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JP5619475B2 - SUBSTRATE FOR SOLID ELECTROLYTIC CAPACITOR AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME, SINGLE PANEL SOLID ELECTROLYTIC CAPACITOR ELEMENT AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME - Google Patents
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JP5619475B2 - SUBSTRATE FOR SOLID ELECTROLYTIC CAPACITOR AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME, SINGLE PANEL SOLID ELECTROLYTIC CAPACITOR ELEMENT AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME - Google Patents

SUBSTRATE FOR SOLID ELECTROLYTIC CAPACITOR AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME, SINGLE PANEL SOLID ELECTROLYTIC CAPACITOR ELEMENT AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME Download PDF

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Description

本発明は、固体電解コンデンサ用基材およびその製造方法、単板固体電解コンデンサ素子およびその製造方法、並びに積層型固体電解コンデンサおよびその製造方法に関する。   The present invention relates to a substrate for a solid electrolytic capacitor and a method for producing the same, a single plate solid electrolytic capacitor element and a method for producing the same, and a multilayer solid electrolytic capacitor and a method for producing the same.

積層型固体電解コンデンサは、複数の単板固体電解コンデンサ素子が積層されることによって構成されており、単板固体電解コンデンサ素子は、陽極部領域と陰極部領域とが絶縁性樹脂材によって電気的に絶縁された固体電解コンデンサ用基材と、その陰極部領域の表面に順に形成された固体電解質層および陰極接続部とを備えている。   A multilayer solid electrolytic capacitor is configured by laminating a plurality of single-plate solid electrolytic capacitor elements. In a single-plate solid electrolytic capacitor element, an anode region and a cathode region are electrically insulated by an insulating resin material. And a solid electrolyte layer and a cathode connection portion formed in this order on the surface of the cathode region.

即ち、積層型固体電解コンデンサでは、複数の単板固体電解コンデンサ素子が積層され、積層方向に隣り合う陰極接続部同士が互いに接合されるとともに、陰極端子が、いずれかの陰極接続部に接続される一方、陽極端子が、積層方向に並ぶ陽極部領域と接続されている(例えば、特許文献1参照)。   That is, in a multilayer solid electrolytic capacitor, a plurality of single-plate solid electrolytic capacitor elements are stacked, cathode connection portions adjacent in the stacking direction are joined together, and a cathode terminal is connected to one of the cathode connection portions. On the other hand, the anode terminal is connected to the anode portion region arranged in the stacking direction (see, for example, Patent Document 1).

このような積層型固体電解コンデンサに用いられる従来の固体電解コンデンサ用基材の一例について、図5を用いて説明する。
図5(a)は、従来の固体電解コンデンサ用基材の一例を模式的に示す断面図であり、(b)は、その平面図である。
An example of a conventional solid electrolytic capacitor substrate used for such a multilayer solid electrolytic capacitor will be described with reference to FIG.
Fig.5 (a) is sectional drawing which shows typically an example of the base material for conventional solid electrolytic capacitors, (b) is the top view.

固体電解コンデンサ用基材80は、基材81と、基材81の表面にエッチングにより形成されたエッチング層82と、基材81における陽極部領域80Aと陰極部領域80Cとの間に設けられ、陽極部領域80Aと陰極部領域80Cとを電気的に絶縁する絶縁性樹脂材83とを備えている。エッチング層82は、多孔質化されているため、エッチング層82の表面に設けられた絶縁性樹脂材83は、図中、矢印により示すように、エッチング層82内に拡散している。   The solid electrolytic capacitor substrate 80 is provided between the substrate 81, the etching layer 82 formed by etching on the surface of the substrate 81, and the anode region 80A and the cathode region 80C in the substrate 81, An insulating resin material 83 that electrically insulates the anode region 80A and the cathode region 80C is provided. Since the etching layer 82 is made porous, the insulating resin material 83 provided on the surface of the etching layer 82 is diffused into the etching layer 82 as shown by arrows in the drawing.

なお、陽極部領域80Aは、陽極端子(図示せず)または他の陽極部領域(図示せず)が接続される領域である。陰極部領域80Cは、その表面に固体電解質層(図示せず)と陰極接続部(図示せず)とが順に形成される領域である。陽極部領域80Aと陰極部領域80Cとは、絶縁性樹脂材83によって区分され、陰極部領域80Cと絶縁性樹脂材83とは、隣接している。これに対し、陽極部領域80Aと絶縁性樹脂材83とは、隣接しておらず、陽極部領域80Aと絶縁性樹脂材83との間には、スペース80Sが設けられている。スペース80Sの幅は、例えば、1000〜1500μmである。   The anode portion region 80A is a region to which an anode terminal (not shown) or another anode portion region (not shown) is connected. The cathode portion region 80C is a region where a solid electrolyte layer (not shown) and a cathode connecting portion (not shown) are formed in order on the surface. The anode part region 80A and the cathode part region 80C are separated by an insulating resin material 83, and the cathode part region 80C and the insulating resin material 83 are adjacent to each other. On the other hand, the anode region 80A and the insulating resin material 83 are not adjacent to each other, and a space 80S is provided between the anode region 80A and the insulating resin material 83. The width of the space 80S is 1000 to 1500 μm, for example.

また、従来の固体電解コンデンサ用基材としては、例えば、表面にエッチング層を有し、陽極部領域と陰極部領域との間のエッチング層の少なくとも一部が除去され、除去により形成された凹部に絶縁性樹脂材が充填された固体電解コンデンサ用基材がある(例えば、特許文献2参照)。   In addition, as a conventional solid electrolytic capacitor substrate, for example, an etching layer is formed on the surface, and at least part of the etching layer between the anode part region and the cathode part region is removed, and a recess formed by the removal. There is a base for a solid electrolytic capacitor filled with an insulating resin material (see, for example, Patent Document 2).

この固体電解コンデンサ用基材について、図6を用いて説明する。
図6(a)は、従来の固体電解コンデンサ用基材の一例を模式的に示す断面図であり、(b)は、その平面図である。
固体電解コンデンサ用基材90は、基材91と、エッチング層92と、絶縁性樹脂材93とを備えている。また、陽極部領域90Aと陰極部領域90Cとは、絶縁性樹脂材93によって区分され、陰極部領域90Cと絶縁性樹脂材93とは、隣接している。
The base material for a solid electrolytic capacitor will be described with reference to FIG.
FIG. 6A is a cross-sectional view schematically showing an example of a conventional solid electrolytic capacitor substrate, and FIG. 6B is a plan view thereof.
The solid electrolytic capacitor base material 90 includes a base material 91, an etching layer 92, and an insulating resin material 93. The anode portion region 90A and the cathode portion region 90C are separated by an insulating resin material 93, and the cathode portion region 90C and the insulating resin material 93 are adjacent to each other.

以上の点において、固体電解コンデンサ用基材90は、固体電解コンデンサ用基材80と同様であるが、エッチング層92に形成された凹部94に絶縁性樹脂材93が充填されている点において、固体電解コンデンサ90は、固体電解コンデンサ用基材80と異なっている。   In the above points, the solid electrolytic capacitor base material 90 is the same as the solid electrolytic capacitor base material 80, except that the recesses 94 formed in the etching layer 92 are filled with the insulating resin material 93. The solid electrolytic capacitor 90 is different from the solid electrolytic capacitor substrate 80.

凹部94に絶縁性樹脂材93が充填されることにより、陰極部領域90Cの表面に固体電解質層(図示せず)を形成する際、重合溶液が陽極部領域90A側に侵入する所謂這い上がりを防止することができる。   By filling the concave portion 94 with the insulating resin material 93, when forming a solid electrolyte layer (not shown) on the surface of the cathode portion region 90C, the so-called scooping that the polymerization solution enters the anode portion region 90A side is prevented. Can be prevented.

上述した固体電解コンデンサ用基材90においても、固体電解コンデンサ用基材80と同様に、陽極部領域90Aと絶縁性樹脂材93とは、隣接しておらず、陽極部領域90Aと絶縁性樹脂材93との間には、スペース90Sが設けられている。   Also in the solid electrolytic capacitor substrate 90 described above, similarly to the solid electrolytic capacitor substrate 80, the anode region 90A and the insulating resin material 93 are not adjacent to each other, and the anode region 90A and the insulating resin are not adjacent to each other. A space 90 </ b> S is provided between the material 93.

図5および図6に示したように、陽極部領域と絶縁性樹脂材との間に、スペースを設けることにより、絶縁性樹脂材が陽極部領域まで拡散して陽極部における接続不良が生じることを防止することができる。   As shown in FIG. 5 and FIG. 6, by providing a space between the anode portion region and the insulating resin material, the insulating resin material diffuses to the anode portion region, resulting in poor connection in the anode portion. Can be prevented.

特開2007−180327号公報JP 2007-180327 A 国際公開第2006/137482号パンフレットInternational Publication No. 2006/137482 Pamphlet

しかしながら、陽極部領域と絶縁性樹脂材との間にスペースを設けると、その分、陰極部領域が狭くなるため、コンデンサの静電容量を確保できないという問題があった。
また、絶縁性樹脂材が設けられた部分には、固体電解質層を形成することができないので、絶縁性樹脂材が設けられた部分は、静電容量を発現しない。従って、絶縁性樹脂材の塗布量はできる限り少ないことが好ましい。
従来から、コンデンサでは、小形化および大容量化が求められており、そのような点からみて、従来の固体電解コンデンサ用基材には、まだ改善の余地があった。
However, if a space is provided between the anode part region and the insulating resin material, the cathode part region is reduced by that amount, and there is a problem that the capacitance of the capacitor cannot be secured.
In addition, since the solid electrolyte layer cannot be formed in the portion provided with the insulating resin material, the portion provided with the insulating resin material does not develop a capacitance. Therefore, it is preferable that the coating amount of the insulating resin material is as small as possible.
Conventionally, a capacitor has been required to be reduced in size and increased in capacity. In view of such a point, there is still room for improvement in a conventional solid electrolytic capacitor substrate.

本発明は、固体電解質の這い上がりと接続不良の発生とを防止しつつ、小形化および大容量化を図ることが可能な固体電解コンデンサ用基材およびその製造方法、単板固体電解コンデンサ素子およびその製造方法、並びに積層型固体電解コンデンサおよびその製造方法を提供することを目的とする。   The present invention relates to a solid electrolytic capacitor base material capable of reducing the size and increasing the capacity while preventing the solid electrolyte from creeping up and causing poor connection, a method for manufacturing the same, a single plate solid electrolytic capacitor element, and An object of the present invention is to provide a manufacturing method thereof, a multilayer solid electrolytic capacitor, and a manufacturing method thereof.

本発明は、上述した課題を解決するために、以下の構成を採用する。
(1) 表面にエッチング層を有し、陽極部領域と陰極部領域との間のエッチング層が除去されることによりエッチング層除去領域が形成された基材と、
前記エッチング層除去領域の前記陽極部領域側の縁に接しないように、前記エッチング層除去領域の前記陽極部領域側の縁よりも前記陰極部領域側に設けられ、前記陽極部領域と前記陰極部領域とを電気的に絶縁する絶縁性樹脂材と
を備え、
前記エッチング層除去領域は、凹部であり、
前記エッチング層除去領域の縁は、前記凹部と前記エッチング層との接辺、および前記凹部の側壁からなり、
前記凹部の底面は、前記基材の表面に沿って形成されており、
前記絶縁性樹脂材は、前記エッチング層の陰極部領域と、前記凹部の底面のみに接するように設けられていることを特徴とする固体電解コンデンサ用基材。
The present invention employs the following configuration in order to solve the above-described problems.
(1) A substrate having an etching layer on the surface and having an etching layer removal region formed by removing the etching layer between the anode region and the cathode region;
Provided closer to the cathode part region side than the edge of the etching layer removal region on the anode part region side so as not to contact the edge of the etching layer removal region on the anode part region side, and the anode part region and the cathode An insulating resin material that electrically insulates the partial area,
The etching layer removal region is a recess,
The edge of the etching layer removal region consists of a contact side between the recess and the etching layer, and a side wall of the recess,
The bottom surface of the recess is formed along the surface of the substrate ;
The base material for a solid electrolytic capacitor, wherein the insulating resin material is provided so as to be in contact with only the cathode region of the etching layer and the bottom surface of the recess .

(1)の構成によれば、陽極部領域と陰極部領域との間のエッチング層が除去されることにより、エッチング層除去領域が形成されており、絶縁性樹脂材が、そのエッチング層除去領域の陽極部領域側の縁に接しないように、エッチング層除去領域の陽極部領域側の縁よりも陰極部領域側に設けられており、それにより、陽極部領域と陰極部領域とが電気的に絶縁されている。
従って、エッチング層除去領域によって、絶縁性樹脂材の陽極部領域へ向かう拡散を遮断することができるので、陽極部領域と絶縁性樹脂材との間に広いスペースを確保する必要がなく、絶縁性樹脂材の塗布量を少なくすることができる。従って、コンデンサの小形化および大容量化を図ることができる。
また、エッチング層除去領域によって、絶縁性樹脂材の陽極部領域へ向かう拡散を遮断することができるので、接続不良の発生を防止することができる。
更に、エッチング層除去領域と絶縁性樹脂材との組合せによって、固体電解質を形成する際の重合溶液の這い上がりを確実に防止することができる。
従って、(1)の固体電解コンデンサ用基材によれば、固体電解質を形成する際の重合溶液の這い上がりと陽極部の接続不良の発生とを防止しつつ、小形化および大容量化を図ることができる。
According to the structure of (1), the etching layer removal area | region is formed by removing the etching layer between an anode part area | region and a cathode part area | region, and an insulating resin material is the etching layer removal area | region. The etching layer removal region is provided closer to the cathode portion region side than the edge of the etching layer removal region so that the anode portion region and the cathode portion region are electrically connected. Is insulated.
Therefore, since the diffusion of the insulating resin material toward the anode region can be blocked by the etching layer removal region, it is not necessary to secure a wide space between the anode region and the insulating resin material. The amount of resin material applied can be reduced. Accordingly, the size and capacity of the capacitor can be reduced.
Moreover, since the diffusion of the insulating resin material toward the anode region can be blocked by the etching layer removal region, it is possible to prevent the occurrence of poor connection.
Further, the combination of the etching layer removal region and the insulating resin material can surely prevent the polymerization solution from rising when forming the solid electrolyte.
Therefore, according to the solid electrolytic capacitor base material of (1), it is possible to reduce the size and increase the capacity while preventing the rising of the polymerization solution and the occurrence of poor connection of the anode part when forming the solid electrolyte. be able to.

本発明は、さらに、以下の構成を採用することができる。
(2) (1)の固体電解コンデンサ用基材であって、
前記絶縁性樹脂材が、前記エッチング層除去領域よりも前記陰極部領域側に設けられている。
The present invention can further employ the following configurations.
(2) The substrate for a solid electrolytic capacitor according to (1),
The insulating resin material is provided closer to the cathode part region than the etching layer removal region.

(2)の構成によれば、絶縁性樹脂材の陽極部領域へ向かう拡散をより確実に遮断することができるので、接続不良の発生をより確実に防止することができる。   According to the configuration of (2), since the diffusion of the insulating resin material toward the anode region can be more reliably blocked, the occurrence of poor connection can be more reliably prevented.

本発明は、さらに、以下の構成を採用することができる。
(3) (1)の固体電解コンデンサ用基材であって、
前記絶縁性樹脂材が、前記エッチング層除去領域に接しないように設けられている。
The present invention can further employ the following configurations.
(3) The solid electrolytic capacitor base material of (1),
The insulating resin material is provided so as not to contact the etching layer removal region.

(3)の構成によれば、絶縁性樹脂材の陽極部領域へ向かう拡散をより確実に遮断することができるので、接続不良の発生をより確実に防止することができる。   According to the configuration of (3), since the diffusion of the insulating resin material toward the anode region can be more reliably blocked, the occurrence of poor connection can be more reliably prevented.

本発明は、さらに、以下の構成を採用することができる。
(4) (1)〜(3)のいずれか1の固体電解コンデンサ用基材であって、
前記絶縁性樹脂材が、前記エッチング層除去領域と前記エッチング層との接辺に接するように設けられている。
The present invention can further employ the following configurations.
(4) The solid electrolytic capacitor base material according to any one of (1) to (3),
The insulating resin material is provided in contact with a contact side between the etching layer removal region and the etching layer.

(4)の構成によれば、絶縁性樹脂材とエッチング層除去領域との距離ができる限り短縮されているので、コンデンサの小形化および大容量化を図ることが可能である。   According to the configuration of (4), since the distance between the insulating resin material and the etching layer removal region is shortened as much as possible, it is possible to reduce the size and capacity of the capacitor.

本発明は、さらに、以下の構成を採用することができる。
(5) (1)〜(4)のいずれか1の固体電解コンデンサ用基材であって、
前記エッチング層除去領域における前記エッチング層の厚みが、前記エッチング層除去領域以外の前記エッチング層の厚みを1とした場合、0〜0.5である。
The present invention can further employ the following configurations.
(5) The solid electrolytic capacitor base material according to any one of (1) to (4),
The thickness of the etching layer in the etching layer removal region is 0 to 0.5 when the thickness of the etching layer other than the etching layer removal region is 1.

(5)の構成によれば、絶縁性樹脂材の陽極部領域へ向かう拡散をより確実に遮断することができるので、接続不良の発生をより確実に防止することができる。更に、固体電解質の這い上がりも、より確実に防止することができる。   According to the configuration of (5), since the diffusion of the insulating resin material toward the anode region can be more reliably blocked, the occurrence of connection failure can be more reliably prevented. Furthermore, the creeping of the solid electrolyte can be prevented more reliably.

本発明は、さらに、以下の構成を採用することができる。
(6) (1)〜(5)のいずれか1の固体電解コンデンサ用基材であって、
前記エッチング層除去領域は、前記エッチング層に対するレーザ光の照射により形成されている。
The present invention can further employ the following configurations.
(6) The solid electrolytic capacitor base material according to any one of (1) to (5),
The etching layer removal region is formed by irradiating the etching layer with laser light.

(6)の構成によれば、狭いエッチング層除去領域が精密に形成されるので、固体電解質の這い上がりおよび接続不良の発生をより確実に防止しつつ、コンデンサの小形化および大容量化を図ることができる。   According to the configuration of (6), since the narrow etching layer removal region is precisely formed, the capacitor can be reduced in size and increased in capacity while more reliably preventing the solid electrolyte from creeping up and the occurrence of poor connection. be able to.

本発明は、上述した課題を解決するために、以下の構成を採用する。
(7) (1)〜(6)のいずれか1の固体電解コンデンサ用基材と、
前記固体電解コンデンサ用基材の前記陰極部領域に設けられた誘電体酸化皮膜および固体電解質層と、
前記固体電解質層の上層に形成された陰極接続部と
を備える単板固体電解コンデンサ素子。
The present invention employs the following configuration in order to solve the above-described problems.
(7) The substrate for a solid electrolytic capacitor according to any one of (1) to (6) ;
A dielectric oxide film and a solid electrolyte layer provided in the cathode region of the substrate for the solid electrolytic capacitor;
A single plate solid electrolytic capacitor element comprising: a cathode connection portion formed on an upper layer of the solid electrolyte layer.

(7)の構成によれば、固体電解質の這い上がりと接続不良の発生とを防止しつつ、コンデンサの小形化および大容量化を図ることができる。
なお、単板固体電解コンデンサ素子は、単独で用いられ、単板型固体電解コンデンサとされてもよく、複数積層され、積層型固体電解コンデンサとされてもよい。
According to the configuration of (7) , it is possible to reduce the size and increase the capacity of the capacitor while preventing the solid electrolyte from creeping up and causing poor connection.
The single plate solid electrolytic capacitor element may be used alone and may be a single plate solid electrolytic capacitor, or a plurality of single plate solid electrolytic capacitor elements may be stacked to form a stacked solid electrolytic capacitor.

本発明は、上述した課題を解決するために、以下の構成を採用する。
(8) (7)の単板固体電解コンデンサ素子が複数積層されて構成された積層型固体電解コンデンサ。
The present invention employs the following configuration in order to solve the above-described problems.
(8) A multilayer solid electrolytic capacitor configured by laminating a plurality of single-plate solid electrolytic capacitor elements of (7) .

(8)の構成によれば、固体電解質を形成する際、重合溶液の這い上がりと陽極部の接続不良の発生とを防止しつつ、コンデンサの小形化および大容量化を図ることができる。 According to the configuration of (8) , when forming the solid electrolyte, it is possible to reduce the size and increase the capacity of the capacitor while preventing the polymerization solution from rising and the occurrence of poor connection of the anode portion.

本発明は、上述した課題を解決するために、以下の構成を採用する。
(9) エッチングにより表面にエッチング層が形成された基材における陽極部領域と陰極部領域との間の前記エッチング層を除去することにより、エッチング層除去領域を形成する工程(A)と、
前記エッチング層除去領域の前記陽極部領域側の縁に接しないように、前記エッチング層除去領域の前記陽極部領域側の縁よりも前記陰極部領域側に、絶縁性樹脂材を設けることにより、前記陽極部領域と前記陰極部領域とを電気的に絶縁する工程(B)と
を含み、
前記エッチング層除去領域は、凹部であり、
前記エッチング層除去領域の縁は、前記凹部と前記エッチング層との接辺、および前記凹部の側壁からなり、
前記凹部の底面は、前記基材の表面に沿って形成されており、
前記絶縁性樹脂材は、前記エッチング層の陰極部領域と、前記凹部の底面のみに接するように設けられている固体電解コンデンサ用基材の製造方法。

The present invention employs the following configuration in order to solve the above-described problems.
(9) a step (A) of forming an etching layer removal region by removing the etching layer between the anode region and the cathode region in the base material having an etching layer formed on the surface by etching;
By providing an insulating resin material on the cathode part region side rather than the edge on the anode part region side of the etching layer removal region so as not to contact the edge on the anode part region side of the etching layer removal region, And (B) electrically insulating the anode part region and the cathode part region,
The etching layer removal region is a recess,
The edge of the etching layer removal region consists of a contact side between the recess and the etching layer, and a side wall of the recess,
The bottom surface of the recess is formed along the surface of the substrate ;
The said insulating resin material is a manufacturing method of the base material for solid electrolytic capacitors provided so that only the cathode part area | region of the said etching layer and the bottom face of the said recessed part may be contact | connected .

(9)の構成によれば、陽極部領域と陰極部領域との間のエッチング層を除去することにより、エッチング層除去領域を形成し、絶縁性樹脂材を、そのエッチング層除去領域の陽極部領域側の縁に接しないように、エッチング層除去領域の陽極部領域側の縁よりも陰極部領域側に設け、それにより、陽極部領域と陰極部領域とを電気的に絶縁する。
従って、エッチング層除去領域によって、絶縁性樹脂材の陽極部領域へ向かう拡散を遮断することができるので、陽極部領域と絶縁性樹脂材との間に広いスペースを確保する必要がなく、絶縁性樹脂材の塗布量を少なくすることができる。従って、コンデンサの小形化および大容量化を図ることができる。
また、エッチング層除去領域によって、絶縁性樹脂材の陽極部領域へ向かう拡散を遮断することができるので、接続不良の発生を防止することができる。
更に、エッチング層除去領域と絶縁性樹脂材との組合せによって、固体電解質を形成する際、重合溶液の這い上がりを確実に防止することができる。
従って、(9)の方法によれば、固体電解質を形成する際、重合溶液の這い上がりと接続不良の発生とを防止しつつ、コンデンサの小形化および大容量化を図ることができる。
According to the structure of (9) , the etching layer removal area | region is formed by removing the etching layer between an anode part area | region and a cathode part area | region, and an insulating resin material is made into the anode part of the etching layer removal area | region. In order not to contact the edge on the region side, the etching layer removal region is provided closer to the cathode portion region than the edge on the anode portion region side, thereby electrically insulating the anode portion region and the cathode portion region.
Therefore, since the diffusion of the insulating resin material toward the anode region can be blocked by the etching layer removal region, it is not necessary to secure a wide space between the anode region and the insulating resin material. The amount of resin material applied can be reduced. Accordingly, the size and capacity of the capacitor can be reduced.
Moreover, since the diffusion of the insulating resin material toward the anode region can be blocked by the etching layer removal region, it is possible to prevent the occurrence of poor connection.
Further, the combination of the etching layer removal region and the insulating resin material can surely prevent the polymerization solution from creeping up when the solid electrolyte is formed.
Therefore, according to the method (9) , when forming the solid electrolyte, it is possible to reduce the size and increase the capacity of the capacitor while preventing the polymerization solution from creeping up and the occurrence of poor connection.

本発明は、さらに、以下の構成を採用することができる。
(10) (9)の固体電解コンデンサ用基材の製造方法であって、
前記(B)工程において、前記絶縁性樹脂材を、前記エッチング層除去領域よりも前記陰極部領域側に設ける。
The present invention can further employ the following configurations.
(10) A method for producing a base material for a solid electrolytic capacitor according to (9) ,
In the step (B), the insulating resin material is provided closer to the cathode portion region than the etching layer removal region.

(10)の構成によれば、絶縁性樹脂材の陽極部領域へ向かう拡散をより確実に遮断することができるので、接続不良の発生をより確実に防止することができる。 According to the configuration of (10) , since the diffusion of the insulating resin material toward the anode region can be more reliably blocked, the occurrence of poor connection can be more reliably prevented.

本発明は、さらに、以下の構成を採用することができる。
(11) (9)の固体電解コンデンサ用基材の製造方法であって、
前記(B)工程において、前記絶縁性樹脂材が前記エッチング層除去領域に接しないように、前記絶縁性樹脂材を設ける。
The present invention can further employ the following configurations.
(11) A method for producing a substrate for a solid electrolytic capacitor according to (9) ,
In the step (B), the insulating resin material is provided so that the insulating resin material does not contact the etching layer removal region.

(11)の構成によれば、絶縁性樹脂材の陽極部領域へ向かう拡散をより確実に遮断することができるので、接続不良の発生をより確実に防止することができる。 According to the configuration of (11) , since the diffusion of the insulating resin material toward the anode region can be more reliably blocked, the occurrence of poor connection can be more reliably prevented.

本発明は、さらに、以下の構成を採用することができる。
(12) (9)(11)のいずれか1の固体電解コンデンサ用基材の製造方法であって、
前記(B)工程において、前記絶縁性樹脂材を、前記エッチング層除去領域と前記エッチング層との接辺に接するように設ける。
The present invention can further employ the following configurations.
(12) A method for producing a substrate for a solid electrolytic capacitor according to any one of (9) to (11) ,
In the step (B), the insulating resin material is provided so as to be in contact with a contact side between the etching layer removal region and the etching layer.

(12)の構成によれば、絶縁性樹脂材とエッチング層除去領域との距離をできる限り短縮することができるので、コンデンサの小形化および大容量化を図ることが可能である。 According to the configuration of (12) , since the distance between the insulating resin material and the etching layer removal region can be shortened as much as possible, it is possible to reduce the size and capacity of the capacitor.

本発明は、さらに、以下の構成を採用することができる。
(13) (9)(12)のいずれか1の固体電解コンデンサ用基材の製造方法であって、
前記(A)工程において、前記エッチング層除去領域における前記エッチング層の厚みが、前記エッチング層除去領域以外の前記エッチング層の厚みを1として、0〜0.5となるように、前記エッチング層の除去を行う。
The present invention can further employ the following configurations.
(13) (9) It is a manufacturing method of the base material for solid electrolytic capacitors in any one of (12) ,
In the step (A), the thickness of the etching layer in the etching layer removal region is set to 0 to 0.5 so that the thickness of the etching layer other than the etching layer removal region is 1 to 0 to 0.5. Perform removal.

(13)の構成によれば、絶縁性樹脂材の陽極部領域へ向かう拡散をより確実に遮断することができるので、接続不良の発生をより確実に防止することができる。更に、固体電解質の這い上がりも、より確実に防止することができる。 According to the configuration of (13) , since the diffusion of the insulating resin material toward the anode region can be more reliably blocked, the occurrence of poor connection can be more reliably prevented. Furthermore, the creeping of the solid electrolyte can be prevented more reliably.

本発明は、さらに、以下の構成を採用することができる。
(14) (9)(13)のいずれか1の固体電解コンデンサ用基材の製造方法であって、
前記(A)工程における前記エッチング層の除去を、レーザ光の照射により行う。
The present invention can further employ the following configurations.
(14) (9) It is a manufacturing method of the base material for solid electrolytic capacitors of any one of (13) ,
The removal of the etching layer in the step (A) is performed by laser light irradiation.

(14)の構成によれば、狭いエッチング層除去領域を精密に形成することができるので、固体電解質の這い上がりおよび接続不良の発生をより確実に防止しつつ、コンデンサの小形化および大容量化を図ることができる。 According to the configuration of (14) , since the narrow etching layer removal region can be formed precisely, the capacitor can be reduced in size and increased in capacity while more reliably preventing the solid electrolyte from creeping up and the occurrence of poor connection. Can be achieved.

本発明は、上述した課題を解決するために、以下の構成を採用する。
(15) (9)(14)のいずれか1の製造方法により形成された固体電解コンデンサ用基材の前記陰極部領域に、誘電体酸化皮膜および固体電解質層を順次設ける工程と、
前記固体電解質層の上層に陰極引出層を形成する工程と
を含む単板固体電解コンデンサ素子の製造方法。
The present invention employs the following configuration in order to solve the above-described problems.
(15) A step of sequentially providing a dielectric oxide film and a solid electrolyte layer in the cathode region of the base for a solid electrolytic capacitor formed by the manufacturing method of any one of (9) to (14) ;
And a step of forming a cathode lead layer on the solid electrolyte layer.

(15)の構成によれば、固体電解質を形成する際、重合溶液の這い上がりと陽極部の接続不良の発生とを防止しつつ、コンデンサの小形化および大容量化を図ることができる。 According to the configuration of (15) , when forming the solid electrolyte, it is possible to reduce the size and increase the capacity of the capacitor while preventing the polymerization solution from creeping and the occurrence of poor connection of the anode part.

本発明は、上述した課題を解決するために、以下の構成を採用する。
(16) (15)の製造方法により製造された単板固体電解コンデンサ素子を複数積層する工程
を含む積層型固体電解コンデンサの製造方法。
The present invention employs the following configuration in order to solve the above-described problems.
(16) A method for producing a multilayer solid electrolytic capacitor, comprising a step of laminating a plurality of single-plate solid electrolytic capacitor elements produced by the production method according to (15) .

(16)の構成によれば、固体電解質を形成する際、重合溶液の這い上がりと陽極部の接続不良の発生とを防止しつつ、コンデンサの小形化および大容量化を図ることができる。
According to the configuration of (16) , when forming the solid electrolyte, it is possible to reduce the size and increase the capacity of the capacitor while preventing the polymerization solution from creeping up and the occurrence of poor connection of the anode part.

本発明によれば、固体電解質を形成する際、重合溶液の這い上がりと陽極部の接続不良の発生とを防止しつつ、コンデンサの小形化および大容量化を図ることができる。   According to the present invention, when forming the solid electrolyte, it is possible to reduce the size and increase the capacity of the capacitor while preventing the polymerization solution from rising and the occurrence of poor connection of the anode portion.

(a)は、本発明の一実施形態に係る固体電解コンデンサ用基材を模式的に示す断面図であり、(b)は、その平面図である。(A) is sectional drawing which shows typically the base material for solid electrolytic capacitors which concerns on one Embodiment of this invention, (b) is the top view. (a)は、図1に示した固体電解コンデンサ用基材のエッチング層除去領域付近の部分拡大断面図であり、(b)〜(f)は、それぞれ、本発明の固体電解コンデンサ用基材の他の例におけるエッチング層除去領域付近の部分拡大断面図である。(A) is a partial expanded sectional view near the etching layer removal area | region of the base material for solid electrolytic capacitors shown in FIG. 1, (b)-(f) is the base material for solid electrolytic capacitors of this invention, respectively. It is a partial expanded sectional view near the etching layer removal area | region in other examples. (a)は、本発明の一実施形態に係る単板固体電解コンデンサ素子を模式的に示す断面図であり、(b)は、その平面図である。(A) is sectional drawing which shows typically the single-plate solid electrolytic capacitor element which concerns on one Embodiment of this invention, (b) is the top view. (a)、(b)は、それぞれ、本発明の一実施形態に係る積層型固体電解コンデンサを模式的に示す断面図である。(A), (b) is sectional drawing which each shows typically the lamination type solid electrolytic capacitor concerning one embodiment of the present invention. (a)は、従来の固体電解コンデンサ用基材の一例を模式的に示す断面図であり、(b)は、その平面図である。(A) is sectional drawing which shows typically an example of the base material for conventional solid electrolytic capacitors, (b) is the top view. (a)は、従来の固体電解コンデンサ用基材の一例を模式的に示す断面図であり、(b)は、その平面図である。(A) is sectional drawing which shows typically an example of the base material for conventional solid electrolytic capacitors, (b) is the top view.

以下、本発明の実施の形態について添付図面に基づき詳細に説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

<固体電解コンデンサ用基材>
図1(a)は、本発明の一実施形態に係る固体電解コンデンサ用基材を模式的に示す断面図であり、(b)は、その平面図である。
<Base material for solid electrolytic capacitors>
Fig.1 (a) is sectional drawing which shows typically the base material for solid electrolytic capacitors which concerns on one Embodiment of this invention, (b) is the top view.

固体電解コンデンサ用基材10は、アルミニウム製の基材11と、基材11の表面にエッチングにより形成されたエッチング層12と、基材11における陽極部領域10Aと陰極部領域10Cとの間に設けられ、陽極部領域10Aと陰極部領域10Cとを電気的に絶縁する絶縁性樹脂材13とを備えている。基材11における陽極部領域10Aと陰極部領域10Cとの間には、エッチング層12が除去されることにより、凹部(エッチング層除去領域)14が形成されている。絶縁性樹脂材13は、凹部14よりも陰極部領域10C側において、凹部14に隣接するように設けられている。ここで、凹部14の幅は、例えば、100〜500μmである。   The solid electrolytic capacitor substrate 10 includes an aluminum substrate 11, an etching layer 12 formed by etching on the surface of the substrate 11, and an anode region 10A and a cathode region 10C in the substrate 11. And an insulating resin material 13 that electrically insulates the anode region 10A and the cathode region 10C from each other. A recess (etching layer removal region) 14 is formed between the anode portion region 10 </ b> A and the cathode portion region 10 </ b> C in the base material 11 by removing the etching layer 12. The insulating resin material 13 is provided so as to be adjacent to the recess 14 on the cathode part region 10 </ b> C side with respect to the recess 14. Here, the width | variety of the recessed part 14 is 100-500 micrometers, for example.

エッチング層12は、エッチングによる電気化学的処理で多孔質化されているため、エッチング層12の表面に設けられた絶縁性樹脂材13は、図中、矢印により示すように、毛細管現象によって、エッチング層12内に拡散し、その一部は基材11まで到達している。しかし、絶縁性樹脂材13よりも陽極部領域10A側におけるエッチング層12には、絶縁性樹脂材13に隣接するように、凹部14が形成されているので、絶縁性樹脂材13は、陽極部領域10A側に拡散することがない。従って、陽極部領域10Aにおける陽極端子(図示せず)または他の陽極部領域(図示せず)との接続不良の発生を防止することができる。   Since the etching layer 12 is made porous by electrochemical treatment by etching, the insulating resin material 13 provided on the surface of the etching layer 12 is etched by capillary action as indicated by arrows in the figure. It diffuses into the layer 12 and part of it reaches the substrate 11. However, since the concave portion 14 is formed in the etching layer 12 on the anode portion region 10A side of the insulating resin material 13 so as to be adjacent to the insulating resin material 13, the insulating resin material 13 has the anode portion. There is no diffusion toward the region 10A. Therefore, it is possible to prevent the occurrence of poor connection with the anode terminal (not shown) or the other anode part region (not shown) in the anode part region 10A.

このような固体電解コンデンサ用基材10の製造方法について説明する。
まず、基材11の表面をエッチングすることにより電気化学的に粗面化し、基材11の表面にエッチング層12を形成する。ここで、更に、例えば、アジピン酸アンモニウム水溶液中で10Vの電圧を印加して約60分間陽極酸化を行い、表面に酸化皮膜層(図示せず)を形成しておくことが好ましい。
A method for producing such a solid electrolytic capacitor substrate 10 will be described.
First, the surface of the base material 11 is etched to be electrochemically roughened, and the etching layer 12 is formed on the surface of the base material 11. Here, for example, it is preferable to apply a voltage of 10 V in an aqueous solution of ammonium adipate and perform anodization for about 60 minutes to form an oxide film layer (not shown) on the surface.

次に、エッチング層12(酸化被膜層が形成されている場合、酸化皮膜層を含む。以下同じ)に対して、レーザ光を照射し、エッチング層12を除去することにより、凹部14を形成する(工程(A))。工程(A)においては、凹部14におけるエッチング層12の厚みが、凹部14以外のエッチング層12の厚みを1として、0〜0.5となるように、エッチング層12の除去を行うことが好ましい。
続いて、絶縁性樹脂材13を、凹部14よりも陰極部領域10C側において、凹部14に隣接するようにかつ周方向に巻き付けるように塗布し、陽極部領域10Aと陰極部領域10Cとを区分する(工程(B))。絶縁性樹脂材13を塗布する位置は、凹部14の陽極部領域10A側の縁15A(図2参照)に接しないで、かつ凹部14の陽極部領域10Aの縁15Aよりも陰極部領域10C側であれば、特に限定されない。絶縁性樹脂材13の好ましい位置については、後に図2を用いて詳述する。工程(A)、(B)により、固体電解コンデンサ用基材10が完成する。
Next, the etching layer 12 (including the oxide film layer when an oxide film layer is formed, the same applies hereinafter) is irradiated with laser light, and the etching layer 12 is removed to form the recess 14. (Step (A)). In the step (A), it is preferable to remove the etching layer 12 so that the thickness of the etching layer 12 in the recess 14 is 0 to 0.5, where the thickness of the etching layer 12 other than the recess 14 is 1. .
Subsequently, the insulating resin material 13 is applied on the side of the cathode region 10C from the recess 14 so as to be adjacent to the recess 14 and wound in the circumferential direction, and the anode region 10A and the cathode region 10C are separated. (Step (B)). The position where the insulating resin material 13 is applied is not in contact with the edge 15A (see FIG. 2) of the concave portion 14 on the anode portion region 10A side, and is closer to the cathode portion region 10C than the edge 15A of the anode portion region 10A of the concave portion 14. If it is, it will not be specifically limited. The preferred position of the insulating resin material 13 will be described in detail later with reference to FIG. Through the steps (A) and (B), the solid electrolytic capacitor substrate 10 is completed.

次に、本発明に係る固体電解コンデンサ用基材における凹部(エッチング層除去領域)および絶縁性樹脂材の態様について、より具体的に説明する。
図2(a)は、図1に示した固体電解コンデンサ用基材の凹部付近の部分拡大断面図であり、(b)〜(f)は、それぞれ、本発明の固体電解コンデンサ用基材の他の例における凹部付近の部分拡大断面図である。なお、図2(b)〜(f)においては、図2(a)と同様の構成については、図2(a)と同様の符号を付し、その説明を省略することにする。
Next, the aspect of the recessed part (etching layer removal area | region) and insulating resin material in the base material for solid electrolytic capacitors which concerns on this invention is demonstrated more concretely.
2 (a) is a partially enlarged cross-sectional view of the solid electrolytic capacitor substrate shown in FIG. 1 in the vicinity of the recess, and (b) to (f) are respectively the solid electrolytic capacitor substrate of the present invention. It is a partial expanded sectional view of the recessed part vicinity in another example. 2 (b) to 2 (f), components similar to those in FIG. 2 (a) are denoted by the same reference numerals as those in FIG. 2 (a), and description thereof is omitted.

図2(a)において、凹部14は、エッチング層12を貫通し、基材11に達するように形成されている。換言すれば、凹部14におけるエッチング層12の厚みが、凹部14以外のエッチング層12の厚みを1として、0である。図中、16Aは、凹部14とエッチング層12との陽極部領域10A側の接辺を指し、17Aは、凹部14の陽極部領域側10A側の側壁を指し、本発明において、凹部14の陽極部領域10A側の縁15Aは、接辺16Aと側壁17Aとからなる。同様に、16Cは、凹部14とエッチング層12との陰極部領域10C側の接辺を指し、17Cは、凹部14の陰極部領域側10C側の側壁を指し、本発明において、凹部14の陰極部領域10C側の縁15Cは、接辺16Cと側壁17Cとからなる。   In FIG. 2A, the recess 14 is formed so as to penetrate the etching layer 12 and reach the substrate 11. In other words, the thickness of the etching layer 12 in the recess 14 is 0, where the thickness of the etching layer 12 other than the recess 14 is 1. In the figure, 16A indicates the contact side of the concave portion 14 and the etching layer 12 on the anode portion region 10A side, and 17A indicates the side wall of the concave portion 14 on the anode portion region side 10A side. The edge 15A on the partial region 10A side is composed of a contact side 16A and a side wall 17A. Similarly, 16C indicates the contact side of the concave portion 14 and the etching layer 12 on the cathode portion region 10C side, and 17C indicates the side wall of the concave portion 14 on the cathode portion region side 10C side. The edge 15C on the side of the partial region 10C includes a contact side 16C and a side wall 17C.

絶縁性樹脂材13は、凹部14の陽極部領域10A側の縁15Aに接しないように、凹部14の陽極部領域10Aの縁15Aよりも陰極部領域10C側に設けられ、陽極部領域10Aと陰極部領域10Cとを電気的に絶縁している。絶縁性樹脂材13は、凹部14よりも陰極部領域10C側に設けられている。絶縁性樹脂材13は、凹部14と接しておらず、凹部14とエッチング層12との陰極部領域10C側の接辺16Cと接している。絶縁性樹脂材13の幅は、例えば、300〜1000μmであることが好ましい。ここで、絶縁性樹脂材13の幅は、エッチング層12との接触面における、陽極部領域10Aから陰極部領域10Cへ向かう方向に沿った幅をいう。   The insulating resin material 13 is provided closer to the cathode portion region 10C than the edge 15A of the anode portion region 10A of the recess 14 so as not to contact the edge 15A of the recess 14 on the anode portion region 10A side. The cathode part region 10C is electrically insulated. The insulating resin material 13 is provided closer to the cathode portion region 10 </ b> C than the recess 14. The insulating resin material 13 is not in contact with the recess 14, but is in contact with the contact side 16 </ b> C on the cathode portion region 10 </ b> C side between the recess 14 and the etching layer 12. The width of the insulating resin material 13 is preferably, for example, 300 to 1000 μm. Here, the width of the insulating resin material 13 refers to the width along the direction from the anode region 10 </ b> A toward the cathode region 10 </ b> C on the contact surface with the etching layer 12.

次に、図2(b)に示す態様について説明する。
図2(b)に示す態様は、絶縁性樹脂材23と接辺16Cとの間に間隔Wが設けられている点で、図2(a)に示す態様と異なっている。このように、絶縁性樹脂材23と接辺16Cとの間隔Wを空ける場合においては、間隔Wは、300μm以下であることが好ましく、100μm以下であることがより好ましい。300μm以下の範囲であれば、小形化および大容量化を妨げることなく、陽極部の接続不良の発生および固体電解質を形成する際、重合溶液の這い上がりをより確実に防止し得る。
Next, the mode shown in FIG. 2B will be described.
The mode shown in FIG. 2B is different from the mode shown in FIG. 2A in that a gap W is provided between the insulating resin material 23 and the contact side 16C. Thus, in the case where the interval W between the insulating resin material 23 and the contact side 16C is provided, the interval W is preferably 300 μm or less, and more preferably 100 μm or less. Within the range of 300 μm or less, the occurrence of poor connection of the anode part and the formation of the solid electrolyte can be more reliably prevented without disturbing the reduction in size and increase in capacity.

次に、図2(c)に示す態様について説明する。
図2(c)に示す態様は、絶縁性樹脂材33が、凹部14の縁15Cに沿って垂れ下がり、凹部14の底面(基材11の表面)に到達している点で、図2(a)に示す態様と異なっている。このように、本発明においては、凹部14の縁15Aと接していなければ、凹部14内に絶縁性樹脂材33が一部入っていてもよい。
Next, the aspect shown in FIG.
2C is that the insulating resin material 33 hangs down along the edge 15C of the recess 14 and reaches the bottom surface of the recess 14 (the surface of the substrate 11). ) Is different from the embodiment shown in FIG. Thus, in the present invention, the insulating resin material 33 may be partially included in the recess 14 as long as it is not in contact with the edge 15 </ b> A of the recess 14.

凹部14内に絶縁性樹脂材33が入る場合、凹部14は、基材11に達するように形成されていることが好ましい。多孔質化されたエッチング層12が全て除去されているので、多孔質化されたエッチング層12を介して絶縁性樹脂材13が陽極部領域10Aまで拡散して到達することを防止できるからである。   When the insulating resin material 33 enters the recess 14, the recess 14 is preferably formed so as to reach the base material 11. This is because all of the porous etching layer 12 has been removed, so that the insulating resin material 13 can be prevented from diffusing and reaching the anode region 10A through the porous etching layer 12. .

次に、図2(d)に示す態様について説明する。
図2(d)に示す態様は、凹部44が基材11に達しないように形成されている点で、図2(a)に示す態様と異なっている。図中、凹部44の陽極部領域10A側の縁45Aは、接辺46Aと側壁47Aとからなり、凹部44の陰極部領域10C側の縁45Cは、接辺46Cと側壁47Cとからなる。
Next, the mode shown in FIG.
The mode illustrated in FIG. 2D is different from the mode illustrated in FIG. 2A in that the concave portion 44 is formed so as not to reach the base material 11. In the drawing, an edge 45A on the anode portion region 10A side of the recess 44 is composed of a contact side 46A and a side wall 47A, and an edge 45C on the cathode portion region 10C side of the recess 44 is composed of a contact side 46C and a side wall 47C.

図2(d)に示すように、絶縁性樹脂材13が凹部44よりも陰極部領域側10C側に設けられ、絶縁性樹脂材13と凹部44とが接していない場合には、凹部44は基材11に達するように形成されていなくても、陽極部の接続不良の発生および固体電解質を形成する際、重合溶液の這い上がりを防止することができる。   As shown in FIG. 2D, when the insulating resin material 13 is provided closer to the cathode portion region side 10C than the concave portion 44 and the insulating resin material 13 and the concave portion 44 are not in contact, the concave portion 44 is Even if it is not formed so as to reach the base material 11, it is possible to prevent the polymerization solution from creeping up when the anode portion is poorly connected and the solid electrolyte is formed.

また、このように、絶縁性樹脂材13と凹部44とが接しておらず、かつ凹部44が基材11に達しないように形成されている場合において、凹部44におけるエッチング層12の厚みは、凹部44以外のエッチング層12の厚みを1とした場合、0を超え、かつ0.5以下であることが好ましい。陽極部の接続不良の発生および固体電解質を形成する際、重合溶液の這い上がりをより確実に防止することができるからである。また、凹部44を浅くすることにより、固体電解コンデンサ用基材の強度を確保することも可能になる。   In this way, when the insulating resin material 13 and the recess 44 are not in contact with each other and the recess 44 is formed so as not to reach the substrate 11, the thickness of the etching layer 12 in the recess 44 is as follows: When the thickness of the etching layer 12 other than the recess 44 is 1, it is preferably greater than 0 and 0.5 or less. This is because the occurrence of poor connection of the anode portion and the formation of the solid electrolyte can more reliably prevent the polymerization solution from creeping up. In addition, by making the recess 44 shallow, it is possible to ensure the strength of the solid electrolytic capacitor base material.

次に、図2(e)に示す態様について説明する。
図2(e)に示す態様は、凹部54が基材11に達しておらず、かつ凹部54の幅が広く、更に、絶縁性樹脂材53が凹部54内に入っている点で、図2(a)に示す態様と異なっている。図中、凹部54の陽極部領域10A側の縁55Aは、接辺56Aと側壁57Aとからなり、凹部54の陰極部領域10C側の縁55Cは、接辺56Cと側壁57Cとからなる。
Next, the aspect shown in FIG.
The mode shown in FIG. 2 (e) is that the recess 54 does not reach the substrate 11, the width of the recess 54 is wide, and the insulating resin material 53 is in the recess 54. It is different from the embodiment shown in (a). In the drawing, the edge 55A on the anode part region 10A side of the recess 54 is composed of a contact side 56A and a side wall 57A, and the edge 55C on the cathode part region 10C side of the recess 54 is composed of a contact side 56C and a side wall 57C.

このように、凹部54が基材11に達しておらず、かつ絶縁性樹脂材53が凹部54内に入っている場合において、凹部54の幅は、300〜700μmであることが好ましく、また、凹部54におけるエッチング層12の厚みは、凹部54以外のエッチング層12の厚みを1とした場合、0を超え、かつ0.5以下であることが好ましい。陽極部の接続不良の発生および固体電解質を形成する際、重合溶液の這い上がりをより確実に防止することができるからである。また、凹部54を浅くすることにより、固体電解コンデンサ用基材の強度を確保することも可能になる。   Thus, when the recessed part 54 does not reach the base material 11 and the insulating resin material 53 is in the recessed part 54, the width of the recessed part 54 is preferably 300 to 700 μm, The thickness of the etching layer 12 in the recess 54 is preferably more than 0 and 0.5 or less when the thickness of the etching layer 12 other than the recess 54 is 1. This is because the occurrence of poor connection of the anode portion and the formation of the solid electrolyte can more reliably prevent the polymerization solution from creeping up. Further, by making the recess 54 shallow, it is possible to ensure the strength of the solid electrolytic capacitor base material.

次に、図2(f)に示す態様について説明する。
図2(f)に示す態様は、凹部64の幅が広く、絶縁性樹脂材63が全て凹部64に相当する領域に設けられ、かつ凹部64の縁65A、65Cに接していない点で、図2(a)と異なっている。なお、図中、凹部64の陽極部領域10A側の縁65Aは、接辺66Aと側壁67Aとからなり、凹部64の陰極部領域10C側の縁65Cは、接辺66Cと側壁67Cとからなる。
Next, the aspect shown in FIG.
The mode shown in FIG. 2 (f) is that the width of the concave portion 64 is wide, the insulating resin material 63 is all provided in a region corresponding to the concave portion 64, and is not in contact with the edges 65A and 65C of the concave portion 64. 2 (a) is different. In the drawing, the edge 65A on the anode portion region 10A side of the recess 64 is made up of a contact side 66A and a side wall 67A, and the edge 65C on the cathode portion region 10C side of the recess 64 is made up of a contact side 66C and a side wall 67C. .

このように、凹部64が基材11に達し、かつ絶縁性樹脂材63が凹部64の縁65A、65Cに接しないように凹部64内に設けられている場合において、凹部64の幅は、500〜900μmであることが好ましい。陽極部の接続不良の発生および固体電解質を形成する際、重合溶液の這い上がりをより確実に防止することができるからである。   Thus, in the case where the recess 64 reaches the base 11 and the insulating resin material 63 is provided in the recess 64 so as not to contact the edges 65A and 65C of the recess 64, the width of the recess 64 is 500. It is preferable that it is -900 micrometers. This is because the occurrence of poor connection of the anode portion and the formation of the solid electrolyte can more reliably prevent the polymerization solution from creeping up.

勿論、本発明において、凹部と絶縁性樹脂材との態様は、図2(a)〜(f)に示した態様に限定されず、絶縁性樹脂材が凹部の陽極部領域側の縁に接しないように、凹部の陽極部領域側の縁より陰極部領域側に設けられていればよい。
更に、本発明において、固体電解コンデンサ用基材は、上述した例に限定されず、例えば、以下のような構成を採用することができる。
Of course, in the present invention, the mode of the recess and the insulating resin material is not limited to the mode shown in FIGS. 2A to 2F, and the insulating resin material is in contact with the edge of the recess on the anode region side. In order to avoid this, it suffices if it is provided closer to the cathode part region than the edge of the concave part on the anode part region side.
Furthermore, in this invention, the base material for solid electrolytic capacitors is not limited to the example mentioned above, For example, the following structures are employable.

本発明の好ましい実施態様における固体電解コンデンサ基材は、表面に、エッチング層を有するコンデンサ用材料であり、好ましくは、微細孔を有する弁作用金属材料、特に好ましくは、表面に誘電体酸化皮膜を有する弁作用金属である。
弁作用金属はアルミニウム、タンタル、ニオブ、チタン、ジルコニウムあるいはこれらを基質とする合金系の弁作用を有する金属箔、棒、あるいはこれらを主成分とする粉体等から選ばれる。これらの金属は空気中の酸素により表面が酸化された結果としての誘電体酸化皮膜を有しているが、予め公知の方法によりエッチングまたは成形・焼結処理し、多孔質化する。次に公知の方法等に従って、化成処理し確実に誘電体酸化皮膜を形成しておくことが好ましい。
The solid electrolytic capacitor base material in a preferred embodiment of the present invention is a capacitor material having an etching layer on the surface, preferably a valve metal material having micropores, particularly preferably a dielectric oxide film on the surface. It has a valve metal.
The valve metal is selected from aluminum, tantalum, niobium, titanium, zirconium, or an alloy-based metal foil, rod, or powder containing these as a main component. These metals have a dielectric oxide film as a result of the surface being oxidized by oxygen in the air, but are made porous by etching or molding / sintering by a known method in advance. Next, it is preferable to form a dielectric oxide film reliably by chemical conversion according to a known method or the like.

弁作用を有する金属基材は、粗面化後、予め固体電解コンデンサの形状に合わせた寸法に裁断したものを使用するのが好ましい。
弁作用を有する金属箔としては、使用目的によって厚さが変わるが、一般的に厚みが約40〜150μmの箔が使用される。また、弁作用を有する金属箔の大きさおよび形状は用途により異なるが、平板形素子単位として幅約1〜50mm、長さ約1〜50mmの矩形のものが好ましく、より好ましくは幅約2〜20mm、長さ約2〜20mm、さらに好ましくは幅約2〜5mm、長さ約2〜6mmである。
As the metal base material having a valve action, it is preferable to use a metal base material that has been cut into a size that matches the shape of the solid electrolytic capacitor after roughening.
As the metal foil having a valve action, the thickness varies depending on the purpose of use, but generally a foil having a thickness of about 40 to 150 μm is used. Moreover, although the size and shape of the metal foil having a valve action vary depending on the application, a rectangular element having a width of about 1 to 50 mm and a length of about 1 to 50 mm is preferable as a flat element unit, and more preferably a width of about 2 to It is 20 mm, length is about 2-20 mm, more preferably width is about 2-5 mm, and length is about 2-6 mm.

本発明は、上述した表面にエッチング層を有する固体電解コンデンサ基材において、陽極部領域と陰極部領域の間のエッチング層を除去し、絶縁性樹脂材を、エッチング層除去領域の陽極部領域側の縁に接しないように、エッチング層除去領域の陽極部領域側の縁よりも陰極部領域側に設けることを特徴とする。   In the solid electrolytic capacitor base material having an etching layer on the surface as described above, the present invention removes the etching layer between the anode part region and the cathode part region, and provides the insulating resin material on the anode part region side of the etching layer removal region. It is characterized in that it is provided on the cathode part region side rather than the edge on the anode part region side of the etching layer removal region so as not to contact the edge of the etching layer.

すなわち、エッチング層を有する固体電解コンデンサ基材、例えば、微細孔を有する弁作用金属材料の表面に誘電体皮膜が形成された固体電解コンデンサ用基材において、陽極部領域と、陰極部領域との間の領域の少なくとも一部に対し、エッチング層の除去を行う。
エッチング層の除去には、エッチング層そのものを基材から取り除くだけでなく、絶縁性樹脂材、または絶縁性樹脂材および固体電解質の這い上がり可能な細孔の除去が含まれる。例えば、エッチング層の除去、エッチング層の圧縮等が挙げられる。更に、エッチング層の部分的な溶融による細孔の緻密化等が含まれる。
That is, in a solid electrolytic capacitor base material having an etching layer, for example, a solid electrolytic capacitor base material in which a dielectric film is formed on the surface of a valve action metal material having micropores, an anode region and a cathode region The etching layer is removed from at least a part of the region in between.
The removal of the etching layer includes not only removing the etching layer itself from the substrate, but also removing the insulating resin material, or the pores that can lift up the insulating resin material and the solid electrolyte. For example, removal of an etching layer, compression of an etching layer, etc. are mentioned. Furthermore, it includes densification of pores due to partial melting of the etching layer.

エッチング層の除去方法は、多孔質体を精度良く除去でき、他の領域、特に陰極部領域へ悪影響を及ぼさない手法であれば、特に限定されず、例えば機械的、電気的、化学的(例えば、溶解)、熱的(例えば、揮散)手法等が利用できる。好ましくはレーザ光を利用した切削手法、水流コラム内に封じ込められたレーザ光を利用した切削手法等を挙げることができる。また、針状金属片で削り取る手法、円盤状金属板で回転研磨しながら切削する手法等を用いることも可能である。   The method for removing the etching layer is not particularly limited as long as the porous body can be removed with high accuracy and does not adversely affect other regions, particularly the cathode region. For example, mechanical, electrical, chemical (for example, , Dissolution), thermal (for example, volatilization) methods, and the like. Preferably, a cutting method using laser light, a cutting method using laser light confined in a water flow column, and the like can be given. It is also possible to use a method of cutting with a needle-shaped metal piece, a method of cutting while rotating and polishing with a disk-shaped metal plate, or the like.

レーザ光を利用した切削方法では、0.1〜11μmの波長を有するレーザ光が使用でき、具体的にはルビー、ガラス、YAG等の固体レーザ、GaAs、InGaAsP等の半導体レーザ、色素レーザ等の液体レーザ、He−Ne、Ar、ArF、F、CO等の気体レーザ等が挙げられる。特に好ましくは、YAG、COのレーザ光を使用した切削方法および水流コラム内に封じ込められたYAGのレーザ光を利用した切削方法が好ましい。 In the cutting method using laser light, laser light having a wavelength of 0.1 to 11 μm can be used. Specifically, solid lasers such as ruby, glass and YAG, semiconductor lasers such as GaAs and InGaAsP, and dye lasers are used. Examples include liquid lasers, gas lasers such as He—Ne, Ar, ArF, F 2 , and CO 2 . Particularly preferable are a cutting method using YAG and CO 2 laser light and a cutting method using YAG laser light sealed in a water flow column.

例えば、水圧10〜50MPa、コラム径30〜180μmとして、水を細い糸のように吹き出し、YAGレーザをこの水の中に導いて切削することができる。水流コラム内に封じ込められたYAGのレーザ光は、レーザ光照射部分に発生する熱を照射と同時に水流によって除去することができる。これにより、基材に残存するエッチング層の表面が溶解するのを低減することができるため、絶縁性樹脂材の浸透性が良くなり、さらに溶解粉による汚染やバリの発生が防止される点で、切削方法として有効である。
水流コラム内に封じ込められたYAGのレーザ光を利用した場合の切削の幅は水流圧力とレーザによる相乗効果のため、コラム径の1〜3倍の範囲に拡大される。
For example, the water pressure is 10 to 50 MPa, the column diameter is 30 to 180 μm, and water can be blown out like a thin thread, and the YAG laser can be guided into the water and cut. The YAG laser light confined in the water flow column can remove the heat generated in the laser light irradiation portion by the water flow simultaneously with the irradiation. As a result, it is possible to reduce the dissolution of the surface of the etching layer remaining on the substrate, so that the permeability of the insulating resin material is improved, and further, the occurrence of contamination and burrs due to dissolved powder is prevented. It is effective as a cutting method.
The cutting width when using the YAG laser light confined in the water flow column is expanded to a range of 1 to 3 times the column diameter due to the synergistic effect of the water pressure and the laser.

圧縮方法もエッチング層を精度良く圧縮でき、他の領域、特に陰極部領域へ悪影響を及ぼさない手法であれば、特に限定されず、例えば、機械的手法が利用できる。さらに詳しく言えば、針状金属片や薄片の縁部を押し当てる方法、円盤状金属板を回転させつつ押し当てる方法等が挙げられるが、これに限られるものではない。   The compression method is not particularly limited as long as it can compress the etching layer with high accuracy and does not adversely affect other regions, particularly the cathode region. For example, a mechanical method can be used. More specifically, there are a method of pressing an edge of a needle-like metal piece or a thin piece, a method of pressing a disc-like metal plate while rotating it, and the like, but not limited thereto.

エッチング層を除去することにより形成される凹部の割合は、好ましくは、エッチング層の全体の厚み(除去されていない部位のエッチング層の厚みを)を1とした場合、除去された部位のエッチング層の厚みが0〜0.5の比となる範囲であることが好ましい。
より好ましい範囲としては、エッチング層の全体の厚みを1とした時、除去されたエッチング層の厚みが0〜0.3であり、更に好ましくは0〜0.1である。
The ratio of the recesses formed by removing the etching layer is preferably such that when the total thickness of the etching layer (the thickness of the etching layer in the portion not removed) is 1, the etching layer in the removed portion The thickness is preferably in the range of 0 to 0.5.
As a more preferable range, when the total thickness of the etching layer is 1, the thickness of the removed etching layer is 0 to 0.3, and more preferably 0 to 0.1.

除去の場合、除去部位のエッチング層をすべて除去することも可能であるが、固体電解コンデンサ用基材の強度を確保するために、エッチング層を部分的に残すことも可能である。   In the case of removal, it is possible to remove the entire etching layer at the removal site, but it is also possible to leave the etching layer partially in order to ensure the strength of the solid electrolytic capacitor substrate.

除去されるエッチング層の幅は、陰極部領域の長軸方向の長さを1とした場合、0.0005〜0.1の比で表される。
更に好ましい範囲としては、0.001〜0.075の範囲、更に好ましくは0.002〜0.05の範囲である。0.001〜0.075の範囲であれば、陰極部領域と陽極部領域との電気的な絶縁をより確実に行うことができるとともに、コンデンサの容量を確保することができる。
The width of the etching layer to be removed is represented by a ratio of 0.0005 to 0.1, where the length of the cathode region in the major axis direction is 1.
As a more preferable range, it is the range of 0.001-0.075, More preferably, it is the range of 0.002-0.05. If it is the range of 0.001-0.075, while being able to perform electrical insulation with a cathode part area | region and an anode part area | region more reliably, the capacity | capacitance of a capacitor | condenser can be ensured.

なお、本発明の目的から、固体電解コンデンサ用基材が平板状である場合、陽極部領域と陰極部領域の間において基材の両面で、または基材の横断面を巡って周状にエッチング層の除去または圧縮処理を施すことが好ましい。   For the purpose of the present invention, when the substrate for a solid electrolytic capacitor is flat, etching is performed on both sides of the substrate between the anode region and the cathode region or circumferentially around the cross section of the substrate. It is preferable to perform a layer removal or compression treatment.

所定の形状に裁断された弁作用を有する金属の化成処理は種々の方法によって行うことができる。化成処理の条件は特に限定されるものではないが、例えばシュウ酸、アジピン酸、ホウ酸、リン酸等の少なくとも1種を含む電解液を用い、電圧は処理する化成箔の既に形成されている皮膜の化成電圧に応じた数値、化成時間が60分以内の条件で化成を行う。   The chemical conversion treatment of the metal having a valve action cut into a predetermined shape can be performed by various methods. The conditions for the chemical conversion treatment are not particularly limited. For example, an electrolytic solution containing at least one of oxalic acid, adipic acid, boric acid, phosphoric acid and the like is used, and the voltage is already formed on the chemical conversion foil to be processed. Chemical conversion is performed under the condition that the numerical value corresponding to the chemical conversion voltage of the film and the chemical conversion time are within 60 minutes.

前記の化成処理の条件は工業的方法として好適なものではあるが、弁作用金属材料表面に既に形成されている誘電体酸化皮膜を破壊または劣化させない限り、電解液の種類、電解液濃度、温度、電流密度、化成時間等の諸条件は任意に選定することができる。   The conditions of the chemical conversion treatment are suitable as an industrial method, but unless the dielectric oxide film already formed on the surface of the valve metal material is destroyed or deteriorated, the type of electrolyte, concentration of electrolyte, temperature Various conditions such as current density and formation time can be arbitrarily selected.

絶縁性樹脂材は、陰極部領域と陽極部領域とを電気的に絶縁し、固体電解質または固体電解質形成用処理液が陰極部領域から陽極部領域に侵入するのを防止するための遮蔽材として設けられる。
このような絶縁性樹脂材としては、上述した目的に適合する限りにおいて特に限定されず、一般的な耐熱性樹脂、好ましくは溶剤に可溶あるいは膨潤しうる耐熱性樹脂またはその前駆体、無機質微粉とセルロース系樹脂からなる組成物(特開平11−80596号公報)等が使用できる。具体例としてはポリフェニルスルホン(PPS)、ポリエーテルスルホン(PES)、シアン酸エステル樹脂、フッ素樹脂(テトラフルオロエチレン、テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体)、ポリイミドおよびそれらの誘導体等が挙げられる。ポリイミド、ポリエーテルスルホン、フッ素樹脂およびそれらの前駆体が好ましく、特に弁作用金属に十分な密着力、充填性を有し、約450℃までの高温処理に耐えられる絶縁性に優れたポリイミドが好ましい。ポリイミドとしては、200℃以下、好ましくは100〜200℃の低温度での熱処理により硬化が十分可能であり、陽極箔の表面上の誘電体層の熱による破損・破壊等の外的衝撃が少ないポリイミドが好適に使用できる。ポリイミドの好ましい平均分子量としては約1,000〜1,000,000であり、より好ましくは約2,000〜200,000である。
The insulating resin material is used as a shielding material to electrically insulate the cathode region and the anode region and prevent the solid electrolyte or the processing solution for forming the solid electrolyte from entering the anode region from the cathode region. Provided.
Such an insulating resin material is not particularly limited as long as it meets the above-described purpose, and is a general heat-resistant resin, preferably a heat-resistant resin that can be dissolved or swelled in a solvent or a precursor thereof, an inorganic fine powder. And a composition comprising cellulose resin (Japanese Patent Laid-Open No. 11-80596) can be used. Specific examples include polyphenylsulfone (PPS), polyethersulfone (PES), cyanate ester resin, fluororesin (tetrafluoroethylene, tetrafluoroethylene / perfluoroalkyl vinyl ether copolymer), polyimide, and derivatives thereof. Can be mentioned. Polyimide, polyethersulfone, fluororesin and their precursors are preferable, and in particular, polyimide having sufficient adhesion and filling properties to the valve action metal and excellent in insulating property capable of withstanding high temperature processing up to about 450 ° C. is preferable. . As polyimide, it can be sufficiently cured by heat treatment at a low temperature of 200 ° C. or less, preferably 100 to 200 ° C., and there is little external impact such as damage or destruction due to heat of the dielectric layer on the surface of the anode foil. Polyimide can be suitably used. The preferred average molecular weight of the polyimide is about 1,000 to 1,000,000, more preferably about 2,000 to 200,000.

これらは、有機溶剤に溶解あるいは分散可能であり、塗布操作に適した任意の固形分濃度(従って粘度)の溶液あるいは分散液を容易に調製することができる。好ましい濃度としては、約10〜60質量%、より好ましい濃度としては、約15〜40質量%である。濃度が低すぎると絶縁性樹脂材による描線がにじみ、高過ぎると糸引き等が起こり、線幅が不安定になる。   These can be dissolved or dispersed in an organic solvent, and a solution or dispersion having an arbitrary solid content concentration (and therefore viscosity) suitable for coating operation can be easily prepared. A preferable concentration is about 10 to 60% by mass, and a more preferable concentration is about 15 to 40% by mass. If the concentration is too low, the drawn line by the insulating resin material blurs, and if it is too high, stringing or the like occurs and the line width becomes unstable.

本発明においては、上に述べた液状の絶縁性樹脂材を、例えば、図2(a)〜(f)に示したように塗布する。塗布後の絶縁性樹脂材に対して、必要に応じて、乾燥、加熱、光照射等の処理を行っても良い。   In the present invention, the liquid insulating resin material described above is applied, for example, as shown in FIGS. If necessary, the insulating resin material after application may be subjected to treatment such as drying, heating, and light irradiation.

<単板固体電解コンデンサ素子>
次に、本発明の単板固体電解コンデンサ素子について説明する。
図3(a)は、本発明の一実施形態に係る単板固体電解コンデンサ素子を模式的に示す断面図であり、(b)は、その平面図である。
<Single plate solid electrolytic capacitor element>
Next, the single plate solid electrolytic capacitor element of the present invention will be described.
FIG. 3A is a cross-sectional view schematically showing a single plate solid electrolytic capacitor element according to an embodiment of the present invention, and FIG. 3B is a plan view thereof.

単板固体電解コンデンサ素子1は、固体電解コンデンサ用基材11の陰極部領域10Cの表面に、固体電解質層2、カーボン層3、銀層4が順に積層形成されている。固体電解質層2は、例えば、ポリエチレンジオキシチオフェン(PEDT)等の導電性高分子を含む電解質が化学重合または電解重合されることによって形成された層である。カーボン層3および銀層4は、陰極接続部として機能し、陰極端子(図示せず)または他の陰極接続部に接続される。一方、陽極部領域10Aは、そのまま、陽極端子(図示せず)または他の陽極部領域と接続される。なお、固体電解質層2については、上述した例に限定されるものではなく、公知の固体電解質を使用可能である。また、陰極接続部は、カーボン層および銀層の積層構造に限定されるものではない。   In the single plate solid electrolytic capacitor element 1, a solid electrolyte layer 2, a carbon layer 3, and a silver layer 4 are sequentially laminated on the surface of the cathode portion region 10 </ b> C of the solid electrolytic capacitor substrate 11. The solid electrolyte layer 2 is a layer formed by chemical polymerization or electrolytic polymerization of an electrolyte containing a conductive polymer such as polyethylene dioxythiophene (PEDT). The carbon layer 3 and the silver layer 4 function as a cathode connection part, and are connected to a cathode terminal (not shown) or another cathode connection part. On the other hand, the anode portion region 10A is directly connected to an anode terminal (not shown) or another anode portion region. In addition, about the solid electrolyte layer 2, it is not limited to the example mentioned above, A well-known solid electrolyte can be used. Further, the cathode connection portion is not limited to the laminated structure of the carbon layer and the silver layer.

単板固体電解コンデンサ素子1の製造方法としては、例えば、上述した固体電解コンデンサ用基材10の陰極部領域10Cに、固体電解質層2、カーボン層3、および銀層4をこの順に積層することにより、単板固体電解コンデンサ素子1を得る方法等を挙げることができる。   As a manufacturing method of the single plate solid electrolytic capacitor element 1, for example, the solid electrolyte layer 2, the carbon layer 3, and the silver layer 4 are laminated in this order on the cathode region 10C of the above-described solid electrolytic capacitor substrate 10. The method etc. which obtain the single-plate solid electrolytic capacitor element 1 by can be mentioned.

<積層型固体電解コンデンサ>
次に、積層型固体電解コンデンサについて説明する。
図4(a)、(b)は、それぞれ、本発明の一実施形態に係る積層型固体電解コンデンサを模式的に示す断面図である。なお、図中では、モールド樹脂を示していない。
<Multilayer solid electrolytic capacitor>
Next, the multilayer solid electrolytic capacitor will be described.
FIGS. 4A and 4B are cross-sectional views schematically showing a multilayer solid electrolytic capacitor according to an embodiment of the present invention. In the drawing, the mold resin is not shown.

図4(a)に示す積層型固体電解コンデンサ100では、上述した単板固体電解コンデンサ素子1が複数(4つ)積層されている。各単板固体電解コンデンサ素子1は、積層されるときに、各陽極側が一方向に積層され、かつ各陰極側が他方向に積層されており、これにより、陰極・陽極の2端子とした積層型固体電解コンデンサとなっている。   In the multilayer solid electrolytic capacitor 100 shown in FIG. 4A, a plurality (four) of the single-plate solid electrolytic capacitor elements 1 described above are laminated. When each single-plate solid electrolytic capacitor element 1 is laminated, each anode side is laminated in one direction, and each cathode side is laminated in the other direction. It is a solid electrolytic capacitor.

各単板固体電解コンデンサ素子1の陽極部領域10Aは、陽極リードフレーム(陽極端子)101に接続されている。積層方向に隣り合う単板固体電解コンデンサ素子1の銀層4(陰極接続部)は導電性接着剤103を介して、互いに接合されている。最下層の単板固体電解コンデンサ素子1の銀層4は、導電性接着剤103を介して、陰極リードフレーム(陰極端子)102に接続されている。   An anode region 10 </ b> A of each single plate solid electrolytic capacitor element 1 is connected to an anode lead frame (anode terminal) 101. The silver layers 4 (cathode connection portions) of the single-plate solid electrolytic capacitor elements 1 adjacent to each other in the stacking direction are joined to each other via a conductive adhesive 103. The silver layer 4 of the lowermost single-plate solid electrolytic capacitor element 1 is connected to a cathode lead frame (cathode terminal) 102 via a conductive adhesive 103.

図4(b)に示す積層型固体電解コンデンサ200においても、上述した単板固体電解コンデンサ1が複数(4つ)積層されている。各単板固体電解コンデンサ素子1は、積層されるときに、陰極側が中央に配置され、陽極側は交互に正対する方向に位置するように配置されている。   Also in the multilayer solid electrolytic capacitor 200 shown in FIG. 4B, a plurality (four) of the single-plate solid electrolytic capacitors 1 described above are laminated. When the single plate solid electrolytic capacitor elements 1 are stacked, the cathode side is arranged at the center, and the anode side is arranged so as to be alternately positioned in a direction facing each other.

積層方向に重なり合う2組の陽極部領域10Aは、それぞれ、陽極リードフレーム201に接続され、中央において積層方向に隣り合う単板固体電解コンデンサ素子1の銀層4は、互いに接合されている。最下層の単板固体電解コンデンサ素子1の銀層4は、導電性接着剤203を介して、陰極リードフレーム202に接続されている。   The two sets of anode region 10A overlapping in the stacking direction are each connected to the anode lead frame 201, and the silver layers 4 of the single-plate solid electrolytic capacitor elements 1 adjacent in the stacking direction at the center are joined together. The silver layer 4 of the lowermost single-plate solid electrolytic capacitor element 1 is connected to the cathode lead frame 202 via the conductive adhesive 203.

積層型固体電解コンデンサの製造方法について、図4(a)に示す積層型固体電解コンデンサ100を例として説明する。まず、複数の単板固体電解コンデンサ素子1の銀層4(陰極接続部)を、導電性接着剤103を介して接合することにより積層する。また、導電性接着剤103を介して、最下層の単板固体電解コンデンサ素子1の銀層4を、陰極リードフレーム102に接合する。さらに、複数の単板固体電解コンデンサ素子1の陽極部領域10Aを陽極リードフレーム101に接続する。続いて、陽極、陰極の各リードフレームの外部回路との接続面を除いて、積層体全体を樹脂でモールドして完成品とする。ここで用いられる樹脂は、本発明における絶縁性樹脂材とは異なるものである。   A method for manufacturing a multilayer solid electrolytic capacitor will be described by taking the multilayer solid electrolytic capacitor 100 shown in FIG. 4A as an example. First, the silver layers 4 (cathode connection portions) of a plurality of single-plate solid electrolytic capacitor elements 1 are laminated by bonding via a conductive adhesive 103. In addition, the silver layer 4 of the lowermost single-plate solid electrolytic capacitor element 1 is bonded to the cathode lead frame 102 via the conductive adhesive 103. Furthermore, the anode region 10 </ b> A of the plurality of single plate solid electrolytic capacitor elements 1 is connected to the anode lead frame 101. Subsequently, the entire laminated body is molded with a resin except for the connection surfaces of the anode and cathode lead frames to the external circuit, to obtain a finished product. The resin used here is different from the insulating resin material in the present invention.

図4(a)、(b)では、単板固体電解コンデンサ素子1を複数積層して、積層型固体電解コンデンサ100、200とする場合について説明したが、本発明は、この例に限定されず、例えば、1つの単板固体電解コンデンサ素子に、陽極端子と陰極端子とを接続し、単板型固体電解コンデンサとしてもよい。また、積層態様は、図4に示す態様に限定されるものではない。   4 (a) and 4 (b), a case where a plurality of single-plate solid electrolytic capacitor elements 1 are stacked to form stacked solid electrolytic capacitors 100 and 200 has been described. However, the present invention is not limited to this example. For example, an anode terminal and a cathode terminal may be connected to one single plate solid electrolytic capacitor element to form a single plate solid electrolytic capacitor. Moreover, a lamination | stacking aspect is not limited to the aspect shown in FIG.

なお、本発明では、一方端に陽極部領域を設けた固体電解コンデンサ素子を作製したが、固体電解コンデンサ素子の両端に陽極部領域、該陽極部領域間に陰極部領域を設けた素子を用いてもよい。   In the present invention, a solid electrolytic capacitor element having an anode region at one end was prepared. However, an element having an anode region at both ends of the solid electrolytic capacitor element and a cathode region between the anode regions was used. May be.

1 単板固体電解コンデンサ素子
2 固体電解質層
3 カーボン層
4 銀層
10 固体電解コンデンサ用基材
10A 陽極部領域
10C 陰極部領域
11 基材
12 エッチング層
13、23、33、53、63 絶縁性樹脂材
14、44、54、64 エッチング層除去領域(凹部)
15A、45A、55A、65A (エッチング層除去領域の陽極部領域側の)縁
15C、45C、55C、65C (エッチング層除去領域の陰極部領域側の)縁
16A、46A、56A、66A (エッチング層除去領域とエッチング層との陽極部領域側の)接辺
16C、46C、56C、66C (エッチング層除去領域とエッチング層との陰極部領域側の)接辺
17A、47A、57A、67A (凹部の陽極部領域側の)側壁
17C、47C、57C、67C (凹部の陰極部領域側の)側壁
100、200 積層型固体電解コンデンサ
101、201 陽極リードフレーム(陽極端子)
102、202 陰極リードフレーム(陰極端子)
103、203 導電性接着剤
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Single plate solid electrolytic capacitor element 2 Solid electrolyte layer 3 Carbon layer 4 Silver layer 10 Solid electrolytic capacitor base material 10A Anode portion region 10C Cathode portion region 11 Base material 12 Etching layers 13, 23, 33, 53, 63 Insulating resin Material 14, 44, 54, 64 Etching layer removal region (concave)
15A, 45A, 55A, 65A Edges 15C, 45C, 55C, 65C (on the cathode part region side of the etching layer removal region) Edges 16A, 46A, 56A, 66A (on the etching layer removal region side) Contact sides 16C, 46C, 56C, 66C (on the cathode region side of the etching layer removal region and the etching layer) contact sides 17A, 47A, 57A, 67A (on the anode region side of the removal region and the etching layer) Side walls 17C, 47C, 57C, 67C (on the anode part region side) Side walls 100, 200 (on the cathode part region side of the recess) Multilayer solid electrolytic capacitor 101, 201 Anode lead frame (anode terminal)
102, 202 Cathode lead frame (cathode terminal)
103, 203 conductive adhesive

Claims (16)

表面にエッチング層を有し、陽極部領域と陰極部領域との間のエッチング層が除去されることによりエッチング層除去領域が形成された基材と、
前記エッチング層除去領域の前記陽極部領域側の縁に接しないように、前記エッチング層除去領域の前記陽極部領域側の縁よりも前記陰極部領域側に設けられ、前記陽極部領域と前記陰極部領域とを電気的に絶縁する絶縁性樹脂材と
を備え、
前記エッチング層除去領域は、凹部であり、
前記エッチング層除去領域の縁は、前記凹部と前記エッチング層との接辺、および前記凹部の側壁からなり、
前記凹部の底面は、前記基材の表面に沿って形成されており、
前記絶縁性樹脂材は、前記エッチング層の陰極部領域と、前記凹部の底面のみに接するように設けられていることを特徴とする固体電解コンデンサ用基材。
A substrate having an etching layer on the surface, and an etching layer removal region formed by removing the etching layer between the anode region and the cathode region; and
Provided closer to the cathode part region side than the edge of the etching layer removal region on the anode part region side so as not to contact the edge of the etching layer removal region on the anode part region side, and the anode part region and the cathode An insulating resin material that electrically insulates the partial area,
The etching layer removal region is a recess,
The edge of the etching layer removal region consists of a contact side between the recess and the etching layer, and a side wall of the recess,
The bottom surface of the recess is formed along the surface of the substrate ;
The base material for a solid electrolytic capacitor, wherein the insulating resin material is provided so as to be in contact with only the cathode region of the etching layer and the bottom surface of the recess .
前記絶縁性樹脂材が、前記エッチング層除去領域よりも前記陰極部領域側に設けられていることを特徴とする請求項1に記載の固体電解コンデンサ用基材。   The base material for a solid electrolytic capacitor according to claim 1, wherein the insulating resin material is provided closer to the cathode portion region than the etching layer removal region. 前記絶縁性樹脂材が、前記エッチング層除去領域に接しないように設けられていることを特徴とする請求項1に記載の固体電解コンデンサ用基材。   The base material for a solid electrolytic capacitor according to claim 1, wherein the insulating resin material is provided so as not to contact the etching layer removal region. 前記絶縁性樹脂材が、前記エッチング層除去領域と前記エッチング層との接辺に接するように設けられていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1に記載の固体電解コンデンサ用基材。   The base for a solid electrolytic capacitor according to any one of claims 1 to 3, wherein the insulating resin material is provided in contact with a contact side between the etching layer removal region and the etching layer. Wood. 前記エッチング層除去領域における前記エッチング層の厚みが、前記エッチング層除去領域以外の前記エッチング層の厚みを1として、0〜0.5であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1に記載の固体電解コンデンサ用基材。   5. The thickness of the etching layer in the etching layer removal region is 0 to 0.5, where 1 is the thickness of the etching layer other than the etching layer removal region. The base material for solid electrolytic capacitors as described in 2. 前記エッチング層除去領域は、前記エッチング層に対するレーザ光の照射により形成されていることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1に記載の固体電解コンデンサ用基材。   The base material for a solid electrolytic capacitor according to claim 1, wherein the etching layer removal region is formed by irradiating the etching layer with laser light. 請求項1〜6のいずれか1に記載の固体電解コンデンサ用基材と、
前記固体電解コンデンサ用基材の前記陰極部領域に設けられた誘電体酸化皮膜および固体電解質層と、
前記固体電解質層の上層に形成された陰極引出層と
を備えることを特徴とする単板固体電解コンデンサ素子。
The substrate for a solid electrolytic capacitor according to any one of claims 1 to 6,
A dielectric oxide film and a solid electrolyte layer provided in the cathode region of the substrate for the solid electrolytic capacitor;
A single plate solid electrolytic capacitor element, comprising: a cathode lead layer formed on an upper layer of the solid electrolyte layer.
請求項7に記載の単板固体電解コンデンサ素子が複数積層されて構成された積層型固体電解コンデンサ。   A multilayer solid electrolytic capacitor comprising a plurality of the single-plate solid electrolytic capacitor elements according to claim 7 laminated. エッチングにより表面にエッチング層が形成された基材における陽極部領域と陰極部領域との間の前記エッチング層を除去することにより、エッチング層除去領域を形成する工程(A)と、
前記エッチング層除去領域の前記陽極部領域側の縁に接しないように、前記エッチング層除去領域の前記陽極部領域側の縁よりも前記陰極部領域側に、絶縁性樹脂材を設けることにより、前記陽極部領域と前記陰極部領域とを電気的に絶縁する工程(B)と
を含み、
前記エッチング層除去領域は、凹部であり、
前記エッチング層除去領域の縁は、前記凹部と前記エッチング層との接辺、および前記凹部の側壁からなり、
前記凹部の底面は、前記基材の表面に沿って形成されており、
前記絶縁性樹脂材は、前記エッチング層の陰極部領域と、前記凹部の底面のみに接するように設けられていることを特徴とする固体電解コンデンサ用基材の製造方法。
A step (A) of forming an etching layer removal region by removing the etching layer between the anode region and the cathode region in the substrate having an etching layer formed on the surface by etching;
By providing an insulating resin material on the cathode part region side rather than the edge on the anode part region side of the etching layer removal region so as not to contact the edge on the anode part region side of the etching layer removal region, And (B) electrically insulating the anode part region and the cathode part region,
The etching layer removal region is a recess,
The edge of the etching layer removal region consists of a contact side between the recess and the etching layer, and a side wall of the recess,
The bottom surface of the recess is formed along the surface of the substrate ;
The method for manufacturing a substrate for a solid electrolytic capacitor, wherein the insulating resin material is provided so as to be in contact with only a cathode portion region of the etching layer and a bottom surface of the recess .
前記(B)工程において、前記絶縁性樹脂材を、前記エッチング層除去領域よりも前記陰極部領域側に設けることを特徴とする請求項9に記載の固体電解コンデンサ用基材の製造方法。   10. The method for manufacturing a substrate for a solid electrolytic capacitor according to claim 9, wherein, in the step (B), the insulating resin material is provided closer to the cathode part region than the etching layer removal region. 前記(B)工程において、前記絶縁性樹脂材が前記エッチング層除去領域に接しないように、前記絶縁性樹脂材を設けることを特徴とする請求項9に記載の固体電解コンデンサ用基材の製造方法。   In the said (B) process, the said insulating resin material is provided so that the said insulating resin material may not contact the said etching layer removal area | region, The manufacture of the base material for solid electrolytic capacitors of Claim 9 characterized by the above-mentioned. Method. 前記(B)工程において、前記絶縁性樹脂材を、前記エッチング層除去領域と前記エッチング層との接辺に接するように設けることを特徴とする請求項9〜11のいずれか1に記載の固体電解コンデンサ用基材の製造方法。   12. The solid according to claim 9, wherein, in the step (B), the insulating resin material is provided so as to be in contact with a contact side between the etching layer removal region and the etching layer. A method for producing a substrate for an electrolytic capacitor. 前記(A)工程において、前記エッチング層除去領域における前記エッチング層の厚みが、前記エッチング層除去領域以外の前記エッチング層の厚みを1として、0〜0.5となるように、前記エッチング層の除去を行うことを特徴とする請求項9〜12のいずれか1に記載の固体電解コンデンサ用基材の製造方法。   In the step (A), the thickness of the etching layer in the etching layer removal region is set to 0 to 0.5 so that the thickness of the etching layer other than the etching layer removal region is 1 to 0 to 0.5. It removes, The manufacturing method of the base material for solid electrolytic capacitors of any one of Claims 9-12 characterized by the above-mentioned. 前記(A)工程における前記エッチング層の除去を、レーザ光の照射により行うことを特徴とする請求項9〜13のいずれか1に記載の固体電解コンデンサ用基材の製造方法。   The method for producing a substrate for a solid electrolytic capacitor according to any one of claims 9 to 13, wherein the removal of the etching layer in the step (A) is performed by laser light irradiation. 請求項9〜14のいずれか1に記載の製造方法により形成された固体電解コンデンサ用基材の前記陰極部領域に、誘電体酸化皮膜層および固体電解質層を順次設ける工程と、
前記固体電解質層の上層に陰極引出層を形成する工程と
を含むことを特徴とする単板固体電解コンデンサ素子の製造方法。
A step of sequentially providing a dielectric oxide film layer and a solid electrolyte layer on the cathode region of the base for a solid electrolytic capacitor formed by the manufacturing method according to any one of claims 9 to 14,
And a step of forming a cathode lead layer on the solid electrolyte layer. A method for producing a single plate solid electrolytic capacitor element.
請求項15に記載の製造方法により製造された単板固体電解コンデンサ素子を複数積層する工程
を含むことを特徴とする積層型固体電解コンデンサの製造方法。
A method for producing a multilayer solid electrolytic capacitor, comprising a step of laminating a plurality of single-plate solid electrolytic capacitor elements produced by the production method according to claim 15.
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