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JP5645693B2 - Air flow measurement device - Google Patents
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Description

本発明は空気流量測定装置に係り、特に、自動車の内燃機関に配置される空気流量測定装置に関する。   The present invention relates to an air flow rate measuring device, and more particularly to an air flow rate measuring device arranged in an internal combustion engine of an automobile.

電子制御燃料噴射システムを用いた自動車が一般化し、近年では更なる高性能化,高機能化が進んでおり、エンジンルームの内部配置されるセンサや制御機器が増加している。このため、これらのセンサや制御機器を相互に接続するワイヤハーネスも複雑に入り組んだものとなる。   Automobiles using an electronically controlled fuel injection system have become commonplace, and in recent years, further improvements in performance and functionality have been made, and sensors and control devices arranged in the engine room are increasing. For this reason, the wire harness which mutually connects these sensors and control apparatuses also becomes complicated.

これらを背景に複数のセンサや制御機器を一体化することによる部品点数の低減やエンジンルーム内部の景観向上などが望まれる。例えば流量測定装置と温度検出装置,湿度検出装置を一体化し、コネクタを共用化する方策などはその一例であり、これにより車両への部品組み付け工数の低減や、ワイヤハーネスの簡略化を可能としている。   Against this background, it is desirable to reduce the number of parts and improve the scenery inside the engine room by integrating a plurality of sensors and control devices. For example, a measure to integrate a flow rate measuring device, a temperature detection device, and a humidity detection device and to share a connector is an example. This makes it possible to reduce the number of steps for assembling parts to the vehicle and simplify the wire harness. .

このような、流量測定装置と温度検出装置,湿度検出装置を一体化した構造を安価に形成する手法として、駆動回路を搭載する基板上に各センシング素子を配置した場合、安価に製作可能な反面、技術的課題が出てくる。同一基板上に駆動回路と吸入空気温度,吸入空気湿度センシング素子を形成する場合、駆動回路は筐体により保護する必要があり、センシング素子は吸入空気に晒された状態とすることが必要になる。センシング素子と駆動回路は導体配線により電気的に接続する必要があり、製造工程においては特性調整、センシング素子の品質確認のため測定用のプローブパッドが必要となる。   As a method for forming such a structure in which a flow rate measuring device, a temperature detecting device, and a humidity detecting device are integrated at low cost, when each sensing element is arranged on a substrate on which a drive circuit is mounted, it can be manufactured at low cost. , Technical issues come out. When the drive circuit and the intake air temperature / intake air humidity sensing element are formed on the same substrate, the drive circuit needs to be protected by the casing, and the sensing element needs to be exposed to the intake air. . The sensing element and the drive circuit need to be electrically connected by conductor wiring. In the manufacturing process, a probe pad for measurement is required for characteristic adjustment and quality confirmation of the sensing element.

通常、自動車のエンジンルーム内には、ゴム部品が多く使用されており、ゴム部品からは腐食性ガスが発生する場合がある、また、吸入空気はエアクリーナボックスが備えるエアフィルターエレメントによって大気中浮遊物を取り除いた後に取り込まれる構成となっているが、ガストラップ効果は無くエンジンへ吸入される。空気以外からもエンジン停止後には高温に晒されたエンジンオイルが蒸気となってエアクリーナボックス側へ逆流してくることもあり、以上のようなことからエアクリーナボックス下流の吸入空気管内に存在、或いは通過する空気は必ずしもきれいであるとは言えない。   Normally, rubber parts are often used in the engine room of automobiles, and corrosive gas may be generated from the rubber parts. In addition, the air is suspended in the air by the air filter element provided in the air cleaner box. However, there is no gas trap effect and it is sucked into the engine. The engine oil exposed to high temperature may be vaporized and flow backward to the air cleaner box after the engine is stopped from other than air. Therefore, it exists in or passes through the intake air pipe downstream of the air cleaner box. The air you do is not always clean.

このような環境下に置かれるため耐腐食性の向上、また、前述の通り高密度化が進むため実装効率を向上させる必要があり、双方を両立させる実装構造が課題となる。   Since it is placed in such an environment, it is necessary to improve the corrosion resistance. Further, as described above, since the density is increased, it is necessary to improve the mounting efficiency.

セラミック基板に半導体集積回路,コンデンサ,ダイオード等の部品を搭載して成るハイブリッドIC基板は種々のものが知られている。そのうち、導体配線に銀,銀合金,銅,銅合金を採用したハイブリッドIC基板で、特に車載センサに採用されているハイブリッドIC基板については、腐食性ガスによる導体配線の腐食が懸念され、耐腐食性向上策としてスルーホール部にはんだを印刷する等の構造が考えられているが、吸入空気に晒すセンシング素子をハイブリッドIC基板上に搭載する場合、筐体の内外を導体配線にて電気的に接続する必要があり、配線導体の1部も筐体の外側に配置されることになる。また、センシング素子をハイブリッドIC基板上に搭載することで、実装効率を向上させることも必要である。スルーホール部にはんだを塗布し電子部品を搭載すること、スルーホールビア上に金導体を配線しガラスで保護することで、耐腐食性を向上させることに関しては、特開2006−258677号公報に示されている。   Various hybrid IC substrates are known in which components such as a semiconductor integrated circuit, a capacitor, and a diode are mounted on a ceramic substrate. Among them, hybrid IC boards that use silver, silver alloy, copper, and copper alloys for conductor wiring, especially for hybrid IC boards that are used in in-vehicle sensors, are concerned about corrosion of conductor wiring due to corrosive gas, and are resistant to corrosion. A structure such as printing solder on the through-hole is considered as a measure to improve performance, but when a sensing element that is exposed to the intake air is mounted on a hybrid IC board, the inside and outside of the housing are electrically connected by conductor wiring. It is necessary to connect, and a part of the wiring conductor is also arranged outside the casing. It is also necessary to improve mounting efficiency by mounting the sensing element on the hybrid IC substrate. Japanese Patent Application Laid-Open No. 2006-258877 discloses the application of solder to the through-hole portion to mount an electronic component and the improvement of the corrosion resistance by wiring the gold conductor on the through-hole via and protecting it with glass. It is shown.

特開2006−258677号公報JP 2006-258777 A

しかしながら、特許文献1ではスルーホール部の腐食対策は考慮されているが、導体配線の腐食対策については考慮されていない。そのため、導体配線を保護するガラスまたは樹脂コートが損傷することで導体配線が腐食するという課題が生じていた。特に同一基板上に駆動回路と吸入空気温度,吸入空気湿度を測定する各センシング素子を配置する場合、筐体内の駆動回路と吸入空気に晒した各センシング素子を接続する導体配線上に筐体を接着固定する際にコートを損傷する可能性があり、導体配線が腐食する課題が生じていた。また、同一基板上に駆動回路と吸入空気温度,吸入空気湿度を測定する各センシング素子を配置する場合、基板実装効率を向上させる課題が生じる。   However, although Patent Document 1 considers the countermeasure against corrosion of the through-hole portion, it does not consider the countermeasure against corrosion of the conductor wiring. For this reason, there has been a problem that the conductor wiring is corroded by damaging the glass or the resin coat protecting the conductor wiring. In particular, when placing the drive circuit and each sensing element that measures intake air temperature and intake air humidity on the same board, place the case on the conductor wiring that connects the drive circuit inside the case and each sensing element exposed to intake air. There is a possibility that the coat may be damaged when the adhesive is fixed, and the conductor wiring is corroded. Further, when the driving circuit and each sensing element for measuring the intake air temperature and the intake air humidity are arranged on the same substrate, there arises a problem of improving the substrate mounting efficiency.

そこで、本発明では上記課題に鑑み、基板実装効率を向上させ、耐腐食性を向上した空気流量測定装置を提供することを目的とする。   Therefore, in view of the above problems, an object of the present invention is to provide an air flow rate measuring device with improved substrate mounting efficiency and improved corrosion resistance.

上記目的を達成するために、本発明の物理量測定装置は、電子回路が形成された回路基板上に空気の物理量を計測するセンシング素子が設けられ、前記電子回路を筐体の中に配置し、前記センシング素子を吸入空気に晒す構造を有する物理量測定装置において、前記回路基板とガラスまたは樹脂コート層との間に少なくとも1層以上の絶縁層を設け、前記センシング素子と前記電子駆動回路との接続を行う導体配線を前記絶縁層の下に配置し、前記回路基板は厚膜印刷による導体多層印刷であり、前記センシング素子の特性調整または特性確認のためのプローブパッドを、回路基板上に接着する筐体下に配置し接着剤にて覆う構造としたことを特徴とする。 To achieve the above object, the physical quantity measuring device of the present invention, the sensing elements are provided for measuring the physical quantity of the air on the circuit board that an electronic circuit is formed, placing the electronic circuitry in the housing, In the physical quantity measuring device having a structure in which the sensing element is exposed to intake air, at least one insulating layer is provided between the circuit board and the glass or resin coating layer, and the connection between the sensing element and the electronic driving circuit is provided. Conductor wiring is disposed under the insulating layer, and the circuit board is a conductor multilayer printing by thick film printing, and a probe pad for adjusting characteristics or confirming characteristics of the sensing element is adhered on the circuit board. It is characterized in that it is arranged under the casing and covered with an adhesive .

本発明によれば、基板実装効率を向上させ、耐腐食性を向上した空気流量測定装置を提供することができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the board | substrate mounting efficiency can be improved and the air flow measuring device which improved corrosion resistance can be provided.

本発明の一実施例を示すセンサ構造。The sensor structure which shows one Example of this invention. 図1(a)のA−A断面図。AA sectional drawing of Fig.1 (a). 図1(b)の部分拡大図。The elements on larger scale of FIG.1 (b). 内燃機関のシステム構成図。The system block diagram of an internal combustion engine. センサが置かれる環境の例。An example of the environment where the sensor is located. ハイブリッドIC基板の構造図。The structure diagram of a hybrid IC substrate. ハイブリッドIC基板の構造図。The structure diagram of a hybrid IC substrate. ハイブリッドIC基板の構造図。The structure diagram of a hybrid IC substrate. 駆動回路図。FIG.

本発明の一実施例について以下、図を用いて説明する。   An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.

図1(a),図1(b)は本発明の一実施例を示すセンサ構造及びそのA−A断面を示した図である。図2は本発明の一実施例を示すセンサ構造の部分拡大図を示しており、図3は内燃機関のシステム構成図、図4はセンサが置かれる環境の一形態を示した図である。   FIG. 1A and FIG. 1B are views showing a sensor structure and an AA cross section showing an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a partially enlarged view of a sensor structure showing an embodiment of the present invention, FIG. 3 is a system configuration diagram of an internal combustion engine, and FIG. 4 is a diagram showing an embodiment of an environment where the sensor is placed.

図1(a),図1(b)に示されるように、空気流量測定装置23はベース2,ケース3,カバー5,副通路構成部材24から構成される。ベース2は金属または樹脂等により形成され、ハイブリッドIC基板10がベース2に接着等により固定されている。更に、ベース2は副通路の一部を構成しており、ベース2と副通路構成部材24とを接着等により固定することで副通路25が形成される。また、ケース3とベース2も同様に接着等により固定されている。ケース3とカバー5を接着等により固定することにより電子駆動回路1を覆う構成となっている。   As shown in FIGS. 1A and 1B, the air flow rate measuring device 23 includes a base 2, a case 3, a cover 5, and a sub-passage constituting member 24. The base 2 is made of metal or resin, and the hybrid IC substrate 10 is fixed to the base 2 by adhesion or the like. Further, the base 2 constitutes a part of the sub-passage, and the sub-passage 25 is formed by fixing the base 2 and the sub-passage constituent member 24 by bonding or the like. Similarly, the case 3 and the base 2 are fixed by adhesion or the like. The electronic driving circuit 1 is covered by fixing the case 3 and the cover 5 by adhesion or the like.

ハイブリッドIC基板10は、電子駆動回路1、あるいは電子制御回路の導体となる導体配線8,抵抗等をセラミック等の無機材により形成されたセラミック基板7の表面に印刷,焼成することにより形成している。導体配線8は、部品搭載部,電位,出力等のプローブパッドを除いた大部分が、ガラスまたは樹脂コートで保護されている。さらに表面に駆動回路を形成するコンデンサ,ダイオード,半導体集積回路及び温度,湿度等の物理量を計測するセンシング素子9を実装している。   The hybrid IC substrate 10 is formed by printing and baking the conductor wiring 8 serving as a conductor of the electronic drive circuit 1 or the electronic control circuit, the resistance, etc. on the surface of the ceramic substrate 7 formed of an inorganic material such as ceramic. Yes. Most of the conductor wiring 8 is protected by glass or resin coating, except for the component mounting portion, probe pads such as potential and output. Furthermore, a capacitor, diode, semiconductor integrated circuit and a sensing element 9 for measuring physical quantities such as temperature and humidity are mounted on the surface.

ケース3には樹脂内部に電気的信号の伝達を司る導電性部材より成るターミナル12をインサート成形されている。また、空気流量測定装置23は、外部あるいは副通路25に吸入空気温度を計測する吸気温度検出素子29、吸入空気流量等の物理量を計測するための発熱抵抗体11および温度補償用の感温抵抗体13が設置される構造である。吸気温度検出素子29,発熱抵抗体11,感温抵抗体13はそれぞれリード線に接着されており、また、リード線はターミナルに電気的機械的に接合されている。そして、ターミナル12を介してアルミワイヤボンディング26等により電子駆動回路1に電気的に接続されている。   The case 3 is insert-molded with a terminal 12 made of a conductive member that controls transmission of an electrical signal inside the resin. The air flow rate measuring device 23 includes an intake air temperature detecting element 29 for measuring the intake air temperature in the outside or the sub passage 25, a heating resistor 11 for measuring a physical quantity such as an intake air flow rate, and a temperature sensitive resistance for temperature compensation. In this structure, the body 13 is installed. The intake air temperature detecting element 29, the heating resistor 11, and the temperature sensitive resistor 13 are respectively bonded to lead wires, and the lead wires are electrically and mechanically joined to the terminals. Then, it is electrically connected to the electronic drive circuit 1 through the terminal 12 by an aluminum wire bonding 26 or the like.

なお、発熱抵抗体11及び感温抵抗体13を用いた空気流量測定装置23は図8に示す回路により、発熱抵抗体11と、空気温度を計測する感温抵抗体13が常に一定の温度差に保たれるように定温度制御回路により定温度制御され、常時加熱されている。   Note that the air flow measuring device 23 using the heating resistor 11 and the temperature sensitive resistor 13 has a constant temperature difference between the heating resistor 11 and the temperature sensitive resistor 13 for measuring the air temperature by the circuit shown in FIG. The constant temperature is controlled by a constant temperature control circuit so as to be kept at a constant temperature.

次に、図1(a)に示されるようにハイブリッドIC基板10上に実装された温度,湿度等の物理量を計測するセンシング素子9は導体配線8を介し電子駆動回路1と接続する構造になっている。ハイブリッドIC基板10に配置された駆動回路はベース2,ケース3,カバー5によって覆われているが、温度,湿度等の物理量を計測するセンシング素子9は吸入空気に晒される様に配置している。電子駆動回路1はケース3内に配置されるため、ハイブリッドIC基板10上に接着剤を塗布し、ケース3を接着固定する構造となっている。   Next, as shown in FIG. 1A, the sensing element 9 for measuring physical quantities such as temperature and humidity mounted on the hybrid IC substrate 10 is connected to the electronic drive circuit 1 through the conductor wiring 8. ing. The drive circuit disposed on the hybrid IC board 10 is covered with the base 2, the case 3, and the cover 5, but the sensing element 9 for measuring physical quantities such as temperature and humidity is disposed so as to be exposed to the intake air. . Since the electronic drive circuit 1 is disposed in the case 3, it has a structure in which an adhesive is applied on the hybrid IC substrate 10 and the case 3 is bonded and fixed.

図3に示されるように、発熱抵抗体11,感温抵抗体13はエンジンに吸入される空気を流すエアクリーナ27、またはエアクリーナ27の下流に設けたゴムダクト21内に配置され、ハイブリッドIC基板10と、ケース3に埋設されたコネクタ端子を介し電気的信号の伝達を行う構造となっている。   As shown in FIG. 3, the heating resistor 11 and the temperature sensitive resistor 13 are arranged in an air cleaner 27 for flowing air sucked into the engine or in a rubber duct 21 provided downstream of the air cleaner 27, and In addition, an electrical signal is transmitted through a connector terminal embedded in the case 3.

ここで、図4に示されるように、空気流量測定装置23が搭載される車輌のエンジンルーム内部はエンジンからの燃焼ガスの吹き返しや未燃焼ガスの戻しがあり、ハイドロカーボンの滞留する雰囲気19に晒される。また、エンジンルーム内部はエンジン構成部品に多く配置されている硫黄を含むゴムダクト,(ホース)21等の製品らが群集している。   Here, as shown in FIG. 4, the interior of the engine room of the vehicle in which the air flow rate measuring device 23 is mounted has combustion gas blown back from the engine and unburned gas returned, and the atmosphere 19 where the hydrocarbon stays is present. Be exposed. Further, the interior of the engine room is a collection of products such as rubber ducts containing sulfur and (hose) 21 that are often arranged in engine components.

エンジン内部の電子機器温度は100℃を超える状態にも達するためゴムダクト28やホース21等の硫黄で加硫した製品群からは硫黄単体ガス、あるいは硫黄化合物ガス20が湧出する。また、これら硫黄ガスは環境に変遷し、場合によっては前記した燃焼ガスの吹き返し、未燃焼ガスの戻しガス,ハイドロカーボンと混在した複合ガス状態となり、これら腐食性ガスに対して抗力を持たなければ、信頼性の高い製品となり得ない可能性がある。それは、空気流量測定装置23においてハイブリッドIC基板10に形成される導体配線8は銀、あるいは銀合金により形成されており、ケース3内部に腐食性ガス、特に硫黄ガス,硫黄化合物ガス20が侵入した場合、導体配線8となる銀,銀合金配線部分は硫化腐食してしまい、電子駆動回路1が正常に動作しない状態となり得る可能性があるためである。   Since the temperature of the electronic equipment inside the engine reaches a state exceeding 100 ° C., the sulfur simple substance gas or the sulfur compound gas 20 springs out from the product group vulcanized with sulfur such as the rubber duct 28 and the hose 21. In addition, these sulfur gases are transformed into the environment, and in some cases, the combustion gas is blown back, the return gas of the unburned gas is mixed with the hydrocarbon, and a mixed gas state is present. , It may not be a reliable product. The conductor wiring 8 formed on the hybrid IC substrate 10 in the air flow measuring device 23 is formed of silver or a silver alloy, and corrosive gas, particularly sulfur gas or sulfur compound gas 20 has entered the case 3. In this case, the silver or silver alloy wiring portion that becomes the conductor wiring 8 is subject to sulfidation corrosion, and the electronic drive circuit 1 may not operate normally.

また、センシング素子9は、吸入空気に晒した状態で配置されるため、センシング素子9と電子駆動回路1、あるいは電子制御回路を接続する導体配線8の一部分はケース3外部に配置される。導体配線8がケース外部に配置されることで、導体配線8が露出した場合、腐食断線となり得る可能性がある。導体配線8の硫化腐食は導体配線8の露出部分から起こるため、露出を防止することで、耐腐食性を改善する必要がある。   Further, since the sensing element 9 is disposed in a state exposed to the intake air, a part of the conductor wiring 8 that connects the sensing element 9 and the electronic drive circuit 1 or the electronic control circuit is disposed outside the case 3. By disposing the conductor wiring 8 outside the case, if the conductor wiring 8 is exposed, there is a possibility that corrosion breakage may occur. Since the sulfide corrosion of the conductor wiring 8 occurs from the exposed portion of the conductor wiring 8, it is necessary to improve the corrosion resistance by preventing the exposure.

ケース3の接着部は温度,湿度等の物理量を計測するセンシング素子9と電子駆動回路1を接続する導体配線8の上部となり、ケース3をハイブリッドIC基板10上に搭載する際、ケース3によってハイブリッドIC基板10の導体配線8を保護するガラスまたは樹脂コートを損傷させてしまう可能性がある。コートが損傷するとそこから腐食性ガスが侵入し、導体配線を腐食させてしまう。   The bonding portion of the case 3 is an upper portion of the conductor wiring 8 that connects the sensing element 9 for measuring physical quantities such as temperature and humidity and the electronic driving circuit 1. When the case 3 is mounted on the hybrid IC substrate 10, There is a possibility that the glass or resin coat protecting the conductor wiring 8 of the IC substrate 10 may be damaged. When the coat is damaged, corrosive gas enters from there and corrodes the conductor wiring.

このことから、図2に示されるように、導体配線を腐食断線に至らせる事態を防止するため、温度,湿度等の物理量を計測するセンシング素子9と電子駆動回路を接続する導体配線15の上に保護ガラス14または樹脂コート以外に1層以上の絶縁層16を配置した。これにより、耐腐食性を向上することができる。   From this, as shown in FIG. 2, in order to prevent the situation where the conductor wiring leads to corrosion disconnection, the upper surface of the conductor wiring 15 connecting the sensing element 9 for measuring physical quantities such as temperature and humidity and the electronic drive circuit. In addition to the protective glass 14 or the resin coat, one or more insulating layers 16 were disposed. Thereby, corrosion resistance can be improved.

また、製造工程において、温度,湿度等の物理量を計測するセンシング素子9の特性調整または動作確認等の特性確認が必要になり、計測のためのプローブパッド17を設けている。本発明の一実施例では、この計測のためのプローブパッド17上に接着剤18を塗布し、ケース3でハイブリッドIC基板10とサンドイッチ構造とした。このような構造とすることで、ハイブリッドIC基板実装効率を向上し、耐腐食性を向上することを可能とする。   Further, in the manufacturing process, it is necessary to check the characteristics of the sensing element 9 for measuring physical quantities such as temperature and humidity, or to check the characteristics such as operation, and the probe pad 17 for measurement is provided. In one embodiment of the present invention, the adhesive 18 is applied on the probe pad 17 for this measurement, and the hybrid IC substrate 10 and the sandwich structure are formed in the case 3. By adopting such a structure, the hybrid IC substrate mounting efficiency can be improved and the corrosion resistance can be improved.

図5乃至図7はハイブリッドIC基板10の構成を示した図である。   5 to 7 are diagrams showing the configuration of the hybrid IC substrate 10.

ハイブリッドIC基板10上に接着剤18を塗布しケース3を接着する際、接着剤の塗布位置管理は重要になる。そこで、本実施例では厚膜印刷によるハイブリッドIC基板では、印刷時の位置ずれを小さくするためのマーク22を付けた。このマークを接着剤塗布位置の目印とすることで、自動機または目視での接着剤塗布位置確認を容易にすることができる。   When the adhesive 18 is applied on the hybrid IC substrate 10 and the case 3 is bonded, management of the application position of the adhesive becomes important. Therefore, in this embodiment, in the hybrid IC substrate by thick film printing, the mark 22 for reducing the positional deviation at the time of printing is attached. By using this mark as a mark for the adhesive application position, it is possible to easily confirm the adhesive application position by an automatic machine or by visual observation.

また、接着剤塗布位置の目印を駆動回路を形成しない導体で配置した。これにより、自動機または目視での接着剤塗布位置確認を容易にすることができる。   In addition, the mark of the adhesive application position is arranged with a conductor that does not form a drive circuit. Thereby, it is possible to facilitate confirmation of the adhesive application position with an automatic machine or visual inspection.

さらに、導体で配置することにより、目印とした導体が先に腐食し、プローブパッド部への腐食ガス侵入を抑制することができる。   Furthermore, by arranging with a conductor, the conductor used as a mark corrodes first, and corrosive gas intrusion to the probe pad portion can be suppressed.

1 電子駆動回路
2 ベース
3 ケース
4 ベースとケースの接着封止部
5 カバー
6 ケースとカバーの接着封止部
7 セラミック基板
8 導体配線
9 センシング素子
10 ハイブリッドIC基板
11 発熱抵抗体
12 ターミナル
13 感温抵抗体
14 保護ガラス
15 センシング素子と駆動回路を接続する導体配線
16 絶縁層
17 プローブパッド
18 接着剤
19 ハイドロカーボン雰囲気
20 硫黄化合物ガス
21 ゴムダクト
22 位置ずれ防止マーク
23 空気流量測定装置
24 副通路構成部材
25 副通路
26 アルミワイヤボンディング
27 エアクリーナ
28 ゴムダクト
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Electronic drive circuit 2 Base 3 Case 4 Bonding sealing part 5 of base and case Cover 6 Bonding sealing part of case and cover 7 Ceramic substrate 8 Conductor wiring 9 Sensing element 10 Hybrid IC substrate 11 Heating resistor 12 Terminal 13 Temperature sensing Resistor 14 Protective glass 15 Conductor wiring 16 for connecting the sensing element and the drive circuit Insulating layer 17 Probe pad 18 Adhesive 19 Hydrocarbon atmosphere 20 Sulfur compound gas 21 Rubber duct 22 Misalignment prevention mark 23 Air flow measuring device 24 Sub-passage component 25 Sub-passage 26 Aluminum wire bonding 27 Air cleaner 28 Rubber duct

Claims (3)

電子回路が形成された回路基板上に空気の物理量を計測するセンシング素子が設けられ、前記電子回路を筐体の中に配置し、前記センシング素子を吸入空気に晒す構造を有する物理量測定装置において、
前記回路基板とガラスまたは樹脂コート層との間に少なくとも1層以上の絶縁層を設け、前記センシング素子と前記電子駆動回路との接続を行う導体配線を前記絶縁層の下に配置し、
前記回路基板は厚膜印刷による導体多層印刷であり、
前記センシング素子の特性調整または特性確認のためのプローブパッドを、回路基板上に接着する筐体下に配置し接着剤にて覆う構造としたことを特徴とする物理量測定装置。
Sensing elements are provided for measuring the physical quantity of the air on a circuit board electronic circuit is formed, the electronic circuit is arranged in the housing, in the physical quantity measuring device having a structure exposing the sensing element to the intake air,
Providing at least one insulating layer between the circuit board and the glass or resin coat layer, and arranging a conductor wiring for connecting the sensing element and the electronic drive circuit under the insulating layer,
The circuit board is a conductor multilayer printing by thick film printing,
A physical quantity measuring apparatus characterized in that a probe pad for adjusting characteristics or confirming characteristics of the sensing element is arranged under a casing to be bonded to a circuit board and covered with an adhesive .
前記回路基板上に、前記厚膜印刷の位置ずれを防止する位置ずれ防止マークを設け、前記位置ずれ防止マークを前記回路基板上に塗布される接着剤の塗布位置目標としたことを特徴とする請求項1に記載の物理量測定装置。 A misregistration prevention mark for preventing misregistration of the thick film printing is provided on the circuit board, and the misregistration prevention mark is used as an application position target of an adhesive applied on the circuit board. The physical quantity measuring device according to claim 1 . 前記回路基板上に塗布される接着剤の塗布位置目標を、回路を形成しない導体で形成したことを特徴とする請求項1に記載の物理量測定装置。 The physical quantity measuring apparatus according to claim 1, wherein the application position target of the adhesive applied on the circuit board is formed of a conductor that does not form a circuit.
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