜４０質量％が好ましく、１０〜３０質量％がより好ましい。プロセスオイルの含有量が上記範囲の下限値以上であると、プロセスオイルの添加によるＥＲゲルの柔軟性向上効果が良好に得られやすく、良好な耐擦傷性が得られやすい。プロセスオイルの含有量が上記範囲の上限値以下であると、ＥＲゲルからプロセスオイルが滲出しにくい。プロセスオイルが滲出すると保持対象物の汚染や、保持対象物の滑落が生じるおそれがある。

＜その他の成分＞
ＥＲゲルに、塗料業界で一般的に用いられている種々の配合剤を、必要に応じて適宜、慣用量で加えることができる。配合剤の具体例としては、粘度を調整するための稀釈剤または増粘剤、顔料または染料等の着色剤、主剤と架橋剤の反応を促進させるための触媒、充填材等である。
これらの配合剤の添加方法は特に限定されないが、後述するＥＲゲルの製造方法において、電気レオロジー粒子、樹脂架橋体（Ａ）を形成するためのポリマー（主剤（Ｂ））、および導電微粒子（Ｄ）を含み、架橋剤（Ｃ）を含まないＥＲゲルベースに、該配合剤を含有させることが好ましい。

ＥＲゲルにおけるＥＲ粒子（Ｅ）、導電微粒子（Ｄ）、樹脂架橋体（Ａ）、およびプロセスオイル（Ｆ）の好ましい組成は、ＥＲ粒子（Ｅ）３５〜９０質量％、導電微粒子（Ｄ）０．５〜４０質量％、樹脂架橋体（Ａ）５〜６０質量％、プロセスオイル（Ｆ）１〜４０質量％が好ましく、
ＥＲ粒子（Ｅ）４５〜８５質量％、導電微粒子（Ｄ）２〜２０質量％、樹脂架橋体（Ａ）１０〜５０質量％、プロセスオイル（Ｆ）５〜３０質量％がより好ましく、
ＥＲ粒子（Ｅ）５０〜７０質量％、導電微粒子（Ｄ）４〜１５質量％、樹脂架橋体（Ａ）１５〜４０質量％、プロセスオイル（Ｆ）１０〜２０質量％が特に好ましい。

＜保持具＞
図１は本発明の保持具の一実施形態を示した平面図、図２は、図１中のＡ−Ａ線に沿う断面図である。図３は電極層２の平面形状を示した図である。
本実施形態の保持具は、例えば図４に示す搬送装置２０に好適に用いられるものである。本実施形態の搬送装置２０は、駆動部２１と、アーム２２と、保持具（ハンド）２３を備えており、保持具２３の上面（保持面）に、シリコンウェハ等の保持対象物（図示せず）が着脱可能に固定されるようになっている。
駆動部２１はアーム２２を駆動するための機構を備えている。例えば駆動部２１には電動モーター等の動力源と動力伝達機構が内蔵されている。
アーム２２の一端は駆動部２１に連結され、他端に保持具（ハンド）２３が連結されている。アーム２２は駆動部２１から伝達される動力により旋回、伸縮等して、保持具（ハンド）２３を移動させることができる。本実施形態においてアーム２２は多関節構造を有するが、これに限定されない。

保持具（ハンド）２３は、略Ｕ字型の板状に形成された本体２５と、本体２５の一面（保持面）上の３箇所に設けられた保持体２４と、保持体２４の電極層２に電気的に接続された電源（図示せず）を備えている。本体２５はステンレス鋼等の金属材料からなる。
図２に示すように、保持体２４は、ＥＲゲルからなる保持層１と、該保持層１（ＥＲゲル）に電場を印加する電極板４とが積層されてなる。電極板４は、絶縁材料からなる電極基板３上に、正極１１と負極１２の両方を備えた電極層２が設けられたものが好ましい。電極基板３を構成する絶縁材料としては、ポリイミド、ポリエチレンテレフタレート等の樹脂フィルム；ガラス；エポキシ樹脂、フェノール樹脂等の樹脂板；アルミナ等のセラミック；などの公知の絶縁材料を適宜使用することができる。

電極層２において、正極１１と負極１２が同一面上で間隔をおいて対向していることがより好ましい。正極１１および負極１２の形状は特に限定されないが、図３に示す櫛歯形状が好ましい。電極基板３上に電極層２（正負電極）を形成する方法は、エッチング、印刷、蒸着等公知の方法を使用できる。
電極の平面形状において、電極幅、高さ、正負の電極間隔、数等は、ＥＲゲルにより固定される保持対象物の特性、保持層（ＥＲゲル）１の形状等に応じて適宜選択することができる。
本実施形態において、保持層１の厚さ（電極基板３の表面（電極層２側）から保持層１の表面までの距離）は０．１〜５．０ｍｍが好ましく、０．２〜１．０ｍｍがより好ましい。保持層１の厚さが上記範囲の下限値以上であると、保持層の十分な強度が得られやすく、上限値以下であると十分な保持力が得られやすい。

本実施形態の保持具２３は、保持層１の上面に保持対象物が密着して載置された状態で、電源から電極層２に電圧が印加されると保持層（ＥＲゲル）１に電場が印加され、保持層１のＥＲ効果によって保持対象物が保持層１上に固定される。該電場の印加が停止されると該固定状態が解除される。

図５は保持体２４の他の実施形態を示した断面図である。図２と同じ構成要素には同じ符号を付して説明を省略する。
本実施形態の保持体３０は、保持対象物に密着する保持層３１と電極板４との間に中間層３２が設けられた二層構造を有する。中間層３２は、少なくとも樹脂架橋体（Ａ）およびＥＲ粒子（Ｅ）を含むＥＲゲルからなる。中間層３２が導電微粒子を含んでもよく、含まなくてもよい。保持層３１の組成と中間層３２の組成が同じであってもよく、異なってもよい。
本実施形態において、保持層３１と中間層３２の厚さの合計（電極基板３の表面（電極層２側）から保持層３１の表面までの距離の好ましい範囲は、前記図２の保持層１の厚さと同様である。
中間層３２が導電微粒子を含まない場合、保持層３１の厚さに対する中間層３２の厚さの比（中間層／保持層）は３０／７０〜６０／７０が好ましく、４０／６０〜６０／４０がより好ましい。

＜ＥＲゲルの製造方法＞
本発明のＥＲゲルは、以下の方法で製造できる。
すなわち、少なくともＥＲ粒子（Ｅ）、樹脂架橋体（Ａ）を形成するための主剤（Ｂ）、および導電微粒子（Ｄ）を含み、架橋剤（Ｃ）を含まないＥＲゲルベースを調製し（ＥＲゲルベース調製工程）、該ＥＲゲルベースと架橋剤（Ｃ）を混合し、架橋反応させ硬化させてＥＲゲルを得る（硬化工程）。ＥＲゲルベースにはプロセスオイルを配合することが好ましい。

（ＥＲゲルベース調製工程）
電気レオロジー粒子（Ｅ）と、導電微粒子（Ｄ）と、主剤（Ｂ）と、任意に配合されるプロセスオイル（Ｆ）および配合剤とを混合してＥＲゲルベースを得る。好ましくは均一化する。混合方法としては、公知の方法を用いることができる。プロペラミキサーを用いて予備分散させた後、自転公転ミキサーを使用して均一化することが好ましい。
なお、ＥＲ粒子（Ｅ）は吸湿性が高いため、空気中の水分などを吸収しやすい。そこで、ＥＲ粒子（Ｅ）を加熱脱水してから用いることが好ましい。

（硬化工程）
硬化工程は、ＥＲゲルベースに架橋剤（Ｃ）を添加し、均一化した混合物（硬化前組成物）を、目的の形状の型に流し入れて硬化させる方法で行うことができる。型および型へ流し入れる方法は、公知の手法を適宜用いることができる。
硬化前組成物において、粒子の合計（ＥＲ粒子（Ｅ）と導電微粒子（Ｄ）の合計）１００質量％に対して、液状成分の合計（主剤（Ｂ）とプロセスオイル（Ｆ）と架橋剤（Ｃ）と、任意に配合される液状の配合剤の合計）の割合（単位：質量％）が４０質量％以上であることが望ましい。この範囲であると、該電気レオロジー粒子（Ｅ）および導電微粒子（Ｄ）の量が、液状の成分に対して多くなりすぎず、良好な分散性、混合性、または成形性が得られやすい。
前記硬化前組成物を硬化させる方法としては特に制限されず、公知の方法を用いることができる。硬化の際に加熱すると硬化反応が進行しやすくなるので好ましい。硬化時間は５〜２４０分が好ましく、１５〜９０分がより好ましい。また、硬化温度は５０〜１５０℃が好ましく、８０〜１２０℃がより好ましい。

硬化工程において、型に硬化時電界印加用の電極を配置し、型に流し入れた硬化前組成物に電圧を印加しつつ硬化させてもよい。この方法によれば、硬化前組成物中の電気レオロジー粒子が電界に沿って配列した状態で硬化させることができる。こうして得られるＥＲゲルは、電場が印加されていない状態でも電気レオロジー粒子が配列しており、印加電圧が低い場合にも良好なＥＲ効果が得られやすい。
硬化前組成物に電圧を印加しつつ硬化させる際の印加電圧は、０．１〜７ｋＶ／ｍｍが好ましく、０．２〜５ｋＶ／ｍｍがより好ましく、０．５〜２ｋＶ／ｍｍがさらに好ましい。該印加電圧が上記範囲の下限値以上であると電気レオロジー粒子が電界に沿って配列しやすく、硬化前組成物中での分散が安定化しやすい。一方、該印加電圧が上記範囲の上限値以下であると、絶縁破壊が生じにくい。

（除去工程）
プロセスオイルを含有するＥＲゲルベースを用いてＥＲゲルを形成した場合、硬化したＥＲゲルに含まれるプロセスオイルの一部を除去することが好ましい（除去工程）。本工程を設けることにより、余剰分のプロセスオイルがＥＲゲルの表面に滲み出るのを抑制できる（ブリードアウトの抑制）。また、ＥＲゲル中のプロセスオイルの含有量を低減させることによって、ＥＲゲルの硬さを調整できる。これにより、保持対象物に対する良好な固定力が得られるようにＥＲゲルを適度に硬く調整することが可能となる。
プロセスオイルの除去方法としては、ＥＲゲルにあぶらとりフィルムを巻く方法、ＥＲゲルにあぶらとりフィルムを巻き（又は敷き）かつ遠心分離する方法、減圧下または加圧下にて圧搾または吸引する方法、低沸点溶剤（例えば脂肪族炭化水素、フッ素系溶剤など）にＥＲゲルを浸し、プロセスオイルを抽出する方法などが挙げられる。

（保持体の製造方法）
図２に示すように、電極板４上にＥＲゲルからなる保持層１が積層された保持体２４は、型内に電極板４を配し、該電極板４上に保持層１となる硬化前組成物を流し入れて硬化させる方法で製造することができる。
または、保持層３１となる硬化前組成物をシート状の型内で硬化させて、保持層３１となるＥＲゲルシートを製造し、これを電極板４上に接着剤で貼り付ける方法でもよい。
具体的には、電極板４上に所定膜厚の接着剤を塗布した後、ＥＲゲルシートを必要に応じて裁断したものを乗せ、加熱プレス処理を行うことによって、保持体２４が得られる。
この場合の接着剤としては、保持層３１と電極板４とを接着可能であり、接着後に電極板４上の正極と負極が短絡せず、ＥＲゲル中の電気レオロジー粒子に微弱な電流を供給できる特性を有するものであれば特に制限が無い。好ましくは、保持層１となる硬化前組成物を希釈して低粘度化したものを接着剤として用いることが好ましい。
電極板４上に接着剤を塗布する方法としては、コーター塗布、スクリーン印刷等公知の方法を用いることができる。接着剤の塗布厚の均一性が得られやすい点でスクリーン印刷が好ましい。

図５に示すように、電極板４上にＥＲゲルからなる中間層３２および保持層３１が順に積層された保持体３０は、下記（１）〜（３）の方法で製造することができる。
（１）まず、保持層３１となる硬化前組成物をシート状の型内で硬化させて、保持層３１となるＥＲゲルシートを製造する。これとは別に、型内に電極板４を配し、該電極板４上に中間層３２となる硬化前組成物を流し入れて未硬化の塗膜を形成する。この塗膜上に前記ＥＲゲルシートを積層した状態で、該塗膜を硬化させて保持体３０を得る。
（２）まず型内に電極板４を配し、該電極板４上に中間層３２となる硬化前組成物を流し入れ、これを硬化させて中間層３２を形成する。次いで、該中間層３２の上に、保持層３１となる硬化前組成物を流し入れて硬化させて保持体３０を得る。
（３）まず、保持層３１となる硬化前組成物をシート状の型内で硬化させて、保持層３１となるＥＲゲルシートを製造する。これとは別に、型内に電極板４を配し、該電極板４上に中間層３２となる硬化前組成物を流し入れ、これを硬化させて中間層３２を形成する。該中間層３２上に、前記と同様にして接着剤を用いて、ＥＲゲルシートを貼り付けることにより保持体３０を得る。

以下に実施例を用いて本発明をさらに詳しく説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。
＜製造例１：電気レオロジー粒子（Ｅ−１）の製造＞
アンチモンドーピング酸化錫（石原産業社製、「ＳＮ−１００Ｐ」、電気伝導度：１．０×１０^０Ω^−１／ｃｍ）３０ｇと、水酸化チタン（石原産業社製、一般名：含水チタン、Ｃ−ＩＩ、電気伝導度：９．１×１０^−６Ω^−１／ｃｍ）１０ｇと、アクリル酸ブチル３００ｇと、１，３−ブチレングリコールジメタクリレート１００ｇと、重合開始剤（アゾビスイソバレロニトリル）２ｇとを混合し、混合物を得た。
得られた混合物を、第三リン酸カルシウム２５ｇを分散安定剤として含む水１８００ｍｌ中に分散し、６０℃で１時間撹拌下に懸濁重合を行い、得られた生成物を酸処理し、水洗後、脱水乾燥し、無機・有機複合粒子を得た。
この粒子２００ｇに鉄フタロシアニン（山陽色素社製、「Ｐ−２６」）１．５ｇを加え、ＦＭミキサー（日本コークス工業社製）にて３０間複合化処理を行い、次いでこれをジェット気流処理機（日本コークス工業社製、「メカノハイブリッド」）を用いて周速１００ｍ／秒で３０分間ジェット気流処理を行い、平均粒径１６μｍのＥＲ粒子（無機・有機複合粒子）を得た。
次いで、得られたＥＲ粒子６００ｇを１２０℃で１２時間加熱することで、脱水されたＥＲ粒子Ｅ−１を得た。
なお、ＥＲ粒子の平均粒径はコールターカウンター・マルチサイザーＩＩ（製品名、ベックマン・コールター（株）製）を用いて測定した（以下、同様）。

＜製造例２：電気レオロジー粒子（Ｅ−２）の製造＞
アンチモンドーピング酸化錫（石原産業社製、「ＳＮ−１００Ｐ」、電気伝導度：１．０×１０^０Ω^−１／ｃｍ）７．５ｇと、水酸化チタン（石原産業社製、一般名：含水チタン、Ｃ−ＩＩ、電気伝導度：９．１×１０^−６Ω^−１／ｃｍ）２２．５ｇと、破砕アルミナ（住友化学工業製「ＡＬ−３２Ｂ」）１９０ｇの混合物に対して、ボールミルにて１００時間の粉砕処理（複合化前処理）を行った。
次いで、当該複合化前処理後の混合物に対して、ジェット気流処理機（奈良機械製作所製、ハイブリダイザー）を用い、周速７５ｍ／秒で３００秒間のジェット気流処理を行い、平均粒径５μｍのＥＲ粒子（無機複合粒子）Ｅ−２を得た。

以下の例で使用した各原料は以下の通りである。
＜電気レオロジー粒子＞
（Ｅ−１）製造例１で得たＥＲ粒子。
（Ｅ−２）製造例２で得たＥＲ粒子。
＜主剤（Ｂ）＞
（Ｂ−１）Ｐｏｌｙ ｂｄ Ｒ−１５ＨＴ（出光興産社製）、１，４−結合型水酸基末端液状ポリブタジエン、水酸基価４６．６ｍｇＫＯＨ／ｇ。
（Ｂ−２）Ｐｏｌｙ ｂｄ Ｒ−４５ＨＴ（出光興産社製）、１，４−結合型水酸基末端液状ポリブタジエン、水酸基価１０２．７ｍｇＫＯＨ／ｇ。
（Ｂ−３）ＮＩＳＳＯ−ＰＢ Ｇ−１０００（日本曹達社製）、１，２−結合型水酸基末端液状ポリブタジエン、水酸基価７３ｍｇＫＯＨ／ｇ。
（Ｂ−４）エポール（出光興産社製）、水酸基末端液状ポリオレフィン、水酸基価５０．５ｍｇＫＯＨ／ｇ。
（Ｂ−５）サンニックスＧＰ−６００（三洋化成社製）、ポリオキシプロピレングリセリルエーテル、水酸基価２８０ｍｇＫＯＨ／ｇ。
（Ｂ−６）サンニックスＰＰ−２０００（三洋化成社製）、ポリオキシプロピレングリコール、水酸基価５５．９ｍｇＫＯＨ／ｇ。

＜導電微粒子（Ｄ）＞
（Ｄ−１）ナノ銀（ＤＯＷＡエレクトロニクス社製）、比抵抗値（体積抵抗率）２×１０^−３（Ω・ｃｍ）、平均粒径３０ｎｍ。
（Ｄ−２）ＣＮＳ−１０（ノバメット社製）、ニッケル粉体、比抵抗値（体積抵抗率）７×１０^−６（Ω・ｃｍ）、平均粒径７μｍ。
（Ｄ−３）デンカブラック特殊プレス品ＨＳ−１００（電気化学工業社製）、アセチレンブラック、比抵抗値（体積抵抗率）１．４×１０^−２（Ω・ｃｍ）、平均粒径４８ｎｍ。
（Ｄ−４）２３−Ｋ（ハクスイテック社製）、アルミドープ酸化亜鉛、比抵抗値（体積抵抗率）２×１０^２（Ω・ｃｍ）、平均粒径１８０ｎｍ。
（Ｄ−５）デンシックＣ−４０００（昭和電工社製）、黒色炭化ケイ素研削材、比抵抗値（体積抵抗率）１×１０^６（Ω・ｃｍ）、平均粒径３μｍ。
（絶縁微粒子（比較例））：ＡＬ−１６０ＳＧ−３（昭和電工社製）、易焼結性アルミナ、比抵抗値（体積抵抗率）１×１０^１４（Ω・ｃｍ）以上、中心径Ｄ５０（体積基準メジアン径）０．５μｍ。

＜プロセスオイル（Ｆ）＞
（Ｆ−１）ダイアナプロセスオイルＰＷ−３２（出光興産社製）、パラフィン系炭化水素。
（Ｆ−２）ダイアナプロセスオイルＮＲ−２６（出光興産社製）、ナフテン系炭化水素。
＜架橋剤（Ｃ）＞
（Ｃ−１）デュラネートＴＳＥ−１００（旭化成社製）、イソシアヌレートタイプヘキサメチレンジイソシアネート系ポリイソシアネート、ＮＣＯ含有量１２．０質量％。
（Ｃ−２）デュラネートＴＰＡ−１００（旭化成社製）、イソシアヌレートタイプヘキサメチレンジイソシアネート系ポリイソシアネート、ＮＣＯ含有量２３．１質量％。
（Ｃ−３）デュラネートＤ−１０１（旭化成社製）、２官能タイプヘキサメチレンジイソシアネート系ポリイソシアネート、ＮＣＯ含有量１９．７質量％。

＜電極板および保持体＞
以下の例において、図２（または図５）の保持体２４（または３０）を構成する電極板４として、イミドフィルムからなる電極基板３（縦１５０ｍｍ、横１５０ｍｍ）上に、正極１１と負極１２からなる電極層２が形成されたものを用いた。
正極１１および負極１２は図３に示す櫛歯状とした。図３中符号ａで示す電極の全長さは８８ｍｍ、符号ｂで示す電極の全幅は８３ｍｍ、符号ｃで示す電極自体の幅は３ｍｍ、近接する電極間の距離は２ｍｍとした。電極層２上に形成されるＥＲゲルからなる保持層１（または３１）の平面形状は縦９０ｍｍ、横９０ｍｍの矩形とした。

＜実施例１＞
図５に示す構造の保持体３０を作製した。本例では保持層３１の組成と中間層３２の組成とが同一である。保持層３１のみを硬化させた後に、未硬化の中間層３２上に積層する方法で製造した。
まず、表１に示す処方でＥＲ粒子、主剤、導電微粒子及びプロセスオイルを配合し、プロペラミキサーを用いて予備分散した後、自転公転ミキサー（シンキー社製「ＡＲＥ−３１０」）を用いて混合してＥＲゲルベースを得た。
得られたＥＲゲルベースに架橋剤を表１に示す処方で添加し、前記自転公転ミキサーで混合し、硬化前組成物を調製した。
表１には、ＥＲゲルベース中に存在する−ＯＨ基１モルに対する、架橋剤中に存在する−ＮＣＯ基のモル比（ＮＣＯ基／ＯＨ基）を示す（以下、同様）。また、硬化前組成物における粒子の合計（ＥＲ粒子と導電微粒子の合計：１００質量％）に対する、液状成分の合計（主剤とプロセスオイルと架橋剤の合計）の割合（単位：質量％）を示す（以下、同様）。

ポリフッ化エチレン（テフロン（登録商標））樹脂系スペーサーを用い上下を電気的に絶縁した一対の硬化時電界印加用の電極（ＳＵＳ板）間に、前記硬化前組成物を流し入れた。該一対の電極間の距離は０．４５ｍｍである。この状態で該一対の電極に０．５ｋＶ／ｍｍの電圧を印加しつつ、熱成型プレス（北川精機株式会社製、製品名：ＫＶＨＣ）を用いて、１００℃で１５分間加圧加熱処理することによって硬化前組成物をシート状に硬化させ、保持層３１となるＥＲゲルシートを得た。該ＥＲゲルシートの厚さは０．４２ｍｍであった。
これとは別に、前記で調製した硬化前組成物を、電極板４の電極層２上にスクリーン印刷法を用いて縦９０ｍｍ、横９０ｍｍの矩形に塗工し、未硬化の塗膜（中間層）を形成した。電極基板３の表面から該塗膜（中間層）の表面までの距離（厚さ）は２０μｍであった。この塗膜上に上述で得たＥＲゲルシートを積層し、熱成型プレス（北川精機株式会社製、製品名：ＫＶＨＣ）を用いて、１００℃で１５分間加圧加熱することにより、該塗膜を硬化させてＥＲゲルからなる中間層３２を形成するとともに、該中間層３２とＥＲゲルシート（保持層３１）を一体化して積層物を得た。

得られた積層物の保持層３１の表面にあぶらとりフィルム（３Ｍ社製）を乗せ、保持層３１から滲みでてくるプロセスオイルを除去した。プロセスオイルを吸収したあぶらとりフィルムを適宜交換しながら、室温下で１０日間プロセスオイルを除去して、保持層３１の表面が乾いており、オイルの滲みが認められない状態の保持体３０を得た。あぶらとりフィルムの質量の増加分を、プロセスオイルの除去量として計測した。プロセスオイルの除去量を表１に示す（以下、同様）。
得られた保持体３０においてＥＲゲルは中間層３２と保持層３１の一体化物である。このＥＲゲルのプロセスオイル除去後の状態における、ＥＲ粒子の含有量、導電微粒子の含有量、樹脂架橋体（主剤と架橋剤の硬化物）の含有量、プロセスオイルの含有量を表１に示す（以下、同様）。

＜実施例２＞
図２に示す構造の保持体２４を作製した。
表１に示す処方で、実施例１と同様にしてＥＲゲルベースを調製し、さらに架橋剤を添加して硬化前組成物を得た。
ポリフッ化エチレン樹脂系スペーサーを用い上下を電気的に絶縁した一対の硬化時電界印加用の電極（ＳＵＳ板）の、一方の電極の内方の面上に電極板４を、電極層２が他方の電極側となるように固定した状態で、該一対の電極間に、前記硬化前組成物を流し入れた。該電極板４の電極基板３の表面から他方の電極までの距離は０．４５ｍｍである。
この状態で、実施例１と同様にして該一対の電極に０．５ｋＶ／ｍｍの電圧を印加しつつ、１００℃で２５分間加熱処理することによって、電極板４上にＥＲゲルからなる保持層１が積層された積層物を得た。該ＥＲゲルからなる保持層１の厚さ（電極基板３の表面から保持層１の表面までの距離）は０．４２ｍｍであった。
次いで、実施例１と同様にしてプロセスオイルを除去して、保持層１の表面が乾いており、オイルの滲みが認められない状態の保持体２４を得た。

＜実施例３＞
図５に示す構造の保持体３０を作製した。本例では保持層３１が導電微粒子を含み、中間層３２は導電微粒子を含まない。中間層３２のみを硬化させた後に、未硬化の保持層３１を積層する方法で製造した。
表１に示す保持層用の処方で、実施例１と同様にしてＥＲゲルベースを調製し、さらに架橋剤を添加して保持層用の硬化前組成物を得た。これとは別に、表１に示す中間層用の処方で、実施例１と同様にしてＥＲゲルベースを調製し、さらに架橋剤を添加して中間層用の硬化前組成物を得た。

ポリフッ化エチレン樹脂系スペーサーを用い上下を電気的に絶縁した一対の硬化時電界印加用の電極（ＳＵＳ板）の、一方の電極の内方の面上に電極板４を、電極層２が他方の電極側となるように固定した状態で、該一対の電極間に、前記中間層用の硬化前組成物を流し入れた。該電極板４の電極基板３の表面から他方の電極までの距離は０．３ｍｍである。
この状態で、実施例１と同様にして該一対の電極に０．５ｋＶ／ｍｍの電圧を印加しつつ、１００℃で１５分間加圧加熱処理することによって、電極板４上にＥＲゲルからなる中間層３２が積層された積層物を得た。該ＥＲゲルからなる中間層３２の厚さ（電極基板３の表面から中間層３２の表面までの距離）は０．２９ｍｍであった。プロセスオイルの除去は行わなかった。
中間層３２のＥＲ粒子の含有量、導電微粒子の含有量、樹脂架橋体（主剤と架橋剤の硬化物）の含有量、プロセスオイルの含有量を表１に示す。

次いで、ポリフッ化エチレン樹脂系スペーサーを用い上下を電気的に絶縁した一対の硬化時電界印加用の電極（ＳＵＳ板）の、一方の電極の内方の面上に、上記積層物を中間層３２が他方の電極側となるように固定した状態で、該一対の電極間に、前記保持層用の硬化前組成物を流し入れた。中間層３２の表面から他方の電極までの距離は０．１５ｍｍである。
この状態で、実施例１と同様にして該一対の電極に０．５ｋＶ／ｍｍの電圧を印加しつつ、１００℃で１５分間加圧加熱処理することによって、電極板４上に中間層３２と保持層３１が順に積層された積層物を得た。該保持層３１の厚さは０．４３ｍｍであった。
次いで、実施例１と同様にして保持層３１のプロセスオイルを除去し、保持層３１の表面が乾いており、オイルの滲みが認められない状態の保持体３０を得た。

＜実施例４〜１５、比較例１〜５＞
表１または表２に示す処方で、実施例２と同様にして、図２に示す構造の保持体２４を作製した。

＜ＥＲゲル特性評価＞
上記実施例および比較例で得られた保持体について、下記の方法でガラス固定力および耐擦傷性の評価を行った。結果を表３に示す。
＜保持対象物に対する固定力の評価＞
上述で得られた保持体を、絶縁体であるベークライト板上に、保持層が上側となるように載せて両面テープ（製品名：５０００ＮＳ、日東電工社製）で貼り付け、ガラス固定力評価用試験体（以下、「試験体」という）を得た。
保持対象物として、縦１００ｍｍｍ、横１００ｍｍ、厚さ２ｍｍのガラス板（ＴＥＭＰＡＸ Ｆｌｏａｔ（登録商標）、ショット日本株式会社製、質量４５ｇ）、または縦９１ｍｍｍ、横９１ｍｍ、厚さ２ｍｍのアルミ板（質量４５ｇ）を用いた。
試験体の保持層の上面上に保持対象物（ガラス板またはアルミ板）を載せた。このとき保持層の上面は水平とする。この状態で電極層２（櫛歯状電極）に所定の電圧（０．７ｋＶまたは１．５ｋＶ）の印加を開始し、１０秒後に試験体を傾斜させた。保持層の上面と水平面とがなす角度（傾斜角度）を０℃から９０℃まで徐々に大きくしながら、保持対象物に対する固定の有無を下記の判定基準で評価した。
◎：傾斜角度９０゜で保持対象物が固定され動かない。
○：傾斜角度７５゜で保持対象物が固定され動かない。
△：傾斜角度４５゜で保持対象物が固定され動かない。
×：傾斜角度０°〜４５゜の間で保持対象物が固定されずに滑り出す。

＜耐擦傷性の評価＞
保持層の表面に爪で傷をつけ、室温で２４時間放置後、爪傷の復元性を目視観察し、次の判定基準で評価した。
◎：爪傷が完全に復元しており、爪跡が全く残らない。
○：爪傷が復元しているが、筋状の跡が認められる。
△：爪傷が完全には復元しておらず、若干の爪跡が認められる。
×：明らかな爪跡が認められ、表面が裂けた傷が残っている。

表３の結果より、実施例１〜１５で得られた保持体は、ガラス板およびアルミ板の両方に対して良好な固定力を有し、かつ耐擦傷性も良好であった。
これに対して、保持層に導電微粒子が含まれていない比較例１、５はアルミ板に対する固定力は良好であったが、ガラス板に対する固定力が不十分であった。比較例５は導電微粒子に代えて絶縁性の微粒子を配合したが、ガラスに対する固定力は不十分であった。
比較例２はＥＲ粒子の平均粒径が導電微粒子の平均粒径よりも小さいため、十分な固定力が得られなかった。
比較例３、４は、主剤（Ｂ）および架橋剤（Ｃ）の両方が２官能であり、３次元に架橋された樹脂架橋体が得られないため、耐擦傷性が劣る。

＜参考例１＞
本例では、樹脂架橋体として、下式（１）で表されるシリコーンオリゴマーからなる主剤と、下式（２）で表される架橋剤とのヒドロシリル化反応により得られるポリシロキサン架橋体を用いた。本例におけるＥＲゲルは、樹脂架橋体からなるゲル骨格中に電気絶縁性媒体（シリコーンオイル）が保持され、該電気絶縁性媒体にＥＲ粒子が分散されたものである。導電微粒子は含まない。
下記白金触媒Ａとしては、白金濃度が１２．０質量％である白金ジビニルテトラメチルジシロキサン錯体を、ＳＨ−２００（１０）（製品名、東レ・ダウコーニング社製、室温（２５℃）における動粘度が１０ｍｍ^２／ｓのジメチルポリシロキサン）で、白金濃度が０．３質量％となるように希釈したものを用いた。

まず、前記製造例１で得たＥＲ粒子（Ｅ−１）を５１．７質量部と、ジメチルシリコーンオイル２６．４質量部と、上式（１）で示される化合物１３．９質量部と、上式（２）で示される化合物０．９質量部と、白金触媒Ａ２．５質量部と、ＬＴＶ用硬化遅延剤（東レ・ダウコーニング社製）４．６質量部とをプロペラミキサーで均一に混合し、硬化前組成物を得た。
該硬化前組成物における粒子の合計（本例ではＥＲ粒子のみ：１００質量％）に対する、液状成分の合計（主剤とシリコーンオイルと架橋剤の合計）の割合は９３．４質量％であった。
実施例２と同様にして、電極板４がセットされた一対の電極間に、前記硬化前組成物を流し入れた。該電極板４の電極基板３の表面から他方の電極までの距離は０．４５ｍｍである。次いで、実施例１と同様にして電極間に０．５ｋＶ／ｍｍの電圧を印加しつつ、９０℃で２０分間加熱処理し、電極板４上にＥＲゲルからなる保持層が積層された積層物を得た。

続いて、得られた積層物の保持層の表面にあぶらとりフィルム（３Ｍ社製）を乗せ、保持層から滲みでてくるシリコーンオイルを除去した。シリコーンオイルを吸収したあぶらとりフィルムを適宜交換し、室温下で７日間シリコーンオイルを除去して、保持層（ＥＲゲル）の表面が乾いており、オイルの滲みは認められない状態の保持体を得た。あぶらとりフィルムの質量の増加分を計測したところ、除去したシリコーンオイル量は１４質量部であった。
このＥＲゲルのプロセスオイル除去後の状態における、ＥＲ粒子の含有量は６０．１質量％、樹脂架橋体（主剤と架橋剤の硬化物）の含有量は２５．５質量％、シリコーンオイルの含有量は１４．４質量％であった。

本例で得られた保持体について、上記の方法で保持対象物に対する固定力を評価したところ、０．７ｋＶ印加時および１．５ｋＶ印加時のいずれも、アルミ板に対する固定力は◎であったが、ガラス板に対する固定力が×であった。

１、３１ 保持層（ＥＲゲル）
２ 電極層
３ 電極基板
４ 電極板
１１ 正極
１２ 負極
２０ 搬送装置
２１ 駆動部
２２ アーム
２３ 保持具（ハンド）
２４、３０ 保持体
２５ 本体
３２ 中間層

Claims (4)

1. 電気レオロジー粒子（Ｅ）、および樹脂架橋体（Ａ）を含む電気レオロジーゲルであって、導電微粒子（Ｄ）とプロセスオイル（Ｆ）を含み、
   前記樹脂架橋体（Ａ）が、水酸基含有ポリマーとポリイソシアネート化合物との反応生成物を含み、
   前記導電微粒子（Ｄ）の比抵抗値が１×１０ ^８ Ω・ｃｍ以下であり、
   前記導電微粒子（Ｄ）の平均粒径が０．００１〜１０μｍであり、
   前記導電微粒子（Ｄ）の平均粒径と前記電気レオロジー粒子（Ｅ）の平均粒径との比が、導電微粒子（Ｄ）の平均粒径を１とすると、１．２〜５５０であり、
   前記導電微粒子（Ｄ）の含有量が０．５〜４０質量％であることを特徴とする電気レオロジーゲル。
2. 前記電気レオロジー粒子（Ｅ）の含有量が３５〜９０質量％であり、前記樹脂架橋体（Ａ）の含有量が５〜６０質量％であり、前記プロセスオイル（Ｆ）の含有量が１〜４０質量％である、請求項１記載の電気レオロジーゲル。
3. 前記樹脂架橋体（Ａ）が、水酸基末端ポリブタジエンとポリイソシアネート化合物との反応生成物を含む、請求項１または２に記載の電気レオロジーゲル。
4. 保持対象物に密着する保持層を備えた保持具であって、
   前記保持層が、請求項１〜３のいずれか一項に記載の電気レオロジーゲルからなり、さらに該保持層に電場を印加するための電極層を備えることを特徴とする保持具。

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