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JP5565091B2 - Variable bandpass filter and communication device - Google Patents
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Description

本発明は、可変バンドパスフィルタ及び通信装置に関する。   The present invention relates to a variable bandpass filter and a communication device.

近年、携帯電話をはじめとする移動体通信（モバイル通信）に利用される周波数帯は、ギガヘルト（ＧＨｚ）以上のマイクロ波帯にシフトし、しかも多チャンネル化される傾向がある。このように多チャンネル化されたマイクロ波周波数帯を利用する通信機器には、通過帯域の中心周波数を所望の周波数に設定する可変バンドパスフィルタが欠かせない。   In recent years, the frequency band used for mobile communication including mobile phones (mobile communication) has shifted to a microwave band of gigahertz (GHz) or higher and tends to be multi-channel. A variable band-pass filter that sets the center frequency of the pass band to a desired frequency is indispensable for communication equipment that uses microwave frequency bands that have been multi-channeled in this way.

従来の可変バンドパスフィルタは、通過帯域毎に設けられた複数のバンドパスフィルタと、これら複数のバンドパスフィルタから所望のバンドパスフィルタを選択する選択回路を有している。このように従来の可変バンドパスフィルタは、多くの回路を有するので、小型化には適していない。   The conventional variable bandpass filter has a plurality of bandpass filters provided for each pass band and a selection circuit for selecting a desired bandpass filter from the plurality of bandpass filters. Thus, the conventional variable bandpass filter has many circuits and is not suitable for miniaturization.

このような状況に鑑み、近年、伝送線路共振器(transmission-line resonator)にＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）キャパシタを装荷した、ＭＥＭＳ可変バンドパスフィルタが注目されている。ＭＥＭＳ可変バンドパスフィルタは、ＭＥＭＳキャパシタの容量を変化させることで、通過帯域の中心周波数を変化させるバンドパスフィルタである。   In view of such a situation, attention has recently been paid to a MEMS variable bandpass filter in which a transmission line resonator is loaded with a MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) capacitor. The MEMS variable band-pass filter is a band-pass filter that changes the center frequency of the pass band by changing the capacitance of the MEMS capacitor.

ＭＥＭＳ可変バンドパスフィルタを形成する伝送線路共振器の一辺は、高々数ｍｍである。また、ＭＥＭＳキャパシタの一辺は、高々数百μｍである。従って、ＭＥＭＳ可変バンドパスフィルタは小型化に適している。   One side of the transmission line resonator forming the MEMS variable bandpass filter is several mm at most. Further, one side of the MEMS capacitor is at most several hundred μm. Therefore, the MEMS variable bandpass filter is suitable for miniaturization.

因みに、ＭＥＭＳキャパシタは低損失な高周波素子なので、ＭＥＭＳ可変バンドパスフィルタは低損失化にも適している。   Incidentally, since the MEMS capacitor is a low-loss high-frequency element, the MEMS variable bandpass filter is also suitable for reducing the loss.

A. A. Tamijani et al, “Miniature and Tunable Filters Using MEMS Capacitors ”, IEEE Trans. Microwave Theory Tech., vol. 51, NO.7, p1878-1885, July 2003A. A. Tamijani et al, “Miniature and Tunable Filters Using MEMS Capacitors”, IEEE Trans. Microwave Theory Tech., Vol. 51, NO.7, p1878-1885, July 2003

しかし、従来のＭＥＭＳ可変バンドパスフィルタの通過帯域幅は一定であり、帯域幅を変化させることはできなかった。   However, the pass bandwidth of the conventional MEMS variable band pass filter is constant, and the bandwidth cannot be changed.

そこで、本発明の目的は、小型でしかも、通過帯域の中心周波数と共に通過帯域幅を所望の値に設定できる可変バンドパスフィルタ及びこの可変バンドパスフィルタを有する通信装置を提供することである。   SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a variable bandpass filter that can be set to a desired value together with the center frequency of the passband and a communication device having this variable bandpass filter.

上記の目的を達成するために、本フィルタの第１の観点によれば、接地面に接続された一端から延在する結合伝送線路と、前記結合伝送線路の他端で分岐し第１の開放端まで延在する第１の分岐伝送線路と、前記他端で分岐し第２の開放端まで延在する第２の分岐伝送線路と、前記第１の分岐伝送線路と前記接地面の間に設けられた第１の可変容量を有する第１の可変容量手段と、前記第２の分岐伝送線路と前記接地面の間に設けられた第２の可変容量を有する第２の可変容量手段と、前記結合伝送線路と前記接地面の間に設けられた第３の可変容量を有する第３の可変容量手段とを有し、所定の周波数範囲内の複数の周波数において、通過帯域の幅が所望の幅になるように前記第３の可変容量が変化させられ、前記第１の分岐伝送線路と前記結合伝送線路の電気長の和が１/４波長になるように前記第１の可変容量が変化させられ、前記第２の分岐伝送線路と前記結合伝送線路の電気長の和が１/４波長になるように前記第２の可変容量が変化させられる可変バンドパスフィルタが提供される。   In order to achieve the above object, according to a first aspect of the present filter, a coupled transmission line extending from one end connected to a ground plane and a first open branching off at the other end of the coupled transmission line A first branch transmission line extending to an end; a second branch transmission line branching at the other end and extending to a second open end; and between the first branch transmission line and the ground plane. A first variable capacitance means having a first variable capacitance provided; a second variable capacitance means having a second variable capacitance provided between the second branch transmission line and the ground plane; And a third variable capacitance means having a third variable capacitance provided between the coupled transmission line and the ground plane, and the passband width is desired at a plurality of frequencies within a predetermined frequency range. The third variable capacitor is changed so as to have a width, and the first branch transmission line and the front The first variable capacitance is changed so that the sum of the electrical lengths of the coupled transmission lines is ¼ wavelength, and the sum of the electrical lengths of the second branch transmission line and the coupled transmission line is ¼ wavelength. There is provided a variable band-pass filter in which the second variable capacitance is changed so that

本フィルタによれば、小型でしかも、通過帯域の中心周波数とともに通過帯域幅も所望の値に設定できる可変バンドパスフィルタを提供することである。   According to this filter, there is provided a variable bandpass filter that is small in size and that can set the passband width to a desired value together with the center frequency of the passband.

実施の形態１の可変バンドパスフィルタのパッケージ内平面図である。FIG. 3 is a plan view of the variable bandpass filter according to the first embodiment in a package. 図１のII-II線に沿った断面図である。It is sectional drawing along the II-II line of FIG. 第４乃至第６の可変容量手段の構成を説明する回路図である。It is a circuit diagram explaining the structure of the 4th thru | or 6th variable capacity | capacitance means. 実施の形態１の可変バンドパスフィルタの中心周波数の可変特性を説明する図である。6 is a diagram for explaining variable characteristics of the center frequency of the variable bandpass filter according to Embodiment 1. FIG. 実施の形態１の可変バンドパスフィルタの通過帯域幅の可変特性を説明する図である。6 is a diagram for explaining a variable characteristic of a pass band width of the variable bandpass filter according to Embodiment 1. FIG. 通過帯域幅（−３ｄＢ帯域幅）と結合係数の関係を説明する図である。It is a figure explaining the relationship between a pass band width (-3 dB bandwidth) and a coupling coefficient. 実施の形態１の可変バンドパスフィルタの製造方法を説明する工程断面図である（その１）。FIG. 6 is a process cross-sectional view illustrating the manufacturing method of the variable bandpass filter according to the first embodiment (No. 1). 実施の形態１の可変バンドパスフィルタの製造方法を説明する工程断面図である（その２）。FIG. 8 is a process cross-sectional view illustrating the manufacturing method of the variable bandpass filter according to the first embodiment (No. 2). 実施の形態１の可変バンドパスフィルタの製造方法を説明する工程断面図である（その３）。FIG. 9 is a process cross-sectional view illustrating the manufacturing method of the variable bandpass filter according to the first embodiment (No. 3). 実施の形態２の可変バンドパスフィルタのパッケージ内平面図である。6 is a plan view of a variable bandpass filter according to a second embodiment in a package. FIG. 図１０のXI-XI線に沿った断面図である。It is sectional drawing along the XI-XI line of FIG. 実施の形態３の可変バンドパスフィルタのパッケージ内平面図である。FIG. 6 is a plan view of a variable bandpass filter according to a third embodiment in a package. 図１２のXIII-XIII線に沿った断面図である。It is sectional drawing along the XIII-XIII line of FIG. 実施の形態４の可変バンドパスフィルタのパッケージ内平面図である。FIG. 11 is a plan view of a variable bandpass filter according to a fourth embodiment in a package. 実施の形態５の可変バンドパスフィルタのパッケージ内平面図である。FIG. 10 is a plan view of a variable bandpass filter according to a fifth embodiment in a package. 実施の形態６の可変バンドパスフィルタのパッケージ内平面図である。FIG. 10 is a plan view of a variable bandpass filter according to a sixth embodiment in a package. 図１６のXVII-XVII線に沿った断面図である。It is sectional drawing along the XVII-XVII line of FIG. 実施の形態７の可変バンドパスフィルタのパッケージ内平面図である。FIG. 10 is a plan view of a variable bandpass filter according to a seventh embodiment in a package. 実施の形態８の可変バンドパスフィルタのパッケージ内平面図である。FIG. 20 is a plan view of a variable bandpass filter according to an eighth embodiment in a package. 実施の形態９の通信装置の構成図である。FIG. 10 is a configuration diagram of a communication device according to Embodiment 9.

以下、図面にしたがって本発明の実施の形態について説明する。但し、本発明の技術的範囲はこれらの実施の形態に限定されず、特許請求の範囲に記載された事項とその均等物まで及ぶものである。尚、図面が異なっても対応する部分には同一符号を付し、その説明を省略する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. However, the technical scope of the present invention is not limited to these embodiments, but extends to the matters described in the claims and equivalents thereof. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the corresponding part even if drawings differ, and the description is abbreviate | omitted.

（実施の形態１）
（１）構 成
図１は、本実施の形態の可変バンドパスフィルタ２のパッケージ内平面図である。図２は、図１のII-II線に沿った断面図である。 (Embodiment 1)
(1) Configuration FIG. 1 is a plan view in a package of a variable bandpass filter 2 of the present embodiment. FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line II-II in FIG.

―誘電体基板―
本可変バンドパスフィルタ２は、図２に示すように、表面がパッケージング部材４４により覆われ、内部に接地面４が設けられた誘電体基板６を有している。ここで、接地面４は、層間配線（図示せず）を介して、誘電体基板６の裏面に設けられた接地端子（図示せず；電極パッド）に接続されている。 ―Dielectric substrate―
As shown in FIG. 2, the variable bandpass filter 2 has a dielectric substrate 6 having a surface covered with a packaging member 44 and a ground plane 4 provided therein. Here, the ground plane 4 is connected to a ground terminal (not shown; electrode pad) provided on the back surface of the dielectric substrate 6 via an interlayer wiring (not shown).

誘電体基板６は、例えばグリーンシートを積層して焼成したLTCC（Low Temperature Co-fired Ceramics）基板である。誘電体基板６の比誘電率は、例えば１０〜１００である。また、誘電体基板６の一辺は、例えば５ｍｍである。   The dielectric substrate 6 is, for example, an LTCC (Low Temperature Co-fired Ceramics) substrate obtained by stacking and firing green sheets. The relative dielectric constant of the dielectric substrate 6 is, for example, 10 to 100. Further, one side of the dielectric substrate 6 is 5 mm, for example.

―伝送線路―
本可変バンドパスフィルタ２は、図１に示すように、接地面４に接続された一端８から延在する結合伝送線路１０を有している。ここで、上記一端８（以下、接地端と呼ぶ）は、接地電極１２と層間配線（図示せず）を介して、接地面４に接続されている。 ―Transmission line―
As shown in FIG. 1, the variable bandpass filter 2 has a coupled transmission line 10 extending from one end 8 connected to the ground plane 4. Here, the one end 8 (hereinafter referred to as a ground end) is connected to the ground plane 4 via a ground electrode 12 and an interlayer wiring (not shown).

また、本可変バンドパスフィルタ２は、結合伝送線路１０の他端１４で分岐し第１の開放端１６まで延在する第１の分岐伝送線路１８と、上記他端１４で分岐し第２の開放端２０まで延在する第２の分岐伝送線路２２を有している。   The variable bandpass filter 2 includes a first branch transmission line 18 that branches at the other end 14 of the coupled transmission line 10 and extends to the first open end 16, and a second branch that branches at the other end 14. A second branch transmission line 22 extending to the open end 20 is included.

図１に示した例では、第１の分岐伝送線路１８と第２の分岐伝送線路２２の境界には、切り欠き部２３が設けられている。この切り欠き部２３により、第１の分岐伝送線路１８を伝搬する高周波信号（例えば、マイクロ波）は、第２の分岐伝送線路２２への侵入を妨げられ、結合伝送線路１０に進行する。同様に、切り欠き部２３により、第２の分岐伝送線路２２を伝搬する高周波信号は、第１の分岐伝送線路１８への侵入を妨げられ、結合伝送線路１０に進行する。尚、このような切り欠き部２３を設けずに、第１の分岐伝送線路１８及び第２の分岐伝送線路２２を、Ｙ字形に分岐させてもよい。   In the example shown in FIG. 1, a notch 23 is provided at the boundary between the first branch transmission line 18 and the second branch transmission line 22. Due to the notch 23, a high-frequency signal (for example, microwave) propagating through the first branch transmission line 18 is prevented from entering the second branch transmission line 22 and proceeds to the coupled transmission line 10. Similarly, the high-frequency signal propagating through the second branch transmission line 22 is prevented from entering the first branch transmission line 18 by the notch 23 and proceeds to the coupled transmission line 10. Note that the first branch transmission line 18 and the second branch transmission line 22 may be branched into a Y shape without providing such a notch 23.

また、本可変バンドパスフィルタ２は、図２に示すように、結合伝送線路１０と接地面４の間に設けられた第３の可変容量Ｃｇを有する第３の可変容量手段２８を有している。同様に、本可変バンドパスフィルタ２は、第１の分岐伝送線路１８と接地面４の間に設けられた第１の可変容量を有する複数の第１の可変容量手段２４を有している。また、本可変バンドパスフィルタ２は、第２の分岐伝送線路２２と接地面４の間に設けられた第２の可変容量を有する複数の第２の可変容量手段２６とを有している。尚、図１に示した例では、第１の可変容量手段２４及び第２の可変容量手段２６は、伝送線路１８,２２に沿って複数設けられる。しかし、第１の可変容量手段２４及び第２の可変容量手段２６は、単数であってもよい。一方、第３の可変容量手段２８は、複数であってもよい。   Further, as shown in FIG. 2, the variable bandpass filter 2 includes third variable capacitance means 28 having a third variable capacitance Cg provided between the coupled transmission line 10 and the ground plane 4. Yes. Similarly, the variable bandpass filter 2 has a plurality of first variable capacitance means 24 having a first variable capacitance provided between the first branch transmission line 18 and the ground plane 4. The variable bandpass filter 2 includes a plurality of second variable capacitance means 26 having a second variable capacitance provided between the second branch transmission line 22 and the ground plane 4. In the example shown in FIG. 1, a plurality of first variable capacitance means 24 and second variable capacitance means 26 are provided along the transmission lines 18 and 22. However, the first variable capacitance means 24 and the second variable capacitance means 26 may be singular. On the other hand, the third variable capacitance means 28 may be plural.

―ＭＥＭＳキャパシタ―
本実施の形態の第１乃至第３の可変容量手段２４,２６,２８は、ＭＥＭＳキャパシタである。すなわち、第１乃至第３の可変容量手段２４,２６,２８は、図２に示すように、それぞれの伝送線路（第１の分岐伝送線路１８、第２の分岐伝送線路２２、結合伝送線路１０）との間に間隔３０が設けられ且つ接地面４に接続された可撓性の可動電極３２と、この可動電極３２に対向する駆動電極３４とを有している。尚、可動電極３２は、その中央部に厚膜部８０を有している。 ―MEMS capacitor―
The first to third variable capacitance means 24, 26, and 28 of the present embodiment are MEMS capacitors. That is, as shown in FIG. 2, the first to third variable capacitance means 24, 26, 28 are connected to the respective transmission lines (first branch transmission line 18, second branch transmission line 22, combined transmission line 10. ) And a movable movable electrode 32 connected to the ground plane 4 and a drive electrode 34 facing the movable electrode 32. The movable electrode 32 has a thick film portion 80 at the center thereof.

可動電極３２は、図２に示すように、一対の導電性のアンカー部３６に両端が固定されている。可動電極３２は、この導電性のアンカー部３６と層間配線３８ａを介して、接地面４に接続されている。一方、駆動電極３４は、誘電体基板６を貫通する層間配線３８ｂを介して、誘電体基板６の裏面に設けられた駆動端子（電極パッド）４０に接続されている。この駆動端子４０と接地端子（図示せず）の間に電圧（直流または交流）を加えると、駆動電極３４と可動電極３２の間に静電引力が発生し、可撓性の可動電極３２が撓む。その結果、各伝送線路（例えば、結合伝送線路１０）と可動電極３２の間隔が狭まり、各伝送線路（例えば、結合伝送線路１０）と接地面４との間の可変容量Ｃｇが変化する。すなわち、可動電極３２と、駆動電極３４の間に電圧が印加されて、これら電極の間隔が変化する。その結果、各伝送線路（例えば、結合伝送線路１０）と接地面４の間の容量値が変化する。   As shown in FIG. 2, both ends of the movable electrode 32 are fixed to a pair of conductive anchor portions 36. The movable electrode 32 is connected to the ground plane 4 via the conductive anchor portion 36 and the interlayer wiring 38a. On the other hand, the drive electrode 34 is connected to a drive terminal (electrode pad) 40 provided on the back surface of the dielectric substrate 6 via an interlayer wiring 38 b penetrating the dielectric substrate 6. When a voltage (direct current or alternating current) is applied between the drive terminal 40 and a ground terminal (not shown), an electrostatic attractive force is generated between the drive electrode 34 and the movable electrode 32, and the flexible movable electrode 32 is Bend. As a result, the distance between each transmission line (for example, the coupled transmission line 10) and the movable electrode 32 is narrowed, and the variable capacitance Cg between each transmission line (for example, the coupled transmission line 10) and the ground plane 4 changes. That is, a voltage is applied between the movable electrode 32 and the drive electrode 34, and the interval between these electrodes changes. As a result, the capacitance value between each transmission line (for example, the coupled transmission line 10) and the ground plane 4 changes.

ところで、図２に示すように、各伝送線路（例えば、結合伝送線路１０）及び駆動電極３４の表面には、誘電体膜４２ａ,４２ｂが設けられている。これらの誘電体膜４２ａ,４２ｂは、可動電極３２が、各伝送線路（例えば、結合伝送線路１０）または駆動電極３４に接触することを防止する。また、各伝送線路上の誘電体膜４２ａは、その高い誘電率により、各伝送線路と可動電極３２の間の可変容量を増大させる。尚、これらの誘電体膜４２ａ,４２ｂは、省略してもよい。   Incidentally, as shown in FIG. 2, dielectric films 42 a and 42 b are provided on the surfaces of each transmission line (for example, the coupled transmission line 10) and the drive electrode 34. These dielectric films 42 a and 42 b prevent the movable electrode 32 from coming into contact with each transmission line (for example, the coupled transmission line 10) or the drive electrode 34. Moreover, the dielectric film 42a on each transmission line increases the variable capacitance between each transmission line and the movable electrode 32 due to its high dielectric constant. These dielectric films 42a and 42b may be omitted.

―整合回路等―
また、本可変バンドパスフィルタ２は、図１に示すように、第１の分岐伝送線路１８を信号入力端子４６に接続する第４の可変容量手段４８と、第２の分岐伝送線路２２を信号出力端子５０に接続する第５の可変容量手段５２を有している。また、本可変バンドパスフィルタ２は、一端が信号入力端子４６に接続され、他端が信号出力端子５０に接続された第６の可変容量手段５４を有している。 ―Matching circuit etc.―
Further, as shown in FIG. 1, the variable bandpass filter 2 includes a fourth variable capacitance means 48 for connecting the first branch transmission line 18 to the signal input terminal 46 and a second branch transmission line 22 as a signal. A fifth variable capacitance means 52 connected to the output terminal 50 is included. The variable band pass filter 2 includes sixth variable capacitance means 54 having one end connected to the signal input terminal 46 and the other end connected to the signal output terminal 50.

ここで、第４の可変容量手段４８及び第５の可変容量手段５２は、インピーダンス整合用の可変容量素子である。一方、第６の可変容量手段５４は、通過帯域（−３ｄＢ通過帯域）の両側の減衰特性を急峻にする飛越結合容量である。従って、第４乃至第６の可変容量手段４８,５２,５４は、省略してもよい場合がある。例えば、整合回路を外部回路に設ける場合には、第４の可変容量手段４８及び第５の可変容量手段５２を省略することができる。また、急峻な減衰特性を必要としない回路に、可変バンドパスフィルタ２を用いる場合には、第５の可変容量手段５４を省略することができる。   Here, the fourth variable capacitance unit 48 and the fifth variable capacitance unit 52 are variable capacitance elements for impedance matching. On the other hand, the sixth variable capacitor means 54 is an interlaced coupling capacitor that sharpens the attenuation characteristics on both sides of the pass band (−3 dB pass band). Therefore, the fourth to sixth variable capacitance means 48, 52, 54 may be omitted. For example, when the matching circuit is provided in the external circuit, the fourth variable capacitance means 48 and the fifth variable capacitance means 52 can be omitted. Further, when the variable bandpass filter 2 is used in a circuit that does not require a steep attenuation characteristic, the fifth variable capacitance means 54 can be omitted.

ところで、図１では、信号入力端子４６及び信号出力端子５０は、誘電体基板６の表面に描かれている。しかし、信号入力端子４６及び信号出力端子５０は、誘電体基板６の裏面に設けられた外部電極であってもよい。   By the way, in FIG. 1, the signal input terminal 46 and the signal output terminal 50 are drawn on the surface of the dielectric substrate 6. However, the signal input terminal 46 and the signal output terminal 50 may be external electrodes provided on the back surface of the dielectric substrate 6.

図３は、第４乃至第６の可変容量手段４８,５２,５４の構造を説明する図である。可変容量手段４８,５２,５４は、バラクタダイオード５６（pinダイオード）と、このバラクタダイオード５６の一端に接続された第１のキャパシタ５８と、バラクタダイオード５６の他端に接続された第２のキャパシタ６０を有している。また、可変容量手段４８,５２,５４は、第１のキャパシタ５８とバラクタダイオード５６の間に接続された第１のインダクタ６２と、第２のキャパシタ６０とバラクタダイオード５６の間に接続された第２のインダクタ６４を有している。   FIG. 3 is a diagram for explaining the structure of the fourth to sixth variable capacitance means 48, 52, 54. The variable capacitance means 48, 52, 54 include a varactor diode 56 (pin diode), a first capacitor 58 connected to one end of the varactor diode 56, and a second capacitor connected to the other end of the varactor diode 56. 60. Further, the variable capacitance means 48, 52, 54 include a first inductor 62 connected between the first capacitor 58 and the varactor diode 56, and a second capacitor 60 connected between the second capacitor 60 and the varactor diode 56. Two inductors 64 are provided.

ここで、第１のキャパシタ５８及び第２のキャパシタ６０は、それぞれ信号入力端子４６及び信号出力端子５０に接続される。一方、第１のインダクタ６２及び第２のインダクタ６４は、誘電体基板６を貫通する層間配線を介して、それぞれ誘電体基板６の裏面に設けられた外部電極（以下、バラクタ制御端子と呼ぶ）に接続されている。このバラクタ制御端子を介してバラクタダイオード５６に逆バイアス電圧が印加され、バラクタダイオード５６の容量が変化する。第１のキャパシタ５８及び第２のキャパシタ６０は、この逆バイアス電圧を遮断する。一方、第１のインダクタ６２及び第２のインダクタ６４は、高周波信号が外部回路へ流出することを防止する。   Here, the first capacitor 58 and the second capacitor 60 are connected to the signal input terminal 46 and the signal output terminal 50, respectively. On the other hand, the first inductor 62 and the second inductor 64 are external electrodes (hereinafter referred to as varactor control terminals) provided on the back surface of the dielectric substrate 6 through interlayer wirings penetrating the dielectric substrate 6, respectively. It is connected to the. A reverse bias voltage is applied to the varactor diode 56 via the varactor control terminal, and the capacitance of the varactor diode 56 changes. The first capacitor 58 and the second capacitor 60 block this reverse bias voltage. On the other hand, the first inductor 62 and the second inductor 64 prevent the high-frequency signal from flowing out to the external circuit.

このように、本実施の形態では、第４乃至第６の可変容量手段４８,５２,５４は、バラクタダイオード５６とそのバイアス回路を有する電気回路である。しかし、第４乃至第６の可変容量手段４８,５２,５４は、ＭＥＭＳキャパシタ等の他の可変容量素子であってもよい。   Thus, in the present embodiment, the fourth to sixth variable capacitance means 48, 52, 54 are electric circuits having the varactor diode 56 and its bias circuit. However, the fourth to sixth variable capacitance means 48, 52, 54 may be other variable capacitance elements such as a MEMS capacitor.

上述したように、本可変バンドパスフィルタ２の主要部材は伝送線路であり、その寸法は高々数ｍｍである。従って、本可変バンドパスフィルタ２は、小型化に適している。   As described above, the main member of the variable bandpass filter 2 is a transmission line, and its size is several millimeters at most. Therefore, the variable bandpass filter 2 is suitable for downsizing.

（２）特 性
図４は、本可変バンドパスフィルタ２の中心周波数の可変特性を説明する図である。図５は、本可変バンドパスフィルタ２の通過帯域BPの幅の可変特性を説明する図である。横軸は、入力信号（高周波信号）の周波数である。縦軸は、通過損失（信号入力端子４６に入射する高周波信号のパワーと、信号出力端子５０から出射する高周波信号のパワーの比）である。尚、図４及び５は、回路シミュレーションにより得た特性である。 (2) Characteristics FIG. 4 is a diagram illustrating the variable characteristics of the center frequency of the variable bandpass filter 2. FIG. 5 is a diagram for explaining the variable characteristics of the width of the passband BP of the variable bandpass filter 2. The horizontal axis represents the frequency of the input signal (high frequency signal). The vertical axis represents the passage loss (the ratio of the power of the high frequency signal incident on the signal input terminal 46 to the power of the high frequency signal output from the signal output terminal 50). 4 and 5 are characteristics obtained by circuit simulation.

各伝送線路１０,１８,２２の電気長は、その可変容量手段２４,２６,２８が各伝送線路１０,１８,２２に付加する可変容量Ｃｇと各伝送線路１０,１８,２２の回路定数（単位長当たりの容量等）とによって決まる。本可変バンドパスフィルタ２の可変容量手段は、上述したようにＭＥＭＳキャパシタである。ここで、ＭＥＭＳキャパシタに印加される電圧は、例えば１０〜１００Ｖである。これにより、各伝送線路１０,１８,２２の電気長を、２〜３倍（最大で、５倍程度）長くなる。尚、電気長とは、伝送線路における高周波信号の波長λを基準とした当該伝送線路の長さである。   The electrical length of each transmission line 10, 18, 22 is the variable capacitance Cg added to each transmission line 10, 18, 22 by the variable capacitance means 24, 26, 28 and the circuit constant of each transmission line 10, 18, 22 ( The capacity per unit length). As described above, the variable capacitance means of the variable bandpass filter 2 is a MEMS capacitor. Here, the voltage applied to the MEMS capacitor is, for example, 10 to 100V. As a result, the electrical length of each transmission line 10, 18, 22 is increased by 2 to 3 times (up to about 5 times). The electrical length is the length of the transmission line based on the wavelength λ of the high-frequency signal in the transmission line.

ところで、第１の分岐伝送線路１８と第２の分岐伝送線路２２の回路定数は、略同じである。また、第１の分岐伝送線路１８と第２の分岐伝送線路２２に可変容量手段２４,２６が付加する可変容量Ｃｇも、略同じである。従って、第１の分岐伝送線路１８と第２の分岐伝送線路２２の電気長は、略同じになる。   By the way, the circuit constants of the first branch transmission line 18 and the second branch transmission line 22 are substantially the same. The variable capacitance Cg added by the variable capacitance means 24 and 26 to the first branch transmission line 18 and the second branch transmission line 22 is also substantially the same. Therefore, the electrical lengths of the first branch transmission line 18 and the second branch transmission line 22 are substantially the same.

以上のような構造に基づき、高周波信号は、本可変バンドパスフィルタ内を以下のように伝搬する。   Based on the structure as described above, the high-frequency signal propagates in the variable bandpass filter as follows.

高周波信号は、まず信号入力端子４６に入射し、インピーダンス整合用の可変容量手段４８を通過した後、第１の分岐伝送線路１８に入射する。次に、高周波信号は、第１の分岐伝送線路１８を結合伝送線路１０に向かって伝搬する。次に、高周波信号は、結合伝送線路１０に入射し、結合伝送線路１０をその接地端８に向かって伝搬する。接地端８に到達した高周波信号は反射され、結合伝送線路１０を逆行して、第１の分岐伝送線路１８に再入射する。次に、高周波信号は、第１の分岐伝送線路１８を第１の開放端１６に向かって伝搬し、第１の開放端１６で反射される。第１の開放端１６で反射された高周波信号は、再び第１の分岐伝送線路１８を結合伝送線路１０に向かって伝搬する。以後、高周波信号は、第１の開放端１６と接地端８の間を往復する。   The high frequency signal first enters the signal input terminal 46, passes through the impedance matching variable capacitance means 48, and then enters the first branch transmission line 18. Next, the high frequency signal propagates through the first branch transmission line 18 toward the coupled transmission line 10. Next, the high frequency signal is incident on the coupled transmission line 10 and propagates through the coupled transmission line 10 toward the ground terminal 8. The high-frequency signal that reaches the ground terminal 8 is reflected, travels backward through the coupled transmission line 10, and reenters the first branch transmission line 18. Next, the high-frequency signal propagates through the first branch transmission line 18 toward the first open end 16 and is reflected by the first open end 16. The high-frequency signal reflected by the first open end 16 propagates again through the first branch transmission line 18 toward the coupled transmission line 10. Thereafter, the high-frequency signal reciprocates between the first open end 16 and the ground end 8.

このような往復運動を繰返しながら、高周波信号の一部は第２の分岐導波路２２に入射し、残りの高周波信号は信号入力端子４６から外部に出射される（すなわち、反射される。）。   While repeating such a reciprocating motion, a part of the high-frequency signal enters the second branch waveguide 22, and the remaining high-frequency signal is emitted to the outside from the signal input terminal 46 (that is, reflected).

―中心周波数の可変特性―
本実施の形態では、所定の範囲内（以下、周波数可変範囲と呼ぶ）の所望の周波数で、第１の分岐伝送線路１８と結合伝送線路１０の電気長の和が１/４波長になるように、それぞれの伝送線路の可変容量Ｃｇが設定される。従って、第１の分岐伝送線路１８と結合伝送線路１０は、所謂１/４λ共振器を形成する。故に、上記所望の周波数（以下、共振周波数と呼ぶ）では、高周波信号は殆ど反射されず、略全て後段の第２の分岐伝送線路２２に供給される。 -Variable characteristics of center frequency-
In the present embodiment, the sum of the electrical lengths of the first branch transmission line 18 and the coupled transmission line 10 becomes a quarter wavelength at a desired frequency within a predetermined range (hereinafter referred to as a frequency variable range). In addition, the variable capacitance Cg of each transmission line is set. Therefore, the first branch transmission line 18 and the coupled transmission line 10 form a so-called 1 / 4λ resonator. Therefore, at the desired frequency (hereinafter referred to as the resonance frequency), the high frequency signal is hardly reflected and is almost entirely supplied to the second branch transmission line 22 in the subsequent stage.

第２の分岐伝送線路２２の電気長は、上述したように、第１の分岐伝送線路１８の電気長に略等しい。従って、第２の分岐伝送線路２２と結合伝送線路１０も、上記共振周波数において１/４λ共振器を形成する。従って、第２の分岐伝送線路２２に入射した高周波信号も、最終的には、略全て整合用の可変容量手段５２に供給される。その後、高周波信号は、信号出力端子５０を介して外部回路に出力される。   The electrical length of the second branch transmission line 22 is substantially equal to the electrical length of the first branch transmission line 18 as described above. Accordingly, the second branch transmission line 22 and the coupled transmission line 10 also form a 1 / 4λ resonator at the resonance frequency. Accordingly, the high-frequency signal incident on the second branch transmission line 22 is finally supplied to the variable capacitor means 52 for matching substantially all. Thereafter, the high frequency signal is output to an external circuit via the signal output terminal 50.

このように共振周波数では、信号入力端子４６に入射した高周波信号は、略全て信号出力端子５０から出力される。しかし、周波数が共振周波数から離れるに従い、高周波信号は、上記１/４λ共振器により反射されやすくなる。その結果、高周波信号は信号出力端子５０に届きにくくなり、図５に示すようなバンドパス特性６６が得られる。   As described above, at the resonance frequency, almost all of the high frequency signal incident on the signal input terminal 46 is output from the signal output terminal 50. However, as the frequency goes away from the resonance frequency, the high-frequency signal is more likely to be reflected by the 1 / 4λ resonator. As a result, the high frequency signal does not easily reach the signal output terminal 50, and a band pass characteristic 66 as shown in FIG. 5 is obtained.

上述したように、各伝送線路１０,１８,２２の電気長は、その可変容量Ｃｇと回路定数によって決まる。従って、各伝送線路１０,１８,２２の可変容量を異なった値に設定することにより、図４に示すように、中心周波数fcの異なる複数のバンドパス特性６８が得られる。 As described above, the electrical length of each transmission line 10, 18, 22 is determined by its variable capacitance Cg and circuit constant. Therefore, by setting different values a variable capacitance of the transmission lines 10,18,22, as shown in FIG. 4, a plurality of band-pass characteristic 68 having different center frequencies f c are obtained.

―通過帯域幅の可変特性―
図５は、中心周波数が２.７ＧＨｚの場合のバンドパス特性６９である。図５中のパラメータｋ（以下、結合係数と呼ぶ）は、結合伝送線路１０の電気長ｘと上記１/４λ共振器の電気長（１/４λ）の比（＝ｘ／（１/４λ））である。 -Variable characteristics of passband-
FIG. 5 shows a bandpass characteristic 69 when the center frequency is 2.7 GHz. A parameter k (hereinafter referred to as a coupling coefficient) in FIG. 5 is a ratio of the electrical length x of the coupled transmission line 10 and the electrical length (1 / 4λ) of the 1 / 4λ resonator (= x / (1 / 4λ)). ).

図５に示すように、バンドパス特性６９の通過帯域幅（−３ｄＢ帯域幅）は、結合係数ｋが大きくなるに従って広くなる。図６は、この通過帯域幅と結合係数ｋの関係を示した図である。図６に示すように、通過帯域幅は、結合係数ｋに対して略直線的に増加する。従って、結合伝送線路１０の電気長と第１及び第２の分岐伝送線路１８,２２の電気長を調整することにより、可変バンドパスフィルタ２の通過帯域幅を制御することができる。   As shown in FIG. 5, the pass bandwidth (−3 dB bandwidth) of the bandpass characteristic 69 increases as the coupling coefficient k increases. FIG. 6 is a diagram showing the relationship between the passband width and the coupling coefficient k. As shown in FIG. 6, the passband width increases substantially linearly with respect to the coupling coefficient k. Therefore, the pass band width of the variable bandpass filter 2 can be controlled by adjusting the electrical length of the coupled transmission line 10 and the electrical lengths of the first and second branch transmission lines 18 and 22.

因みに、縦列接続されたバンドパスフィルタの帯域幅は、初段のバンドパスフィルタに蓄えられた高周波信号のエネルギーEと後段のバンドパスフィルタに伝達される高周波信号の電力Pの伝達比（=P/E）を増加させることにより、広げることができる。本可変バンドパスフィルタ２は、一対の１/４λ共振器が縦列接続されたバンドパスフィルタと考えることができる。従って、本バンドパスフィルタ２では、結合係数ｋとともに高周波信号の伝達比が増加し、その結果図６に示すように、通過帯域幅が広がると考えられる。   Incidentally, the bandwidth of the band-pass filters connected in cascade is the transmission ratio of the energy E of the high-frequency signal stored in the first-stage band-pass filter and the power P of the high-frequency signal transmitted to the subsequent-stage band-pass filter (= P / It can be expanded by increasing E). The variable bandpass filter 2 can be considered as a bandpass filter in which a pair of 1 / 4λ resonators are connected in cascade. Therefore, in the present band pass filter 2, it is considered that the transmission ratio of the high frequency signal increases with the coupling coefficient k, and as a result, the pass bandwidth is widened as shown in FIG.

すなわち、従来のバンドパスフィルタは、多数（多段）の小規模なバンドパスフィルタを結合回路により縦列接続することで、通過帯域の両側で急峻な減衰特性を実現している。従って、従来のバンドパスフィルタは多数の共振器とその結合回路を有するので、小型化には適していない。しかし、本バンドパスフィルタ２は、１/４λ共振器の一部を結合回路として用いることで、直接、１/４λ共振器を縦列接続している。従って、本バンドパスフィルタ２は、小型化に適している。   That is, the conventional band-pass filter realizes a steep attenuation characteristic on both sides of the pass band by cascading a large number (multi-stage) of small band-pass filters by a coupling circuit. Therefore, the conventional band pass filter has a large number of resonators and their coupling circuits, and is not suitable for miniaturization. However, this bandpass filter 2 directly connects the 1 / 4λ resonators in cascade by using a part of the 1 / 4λ resonator as a coupling circuit. Therefore, this band pass filter 2 is suitable for miniaturization.

（３）動 作
次に、本可変バンドパスフィルタ２の動作を説明する。まず、図４に示すように、所定の周波数可変範囲TWR（例えば、２.０〜４.５ＧＨｚ）内の所望の周波数（好ましくは、複数の周波数のそれぞれ）において、通過帯域の幅（通過帯域幅）が所望の幅になるように、第３の可変容量手段２８の可変容量Ｃｇが変化させられる。 (3) Operation Next, the operation of the variable bandpass filter 2 will be described. First, as shown in FIG. 4, at a desired frequency (preferably each of a plurality of frequencies) within a predetermined frequency variable range TWR (for example, 2.0 to 4.5 GHz), the width of the passband (passband) The variable capacitance Cg of the third variable capacitance means 28 is changed so that the (width) becomes a desired width.

次に、上記所望の周波数において、第１の分岐伝送線路１８と結合伝送線路１０の電気長の和が１/４波長になるように、第１の可変容量手段２４の可変容量Ｃｇが変化させられる。   Next, the variable capacitance Cg of the first variable capacitance means 24 is changed so that the sum of the electrical lengths of the first branch transmission line 18 and the coupled transmission line 10 becomes ¼ wavelength at the desired frequency. It is done.

同様に、上記所望の周波数において、第２の分岐伝送線路２２と結合伝送線路１０の電気長の和が１/４波長になるように、第２の可変容量手段２６の可変容量Ｃｇが変化させられる。   Similarly, at the desired frequency, the variable capacitance Cg of the second variable capacitance means 26 is changed so that the sum of the electrical lengths of the second branch transmission line 22 and the coupled transmission line 10 becomes 1/4 wavelength. It is done.

これにより、本可変バンドパスフィルタ２によれば、通過帯域の中心周波数及び通過帯域幅を所望の値に設定することができる。   Thereby, according to this variable band pass filter 2, the center frequency and pass band width of a pass band can be set to a desired value.

更に、本可変バンドパスフィルタ２では、上記中心周波数において、信号入力端子４６に接続される外部回路に可変バンドパスフィルタ２がインピーダンス整合するように、第４の可変容量手段４８の容量値が変化させられる。同様に、上記中心周波数において、信号出力端子５０に接続される外部回路に可変バンドパスフィルタ２がインピーダンス整合するように、第５の可変容量手段５２の容量値が変化させられる。従って、本可変バンドパスフィルタ２と外部回路をインピーダンス整合させることができる。   Further, in the present variable bandpass filter 2, the capacitance value of the fourth variable capacitance means 48 changes so that the variable bandpass filter 2 is impedance-matched to the external circuit connected to the signal input terminal 46 at the center frequency. Be made. Similarly, at the center frequency, the capacitance value of the fifth variable capacitance means 52 is changed so that the variable bandpass filter 2 is impedance-matched to the external circuit connected to the signal output terminal 50. Accordingly, the variable bandpass filter 2 and the external circuit can be impedance matched.

また、本可変バンドパスフィルタ２では、通過帯域BPの両側に減衰極（トラップ）７０が形成されるように、第６の可変容量５４が変化させられる（図５参照）。従って、通過帯域BPの両側における通過損失の減少を急峻にすることができる。   Further, in the present variable bandpass filter 2, the sixth variable capacitor 54 is changed so that attenuation poles (traps) 70 are formed on both sides of the passband BP (see FIG. 5). Therefore, it is possible to sharpen the reduction of the pass loss on both sides of the pass band BP.

以上のように各可変容量が設定された後、第４の可変容量手段４８を介して第１の分岐伝送線路１８に信号（入力信号）を供給すると、第２の分岐伝送線路２２からフィルタリングされた上記信号（出力信号）が出射する。この時、第１の分岐伝送線路１８に供給された信号は、第１の分岐伝送線路１８、結合伝送線路１０、及び第２の分岐伝送線路２２を経由し、その間に、通過帯域BPの内の周波数成分が選択される。   After each variable capacitor is set as described above, when a signal (input signal) is supplied to the first branch transmission line 18 via the fourth variable capacitor means 48, the signal is filtered from the second branch transmission line 22. The above signal (output signal) is emitted. At this time, the signal supplied to the first branch transmission line 18 passes through the first branch transmission line 18, the coupled transmission line 10, and the second branch transmission line 22. Are selected.

以上のように、本実施の形態によれば、小型でしかも、通過帯域の中心周波数fc及び通過帯域幅を所望の値に設定できる可変バンドパスフィルタ２を提供することができる。 As described above, according to this embodiment, a small, yet, it is possible to provide a variable band-pass filter 2 the center frequency f c and a pass bandwidth of the pass band can be set to a desired value.

（４）製造方法
図７乃至図９は、本実施の形態の可変バンドパスフィルタ２の製造方法を説明する工程断面図である。 (4) Manufacturing Method FIGS. 7 to 9 are process cross-sectional views illustrating a method for manufacturing the variable bandpass filter 2 of the present embodiment.

―誘電体ウエハの形成工程―
まず、グリーンシート（セラミックシート）に、各層間配線に対応するビアホールを形成する。次に、導電ペーストにより、このビアホールを埋め込む共に、グリーンシートの表面に、接地面４等に対応する配線パターンを印刷する。以上の工程により形成したグリーンシートを積層し、加熱下で厚み方向にプレスする。 -Dielectric wafer formation process-
First, via holes corresponding to each interlayer wiring are formed in a green sheet (ceramic sheet). Next, the via hole is embedded with a conductive paste, and a wiring pattern corresponding to the ground plane 4 is printed on the surface of the green sheet. The green sheets formed by the above steps are stacked and pressed in the thickness direction under heating.

次に、加熱処理により上記積層体を一体焼成し、誘電体ウエハを形成する。その後、この誘電体ウエハに研磨等を施して、表面を平滑化する。   Next, the laminate is integrally fired by heat treatment to form a dielectric wafer. Thereafter, the dielectric wafer is polished and the surface is smoothed.

―駆動電極及び伝送線路の形成（図７（ａ）及び（ｂ）参照）―
まず、表面を平滑化した誘電体ウエハ７２の表面に金属層を成膜し、フォトリソグラフィ技術により、ＭＥＭＳキャパシタの駆動電極７４を形成する（図７（ａ）参照）。 -Formation of drive electrodes and transmission lines (see Figs. 7 (a) and (b))-
First, a metal layer is formed on the surface of the dielectric wafer 72 whose surface is smoothed, and a drive electrode 74 of the MEMS capacitor is formed by a photolithography technique (see FIG. 7A).

次に、誘電体ウエハ７２の表面に絶縁膜を成膜し、フォトリソグラフィ技術により、駆動電極７４の上に誘電体膜４２ｂを形成する。   Next, an insulating film is formed on the surface of the dielectric wafer 72, and the dielectric film 42b is formed on the drive electrode 74 by photolithography.

次に、誘電体ウエハ７２の表面に再度金属層を成膜し、フォトリソグラフィ技術により、各伝送線路１０,１８,２２、ＭＥＭＳキャパシタのアンカー部３６、及び各素子間の配線に対応する金属パターンを形成する。   Next, a metal layer is formed again on the surface of the dielectric wafer 72, and metal patterns corresponding to the transmission lines 10, 18, 22, the anchor portions 36 of the MEMS capacitors, and the wiring between the elements are formed by photolithography. Form.

次に、誘電体ウエハ７２の裏面に金属層を成膜し、フォトリソグラフィ技術により、駆動端子４０、信号入力端子４６、信号出力端子５０、および接地端子等を形成する。これらの端子は、上記「誘電体ウエハも形成工程」において、予め形成してもよい。   Next, a metal layer is formed on the back surface of the dielectric wafer 72, and the drive terminal 40, the signal input terminal 46, the signal output terminal 50, the ground terminal, and the like are formed by photolithography. These terminals may be formed in advance in the “process for forming a dielectric wafer”.

次に、Ａｕメッキ処理により、アンカー部の下層部分３６ａ及び各伝送線路１０,１８,２２を形成する。   Next, the lower layer portion 36a of the anchor portion and the transmission lines 10, 18, and 22 are formed by Au plating.

次に、図７（ｂ）に示すように、各伝送線路１０,１８,２２の上に、ドット状の誘電体ドット４２ａを形成する。   Next, as shown in FIG. 7B, dot-shaped dielectric dots 42 a are formed on the transmission lines 10, 18, and 22.

尚、図７（ａ）乃至図９（ａ）には、誘電体ウエハ７２の一部とその形成物のみが示されている。   7A to 9A show only a part of the dielectric wafer 72 and its formed product.

―可動電極の形成工程（図７（ｃ）乃至図９（ａ））―
次に、図７（ｃ）に示すように、アンカー部の下層部分３６ａと各伝送線路１０,１８,２２の間に、フォトレジスト等により、伝送線路１０,１８,２２と略同じ高さの第１の犠牲層７６ａを形成する。 —Process for forming movable electrode (FIGS. 7C to 9A) —
Next, as shown in FIG. 7C, between the lower layer portion 36a of the anchor portion and the transmission lines 10, 18, and 22, the height of the transmission lines 10, 18, and 22 is approximately the same as that of the transmission lines 10, 18, and 22. A first sacrificial layer 76a is formed.

次に、図８（ａ）に示すように、第１の犠牲層７６ａの上に、第２の犠牲層７６ｂを形成する。   Next, as shown in FIG. 8A, a second sacrificial layer 76b is formed on the first sacrificial layer 76a.

次に、図８（ｂ）に示すように、アンカー部の下層部分３６ａ及び第２の犠牲層７６ｂの上に、可撓性のシートばね層７８を形成する。このシートばね層７８の材料は、例えば、Ａｕ、Ｃｕ、Ａｌ等のいずれかの金属、或いはＡｕ，Ｃｕ、Ａｌのいずれかが含まれる合金である。   Next, as shown in FIG. 8B, a flexible sheet spring layer 78 is formed on the lower layer portion 36a of the anchor portion and the second sacrificial layer 76b. The material of the seat spring layer 78 is, for example, any metal such as Au, Cu, Al, or an alloy containing any of Au, Cu, Al.

次に、図８（ｃ）に示すように、シートばね層７８の中央部に、メッキにより、Ａｕ製の厚膜部８０を形成する。同時に、アンカー部の下層部分３６ａの上方に、アンカー部の上層部分３６ｂを形成する。   Next, as shown in FIG. 8C, a thick film portion 80 made of Au is formed by plating at the center portion of the seat spring layer 78. At the same time, the upper layer portion 36b of the anchor portion is formed above the lower layer portion 36a of the anchor portion.

次に、図９（ａ）に示すように、第１の犠牲層７６ａ及び第２犠牲層７６ｂを除去する。その後、第４乃至第６の可変容量手段４８,５２,５４のバラクタダイオード等を、誘電体ウエハ７２に実装する。尚、第４乃至第６の可変容量手段４８,５２,５４は、MEMS可変キャパシターであっても良い。   Next, as shown in FIG. 9A, the first sacrificial layer 76a and the second sacrificial layer 76b are removed. Thereafter, the varactor diodes and the like of the fourth to sixth variable capacitance means 48, 52 and 54 are mounted on the dielectric wafer 72. The fourth to sixth variable capacitance means 48, 52, 54 may be MEMS variable capacitors.

―パッケージング工程（図９（ｂ）参照）―
次に、パッケージング部材４４により、誘電体ウエハ７２の表面上の各素子を封止する。最後に、誘電体ウエハ７２を、個々の可変バンドパスフィルタ２に分割する。 -Packaging process (see Fig. 9 (b))-
Next, each element on the surface of the dielectric wafer 72 is sealed by the packaging member 44. Finally, the dielectric wafer 72 is divided into individual variable bandpass filters 2.

以上のように、可変バンドパスフィルタ２の形成及び封止を全てウエハレベルで行うので、本製造方法によれば、生産性が高くなる。   As described above, since the formation and sealing of the variable bandpass filter 2 are all performed at the wafer level, the manufacturing method increases the productivity.

（実施の形態２）
図１０は、本実施の形態の可変バンドパスフィルタ８２のパッケージ内平面図である。図１１は、図１０のXI-XI線に沿った断面図である。 (Embodiment 2)
FIG. 10 is a plan view in the package of the variable bandpass filter 82 of the present embodiment. 11 is a cross-sectional view taken along line XI-XI in FIG.

本実施の形態の可変バンドパスフィルタ８２は、実施の形態１の可変バンドパスフィルタ２と略同じ構造を有している。但し、本バンドパスフィルタ８２の第３の可変容量手段２８ａは、図１１に示すように、結合伝送線路１０の側面から両側に突出した線路側部電極８４との間に間隔が設けられ且つ接地面４に接続された可動電極３２ａを有している。また、第３の可変容量手段２８ａは、可動電極３２ａに対向する駆動電極３４ａを有している。ここで、可動電極３２ａは、アンカー部３６ｃにより担持されている。また、線路側部電極８４の表面は、誘電体膜４２ｃにより覆われている。尚、線路側部電極８４の厚みは、信号線１０と同じであっても良い。   The variable bandpass filter 82 of the present embodiment has substantially the same structure as the variable bandpass filter 2 of the first embodiment. However, as shown in FIG. 11, the third variable capacitance means 28a of the bandpass filter 82 is spaced from and in contact with the line side electrode 84 protruding from the side surface of the coupled transmission line 10. A movable electrode 32 a connected to the ground 4 is provided. The third variable capacitance means 28a has a drive electrode 34a facing the movable electrode 32a. Here, the movable electrode 32a is carried by the anchor portion 36c. The surface of the line side electrode 84 is covered with a dielectric film 42c. The line side electrode 84 may have the same thickness as the signal line 10.

以上の構造において、可動電極３２ａと駆動電極３４ａの間に電圧が印加されて、上記間隔が変化する。これにより、結合伝送線路１０と接地面４の間の容量Ｃｇ´が変化し、結合伝送線路１０の電気長が変化する。   In the above structure, a voltage is applied between the movable electrode 32a and the drive electrode 34a, and the interval changes. As a result, the capacitance Cg ′ between the coupled transmission line 10 and the ground plane 4 changes, and the electrical length of the coupled transmission line 10 changes.

本バンドパスフィルタ８２では、第１の可変容量手段２４ａ及び第２の可変容量手段２６ａも、上記第３の可変容量手段２８ａと同様の構造を有している。そして、第１の可変容量手段２４ａ及び第２の可変容量手段２６ａも、第３の可変容量手段２８ａと同様に動作して、それぞれの伝送線路１８,２２の電気長を変化させる。   In the present bandpass filter 82, the first variable capacitance means 24a and the second variable capacitance means 26a also have the same structure as the third variable capacitance means 28a. The first variable capacitance means 24a and the second variable capacitance means 26a also operate in the same manner as the third variable capacitance means 28a to change the electrical lengths of the transmission lines 18 and 22, respectively.

従って、本実施の形態によれば、実施の形態１と同様、小型でしかも、通過帯域の中心周波数及び通過帯域幅を所望の値に設定できる可変バンドパスフィルタを提供することができる。   Therefore, according to the present embodiment, it is possible to provide a variable bandpass filter that is small in size and can set the center frequency and passband width of the passband to desired values as in the first embodiment.

（実施の形態３）
図１２は、本実施の形態の可変バンドパスフィルタ８３のパッケージ内平面図である。図１３は、図１２のXIII-XIII線に沿った断面図である。 (Embodiment 3)
FIG. 12 is a plan view in the package of the variable bandpass filter 83 of the present embodiment. 13 is a cross-sectional view taken along line XIII-XIII in FIG.

本実施の形態の可変バンドパスフィルタ８３は、実施の形態１の可変バンドパスフィルタ２と略同じ構造を有している。但し、本可変バンドパスフィルタ８３の第３の可変容量手段２８ｂは、図１３に示すように、線路側部電極８４との間ではなく、結合伝送線路１０との間に間隔が設けられ且つ接地面４に接続された可動電極３２ｂを有している。また、第３の可変容量手段２８ｂは、可動電極３２ｂに対向する駆動電極３４ｂを有している。ここで、可動電極３２ａは、アンカー部３６ｃにより担持されている。そして、可動電極３２ｂに対向する結合伝送線路１０の表面は、ドット状の誘電体膜４２ｃにより覆われている。   The variable bandpass filter 83 of the present embodiment has substantially the same structure as the variable bandpass filter 2 of the first embodiment. However, as shown in FIG. 13, the third variable capacitance means 28b of the variable bandpass filter 83 is not connected to the line side electrode 84, but is connected to the coupled transmission line 10, and is in contact with it. A movable electrode 32b connected to the ground 4 is provided. Further, the third variable capacitance means 28b has a drive electrode 34b facing the movable electrode 32b. Here, the movable electrode 32a is carried by the anchor portion 36c. The surface of the coupled transmission line 10 facing the movable electrode 32b is covered with a dot-like dielectric film 42c.

以上の構造により、可動電極３２ｂと駆動電極３４ｂの間に電圧が印加されて、上記間隔が変化する。これにより、結合伝送線路１０と接地面４の間の容量Ｃｇ´が変化し、結合伝送線路１０の電気長が変化する。   With the above structure, a voltage is applied between the movable electrode 32b and the drive electrode 34b, and the interval changes. As a result, the capacitance Cg ′ between the coupled transmission line 10 and the ground plane 4 changes, and the electrical length of the coupled transmission line 10 changes.

本可変バンドパスフィルタ８３では、第１の可変容量手段２４ｂ及び第２の可変容量手段２６ｂも、上記第３の可変容量手段２８ｂと同様の構造を有している。そして、第１の可変容量手段２４ｂ及び第２の可変容量手段２６ｂも、第３の可変容量手段２８ｂと同様に動作して、それぞれの伝送線路１８,２２の電気長を変化させる。   In the variable bandpass filter 83, the first variable capacitance means 24b and the second variable capacitance means 26b also have the same structure as the third variable capacitance means 28b. The first variable capacitance means 24b and the second variable capacitance means 26b also operate in the same manner as the third variable capacitance means 28b, and change the electrical lengths of the transmission lines 18 and 22, respectively.

従って、本実施の形態によれば、実施の形態１と同様、小型でしかも、通過帯域の中心周波数及び通過帯域幅を所望の値に設定できる可変バンドパスフィルタを提供することができる。   Therefore, according to the present embodiment, it is possible to provide a variable bandpass filter that is small in size and can set the center frequency and passband width of the passband to desired values as in the first embodiment.

（実施の形態４）
図１４は、本実施の形態の可変バンドパスフィルタ８６のパッケージ内平面図である。本可変バンドパスフィルタ８６は、実施の形態１の可変バンドパスフィルタ２と略同じ構造を有している。但し、第３の可変容量手段２８ｃは、図３を参照して説明したインピーダンス整合用の可変容量手段と同様、バラクタダイオード５６（可変容量ダイオード）を有している。また、第３の可変容量手段２８ｃは、このバラクタダイオード５６の両端に接続されたキャパシタ５８,６０とインダクタ６２,６４を有している。そして、一方のキャパシタ５８が接地電極１２ａと層間配線を介して接地面４に接続され、他方のキャパシタ６０が結合伝送線路１０に接続されている。そして、上記インダクタ６２,６４を介して、逆バイアス電圧がバラクタダイオードに印加される。 (Embodiment 4)
FIG. 14 is a plan view of the variable bandpass filter 86 of the present embodiment in the package. The variable bandpass filter 86 has substantially the same structure as the variable bandpass filter 2 of the first embodiment. However, the third variable capacitance means 28c has a varactor diode 56 (variable capacitance diode), like the variable capacitance means for impedance matching described with reference to FIG. The third variable capacitor means 28 c includes capacitors 58 and 60 and inductors 62 and 64 connected to both ends of the varactor diode 56. One capacitor 58 is connected to the ground plane 4 via the ground electrode 12 a and the interlayer wiring, and the other capacitor 60 is connected to the coupled transmission line 10. A reverse bias voltage is applied to the varactor diode through the inductors 62 and 64.

すなわち、第３の可変容量手段２８ｃは、両端がそれぞれ結合伝送線路１０及び接地面４にキャパシタ５８,６０を介して接続された可変容量ダイオード５６（バラクタダイオード）を有している。そして、第３の可変容量ダイオード２８ｃは、インダクタ６２,６４を介して両端に逆バイアス電圧が印加され、その容量値が変化する。   That is, the third variable capacitance means 28c has a variable capacitance diode 56 (varactor diode) whose both ends are connected to the coupled transmission line 10 and the ground plane 4 via the capacitors 58 and 60, respectively. Then, a reverse bias voltage is applied to both ends of the third variable capacitance diode 28c via the inductors 62 and 64, and the capacitance value changes.

この容量値の変化により結合伝送線路１０の電気長が変化し、所望の中心周波数及び帯域幅が得られる。   The change in the capacitance value changes the electrical length of the coupled transmission line 10 to obtain a desired center frequency and bandwidth.

（実施の形態５）
図１５は、本実施の形態の可変バンドパスフィルタ８８のパッケージ内平面図である。本実施の形態の可変バンドパスフィルタも、実施の形態２の可変バンドパスフィルタ８２と共通の構成を有している。従って、共通する部分については、説明を省略する。 (Embodiment 5)
FIG. 15 is a plan view of the variable bandpass filter 88 of the present embodiment in the package. The variable bandpass filter of the present embodiment also has a common configuration with the variable bandpass filter 82 of the second embodiment. Therefore, description of common parts is omitted.

本実施の形態の可変バンドパスフィルタ８８は、図１５に示すように、接地電極１２ｂと層間配線（図示せず）を介して接地面４に接続された一端８ａから、延在する第１の結合伝送線路１０ａを有している。   As shown in FIG. 15, the variable band-pass filter 88 of the present embodiment includes a first extending from one end 8a connected to the ground plane 4 via the ground electrode 12b and an interlayer wiring (not shown). A coupled transmission line 10a is provided.

また、本可変バンドパスフィルタ８８は、第１の結合伝送線路１０ａの他端１４ａから第１の開放端１６ａまで延長された第１の延長伝送線路１００ａを有している。   The variable bandpass filter 88 includes a first extended transmission line 100a extended from the other end 14a of the first coupled transmission line 10a to the first open end 16a.

また、本可変バンドパスフィルタ８８は、接地電極１２ｂと層間配線（図示せず）を介して接地面４に接続された一端８ｂから、第１の結合伝送線路１０ａに沿って延在し、第１の結合伝送線路１０ａに電磁誘導結合した第２の結合伝送線路１０ｂを有している。従って、第１の結合伝送線路１０ａと第２の結合伝送線路１０ｂは、近接している。   The variable bandpass filter 88 extends from one end 8b connected to the ground plane 4 via the ground electrode 12b and an interlayer wiring (not shown) along the first coupled transmission line 10a. The second coupled transmission line 10b is electromagnetically coupled to one coupled transmission line 10a. Therefore, the first coupled transmission line 10a and the second coupled transmission line 10b are close to each other.

また、本可変バンドパスフィルタ８８は、第２の結合伝送線路１０ｂの他端１４ｂから第２の開放端１６ｂに延長された第２の延長伝送線路１００ｂを有している。ここで、第１の結合伝送線路１０ａと第２の結合伝送線路１０ｂの間隔Ｇより広い距離Ｌが第１の延長伝送線路１００ａと第２の延長伝送線路１００ｂの間に保たれている。   The variable bandpass filter 88 includes a second extended transmission line 100b that is extended from the other end 14b of the second coupled transmission line 10b to the second open end 16b. Here, a distance L wider than the gap G between the first coupled transmission line 10a and the second coupled transmission line 10b is maintained between the first extended transmission line 100a and the second extended transmission line 100b.

また、本可変バンドパスフィルタ８８は、第１の延長伝送線路１００ａと接地面４の間に設けられた第１の可変容量を有する複数の第１の可変容量手段２４ａを有している。また、本可変バンドパスフィルタ８８は、第２の延長伝送線路１００ｂと接地面４の間に設けられた第２の可変容量を有する複数の第２の可変容量手段２６ａを有している。また、本可変バンドパスフィルタ８８は、第１の結合伝送線路１０ａと接地面４の間に設けられた第３の可変容量を有する第３の可変容量手段９０ａを有している。また、本可変バンドパスフィルタ８８は、第２の結合伝送線路１０ｂと接地面４の間に設けられた第４の可変容量を有する第４の可変容量手段９０ｂとを有している。これら第１乃至第４の可変容量手段２４ａ,２６ａ,９０ａ,９０ｂは、図１１を参照して説明したＭＥＭＳキャパシタと略同じ構造を有している。   The variable band pass filter 88 includes a plurality of first variable capacitance means 24 a having a first variable capacitance provided between the first extended transmission line 100 a and the ground plane 4. The variable band-pass filter 88 includes a plurality of second variable capacitance means 26 a having a second variable capacitance provided between the second extended transmission line 100 b and the ground plane 4. The variable bandpass filter 88 includes third variable capacitance means 90 a having a third variable capacitance provided between the first coupled transmission line 10 a and the ground plane 4. The variable band-pass filter 88 includes a fourth variable capacitance means 90 b having a fourth variable capacitance provided between the second coupled transmission line 10 b and the ground plane 4. These first to fourth variable capacitance means 24a, 26a, 90a, 90b have substantially the same structure as the MEMS capacitor described with reference to FIG.

そして、本可変バンドパスフィルタ８８では、所定の周波数範囲内の所望の周波数（好ましくは、複数の周波数のそれぞれ）において、通過帯域の幅が所望の幅になるように第３の可変容量９０ａ及び第４の可変容量９０ｂが変化させられる。この時、第１の結合伝送線路１０ａ及び第２の結合伝送線路１０ｂの電気長が変化して、両結合伝送線路間の誘導結合定数が変化する。その結果、初段の１／４λ共振器から後段１／４λ共振器に伝達される高周波信号の伝達比が変化して、通過帯域の幅が変化する。   In the variable bandpass filter 88, the third variable capacitor 90a and the third variable capacitor 90a are arranged so that the passband width becomes a desired width at a desired frequency (preferably each of a plurality of frequencies) within a predetermined frequency range. The fourth variable capacitor 90b is changed. At this time, the electrical lengths of the first coupled transmission line 10a and the second coupled transmission line 10b change, and the inductive coupling constant between the coupled transmission lines changes. As a result, the transmission ratio of the high-frequency signal transmitted from the first-stage 1 / 4λ resonator to the subsequent-stage 1 / 4λ resonator changes, and the passband width changes.

また、本可変バンドパスフィルタ８８では、上記周波数において、第１の延長伝送線路１００ａと第１の結合伝送線路１０ａの電気長の和が１/４波長になるように第１の可変容量（第１の可変容量手段２４ａに対応する可変容量）が変化させられる。   In the variable bandpass filter 88, the first variable capacitance (the first variable capacitance) is set so that the sum of the electrical lengths of the first extended transmission line 100a and the first coupled transmission line 10a becomes ¼ wavelength at the above frequency. Variable capacity corresponding to one variable capacity means 24a) is changed.

また、本可変バンドパスフィルタ８８では、上記周波数において、第２の延長伝送線路１００ｂと第２の結合伝送線路１０ｂの電気長の和が１/４波長になるように第２の可変容量（第２の可変容量手段２６ｂに対応する可変容量）が変化させられる。   In the variable bandpass filter 88, the second variable capacitor (the first variable capacitance) is used so that the sum of the electrical lengths of the second extended transmission line 100b and the second coupled transmission line 10b becomes ¼ wavelength at the above frequency. 2), the variable capacitance corresponding to the second variable capacitance means 26b is changed.

本実施の形態では、結合伝送線路を２つ有している。しかし、両結合伝送線路は近接している。従って、本実施の形態によれば、実施の形態１と同様、小型でしかも、通過帯域の中心周波数及び通過帯域幅を所望の値に設定できる可変バンドパスフィルタを提供することができる。   In this embodiment, there are two coupled transmission lines. However, both coupled transmission lines are close to each other. Therefore, according to the present embodiment, it is possible to provide a variable bandpass filter that is small in size and can set the center frequency and passband width of the passband to desired values as in the first embodiment.

尚、図１５に示した例では、第１の可変容量手段２４ａ及び第２の可変容量手段２６は、伝送線路１００ａ,１００ｂに沿って複数設けられる。しかし、第１の可変容量手段２４ａ及び第２の可変容量手段２６は、単数であってもよい。一方、第３の可変容量手段９０ａおよび第３の可変容量手段９０ｂは、単数であってもよい。   In the example shown in FIG. 15, a plurality of first variable capacitance means 24a and second variable capacitance means 26 are provided along the transmission lines 100a and 100b. However, the first variable capacitance means 24a and the second variable capacitance means 26 may be singular. On the other hand, the third variable capacitance means 90a and the third variable capacitance means 90b may be singular.

（実施の形態６）
図１６は、本実施の形態の可変バンドパスフィルタ９２のパッケージ内平面図である。図１７は、図１６のXVII-XVII線に沿った断面図である。本実施の形態の可変バンドパスフィルタ９２は、実施の形態５の可変バンドパスフィルタ８８と略同じ構成を有している。但し、第１の延長伝送線路１００ａに沿って設けられた複数の第１の可変容量手段２４は、図２を参照して説明したＭＥＭＳキャパシタである。同様に、第２の延長伝送線路１００ｂに沿って設けられた複数の第２の可変容量手段２６は、図２を参照して説明したＭＥＭＳキャパシタである。 (Embodiment 6)
FIG. 16 is a plan view in the package of the variable bandpass filter 92 of the present embodiment. 17 is a cross-sectional view taken along line XVII-XVII in FIG. The variable bandpass filter 92 of the present embodiment has substantially the same configuration as the variable bandpass filter 88 of the fifth embodiment. However, the plurality of first variable capacitance means 24 provided along the first extended transmission line 100a are the MEMS capacitors described with reference to FIG. Similarly, the plurality of second variable capacitance means 26 provided along the second extended transmission line 100b are the MEMS capacitors described with reference to FIG.

また、第１の結合伝送線路１０ａ及び第２の結合伝送線路１０ｂは、新たな可変容量手段２８ｄを共有している。可変容量手段２８ｄは、図１７に示すように、それぞれの伝送線路（第１の結合伝送線路１０ａ及び第２の結合伝送線路１０ｂ）との間に間隔３０ａが設けられ且つ接地面４に接続された可撓性の可動電極３２ｃを有している。また、可変容量手段２８ｄは、この可動電極３２ｃに対向し、第１の結合伝送線路１０ａ及び第２の結合伝送線路１０ｂの外側に設けられた一対の駆動電極３４ｃを有している。ここで、可動電極３２ｃの厚膜８０ａは、第１の結合伝送線路１０ａ及び第２の結合伝送線路１０ｂの上方に配置されている。   The first coupled transmission line 10a and the second coupled transmission line 10b share a new variable capacitance means 28d. As shown in FIG. 17, the variable capacitance means 28 d is provided with a space 30 a between each transmission line (the first coupled transmission line 10 a and the second coupled transmission line 10 b) and is connected to the ground plane 4. And a flexible movable electrode 32c. Further, the variable capacitance means 28d has a pair of drive electrodes 34c facing the movable electrode 32c and provided outside the first coupled transmission line 10a and the second coupled transmission line 10b. Here, the thick film 80a of the movable electrode 32c is disposed above the first coupled transmission line 10a and the second coupled transmission line 10b.

この可動電極３２ｃは、図１７に示すように、一対の導電性のアンカー部３６に両端が固定されている。可動電極３２ｃは、この導電性のアンカー部３６と層間配線３８ａを介して、接地面４に接続されている。また、駆動電極３４ｃは、誘電体基板６を貫通する層間配線３８ｂを介して、誘電体基板６の裏面に設けられた駆動端子（電極パッド）４０に接続されている。そして、可変容量手段２８ｄは、この駆動端子４０と接地端子（図示せず）の間に印加された電圧（直流または交流）により撓み、第１の結合伝送線路１０ａとの間に設けられた可変容量Ｃｇ1と、第２の結合伝送線路１０ｂとの間に設けられた可変容量Ｃｇ２を同時に変化させる。ここで、可変容量Ｃｇ1と可変容量Ｃｇ２は、略同じ大きさである。   As shown in FIG. 17, both ends of the movable electrode 32c are fixed to a pair of conductive anchor portions 36. The movable electrode 32c is connected to the ground plane 4 through the conductive anchor portion 36 and the interlayer wiring 38a. The drive electrode 34 c is connected to a drive terminal (electrode pad) 40 provided on the back surface of the dielectric substrate 6 through an interlayer wiring 38 b that penetrates the dielectric substrate 6. The variable capacitance means 28d is bent by a voltage (direct current or alternating current) applied between the drive terminal 40 and a ground terminal (not shown), and is variable between the first coupled transmission line 10a. The variable capacitor Cg2 provided between the capacitor Cg1 and the second coupled transmission line 10b is changed simultaneously. Here, the variable capacitor Cg1 and the variable capacitor Cg2 have substantially the same size.

以上により、本実施の形態の可変バンドパスフィルタ９２は、実施の形態５の可変バンドパスフィルタ８８と同様に、中心周波数fc及び通過帯域幅BPが可変のバンドパスフィルタとして動作する。 Thus, the variable band-pass filter 92 of this embodiment, like the variable band-pass filter 88 of the fifth embodiment, the center frequency f c and the passband width BP is operated as a variable band-pass filter.

（実施の形態７）
図１８は、本実施の形態の可変バンドパスフィルタ９５のパッケージ内平面図である。 (Embodiment 7)
FIG. 18 is a plan view of the variable bandpass filter 95 according to the present embodiment in the package.

実施の形態１乃至６の可変バンドパスフィルタでは、２つの１/４λ共振器が縦列接続されている。一方、本可変バンドパスフィルタ９５では、４つの共振器が縦列接続されている。従って、本可変バンドパスフィルタ９５の通過帯域の減衰特性は、実施の形態１乃至６の可変バンドパスフィルタより急峻である。 In the variable bandpass filters of Embodiments 1 to 6, two 1 / 4λ resonators are connected in cascade. On the other hand, in the variable band-pass filter 95, four co-oscillator are cascaded. Therefore, the attenuation characteristic of the pass band of the variable bandpass filter 95 is steeper than that of the variable bandpass filters of the first to sixth embodiments.

本可変バンドパスフィルタ９５は、図１８に示すように、接地電極１２を介して接地面４に接続された一端８から延在する複数の結合伝送線路１０ｃを有している。また、本可変バンドパスフィルタ９５は、それぞれの複数の結合伝送線路１０ｃの他端１４で分岐し、結合伝送線路１０ｃを順次接続する分岐伝送線路９６を有している。   As shown in FIG. 18, the variable bandpass filter 95 has a plurality of coupled transmission lines 10 c extending from one end 8 connected to the ground plane 4 via the ground electrode 12. The variable bandpass filter 95 includes a branch transmission line 96 that branches at the other end 14 of each of the plurality of coupled transmission lines 10c and sequentially connects the coupled transmission lines 10c.

また、本可変バンドパスフィルタ９５は、分岐伝送線路９６が一本だけ接続された（結合伝送線路１０ｅの）他端１４ｅで分岐し、第１の開放端１６まで延在する入力分岐伝送線路９８を有している。   Further, the variable band pass filter 95 branches at the other end 14e (of the coupled transmission line 10e) to which only one branch transmission line 96 is connected (input branch transmission line 98 extending to the first open end 16). have.

また、本可変バンドパスフィルタ９５は、分岐伝送線路９６が一本だけ接続された（結合伝送線路１０ｆの）他の他端１４ｆで分岐し、第２の開放端２０まで延在する出力分岐伝送線路１１０を有している。   Further, the variable bandpass filter 95 branches at the other end 14f to which only one branch transmission line 96 is connected (of the coupled transmission line 10f) and extends to the second open end 20 for output branch transmission. A line 110 is provided.

尚、本実施の形態では、分岐伝送線路９６は２本であるが。しかし、分岐伝送線路９６の数は、１本又は３本以上であってもよい。また、本実施の形態では、結合伝送線路対１０ｃは３つである。しかし、分岐伝送線路９６の数は、２又は４以上であってもよい。   In this embodiment, there are two branch transmission lines 96. However, the number of branch transmission lines 96 may be one or three or more. In the present embodiment, there are three coupled transmission line pairs 10c. However, the number of branch transmission lines 96 may be two or four or more.

また、本可変バンドパスフィルタ９５は、それぞれの結合伝送線路１０ｃと接地面４の間に設けられた第１の可変容量を有する第１の可変容量手段１１２を有している。また、本可変バンドパスフィルタ９５は、分岐伝送線路９６と接地面４の間に設けられた第２の可変容量を有する複数の第２の可変容量手段１１４を有している。また、本可変バンドパスフィルタ９５は、入力分岐伝送線路９８と接地面４の間に設けられた第３の可変容量を有する複数の第３の可変容量手段１１６を有している。また、本可変バンドパスフィルタ９５は、出力分岐伝送線路１１０と接地面４の間に設けられた第４の可変容量を有する複数の第４の可変容量手段１１８を有している。   The variable band-pass filter 95 includes first variable capacitance means 112 having a first variable capacitance provided between each coupled transmission line 10 c and the ground plane 4. The variable band-pass filter 95 includes a plurality of second variable capacitance means 114 having a second variable capacitance provided between the branch transmission line 96 and the ground plane 4. The variable band-pass filter 95 has a plurality of third variable capacitance means 116 having a third variable capacitance provided between the input branch transmission line 98 and the ground plane 4. The variable band pass filter 95 includes a plurality of fourth variable capacitance means 118 having a fourth variable capacitance provided between the output branch transmission line 110 and the ground plane 4.

尚、本実施の形態の第１の可変容量手段１１２は単数である。しかし、第１の可変容量手段１１２は複数であってもよい。一方、本実施の形態の第２乃至第４の可変容量手段１１４、１１６、１１８は複数である。しかし、第２乃至第４の可変容量手段１１４、１１６、１１８は単数であってもよい。   In addition, the 1st variable capacity | capacitance means 112 of this Embodiment is single. However, the first variable capacitance means 112 may be plural. On the other hand, the second to fourth variable capacitance means 114, 116, 118 of the present embodiment are plural. However, the second to fourth variable capacitance means 114, 116, 118 may be singular.

ここで、第１乃至第４の可変容量手段１１２、１１４、１１６、１１８は、例えば、図２を参照して説明したＭＥＭＳキャパシタである。   Here, the first to fourth variable capacitance means 112, 114, 116, 118 are, for example, the MEMS capacitors described with reference to FIG.

そして、本可変バンドパスフィルタ９５では、所定の周波数範囲内の複数の周波数において、通過帯域の幅が所望の幅になるように第１の可変容量１１２が変化させられる。また、分岐伝送線路９６の両端に接続された２つの結合伝送線路１０ｃと分岐伝送線路９６との電気長の和が１/２波長になるように第２の可変容量が変化させられる。また、入力分岐伝送線路９８と結合伝送線路１０ｃ（１０ｅ）の電気長の和が１/４波長になるように第３の可変容量が変化させられる。また、出力分岐伝送線路１１０と結合伝送線路１０ｃ（１０ｆ）の電気長の和が１/４波長になるように第４の可変容量が変化させられる。そして、入力分岐伝送線路９８に信号（入力信号）が供給され、出力分岐伝送線路１１０からフィルタリングされた上記信号（出力信号）が出射する。 In the variable bandpass filter 95, the first variable capacitor 112 is changed so that the passband width becomes a desired width at a plurality of frequencies within a predetermined frequency range. The second variable capacitance as the sum of the electrical lengths of the two coupled transmission lines 10c connected to both ends of the branch transmission line 96 and the branch transmission line 96 is 1/2 wave length is changed. In addition, the third variable capacitor is changed so that the sum of the electrical lengths of the input branch transmission line 98 and the coupled transmission line 10c (10e) becomes 1/4 wavelength. In addition, the fourth variable capacitance is changed so that the sum of the electrical lengths of the output branch transmission line 110 and the coupled transmission line 10c (10f) becomes 1/4 wavelength. Then, a signal (input signal) is supplied to the input branch transmission line 98, and the filtered signal (output signal) is emitted from the output branch transmission line 110.

更に、本可変バンドパスフィルタ９５は、入力分岐伝送線路９８を信号入力端子４６に接続する第５の可変容量手段１２０と、出力分岐伝送線路１１０を信号出力端子５０に接続する第６の可変容量手段１２２を有している。また、本可変バンドパスフィルタ９５は、一端が信号入力端子４６に接続され、他端が信号出力端子５０に接続された第７の可変容量手段１２４を有している。   Further, the variable bandpass filter 95 includes a fifth variable capacitance means 120 that connects the input branch transmission line 98 to the signal input terminal 46 and a sixth variable capacitance that connects the output branch transmission line 110 to the signal output terminal 50. Means 122 are included. The variable bandpass filter 95 includes seventh variable capacitance means 124 having one end connected to the signal input terminal 46 and the other end connected to the signal output terminal 50.

第５の可変容量手段１２０、第６の可変容量手段１２２、及び第７の可変容量手段１２４は、例えば、図３を参照して説明したバラクタダイオードを有する電子回路である。   The fifth variable capacitance means 120, the sixth variable capacitance means 122, and the seventh variable capacitance means 124 are, for example, an electronic circuit having a varactor diode described with reference to FIG.

そして、第５の可変容量手段１２０の容量値は、信号入力端子４６が接続される外部回路に、本バンドパスフィルタ９５が整合するように変化させられる。また、第６の可変容量手段１２２の容量値は、信号出力端子５０が接続される外部回路に、本バンドパスフィルタ９５が整合するように変化させられる。また、第７の可変容量１２４は、通過帯域の両側に減衰極が形成されるように変化させられる。   The capacitance value of the fifth variable capacitance means 120 is changed so that the band-pass filter 95 matches the external circuit to which the signal input terminal 46 is connected. Further, the capacitance value of the sixth variable capacitance means 122 is changed so that the band-pass filter 95 matches the external circuit to which the signal output terminal 50 is connected. The seventh variable capacitor 124 is changed so that attenuation poles are formed on both sides of the pass band.

（実施の形態８）
図１９は、本実施の形態の可変バンドパスフィルタ２００のパッケージ内平面図である。 (Embodiment 8)
FIG. 19 is a plan view in the package of the variable bandpass filter 200 of the present embodiment.

実施の形態１乃至６の可変バンドパスフィルタでは、２つの１/４λ共振器が縦列接続されている。一方、本可変バンドパスフィルタ２００では、４つの共振器が縦列接続されている。従って、本可変バンドパスフィルタ２００の通過帯域の減衰特性は、実施の形態１乃至６の可変バンドパスフィルタより急峻である。 In the variable bandpass filters of Embodiments 1 to 6, two 1 / 4λ resonators are connected in cascade. On the other hand, in the variable band-pass filter 200, four co-oscillator are cascaded. Therefore, the attenuation characteristic of the pass band of the variable band pass filter 200 is steeper than that of the variable band pass filters of the first to sixth embodiments.

本可変バンドパスフィルタ２００は、図１９に示すように、複数の結合伝送線路対２０２を有している。この結合伝送線路対２０２は、接地電極１２を介して接地面に接続された一端８ａから延在する第１の結合伝送線路１０ａを有している。また、結合伝送線路対２０２は、接地電極１２を介して接地面に接続された一端８ｂから第１の結合伝送線路１０ａに沿って延在し、第１の結合伝送線路１０ａに電磁誘導結合する第２の結合伝送線路と１０ｂを有している。   As shown in FIG. 19, the variable bandpass filter 200 has a plurality of coupled transmission line pairs 202. This coupled transmission line pair 202 has a first coupled transmission line 10 a extending from one end 8 a connected to the ground plane via the ground electrode 12. The coupled transmission line pair 202 extends along the first coupled transmission line 10a from one end 8b connected to the ground plane via the ground electrode 12, and is electromagnetically coupled to the first coupled transmission line 10a. It has a second coupled transmission line and 10b.

また、本可変バンドパスフィルタ２００は、結合伝送線路対２０２ａの第１の結合伝送線路１０ａの他端１４ａと他の結合伝送線路対２０２ｂの第２の結合伝送線路１０ｂの他端１４ｂを接続する延長伝送線路２０４を有している。   The variable bandpass filter 200 connects the other end 14a of the first coupled transmission line 10a of the coupled transmission line pair 202a and the other end 14b of the second coupled transmission line 10b of the other coupled transmission line pair 202b. An extended transmission line 204 is provided.

また、本可変バンドパスフィルタ２００は、延長伝送線路２０４が接続されていない第１の結合伝送線路１０ｃの他端１４ｃから第１の開放端１６ａまで延長された入力延長伝送線路２０６を有している。また、本可変バンドパスフィルタ２００は、延長伝送線路２０４が接続されていない第２の結合伝送線路１０ｄの他端１４ｄから第２の開放端１６ｂまで延長された出力延長伝送線路２０８を有している。ここで、同一結合伝送線路対内の第１の結合伝送線路１０ａと第２の結合伝送線路１０ｂの間隔より広い距離が、入力延長伝送線路２０６と隣接する延長伝送線路２０４との間、延長伝送線路２０４と隣接する延長伝送線路２０４との間、及び出力延長伝送線路２０８と隣接する延長伝送線路２０４の間に保たれている。   The variable bandpass filter 200 has an input extended transmission line 206 extended from the other end 14c of the first coupled transmission line 10c to which the extended transmission line 204 is not connected to the first open end 16a. Yes. The variable bandpass filter 200 has an output extended transmission line 208 extended from the other end 14d of the second coupled transmission line 10d to which the extended transmission line 204 is not connected to the second open end 16b. Yes. Here, the distance between the input extended transmission line 206 and the adjacent extended transmission line 204 is longer than the distance between the first combined transmission line 10a and the second combined transmission line 10b in the same coupled transmission line pair. 204 and the adjacent extended transmission line 204, and the output extended transmission line 208 and the adjacent extended transmission line 204.

尚、本実施の形態では、延長伝送線路２０４は２本であるが。しかし、延長伝送線路２０４の数は、１本又は３本以上であってもよい。また、本実施の形態では、結合伝送線路対２０２は３つである。しかし、結合伝送線路対２０２の数は、２又は４以上であってもよい。   In the present embodiment, there are two extended transmission lines 204. However, the number of the extended transmission lines 204 may be one or three or more. In the present embodiment, there are three coupled transmission line pairs 202. However, the number of coupled transmission line pairs 202 may be two or four or more.

そして、本可変バンドパスフィルタ２００は、入力延長伝送線路２０６と接地面の間に設けられた第１の可変容量を有する複数（又は単数）の第１の可変容量手段２１０を有している。また、本可変バンドパスフィルタ２００は、出力延長伝送線路２０８と接地面の間に設けられた複数（又は単数）の第２の可変容量を有する第２の可変容量手段２１２を有している。   The variable band pass filter 200 includes a plurality (or a single) of first variable capacitance means 210 having a first variable capacitance provided between the input extended transmission line 206 and the ground plane. The variable bandpass filter 200 includes second variable capacitance means 212 having a plurality (or a single number) of second variable capacitances provided between the output extension transmission line 208 and the ground plane.

また、本可変バンドパスフィルタ２００は、延長伝送線路２０４と接地面の間に設けられた複数（又は単数）の第３の可変容量を有する第３の可変容量手段２１４を有している。また、本可変バンドパスフィルタ２００は、第１の結合伝送線路１０ａと接地面の間に設けられた第４の可変容量を有する単数（又は複数）第４の可変容量手段２１６を有している。また、本可変バンドパスフィルタ２００は、第２の結合伝送線路１０ｂと接地面の間に設けられた第５の可変容量を有する第５の可変容量手段２１６とを有している。ここで、第１乃至第５の可変容量手段は、例えば、ＭＥＭＳキャパシタである。尚、本実施の形態では、第４及び第５の可変容量手段は、図１７を参照して説明した、一つのＭＥＭＳキャパシタである。   The variable band-pass filter 200 includes third variable capacitance means 214 having a plurality (or a single number) of third variable capacitances provided between the extended transmission line 204 and the ground plane. The variable band-pass filter 200 includes a single (or plural) fourth variable capacitance means 216 having a fourth variable capacitance provided between the first coupled transmission line 10a and the ground plane. . The variable bandpass filter 200 includes a second variable transmission line 10b and a fifth variable capacitance means 216 having a fifth variable capacitance provided between the ground plane. Here, the first to fifth variable capacitance means are, for example, MEMS capacitors. In the present embodiment, the fourth and fifth variable capacitance means are one MEMS capacitor described with reference to FIG.

そして、本可変バンドパスフィルタ２００では、所定の周波数範囲内の複数の周波数において、通過帯域の幅が所望の幅になるように第４の可変容量及び第５の可変容量が変化させられる。また、本可変バンドパスフィルタ２００では、入力延長伝送線路２０６に接続された第１の結合伝送線路１０ａ（１０ｃ）と入力延長伝送線路２０６との電気長の和が１/４波長になるように第１の可変容量が変化させられる。また、本可変バンドパスフィルタ２００では、出力延長伝送線路２０８に接続された第２の結合伝送線路１０ｂ（１０ｄ）と出力延長伝送線路２０８との電気長の和が１/４波長になるように第２の可変容量が変化させられる。また、本可変バンドパスフィルタ２００では、以下の伝送線路の電気長の和が１/２波長になるように第３の可変容量が変化させられる。上記伝送線路とは、入力延長伝送線路２０６に接続されていない第１の結合伝送線路１０ａ、出力延長伝送線路２０８に接続されていない第２の結合伝送線路１０ｂ、および延長伝送線路２０４である。 In the variable bandpass filter 200, the fourth variable capacitor and the fifth variable capacitor are changed so that the passband width becomes a desired width at a plurality of frequencies within a predetermined frequency range. In the variable bandpass filter 200, the sum of the electrical lengths of the first coupled transmission line 10a (10c) connected to the input extended transmission line 206 and the input extended transmission line 206 is ¼ wavelength. The first variable capacitor is changed. In the variable bandpass filter 200, the sum of the electrical lengths of the second coupled transmission line 10b (10d) connected to the output extension transmission line 208 and the output extension transmission line 208 is 1/4 wavelength. The second variable capacitor is changed. Further, in the variable band-pass filter 200, the third variable capacitance is changed so that the sum of the electrical lengths of the following transmission line is 1/2 wave lengths. The transmission lines are the first coupled transmission line 10 a that is not connected to the input extended transmission line 206, the second coupled transmission line 10 b that is not connected to the output extended transmission line 208, and the extended transmission line 204.

更に、本可変バンドパスフィルタ２００は、入力延長伝送線路２０６を信号入力端子４６に接続する第６の可変容量手段２１８と、出力延長伝送線路２０８を信号出力端子５０に接続する第７の可変容量手段２２０を有している。また、本可変バンドパスフィルタ２００は、一端が信号入力端子４６に接続され、他端が信号出力端子５０に接続された第８の可変容量手段２２２を有している。   Further, the variable bandpass filter 200 includes a sixth variable capacitor means 218 that connects the input extension transmission line 206 to the signal input terminal 46 and a seventh variable capacitor that connects the output extension transmission line 208 to the signal output terminal 50. Means 220 are included. The variable band pass filter 200 includes an eighth variable capacitance unit 222 having one end connected to the signal input terminal 46 and the other end connected to the signal output terminal 50.

第６の可変容量手段２１８、第７の可変容量手段２２０、及び第８の可変容量手段２２２は、例えば、図３を参照して説明したバラクタダイオードを有する電子回路である。   The sixth variable capacitance means 218, the seventh variable capacitance means 220, and the eighth variable capacitance means 222 are, for example, an electronic circuit having a varactor diode described with reference to FIG.

そして、第６の可変容量手段２１８の容量値は、信号入力端子４６が接続される外部回路に、本バンドパスフィルタ２００が整合するように変化させられる。また、第７の可変容量手段２２０の容量値は、信号出力端子５０が接続される外部回路に、本バンドパスフィルタ２００が整合するように変化させられる。また、第８の可変容量２２２は、通過帯域の両側に減衰極が形成されるように変化させられる。   The capacitance value of the sixth variable capacitance means 218 is changed so that the band-pass filter 200 matches the external circuit to which the signal input terminal 46 is connected. Further, the capacitance value of the seventh variable capacitance means 220 is changed so that the band-pass filter 200 matches the external circuit to which the signal output terminal 50 is connected. Further, the eighth variable capacitor 222 is changed so that attenuation poles are formed on both sides of the pass band.

（実施の形態９）
図２０は、本実施の形態の通信装置１２８の構成図である。 (Embodiment 9)
FIG. 20 is a configuration diagram of the communication device 128 according to the present embodiment.

本通信装置１２８は、実施の形態１乃至７のいずれかの可変バンドパスフィルタ２〜２００を有している。また、本通信装置１２８は、可変バンドパスフィルタ２〜２００の第１の可変容量〜第３の可変容量（または、第１の可変容量〜第４の可変容量）を変化させる駆動ユニット１３０を有している。駆動ユニット１３０は、例えば、複数の中心周波数fcと複数の通過帯域BPに対応した可変容量手段の駆動条件を記録したメモリとＣＰＵ（central processing unit）を有する電子回路である。 The communication device 128 includes the variable bandpass filters 2 to 200 according to any one of the first to seventh embodiments. The communication device 128 also includes a drive unit 130 that changes the first variable capacitance to the third variable capacitance (or the first variable capacitance to the fourth variable capacitance) of the variable bandpass filters 2 to 200. doing. The drive unit 130 is, for example, an electronic circuit having a recorded memory and a CPU (central processing unit) driving conditions of the variable capacity means corresponding to a plurality of center frequency f c and a plurality of passbands BP.

また、本通信装置１２８は、可変バンドパスフィルタ２〜２００に信号を供給する信号供給ユニット１３２を有している。信号供給ユニット１３２は、例えば、無線信号を受信するアンテナとこのアンテナに接続された増幅器とを有している。   In addition, the communication device 128 includes a signal supply unit 132 that supplies signals to the variable bandpass filters 2 to 200. The signal supply unit 132 includes, for example, an antenna that receives a radio signal and an amplifier connected to the antenna.

また、本通信装置１２８は、可変バンドパスフィルタ２〜２００の出力信号を処理する信号処理ユニット１３４を有している。信号処理ユニット１３４は、例えば、信号処理プログラムが記録されたメモリとこのプログラムに従って動作するＣＰＵを有している。   Further, the communication device 128 includes a signal processing unit 134 that processes output signals of the variable bandpass filters 2 to 200. The signal processing unit 134 has, for example, a memory in which a signal processing program is recorded and a CPU that operates according to the program.

また、本通信装置１２８は、信号処理ユニット１３４が生成したデータを出力する出力ユニット１３６を有している。出力ユニット１３６は、例えば、液晶表示装置である。   Further, the communication device 128 includes an output unit 136 that outputs data generated by the signal processing unit 134. The output unit 136 is, for example, a liquid crystal display device.

本通信装置１２８は、小型化された可変バンドパスフィルタ２〜２００を有しているので、小型化に適している。   Since the communication device 128 includes the variable bandpass filters 2 to 200 that are reduced in size, the communication device 128 is suitable for downsizing.

以上の実施の形態では、分岐伝送線路（または、延長伝送線路）に沿って設けられる可変容量手段は、ＭＥＭＳキャパシタである。しかし、これらの可変容量手段は、ＭＥＭＳキャパシタに限られない。これらの可変容量手段は、例えば、図３のようなバラクタダイオードを有する電子回路であってもよい。   In the above embodiment, the variable capacitance means provided along the branch transmission line (or the extended transmission line) is a MEMS capacitor. However, these variable capacitance means are not limited to MEMS capacitors. These variable capacitance means may be, for example, an electronic circuit having a varactor diode as shown in FIG.

また、以上の実施の形態では、接地面４は、各伝送線路とは異なる面に設けられている。しかし、接地面４は、各伝送線路と同じ面内に設けてもよい。   Moreover, in the above embodiment, the ground plane 4 is provided on a plane different from each transmission line. However, the ground plane 4 may be provided in the same plane as each transmission line.

以上の実施の形態に関し、更に以下の付記を開示する。   Regarding the above embodiment, the following additional notes are disclosed.

（付記１）
接地面に接続された一端から延在する結合伝送線路と、
前記結合伝送線路の他端で分岐し第１の開放端まで延在する第１の分岐伝送線路と、
前記他端で分岐し第２の開放端まで延在する第２の分岐伝送線路と、
前記第１の分岐伝送線路と前記接地面の間に設けられた第１の可変容量を有する第１の可変容量手段と、
前記第２の分岐伝送線路と前記接地面の間に設けられた第２の可変容量を有する第２の可変容量手段と、
前記結合伝送線路と前記接地面の間に設けられた第３の可変容量を有する第３の可変容量手段とを有し、
所定の周波数範囲内の複数の周波数において、通過帯域の幅が所望の幅になるように前記第３の可変容量が変化させられ、前記第１の分岐伝送線路と前記結合伝送線路の電気長の和が１/４波長になるように前記第１の可変容量が変化させられ、前記第２の分岐伝送線路と前記結合伝送線路の電気長の和が１/４波長になるように前記第２の可変容量が変化させられる
可変バンドパスフィルタ。 (Appendix 1)
A coupled transmission line extending from one end connected to the ground plane;
A first branch transmission line that branches at the other end of the coupled transmission line and extends to a first open end;
A second branch transmission line that branches at the other end and extends to a second open end;
First variable capacitance means having a first variable capacitance provided between the first branch transmission line and the ground plane;
Second variable capacitance means having a second variable capacitance provided between the second branch transmission line and the ground plane;
A third variable capacitance means having a third variable capacitance provided between the coupled transmission line and the ground plane;
At a plurality of frequencies within a predetermined frequency range, the third variable capacitor is changed so that the width of the passband becomes a desired width, and the electrical lengths of the first branch transmission line and the coupled transmission line are changed. The first variable capacitance is changed so that the sum becomes 1/4 wavelength, and the second electrical length of the second branch transmission line and the coupled transmission line becomes 1/4 wavelength. Variable bandpass filter that can change the variable capacitance.

（付記２）
付記１に記載の可変バンドパスフィルタにおいて、
前記第１の可変容量手段は、前記第１の分岐伝送線路との間に第１の間隔が設けられ且つ前記接地面に接続された第１の可動電極と、前記第１の可動電極に対向する第１の駆動電極とを有し、
前記第１の可動電極と前記第１の駆動電極の間に電圧が印加されて、前記第１の間隔が変化し、
前記第２の可変容量手段は、前記第２の分岐伝送線路との間に第２の間隔が設けられ且つ前記接地面に接続された第２の可動電極と、前記第２の可動電極に対向する第２の駆動電極とを有し、
前記第２の可動電極と前記第２の駆動電極の間に電圧が印加されて、前記第２の間隔が変化し、
前記第３の可変容量手段は、前記結合伝送線路との間に第３の間隔が設けられ且つ前記接地面に接続された第３の可動電極と、前記第３の可動電極に対向する第３の駆動電極とを有し、
前記第３の可動電極と前記第３の駆動電極の間に電圧が印加されて、前記第３の間隔が変化することを、
特徴とする可変バンドパスフィルタ。 (Appendix 2)
In the variable bandpass filter according to attachment 1,
The first variable capacitor means has a first movable electrode connected to the ground plane and having a first gap between the first variable transmission line and the first branch transmission line, and is opposed to the first movable electrode. A first drive electrode that
A voltage is applied between the first movable electrode and the first drive electrode, and the first interval changes,
The second variable capacitance means has a second movable electrode connected to the ground plane and provided with a second space between the second branch transmission line and the second variable capacitance means, and is opposed to the second movable electrode. And a second drive electrode
A voltage is applied between the second movable electrode and the second drive electrode, and the second interval changes,
The third variable capacitance means has a third movable electrode connected to the ground plane and provided with a third gap between the third transmission line and the coupled transmission line, and a third movable electrode facing the third movable electrode. Drive electrode, and
A voltage is applied between the third movable electrode and the third drive electrode, and the third interval changes.
Characteristic variable bandpass filter.

（付記３）
付記１に記載の可変バンドパスフィルタにおいて、
前記第１の可変容量手段は、前記第１の分岐伝送線路の側面から突出した線路側部電極または前記第１の分岐伝送線路との間に第１の間隔が設けられ且つ前記接地面に接続された第１の可動電極と、前記第１の可動電極に対向する第１の駆動電極とを有し、
前記第１の可動電極と前記第１の駆動電極の間に電圧が印加されて、前記第１の間隔が変化し、
前記第２の可変容量手段は、前記第２の分岐伝送線路の側面から突出した線路側部電極または前記第２の分岐伝送線路との間に第２の間隔が設けられ且つ前記接地面に接続された第２の可動電極と、前記第２の可動電極に対向する第２の駆動電極とを有し、
前記第２の可動電極と前記第２の駆動電極の間に電圧が印加されて、前記第２の間隔が変化し、
前記第３の可変容量手段は、前記結合伝送線路の側面から突出した線路側部電極または前記結合伝送線路との間に第３の間隔が設けられ且つ前記接地面に接続された第３の可動電極と、前記第３の可動電極に対向する第３の駆動電極とを有し、
前記第３の可動電極と前記第３の駆動電極の間に電圧が印加されて、前記第３の間隔が変化することを、
特徴とする可変バンドパスフィルタ。 (Appendix 3)
In the variable bandpass filter according to attachment 1,
The first variable capacitance means is provided with a first interval between a line side electrode protruding from a side surface of the first branch transmission line or the first branch transmission line and connected to the ground plane. A first movable electrode and a first drive electrode facing the first movable electrode,
A voltage is applied between the first movable electrode and the first drive electrode, and the first interval changes,
The second variable capacitance means is provided with a second interval between the line side electrode protruding from the side surface of the second branch transmission line or the second branch transmission line and connected to the ground plane. The second movable electrode, and a second drive electrode facing the second movable electrode,
A voltage is applied between the second movable electrode and the second drive electrode, and the second interval changes,
The third variable capacitance means has a third movable space connected to the ground plane with a third space provided between a line side electrode protruding from a side surface of the coupled transmission line or the coupled transmission line. An electrode, and a third drive electrode facing the third movable electrode,
A voltage is applied between the third movable electrode and the third drive electrode, and the third interval changes.
Characteristic variable bandpass filter.

（付記４）
付記１に記載の可変バンドパスフィルタにおいて、
前記第３の可変容量手段は、両端がそれぞれ前記結合伝送線路及び前記接地面にキャパシタを介して接続された可変容量ダイオードを有し、
前記両端にインダクタを介して電圧が印加されて、前記第３の可変容量ダイオードの容量値が変化することを、
特徴とする可変バンドパスフィルタ。 (Appendix 4)
In the variable bandpass filter according to attachment 1,
The third variable capacitance means includes variable capacitance diodes whose both ends are connected to the coupled transmission line and the ground plane via a capacitor, respectively.
A voltage is applied to both ends via an inductor, and the capacitance value of the third variable capacitance diode changes.
Characteristic variable bandpass filter.

（付記５）
付記１乃至４のいずれか１項に記載の可変バンドパスフィルタにおいて、
更に、前記第１の分岐伝送線路を信号入力端子に接続する第４の可変容量手段と、
前記第２の分岐伝送線路を信号出力端子に接続する第５の可変容量手段と、
一端が前記信号入力端子に接続され、他端が前記信号出力端子に接続された第６の可変容量手段を有し、
前記信号入力端子が接続される外部回路に整合するように、前記第４の可変容量手段の容量値が変化させられ、
前記信号出力端子が接続される外部回路に整合するように、前記第５の可変容量手段の容量値が変化させられ、
前記通過帯域の両側に減衰極が形成されるように、前記第６の可変容量が変化させられることを、
特徴とする可変バンドパスフィルタ。 (Appendix 5)
In the variable bandpass filter according to any one of appendices 1 to 4,
A fourth variable capacitance means for connecting the first branch transmission line to a signal input terminal;
Fifth variable capacitance means for connecting the second branch transmission line to a signal output terminal;
A sixth variable capacitance means having one end connected to the signal input terminal and the other end connected to the signal output terminal;
The capacitance value of the fourth variable capacitance means is changed to match the external circuit to which the signal input terminal is connected,
The capacitance value of the fifth variable capacitance means is changed to match the external circuit to which the signal output terminal is connected,
The sixth variable capacitor is changed such that attenuation poles are formed on both sides of the passband;
Characteristic variable bandpass filter.

（付記６）
接地面に接続された一端から延在する第１の結合伝送線路と、
前記第１の結合伝送線路の他端から第１の開放端まで延長された第１の延長伝送線路と、
前記接地面に接続された一端から前記第１の結合伝送線路に沿って延在し、前記第１の結合伝送線路に電磁誘導結合した第２の結合伝送線路と、
前記第２の結合伝送線路の他端から第２の開放端まで延長された第２の延長伝送線路と、
前記第１の延長伝送線路と前記接地面の間に設けられた第１の可変容量を有する第１の可変容量手段と、
前記第２の延長伝送線路と前記接地面の間に設けられた第２の可変容量を有する第２の可変容量手段と、
前記第１の結合伝送線路と前記接地面の間に設けられた第３の可変容量を有する第３の可変容量手段と、
前記第２の結合伝送線路と前記接地面の間に設けられた第４の可変容量を有する第４の可変容量手段とを有し、
所定の周波数範囲内の複数の周波数において、通過帯域の幅が所望の幅になるように前記第３の可変容量及び前記第４の可変容量が変化させられ、前記第１の延長伝送線路と前記第１の結合伝送線路の電気長の和が１/４波長になるように前記第１の可変容量が変化させられ、前記第２の延長伝送線路と前記第２の結合伝送線路の電気長の和が１/４波長になるように前記第２の可変容量が変化させられる
可変バンドパスフィルタ。 (Appendix 6)
A first coupled transmission line extending from one end connected to the ground plane;
A first extended transmission line extended from the other end of the first coupled transmission line to a first open end;
A second coupled transmission line extending from the one end connected to the ground plane along the first coupled transmission line and electromagnetically coupled to the first coupled transmission line;
A second extended transmission line extended from the other end of the second coupled transmission line to a second open end;
First variable capacitance means having a first variable capacitance provided between the first extended transmission line and the ground plane;
Second variable capacitance means having a second variable capacitance provided between the second extended transmission line and the ground plane;
Third variable capacitance means having a third variable capacitance provided between the first coupled transmission line and the ground plane;
A fourth variable capacitance means having a fourth variable capacitance provided between the second coupled transmission line and the ground plane;
At a plurality of frequencies within a predetermined frequency range, the third variable capacitor and the fourth variable capacitor are changed so that the width of a pass band becomes a desired width, and the first extension transmission line and the The first variable capacitance is changed so that the sum of the electrical lengths of the first coupled transmission line is ¼ wavelength, and the electrical lengths of the second extended transmission line and the second coupled transmission line are A variable band-pass filter in which the second variable capacitance is changed so that the sum becomes 1/4 wavelength.

（付記７）
接地面に接続された一端から延在する複数の結合伝送線路と、
それぞれの前記結合伝送線路の他端で分岐し、前記結合伝送線路を順次接続する分岐伝送線路と、
前記分岐伝送線路が一本だけ接続された前記他端で分岐し、第１の開放端まで延在する入力分岐伝送線路と、
前記分岐伝送線路が一本だけ接続された他の前記他端で分岐し、第２の開放端まで延在する出力分岐伝送線路と、
それぞれの前記結合伝送線路と前記接地面の間に設けられた第１の可変容量を有する第１の可変容量手段と、
前記分岐伝送線路と前記接地面の間に設けられた第２の可変容量を有する第２の可変容量手段と、
前記入力分岐伝送線路と前記接地面の間に設けられた第３の可変容量を有する第３の可変容量手段と、
前記出力分岐伝送線路と前記接地面の間に設けられた第４の可変容量を有する第４の可変容量手段と、
所定の周波数範囲内の複数の周波数において、通過帯域の幅が所望の幅になるように前記第１の可変容量が変化させられ、前記分岐伝送線路の両端に接続された前記結合伝送線路と前記分岐伝送線路との電気長の和が１/４波長になるように前記第２の可変容量が変化させられ、前記入力分岐伝送線路と前記結合伝送線路の電気長の和が１/４波長になるように前記第３の可変容量が変化させられ、前記出力分岐伝送線路と前記結合伝送線路の電気長の和が１/４波長になるように前記第４の可変容量が変化させられる
可変バンドパスフィルタ。 (Appendix 7)
A plurality of coupled transmission lines extending from one end connected to the ground plane;
A branch transmission line that branches at the other end of each of the coupled transmission lines, and that sequentially connects the coupled transmission lines;
An input branch transmission line that branches off at the other end to which only one branch transmission line is connected, and extends to a first open end;
An output branch transmission line that branches at the other end to which only one branch transmission line is connected, and extends to a second open end;
First variable capacitance means having a first variable capacitance provided between each of the coupled transmission lines and the ground plane;
A second variable capacitor means having a second variable capacitor provided between the branch transmission line and the ground plane;
A third variable capacitance means having a third variable capacitance provided between the input branch transmission line and the ground plane;
A fourth variable capacitance means having a fourth variable capacitance provided between the output branch transmission line and the ground plane;
The first variable capacitor is changed so that a passband has a desired width at a plurality of frequencies within a predetermined frequency range, and the coupled transmission line connected to both ends of the branch transmission line; The second variable capacitor is changed so that the sum of the electrical lengths with the branch transmission line becomes ¼ wavelength, and the sum of the electrical lengths of the input branch transmission line and the coupled transmission line becomes ¼ wavelength. The third variable capacitor is changed so that the fourth variable capacitor is changed so that the sum of the electrical lengths of the output branch transmission line and the coupled transmission line is ¼ wavelength. Path filter.

（付記８）
付記７に記載の可変バンドパスフィルタにおいて、
更に、前記入力分岐伝送線路を信号入力端子に接続する第５の可変容量手段と、
前記出力分岐伝送線路を信号出力端子に接続する第６の可変容量手段と、
一端が前記信号入力端子に接続され、他端が前記信号出力端子に接続された第７の可変容量手段を有し、
前記信号入力端子が接続される外部回路に整合するように、前記第５の可変容量手段の容量値が変化させられ、
前記信号出力端子が接続される外部回路に整合するように、前記第６の可変容量手段の容量値が変化させられ、
前記通過帯域の両側に減衰極が形成されるように、前記第７の可変容量手段の容量値が変化させられることを、
特徴とする可変バンドパスフィルタ。 (Appendix 8)
In the variable bandpass filter according to attachment 7,
A fifth variable capacitance means for connecting the input branch transmission line to a signal input terminal;
Sixth variable capacitance means for connecting the output branch transmission line to a signal output terminal;
A seventh variable capacitance means having one end connected to the signal input terminal and the other end connected to the signal output terminal;
The capacitance value of the fifth variable capacitance means is changed to match the external circuit to which the signal input terminal is connected,
The capacitance value of the sixth variable capacitance means is changed to match the external circuit to which the signal output terminal is connected,
The capacitance value of the seventh variable capacitance means is changed so that attenuation poles are formed on both sides of the passband.
Characteristic variable bandpass filter.

（付記９）
接地面に接続された第１の一端から延在する第１の結合伝送線路と、前記接地面に接続された第２の一端から前記第１の結合伝送線路に沿って延在し、前記第１の結合伝送線路に電磁誘導結合する第２の結合伝送線路とを有する複数の結合伝送線路対と、
前記結合伝送線路対の前記第１の結合伝送線路の他端と他の前記結合伝送線路対の前記第２の結合伝送線路の他端を接続する延長伝送線路と、
前記延長伝送線路が接続されていない前記第１の結合伝送線路の他端から第１の開放端まで延長された入力延長伝送線路と、
前記延長伝送線路が接続されていない前記第２の結合伝送線路の他端から第２の開放端まで延長された出力延長伝送線路と、
前記入力延長伝送線路と前記接地面の間に設けられた第１の可変容量を有する第１の可変容量手段と、
前記出力延長伝送線路と前記接地面の間に設けられた第２の可変容量を有する第２の可変容量手段と、
前記延長伝送線路と前記接地面の間に設けられた第３の可変容量を有する第３の可変容量手段と、
前記第１の結合伝送線路と前記接地面の間に設けられた第４の可変容量を有する第４の可変容量手段と、
前記第２の結合伝送線路と前記接地面の間に設けられた第５の可変容量を有する第５の可変容量手段とを有し、
所定の周波数範囲内の複数の周波数において、通過帯域の幅が所望の幅になるように前記第４の可変容量及び前記第５の可変容量が変化させられ、前記入力延長伝送線路に接続された前記第１の結合伝送線路と前記入力延長伝送線路との電気長の和が１/４波長になるように前記第１の可変容量が変化させられ、前記出力延長伝送線路に接続された前記第２の結合伝送線路と前第出力延長伝送線路との電気長の和が１/４波長になるように前記第２の可変容量が変化させられ、前記第１の結合伝送線路と前記第２の結合伝送線路と前記延長伝送線路の電気長の和が１/４波長になるように前記第３の可変容量が変化させられる
可変バンドパスフィルタ。 (Appendix 9)
A first coupled transmission line extending from a first end connected to the ground plane; and a second coupled transmission line extending from the second end connected to the ground plane along the first coupled transmission line; A plurality of coupled transmission line pairs having a second coupled transmission line electromagnetically coupled to one coupled transmission line;
An extended transmission line connecting the other end of the first coupled transmission line of the coupled transmission line pair and the other end of the second coupled transmission line of the other coupled transmission line pair;
An input extended transmission line extended from the other end of the first coupled transmission line to which the extended transmission line is not connected to a first open end;
An output extended transmission line extended from the other end of the second coupled transmission line to which the extended transmission line is not connected to a second open end;
First variable capacitance means having a first variable capacitance provided between the input extension transmission line and the ground plane;
A second variable capacitance means having a second variable capacitance provided between the output extension transmission line and the ground plane;
Third variable capacitance means having a third variable capacitance provided between the extended transmission line and the ground plane;
A fourth variable capacitance means having a fourth variable capacitance provided between the first coupled transmission line and the ground plane;
A fifth variable capacitance means having a fifth variable capacitance provided between the second coupled transmission line and the ground plane;
At a plurality of frequencies within a predetermined frequency range, the fourth variable capacitor and the fifth variable capacitor are changed so that the width of the pass band becomes a desired width, and connected to the input extension transmission line. The first variable capacitor is changed so that the sum of the electrical lengths of the first coupled transmission line and the input extension transmission line becomes ¼ wavelength, and the first variable capacitor connected to the output extension transmission line is connected. The second variable capacitance is changed so that the sum of the electrical lengths of the two coupled transmission lines and the previous output extension transmission line is ¼ wavelength, and the first coupled transmission line and the second A variable band-pass filter in which the third variable capacitor is changed so that the sum of the electrical lengths of the coupled transmission line and the extended transmission line is 1/4 wavelength.

（付記１０）
付記９に記載の可変バンドパスフィルタにおいて、
更に、前記入力延長伝送線路を信号入力端子に接続する第６の可変容量手段と、
前記出力延長伝送線路を信号出力端子に接続する第７の可変容量手段と、
一端が前記信号入力端子に接続され、他端が前記信号出力端子に接続された第８の可変容量手段を有し、
前記信号入力端子が接続される外部回路に整合するように、前記第６の可変容量手段の容量値が変化させられ、
前記信号出力端子が接続される外部回路に整合するように、前記第７の可変容量手段の容量値が変化させられ、
前記通過帯域の両側に減衰極が形成されるように、前記第８の可変容量手段の容量値が変化させられることを、
特徴とする可変バンドパスフィルタ。 (Appendix 10)
In the variable bandpass filter according to attachment 9,
A sixth variable capacitance means for connecting the input extension transmission line to a signal input terminal;
Seventh variable capacitance means for connecting the output extension transmission line to a signal output terminal;
Having an eighth variable capacitance means having one end connected to the signal input terminal and the other end connected to the signal output terminal;
The capacitance value of the sixth variable capacitance means is changed to match the external circuit to which the signal input terminal is connected,
The capacitance value of the seventh variable capacitance means is changed to match the external circuit to which the signal output terminal is connected,
The capacitance value of the eighth variable capacitance means is changed so that attenuation poles are formed on both sides of the passband.
Characteristic variable bandpass filter.

（付記１１）
接地面に接続された一端から延在する結合伝送線路と、前記結合伝送線路の他端で分岐し第１の開放端まで延在する第１の分岐伝送線路と、前記他端で分岐し第２の開放端まで延在する第２の分岐伝送線路と、前記第１の分岐伝送線路と前記接地面の間に設けられた第１の可変容量を有する第１の可変容量手段と、前記第２の分岐伝送線路と前記接地面の間に設けられた第２の可変容量を有する第２の可変容量手段と、前記結合伝送線路と前記接地面の間に設けられた第３の可変容量を有する第３の可変容量手段とを有し、所定の周波数範囲内の複数の周波数において、通過帯域の幅が所望の幅になるように前記第３の可変容量が変化させられ、前記第１の分岐伝送線路と前記結合伝送線路の電気長の和が１/４波長になるように前記第１の可変容量が変化させられ、前記第２の分岐伝送線路と前記結合伝送線路の電気長の和が１/４波長になるように前記第２の可変容量が変化させられる可変バンドパスフィルタと、
前記第１の可変容量乃至第３の可変容量を変化させる駆動ユニットと、
前記可変バンドパスフィルタに信号を供給する信号供給ユニットと、
前記可変バンドパスフィルタの出力信号を処理する信号処理ユニットとを有する
通信装置。 (Appendix 11)
A coupled transmission line extending from one end connected to the ground plane, a first branched transmission line branched at the other end of the coupled transmission line and extending to a first open end, and branched at the other end A first branching transmission line extending to the open end of the first branching transmission line; a first variable capacitance means having a first variable capacitance provided between the first branching transmission line and the ground plane; A second variable capacitance means having a second variable capacitance provided between two branch transmission lines and the ground plane; and a third variable capacitance provided between the coupled transmission line and the ground plane. And a third variable capacitor means, wherein the third variable capacitor is changed so that the width of the pass band becomes a desired width at a plurality of frequencies within a predetermined frequency range. The first possible so that the sum of the electrical lengths of the branch transmission line and the coupled transmission line is ¼ wavelength. A variable band-pass filter in which the second variable capacitance is changed such that the variable capacitance is changed, and the sum of the electrical lengths of the second branch transmission line and the coupled transmission line is ¼ wavelength;
A drive unit for changing the first to third variable capacitors;
A signal supply unit for supplying a signal to the variable bandpass filter;
And a signal processing unit that processes an output signal of the variable bandpass filter.

（付記１２）
接地面に接続された一端から延在する複数の結合伝送線路と、それぞれの前記複数の結合伝送線路の他端で分岐し、前記複数の結合伝送線路を順次接続する分岐伝送線路と、前記分岐伝送線路が一本だけ接続された前記他端で分岐し、第１の開放端まで延在する入力分岐伝送線路と、前記分岐伝送線路が一本だけ接続された他の前記他端で分岐し、第２の開放端まで延在する出力分岐伝送線路と、それぞれの前記結合伝送線路と前記接地面の間に設けられた第１の可変容量を有する第１の可変容量手段と、前記分岐伝送線路と前記接地面の間に設けられた第２の可変容量を有する第２の可変容量手段と、前記入力分岐伝送線路と前記接地面の間に設けられた第３の可変容量を有する第３の可変容量手段と、前記出力分岐伝送線路と前記接地面の間に設けられた第４の可変容量を有する第４の可変容量手段と、所定の周波数範囲内の複数の周波数において、通過帯域の幅が所望の幅になるように前記第１の可変容量が変化させられ、前記分岐伝送線路と前記結合伝送線路の電気長の和が１/４波長になるように前記第２の可変容量が変化させられ、前記入力分岐伝送線路と前記結合伝送線路の電気長の和が１/４波長になるように前記第３の可変容量が変化させられ、前記出力分岐伝送線路と前記結合伝送線路の電気長の和が１/４波長になるように前記第４の可変容量が変化させられる可変バンドパスフィルタと、
前記第１の可変容量乃至第４の可変容量を変化させる駆動ユニットと、
前記可変バンドパスフィルタに信号を供給する信号供給ユニットと、
前記可変バンドパスフィルタの出力信号を処理する信号処理ユニットとを有する
通信装置。 (Appendix 12)
A plurality of coupled transmission lines extending from one end connected to the ground plane, a branch transmission line branching at the other end of each of the plurality of coupled transmission lines, and sequentially connecting the plurality of coupled transmission lines; and the branch Branches at the other end to which only one transmission line is connected, and branches at the other end to which an input branch transmission line extends to the first open end and the other end to which only one branch transmission line is connected. An output branch transmission line extending to a second open end, a first variable capacitance means having a first variable capacitance provided between each of the coupled transmission line and the ground plane, and the branch transmission. A second variable capacitance means having a second variable capacitance provided between a line and the ground plane; and a third variable capacitance having a third variable capacitance provided between the input branch transmission line and the ground plane. Variable capacitance means, the output branch transmission line and the ground plane A fourth variable capacitor means having a fourth variable capacitor provided therebetween, and the first variable capacitor having a desired passband width at a plurality of frequencies within a predetermined frequency range. And the second variable capacitor is changed so that the sum of the electrical lengths of the branch transmission line and the coupled transmission line is ¼ wavelength, and the electric power of the input branch transmission line and the coupled transmission line is changed. The third variable capacitor is changed so that the sum of the length becomes ¼ wavelength, and the fourth variable length is set so that the sum of the electrical lengths of the output branch transmission line and the coupled transmission line becomes ¼ wavelength. A variable bandpass filter whose variable capacitance can be changed,
A drive unit for changing the first to fourth variable capacitors;
A signal supply unit for supplying a signal to the variable bandpass filter;
And a signal processing unit that processes an output signal of the variable bandpass filter.

２・・・可変バンドパスフィルタ
４・・・接地面
１０・・・結合伝送線路
１８・・・第１の分岐伝送線路
２２・・・第２の分岐伝送線路
２４・・・第１の可変容量手段
２６・・・第２の可変容量手段
２８・・・第３の可変容量手段
３２・・・可動電極
３４・・・第３の駆動電極
４８・・・第４の可変容量手段
５２・・・第５の可変容量手段
５４・・・第６の可変容量手段
８２・・・可変バンドパスフィルタ
８３・・・可変バンドパスフィルタ
８４・・・線路側部電極
８６・・・可変バンドパスフィルタ
８８・・・可変バンドパスフィルタ
９２・・・可変バンドパスフィルタ
９５・・・可変バンドパスフィルタ
２００・・・可変バンドパスフィルタ
２０２・・・入力延長伝送線路
２０４・・・延長伝送線路
２０６・・・入力延長伝送線路
２０８・・・出力延長伝送線路 2 ... Variable bandpass filter 4 ... Ground plane 10 ... Coupled transmission line 18 ... First branch transmission line 22 ... Second branch transmission line 24 ... First variable capacitor Means 26 ... second variable capacity means 28 ... third variable capacity means 32 ... movable electrode 34 ... third drive electrode 48 ... fourth variable capacity means 52 ... Fifth variable capacitance means 54 ... sixth variable capacitance means 82 ... variable bandpass filter 83 ... variable bandpass filter 84 ... line side electrode 86 ... variable bandpass filter 88 ..Variable bandpass filter 92 ... Variable bandpass filter 95 ... Variable bandpass filter 200 ... Variable bandpass filter 202 ... Input extension transmission line 204 ... Extension transmission line 206 ... Input Extended transmission line 208 ... output extension transmission line

Claims (12)

接地面に接続された一端から延在する結合伝送線路と、
前記結合伝送線路の他端で分岐し第１の開放端まで延在する第１の分岐伝送線路と、
前記他端で分岐し第２の開放端まで延在する第２の分岐伝送線路と、
前記第１の分岐伝送線路との間に第１の間隔が設けられ且つ前記接地面に接続された第１の可動電極と、前記第１の可動電極に対向する第１の駆動電極とを備え、前記第１の分岐伝送線路と前記接地面の間に第１の可変容量を有する第１の可変容量手段と、
前記第２の分岐伝送線路との間に第２の間隔が設けられ且つ前記接地面に接続された第２の可動電極と、前記第２の可動電極に対向する第２の駆動電極とを備え、前記第２の分岐伝送線路と前記接地面の間に第２の可変容量を有する第２の可変容量手段と、
前記結合伝送線路との間に第３の間隔が設けられ且つ前記接地面に接続された第３の可動電極と、前記第３の可動電極に対向し前記第１の駆動電極および前記第２の駆動電極から分離された第３の駆動電極とを備え、前記結合伝送線路と前記接地面の間に第３の可変容量を有する第３の可変容量手段とを有し、
所定の周波数範囲内の複数の周波数において、通過帯域の幅が所望の幅になるように前記第３の可変容量が変化させられ、前記第１の分岐伝送線路と前記結合伝送線路の電気長の和が１/４波長になるように前記第１の可変容量が変化させられ、前記第２の分岐伝送線路と前記結合伝送線路の電気長の和が１/４波長になるように前記第２の可変容量が変化させられる
可変バンドパスフィルタ。 A coupled transmission line extending from one end connected to the ground plane;
A first branch transmission line that branches at the other end of the coupled transmission line and extends to a first open end;
A second branch transmission line that branches at the other end and extends to a second open end ;
A first movable electrode provided with a first space between the first branch transmission line and connected to the ground plane; and a first drive electrode facing the first movable electrode. , a pre-Symbol first branch transmission line and the first variable capacitance means having a first variable capacitance between the ground plane,
A second movable electrode provided with a second gap between the second branch transmission line and connected to the ground plane; and a second drive electrode facing the second movable electrode. a second variable capacitance means having a second variable capacitance before and Symbol second branch transmission lines between said ground plane,
A third movable electrode provided with a third space between the coupling transmission line and connected to the ground plane; the first driving electrode and the second movable electrode facing the third movable electrode; and a third drive electrode separated from the drive electrodes, the previous SL coupled transmission lines and a third variable capacitance means having a third variable capacitance between the ground plane,
At a plurality of frequencies within a predetermined frequency range, the third variable capacitor is changed so that the width of the passband becomes a desired width, and the electrical lengths of the first branch transmission line and the coupled transmission line are changed. The first variable capacitance is changed so that the sum becomes 1/4 wavelength, and the second electrical length of the second branch transmission line and the coupled transmission line becomes 1/4 wavelength. Variable bandpass filter that can change the variable capacitance. 接地面に接続された一端から延在する結合伝送線路と、
前記結合伝送線路の他端で分岐し第１の開放端まで延在する第１の分岐伝送線路と、
前記他端で分岐し第２の開放端まで延在する第２の分岐伝送線路と、
前記第１の分岐伝送線路の側面から突出した線路側部電極との間に第１の間隔が設けられ且つ前記接地面に接続された第１の可動電極と、前記第１の可動電極に対向する第１の駆動電極とを有し、前記第１の分岐伝送線路と前記接地面の間に第１の可変容量を有する第１の可変容量手段と、
前記第２の分岐伝送線路の側面から突出した線路側部電極との間に第２の間隔が設けられ且つ前記接地面に接続された第２の可動電極と、前記第２の可動電極に対向する第２の駆動電極とを有し、前記第２の分岐伝送線路と前記接地面の間に第２の可変容量を有する第２の可変容量手段と、
前記結合伝送線路の側面から突出した線路側部電極との間に第３の間隔が設けられ且つ前記接地面に接続された第３の可動電極と、前記第３の可動電極に対向し前記第１の駆動電極および前記第２の駆動電極から分離された第３の駆動電極とを有し、前記結合伝送線路と前記接地面の間に第３の可変容量を有する第３の可変容量手段とを有し、
所定の周波数範囲内の複数の周波数において、通過帯域の幅が所望の幅になるように前記第３の可変容量が変化させられ、前記第１の分岐伝送線路と前記結合伝送線路の電気長の和が１/４波長になるように前記第１の可変容量が変化させられ、前記第２の分岐伝送線路と前記結合伝送線路の電気長の和が１/４波長になるように前記第２の可変容量が変化させられる
可変バンドパスフィルタ。 A coupled transmission line extending from one end connected to the ground plane;
A first branch transmission line that branches at the other end of the coupled transmission line and extends to a first open end;
A second branch transmission line that branches at the other end and extends to a second open end;
A first movable electrode of the first interval is coupled to and said ground plane is provided between the front Symbol first side line side electrodes protruded from the branch transmission lines, the first movable electrode a first possess a driving electrode, a first variable capacitance means having a first variable capacitance between the ground plane and the first branch transmission line opposite to,
A second movable electrode second spacing is connected to and said ground plane is provided between the front Stories second side line side electrodes protruded from the branch transmission line, the second movable electrode a second have a driving electrode, a second variable capacitance means having a second variable capacitance between the ground plane and the second branch transmission lines facing the,
A third movable electrode third interval is connected to and said ground plane is provided between the front SL coupled transmission line path side electrodes protruded from the side surface of the pair toward the third movable electrode And a third variable electrode having a third variable capacitor between the coupled transmission line and the ground plane. The third variable electrode includes a third drive electrode separated from the first drive electrode and the second drive electrode. Capacity means,
At a plurality of frequencies within a predetermined frequency range, the third variable capacitor is changed so that the width of the passband becomes a desired width, and the electrical lengths of the first branch transmission line and the coupled transmission line are changed. The first variable capacitance is changed so that the sum becomes 1/4 wavelength, and the second electrical length of the second branch transmission line and the coupled transmission line becomes 1/4 wavelength. The variable capacity of can be changed
Variable bandpass filter. 請求項１又は２に記載の可変バンドパスフィルタにおいて、
更に、前記第１の分岐伝送線路を信号入力端子に接続する第４の可変容量手段と、
前記第２の分岐伝送線路を信号出力端子に接続する第５の可変容量手段と、
一端が前記信号入力端子に接続され、他端が前記信号出力端子に接続された第６の可変容量手段を有し、
前記信号入力端子が接続される外部回路に整合するように、前記第４の可変容量手段の容量値が変化させられ、
前記信号出力端子が接続される外部回路に整合するように、前記第５の可変容量手段の容量値が変化させられ、
前記通過帯域の両側に減衰極が形成されるように、前記第６の可変容量手段の容量値が変化させられることを、
特徴とする可変バンドパスフィルタ。 The variable bandpass filter according to claim 1 or 2 ,
A fourth variable capacitance means for connecting the first branch transmission line to a signal input terminal;
Fifth variable capacitance means for connecting the second branch transmission line to a signal output terminal;
A sixth variable capacitance means having one end connected to the signal input terminal and the other end connected to the signal output terminal;
The capacitance value of the fourth variable capacitance means is changed to match the external circuit to which the signal input terminal is connected,
The capacitance value of the fifth variable capacitance means is changed to match the external circuit to which the signal output terminal is connected,
Wherein As both sides attenuation pole in the pass band is formed, that the capacitance value of the sixth variable transformation amount means it is changed,
Characteristic variable bandpass filter. 接地面に接続された一端から延在する第１の結合伝送線路と、
前記第１の結合伝送線路の他端から第１の開放端まで延長された第１の延長伝送線路と、
前記接地面に接続された一端から前記第１の結合伝送線路に沿って延在し、前記第１の結合伝送線路に電磁誘導結合した第２の結合伝送線路と、
前記第２の結合伝送線路の他端から第２の開放端まで延長された第２の延長伝送線路と、
前記第１の延長伝送線路との間に第１の間隔が設けられ且つ前記接地面に接続された第１の可動電極と、前記第１の可動電極に対向する第１の駆動電極とを備え、前記第１の延長伝送線路と前記接地面の間に第１の可変容量を有する第１の可変容量手段と、
前記第２の延長伝送線路との間に第２の間隔が設けられ且つ前記接地面に接続された第２の可動電極と、前記第２の可動電極に対向する第２の駆動電極とを備え、前記第２の延長伝送線路と前記接地面の間に第２の可変容量を有する第２の可変容量手段と、
前記第１の結合伝送線路との間に第３の間隔が設けられ且つ前記接地面に接続された第３の可動電極と、前記第３の可動電極に対向し前記第１の駆動電極から分離された第３の駆動電極とを備え、前記第１の結合伝送線路と前記接地面の間に第３の可変容量を有する第３の可変容量手段と、
前記第２の結合伝送線路との間に第４の間隔が設けられ且つ前記接地面に接続された第４の可動電極と、前記第４の可動電極に対向し前記第２の駆動電極から分離された第４の駆動電極とを備え、前記第２の結合伝送線路と前記接地面の間に第４の可変容量を有する第４の可変容量手段とを有し、
所定の周波数範囲内の複数の周波数において、通過帯域の幅が所望の幅になるように前記第３の可変容量及び前記第４の可変容量が変化させられ、前記第１の延長伝送線路と前記第１の結合伝送線路の電気長の和が１/４波長になるように前記第１の可変容量が変化させられ、前記第２の延長伝送線路と前記第２の結合伝送線路の電気長の和が１/４波長になるように前記第２の可変容量が変化させられる
可変バンドパスフィルタ。 A first coupled transmission line extending from one end connected to the ground plane;
A first extended transmission line extended from the other end of the first coupled transmission line to a first open end;
A second coupled transmission line extending from the one end connected to the ground plane along the first coupled transmission line and electromagnetically coupled to the first coupled transmission line;
A second extended transmission line extended from the other end of the second coupled transmission line to a second open end ;
A first movable electrode provided with a first gap between the first extended transmission line and connected to the ground plane; and a first drive electrode facing the first movable electrode. , a pre-Symbol first extension transmission line and the first variable capacitance means having a first variable capacitance between the ground plane,
A second movable electrode provided with a second space between the second extended transmission line and connected to the ground plane; and a second drive electrode facing the second movable electrode. a second variable capacitance means having a second variable capacitance before and Symbol second extension transmission line between the ground plane,
A third movable electrode provided with a third gap between the first coupled transmission line and connected to the ground plane, and separated from the first drive electrode opposite to the third movable electrode a third variable capacitance means having a third and a drive electrode, the third variable capacitance between the front Symbol first coupled transmission line the ground surface that is,
A fourth movable electrode provided with a fourth gap between the second coupled transmission line and connected to the ground plane; and opposed to the fourth movable electrode and separated from the second drive electrode. And a fourth variable capacitance means having a fourth variable capacitance between the second coupled transmission line and the ground plane,
At a plurality of frequencies within a predetermined frequency range, the third variable capacitor and the fourth variable capacitor are changed so that the width of a pass band becomes a desired width, and the first extension transmission line and the The first variable capacitance is changed so that the sum of the electrical lengths of the first coupled transmission line is ¼ wavelength, and the electrical lengths of the second extended transmission line and the second coupled transmission line are A variable band-pass filter in which the second variable capacitance is changed so that the sum becomes 1/4 wavelength. 接地面に接続された一端から延在する複数の結合伝送線路と、
それぞれの前記結合伝送線路の他端で分岐し、前記結合伝送線路を順次接続する分岐伝送線路と、
前記分岐伝送線路が一本だけ接続された前記他端で分岐し、第１の開放端まで延在する入力分岐伝送線路と、
前記分岐伝送線路が一本だけ接続された他の前記他端で分岐し、第２の開放端まで延在する出力分岐伝送線路と、
それぞれの前記結合伝送線路との間に第１の間隔が設けられ且つ前記接地面に接続された第１の可動電極と、前記第１の可動電極に対向する第１の駆動電極とを備え、それぞれの前記結合伝送線路と前記接地面の間に第１の可変容量を有する第１の可変容量手段と、
前記分岐伝送線路との間に第２の間隔が設けられ且つ前記接地面に接続された第２の可動電極と、前記第２の可動電極に対向し前記第１の駆動電極から分離された第２の駆動電極とを備え、前記分岐伝送線路と前記接地面の間に第２の可変容量を有する第２の可変容量手段と、
前記入力分岐伝送線路との間に第３の間隔が設けられ且つ前記接地面に接続された第３の可動電極と、前記第３の可動電極に対向し前記第１の駆動電極から分離された第３の駆動電極とを備え、前記入力分岐伝送線路と前記接地面の間に第３の可変容量を有する第３の可変容量手段と、
前記出力分岐伝送線路との間に第４の間隔が設けられ且つ前記接地面に接続された第４の可動電極と、前記第４の可動電極に対向し前記第１の駆動電極から分離された第４の駆動電極とを備え、前記出力分岐伝送線路と前記接地面の間に第４の可変容量を有する第４の可変容量手段とを有し、
所定の周波数範囲内の複数の周波数において、通過帯域の幅が所望の幅になるように前記第１の可変容量が変化させられ、前記分岐伝送線路の両端に接続された前記結合伝送線路と前記分岐伝送線路との電気長の和が１/２波長になるように前記第２の可変容量が変化させられ、前記入力分岐伝送線路と前記結合伝送線路の電気長の和が１/４波長になるように前記第３の可変容量が変化させられ、前記出力分岐伝送線路と前記結合伝送線路の電気長の和が１/４波長になるように前記第４の可変容量が変化させられる
可変バンドパスフィルタ。 A plurality of coupled transmission lines extending from one end connected to the ground plane;
A branch transmission line that branches at the other end of each of the coupled transmission lines, and that sequentially connects the coupled transmission lines;
An input branch transmission line that branches off at the other end to which only one branch transmission line is connected, and extends to a first open end;
The branch transmission line is branched at the other second end that is connected by single, and an output branch transmission line extends to a second open end,
A first movable electrode provided with a first gap between each of the coupled transmission lines and connected to the ground plane; and a first drive electrode facing the first movable electrode; a first variable capacitance means having a first variable capacitance between its said coupled transmission lines respectively of the ground plane,
A second movable electrode provided with a second gap between the branch transmission line and connected to the ground plane; and a second movable electrode opposed to the second movable electrode and separated from the first drive electrode. and a second driving electrode, and the second variable capacitance means having a second variable capacitance before and Symbol branch transmission line between the ground plane,
A third movable electrode provided between the input branch transmission line and the third movable electrode connected to the ground plane; and opposed to the third movable electrode and separated from the first drive electrode. a third variable capacitance means having a third variable capacitance to a third and a drive electrode, between the entering-force branch transmission line of said ground plane,
A fourth movable electrode provided between the output branch transmission line and the fourth movable electrode connected to the ground plane; and opposed to the fourth movable electrode and separated from the first drive electrode. and a fourth driving electrode, and the pre-SL output branch transmission lines and a fourth variable capacitance means having a fourth variable capacitance between the ground plane,
A plurality of frequencies within Jo Tokoro frequency range, wherein as the width of the passband is desired width first variable capacitance is varied, and the branch transmission line the coupling transmission line connected to both ends of the wherein is the second variable capacitance varied as the sum of the electrical length of the branch transmission line is 1/2-wave length, the sum of the electrical length of the input branch transmission line and the coupled transmission line is 1/4 The third variable capacitor is changed so as to have a wavelength, and the fourth variable capacitor is changed so that the sum of the electrical lengths of the output branch transmission line and the coupled transmission line becomes 1/4 wavelength. Variable bandpass filter. 請求項５に記載の可変バンドパスフィルタにおいて、
更に、前記入力分岐伝送線路を信号入力端子に接続する第５の可変容量手段と、
前記出力分岐伝送線路を信号出力端子に接続する第６の可変容量手段と、
一端が前記信号入力端子に接続され、他端が前記信号出力端子に接続された第７の可変容量手段を有し、
前記信号入力端子が接続される外部回路に整合するように、前記第５の可変容量手段の容量値が変化させられ、
前記信号出力端子が接続される外部回路に整合するように、前記第６の可変容量手段の容量値が変化させられ、
前記通過帯域の両側に減衰極が形成されるように、前記第７の可変容量手段の容量値が変化させられることを、
特徴とする可変バンドパスフィルタ。 The variable bandpass filter according to claim 5 ,
A fifth variable capacitance means for connecting the input branch transmission line to a signal input terminal;
Sixth variable capacitance means for connecting the output branch transmission line to a signal output terminal;
A seventh variable capacitance means having one end connected to the signal input terminal and the other end connected to the signal output terminal;
The capacitance value of the fifth variable capacitance means is changed to match the external circuit to which the signal input terminal is connected,
The capacitance value of the sixth variable capacitance means is changed to match the external circuit to which the signal output terminal is connected,
The capacitance value of the seventh variable capacitance means is changed so that attenuation poles are formed on both sides of the passband.
Characteristic variable bandpass filter. 接地面に接続された一端から延在する結合伝送線路と、前記結合伝送線路の他端で分岐し第１の開放端まで延在する第１の分岐伝送線路と、前記他端で分岐し第２の開放端まで延在する第２の分岐伝送線路と、前記第１の分岐伝送線路との間に第１の間隔が設けられ且つ前記接地面に接続された第１の可動電極と前記第１の可動電極に対向する第１の駆動電極とを備え前記第１の分岐伝送線路と前記接地面の間に第１の可変容量を有する第１の可変容量手段と、前記第２の分岐伝送線路との間に第２の間隔が設けられ且つ前記接地面に接続された第２の可動電極と前記第２の可動電極に対向する第２の駆動電極とを備え前記第２の分岐伝送線路と前記接地面の間に第２の可変容量を有する第２の可変容量手段と、前記結合伝送線路との間に第３の間隔が設けられ且つ前記接地面に接続された第３の可動電極と前記第３の可動電極に対向し前記第１の駆動電極および前記第２の駆動電極から分離された第３の駆動電極とを備え前記結合伝送線路と前記接地面の間に第３の可変容量を有する第３の可変容量手段とを有し、所定の周波数範囲内の複数の周波数において、通過帯域の幅が所望の幅になるように前記第３の可変容量が変化させられ、前記第１の分岐伝送線路と前記結合伝送線路の電気長の和が１/４波長になるように前記第１の可変容量が変化させられ、前記第２の分岐伝送線路と前記結合伝送線路の電気長の和が１/４波長になるように前記第２の可変容量が変化させられる可変バンドパスフィルタと、
前記第１の可変容量乃至前記第３の可変容量を変化させる駆動ユニットと、
前記可変バンドパスフィルタに信号を供給する信号供給ユニットと、
前記可変バンドパスフィルタの出力信号を処理する信号処理ユニットとを有する
通信装置。 A coupled transmission line extending from one end connected to the ground plane, a first branched transmission line branched at the other end of the coupled transmission line and extending to a first open end, and branched at the other end A first movable electrode connected to the ground plane and having a first interval between the second branch transmission line extending to the open end of the second branch transmission line and the first branch transmission line; a first variable capacitance means having a first variable capacitance between the ground plane and the front Symbol first branch transmission line and a first driving electrode facing the first movable electrode, the second branch second second facing the second movable electrode and the second movable electrode spacing is connected to and the ground surface provided with drive electrodes and the branch before Symbol second comprises a between the transmission line a second variable capacitance means having a second variable capacitance between the ground plane and the transmission line, first between the coupled transmission line A third movable electrode connected to the ground plane and a third drive electrode facing the third movable electrode and separated from the first drive electrode and the second drive electrode and a third variable capacitance means having a third variable capacitance between the front SL coupled transmission line the ground plane comprising the door, at a plurality of frequencies within a predetermined frequency range, the width of the passband desired The first variable capacitor is changed so that the sum of the electrical lengths of the first branch transmission line and the coupled transmission line becomes ¼ wavelength. A variable bandpass filter that is changed and the second variable capacitance is changed so that the sum of the electrical lengths of the second branch transmission line and the coupled transmission line is ¼ wavelength;
A drive unit for changing the first variable capacitance乃optimum said third variable capacitance,
A signal supply unit for supplying a signal to the variable bandpass filter;
And a signal processing unit that processes an output signal of the variable bandpass filter. 接地面に接続された一端から延在する複数の結合伝送線路と、A plurality of coupled transmission lines extending from one end connected to the ground plane;
それぞれの前記結合伝送線路の他端で分岐し、前記結合伝送線路を順次接続する分岐伝送線路と、A branch transmission line that branches at the other end of each of the coupled transmission lines, and that sequentially connects the coupled transmission lines;
前記分岐伝送線路が一本だけ接続された前記他端で分岐し、第１の開放端まで延在する入力分岐伝送線路と、An input branch transmission line that branches off at the other end to which only one branch transmission line is connected, and extends to a first open end;
前記分岐伝送線路が一本だけ接続された他の前記他端で分岐し、第２の開放端まで延在する出力分岐伝送線路と、An output branch transmission line that branches at the other end to which only one branch transmission line is connected, and extends to a second open end;
それぞれの前記結合伝送線路との間に第１の間隔が設けられ且つ前記接地面に接続された第１の可動電極と、前記第１の可動電極に対向する第１の駆動電極とを備え、それぞれの前記結合伝送線路と前記接地面の間に第１の可変容量を有する第１の可変容量手段と、A first movable electrode provided with a first gap between each of the coupled transmission lines and connected to the ground plane; and a first drive electrode facing the first movable electrode; First variable capacitance means having a first variable capacitance between each of the coupled transmission lines and the ground plane;
前記分岐伝送線路との間に第２の間隔が設けられ且つ前記接地面に接続された第２の可動電極と、前記第２の可動電極に対向し前記第１の駆動電極から分離された第２の駆動電極とを備え、前記分岐伝送線路と前記接地面の間に第２の可変容量を有する第２の可変容量手段とを有し、A second movable electrode provided with a second gap between the branch transmission line and connected to the ground plane; and a second movable electrode opposed to the second movable electrode and separated from the first drive electrode. Two drive electrodes, and having a second variable capacitance means having a second variable capacitance between the branch transmission line and the ground plane,
前記入力分岐伝送線路との間に第３の間隔が設けられ且つ前記接地面に接続された第３の可動電極と、前記第３の可動電極に対向し前記第１の駆動電極から分離された第３の駆動電極とを備え、前記入力分岐伝送線路と前記接地面の間に第３の可変容量を有する第３の可変容量手段と、A third movable electrode provided between the input branch transmission line and the third movable electrode connected to the ground plane; and opposed to the third movable electrode and separated from the first drive electrode. A third variable capacitance means comprising a third drive electrode, and having a third variable capacitance between the input branch transmission line and the ground plane;
前記出力分岐伝送線路との間に第４の間隔が設けられ且つ前記接地面に接続された第４の可動電極と、前記第４の可動電極に対向し前記第１の駆動電極から分離された第４の駆動電極とを備え、前記出力分岐伝送線路と前記接地面の間に第４の可変容量を有する第４の可変容量手段と、A fourth movable electrode provided between the output branch transmission line and the fourth movable electrode connected to the ground plane; and opposed to the fourth movable electrode and separated from the first drive electrode. A fourth variable capacitance means comprising a fourth drive electrode, and having a fourth variable capacitance between the output branch transmission line and the ground plane;
所定の周波数範囲内の複数の周波数において、通過帯域の幅が所望の幅になるように前記第１の可変容量が変化させられ、前記分岐伝送線路の両端に接続された前記結合伝送線路と前記分岐伝送線路との電気長の和が前記第２の可変容量手段により変化させられ、前記入力分岐伝送線路と前記結合伝送線路の電気長の和が１/４波長になるように前記第３の可変容量が変化させられ、前記出力分岐伝送線路と前記結合伝送線路の電気長の和が１/４波長になるように前記第４の可変容量が変化させられるThe first variable capacitor is changed so that a passband has a desired width at a plurality of frequencies within a predetermined frequency range, and the coupled transmission line connected to both ends of the branch transmission line; The third electrical length of the branch transmission line is changed by the second variable capacitance means, and the third electrical length of the input branch transmission line and the combined transmission line is ¼ wavelength. The variable capacitor is changed, and the fourth variable capacitor is changed so that the sum of the electrical lengths of the output branch transmission line and the coupled transmission line becomes 1/4 wavelength.
可変バンドパスフィルタ。Variable bandpass filter. 請求項１に記載の可変バンドパスフィルタにおいて、The variable bandpass filter according to claim 1, wherein
前記第１の分岐伝送線路と前記第２の分岐伝送線路の境界に、切り欠き部が設けられていることを、A notch is provided at the boundary between the first branch transmission line and the second branch transmission line.
特徴とする可変バンドパスフィルタ。Characteristic variable bandpass filter. 請求項５又は８に記載の可変バンドパスフィルタにおいて、The variable bandpass filter according to claim 5 or 8,
前記入力分岐伝送線路と前記分岐伝送線路の第１の境界に、第１の切り欠き部が設けられ、At the first boundary between the input branch transmission line and the branch transmission line, a first notch is provided,
前記分岐伝送線路同士の第２の境界に、第２の切り欠き部が設けられ、A second notch is provided at the second boundary between the branched transmission lines,
前記分岐伝送線路と前記出力分岐伝送線路の第３の境界に、第３の切り欠き部が設けられていることを、A third notch is provided at a third boundary between the branch transmission line and the output branch transmission line;
特徴とする可変バンドパスフィルタ。Characteristic variable bandpass filter. 請求項７に記載の通信装置において、The communication device according to claim 7.
前記第１の分岐伝送線路と前記第２の分岐伝送線路の境界に、切り欠き部が設けられていることを、A notch is provided at the boundary between the first branch transmission line and the second branch transmission line.
特徴とする通信装置。A communication device. 接地面に接続された一端から延在する第１の結合伝送線路と、A first coupled transmission line extending from one end connected to the ground plane;
前記第１の結合伝送線路の他端から第１の開放端まで延長された第１の延長伝送線路と、A first extended transmission line extended from the other end of the first coupled transmission line to a first open end;
前記接地面に接続された一端から前記第１の結合伝送線路に沿って延在し、前記第１の結合伝送線路に電磁誘導結合した第２の結合伝送線路と、A second coupled transmission line extending from the one end connected to the ground plane along the first coupled transmission line and electromagnetically coupled to the first coupled transmission line;
前記第２の結合伝送線路の他端から第２の開放端まで延長された第２の延長伝送線路と、A second extended transmission line extended from the other end of the second coupled transmission line to a second open end;
前記第１の延長伝送線路の側面から突出した線路側部電極との間に第１の間隔が設けられ且つ前記接地面に接続された第１の可動電極と、前記第１の可動電極に対向する第１の駆動電極とを備え、前記第１の延長伝送線路と前記接地面の間に第１の可変容量を有する第１の可変容量手段と、A first movable electrode connected to the ground plane and facing the first movable electrode, the first movable electrode being provided with a first gap between the first electrode and the line side electrode protruding from the side surface of the first extended transmission line; First variable capacitance means having a first variable capacitance between the first extended transmission line and the ground plane;
前記第２の延長伝送線路の側面から突出した線路側部電極との間に第２の間隔が設けられ且つ前記接地面に接続された第２の可動電極と、前記第２の可動電極に対向する第２の駆動電極とを備え、前記第２の延長伝送線路と前記接地面の間に第２の可変容量を有する第２の可変容量手段と、A second movable electrode connected to the ground plane and facing the second movable electrode, with a second gap provided between the line side electrode protruding from the side surface of the second extended transmission line; A second variable capacitance means having a second variable capacitance between the second extended transmission line and the ground plane;
前記第１の結合伝送線路の側面から突出した線路側部電極との間に第３の間隔が設けられ且つ前記接地面に接続された第３の可動電極と、前記第３の可動電極に対向し前記第１の駆動電極から分離された第３の駆動電極とを備え、前記第１の結合伝送線路と前記接地面の間に第３の可変容量を有する第３の可変容量手段と、A third movable electrode connected to the ground plane, and facing the third movable electrode, with a third gap provided between a line side electrode projecting from a side surface of the first coupled transmission line; And a third variable capacitance means having a third variable capacitance between the first coupled transmission line and the ground plane, the third variable capacitance means comprising a third drive electrode separated from the first drive electrode,
前記第２の結合伝送線路の側面から突出した線路側部電極との間に第４の間隔が設けられ且つ前記接地面に接続された第４の可動電極と、前記第４の可動電極に対向し前記第２の駆動電極から分離された第４の駆動電極とを備え、前記第２の結合伝送線路と前記接地面の間に第４の可変容量を有する第４の可変容量手段とを有し、A fourth movable electrode connected to the ground plane, and facing the fourth movable electrode, with a fourth gap provided between the line side electrode protruding from the side surface of the second coupled transmission line; And a fourth drive electrode separated from the second drive electrode, and having a fourth variable capacitor means having a fourth variable capacitor between the second coupled transmission line and the ground plane. And
所定の周波数範囲内の複数の周波数において、通過帯域の幅が所望の幅になるように前記第３の可変容量及び前記第４の可変容量が変化させられ、前記第１の延長伝送線路と前記第１の結合伝送線路の電気長の和が１/４波長になるように前記第１の可変容量が変化させられ、前記第２の延長伝送線路と前記第２の結合伝送線路の電気長の和が１/４波長になるように前記第２の可変容量が変化させられるAt a plurality of frequencies within a predetermined frequency range, the third variable capacitor and the fourth variable capacitor are changed so that the width of a pass band becomes a desired width, and the first extension transmission line and the The first variable capacitance is changed so that the sum of the electrical lengths of the first coupled transmission line is ¼ wavelength, and the electrical lengths of the second extended transmission line and the second coupled transmission line are The second variable capacitor can be changed so that the sum becomes 1/4 wavelength.
可変バンドパスフィルタ。Variable bandpass filter.
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