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JP5673015B2 - Servo valve - Google Patents
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Description

本発明は、サーボバルブに関する。   The present invention relates to a servo valve.

従来、ノズルフラッパ型のサーボバルブは、制御目標の電流が入力されるトルクモータと、そのトルクモータによって回転駆動されるフラッパと、そのフラッパを中間にして対向して配設される一対のノズルと、これらノズルと圧力通路を介して連結されている弁開度を調節するスプールと、そのスプール及び上記フラッパを連結するフィードバックスプリング(フィードバックワイヤ)を含んでいる(特許文献1参照)。   Conventionally, a nozzle flapper-type servo valve includes a torque motor to which a control target current is input, a flapper that is rotationally driven by the torque motor, and a pair of nozzles that are disposed to face each other with the flapper in the middle, A spool for adjusting the valve opening degree connected to these nozzles via a pressure passage, and a feedback spring (feedback wire) for connecting the spool and the flapper are included (see Patent Document 1).

上記構成からなるノズルフラッパ型のサーボバルブでは、トルクモータのコイルに制御目標に対応した電流が入力されるとその電流に応じた磁力が発生し、その発生した磁力によりトルクモータのアーマチュア(電気子)に回転トルクが発生させられる。そして、アーマチュアで発生した回転トルクは、アーマチュアに連結されているフラッパを傾動させる。この結果、フラッパが接近して来た方のノズルの背圧が高められ、フラッパが離れて行った方のノズルの背圧が低められる。   In the nozzle flapper type servo valve having the above configuration, when a current corresponding to a control target is input to the coil of the torque motor, a magnetic force corresponding to the current is generated, and the generated magnetic force generates an armature (electric element) of the torque motor. Rotational torque is generated. The rotational torque generated in the armature tilts the flapper connected to the armature. As a result, the back pressure of the nozzle closer to the flapper is increased, and the back pressure of the nozzle away from the flapper is reduced.

フラッパが接近して高くなった背圧はスプールの軸心方向の一端側に伝達され、フラッパが離れて低くなった背圧はそのスプールの軸心方向の他端側に伝達されているので、スプールは、背圧差に応じて変位される。この変位は、フィードバックスプリングにアーマチュアの回転トルクと反対向きのトルクを発生させる。フラッパに引き戻し力を作用させて両ノズルの背圧が等しくなり、その背圧が等しくなった位置でスプールは停止される。これにより、スプールの停止位置は、制御目標の入力電流に対応した弁開度に保たれる。   The back pressure that is increased due to the approach of the flapper is transmitted to one end side in the axial direction of the spool, and the back pressure that is decreased by the separation of the flapper is transmitted to the other end side in the axial direction of the spool. The spool is displaced according to the back pressure difference. This displacement causes the feedback spring to generate a torque in a direction opposite to the rotational torque of the armature. A pulling back force is applied to the flapper so that the back pressures of both nozzles become equal, and the spool is stopped at a position where the back pressures are equal. As a result, the stop position of the spool is maintained at the valve opening corresponding to the control target input current.

また、上記ノズルフラッパ型のサーボバルブには、フィルタ処理された流体が供給されるように構成されている。これは、ノズルフラッパ型のサーボバルブに供給される液体中に不純物が含まれていると、液体の流れる流路やノズルの開口部が不純物で目詰まりを起こしてサーボバルブの機能が損なわれるからである。   The nozzle flapper servo valve is configured to be supplied with a filtered fluid. This is because if the liquid supplied to the nozzle flapper type servo valve contains impurities, the flow path of the liquid and the nozzle opening are clogged with impurities, and the servo valve function is impaired. is there.

特開2001−12409号公報JP 2001-12409 A

しかしながら、上記従来のサーボバルブは、ノズルに供給される液体はフィルタ処理してノズルに供給されるように構成されているが、フィルタが目詰まりを起こしたり、あるいは、不純物でノズルが目詰まりを起こすと、制御目標に応じた背圧が得られなくなり、サーボバルブの性能が低下するおそれがある。従来は、フィルタやノズルの詰まりを解消あるいは抑止する対策がなく、定期的にフィルタを交換したり、あるいは、フィルタやノズルを定期的に清掃する必要があった。   However, the conventional servo valve is configured such that the liquid supplied to the nozzle is filtered and then supplied to the nozzle. However, the filter is clogged or the nozzle is clogged with impurities. If this happens, the back pressure corresponding to the control target cannot be obtained, and the performance of the servo valve may be reduced. Conventionally, there is no measure for eliminating or suppressing clogging of the filter or nozzle, and it has been necessary to periodically replace the filter or to periodically clean the filter or nozzle.

例えば、サーボバルブがジェットエンジンの燃料システムの燃料制御部で使用される場合、すなわち、サーボバルブが燃料ポンプから供給された燃料を全自動デジタルエンジン制御装置(Full Authority Digital Electronics Control(FADEC))の指令に基いてジェットエンジンに供給する場合、ノズルに供給される液体は、燃料ポンプから供給された燃料が使用されるが、その燃料中の不純物によりフィルタやノズルが目詰まりを起こすと、サーボバルブの性能が低下してジェットエンジンに供給する燃料に支障を来たすので、定期的にフィルタを交換したり、あるいは、フィルタやノズルを定期的に清掃する必要があった。   For example, when a servo valve is used in a fuel control unit of a fuel system of a jet engine, that is, a servo valve supplies fuel supplied from a fuel pump to a fully automatic digital engine control device (Full Authority Digital Electronics Control (FADEC)). When supplying to the jet engine based on the command, the fuel supplied from the fuel pump is used as the liquid supplied to the nozzle, but if the filter or nozzle is clogged due to impurities in the fuel, the servo valve Therefore, it is necessary to replace the filter regularly or to clean the filter and nozzle regularly.

本発明は、上述する問題点に鑑みてなされたもので、サーボバルブにおいて、フィルタやノズルの詰まりを解消あるいは抑止することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above-described problems, and an object of the present invention is to eliminate or prevent clogging of a filter and a nozzle in a servo valve.

本発明は、上記課題を解決するための手段として、以下の構成を採用する。   The present invention adopts the following configuration as means for solving the above-described problems.

第1の発明は、スプールの両端に作用する背圧を調節して上記スプールを移動させることにより液体の流量を調節するサーボバルブであって、トルクモータにより傾斜角度が調節されるノズルフラッパと、上記ノズルフラッパの一方側の面に対して対向配置される第1ノズルを有すると共に上記スプールのいずれか一方の端部に接続される第1流路と、上記ノズルフラッパの他方側の面に対して対向配置される第2ノズルを有すると共に上記第1流路と異なる上記スプールの端部に接続される第2流路と、上記第1流路及び上記第2流路における上記液体の流れを逆流させる逆流手段と、を備えるという構成を採用する。   A first invention is a servo valve that adjusts a flow rate of liquid by adjusting a back pressure acting on both ends of a spool and moving the spool, the nozzle flapper in which an inclination angle is adjusted by a torque motor, A first flow path having a first nozzle arranged to face one side of the nozzle flapper and connected to one end of the spool, and arranged to face the other side of the nozzle flapper A second flow path having a second nozzle that is connected to the end of the spool different from the first flow path, and a reverse flow that reverses the flow of the liquid in the first flow path and the second flow path And a means comprising the means.

第2の発明は、上記第1の発明において、上記ノズルフラッパを挟んで対向配置される一対の上記第1ノズル及び上記第2ノズルを二対備え、上記逆流手段は、一方対の第1ノズル及び第2ノズルが臨む第1領域の圧力と他方対の第1ノズル及び第2ノズルが臨む第2領域の圧力との高低関係を切り替える圧力切替機構という構成を採用する。   According to a second aspect of the present invention, in the first aspect of the present invention, the pair of the first nozzle and the second nozzle are arranged to face each other with the nozzle flapper interposed therebetween, and the backflow means includes one pair of the first nozzle and the second nozzle. A configuration of a pressure switching mechanism that switches a height relationship between the pressure in the first region facing the second nozzle and the pressure in the second region facing the other pair of the first nozzle and the second nozzle is employed.

第3の発明は、上記第2の発明において、上記第1領域の圧力と上記第2領域の圧力との高低関係に倣って、上記第1流路が接続される上記スプールの端部と上記第2流路が接続する上記スプールの端部とを切り替える流路切替機構を備えるという構成を採用する。   According to a third invention, in the second invention, following the height relationship between the pressure in the first region and the pressure in the second region, the end of the spool to which the first flow path is connected and the above-mentioned A configuration is adopted in which a flow path switching mechanism for switching between the end of the spool to which the second flow path is connected is provided.

第4の発明は、上記第3の発明において、上記圧力切替機構及び上記流路切替機構は、単一のソレノイドで駆動されるという構成を採用する。   According to a fourth invention, in the third invention, the pressure switching mechanism and the flow path switching mechanism are driven by a single solenoid.

本発明によれば、ノズルフラッパの一方側の面に対して対向配置される第1ノズルを有すると共にスプールのいずれか一方の端部に接続される第1流路の流れと、上記ノズルフラッパの他方側の面に対して対向配置される第2ノズルを有すると共に上記第1流路と異なるスプールの端部に接続される第2流路の流れとが、逆流手段で逆流させられるようにしているので、流路中に設けられているフィルタを自動的に洗浄することができ、フィルタやノズルの詰まりを解消あるいは抑止することができる。   According to the present invention, the flow of the first flow path having the first nozzle disposed opposite to the one surface of the nozzle flapper and connected to one end of the spool, and the other side of the nozzle flapper And the second flow path connected to the end of the spool different from the first flow path is made to flow backward by the reverse flow means. The filter provided in the flow path can be automatically cleaned, and clogging of the filter and nozzle can be eliminated or suppressed.

本発明の一実施形態におけるサーボバルブの概略構成図である。It is a schematic block diagram of the servo valve in one Embodiment of this invention. 駆動液体の流路が切り替えられたときの本発明の一実施形態におけるサーボバルブの概略構成図である。It is a schematic block diagram of the servo valve in one Embodiment of this invention when the flow path of a drive liquid is switched.

以下、図面を参照して、本発明の一実施形態に係るサーボバルブについて説明する。なお、以下の図面において、各部材を認識可能な大きさとするために、各部材の縮尺を適宜変更している。   Hereinafter, a servo valve according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. In the following drawings, the scale of each member is appropriately changed in order to make each member a recognizable size.

図1は、本発明の一実施形態に係るサーボバルブSVの概略構成図である。
このサーボバルブSVは、ノズルフラッパ機構1と、スプール弁機構10と、切替機構20と、フィルタF1,F2とを備えている。これらのフィルタF1,F2としては20〜40μm程度の目を有し、ろう付けもしくは焼結された金属の網が用いられる。
FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a servo valve SV according to an embodiment of the present invention.
The servo valve SV includes a nozzle flapper mechanism 1, a spool valve mechanism 10, a switching mechanism 20, and filters F1 and F2. These filters F1 and F2 are made of braided or sintered metal nets having eyes of about 20 to 40 μm.

ノズルフラッパ機構1は、ノズルフラッパ2と、上側ノズル3a,3bと、下側ノズル4a,4bと、フィードバックスプリング5を備えている。
ノズルフラッパ2は、扁平な板材からなり、その中心位置に設けられている回転軸2aを中心にして回動(傾動)できるように構成されている。この回転軸2aは、図示しないトルクモータのアーマチュア(電気子)に一体的に連結されている。したがって、トルクモータのコイルに制御目標に対応した電流が入力されると、その入力電流に応じた磁力が発生してトルクモータのアーマチュアに回転トルクが発生し、ノズルフラッパ2を所定の傾斜角度に傾動させることができる。
The nozzle flapper mechanism 1 includes a nozzle flapper 2, upper nozzles 3a and 3b, lower nozzles 4a and 4b, and a feedback spring 5.
The nozzle flapper 2 is made of a flat plate material, and is configured to be able to rotate (tilt) about a rotation shaft 2a provided at the center position thereof. The rotary shaft 2a is integrally connected to an armature (electric element) of a torque motor (not shown). Therefore, when a current corresponding to the control target is input to the coil of the torque motor, a magnetic force corresponding to the input current is generated to generate a rotational torque in the armature of the torque motor, and the nozzle flapper 2 is tilted at a predetermined inclination angle. Can be made.

上側ノズル3a,3bは、回転軸2aを中心にしたノズルフラッパ2の上部側に配置されている。これらの上側ノズル3a,3bは、ノズルフラッパ2を挟んで対向配置される一対のノズルであり、第1チャンバ6a内の第1領域αに臨んで配置されている。
下側ノズル4a,4bは、回転軸2aを中心にしたノズルフラッパ2の下部側に配置されている。これらの下側ノズル4a,4bは、ノズルフラッパ2を挟んで対向配置される一対のノズルであり、第2チャンバ6b内の第2領域βに臨んで配置されている。
The upper nozzles 3a and 3b are disposed on the upper side of the nozzle flapper 2 around the rotation shaft 2a. These upper nozzles 3a and 3b are a pair of nozzles arranged opposite to each other with the nozzle flapper 2 interposed therebetween, and are arranged facing the first region α in the first chamber 6a.
The lower nozzles 4a and 4b are disposed on the lower side of the nozzle flapper 2 with the rotating shaft 2a as the center. These lower nozzles 4a and 4b are a pair of nozzles arranged to face each other with the nozzle flapper 2 interposed therebetween, and are arranged facing the second region β in the second chamber 6b.

なお、図1に示すように、上側ノズル3aと下側ノズル4aとは、ノズルフラッパ2の一方側の面に対向して配置されており、本発明の第1ノズルとして機能する。つまり、本実施形態のサーボバルブSVは、本発明における第1ノズルを2つ備えている。
また、上側ノズル3bと下側ノズル4bとは、ノズルフラッパ2の他方側の面に対向して配置されており、本発明の第2ノズルとして機能する。つまり、本実施形態のサーボバルブSVは、本発明における第2ノズルを2つ備えている。
そして、上述のように上側ノズル3a,3bが一対とされ、下側ノズル4a,4bとが一対とされている。つまり、本実施形態のサーボバルブSVは、一対の第1ノズル及び第2ノズルを2つ、すなわち二対の第1ノズル及び第2ノズルを備えている。
In addition, as shown in FIG. 1, the upper nozzle 3a and the lower nozzle 4a are arrange | positioned facing the surface of the one side of the nozzle flapper 2, and function as a 1st nozzle of this invention. That is, the servo valve SV of the present embodiment includes two first nozzles according to the present invention.
Further, the upper nozzle 3b and the lower nozzle 4b are disposed so as to face the other surface of the nozzle flapper 2, and function as the second nozzle of the present invention. That is, the servo valve SV of the present embodiment includes two second nozzles in the present invention.
As described above, the upper nozzles 3a and 3b are paired and the lower nozzles 4a and 4b are paired. That is, the servo valve SV of the present embodiment includes two pairs of first nozzles and second nozzles, that is, two pairs of first nozzles and second nozzles.

また、本実施形態のサーボバルブSVは、ノズルフラッパ2の一方側の面に対向する上側ノズル3aと下側ノズル4bとを接続するコの字状の第1接続流路A(第1流路)を備えている。つまり、本実施形態のサーボバルブSVは、上側ノズル3a(第1ノズル)及び下側ノズル4a(第1ノズル)を有する第1接続流路Aを備えている。
さらに、本実施形態のサーボバルブSVは、ノズルフラッパ2の他方側の面に対向する上側ノズル3bと下側ノズル4bとを接続するコの字状の第2接続流路B(第2流路)を備えている。つまり、本実施形態のサーボバルブSVは、上側ノズル3b(第2ノズル)と下側ノズル4b(第2ノズル)を有する第2接続流路Bを備えている。
In addition, the servo valve SV of the present embodiment has a U-shaped first connection flow path A (first flow path) that connects the upper nozzle 3a and the lower nozzle 4b facing one surface of the nozzle flapper 2. It has. That is, the servo valve SV of the present embodiment includes the first connection flow path A having the upper nozzle 3a (first nozzle) and the lower nozzle 4a (first nozzle).
Furthermore, the servo valve SV of the present embodiment has a U-shaped second connection flow path B (second flow path) that connects the upper nozzle 3b and the lower nozzle 4b facing the other surface of the nozzle flapper 2. It has. That is, the servo valve SV of the present embodiment includes the second connection channel B having the upper nozzle 3b (second nozzle) and the lower nozzle 4b (second nozzle).

上側ノズル3a,3bが臨む第1チャンバ6aには、フィルタF1を介在している流路L3が接続されている。また、下側ノズル4a,4bが臨む第2チャンバ6bには、フィルタF2を介在している流路L6が接続されている。また、上記第1接続流路Aには、後述する流路L23が接続されると共に、第2接続流路Bには、流路L20が接続されている。   A flow path L3 with a filter F1 interposed therebetween is connected to the first chamber 6a facing the upper nozzles 3a and 3b. A flow path L6 with a filter F2 interposed therebetween is connected to the second chamber 6b facing the lower nozzles 4a and 4b. The first connection channel A is connected to a later-described channel L23, and the second connection channel B is connected to a channel L20.

フィードバックスプリング5は、フィードバックワイヤと称されることもある長尺状のバネ部材から構成されている。そして、このフィードバックスプリング5の上端側は、ノズルフラッパ2の下端側に固定されている。また、フィードバックスプリング5の下端側側は、ノズルフラッパ2の長手方向と同方向に伸び、先端部がスプール弁機構10の後述するスプール12と接続されている。そして、フィードバックスプリング5がノズルフラッパ2の傾動により移動したときには、スプール弁機構10のスプール12をその軸心方向に移動(変位)させることができるように構成されている。   The feedback spring 5 is composed of a long spring member sometimes called a feedback wire. The upper end side of the feedback spring 5 is fixed to the lower end side of the nozzle flapper 2. Further, the lower end side of the feedback spring 5 extends in the same direction as the longitudinal direction of the nozzle flapper 2, and the tip portion is connected to a spool 12 described later of the spool valve mechanism 10. When the feedback spring 5 is moved by the tilt of the nozzle flapper 2, the spool 12 of the spool valve mechanism 10 can be moved (displaced) in the axial direction.

スプール弁機構10は、周知のスプール弁機構と同様に、ケーシング11内にスプール12を移動自在に配設して構成されている。このスプール弁機構10は、ケーシング11内においてスプール12が軸心方向に移動自在に配設して構成されている。スプール12には軸心方向に沿って間隔を保って4個のランド13a〜13dが設けられている。これらランド13a〜13dのうち、ランド13a,13bは軸心方向の両端側にそれぞれ設けられ、ランド13c,13dは軸心方向の中心部にそれぞれ設けられている。そして、ランド13c,13d間には、フィードバックスプリング5の先端部が接続されている。
なお、図面を簡略化するために省略されているが、中心部に設けられるランド13c,13dに対応するケーシング11には、液体の入出用ポートが設けられていて、ランド13c,13dが移動(変位)することによりポート開度、すなわち弁開度を調節できるように構成されている。
The spool valve mechanism 10 is configured by disposing a spool 12 in a casing 11 so as to be movable, similarly to a known spool valve mechanism. The spool valve mechanism 10 is configured such that a spool 12 is disposed in a casing 11 so as to be movable in an axial direction. The spool 12 is provided with four lands 13a to 13d at intervals along the axial direction. Among these lands 13a to 13d, the lands 13a and 13b are respectively provided at both end sides in the axial direction, and the lands 13c and 13d are respectively provided in the central portions in the axial direction. And the front-end | tip part of the feedback spring 5 is connected between land 13c, 13d.
Although omitted for simplification of the drawings, the casing 11 corresponding to the lands 13c and 13d provided in the center is provided with a liquid inlet / outlet port, and the lands 13c and 13d move ( The opening degree of the port, that is, the opening degree of the valve can be adjusted.

切替機構20は本発明の逆流手段、圧力切替機構及び流路切替機構として機能するものである。
この切替機構20は、第1接続流路A及び第2接続流路Bにおける液体の流れを逆流させる。より詳細には、切替機構20は、上側ノズル3a,3bが臨む第1領域αの圧力の下側ノズル4a,4bが臨む第2領域βの圧力との高低関係を切り替えることにより、第1接続流路A及び第2接続流路Bにおける液体の流れを逆流させる。
また、切替機構20は、第1領域αの圧力と第2領域βの圧力との高低関係に倣って、第1接続流路Aが接続されるスプール12の端部と第2接続流路Bが接続するスプール12の端部とを切り替える。
The switching mechanism 20 functions as the backflow means, pressure switching mechanism, and flow path switching mechanism of the present invention.
The switching mechanism 20 reverses the liquid flow in the first connection flow path A and the second connection flow path B. More specifically, the switching mechanism 20 switches the first connection by switching the height relationship with the pressure of the second region β facing the lower nozzle 4a, 4b of the first region α facing the upper nozzle 3a, 3b. The liquid flow in the flow path A and the second connection flow path B is reversed.
Further, the switching mechanism 20 follows the height relationship between the pressure in the first region α and the pressure in the second region β, and the end of the spool 12 to which the first connection flow path A is connected and the second connection flow path B. Is switched to the end of the spool 12 to which the

この切替機構20は、ケーシング21と、弁体22と、単一のソレノイドSOとを備えている。
ケーシング21は、内部に弁体22が移動できる空間を有して構成されている。なお、図1及び図2において、太線及び細線で示される後述する流路と接続する部位に液体の入出用ポートが設けられている。
弁体22は、シャフト23と、当該シャフト23に一体的に設けられると共に間隔を保って複数個(図示の例では6個)配列されるランド24a〜24fとを備えている。そして、この弁体22は、ケーシング21の内部をその軸心方向に移動自在に設けられていると共に、弁体22の軸心方向の一端側(図示の例では左端側)に設けられているコイルバネ25により、常時、ソレノイドSO側へ押圧されるように構成されている。
弁体22のシャフト23に設けられているランド24a〜24fの配置及びケーシング21に設けられている液体の入出用ポートの配置関係は、後述の制御動作の説明における液体の流れを実現できるように決められている。
ソレノイドSOは、弁体22の軸心方向の他端側に設けられていて、そのソレノイドSOがONされたときには、ソレノイドロッドSOlが伸張して弁体22をコイルバネ25に抗して移動させることができるように構成されている(図1参照)。なお、ソレノイドSOがOFFされたときには、弁体22がコイルバネ25により押圧されて、弁体22をソレノイドSO側に移動させることができるように構成されている(図2参照)。
The switching mechanism 20 includes a casing 21, a valve body 22, and a single solenoid SO.
The casing 21 has a space in which the valve body 22 can move. In FIGS. 1 and 2, a liquid inlet / outlet port is provided at a portion connected to a later-described flow path indicated by a thick line and a thin line.
The valve body 22 includes a shaft 23 and lands 24a to 24f that are provided integrally with the shaft 23 and are arranged at a distance (six in the illustrated example). The valve body 22 is provided so as to be movable in the axial direction in the casing 21 and is provided on one end side (left end side in the illustrated example) of the valve body 22 in the axial direction. The coil spring 25 is always pressed to the solenoid SO side.
The arrangement of the lands 24a to 24f provided on the shaft 23 of the valve body 22 and the arrangement relation of the liquid inlet / outlet ports provided on the casing 21 can realize the liquid flow in the description of the control operation described later. It has been decided.
The solenoid SO is provided on the other end side in the axial direction of the valve body 22, and when the solenoid SO is turned on, the solenoid rod SOL extends to move the valve body 22 against the coil spring 25. (See FIG. 1). When the solenoid SO is turned off, the valve body 22 is pressed by the coil spring 25 so that the valve body 22 can be moved to the solenoid SO side (see FIG. 2).

流路L1〜L9,L20〜L27は液体の通路であって、流路L1〜L9は、ノズルフラッパ機構1及び切替機構20間に配設され、流路L20〜L27は、ノズルフラッパ機構1、スプール弁機構10及び切替機構20間に配設されている。   The flow paths L1 to L9 and L20 to L27 are liquid paths, and the flow paths L1 to L9 are disposed between the nozzle flapper mechanism 1 and the switching mechanism 20, and the flow paths L20 to L27 are the nozzle flapper mechanism 1 and the spool valve. It is disposed between the mechanism 10 and the switching mechanism 20.

ここで、本実施形態のサーボバルブSVにおいては、流路L23が第1接続流路Aと接続され、さらに流路L23の接続先が、切替機構20によって、スプール12の一端側と接続する流路L24とスプール12の他端側と接続する流路L27とで切替可能に構成されている。また、流路L20が第2接続流路Bと接続され、さらに流路L20の接続先が、切替機構20によって、スプール12の一端側と接続する流路L26とスプール12の他端側と接続する流路L21とで切替可能に構成されている。そして、第1接続流路Aと第2接続流路Bとは、切替機構20によって、必ずスプール12の異なる端部と接続される。   Here, in the servo valve SV of the present embodiment, the flow path L23 is connected to the first connection flow path A, and the connection destination of the flow path L23 is connected to one end side of the spool 12 by the switching mechanism 20. The path L24 and the flow path L27 connected to the other end side of the spool 12 are configured to be switchable. The flow path L20 is connected to the second connection flow path B, and the connection destination of the flow path L20 is connected to the flow path L26 connected to one end side of the spool 12 and the other end side of the spool 12 by the switching mechanism 20. The flow path L21 is configured to be switchable. The first connection flow path A and the second connection flow path B are always connected to different ends of the spool 12 by the switching mechanism 20.

また、本実施形態のサーボバルブSVにおいては、流路L1の接続先が、切替機構20によって、第1領域αと接続する流路L2と第2領域βと接続する流路L5とで切替可能に構成されている。
さらに、流路L9の接続先が、切替機構20によって、第1領域αと接続する流路L7と第2領域βと接続する流路L8との間で切替可能に構成されている。
In the servo valve SV of the present embodiment, the connection destination of the flow path L1 can be switched by the switching mechanism 20 between the flow path L2 connected to the first area α and the flow path L5 connected to the second area β. It is configured.
Further, the connection destination of the flow path L9 is configured to be switchable between the flow path L7 connected to the first region α and the flow path L8 connected to the second region β by the switching mechanism 20.

フィルタF1は、流路L3中に設けられていて、その流路L3中を流れる液体に含まれている不純物を捕捉できるように構成されている。また、フィルタF2は、流路L6中に設けられていて、その流路L6中を流れる液体に含まれている不純物を捕捉できるように構成されている。   The filter F1 is provided in the flow path L3, and is configured to capture impurities contained in the liquid flowing in the flow path L3. The filter F2 is provided in the flow path L6 and is configured to capture impurities contained in the liquid flowing in the flow path L6.

以下、上記構成からなるサーボバルブSVの動作について説明する。
先ず、当該サーボバルブSVに対して駆動液体となる航空機の燃料が供給される。ここで、流路L1に対して高圧の燃料(以下、高圧液体と称する)が供給され、流路L9に対しては低圧の燃料(以下、低圧液体と称する)が供給される。なお、例えば、高圧の燃料は航空機に搭載される燃料ポンプの下流側から供給され、低圧の燃料の燃料ポンプの上流側から供給される。
Hereinafter, the operation of the servo valve SV configured as described above will be described.
First, aircraft fuel serving as a driving liquid is supplied to the servo valve SV. Here, high pressure fuel (hereinafter referred to as high pressure liquid) is supplied to the flow path L1, and low pressure fuel (hereinafter referred to as low pressure liquid) is supplied to the flow path L9. For example, the high-pressure fuel is supplied from the downstream side of the fuel pump mounted on the aircraft, and is supplied from the upstream side of the fuel pump of low-pressure fuel.

今、ソレノイドSOがONされ、図1に示されるように、ソレノイドロッドSOlが伸張して弁体22をコイルバネ25に抗して左側に移動させているものとする。なお、図中、太線は液体が流れようとする方向を示している。
この場合、高圧液体は、流路L1、L2及びフィルタF1を介在しているL3を介して第1チャンバ6a内の第1領域αに導かれる。フィルタF1では、駆動液体中に含まれている不純物が捕捉され、不純物の第1チャンバ6aへの流入が阻止される。なお、この際、流路L5がランド24bで閉止されることによって高圧液体は、流路L5に流れ込まないようにされている。
また、低圧液体は、流路L9、L8及びL6を介して第2チャンバ6b内の第2領域βに導かれる。この際、流路L7がランド24cで閉止されることによって低圧液体は、流路L7に流れ込まないようにされている。
Now, it is assumed that the solenoid SO is turned on and the solenoid rod SOL is extended to move the valve element 22 to the left against the coil spring 25 as shown in FIG. In the figure, the bold line indicates the direction in which the liquid is about to flow.
In this case, the high-pressure liquid is guided to the first region α in the first chamber 6a through the flow paths L1, L2 and L3 with the filter F1 interposed. In the filter F1, impurities contained in the driving liquid are captured and the impurities are prevented from flowing into the first chamber 6a. At this time, the high-pressure liquid is prevented from flowing into the flow path L5 by closing the flow path L5 with the land 24b.
The low-pressure liquid is guided to the second region β in the second chamber 6b through the flow paths L9, L8, and L6. At this time, the flow path L7 is closed by the land 24c so that the low-pressure liquid does not flow into the flow path L7.

そして、ノズルフラッパ2は、上側ノズル3a及び下側ノズル4b側に接近し、上側ノズル3b及び下側ノズル4aから離れるように傾動されているものとする。すると、高圧流体が第2接続流路Bに流れ込み、結果として第2接続流路Bが高圧となり、第1接続流路Aが低圧となる。
なお、このノズルフラッパ2は、図示しないトルクモータのアーマチュア(電気子)に発生した回転トルクにより上述のように傾動しているものとする。なお、この傾動状態は、フィードバックスプリング5及びスプール弁機構10により一定状態に保たれる。
そして、上述のように第2接続流路Bが高圧となり、第1接続流路Aが低圧となると、燃料は、図1の太線の矢印で示すように、高圧側から低圧側に流れる。具体的には、燃料は、流路L1、流路L2、流路L3、流路L6、流路L8、流路L9の順に流れる。このとき、燃料中の不純物はF1,F2で処理されるか、流路L9から排出される。
The nozzle flapper 2 is tilted so as to approach the upper nozzle 3a and the lower nozzle 4b and away from the upper nozzle 3b and the lower nozzle 4a. Then, the high-pressure fluid flows into the second connection flow path B. As a result, the second connection flow path B becomes high pressure, and the first connection flow path A becomes low pressure.
The nozzle flapper 2 is tilted as described above by the rotational torque generated in the armature (electric element) of the torque motor (not shown). This tilting state is kept constant by the feedback spring 5 and the spool valve mechanism 10.
As described above, when the second connection flow path B becomes high pressure and the first connection flow path A becomes low pressure, the fuel flows from the high pressure side to the low pressure side as shown by the thick arrow in FIG. Specifically, the fuel flows in the order of the flow path L1, the flow path L2, the flow path L3, the flow path L6, the flow path L8, and the flow path L9. At this time, the impurities in the fuel are processed by F1 and F2 or discharged from the flow path L9.

なお、第2接続流路Bが高圧となり、第1接続流路Aが低圧となると、高圧流体が流路L20、流路L21、流路L22を介してランド13b側に流れ込み、ランド13bの端面側の背圧はランド13aの端面側よりも高くなり、スプール12に対してランド13b側からランド13a側方向に移動させる変位力が作用する(図1の矢印a参照)。
この変位力は、フィードバックスプリング5にアーマチュアの回転トルクと反対向きのトルクを発生させ、ノズルフラッパ2に引き戻し力を作用させて両ノズル3a,4bの背圧が等しくなり、その背圧が等しくなった位置でスプール12は停止される。この結果、トルクモータに入力された制御目標の入力電流に対応した弁開度を実現している。
When the second connection flow path B becomes high pressure and the first connection flow path A becomes low pressure, the high pressure fluid flows into the land 13b side through the flow paths L20, L21, and L22, and the end face of the land 13b. The back pressure on the side becomes higher than the end face side of the land 13a, and a displacement force that moves the spool 12 from the land 13b side to the land 13a side acts (see arrow a in FIG. 1).
This displacement force causes the feedback spring 5 to generate a torque in a direction opposite to the rotational torque of the armature, and exerts a pulling force on the nozzle flapper 2 so that the back pressures of both nozzles 3a and 4b become equal, and the back pressures become equal. The spool 12 is stopped at the position. As a result, the valve opening corresponding to the control target input current input to the torque motor is realized.

次に、図2に示されるように、ソレノイドSOがOFFされ、弁体22がコイルバネ25により押圧されて、弁体22をソレノイドSO側に移動したとする。
このソレノイドSOのON・OFFは、定期的に行なわれる。例えば、このサーボバルブSVが燃料ポンプから供給された燃料を多重系のFADECの指令に基づいてジェットエンジンに供給する場合には、その系の切換時に、すなわちCPUの切替時に行なうことができる。なお、ソレノイドSOのON・OFFは、フィルタF1又はフィルタF2に目詰まりが生じたことをフィルタ前後の液圧を計測して行なうようにしてもよい。
Next, as shown in FIG. 2, it is assumed that the solenoid SO is turned off, the valve body 22 is pressed by the coil spring 25, and the valve body 22 is moved to the solenoid SO side.
This solenoid SO is turned ON / OFF periodically. For example, when the servo valve SV supplies the fuel supplied from the fuel pump to the jet engine based on a multi-system FADEC command, it can be performed when the system is switched, that is, when the CPU is switched. The solenoid SO may be turned ON / OFF by measuring the hydraulic pressure before and after the filter to clog the filter F1 or the filter F2.

このソレノイドSOがOFFされた場合、高圧液体は、流路L1、L5及びフィルタF2を介在しているL6を介して第2チャンバ6b内の第2領域βに導かれる。フィルタF2では、駆動液体中に含まれている不純物が捕捉され、不純物の第2チャンバ6bへの流入が阻止される。なお、この際、流路L1がランド24aで閉止されることによって高圧液体は、流路L1に流れ込まないようにされている。
また、低圧液体は、流路L9、L7及びL1を介して第1チャンバ6a内の第1領域αに導かれる。この際、流路L8がランド24bによって閉止されることによって低圧液体は、流路L8に流れ込まないようにされている。
When the solenoid SO is turned off, the high-pressure liquid is guided to the second region β in the second chamber 6b through the flow paths L1, L5 and L6 through which the filter F2 is interposed. In the filter F2, impurities contained in the driving liquid are captured and the impurities are prevented from flowing into the second chamber 6b. At this time, the high-pressure liquid is prevented from flowing into the flow path L1 by closing the flow path L1 with the land 24a.
The low-pressure liquid is guided to the first region α in the first chamber 6a through the flow paths L9, L7, and L1. At this time, the flow path L8 is closed by the land 24b so that the low-pressure liquid does not flow into the flow path L8.

ここで、図1と同様に、ノズルフラッパ2は、上側ノズル3a及び下側ノズル4b側に接近し、上側ノズル3b及び下側ノズル4aから離れるように傾動されているものとする。すると、高圧流体が第1接続流路Aに流れ込み、結果として第1接続流路Aが高圧となり、第2接続流路Bが低圧となる。
そして、上述のように第1接続流路Aが高圧となり、第2接続流路Bが低圧となると、燃料は、図2の太線の矢印で示すように、高圧側から低圧側に流れる。具体的には、燃料は、流路L1、流路L5、流路L6、流路L3、流路L7、流路L9の順に流れる。
Here, as in FIG. 1, the nozzle flapper 2 is tilted so as to approach the upper nozzle 3a and the lower nozzle 4b and away from the upper nozzle 3b and the lower nozzle 4a. Then, the high-pressure fluid flows into the first connection flow path A, and as a result, the first connection flow path A becomes high pressure and the second connection flow path B becomes low pressure.
Then, as described above, when the first connection flow path A becomes high pressure and the second connection flow path B becomes low pressure, the fuel flows from the high pressure side to the low pressure side as shown by the thick arrow in FIG. Specifically, the fuel flows in the order of the flow path L1, the flow path L5, the flow path L6, the flow path L3, the flow path L7, and the flow path L9.

ただし、切替機構20によって、流路L24と流路27とが切り替えられ、流路L26と流路L21とが切り替えられることによって、高圧流体が流路L23、流路L27、流路L22を介してランド13b側に流れ込み、図1に示す状態と同様に、ランド13bの端面側の背圧はランド13aの端面側よりも高くなり、スプール12に対してランド13b側からランド13a側方向に移動させる変位力が作用する(図2の矢印a参照)。この結果、トルクモータに入力された制御目標の入力電流に対応した弁開度が実現される。   However, the switching mechanism 20 switches the flow path L24 and the flow path 27, and the flow path L26 and the flow path L21 are switched, so that the high-pressure fluid passes through the flow path L23, the flow path L27, and the flow path L22. As in the state shown in FIG. 1, the back pressure on the end surface side of the land 13b is higher than that on the end surface side of the land 13a, and the spool 12 is moved from the land 13b side to the land 13a side. A displacement force acts (see arrow a in FIG. 2). As a result, a valve opening degree corresponding to the control target input current input to the torque motor is realized.

本実施形態のサーボバルブSVによれば、切替機構20によって、上側ノズル3a,3bが臨む第1領域αの圧力の下側ノズル4a,4bが臨む第2領域βの圧力との高低関係を切り替えることにより、第1接続流路A及び第2接続流路Bにおける液体の流れを逆流させる。
このため、フィルタF1,F2やノズル3a,3b,4a,4bを自動的に洗浄することができ、フィルタやノズルの詰まりを解消あるいは抑止することができる。
According to the servo valve SV of the present embodiment, the switching mechanism 20 switches the level relationship between the pressure in the first region α facing the upper nozzles 3a and 3b and the pressure in the second region β facing the lower nozzles 4a and 4b. Thus, the liquid flow in the first connection flow path A and the second connection flow path B is reversed.
For this reason, the filters F1, F2 and the nozzles 3a, 3b, 4a, 4b can be automatically washed, and clogging of the filters and nozzles can be eliminated or suppressed.

また、本実施形態のサーボバルブSVでは、切替機構20によって、切替機構20は、第1領域αの圧力と第2領域βの圧力との高低関係に倣って、第1接続流路Aが接続されるスプール12の端部と第2接続流路Bが接続するスプール12の端部とを切り替えている。
このため、第1接続流路Aの圧力と第2接続流路Bの圧力との高低関係に関わらず、ノズルフラッパ2の傾動方向とスプール12の移動方向とを常に同一に合わせることができる。
したがって、流量調節の際の制御を変更することなく、フィルタやノズルの詰まりを解消あるいは抑止することができる。
In the servo valve SV of the present embodiment, the switching mechanism 20 causes the switching mechanism 20 to connect the first connection flow path A in accordance with the height relationship between the pressure in the first region α and the pressure in the second region β. The end portion of the spool 12 to be switched and the end portion of the spool 12 to which the second connection flow path B is connected are switched.
For this reason, the tilting direction of the nozzle flapper 2 and the moving direction of the spool 12 can always be matched to each other regardless of the height relationship between the pressure of the first connection channel A and the pressure of the second connection channel B.
Therefore, clogging of the filter and the nozzle can be eliminated or suppressed without changing the control at the time of adjusting the flow rate.

以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は、上記実施形態に限定されないことは言うまでもない。上述した実施形態において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。   As mentioned above, although preferred embodiment of this invention was described referring an accompanying drawing, it cannot be overemphasized that this invention is not limited to the said embodiment. Various shapes, combinations, and the like of the constituent members shown in the above-described embodiments are examples, and various modifications can be made based on design requirements and the like without departing from the gist of the present invention.

例えば、上記実施形態においては、切替機構20はスプール弁で構成したが、スプール弁の代わりに複数の電磁弁の組み合わせでも実施することができる。しかし、上述の例のように、スプール弁にすると、本発明の圧力切替機構と流路切替機構との機能を合わせもたせることができ低コストに実施することができる。
また、例えば、ポンプ等を用いて、第1接続流路Aと第2接続流路Bとにおける液体の流れを逆流させても良い。
また、流路L3,L6以外の流路にフィルタを追加しても良い。
For example, in the above embodiment, the switching mechanism 20 is constituted by a spool valve, but it can also be implemented by a combination of a plurality of electromagnetic valves instead of the spool valve. However, if the spool valve is used as in the above-described example, the functions of the pressure switching mechanism and the flow path switching mechanism of the present invention can be combined, and the cost can be reduced.
In addition, for example, the liquid flow in the first connection flow path A and the second connection flow path B may be reversed using a pump or the like.
Moreover, you may add a filter to flow paths other than flow path L3, L6.

SV……サーボバルブ、A……第1領域、B……第2領域、1……ノズルフラッパ機構、2……ノズルフラッパ、2a……回転軸、3a,3b……上側ノズル、4a,4b……下側ノズル、5……フィードバックスプリング、6a……第1チャンバ、6b……第2チャンバ、10……スプール弁機構、11……ケーシング、12……スプール、13a〜13d……ランド、20……切替機構(逆流手段,圧力切替機構,流路切替機構)、21……ケーシング、22……弁体、23……シャフト、24a〜24f……ランド、SO……ソレノイド、F1,F2……フィルタ   SV: Servo valve, A: First region, B: Second region, 1 ... Nozzle flapper mechanism, 2 ... Nozzle flapper, 2a ... Rotating shaft, 3a, 3b ... Upper nozzle, 4a, 4b ... Lower nozzle, 5 ... feedback spring, 6a ... first chamber, 6b ... second chamber, 10 ... spool valve mechanism, 11 ... casing, 12 ... spool, 13a-13d ... land, 20 ... ... Switching mechanism (back flow means, pressure switching mechanism, flow path switching mechanism), 21 ... casing, 22 ... valve body, 23 ... shaft, 24a-24f ... land, SO ... solenoid, F1, F2 ... filter

Claims (4)

スプールの両端に作用する背圧を調節して前記スプールを移動させることにより液体の流量を調節するサーボバルブであって、
トルクモータにより傾斜角度が調節されるノズルフラッパと、
前記ノズルフラッパの一方側の面に対して対向配置される第1ノズルを2つ有すると共に前記スプールのいずれか一方の端部に接続される第1流路と、
前記ノズルフラッパの他方側の面に対して対向配置される第2ノズルを2つ有すると共に前記第1流路と異なる前記スプールの端部に接続される第2流路と、
2つのうち一方の前記第1ノズル及び2つのうち一方の前記第2ノズルが配置される第1チャンバと、
前記第1チャンバに接続されて前記液体を供給あるいは排出する第1配管と、
前記第1配管の途中に設けられる第1フィルタと、
2つのうち他方の前記第1ノズル及び2つのうち他方の前記第2ノズルが配置される第2チャンバと、
前記第2チャンバに接続されて前記液体を供給あるいは排出する第2配管と、
前記第2配管の途中に設けられる第2フィルタと、
通常時に前記第1配管が前記第2配管よりも高圧となるように前記液体を供給することにより、前記第1配管、前記第1チャンバ、前記第1流路あるいは前記第2流路、前記第2チャンバ、前記第2配管の順に前記液体を流し、逆流時に前記第2配管が前記第1配管よりも高圧となるように前記液体を供給することで、前記第2配管、前記第2チャンバ、前記第1流路あるいは前記第2流路、前記第1チャンバ、前記第1配管の順に液体を流し、これによって前記第1流路及び前記第2流路における前記液体の流れを逆流させる逆流手段と、
を備えることを特徴とするサーボバルブ。
A servo valve that adjusts the flow rate of liquid by adjusting the back pressure acting on both ends of the spool and moving the spool;
A nozzle flapper whose inclination angle is adjusted by a torque motor;
A first flow path having two first nozzles arranged to face one surface of the nozzle flapper and connected to one end of the spool;
A second flow path having two second nozzles disposed opposite to the other surface of the nozzle flapper and connected to an end of the spool different from the first flow path;
A first chamber in which one of the two first nozzles and one of the two second nozzles are disposed;
A first pipe connected to the first chamber for supplying or discharging the liquid;
A first filter provided in the middle of the first pipe;
A second chamber in which the other of the two first nozzles and the other of the two second nozzles are disposed;
A second pipe connected to the second chamber for supplying or discharging the liquid;
A second filter provided in the middle of the second pipe;
By supplying the liquid so that the first pipe has a pressure higher than that of the second pipe during normal operation, the first pipe, the first chamber, the first flow path or the second flow path, The liquid is allowed to flow in the order of two chambers and the second pipe, and the liquid is supplied so that the second pipe has a higher pressure than the first pipe at the time of reverse flow, so that the second pipe, the second chamber, A reverse flow means for flowing a liquid in the order of the first flow path or the second flow path, the first chamber, and the first pipe, thereby reversely flowing the liquid in the first flow path and the second flow path. When,
A servo valve comprising:
前記逆流手段は、前記第1チャンバの内部である第1領域の圧力と前記第2チャンバの内部である第2領域の圧力との高低関係を切り替える圧力切替機構からなる
ことを特徴とする請求項1記載のサーボバルブ。
The backflow means includes a pressure switching mechanism that switches a level relationship between a pressure in a first region inside the first chamber and a pressure in a second region inside the second chamber. 1. The servo valve according to 1.
前記第1領域の圧力と前記第2領域の圧力との高低関係に倣って、前記第1流路が接続される前記スプールの端部と前記第2流路が接続する前記スプールの端部とを切り替える流路切替機構を備えることを特徴とする請求項2記載のサーボバルブ。   Following the height relationship between the pressure in the first region and the pressure in the second region, the end of the spool to which the first flow path is connected and the end of the spool to which the second flow path is connected The servo valve according to claim 2, further comprising a flow path switching mechanism that switches between the two. 前記圧力切替機構及び前記流路切替機構は、単一のソレノイドで駆動されることを特徴とする請求項3記載のサーボバルブ。   4. The servo valve according to claim 3, wherein the pressure switching mechanism and the flow path switching mechanism are driven by a single solenoid.
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JP4366671B2 (en) * 1999-06-25 2009-11-18 株式会社Ihi Nozzle flapper type servo valve
JP4734790B2 (en) * 2001-07-09 2011-07-27 株式会社Ihi Servo valve nozzle flapper mechanism
JP5303303B2 (en) * 2009-02-13 2013-10-02 アズビル株式会社 Flow path switch and positioner

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