JP5675766B2 - 石英ガラスの円筒形部品を製造するための引き抜き方法 - Google Patents

Description

本発明は、柔らかい石英ガラス塊の成形ゾーンから石英ガラスストランドが引き抜き軸の方向に引き抜かれ、ある切断長の分割片が石英ガラスストランドから分割され、分割片から円筒形部品が製造される、石英ガラスの円筒形部品を製造するための引き抜き方法に関する。

ガラス管またはガラス棒を、るつぼまたは母材から連続的に引き抜く際に、ガラスストランドを所定の長さの分割片に切断しなければならないという問題が生じる。このため、通常は長さ方向に移動しているガラスストランドの外面に、例えば擦過または切り傷をつける等の創傷により最初に所定の切断点が形成され、その後でガラスストランドが所定の切断点で切断される。ガラスストランドは通常、例えば衝撃により、所定の切断点の領域に対してパルス状に作用する力により切断される。

欧州特許第０３９４６４０Ｂ１ 特開２００４−１３７０９５Ａ１

分割動作中の機械的パルスにより、石英ガラスストランド形状に欠陥または乱れ、特に直径変動が生じる恐れがある。

管が外側から加えられた圧力とは異なる内圧で引き抜かれる場合、更なる問題が生じる。管状ストランドの長さが短くなれば、流れ抵抗の変化に起因する内圧の突然の変化につながり、これにより、引き抜かれた管状ストランドの直径および壁厚に変動が生じる恐れがある。

少なくとも、変動する流れ抵抗により生じる形状の変動を少なくするために、特許文献１（欧州特許第０３９４６４０Ｂ１）では、内圧と同程度の圧力を有する水面下または圧力室内で、管状ストランドを分割すべきであることを示唆している。しかしこの手順は構造的に複雑である上、機械的分割パルスにより生じる石英ガラスストランド形状の乱れには影響を及ぼさない。

直径変動は、特に部品の寸法安定性に対する要求が高い用途では、屑を生じる恐れがある。

材料の屑を減らす方法が特許文献２（特開２００４−１３７０９５Ａ１）に記載されている。光学母材を作成するために、ガラス被覆管およびその内部へ挿入されたガラス棒からなるアセンブリが、伸長されて母材を成形する、いわゆる「ロッドインチューブ技術」が用いられる。伸長工程の際、引き抜かれる母材ストランドの視覚的に認識可能な欠陥が検出され、欠陥箇所で母材ストランドを分割すべきであることが示唆されている。これにより、欠陥箇所をより問題の少ない母材の両端部の方へ動かすことが可能である。

しかしこの方法は、欠陥を検出して分割箇所まで追跡するためのいくらかの労力を要する。この方法では、異なる長さの母材片が生じ、これらは後続する工程、例えばファイバー引き抜き時の被覆において、複雑な個別調整を必要とする。

本発明の目的は、石英ガラス部品を製造するための単純な引き抜き方法を提供することであって、形状の乱れ、特に材料の直径変動および屑を減らすものである。

上述の種類の引き抜き方法から出発して、この目的は本発明により実現される。本発明において、石英ガラスストランドは、成形ゾーンからある距離だけ離れた位置で分割される。その距離は、分割により石英ガラスストランドに生じる形状乱れを、後続する分割の際、製造される部品の端の領域に置くか、または隣接する２つの部品間に位置させる。

石英ガラスストランドが切断される際、オペレータは通常、材料の屑を最小限に押さえるようにしながら、切断されたストランド部分の長さが最小限の寸法を有し、且つ好適には切断長に極力正確に一致することに注意を払う。成形ゾーンから分割箇所までの石英ガラスストランドの残った部分の長さはここでは何らの役割を果たさない。従ってこの点において、分割された分割片が所望の寸法を有する限り、オペレータは従来、残っている石英ガラスストランドを自由に、例えば成形ゾーンに近い位置で若干早めに、あるいは成形ゾーンから離れた位置で若干遅めに切断することができた。同じ理由により、温度に依存して変動し得る成形ゾーンの正確な位置は従来、分割工程にとってさほど重要ではなかった。

本発明の方法では対照的に、可能な欠陥、直径変動または他の乱れの検出とは独立して、石英ガラスストランドを常に成形ゾーンから所定の距離で切断することを意図している。このため、他の方法でもそうであるように、分割箇所は、石英ガラスストランドの分割された分割片の所望の長さだけでなく、残った石英ガラスストランドの残りの長さに依存する。従って、本発明の引き抜き方法による分割の際、切断されたストランド長および残った部分の長さの両方に注意を払うべきである。

この手順は石英ガラスストランドが切断される際の石英ガラスストランド形状の乱れ、特に直径変動を回避することは意図していないが、石英ガラスストランドのそれらの領域に生じ得る乱れを、製造される円筒形石英ガラス部品の終端領域に一致する領域か、または隣接する部品の間に配置することに適している。

これは、分割中に機械的衝撃により生じた直径変動（または石英ガラスストランド形状におけるその他の乱れ）は、軟化した石英ガラス塊の領域でしか生じないこと、これらの直径変動は成形ゾーンが残された後ではもはや除去できないこと、および更なる引き抜き工程の間に分割箇所に向かって移動することにより説明することができる。機械的衝撃は、機械的分割パルスまたは流れ抵抗の突然の変化のいずれかに起因する。分割を行なう間、分割箇所と直径変動が発生する領域の距離が考慮されているため、後で石英ガラスストランドが切断される際に、これにより成形ゾーンに生じる直径変動が分割箇所に位置していることを保障できる。これは、以前に生じた直径変動が、分割された分割片の終端領域、および／または残留ストランドの終端に、従って他の分割片の終端領域に位置することを意味する。

ここでは分割箇所の「成形ゾーン」からの距離が決定的である。これは、分割工程の間における石英ガラスストランドに対する衝撃に起因する最大塑性変形を受ける領域、すなわち石英ガラスストランド形状における乱れ、特に直径変動の発生領域である。前記発生領域と分割箇所の距離は、分割中に生じる直径変動が、最終的に伸長した石英ガラスストランドにおいて分割された分割片の終端領域、または切断屑が分割片間に位置する軟化した石英ガラス塊の領域において生じるように、設定されなければならない。

本発明の方法を実行するために成形ゾーンの絶対位置を知る必要はない。成形ゾーンと相対的な分割箇所の最適位置は、最も簡単な場合、経験的に決定される。ここでは反復的な手順が推奨され、その場合最初に分割箇所を、切断長の１倍または数倍の距離だけ成形ゾーンから離して設定する。石英ガラスストランドの分割中にこのように規定された位置で生じる干渉パルスは、直径変動を生じる。直径変動は、後で石英ガラスストランドの分割中に、同一分割箇所、通常は分割された分割片に位置する。分割箇所は次いで、直径変動が正確に分割箇所に位置するように、対応する経路に沿って移される。経験的局所化（いかなる場合も好適である）の代わりに、単純な経路測定でも第１近似において十分な場合がある。例えば、るつぼ引き抜き法では、軟化した石英ガラス塊の引き抜きノズルからの出口の位置を、直径変動の発生領域として仮定することができ、伸長方法では引き抜きバルブの下部領域をそのように仮定することができる。引き抜きバルブ終端が小さいほど、その石英ガラス塊が引き抜きバルブの厚い先頭より小さいことに起因して機械的パルスに反応し易いため、石英ガラスストランドの直径が終端の直径より依然として２０％大きい値に達した位置が成形ゾーン（＝直径変動の発生領域）として規定される。

石英ガラスストランドに以前に形成された所定の切断点は、分割箇所とは独立している。石英ガラスストランドの所定の切断点は、所定の切断点がまだ分割箇所から離れていても、任意の時点で形成することができる。石英ガラスストランドは、所定の切断点が分割箇所に到達した後でしか分割できないことが特に重要である。

これにより、石英ガラスストランド形状の乱れを検出する複雑な測定技術を必要とせずに、石英ガラスストランドの分割によりもたらされた石英ガラスストランド形状の乱れ、特に直径変動を、製造される石英ガラス部品の終端領域または石英ガラス部品の外側領域に移すことが可能である。

石英ガラスストランドから分割された切断長は、余裕分の有無にかかわらず、製造される石英ガラス部品の所望の長さに、または（余裕分の有無にかかわらず）部品長の整数倍に一致する。余裕分は通例、終端面を修正するため、または分割中に生じた縁部のひび割れを排除するために必要である。

石英ガラスストランドは、切断長に基づいて決定された距離だけ成形ゾーンから離れた分割箇所で分割されることが好ましい。具体的には、石英ガラスストランドは、成形ゾーンと分割箇所の間の石英ガラス塊から得られた石英ガラスストランドが、切断長の１倍または数倍に一致する長さを有するように選択された距離だけ、成形ゾーンから離れた分割箇所で分割される。

直径変動は、軟化した石英ガラス塊の領域内での塑性変形により生じる。分割箇所と成形ゾーン（＝最大塑性変形の発生領域）の距離は、そこから引き抜かれる石英ガラスストランドの長さが、切断長または切断長の整数倍に一致するように設定される。これにより、石英ガラスストランドの分割中に生じた直径変動が、後の分割工程で、分割片の上端および／または残ったガラスストランドの下端のいずれかに位置することが保証される。

成形ゾーンから生じたストランド長が、成形ゾーンの対応する長さより大きいことに注意しなければならない。従って、分割ゾーンと成形ゾーンの距離は通常、切断長（またはその整数倍）に一致しない。この分割工程において、成形ゾーンから分割箇所までの距離「Ａ」が、この距離内にある石英ガラス塊が、切断長「Ｌ」の整数倍「ｎ」の長さの石英ガラスストランドを産み出すように選択されることが重要である。製造される部品の意図された用途に応じて、切断長からの＋／−１０％の偏差は許容できる。すなわち
Ａ＝ｎ×Ｌ±０．１×Ｌ
である。

本発明による方法は、石英ガラス円筒が加熱ゾーンに連続的に供給され、ゾーン毎に内部で軟化され、石英ガラスストランドが、引き抜きバルブを形成しながら引き抜かれて成形ゾーンが作られる場合に、特に有利な効果を有する。

ここで石英ガラス円筒は、石英ガラスストランドに伸長されたものから始まる。そのような引き抜き方法において、例えば石英ガラスストランドが切断される際の機械的干渉パルスに、特に高感度で反応する引き抜きバルブが成形される。

本発明による方法において、形状の変動は通常、製造される石英ガラス部品の終端領域に移されるため、本方法は管状部品および固体円筒の両方に適している。しかし、管状石英ガラスストランドが成形ゾーンから引き抜かれる際に、管状石英ガラスストランド内で圧力が生じて維持されている場合に特に有利なことがわかっている。

本方法のこの変形例において、外部から加えられた圧力と比較して減少または増大した圧力が管状石英ガラスストランド内で維持されている。ここでは通例、より高い内圧が管状ストランドの内孔のガス流れにより生じている。管状ストランドの分割を行なう間に流れ抵抗が突然変化して、軟化領域における直径変動に至る場合がある。特に本方法のこの変形例において、引き抜かれた管状ストランドの顕著な塑性変形が生じる場合があり、従ってこれらを製造される石英ガラス部品の終端に位置する領域に最終的に移すことが極めて重要である。これは本発明に従い、分割箇所が常に、名目切断長の整数倍に一致する長さの石英ガラスストランドを生じる距離だけ成形ゾーンから離れていることにより実現される。

本発明による方法は、管状石英ガラスストランドが気体、液体、プラズマ状、または固体の流れ障害物により少なくとも部分的に閉じた下端を含む場合の、引き抜き方法に特に有用であることがわかっている。

管状ストランドの下端を閉じることで不純物の侵入が減少して、所望の内圧を維持する気体の節約を助け、気体流により起こり得る冷却動作を減衰させる。しかし、管状ストランドが分割される際に流れ抵抗が大幅に変化し、相応に大きな直径または壁厚の変動に至る。本発明による方法の支援を得て、これらを不都合が無いかまたは少ない、分割された管状ストランド分割片の領域に移すことができる。

軟化された領域内の薄壁は、機械的パルスに特に高感度で反応する。従って本発明の方法は、薄い壁を有する石英ガラス管が引き抜かれる場合に、特に有利性を発揮する。管状石英ガラスストランドが０．１ｍｍ〜６ｍｍの範囲の壁厚で引き抜かれる本方法の変形例が従って好適である。

分割箇所は、成形ゾーンと分割箇所の間で石英ガラス塊から得られる石英ガラスストランドが切断長の３〜１０倍の距離だけ成形ゾーンから離れている場合に有用であることがわかっている。

分割された分割片は、残ったストランドと比較すると小さく保たれる。これにより分割を行なう間の圧力変動を最小限に抑えることができる。

石英ガラスストランドは通常、所定の切断点が予め石英ガラスストランドに生じるように分割される。本方法の好適な変形例において、石英ガラスストランドの分割は、石英ガラスストランドが、第１の時点で所定の切断点を与えられ、第２の時点で所定の切断点の領域に作用する力により分割箇所で分割される方法ステップを含むことを意図している。

好適には、切断長が所定の分割片長の整数倍であって、ここで所定の切断点が、所定の分割片長またはその倍数に一致する距離だけ分割箇所から離れた所定の切断点形成位置で形成される。

所定の分割片長は、余裕分の有無にかかわらず所望の部品長と一致する。また、所定の切断点が形成される際に、比較的小さい力が石英ガラスストランドに作用して形状の乱れに至る場合がある。上述の手順において、これらの乱れは石英ガラスストランドの切断された分割片間またはその終端のいずれかを通る、あるいは部品が製造される分割片の終端領域内へ入る。

代替的に、所定の切断点形成位置における所定の切断点の形成と、石英ガラスストランドの分割がほぼ同時に実行されれば有利である。

各々生じた乱れが互いに重なり合って石英ガラスストランドの結合領域に生じるように、切断点の形成と分割工程の間はできるだけ短い期間、例えば０．５〜５秒である。

本方法の好適な変形例においては、石英ガラスストランド形状の乱れが連続的に検出され、且つ検出された乱れに応じて分割箇所を設定することを意図している。

工程パラメータの変化、特に温度の変動が引き抜き工程の途中で生じる場合がある。これにより工程の途中で成形ゾーンの形状または位置が変化して、分割箇所の位置に影響を及ぼす場合がある。本方法のこの変形例においては、分割箇所を連続して適合化および最適化することが可能である。

石英ガラスストランドの全長にわたる乱れの検出を用いた最適な分割箇所の自動設定も可能である。引き抜かれたストランドの直径プロファイルがここで検出されて、所定の切断長に基づいて、かつ直径変動の最大値間で決定された距離に基づいて、分割箇所がコンピュータ制御により設定される。

本発明について実施形態はおよび図面を参照しながら以下に詳述する。

本発明による方法を実行する装置を示す。 本発明による２個の変形例における管状ストランドの断面の直径の典型的な拡大、および管断面にわたる分布を描いた図を示す。 従来技術による管状ストランドの断面の直径の典型的な伸長および管断面にわたる分布を描いた図を示す。

図１（Fig. 1）による装置は、垂直方向の加熱管１を有する抵抗ヒータを示す。加熱管１は、内径が１９３ｍｍ、外径が２１５ｍｍである環状グラファイトコイルからなり、長さ１００ｍｍにわたり加熱ゾーン３を囲んでいる。

石英ガラスの中空円筒４が加熱管１に供給されて、中空円筒は引き抜き軸２にできるだけ平行に置かれた長手軸１２を有する。中空円筒４の上端は、水平方向（ｘｙ）にずらすことができ、垂直方向に上下に移動可能で、引き抜き軸２の回りに回転可能な保持手段７に接続されている。

中空円筒４は加熱ゾーン３内で軟化され、軟化された領域から管状ストランド１０が引き抜きバルブ９を形成しながら垂直下向きに引き抜かれる。管状ストランド１０の円筒ジャケット上で、互いに同じ高さ面で対向する２個の引き抜きロールを含むロール引張り手段８が、引き抜き手段として機能する。

引き抜きバルブ９の下側に、引き抜き工程の間に引き抜かれた管状ストランド１０の直径プロファイルを記録して、コンピュータにより解析できる直径測定器５が配置されている。

石英ガラス管を製造する本発明による引き抜き方法の一実施形態について図１（Fig. 1）を参照しながら以下に更に詳細に説明する。

垂直方向の加熱管１の内部で、外径が１４５ｍｍで内径が６０ｍｍの石英ガラスの中空円筒４は、その長手軸１２が加熱管１の中央軸に沿って延びるように調整される。加熱管１の中央軸は同時に引き抜き軸２となる。

石英ガラスの中空円筒４はその後一定の送り速度で加熱管１内へ降ろされて、２１００°Ｃを超える温度まで加熱され、石英ガラス管１０は、所望の外径４０ｍｍおよび所望の壁厚２ｍｍになるまで、形成途上の引き抜きバルブ９から制御された引き抜き速度で引き抜かれる。管状ストランド１０の内側の穴において外圧より高い圧力が維持される。

図２（Fig. 2）を参照しながら以下に更に詳述するように、引き抜かれた管状ストランド１０の直径プロファイルが直径測定器５により連続的に生成される。これにより得られた測定値を用いて、管状ストランド１０の引き抜き速度を制御する。

余裕分を含む名目部品長は０．７５ｍである。引き抜かれた管状ストランド１０は各々１．５ｍの分割片に切断され、そこから０．７５ｍの長さＬを有する２本の管が毎回得られる。それらから最終的な寸法が０．７０ｍである管状石英ガラス部品が製造される。従って、切断長Ｓは１．５ｍであって、分割された分割片の両端に５ｃｍの余裕分が設けられている。ここで、管状ストランド１０を分割する分割面Ｔが、引き抜きバルブ９から距離Ａだけ離れていることが本質的である。距離Ａは、その距離内に存在する石英ガラス塊が、切断長Ｓ（＝１．５ｍ）の整数倍に一致するストランド長を生じるように設定される。本実施形態において、距離Ａは名目切断長Ｓの３倍より僅かに短いが、これは次の事実による。引き抜きバルブ９の平面Ｅと、石英ガラスストランドが所望の外径に達した領域（太い矢印Ｌ_０で表す）との間の長手方向の分割片が、石英ガラス塊から伸長した後で、長手方向分割片Ｌ_０の最後に得られる所望の部品長Ｌより、僅かに短い。

第１の近似において、分割面Ｔと引き抜きバルブ９の高さ位置Ｅとの間の経路は、分割面Ｔと引き抜きバルブとの間の距離Ａとして定義できる。引き抜きバルブ９の高さ位置Ｅは、引き抜かれた管状ストランド１０の直径が、その名目直径の約１．２倍に一致する位置である。従って本実施形態においては外径が約４８ｍｍである。ここでは高さ位置を成形ゾーンに割り当てる。成形ゾーンでは、管状ストランド１０が分割面Ｔにおいて切断された際に、最大塑性変形が生じる。

簡潔のため、以下の説明においてＬ_０とＬの差を考慮せず、かつ第１の近似において、分割面Ｔと成形ゾーン９の間の距離が切断長Ｓの３倍に等しいものとする。

分割に先立って、石英ガラスストランドに所定の切断点が、すなわち分割箇所Ｔから７５ｃｍ離れた切断点形成位置Ｂにおいて形成される。

図２（Fig. 2）に、長さが約４．５ｍおよび名目直径が４０ｍｍの管状ストランド１０の分割片の断面の直径Ｄ（ｍｍ単位）の、典型的な伸長状態を示す。管状ストランド長に比例する外径の測定点の個数Ｎをｘ軸にプロットしている。

直径曲線は、管状ストランド分割片にわたりほぼ均一に分布する多数の最小値および最大値を有する。特に顕著な最小値Ｍ１、Ｍ２およびＭ３は、約１．５ｍの間隔で周期的に生じる。直径偏差は実質的に、切断工程および直径制御の調整動作に起因する。

分割された管部分の２個の行Ｒ１、Ｒ２を直径曲線の下に模式的にプロットしている。上側行Ｒ１は管部分２１、２２を示し、上述の例に従い切断長Ｓは１．５ｍである。切断Ｔ１、Ｔ２、Ｔ３は、管状ストランドのそれらの長手方向分割片に相対的に中央部へ伸びている。各々の長手方向分割片には、余裕分２３が割り当てられるべきである。直径曲線の最小値Ｍ１、Ｍ２およびＭ３は、実質的に各々の余裕分領域２３内に位置していることがわかる。管部分２１、２２は次いで、中央部（中央部Ｍ）で分割される。

下側行Ｒ２は管部分２４、２５を示し、余裕分を考慮しない切断長Ｓは１．５ｍである。この場合、直径曲線の最小値Ｍ１、Ｍ３およびＭ３が、一般に支障の少ない、管部分２４、２５の終端領域に実質的に位置することがわかる。

対照的に、従来技術による方法の図３（Fig. 3）の直径輪郭が、図２（Fig. 2）の輪郭と同様の直径の類似した変動、および、特に類似した直径の最小値Ｍ４、Ｍ５、Ｍ６を示すことは事実であるが、最小値の周期性はより明瞭でなく、これは主に分割面の高さ位置が変更されたことによるものと言える。

これは、管状ストランド部分Ｒ３について模式的に示すように、管部分２６、２７が切断される効果をもたらす場合がある。この場合、直径変動の対応する最小値Ｍ４、Ｍ５、Ｍ６が統計的に分布する。且つこれらもまた往々にして、例えば最小値Ｍ４およびＭ５で明らかにわかるように、中央領域に位置する。

もし、分割面Ｔが、前記場所に存在する石英ガラス塊が、切断長Ｓ（ここでも１．５ｍ）の整数倍に一致しない長さの石英ガラスストランドを生成しない距離だけ成形ゾーン９から離れている場合には、静止分割ゾーンの場合であっても同じ問題が生じる。

Claims (10)

1. 石英ガラスの円筒形部品を製造するための引き抜き方法であって、石英ガラスストランド（１０）を石英ガラス塊の成形ゾーン（９）から引き抜き軸（１２）の方向に引き抜いて、切断長（Ｓ）を有する分割片を前記石英ガラスストランド（１０）から分割して、前記分割片から前記円筒形部品を製造し、前記石英ガラスストランド（１０）が、前記分割により生じた前記石英ガラスストランド形状の乱れが、後続する分割ステップにおいて製造される部品の終端領域、または、２個の隣接する部品間に位置するように、前記成形ゾーン（９）と分割箇所（Ｔ）の間で、前記切断長（Ｓ）に基づいて決定される、前記切断長（Ｓ）の１倍または数倍の長さを有するように選択された距離（Ａ）だけ、前記成形ゾーン（９）から離れた前記分割箇所（Ｔ）で分割されることを特徴とする引き抜き方法。
2. 前記成形ゾーン（９）が、石英ガラス円筒（４）が加熱ゾーン（３）に連続的に供給され、内部でゾーン毎に軟化されて、前記石英ガラスストランド（１０）の引き抜きバルブを形成しながら引き抜かれることを特徴とする、請求項１に記載の引き抜き方法。
3. 前記管状石英ガラスストランド（１０）が前記成形ゾーン（９）から引き抜かれる際に、前記管状石英ガラスストランド（１０）内で圧力が生じて維持されていることを特徴とする、請求項１または２に記載の引き抜き方法。
4. 前記管状石英ガラスストランド（１０）が、気体、液体、プラズマ状、または固体の流れ障害物により、少なくとも部分的に閉じた下端を含むことを特徴とする、請求項３に記載の引き抜き方法。
5. 管状石英ガラスストランド（１０）が、０．１ｍｍ〜６ｍｍの範囲の壁厚で引き抜かれることを特徴とする、請求項３または４に記載の引き抜き方法。
6. 前記分割箇所（Ｔ）が、前記成形ゾーン（９）と前記分割箇所（Ｔ）の間で、前記石英ガラス塊から得られる前記石英ガラスストランドが前記切断長（Ｓ）の３〜１０倍の長さを有する前記距離（Ａ）だけ、前記成形ゾーン（９）から離れていることを特徴とする、請求項１〜５のいずれか１項に記載の引き抜き方法。
7. 前記石英ガラスストランド（１０）の分割は、前記石英ガラスストランド（１０）が、第１の時点で所定の切断点を与えられ、第２の時点で前記所定の切断点の領域に作用する力により、前記分割箇所（Ｔ）で分割される方法ステップを含むことを特徴とする、請求項１〜６のいずれか１項に記載の引き抜き方法。
8. 前記切断長（Ｓ）が所定の分割片長の整数倍であって、前記所定の切断点が、前記所定の分割片長（Ｌ）またはその整数倍に一致する距離だけ前記分割箇所から離れた所定の切断点形成位置（Ｂ）で形成されることを特徴とする、請求項７に記載の引き抜き方法。
9. 前記所定の切断点形成位置における前記所定の切断点を形成するステップと、前記石英ガラスストランドを分割するステップがほぼ同時に実行されることを特徴とする、請求項７に記載の引き抜き方法。
10. 前記石英ガラスストランド形状の乱れが連続的に検出され、且つ前記検出された乱れに応じて前記分割箇所（Ｔ）を設定することを特徴とする、請求項１〜９のいずれか１項に記載の引き抜き方法。
    

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