以下、本発明について、その好ましい実施形態に基づき、詳細に説明する。
先ず、上記一般式(I)で表されるβ−ジケトン化合物について説明する。
上記一般式(I)中、R1、R11、R12、R13、R21、R22及びR23で表される炭素原子数1〜20のアルキル基としては、例えば、メチル、エチル、プロピル、イソプロピル、ブチル、イソブチル、s−ブチル、t−ブチル、アミル、イソアミル、t−アミル、ヘキシル、ヘプチル、オクチル、イソオクチル、2−エチルヘキシル、t−オクチル、ノニル、イソノニル、デシル、イソデシル、ウンデシル、ドデシル、テトラデシル、ヘキサデシル、オクタデシル、イコシル、シクロペンチル、シクロヘキシル、シクロヘキシルメチル、ビニル、アリル、ブテニル、エチニル、プロピニル、メトキシエチル、エトキシエチル、プロピロキシエチル、ペンチロキシエチル、オクチロキシエチル、メトキシエトキシエチル、エトキシエトキシエチル、プロポキシエトキシエチル、メトキシプロピル、2−メトキシ−1−メチルエトキシ等が挙げられる。R11、R12、R13、R21、R22及びR23で表される炭素原子数6〜30のアリール基としては、例えば、フェニル、トリル、キシリル、エチルフェニル、クロロフェニル、ナフチル、アンスリル、フェナンスレニル、上記アルキル基で1つ以上置換されたフェニル、ビフェニリル、ナフチル、アンスリル等が挙げられる。R11、R12、R13、R21、R22及びR23で表される炭素原子数7〜30のアリールアルキル基としては、例えば、ベンジル、クロロベンジル、α−メチルベンジル、α、α−ジメチルベンジル、フェニルエチル、フェニルエテニル等が挙げられる。R11、R12、R13、R21、R22及びR23で表される炭素原子数2〜20の複素環基としては、例えば、ピリジル、ピリミジル、フリル、チエニル、テトラヒドロフリル、ジオキソラニル、ジメチルジオキソラニル、ベンゾオキサゾール−2−イル、テトラヒドロピラニル、ピロリジル、イミダゾリジル、ピラゾリジル、チアゾリジル、イソチアゾリジル、オキサゾリジル、イソオキサゾリジル、ピペリジル、ピペラジル、モルホリニル等の5〜7員複素環が好ましく挙げられ、炭素原子数3〜20の複素環アルキル基としては、メチル、エチル、プロピル、ブチル等のアルキル基が上記炭素原子数2〜20の複素環基として例示した置換基で置換された基が挙げられる。また、R12とR13が一緒になって形成しうる環、R22とR23が一緒になって形成しうる環、及びR2と隣接するベンゼン環が一緒になって形成しうる環としては、例えば、シクロペンタン環、シクロヘキサン環、シクロペンテン環、ベンゼン環、ピペリジン環、モルホリン環、ラクトン環、ラクタム環等の5〜7員環が挙げられる。また、R11、R12、R13、R21、R22及びR23を置換してもよいハロゲン原子並びにR3及びR4で表されるハロゲン原子としては、フッ素、塩素、臭素、ヨウ素が挙げられる。
上記一般式(II)中、R31、R32、R33及びR34で表される炭素原子数1〜20のアルキル基及び炭素原子数6〜30のアリール基並びにR34で表される炭素原子数7〜30のアリールアルキル基としては、上記一般式(I)で例示した置換基が挙げられ、R34で表される炭素原子数1〜20のアルコキシ基としては、メトキシ、メトキシメトキシ、メトキシエトキシメトキシ、メチルチオメチル、エトキシ、ビニルオキシ、プロポキシ、イソプロポキシ、ブトキシ、イソブトキシ、t−ブトキシ、t−ブチルジメチルシリルオキシ、t−ブトキシカルボニルメトキシ、ペンチルオキシ、イソペンチルオキシ、t−ペンチルオキシ、ネオペンチルオキシ、ヘキシルオキシ、シクロヘキシルオキシ、イソヘキシルオキシ、ヘプチルオキシ、オクチルオキシ、2−エチルヘキシルオキシ、ノニルオキシ、デシルオキシ、ウンデシルオキシ、ドデシルオキシ、トリデシルオキシ、イソトリデシルオキシ、ミリスチルオキシ、パルミチルオキシ、ステアリルオキシ等が挙げられ、R34で表される炭素原子数6〜30のアリールオキシ基としては、フェノキシ、トリルオキシ、キシリルオキシ、エチルフェノキシ、クロロフェノキシ、ナフトキシ、アンスリルオキシ、フェナンスレニルオキシ、上記アルキル基及びアルコキシ基で1つ以上置換されたフェノキシ、ビフェニリルオキシ、ナフトキシ、アンスリルオキシ等が挙げられ、炭素原子数7〜30のアリールアルコキシ基としては、ベンジルオキシ、クロロベンジルオキシ、α−メチルベンジルオキシ、α、α−ジメチルベンジルオキシ、フェニルエトキシ、フェニルエテニルオキシ等が挙げられる。
本発明のβ−ジケトン化合物の中でも、上記一般式(I)において、R1がメチル基であり、aが0であるものが製造面で有利であるため好ましく、更にbが0であるものや、bが1であり、R4がハロゲン原子で置換されていてもよい炭素原子数6〜20のアシル基であるものが、感度の面で優れているため、より好ましく、特にアシル基がメチル基やハロゲン原子で置換されていてもよいベンゾイル基であるものが、感度及び製造面で優れているため、より好ましい。
また、上記一般式(I)中、A1及びA2が共に水素原子であるβ−ジケトン化合物は、効率的に(メタ)アクリロイル基を含有する化合物と反応するため好ましく用いられる。また、上記一般式(I)中、A1及びA2が共に上記一般式(II)で表される置換基であるβ−ジケトン化合物は、光重合開始剤として利用でき、特に上記一般式(II)において、R31及びR32が水素原子であり、R33が水素原子又はメチル基であり、R34が炭素原子数1〜4のアルコキシ基であるものは、原料が入手容易で製造面でも優位であるため好ましい。
上記一般式(I)で表される、カルバゾリル基を有するβ−ジケトン化合物の具体的な例としては、以下の化合物No.1〜No.13が挙げられる。
上記一般式(I)で表される本発明のβ−ジケトン化合物の製造方法は、特に限定されないが、例えば、A1及びA2が共に水素原子であるβ−ジケトン化合物1は、例えば、下記〔化16〕に示されるように、アセチルカルバゾール化合物とカルボン酸エステルとの塩基触媒存在下の縮合反応により製造することができる。
上記カルボン酸エステルとしては、対応する置換基(=R1)を有するエステルが用いられ、そのエステル部分は特に限定されないが、メチルエステル、エチルエステル、プロピルエステル、ブチルエステル、イソアミルエステル、フェニルエステル等が好ましく用いられる。
上記塩基触媒としては、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化カルシウム、水素化ナトリウム等の無機塩基;ナトリウムメトキシド、ナトリウムエトキシド、リチウムジイソプロポキシド、カリウムt−ブトキシド等の金属アルコキシド;ジエチルアミン、トリエチルアミン、1,4−ジアザビシクロ[2,2,2]オクタン、1,5−ジアザビシクロ[4,3,0]−5−ノネン、1,8−ジアザビシクロ[5,4,0]−7−ウンデセン等のアミン類;ナトリウムアミド、リチウムジイソプロピルアミド等の金属アミド;水酸化テトラブチルアンモニウム、水酸化ベンジルトリメチルアンモニウム等の水酸化アンモニウム塩が挙げられる。
また、上記一般式(I)中、A1及びA2が共に上記一般式(II)で表される置換基であるβ−ジケトン化合物2は、例えば、下記〔化17〕に示されるように、β−ジケトン化合物1に置換アクリロイル基含有化合物を塩基触媒存在下で反応させることにより製造することができる。この塩基触媒としては、β−ジケトン化合物1製造の際に用いられる塩基触媒として例示したものが挙げられる。
上記反応によって得られるβ−ジケトン化合物2には、置換アクリロイル基の付加型によっては違う異性体が存在することがあるが、異性体の混合物であっても問題なく使用することができる。
さらに、本発明のβ−ジケトン化合物のうち、上記一般式(I)中、A1及びA2の少なくとも一方が水素原子である化合物を、その水素原子であるA1及び/又はA2の位置で、(メタ)アクリロイル基を含有する化合物に付加させることでβ−ジケトン化合物を得ることができる。
上記の付加反応は、β−ジケトン化合物と(メタ)アクリロイル基を含有する化合物とを、塩基触媒存在下で反応させる。ここで用いられる塩基触媒は、β−ジケトン化合物1を製造する時に用いられる塩基触媒として例示したものが挙げられる。
上記の(メタ)アクリロイル基を含有する化合物としては、例えば、アクリル酸エステル、メタクリル酸エステル、クロトン酸エステル、桂皮酸エステル、ソルビン酸エステル等の不飽和一塩基酸のエステルが挙げられ、エステルとしてはメチルエステル、エチルエステル、プロピルエステル、ブチルエステル、イソアミルエステル等が挙げられる。また、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリシクロデカンジメタノールジアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラアクリレート、イソシアヌル酸EO変性トリアクリレート、ビスフェノールAのEO変性ジアクリレート、ビスフェノールFのEO変性ジアクリレート、トリプロピレングリコールジアクリレート、ポリプロピレングリコールジアクリレート、トリメチロールプロパンPO変性トリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、トリメチロールエタンジアクリレート、トリメチロールプロパンジアクリレート、テトラメチロールプロパントリアクリレート及び2−ヒドロキシ−3−アクリロイロキシプロピルアクリレートも挙げられる。
上記反応によって得られるβ−ジケトン化合物には、アクリロイル基の付加型によっては違う異性体が存在することがあるが、異性体の混合物であっても問題なく使用することができる。
本発明のβ−ジケトン化合物は、触媒、プローブ、蛍光材料、オキシム系開始剤原料等に用いられ、本発明のβ−ジケトン化合物を含有する金属錯体は金属アルコキシド感光性樹脂材料、MOD材料等に広範囲に使用することができる。
また、本発明のβ−ジケトン化合物のうち、上記一般式(I)中、A1及びA2が共に上記一般式(II)で表される置換基であるβ−ジケトン化合物、及び上記一般式(I)中、A1及びA2の少なくとも一方が水素原子である化合物を、その水素原子であるA1及び/又はA2の位置で、(メタ)アクリロイル基を含有する化合物に付加させて得られるβ−ジケトン化合物は、エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物の光重合開始剤として有用であり、上記一般式(I)中、A1及びA2の少なくとも一方が水素原子である化合物が、R1がメチル基であり、aが0であり、R4がハロゲン原子で置換されていてもよい炭素原子数6〜20のアシル基である化合物であり、上記(メタ)アクリロイル基を含有する化合物が、(メタ)アクリル酸エステルである、β−ジケトン化合物は、上記付加反応の進行が早く、製造が容易であり、また長波長側に吸収を持ち、高い開始剤能を有するため、特に好ましい。
次に、本発明の感光性組成物について説明する。
本発明の感光性組成物は、上述の本発明のβ−ジケトン化合物からなる光重合開始剤及びエチレン性不飽和結合を有する重合性化合物、並びに、必要に応じて、無機化合物及び/又は色材、さらに溶媒等の任意成分を含有するものである。
上記エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物としては、特に限定されず、従来、感光性組成物に用いられているものを用いることができるが、例えば、エチレン、プロピレン、ブチレン、イソブチレン、塩化ビニル、塩化ビニリデン、フッ化ビニリデン、テトラフルオロエチレン等の不飽和脂肪族炭化水素;(メタ)アクリル酸、α―クロルアクリル酸、イタコン酸、マレイン酸、シトラコン酸、フマル酸、ハイミック酸、クロトン酸、イソクロトン酸、ビニル酢酸、アリル酢酸、桂皮酸、ソルビン酸、メサコン酸、トリメリット酸、ピロメリット酸、2、2’−3、3’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸、3、3’−4、4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸、コハク酸モノ[2−(メタ)アクリロイロキシエチル]、フタル酸モノ[2−(メタ)アクリロイロキシエチル]、ω−カルボキシポリカプロラクトンモノ(メタ)アクリレート等の両末端にカルボキシ基と水酸基とを有するポリマーのモノ(メタ)アクリレート、ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート・マレート、ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート・マレート、ジシクロペンタジエン・マレートあるいは1個のカルボキシル基と2個以上の(メタ)アクリロイル基とを有する多官能(メタ)アクリレート等の不飽和多塩基酸;(メタ)アクリル酸−2−ヒドロキシエチル、(メタ)アクリル酸−2−ヒドロキシプロピル、(メタ)アクリル酸グリシジル、下記化合物No.14〜No.17、(メタ)アクリル酸メチル、(メタ)アクリル酸ブチル、(メタ)アクリル酸イソブチル、(メタ)アクリル酸−t−ブチル、(メタ)アクリル酸シクロヘキシル、(メタ)アクリル酸n−オクチル、(メタ)アクリル酸イソオクチル、(メタ)アクリル酸イソノニル、(メタ)アクリル酸ステアリル、(メタ)アクリル酸ラウリル、(メタ)アクリル酸メトキシエチル、(メタ)アクリル酸ジメチルアミノメチル、(メタ)アクリル酸ジメチルアミノエチル、(メタ)アクリル酸アミノプロピル、(メタ)アクリル酸ジメチルアミノプロピル、(メタ)アクリル酸エトキシエチル、(メタ)アクリル酸ポリ(エトキシ)エチル、(メタ)アクリル酸ブトキシエトキシエチル、(メタ)アクリル酸エチルヘキシル、(メタ)アクリル酸フェノキシエチル、(メタ)アクリル酸テトラヒドロフリル、(メタ)アクリル酸ビニル、(メタ)アクリル酸アリル、(メタ)アクリル酸ベンジル、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、プロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、1,4−ブタンジオールジ(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールエタントリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、トリシクロデカンジメチロールジ(メタ)アクリレート、トリ[(メタ)アクリロイルエチル]イソシアヌレート、ポリエステル(メタ)アクリレートオリゴマー等の不飽和一塩基酸及び多価アルコール又は多価フェノールのエステル;(メタ)アクリル酸亜鉛、(メタ)アクリル酸マグネシウム等の不飽和多塩基酸の金属塩;マレイン酸無水物、イタコン酸無水物、シトラコン酸無水物、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、トリアルキルテトラヒドロ無水フタル酸、5−(2,5−ジオキソテトラヒドロフリル)−3−メチル−3−シクロヘキセン−1,2−ジカルボン酸無水物、トリアルキルテトラヒドロ無水フタル酸−無水マレイン酸付加物、ドデセニル無水コハク酸、無水メチルハイミック酸等の不飽和多塩基酸の酸無水物;(メタ)アクリルアミド、メチレンビス−(メタ)アクリルアミド、ジエチレントリアミントリス(メタ)アクリルアミド、キシリレンビス(メタ)アクリルアミド、α−クロロアクリルアミド、N−2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリルアミド等の不飽和一塩基酸及び多価アミンのアミド;アクロレイン等の不飽和アルデヒド;(メタ)アクリロニトリル、α−クロロアクリロニトリル、シアン化ビニリデン、シアン化アリル等の不飽和ニトリル;スチレン、4−メチルスチレン、4−エチルスチレン、4−メトキシスチレン、4−ヒドロキシスチレン、4−クロロスチレン、ジビニルベンゼン、ビニルトルエン、ビニル安息香酸、ビニルフェノール、ビニルスルホン酸、4−ビニルベンゼンスルホン酸、ビニルベンジルメチルエーテル、ビニルベンジルグリシジルエーテル等の不飽和芳香族化合物;メチルビニルケトン等の不飽和ケトン;ビニルアミン、アリルアミン、N−ビニルピロリドン、ビニルピペリジン等の不飽和アミン化合物;アリルアルコール、クロチルアルコール等のビニルアルコール;ビニルメチルエーテル、ビニルエチルエーテル、n−ブチルビニルエーテル、イソブチルビニルエーテル、アリルグリシジルエーテル等のビニルエーテル;マレイミド、N−フェニルマレイミド、N−シクロヘキシルマレイミド等の不飽和イミド類;インデン、1−メチルインデン等のインデン類;1,3−ブタジエン、イソプレン、クロロプレン等の脂肪族共役ジエン類;ポリスチレン、ポリメチル(メタ)アクリレート、ポリ−n−ブチル(メタ)アクリレート、ポリシロキサン等の重合体分子鎖の末端にモノ(メタ)アクリロイル基を有するマクロモノマー類;ビニルクロリド、ビニリデンクロリド、ジビニルスクシナート、ジアリルフタラート、トリアリルホスファート、トリアリルイソシアヌラート、ビニルチオエーテル、ビニルイミダゾール、ビニルオキサゾリン、ビニルカルバゾール、ビニルピロリドン、ビニルピリジン、水酸基含有ビニルモノマー及びポリイソシアネート化合物のビニルウレタン化合物、水酸基含有ビニルモノマー及びポリエポキシ化合物のビニルエポキシ化合物が挙げられる。これらの中でも、両末端にカルボキシ基と水酸基とを有するポリマーのモノ(メタ)アクリレート、1個のカルボキシ基と2個以上の(メタ)アクリロイル基とを有する多官能(メタ)アクリレート、不飽和一塩基酸及び多価アルコール又は多価フェノールのエステルに、本発明のβ−ジケトン化合物からなる光重合開始剤は好適である。
これらの重合性化合物は、単独で又は2種以上を混合して使用することができ、また2種以上を混合して使用する場合には、それらを予め共重合して共重合体として使用してもよい。
また、上記エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物としては、エチレン性不飽和結合を有するアルカリ現像性化合物を用いて、本発明の感光性組成物をアルカリ現像性感光性樹脂組成物とすることもできる。該エチレン性不飽和結合を有するアルカリ現像性化合物としては、アクリル酸エステルの共重合体や、フェノール及び/又はクレゾールノボラックエポキシ樹脂、多官能エポキシ基を有するポリフェニルメタン型エポキシ樹脂、下記一般式(III)で表されるエポキシ化合物等のエポキシ化合物に不飽和一塩基酸を作用させ、更に多塩基酸無水物を作用させて得られた樹脂を用いることができる。これらの中でも、下記一般式(III)で表されるエポキシ化合物等のエポキシ化合物に不飽和一塩基酸を作用させ、更に多塩基酸無水物を作用させて得られた樹脂が好ましい。また、上記エチレン性不飽和結合を有するアルカリ現像性化合物は、不飽和基を0.2〜1.0当量含有していることが好ましい。
(式中、X
1は直接結合、メチレン基、炭素原子数1〜4のアルキリデン基、炭素原子数3〜20の脂環式炭化水素基、O、S、SO
2、SS、SO、CO、OCO又は下記〔化23〕若しくは〔化24〕で表される置換基を表し、該アルキリデン基はハロゲン原子で置換されていてもよく、R
41、R
42、R
43及びR
44は、それぞれ独立に、水素原子、炭素原子数1〜5のアルキル基、炭素原子数1〜8のアルコキシ基、炭素原子数2〜5のアルケニル基又はハロゲン原子を表し、アルキル基、アルコキシ基及びアルケニル基はハロゲン原子で置換されていてもよく、mは0〜10の整数である。)
(式中、Y
1は水素原子、炭素原子数1〜10のアルキル基若しくはアルコキシ基により置換されていてもよいフェニル基又は炭素原子数3〜10のシクロアルキル基を表し、Z
1は炭素原子数1〜10のアルキル基、炭素原子数1〜10のアルコキシ基、炭素原子数2〜10のアルケニル基又はハロゲン原子を表し、アルキル基、アルコキシ基及びアルケニル基はハロゲン原子で置換されていてもよく、dは0〜5の整数である。)
上記エポキシ化合物に作用させる上記不飽和一塩基酸としては、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、桂皮酸、ソルビン酸、ヒドロキシエチルメタクリレート・マレート、等が挙げられる。ヒドロキシエチルアクリレート・マレート、ヒドロキシプロピルメタクリレート・マレート、ヒドロキシプロピルアクリレート・マレート、ジシクロペンタジエン・マレート等が挙げられる。
また、上記不飽和一塩基酸を作用させた後に作用させる上記多塩基酸無水物としては、ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、テトラヒドロ無水フタル酸、無水コハク酸、ビフタル酸無水物、無水マレイン酸、トリメリット酸無水物、ピロメリット酸無水物、2,2’−3,3’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸無水物、エチレングリコールビスアンヒドロトリメリテート、グリセロールトリスアンヒドロトリメリテート、ヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、ナジック酸無水物、メチルナジック酸無水物、トリアルキルテトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、5−(2,5−ジオキソテトラヒドロフリル)−3−メチル−3−シクロヘキセン−1,2−ジカルボン酸無水物、トリアルキルテトラヒドロ無水フタル酸−無水マレイン酸付加物、ドデセニル無水コハク酸、無水メチルハイミック酸等が挙げられる。
上記エポキシ化合物、上記不飽和一塩基酸及び上記多塩基酸無水物の反応モル比は、以下の通りとすることが好ましい。即ち、上記エポキシ化合物のエポキシ基1個に対し、上記不飽和一塩基酸のカルボキシル基が0.1〜1.0個で付加させた構造を有するエポキシ付加物において、該エポキシ付加物の水酸基1個に対し、上記多塩基酸無水物の酸無水物構造が0.1〜1.0個となる比率となるようにするのが好ましい。
上記エポキシ化合物、上記不飽和一塩基酸及び上記多塩基酸無水物の反応は、常法に従って行なうことができる。
酸価調整して本発明の(着色)アルカリ現像性感光性樹脂組成物の現像性を改良するため、上記エチレン性不飽和結合を有するアルカリ現像性化合物と共に、さらに単官能又は多官能エポキシ化合物を用いることができる。上記エチレン性不飽和結合を有するアルカリ現像性化合物は、固形分の酸価が5〜120mgKOH/gの範囲であることが好ましく、単官能又は多官能エポキシ化合物の使用量は、上記酸価を満たすように選択するのが好ましい。
上記単官能エポキシ化合物としては、グリシジルメタクリレート、メチルグリシジルエーテル、エチルグリシジルエーテル、プロピルグリシジルエーテル、イソプロピルグリシジルエーテル、ブチルグリシジルエーテル、イソブチルグリシジルエーテル、t−ブチルグリシジルエーテル、ペンチルグリシジルエーテル、ヘキシルグリシジルエーテル、ヘプチルグリシジルエーテル、オクチルグリシジルエーテル、ノニルグリシジルエーテル、デシルグリシジルエーテル、ウンデシルグリシジルエーテル、ドデシルグリシジルエーテル、トリデシルグリシジルエーテル、テトラデシルグリシジルエーテル、ペンタデシルグリシジルエーテル、ヘキサデシルグリシジルエーテル、2−エチルヘキシルグリシジルエーテル、アリルグリシジルエーテル、プロパルギルグリシジルエーテル、p−メトキシエチルグリシジルエーテル、フェニルグリシジルエーテル、p−メトキシグリシジルエーテル、p−ブチルフェノールグリシジルエーテル、クレジルグリシジルエーテル、2−メチルクレジルグリシジルエーテル、4−ノニルフェニルグリシジルエーテル、ベンジルグリシジルエーテル、p−クミルフェニルグリシジルエーテル、トリチルグリシジルエーテル、2,3−エポキシプロピルメタクリレート、エポキシ化大豆油、エポキシ化アマニ油、グリシジルブチレート、ビニルシクロヘキサンモノオキシド、1,2−エポキシ−4−ビニルシクロヘキサン、スチレンオキシド、ピネンオキシド、メチルスチレンオキシド、シクロヘキセンオキシド、プロピレンオキシド、下記化合物No.18、No.19等が挙げられる。
上記多官能エポキシ化合物としては、ビスフェノール型エポキシ化合物及びグリシジルエーテル類からなる群から選択される一種以上を用いると、特性の一層良好な(着色)アルカリ現像性感光性樹脂組成物を得ることができるので好ましい。該ビスフェノール型エポキシ化合物としては、上記一般式(III)で表されるエポキシ化合物を用いることができる他、例えば、水添ビスフェノール型エポキシ化合物等のビスフェノール型エポキシ化合物も用いることができる。該グリシジルエーテル類としては、エチレングリコールジグリシジルエーテル、プロピレングリコールジグリシジルエーテル、1,4−ブタンジオールジグリシジルエーテル、1,6−ヘキサンジオールジグリシジルエーテル、1,8−オクタンジオールジグリシジルエーテル、1,10−デカンジオールジグリシジルエーテル、2,2−ジメチル−1,3−プロパンジオールジグリシジルエーテル、ジエチレングリコールジグリシジルエーテル、トリエチレングリコールジグリシジルエーテル、テトラエチレングリコールジグリシジルエーテル、ヘキサエチレングリコールジグリシジルエーテル、1,4−シクロヘキサンジメタノールジグリシジルエーテル、1,1,1−トリ(グリシジルオキシメチル)プロパン、1,1,1−トリ(グリシジルオキシメチル)エタン、1,1,1−トリ(グリシジルオキシメチル)メタン、1,1,1,1−テトラ(グリシジルオキシメチル)メタンが挙げられる。
その他、フェノールノボラック型エポキシ化合物、ビフェニルノボラック型エポキシ化合物、クレゾールノボラック型エポキシ化合物、ビスフェノールAノボラック型エポキシ化合物、ジシクロペンタジエンノボラック型エポキシ化合物等のノボラック型エポキシ化合物;3,4−エポキシ−6−メチルシクロヘキシルメチル−3,4−エポキシ−6−メチルシクロヘキサンカルボキシレート、3,4−エポキシシクロヘキシルメチル−3,4−エポキシシクロヘキサンカルボキシレート、1−エポキシエチル−3,4−エポキシシクロヘキサン等の脂環式エポキシ化合物;フタル酸ジグリシジルエステル、テトラヒドロフタル酸ジグリシジルエステル、ダイマー酸グリシジルエステル等のグリシジルエステル類;テトラグリシジルジアミノジフェニルメタン、トリグリシジルP−アミノフェノール、N,N−ジグリシジルアニリン等のグリシジルアミン類;1,3−ジグリシジル−5,5−ジメチルヒダントイン、トリグリシジルイソシアヌレート等の複素環式エポキシ化合物;ジシクロペンタジエンジオキシド等のジオキシド化合物;ナフタレン型エポキシ化合物、トリフェニルメタン型エポキシ化合物、ジシクロペンタジエン型エポキシ化合物等を用いることもできる。
本発明の感光性組成物において、光重合開始剤の添加量は特に限定されるものではないが、本発明のβ−ジケトン化合物の添加量は、エチレン性不飽和結合を有する上記重合性化合物100質量部に対して、好ましくは1〜70質量部、より好ましくは1〜50質量部、最も好ましくは5〜30質量部である。
特に本発明の感光性組成物を(着色)アルカリ現像性感光性樹脂組成物とする場合、上記エチレン性不飽和結合を有するアルカリ現像性化合物の含有量は、本発明の(着色)アルカリ現像性感光性樹脂組成物において1〜20質量%、特に3〜12質量%が好ましい。
本発明の感光性組成物には、さらに溶媒を加えることができる。該溶媒としては、通常、必要に応じて前記の各成分(本発明のβ−ジケトン化合物及びエチレン性不飽和結合を有する重合性化合物等)を溶解又は分散しえる溶媒、例えば、メチルエチルケトン、メチルアミルケトン、ジエチルケトン、アセトン、メチルイソプロピルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類;エチルエーテル、ジオキサン、テトラヒドロフラン、1,2−ジメトキシエタン、1,2−ジエトキシエタン、ジプロピレングリコールジメチルエーテル等のエーテル系溶媒;酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸−n−プロピル、酢酸イソプロピル、酢酸n−ブチル等のエステル系溶媒;エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート等のセロソルブ系溶媒;メタノール、エタノール、イソ−又はn−プロパノール、イソ−又はn−ブタノール、アミルアルコール等のアルコール系溶媒;エチレングリコールモノメチルアセテート、エチレングリコールモノエチルアセテート、プロピレングリコールメチルアセテート等のエーテルエステル系溶媒;ベンゼン、トルエン、キシレン等のBTX系溶媒;ヘキサン、ヘプタン、オクタン、シクロヘキサン等の脂肪族炭化水素系溶媒;テレピン油、D−リモネン、ピネン等のテルペン系炭化水素油;ミネラルスピリット、スワゾール#310(コスモ松山石油(株))、ソルベッソ#100(エクソン化学(株))等のパラフィン系溶媒;四塩化炭素、クロロホルム、トリクロロエチレン、塩化メチレン、1,2−ジクロロエタン等のハロゲン化脂肪族炭化水素系溶媒;クロロベンゼン等のハロゲン化芳香族炭化水素系溶媒;カルビトール系溶媒、アニリン、トリエチルアミン、ピリジン、酢酸、アセトニトリル、二硫化炭素、N,N−ジメチルホルムアミド、N−メチルピロリドン、ジメチルスルホキシド、水等が挙げられ、これらの溶媒は1種又は2種以上の混合溶媒として使用することができる。
これらの中でもケトン類、セロソルブ系溶媒等、特にプロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート、シクロヘキサノン等が、感光性組成物においてレジストと光重合開始剤の相溶性がよいので好ましい。
本発明の感光性組成物には、さらに無機化合物を含有させることができる。該無機化合物としては、例えば、酸化ニッケル、酸化鉄、酸化イリジウム、酸化チタン、酸化亜鉛、酸化マグネシウム、酸化カルシウム、酸化カリウム、シリカ、アルミナ等の金属酸化物;層状粘土鉱物、ミロリブルー、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、コバルト系、マンガン系、ガラス粉末、マイカ、タルク、カオリン、フェロシアン化物、各種金属硫酸塩、硫化物、セレン化物、アルミニウムシリケート、カルシウムシリケート、水酸化アルミニウム、白金、金、銀、銅等が挙げられ、これらの中でも、酸化チタン、シリカ、層状粘土鉱物、銀等が好ましい。本発明の感光性組成物において、無機化合物の含有量は、エチレン性不飽和結合を有する上記重合性化合物100質量部に対して、好ましくは0.1〜50質量部、より好ましくは0.5〜20質量部であり、これらの無機化合物は1種又は2種以上を使用することができる。
これら無機化合物は、例えば、充填剤、反射防止剤、導電剤、安定剤、難燃剤、機械的強度向上剤、特殊波長吸収剤、撥インク剤等として用いられる。
また、本発明の感光性組成物(特にアルカリ現像性感光性樹脂組成物)には、さらに色材を含有させて着色感光性組成物としてもよい。該色材としては、顔料、染料、天然色素等が挙げられる。これらの色材は、単独で又は2種以上を混合して用いることができる。
上記顔料としては、例えば、ニトロソ化合物、ニトロ化合物、アゾ化合物、ジアゾ化合物、キサンテン化合物、キノリン化合物、アントラキノン化合物、クマリン化合物、フタロシアニン化合物、イソインドリノン化合物、イソインドリン化合物、キナクリドン化合物、アンタンスロン化合物、ペリノン化合物、ペリレン化合物、ジケトピロロピロール化合物、チオインジゴ化合物、ジオキサジン化合物、トリフェニルメタン化合物、キノフタロン化合物、ナフタレンテトラカルボン酸;アゾ染料、シアニン染料の金属錯体化合物;レーキ顔料;ファーネス法、チャンネル法、サーマル法によって得られるカーボンブラック、あるいはアセチレンブラック、ケッチェンブラック又はランプブラック等のカーボンブラック;前記カーボンブラックを酸性又はアルカリ性表面処理したもの;黒鉛、黒鉛化カーボンブラック、活性炭、炭素繊維、カーボンナノチューブ、カーボンマイクロコイル、カーボンナノホーン、カーボンエアロゲル、フラーレン;アニリンブラック、ピグメントブラック7、チタンブラック;疎水性樹脂、酸化クロム緑、ミロリブルー、コバルト緑、コバルト青、マンガン系、フェロシアン化物、リン酸塩群青、紺青、ウルトラマリン、セルリアンブルー、ピリジアン、エメラルドグリーン、硫酸鉛、黄色鉛、亜鉛黄、べんがら(赤色酸化鉄(III))、カドミウム赤、合成鉄黒、アンバー等の有機又は無機顔料を用いることができる。これらの顔料は単独で、あるいは複数を混合して用いることができる。
上記顔料としては、市販の顔料を用いることもでき、例えば、ピグメントレッド1、2、3、9、10、14、17、22、23、31、38、41、48、49、88、90、97、112、119、122、123、144、149、166、168、169、170、171、177、179、180、184、185、192、200、202、209、215、216、217、220、223、224、226、227、228、240、254;ピグメントオレンジ13、31、34、36、38、43、46、48、49、51、52、55、59、60、61、62、64、65、71;ピグメントイエロ−1、3、12、13、14、16、17、20、24、55、60、73、81、83、86、93、95、97、98、100、109、110、113、114、117、120、125、126、127、129、137、138、139、147、148、150、151、152、153、154、166、168、175、180、185;ピグメントグリ−ン7、10、36;ピグメントブル−15、15:1、15:2、15:3、15:4、15:5、15:6、22、24、56、60、61、62、64;ピグメントバイオレット1、19、23、27、29、30、32、37、40、50等が挙げられる。
上記染料としては、アゾ染料、アントラキノン染料、インジゴイド染料、トリアリールメタン染料、キサンテン染料、アリザリン染料、アクリジン染料スチルベン染料、チアゾール染料、ナフトール染料、キノリン染料、ニトロ染料、インダミン染料、オキサジン染料、フタロシアニン染料、シアニン染料等の染料等が挙げられ、これらは複数を混合して用いてもよい。
本発明の感光性組成物において、上記色材の添加量は、エチレン性不飽和結合を有する上記重合性化合物100質量部に対して、好ましくは50〜350質量部、より好ましくは100〜250質量部である。
また、エチレン性不飽和結合を有する上記重合性化合物とともに、他の有機重合体を用いることによって、硬化物の特性を改善することもできる。該有機重合体としては、例えば、ポリスチレン、ポリメチルメタクリレート、メチルメタクリレート−エチルアクリレート共重合体、ポリ(メタ)アクリル酸、スチレン−(メタ)アクリル酸共重合体、(メタ)アクリル酸−メチルメタクリレート共重合体、エチレン−塩化ビニル共重合体、エチレン−ビニル共重合体、ポリ塩化ビニル樹脂、ABS樹脂、ナイロン6、ナイロン66、ナイロン12、ウレタン樹脂、ポリカーボネートポリビニルブチラール、セルロースエステル、ポリアクリルアミド、飽和ポリエステル、フェノール樹脂、フェノキシ樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリアミック酸樹脂、エポキシ樹脂等が挙げられ、これらの中でも、ポリスチレン、(メタ)アクリル酸−メチルメタクリレート共重合体、エポキシ樹脂が好ましい。
他の有機重合体を使用する場合、その使用量は、エチレン性不飽和結合を有する上記重合性化合物100質量部に対して、好ましくは10〜500質量部である。
本発明の感光性組成物には、さらに、不飽和結合を有するモノマー、連鎖移動剤、界面活性剤等を併用することができる。
上記不飽和結合を有するモノマーとしては、アクリル酸−2−ヒドロキシエチル、アクリル酸−2−ヒドロキシプロピル、アクリル酸イソブチル、アクリル酸n−オクチル、アクリル酸イソオクチル、アクリル酸イソノニル、アクリル酸ステアリル 、アクリル酸メトキシエチル、アクリル酸ジメチルアミノエチル、アクリル酸亜鉛、1,6−ヘキサンジオールジアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、メタクリル酸−2−ヒドロキシエチル、メタクリル酸−2−ヒドロキシプロピル、メタクリル酸ブチル、メタクリル酸ターシャリーブチル、メタクリル酸シクロヘキシル、トリメチロールプロパントリメタクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ビスフェノールAジグリシジルエーテル(メタ)アクリレート、ビスフェノールFジグリシジルエーテル(メタ)アクリレート、ビスフェノールZジグリシジルエーテル(メタ)アクリレート、トリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート等が挙げられる。
上記連鎖移動剤としては、チオグリコール酸、チオリンゴ酸、チオサリチル酸、2−メルカプトプロピオン酸、3−メルカプトプロピオン酸、3−メルカプト酪酸、N−(2−メルカプトプロピオニル)グリシン、2−メルカプトニコチン酸、3−[N−(2−メルカプトエチル)カルバモイル]プロピオン酸、3−[N−(2−メルカプトエチル)アミノ]プロピオン酸、N−(3−メルカプトプロピオニル)アラニン、2−メルカプトエタンスルホン酸、3−メルカプトプロパンスルホン酸、4−メルカプトブタンスルホン酸、ドデシル(4−メチルチオ)フェニルエーテル、2−メルカプトエタノール、3−メルカプト−1,2−プロパンジオール、1−メルカプト−2−プロパノール、3−メルカプト−2−ブタノール、メルカプトフェノール、2−メルカプトエチルアミン、2−メルカプトイミダゾール、2−メルカプト−3−ピリジノール、2−メルカプトベンゾチアゾール、メルカプト酢酸、トリメチロールプロパントリス(3−メルカプトプロピオネート)、ペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトプロピオネート)等のメルカプト化合物、該メルカプト化合物を酸化して得られるジスルフィド化合物、ヨード酢酸、ヨードプロピオン酸、2−ヨードエタノール、2−ヨードエタンスルホン酸、3−ヨードプロパンスルホン酸等のヨード化アルキル化合物が挙げられる。
上記界面活性剤としては、パーフルオロアルキルリン酸エステル、パーフルオロアルキルカルボン酸塩等のフッ素界面活性剤、高級脂肪酸アルカリ塩、アルキルスルホン酸塩、アルキル硫酸塩等のアニオン系界面活性剤、高級アミンハロゲン酸塩、第四級アンモニウム塩等のカチオン系界面活性剤、ポリエチレングリコールアルキルエーテル、ポリエチレングリコール脂肪酸エステル、ソルビタン脂肪酸エステル、脂肪酸モノグリセリド等の非イオン界面活性剤、両性界面活性剤、シリコーン系界面活性剤等の界面活性剤を用いることができ、これらは組み合わせて用いてもよい。
また、本発明の感光性組成物には、光重合開始剤として、本発明のβ−ジケトン化合物の他に、必要に応じて他の光重合開始剤あるいは増感剤を併用することも可能であり、その他の光重合開始剤を併用することによって著しい相乗効果を奏する場合もある。
本発明のβ−ジケトン化合物と併用できる光重合開始剤としては、従来既知の化合物を用いることが可能であり、例えば、ベンゾフェノン、フェニルビフェニルケトン、1−ヒドロキシ−1−ベンゾイルシクロヘキサン、ベンゾイン、ベンジルジメチルケタール、1−ベンジル−1−ジメチルアミノ−1−(4’−モルホリノベンゾイル)プロパン、2−モルホリル−2−(4’−メチルメルカプト)ベンゾイルプロパン、チオキサントン、1−クロル−4−プロポキシチオキサントン、イソプロピルチオキサントン、ジエチルチオキサントン、エチルアントラキノン、4−ベンゾイル−4’−メチルジフェニルスルフィド、ベンゾインブチルエーテル、2−ヒドロキシ−2−ベンゾイルプロパン、2−ヒドロキシ−2−(4’−イソプロピル)ベンゾイルプロパン、4−ブチルベンゾイルトリクロロメタン、4−フェノキシベンゾイルジクロロメタン、ベンゾイル蟻酸メチル、1,7−ビス(9’−アクリジニル)ヘプタン、9−n−ブチル−3,6−ビス(2’−モルホリノイソブチロイル)カルバゾール、2−メチル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−フェニル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−ナフチル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2,2−ビス(2−クロロフェニル)−4,5,4’,5’−テトラフェニル−1−2’−ビイミダゾール、4、4−アゾビスイソブチロニトリル、トリフェニルホスフィン、カンファーキノン、N−1414、N−1717、N−1919、PZ−408((株)ADEKA社製)、IRGACURE369、IRGACURE907、IRGACURE OXE 01、IRGACURE OXE 02(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ(株)社製)、過酸化ベンゾイル、下記一般式(IV)〜(VI)で表される化合物等が挙げられ、これらの光重合開始剤は、1種又は2種以上を組み合わせて用いることができる。これらの他の光重合開始剤を使用する場合、その使用量は、好ましくは本発明のβ−ジケトン化合物の使用量の1質量倍以下とする。
(式中、R
51、R
52及びR
53は、それぞれ独立に、上記一般式(I)におけるR
2と同じであり、Y
2は、ハロゲン原子又はアルキル基を表し、nは0〜5である。)
(式中、R
51、R
52、R
53、Y
2及びnは、上記一般式(IV)と同じであり、R’
51、R’
52及びR’
53は、R
51と同じであり、Y’
2はY
2と同じであり、R
54はジオール残基又はジチオール残基を表し、Z
2は酸素原子又は硫黄原子を表す。)
(式中、R
51、R
52、R
53、Y
2及びnは、上記一般式(IV)と同じであり、Z
3は酸素原子、硫黄原子又はセレン原子を表し、Aは複素環基を表し、pは0〜5の整数であり、qは0又は1である。)
また、本発明の感光性組成物には、必要に応じて、p−アニソール、ハイドロキノン、ピロカテコール、t−ブチルカテコール、フェノチアジン等の熱重合抑制剤;可塑剤;接着促進剤;充填剤;消泡剤;レベリング剤;表面調整剤;酸化防止剤;紫外線吸収剤;分散助剤;凝集防止剤;触媒;効果促進剤;増感剤;架橋剤;増粘剤等の慣用の添加物を加えることができる。
本発明の感光性組成物において、エチレン性不飽和結合を有する前記重合性化合物及び本発明のβ−ジケトン化合物以外の任意成分(但し、前記の他の光重合開始剤、無機充填剤、色材及び溶媒は除く)の使用量は、その使用目的に応じて適宜選択され特に制限されないが、好ましくは、エチレン性不飽和結合を有する前記重合性化合物100質量部に対して合計で50質量部以下とする。
本発明の感光性組成物は、スピンコーター、ロールコーター、バーコーター、ダイコーター、カーテンコーター、各種の印刷、浸漬等の公知の手段で、ソーダガラス、石英ガラス、半導体基板、金属、紙、プラスチック等の支持基体上に適用することができる。また、一旦フィルム等の支持基体上に施した後、他の支持基体上に転写することもでき、その適用方法に制限はない。
本発明の感光性組成物は、光硬化性塗料あるいはワニス、光硬化性接着剤、プリント基板、あるいはカラーテレビ、PCモニタ、携帯情報端末、デジタルカメラ等のカラー表示の液晶表示素子におけるカラーフィルター、CCDイメージセンサのカラーフィルター、プラズマ表示パネル用の電極材料、粉末コーティング、印刷インク、印刷版、接着剤、歯科用組成物、ゲルコート、電子工学用のフォトレジスト、電気メッキレジスト、エッチングレジスト、液状及び乾燥膜の双方、はんだレジスト、種々の表示用途用のカラーフィルターを製造するためのあるいはプラズマ表示パネル、電気発光表示装置、及びLCDの製造工程において構造を形成するためのレジスト、電気及び電子部品を封入するための組成物、磁気記録材料、微小機械部品、導波路、光スイッチ、めっき用マスク、エッチングマスク、カラー試験系、ガラス繊維ケーブルコーティング、スクリーン印刷用ステンシル、ステレオリトグラフィによって三次元物体を製造するための材料、ホログラフィ記録用材料、画像記録材料、微細電子回路、脱色材料、画像記録材料のための脱色材料、マイクロカプセルを使用する画像記録材料用の脱色材料、印刷配線板用フォトレジスト材料、UV及び可視レーザー直接画像系用のフォトレジスト材料、プリント回路基板の逐次積層における誘電体層形成に使用するフォトレジスト材料あるいは保護膜等の各種の用途に使用することができ、その用途に特に制限はない。
また、本発明のβ−ジケトン化合物を含有する感光性組成物を硬化させる際に用いられる活性光の光源としては、波長300〜450nmの光を発光するものを用いることができ、例えば、超高圧水銀、水銀蒸気アーク、カーボンアーク、キセノンアーク等を用いることができる。
以下、実施例及び比較例を示して本発明を更に詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例等に限定されるものではない。
下記実施例1−1〜1−3、2−1及び2−2は、本発明のβ−ジケトン化合物No.1〜No.3、No.11及びNo.12の製造例を示す。下記比較例1は、比較化合物No.1の製造例を示す。製造例1は、アルカリ現像性化合物の製造例を示す。実施例3−1、3−2及び比較例2は、上記β−ジケトン化合物又は比較化合物と上記アルカリ現像性化合物を用いた感光性組成物No.1、No.2及び比較感光性組成物No.1の調製例を示し、評価例1−1、1−2及び比較評価例1は、感光性組成物No.1、No.2及び比較感光性組成物No.1の評価例を示す。
[実施例1−1]1−(9−プロピル−9H−カルバゾール−3−イル)ブタン−1,3−ジオン(化合物No.1)の製造
撹拌装置、窒素導入管、還流冷却管、温度計を付した200mL四つ口フラスコに、1−(9−プロピル−9H−カルバゾール−3−イル)エタノン25.13g、酢酸エチル88.11g、カリウムt−ブトキシド16.83gを仕込み、窒素雰囲気下で5時間還流した。室温まで冷却後、イオン交換水50mLと6N塩酸50mLを順に加え攪拌し、有機相を分取した。これに酢酸エチルを200mL加え、中性になるまで食塩水で洗浄し、上層を硫酸マグネシウムで脱水した。溶媒を留去し、固体が析出したところで酢酸エチル10mL加えて還流し溶解させ、n−ヘキサンを加えて晶析した。これを吸引ろ過後、減圧乾燥して黄色結晶23.15g(収率79%)を得た。該黄色結晶の融点は97℃であり、各種分析を行い目的物であるカルバゾリル基を有するβ−ジケトン化合物No.1であることが同定された。
[実施例1−2]1−〔9−エチル−6−(4−フルオロ−2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル〕ブタン−1,3−ジオン(化合物No.2)の製造
撹拌装置、窒素導入管、還流冷却管、温度計を付した1L四つ口フラスコに、1−〔9−エチル−6−(4−フルオロ−2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル〕エタノン74.69g、酢酸エチル538.66g、カリウムt−ブトキシド67.33gを仕込み、窒素雰囲気下で1時間還流した。室温まで冷却後、析出した白色固体を吸引ろ過し、酢酸エチル500mLで洗浄した。得られた固体に2N塩酸500mLと酢酸エチル1.5Lを加えて撹拌し、有機相を中性になるまで水で洗浄した。有機相を分液し、硫酸マグネシウム70gで脱水して、吸引ろ過後に溶媒を留去して淡黄色固体を得た。これを酢酸エチル150mLに溶解し還流後、n−ヘキサン100mLを加え室温まで冷却して晶析した。ろ液は再度酢酸エチル50mLに溶解し還流後、n−ヘキサン100mLを加え室温まで冷却して再度晶析した。得られた結晶を合わせて吸引ろ過後、減圧乾燥して白色結晶8.52g(収率21%)を得た。該白色結晶の融点は132℃であり、各種分析を行い目的物であるカルバゾリル基を有するβ−ジケトン化合物No.2であることが同定された。
[実施例1−3]1−〔9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル〕ブタン−1,3−ジオン(化合物No.3)の製造
撹拌装置、窒素導入管、還流冷却管、温度計を付した1L四つ口フラスコに、1−〔9−エチル−6−(−2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル〕エタノン35.54g、酢酸エチル264.33g、カリウムt−ブトキシド33.66gを仕込み、窒素雰囲気下で5時間還流した。室温まで冷却後、イオン交換水100mLと6N塩酸100mLを順に加え攪拌し、有機相を分取した。これを中性になるまで食塩水で洗浄後、n−ヘキサン150mLを加えて氷冷し晶析した。これを吸引ろ過後、減圧乾燥して淡黄色結晶17.29g(収率43%)を得た。該淡黄色結晶の融点は148℃であり、各種分析を行い目的物であるカルバゾリル基を有するβ−ジケトン化合物No.3であることが同定された。
上記実施例1−1〜1−3で得られた化合物No.1〜No.3の同定結果を表1及び表2に示す。
[実施例2−1]アクリル酸メチルの1−[9−エチル−6−(4−フルオロ−2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−ブタン−1,3−ジオン付加物(化合物No.11)の製造
撹拌装置、窒素/酸素ガス導入管、還流冷却管、温度計を付した100mL四つ口フラスコに、1−[9−エチル−6−(4−フルオロ−2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−ブタン−1,3−ジオン(化合物No.2)8.31g、アクリル酸メチル17.22g、1,8−ジアザビシクロ[5,4,0]−7−ウンデセン0.30gを仕込み、窒素/酸素雰囲気下、70℃、8h還流した。冷却後、これに酢酸エチルを約150mL加え、飽和食塩水100mL、イオン交換水100mL、1N塩酸6mLを加え攪拌し有機層を分取した。これを中性になるまで水で洗浄し、トルエン10mL加えて濃縮乾固した。更に110℃で真空乾燥し、褐色ガラス状物質9.47g(収率81%)を得た。該褐色ガラス状物質の各種分析を行い、アクリル酸メチル2molに1−[9−エチル−6−(4−フルオロ−2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−ブタン−1,3−ジオン1molが付加した目的化合物No.11であることが同定された。
[実施例2−2]アクリル酸の1−[9−エチル−6−(4−フルオロ−2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−ブタン−1,3−ジオン付加物(化合物No.12)の製造
撹拌装置、ディーンスターク管、還流冷却管を付した300mLナスフラスコに、上記で合成したアクリル酸メチルの1−[9−エチル−6−(4−フルオロ−2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−ブタン−1,3−ジオン付加物(化合物No.11)5.39g、t−ブタノール50mL、3N塩酸10mLを仕込み、バス温度105℃、12h攪拌した。反応中ディーンスターク管でメタノールを留去し、8hで3N塩酸10mLを追加した。反応後、減圧下バス温度120℃で溶媒と塩酸を留去して乾固した。これにイオン交換水20mL、アセトン20mLを用いて還流し、下層を分取した。この溶液を濃縮乾固し、さらに70℃で真空乾燥し、淡黄色ガラス状物質4.06g(収率79%)を得た。該淡黄色ガラス状物質の各種分析を行い、アクリル酸2molに1−[9−エチル−6−(4−フルオロ−2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−ブタン−1,3−ジオン1molが付加した目的化合物No.12であることが同定された。
[比較例1]
アクリル酸メチルのベンゾイルアセトン付加物(比較化合物No.1)の製造
撹拌装置、窒素/酸素ガス導入管、還流冷却管、温度計を付した100mL四つ口フラスコに、ベンゾイルアセトン4.87g、アクリル酸メチル6.89g、1,8−ジアザビシクロ[5,4,0]−7−ウンデセン0.15gを仕込み、窒素/酸素雰囲気下、60℃、8h還流した。冷却後、これに酢酸エチルを約100mL加え、飽和食塩水100mL、イオン交換水100mL、1N塩酸2mLを加え攪拌し有機層を分取した。これを中性になるまで水で洗浄し、濃縮乾固した。更に60℃で真空乾燥し、褐色液体9.55g(収率95%)を得た。該褐色ガラス状物質の各種分析を行い、アクリル酸メチル2molにベンゾイルアセトン1molが付加した比較化合物No.1を含む異性体混合物であることが同定された。
上記実施例2−1、2−2及び比較例1で得られた化合物No.11、No.12及び比較化合物No.1の同定結果を表3及び表4に示す。
[製造例1]アルカリ現像性化合物の製造
1,1−ビス〔4−(2,3−エポキシプロピルオキシ)フェニル〕−1−(4−ビフェニリル)−1−シクロヘキシルメタン390g、アクリル酸71.1g、2,6−ジ−t−ブチル−p−クレゾール1.34g、テトラブチルアンモニウムクロリド1.75g及び、PGMAc108gを仕込み、90℃で1時間、100℃で1時間、110℃で1時間及び120℃で17時間攪拌した。室温まで冷却し、ビフェニルテトラカルボン酸二無水物59.2g、テトラヒドロ無水フタル酸45.2g、テトラブチルアンモニウムクロリド4.08g及びプロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート137gを加えて、120℃で5時間、90℃で1時間、60℃で2時間及び40℃で3時間攪拌後、PGMAc203gを加えて、PGMAc溶液として目的物であるアルカリ現像性化合物を得た(Mw=3700、Mn=2000,酸価(固形分)91mgKOH/g)。
[実施例3−1]アルカリ現像性感光性樹脂組成物である感光性組成物No.1の調製
製造例1で得られたアルカリ現像性化合物8.9g、トリメチロールプロパントリアクリレート4.0g、実施例2−1で得られた化合物No.11の1.0g、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート13.1g及びシクロヘキサノン10.0gを加えてよく混合して、感光性組成物No.1を得た。
[実施例3−2]アルカリ現像性感光性樹脂組成物である感光性組成物No.2の調製
実施例2−1で得られた化合物No.11に替
えて、実施例2−2で得られた化合物No.12の1.0gを用いた他は実施例1と同様にして、感光性組成物No.2を得た。
[比較例2]アルカリ現像性感光性樹脂組成物である比較感光性組成物No.1の調製
実施例2−1で得られた化合物No.11に替えて、比較例1で得られた比較化合物No.1の1.0gを用いた他は実施例1と同様にして、比較感光性組成物No.1を得た。
[評価例1−1〜1−2及び比較評価例1]
感光性組成物No.1、No.2及び比較感光性組成物No.1について以下の評価を行った。評価結果を〔表1〕に示す。
ガラス基板上に、上記感光性組成物をスピンコート(700r.p.m、5秒間)し、15分間風乾後、90℃のホットプレート上で90秒間プリベークを行った。マスク開口30μmのマスクを用い、高圧水銀ランプで50〜1000mJ/cm2の6水準で露光後、2.5質量%炭酸ナトリウム水溶液に25℃で40秒間浸漬して現像し、良く水洗した。水洗乾燥後、230℃で1時間ベークしてパターンを定着させ、得られたパターンの線幅を測定した。その結果を表5に示す。
感光性組成物No.1とNo.2は感度が高く、50mJ/cm2でもパターン形成できたが、比較感光性組成物No.1は1000mJ/cm2露光してもパターン形成できず、感度が低かった。