JP5621607B2 - Method for manufacturing electrophoretic display element - Google Patents
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Description
本発明は、電気泳動表示素子の製造方法、電気泳動表示素子及び画像表示装置に関する。 The present invention relates to an electrophoretic display element manufacturing method, an electrophoretic display element, and an image display device.
近年、情報機器の発達に伴い、書類作成等の情報処理をコンピュータ上で行うようになり、表示用端末上で文章を読む機会が大幅に増えている。 In recent years, with the development of information equipment, information processing such as document creation has been performed on a computer, and the opportunity to read text on a display terminal has greatly increased.
このような状況において、書き換えが可能であると共に、読むのに適した、ペーパーライクな表示媒体へのニーズが高まっている。中でも、電気泳動表示素子を有する表示媒体は、表示品質、表示動作時の消費電力の点で優れている。 Under such circumstances, there is an increasing need for a paper-like display medium that can be rewritten and is suitable for reading. Among these, a display medium having an electrophoretic display element is excellent in terms of display quality and power consumption during display operation.
特許文献1には、基板と、基板上に設けられ上端部に接合膜を有する隔壁と、隔壁の上端部側に設けられた封止膜とにより閉じ込められた空間に、少なくとも分散媒と帯電泳動粒子からなる分散液を配置した表示素子の製造方法が開示されている。このとき、表示素子の製造方法は、隔壁の少なくとも上端部に重合性化合物からなる接合膜前駆体を配置する工程、隔壁間に充填された分散液の露出面と隔壁の少なくとも上端部の接合膜前駆体の面に、重合性化合物からなる封止膜前駆体を配置する工程、接合膜前駆体と封止膜前駆体とが接触した状態で重合性化合物の重合処理を行って接合膜と封止膜を一体に形成する工程を有する。
In
しかしながら、分散媒と帯電泳動粒子からなる分散液が配置される空間に封止膜が延伸するという問題がある。 However, there is a problem that the sealing film extends into a space where a dispersion liquid composed of a dispersion medium and charged electrophoretic particles is disposed.
本発明は、上記従来技術が有する問題に鑑み、帯電粒子を含む液体が充填されている空間への封止膜の延伸を抑制することが可能な電気泳動表示素子の製造方法、該電気泳動表示素子の製造方法を用いて製造されている電気泳動表示素子及び該電気泳動表示素子を有する画像表示装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above-described problems of the prior art, and a method for manufacturing an electrophoretic display element capable of suppressing the extension of a sealing film to a space filled with a liquid containing charged particles, and the electrophoretic display It is an object of the present invention to provide an electrophoretic display element manufactured using the element manufacturing method and an image display apparatus having the electrophoretic display element.
請求項1に記載の発明は、電気泳動表示素子の製造方法において、第一の基板上に、複数の空間を隔てる隔壁を形成する工程と、該隔壁により隔てられた複数の空間に帯電粒子を含む液体を充填する工程と、粘着剤が形成されている第二の基板の該粘着剤が前記隔壁と接触するように、前記第一の基板と前記第二の基板を圧着する工程を有し、前記第一の基板は、透明導電膜が形成されている透明基板であり、前記第一の基板と圧着されている前記第二の基板を剥離する工程と、該第二の基板が剥離された第一の基板と、駆動電極を含む半導体素子が形成されている基板を接着する工程をさらに有することを特徴とする。 According to a first aspect of the present invention, in the method for manufacturing an electrophoretic display element, a step of forming partition walls separating a plurality of spaces on the first substrate, and charged particles in the plurality of spaces separated by the partition walls. a step of filling the liquid containing, as the PSA of the second substrate the adhesive is formed in contact with said partition wall, have a step of crimping the first substrate and the second substrate The first substrate is a transparent substrate on which a transparent conductive film is formed, the step of peeling the second substrate that is pressure-bonded to the first substrate, and the second substrate is peeled off. The method further includes the step of bonding the first substrate and the substrate on which the semiconductor element including the drive electrode is formed .
請求項2に記載の発明は、電気泳動表示素子の製造方法において、第一の基板上に、複数の空間を隔てる隔壁を形成する工程と、該隔壁により隔てられた複数の空間に帯電粒子を含む液体を充填する工程と、粘着剤が形成されている第二の基板の該粘着剤上に、前記液体に不溶であるバリア層を形成する工程と、該バリア層が前記隔壁と接触するように、前記第一の基板と前記第二の基板を圧着する工程を有することを特徴とする。
請求項3に記載の発明は、請求項2に記載の電気泳動表示素子の製造方法において、前記第一の基板は、駆動電極を含む半導体素子が形成されている基板であり、前記第二の基板は、透明導電膜が形成されている透明基板であることを特徴とする。
請求項4に記載の発明は、請求項2に記載の電気泳動表示素子の製造方法において、前記第一の基板は、透明導電膜が形成されている透明基板であり、前記第一の基板と圧着されている前記第二の基板を剥離する工程と、該第二の基板が剥離された第一の基板と、駆動電極を含む半導体素子が形成されている基板を接着する工程をさらに有することを特徴とする。
According to a second aspect of the present invention, in the method for manufacturing an electrophoretic display element, a step of forming partition walls separating a plurality of spaces on the first substrate, and charged particles in the plurality of spaces separated by the partition walls. A step of filling a liquid containing, a step of forming a barrier layer insoluble in the liquid on the pressure-sensitive adhesive of the second substrate on which the pressure-sensitive adhesive is formed, and the barrier layer in contact with the partition wall And the step of crimping the first substrate and the second substrate.
According to a third aspect of the present invention, in the method for manufacturing an electrophoretic display element according to the second aspect, the first substrate is a substrate on which a semiconductor element including a drive electrode is formed, and the second substrate The substrate is a transparent substrate on which a transparent conductive film is formed.
According to a fourth aspect of the present invention, in the method for manufacturing an electrophoretic display element according to the second aspect, the first substrate is a transparent substrate on which a transparent conductive film is formed, and the first substrate and The method further includes a step of peeling the second substrate that is pressure-bonded, a step of bonding the first substrate from which the second substrate has been peeled off, and a substrate on which a semiconductor element including a drive electrode is formed. It is characterized by.
請求項5に記載の発明は、請求項1乃至4のいずれか一項に記載の電気泳動表示素子の製造方法において、前記粘着剤は、熱硬化型又は紫外線硬化型の粘着剤であり、前記第一の基板と圧着されている前記第二の基板に形成されている前記粘着剤を硬化する工程をさらに有することを特徴とする。
Invention of
請求項6に記載の発明は、電気泳動表示素子において、第一の基板上に、複数の空間を隔てる隔壁が形成されており、該隔壁により隔てられた複数の空間に帯電粒子を含む液体が充填されており、粘着剤が形成されている第二の基板の該粘着剤が前記隔壁と接触するように、前記第一の基板及び前記第二の基板が圧着された後、前記第二の基板が剥離されており、該第二の基板が剥離された第一の基板と、駆動電極を含む半導体素子が形成されている基板が接着されており、前記第一の基板は、透明導電膜が形成されている透明基板であることを特徴とする。 According to a sixth aspect of the present invention, in the electrophoretic display element, partition walls are formed on the first substrate so as to separate a plurality of spaces, and the liquid containing charged particles is contained in the plurality of spaces separated by the partition walls. are filled, as the PSA of the second substrate the adhesive is formed in contact with said partition wall, after the first substrate and the second substrate is crimped, the second substrate has been peeled off, the a first substrate in which the second substrate is peeled off, the semiconductor device including the driving electrode substrate is formed is bonded, the first substrate, a transparent conductive film A transparent substrate on which is formed .
請求項7に記載の発明は、電気泳動表示素子において、第一の基板上に、複数の空間を隔てる隔壁が形成されており、該隔壁により隔てられた複数の空間に帯電粒子を含む液体が充填されており、粘着剤及び前記液体に不溶であるバリア層が順次積層されている第二の基板の該バリア層が前記隔壁と接触するように、前記第一の基板及び前記第二の基板が圧着されていることを特徴とする。
請求項8に記載の発明は、請求項7に記載の電気泳動表示素子において、前記第一の基板は、駆動電極を含む半導体素子が形成されている基板であり、前記第二の基板は、透明導電膜が形成されている透明基板であることを特徴とする。
請求項9に記載の発明は、電気泳動表示素子において、第一の基板上に、複数の空間を隔てる隔壁が形成されており、該隔壁により隔てられた複数の空間に帯電粒子を含む液体が充填されており、粘着剤及び前記液体に不溶であるバリア層が順次積層されている第二の基板の該バリア層が前記隔壁と接触するように、前記第一の基板及び前記第二の基板が圧着された後、前記第二の基板が剥離されており、該第二の基板が剥離された第一の基板と、駆動電極を含む半導体素子が形成されている基板が接着されており、前記第一の基板は、透明導電膜が形成されている透明基板であることを特徴とする。
According to a seventh aspect of the present invention, in the electrophoretic display element, partition walls are formed on the first substrate so as to separate a plurality of spaces, and a liquid containing charged particles is contained in the plurality of spaces separated by the partition walls. The first substrate and the second substrate are filled so that the barrier layer of the second substrate in which the adhesive layer and the barrier layer insoluble in the liquid are sequentially laminated is in contact with the partition wall. Is characterized by being crimped.
The invention according to claim 8 is the electrophoretic display element according to
In the invention, the electrophoresis display device according to claim 9, the liquid containing the first substrate, partition walls separating a plurality of spaces are formed, the charged particles into a plurality of spaces separated by the partition wall The first substrate and the second substrate are disposed so that the barrier layer of the second substrate is sequentially laminated with the adhesive and the barrier layer insoluble in the liquid. after the substrate is crimped, the second and the substrate is peeled off, the first substrate to which the second substrate is peeled off, the semiconductor device including the driving electrode substrate is formed is adhered The first substrate is a transparent substrate on which a transparent conductive film is formed .
請求項10に記載の発明は、請求項6乃至9のいずれか一項に記載の電気泳動表示素子において、前記粘着剤は、熱硬化型又は紫外線硬化型の粘着剤であり、前記第一の基板と圧着されている前記第二の基板に形成されている前記粘着剤が硬化されていることを特徴とする。
The invention according to
請求項11に記載の発明は、画像表示装置において、請求項6乃至10のいずれか一項に記載の電気泳動表示素子を有することを特徴とする。 According to an eleventh aspect of the present invention, an image display device includes the electrophoretic display element according to any one of the sixth to tenth aspects.
本発明によれば、帯電粒子を含む液体が充填されている空間への封止膜の延伸を抑制することが可能な電気泳動表示素子の製造方法、該電気泳動表示素子の製造方法を用いて製造されている電気泳動表示素子及び該電気泳動表示素子を有する画像表示装置を提供することができる。 According to the present invention, a method for manufacturing an electrophoretic display element capable of suppressing the extension of a sealing film to a space filled with a liquid containing charged particles, and a method for manufacturing the electrophoretic display element are used. An electrophoretic display element manufactured and an image display apparatus having the electrophoretic display element can be provided.
次に、本発明を実施するための形態を図面と共に説明する。 Next, the form for implementing this invention is demonstrated with drawing.
図1に、本発明の電気泳動表示素子の製造方法の一例を示す。まず、基板11上に、複数の空間を隔てる隔壁12を形成する(図1(a)参照)。次に、スキージSを用いて、隔壁12により隔てられた複数の空間に電気泳動液13を充填する(図1(b)参照)。さらに、粘着剤14が形成されている基板15の粘着剤14が隔壁12と接触するように基板11と基板15を配置し、ローラーRを用いて、圧着する(図1(c)参照)。その結果、電気泳動液13が充填されている空間が封止され、電気泳動表示素子10Aが得られる(図1(d)参照)。これにより、電気泳動液13が充填されている空間への粘着剤14の延伸を抑制することができる。
In FIG. 1, an example of the manufacturing method of the electrophoretic display element of this invention is shown. First, the
一方、粘着剤14の代わりに、接着剤14'を用いて、図1と同様にして圧着すると、接着剤14'は流動性があるため、電気泳動液13が充填されている空間に接着剤14'が延伸する(図2参照)。
On the other hand, when the adhesive 14 ′ is used in place of the
図3に、本発明の電気泳動表示素子の製造方法の他の例を示す。まず、基板11上に、複数の空間を隔てる隔壁12を形成する(図3(a)参照)。次に、スキージSを用いて、隔壁12により隔てられた複数の空間に電気泳動液13を充填する(図3(b)参照)。一方、粘着剤14が形成されている基板15の粘着剤14上に、電気泳動液13に不溶であるバリア層16を形成する(図3(c)参照)。さらに、粘着剤14及びバリア層16が順次積層されている基板15のバリア層16が隔壁12と接触するように基板11と基板15を配置し、ローラーRを用いて、圧着する(図3(d)参照)。その結果、電気泳動液13が充填されている空間が封止され、電気泳動表示素子10Bが得られる(図3(e)参照)。これにより、電気泳動液13が充填されている空間への粘着剤14の延伸を抑制することができる。この場合、粘着剤14の電気泳動液13への溶出を抑制することができる。その結果、電気泳動液13に可溶な粘着剤14を用いることができる。
FIG. 3 shows another example of the method for producing an electrophoretic display element of the present invention. First, the
隔壁12を形成する方法としては、特に限定されないが、フォトレジストを用いる方法等が挙げられる。
The method for forming the
電気泳動液13としては、帯電粒子を含む液体であれば、特に限定されない。
The
粘着剤14としては、基板11と基板15を圧着することが可能であれば、特に限定されないが、熱硬化型又は紫外線硬化型の粘着剤が好ましい。
Although it will not specifically limit as the
粘着剤14として、熱硬化型又は紫外線硬化型の粘着剤を用いる場合は、基板11と基板15を圧着した後、粘着剤14を硬化することにより、粘着剤14の電気泳動液13への溶出を抑制することができる。
In the case where a thermosetting or ultraviolet curable adhesive is used as the adhesive 14, the adhesive 11 is dissolved into the
バリア層16としては、電気泳動液13に不溶であれば、特に限定されない。
The
図4に、本発明の電気泳動表示素子の製造方法の一例を示す。図4の電気泳動表示素子の製造方法は、図1の電気泳動表示素子の製造方法において、基板11及び基板15として、それぞれTFTアレイ11aが形成されている基板11b及び透明導電膜15aが形成されている透明フィルム15bを用いる構成である。
FIG. 4 shows an example of a method for producing an electrophoretic display element of the present invention. The electrophoretic display element manufacturing method of FIG. 4 is the same as the electrophoretic display element manufacturing method of FIG. 1 except that the
図5に、TFTアレイ11aが形成されている基板11bを示す。TFTアレイ11aは、ゲート電極1、ゲート絶縁膜2、ソース電極3A及びドレイン電極3B、半導体4、コンタクトホール5aが形成されている絶縁膜5、コンタクトホール5aを介して、ドレイン電極3Bから引き出されている駆動電極6、駆動電極6上に形成されている保護膜7を有する。
FIG. 5 shows a
なお、図4において、TFTアレイ11aにおける各TFTは、各電気泳動液13が充填されている空間に対応しているが、複数の電気泳動液13が充填されている空間に対応していてもよい。このとき、TFTアレイ11aにおける各TFTの境界上に、隔壁12が配置されていてもよいし、電気泳動液13が充填されている空間が配置されていてもよい。
In FIG. 4, each TFT in the
図6に、本発明の電気泳動表示素子の製造方法の他の例を示す。まず、基板15上に、複数の空間を隔てる隔壁12を形成する(図6(a)参照)。次に、スキージSを用いて、隔壁12により隔てられた複数の空間に電気泳動液13を充填する(図6(b)参照)。さらに、熱硬化型の粘着剤14が形成されている剥離シート17の粘着剤14が隔壁12と接触するように基板11と剥離シート17を配置し、ローラーRを用いて、圧着する(図6(c)参照)。次に、ヒーターHを用いて、電気泳動液13が充填されている空間が封止された基板15を加熱し、粘着剤14を硬化する(図6(d)参照)。さらに、粘着剤14が硬化した基板15から剥離シート17を剥離する(図6(e)参照)。次に、接着剤18を用いて、剥離シート17が剥離された基板15と、TFTアレイ11aが形成されている基板11bを接着し、電気泳動表示素子10Cが得られる(図6(f)参照)。これにより、製造時におけるTFTアレイ11aが形成されている基板11bの破損を抑制することができる。
FIG. 6 shows another example of the method for producing an electrophoretic display element of the present invention. First, the
図7に、本発明の画像表示装置の一例を示す。画像表示装置100は、電気泳動表示素子10、電気泳動表示素子10に画像情報を入力する情報入力部20、筺体30、駆動回路(不図示)、演算回路(不図示)、内部メモリ(不図示)、電気泳動表示素子10及び情報入力部20に電力を供給する電力供給部(不図示)を有する。画像表示装置100は、電気泳動表示素子10の指定のピクセルを発色させることにより、画像を表示することができる。電力供給部としては、電池等の内部電力を用いてもよいし、外部の電源から受電するコンセント等の受電装置を用いてもよい。
FIG. 7 shows an example of the image display device of the present invention. The
以下、本発明の実施例を説明するが、本発明は、実施例により限定されない。 Examples of the present invention will be described below, but the present invention is not limited to the examples.
[比較例1]
TFTアレイが形成されている基板のTFTアレイ上に、一辺が175μm、深さが60μmの正四角柱状のセルが200μmピッチで正方格子状に形成されるように、フォトレジストSU8(日本化薬社製)を用いて隔壁を形成した。次に、スキージを用いて、セル内に電気泳動液を充填した。電気泳動液は、正に帯電しているカーボン粒子、負に帯電している酸化チタン粒子、電荷制御剤Solsperse17000(アビシア社製)及び非極性溶媒IsoparG(エクソンモービル社製)から構成される。
[Comparative Example 1]
Photoresist SU8 (Nippon Kayaku Co., Ltd.) is formed on the TFT array of the substrate on which the TFT array is formed, so that square prismatic cells having a side of 175 μm and a depth of 60 μm are formed in a square lattice pattern at a pitch of 200 μm. The partition walls were formed using Next, the electrophoresis solution was filled into the cell using a squeegee. The electrophoretic solution is composed of positively charged carbon particles, negatively charged titanium oxide particles, a charge control agent Solsperse 17000 (manufactured by Avisia) and a nonpolar solvent IsoparG (manufactured by ExxonMobil).
ITO膜が形成されている透明PETフィルムのITO膜上に、紫外線硬化型接着剤3042C(スリーボンド社製)を、厚さが5〜10μm程度になるように塗布した。 On the ITO film of the transparent PET film on which the ITO film is formed, an ultraviolet curable adhesive 3042C (manufactured by Three Bond Co., Ltd.) was applied so as to have a thickness of about 5 to 10 μm.
紫外線硬化型接着剤が隔壁と接触するように、セル内に電気泳動液が充填された基板上に、紫外線硬化型接着剤が塗布された透明PETフィルムを配置し、ローラーを用いて圧着した。次に、1500〜2000mJ/cm2の紫外線を照射し、電気泳動表示素子を得た。 A transparent PET film coated with an ultraviolet curable adhesive was placed on a substrate filled with an electrophoretic liquid in the cell so that the ultraviolet curable adhesive was in contact with the partition walls, and was pressure-bonded using a roller. Next, the electrophoretic display element was obtained by irradiating with 1500 to 2000 mJ / cm 2 ultraviolet rays.
その結果、セルの隅に接着剤が延伸し、セルの中心部分に電気泳動粒子が集積したため、コントラストが低下した。 As a result, the adhesive was stretched at the corners of the cell, and the electrophoretic particles were collected at the center of the cell, resulting in a decrease in contrast.
[参考例1]
TFTアレイが形成されている基板のTFTアレイ上に、一辺が175μm、深さが60μmの正四角柱状のセルが200μmピッチで正方格子状に形成されるように、フォトレジストSU8(日本化薬社製)を用いて隔壁を形成した。次に、スキージを用いて、セル内に電気泳動液を充填した。電気泳動液は、正に帯電しているカーボン粒子、負に帯電している酸化チタン粒子、電荷制御剤Solsperse17000(アビシア社製)及び非極性溶媒IsoparG(エクソンモービル社製)から構成される。
[ Reference Example 1]
Photoresist SU8 (Nippon Kayaku Co., Ltd.) is formed on the TFT array of the substrate on which the TFT array is formed, so that square prismatic cells having a side of 175 μm and a depth of 60 μm are formed in a square lattice pattern at a pitch of 200 μm. The partition walls were formed using Next, the electrophoresis solution was filled into the cell using a squeegee. The electrophoretic solution is composed of positively charged carbon particles, negatively charged titanium oxide particles, a charge control agent Solsperse 17000 (manufactured by Avisia) and a nonpolar solvent IsoparG (manufactured by ExxonMobil).
ITO膜が形成されている透明PETフィルムのITO膜上に、アクリルエマルジョン粘着剤Oribain BPW(東洋インキ製造社製)を、厚さが5〜10μm程度になるように塗布した。 On the ITO film of the transparent PET film on which the ITO film is formed, an acrylic emulsion pressure-sensitive adhesive BPW (manufactured by Toyo Ink Manufacturing Co., Ltd.) was applied so as to have a thickness of about 5 to 10 μm.
アクリルエマルジョン粘着剤が隔壁と接触するように、セル内に電気泳動液が充填された基板上に、アクリルエマルジョン粘着剤が塗布された透明PETフィルムを配置し、ローラーを用いて圧着した。次に、シール剤を用いて、透明PETフィルムの周辺部を基板と接着させ、電気泳動表示素子を得た。 A transparent PET film coated with an acrylic emulsion pressure-sensitive adhesive was placed on a substrate filled with an electrophoretic liquid in the cell so that the acrylic emulsion pressure-sensitive adhesive was in contact with the partition walls, and pressure-bonded using a roller. Next, the peripheral part of the transparent PET film was adhered to the substrate using a sealant to obtain an electrophoretic display element.
その結果、セル内に粘着剤は延伸せず、セル内で均一に電気泳動粒子が移動するため、コントラストは良好であった。このとき、Oribain BPW(東洋インキ製造社製)は、IsoparG(エクソンモービル社製)に不溶である。 As a result, the pressure-sensitive adhesive did not extend into the cell, and the electrophoretic particles moved uniformly within the cell, so the contrast was good. At this time, Oribain BPW (manufactured by Toyo Ink Co., Ltd.) is insoluble in Isopar G (manufactured by ExxonMobil).
[実施例2]
TFTアレイが形成されている基板のTFTアレイ上に、一辺が175μm、深さが60μmの正四角柱状のセルが200μmピッチで正方格子状に形成されるように、フォトレジストSU8(日本化薬社製)を用いて隔壁を形成した。次に、スキージを用いて、セル内に電気泳動液を充填した。電気泳動液は、正に帯電しているカーボン粒子、負に帯電している酸化チタン粒子、電荷制御剤Solsperse17000(アビシア社製)及び非極性溶媒IsoparG(エクソンモービル社製)から構成される。
[Example 2]
Photoresist SU8 (Nippon Kayaku Co., Ltd.) is formed on the TFT array of the substrate on which the TFT array is formed, so that square prismatic cells having a side of 175 μm and a depth of 60 μm are formed in a square lattice pattern at a pitch of 200 μm. The partition walls were formed using Next, the electrophoresis solution was filled into the cell using a squeegee. The electrophoretic solution is composed of positively charged carbon particles, negatively charged titanium oxide particles, a charge control agent Solsperse 17000 (manufactured by Avisia) and a nonpolar solvent IsoparG (manufactured by ExxonMobil).
ITO膜が形成されている透明PETフィルムのITO膜上に、アクリル系粘着シートLUCIACS CS9621T(日東電工社製)を貼付した。次に、アクリル系粘着シート上に、バリア層として、厚さが0.1〜1μm程度のITO膜を形成した。 An acrylic pressure-sensitive adhesive sheet LUCIACS CS9621T (manufactured by Nitto Denko Corporation) was pasted on the ITO film of the transparent PET film on which the ITO film was formed. Next, an ITO film having a thickness of about 0.1 to 1 μm was formed as a barrier layer on the acrylic adhesive sheet.
バリア層が隔壁と接触するように、セル内に電気泳動液が充填された基板上に、バリア層が形成された透明PETフィルムを配置し、ローラーを用いて圧着した。次に、シール剤を用いて、透明PETフィルムの周辺部を基板と接着させ、電気泳動表示素子を得た。 A transparent PET film on which the barrier layer was formed was placed on a substrate filled with an electrophoretic liquid in the cell so that the barrier layer was in contact with the partition walls, and pressure-bonded using a roller. Next, the peripheral part of the transparent PET film was adhered to the substrate using a sealant to obtain an electrophoretic display element.
その結果、セル内に粘着剤は延伸せず、セル内で均一に電気泳動粒子が移動するため、コントラストは良好であった。このとき、LUCIACS CS9621T(日東電工社製)は、IsoparG(エクソンモービル社製)に可溶であるが、ITOは、IsoparG(エクソンモービル社製)に不溶である。 As a result, the pressure-sensitive adhesive did not extend into the cell, and the electrophoretic particles moved uniformly within the cell, so the contrast was good. At this time, LUCIACS CS9621T (manufactured by Nitto Denko) is soluble in IsoparG (manufactured by ExxonMobil), but ITO is insoluble in IsoparG (manufactured by ExxonMobil).
[実施例3]
TFTアレイが形成されている基板のTFTアレイ上に、一辺が175μm、深さが60μmの正四角柱状のセルが200μmピッチで正方格子状に形成されるように、フォトレジストSU8(日本化薬社製)を用いて隔壁を形成した。次に、スキージを用いて、セル内に電気泳動液を充填した。電気泳動液は、正に帯電しているカーボン粒子、負に帯電している酸化チタン粒子、電荷制御剤Solsperse17000(アビシア社製)及び非極性溶媒IsoparG(エクソンモービル社製)から構成される。
[Example 3]
Photoresist SU8 (Nippon Kayaku Co., Ltd.) is formed on the TFT array of the substrate on which the TFT array is formed, so that square prismatic cells having a side of 175 μm and a depth of 60 μm are formed in a square lattice pattern at a pitch of 200 μm. The partition walls were formed using Next, the electrophoresis solution was filled into the cell using a squeegee. The electrophoretic solution is composed of positively charged carbon particles, negatively charged titanium oxide particles, a charge control agent Solsperse 17000 (manufactured by Avisia) and a nonpolar solvent IsoparG (manufactured by ExxonMobil).
ITO膜が形成されている透明PETフィルムのITO膜上に、アクリル系粘着シートLUCIACS CS9621T(日東電工社製)を貼付した。次に、アクリル系粘着シート上に、紫外線硬化性樹脂PEG400DA(ダイセルサイテック社製)を、厚さが1〜5μm程度になるように塗布した後、1500〜2000mJ/cm2の紫外線を照射し、バリア層を形成した。 An acrylic pressure-sensitive adhesive sheet LUCIACS CS9621T (manufactured by Nitto Denko Corporation) was pasted on the ITO film of the transparent PET film on which the ITO film was formed. Next, an ultraviolet curable resin PEG400DA (manufactured by Daicel Cytec Co., Ltd.) is applied on the acrylic adhesive sheet so as to have a thickness of about 1 to 5 μm, and then irradiated with ultraviolet rays of 1500 to 2000 mJ / cm 2 . A barrier layer was formed.
バリア層が隔壁と接触するように、セル内に電気泳動液が充填された基板上に、バリア層が形成された透明PETフィルムを配置し、ローラーを用いて圧着した。次に、シール剤を用いて、透明PETフィルムの周辺部を基板と接着させ、電気泳動表示素子を得た。 A transparent PET film on which the barrier layer was formed was placed on a substrate filled with an electrophoretic liquid in the cell so that the barrier layer was in contact with the partition walls, and pressure-bonded using a roller. Next, the peripheral part of the transparent PET film was adhered to the substrate using a sealant to obtain an electrophoretic display element.
その結果、セル内に粘着剤は延伸せず、セル内で均一に電気泳動粒子が移動するため、コントラストは良好であった。このとき、LUCIACS CS9621T(日東電工社製)は、IsoparG(エクソンモービル社製)に可溶であるが、紫外線硬化性樹脂PEG400DA(ダイセルサイテック社製)の硬化膜は、IsoparG(エクソンモービル社製)に不溶である。 As a result, the pressure-sensitive adhesive did not extend into the cell, and the electrophoretic particles moved uniformly within the cell, so the contrast was good. At this time, LUCIACS CS9621T (manufactured by Nitto Denko) is soluble in Isopar G (manufactured by ExxonMobil), but the cured film of UV curable resin PEG400DA (manufactured by Daicel Cytec) is IsoparG (manufactured by ExxonMobil). Is insoluble.
[実施例4]
ITO膜が形成されている透明PETフィルムのITO膜上に、一辺が175μm、深さが60μmの正四角柱状のセルが200μmピッチで正方格子状に形成されるように、フォトレジストSU8(日本化薬社製)を用いて隔壁を形成した。次に、スキージを用いて、セル内に電気泳動液を充填した。電気泳動液は、正に帯電しているカーボン粒子、負に帯電している酸化チタン粒子、電荷制御剤Solsperse17000(アビシア社製)及び非極性溶媒IsoparG(エクソンモービル社製)から構成される。
[Example 4]
Photoresist SU8 (Nipponization Co., Ltd.) is formed on the ITO film of the transparent PET film on which the ITO film is formed so that square square cells having a side of 175 μm and a depth of 60 μm are formed in a square lattice pattern at a pitch of 200 μm. A partition wall was formed using Yakuhin). Next, the electrophoresis solution was filled into the cell using a squeegee. The electrophoretic solution is composed of positively charged carbon particles, negatively charged titanium oxide particles, a charge control agent Solsperse 17000 (manufactured by Avisia) and a nonpolar solvent IsoparG (manufactured by ExxonMobil).
両面に剥離シートが貼付されている熱硬化型の粘着シートのパナライブHM(パナック社製)の片面の剥離シートを剥離して、粘着シートが隔壁と接触するように、セル内に電気泳動液が充填された透明PETフィルム上に配置し、ローラーを用いて圧着した。次に、ヒーターを用いて、粘着シートと圧着されている透明PETフィルムを80〜100℃程度に加熱して、粘着シートを熱硬化した後、剥離シートを剥離した。 The electrophoretic liquid is placed in the cell so that the release sheet on one side of PANALIVE HM (manufactured by Panac Co., Ltd.), a thermosetting adhesive sheet with release sheets attached on both sides, is released and the adhesive sheet comes into contact with the partition walls. It arrange | positioned on the filled transparent PET film, and crimped | bonded using the roller. Next, the transparent PET film pressure-bonded to the pressure-sensitive adhesive sheet was heated to about 80 to 100 ° C. by using a heater to thermally cure the pressure-sensitive adhesive sheet, and then the release sheet was peeled off.
TFTアレイが形成されている基板のTFTアレイ上に、エポキシ系接着剤を用いて、熱硬化された粘着シートが形成されている透明PETフィルムの熱硬化された粘着シートが形成されている側の面を接着し、電気泳動表示素子を得た。 On the TFT array of the substrate on which the TFT array is formed, an epoxy adhesive is used to form a heat-cured pressure-sensitive adhesive sheet on the side where the heat-cured pressure-sensitive adhesive sheet is formed. The surfaces were bonded to obtain an electrophoretic display element.
その結果、セル内に粘着剤は延伸せず、セル内で均一に電気泳動粒子が移動するため、コントラストは良好であった。このとき、パナライブHM(パナック社製)は、IsoparG(エクソンモービル社製)に不溶である。 As a result, the pressure-sensitive adhesive did not extend into the cell, and the electrophoretic particles moved uniformly within the cell, so the contrast was good. At this time, Panalive HM (manufactured by Panac) is insoluble in Isopar G (manufactured by ExxonMobil).
[実施例5]
ITO膜が形成されている透明PETフィルムのITO膜上に、一辺が175μm、深さが60μmの正四角柱状のセルが200μmピッチで正方格子状に形成されるように、フォトレジストSU8(日本化薬社製)を用いて隔壁を形成した。次に、スキージを用いて、セル内に電気泳動液を充填した。電気泳動液は、正に帯電しているカーボン粒子、負に帯電している酸化チタン粒子、電荷制御剤Solsperse17000(アビシア社製)及び非極性溶媒IsoparG(エクソンモービル社製)から構成される。
[Example 5]
Photoresist SU8 (Nipponization Co., Ltd.) is formed on the ITO film of the transparent PET film on which the ITO film is formed so that square square cells having a side of 175 μm and a depth of 60 μm are formed in a square lattice pattern at a pitch of 200 μm. A partition wall was formed using Yakuhin). Next, the electrophoresis solution was filled into the cell using a squeegee. The electrophoretic solution is composed of positively charged carbon particles, negatively charged titanium oxide particles, a charge control agent Solsperse 17000 (manufactured by Avisia) and a nonpolar solvent IsoparG (manufactured by ExxonMobil).
ワイヤーバーを用いて、ポリビニルアルコールの0.1〜1.0質量%水溶液をガラス基板上に塗布した後、60〜100℃程度で乾燥し、厚さが1〜5μm程度のポリビニルアルコール膜を形成した。次に、両面に剥離シートが貼付されている紫外線硬化型の粘着シートUVP−2001(東亜合成社製)の片面の剥離シートを剥離して、粘着シートがポリビニルアルコール膜と接触するように、ガラス基板上に配置し、ローラーを用いて圧着した。さらに、粘着シートと圧着されているガラス基板を剥離することにより、ポリビニルアルコール膜を粘着シートに転写して、バリア層を形成した。 Using a wire bar, a 0.1 to 1.0% by weight aqueous solution of polyvinyl alcohol is applied onto a glass substrate and then dried at about 60 to 100 ° C. to form a polyvinyl alcohol film having a thickness of about 1 to 5 μm. did. Next, the release sheet on one side of the UV-curable adhesive sheet UVP-2001 (manufactured by Toa Gosei Co., Ltd.) with release sheets attached to both sides is peeled off, and the glass is placed in contact with the polyvinyl alcohol film. It arrange | positioned on the board | substrate and crimped | bonded using the roller. Furthermore, the polyvinyl alcohol film | membrane was transcribe | transferred to the adhesive sheet by peeling the glass substrate crimped | bonded with the adhesive sheet, and the barrier layer was formed.
バリア層が隔壁と接触するように、セル内に電気泳動液が充填された透明PETフィルム上に、バリア層が形成された粘着シートを配置し、ローラーを用いて圧着した。次に、粘着シートと圧着されている透明PETフィルムに1500〜2000mJ/cm2の紫外線を照射し、粘着シートを硬化させた後、剥離シートを剥離した。 The pressure-sensitive adhesive sheet on which the barrier layer was formed was placed on a transparent PET film filled with an electrophoretic solution in the cell so that the barrier layer was in contact with the partition walls, and was pressure bonded using a roller. Next, the transparent PET film pressure-bonded to the pressure-sensitive adhesive sheet was irradiated with 1500 to 2000 mJ / cm 2 of ultraviolet light to cure the pressure-sensitive adhesive sheet, and then the release sheet was peeled off.
TFTアレイが形成されている基板のTFTアレイ上に、エポキシ系接着剤を用いて、紫外線硬化した粘着シートが形成されている透明PETフィルムの紫外線硬化した粘着シートが形成されている側の面を接着させ、電気泳動表示素子を得た。 The surface of the transparent PET film on which the UV-cured adhesive sheet is formed is formed on the TFT array of the substrate on which the TFT array is formed using an epoxy adhesive. The electrophoretic display element was obtained by bonding.
その結果、セル内に粘着剤は延伸せず、セル内で均一に電気泳動粒子が移動するため、コントラストは良好であった。このとき、UVP−2001(東亜合成社製)は、IsoparG(エクソンモービル社製)に可溶であるが、ポリビニルアルコールは、IsoparG(エクソンモービル社製)に不溶である。 As a result, the pressure-sensitive adhesive did not extend into the cell, and the electrophoretic particles moved uniformly within the cell, so the contrast was good. At this time, UVP-2001 (manufactured by Toa Gosei Co., Ltd.) is soluble in IsoparG (manufactured by ExxonMobil), but polyvinyl alcohol is insoluble in IsoparG (manufactured by ExxonMobil).
10、10A、10B、10C 電気泳動表示素子
11 基板
11a TFTアレイ
11b 基板
12 隔壁
13 電気泳動液
14 粘着剤
15 基板
15a 透明導電膜
15b 透明フィルム
16 バリア層
17 剥離シート
18 接着剤
100 画像表示装置
H ヒーター
R ローラー
S スキージ
DESCRIPTION OF
Claims (11)
該隔壁により隔てられた複数の空間に帯電粒子を含む液体を充填する工程と、
粘着剤が形成されている第二の基板の該粘着剤が前記隔壁と接触するように、前記第一の基板と前記第二の基板を圧着する工程を有し、
前記第一の基板は、透明導電膜が形成されている透明基板であり、
前記第一の基板と圧着されている前記第二の基板を剥離する工程と、
該第二の基板が剥離された第一の基板と、駆動電極を含む半導体素子が形成されている基板を接着する工程をさらに有することを特徴とする電気泳動表示素子の製造方法。 Forming a partition separating a plurality of spaces on the first substrate;
Filling a plurality of spaces separated by the partition walls with a liquid containing charged particles;
As the PSA of the second substrate the adhesive is formed in contact with said partition wall, it has a step of crimping the first substrate and the second substrate,
The first substrate is a transparent substrate on which a transparent conductive film is formed,
Peeling the second substrate that is pressure-bonded to the first substrate;
A method for manufacturing an electrophoretic display element, further comprising a step of bonding the first substrate from which the second substrate has been peeled off to a substrate on which a semiconductor element including a drive electrode is formed .
該隔壁により隔てられた複数の空間に帯電粒子を含む液体を充填する工程と、
粘着剤が形成されている第二の基板の該粘着剤上に、前記液体に不溶であるバリア層を形成する工程と、
該バリア層が前記隔壁と接触するように、前記第一の基板と前記第二の基板を圧着する工程を有することを特徴とする電気泳動表示素子の製造方法。 Forming a partition separating a plurality of spaces on the first substrate;
Filling a plurality of spaces separated by the partition walls with a liquid containing charged particles;
Forming a barrier layer insoluble in the liquid on the adhesive of the second substrate on which the adhesive is formed;
A method for manufacturing an electrophoretic display element, comprising a step of pressure-bonding the first substrate and the second substrate so that the barrier layer is in contact with the partition wall.
前記第二の基板は、透明導電膜が形成されている透明基板であることを特徴とする請求項2に記載の電気泳動表示素子の製造方法。 The first substrate is a substrate on which a semiconductor element including a drive electrode is formed,
The method for manufacturing an electrophoretic display element according to claim 2 , wherein the second substrate is a transparent substrate on which a transparent conductive film is formed.
前記第一の基板と圧着されている前記第二の基板を剥離する工程と、
該第二の基板が剥離された第一の基板と、駆動電極を含む半導体素子が形成されている基板を接着する工程をさらに有することを特徴とする請求項2に記載の電気泳動表示素子の製造方法。 The first substrate is a transparent substrate on which a transparent conductive film is formed,
Peeling the second substrate that is pressure-bonded to the first substrate;
3. The electrophoretic display element according to claim 2 , further comprising a step of bonding the first substrate from which the second substrate is peeled off to the substrate on which the semiconductor element including the drive electrode is formed. Production method.
前記第一の基板と圧着されている前記第二の基板に形成されている前記粘着剤を硬化する工程をさらに有することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の電気泳動表示素子の製造方法。 The pressure-sensitive adhesive is a thermosetting or ultraviolet curable pressure-sensitive adhesive,
Electrophoresis according to any one of claims 1 to 4, further comprising the step of curing the adhesive are formed on the second substrate being crimped between said first substrate A method for manufacturing a display element.
該隔壁により隔てられた複数の空間に帯電粒子を含む液体が充填されており、
粘着剤が形成されている第二の基板の該粘着剤が前記隔壁と接触するように、前記第一の基板及び前記第二の基板が圧着された後、前記第二の基板が剥離されており、
該第二の基板が剥離された第一の基板と、駆動電極を含む半導体素子が形成されている基板が接着されており、
前記第一の基板は、透明導電膜が形成されている透明基板であることを特徴とする電気泳動表示素子。 A partition that separates the plurality of spaces is formed on the first substrate,
A plurality of spaces separated by the partition walls are filled with a liquid containing charged particles,
After the first substrate and the second substrate are pressure-bonded so that the adhesive of the second substrate on which the adhesive is formed contacts the partition , the second substrate is peeled off cage,
A first substrate to which the second substrate is peeled off, the semiconductor device including the driving electrode substrate is formed are bonded,
The electrophoretic display element, wherein the first substrate is a transparent substrate on which a transparent conductive film is formed .
該隔壁により隔てられた複数の空間に帯電粒子を含む液体が充填されており、
粘着剤及び前記液体に不溶であるバリア層が順次積層されている第二の基板の該バリア層が前記隔壁と接触するように、前記第一の基板及び前記第二の基板が圧着されていることを特徴とする電気泳動表示素子。 A partition that separates the plurality of spaces is formed on the first substrate,
A plurality of spaces separated by the partition walls are filled with a liquid containing charged particles,
The first substrate and the second substrate are pressure-bonded so that the barrier layer of the second substrate on which the adhesive and the barrier layer insoluble in the liquid are sequentially laminated are in contact with the partition wall. An electrophoretic display element characterized by the above.
前記第二の基板は、透明導電膜が形成されている透明基板であることを特徴とする請求項7に記載の電気泳動表示素子。 The first substrate is a substrate on which a semiconductor element including a drive electrode is formed,
The electrophoretic display element according to claim 7 , wherein the second substrate is a transparent substrate on which a transparent conductive film is formed.
該隔壁により隔てられた複数の空間に帯電粒子を含む液体が充填されており、
粘着剤及び前記液体に不溶であるバリア層が順次積層されている第二の基板の該バリア層が前記隔壁と接触するように、前記第一の基板及び前記第二の基板が圧着された後、前記第二の基板が剥離されており、
該第二の基板が剥離された第一の基板と、駆動電極を含む半導体素子が形成されている基板が接着されており、
前記第一の基板は、透明導電膜が形成されている透明基板であることを特徴とする電気泳動表示素子。 A partition that separates the plurality of spaces is formed on the first substrate,
A plurality of spaces separated by the partition walls are filled with a liquid containing charged particles,
After the first substrate and the second substrate are pressure-bonded so that the barrier layer of the second substrate on which the adhesive and the barrier layer insoluble in the liquid are sequentially laminated are in contact with the partition wall The second substrate is peeled off,
A first substrate to which the second substrate is peeled off, the semiconductor device including the driving electrode substrate is formed are bonded,
Wherein the first substrate includes you being a transparent substrate having a transparent conductive film is formed electrophoresis display device.
前記第一の基板と圧着されている前記第二の基板に形成されている前記粘着剤が硬化されていることを特徴とする請求項6乃至9のいずれか一項に記載の電気泳動表示素子。 The pressure-sensitive adhesive is a thermosetting or ultraviolet curable pressure-sensitive adhesive,
The electrophoretic display device according to any one of claims 6 to 9, characterized in that said adhesive is formed on the second substrate being crimped to the first substrate is cured .
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