JP5636652B2 - 分級装置及び分級方法 - Google Patents
分級装置及び分級方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5636652B2 JP5636652B2 JP2009191684A JP2009191684A JP5636652B2 JP 5636652 B2 JP5636652 B2 JP 5636652B2 JP 2009191684 A JP2009191684 A JP 2009191684A JP 2009191684 A JP2009191684 A JP 2009191684A JP 5636652 B2 JP5636652 B2 JP 5636652B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- classification
- path
- particles
- particle dispersion
- liquid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 41
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 174
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 105
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 claims description 70
- 238000011084 recovery Methods 0.000 claims description 43
- 230000005484 gravity Effects 0.000 claims description 32
- 238000004062 sedimentation Methods 0.000 claims description 8
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 37
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 35
- 239000002609 medium Substances 0.000 description 30
- -1 polydimethylsiloxane Polymers 0.000 description 30
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 14
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 13
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 13
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 12
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 12
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 12
- 229920003171 Poly (ethylene oxide) Polymers 0.000 description 8
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 8
- 235000014113 dietary fatty acids Nutrition 0.000 description 7
- 239000000194 fatty acid Substances 0.000 description 7
- 229930195729 fatty acid Natural products 0.000 description 7
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 7
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000012736 aqueous medium Substances 0.000 description 6
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 6
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 6
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 6
- WSFSSNUMVMOOMR-UHFFFAOYSA-N Formaldehyde Chemical compound O=C WSFSSNUMVMOOMR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 150000002736 metal compounds Chemical class 0.000 description 5
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 description 5
- 239000012615 aggregate Substances 0.000 description 4
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 4
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 4
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 4
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 4
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 4
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- YMWUJEATGCHHMB-UHFFFAOYSA-N Dichloromethane Chemical compound ClCCl YMWUJEATGCHHMB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N O-Xylene Chemical compound CC1=CC=CC=C1C CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000003945 anionic surfactant Substances 0.000 description 3
- 239000011362 coarse particle Substances 0.000 description 3
- 239000002270 dispersing agent Substances 0.000 description 3
- 239000002612 dispersion medium Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 3
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 3
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 3
- 239000000113 methacrylic resin Substances 0.000 description 3
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 3
- 239000002736 nonionic surfactant Substances 0.000 description 3
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 3
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 3
- 239000008096 xylene Substances 0.000 description 3
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 2
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 2
- HEDRZPFGACZZDS-UHFFFAOYSA-N Chloroform Chemical compound ClC(Cl)Cl HEDRZPFGACZZDS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UQSXHKLRYXJYBZ-UHFFFAOYSA-N Iron oxide Chemical compound [Fe]=O UQSXHKLRYXJYBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N N-Butanol Chemical compound CCCCO LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910019142 PO4 Inorganic materials 0.000 description 2
- PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N Styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1 PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 2
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 2
- WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N Tetrahydrofuran Chemical compound C1CCOC1 WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920002433 Vinyl chloride-vinyl acetate copolymer Polymers 0.000 description 2
- 238000001015 X-ray lithography Methods 0.000 description 2
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 2
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 2
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 2
- 150000001346 alkyl aryl ethers Chemical class 0.000 description 2
- 150000004996 alkyl benzenes Chemical class 0.000 description 2
- 125000002091 cationic group Chemical group 0.000 description 2
- 239000003093 cationic surfactant Substances 0.000 description 2
- MVPPADPHJFYWMZ-UHFFFAOYSA-N chlorobenzene Chemical compound ClC1=CC=CC=C1 MVPPADPHJFYWMZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 2
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 2
- JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N cyclohexanone Chemical compound O=C1CCCCC1 JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000004205 dimethyl polysiloxane Substances 0.000 description 2
- 230000005496 eutectics Effects 0.000 description 2
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 description 2
- 239000002923 metal particle Substances 0.000 description 2
- 229910052976 metal sulfide Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 2
- 239000010452 phosphate Substances 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- 239000000049 pigment Substances 0.000 description 2
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 2
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 2
- 229920000435 poly(dimethylsiloxane) Polymers 0.000 description 2
- 229920000768 polyamine Polymers 0.000 description 2
- 229920001225 polyester resin Polymers 0.000 description 2
- 239000004645 polyester resin Substances 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N propan-1-ol Chemical compound CCCO BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 2
- 239000007790 solid phase Substances 0.000 description 2
- 229920005792 styrene-acrylic resin Polymers 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- BDHFUVZGWQCTTF-UHFFFAOYSA-M sulfonate Chemical compound [O-]S(=O)=O BDHFUVZGWQCTTF-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 2
- DHKHKXVYLBGOIT-UHFFFAOYSA-N 1,1-Diethoxyethane Chemical compound CCOC(C)OCC DHKHKXVYLBGOIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QLUXVUVEVXYICG-UHFFFAOYSA-N 1,1-dichloroethene;prop-2-enenitrile Chemical compound C=CC#N.ClC(Cl)=C QLUXVUVEVXYICG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYHBNJHYFVUHQT-UHFFFAOYSA-N 1,4-Dioxane Chemical compound C1COCCO1 RYHBNJHYFVUHQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 2-METHOXYETHANOL Chemical compound COCCO XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxyethanol Chemical compound CCOCCO ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910015365 Au—Si Inorganic materials 0.000 description 1
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N Glycerol Natural products OCC(O)CO PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N Magnesium oxide Chemical compound [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N Phenol Chemical compound OC1=CC=CC=C1 ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001214 Polysorbate 60 Polymers 0.000 description 1
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 1
- 229920001328 Polyvinylidene chloride Polymers 0.000 description 1
- XBDQKXXYIPTUBI-UHFFFAOYSA-M Propionate Chemical compound CCC([O-])=O XBDQKXXYIPTUBI-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910006404 SnO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- ULUAUXLGCMPNKK-UHFFFAOYSA-N Sulfobutanedioic acid Chemical compound OC(=O)CC(C(O)=O)S(O)(=O)=O ULUAUXLGCMPNKK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011354 acetal resin Substances 0.000 description 1
- KXKVLQRXCPHEJC-UHFFFAOYSA-N acetic acid trimethyl ester Natural products COC(C)=O KXKVLQRXCPHEJC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000007513 acids Chemical class 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 230000004931 aggregating effect Effects 0.000 description 1
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920000180 alkyd Polymers 0.000 description 1
- 150000003973 alkyl amines Chemical class 0.000 description 1
- 150000005215 alkyl ethers Chemical class 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 125000000129 anionic group Chemical group 0.000 description 1
- 239000003963 antioxidant agent Substances 0.000 description 1
- 230000003078 antioxidant effect Effects 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- 229940077388 benzenesulfonate Drugs 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 125000000484 butyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 239000006229 carbon black Substances 0.000 description 1
- 239000005018 casein Substances 0.000 description 1
- BECPQYXYKAMYBN-UHFFFAOYSA-N casein, tech. Chemical compound NCCCCC(C(O)=O)N=C(O)C(CC(O)=O)N=C(O)C(CCC(O)=N)N=C(O)C(CC(C)C)N=C(O)C(CCC(O)=O)N=C(O)C(CC(O)=O)N=C(O)C(CCC(O)=O)N=C(O)C(C(C)O)N=C(O)C(CCC(O)=N)N=C(O)C(CCC(O)=N)N=C(O)C(CCC(O)=N)N=C(O)C(CCC(O)=O)N=C(O)C(CCC(O)=O)N=C(O)C(COP(O)(O)=O)N=C(O)C(CCC(O)=N)N=C(O)C(N)CC1=CC=CC=C1 BECPQYXYKAMYBN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000021240 caseins Nutrition 0.000 description 1
- 150000001768 cations Chemical class 0.000 description 1
- 239000012461 cellulose resin Substances 0.000 description 1
- 238000003889 chemical engineering Methods 0.000 description 1
- HGAZMNJKRQFZKS-UHFFFAOYSA-N chloroethene;ethenyl acetate Chemical class ClC=C.CC(=O)OC=C HGAZMNJKRQFZKS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 239000000084 colloidal system Substances 0.000 description 1
- 239000011246 composite particle Substances 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 150000004985 diamines Chemical class 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- ZBCBWPMODOFKDW-UHFFFAOYSA-N diethanolamine Chemical compound OCCNCCO ZBCBWPMODOFKDW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 239000012153 distilled water Substances 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 150000002170 ethers Chemical class 0.000 description 1
- 150000004665 fatty acids Chemical class 0.000 description 1
- 150000002191 fatty alcohols Chemical class 0.000 description 1
- 235000011187 glycerol Nutrition 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 150000002462 imidazolines Chemical class 0.000 description 1
- 150000002484 inorganic compounds Chemical class 0.000 description 1
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010954 inorganic particle Substances 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 238000005342 ion exchange Methods 0.000 description 1
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 239000011817 metal compound particle Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- UFWIBTONFRDIAS-UHFFFAOYSA-N naphthalene-acid Natural products C1=CC=CC2=CC=CC=C21 UFWIBTONFRDIAS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 1
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 229920006287 phenoxy resin Polymers 0.000 description 1
- 239000013034 phenoxy resin Substances 0.000 description 1
- WVDDGKGOMKODPV-ZQBYOMGUSA-N phenyl(114C)methanol Chemical compound O[14CH2]C1=CC=CC=C1 WVDDGKGOMKODPV-ZQBYOMGUSA-N 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920002037 poly(vinyl butyral) polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920002401 polyacrylamide Polymers 0.000 description 1
- 229920006122 polyamide resin Polymers 0.000 description 1
- 229920001230 polyarylate Polymers 0.000 description 1
- 229920005668 polycarbonate resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004431 polycarbonate resin Substances 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 1
- 239000010695 polyglycol Substances 0.000 description 1
- 229920000151 polyglycol Polymers 0.000 description 1
- 229920006324 polyoxymethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920005990 polystyrene resin Polymers 0.000 description 1
- 229920005749 polyurethane resin Polymers 0.000 description 1
- 239000011118 polyvinyl acetate Substances 0.000 description 1
- 229920002689 polyvinyl acetate Polymers 0.000 description 1
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 1
- 239000004800 polyvinyl chloride Substances 0.000 description 1
- 229920000915 polyvinyl chloride Polymers 0.000 description 1
- 239000005033 polyvinylidene chloride Substances 0.000 description 1
- 229920002717 polyvinylpyridine Polymers 0.000 description 1
- 150000003242 quaternary ammonium salts Chemical class 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 239000004576 sand Substances 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002050 silicone resin Polymers 0.000 description 1
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 239000012798 spherical particle Substances 0.000 description 1
- 229920003048 styrene butadiene rubber Polymers 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 1
- 229940104261 taurate Drugs 0.000 description 1
- YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N tetrahydrofuran Natural products C=1C=COC=1 YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
- 239000012808 vapor phase Substances 0.000 description 1
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B03—SEPARATION OF SOLID MATERIALS USING LIQUIDS OR USING PNEUMATIC TABLES OR JIGS; MAGNETIC OR ELECTROSTATIC SEPARATION OF SOLID MATERIALS FROM SOLID MATERIALS OR FLUIDS; SEPARATION BY HIGH-VOLTAGE ELECTRIC FIELDS
- B03B—SEPARATING SOLID MATERIALS USING LIQUIDS OR USING PNEUMATIC TABLES OR JIGS
- B03B5/00—Washing granular, powdered or lumpy materials; Wet separating
- B03B5/62—Washing granular, powdered or lumpy materials; Wet separating by hydraulic classifiers, e.g. of launder, tank, spiral or helical chute concentrator type
- B03B5/64—Washing granular, powdered or lumpy materials; Wet separating by hydraulic classifiers, e.g. of launder, tank, spiral or helical chute concentrator type of the free settling type
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B03—SEPARATION OF SOLID MATERIALS USING LIQUIDS OR USING PNEUMATIC TABLES OR JIGS; MAGNETIC OR ELECTROSTATIC SEPARATION OF SOLID MATERIALS FROM SOLID MATERIALS OR FLUIDS; SEPARATION BY HIGH-VOLTAGE ELECTRIC FIELDS
- B03B—SEPARATING SOLID MATERIALS USING LIQUIDS OR USING PNEUMATIC TABLES OR JIGS
- B03B5/00—Washing granular, powdered or lumpy materials; Wet separating
Landscapes
- Separation Of Solids By Using Liquids Or Pneumatic Power (AREA)
Description
また、同じように粒径の違いによる重力沈降速度差を利用してマイクロ流路内の層流下で分級する微粒子の分級方法及び分級装置が提案されている(例えば、特許文献3参照)。
<1> 分級路と、一端に粒子分散液を導入する開口部を有し、他端が前記分級路に接続部を介して接続された粒子分散液導入路と、一端に輸送液を導入する開口部を有し、他端が前記分級路に接続された輸送液導入路と、一端が開口部を有し、他端が前記分級路に接続され、分級路で分級された粒子を回収する少なくとも1つの回収路と、を備え、前記接続部の流路幅と、前記分級路の流路幅が略同一であり、かつ、少なくとも1つの回収路の底面の形状が、流路幅の中央部が凸の形状であることを特徴とする分級装置、
<2> 回収路を複数有する<1>に記載の分級装置、
<3> <1>又は<2>に記載の分級装置を使用して粒子分散液中の粒子を分級することを特徴とする分級方法。
上記<2>に記載の発明によれば、本構成を有していない場合に比して、より分級精度に優れる。
上記<3>に記載の発明によれば、本構成を有していない場合に比して、分級精度に優れる。
なお、以下の説明において、数値範囲を表す「A〜B」の記載は、特に断りのない限り「A以上B以下」を意味する。すなわち、端点であるA及びBを含む数値範囲を意味する。
以下、適宜図面を参照しながらさらに詳細に説明する。なお、以下の説明において、特に断りのない限り、同一の符号は同一の対象を表すものである。
図6に示すように、粒子が流路の側壁近傍に存在する場合、粒子の送液速度については、鉛直方向に対して同一の高さで比較すると(流路の進行方向に平行な断面における幅方向で比較すると)、平面ポアズイユ流となっており、図6の上部に示すように、流速は放物線分布となり、流路の水平方向中央において最も流速が速い。すなわち、流路の中心に比べ、側壁近傍での粒子の送液方向への移動が遅い。このため、流路の中心に比べ、側壁近傍での粒子は水平方向の距離に対して見かけ上速く沈降する。この結果、流路の断面における粒子分布は∩形状(逆U字形状)となる。
本実施形態では、図6に示すように、粒子が流路の側壁近傍に存在する場合には、流路の断面における粒子分布は∩形状(逆U字形状)となることに鑑み、粒子分散液を回収する回収部での流路形状を、粒子分布の形状と合わせることで、優れた分級効率を得るものである。
図1に示す分級装置100は、粒子分散液Aを上層、輸送液Bを下層とする層流下で粒子分散液及び輸送液を送液する分級路110を有する。
該分級路110の上流には、一端に粒子分散液を導入する開口部(粒子分散液導入口)121を有し、他端が分級路110に接続部を介して接続された粒子分散液導入路120と、一端に輸送液を導入する開口部(輸送液導入口)131を有し、他端が分級路110に接続された輸送液導入路130とが配置されている。
本実施形態において、粒子分散液導入路120は、分級路110の上方に接続され、輸送液導入路130は、分級路110の下方に接続され、分級路110は、粒子分散液を上層、輸送液を下層とする層流下で、粒子分散液及び輸送液が送液される。なお、本実施形態はこれに限定されず、粒子分散液と輸送液との間に、他の液体の層を有していてもよいが、粒子分散液導入路120と輸送液導入路130とは、粒子分散液が輸送液に対して相対的に上方となるように、分級路110に接続されていることが好ましい。
粒子分散液中の粒子は、分級路110を送液される間に、重力により沈降する。このとき、粒子分散液が含有する粒子の比重が同じであれば、ストークスの定義により、大きな粒子ほど先に沈降し、小さな粒子はゆっくりと沈降しながら、分級路110下流へと送液される。分級路110の下流には、一端に開口部を有し、他端が分級路に接続され、分級された粒子を回収する少なくとも1つの回収路140が設けられている。図1では、2つの回収路140、141が設けられているが、本実施形態はこれに限定されるものではなく、1つ以上の回収路が設けられていればよいが、2以上の回収路が設けられていることが好ましい。
また、本実施形態において、分級装置100は、粒子分散液導入路120と分級路110との接続部150を有する。
図2は、分級装置100の接続部150を含む拡大図である。図2中、接続部150の流路幅をa、分級路110の流路幅をbで表している。
図2(A)では、接続部150の流路幅aと、分級路110の流路幅bとが同一である。一方、図2(B)では、接続部150の流路幅aが分級路110の流路幅bよりも小さい。
ここで、接続部150の流路幅aと、分級路110の流路幅bとが略同一であるとは、0.8×a≦b≦1.2×aを満たすことを意味する。0.9×a≦b≦1.1×aを満たすことがより好ましく、0.95×a≦b≦1.05×aを満たすことがさらに好ましく、a=bであることが特に好ましい。
分級路110の流路幅bが接続部150の流路幅aの0.8倍未満であると、接続部150の流路幅aの方が分級路110の流路幅bよりも過度に大きく、分級路110との間に粒子の堆積が生じ、目詰まりを発生する。また、分級路110の流路幅bが接続部150の流路幅aの1.2倍を超えると、分級路の幅全体に渡って粒子分散液が導入されず、図7に示す粒子分布を示さないため、本実施形態の効果が得られない。
図5は従来の分級装置の一例を示す概念斜視図である。
図5に示すように、従来の分級装置では、分級路を水平方向に区切るように、回収路を設けている。図5では、水平方向の上方を送液される流体が回収路141から回収され、水平方向の下方を送液される流体が回収路140から回収される。しかし、図6に示すように、流路断面における粒子分布は∩形状(逆U字形状)となるため、流路の側壁近傍では下方の回収路に微小流路の混入が生じ、十分な分級効率が得られない。
図3は、図1に示す分級装置のx−x’断面であり、回収路の断面図を示している。
図1に示す分級装置100の回収路141の断面は、図3(A)に示すように、中央が凸の逆V字形状(∧形状)であるが、本実施形態において、回収路の流路断面の形状は、底面の形状が流路幅の中央部が凸の形状であれば特に限定されるものではない。
具体的には、図3(B)に示すように流路幅の全体に渡って、上に凸の台形(等脚台形)の形状であってもよく、図3(C)に示すように、流路幅の中央部が上に凸の台形(等脚台形)の形状であってもよい。また、図3(D)に示すように、回収路の底面が流路幅の全体に渡って上に凸の湾曲形状であってもよく、図3(E)に示すように、流路幅の中央部が上に凸の湾曲形状であってもよい。さらに、図3(F)に示すように、流路幅の中央部が上に凸の矩形の形状であってもよく、図3(G)に示すように、流路幅の中央が上に凸の逆V字形状であってもよい。
これらの中でも、分級効率の観点から、回収路の流路形状は図3(E)に示すように流路幅の中央部が上に凸の湾曲形状であることが特に好ましい。
図4に示す分級装置100には、3つの回収路が設けられている。図4において、回収路141及び回収路142の流路断面の形状は、いずれも流路幅の全体に渡って、上に凸の∧形状である。
本実施形態において、回収路の断面形状の少なくとも1つが、流路幅の中央部が凸の形状であればよいが、図4に示すように、全ての回収路の断面の形状が、流路幅の中央部が凸の形状であることがより好ましい。
マイクロスケールの流路は、寸法及び流速がいずれも小さい。本実施形態において、レイノルズ数は2,300以下である。したがって、本実施形態の分級装置は、通常の分級装置のような乱流支配ではなく、層流支配の装置である。
ここで、レイノルズ数(Re)は、下記式で表されるものであり、2,300以下のとき層流支配となる。
Re=uL/ν (u:流速、L:代表長さ、ν:動粘性係数)
一方、流路径が大きく、粒子分散液が乱流となる場合は、粒子の沈降位置が変化してしまうため、基本的に分級されない。
一般的には、媒体液体及び輸送液と、粒子との比重差が小さい場合、分級路の長さを長くすることが好ましい。
一方、分級路の底面が傾斜を有していると、分級路の底面に沈降した粒子は、重力に従って底面に沿って下方へと移動するので、粒子の堆積や、それによる流路の目詰まりが抑制されるので好ましい。
粒子分散液導入路における送液方向は、水平方向から傾きを有し、上方から下方へと下向きに送液されることが好ましく、特に、重力方向であることが好ましい。ここで、流路の送液方向の角度が水平である時を0°、重力方向下方である場合を90°とすると、粒子分散液導入路の送液方向は、0°より大きく、135°以下であることが好ましく、10〜120°であることがより好ましく、20〜110°であることがさらに好ましい。
粒子分散液導入路の送液方向を0°より大きくすることによって、粒子の目詰まりが抑制されるので好ましく、特に90°とすると、粒子の目詰まりが最も生じにくいので好ましい。
また、分級路の送液方向は、0°より大きく、90°未満であることが好ましく、10〜80°であることがより好ましく、20〜70°であることがさらに好ましく、30〜60°であることが特に好ましい。分級路の送液方向が0°より大きいと、上述のとおり、分級路底面に沈降した粒子が重力により流路下流へと送液されるので好ましい。また、分級路の送液方向が90°未満であると、分級精度が向上するので好ましい。
回収路の送液方向は、粒子分散液導入路の送液方向と同様に、0°より大きく、90°以下であることが好ましく、10〜90°であることがより好ましく、20〜90°であることがさらに好ましく、90°(重力方向)であることが特に好ましい。
回収路の送液方向を重力方向とすることにより、粒子の目詰まりが抑制されるので特に好ましい。
なお、本実施形態において、粒子を含まない輸送液が送液される、輸送液導入路での送液方向は特に限定されない。
また、輸送液の輸送液導入路での流速は、0.002〜5,000mL/hrであることが好ましく、0.1〜3,000mL/hrであることがより好ましい。
本実施形態の分級装置は、固体基板上に微細加工技術により作製してもよい。
固体基板として使用される材料の例としては、金属、シリコン、テフロン(登録商標)、ガラス、セラミックス及びプラスチックなどが挙げられる。中でも、金属、シリコン、テフロン(登録商標)、ガラス及びセラミックスが、耐熱、耐圧、耐溶剤性及び光透過性の観点から好ましく、特に好ましくはガラスである。
接合技術を用いた製造方法としては、
(i)第1の基板上に目的とする分級装置の各断面形状に対応した複数のパターン部材を形成する工程(ドナー基板作製工程)、及び、
(ii)前記複数のパターン部材が形成された前記第1の基板と第2の基板との接合及び離間を繰り返すことにより前記第1の基板上の前記複数のパターン部材を前記第2の基板上に転写する工程(接合工程)、
を含むことを特徴とする製造方法が例示され、例えば、特開2006−187684号公報に記載の製造方法が参照される。
粒子分散液は、体積平均粒子径が0.1μm〜1,000μmの粒子が媒体液体に分散し、該粒子の比重から媒体液体の比重を引いた差が0.01〜20であることが好ましい。
粒子の体積平均粒子径は、0.1〜1,000μmであることが好ましく、0.1〜500μmであることがより好ましく、0.1〜200μmであることがさらに好ましく、0.1〜50μmであることが特に好ましい。該粒子の体積平均粒子径が1,000μm以下であると、流路詰まりが生じにくいので好ましい。また、沈降速度が適当であり、流路底面への堆積、流路の閉塞が抑制されるので好ましい。粒子の体積平均粒子径が0.1μm以上であると、流路内壁面とのインタラクションが生じにくく、付着が生じにくいので好ましい。
また、金属あるいは金属化合物の微粒子(一般的に比重が2〜10程度である。)と組み合わされる媒体液体としては、金属などを酸化、還元などで侵さない水、アルコール類、キシレンなどの有機溶媒、あるいは油類が好ましく挙げられる。
好ましい粒子と媒体液体との組み合わせとしては、スチレン−アクリル樹脂系粒子と水系媒体、スチレン−メタクリル樹脂系粒子と水系媒体、ポリエステル樹脂系粒子と水系媒体が挙げられる。
特に本実施形態においては、従来分級が困難であった比較的粒子濃度の高い粒子分散液を使用した場合であっても、良好な分級精度が得られる。特に、従来のピンチドチャネルを使用した分級方法や、遠心力を使用した分級方法では分級が困難であった、1.0体積%以上の粒子含有率を有する粒子分散液であっても、分級精度に優れる。
また、前記粒子の比重は、気相置換法(ピクノメータ法)により、湯浅アイオニクス(株)製ウルトラピクノメータ1000を用いて測定される。
さらに、前記媒体液体の比重は、エーアンドディー社の比重測定キットAD−1653を用いて測定される。
また、輸送液は、前記媒体液体と異なる場合、該媒体液体の具体例として挙げられている液体であることが好ましい。
さらに、前記輸送液の前記粒子に対する比重の好ましい態様は、前記媒体液体の前記粒子に対する比重の好ましい態様と同様である。
カチオン系界面活性剤としては、四級アンモニウム塩、アルコキシル化ポリアミン、脂肪族アミンポリグリコールエーテル、脂肪族アミン、脂肪族アミンと脂肪族アルコールから誘導されるジアミン及びポリアミン、脂肪酸から誘導されるイミダゾリン及びこれらのカチオン性物質の塩が例示される。これらカチオン性分散剤は、単独であるいは2種以上を組み合わせて用いられる。
アニオン系界面活性剤としては、N−アシル−N−メチルタウリン塩、脂肪酸塩、アルキル硫酸エステル塩、アルキルベンゼンスルホン酸塩、アルキルナフタレンスルホン酸塩、ジアルキルスルホコハク酸塩、アルキルリン酸エステル塩、ナフタレンスルホン酸ホルマリン縮合物、ポリオキシエチレンアルキル硫酸エステル塩等が例示される。なかでも、N−アシル−N−メチルタウリン塩もしくはポリオキシエチレンアルキル硫酸エステル塩が好ましい。また塩を形成するカチオンはアルカリ金属カチオンが好ましい。これらアニオン性分散剤は、単独であるいは2種以上を組み合わせて用いられる。
非イオン系界面活性剤としては、ポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレンアルキルアリールエーテル、ポリオキシエチレン脂肪酸エステル、ソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンアルキルアミン、グリセリン脂肪酸エステルなどが例示される。なかでも、ポリオキシエチレンアルキルアリールエーテルが好ましい。これら非イオン系界面活性剤は、単独であるいは2種以上を組み合わせて用いられる。
これらの中でも、粒子分散液として樹脂微粒子分散液を使用する場合には、アニオン系界面活性剤を使用することが好ましく、N−アシル−N−メチルタウリン塩、脂肪酸塩、アルキル硫酸エステル塩、アルキルベンゼンスルホン酸塩、アルキルナフタレンスルホン酸塩、アルキルリン酸エステル塩、ポリオキシエチレンアルキル硫酸エステル塩等を使用することがさらに好ましい。
図1に示すアクリル樹脂製の分級装置を作製した。図7は、実施例で作製した分級装置の寸法図である。該分級装置の分級路は、流路幅(W)0.5mm、深さ(H1)2mm、分級路及び輸送液導入路の総長さ(L1)50mm、輸送液導入路の長さ(L3)10mm)、回収路に頂角θが48°の逆V字型の長さ(L2)5mmの流路を側壁の上部から深さ(H2)1mmの位置に設けたマイクロチャネル型装置を使用して、図8に示す平均粒径5.8μm、比重1.16g/cm3のポリエステル球形粒子を1.4%含んだ粒子分散液を粒子分散液導入口121より1mL/h、輸送液導入口131より水を50mL/hで供給し、回収路140と回収路141からそれぞれ回収した結果、図9のような部分分級効率曲線が得られた。
なお、粒子分散液導入路120は、幅が流路幅(W)と同じく0.5mmと流路深さ方向の幅(h1)0.04mm、回収路140は、幅が流路幅(W)と同じく0.5mmと流路深さ方向の幅(h2)を1.32mmとした。
図5のように実施例1のマイクロチャネル型装置において回収路に逆V字型の流路を設ける代わりに水平型の流路を側壁の上部から深さ(h2)0.8mmの位置に設けた以外は実施例1と同様の方法で実施結果、図9のような部分分級効率曲線が得られた。
なお、粒子分散液導入路は、幅が流路幅(W)と同じく0.5mmと流路深さ方向の幅(h1)0.04mm、回収路は、幅が流路幅(W)と同じく0.5mmと流路深さ方向の幅(h2)を1.24mmとした。
110 分級路
120 粒子分散液導入路
121 粒子分散液導入口
130 輸送液導入路
131 輸送液導入口
140 回収路
141 回収路
142 回収路
150 接続部
A 粒子分散液
B 輸送液
Claims (7)
- 分級路と、
一端に粒子分散液を導入する開口部を有し、他端が前記分級路に接続部を介して接続された粒子分散液導入路と、
一端に輸送液を導入する開口部を有し、他端が前記分級路に接続された輸送液導入路と、
一端が開口部を有し、他端が前記分級路に接続され、分級路で重力による沈降を利用して分級された粒子を回収する、分級路を区切るように重力方向に分割された少なくとも2つの回収路と、を備え、
前記接続部の流路幅と、前記分級路の流路幅が略同一であり、かつ、
少なくとも1つの回収路の底面の形状が、流路幅の中央部が内向きに凸の湾曲形状であり、
送液方向の角度が水平である場合を0°、重力方向下方である場合を90°としたとき、粒子分散液導入路における送液方向は、0°より大きく135°以下であり、分級路における送液方向は0°より大きく90°未満であり、回収路の送液方向は0°より大きく90°以下であることを特徴とする
分級装置。 - 分級路における送液方向が10°〜60°である、請求項1に記載の分級装置。
- 分級路における送液方向が30°〜60°である、請求項1又は請求項2に記載の分級装置。
- 粒子分散液導入路における送液方向が20°〜110°である、請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の分級装置。
- 粒子分散液導入路における送液方向が90°である、請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載の分級装置。
- 少なくとも1つの回収路における送液方向が90°である、請求項1〜請求項5のいずれか1項に記載の分級装置。
- 請求項1〜請求項6のいずれか1項に記載の分級装置を使用して粒子分散液中の粒子を分級することを特徴とする分級方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2009191684A JP5636652B2 (ja) | 2009-08-21 | 2009-08-21 | 分級装置及び分級方法 |
| US12/728,644 US20110042279A1 (en) | 2009-08-21 | 2010-03-22 | Device and method for classifying particles |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2009191684A JP5636652B2 (ja) | 2009-08-21 | 2009-08-21 | 分級装置及び分級方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2011041904A JP2011041904A (ja) | 2011-03-03 |
| JP5636652B2 true JP5636652B2 (ja) | 2014-12-10 |
Family
ID=43604453
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2009191684A Expired - Fee Related JP5636652B2 (ja) | 2009-08-21 | 2009-08-21 | 分級装置及び分級方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20110042279A1 (ja) |
| JP (1) | JP5636652B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8667832B2 (en) * | 2008-03-04 | 2014-03-11 | Cleveland State University | Method and system for particle settling velocity measurement |
| JP5304506B2 (ja) * | 2009-07-22 | 2013-10-02 | 富士ゼロックス株式会社 | 分級装置及び分級方法 |
| EP2718709B1 (en) * | 2011-06-09 | 2016-08-10 | Waters Technologies Corporation | Reducing dispersion due to vias in planar microfluidic separation devices |
| CN102728450A (zh) * | 2012-06-06 | 2012-10-17 | 浙江金明生物科技有限公司 | 柑桔囊胞分选装置 |
Family Cites Families (23)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4147621A (en) * | 1977-06-28 | 1979-04-03 | University Of Utah | Method and apparatus for flow field-flow fractionation |
| CA2052572C (en) * | 1990-10-12 | 2000-05-09 | Kenneth L. Meyer | Silicon emulsion preservative and protective coatings for rubber and po lymer |
| FI101200B1 (fi) * | 1996-05-07 | 1998-05-15 | Outokumpu Oy | Menetelmä ja laite neste-nesteuuton kahden, dispersioksi sekoitetun liuoksen johtamiseksi hallitusti erotustilaan |
| US5932315A (en) * | 1997-04-30 | 1999-08-03 | Hewlett-Packard Company | Microfluidic structure assembly with mating microfeatures |
| US6420622B1 (en) * | 1997-08-01 | 2002-07-16 | 3M Innovative Properties Company | Medical article having fluid control film |
| US6431695B1 (en) * | 1998-06-18 | 2002-08-13 | 3M Innovative Properties Company | Microstructure liquid dispenser |
| US6524488B1 (en) * | 1998-06-18 | 2003-02-25 | 3M Innovative Properties Company | Method of filtering certain particles from a fluid using a depth loading filtration media |
| US5928020A (en) * | 1998-01-27 | 1999-07-27 | Mattel, Inc. | Power connector system for a ride-on vehicle |
| US20020185442A1 (en) * | 1998-10-30 | 2002-12-12 | Maiefski Romaine R. | Sample separation apparatus and method for multiple channel high throughput purification |
| US6454924B2 (en) * | 2000-02-23 | 2002-09-24 | Zyomyx, Inc. | Microfluidic devices and methods |
| US20020072111A1 (en) * | 2000-12-13 | 2002-06-13 | Clarkin James P. | Drawn microchannel array devices and method of analysis using same |
| US20030040119A1 (en) * | 2001-04-11 | 2003-02-27 | The Regents Of The University Of Michigan | Separation devices and methods for separating particles |
| US6583044B2 (en) * | 2001-06-26 | 2003-06-24 | Agilent Technologies, Inc. | Buried channel in a substrate and method of making same |
| US7060227B2 (en) * | 2001-08-06 | 2006-06-13 | Sau Lan Tang Staats | Microfluidic devices with raised walls |
| US6760556B2 (en) * | 2002-07-16 | 2004-07-06 | Cf Technologies | Sealing member and toner container provided with such a sealing member |
| US20040000519A1 (en) * | 2002-06-28 | 2004-01-01 | Postnova Analytics, Inc. | Field-flow fractionation method and apparatus |
| EP1391237B1 (en) * | 2002-08-01 | 2011-09-21 | Tosoh Corporation | Fine channel device, desksize chemical plant and fine particle producing apparatus employing them |
| JP2005230647A (ja) * | 2004-02-18 | 2005-09-02 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | マイクロ流路の作製方法 |
| JP4462058B2 (ja) * | 2004-09-22 | 2010-05-12 | 富士ゼロックス株式会社 | 微粒子の分級方法、及び微粒子の分級装置 |
| US7178380B2 (en) * | 2005-01-24 | 2007-02-20 | Joseph Gerard Birmingham | Virtual impactor device with reduced fouling |
| JP4835047B2 (ja) * | 2005-06-24 | 2011-12-14 | 富士ゼロックス株式会社 | 微粒子分散液の製造方法 |
| JP4760330B2 (ja) * | 2005-11-25 | 2011-08-31 | 富士ゼロックス株式会社 | 微粒子の分級方法及び分級装置 |
| JP4770603B2 (ja) * | 2006-06-26 | 2011-09-14 | 株式会社島津製作所 | フィールドフローフラクショネーション装置 |
-
2009
- 2009-08-21 JP JP2009191684A patent/JP5636652B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2010
- 2010-03-22 US US12/728,644 patent/US20110042279A1/en not_active Abandoned
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US20110042279A1 (en) | 2011-02-24 |
| JP2011041904A (ja) | 2011-03-03 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5304506B2 (ja) | 分級装置及び分級方法 | |
| JP5459471B2 (ja) | 送液方法及び分級方法 | |
| JP4462058B2 (ja) | 微粒子の分級方法、及び微粒子の分級装置 | |
| JP5304501B2 (ja) | 分級装置及び分級方法 | |
| US20100224551A1 (en) | Micro fluidic device, separation method and separation apparatus | |
| JP5636652B2 (ja) | 分級装置及び分級方法 | |
| JP4674625B2 (ja) | 分級装置及び分級方法 | |
| KR20140016834A (ko) | 미립자 제조 장치, 미립자 제조 방법, 및 이에 의해 제조되는 토너 | |
| JP4915426B2 (ja) | 分級方法及び分級装置 | |
| JP4461900B2 (ja) | 微粒子分散液の送液方法、及び微粒子分散液の送液装置 | |
| JP2009226296A (ja) | 分級方法及び分級装置 | |
| US8087515B2 (en) | Separation method and separation apparatus | |
| JP5316342B2 (ja) | 送液装置、分級装置及び分級方法 | |
| JP4835047B2 (ja) | 微粒子分散液の製造方法 | |
| JP4461941B2 (ja) | 微粒子分散液の送液方法、及び微粒子分散液の送液装置 | |
| JP4946790B2 (ja) | 粉体分級方法および粉体分級装置 | |
| JP2010075882A (ja) | マイクロ流路装置及び分級方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120719 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130621 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130702 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130829 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140304 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140415 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140924 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20141007 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |