JP5645709B2

JP5645709B2 - 非接触搬送装置

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Publication number: JP5645709B2
Application number: JP2011040247A
Authority: JP
Inventors: 秀夫小澤; 池田　俊之; 俊之池田; 角田　耕一; 耕一角田; 貴裕安田
Original assignee: Oiles Corp
Current assignee: Oiles Corp
Priority date: 2011-02-25
Filing date: 2011-02-25
Publication date: 2014-12-24
Anticipated expiration: 2031-02-25
Also published as: JP2012176822A

Description

本発明は、特に大型の液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）やプラズマディスプレイ（ＰＤＰ）等のＦＰＤ（フラットパネルディスプレイ）や太陽電池パネル（ソーラーパネル）等の生産に用いられる非接触搬送装置に関する。

従来、ＦＰＤや太陽電池パネル等の生産に際し、１枚のパネルを大型化することで生産効率を上げる方法が採用されている。例えば、液晶パネルの場合には、第１０世代で２８５０×３０５０×０．７ｍｍの大きさとなる。そのため、従来のように、複数個並べられたローラの上に液晶ガラスを載せて転がり搬送すると、ローラを支持するシャフトの撓みやローラ高さの寸法のばらつきにより液晶ガラスに局部的に強い力が働き、当該液晶ガラスを傷つける虞がある。

上記ローラによる転がり搬送装置は、該装置とパネルとが非接触であることが要求される、例えばＦＰＤのプロセス工程では採用することができず、近年においては、空気浮上の搬送装置が採用され始めている。非接触搬送装置として、板状の搬送用レールの一部に多孔質材料（多孔質焼結金属等）を用い、空気供給経路と連通させて給気することで、噴出空気によりＦＰＤを浮上搬送させる装置が存在する。しかし、この非接触搬送装置を用いると、ＦＰＤが上下方向に動きながら浮遊するような状態となるため、搬送工程に用いることは可能であるが、例えば３０〜５０μｍの高精度の浮上高さが要求されるプロセス工程には到底採用することはできない。

上記多孔質材料を用いた板状の搬送用レールに浮上量を高精度に維持する目的で真空引き用の孔を設けると、装置の構成が複雑になると共に、装置自体が高額になり、また、浮上高さを高精度に維持するために給気圧を高くすると、高剛性空気の圧縮性に係る自励振動が発生し、浮上高さを高精度に保つことができないという問題があった。

多孔質材料の代わりにオリフィス（小径の孔）を真空引き用の孔と交互に穿設した装置も存在するが、オリフィスからの強い噴出空気で静電気を発生したり、クリーンルームの環境を乱したり、消費電流が大きくなって運転コストが高騰するという問題があった。

そこで、特許文献１には、流体流量及びエネルギ消費量が少なく、浮上高さを高精度に維持できる非接触搬送装置として、流体噴出口から流体を噴出させることにより、リング状部材の表面側に該表面側から離れる方向へ向かう旋回流を生じさせると共に、リング状部材の表面側の開口部近傍に裏面方向への流体流れを生じさせる旋回流形成体を、搬送用レールの搬送面に２個以上備える非接触搬送装置が提案されている。

国際公開第２００９／１１９３７７号パンフレット

上記特許文献１に記載の非接触搬送装置は、図２４乃至図２７に示すように、搬送用レール５０の搬送面５０ａに、平面視右回り方向の上昇旋回流を発生させる旋回流形成体５１ａと平面視左回り方向の上昇旋回流を発生させる旋回流形成体５２ａ（図２４乃至図２６において、平面視左回り方向の上昇旋回流を発生させる旋回流形成体５２ａを黒塗りで示す）とが該搬送面５０ａに長手方向に沿って交互に固定され、ポンプ（図示せず）から搬送用レール５０の空気通路５０ｂに供給された空気は、貫通孔５０ｃを介して旋回流形成体５１ａの円板状基板５１ｃの裏面５１ｄに形成された環状溝５１ｅに供給され、空気通路５１ｆを介して噴出口５１ｇから噴出する。これにより、旋回流形成体５１ａは、円板状基板５１ｃの表面側の上方に上昇旋回流を発生し、この旋回流にて被搬送物であるガラスＧを浮上させる。

この非接触搬送装置では、搬送用レール５０の搬送面５０ａに形成した凹部に旋回流形成体５１ａを収容し、この旋回流形成体５１ａの外周面を凹部の周囲に突設した盛上部によってかしめ接合するため、搬送用レール５０への旋回流形成体５１ａの装着に長時間を要して非接触搬送装置の製造コストの上昇に繋がるとともに、旋回流形成体５１ａを搬送用レール５０にかしめ接合する際に、旋回流形成体５１ａの取付角度にばらつきを生じたり、旋回流形成体５１ａや搬送用レール５０に反りが発生したりして被搬送物の浮上高さの精度が低下する虞があるという問題があった。

また、上記非接触搬送装置を使用した、例えばＦＰＤガラスの空気浮上による搬送において、搬送工程中に搬送方向を９０度方向転換させる部位では、図２５に示す搬送用レール５０を図２４に示す搬送方向と直角に配列すると、コーナー部においては搬送用レール５０を敷き詰めない限り当該搬送用レール５０間に隙間が発生し、ガラスＧが薄くなると撓みが大きくなり、搬送用レール５０間の隙間が小さくても乗り移れない現象が起こる（図２６参照）。

上記現象を回避するべく、例えば空気の噴出量を多くし、浮上量を高めて乗り移らせる方法や、ガラスが載置されているステージ（搬送装置）をリフトアップして回転させ、乗り移らす方法などが採られているが、空気の噴出量を多くする方法では、空気の消費量が大きくランニングコストに負担がかかり、またリフトアップする方法では、リフトや回転機構に設備費用を要し、タクトタイム（工程作業時間）を短縮できないなどの問題がある。

本発明は、上記実情に鑑みてなされたもので、一の搬送方向と該一の搬送方向と直交する搬送方向とのコーナー部においても、上記手段を採ることなく円滑に９０度方向転換させることが可能な非接触搬送装置を提供することを目的とする。

上記目的を達成するため、本発明にかかる非接触搬送装置は、一の搬送方向に沿って配された非接触搬送装置と、該一の搬送方向に対して直交する搬送方向に配された非接触搬送装置とのコーナー部に配される非接触搬送装置であって、平面視直角三角形を呈すると共に、該平面視直角三角形の斜辺を相対向させた一対の搬送用基板が該直角三角形の一方の辺を前記一の搬送方向に向けると共に、他方の辺を該搬送方向に直交する搬送方向に向けて配され、該搬送用基板には、平面視直角三角形の搬送面に複数個の上昇流形成体と、複数個の吸引孔とが設けられていることを特徴とする。

本発明の非接触搬送装置によれば、被搬送物（ＦＰＤガラス）を該被搬送物の一の搬送方向に対して、平面視直角三角形の斜辺を相対向させ、直角三角形の直角を挟む一方の辺を一の搬送方向に向けると共に、他方の辺を該搬送方向に直交する搬送方向に向けて配された一対の搬送用基板において浮上搬送するため、搬送中の被搬送物に撓みが生じても、被搬送物の先端側の撓み部分が搬送用基板の斜辺間の隙間に進入することはないので、リフトや回転機構を使用することなく、一の搬送方向に沿って配された非接触搬送装置から直角に方向転換したコーナー部の非接触搬送装置への乗り移り搬送が可能となる。

上記非接触搬送装置の前記一対の搬送用基板において、前記平面視直角三角形の斜辺間に該斜辺に沿う幅方向に隙間を設けることができる。

また、上記非接触搬送装置において、前記平面視直角三角形を呈する搬送用基板は、上面に開口する平面視円形の開口部を有する円筒壁面部と該円筒壁面部と環状肩部を介して拡径すると共に、下面に開口する拡径円筒壁面部を有する収容孔部と、該収容孔部に隣接して穿設され、上、下面に開口する吸引孔を長手方向及び幅方向に沿って交互に複数個備えた上板と、上面に開口し、前記上板の各収容孔部に連通する連続した空気供給経路と、一方の端部が該空気供給経路に開口し、他方の端部が下面に開口する連通孔と、該連通孔に隣接し、一方の端部が前記上板の吸引孔に連通し、他方の端部が下面に開口する貫通孔とを備えた中板と、該中板の連通孔に結合された空気供給口と、上面に開口すると共に、前記中板の貫通孔に連通する空気吸引経路と該空気吸引経路に結合された真空吸引口とを備えた下板とからなり、前記上板の収容孔部には上昇流形成体が装着されている。

上記平面視直角三角形を呈する搬送用基板は、上面に開口する平面視円形の開口部を有する円筒壁面部と該円筒壁面部と環状肩部を介して拡径すると共に、下面に開口する拡径円筒壁面部を有する収容孔部と、該収容孔部に隣接して穿設され、上、下面に開口する吸引孔を長手方向及び幅方向に沿って交互に複数個備えた上板と、上面に開口し、前記上板の収容孔部に連通する１つの連続した空気供給経路と、一方の端部が該空気供給経路に開口し、他方の端部が下面に開口する１つの連通孔と、一方の端部が前記上板の吸引孔に開口し、他方の端部が下面に開口する空気吸引経路に開口する連通孔とを備えた中板と、該中板の連通孔に開口する空気供給口と、前記中板の空気吸引経路に結合された真空吸引口とを備えた下板とからなり、前記上板の収容孔部には上昇流形成体が装着されているものであってもよい。

前記搬送用基板の上板の収容孔部に装着される上昇流形成体は、内面に円筒内壁面を有する有底の円筒状基体部と、該円筒状基体部の開口部の周縁に径方向外方に張り出す環状鍔部と、該環状鍔部の外周縁の円周方向に沿い、かつ径方向に相対向して下方に延びる複数個の係合垂下部と、該係合垂下部の下端に外方に突出する係合突起部と、前記円筒状基体部の外周面から円筒内壁面に開口すると共に、先端部が該円筒状基体部の中心に向かう少なくとも１つの流体噴出孔とを備えている。

また、上昇流形成体は、前記流体噴出孔を１つ備え、該流体噴出孔から噴出した流体は、該円筒状基体部の円筒内壁面に衝突し、噴霧状に上方に分散して上昇流を形成するものであるか、あるいは円筒状基体部の外周面から円筒状内壁面に開口すると共に、先端部が該円筒状基体部の中心に向かって相対向するように２つ設けられた流体噴出孔を備え、該２つの流体噴出孔から噴出した流体は、該流体同士が衝突し、噴霧状に上方に分散して上昇流を形成するものであってもよい。

上昇流形成体により生じる噴出流体は、噴霧状に分散して上昇流を形成するので、被搬送物にストレスを与えることがなく、負圧の発生がないので被搬送物の浮上量を大きくすることができる。

上記上昇流形成体は、熱可塑性合成樹脂を射出成形することによって形成されるのが好ましく、熱可塑性合成樹脂としては、ポリフェニレンサルファイド樹脂（ＰＰＳ）が挙げられる。上昇流形成体は、環状鍔部の外周面を前記搬送用基板の上板に形成された前記収容孔部の前記円筒壁面部に圧入嵌合させ、前記係合垂下部の前記係合突起部を前記収容孔部の前記環状肩部に係合させて該収容孔部に装着される。

本発明によれば、被搬送物（ＦＰＤガラス等）を該被搬送物の一の搬送方向に対して、平面視直角三角形の斜辺を相対向させ、直角三角形の直角を挟む一方の辺を一の搬送方向に向けると共に、他方の辺を該搬送方向に直交する搬送方向に向けて配された一対の搬送用基板において浮上搬送するため、搬送中の被搬送物に撓みが生じても、被搬送物の先端側の撓み部分が搬送用基板の斜辺間の隙間に進入することはないので、リフトや回転機構を使用することなく、一の搬送方向に沿って配された非接触搬送装置から直角に方向転換したコーナー部の非接触搬送装置への乗り移り搬送が可能となる非接触搬送装置を提供することができる。

本発明に係る非接触搬送装置の一実施の形態を示す図であって、搬送工程における非接触搬送装置の全体構成を示す平面図である。図１のコーナー部における非接触搬送装置の一部拡大平面図である。コーナー部における非接触搬送装置を形成する搬送用基板（上板）の上昇流形成体を装着していない状態の拡大平面図である。図３の搬送用基板（上板）の背面図である。図３のＡ−Ａ線矢視断面図である。図３のＢ−Ｂ線矢視断面図である。コーナー部における非接触搬送装置を形成する搬送用基板（中板）の平面図である。図７の搬送用基板（中板）の背面図である。コーナー部における非接触搬送装置を形成する搬送用基板（下板）の平面図である。図９の搬送用基板（下板）の背面図である。本発明の非接触搬送装置に使用される上昇流形成体を示す図であって、（ａ）は正面図、（ｂ）は平面図、（ｃ）は底面図、（ｄ）は（ｂ）のＣ−Ｃ線矢視断面図である。図２のＤ−Ｄ線矢視断面図である。上昇流形成体を介して空気が噴霧状に上方に分散して上昇流を形成する説明図で、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＥ−Ｅ線矢視断面図である。コーナー部における非接触搬送装置でのガラスの浮上搬送を示す断面図である。本発明の非接触搬送装置に使用される他の態様の上昇流形成体であって、（ａ）は底面図、（ｂ）は（ａ）のＦ−Ｆ線矢視断面図である。図１５に示す上昇流形成体を介して空気が噴霧状に上方に分散して上昇流を形成する説明図で、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＧ−Ｇ線矢視断面図である。コーナー部における非接触搬送装置の他の実施の形態の断面図である。図１の一の搬送方向及び一の搬送方向に直交する搬送方向に沿って配される非接触搬送装置を示す平面図である。図１８に示す非接触搬送装置における搬送用レールを示す図であって、（ａ）は旋回流形成体を装着していない状態の平面図、（ｂ）は（ａ）のＨ−Ｈ線矢視断面図である。図１の一の搬送方向及び一の搬送方向に直交する搬送方向に沿って配される非接触搬送装置における搬送用レールの他の実施の形態を示す図であって、（ａ）は旋回流形成体を装着していない状態の平面図、（ｂ）は（ａ）のＩ−Ｉ線矢視断面図である。平面視右回り方向（時計回り方向）の旋回流を発生させる旋回流形成体を示す図であって、（ａ）は正面図、（ｂ）は平面図、（ｃ）は底面図、（ｄ）は（ｂ）のＪ−Ｊ線矢視断面図、（ｅ）は（ｃ）のＫ部の拡大断面図、（ｆ）は（ｄ）のＬ部の拡大断面図である。図１の一の搬送方向及び一の搬送方向に直交する搬送方向に沿って配される非接触搬送装置による被搬送物の浮上搬送を示す断面図である。平面視左回り方向（反時計回り方向）の旋回流を発生させる旋回流形成体を示す図であって、（ａ）は正面図、（ｂ）は平面図、（ｃ）は底面図、（ｄ）は（ｃ）のＭ−Ｍ線矢視断面図、（ｅ）は（ｃ）のＮ部の拡大断面図、（ｆ）は（ｄ）のＰ部の拡大断面図である。従来の搬送工程における非接触搬送装置の全体構成を示す平面図である。非接触搬送装置の搬送用レールを示す平面図である。コーナー部に位置する非接触搬送装置における被搬送物の浮上搬送を示す図で、（ａ）は平面図、（ｂ）は断面側面図である。従来の非接触搬送装置でのガラスの浮上搬送を示す図で、（ａ）は断面正面図、（ｂ）は、（ａ）のＱ−Ｑ線断面図である。

次に、本発明の実施の形態について図面を参照しながら詳細に説明する。なお、以下の説明においては、搬送用流体として空気を用い、被搬送物として液晶ガラスＧ（以下、ガラスＧと略称する。）を搬送する場合を例にとって説明する。

非接触搬送装置１は、図１に示すように、ガラスＧを非接触で搬送するために使用され、一の搬送方向Ｘに沿って配された非接触搬送装置３と、該一の搬送方向Ｘに対して直交する搬送方向Ｙに配された非接触搬送装置４と、該非接触搬送装置３と非接触搬送装置４とのコーナー部に配される非接触搬送装置２とから構成される。

非接触搬送装置２は、平面視直角三角形を呈すると共に、該平面視直角三角形の斜辺２ｂを相対向させた一対の搬送用基板２ａ及び２ａ’が該直角三角形の直角を挟む一方の辺２ｃを一の搬送方向Ｘに向けると共に、他方の辺２ｄを該搬送方向に直交する搬送方向Ｙに向けて配されている。

搬送用基板２ａ及び２ａ’は、図３乃至図１０及び図１２に示すように、上板５、中板６及び下板７からなる３層構造を有する。

上板５は、図３乃至図６に示すように、斜辺５ｂと直角を挟む２つの辺５ｃ及び５ｄからなる平面視直角三角形を呈すると共に、搬送面となる上面５ａに穿設され、該上面５ａに開口する平面視円形の開口部５ｅを有する円筒壁面部５ｆと、該円筒壁面部５ｆと環状肩部５ｇを介して拡径する帯状の拡径円筒壁面部５ｈと、該拡径円筒壁面部５ｈと連通し、円筒壁面部５ｆと同径に形成された環状凹部５ｉと、一方の端部が該環状凹部５ｉに開口し、他方の端部が下面５ｊに開口する空気噴出孔５ｋとを備えた収容孔部５ｌと、一方の端部に狭窄孔５ｍを有すると共に、該狭窄孔５ｍの一方の端部を上面５ａに開口させ、該狭窄孔５ｍの他方の端部を該狭窄孔５ｍと連通させて該上板５の下面５ｊに開口する空気吸引孔５ｎを複数個備えている。

中板６は、図７及び図８に示すように、斜辺６ｂと直角を挟む２つの辺６ｃ及び６ｄからなる平面視直角三角形を呈すると共に、上面６ａに前記上板５に形成された複数個の収容孔部５ｌの空気噴出孔５ｋに連通するように形成され、開口部を上方に向けた断面半円状の空気供給凹溝６ｅと、一方の端部が該空気供給凹溝６ｅに開口し、他方の端部が中板６の下面６ｆに開口して形成された複数個の空気供給孔６ｇと、前記上板５に形成された複数個の空気吸引孔５ｎに連通すると共に、中板６の上面６ａから下面６ｈに向けて貫通する貫通孔６ｉを備えている。

下板７は、図９及び図１０に示すように、斜辺７ｂと直角を挟む２つの辺７ｃ及び７ｄからなる平面視直角三角形を呈すると共に、一方の端部が下板７の上面７ａに開口し、他方の端部が下板７の下面７ｅに開口すると共に、前記中板６に形成された複数個の空気供給孔６ｇに連通する空気供給口７ｆと、上面７ａに前記中板６に形成された複数個の貫通孔６ｉに連通するように形成され、開口部を上方に向けた断面半円状の空気吸引凹溝７ｇと、一方の端部が該空気吸引凹溝７ｇに開口し、他方の端部が該下板７の下面７ｅに開口する真空吸引口７ｈを備えている。

そして、図１２に示すように、上板５に形成された収容孔部５ｌの空気噴出孔５ｋを中板６の上面６ａに形成された空気供給凹溝６ｅに連通させ、空気吸引孔５ｎを中板６に形成された貫通孔６ｉに連通させて、上板５を中板６の上面６ａに位置せしめ、中板６の下面６ｈに開口する空気供給孔６ｇに下板７に形成された空気供給口７ｆに結合させると共に、中板６の下面６ｈに開口する貫通孔６ｉを下板７の上面７ａに形成された空気吸引凹溝７ｇに真空吸引口７ｈを結合させて、中板６を下板７の上面７ａに位置させることにより、平面視直角三角形を呈する搬送用基板２ａが形成される。該搬送用基板２ａは、上板５、中板６及び下板７をボルト等の固定手段により締結固定されて形成される。なお、搬送用基板２ａ’は、搬送用基板２ａと同様の構成からなると共に、該搬送用基板２ａを１８０°回転させることにより形成されるもので、説明は省略する。

上記搬送用基板２ａにおいて、下板７に形成された空気供給口７ｆ及び真空吸引口７ｈは、各々ねじ孔を備え、空気供給口７ｆのねじ孔には、例えばコンプレッサーに接続されたホースの先端のニップルが螺合固定され、真空吸引口７ｈのねじ孔には、例えば真空ポンプに接続されたホースの先端のニップルが螺合固定される。

上記搬送用基板２ａの上板５に形成された収容孔部５ｌには、例えばポリフェニレンサルファイド樹脂（ＰＰＳ）等の熱可塑性合成樹脂から形成された上昇流形成体８が装着される。

上昇流形成体８は、図１１（ａ）乃至（ｄ）に示すように、上面に開口する平面視円形の開口部８ａを有すると共に、該開口部８ａに連通する円筒内壁面８ｂを有する有底の円筒状基体部８ｃと、該円筒状基体部８ｃの開口部８ａの周縁に径方向外方に張り出す環状鍔部８ｄと、該環状鍔部８ｄの外周面８ｅに該外周面８ｅの円周方向に沿い、かつ径方向に相対向して下方に延びる複数個（本実施の形態においては４個）の係合垂下部８ｆと、該係合垂下部８ｆの下端に外方に突出する係合突起部８ｇと、該円筒状基体部８ｃの外周面８ｈから円筒内壁面８ｂに開口すると共に、先端部８ｉが該円筒状基体部８ｃの中心Ｏに向かう少なくとも１つ（本実施の形態では１つ）の空気噴出孔８ｊを備えている。

該上昇流形成体８は、図１２に示すように、環状鍔部８ｄの外周面８ｅを該収容孔部５ｌの円筒壁面部５ｆに圧入嵌合させ、係合垂下部８ｆの係合突起部８ｇを該収容孔部５ｌの環状肩部５ｇに係合させると共に、該環状鍔部８ｄの上面８ｋを該搬送用基板２ａの上板５の上面５ａと面一にして該収容孔部５ｌに装着される。

上記構成により、搬送用基板２ａの空気供給口７ｆから供給された空気は、空気供給口７ｆに連通する中板６の空気供給孔６ｇを介して空気供給凹溝６ｅに供給される。空気供給凹溝６ｅに供給された空気は、上板５に形成された空気噴出孔５ｋから収容孔部５ｌに供給され、該収容孔部５ｌに装着された上昇流形成体８において、図１３及び図１４に示すように、円筒状基体部８ｃの外周面８ｈから円筒内壁面８ｂに開口すると共に、先端部８ｉが円筒状基体部８ｃの中心Ｏに向かう空気噴出孔８ｊから噴出して円筒状基体部８ｃの円筒内壁面８ｂに衝突し、該円筒内壁面８ｂの開口部８ａの上方に噴霧状に分散する上昇流となり、該上昇流によりガラスＧを浮上させると同時に、搬送用基板２ａの上板５の上面５ａに開口する空気吸引孔５ｎの狭窄孔５ｍにおいて吸引し、上昇流による浮上力と空気吸引孔５ｎの狭窄孔５ｍの吸引力のバランスにより、コーナー部において当該ガラスＧは、撓みを生じることなく高精度な平面度を形成して非接触で搬送される。

上昇流形成体８においては、負圧を発生しないので浮上量を大きくすることができ、また空気噴出孔８ｊから噴出した空気は、円筒状基体部８ｃの円筒内壁面８ｂに衝突することにより、空気の噴出速度が低下せしめられると共に、噴霧状に分散する上昇流となるので、ガラスＧにストレスを与えることを極力抑えることができる。

また、コーナー部における非接触搬送装置２においては、平面視直角三角形を呈すると共に、該平面視直角三角形の斜辺２ｂを相対向させた一対の搬送用基板２ａ、２ａ’が該直角三角形の一方の辺２ｃを一の搬送方向Ｘに向けると共に、他方の辺２ｄを該搬送方向に直交する搬送方向Ｙに向けて配されているので、搬送時におけるガラスＧの撓みに起因する当該ガラスＧの搬送先端部が搬送用基板２ａ、２ａ’間の隙間に進入する不具合を生じることなく、ガラスＧの搬送を極めて円滑に行うことができる。

図１５（ａ）及び（ｂ）は、上記上昇流形成体８の他の実施の形態を示すもので、上昇流形成体９は、上面に開口する平面視円形の開口部９ａを有すると共に、該開口部９ａに連通する円筒壁面部９ｂを有する有底の円筒状基体部９ｃと、該円筒状基体部９ｃの開口部９ａの周縁に径方向外方に張り出す環状鍔部９ｄと、該環状鍔部９ｄの外周面９ｅに該外周面９ｅの円周方向に沿い、かつ径方向に相対向して下方に延びる複数個（本実施の形態においては４個）の係合垂下部９ｆと、該係合垂下部９ｆの下端に外方に突出する係合突起部９ｇと、該円筒状基体部９ｃの外周面９ｈから円筒内壁面９ｂに開口すると共に、先端部９ｉが該円筒状基体部９ｃの中心Ｏに向かって相対向する２つの空気噴出孔９ｊ及び９ｊを備えている。

該上昇流形成体９は、図示しないが前記図１２に示した上昇流形成体８の収容孔部５ｌへの装着と同様にして、環状鍔部９ｄの外周面９ｅを該収容孔部５ｌの円筒壁面部５ｆに圧入嵌合し、係合垂下部９ｆの係合突起部９ｇを該収容孔部５ｌの環状肩部５ｇに係合させると共に、該環状鍔部９ｄの上面９ｋを該搬送用基板２ａの上板５の上面５ａと面一にして該収容孔部５ｌに装着される。

搬送用基板２ａの空気供給口７ｆから供給された空気は、空気供給口７ｆに連通する中板６の空気供給孔６ｇを介して空気供給凹溝６ｅに供給される。空気供給凹溝６ｅに供給された空気は、上板５に形成された空気噴出孔５ｋから収容孔部５ｌに供給され、図１６（ａ）及び（ｂ）に示すように、該収容孔部５ｌ（図１２参照）に装着された上昇流形成体９の空気噴出孔９ｊ及び９ｊから噴出して空気同士が衝突し、該円筒内壁面９ｂの上方に噴霧状に分散する上昇流となり、該上昇流によってガラスＧは非接触で搬送される。

この上昇流形成体９を使用した場合においても、上昇流形成体９においては、負圧を発生しないので浮上量を大きくすることができ、また、空気噴出孔９ｊ及び９ｊから噴出した空気は、空気同士が衝突することにより空気の噴出速度が低下せしめられると共に、噴霧状に分散する上昇流となるので、ガラスＧにストレスを与えることを極力抑えることができる。

図１７は、搬送用基板２ａの他の実施の形態を示す。搬送用基板２ａは、上板５、中板６及び下板７からなる３層構造を有し、上板５は、図３、図４及び図１２に示した前記搬送用基板２ａの上板５と同様の構成を有する。

中板６は、図１７に示すように、中板６の上面６ａに形成された断面半円形であって、開口部を上方に向けた空気供給凹溝６ｅと、一方に端部が該空気供給凹溝６ｅに開口すると共に、他方の端部が下面６ｈに開口する複数個の空気供給孔６ｇと、該中板６の下面６ｈに形成された断面半円形であって、開口部を下方に向けた空気吸引凹溝６ｊと、一方の端部が上板５に形成された空気吸引孔５ｎに連通し、他方の端部が該空気吸引凹溝６ｊに開口する貫通孔６ｉを備え、下板７は、下板７の上面７ａに開口し、中板６の空気供給孔６ｇに連通すると共に、下板７の下面７ｅに開口する空気供給口７ｆと、下板７の上面７ａに開口し、中板６の下面６ｈに形成された空気吸引凹溝６ｊに開口する貫通孔６ｉに連通すると共に、下板７の下面７ｅに開口する真空吸引口７ｈを備えている。該搬送用基板２ａは、上板５、中板６及び下板７をボルト等の固定手段により締結固定されて形成される。

図１８及び図１９は、図１に示す一の搬送方向Ｘに沿って配された非接触搬送装置３と、該一の搬送方向Ｘに対して直交する搬送方向Ｙに沿って配された非接触搬送装置４を示す。なお、非接触搬送装置３と非接触搬送装置４は、同様の構成を有するため、以下の説明では非接触搬送装置３について説明する。

非接触搬送装置３は、搬送用基体３ａと、該搬送用基体３ａの搬送面としての上面３ｂに穿設され、上面３ｂに開口する平面視円形の開口部３ｃを有する円筒壁面部３ｄと、該円筒壁面部３ｄと環状肩部３ｅを介して拡径する帯状の拡径円筒壁面部３ｆと、該拡径円筒壁面部３ｆと連通し、該円筒壁面部３ｄと同径に形成された環状凹部３ｇとを有する収容孔部３ｈとを備え、収容孔部３ｈは、搬送用基体３ａの長手方向Ｘに沿って複数個千鳥状に形成されている。

搬送用基体３ａは、搬送用基体３ａの長手方向に沿って形成され、供給ポンプ（図示せず）から空気が供給される空気通路３ｉと、該空気通路３ｉに連通し、空気通路３ｉからの空気を収容孔部３ｈに供給すべく該収容孔部３ｈに開口する貫通孔３ｊを備えている。

図２０は、搬送用基体３ａの他の実施の形態を示し、この搬送用基体３ａは、搬送用基体３ａに搬送面としての上面３ｂに穿設され、上面３ｂに開口する平面視円形の開口部３ｃを有する円筒壁面部３ｄと、円筒壁面部３ｄと環状肩部３ｅを介して拡径する帯状の拡径円筒壁面部３ｆと、該拡径円筒壁面部３ｆと連通し、該円筒壁面部３ｄと同径に形成された環状凹部３ｇとを有する収容孔部３ｈとを備え、該収容孔部３ｈは、搬送用基体３ａの長手方向Ｘに沿って複数個千鳥状に形成され、供給ポンプ（図示せず）から空気が供給される空気通路３ｉがその一部を収容孔部３ｈに開口して形成されている。この搬送用基体３ａでは、前記図１９（ａ）及び（ｂ）に示す搬送用基体３ａにおける該空気通路３ｉから収容孔部３ｈに空気を供給する貫通孔３ｊが不要となる。

該搬送用基体３ａに形成された収容孔部３ｈに装着され、平面視右回り方向（時計回り方向）の上昇旋回流を発生させる旋回流形成体１０は、図２１（ａ）乃至（ｆ）に示すように、上面に開口する平面視円形の開口部１０ａを有すると共に、該開口部１０ａに連通する円筒内壁面１０ｂを有する有底の円筒状基体部１０ｃと、該円筒状基体部１０ｃの開口部１０ａの周縁に径方向外方に張り出す環状鍔部１０ｄと、該環状鍔部１０ｄの外周面１０ｅに該外周面１０ｅの円周方向に沿い、かつ径方向に相対向して下方に延びる複数個（本実施の形態では４個）の係合垂下部１０ｆと、該係合垂下部１０ｆの下端に外方に突出する係合突起部１０ｇと、円筒状基体部１０ｃの円筒内壁面１０ｂに該円筒状内壁面１０ｂの接線方向であって該円筒状基体部１０ｃの中心Ｏを挟んで対角線上の相対向する位置に形成された凹部１０ｈ及び１０ｈと、それぞれの凹部１０ｈに形成され、円筒内壁面１０ｂ側に向かってそれぞれ反対方向に開口する空気の噴出口１０ｉ及び１０ｉと、噴出口１０ｉ及び１０ｉに連通し、円筒状基体部１０ｃの外周面に開口する空気取入口１０ｊ及び１０ｊを備えている。

該旋回流形成体１０は、図２２に示すように、環状鍔部１０ｄの外周面１０ｅを該搬送用基体３ａに形成された収容孔部３ｈの円筒壁面部３ｄに圧入嵌合させ、係合垂下部１０ｆの係合突起部１０ｇを該収容孔部３ｈの環状肩部３ｅに係合させると共に、該環状鍔部１０ｄの上面１０ｌを該搬送用基体３ａの上面３ｂと面一にして該収容孔部３ｈに装着される。

該搬送用基体３ａの収容孔部３ｈに装着された上記旋回流形成体１０は、図２１及び図２２に示すように、空気取入口１０ｊ及び１０ｊを介してそれぞれ噴出口１０ｉ及び１０ｉから噴出した空気が円筒状基体部１０ｃの円筒内壁面１０ｂに当接することにより、平面視右回り方向の上昇旋回流（図２１（ｂ）中の矢印方向）を発生させると共に、上昇旋回流の中心部には負圧が発生し、当該負圧による吸引力によりガラスＧの浮き上がり過ぎが防止される。

図２３（ａ）乃至（ｆ）は、平面視左回り方向（反時計回り方向）の上昇旋回流を発生させる旋回流形成体１１を示すもので、旋回流形成体１１は、上面に開口する平面視円形の開口部１１ａを有すると共に、該開口部１１ａに連通する円筒内壁面１１ｂを有する有底の円筒状基体部１１ｃと、該円筒状基体部１１ｃの開口部１１ａの周縁に径方向外方に張り出す環状鍔部１１ｄと、該環状鍔部１１ｄの外周面１１ｅに該外周面１１ｅの円周方向に沿い、かつ径方向に相対向して下方に延びる複数個（本実施の形態では４個）の係合垂下部１１ｆと、該係合垂下部１１ｆの下端に外方に突出する係合突起部１１ｇと、円筒状基体部１１ｃの円筒内壁面１１ｂに、該円筒状内壁面１１ｂの接線方向であって該円筒状基体部１１ｃの中心Ｏを挟んで対角線上の相対向する位置に形成された凹部１１ｈ及び１１ｈと、それぞれの凹部１１ｈに形成され、円筒内壁面１１ｂ側に向かってそれぞれ反対方向に開口する空気の噴出口１１ｉ及び１１ｉと、噴出口１１ｉ及び１１ｉに連通し、円筒状基体部１１ｃの外周面に開口する空気取入口１１ｊ及び１１ｊを備えている。

上記旋回流形成体１１においても、前記旋回流形成体１０を搬送用基体３ａの収容孔部３ｈに装着した方法と同様にして搬送用基体３ａの収容孔部３ｈに装着される。そして、空気取入口１１ｊ及び１１ｊを介してそれぞれ噴出口１１ｉ及び１１ｉから噴出した空気が円筒状基体部１１ｃの円筒内壁面１１ｂに当接することにより、平面視左回り方向の上昇旋回流（図２３（ｂ）中の矢印方向）を発生させると共に、上昇旋回流の中心部には負圧が発生し、当該負圧による吸引力によりガラスＧの浮き上がり過ぎが防止される。

搬送用基体３ａに千鳥状に形成された収容孔部３ｈには、図１８に示すように、前記平面視右回り方向（時計回り方向）の上昇旋回流を発生させる旋回流形成体１０と平面視左回り方向（反時計回り方向）の上昇旋回流を発生させる旋回流形成体１１とが該搬送用基体３ａの長手方向Ｘに沿って交互に装着される。

次に、上記構成を有する非接触搬送装置１の動作について、図１乃至図２３を参照して説明する。なお、以下の説明において、コーナー部における非接触搬送装置２の搬送用基板２ａに上昇流形成体８を装着した場合について説明する。

ガラスＧを搬送するにあたっては、図１に示す一の搬送方向Ｘに沿って配された非接触搬送装置３において、図１９に示すように、供給ポンプから搬送用基体３ａの空気通路３ｉに供給された空気は、該空気通路３ｉに連通する貫通孔３ｊを介して該搬送用基体３ａに形成された収容孔部３ｈに供給される。収容孔部３ｈに供給された空気は、該収容孔部３ｈに装着された旋回流形成体１０（図２１参照）の空気取入口１０ｊ及び１０ｊに進入し、噴出口１０ｉ及び１０ｉを通じて円筒状基体１０ｃの円筒内壁面１０ｂ側に噴出する。噴出した空気は、該円筒内壁面１０ｂに当接し、平面視右回り方向の上昇旋回流を該円筒内壁面１０ｂの開口部１０ａの上方に発生させる。なお、搬送用基体３ａに形成された収容孔部３ｈに旋回流形成体１１を装着した場合は、図２３に示すように、円筒状基体１１ｃの円筒内壁面１１ｂの開口部１１ａの上方に平面視左回り方向の上昇旋回流が発生する。

このようにして浮上したガラスＧは、図示しないリニアモータ、摩擦コロ、ベルトなどにより搬送駆動力が与えられ、一の搬送方向Ｘに沿って搬送される。

一の搬送方向Ｘに沿って搬送されたガラスＧは、コーナー部の非接触搬送装置２に搬送され、該非接触搬送装置２において、図１２に示すように、供給ポンプから搬送用基板２ａの下板７の空気供給口７ｆに供給された空気は、中板６に形成された空気供給口７ｆに連通する空気供給孔６ｇを介して空気供給凹溝６ｅに進入する。該空気供給凹溝６ｅに進入した空気は、空気噴出孔５ｋを介して上板５に形成された収容孔部５ｌに進入し、該収容孔部５ｌに装着された上昇流形成体８の空気噴出孔８ｊ（図１３参照）から噴出する。

空気噴出孔８ｊから噴出した空気は、該上昇流形成体８の円筒状基体８ｃの円筒内壁面８ｂに衝突し、該円筒内壁面８ｂの開口部８ａの上方に噴霧状に分散する上昇流を生じる。このとき、上昇流形成体８に空気を供給する空気供給凹溝６ｅは、図７に示すように、単一の連続凹溝によって形成されているので、空気噴出孔８ｊからの空気の噴出量の上昇流形成体８毎のばらつきを抑制することができ、ガラスＧの浮上量を均一に制御することができる。

これと併行して、真空ポンプによって搬送用基板２ａの下板７に形成された真空吸引口７ｈから空気を吸引し、下板７に形成された空気吸引凹溝７ｇ及び該空気吸引凹溝７ｇに連通する中板６に形成された貫通孔６ｉを通じて上板５に形成された空気吸引孔５ｎの開口部の上方空間の空気を吸引する。このとき、空気吸引孔５ｎから空気を吸引する空気吸引凹溝７ｇは、図９に示すように、単一の連続凹溝によって形成されているので、空気吸引孔５ｎからの空気の吸引量の空気吸引孔５ｎ毎のばらつきを制御することができ、ガラスＧの吸引圧を均一に制御することができる。

このコーナー部の非接触搬送装置２においては、上昇流形成体８の開口部８ａの上方に噴霧状に分散する上昇流によりガラスＧを浮上させると同時に、搬送用基板２ａの上板５の上面５ａに開口する空気吸引孔５ｎの狭窄孔５ｍにおいて、該狭窄孔５ｍの開口部の上方空間の空気を吸引し、上昇流による浮上力と空気吸引孔５ｎの狭窄孔５ｍの吸引力のバランスにより、当該ガラスＧに撓みを生じることなく高精度な平面度を形成して非接触で搬送される。

また、このコーナー部の非接触搬送装置２は、図１に示すように、平面視直角三角形を呈すると共に、該直角三角形の斜辺２ｂを相対向させた一対の搬送用基板２ａ及び２ａ’が該直角三角形の直角を挟む一方の辺２ｃを一の搬送方向Ｘに向けると共に、他方の辺２ｄを該一の搬送方向Ｘに直交する搬送方向Ｙに向けて配され、ガラスＧを一対の搬送用基板２ａ及び２ａ’において浮上搬送するため、搬送中のガラスＧの先端部側に万が一、撓みが生じても、ガラスＧの先端部側の撓み部分が搬送用基板２ａ及び２ａ’の斜辺２ｂ間の隙間に侵入することはないので、一の搬送方向Ｘに沿って配された非接触搬送装置３から直角に方向転換したコーナー部の非接触搬送装置２への乗り移り搬送が可能となる。

一の搬送方向Ｘに沿って配された非接触搬送装置３によって搬送されたガラスＧは、コーナー部の非接触搬送装置２において直角に方向転換した後、一の搬送方向Ｘに対して直交する搬送方向Ｙに沿って配された非接触搬送装置４に乗り移り非接触で搬送される。この非接触搬送装置４は、前記非接触搬送装置３と同様の構成が採られる。

以上説明したように、本発明の非接触搬送装置は、一の搬送方向に沿って配された非接触搬送装置と、該一の搬送方向に対して直交する搬送方向に配された非接触搬送装置とのコーナー部に配される非接触搬送装置であって、当該非接触搬送装置においては、上昇流形成体の開口部の上方に噴霧状に分散する上昇流により被搬送物を浮上させると同時に、搬送用基板の上板の上面に開口する空気吸引孔の狭窄孔において、該狭窄孔の開口部の上方空間の空気を吸引し、上昇流による浮上力と空気吸引孔の狭窄孔の吸引力のバランスにより、被搬送物に撓みを生じることを極力抑えることができ、当該被搬送物を高精度な平面度を形成して非接触で搬送することができる。

このコーナー部の非接触搬送装置は、平面視直角三角形を呈すると共に、該平面視直角三角形の斜辺を相対向させた一対の搬送用基板が該直角三角形の一方の辺を一の搬送方向に向けると共に、他方の辺を該搬送方向に直交する搬送方向に向けて配され、被搬送物を一対の搬送用基板において浮上搬送するため、搬送中の被搬送物の先端部側に万が一、撓みが生じても、被搬送物の先端部側の撓み部分が搬送用基板の斜辺間の隙間に侵入することはないので、一の搬送方向に沿って配された非接触搬送装置から直角に方向転換したコーナー部の非接触搬送装置への乗り移り搬送が可能となる。

１非接触搬送装置（全体構成）
２非接触搬送装置（コーナー部）
３、４非接触搬送装置（一の搬送方向と一の搬送方向と直交する搬送方向）
２ａ、２ａ’ 搬送用基板
２ｂ斜辺
２ｃ、２ｄ辺
５上板
５ａ上面（搬送面）
５ｌ収容孔部
５ｍ狭窄孔
５ｎ空気吸引孔
６中板
６ｅ空気供給凹溝
６ｉ貫通孔
７上板
７ｆ空気供給口
７ｇ空気吸引凹溝
７ｈ真空吸引口
８上昇流形成体
８ｊ空気噴出孔

Claims

一の搬送方向に沿って配された非接触搬送装置と、該一の搬送方向に対して直交する搬送方向に配された非接触搬送装置とのコーナー部に配される非接触搬送装置であって、平面視直角三角形を呈すると共に、該平面視直角三角形の斜辺を相対向させた一対の搬送用基板が該直角三角形の一方の辺を前記一の搬送方向に向けると共に、他方の辺を該搬送方向に直交する搬送方向に向けて配され、該搬送用基板には、平面視直角三角形の搬送面に複数個の上昇流形成体と、複数個の吸引孔とが設けられていることを特徴とする非接触搬送装置。
前記一対の搬送用基板において、前記平面視直角三角形の斜辺間には該斜辺に沿う幅方向に隙間が設けられていることを特徴とする請求項１に記載の非接触搬送装置。
前記平面視直角三角形を呈する搬送用基板は、上面に開口する平面視円形の開口部を有する円筒壁面部と該円筒壁面部と環状肩部を介して拡径すると共に、下面に開口する拡径円筒壁面部を有する収容孔部と、該収容孔部に隣接して穿設され、上、下面に開口する吸引孔を長手方向及び幅方向に沿って交互に複数個備えた上板と、上面に開口し、前記上板の各収容孔部に連通する連続した空気供給経路と、一方の端部が該空気供給経路に開口し、他方の端部が下面に開口する連通孔と、該連通孔に隣接し、一方の端部が前記上板の吸引孔に連通し、他方の端部が下面に開口する貫通孔とを備えた中板と、該中板の連通孔に結合された空気供給口と、上面に開口すると共に、前記中板の貫通孔に連通する空気吸引経路と該空気吸引経路に結合された真空吸引口とを備えた下板とからなり、前記上板の収容孔部には上昇流形成体が装着されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の非接触搬送装置。
前記平面視直角三角形を呈する搬送用基板は、上面に開口する平面視円形の開口部を有する円筒壁面部と該円筒壁面部と環状肩部を介して拡径すると共に、下面に開口する拡径円筒壁面部を有する収容孔部と、該収容孔部に隣接して穿設され、上、下面に開口する吸引孔を長手方向及び幅方向に沿って交互に複数個備えた上板と、上面に開口し、前記上板の収容孔部に連通する１つの連続した空気供給経路と、一方の端部が該空気供給経路に開口し、他方の端部が下面に開口する１つの連通孔と、一方の端部が前記上板の吸引孔に開口し、他方の端部が下面に開口する空気吸引経路に開口する連通孔とを備えた中板と、該中板の連通孔に開口する空気供給口と、前記中板の空気吸引経路に結合された真空吸引口とを備えた下板とからなり、前記上板の収容孔部には上昇流形成体が装着されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の非接触搬送装置。
前記上昇流形成体は、内面に円筒内壁面を有する有底の円筒状基体部と、該円筒状基体部の開口部の周縁に径方向外方に張り出す環状鍔部と、該環状鍔部の外周縁の円周方向に沿い、かつ径方向に相対向して下方に延びる複数個の係合垂下部と、該係合垂下部の下端に外方に突出する係合突起部と、前記円筒状基体部の外周面から円筒内壁面に開口すると共に、先端部が該円筒状基体部の中心に向かう少なくとも１つの流体噴出孔とを備えていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の非接触搬送装置。
前記上昇流形成体は、前記流体噴出孔を１つ備え、該流体噴出孔から噴出した流体は、該円筒状基体部の前記円筒内壁面に衝突し、噴霧状に上方に分散して上昇流を形成することを特徴とする請求項５に記載の非接触搬送装置。
前記上昇流形成体は、前記円筒状基体部の外周面から前記円筒状内壁面に開口すると共に、先端部が該円筒状基体部の中心に向かって相対向するように２つ設けられた流体噴出孔を備え、該２つの流体噴出孔から噴出した流体は、該流体同士が衝突し、噴霧状に上方に分散して上昇流を形成することを特徴とする請求項５に記載の非接触搬送装置。
前記上昇流形成体は、前記環状鍔部の外周面を前記搬送用基板の前記上板に形成された前記収容孔部の前記円筒壁面部に圧入嵌合させ、前記係合垂下部の前記係合突起部を前記収容孔部の前記環状肩部に係合させて該収容孔部に装着されることを特徴とする請求項６又は７に記載の非接触搬送装置。