JP5657935B2

JP5657935B2 - Cutting equipment

Info

Publication number: JP5657935B2
Application number: JP2010156004A
Authority: JP
Inventors: 関家　一馬; 一馬関家
Original assignee: Disco Corp
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2010-07-08
Filing date: 2010-07-08
Publication date: 2015-01-21
Anticipated expiration: 2030-07-08
Also published as: JP2012019100A

Description

本発明は、半導体ウエーハ等のワークを切削するための切削装置に関する。 The present invention relates to a cutting apparatus for cutting a workpiece such as a semiconductor wafer.

半導体デバイス製造工程では、略円板形状である半導体ウエーハの表面に格子状に形成されたストリートと呼ばれる分割予定ラインによって区画された多数の領域にＩＣ，ＬＳＩ等の回路を形成し、回路が形成された各領域を分割予定ラインに沿って分割することによって、個々の半導体チップが製造される。一般に、半導体ウエーハを分割する分割装置としては、切削装置が用いられている。この切削装置は、半導体ウエーハを保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された半導体ウエーハを切削する切削ブレードを有する切削手段とを備え、切削ブレードを回転しつつチャックテーブルを相対的に切削送りさせることによって、半導体ウエーハを切削する。 In the semiconductor device manufacturing process, circuits such as ICs and LSIs are formed in a large number of areas partitioned by dividing lines called streets formed in a lattice pattern on the surface of a semiconductor wafer having a substantially disk shape. Individual semiconductor chips are manufactured by dividing each of the regions along the planned division line. In general, a cutting device is used as a dividing device for dividing a semiconductor wafer. This cutting apparatus includes a chuck table for holding a semiconductor wafer and a cutting means having a cutting blade for cutting the semiconductor wafer held by the chuck table, and relatively cutting and feeding the chuck table while rotating the cutting blade. Thus, the semiconductor wafer is cut.

特開２００６−１５６８０９号公報JP 2006-156809 A

ところで、本願発明の出願人は、加工効率を向上させるために２つのチャックテーブルと２つの切削手段とを備える切削装置（以下、２チャック切削装置と表記）を提案している（特許文献１参照）。しかしながら、１２インチ（φ３００ｍｍ）の半導体ウエーハを切削するための従来までの２チャック切削装置には、チャックテーブルの送り機構や切削手段の送り機構の送り幅（ストローク量）の制限のために、長手方向の長さが３００ｍｍを越える長方形の半導体ウエーハを切削できないという問題点があった。このため、チャックテーブルの送り機構や切削手段の送り機構の送り幅を拡張せずに、長方形の半導体ウエーハを切削可能な切削装置の提供が望まれていた。 By the way, the applicant of the present invention has proposed a cutting device (hereinafter referred to as a two-chuck cutting device) including two chuck tables and two cutting means in order to improve processing efficiency (see Patent Document 1). ). However, the conventional two-chuck cutting apparatus for cutting a semiconductor wafer of 12 inches (φ300 mm) has a long length due to limitations on the feed width (stroke amount) of the feed mechanism of the chuck table and the feed mechanism of the cutting means. There is a problem that a rectangular semiconductor wafer having a length in the direction exceeding 300 mm cannot be cut. Therefore, it has been desired to provide a cutting apparatus capable of cutting a rectangular semiconductor wafer without expanding the feed width of the chuck table feed mechanism or the cutting means feed mechanism.

本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであって、その目的は、保持テーブル送り手段やスピンドル送り手段の送り幅を拡張せずに長方形のワークを切削可能な切削装置を提供することにある。 The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide a cutting apparatus capable of cutting a rectangular workpiece without extending the feed width of the holding table feed means and the spindle feed means. is there.

上記課題を解決し、目的を達成するために、本発明に係る切削装置は、鉛直方向に直交する方向をＸ方向、鉛直方向及び該Ｘ方向に直交する方向をＹ方向とした場合に、長方形の板状のワークを保持する第一の保持テーブル及び該第一の保持テーブルを鉛直方向を回転軸として回転可能に支持する第一の回転支持部と、Ｙ方向に沿って第一の保持テーブル及び第一の回転支持部に並設された、ワークを保持する第二の保持テーブル及び該第二の保持テーブルを鉛直方向を回転軸として回転可能に支持する第二の回転支持部と、を有する保持手段と、該保持手段に保持されたワークの長手方向に伸びる第一の加工予定ラインと短手方向に伸びる第二の加工予定ラインとを切削加工するブレードと、該ブレードを該Ｙ方向を回転軸として回転可能に支持するスピンドルと、を有する切削加工手段と、該Ｘ方向において該切削加工手段によってワークの加工が行われる場所を加工位置とした場合に、該Ｘ方向において該加工位置を挟んだ一端と他端との間で該第一の回転支持部及び第一の保持テーブルを往復移動させる第一の加工送り機構と、該Ｘ方向において該加工位置を挟んだ一端と他端との間で該第二の回転支持部及び第二の保持テーブルを往復移動させる第二の加工送り機構と、を有する保持テーブル送り手段と、該切削加工手段を該Ｙ方向に送るスピンドル送り手段と、を有し、該一端と該他端との間の距離はワークの長手方向の長さよりも長く、該加工位置と該他端との間の距離はワークの長手方向の半分の長さよりも短い切削装置であって、該第一の保持テーブルはワークの形状に対応した長方形であり、該第一の保持テーブルの長手方向における中心位置は該第一の回転支持部の回転軸心と該第一の保持テーブルの長手方向においてずらして位置付けられ、該第二の保持テーブルはワークの形状に対応した長方形であり、該第二の保持テーブルの長手方向における中心位置は該第二の回転支持部の回転軸心と該第二の保持テーブルの長手方向においてずらして位置付けられ、該第一の保持テーブルに保持されたワークの該第一の加工予定ラインを加工する際には該第一の回転支持部の回転軸心から該Ｘ方向における該他端側に該第一の保持テーブルの長手方向における中心位置が位置付けられるように該第一の回転支持部を回転させ、該第二の保持テーブルに保持されたワークの該第一の加工予定ラインを加工する際には該第二の回転支持部の回転軸心から該Ｘ方向における該他端側に該第二の保持テーブルの長手方向における中心位置が位置付けられるように該第二の回転支持部を回転させ、該第一の保持テーブルに保持されたワークの該第二の加工予定ラインを加工する際には該第一の回転支持部の回転軸心から該Ｙ方向における該第二の保持テーブル側に該第一の保持テーブルの長手方向における中心位置が位置付けられるように該第一の回転支持部を回転させ、該第二の保持テーブルに保持されたワークの該第二の加工予定ラインを加工する際には該第二の回転支持部の回転軸心から該Ｙ方向における該第一の保持テーブル側に該第二の保持テーブルの長手方向における中心位置が位置付けられるように該第二の回転支持部を回転させる制御手段を備え、該第一の回転支持部に支持されたワークの該第一の加工予定ラインを加工する際に、該第一の回転支持部の回転軸心を該他端に配置した状態で、該Ｘ方向における該ワークの端部が該加工位置よりも該他端側に位置し、該第二の回転支持部に支持されたワークの該第一の加工予定ラインを加工する際に、該第二の回転支持部の回転軸心を該他端に配置した状態で、該Ｘ方向における該ワークの端部が該加工位置よりも該他端側に位置する。 In order to solve the above-mentioned problems and achieve the object, the cutting device according to the present invention is rectangular when the direction perpendicular to the vertical direction is the X direction, the vertical direction, and the direction perpendicular to the X direction is the Y direction. A first holding table that holds the plate-shaped workpiece, a first rotation support portion that rotatably supports the first holding table around the vertical direction as a rotation axis, and a first holding table along the Y direction. And a second holding table that is arranged in parallel with the first rotation support portion, and a second rotation support portion that rotatably supports the second holding table with the vertical direction as a rotation axis. Holding means, a blade for cutting a first scheduled machining line extending in the longitudinal direction of the workpiece held by the holding means and a second scheduled machining line extending in the short direction, and the blade in the Y direction Can be rotated around A cutting means having a supporting spindle; and one end and the other end sandwiching the machining position in the X direction when a position where the workpiece is machined by the cutting means in the X direction is a machining position Between the first processing support mechanism for reciprocating the first rotation support portion and the first holding table between the first rotation support portion and one end and the other end sandwiching the processing position in the X direction. A rotary table and a second processing feed mechanism for reciprocating the second holding table, a holding table feed means, and a spindle feed means for sending the cutting means in the Y direction, The distance between the one end and the other end is longer than the length in the longitudinal direction of the workpiece, and the distance between the machining position and the other end is shorter than the half length in the longitudinal direction of the workpiece. The first holding table is a workpiece A rectangular shape corresponding to the shape, and the center position in the longitudinal direction of the first holding table is shifted in the longitudinal direction of the first holding table and shifted in the longitudinal direction of the first holding table. The second holding table is a rectangle corresponding to the shape of the workpiece, and the center position in the longitudinal direction of the second holding table is in the longitudinal axis of the second rotating support portion and the longitudinal direction of the second holding table. The other end side in the X direction from the rotation axis of the first rotation support portion when machining the first scheduled machining line of the workpiece that is positioned and held on the first holding table The first rotation support portion is rotated so that the center position in the longitudinal direction of the first holding table is positioned on the first holding table, and the first processing line of the workpiece held on the second holding table is processed. You The second rotation support portion is positioned so that the center position in the longitudinal direction of the second holding table is positioned on the other end side in the X direction from the rotation axis of the second rotation support portion. The second holding table in the Y direction from the rotation axis of the first rotation support portion when rotating and machining the second scheduled machining line of the workpiece held on the first holding table The first rotation support part is rotated so that the center position in the longitudinal direction of the first holding table is positioned on the side, and the second processing line of the workpiece held on the second holding table is When processing, the second holding table is positioned so that the center position in the longitudinal direction of the second holding table is positioned on the side of the first holding table in the Y direction from the rotation axis of the second rotation support portion. Control hand to rotate the rotation support The provided, when processing said first planned processing line of a supported workpiece in the rotation supporting portion of the first, in the state in which the rotation axis of said first rotation support portion to said other end, When the end portion of the workpiece in the X direction is located on the other end side with respect to the processing position, and when processing the first processing line of the workpiece supported by the second rotation support portion, In a state where the rotation axis of the second rotation support portion is disposed at the other end, the end portion of the workpiece in the X direction is located on the other end side with respect to the machining position.

本発明に係る切削装置によれば、保持テーブル送り手段やスピンドル送り手段の送り幅を拡張せずに長方形のワークを切削することができる。 According to the cutting apparatus of the present invention, a rectangular workpiece can be cut without expanding the feed width of the holding table feed means and the spindle feed means.

図１は、本発明の一実施形態である切削装置の構成を示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing a configuration of a cutting apparatus according to an embodiment of the present invention. 図２は、本発明の一実施形態である搬送手段の構成を示す斜視図である。FIG. 2 is a perspective view showing a configuration of a transport unit according to an embodiment of the present invention. 図３は、従来の切削装置の構成を模式的に示した平面図である。FIG. 3 is a plan view schematically showing the configuration of a conventional cutting apparatus. 図４は、本発明の一実施形態である切削装置の構成を模式的に示した平面図である。FIG. 4 is a plan view schematically showing the configuration of a cutting apparatus according to an embodiment of the present invention.

以下、図面を参照して、本発明の一実施形態である切削装置の構成について説明する。なお、以下では、鉛直方向を±Ｚ方向、鉛直方向に直交する方向（チャックテーブルの送り方向）を±Ｘ方向、±Ｚ方向及び±Ｘ方向に直交する方向を±Ｙ方向（切削手段の送り方向）と表現する。また、切削装置が行う切削加工の中には溝入れ加工も含まれるものとする。 Hereinafter, a configuration of a cutting apparatus according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. In the following, the vertical direction is ± Z direction, the direction orthogonal to the vertical direction (chuck table feed direction) is ± X direction, the direction perpendicular to ± Z direction and ± X direction is ± Y direction (feed of cutting means) Direction). In addition, grooving is included in the cutting performed by the cutting apparatus.

〔切削装置の構成〕
始めに、図１，図２を参照して、本発明の一実施形態である切削装置の構成について説明する。図１は、本発明の一実施形態である切削装置の構成を示す斜視図である。図２は、本発明の一実施形態である搬送手段の構成を示す斜視図である。 [Configuration of cutting device]
First, with reference to FIG. 1 and FIG. 2, the structure of the cutting device which is one Embodiment of this invention is demonstrated. FIG. 1 is a perspective view showing a configuration of a cutting apparatus according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a perspective view showing a configuration of a transport unit according to an embodiment of the present invention.

図１に示すように、本発明の一実施形態である切削装置１は、略直方体状の装置ハウジング２を備える。装置ハウジング２には、長方形板状のワークＷを保持して±Ｘ方向にワークＷを移動させるチャックテーブル機構３が配設されている。チャックテーブル機構３は、本発明に係る保持手段として機能する。なお、切削装置１の加工対象となるワークＷは、特に限定されないが、例えばシリコンウエーハ，ＧａＡｓウエーハ，ＳｉＣウエーハ等の半導体ウエーハ、チップ実装用としてウエーハの裏面側に設けられるＤＡＦ（Die Attach Film）等の粘着部材、半導体製品のパッケージ、セラミックス，ガラス，サファイア（Ａｌ_２Ｏ_３）等の無機材料基板、液晶ディスプレイドライバー等の各種電子部品、ミクロンオーダーの加工位置精度が要求される各種加工材料等を例示できる。 As shown in FIG. 1, the cutting device 1 which is one Embodiment of this invention is provided with the substantially rectangular parallelepiped apparatus housing 2. As shown in FIG. The apparatus housing 2 is provided with a chuck table mechanism 3 that holds a rectangular plate-shaped workpiece W and moves the workpiece W in the ± X directions. The chuck table mechanism 3 functions as a holding unit according to the present invention. The workpiece W to be processed by the cutting apparatus 1 is not particularly limited. For example, a semiconductor wafer such as a silicon wafer, a GaAs wafer, or an SiC wafer, or a DAF (Die Attach Film) provided on the back side of the wafer for chip mounting. Adhesive materials such as semiconductor packages, ceramics, glass, inorganic material substrates such as sapphire (Al ₂ O ₃ ), various electronic parts such as liquid crystal display drivers, various processing materials that require micron-order processing position accuracy, etc. Can be illustrated.

チャックテーブル機構３は、第一のチャックテーブル３１１と、第一の回転支持部３２１と、第二のチャックテーブル３１２と、第二の回転支持部３２２とを備える。第一のチャックテーブル３１１及び第一の回転支持部３２１と第二のチャックテーブル３１２及び第二の回転支持部３２２とは、Ｙ方向に沿って並設されている。第一のチャックテーブル３１１及び第二のチャックテーブル３１２はそれぞれ、本発明に係る第一の保持テーブル及び第二の保持テーブルとして機能する。 The chuck table mechanism 3 includes a first chuck table 311, a first rotation support portion 321, a second chuck table 312, and a second rotation support portion 322. The 1st chuck table 311 and the 1st rotation support part 321 and the 2nd chuck table 312 and the 2nd rotation support part 322 are arranged in parallel along the Y direction. The first chuck table 311 and the second chuck table 312 function as a first holding table and a second holding table according to the present invention, respectively.

第一のチャックテーブル３１１は、ワークＷの形状に対応した長方形状の部材であり、図示しない吸引手段を作動することによってその上面においてワークＷを吸引保持する。第一の回転支持部３２１は、±Ｚ方向を回転軸として回転する第一の回転部材３２１ａ（図３，４参照）を備え、回転部材３２１ａの上面において第一のチャックテーブル３１１を±Ｚ方向を回転軸として回転可能に支持する。 The first chuck table 311 is a rectangular member corresponding to the shape of the workpiece W, and sucks and holds the workpiece W on its upper surface by operating a suction means (not shown). The first rotation support portion 321 includes a first rotation member 321a (see FIGS. 3 and 4) that rotates about the ± Z direction as a rotation axis, and the first chuck table 311 is placed on the upper surface of the rotation member 321a in the ± Z direction. Is supported as a rotation axis.

第二のチャックテーブル３１２は、ワークＷの形状に対応した長方形状の部材であり、図示しない吸引手段を作動することによってその上面においてワークＷを吸引保持する。第二の回転支持部３２２は、±Ｚ方向を回転軸として回転する第二の回転部材３２２ａ（図３，４参照）を備え、回転部材３２２ａの上面において第二のチャックテーブル３１２を±Ｚ方向を回転軸として回転可能に支持する。 The second chuck table 312 is a rectangular member corresponding to the shape of the workpiece W, and sucks and holds the workpiece W on its upper surface by operating a suction means (not shown). The second rotation support portion 322 includes a second rotation member 322a (see FIGS. 3 and 4) that rotates about the ± Z direction as a rotation axis, and the second chuck table 312 is placed on the upper surface of the rotation member 322a in the ± Z direction. Is supported as a rotation axis.

第一の回転支持部３２１は、第一の加工送り手段３３１によって±Ｘ方向に往復移動される。第一の加工送り手段３３１は、図示しない第一の加工送り機構と、蛇腹手段３４１，３５１と、を備える。蛇腹手段３４１，３５１は、第一の回転支持部３２１の±Ｘ方向端部に配設されている。蛇腹手段３４１，３５１は、キャンパス布等の適宜材料により形成されている。 The first rotation support portion 321 is reciprocated in the ± X direction by the first processing feed means 331. The first process feed means 331 includes a first process feed mechanism (not shown) and bellows means 341 and 351. The bellows means 341 and 351 are disposed at the ± X direction end of the first rotation support portion 321. The bellows means 341 and 351 are made of an appropriate material such as a campus cloth.

蛇腹手段３４１の＋Ｘ方向端部は装置ハウジング２に固定され、−Ｘ方向端部は第一の回転支持部３２１に固定されている。蛇腹手段３５１の＋Ｘ方向端部は第一の回転支持部３２１に固定され、−Ｘ方向端部は装置ハウジング２に固定されている。図示しない第一の加工送り機構によって第一の回転支持部３２１を−Ｘ方向に移動する場合、蛇腹手段３４１及び蛇腹手段３５１はそれぞれ伸長及び収縮する。一方、第一の回転支持部３２１を＋Ｘ方向に移動する場合には、蛇腹手段３４１及び蛇腹手段３５１はそれぞれ収縮及び伸長する。 The + X direction end portion of the bellows means 341 is fixed to the apparatus housing 2, and the −X direction end portion is fixed to the first rotation support portion 321. The + X direction end portion of the bellows means 351 is fixed to the first rotation support portion 321, and the −X direction end portion is fixed to the apparatus housing 2. When the first rotation support portion 321 is moved in the −X direction by a first processing feed mechanism (not shown), the bellows means 341 and the bellows means 351 extend and contract, respectively. On the other hand, when the first rotation support portion 321 is moved in the + X direction, the bellows means 341 and the bellows means 351 contract and extend, respectively.

第二の回転支持部３２２は、第二の加工送り手段３３２によって±Ｘ方向に往復移動される。第二の加工送り手段３３２は、図示しない第二の加工送り機構と、蛇腹手段３４２，３５２と、を備える。蛇腹手段３４２，３５２は、第二の回転支持部３２２の±Ｘ方向端部に配設されている。蛇腹手段３４２，３５２は、キャンパス布等の適宜材料により形成されている。 The second rotation support portion 322 is reciprocated in the ± X direction by the second processing feed means 332. The second process feed means 332 includes a second process feed mechanism (not shown) and bellows means 342 and 352. The bellows means 342 and 352 are disposed at the ± X direction end of the second rotation support portion 322. The bellows means 342 and 352 are formed of an appropriate material such as a campus cloth.

蛇腹手段３４２の＋Ｘ方向端部は装置ハウジング２に固定され、−Ｘ方向端部は第二の回転支持部３２２に固定されている。蛇腹手段３５２の＋Ｘ方向端部は第二の回転支持部３２２に固定され、−Ｘ方向端部は装置ハウジング２に固定されている。図示しない第二の加工送り機構によって第二の回転支持部３２２を−Ｘ方向に移動する場合、蛇腹手段３４２及び蛇腹手段３５２はそれぞれ伸長及び収縮する。一方、第二の回転支持部３２２を＋Ｘ方向に移動する場合には、蛇腹手段３４２及び蛇腹手段３５２はそれぞれ収縮及び伸長する。 The + X direction end portion of the bellows means 342 is fixed to the apparatus housing 2, and the −X direction end portion is fixed to the second rotation support portion 322. The + X direction end portion of the bellows means 352 is fixed to the second rotation support portion 322, and the −X direction end portion is fixed to the apparatus housing 2. When the second rotation support portion 322 is moved in the −X direction by a second processing feed mechanism (not shown), the bellows means 342 and the bellows means 352 expand and contract, respectively. On the other hand, when the second rotation support portion 322 is moved in the + X direction, the bellows means 342 and the bellows means 352 contract and extend, respectively.

装置ハウジング２は、第一の加工送り手段３３１及び第二の加工送り手段３３２を跨いで配設された門型の支持フレーム４を備える。門型の支持フレーム４は、第一の加工送り手段３３１の−Ｙ方向側面に配設された第一の柱部４１と、第二の加工送り手段３３２の＋Ｙ方向側面に配設された第二の柱部４２と、第一の柱部４１と第二の柱部４２の上端を連結して±Ｙ方向に沿って配設された支持部４３とを備える。支持部４３の＋Ｘ方向側面にはＹ方向に沿って一対の案内レール４３１，４３１が設けられ、−Ｘ方向側面にはＹ方向に沿って一対の案内レール４３２，４３２が設けられている。 The apparatus housing 2 includes a portal-type support frame 4 disposed across the first processing feed means 331 and the second processing feed means 332. The gate-shaped support frame 4 includes a first column portion 41 disposed on the −Y direction side surface of the first processing feed means 331 and a first pillar portion 41 disposed on the + Y direction side surface of the second processing feed means 332. The second column part 42, and the support part 43 which connected the upper end of the 1st column part 41 and the 2nd column part 42, and was arrange | positioned along the +/- Y direction are provided. A pair of guide rails 431 and 431 are provided along the Y direction on the + X direction side surface of the support portion 43, and a pair of guide rails 432 and 432 are provided along the Y direction on the −X direction side surface.

第一の柱部４１の＋Ｘ方向側面には、第一の切削加工機構５１と第二の切削加工機構５２とが設けられている。第一の切削加工機構５１は、移動基台５１１，５１２と、移動基台５１２の下端部に装着された第一の切削加工手段６１と、を備える。移動基台５１１の−Ｘ方向側面は、一対の案内レール４３１，４３１に摺動可能に係合している。移動基台５１１の＋Ｘ方向側面には、±Ｚ方向に沿って一対の案内レール５１３，５１３が設けられている。移動基台５１２の−Ｘ方向側面は、一対の案内レール５１３，５１３に摺動可能に係合している。 A first cutting mechanism 51 and a second cutting mechanism 52 are provided on the + X direction side surface of the first column part 41. The first cutting mechanism 51 includes moving bases 511 and 512, and first cutting means 61 attached to the lower end of the moving base 512. The −X direction side surface of the movable base 511 is slidably engaged with the pair of guide rails 431 and 431. A pair of guide rails 513 and 513 are provided on the + X direction side surface of the moving base 511 along the ± Z direction. The −X direction side surface of the movable base 512 is slidably engaged with the pair of guide rails 513 and 513.

第一の切削加工手段６１は、ワークＷを切削加工するブレード６１１（図３，４参照）と、ブレード６１１を±Ｙ方向を回転軸として回転可能に支持するスピンドル６１２とを備える。ブレード６１１は、ワークＷの長手方向に延びる第一の加工予定ラインと、短手方向に延びる第二の加工予定ラインとを切削加工する。 The first cutting means 61 includes a blade 611 (see FIGS. 3 and 4) for cutting the workpiece W, and a spindle 612 that rotatably supports the blade 611 with the ± Y direction as a rotation axis. The blade 611 cuts the first scheduled processing line extending in the longitudinal direction of the workpiece W and the second scheduled processing line extending in the short direction.

支持部４３の＋Ｘ方向側面には、第一の切削加工機構５１を一対の案内レール４３１，４３１に沿って±Ｘ方向に移動させる第一のスピンドル送り手段７１が設けられている。第一のスピンドル送り手段７１は、支持部４３の＋Ｘ方向側面に配設され、±Ｙ方向に延びる雄ネジロッド７１１を備える。雄ネジロット７１１は、端部が支持部４３に取り付けられた図示しない軸受部材によって回転自在に支持されている。 On the side surface in the + X direction of the support portion 43, a first spindle feeding means 71 is provided for moving the first cutting mechanism 51 in the ± X direction along the pair of guide rails 431 and 431. The first spindle feeding means 71 includes a male screw rod 711 that is disposed on the side surface in the + X direction of the support portion 43 and extends in the ± Y direction. The male screw lot 711 is rotatably supported by a bearing member (not shown) whose end is attached to the support portion 43.

図示しない軸受部材には、雄ネジロッド７１１を回転駆動するパルスモータ７１２が配設されている。移動基台５１１の−Ｘ方向側の面には、その軸方向中央部から−Ｘ方向に延びる図示しない貫通雌ネジ孔が設けられている。雄ネジロッド７１１は、図示しない貫通雌ネジ孔に螺合している。これにより、パルスモータ７１２が正転した場合、移動基台５１１、すなわち第一の切削加工機構５１は−Ｙ方向に移動する。一方、パルスモータ７１２が逆転した場合には、移動基台５１１、すなわち第一の切削加工機構５１は＋Ｙ方向に移動する。 A pulse motor 712 that rotationally drives the male screw rod 711 is disposed on a bearing member (not shown). The surface of the moving base 511 on the −X direction side is provided with a through female screw hole (not shown) extending in the −X direction from the axial center portion. The male screw rod 711 is screwed into a through female screw hole (not shown). Thereby, when the pulse motor 712 rotates forward, the moving base 511, that is, the first cutting mechanism 51 moves in the -Y direction. On the other hand, when the pulse motor 712 is reversed, the moving base 511, that is, the first cutting mechanism 51 moves in the + Y direction.

移動基台５１１の＋Ｘ方向側面には、移動基台５１２を一対の案内レール５１３，５１３に沿って±Ｚ方向に移動させる移動手段８１が設けられている。移動手段８１は、移動基台５１１の＋Ｘ方向側面に配設され、±Ｚ方向に延びる雄ネジロッド８１１を備える。雄ネジロット８１１は、移動基台５１１に取り付けられた図示しない軸受部材によって回転自在に支持されている。 On the + X direction side surface of the moving base 511, moving means 81 for moving the moving base 512 in the ± Z directions along the pair of guide rails 513 and 513 is provided. The moving means 81 includes a male screw rod 811 that is disposed on the side surface in the + X direction of the moving base 511 and extends in the ± Z direction. The male screw lot 811 is rotatably supported by a bearing member (not shown) attached to the moving base 511.

図示しない軸受部材には、雄ネジロッド８１１を回転駆動するパルスモータ８１２が配設されている。移動基台５１２の−Ｘ方向側面には、その軸方向中央部から−Ｘ方向に延びる図示しない貫通雌ネジ孔が設けられている。雄ネジロッド８１１は、図示しない貫通雌ネジ孔に螺合している。これにより、パルスモータ８１２が正転した場合、移動基台５１２は＋Ｚ方向に移動する。一方、パルスモータ８１２が逆転した場合には、移動基台５１２は−Ｚ方向に移動する。 A pulse motor 812 that rotationally drives the male screw rod 811 is disposed on a bearing member (not shown). A through female screw hole (not shown) extending in the −X direction from the axial central portion is provided on the −X direction side surface of the movable base 512. The male screw rod 811 is screwed into a through female screw hole (not shown). Thereby, when the pulse motor 812 rotates forward, the moving base 512 moves in the + Z direction. On the other hand, when the pulse motor 812 rotates in the reverse direction, the moving base 512 moves in the −Z direction.

第二の切削加工機構５２は、移動基台５２１，５２２と、移動基台５２２の下端部に装着された第二の切削加工手段６２と、を備える。移動基台５２１の−Ｘ方向側面は、一対の案内レール４３１，４３１に摺動可能に係合している。移動基台５２１の＋Ｘ方向側面には、Ｚ軸方向に沿って一対の案内レール５２３，５２３が設けられている。移動基台５２２の−Ｘ方向側面は、一対の案内レール５２３，５２３に摺動可能に係合している。 The second cutting mechanism 52 includes moving bases 521 and 522, and second cutting means 62 attached to the lower end portion of the moving base 522. The −X direction side surface of the movable base 521 is slidably engaged with the pair of guide rails 431 and 431. A pair of guide rails 523 and 523 are provided on the side surface in the + X direction of the moving base 521 along the Z-axis direction. The −X direction side surface of the movable base 522 is slidably engaged with the pair of guide rails 523 and 523.

第二の切削加工手段６２は、ワークＷを切削加工するブレード６２１と、ブレード６２１を±Ｙ方向を回転軸として回転可能に支持するスピンドル６２２とを備える。ブレード６２１は、ワークＷの長手方向に延びる第一の加工予定ラインと、短手方向に延びる第二の加工予定ラインとを切削加工する。 The second cutting means 62 includes a blade 621 that cuts the workpiece W, and a spindle 622 that rotatably supports the blade 621 about the ± Y direction as a rotation axis. The blade 621 cuts the first scheduled processing line extending in the longitudinal direction of the workpiece W and the second scheduled processing line extending in the short direction.

支持部４３の＋Ｘ方向側面には、第二の切削加工機構５２を一対の案内レール４３１，４３１に沿って±Ｘ方向に移動させる第二のスピンドル送り手段７２が設けられている。第二のスピンドル送り手段７２は、支持部４３の＋Ｘ方向側面に配設され、±Ｙ方向に延びる雄ネジロッド７２１を備える。雄ネジロット７２１は、支持部４３に取り付けられた図示しない軸受部材によって回転自在に支持されている。 On the side surface of the support portion 43 in the + X direction, second spindle feed means 72 that moves the second cutting mechanism 52 in the ± X directions along the pair of guide rails 431 and 431 is provided. The second spindle feed means 72 includes a male screw rod 721 that is disposed on the side surface in the + X direction of the support portion 43 and extends in the ± Y direction. The male screw lot 721 is rotatably supported by a bearing member (not shown) attached to the support portion 43.

図示しない軸受部材には、雄ネジロッド７２１を回転駆動する図示しないパルスモータが配設されている。移動基台５２１の−Ｘ方向側面には、その軸方向中央部から−Ｘ方向に延びる図示しない貫通雌ネジ孔が設けられている。雄ネジロッド７２１は、図示しない貫通雌ネジ孔に螺合している。これにより、図示しないパルスモータが正転した場合、移動基台５２１、すなわち第二の切削加工機構５２は＋Ｙ方向に移動する。一方、図示しないパルスモータが逆転した場合には、移動基台５２１、すなわち第二の切削加工機構５２は−Ｙ方向に移動する。 A bearing motor (not shown) is provided with a pulse motor (not shown) for rotating the male screw rod 721. A through female screw hole (not shown) extending in the −X direction from the axial center is provided on the −X direction side surface of the movable base 521. The male screw rod 721 is screwed into a through female screw hole (not shown). Thereby, when a pulse motor (not shown) rotates in the forward direction, the moving base 521, that is, the second cutting mechanism 52 moves in the + Y direction. On the other hand, when a pulse motor (not shown) reverses, the moving base 521, that is, the second cutting mechanism 52 moves in the -Y direction.

移動基台５２１の＋Ｘ方向側面には、移動基台５２１を一対の案内レール５２３，５２３に沿って±Ｚ方向に移動させる移動手段８２が設けられている。移動手段８２は、移動基台５２１の＋Ｘ方向側面に配設され、±Ｚ方向に延びる雄ネジロッド８２１を備える。雄ネジロット８２１は、支持部４３に取り付けられた図示しない軸受部材によって回転自在に支持されている。 On the side surface of the moving base 521 in the + X direction, moving means 82 for moving the moving base 521 in the ± Z directions along the pair of guide rails 523 and 523 is provided. The moving means 82 includes a male screw rod 821 that is disposed on the side surface in the + X direction of the moving base 521 and extends in the ± Z direction. The male screw lot 821 is rotatably supported by a bearing member (not shown) attached to the support portion 43.

図示しない軸受部材には、雄ネジロッド８２１を回転駆動するパルスモータ８２２が配設されている。移動基台５２２の−Ｘ方向側面には、その軸方向中央部から−Ｘ方向に延びる図示しない貫通雌ネジ孔が設けられている。雄ネジロッド８２１は、図示しない貫通雌ネジ孔に螺合している。これにより、パルスモータ８２２が正転した場合、移動基台５２２は＋Ｚ方向に移動する。一方、パルスモータ８２２が逆転した場合には、移動基台５２２は−Ｚ方向に移動する。 A pulse motor 822 that rotationally drives the male screw rod 821 is disposed on a bearing member (not shown). A through female screw hole (not shown) extending in the −X direction from the axial center is provided on the −X direction side surface of the movable base 522. The male screw rod 821 is screwed into a through female screw hole (not shown). Thereby, when the pulse motor 822 rotates forward, the moving base 522 moves in the + Z direction. On the other hand, when the pulse motor 822 rotates in the reverse direction, the moving base 522 moves in the −Z direction.

支持部４３の＋Ｘ方向側面には、アライメント手段９が設けられている。アライメント手段９は、移動基台９１と、移動基台９１の下端部に装着された図示しない撮像手段と、を備える。移動基台９１の＋Ｘ方向側面は、一対の案内レール４３２，４３２に摺動可能に係合している。図示しない撮像手段は、撮像素子（ＣＣＤ）を備え、撮像した画像信号を制御手段１１に出力する。制御手段１１は、図示しない撮像手段から入力された画像信号に基づいて、ワークＷの表面に形成された第一の加工予定ラインと第二の加工予定ラインとを検出する。 Alignment means 9 is provided on the side surface of the support portion 43 in the + X direction. The alignment unit 9 includes a moving base 91 and an imaging unit (not shown) attached to the lower end of the moving base 91. The side surface of the moving base 91 in the + X direction is slidably engaged with the pair of guide rails 432 and 432. An imaging unit (not shown) includes an imaging device (CCD), and outputs a captured image signal to the control unit 11. The control means 11 detects the first scheduled machining line and the second scheduled machining line formed on the surface of the workpiece W based on the image signal input from the imaging means (not shown).

支持部４３の＋Ｘ方向側面には、アライメント手段９を一対の案内レール４３２，４３２に沿って±Ｙ方向に移動させる移動手段１０が設けられている。移動手段１０は、支持部４３の−Ｘ方向側面に配設され、±Ｙ方向に延びる図示しない雄ネジロッドを備える。図示しない雄ネジロットは、支持部４３に取り付けられた図示しない軸受部材によって回転自在に支持されている。 On the + X direction side surface of the support portion 43, there is provided a moving means 10 for moving the alignment means 9 along the pair of guide rails 432 and 432 in the ± Y direction. The moving means 10 includes a male screw rod (not shown) disposed on the −X direction side surface of the support portion 43 and extending in the ± Y directions. A male screw lot (not shown) is rotatably supported by a bearing member (not shown) attached to the support portion 43.

図示しない軸受部材には、図示しない雄ネジロッドを回転駆動するパルスモータ１０１が配設されている。移動基台９１の−Ｘ方向側面には、その軸方向中央部から＋Ｘ方向に延びる図示しない貫通雌ネジ孔が設けられている。図示しない雄ネジロッドは、図示しない貫通雌ネジ孔に螺合している。これにより、パルスモータ１０１が正転した場合、移動基台９１は−Ｙ方向に移動する。一方、パルスモータ１０１が逆転した場合には、移動基台９１は＋Ｙ方向に移動する。 A pulse motor 101 that rotationally drives a male screw rod (not shown) is disposed on a bearing member (not shown). A through female screw hole (not shown) extending in the + X direction from the axial center is provided on the −X direction side surface of the movable base 91. A male screw rod (not shown) is screwed into a through female screw hole (not shown). Thereby, when the pulse motor 101 rotates forward, the moving base 91 moves in the −Y direction. On the other hand, when the pulse motor 101 rotates in the reverse direction, the moving base 91 moves in the + Y direction.

切削装置１は、制御手段１１を備える。制御手段１１は、コンピュータ等の情報処理装置によって構成され、図示しない撮像手段から入力された画像信号に基づいて、切削装置１の動作を制御する。 The cutting apparatus 1 includes a control unit 11. The control unit 11 is configured by an information processing device such as a computer, and controls the operation of the cutting device 1 based on an image signal input from an imaging unit (not shown).

ワークＷは、図２に示す搬入手段１２によって第一のチャックテーブル３１１及び第二のチャックテーブル３２１に搬入される。図２に示すように、搬入手段１２は、搬送アーム１２１と、搬送アーム１２１にワークＷを吸着保持する吸着パッド１２２が取り付けられて構成されている。搬入手段１２は、切削加工前のワークＷを吸着保持して第一のチャックテーブル３１１及び第二のチャックテーブル３２１の保持面にワークＷを搬入する。 The workpiece W is carried into the first chuck table 311 and the second chuck table 321 by the carrying-in means 12 shown in FIG. As shown in FIG. 2, the carry-in means 12 is configured by attaching a transport arm 121 and a suction pad 122 that sucks and holds the workpiece W to the transport arm 121. The carry-in means 12 sucks and holds the workpiece W before cutting and loads the workpiece W onto the holding surfaces of the first chuck table 311 and the second chuck table 321.

〔切削加工方法〕
次に、切削装置１によるワークＷの切削加工方法について説明する。 [Cutting method]
Next, a method for cutting the workpiece W by the cutting apparatus 1 will be described.

切削装置１によってワークＷを切削加工する際には、始めに、第一のチャックテーブル３１１に保持されたワークＷをアライメント手段９によって撮像し、第一の加工予定ライン又は第二の加工予定ラインを検出する第１のアライメント工程を実施する。次に、第一のチャックテーブル３１１に保持されているワークＷを切削加工機構５１によって切削する第１の切削工程を実施する。この第１の切削工程の途中又は終了後、アライメント手段９によって第一のチャックテーブル３１１に保持されたワークＷに形成された切削溝の状態を撮像して検出する第１の切削溝検出工程を実施する。 When the workpiece W is cut by the cutting apparatus 1, first, the workpiece W held on the first chuck table 311 is imaged by the alignment means 9, and the first scheduled machining line or the second scheduled machining line is obtained. A first alignment step for detecting is performed. Next, a first cutting process is performed in which the workpiece W held on the first chuck table 311 is cut by the cutting mechanism 51. A first cutting groove detection step of imaging and detecting the state of the cutting groove formed on the workpiece W held on the first chuck table 311 by the alignment means 9 during or after the first cutting step. carry out.

また、第一の切削溝検出工程を実施する際に、同時に、第二のチャックテーブル３１２に保持されたワークＷをアライメント手段９によって撮像し、第一の加工予定ライン又は第二の加工予定ラインを検出する第二のアライメント工程を実施する。次に、第二のチャックテーブル３１２に保持されているワークＷを切削加工機構５２によって切削する第二の切削工程を実施する。この第二の切削工程の途中又は終了後、アライメント手段９によって第二のチャックテーブル３１２に保持されたワークＷに形成された切削溝の状態を撮像して検出する第２の切削溝検出工程を実施する。また、第二の切削溝検出工程を実施する際に、同時に、第一のアライメント工程を実施する。 Further, when performing the first cutting groove detection step, simultaneously, the workpiece W held on the second chuck table 312 is imaged by the alignment means 9, and the first scheduled machining line or the second scheduled machining line is obtained. A second alignment step for detecting is performed. Next, a second cutting step is performed in which the workpiece W held on the second chuck table 312 is cut by the cutting mechanism 52. A second cutting groove detection step of imaging and detecting the state of the cutting groove formed on the workpiece W held on the second chuck table 312 by the alignment means 9 during or after the second cutting step. carry out. Moreover, when implementing a 2nd cutting groove detection process, a 1st alignment process is implemented simultaneously.

上述した切削加工方法によってワークＷの切削加工を実施することにより、ワークＷのアライメント工程と、ワークＷの切削によって形成された切削溝の状態を検出する切削溝検出工程とを同時に遂行することができると共に、チャックテーブルが２個あることからワークＷのチャックテーブルへの着脱作業中に他のチャックテーブルに保持されているワークＷを切削できるので、アライメント作業、切削溝の検出作業、ワークＷの着脱作業に費やす時間を考慮することなく、切削加工機構５１，５２をフル稼働でワークＷを切削することができる。 By cutting the workpiece W by the above-described cutting method, the workpiece W alignment step and the cutting groove detection step for detecting the state of the cutting groove formed by cutting the workpiece W can be performed simultaneously. In addition, since there are two chuck tables, the workpiece W held on another chuck table can be cut while the workpiece W is attached to or detached from the chuck table. Therefore, alignment work, cutting groove detection work, The workpiece W can be cut by the full operation of the cutting mechanisms 51 and 52 without considering the time spent for the detachment work.

〔チャックテーブル及びブレードのストローク量〕
次に、図３及び図４を参照して、第一の加工送り手段３３１及び第二の加工送り手段３３２と第一の切削加工手段６１及び第二の切削加工手段６２（第一のスピンドル送り手段７１及び第二のスピンドル送り手段７２）とのストローク量について説明する。図３は、従来の切削装置の構成を模式的に示した平面図である。図４は、本発明の一実施形態である切削装置の構成を模式的に示した平面図である。 [Stroke amount of chuck table and blade]
Next, referring to FIG. 3 and FIG. 4, the first machining feed means 331 and the second machining feed means 332, the first cutting means 61 and the second cutting means 62 (first spindle feed) The stroke amount between the means 71 and the second spindle feed means 72) will be described. FIG. 3 is a plan view schematically showing the configuration of a conventional cutting apparatus. FIG. 4 is a plan view schematically showing the configuration of a cutting apparatus according to an embodiment of the present invention.

いま、第一の加工送り手段３３１及び第二の加工送り手段３３２が図３及び図４に示すような構成を有する場合を考える。すなわち、第一の加工送り手段３３１は、線分Ｌ１で示すワークの切削加工位置を挟んだ一端３３３ａ（第一の回転部材３２１ａが加工送り方向の一端３３１ａ側に接しているときの回転軸心Ｏ１の位置）と他端３３３ｂ（第一の回転部材３２１ａが加工送り方向の他端３３１ｂ側に接しているときの回転軸心Ｏ１の位置）との間で第一の回転部材３２１ａ及び第一のチャックテーブル３１１を±Ｘ方向（矢印Ｄ１方向）に往復移動させる。第二の加工送り手段３３２は、線分Ｌ１で示すワークの切削加工位置を挟んだ一端３３４ａ（第二の回転部材３２２ａが加工送り方向の一端３３２ａ側に接しているときの回転軸心Ｏ２の位置）と他端３３４ｂ（第二の回転部材３２２ａが加工送り方向の他端３３２ｂ側に接しているときの回転軸心Ｏ２の位置）との間で第二の回転部材３２２ａ及び第二のチャックテーブル３１２を±Ｘ方向（矢印Ｄ１方向）に往復移動させる。一端３３３ａ，３３４ａと他端３３３ｂ，３３４ｂとの間の距離ｄ１はワークの長手方向の長さｄ２より長い。線分Ｌ１で示すワークの切削加工位置と他端３３３ｂ，３３４ｂとの間の距離ｄ３はワークの長手方向の半分の長さｄ４より短い。 Now, consider a case where the first process feed means 331 and the second process feed means 332 have the configurations shown in FIGS. That is, the first machining feed means 331 has one end 333a sandwiching the workpiece cutting position indicated by the line segment L1 (the rotational axis when the first rotating member 321a is in contact with the one end 331a in the machining feed direction). O1) and the other end 333b (the position of the rotational axis O1 when the first rotating member 321a is in contact with the other end 331b side in the machining feed direction) and the first rotating member 321a and the first The chuck table 311 is reciprocated in the ± X direction (arrow D1 direction). The second machining feed means 332 has one end 334a sandwiching the cutting position of the workpiece indicated by the line segment L1 (the rotation axis O2 when the second rotary member 322a is in contact with the one end 332a side in the machining feed direction. Position) and the other end 334b (the position of the rotational axis O2 when the second rotating member 322a is in contact with the other end 332b in the machining feed direction) and the second rotating member 322a and the second chuck The table 312 is reciprocated in the ± X direction (arrow D1 direction). The distance d1 between the one end 333a, 334a and the other end 333b, 334b is longer than the length d2 in the longitudinal direction of the workpiece. The distance d3 between the cutting position of the workpiece indicated by the line segment L1 and the other ends 333b and 334b is shorter than the half length d4 in the longitudinal direction of the workpiece.

このような場合において、図３に示すように、第一及び第二の回転部材３２１ａ，３２２ａの回転軸心Ｏ１，Ｏ２が第一及び第二のチャックテーブル３１１，３１２の長手方向の中心位置を示す線分Ｌ２，Ｌ３上にあると、ワークＷの長手方向に延びる第一の加工予定ライン及び短手方向に延びる第二の加工予定ラインとを切削加工する際に以下のような問題が生じる。すなわち、第一の加工予定ラインを切削加工する場合、第一の加工送り手段３３１の−Ｘ方向のストローク量が足りないために、回転部材３２１ａの回転軸心Ｏ１が他端３３３ｂに到達しても切削加工位置がワークの＋Ｘ方向端部まで届かず、領域Ｒ１に対して切削加工を実施することができない。また、第二の加工予定ラインを切削加工する場合には、第二の切削加工手段６２の＋Ｙ方向のストローク量が足りないために、ブレード６２１がワークの＋Ｙ方向端部まで届かず、領域Ｒ２に対して切削加工を実施することができない。 In such a case, as shown in FIG. 3, the rotation axes O1 and O2 of the first and second rotating members 321a and 322a are positioned at the longitudinal center positions of the first and second chuck tables 311 and 312. The following problems occur when the first scheduled machining line extending in the longitudinal direction and the second scheduled machining line extending in the short direction of the workpiece W are cut if they are on the line segments L2 and L3 shown. . That is, when cutting the first scheduled processing line, the rotation axis O1 of the rotating member 321a reaches the other end 333b because the stroke amount in the -X direction of the first processing feed means 331 is insufficient. However, the cutting position does not reach the end of the workpiece in the + X direction, and cutting cannot be performed on the region R1. Further, when cutting the second scheduled processing line, the stroke amount in the + Y direction of the second cutting means 62 is insufficient, so that the blade 621 does not reach the + Y direction end of the workpiece, and the region R2 Cannot be cut.

そこで、本発明の一実施形態である切削装置１では、図４に示すように、線分Ｌ２，Ｌ３で示す第一及び第二のチャックテーブル３１１，３１２の長手方向の中心位置は、第一及び第二の回転部材３２１ａ，３２２ａの回転軸心Ｏ１，Ｏ２の位置に対し長手方向にオフセットされている。また、その最低オフセット量及び±Ｘ方向及び±Ｙ方向におけるストローク量は、第一のチャックテーブル３１１，３１２の短手方向の中心位置が第一及び第二の回転部材３２１ａ，３２２ａの回転軸心Ｏ１，Ｏ２と一致し、且つ、第一及び第二の切削加工手段６１，６２のストローク量が第一及び第二のチャックテーブル３１１，３１２の長手方向の距離ｄ２分あることを前提として、以下の条件を満足している。 Therefore, in the cutting device 1 according to an embodiment of the present invention, as shown in FIG. 4, the longitudinal center positions of the first and second chuck tables 311 and 312 indicated by line segments L2 and L3 are And offset in the longitudinal direction with respect to the positions of the rotational axes O1 and O2 of the second rotating members 321a and 322a. Further, the minimum offset amount and the stroke amounts in the ± X direction and the ± Y direction are such that the center position in the short direction of the first chuck tables 311 and 312 is the rotation axis of the first and second rotating members 321a and 322a. Assuming that the stroke amounts of the first and second cutting means 61 and 62 are equal to O1 and O2, and the longitudinal distance d2 of the first and second chuck tables 311 and 312 is equal to the following. The conditions are satisfied.

（１）第一の加工予定ラインを切削加工する場合
最低オフセット量は（ワークの長手方向の半分の長さｄ４−線分Ｌ１で示す切削加工位置と他端３３３ｂ，３３４ｂとの間の距離ｄ３）とする。但し、最低オフセット量よりもオフセット量を大きくする場合には、その増分だけ線分Ｌ１で示す切削加工位置と一端３３３ａ，３３４ａとの間の距離ｄ５を長くする。 (1) When cutting the first scheduled processing line The minimum offset amount is the distance d3 between the cutting position indicated by the length d4-half of the workpiece in the longitudinal direction and the other end 333b, 334b. ). However, when the offset amount is made larger than the minimum offset amount, the distance d5 between the cutting position indicated by the line segment L1 and the one ends 333a and 334a is increased by the increment.

（２）第二の加工予定ラインを切削加工する場合
最低オフセット量は（ワークの長手方向の半分の長さｄ４−第一及び第二の回転部材３２１ａ，３２２ａの回転軸心Ｏ１，Ｏ２から第一及び第二の切削加工手段６１，６２の移動端までの距離ｄ８）とする。但し、最低オフセット量よりもオフセット量を大きくする場合には、その増分だけ第一及び第二の切削加工手段６１，６２のストローク量を長くする。 (2) When cutting the second scheduled machining line The minimum offset amount is (the length d4-half of the longitudinal direction of the workpiece, the first offset from the rotation axes O1 and O2 of the first and second rotating members 321a and 322a ). The distance d8) to the moving end of the first and second cutting means 61, 62 is assumed. However, when the offset amount is made larger than the minimum offset amount, the stroke amounts of the first and second cutting means 61 and 62 are increased by the increment.

そして、制御手段１１は、第一のチャックテーブル３１１に保持されたワークの第一の加工予定ラインを切削加工する際には、第一の回転部材３２１ａの回転軸心Ｏ１から他端３３３ｂ側に線分Ｌ２で示す第一のチャックテーブル３１１の長手方向における中心位置が位置付けられるように第一の回転部材３２１ａを回転させる。同様に、制御手段１１は、第二のチャックテーブル３１２に保持されたワークの第一の加工予定ラインを加工する際には、第二の回転部材３２２ａの回転軸心Ｏ２から他端３３４ｂ側に線分Ｌ３で示す第二のチャックテーブル３１２の長手方向における中心位置が位置付けられるように第二の回転部材３２２ａを回転させる。 When the control unit 11 cuts the first scheduled machining line of the workpiece held on the first chuck table 311, the control unit 11 moves from the rotation axis O <b> 1 of the first rotating member 321 a to the other end 333 b side. The first rotating member 321a is rotated so that the center position in the longitudinal direction of the first chuck table 311 indicated by the line segment L2 is positioned. Similarly, when machining the first scheduled machining line of the workpiece held by the second chuck table 312, the control means 11 starts from the rotation axis O2 of the second rotating member 322 a and the other end 33 4 b. central position in the longitudinal direction of the second chuck table 312 shown in line L 3 to the side rotates the second rotary member 322a to be positioned.

また、制御手段１１は、第一のチャックテーブル３１１に保持されたワークの第二の加工予定ラインを加工する際には、第一の回転部材３２１ａの回転軸心Ｏ１からＹ方向における第二のチャックテーブル３１２側に線分Ｌ２で示す第一のチャックテーブル３１１の長手方向における中心位置が位置付けられるように第一の回転部材３２１ａを回転させる。同様に、制御手段１１は、第二のチャックテーブル３１２に保持されたワークの第二の加工予定ラインを加工する際には、第二の回転部材３２２ａの回転軸心Ｏ２からＹ方向における第一のチャックテーブル３１１側に線分Ｌ２で示す第二のチャックテーブル３１２の長手方向における中心位置が位置付けられるように第二の回転部材３２２ａを回転させる。 In addition, when the control means 11 processes the second scheduled machining line of the workpiece held on the first chuck table 311, the control means 11 performs the second operation in the Y direction from the rotation axis O <b> 1 of the first rotation member 321 a. The first rotating member 321a is rotated so that the center position in the longitudinal direction of the first chuck table 311 indicated by the line segment L2 is positioned on the chuck table 312 side. Similarly, when machining the second machining scheduled line of the workpiece held on the second chuck table 312, the control means 11 first rotates in the Y direction from the rotation axis O2 of the second rotating member 322a. The second rotating member 322a is rotated so that the center position in the longitudinal direction of the second chuck table 312 indicated by the line segment L2 is positioned on the chuck table 311 side.

このような構成によれば、第一の加工予定ラインを切削加工する場合、回転部材３２１ａの回転軸心Ｏ１が他端３３３ｂに到達するまでの間に線分Ｌ１で示す切削加工位置がワークの＋Ｘ方向端部に到達するので、ワークの全ての領域に対して切削加工を実施することができる。また、第二の加工予定ラインを切削加工する場合には、第一及び第二の切削加工手段６１，６２の移動端に到達するまでの間にブレード６１１，６２１がワークの＋Ｙ方向端部に到達するので、ワークの全ての領域に対して切削加工を実施することができる。 According to such a configuration, when the first scheduled machining line is cut, the cutting position indicated by the line segment L1 is before the rotation axis O1 of the rotating member 321a reaches the other end 333b. Since it reaches the end in the + X direction, cutting can be performed on the entire region of the workpiece. Further, when cutting the second scheduled machining line, the blades 611 and 621 are moved to the + Y direction end of the workpiece before reaching the moving ends of the first and second cutting means 61 and 62. Therefore, the cutting process can be performed on the entire region of the workpiece.

以上、本発明者らによってなされた発明を適用した実施の形態について説明したが、上記実施形態による本発明の開示の一部をなす記述及び図面により本発明は限定されることはない。すなわち、上記実施形態に基づいて当業者等によりなされる他の実施形態、実施例、及び運用技術等は、全て本発明の範疇に含まれる。 The embodiment to which the invention made by the present inventors has been described has been described above, but the present invention is not limited by the description and drawings that form part of the disclosure of the present invention according to the above embodiment. That is, other embodiments, examples, operation techniques, and the like made by those skilled in the art based on the above-described embodiments are all included in the scope of the present invention.

１切削装置
２装置ハウジング
３チャックテーブル機構
９アライメント手段
１１制御手段
５１第一の切削加工機構
５２第二の切削加工機構
６１第一の切削加工手段
６２第二の切削加工手段
３１１第一のチャックテーブル
３１２第二のチャックテーブル
３２１第一の回転支持部
３２１ａ回転部材
３２２第二の回転支持部
３２２ａ回転部材
３３１第一の加工送り手段
３３２第二の加工送り手段
６１１，６２１ブレード
６１２，６２２スピンドル
Ｗワーク DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Cutting apparatus 2 Apparatus housing 3 Chuck table mechanism 9 Alignment means 11 Control means 51 First cutting mechanism 52 Second cutting mechanism 61 First cutting means 62 Second cutting means 311 First chuck table 312 2nd chuck table 321 1st rotation support part 321a Rotating member 322 2nd rotation support part 322a Rotating member 331 1st process feed means 332 2nd process feed means 611, 621 Blade 612, 622 Spindle W Workpiece

Claims

When the direction orthogonal to the vertical direction is the X direction, the vertical direction and the direction orthogonal to the X direction are the Y direction,
A first holding table that holds a rectangular plate-shaped workpiece, a first rotation support portion that rotatably supports the first holding table with the vertical direction as a rotation axis, and a first holding along the Y direction A second holding table arranged in parallel with the table and the first rotation support unit, and a second rotation support unit for rotatably supporting the second holding table with the vertical direction as a rotation axis; Holding means comprising:
A blade for cutting the first scheduled machining line extending in the longitudinal direction of the workpiece held by the holding means and the second scheduled machining line extending in the short direction, and rotating the blade around the Y direction as a rotation axis A cutting means having a spindle to be supported;
When a place where a workpiece is machined by the cutting means in the X direction is a machining position, the first rotation support portion between the one end and the other end sandwiching the machining position in the X direction and The first processing feed mechanism for reciprocating the first holding table, and the second rotation support portion and the second holding table are reciprocated between one end and the other end sandwiching the processing position in the X direction. A second processing feed mechanism to be moved, holding table feed means,
Spindle feed means for feeding the cutting means in the Y direction,
The distance between the one end and the other end is longer than the length in the longitudinal direction of the workpiece,
The distance between the machining position and the other end is a cutting device shorter than the half length in the longitudinal direction of the workpiece,
The first holding table has a rectangular shape corresponding to the shape of the workpiece, and the center position in the longitudinal direction of the first holding table is the rotation axis of the first rotation support portion and the length of the first holding table. Positioned in a direction,
The second holding table has a rectangular shape corresponding to the shape of the workpiece, and the central position of the second holding table in the longitudinal direction is the rotation axis of the second rotation support portion and the longitudinal length of the second holding table. Positioned in a direction,
When processing the first scheduled processing line of the workpiece held on the first holding table, the first axis from the rotation axis of the first rotation support portion to the other end side in the X direction. Rotating the first rotation support portion so that the center position in the longitudinal direction of the holding table is positioned;
When machining the first scheduled machining line of the work held by the second holding table, the second rotation support portion extends from the rotation axis of the second rotation support portion to the other end side in the X direction. Rotate the second rotation support portion so that the center position in the longitudinal direction of the holding table is positioned,
When machining the second machining scheduled line of the workpiece held on the first holding table, the second holding table side in the Y direction from the rotation axis of the first rotation support portion Rotating the first rotation support portion so that the center position in the longitudinal direction of the first holding table is positioned;
When machining the second scheduled machining line of the workpiece held on the second holding table, the second holding support side in the Y direction from the rotation axis of the second rotation support portion to the first holding table side. Control means for rotating the second rotation support portion so that the center position in the longitudinal direction of the second holding table is positioned ;
When machining the first scheduled machining line of the work supported by the first rotation support portion, the X axis direction is arranged with the rotation axis of the first rotation support portion arranged at the other end. The end of the workpiece is positioned on the other end side of the processing position,
When processing the first scheduled processing line of the work supported by the second rotation support portion, the X axis direction is arranged with the rotation axis of the second rotation support portion disposed at the other end. A cutting apparatus, wherein an end portion of the workpiece is positioned closer to the other end than the machining position .