JP5672682B2 - Organic EL device and manufacturing method thereof - Google Patents
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Description
本発明は、有機EL素子及びその製造方法に関し、特に、画素内の平坦性を良好にする有機EL素子及びその製造方法に関する。 The present invention relates to an organic EL element and a manufacturing method thereof, and more particularly to an organic EL element that improves the flatness in a pixel and a manufacturing method thereof.
有機EL素子は、二つの対向する電極の間に正孔輸送材料からなる正孔輸送層及び有機発光材料からなる有機発光層が形成され、電流を流すことで有機発光層から放出される表示光を光透過性電極から取り出すものである。前述したように、有機EL素子は、簡便な構造であるにもかかわらず直流低電圧駆動による高輝度発光が可能な発光素子として開発が進められている。 An organic EL element has a hole transport layer made of a hole transport material and an organic light emitting layer made of an organic light emitting material formed between two opposing electrodes, and display light emitted from the organic light emitting layer by passing an electric current. Is extracted from the light transmissive electrode. As described above, the organic EL element is being developed as a light-emitting element capable of high-luminance light emission by direct current low-voltage driving despite its simple structure.
有機EL素子の種類は有機発光層に用いる有機発光材料により、低分子有機発光材料を用いた有機EL素子(以下、「低分子有機EL素子」という)と、高分子有機発光材料を用いた有機EL素子(以下、「高分子有機EL素子」という)とに大別される。 The type of organic EL element depends on the organic light emitting material used for the organic light emitting layer. The organic EL element using a low molecular organic light emitting material (hereinafter referred to as “low molecular organic EL element”) and the organic using a high molecular organic light emitting material It is roughly classified into EL elements (hereinafter referred to as “polymer organic EL elements”).
低分子有機EL素子は、一般的に真空蒸着法などのドライコーティング法により薄膜形成を行う。有機EL表示装置として正孔輸送層や有機発光層のパターニングが必要な場合は、メタルマスクなどを用いてパターニングを行うが、この方法では基板が大型化すればするほどパターニング精度が出にくいという問題がある。また真空中で成膜するためにスループットが悪いという問題がある。また、下地の凹凸の影響を受け易く、それにより表示にムラが発生することがある。 A low molecular organic EL element generally forms a thin film by a dry coating method such as a vacuum deposition method. When patterning of a hole transport layer or an organic light emitting layer is required as an organic EL display device, patterning is performed using a metal mask or the like, but this method has a problem that patterning accuracy is less likely to occur as the substrate becomes larger. There is. In addition, since the film is formed in a vacuum, there is a problem that the throughput is poor. In addition, it is easily affected by the unevenness of the base, which may cause display unevenness.
高分子有機EL素子は、有機発光材料を溶剤に溶かして塗工液にし、これをウェットコーティング法で薄膜形成する方法が試みられるようになってきている。薄膜形成するためのウェットコーティング法としては、スピンコート法、バーコート法、突出コート法、ディップコート法等があるが、高精細にパターニングしたりR(赤)、G(緑)及びB(青)の3色に塗り分けしたりするためには、これらのウェットコーティング法では難しく、塗り分け、パターニングを得意とする印刷法による薄膜形成が最も有効であると考えられる。 High molecular organic EL devices have been tried to form a thin film by a wet coating method by dissolving an organic light emitting material in a solvent to form a coating solution. The wet coating method for forming a thin film includes a spin coating method, a bar coating method, a protruding coating method, a dip coating method, etc., but patterning with high definition or R (red), G (green) and B (blue) ), It is difficult to use these wet coating methods, and it is considered that thin film formation by a printing method that is good at coating and patterning is most effective.
各種印刷法のなかでも、有機EL素子や有機EL表示装置では、基板としてガラス基板を用いることが多いため、グラビア印刷法等のように金属製の印刷版等の硬い版を用いる方法は不向きであり、弾性を有するゴムブランケットを用いるオフセット印刷法や同じく弾性を有するゴム版や感光性樹脂版を用いる凸版印刷法が適正である。実際にこれらの印刷法による試みとして、特許文献1では、例えば、オフセット印刷による方法が開示され(特許文献1参照)、特許文献2では、例えば、凸版印刷による方法が開示されている(特許文献2参照)。 Among various printing methods, a glass substrate is often used as a substrate in organic EL elements and organic EL display devices, so a method using a hard plate such as a metal printing plate such as a gravure printing method is not suitable. In addition, an offset printing method using an elastic rubber blanket and a relief printing method using an elastic rubber plate or a photosensitive resin plate are also appropriate. In fact, as an attempt by these printing methods, for example, Patent Document 1 discloses a method using offset printing (see Patent Document 1), and Patent Document 2 discloses a method using letterpress printing (Patent Document 1). 2).
有機発光材料と同様に、正孔輸送材料も通常は低分子有機材料と高分子有機材料とが用いられている。低分子正孔輸送材料の代表例として、特許文献3では、例えば、TPD(トリフェニレンアミン系誘導体)を用いる技術が開示され(特許文献3参照)、高分子正孔輸送材料の代表例として、特許文献4では、例えば、PEDOT:PSS(ポリチオフェンとポリスチレンスルホン酸の混合物)を用いる技術が開示されている(特許文献4参照)。正孔輸送材料の成膜法は、有機発光材料と同様にドライコーティング法またはウェットコーティング法である。 Similar to organic light-emitting materials, low-molecular organic materials and high-molecular organic materials are usually used as hole transport materials. As a typical example of a low molecular hole transport material, Patent Document 3 discloses, for example, a technique using TPD (triphenyleneamine derivative) (see Patent Document 3). In Document 4, for example, a technique using PEDOT: PSS (a mixture of polythiophene and polystyrene sulfonic acid) is disclosed (see Patent Document 4). The film forming method of the hole transport material is a dry coating method or a wet coating method as in the organic light emitting material.
また、電極の間には有機発光層及び正孔輸送層以外にもキャリア注入層(キャリア輸送層、とも呼ばれる)が形成される。キャリア注入層とは、電極から有機発光層へ電子を注入させる際に、電子の注入量を制御あるいは、もう一方の電極から有機発光層へ正孔が注入される際に、正孔の注入量を制御するのに用いられる層で、電極と有機発光層の間に挿入される層をいう。電子注入層としては、キノリノール誘導体の金属錯体などの電子輸送性の有機物や、Ca、Baなどの仕事関数の比較的小さい例えばアルカリ金属などが用いられ、あるいはこれらの機能を持つ層を複数積層する場合もある。有機材料の正孔注入層として、特許文献5では、例えば、TPD(トリフェニレンアミン系誘導体)を用いる技術が開示され(特許文献5参照)、特許文献6では、例えば、PEDOT:PSS(ポリチオフェンとポリスチレンスルホン酸の混合物)を用いる技術が開示されている。あるいは、特許文献7では、例えば、無機材料の正孔輸送材料を用いる技術が開示されている(特許文献7参照)。 In addition to the organic light emitting layer and the hole transport layer, a carrier injection layer (also referred to as a carrier transport layer) is formed between the electrodes. The carrier injection layer controls the amount of injected electrons when injecting electrons from the electrode into the organic light emitting layer, or the amount of injected holes when holes are injected from the other electrode into the organic light emitting layer. This is a layer used for controlling the thickness and is a layer inserted between the electrode and the organic light emitting layer. As the electron injection layer, an electron transporting organic substance such as a metal complex of a quinolinol derivative or a relatively small work function such as Ca or Ba such as an alkali metal is used, or a plurality of layers having these functions are stacked. In some cases. As a hole injection layer of an organic material, for example, Patent Document 5 discloses a technique using TPD (triphenyleneamine derivative) (see Patent Document 5), and Patent Document 6 discloses, for example, PEDOT: PSS (polythiophene and polystyrene). A technique using a mixture of sulfonic acids) is disclosed. Alternatively, Patent Document 7 discloses, for example, a technique using an inorganic hole transport material (see Patent Document 7).
また、有機発光層とキャリア注入層の間にインターレイヤを積層することで、有機発光層の溶解防止、電子ブロック作用、及びキャリア注入層からの物質移動阻止や有機発光層からのエネルギー移動の阻止といった効果から、有機EL素子の長寿命化と高効率化とが期待できる。インターレイヤとしては、側鎖若しくは主鎖に芳香族アミンを有する芳香族アミンを含むポリマーなどが挙げられる。ここで、電極の間に形成される有機発光層、正孔輸送層、キャリア注入層及びインターレイヤを含む層を発光媒体層という。 In addition, by stacking an interlayer between the organic light emitting layer and the carrier injection layer, the organic light emitting layer is prevented from being dissolved, the electron blocking action, the mass transfer from the carrier injection layer and the energy transfer from the organic light emitting layer are prevented. From these effects, it can be expected that the organic EL element will have a long lifetime and high efficiency. Examples of the interlayer include a polymer containing an aromatic amine having an aromatic amine in the side chain or main chain. Here, a layer including an organic light emitting layer, a hole transport layer, a carrier injection layer, and an interlayer formed between the electrodes is referred to as a light emitting medium layer.
理想的にはRGBのそれぞれに対して異なる発光媒体層を用いることで性能を引き出すことが可能であるが、量産プロセスにおいて工程が増えることと、高精細パターニングが困難であることから、発光媒体層はRGB共通の塗布膜が形成されることが一般的である。 Ideally, it is possible to bring out performance by using different light emitting medium layers for each of RGB, but since the number of steps in the mass production process increases and high-definition patterning is difficult, the light emitting medium layer In general, a coating film common to RGB is formed.
しかし、種々の発光媒体層はある一定以上の温度で焼成することで硬化する性質を持つ。従って、膜厚が厚すぎたり、焼成温度が低すぎたり、焼成時間が短すぎたりすると硬化が十分に進まず、種々の発光媒体層を塗布した際の膜減り及び界面での溶解反応の原因となってしまう。 However, various luminescent medium layers have the property of being cured by firing at a certain temperature or higher. Therefore, if the film thickness is too thick, the baking temperature is too low, or the baking time is too short, the curing will not proceed sufficiently, causing a reduction in the film when various luminescent medium layers are applied and the cause of the dissolution reaction at the interface End up.
さらに、ウェットコーティング法を用いて画素に塗布していく場合、ウェット液により画素を隔てた隔壁近傍の膜厚が極端に厚くなり、画素の中心部分が強く光るような現象が起きてしまう。この場合、強く光る領域が狭くなってしまう為、有機EL表示装置の全体の輝度を得る為に、より多い電流を流すこととなり、画素の中心部分への負荷が大きくなり輝度寿命や発光効率が大幅に減少することとなってしまう。 Furthermore, when applying to a pixel using the wet coating method, the film thickness in the vicinity of the partition wall that separates the pixel by the wet liquid becomes extremely thick, and a phenomenon occurs in which the central portion of the pixel shines strongly. In this case, since the region that shines strongly becomes narrow, in order to obtain the overall luminance of the organic EL display device, a larger amount of current flows, and the load on the center portion of the pixel increases, resulting in a luminance life and luminous efficiency. It will be greatly reduced.
本発明は、画素内の平坦性を良好にして局所的な発光材料への負荷を減らすことで、画素内を均一に発光させることができる有機EL素子及びその製造方法を提供することである。 An object of the present invention is to provide an organic EL element that can emit light uniformly in a pixel and a manufacturing method thereof by improving the flatness in the pixel and reducing a load on a local light emitting material.
本発明の請求項1に係る発明は、基板を準備し、基板上に複数の第一電極の間に配置され、前記第一電極の端部を覆って突出する隔壁を形成し、第一電極上及び突出する隔壁の近傍に有機発光層を含む複数の発光媒体層の内のインターレイヤをウェットコーティング法により形成し、前記第一電極上の前記インターレイヤを硬化させ、突出する隔壁の近傍のインターレイヤの一部が未硬化な状態となるように、前記インターレイヤを形成した面とは反対側の面から加熱し、インターレイヤの未硬化な箇所を除去し、前記インターレイヤ上に第二電極を形成し、前記突出する隔壁は0.5μm以上2μm以下の高さに形成し、前記インターレイヤは前記突出する隔壁を覆うように前記ウェットコーティング法により形成することを特徴とする有機EL素子の製造方法としたものである。
According to a first aspect of the present invention, a substrate is prepared, a partition wall is formed between the plurality of first electrodes on the substrate, and protrudes so as to cover an end portion of the first electrode. the interlayer of the plurality of light emitting medium layer comprising the organic light-emitting layer was formed by a wet coating method in the vicinity of the upper and protruding septum, curing the interlayer on the first electrode, in the vicinity of the partition wall projecting as part of the interlayer is uncured, the heat from the surface opposite to the interlayer and the formed surface, to remove the uncured portions of the interlayer, the second on the inter-layer electrode is formed, said partition wall which protrudes form the following height 2μm or 0.5 [mu] m, the inter layer and forming by the wet coating method so as to cover the partition wall for the protruding organic This is a method for manufacturing an EL element.
本発明の請求項2に係る発明は、インターレイヤを焼成処理する際の温度が150℃以上250℃以下であることを特徴とする請求項1に記載の有機EL素子の製造方法としたものである。
The invention according to claim 2 of the present invention is the method for producing an organic EL element according to claim 1, wherein the temperature at which the interlayer is baked is 150 ° C. or higher and 250 ° C. or lower. is there.
本発明の請求項3に係る発明は、インターレイヤを焼成処理する際の時間が10分以上30分以下であることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の有機EL素子の製造方法としたものである。
Invention, a method of manufacturing an organic EL element according to claim 1 or claim 2, wherein the time for calcination treatment the interlayer is less than 30 minutes than 10 minutes according to claim 3 of the present invention It is what.
本発明の請求項4に係る発明は、突出する隔壁の近傍に形成されたインターレイヤの厚膜な箇所を無機溶剤、有機溶剤あるいはこれらの混合溶液により洗い流すことにより除去することを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の有機EL素子の製造方法としたものである。
Billing invention according to claim 4 of the present invention, characterized in that the removal by washing away the thick places inter-layer formed in the vicinity of the partition wall projecting inorganic solvent, an organic solvent or a mixture of these solutions It is set as the manufacturing method of the organic EL element in any one of Claims 1 thru | or 3 .
本発明の請求項5に係る発明は、突出する隔壁の近傍に形成されたインターレイヤの厚膜な箇所を無機溶剤、有機溶剤あるいはこれらの混合溶液の蒸気にさらすことにより除去することを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の有機EL素子の製造方法としたものである。
Invention, and characterized by removing by exposing the thick film locations of the inter-layer formed in the vicinity of the partition wall projecting inorganic solvent, the vapor of an organic solvent or a mixture of these solutions according to Claim 5 of the present invention The method for producing an organic EL element according to any one of claims 1 to 3 is provided.
本発明の請求項6に係る発明は、請求項1乃至請求項5のいずれかに記載の有機EL素子の製造方法を用いて形成されたことを特徴とする有機EL素子としたものである。
The invention according to claim 6 of the present invention is an organic EL element formed by using the method for producing an organic EL element according to any one of claims 1 to 5 .
本発明の請求項7に係る発明は、請求項1乃至請求項5のいずれかに記載の有機EL素子の製造方法を用いて形成された有機EL素子を有することを特徴とする画像表示装置としたものである。 An invention according to claim 7 of the present invention is an image display device comprising an organic EL element formed by using the method for manufacturing an organic EL element according to any one of claims 1 to 5. It is a thing.
本発明によれば、画素内の平坦性を良好にして局所的な発光材料への負荷を減らすことで、画素内を均一に発光させることができる有機EL素子の製造方法を提供することができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the manufacturing method of the organic EL element which can make the inside of a pixel light-emit uniformly by improving the flatness in a pixel and reducing the load to a local luminescent material can be provided. .
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。実施の形態において、同一構成要素には同一符号を付けることにする。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the embodiment, the same components are denoted by the same reference numerals.
本発明の実施の形態に係る有機EL素子100においては、塗布により発光媒体層を形成し、焼成する工程を含む有機EL素子100の製造方法に適用することができる。以下、第一電極2と有機発光層5との間に形成されるインターレイヤに適用する場合について説明するが、本発明は、これに限定されるわけではない。 The organic EL element 100 according to the embodiment of the present invention can be applied to a method for manufacturing the organic EL element 100 including a step of forming a luminescent medium layer by coating and baking. Hereinafter, although it demonstrates about the case where it applies to the interlayer formed between the 1st electrode 2 and the organic light emitting layer 5, this invention is not necessarily limited to this.
図1は、本発明の実施の形態に係る有機EL素子100を示す概略断面図である。図1に示すように、本発明の実施の形態に係る有機EL素子100は、基板1と、基板1上に形成された第一電極2と、第一電極2に対向するように形成された第二電極7と、第一電極2と第二電極7とに挟持された発光媒体層6とを備える。発光媒体層6には、少なくとも発光に寄与する有機発光層5と、電子あるいは正孔を注入するキャリア注入層として、第一キャリア注入層3とインターレイヤ4とを含んでいる。なお、インターレイヤ4としては、第二電極7と有機発光層5との間に電子注入層や正孔ブロック層(図示せず)、第一電極2と有機発光層5との間に正孔注入層や電子ブロック層等を必要に応じて積層することができる。また、上述した発光媒体層6は、大気中の水分や酸素によって容易に劣化してしまうため、外部と遮断する封止体9と、封止体9を接着する封止樹脂10とを用いて有機EL素子を密閉する。 FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing an organic EL element 100 according to an embodiment of the present invention. As shown in FIG. 1, an organic EL element 100 according to an embodiment of the present invention is formed to face a substrate 1, a first electrode 2 formed on the substrate 1, and the first electrode 2. A second electrode 7 and a light emitting medium layer 6 sandwiched between the first electrode 2 and the second electrode 7 are provided. The light emitting medium layer 6 includes at least an organic light emitting layer 5 that contributes to light emission, and a first carrier injection layer 3 and an interlayer 4 as a carrier injection layer for injecting electrons or holes. The interlayer 4 includes an electron injection layer and a hole blocking layer (not shown) between the second electrode 7 and the organic light emitting layer 5, and a hole between the first electrode 2 and the organic light emitting layer 5. An injection layer, an electron block layer, and the like can be laminated as necessary. Moreover, since the light emitting medium layer 6 described above is easily deteriorated by moisture and oxygen in the atmosphere, a sealing body 9 that is shielded from the outside and a sealing resin 10 that adheres the sealing body 9 are used. The organic EL element is sealed.
次に、図2に示す有機EL素子200において、基板1上の第一電極2を隔てて、発光媒体層6を区画する隔壁8について説明する。図2に示す有機EL素子200は、基板1上に第一電極2を形成して、第一電極2の端部に発光媒体層6を区画する隔壁8を有する。このような、有機EL素子200を画素(サブピクセル)として配列することにより、有機EL表示装置とすることができる。例えば図2に示すように、有機発光層5を赤色有機発光層5R、緑色有機発光層5G及び青色有機発光層5Bの3色に塗り分けることで、フルカラーの有機EL表示装置を作製することができる。 Next, in the organic EL element 200 shown in FIG. 2, the partition wall 8 that partitions the light emitting medium layer 6 with the first electrode 2 on the substrate 1 being separated will be described. An organic EL element 200 shown in FIG. 2 has a partition 8 that forms a first electrode 2 on a substrate 1 and partitions a light emitting medium layer 6 at an end of the first electrode 2. By arranging such organic EL elements 200 as pixels (subpixels), an organic EL display device can be obtained. For example, as shown in FIG. 2, a full-color organic EL display device can be produced by coating the organic light-emitting layer 5 with three colors of a red organic light-emitting layer 5R, a green organic light-emitting layer 5G, and a blue organic light-emitting layer 5B. it can.
また、図2に示す本発明の実施の形態に係る有機EL素子20において、第一キャリア注入層3は、第一電極2と有機発光層5との間に形成され、第一キャリア注入層3は少なくとも一部が隔壁8で挟持される。すなわち、基板1上かつ隣接する隔壁8の間に第一キャリア注入層3が形成される。さらに、インターレイヤ4は、基板1上の第一電極2の全面を覆うように形成され、第二電極7は、基板1上の隔壁8及び有機発光層5を含み、駆動方式に応じてストライプ状にあるいは全面を覆うように形成される。
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In the organic EL element 20 according to the embodiment of the present invention shown in FIG. 2, the first carrier injection layer 3 is formed between the first electrode 2 and the organic light emitting layer 5, and the first carrier injection layer 3 is formed. Is at least partially sandwiched between the partition walls 8. That is, the first carrier injection layer 3 is formed on the substrate 1 and between the adjacent partition walls 8. Furthermore, the interlayer 4 is formed so as to cover the entire surface of the first electrode 2 on the substrate 1, and the second electrode 7 includes a partition wall 8 and an organic light emitting layer 5 on the substrate 1, and is striped according to the driving method. It is formed so as to cover the entire surface.
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しかし、インターレイヤ4が第一電極2の全面を覆うように形成すると、図3に示すように、隔壁8上に厚膜な箇所が生じてしまう。このことにより、隔壁8近傍の膜厚が極端に厚くなり、画素の中心部分が強く光る現象が起きてしまう。つまり、画素の中心部分が強く光る現象の原因となる隔壁8近傍の膜厚な箇所を除去し、無機溶剤、有機溶剤あるいはこれらの混合溶液を用いて除去することによりインターレイヤ4の膜面を平坦にすることで、発光を均一に保つことができる。 However, when the interlayer 4 is formed so as to cover the entire surface of the first electrode 2, a thick film portion is formed on the partition wall 8 as shown in FIG. 3. As a result, the film thickness in the vicinity of the partition wall 8 becomes extremely thick, and a phenomenon occurs in which the central portion of the pixel shines strongly. That is, the film thickness of the interlayer 4 is removed by removing a portion having a film thickness in the vicinity of the partition wall 8 which causes a phenomenon in which the central portion of the pixel shines strongly, and removing it using an inorganic solvent, an organic solvent or a mixed solution thereof. By flattening, light emission can be kept uniform.
インターレイヤ4以外の発光媒体層6の場合でも、熱によって硬化し、未硬化部分を溶剤等で除去できるものであれば、適用することができる。熱硬化させる焼成工程では、第一電極2上に形成された発光媒体層6の領域は硬化させる必要がある。そして、隔壁8表面の厚膜形成部分を未露光状態とする。したがって、加熱方法としては、基板1側からホットプレート等で加熱し、発光媒体層6の膜面方向で熱勾配を持たせることが好ましい。このようにすれば、温度や加熱時間の制御により発光媒体層6の厚膜部分を第二電極7側から未硬化な状態に調整することができる。このときの発光媒体層6を焼成する際の温度としては、150℃以上250℃以下であることが好ましい。また、発光媒体層6を焼成する時間は、10分以上30分以下であることが好ましい。ここで、発光媒体層6を焼成する際の温度が250℃を超えると、発光媒体層6の膜減りが生じてしまい、150℃未満だと、積層された発光媒体層6の界面での溶解反応起きてしまう。また、発光媒体層6を焼成する時間が30分を超えると、厚膜形成部分を含め発光媒体層6が露光状態になってしまい、発光媒体層6を焼成する時間が10分未満だと、厚膜形成部分を未露光状態にできなくなってしまう。 Even in the case of the light emitting medium layer 6 other than the interlayer 4, it can be applied as long as it is cured by heat and an uncured portion can be removed with a solvent or the like. In the baking step for thermosetting, the region of the light emitting medium layer 6 formed on the first electrode 2 needs to be cured. And the thick film formation part of the partition 8 surface is made into an unexposed state. Therefore, as a heating method, it is preferable to heat from the substrate 1 side with a hot plate or the like so as to have a thermal gradient in the film surface direction of the light emitting medium layer 6. If it does in this way, the thick film part of the luminescent medium layer 6 can be adjusted to the uncured state from the 2nd electrode 7 side by control of temperature or a heating time. The temperature at which the luminescent medium layer 6 is fired at this time is preferably 150 ° C. or higher and 250 ° C. or lower. Moreover, it is preferable that the time which bakes the luminescent medium layer 6 is 10 minutes or more and 30 minutes or less. Here, if the temperature when firing the luminescent medium layer 6 exceeds 250 ° C., the film thickness of the luminescent medium layer 6 is reduced. If the temperature is lower than 150 ° C., dissolution at the interface of the stacked luminescent medium layers 6 occurs. A reaction will occur. When the time for firing the light emitting medium layer 6 exceeds 30 minutes, the light emitting medium layer 6 including the thick film forming portion is exposed, and when the time for firing the light emitting medium layer 6 is less than 10 minutes, The thick film forming portion cannot be brought into an unexposed state.
次に、無機溶剤、有機溶剤あるいはこれらの混合溶液を基板1上に塗布して未硬化部分を洗い流し、除去する。このときの溶剤は、例えば除去する発光媒体層6の塗布時のインキ溶剤を用いることができる。このあと加熱等による乾燥工程で溶剤を除去することで、未硬化部分が除去され、かつ隔壁8近傍の厚膜部分が平坦化することができる。このとき第一電極2上の表示領域中央の膜厚と等しくなるように未硬化部分を調整し、除去することが理想的である。 Next, an inorganic solvent, an organic solvent or a mixed solution thereof is applied onto the substrate 1 to wash away uncured portions and remove them. As the solvent at this time, for example, an ink solvent at the time of applying the light emitting medium layer 6 to be removed can be used. Thereafter, the solvent is removed by a drying process such as heating, whereby the uncured portion is removed and the thick film portion near the partition wall 8 can be flattened. At this time, it is ideal to adjust and remove the uncured portion so as to be equal to the film thickness at the center of the display area on the first electrode 2.
以下、本発明の実施の形態の有機EL素子の構成について図1及び図2を参照して詳細に説明する。本発明の実施の形態の有機EL素子の説明をする例として、第一電極2を陽極、第二電極7を陰極とした有機EL素子について説明する。この場合には、第一電極2は、画素ごとに隔壁8で区画された画素電極として形成され、第二電極7は、基板1上の全面に形成した対向電極となる。また、第一キャリア注入層3及びインターレイヤ4は正孔輸送性の正孔注入層となる。本発明はこれに限られず、例えば各電極がそれぞれ直交するストライプ状とした有機EL素子であってもよい。また第一電極2側を陰極とした逆構造の有機EL素子としてもよい。この場合には第一キャリア注入層3及びインターレイヤ4は電子輸送性の電子注入層となる。 Hereinafter, the configuration of the organic EL element according to the embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 1 and 2. As an example for explaining the organic EL element of the embodiment of the present invention, an organic EL element using the first electrode 2 as an anode and the second electrode 7 as a cathode will be described. In this case, the first electrode 2 is formed as a pixel electrode partitioned by the partition wall 8 for each pixel, and the second electrode 7 is a counter electrode formed on the entire surface of the substrate 1. The first carrier injection layer 3 and the interlayer 4 are hole transporting hole injection layers. The present invention is not limited to this, and for example, an organic EL element in which each electrode is formed in a stripe shape orthogonal to each other may be used. Moreover, it is good also as an organic EL element of the reverse structure which used the 1st electrode 2 side as the cathode. In this case, the first carrier injection layer 3 and the interlayer 4 are electron transporting electron injection layers.
<基板1>
有機EL素子の基板1としては、機械的強度、絶縁性を有し寸法安定性に優れた基板であれば如何なる材料も使用することができる。基板1として、例えば、ガラスや石英、ポリプロピレン、ポリエーテルサルフォン、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリアリレート、ポリアミド、ポリメチルメタクリレート、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等のプラスチックフィルムやシート、または、これらプラスチックフィルムやシートに酸化珪素、酸化アルミニウム等の金属酸化物や、弗化アルミニウム、弗化マグネシウム等の金属弗化物、窒化珪素、窒化アルミニウムなどの金属窒化物、酸窒化珪素などの金属酸窒化物、アクリル樹脂やエポキシ樹脂、シリコン樹脂、ポリエステル樹脂などの高分子樹脂膜を単層もしくは積層させた透光性基材や、アルミニウムやステンレスなどの金属箔、シート、板や、プラスチックフィルムやシートにアルミニウム、銅、ニッケル、ステンレスなどの金属膜を積層させた非透光性基材などを用いることができる。また、基板1には、あらかじめ薄膜トランジスタを形成したものを用いてもよい。有機EL素子100において、光取出しをどちらの面から行うかに応じて基板1の透光性を選択すればよい。上述した材料からなる基板1は、有機EL素子の表示装置内への水分の侵入を避けるために、無機膜を形成したり、フッ素樹脂を塗布したりして、防湿処理や疎水性処理を施してあることが好ましい。特に、発光媒体層6への水分の侵入を避けるために、基板1における含水率及びガス透過係数を小さくすることが好ましい。
<Substrate 1>
As the substrate 1 of the organic EL element, any material can be used as long as it is a substrate having mechanical strength and insulation and excellent dimensional stability. As the substrate 1, for example, glass, quartz, polypropylene, polyether sulfone, polycarbonate, cycloolefin polymer, polyarylate, polyamide, polymethyl methacrylate, polyethylene terephthalate, polyethylene naphthalate, or the like, or these plastic films And metal oxides such as silicon oxide and aluminum oxide, metal fluorides such as aluminum fluoride and magnesium fluoride, metal nitrides such as silicon nitride and aluminum nitride, metal oxynitrides such as silicon oxynitride, acrylic Translucent substrate made of single layer or laminated polymer resin film such as resin, epoxy resin, silicon resin, polyester resin, metal foil such as aluminum or stainless steel, sheet, plate, plastic film or sheet Aluminum, may be used copper, nickel, stainless steel and metal film non-translucent substrate as a laminate of such. The substrate 1 may be a substrate in which a thin film transistor is formed in advance. In the organic EL element 100, the translucency of the substrate 1 may be selected depending on which surface the light extraction is performed from. The substrate 1 made of the above-described material is subjected to moisture-proofing treatment or hydrophobic treatment by forming an inorganic film or applying a fluororesin in order to prevent moisture from entering the display device of the organic EL element. It is preferable. In particular, in order to avoid intrusion of moisture into the light emitting medium layer 6, it is preferable to reduce the moisture content and gas permeability coefficient in the substrate 1.
<画素電極>
基板1上に第一電極2を成膜し、必要に応じてパターニングを行う。本発明の実施の形態において、第一電極2は隔壁8によって区画され、各画素に対応した画素電極となる。第一電極2の材料としては、例えば、ITO(インジウムスズ複合酸化物)やインジウム亜鉛複合酸化物、亜鉛アルミニウム複合酸化物などの金属複合酸化物や、金、白金などの金属材料や、これら金属酸化物や金属材料の微粒子をエポキシ樹脂やアクリル樹脂などに分散した微粒子分散膜を、単層もしくは積層したものをいずれも用いることができる。画素電極を第一電極2とする場合にはITOなど仕事関数の高い材料を選択することが好ましい。下方(基板1側)から光を取り出す、いわゆるボトムエミッション構造の場合は透光性のある材料を選択する必要がある。必要に応じて、画素電極の配線抵抗を低くするために、銅やアルミニウムなどの金属材料を補助電極として併設してもよい。画素電極の形成方法としては、材料に応じて、抵抗加熱蒸着法、電子ビーム蒸着法、反応性蒸着法、イオンプレーティング法、スパッタリング法などの乾式成膜法や、グラビア印刷法、スクリーン印刷法などの湿式成膜法などを用いることができる。画素電極のパターニング方法としては、材料や成膜方法に応じて、マスク蒸着法、フォトリソグラフィ法、ウェットエッチング法、ドライエッチング法などの既存のパターニング法を用いることができる。
<Pixel electrode>
The first electrode 2 is formed on the substrate 1 and patterned as necessary. In the embodiment of the present invention, the first electrode 2 is partitioned by the partition wall 8 and becomes a pixel electrode corresponding to each pixel. Examples of the material of the first electrode 2 include metal composite oxides such as ITO (indium tin composite oxide), indium zinc composite oxide and zinc aluminum composite oxide, metal materials such as gold and platinum, and these metals. Either a single layer or a laminate of fine particle dispersion films in which fine particles of an oxide or a metal material are dispersed in an epoxy resin or an acrylic resin can be used. When the pixel electrode is the first electrode 2, it is preferable to select a material having a high work function such as ITO. In the case of a so-called bottom emission structure in which light is extracted from below (substrate 1 side), it is necessary to select a light-transmitting material. If necessary, a metal material such as copper or aluminum may be provided as an auxiliary electrode in order to reduce the wiring resistance of the pixel electrode. Depending on the material, the pixel electrode is formed by a resistance heating vapor deposition method, an electron beam vapor deposition method, a reactive vapor deposition method, an ion plating method, a sputtering method, or a dry film forming method, a gravure printing method, or a screen printing method. A wet film forming method such as can be used. As a patterning method of the pixel electrode, an existing patterning method such as a mask vapor deposition method, a photolithography method, a wet etching method, or a dry etching method can be used depending on a material and a film forming method.
<隔壁8>
第一電極2が形成された基板1上に感光性絶縁樹脂を塗布する。次に、感光性絶縁樹脂をパターン露光、現像して隔壁8のパターンを形成する。そして、隔壁8のパターンを焼成した後、光照射などを施して親水化させ、隔壁8を形成する。
<Partition wall 8>
A photosensitive insulating resin is applied on the substrate 1 on which the first electrode 2 is formed. Next, the pattern of the partition walls 8 is formed by pattern exposure and development of the photosensitive insulating resin. And after baking the pattern of the partition 8, it light-irradiates etc. and is made hydrophilic, The partition 8 is formed.
隔壁8の形成方法としては、従来と同様、第一電極2が形成された基板1上に無機膜を一様に形成し、レジストでマスキングした後、ドライエッチングを行う方法や、第一電極2が形成された基板1上に感光性樹脂を積層し、フォトリソグラフィ法により所定のパターンとする方法が挙げられる。必要に応じて撥水剤を添加したり、プラズマやUVを照射して形成した後にインクに対する撥液性を付与したりすることもできる。隔壁8の好ましい高さは0.1μm以上10μm以下であり、より好ましくは0.5μm以上2μm以下である。隔壁8の高さが10μmより高すぎると、対向電極7の形成及び封止を妨げてしまい、隔壁8の高さが0.1μmより低すぎると、画素電極の端部を覆い切れない、あるいは発光媒体層6形成時に隣接する画素と混色してしまう。 As a method for forming the partition wall 8, as in the prior art, an inorganic film is uniformly formed on the substrate 1 on which the first electrode 2 is formed, masked with a resist, and then dry etching is performed, or the first electrode 2 is formed. There is a method in which a photosensitive resin is laminated on the substrate 1 on which is formed and a predetermined pattern is formed by photolithography. If necessary, a water repellent can be added, or liquid repellency can be imparted to the ink after being formed by irradiation with plasma or UV. A preferable height of the partition wall 8 is not less than 0.1 μm and not more than 10 μm, and more preferably not less than 0.5 μm and not more than 2 μm. If the height of the partition wall 8 is higher than 10 μm, the formation and sealing of the counter electrode 7 is hindered. If the height of the partition wall 8 is too lower than 0.1 μm, the end of the pixel electrode cannot be covered, or When the light emitting medium layer 6 is formed, it mixes with adjacent pixels.
隔壁8を形成する感光性樹脂としては、ポジ型レジスト又はネガ型レジストのどちらであってもよく、絶縁性を有する感光性樹脂を用いることができる。隔壁8が十分な絶縁性を有さない場合に、ある画素に電圧を印加すると、隔壁8を挟んでその画素と隣り合う画素にも電流が流れてしまい表示不良が発生してしまう。隔壁8を形成する感光性樹脂の具体例としては、ポリイミド系、アクリル樹脂系、ノボラック樹脂系、フルオレン系といった樹脂が挙げられるがこれらに限定するものではない。また、有機EL素子の表示品位を上げる目的で、光遮光性の材料を感光性樹脂に含有させても良い。 The photosensitive resin for forming the partition wall 8 may be either a positive resist or a negative resist, and an insulating photosensitive resin can be used. When a voltage is applied to a certain pixel when the partition wall 8 does not have sufficient insulation, a current also flows to a pixel adjacent to the pixel with the partition wall 8 interposed therebetween, resulting in a display defect. Specific examples of the photosensitive resin forming the partition wall 8 include resins such as polyimide, acrylic resin, novolak resin, and fluorene, but are not limited thereto. Further, for the purpose of improving the display quality of the organic EL element, a light shielding material may be contained in the photosensitive resin.
隔壁8を形成する感光性樹脂はスピンコート法、バーコート法、ロールコート法、ダイコート法、グラビアコート法などの塗布方法を用いて塗布される。塗布した感光性樹脂をパターン露光、現像して隔壁8のパターンを形成する工程では、露光、現像方法により隔壁8となる部分のパターンを形成できる。また隔壁8の焼成処理に関してはオーブン、ホットプレートなどでの方法により焼成を行うことができる。 The photosensitive resin for forming the partition wall 8 is applied using a coating method such as a spin coating method, a bar coating method, a roll coating method, a die coating method, or a gravure coating method. In the step of pattern exposure and development of the applied photosensitive resin to form the pattern of the partition wall 8, the pattern of the portion that becomes the partition wall 8 can be formed by the exposure and development method. Moreover, regarding the baking process of the partition 8, it can bak by the method with an oven, a hotplate, etc.
焼成した隔壁8のパターンに光照射を施して親水化させる工程では、隔壁8のパターンを形成した基板1の上面(基板1上の第一電極2が形成された面)から紫外線などを照射して隔壁8となる部分及び第一電極2の部分を親水化させる。照射する光としては、一般に親水化処理などの紫外線洗浄に用いられる紫外線が好ましく、超高圧水銀ランプ、高圧水銀ランプ、メタルハライドランプなどによる紫外線照射処理が好ましい。なお、親水化処理の工程はキャリア注入層3を形成する直前に行われることが好ましい。 In the step of making the fired pattern of the barrier ribs 8 hydrophilic by irradiating light, ultraviolet rays or the like are irradiated from the upper surface of the substrate 1 on which the barrier rib 8 pattern is formed (the surface on which the first electrode 2 on the substrate 1 is formed). Thus, the portion that becomes the partition wall 8 and the portion of the first electrode 2 are hydrophilized. As the light to be irradiated, ultraviolet rays generally used for ultraviolet cleaning such as hydrophilization treatment are preferable, and ultraviolet irradiation treatment using an ultrahigh pressure mercury lamp, a high pressure mercury lamp, a metal halide lamp, or the like is preferable. The hydrophilic treatment step is preferably performed immediately before the carrier injection layer 3 is formed.
<キャリア注入層3>
キャリア注入層3は、第一電極2を覆うようにパターンあるいは全面に成膜される。キャリア注入層3を形成する正孔輸送材料としてはポリアニリン誘導体、ポリチオフェン誘導体、ポリビニルカルバゾール(PVK)誘導体、ポリ(3,4−エチレンジオキシチオフェン)(PEDOT)などが挙げられる。これらの材料は溶媒に溶解または分散させ、スピンコート法等を用いた各種塗布方法や凸版印刷方法を用いて形成される。
<Carrier injection layer 3>
The carrier injection layer 3 is formed in a pattern or on the entire surface so as to cover the first electrode 2. Examples of the hole transport material forming the carrier injection layer 3 include polyaniline derivatives, polythiophene derivatives, polyvinylcarbazole (PVK) derivatives, poly (3,4-ethylenedioxythiophene) (PEDOT), and the like. These materials are dissolved or dispersed in a solvent, and are formed by various coating methods using a spin coating method or the like and a relief printing method.
また正孔輸送材料として無機材料を用いる場合、無機材料としては、Cu2O,Cr2O3,Mn2O3,FeOx(x〜0.1),NiO,CoO,Pr2O3,Ag2O,MoO2,Bi2O3、ZnO,TiO2,SnO2,ThO2,V2O5,Nb2O5,Ta2O5,MoO3,WO3,MnO2等の遷移金属酸化物及びこれらの窒化物、硫化物を一種以上含んだ無機化合物を用いることができる。ただし材料はこれらに限定されるものではない。無機材料は耐熱性及び電気化学的安定性に優れている材料が多いため好ましい。これらは単層もしくは複数の層の積層構造、又は混合層として形成することができる。正孔輸送層(キャリア注入層)3の好ましい膜厚は5nm以上であり、より好ましくは約15nm以上である。正孔輸送層3の形成方法としては、材料に応じて、抵抗加熱蒸着法、電子ビーム蒸着法、反応性蒸着法、イオンプレーティング法、スパッタリング法などのドライ成膜法や、スピンコート法、ゾル−ゲル法、などのウェットコーティング法など既存の成膜法を用いることができるが本発明ではこれらに限定されず、一般的な成膜法を用いることができる。 In addition, when an inorganic material is used as the hole transport material, examples of the inorganic material include Cu 2 O, Cr 2 O 3 , Mn 2 O 3 , FeOx (x to 0.1), NiO, CoO, Pr 2 O 3 , Ag. Transition metal oxides such as 2 O, MoO 2 , Bi 2 O 3 , ZnO, TiO 2 , SnO 2 , ThO 2 , V 2 O 5 , Nb 2 O 5 , Ta 2 O 5 , MoO 3 , WO 3 , MnO 2 And inorganic compounds containing one or more of these nitrides and sulfides can be used. However, the material is not limited to these. Inorganic materials are preferable because many materials are excellent in heat resistance and electrochemical stability. These can be formed as a single layer or a stacked structure of a plurality of layers, or a mixed layer. The preferred film thickness of the hole transport layer (carrier injection layer) 3 is 5 nm or more, more preferably about 15 nm or more. As a method for forming the hole transport layer 3, depending on the material, a dry film forming method such as a resistance heating vapor deposition method, an electron beam vapor deposition method, a reactive vapor deposition method, an ion plating method, a sputtering method, a spin coating method, Existing film forming methods such as a wet coating method such as a sol-gel method can be used, but the present invention is not limited to these, and a general film forming method can be used.
<インターレイヤ4>
キャリア注入層3を形成後、隔壁8を覆うようにインターレイヤ4を形成する。インターレイヤ4に用いる材料として、ポリビニルカルバゾール若しくはその誘導体、側鎖若しくは主鎖に芳香族アミンを有するポリアリーレン誘導体、アリールアミン誘導体、トリフェニルジアミン誘導体などの、芳香族アミンを含むポリマーなどが挙げられる。これらの材料を水、有機溶媒あるいはこれらの混合溶剤に溶解または分散させ、インキとしてウェットコーティング法により形成する。
<Interlayer 4>
After forming the carrier injection layer 3, the interlayer 4 is formed so as to cover the partition wall 8. Examples of the material used for the interlayer 4 include polymers containing aromatic amines such as polyvinyl carbazole or derivatives thereof, polyarylene derivatives having aromatic amines in the side chain or main chain, arylamine derivatives, and triphenyldiamine derivatives. . These materials are dissolved or dispersed in water, an organic solvent or a mixed solvent thereof, and formed as an ink by a wet coating method.
有機溶剤としては、トルエン、キシレン、アニソール、メシチレン、テトラリン、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、メタノール、エタノール、イソプロピルアルコール、酢酸エチル、酢酸ブチルなどが使用できる。またインキには、界面活性剤、酸化防止剤、粘度調整剤、紫外線吸収剤などを添加してもよい。インターレイヤ4の成膜方法としては、スピンコート法、ゾル−ゲル法、などのウェットコーティング法など既存の成膜法を用いることができるが本発明ではこれらに限定されず、一般的な成膜法を用いることができる。 As the organic solvent, toluene, xylene, anisole, mesitylene, tetralin, acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone, methanol, ethanol, isopropyl alcohol, ethyl acetate, butyl acetate and the like can be used. Further, a surfactant, an antioxidant, a viscosity modifier, an ultraviolet absorber and the like may be added to the ink. As a method for forming the interlayer 4, an existing film forming method such as a spin coating method, a sol-gel method, or a wet coating method can be used. Can be used.
インターレイヤ4は焼成により架橋し硬化する。したがって、前述のように、焼成処理の際に第一電極2側(基板1側)から加熱することにより、隔壁8に乗り上げた厚膜領域の一部を未硬化とし、溶剤で未硬化部分を洗い流すことにより、平坦性の高いインターレイヤ4を形成することができる。 The interlayer 4 is crosslinked and cured by firing. Therefore, as described above, by heating from the first electrode 2 side (substrate 1 side) during the baking treatment, a part of the thick film region that has run over the partition wall 8 is made uncured, and the uncured part is made with a solvent. By washing away, the interlayer 4 with high flatness can be formed.
<有機発光層5>
インターレイヤ4を形成後、有機発光層5を形成する。有機発光層5は電流を通すことにより発光する層であり、有機発光層5から放出される表示光が単色の場合、インターレイヤ4を被覆するように形成するが、多色の表示光を得るには必要に応じてパターニングを行うことにより好適に用いることができる。
<Organic light emitting layer 5>
After forming the interlayer 4, the organic light emitting layer 5 is formed. The organic light emitting layer 5 is a layer that emits light by passing an electric current. When the display light emitted from the organic light emitting layer 5 is monochromatic, the organic light emitting layer 5 is formed so as to cover the interlayer 4, but obtains multicolor display light. Can be suitably used by performing patterning as necessary.
有機発光層5を形成する有機発光材料は、例えばクマリン系、ペリレン系、ピラン系、アンスロン系、ポルフィレン系、キナクリドン系、N,N’−ジアルキル置換キナクリドン系、ナフタルイミド系、N,N’−ジアリール置換ピロロピロール系、イリジウム錯体系などの発光性色素をポリスチレン、ポリメチルメタクリレート、ポリビニルカルバゾール等の高分子中に分散させたものや、ポリアリーレン系、ポリアリーレンビニレン系やポリフルオレン系の高分子材料が挙げられるが本発明ではこれらに限定されるわけではない。 Examples of the organic light-emitting material forming the organic light-emitting layer 5 include coumarin-based, perylene-based, pyran-based, anthrone-based, porphyrin-based, quinacridone-based, N, N′-dialkyl-substituted quinacridone-based, naphthalimide-based, N, N′-. Diaryl-substituted pyrrolopyrrole, iridium complex, and other luminescent dyes dispersed in polymers such as polystyrene, polymethylmethacrylate, and polyvinylcarbazole, and polyarylene, polyarylene vinylene, and polyfluorene polymers Examples of the material include, but are not limited to, the present invention.
これらの有機発光材料は溶媒に溶解または安定に分散させ有機発光インキとなる。有機発光材料を溶解または分散する溶媒としては、トルエン、キシレン、アセトン、アニソール、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノンなどの単独またはこれらの混合溶媒が上げられる。中でもトルエン、キシレン、アニソールといった芳香族有機溶媒が有機発光材料の溶解性の面から好適である。また、有機発光インキには必要に応じて、界面活性剤、酸化防止剤、粘度調整剤、紫外線吸収剤等を添加してもよい。 These organic light emitting materials are dissolved or stably dispersed in a solvent to form an organic light emitting ink. Examples of the solvent for dissolving or dispersing the organic light emitting material include toluene, xylene, acetone, anisole, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone, or a mixed solvent thereof. Among them, aromatic organic solvents such as toluene, xylene, and anisole are preferable from the viewpoint of the solubility of the organic light emitting material. Moreover, you may add surfactant, antioxidant, a viscosity modifier, a ultraviolet absorber etc. to organic luminescent ink as needed.
上述した高分子材料に加え、9,10−ジアリールアントラセン誘導体、ピレン、コロネン、ペリレン、ルブレン、1,1,4,4−テトラフェニルブタジエン、トリス(8−キノラート)アルミニウム錯体、トリス(4−メチル−8−キノラート)アルミニウム錯体、ビス(8−キノラート)亜鉛錯体、トリス(4−メチル−5−トリフルオロメチル−8−キノラート)アルミニウム錯体、トリス(4−メチル−5−シアノ−8−キノラート)アルミニウム錯体、ビス(2−メチル−5−トリフルオロメチル−8−キノリノラート)[4−(4−シアノフェニル)フェノラート]アルミニウム錯体、ビス(2−メチル−5−シアノ−8−キノリノラート)[4−(4−シアノフェニル)フェノラート]アルミニウム錯体、トリス(8−キノリノラート)スカンジウム錯体、ビス[8−(パラ−トシル)アミノキノリン]亜鉛錯体及びカドミウム錯体、1,2,3,4−テトラフェニルシクロペンタジエン、ポリ−2,5−ジヘプチルオキシ−パラ−フェニレンビニレンなどの低分子系発光材料が使用できる。 In addition to the polymer materials described above, 9,10-diarylanthracene derivatives, pyrene, coronene, perylene, rubrene, 1,1,4,4-tetraphenylbutadiene, tris (8-quinolato) aluminum complex, tris (4-methyl) -8-quinolate) aluminum complex, bis (8-quinolate) zinc complex, tris (4-methyl-5-trifluoromethyl-8-quinolate) aluminum complex, tris (4-methyl-5-cyano-8-quinolate) Aluminum complex, bis (2-methyl-5-trifluoromethyl-8-quinolinolato) [4- (4-cyanophenyl) phenolate] aluminum complex, bis (2-methyl-5-cyano-8-quinolinolato) [4- (4-Cyanophenyl) phenolate] aluminum complex, tris (8-quino) Norato) scandium complex, bis [8- (para-tosyl) aminoquinoline] zinc complex and cadmium complex, 1,2,3,4-tetraphenylcyclopentadiene, poly-2,5-diheptyloxy-para-phenylene vinylene A low molecular weight light emitting material such as can be used.
有機発光層5の形成方法としては、材料に応じて、抵抗加熱蒸着法、電子ビーム蒸着法、反応性蒸着法、イオンプレーティング法、スパッタリング法などのドライ成膜法や、インクジェット印刷法、凸版印刷法、グラビア印刷法、スクリーン印刷法などのウェット成膜法など既存の成膜法を用いることができるが本発明ではこれらに限定されるわけではない。 As a method for forming the organic light emitting layer 5, depending on the material, dry film forming methods such as resistance heating vapor deposition, electron beam vapor deposition, reactive vapor deposition, ion plating, and sputtering, ink jet printing, letterpress Existing film forming methods such as a wet film forming method such as a printing method, a gravure printing method, and a screen printing method can be used, but the present invention is not limited thereto.
<電子注入層>
有機発光層5を形成した後、正孔ブロック層や電子注入層等を形成する。これらの機能層(発光媒体層6)は、有機EL表示装置の大きさ等から任意に選択することができる。正孔ブロック層及び電子注入層に用いる材料としては、一般に電子輸送材料として用いられているものであれば良く、トリアゾール系、オキサゾール系、オキサジアゾール系、シロール系、ボロン系等の低分子系材料、フッ化リチウムや酸化リチウム等のアルカリ金属やアルカリ土類金属の塩や酸化物等を用いて真空蒸着法による成膜が可能である。また、これらの電子輸送性材料及びこれら電子輸送材料をポリスチレン、ポリメチルメタクリレート、ポリビニルカルバゾール等の高分子中に溶解させトルエン、キシレン、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、メタノール、エタノール、イソプロピルアルコール、酢酸エチル、酢酸ブチル、水等の単独または混合溶媒に溶解または分散させて電子注入塗布液とし、印刷法により成膜できる。
<Electron injection layer>
After the organic light emitting layer 5 is formed, a hole blocking layer, an electron injection layer, and the like are formed. These functional layers (light emitting medium layer 6) can be arbitrarily selected from the size of the organic EL display device and the like. The material used for the hole blocking layer and the electron injection layer may be any material that is generally used as an electron transport material, such as triazole, oxazole, oxadiazole, silole, and boron. A film can be formed by a vacuum deposition method using a material, an alkali metal such as lithium fluoride or lithium oxide, or a salt or oxide of an alkaline earth metal. In addition, these electron transport materials and these electron transport materials are dissolved in polymers such as polystyrene, polymethyl methacrylate, polyvinyl carbazole, etc., and toluene, xylene, acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone, methanol, ethanol, isopropyl alcohol , Ethyl acetate, butyl acetate, water or the like alone or in a mixed solvent to form an electron injection coating solution, which can be formed by a printing method.
<第二電極7>
次に、第二電極7を形成する。第二電極7を陰極とする場合には、有機発光層5への電子注入効率の高い、仕事関数の低い物質を用いる。具体的にはMg,Al,Yb等の金属単体を用いたり、発光媒体層6と接する界面にLiや酸化Li,LiF等の化合物を1nm程度挟んで、安定性・導電性の高いAlやCuを積層して用いたりしてもよい。または電子注入効率と安定性を両立させるため、仕事関数が低いLi,Mg,Ca,Sr,La,Ce,Er,Eu,Sc,Y,Yb等の金属1種以上と、安定なAg,Al,Cu等の金属元素との合金系を用いてもよい。具体的にはMgAg,AlLi,CuLi等の合金が使用できる。
<Second electrode 7>
Next, the second electrode 7 is formed. When the second electrode 7 is a cathode, a substance having a high electron injection efficiency into the organic light emitting layer 5 and a low work function is used. Specifically, a single metal such as Mg, Al, or Yb is used, or a compound such as Li, oxidized Li, or LiF is sandwiched by about 1 nm at the interface in contact with the light-emitting medium layer 6, and Al or Cu having high stability and conductivity. May be used in a stacked manner. Alternatively, in order to achieve both electron injection efficiency and stability, one or more metals such as Li, Mg, Ca, Sr, La, Ce, Er, Eu, Sc, Y, and Yb having a low work function and stable Ag, Al An alloy system with a metal element such as Cu or Cu may be used. Specifically, alloys such as MgAg, AlLi, and CuLi can be used.
第二電極7の形成方法は、材料に応じて、抵抗加熱蒸着法、電子ビーム蒸着法、反応性蒸着法、イオンプレーティング法、スパッタリング法を用いることができる。 As a method for forming the second electrode 7, a resistance heating vapor deposition method, an electron beam vapor deposition method, a reactive vapor deposition method, an ion plating method, or a sputtering method can be used depending on the material.
<封止体9>
有機EL素子100としては電極間に有機発光材料を挟み、電流を流すことで発光させることが可能であるが、有機発光材料は大気中の水分や酸素によって容易に劣化してしまうため通常は外部と遮断するための封止体9を設ける。封止体9は例えば封止材上に封止樹脂10を設けて作製することができる。
<Sealing body 9>
The organic EL element 100 can emit light by sandwiching an organic light emitting material between electrodes and passing an electric current. However, since the organic light emitting material is easily deteriorated by moisture and oxygen in the atmosphere, it is usually external. A sealing body 9 is provided for blocking. The sealing body 9 can be manufactured, for example, by providing a sealing resin 10 on a sealing material.
封止材としては、水分や酸素の透過性が低い基材である必要がある。また、材料の一例として、アルミナ、窒化ケイ素、窒化ホウ素等のセラミックス、無アルカリガラス、アルカリガラス等のガラス、石英、耐湿性フィルムなどを挙げることができる。耐湿性フィルムの例として、プラスチック基材の両面にSiOxをCVD法で形成したフィルムや、透過性の小さいフィルムと吸水性のあるフィルムまたは吸水剤を塗布した重合体フィルムなどがあり、耐湿性フィルムの水蒸気透過率は、10−6g/m2/day以下であることが好ましい。 The sealing material needs to be a base material having low moisture and oxygen permeability. Examples of the material include ceramics such as alumina, silicon nitride, and boron nitride, glass such as alkali-free glass and alkali glass, quartz, and moisture resistant film. Examples of moisture-resistant films include films formed by CVD of SiOx on both sides of plastic substrates, films with low permeability and water-absorbing films, or polymer films coated with a water-absorbing agent. The water vapor transmission rate is preferably 10 −6 g / m 2 / day or less.
封止樹脂10の材料の一例として、エポキシ系樹脂、アクリル系樹脂、シリコン樹脂などからなる光硬化型接着性樹脂、熱硬化型接着性樹脂、2液硬化型接着性樹脂や、エチレンエチルアクリレート(EEA)ポリマー等のアクリル系樹脂、エチレンビニルアセテート(EVA)等のビニル系樹脂、ポリアミド、合成ゴム等の熱可塑性樹脂や、ポリエチレンやポリプロピレンの酸変性物などの熱可塑性接着性樹脂を挙げることができる。樹脂層を封止材の上に形成する方法の一例として、溶剤溶液法、押出ラミ法、溶融・ホットメルト法、カレンダ法、ノズル塗布法、スクリーン印刷法、真空ラミネート法、熱ロールラミネート法などを挙げることができる。必要に応じて吸湿性や吸酸素性を有する材料を含有させることもできる。封止材上に形成する樹脂層の厚みは、封止する有機EL素子の大きさや形状により任意に決定されるが、5μm〜500μmが望ましい。なお、ここでは封止材上に封止樹脂10として形成したが直接有機EL素子側に形成することもできる。 As an example of the material of the sealing resin 10, a photocurable adhesive resin, a thermosetting adhesive resin, a two-component curable adhesive resin made of epoxy resin, acrylic resin, silicon resin, or the like, or ethylene ethyl acrylate ( EEA) Acrylic resins such as polymers, vinyl resins such as ethylene vinyl acetate (EVA), thermoplastic resins such as polyamide and synthetic rubber, and thermoplastic adhesive resins such as acid-modified products of polyethylene and polypropylene. it can. Examples of methods for forming a resin layer on a sealing material include solvent solution method, extrusion lamination method, melting / hot melt method, calendar method, nozzle coating method, screen printing method, vacuum laminating method, hot roll laminating method, etc. Can be mentioned. A material having a hygroscopic property or an oxygen absorbing property may be contained as necessary. Although the thickness of the resin layer formed on a sealing material is arbitrarily determined by the magnitude | size and shape of the organic EL element to seal, 5 micrometers-500 micrometers are desirable. In addition, although it formed as sealing resin 10 on the sealing material here, it can also form directly in the organic EL element side.
最後に、有機EL素子と封止体9との貼り合わせを封止室で行う。封止体9を、封止材と封止樹脂10の2層構造とし、封止樹脂10に熱可塑性樹脂を使用した場合は、加熱したロールで圧着のみ行うことが好ましい。熱硬化型接着樹脂を使用した場合は、加熱したロールで圧着した後、さらに硬化温度で加熱硬化を行うことが好ましい。光硬化性接着樹脂を使用した場合は、ロールで圧着した後、さらに光を照射することで硬化を行うことができる。 Finally, the organic EL element and the sealing body 9 are bonded together in a sealing chamber. When the sealing body 9 has a two-layer structure of a sealing material and a sealing resin 10 and a thermoplastic resin is used for the sealing resin 10, it is preferable to perform only pressure bonding with a heated roll. When a thermosetting adhesive resin is used, it is preferable to perform heat curing at a curing temperature after pressure bonding with a heated roll. In the case where a photocurable adhesive resin is used, curing can be performed by further irradiating light after pressure bonding with a roll.
本発明の実施の形態に係る有機EL素子において、発光媒体層6をウェットコーティング法により塗布する際に形成された隔壁8近傍の厚膜な箇所を発光媒体層6の焼成時間及び焼成条件を調整し、隔壁8近傍に形成された未硬化な厚膜箇所を除去することで、画素内の平坦性を良好にし、局所的な発光材料への負荷を減らすことで有機EL素子を均一に発光させることができる。 In the organic EL device according to the embodiment of the present invention, the firing time and firing conditions of the light emitting medium layer 6 are adjusted at a thick portion near the partition wall 8 formed when the light emitting medium layer 6 is applied by the wet coating method. Then, by removing the uncured thick film portion formed in the vicinity of the partition wall 8, the flatness within the pixel is improved, and the load on the local light emitting material is reduced, so that the organic EL element emits light uniformly. be able to.
以下、本発明の有機EL素子の実施例を挙げるが、本発明は実施例に何ら制限されるものではない。 Examples of the organic EL device of the present invention will be described below, but the present invention is not limited to the examples.
まず、基板1として対角1.8インチサイズのガラス基板を準備した。次に、ガラス基板1上にスパッタリング法を用いてITO(インジウム−錫酸化物)薄膜を形成し、フォトリソグラフィ法により第一電極2のパターンを描き、酸溶液によるエッチングでITO膜をパターニングして、第一電極2を形成した。第一電極2のラインパターンは、線幅136μm、スペース30μmでラインが約32mm角の中に192ラインを形成するパターンとした。 First, a 1.8 inch diagonal glass substrate was prepared as the substrate 1. Next, an ITO (indium-tin oxide) thin film is formed on the glass substrate 1 by sputtering, a pattern of the first electrode 2 is drawn by photolithography, and the ITO film is patterned by etching with an acid solution. First electrode 2 was formed. The line pattern of the first electrode 2 was a pattern in which a line width of 136 μm, a space of 30 μm, and a line of 192 lines formed in about 32 mm square.
次に、隔壁8を形成した。隔壁8は、第一電極2を形成したガラス基板1上に、東レ社製、フォトニース、商品名「DL−1000」で表示されるポジ型感光性ポリイミドを全面スピンコートした。スピンコートの条件は、150rpmで5秒間回転させた後、500rpmで20秒間回転させ1回コーティングとした。感光性ポリイミドは、隔壁8の高さを1.5μmとするように約1.5μmの厚さで塗布した。次に、全面に塗布した感光性ポリイミドに対し、フォトリソグラフィ法により露光、現像を行い、第一電極2の間に配置される隔壁8となる部分のラインパターンを形成した。隔壁8のパターンは230℃、30分間オーブンにて焼成を行い、隔壁8を形成した。 Next, the partition wall 8 was formed. For the partition wall 8, a positive photosensitive polyimide displayed by Toray Co., Ltd., Photo Nice, trade name “DL-1000” was spin coated on the glass substrate 1 on which the first electrode 2 was formed. The spin coating was performed at 150 rpm for 5 seconds and then at 500 rpm for 20 seconds to form a single coating. The photosensitive polyimide was applied with a thickness of about 1.5 μm so that the height of the partition wall 8 was 1.5 μm. Next, the photosensitive polyimide applied on the entire surface was exposed and developed by a photolithography method to form a line pattern of a portion to be the partition wall 8 disposed between the first electrodes 2. The pattern of the partition walls 8 was baked in an oven at 230 ° C. for 30 minutes to form the partition walls 8.
次に、第一キャリア注入層(正孔輸送層)3を印刷する前の基板(第一電極2及び隔壁8が形成された基板1)に、前処理としてオーク製作所製、UV/O3洗浄装置にて3分間紫外線照射を行い親水化させた。親水化処理した基板に、正孔輸送層3を形成するインキとして、ポリ(3,4−エチレンジオキシチオフェン)とポリスチレンスルホン酸(以下PEDOT/PSS)の1wt%水分散液とを、印刷法を用いて表示領域となる部分が膜厚70nmになるように成膜し、200℃、15分間大気中で焼成を行った。 Next, the substrate before printing the first carrier injection layer (hole transport layer) 3 (the substrate 1 on which the first electrode 2 and the partition wall 8 are formed) is manufactured by Oak Seisakusho, UV / O 3 cleaning. The device was made hydrophilic by irradiating with ultraviolet rays for 3 minutes. As an ink for forming the hole transport layer 3 on a hydrophilized substrate, a 1 wt% aqueous dispersion of poly (3,4-ethylenedioxythiophene) and polystyrenesulfonic acid (hereinafter PEDOT / PSS) is used as a printing method. The film was formed so that the portion serving as a display region had a film thickness of 70 nm, and baked in the air at 200 ° C. for 15 minutes.
次に、インターレイヤ4の材料であるポリビニルカルバゾール誘導体を濃度0.5%になるようにトルエンに溶解させたインキを用い、基板(第一電極2、正孔輸送層3及び隔壁8が形成された基板1)上にスピンコート法を用いて表示領域となる部分が膜厚30nmになるように成膜し、200℃、15分間大気中で発光媒体層の焼成を行った。 Next, the substrate (the first electrode 2, the hole transport layer 3, and the partition wall 8 is formed using an ink in which a polyvinyl carbazole derivative, which is the material of the interlayer 4, is dissolved in toluene so as to have a concentration of 0.5%. The substrate 1) was formed by spin coating so that the portion serving as the display region had a thickness of 30 nm, and the luminescent medium layer was baked in the atmosphere at 200 ° C. for 15 minutes.
その後、200℃、15分間の焼成では硬化しきらなかった、隔壁8の近傍に形成されたインターレイヤ4の厚膜な箇所をトルエンで洗い流した。洗浄後の発光媒体層6のパターニング状態を観察したところ、各画素内の発光媒体層6は均一な膜形状を保持し、隔壁8の近傍に成膜されたインターレイヤ4の隔壁8の近傍に形成された厚膜な箇所はきれいに除去されていることが確認できた。このときの発光媒体層6の膜厚は20nmであった。 Thereafter, a thick film portion of the interlayer 4 formed in the vicinity of the partition wall 8 that could not be cured by baking at 200 ° C. for 15 minutes was washed away with toluene. When the patterning state of the luminescent medium layer 6 after cleaning was observed, the luminescent medium layer 6 in each pixel maintained a uniform film shape, and in the vicinity of the partition wall 8 of the interlayer 4 formed in the vicinity of the partition wall 8. It was confirmed that the thick film formed was removed cleanly. At this time, the thickness of the light emitting medium layer 6 was 20 nm.
有機発光材料であるポリフェニレンビニレン誘導体を濃度1%になるようにトルエンに溶解させた有機発光インキを用い、隔壁8に挟まれた画素部位にある第一電極2の真上に、そのラインパターンにあわせて有機発光材料を凸版印刷法で印刷して有機発光層5を形成し、乾燥させた。印刷、乾燥後の有機発光層5の膜厚は100nmとなった。 An organic light emitting ink in which a polyphenylene vinylene derivative, which is an organic light emitting material, is dissolved in toluene so as to have a concentration of 1% is used, and the line pattern is formed immediately above the first electrode 2 in the pixel portion sandwiched between the partition walls 8. In addition, the organic light emitting material was printed by a relief printing method to form the organic light emitting layer 5 and dried. The thickness of the organic light emitting layer 5 after printing and drying was 100 nm.
次に、有機発光層5上にCa、Alからなる第二電極7を第一電極2のラインパターンと直交するようなラインパターンで抵抗加熱蒸着法によりマスク蒸着して形成した。以上の手順で有機EL素子20を形成し、最後に、有機EL素子を外部の酸素や水分から保護するために封止体9としてのガラスキャップで覆い、封止樹脂10としての接着剤を用いてガラスキャップを接着して有機EL素子20を密閉封止し、有機EL素子を作製した。 Next, a second electrode 7 made of Ca and Al was formed on the organic light emitting layer 5 by mask vapor deposition using a resistance heating vapor deposition method in a line pattern orthogonal to the line pattern of the first electrode 2. The organic EL element 20 is formed by the above procedure, and finally, the organic EL element is covered with a glass cap as the sealing body 9 in order to protect it from external oxygen and moisture, and an adhesive as the sealing resin 10 is used. Then, a glass cap was adhered to hermetically seal the organic EL element 20 to produce an organic EL element.
得られた有機EL素子の表示部の第一電極2と第二電極7を電源に接続して印加することにより、得られた有機EL素子の点灯表示確認を行った。 The lighting display of the obtained organic EL element was confirmed by connecting and applying the first electrode 2 and the second electrode 7 of the display part of the obtained organic EL element to a power source.
画像表示装置にした際に最低限必要な輝度は1000cdであるが、得られた有機EL素子を駆動したところ、画素内で1000cdを均一に点灯できた面積は、発光画素の80%であった。 The minimum luminance required for the image display device is 1000 cd, but when the obtained organic EL element was driven, the area where 1000 cd could be uniformly lit in the pixel was 80% of the light emitting pixel. .
インターレイヤ4を形成後、トルエンの蒸気にさらすことでインターレイヤ4の厚膜な箇所の除去を行った。その他の条件は実施例1と同様である。 After forming the interlayer 4, the thick film portion of the interlayer 4 was removed by exposure to toluene vapor. Other conditions are the same as in the first embodiment.
得られた有機EL素子の表示部の第一電極2と第二電極7を電源に接続して印加することにより、得られた有機EL素子の点灯表示確認を行った。 The lighting display of the obtained organic EL element was confirmed by connecting and applying the first electrode 2 and the second electrode 7 of the display part of the obtained organic EL element to a power source.
得られた有機EL素子を駆動したところ、画素内で1000cdを均一に点灯できた面積は、発光画素の80%であった。 When the obtained organic EL element was driven, the area where 1000 cd could be uniformly lit in the pixel was 80% of the light emitting pixel.
[比較例]
インターレイヤ4を成膜後、無機溶剤、有機溶剤あるいはこれらの混合溶液を用いて厚膜の箇所の除去を一切行わなかった。その他の条件は実施例1と同様である。
[Comparative example]
After the interlayer 4 was formed, the thick film was not removed at all using an inorganic solvent, an organic solvent, or a mixed solution thereof. Other conditions are the same as in the first embodiment.
得られた有機EL素子の表示部の第一電極2と第二電極7を電源に接続して印加することにより、得られた有機EL素子の点灯表示確認を行った。 The lighting display of the obtained organic EL element was confirmed by connecting and applying the first electrode 2 and the second electrode 7 of the display part of the obtained organic EL element to a power source.
さらに、得られた有機EL素子を駆動したところ、画素内で1000cdを均一に点灯できた面積は、発光画素の50%であった。 Furthermore, when the obtained organic EL element was driven, the area where 1000 cd could be uniformly lit in the pixel was 50% of the light emitting pixel.
本発明の実施例1及び2に係る有機EL素子によれば、インターレイヤ4の隔壁8近傍に形成された厚膜な箇所を除去することにより画素を均一に発光させることができた。 According to the organic EL elements according to Examples 1 and 2 of the present invention, the pixels were able to emit light uniformly by removing the thick portion formed in the vicinity of the partition wall 8 of the interlayer 4.
1…基板、2…第一電極、3…キャリア注入層、4…インターレイヤ、5…有機発光層、5R…発光媒体層(赤色有機発光層)、5G…発光媒体層(緑色有機発光層)
5B…発光媒体層(青色有機発光層)、7…第二電極、8…隔壁、9…封止体、10…封止樹脂、100…有機EL素子、200…3画素の有機EL素子
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Board | substrate, 2 ... 1st electrode, 3 ... Carrier injection layer, 4 ... Interlayer, 5 ... Organic light emitting layer, 5R ... Light emitting medium layer (red organic light emitting layer), 5G ... Light emitting medium layer (green organic light emitting layer)
5B: Light emitting medium layer (blue organic light emitting layer), 7 ... Second electrode, 8 ... Partition, 9 ... Sealing body, 10 ... Sealing resin, 100 ... Organic EL element, 200 ... Organic EL element with 3 pixels
Claims (7)
基板上に第一電極を形成し、
複数の前記第一電極の間に配置され、前記第一電極の端部を覆って突出する隔壁を形成し、
前記第一電極上及び前記突出する隔壁の近傍に有機発光層を含む複数の発光媒体層の内のインターレイヤをウェットコーティング法により形成し、
前記第一電極上の前記インターレイヤを硬化させ、前記突出する隔壁の近傍の前記インターレイヤの一部が未硬化な状態となるように、前記インターレイヤを形成した面とは反対側の面から加熱し、
前記インターレイヤの未硬化な箇所を除去し、
前記インターレイヤ上に第二電極を形成し、
前記突出する隔壁は0.5μm以上2μm以下の高さに形成し、前記インターレイヤは前記突出する隔壁を覆うように前記ウェットコーティング法により形成することを特徴とする有機EL素子の製造方法。 Prepare the board
Forming a first electrode on the substrate;
Forming a partition wall disposed between the plurality of first electrodes and projecting over an end of the first electrode;
The interlayer of the plurality of light emitting medium layer comprising the organic light-emitting layer was formed by a wet coating method in the vicinity of the partition wall of the upper first electrode and the projecting,
Wherein curing the interlayer on the first electrode, wherein in the vicinity of the partition wall of the protruding such that a portion of the interlayer is uncured, the surface opposite to the the formation of the interlayer surface Heated,
Removing the uncured portion of the interlayer,
The second electrode is formed on the interlayer,
The method for manufacturing an organic EL device, characterized in that said partition wall which protrudes form the following height 2μm or 0.5 [mu] m, the inter-layer is formed by the wet coating method so as to cover the partition wall to the overhang.
Image display device characterized by having an organic EL element formed using a method of manufacturing an organic EL device according to any one of claims 1 to 5.
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