JP5546966B2 - 押込み試験システム - Google Patents
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Description
この押込み試験機には、回動可能に軸支される荷重レバーの一端に圧子を備え、フォースモータが付与する駆動力で荷重レバーを回動させ、圧子を試料の表面に押し込んでくぼみを形成するレバー型の押込み試験機が存在する。
ところが、ナノメートルオーダーの計測領域においては、外部(例えば、押込み試験機を設置する床)の振動に起因して、圧子に負荷される荷重や圧子の変位量が変動してしまい、精確な計測を行うことが出来ないおそれがあった。
また、レバー型の押込み試験機では、低測定力領域及びナノメートルオーダーの変位領域において、荷重レバーを含めた可動部の慣性モーメントと支点剛性およびその重心と支点の微細な位置ずれに起因し、外部の僅かな回転振動によって、荷重レバーが回転運動して、上記荷重や圧子の変位量が変動し易いという問題もあった。
この能動制御装置は、振動に対し保護すべき精密機器等の保護対象を搭載する除振台に設置され、除振台は支持機構により防振支持されており、除振台に固定されトルクを発生する回転アクチュエータと、回転アクチュエータに接続され除振台に対し相対的に回転方向に運動するフライホイールとを有し、回転アクチュエータがフライホイールを回転方向に駆動する際に発生する駆動反力により除振台にトルクを加える回転質量ユニットと、駆動指令信号に応じて回転アクチュエータを駆動する駆動回路とを備え、保護対象に伝達される有害振動を低減させるものである。
請求項1に記載の発明は、
押込み試験機と、
軸を支点として回動する回動体が回動することにより測定を行う前記押込み試験機を載置し、設置面から前記押込み試験機への振動の伝達を抑制するための除振台と、を備える押込み試験システムであって、
前記押込み試験機は、
先端部に圧子を備え、軸を支点として回動する前記回動体としてのレバーと、
前記レバーを回動させて試験力を付与する試験力付与手段と、を備え、
前記除振台は、
前記押込み試験機が載置される除振機能を有するベースと、
前記ベース上に配され、前記設置面からの回転方向の振動に起因して前記ベースが振動する際の角加速度を検出する検出手段と、
前記ベース上に配され、慣性力を発生させる慣性力発生手段と、
前記検出手段により検出された角加速度に基づいて、当該角加速度により発生する力を打ち消す慣性力を前記慣性力発生手段に発生させる制御手段と、
を備え、
前記慣性力発生手段は、
前記ベースに載置される支持フレームと、
前記支持フレームの上部及び下部に配され、互いに平行且つ反対向きの等しい大きさの力を発生させる2つの加振機と、を備え、
前記制御手段は、前記検出手段により検出された角加速度に基づいて、当該角加速度により発生する力を打ち消す慣性力を前記2つの加振機に発生させることを特徴とする。
前記検出手段は、所定距離離間して設けられた2つの加速度センサを備え、
前記2つの加速度センサからの出力値の差分量に応じて角加速度を検出することを特徴とする。
また、ベースに、検出手段と、慣性力発生手段と、制御手段と、を設けるだけなので、設置作業が容易である。
本実施形態の押込み試験機10は、圧子4に付与する試験力(荷重)と、圧子4の押込み深さとを連続してモニター可能なレバー型の計装化押込み試験機である。
基台2は、地盤の揺れ等に起因した床の振動により左右方向に回転振動する。
このとき、当該基台2が設置された除振台50には、基台2の回転振動により作用するトルクを打ち消すための力が後述の慣性力発生装置80により付与されるようになっており、試験機本体1は、除振台50上に設けられることで、上記の回転振動の影響を、上述の除振台50の作用によって排除可能となっている。これにより、計測誤差の防止を図ることができる。
XYZステージ2bは、上下方向、左右方向、前後方向に移動可能に構成されており、載置部2aに載置された試料Sの位置を調整可能にする。
なお、基準レバー7は、図2に示すように、上面視した際に、荷重レバー3の周囲を囲うように配されており、略枠形状を有している。
具体的には、圧子変位センサ5は、圧子4の移動量(変位量)を静電容量方式で計測するセンサであって、変位センサ可動部5aと変位センサ固定部5bとの距離に応じて変化する電極板間の静電容量に基づき、圧子4の変位量を計測する。
つまり、圧子変位センサ5は、変位センサ固定部5bに対する変位センサ可動部5aの変位を計測するようにして、圧子4の変位量を計測するようになっている。なお、圧子変位センサ5は、計測した圧子4の変位量に関するデータ(信号)を制御部20に出力する。
ロードセル9は、基準レバー7の一端側の下面に備えられており、圧子4が押し下げられる際に当接する基準レバー7の一端により押圧される押し付け力を測定し、基準レバー7が試料Sに押し付けられる荷重を測定するセンサである。このロードセル9は、測定した荷重に関するデータ(信号)を制御部20に出力する。
なお、コンタクタ8は、圧子4を試料Sに押し付ける測定手法によっては、荷重レバー3の移動の妨げになることなどがあるので、その場合に取り外すことができるように、コンタクタ8は、基準レバー7の一端側の下面に着脱可能に配設されている。
このストッパ12は、例えば、マイクロメータヘッドからなり、送りねじを回すことで高さ調整が可能となっている。つまり、ストッパ12の高さ調整を行うことによって、ストッパ12に当接する基準レバー7の回動角度を調節したり、ストッパ12が基準レバー7に当接しないように調節したりすることができる。
そして、この操作部40は、例えば、ユーザが試料Sの押込み試験時の指示入力を行う際に操作される。
制御部20は、システムバスなどを介して、XYZステージ2b、圧子変位センサ5、ロードセル9、第1フォースモータ6、第2フォースモータ11、表示部30、操作部40等と接続している。
除振台50は、押込み試験機1の基台2と設置面である床上部との間に配置され、設置面からの基台2への振動(基台2の左右方向の回転振動)の伝達を抑制する。
なお、本実施形態の除振台50は、公知の除振台であるベース51に、検出手段60、制御手段70、及び慣性力発生装置80を設けた構成である。
ベース51としては、公知のパッシブ形或いはアクティブ型などの除振台が適用可能である。
具体的に、検出手段60は、第1加速度センサ61,第2加速度センサ62と、角加速度算出部63と、を備えている。
この第1加速度センサ61,第2加速度センサ62は、ベース51が振動した際に、各々の位置における基台2の振動による加速度を計測する。そして、上記計測された加速度の信号は、角加速度算出部63に入力されるように構成されている。
この角加速度算出部63には、第1加速度センサ61,第2加速度センサ62よりそれぞれ出力される加速度の信号が入力され、バッファ部631A,631Bにて上記信号を安定させ、オフセット632A,632Bにて上記信号の直流成分を除去する。さらに、角加速度算出部63は、差動アンプ部633にて、オフセット632A,632Bより出力されるそれぞれの加速度の信号の差分量を算出することにより、ベース51の回転振動による角加速度を検出する。
そして、上記検出した角加速度の信号は、振動モニタ71と駆動信号生成部72とに入力される。
このように、本実施形態においては、角加速度算出部63は、2つの加速度センサ(第1加速度センサ61,第2加速度センサ62)からの出力値の差分量に応じて角加速度を検出する。
具体的に、制御手段70は、振動モニタ71と、駆動信号生成部72と、を備えて構成される。
振動モニタ71は、回転振動が試験に影響を与えないレベルであるか監視すること、及び試料Sの質量が大きく変わって除振台50の慣性モーメントが変化し角加速度のモニタリングした値が上昇した場合に、ゲインを自動的にゆっくり変更してその値を最小にするためのものである。
この駆動信号生成部72は、角加速度算出部63より入力される角加速度の信号を、増幅部721にて、上記信号に所定の増幅等の処理を行って駆動信号を生成し、信号調整部722にて、電流増幅等の処理を行って、慣性力発生装置80へ出力する。
ここで、駆動信号は、角加速度算出部63より入力される角加速度に基づいて、慣性力発生装置80が除振台50に付与する力でベース51の回転振動を打ち消すように生成される。つまり、基台2はベース51に固定されているので回転振動は生ぜず基台2の回転振動の影響による試験時の計測誤差を排除することができる。
具体的には、駆動信号は、振動モニタ71のモニタリングした値が最小となるように定められる。
具体的に、慣性力発生装置80は、ベース51に載置される支持フレーム81と、支持フレーム81の上部及び下部に配される2つの加振機82a,82bと、から構成される。
具体的に、2つの加振機82a,82bのそれぞれは、例えば、フォースコイルとマグネットとにより構成されており、マグネットがつくる磁界とフォースコイルに流れる電流との電磁誘導に応じて力を発生する。このとき、2つの加振機82a,82bは、互いに逆向きに配置されているため、互いに平行且つ反対向きの等しい大きさの一対の力を発生させることとなる。
ここで、一般に、大きさが等しく、互いに平行で反対向きの二つの力が一つの物体の異なる作用点に働くとき、この二つの力を1対として取り扱い、偶力という。この1対の力は物体の重心の並進運動に影響を与えず、物体の回転運動のみを引き起こす。つまり、基台2が外部の振動に起因して左右方向に回転振動した場合、慣性力発生装置80により、荷重レバー3に及ぼされるトルクを打ち消すための力が発生する。
次に、本発明の押込み試験システム100における、外部の振動による計測誤差防止処理について、図4に示すフローチャートに基づき説明する。
次いで、床の振動により、基台2が回転振動すると、第1加速度センサ61,第2加速度センサ62は、各々の位置における基台2の加速度を計測する(ステップS1)。
次いで、角加速度算出部63は、ステップS1にて計測された加速度の信号が入力されると、各々の加速度の差分量より基台2の回転振動による角加速度を算出する(ステップS2)。
次いで、駆動信号生成部72は、ステップS2にて算出された角加速度の信号に基づいて、慣性力発生装置80を駆動する駆動信号を生成する(ステップS3)。
次いで、慣性力発生装置80は、ステップS3にて生成された駆動信号に基づいて、角加速度に応じた力に相当する電流を発生させることにより慣性力を発生し、この慣性力を除振台50に付与する。(ステップS4)。
次いで、ユーザにより除振機能を終了させるか否かの判断がなされ(ステップS5)、終了させない場合(ステップS5:NO)には、上記ステップS1に戻って以降の処理が繰り返される一方、終了させる場合(ステップS5:YES)には、ユーザにより押込み試験システム100の電源が切られ、本処理が終了する。
なお、図5において、横軸は、振動数[Hz]であり、縦軸は、ベース上の振動/床振動である。
図5から、本実施形態における除振台50を使用した場合には、既存のアクティブ型の除振台を使用した場合と比較して、ベース上の振動が減少していることがわかる。
また、ベース51に、検出手段60と、慣性力発生装置80と、制御手段70と、を設けるだけなので、設置作業が容易である。
このため、慣性力発生装置80は、簡易な構成であり、既存の加振機を組み合わせるのみで作成することができるので安価に製造できる。
このため、検出手段60は、簡易な構成であり、既存の加速度センサを組み合わせるのみで作成することができるので安価に製造できる。
10 押込み試験機(測定装置)
1 試験機本体
2 基台
2a 載置部
2b XYZステージ
2e 回動軸
2f 回動軸
3 荷重レバー(回動体)
4 圧子
5 圧子変位センサ
6 第1フォースモータ(試験力付与手段)
7 基準レバー
11 第2フォースモータ
50 除振台
51 ベース
60 検出手段
61 第1加速度センサ
62 第2加速度センサ
63 角加速度算出部
631A,631B バッファ部
632A,632B オフセット
633 差動アンプ部
70 制御手段
71 振動モニタ
72 駆動信号生成部
721 増幅部
722 信号調整部
80 慣性力発生装置(慣性力発生手段)
81 支持フレーム
82a,82b 加振機
S 試料
Claims (2)
- 押込み試験機と、
軸を支点として回動する回動体が回動することにより測定を行う前記押込み試験機を載置し、設置面から前記押込み試験機への振動の伝達を抑制するための除振台と、を備える押込み試験システムであって、
前記押込み試験機は、
先端部に圧子を備え、軸を支点として回動する前記回動体としてのレバーと、
前記レバーを回動させて試験力を付与する試験力付与手段と、を備え、
前記除振台は、
前記押込み試験機が載置される除振機能を有するベースと、
前記ベース上に配され、前記設置面からの回転方向の振動に起因して前記ベースが振動する際の角加速度を検出する検出手段と、
前記ベース上に配され、慣性力を発生させる慣性力発生手段と、
前記検出手段により検出された角加速度に基づいて、当該角加速度により発生する力を打ち消す慣性力を前記慣性力発生手段に発生させる制御手段と、
を備え、
前記慣性力発生手段は、
前記ベースに載置される支持フレームと、
前記支持フレームの上部及び下部に配され、互いに平行且つ反対向きの等しい大きさの力を発生させる2つの加振機と、を備え、
前記制御手段は、前記検出手段により検出された角加速度に基づいて、当該角加速度により発生する力を打ち消す慣性力を前記2つの加振機に発生させることを特徴とする押込み試験システム。 - 前記検出手段は、所定距離離間して設けられた2つの加速度センサを備え、
前記2つの加速度センサからの出力値の差分量に応じて角加速度を検出することを特徴とする請求項1に記載の押込み試験システム。
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| JP2010139076A JP5546966B2 (ja) | 2010-06-18 | 2010-06-18 | 押込み試験システム |
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Family
ID=45534520
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