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JP5697272B2 - Magnetic head for perpendicular magnetic recording with main pole and shield - Google Patents
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JP5697272B2 - Magnetic head for perpendicular magnetic recording with main pole and shield - Google Patents

Magnetic head for perpendicular magnetic recording with main pole and shield Download PDF

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Description

本発明は、垂直磁気記録方式によって記録媒体に情報を記録するために用いられる垂直磁気記録用磁気ヘッドに関し、特に、主磁極とシールドを備えた垂直磁気記録用磁気ヘッドに関する。   The present invention relates to a magnetic head for perpendicular magnetic recording used for recording information on a recording medium by a perpendicular magnetic recording system, and more particularly to a magnetic head for perpendicular magnetic recording provided with a main magnetic pole and a shield.

磁気記録再生装置における記録方式には、信号磁化の向きを記録媒体の面内方向(長手方向)とする長手磁気記録方式と、信号磁化の向きを記録媒体の面に対して垂直な方向とする垂直磁気記録方式とがある。垂直磁気記録方式は、長手磁気記録方式に比べて、記録媒体の熱揺らぎの影響を受けにくく、高い線記録密度を実現することが可能であると言われている。   The recording method in the magnetic recording / reproducing apparatus includes a longitudinal magnetic recording method in which the direction of signal magnetization is the in-plane direction (longitudinal direction) of the recording medium, and a direction of signal magnetization in a direction perpendicular to the surface of the recording medium. There is a perpendicular magnetic recording system. It is said that the perpendicular magnetic recording system is less susceptible to thermal fluctuations of the recording medium than the longitudinal magnetic recording system and can achieve a high linear recording density.

一般的に、垂直磁気記録用の磁気ヘッドとしては、長手磁気記録用の磁気ヘッドと同様に、読み出し用の磁気抵抗効果素子(以下、MR(Magnetoresistive)素子とも記す。)を有する再生ヘッド部と、書き込み用の誘導型電磁変換素子を有する記録ヘッド部とを、基板の上面上に積層した構造のものが用いられる。記録ヘッド部は、記録媒体の面に対して垂直な方向の記録磁界を発生する主磁極を備えている。主磁極は、例えば、一端部が記録媒体に対向する媒体対向面に配置されたトラック幅規定部と、このトラック幅規定部の他端部に連結され、トラック幅規定部よりも大きな幅を有する幅広部とを有している。トラック幅規定部は、ほぼ一定の幅を有している。垂直磁気記録方式の記録ヘッド部には、高記録密度化のために、トラック幅の縮小と、記録特性、例えば重ね書きの性能を表わすオーバーライト特性の向上が求められる。   In general, as a magnetic head for perpendicular magnetic recording, like a longitudinal magnetic recording magnetic head, a reproducing head portion having a read magnetoresistive element (hereinafter also referred to as MR (Magnetoresistive) element) and A recording head having a writing inductive electromagnetic transducer for writing is laminated on the upper surface of the substrate. The recording head unit includes a main magnetic pole that generates a recording magnetic field in a direction perpendicular to the surface of the recording medium. The main pole is connected to, for example, a track width defining portion disposed on the medium facing surface facing one end of the recording medium, and the other end of the track width defining portion, and has a larger width than the track width defining portion. And a wide portion. The track width defining portion has a substantially constant width. A perpendicular magnetic recording type recording head portion is required to reduce the track width and improve the recording characteristics, for example, the overwriting characteristics representing overwriting performance, in order to increase the recording density.

ところで、ハードディスク装置等の磁気ディスク装置に用いられる磁気ヘッドは、一般的に、スライダに設けられる。スライダは、上記媒体対向面を有している。この媒体対向面は、空気流入端(リーディング端)と空気流出端(トレーリング端)とを有している。そして、空気流入端から媒体対向面と記録媒体との間に流入する空気流によって、スライダは記録媒体の表面からわずかに浮上するようになっている。   Incidentally, a magnetic head used in a magnetic disk device such as a hard disk device is generally provided on a slider. The slider has the medium facing surface. The medium facing surface has an air inflow end (leading end) and an air outflow end (trailing end). Then, the slider slightly floats from the surface of the recording medium by the air flow flowing between the medium facing surface and the recording medium from the air inflow end.

ここで、基準の位置に対して、よりリーディング端に近い位置をリーディング側と定義し、基準の位置に対して、よりトレーリング端に近い位置をトレーリング側と定義する。リーディング側は、スライダに対する記録媒体の進行方向の後側である。トレーリング側は、スライダに対する記録媒体の進行方向の前側である。   Here, the position closer to the leading end with respect to the reference position is defined as the leading side, and the position closer to the trailing end with respect to the reference position is defined as the trailing side. The leading side is the rear side in the traveling direction of the recording medium with respect to the slider. The trailing side is the front side in the traveling direction of the recording medium with respect to the slider.

スライダにおいて、一般的に、磁気ヘッドは媒体対向面におけるトレーリング端近傍に配置される。磁気ディスク装置において、磁気ヘッドの位置決めは、例えばロータリーアクチュエータによって行なわれる。この場合、磁気ヘッドは、ロータリーアクチュエータの回転中心を中心とした円軌道に沿って記録媒体上を移動する。このような磁気ディスク装置では、磁気ヘッドのトラック横断方向の位置に応じて、スキューと呼ばれる、円形のトラックの接線に対する磁気ヘッドの傾きが生じる。   In the slider, the magnetic head is generally disposed in the vicinity of the trailing end on the medium facing surface. In the magnetic disk device, the magnetic head is positioned by, for example, a rotary actuator. In this case, the magnetic head moves on the recording medium along a circular orbit centered on the rotation center of the rotary actuator. In such a magnetic disk device, the inclination of the magnetic head with respect to the tangent of the circular track, called skew, occurs according to the position of the magnetic head in the track crossing direction.

特に、長手磁気記録方式に比べて記録媒体への書き込み能力が高い垂直磁気記録方式の磁気ディスク装置では、上述のスキューが生じると、あるトラックへの信号の記録時に、記録対象のトラックに隣接する1以上のトラックに記録された信号が消去されたり減衰したりする現象(以下、隣接トラック消去と言う。)が生じる場合がある。高記録密度化のためには、隣接トラック消去の発生を抑制する必要がある。   In particular, in the perpendicular magnetic recording type magnetic disk apparatus having a higher writing ability to the recording medium than the longitudinal magnetic recording method, when the above-mentioned skew occurs, it is adjacent to the track to be recorded when recording a signal to a certain track. There may be a phenomenon that a signal recorded on one or more tracks is erased or attenuated (hereinafter referred to as adjacent track erasure). In order to increase the recording density, it is necessary to suppress the occurrence of adjacent track erasure.

上述のようなスキューに起因した隣接トラック消去の発生を抑制すると共に記録密度を向上させる技術としては、主磁極の近傍に記録シールドを設ける技術が有効である。例えば、特許文献1,2には、媒体対向面において主磁極の端面の周りを囲むように配置された端面を有する記録シールドを備えた磁気ヘッドが開示されている。   As a technique for suppressing the occurrence of adjacent track erasure due to the skew as described above and improving the recording density, a technique of providing a recording shield in the vicinity of the main magnetic pole is effective. For example, Patent Documents 1 and 2 disclose a magnetic head including a recording shield having an end face arranged so as to surround the end face of the main pole on the medium facing surface.

一般的に、記録シールドを備えた磁気ヘッドでは、主磁極のうちの媒体対向面から離れた部分と記録シールドとを接続する1つ以上の帰磁路部が設けられる。1つ以上の帰磁路部は、主磁極との間に1つ以上の空間を形成する。そして、この1つ以上の空間を通過するようにコイルが設けられる。記録シールドと1つ以上の帰磁路部は、主磁極の端面より発生されて記録媒体の面に垂直な方向以外の方向に広がる磁束を取り込んで、この磁束が記録媒体に達することを阻止する機能を有している。また、記録シールドと1つ以上の帰磁路部は、主磁極の端面より発生されて、記録媒体を磁化した磁束を、主磁極に還流させる機能も有している。記録シールドを備えた磁気ヘッドによれば、隣接トラック消去の発生を抑制することが可能になると共に、記録密度のより一層の向上が可能になる。   In general, a magnetic head having a write shield is provided with one or more return path sections that connect the write shield to a portion of the main pole away from the medium facing surface. The one or more return path sections form one or more spaces between the main magnetic poles. A coil is provided so as to pass through the one or more spaces. The recording shield and at least one return path section take in a magnetic flux that is generated from the end face of the main pole and spreads in a direction other than the direction perpendicular to the surface of the recording medium, and prevents the magnetic flux from reaching the recording medium. It has a function. The write shield and the one or more return path sections also have a function of returning the magnetic flux generated from the end face of the main pole and magnetizing the recording medium to the main pole. According to the magnetic head provided with the recording shield, it is possible to suppress the occurrence of adjacent track erasure and to further improve the recording density.

特許文献1,2には、上記1つ以上の帰磁路部として、主磁極のトレーリング側に配置された帰磁路部と、主磁極のリーディング側に配置された帰磁路部とを備えた磁気ヘッドが記載されている。   In Patent Documents 1 and 2, as the one or more return path sections, a return path section disposed on the trailing side of the main pole and a return path section disposed on the leading side of the main pole are provided. A magnetic head provided is described.

米国特許第6,954,340B2号明細書US Pat. No. 6,954,340B2 特開2005−182987号公報JP 2005-182987 A

ところで、記録媒体に記録される記録ビットの端部の位置は、媒体対向面に配置された主磁極の端面のうち、トレーリング側の端部の位置によって決まる。そのため、記録ビットの端部の位置を精度よく規定するためには、記録シールドの端面は、主磁極の端面のトレーリング側に配置された端面部分を含むことが有効である。   By the way, the position of the end portion of the recording bit recorded on the recording medium is determined by the position of the end portion on the trailing side among the end surfaces of the main pole disposed on the medium facing surface. Therefore, in order to accurately define the position of the end portion of the recording bit, it is effective that the end surface of the recording shield includes an end surface portion disposed on the trailing side of the end surface of the main pole.

また、記録密度を高めるために記録信号の周波数が高くなってくると、磁気ヘッドには、主磁極の端面より発生される磁束の方向の変化の速度の向上が求められる。記録シールドを備えた磁気ヘッドでは、この要求に応えるためには、上述のように、記録シールドの端面が主磁極の端面のトレーリング側に配置された端面部分を含むことに加え、主磁極のトレーリング側に配置された帰磁路部を設け、この帰磁路部の長さを短くすることが有効である。そのためには、主磁極と帰磁路部との間に形成される空間を通過するコイルの巻き数を少なくすることが有効である。しかし、そうすると、コイルによる起磁力が不足して、主磁極から十分な大きさの記録磁界を発生させることができなくなるおそれがある。   Further, when the frequency of the recording signal is increased in order to increase the recording density, the magnetic head is required to improve the speed of change in the direction of the magnetic flux generated from the end face of the main magnetic pole. In a magnetic head having a recording shield, in order to meet this requirement, as described above, the end surface of the recording shield includes the end surface portion disposed on the trailing side of the end surface of the main pole, It is effective to provide a return path section disposed on the trailing side and shorten the length of the return path section. For this purpose, it is effective to reduce the number of turns of the coil passing through the space formed between the main pole and the return path section. However, in this case, the magnetomotive force by the coil is insufficient, and there is a possibility that a sufficiently large recording magnetic field cannot be generated from the main magnetic pole.

このように、従来は、主磁極に対して記録媒体の進行方向の前側(トレーリング側)に配置されて、主磁極のうちの媒体対向面から離れた部分と記録シールドとを接続する磁路の長さを短くしながら、主磁極から十分な大きさの記録磁界を発生させることが難しかった。   Thus, conventionally, a magnetic path that is disposed on the front side (trailing side) of the recording medium in the advancing direction with respect to the main magnetic pole and connects the portion of the main magnetic pole away from the medium facing surface and the recording shield. It was difficult to generate a sufficiently large recording magnetic field from the main magnetic pole while shortening the length of the magnetic pole.

本発明はかかる問題点に鑑みてなされたもので、その目的は、主磁極に対して記録媒体の進行方向の前側に配置されて、主磁極のうちの媒体対向面から離れた部分と記録シールドとを接続する磁路の長さを短くしながら、主磁極から十分な大きさの記録磁界を発生させることができるようにした垂直磁気記録用磁気ヘッドを提供することにある。   The present invention has been made in view of such problems, and an object of the present invention is to provide a recording shield and a portion of the main pole that is disposed on the front side in the traveling direction of the recording medium, away from the medium facing surface. It is an object of the present invention to provide a magnetic head for perpendicular magnetic recording in which a sufficiently large recording magnetic field can be generated from a main pole while shortening the length of a magnetic path connecting the two.

本発明の垂直磁気記録用磁気ヘッドは、記録媒体に対向する媒体対向面と、第1および第2のコイルと、主磁極と、磁性材料よりなる記録シールドと、非磁性材料よりなるギャップ部と、磁性材料よりなり記録シールドに磁気的に接続された第1および第2のヨーク層と、第1および第2の連結部とを備えている。第1および第2のコイルは、記録媒体に記録する情報に応じた磁界を発生する。主磁極は、媒体対向面に配置された端面を有し、第1および第2のコイルによって発生された磁界に対応する磁束を通過させると共に、垂直磁気記録方式によって情報を記録媒体に記録するための記録磁界を発生する。記録シールドは、媒体対向面に配置された端面を有している。ギャップ部は、主磁極と記録シールドとの間に配置されている。   A magnetic head for perpendicular magnetic recording according to the present invention includes a medium facing surface facing a recording medium, first and second coils, a main pole, a recording shield made of a magnetic material, and a gap portion made of a nonmagnetic material. And first and second yoke layers made of a magnetic material and magnetically connected to the recording shield, and first and second coupling portions. The first and second coils generate a magnetic field corresponding to information recorded on the recording medium. The main magnetic pole has an end face disposed on the medium facing surface, passes a magnetic flux corresponding to the magnetic field generated by the first and second coils, and records information on the recording medium by a perpendicular magnetic recording method. The recording magnetic field is generated. The recording shield has an end face disposed on the medium facing surface. The gap portion is disposed between the main magnetic pole and the recording shield.

第1のヨーク層は、主磁極に対して記録媒体の進行方向の後側に配置されている。第2のヨーク層は、主磁極に対して記録媒体の進行方向の前側に配置されている。第1の連結部は、媒体対向面から離れた位置に配置され、主磁極と第2のヨーク層とを磁気的に連結している。第2の連結部は、媒体対向面から離れた位置に配置され、主磁極に接することなく第1のヨーク層と第2のヨーク層とを磁気的に連結している。   The first yoke layer is disposed behind the main magnetic pole in the direction of travel of the recording medium. The second yoke layer is disposed on the front side in the traveling direction of the recording medium with respect to the main pole. The first connecting portion is disposed at a position away from the medium facing surface, and magnetically connects the main magnetic pole and the second yoke layer. The second coupling portion is disposed at a position away from the medium facing surface, and magnetically couples the first yoke layer and the second yoke layer without contacting the main magnetic pole.

記録シールドの端面は、主磁極の端面に対して記録媒体の進行方向の前側に配置された第1の端面部分を含んでいる。第1のコイルは、第1の連結部の周りに巻回され、且つその一部が第1の連結部と第2の連結部の間を通過している。第2のコイルは、第2の連結部の周りに巻回されている。   The end face of the recording shield includes a first end face portion disposed on the front side in the traveling direction of the recording medium with respect to the end face of the main pole. The first coil is wound around the first connecting portion, and a part of the first coil passes between the first connecting portion and the second connecting portion. The second coil is wound around the second coupling portion.

本発明の垂直磁気記録用磁気ヘッドにおいて、第2の連結部は、第1の連結部に対して、媒体対向面からより遠い位置に配置されていてもよい。   In the magnetic head for perpendicular magnetic recording according to the present invention, the second connecting portion may be disposed at a position farther from the medium facing surface than the first connecting portion.

また、本発明の垂直磁気記録用磁気ヘッドにおいて、第2のコイルは、主磁極に対して記録媒体の進行方向の後側に配置されていてもよいし、主磁極に対して記録媒体の進行方向の前側に配置されていてもよい。また、媒体対向面に配置された主磁極の端面と交差し、記録媒体の進行方向に垂直な仮想の平面を想定したとき、第2のコイルの少なくとも一部は、仮想の平面と交差する位置に配置されていてもよい。   In the magnetic head for perpendicular magnetic recording of the present invention, the second coil may be arranged on the rear side in the traveling direction of the recording medium with respect to the main magnetic pole, or the recording medium travels with respect to the main magnetic pole. It may be arranged on the front side in the direction. Further, assuming a virtual plane that intersects with the end face of the main pole disposed on the medium facing surface and is perpendicular to the traveling direction of the recording medium, at least a part of the second coil intersects with the virtual plane. May be arranged.

また、本発明の垂直磁気記録用磁気ヘッドにおいて、第2のコイルの巻き数は、第1のコイルの巻き数以上であってもよいし、第1のコイルの巻き数よりも多くてもよい。   In the magnetic head for perpendicular magnetic recording of the present invention, the number of turns of the second coil may be greater than or equal to the number of turns of the first coil, or may be greater than the number of turns of the first coil. .

また、本発明の垂直磁気記録用磁気ヘッドにおいて、記録シールドの端面は、更に、第2、第3および第4の端面部分を含んでいてもよい。第2の端面部分は、主磁極の端面に対して記録媒体の進行方向の後側に配置されている。第3および第4の端面部分は、主磁極の端面に対してトラック幅方向の両側に配置されている。   In the magnetic head for perpendicular magnetic recording of the present invention, the end face of the recording shield may further include second, third and fourth end face portions. The second end surface portion is disposed on the rear side in the traveling direction of the recording medium with respect to the end surface of the main pole. The third and fourth end face portions are arranged on both sides in the track width direction with respect to the end face of the main pole.

また、本発明の垂直磁気記録用磁気ヘッドは、更に、記録媒体に記録する情報に応じた磁界を発生する第3のコイルを備えていてもよい。この場合、主磁極は、第1、第2および第3のコイルによって発生された磁界に対応する磁束を通過させる。第3のコイルは、第2の連結部の周りに巻回されている。第2および第3のコイルは、互いに記録媒体の進行方向における異なる位置に配置されている。   The magnetic head for perpendicular magnetic recording of the present invention may further include a third coil that generates a magnetic field according to information recorded on the recording medium. In this case, the main pole passes a magnetic flux corresponding to the magnetic field generated by the first, second and third coils. The third coil is wound around the second coupling portion. The second and third coils are arranged at different positions in the traveling direction of the recording medium.

本発明の垂直磁気記録用磁気ヘッドが第3のコイルを備えている場合、第2のコイルは、主磁極に対して記録媒体の進行方向の後側に配置されていてもよい。この場合、第3のコイルは、主磁極に対して記録媒体の進行方向の前側に配置されていてもよい。あるいは、媒体対向面に配置された主磁極の端面と交差し、記録媒体の進行方向に垂直な仮想の平面を想定したとき、第3のコイルの少なくとも一部は、仮想の平面と交差する位置に配置されていてもよい。   When the magnetic head for perpendicular magnetic recording of the present invention includes the third coil, the second coil may be disposed on the rear side in the traveling direction of the recording medium with respect to the main pole. In this case, the third coil may be arranged on the front side in the traveling direction of the recording medium with respect to the main magnetic pole. Alternatively, assuming a virtual plane that intersects with the end surface of the main pole disposed on the medium facing surface and is perpendicular to the traveling direction of the recording medium, at least a part of the third coil intersects with the virtual plane. May be arranged.

また、第2のコイルの巻き数および第3のコイルの巻き数は、第1のコイルの巻き数以上であってもよい。あるいは、第2のコイルの巻き数は、第1のコイルの巻き数よりも多く、第3のコイルの巻き数は、第1のコイルの巻き数以上であってもよい。   Further, the number of turns of the second coil and the number of turns of the third coil may be equal to or greater than the number of turns of the first coil. Alternatively, the number of turns of the second coil may be greater than the number of turns of the first coil, and the number of turns of the third coil may be greater than or equal to the number of turns of the first coil.

本発明の垂直磁気記録用磁気ヘッドでは、記録シールドから主磁極に至る第1および第2の磁路が形成される。第1の磁路は、第2のヨーク層および第1の連結部を経由する。この第1の磁路は、主磁極に対して記録媒体の進行方向の前側に配置されて、主磁極のうちの媒体対向面から離れた部分と記録シールドとを接続する。第2の磁路は、第1のヨーク層、第2の連結部、第2のヨーク層および第1の連結部を経由する。第1のコイルは、第1の連結部の周りに巻回され、且つその一部が第1の連結部と第2の連結部の間を通過している。第2のコイルは、第2の連結部の周りに巻回されている。これにより、第1のコイルの巻き数を少なくして第1の磁路の長さを短くしても、第1のコイルの起磁力および第2のコイルの起磁力によって、主磁極から十分な大きさの記録磁界を発生させることが可能になる。このように、本発明によれば、主磁極に対して記録媒体の進行方向の前側に配置された第1の磁路の長さを短くしながら、主磁極から十分な大きさの記録磁界を発生させることが可能になるという効果を奏する。   In the magnetic head for perpendicular magnetic recording of the present invention, the first and second magnetic paths from the recording shield to the main pole are formed. The first magnetic path passes through the second yoke layer and the first coupling portion. The first magnetic path is disposed on the front side in the direction of travel of the recording medium with respect to the main magnetic pole, and connects a portion of the main magnetic pole away from the medium facing surface and the recording shield. The second magnetic path passes through the first yoke layer, the second coupling portion, the second yoke layer, and the first coupling portion. The first coil is wound around the first connecting portion, and a part of the first coil passes between the first connecting portion and the second connecting portion. The second coil is wound around the second coupling portion. As a result, even if the number of turns of the first coil is reduced and the length of the first magnetic path is shortened, the first magnetic coil and the second coil have sufficient magnetomotive force from the main magnetic pole. A recording magnetic field having a magnitude can be generated. As described above, according to the present invention, a sufficiently large recording magnetic field is generated from the main pole while shortening the length of the first magnetic path disposed on the front side in the traveling direction of the recording medium with respect to the main pole. There is an effect that it can be generated.

本発明の第1の実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。1 is a cross-sectional view showing a magnetic head according to a first embodiment of the invention. 本発明の第1の実施の形態に係る磁気ヘッドの媒体対向面を示す正面図である。FIG. 3 is a front view showing a medium facing surface of the magnetic head according to the first embodiment of the invention. 本発明の第1の実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第2のコイルを示す平面図である。It is a top view which shows the 2nd coil in the magnetic head based on the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1の実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第1のコイルを示す平面図である。It is a top view which shows the 1st coil in the magnetic head based on the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第2の実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。It is sectional drawing which shows the magnetic head based on the 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第2の実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第1のコイルの第1層を示す平面図である。It is a top view which shows the 1st layer of the 1st coil in the magnetic head based on the 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第2の実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第1のコイルの第2層を示す平面図である。It is a top view which shows the 2nd layer of the 1st coil in the magnetic head based on the 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第3の実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。It is sectional drawing which shows the magnetic head based on the 3rd Embodiment of this invention. 本発明の第3の実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第2のコイルを示す平面図である。It is a top view which shows the 2nd coil in the magnetic head based on the 3rd Embodiment of this invention. 本発明の第3の実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第1のコイルを示す平面図である。It is a top view which shows the 1st coil in the magnetic head based on the 3rd Embodiment of this invention. 本発明の第4の実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。It is sectional drawing which shows the magnetic head based on the 4th Embodiment of this invention. 本発明の第4の実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第1および第2のコイルを示す平面図である。It is a top view which shows the 1st and 2nd coil in the magnetic head based on the 4th Embodiment of this invention. 本発明の第5の実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。It is sectional drawing which shows the magnetic head based on the 5th Embodiment of this invention. 本発明の第5の実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第2のコイルを示す平面図である。It is a top view which shows the 2nd coil in the magnetic head based on the 5th Embodiment of this invention. 本発明の第6の実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。It is sectional drawing which shows the magnetic head based on the 6th Embodiment of this invention. 本発明の第6の実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第2のコイルを示す平面図である。It is a top view which shows the 2nd coil in the magnetic head based on the 6th Embodiment of this invention. 本発明の第6の実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第1のコイルを示す平面図である。It is a top view which shows the 1st coil in the magnetic head based on the 6th Embodiment of this invention. 本発明の第7の実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。It is sectional drawing which shows the magnetic head based on the 7th Embodiment of this invention. 本発明の第8の実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。It is sectional drawing which shows the magnetic head based on the 8th Embodiment of this invention. 本発明の第8の実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第1のコイルの第1層と第2のコイルの第1層を示す平面図である。It is a top view which shows the 1st layer of the 1st coil and the 1st layer of the 2nd coil in the magnetic head concerning an 8th embodiment of the present invention. 本発明の第8の実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第1のコイルの第2層と第2のコイルの第2層を示す平面図である。It is a top view showing the 2nd layer of the 1st coil and the 2nd layer of the 2nd coil in the magnetic head concerning an 8th embodiment of the present invention. 本発明の第9の実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。It is sectional drawing which shows the magnetic head based on the 9th Embodiment of this invention. 本発明の第9の実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第2のコイルを示す平面図である。It is a top view which shows the 2nd coil in the magnetic head based on the 9th Embodiment of this invention. 本発明の第10の実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。It is sectional drawing which shows the magnetic head based on the 10th Embodiment of this invention. 本発明の第10の実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第2のコイルを示す平面図である。It is a top view which shows the 2nd coil in the magnetic head based on the 10th Embodiment of this invention. 本発明の第10の実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第1および第3のコイルを示す平面図である。It is a top view which shows the 1st and 3rd coil in the magnetic head based on the 10th Embodiment of this invention. 本発明の第11の実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。It is sectional drawing which shows the magnetic head based on the 11th Embodiment of this invention. 本発明の第11の実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第2のコイルを示す平面図である。It is a top view which shows the 2nd coil in the magnetic head based on the 11th Embodiment of this invention. 本発明の第11の実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第3のコイルを示す平面図である。It is a top view which shows the 3rd coil in the magnetic head based on the 11th Embodiment of this invention. 本発明の第11の実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第1のコイルを示す平面図である。It is a top view which shows the 1st coil in the magnetic head based on the 11th Embodiment of this invention. 本発明の第12の実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。It is sectional drawing which shows the magnetic head based on the 12th Embodiment of this invention. 本発明の第12の実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第3のコイルを示す平面図である。It is a top view which shows the 3rd coil in the magnetic head based on the 12th Embodiment of this invention. 本発明の第12の実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第1のコイルを示す平面図である。It is a top view which shows the 1st coil in the magnetic head based on the 12th Embodiment of this invention. 本発明の第13の実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。It is sectional drawing which shows the magnetic head based on the 13th Embodiment of this invention. 本発明の第14の実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。It is sectional drawing which shows the magnetic head based on the 14th Embodiment of this invention. 本発明の第14の実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第2のコイルを示す平面図である。It is a top view which shows the 2nd coil in the magnetic head based on the 14th Embodiment of this invention. 本発明の第14の実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第1のコイルの第1層と第3のコイルの第1層を示す平面図である。It is a top view which shows the 1st layer of the 1st coil and the 1st layer of the 3rd coil in the magnetic head concerning a 14th embodiment of the present invention. 本発明の第14の実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第1のコイルの第2層と第3のコイルの第2層を示す平面図である。It is a top view which shows the 2nd layer of the 1st coil and the 2nd layer of the 3rd coil in the magnetic head concerning a 14th embodiment of the present invention. 本発明の第15の実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。It is sectional drawing which shows the magnetic head based on the 15th Embodiment of this invention. 本発明の第15の実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第2のコイルを示す平面図である。It is a top view which shows the 2nd coil in the magnetic head based on the 15th Embodiment of this invention. 本発明の第15の実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第3のコイルを示す平面図である。It is a top view which shows the 3rd coil in the magnetic head based on the 15th Embodiment of this invention. 本発明の第15の実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第1のコイルを示す平面図である。It is a top view which shows the 1st coil in the magnetic head based on the 15th Embodiment of this invention.

[第1の実施の形態]
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。始めに、図1ないし図4を参照して、本発明の第1の実施の形態に係る磁気ヘッドの構成について説明する。図1は、本実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。図1において記号Tで示す矢印は、記録媒体の進行方向を表している。図2は、本実施の形態に係る磁気ヘッドの媒体対向面を示す正面図である。図3は、本実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第2のコイルを示す平面図である。図4は、本実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第1のコイルを示す平面図である。図2ないし図4において記号TWで示す矢印は、トラック幅方向を表している。
[First Embodiment]
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. First, the configuration of the magnetic head according to the first embodiment of the invention will be described with reference to FIGS. FIG. 1 is a sectional view showing a magnetic head according to the present embodiment. An arrow indicated by a symbol T in FIG. 1 represents the traveling direction of the recording medium. FIG. 2 is a front view showing the medium facing surface of the magnetic head according to the present embodiment. FIG. 3 is a plan view showing a second coil in the magnetic head according to the present embodiment. FIG. 4 is a plan view showing the first coil in the magnetic head according to the present embodiment. An arrow indicated by a symbol TW in FIGS. 2 to 4 represents the track width direction.

図1および図2に示したように、本実施の形態に係る垂直磁気記録用磁気ヘッド(以下、単に磁気ヘッドと記す。)は、アルミニウムオキサイド・チタニウムカーバイド(Al23・TiC)等のセラミック材料よりなり、上面1aを有する基板1と、この基板1の上面1a上に配置されたアルミナ(Al23)等の絶縁材料よりなる絶縁層2と、この絶縁層2の上に配置された磁性材料よりなる第1の再生シールド層3と、第1の再生シールド層3を覆うように配置された絶縁膜である第1の再生シールドギャップ膜4と、この第1の再生シールドギャップ膜4の上に配置された再生素子としてのMR(磁気抵抗効果)素子5と、このMR素子5の上に配置された絶縁膜である第2の再生シールドギャップ膜6と、この第2の再生シールドギャップ膜6の上に配置された磁性材料よりなる第2の再生シールド層7とを備えている。 As shown in FIGS. 1 and 2, the magnetic head for perpendicular magnetic recording according to the present embodiment (hereinafter simply referred to as a magnetic head) is made of aluminum oxide, titanium carbide (Al 2 O 3 .TiC), or the like. A substrate 1 made of a ceramic material and having an upper surface 1 a, an insulating layer 2 made of an insulating material such as alumina (Al 2 O 3 ) disposed on the upper surface 1 a of the substrate 1, and disposed on the insulating layer 2 A first read shield layer 3 made of the magnetic material formed, a first read shield gap film 4 which is an insulating film disposed so as to cover the first read shield layer 3, and the first read shield gap. An MR (magnetoresistive effect) element 5 as a reproducing element disposed on the film 4, a second reproducing shield gap film 6 which is an insulating film disposed on the MR element 5, and the second Play sea And a second read shield layer 7 made of a magnetic material and disposed on the-gap layer 6.

MR素子5の一端部は、記録媒体に対向する媒体対向面80に配置されている。MR素子5には、AMR(異方性磁気抵抗効果)素子、GMR(巨大磁気抵抗効果)素子あるいはTMR(トンネル磁気抵抗効果)素子等の磁気抵抗効果を示す感磁膜を用いた素子を用いることができる。GMR素子としては、磁気的信号検出用の電流を、GMR素子を構成する各層の面に対してほぼ平行な方向に流すCIP(Current In Plane)タイプでもよいし、磁気的信号検出用の電流を、GMR素子を構成する各層の面に対してほぼ垂直な方向に流すCPP(Current Perpendicular to Plane)タイプでもよい。   One end of the MR element 5 is disposed on a medium facing surface 80 that faces the recording medium. As the MR element 5, an element using a magnetosensitive film exhibiting a magnetoresistance effect such as an AMR (anisotropic magnetoresistance effect) element, a GMR (giant magnetoresistance effect) element, or a TMR (tunnel magnetoresistance effect) element is used. be able to. The GMR element may be a CIP (Current In Plane) type in which a current for detecting a magnetic signal flows in a direction substantially parallel to the surface of each layer constituting the GMR element, or a current for detecting a magnetic signal may be used. A CPP (Current Perpendicular to Plane) type that flows in a direction substantially perpendicular to the surface of each layer constituting the GMR element may be used.

第1の再生シールド層3から第2の再生シールド層7までの部分は、再生ヘッド部8を構成する。磁気ヘッドは、更に、第2の再生シールド層7の上に配置された絶縁材料よりなる絶縁層71と、再生ヘッド部8および絶縁層71の周囲において基板1の上面1aの上に配置された絶縁材料よりなる絶縁層72とを備えている。絶縁層71,72は、例えばアルミナによって形成されている。絶縁層71,72の上面は平坦化されている。   A portion from the first reproduction shield layer 3 to the second reproduction shield layer 7 constitutes a reproduction head portion 8. The magnetic head is further disposed on the upper surface 1a of the substrate 1 around the reproducing head portion 8 and the insulating layer 71, and the insulating layer 71 made of an insulating material disposed on the second reproducing shield layer 7. And an insulating layer 72 made of an insulating material. The insulating layers 71 and 72 are made of alumina, for example. The upper surfaces of the insulating layers 71 and 72 are flattened.

磁気ヘッドは、更に、絶縁層71,72の上に配置された記録ヘッド部9を備えている。記録ヘッド部9は、第1のコイル21と、第2のコイル11と、リード層10,20と、主磁極15と、記録シールド16と、ギャップ部17と、第1のヨーク層30と、第2のヨーク層40とを有している。第1のコイル21、第2のコイル11およびリード層10,20は、いずれも、銅等の導電材料によって形成されている。第1のコイル21と第2のコイル11は、直列または並列に接続されている。主磁極15は、媒体対向面80に配置された端面を有し、第1のコイル21および第2のコイル11によって発生された磁界に対応する磁束を通過させると共に、垂直磁気記録方式によって情報を記録媒体に記録するための記録磁界を発生する。図1は、媒体対向面80に配置された主磁極15の端面と交差し、媒体対向面80および基板1の上面1aに垂直な断面(以下、主断面と言う。)を示している。リード層10,20は、第1のコイル21と第2のコイル11に通電するために用いられる。   The magnetic head further includes a recording head unit 9 disposed on the insulating layers 71 and 72. The recording head unit 9 includes a first coil 21, a second coil 11, lead layers 10 and 20, a main magnetic pole 15, a recording shield 16, a gap unit 17, a first yoke layer 30, And a second yoke layer 40. The first coil 21, the second coil 11, and the lead layers 10 and 20 are all made of a conductive material such as copper. The first coil 21 and the second coil 11 are connected in series or in parallel. The main magnetic pole 15 has an end face disposed on the medium facing surface 80, passes a magnetic flux corresponding to the magnetic field generated by the first coil 21 and the second coil 11, and transmits information by a perpendicular magnetic recording method. A recording magnetic field for recording on the recording medium is generated. FIG. 1 shows a cross section (hereinafter referred to as a main cross section) perpendicular to the medium facing surface 80 and the upper surface 1 a of the substrate 1, which intersects with the end face of the main pole 15 disposed on the medium facing surface 80. The lead layers 10 and 20 are used to energize the first coil 21 and the second coil 11.

記録シールド16は、媒体対向面80に配置された端面を有している。記録シールド16の端面は、第1ないし第4の端面部分16Aa,16Ba,16Ca,16Daを含んでいる。第1の端面部分16Aaは、主磁極15の端面に対して記録媒体の進行方向Tの前側に配置されている。第2の端面部分16Baは、主磁極15の端面に対して記録媒体の進行方向Tの後側に配置されている。第3および第4の端面部分16Ca,16Daは、主磁極15の端面に対してトラック幅方向TWの両側に配置されている。媒体対向面80において、第1ないし第4の端面部分16Aa,16Ba,16Ca,16Daは、主磁極15の端面の周りを囲むように配置されている。   The recording shield 16 has an end surface disposed on the medium facing surface 80. The end surface of the recording shield 16 includes first to fourth end surface portions 16Aa, 16Ba, 16Ca, and 16Da. The first end face portion 16 </ b> Aa is disposed on the front side in the traveling direction T of the recording medium with respect to the end face of the main pole 15. The second end face portion 16Ba is disposed behind the end face of the main pole 15 in the traveling direction T of the recording medium. The third and fourth end face portions 16Ca and 16Da are disposed on both sides of the end face of the main pole 15 in the track width direction TW. In the medium facing surface 80, the first to fourth end surface portions 16 </ b> Aa, 16 </ b> Ba, 16 </ b> Ca, and 16 </ b> Da are disposed so as to surround the end surface of the main pole 15.

記録シールド16は、磁性材料によって形成されている。記録シールド16の材料としては、例えばCoFeN、CoNiFe、NiFe、CoFeのいずれかを用いることができる。   The recording shield 16 is made of a magnetic material. As the material of the write shield 16, for example, any one of CoFeN, CoNiFe, NiFe, and CoFe can be used.

第1のヨーク層30と第2のヨーク層40は、いずれも記録シールド16に磁気的に接続されている。第1のヨーク層30は、主磁極15に対して記録媒体の進行方向Tの後側に配置されている。第2のヨーク層40は、主磁極15に対して記録媒体の進行方向Tの前側に配置されている。第1および第2のヨーク層30,40は、それぞれ磁性材料によって形成されている。第1および第2のヨーク層30,40の材料としては、例えばCoFeN、CoNiFe、NiFe、CoFeのいずれかを用いることができる。   Both the first yoke layer 30 and the second yoke layer 40 are magnetically connected to the recording shield 16. The first yoke layer 30 is disposed behind the main magnetic pole 15 in the traveling direction T of the recording medium. The second yoke layer 40 is disposed on the front side in the traveling direction T of the recording medium with respect to the main magnetic pole 15. The first and second yoke layers 30 and 40 are each formed of a magnetic material. As a material of the first and second yoke layers 30 and 40, for example, any one of CoFeN, CoNiFe, NiFe, and CoFe can be used.

記録ヘッド部9は、更に、第1の連結部41と、第2の連結部31とを有している。第1の連結部41は、媒体対向面80から離れた位置に配置され、主磁極15と第2のヨーク層40とを磁気的に連結している。第2の連結部31は、媒体対向面80から離れた位置に配置され、主磁極15に接することなく第1のヨーク層30と第2のヨーク層40とを磁気的に連結している。図1に示した例では、第2の連結部31は、第1の連結部41に対して、媒体対向面80からより遠い位置に配置されている。   The recording head unit 9 further includes a first connecting part 41 and a second connecting part 31. The first connecting portion 41 is disposed at a position away from the medium facing surface 80 and magnetically connects the main magnetic pole 15 and the second yoke layer 40. The second connecting portion 31 is disposed at a position away from the medium facing surface 80 and magnetically connects the first yoke layer 30 and the second yoke layer 40 without contacting the main magnetic pole 15. In the example illustrated in FIG. 1, the second connecting portion 31 is disposed at a position farther from the medium facing surface 80 than the first connecting portion 41.

第1の連結部41および第2の連結部31は、それぞれ磁性材料によって形成されている。第1の連結部41および第2の連結部31の材料としては、例えばCoFeN、CoNiFe、NiFe、CoFeのいずれかを用いることができる。第1の連結部41は、1つの磁性層42によって構成されている。第2の連結部31は、磁性層32,33,34,35,36を含んでいる。   The 1st connection part 41 and the 2nd connection part 31 are each formed with the magnetic material. As a material of the first connecting portion 41 and the second connecting portion 31, for example, any one of CoFeN, CoNiFe, NiFe, and CoFe can be used. The first coupling part 41 is constituted by one magnetic layer 42. The second coupling part 31 includes magnetic layers 32, 33, 34, 35 and 36.

記録ヘッド部9は、更に、第1のヨーク層30と記録シールド16とを磁気的に連結する磁性材料よりなる磁性層38,39を有している。磁性層38,39の材料としては、例えばCoFeN、CoNiFe、NiFe、CoFeのいずれかを用いることができる。   The recording head unit 9 further includes magnetic layers 38 and 39 made of a magnetic material that magnetically couples the first yoke layer 30 and the recording shield 16. As a material of the magnetic layers 38 and 39, for example, any one of CoFeN, CoNiFe, NiFe, and CoFe can be used.

第1のヨーク層30は、絶縁層71の上に配置されている。磁性層32,38は、いずれも第1のヨーク層30の上に配置されている。磁性層38は、媒体対向面80の近傍に配置されている。磁性層32は、磁性層38に対して、媒体対向面80からより遠い位置に配置されている。第1のヨーク層30および磁性層38は、それぞれ、媒体対向面80に向いた端面を有し、これらの端面は、媒体対向面80から離れた位置に配置されている。第2のコイル11は、第2の連結部31(磁性層32)の周りに巻回されている。リード層10は、第2のコイル11に連続している。図3では、第2のコイル11とリード層10の境界を点線で示している。   The first yoke layer 30 is disposed on the insulating layer 71. The magnetic layers 32 and 38 are both disposed on the first yoke layer 30. The magnetic layer 38 is disposed in the vicinity of the medium facing surface 80. The magnetic layer 32 is disposed at a position farther from the medium facing surface 80 than the magnetic layer 38. Each of the first yoke layer 30 and the magnetic layer 38 has end faces facing the medium facing surface 80, and these end faces are arranged at positions away from the medium facing surface 80. The second coil 11 is wound around the second coupling portion 31 (magnetic layer 32). The lead layer 10 is continuous with the second coil 11. In FIG. 3, the boundary between the second coil 11 and the lead layer 10 is indicated by a dotted line.

磁気ヘッドは、更に、第1のヨーク層30の周囲において絶縁層71,72の上に配置された絶縁材料よりなる絶縁層51と、磁性層32,38の周囲において第1のヨーク層30および絶縁層51の上に配置された絶縁材料よりなる絶縁層52とを備えている。第2のコイル11およびリード層10は、絶縁層52の上に配置されている。絶縁層51,52は、例えばアルミナによって形成されている。   The magnetic head further includes an insulating layer 51 made of an insulating material disposed on the insulating layers 71 and 72 around the first yoke layer 30, and the first yoke layer 30 and the magnetic layers 32 and 38 around the first yoke layer 30. And an insulating layer 52 made of an insulating material and disposed on the insulating layer 51. The second coil 11 and the lead layer 10 are disposed on the insulating layer 52. The insulating layers 51 and 52 are made of alumina, for example.

磁気ヘッドは、更に、第2のコイル11の巻線間ならびに第2のコイル11、リード層10および磁性層32の周囲に配置された絶縁材料よりなる絶縁層53と、磁性層38および絶縁層53の周囲に配置された絶縁材料よりなる絶縁層54とを備えている。第2のコイル11、リード層10、磁性層32,38および絶縁層53,54の上面は平坦化されている。絶縁層53は、例えばフォトレジストによって形成されている。絶縁層54は、例えばアルミナによって形成されている。   The magnetic head further includes an insulating layer 53 made of an insulating material disposed between the windings of the second coil 11 and around the second coil 11, the lead layer 10, and the magnetic layer 32, and the magnetic layer 38 and the insulating layer. And an insulating layer 54 made of an insulating material and disposed around 53. The upper surfaces of the second coil 11, the lead layer 10, the magnetic layers 32 and 38, and the insulating layers 53 and 54 are flattened. The insulating layer 53 is made of, for example, a photoresist. The insulating layer 54 is made of alumina, for example.

磁性層33は、磁性層32の上に配置されている。磁性層39は、磁性層38および絶縁層54の上に配置されている。磁性層39は、媒体対向面80に配置された端面を有している。磁気ヘッドは、更に、第2のコイル11、リード層10および絶縁層53,54の上面の上に配置された絶縁材料よりなる絶縁層55と、磁性層33,39の周囲において絶縁層55の上に配置された絶縁材料よりなる絶縁層56とを備えている。磁性層33,39および絶縁層56の上面は平坦化されている。絶縁層55,56は、例えばアルミナによって形成されている。   The magnetic layer 33 is disposed on the magnetic layer 32. The magnetic layer 39 is disposed on the magnetic layer 38 and the insulating layer 54. The magnetic layer 39 has an end face disposed on the medium facing surface 80. The magnetic head further includes an insulating layer 55 made of an insulating material disposed on the top surfaces of the second coil 11, the lead layer 10 and the insulating layers 53 and 54, and the insulating layer 55 around the magnetic layers 33 and 39. And an insulating layer 56 made of an insulating material. The top surfaces of the magnetic layers 33 and 39 and the insulating layer 56 are flattened. The insulating layers 55 and 56 are made of alumina, for example.

図2に示したように、記録シールド16は、第1のシールド16Aと、第2のシールド16Bと、2つのサイドシールド16C,16Dとを有している。2つのサイドシールド16C,16Dは、主磁極15のトラック幅方向TWの両側に配置されている。第1のシールド16Aは、主磁極15に対して記録媒体の進行方向Tの前側に配置されている。第2のシールド16Bは、主磁極15に対して記録媒体の進行方向Tの後側に配置されている。サイドシールド16C,16Dは、第1のシールド16Aと第2のシールド16Bを磁気的に連結している。   As shown in FIG. 2, the recording shield 16 includes a first shield 16A, a second shield 16B, and two side shields 16C and 16D. The two side shields 16C and 16D are arranged on both sides of the main magnetic pole 15 in the track width direction TW. The first shield 16A is disposed on the front side in the traveling direction T of the recording medium with respect to the main magnetic pole 15. The second shield 16B is disposed behind the main magnetic pole 15 in the traveling direction T of the recording medium. The side shields 16C and 16D magnetically connect the first shield 16A and the second shield 16B.

図1および図2に示したように、第1のシールド16Aは、第1の端面部分16Aaと、下面と、上面と、第1の端面部分16Aaと上面とを接続する接続面とを有している。第1のシールド16Aの接続面における任意の位置の媒体対向面80からの距離は、任意の位置が基板1の上面1aから離れるに従って大きくなっている。図2に示したように、第2のシールド16Bは、第2の端面部分16Baを有している。サイドシールド16Cは、第3の端面部分16Caを有している。サイドシールド16Dは、第4の端面部分16Daを有している。   As shown in FIGS. 1 and 2, the first shield 16A has a first end surface portion 16Aa, a lower surface, an upper surface, and a connection surface connecting the first end surface portion 16Aa and the upper surface. ing. The distance from the medium facing surface 80 at an arbitrary position on the connection surface of the first shield 16 </ b> A increases as the arbitrary position moves away from the upper surface 1 a of the substrate 1. As shown in FIG. 2, the second shield 16B has a second end face portion 16Ba. The side shield 16C has a third end face portion 16Ca. The side shield 16D has a fourth end surface portion 16Da.

第2のシールド16Bは、磁性層39の上に配置されている。磁性層34は、磁性層33の上に配置されている。磁気ヘッドは、更に、非磁性材料よりなる非磁性層57を備えている。非磁性層57は、第2のシールド16Bおよび磁性層34の周囲において、磁性層39の上面の一部および絶縁層56の上面の上に配置されている。非磁性層57は、例えばアルミナによって形成されている。   The second shield 16 </ b> B is disposed on the magnetic layer 39. The magnetic layer 34 is disposed on the magnetic layer 33. The magnetic head further includes a nonmagnetic layer 57 made of a nonmagnetic material. The nonmagnetic layer 57 is disposed around a part of the upper surface of the magnetic layer 39 and the upper surface of the insulating layer 56 around the second shield 16 </ b> B and the magnetic layer 34. The nonmagnetic layer 57 is made of alumina, for example.

主磁極15は、記録媒体の進行方向Tの前側の端に位置する面である上面(図1参照)と、上面とは反対側の下端部(図1参照)と、トラック幅方向TWの両側に配置された第1および第2の側部(図2参照)とを有している。サイドシールド16Cは、主磁極15の第1の側部に対向する第1の側壁を有している。サイドシールド16Dは、主磁極15の第2の側部に対向する第2の側壁を有している。   The main magnetic pole 15 has a top surface (see FIG. 1) which is a surface located at the front end in the traveling direction T of the recording medium, a bottom end opposite to the top surface (see FIG. 1), and both sides in the track width direction TW. And first and second side portions (see FIG. 2). The side shield 16 </ b> C has a first side wall that faces the first side portion of the main magnetic pole 15. The side shield 16 </ b> D has a second side wall that faces the second side portion of the main magnetic pole 15.

ギャップ部17は、主磁極15と記録シールド16との間に設けられている。磁気ヘッドは、更に、非磁性材料よりなり、その一部がギャップ部17の一部を構成する第1のギャップ層19と、非磁性材料よりなり、その一部がギャップ部17の他の一部を構成する第2のギャップ層18とを備えている。第1のギャップ層19のうち、ギャップ部17の一部を構成する部分は、主磁極15と第1のシールド16Aとの間に配置されている。第2のギャップ層18のうち、ギャップ部17の他の一部を構成する部分は、主磁極15と第2のシールド16Bおよびサイドシールド16C,16Dとの間に配置されている。   The gap portion 17 is provided between the main magnetic pole 15 and the recording shield 16. The magnetic head is further made of a nonmagnetic material, a part of which is a first gap layer 19 constituting a part of the gap part 17, and a part of the gap part 17 made of a nonmagnetic material. And a second gap layer 18 constituting the part. A portion of the first gap layer 19 that constitutes a part of the gap portion 17 is disposed between the main magnetic pole 15 and the first shield 16A. A portion of the second gap layer 18 that constitutes another part of the gap portion 17 is disposed between the main pole 15, the second shield 16 </ b> B, and the side shields 16 </ b> C and 16 </ b> D.

サイドシールド16C,16Dは、第2のシールド16Bの上に配置され、第2のシールド16Bの上面に接している。第2のギャップ層18は、サイドシールド16C,16Dの側壁、第2のシールド16Bおよび非磁性層57の上面に沿って配置されている。第2のギャップ層18は、非磁性材料によって形成されている。第2のギャップ層18を構成する非磁性材料は、絶縁材料でもよいし、非磁性金属材料でもよい。第2のギャップ層18を構成する絶縁材料としては、例えばアルミナが用いられる。第2のギャップ層18を構成する非磁性金属材料としては、例えばRuが用いられる。   The side shields 16C and 16D are disposed on the second shield 16B and are in contact with the upper surface of the second shield 16B. The second gap layer 18 is disposed along the side walls of the side shields 16C and 16D, the second shield 16B, and the upper surfaces of the nonmagnetic layers 57. The second gap layer 18 is made of a nonmagnetic material. The nonmagnetic material constituting the second gap layer 18 may be an insulating material or a nonmagnetic metal material. As an insulating material constituting the second gap layer 18, for example, alumina is used. For example, Ru is used as the nonmagnetic metal material constituting the second gap layer 18.

主磁極15は、第2のシールド16Bおよび非磁性層57の上面と主磁極15との間に第2のギャップ層18が介在するように、第2のシールド16Bおよび非磁性層57の上に配置されている。また、図2に示したように、主磁極15とサイドシールド16C,16Dとの間にも、第2のギャップ層18が介在している。   The main magnetic pole 15 is placed on the second shield 16B and the nonmagnetic layer 57 so that the second gap layer 18 is interposed between the upper surface of the second shield 16B and the nonmagnetic layer 57 and the main magnetic pole 15. Has been placed. Further, as shown in FIG. 2, the second gap layer 18 is also interposed between the main magnetic pole 15 and the side shields 16C and 16D.

主磁極15は、金属磁性材料によって形成されている。主磁極15の材料としては、例えば、NiFe、CoNiFe、CoFeのいずれかを用いることができる。主磁極15の形状については、後で詳しく説明する。   The main pole 15 is made of a metal magnetic material. As a material of the main magnetic pole 15, for example, any one of NiFe, CoNiFe, and CoFe can be used. The shape of the main pole 15 will be described in detail later.

磁性層35は、磁性層34の上に配置されている。磁気ヘッドは、更に、主磁極15、サイドシールド16C,16Dおよび磁性層35の周囲に配置された非磁性材料よりなる非磁性層61を備えている。本実施の形態では、特に、非磁性層61は、アルミナ等の非磁性絶縁材料よりなる。   The magnetic layer 35 is disposed on the magnetic layer 34. The magnetic head further includes a nonmagnetic layer 61 made of a nonmagnetic material and disposed around the main magnetic pole 15, the side shields 16 </ b> C and 16 </ b> D, and the magnetic layer 35. In the present embodiment, in particular, the nonmagnetic layer 61 is made of a nonmagnetic insulating material such as alumina.

磁気ヘッドは、更に、媒体対向面80から離れた位置において、主磁極15の上面の一部の上に配置された非磁性金属材料よりなる非磁性金属層58と、この非磁性金属層58の上面の上に配置された絶縁材料よりなる絶縁層59とを備えている。非磁性金属層58は、例えばRu、NiCrまたはNiCuによって形成されている。絶縁層59は、例えばアルミナによって形成されている。   The magnetic head further includes a nonmagnetic metal layer 58 made of a nonmagnetic metal material disposed on a part of the upper surface of the main pole 15 at a position away from the medium facing surface 80, and the nonmagnetic metal layer 58. And an insulating layer 59 made of an insulating material and disposed on the upper surface. The nonmagnetic metal layer 58 is made of, for example, Ru, NiCr, or NiCu. The insulating layer 59 is made of alumina, for example.

第1のギャップ層19は、主磁極15、非磁性金属層58および絶縁層59を覆うように配置されている。第1のギャップ層19は、非磁性材料によって形成されている。第1のギャップ層19の材料は、アルミナ等の非磁性絶縁材料でもよいし、Ru、NiCu、Ta、W、NiB、NiP等の非磁性導電材料でもよい。   The first gap layer 19 is disposed so as to cover the main pole 15, the nonmagnetic metal layer 58 and the insulating layer 59. The first gap layer 19 is made of a nonmagnetic material. The material of the first gap layer 19 may be a nonmagnetic insulating material such as alumina, or a nonmagnetic conductive material such as Ru, NiCu, Ta, W, NiB, or NiP.

第1のシールド16Aは、サイドシールド16C,16Dおよび第1のギャップ層19の上に配置され、サイドシールド16C,16Dおよび第1のギャップ層19の上面に接している。媒体対向面80において、第1のシールド16Aの第1の端面部分16Aaの一部は、主磁極15の端面に対して、第1のギャップ層19の厚みによる所定の間隔を開けて配置されている。第1のギャップ層19の厚みは、5〜60nmの範囲内であることが好ましく、例えば30〜60nmの範囲内である。主磁極15の端面は、第1のギャップ層19に隣接する辺を有し、この辺はトラック幅を規定している。   The first shield 16A is disposed on the side shields 16C and 16D and the first gap layer 19, and is in contact with the upper surfaces of the side shields 16C and 16D and the first gap layer 19. In the medium facing surface 80, a part of the first end surface portion 16 </ b> Aa of the first shield 16 </ b> A is arranged with a predetermined interval depending on the thickness of the first gap layer 19 with respect to the end surface of the main pole 15. Yes. The thickness of the first gap layer 19 is preferably in the range of 5 to 60 nm, for example, in the range of 30 to 60 nm. The end face of the main pole 15 has a side adjacent to the first gap layer 19, and this side defines the track width.

磁性層36は、磁性層35の上に配置されている。磁性層42は、媒体対向面80から離れた位置において主磁極15の上に配置されている。第1のコイル21は、リード層20に連続している。図4では、第1のコイル21とリード層20の境界を点線で示している。また、第1のコイル21は、第1の連結部41(磁性層42)の周りに巻回され、且つその一部が第1の連結部41(磁性層42)と第2の連結部31(磁性層36)の間を通過している。   The magnetic layer 36 is disposed on the magnetic layer 35. The magnetic layer 42 is disposed on the main pole 15 at a position away from the medium facing surface 80. The first coil 21 is continuous with the lead layer 20. In FIG. 4, the boundary between the first coil 21 and the lead layer 20 is indicated by a dotted line. The first coil 21 is wound around the first connecting portion 41 (magnetic layer 42), and a part of the first coil 21 is connected to the first connecting portion 41 (magnetic layer 42) and the second connecting portion 31. It passes between (magnetic layer 36).

磁気ヘッドは、更に、絶縁材料よりなる絶縁膜62および絶縁層63,64を備えている。絶縁膜62は、第1のコイル21およびリード層20のそれぞれの上面以外の面に接するように設けられている。絶縁層63は、第1のコイル21、リード層20、第1のシールド16Aおよび磁性層36の周囲に配置されている。第1のコイル21、リード層20、第1のシールド16A、磁性層36,42、絶縁膜62および絶縁層63の上面は平坦化されている。絶縁層64は、第1のコイル21、リード層20および絶縁膜62の上面の上に配置されている。絶縁膜62および絶縁層63,64は、例えばアルミナによって形成されている。   The magnetic head further includes an insulating film 62 and insulating layers 63 and 64 made of an insulating material. The insulating film 62 is provided so as to be in contact with surfaces other than the upper surfaces of the first coil 21 and the lead layer 20. The insulating layer 63 is disposed around the first coil 21, the lead layer 20, the first shield 16 </ b> A, and the magnetic layer 36. The top surfaces of the first coil 21, the lead layer 20, the first shield 16A, the magnetic layers 36 and 42, the insulating film 62, and the insulating layer 63 are flattened. The insulating layer 64 is disposed on the top surfaces of the first coil 21, the lead layer 20, and the insulating film 62. The insulating film 62 and the insulating layers 63 and 64 are made of alumina, for example.

第2のヨーク層40は、第1のシールド16A、磁性層36,42および絶縁層64の上に配置されている。また、第2のヨーク層40は、媒体対向面80に向いた端面を有し、この端面は、媒体対向面80から離れた位置に配置されている。第2のヨーク層40の端面における任意の位置の媒体対向面80からの距離は、任意の位置が基板1の上面1aから離れるに従って大きくなっている。   The second yoke layer 40 is disposed on the first shield 16 </ b> A, the magnetic layers 36 and 42, and the insulating layer 64. Further, the second yoke layer 40 has an end surface facing the medium facing surface 80, and this end surface is disposed at a position away from the medium facing surface 80. The distance from the medium facing surface 80 at an arbitrary position on the end face of the second yoke layer 40 increases as the arbitrary position moves away from the upper surface 1 a of the substrate 1.

磁気ヘッドは、更に、第2のヨーク層40の周囲に配置された絶縁材料よりなる絶縁層68と、非磁性材料よりなり、記録ヘッド部9を覆うように配置された保護層70とを備えている。絶縁層68は、例えばアルミナによって形成されている。保護層70は、例えば、アルミナ等の無機絶縁材料によって形成されている。   The magnetic head further includes an insulating layer 68 made of an insulating material arranged around the second yoke layer 40 and a protective layer 70 made of a nonmagnetic material and arranged to cover the recording head portion 9. ing. The insulating layer 68 is made of alumina, for example. The protective layer 70 is formed of, for example, an inorganic insulating material such as alumina.

以上説明したように、本実施の形態に係る磁気ヘッドは、記録媒体に対向する媒体対向面80と再生ヘッド部8と記録ヘッド部9とを備えている。再生ヘッド部8と記録ヘッド部9は、基板1の上に積層されている。再生ヘッド部8は、記録ヘッド部9に対して、記録媒体の進行方向Tの後側(リーディング側)に配置されている。   As described above, the magnetic head according to the present embodiment includes the medium facing surface 80 facing the recording medium, the reproducing head unit 8, and the recording head unit 9. The reproducing head unit 8 and the recording head unit 9 are stacked on the substrate 1. The reproducing head unit 8 is arranged on the rear side (leading side) of the recording medium traveling direction T with respect to the recording head unit 9.

記録ヘッド部9は、第1のコイル21と、第2のコイル11と、リード層10,20と、主磁極15と、記録シールド16と、ギャップ部17と、第1のヨーク層30と、第2のヨーク層40と、第1の連結部41と、第2の連結部31と、磁性層38,39とを有している。記録シールド16は、第1のシールド16Aと、第2のシールド16Bと、2つのサイドシールド16C,16Dとを有している。ギャップ部17は、第1のギャップ層19の一部および第2のギャップ層18の一部によって構成されている。   The recording head unit 9 includes a first coil 21, a second coil 11, lead layers 10 and 20, a main magnetic pole 15, a recording shield 16, a gap unit 17, a first yoke layer 30, It has a second yoke layer 40, a first connecting part 41, a second connecting part 31, and magnetic layers 38 and 39. The recording shield 16 includes a first shield 16A, a second shield 16B, and two side shields 16C and 16D. The gap portion 17 is constituted by a part of the first gap layer 19 and a part of the second gap layer 18.

第1のヨーク層30は、主磁極15に対して記録媒体の進行方向Tの後側に配置されている。また、第1のヨーク層30は、磁性層38,39を介して記録シールド16の第2のシールド16Bに磁気的に接続されている。第2のヨーク層40は、主磁極15に対して記録媒体の進行方向Tの前側に配置されている。また、第2のヨーク層40は、記録シールド16の第1のシールド16Aに磁気的に接続されている。   The first yoke layer 30 is disposed behind the main magnetic pole 15 in the traveling direction T of the recording medium. The first yoke layer 30 is magnetically connected to the second shield 16B of the recording shield 16 via the magnetic layers 38 and 39. The second yoke layer 40 is disposed on the front side in the traveling direction T of the recording medium with respect to the main magnetic pole 15. Further, the second yoke layer 40 is magnetically connected to the first shield 16A of the recording shield 16.

第1の連結部41は、主磁極15と第2のヨーク層40とを磁気的に連結している。第2の連結部31は、第1のヨーク層30と第2のヨーク層40とを磁気的に連結している。   The first connecting portion 41 magnetically connects the main magnetic pole 15 and the second yoke layer 40. The second connecting portion 31 magnetically connects the first yoke layer 30 and the second yoke layer 40.

次に、図1、図3および図4を参照して、第1のコイル21および第2のコイル11について詳しく説明する。図1に示したように、第2のコイル11は、主磁極15に対して記録媒体の進行方向Tの後側に配置されている。図3に示したように、第2のコイル11は、第2の連結部31(磁性層32)の周りに巻回されている。図3に示した例では、第2のコイル11は、第2の連結部31(磁性層32)に約2回巻かれている。また、第2のコイル11は、第1のコイル21に電気的に接続されたコイル接続部11Sを有している。上方から見て、第2のコイル11は、コイル接続部11Sからリード層10との境界に向かって時計回り方向に巻かれている。   Next, the first coil 21 and the second coil 11 will be described in detail with reference to FIG. 1, FIG. 3, and FIG. As shown in FIG. 1, the second coil 11 is arranged behind the main magnetic pole 15 in the traveling direction T of the recording medium. As shown in FIG. 3, the second coil 11 is wound around the second coupling portion 31 (magnetic layer 32). In the example shown in FIG. 3, the second coil 11 is wound about the second coupling portion 31 (magnetic layer 32) about twice. The second coil 11 has a coil connection part 11 </ b> S that is electrically connected to the first coil 21. As viewed from above, the second coil 11 is wound in the clockwise direction from the coil connection portion 11S toward the boundary with the lead layer 10.

図4に示したように、第1のコイル21は、第1の連結部41(磁性層42)の周りに巻回され、且つその一部が第1の連結部41(磁性層42)と第2の連結部31(磁性層36)の間を通過している。図4に示した例では、第1のコイル21は、第1の連結部41(磁性層42)の周りに約1回巻かれている。   As shown in FIG. 4, the first coil 21 is wound around the first connecting portion 41 (magnetic layer 42), and a part of the first coil 21 is connected to the first connecting portion 41 (magnetic layer 42). It passes between the second coupling parts 31 (magnetic layer 36). In the example shown in FIG. 4, the first coil 21 is wound about once around the first coupling portion 41 (magnetic layer 42).

また、第1のコイル21は、第2のコイル11のコイル接続部11Sに電気的に接続されたコイル接続部21Eを有している。上方から見て、第1のコイル21は、リード層20との境界からコイル接続部21Eに向かって反時計回り方向に巻かれている。コイル接続部21Eは、第1のコイル21と第2のコイル11との間の複数の層を貫通する図示しない柱状の接続層を介してコイル接続部11Sに電気的に接続されている。接続層は、銅等の導電材料によって形成されている。図3および図4に示した例では、第1のコイル21と第2のコイル11は、直列に接続されている。   Further, the first coil 21 has a coil connection part 21 </ b> E that is electrically connected to the coil connection part 11 </ b> S of the second coil 11. As viewed from above, the first coil 21 is wound in the counterclockwise direction from the boundary with the lead layer 20 toward the coil connection portion 21E. The coil connection portion 21E is electrically connected to the coil connection portion 11S through a columnar connection layer (not shown) that penetrates a plurality of layers between the first coil 21 and the second coil 11. The connection layer is made of a conductive material such as copper. In the example shown in FIGS. 3 and 4, the first coil 21 and the second coil 11 are connected in series.

次に、図1ないし図4を参照して、主磁極15の形状について詳しく説明する。図3および図4に示したように、主磁極15は、媒体対向面80に配置された端面とその反対側の端部とを有するトラック幅規定部15Aと、トラック幅規定部15Aの端部に接続された幅広部15Bとを含んでいる。また、図1および図2に示したように、主磁極15は、記録媒体の進行方向Tの前側の端に位置する面である上面と、上面とは反対側の下端部と、第1の側部と、第2の側部とを有している。幅広部15Bにおける上面のトラック幅方向TWの幅は、トラック幅規定部15Aにおける上面のトラック幅方向TWの幅よりも大きい。   Next, the shape of the main pole 15 will be described in detail with reference to FIGS. As shown in FIGS. 3 and 4, the main pole 15 includes a track width defining portion 15A having an end surface disposed on the medium facing surface 80 and an end portion on the opposite side, and an end portion of the track width defining portion 15A. And a wide portion 15B connected to the. Further, as shown in FIGS. 1 and 2, the main magnetic pole 15 has an upper surface which is a surface located at the front end in the traveling direction T of the recording medium, a lower end portion opposite to the upper surface, and a first It has a side part and a second side part. The width of the upper surface of the wide portion 15B in the track width direction TW is larger than the width of the upper surface of the track width defining portion 15A in the track width direction TW.

トラック幅規定部15Aにおける上面のトラック幅方向TWの幅は、媒体対向面80からの距離によらずにほぼ一定である。幅広部15Bにおける上面のトラック幅方向TWの幅は、例えば、トラック幅規定部15Aとの境界位置ではトラック幅規定部15Aにおける上面のトラック幅方向TWの幅と等しく、媒体対向面80から離れるに従って、徐々に大きくなった後、一定の大きさになっている。ここで、媒体対向面80に垂直な方向についてのトラック幅規定部15Aの長さをネックハイトと呼ぶ。ネックハイトは、例えば0〜0.3μmの範囲内である。ネックハイトが0の場合は、トラック幅規定部15Aがなく、幅広部15Bの端面が媒体対向面80に配置される。   The width of the upper surface of the track width defining portion 15 </ b> A in the track width direction TW is substantially constant regardless of the distance from the medium facing surface 80. The width of the upper surface of the wide portion 15B in the track width direction TW is equal to the width of the upper surface of the track width defining portion 15A in the track width direction TW at the boundary position with the track width defining portion 15A, for example. After gradually becoming larger, it has become a certain size. Here, the length of the track width defining portion 15A in the direction perpendicular to the medium facing surface 80 is referred to as a neck height. The neck height is, for example, in the range of 0 to 0.3 μm. When the neck height is 0, there is no track width defining portion 15A, and the end surface of the wide portion 15B is disposed on the medium facing surface 80.

主磁極15の上面は、媒体対向面80に近い順に、連続するように配置された第1の部分、第2の部分、第3の部分および第4の部分を含んでいる。第1の部分は、媒体対向面80に配置された第1の端部と、その反対側の第2の端部とを有している。第2の部分は、第1の部分の第2の端部に接続されている。第3の部分は、第2の部分に接続された第1の端部と、第1の端部よりも媒体対向面80からより遠い位置に配置された第2の端部とを有している。第4の部分は、第3の部分の第2の端部に接続されている。第1および第3の部分は、それぞれ、その第2の端部がその第1の端部に対して記録媒体の進行方向Tの前側に配置されるように傾斜している。第2および第4の部分は、実質的に媒体対向面80に垂直な方向に延在している。第1のシールド16Aの下面は、ギャップ部17の一部を構成する第1のギャップ層19を介して、主磁極15の上面の第1の部分に対向する部分を含んでいる。   The upper surface of the main pole 15 includes a first portion, a second portion, a third portion, and a fourth portion that are arranged so as to be continuous in the order close to the medium facing surface 80. The first portion has a first end disposed on the medium facing surface 80 and a second end opposite to the first end. The second part is connected to the second end of the first part. The third portion has a first end connected to the second portion and a second end disposed at a position farther from the medium facing surface 80 than the first end. Yes. The fourth part is connected to the second end of the third part. Each of the first and third portions is inclined so that the second end thereof is disposed on the front side in the traveling direction T of the recording medium with respect to the first end. The second and fourth portions extend in a direction substantially perpendicular to the medium facing surface 80. The lower surface of the first shield 16 </ b> A includes a portion that faces the first portion of the upper surface of the main pole 15 through the first gap layer 19 that constitutes a part of the gap portion 17.

主磁極15の下端部は、媒体対向面80に近い順に、連続するように配置された第1の部分、第2の部分、第3の部分および第4の部分を含んでいる。第1の部分は、媒体対向面80に配置された第1の端部と、その反対側の第2の端部とを有している。第2の部分は、第1の部分の第2の端部に接続されている。第3の部分は、第2の部分に接続された第1の端部と、第1の端部よりも媒体対向面80からより遠い位置に配置された第2の端部とを有している。第1ないし第3の部分は、2つの面が交わってできるエッジでもよいし、2つの面を連結する面でもよい。第4の部分は、第3の部分の第2の端部に接続された面である。第1および第3の部分は、それぞれ、その第2の端部がその第1の端部に対して記録媒体の進行方向Tの後側に配置されるように傾斜している。第2および第4の部分は、実質的に媒体対向面80に垂直な方向に延在している。   The lower end portion of the main pole 15 includes a first portion, a second portion, a third portion, and a fourth portion that are arranged so as to be continuous in the order close to the medium facing surface 80. The first portion has a first end disposed on the medium facing surface 80 and a second end opposite to the first end. The second part is connected to the second end of the first part. The third portion has a first end connected to the second portion and a second end disposed at a position farther from the medium facing surface 80 than the first end. Yes. The first to third portions may be edges formed by the intersection of two surfaces, or may be surfaces that connect the two surfaces. The fourth portion is a surface connected to the second end of the third portion. Each of the first and third portions is inclined such that the second end portion thereof is disposed on the rear side in the traveling direction T of the recording medium with respect to the first end portion. The second and fourth portions extend in a direction substantially perpendicular to the medium facing surface 80.

媒体対向面80に配置された主磁極15の端面は、第1のギャップ層19に隣接する第1の辺と、第1の辺の一端部に接続された第2の辺と、第1の辺の他端部に接続された第3の辺とを有している。第1の辺はトラック幅を規定する。記録媒体に記録される記録ビットの端部の位置は、第1の辺の位置によって決まる。媒体対向面80に配置された主磁極15の端面のトラック幅方向TWの幅は、第1の辺から離れるに従って、すなわち基板1の上面1aに近づくに従って小さくなっている。第2の辺と第3の辺がそれぞれ基板1の上面1aに垂直な方向に対してなす角度は、例えば7°〜17°の範囲内であり、10°〜15°の範囲内であることが好ましい。第1の辺の長さは、例えば0.05〜0.20μmの範囲内である。   The end face of the main pole 15 disposed on the medium facing surface 80 includes a first side adjacent to the first gap layer 19, a second side connected to one end of the first side, and a first side And a third side connected to the other end of the side. The first side defines the track width. The position of the end portion of the recording bit recorded on the recording medium is determined by the position of the first side. The width of the end face of the main pole 15 disposed on the medium facing surface 80 in the track width direction TW decreases as the distance from the first side increases, that is, as the surface approaches the upper surface 1a of the substrate 1. The angles formed by the second side and the third side with respect to the direction perpendicular to the upper surface 1a of the substrate 1 are, for example, in the range of 7 ° to 17 ° and in the range of 10 ° to 15 °. Is preferred. The length of the first side is, for example, in the range of 0.05 to 0.20 μm.

次に、本実施の形態に係る磁気ヘッドの作用および効果について説明する。この磁気ヘッドでは、記録ヘッド部9によって記録媒体に情報を記録し、再生ヘッド部8によって、記録媒体に記録されている情報を再生する。記録ヘッド部9において、第1のコイル21および第2のコイル11は、記録媒体に記録する情報に応じた磁界を発生する。第1のコイル21によって発生された磁界に対応する磁束は、第1の連結部41と主磁極15を通過する。第2のコイル11によって発生された磁界に対応する磁束は、第2の連結部31、第2のヨーク層40、第1の連結部41および主磁極15を通過する。従って、主磁極15は、第1のコイル21によって発生された磁界に対応する磁束と第2のコイル11によって発生された磁界に対応する磁束とを通過させる。   Next, functions and effects of the magnetic head according to the present embodiment will be described. In this magnetic head, information is recorded on a recording medium by the recording head unit 9, and information recorded on the recording medium is reproduced by the reproducing head unit 8. In the recording head unit 9, the first coil 21 and the second coil 11 generate a magnetic field according to information to be recorded on the recording medium. The magnetic flux corresponding to the magnetic field generated by the first coil 21 passes through the first connecting portion 41 and the main magnetic pole 15. A magnetic flux corresponding to the magnetic field generated by the second coil 11 passes through the second connecting portion 31, the second yoke layer 40, the first connecting portion 41, and the main magnetic pole 15. Therefore, the main magnetic pole 15 passes the magnetic flux corresponding to the magnetic field generated by the first coil 21 and the magnetic flux corresponding to the magnetic field generated by the second coil 11.

なお、第1のコイル21および第2のコイル11は、直列に接続されていてもよいし、並列に接続されていてもよい。いずれにしても、主磁極15において、第1のコイル21によって発生された磁界に対応する磁束と第2のコイル11によって発生された磁界に対応する磁束が同じ方向に流れるように、第1のコイル21および第2のコイル11は接続される。   The first coil 21 and the second coil 11 may be connected in series or may be connected in parallel. In any case, in the main magnetic pole 15, the first magnetic flux 15 corresponding to the magnetic field generated by the first coil 21 and the magnetic flux generated by the second coil 11 so that the magnetic flux corresponding to the magnetic field generated in the same direction flow in the same direction. The coil 21 and the second coil 11 are connected.

主磁極15は、上述のように第1のコイル21および第2のコイル11によって発生された磁界に対応する磁束を通過させて、垂直磁気記録方式によって情報を記録媒体に記録するための記録磁界を発生する。   The main magnetic pole 15 passes a magnetic flux corresponding to the magnetic field generated by the first coil 21 and the second coil 11 as described above, and a recording magnetic field for recording information on a recording medium by a perpendicular magnetic recording method. Is generated.

記録シールド16は、磁気ヘッドの外部から磁気ヘッドに印加された外乱磁界を取り込む。これにより、外乱磁界が主磁極15に集中して取り込まれることによって記録媒体に対して誤った記録が行なわれることを防止することができる。また、記録シールド16は、主磁極15の端面より発生されて記録媒体の面に垂直な方向以外の方向に広がる磁束を取り込んで、この磁束が記録媒体に達することを阻止する機能を有している。   The recording shield 16 takes in a disturbance magnetic field applied to the magnetic head from the outside of the magnetic head. Thereby, it is possible to prevent the recording medium from being erroneously recorded by the disturbance magnetic field being concentrated and taken into the main magnetic pole 15. The recording shield 16 has a function of taking in a magnetic flux generated from the end face of the main magnetic pole 15 and spreading in a direction other than the direction perpendicular to the surface of the recording medium and preventing the magnetic flux from reaching the recording medium. Yes.

また、記録シールド16、第1のヨーク層30、第2のヨーク層40、第1の連結部41、第2の連結部31および磁性層38,39は、主磁極15の端面より発生されて、記録媒体を磁化した磁束を還流させる機能を有している。具体的に説明すると、主磁極15の端面より発生されて、記録媒体を磁化した磁束の一部は、記録シールド16、第2のヨーク層40および第1の連結部41(磁性層42)を経由する第1の磁路を通過して主磁極15に還流する。また、主磁極15の端面より発生されて、記録媒体を磁化した磁束の他の一部は、記録シールド16、磁性層39,38、第1のヨーク層30、第2の連結部31(磁性層32〜36)、第2のヨーク層40および第1の連結部41を経由する第2の磁路を通過して主磁極15に還流する。このように、本実施の形態では、記録シールド16から主磁極15に至る第1および第2の磁路が形成される。第1の磁路は、主磁極15に対して記録媒体の進行方向Tの前側に配置されて、主磁極15のうちの媒体対向面80から離れた部分と記録シールド16とを接続する。   The write shield 16, the first yoke layer 30, the second yoke layer 40, the first coupling portion 41, the second coupling portion 31, and the magnetic layers 38 and 39 are generated from the end face of the main pole 15. In addition, it has a function of returning a magnetic flux magnetized in the recording medium. More specifically, a part of the magnetic flux generated from the end face of the main pole 15 and magnetizing the recording medium passes through the recording shield 16, the second yoke layer 40, and the first coupling portion 41 (magnetic layer 42). It passes through the first magnetic path passing therethrough and returns to the main magnetic pole 15. Further, another part of the magnetic flux generated from the end face of the main pole 15 and magnetizing the recording medium includes the recording shield 16, the magnetic layers 39 and 38, the first yoke layer 30, and the second connecting portion 31 (magnetic Layers 32 to 36), the second yoke layer 40, and the first coupling portion 41, and then returns to the main magnetic pole 15 through the second magnetic path. Thus, in the present embodiment, the first and second magnetic paths from the recording shield 16 to the main magnetic pole 15 are formed. The first magnetic path is disposed in front of the main magnetic pole 15 in the traveling direction T of the recording medium, and connects the portion of the main magnetic pole 15 away from the medium facing surface 80 and the recording shield 16.

記録シールド16は、第1のシールド16Aと、第2のシールド16Bと、2つのサイドシールド16C,16Dとを有している。これにより、本実施の形態によれば、主磁極15の端面に対して記録媒体の進行方向Tの前側および後側ならびにトラック幅方向TWの両側において、主磁極15の端面より発生されて記録媒体の面に垂直な方向以外の方向に広がる磁束を取り込んで、この磁束が記録媒体に達することを抑制することができる。その結果、本実施の形態によれば、スキューに起因した隣接トラック消去の発生を抑制することができる。第1および第2のシールド16A,16Bは、スキューに起因した隣接トラック消去の発生を抑制することに寄与する他に、記録磁界の勾配を大きくすることに寄与する。サイドシールド16C,16Dは、特に隣接トラック消去を抑制することへの寄与が大きい。このような記録シールド16の機能により、本実施の形態によれば、記録密度を高めることができる。   The recording shield 16 includes a first shield 16A, a second shield 16B, and two side shields 16C and 16D. Thus, according to the present embodiment, the recording medium is generated from the end face of the main pole 15 on the front and rear sides in the traveling direction T of the recording medium and on both sides in the track width direction TW with respect to the end face of the main pole 15. The magnetic flux spreading in a direction other than the direction perpendicular to the surface can be taken in and the magnetic flux can be prevented from reaching the recording medium. As a result, according to the present embodiment, it is possible to suppress the occurrence of adjacent track erasure due to skew. The first and second shields 16A and 16B contribute to suppressing the occurrence of adjacent track erasure due to skew and increasing the recording magnetic field gradient. The side shields 16C and 16D have a large contribution particularly to suppressing adjacent track erasure. With such a function of the recording shield 16, according to the present embodiment, the recording density can be increased.

また、本実施の形態では、図2に示したように、媒体対向面80において、トラック幅方向TWにおける主磁極15の第1および第2の側部の間隔すなわち主磁極15の端面の幅は、基板1の上面1aに近づくに従って小さくなっている。本実施の形態によれば、この特徴によっても、スキューに起因した隣接トラック消去の発生を抑制することができる。   In the present embodiment, as shown in FIG. 2, the distance between the first and second side portions of the main pole 15 in the track width direction TW on the medium facing surface 80, that is, the width of the end face of the main pole 15 is , It becomes smaller as it approaches the upper surface 1a of the substrate 1. According to the present embodiment, the occurrence of adjacent track erasure due to skew can also be suppressed by this feature.

また、本実施の形態では、媒体対向面80において、トラック幅方向TWにおけるサイドシールド16C,16Dにおける第1および第2の側壁の間隔は、主磁極15の第1および第2の側部の間隔と同様に、基板1の上面1aに近づくに従って小さくなっている。従って、本実施の形態によれば、媒体対向面80において、第1の側部と第1の側壁との間隔、ならびに第2の側部と第2の側壁との間隔を、小さく、且つ均一にすることが可能になる。これにより、サイドシールド16C,16Dによって、主磁極15の端面より発生されてトラック幅方向TWの両側に広がる磁束を、効果的に取り込むことができる。その結果、本実施の形態によれば、特にサイドシールド16C,16Dの機能を高めることが可能になり、スキューに起因した隣接トラック消去の発生をより効果的に抑制することが可能になる。   In the present embodiment, in the medium facing surface 80, the distance between the first and second side walls of the side shields 16C and 16D in the track width direction TW is the distance between the first and second side portions of the main pole 15. In the same manner as in FIG. Therefore, according to the present embodiment, in the medium facing surface 80, the distance between the first side and the first side wall and the distance between the second side and the second side wall are small and uniform. It becomes possible to. Thereby, the magnetic flux generated from the end face of the main pole 15 and spreading on both sides in the track width direction TW can be effectively taken in by the side shields 16C and 16D. As a result, according to the present embodiment, the functions of the side shields 16C and 16D can be enhanced, and the occurrence of adjacent track erasure due to skew can be more effectively suppressed.

記録シールド16の機能を効果的に発揮させるためには、記録シールド16によって多くの磁束を取り込めることが重要である。そのため、本実施の形態のように、磁気ヘッドが、記録シールド16から主磁極15に至る第1および第2の磁路を備えることは有効である。   In order to exhibit the function of the recording shield 16 effectively, it is important that a large amount of magnetic flux can be taken in by the recording shield 16. Therefore, it is effective that the magnetic head includes the first and second magnetic paths from the recording shield 16 to the main magnetic pole 15 as in the present embodiment.

また、本実施の形態では、主磁極15の上面は、その第2の端部がその第1の端部に対して記録媒体の進行方向Tの前側に配置されるように傾斜した第1および第3の部分を含み、主磁極15の下端部は、その第2の端部がその第1の端部に対して記録媒体の進行方向Tの後側に配置されるように傾斜した第1および第3の部分を含んでいる。これにより、本実施の形態によれば、媒体対向面80における主磁極15の厚みを小さくすることができることから、スキューに起因した隣接トラック消去の発生を抑制することができる。また、媒体対向面80から離れた位置では主磁極15の厚みを大きくすることができることから、主磁極15によって多くの磁束を媒体対向面80まで導くことができ、その結果、オーバーライト特性等の記録特性を向上させることができる。   In the present embodiment, the top surface of the main magnetic pole 15 is inclined so that the second end thereof is disposed on the front side in the traveling direction T of the recording medium with respect to the first end. The first lower portion of the main pole 15 including the third portion is inclined such that the second end thereof is disposed on the rear side in the traveling direction T of the recording medium with respect to the first end. And a third portion. Thereby, according to the present embodiment, the thickness of the main magnetic pole 15 in the medium facing surface 80 can be reduced, so that the occurrence of adjacent track erasure due to skew can be suppressed. Further, since the thickness of the main magnetic pole 15 can be increased at a position away from the medium facing surface 80, a large amount of magnetic flux can be guided to the medium facing surface 80 by the main magnetic pole 15, and as a result, the overwrite characteristics, etc. Recording characteristics can be improved.

また、記録密度を高めるために記録信号の周波数が高くなってくると、磁気ヘッドには、主磁極15の端面より発生される磁束の方向の変化の速度の向上が求められる。また、記録ビットの端部の位置は、媒体対向面80に配置された主磁極15の端面のうち、記録媒体の進行方向Tの前側に配置された端部の位置によって決まる。そのため、記録密度を高めるためには、主磁極15の端面より発生される磁束の方向の変化の速度の向上と共に、第1のシールド16Aを通過する磁束の方向の変化の速度の向上も求められる。この要求に応えるためには、第1のシールド16Aと主磁極15を経由する磁路の長さを短くすることが有効である。本実施の形態では、主磁極15と第1のシールド16Aとを接続する第1の磁路を設けることによって、第1の磁路が設けられていない場合に比べて、上記の磁路の長さを短くすることができる。   Further, when the frequency of the recording signal is increased in order to increase the recording density, the magnetic head is required to improve the speed of change in the direction of the magnetic flux generated from the end face of the main magnetic pole 15. Further, the position of the end portion of the recording bit is determined by the position of the end portion disposed on the front side in the traveling direction T of the recording medium among the end surfaces of the main magnetic pole 15 disposed on the medium facing surface 80. Therefore, in order to increase the recording density, an improvement in the speed of change in the direction of the magnetic flux generated from the end face of the main pole 15 and an increase in the speed of change in the direction of the magnetic flux passing through the first shield 16A are required. . In order to meet this requirement, it is effective to shorten the length of the magnetic path passing through the first shield 16A and the main magnetic pole 15. In the present embodiment, the length of the magnetic path is longer by providing the first magnetic path connecting the main magnetic pole 15 and the first shield 16A than when the first magnetic path is not provided. The length can be shortened.

また、本実施の形態では、主磁極15、ギャップ部17(ギャップ層19の一部)、記録シールド16および第1の磁路(第2のヨーク層40および第1の連結部41)は、これらによって囲まれた空間を形成する。この空間を通過する第1のコイル21の巻き数は約1回である。本実施の形態によれば、第1のコイル21の巻き数を少なくすることによって、第1の磁路の長さをより短くすることが可能になる。これにより、主磁極15の端面より発生される磁束の方向の変化の速度と、第1のシールド16Aを通過する磁束の方向の変化の速度の両方を向上させることができ、その結果、記録密度を高めることが可能になる。   In the present embodiment, the main magnetic pole 15, the gap portion 17 (a part of the gap layer 19), the write shield 16 and the first magnetic path (the second yoke layer 40 and the first coupling portion 41) A space surrounded by these is formed. The number of turns of the first coil 21 that passes through this space is about one. According to the present embodiment, the length of the first magnetic path can be shortened by reducing the number of turns of the first coil 21. Thereby, both the speed of change in the direction of the magnetic flux generated from the end face of the main pole 15 and the speed of change in the direction of the magnetic flux passing through the first shield 16A can be improved. As a result, the recording density Can be increased.

しかし、第1のコイル21の巻き数を少なくしただけでは、第1のコイル21による起磁力が小さくなって、主磁極15から十分な大きさの記録磁界を発生させることができなくなるおそれがある。これに対し、本実施の形態では、第1の磁路および第1のコイル21に加えて、第2の磁路および第2のコイル11が設けられている。これにより、第1のコイル21の巻き数を少なくして第1の磁路の長さを短くしても、第1のコイル21の起磁力および第2のコイル11の起磁力によって、主磁極15から十分な大きさの記録磁界を発生させることが可能になる。   However, if the number of turns of the first coil 21 is reduced, the magnetomotive force generated by the first coil 21 may be reduced, and it may not be possible to generate a sufficiently large recording magnetic field from the main pole 15. . On the other hand, in the present embodiment, in addition to the first magnetic path and the first coil 21, a second magnetic path and the second coil 11 are provided. Thus, even if the number of turns of the first coil 21 is reduced and the length of the first magnetic path is shortened, the main magnetic pole is generated by the magnetomotive force of the first coil 21 and the magnetomotive force of the second coil 11. 15 can generate a sufficiently large recording magnetic field.

本実施の形態では、特に、第2のコイル11の巻き数は約2回であり、第1のコイル21の巻き数は約1回である。ここで、第2のコイル11が設けられておらず、第1のコイル21の巻き数が3回である比較例の磁気ヘッドを考える。比較例の磁気ヘッドのその他の構成は、本実施の形態に係る磁気ヘッドと同様である。本実施の形態における第1のコイル21および第2のコイル11による合計の起磁力は、比較例の磁気ヘッドにおける第1のコイル21による起磁力とほぼ等しくなる。一方、本実施の形態では、比較例の磁気ヘッドに比べて、第1のコイル21の巻き数が少ないことから、第1の磁路の長さを短くすることができる。このようにして、本実施の形態によれば、主磁極15から発生される記録磁界の大きさを比較例の磁気ヘッドと同等にしながら、比較例の磁気ヘッドよりも、第1の磁路の長さを短くすることができる。   In the present embodiment, in particular, the number of turns of the second coil 11 is about 2, and the number of turns of the first coil 21 is about 1. Here, a magnetic head of a comparative example in which the second coil 11 is not provided and the first coil 21 is wound three times is considered. Other configurations of the magnetic head of the comparative example are the same as those of the magnetic head according to the present embodiment. The total magnetomotive force by the first coil 21 and the second coil 11 in the present embodiment is substantially equal to the magnetomotive force by the first coil 21 in the magnetic head of the comparative example. On the other hand, in this embodiment, since the number of turns of the first coil 21 is smaller than that of the magnetic head of the comparative example, the length of the first magnetic path can be shortened. In this manner, according to the present embodiment, the magnitude of the recording magnetic field generated from the main magnetic pole 15 is made equal to that of the magnetic head of the comparative example, while the first magnetic path of the comparative magnetic head is made. The length can be shortened.

また、本実施の形態では、第1のコイル21の巻き数に制約されることなく、第2のコイル11の巻き数を多くすることができる。第2のコイル11の巻き数は、第1のコイル21の巻き数以上であってもよいし、第1のコイル21の巻き数よりも多くてもよい。そして、このように第2のコイル11の巻き数を多くすることによって、第2のコイル11による起磁力を大きくすることが可能になる。   In the present embodiment, the number of turns of the second coil 11 can be increased without being restricted by the number of turns of the first coil 21. The number of turns of the second coil 11 may be equal to or greater than the number of turns of the first coil 21, or may be greater than the number of turns of the first coil 21. Then, by increasing the number of turns of the second coil 11 in this way, the magnetomotive force by the second coil 11 can be increased.

特に、本実施の形態では、第2の連結部31は、第1の連結部41に対して、媒体対向面80からより遠い位置に配置されている。これにより、容易に、第2の連結部31の周りに巻回される第2のコイル11の巻き数を多くすることができる。   In particular, in the present embodiment, the second connecting portion 31 is disposed at a position farther from the medium facing surface 80 than the first connecting portion 41. Thereby, the winding number of the 2nd coil 11 wound around the 2nd connection part 31 can be increased easily.

また、本実施の形態では、第2のコイル11は、主磁極15に対して記録媒体の進行方向Tの後側に配置されている。従って、第1のコイル21の配置に制約されることなく、第2のコイル11を配置することができる。これによって、容易に、第2のコイル11の巻き数を多くすることができる。   Further, in the present embodiment, the second coil 11 is disposed on the rear side in the traveling direction T of the recording medium with respect to the main magnetic pole 15. Therefore, the second coil 11 can be arranged without being restricted by the arrangement of the first coil 21. Thereby, the number of turns of the second coil 11 can be easily increased.

以上のことから、本実施の形態によれば、主磁極15に対して記録媒体の進行方向Tの前側に配置された第1の磁路の長さを短くしながら、主磁極15から十分な大きさの記録磁界を発生させることが可能になる。   From the above, according to the present embodiment, the length of the first magnetic path disposed on the front side in the traveling direction T of the recording medium with respect to the main magnetic pole 15 is shortened, and sufficient from the main magnetic pole 15. A recording magnetic field having a magnitude can be generated.

[第2の実施の形態]
次に、図5ないし図7を参照して、本発明の第2の実施の形態に係る磁気ヘッドについて説明する。図5は、本実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。なお、図5は前記主断面を示している。図6は、本実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第1のコイルの第1層を示す平面図である。図7は、本実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第1のコイルの第2層を示す平面図である。
[Second Embodiment]
Next, a magnetic head according to a second embodiment of the invention will be described with reference to FIGS. FIG. 5 is a cross-sectional view showing the magnetic head according to the present embodiment. FIG. 5 shows the main cross section. FIG. 6 is a plan view showing the first layer of the first coil in the magnetic head according to the present embodiment. FIG. 7 is a plan view showing the second layer of the first coil in the magnetic head according to the present embodiment.

本実施の形態に係る磁気ヘッドは、以下の点で第1の実施の形態に係る磁気ヘッドと異なっている。本実施の形態では、第1の連結部41は、磁性層42に加えて、磁性層42の上に配置された磁性層43を含んでいる。また、第2の連結部31は、磁性層32〜36に加えて、磁性層36の上に配置された磁性層37を含んでいる。また、記録ヘッド部9は、第1のシールド16Aの上に積層された磁性材料よりなる磁性層44を有している。磁性層44は、媒体対向面80に向いた端面を有し、この端面は、媒体対向面80から離れた位置に配置されている。磁性層44の端面における任意の位置の媒体対向面80からの距離は、任意の位置が基板1の上面1aから離れるに従って大きくなっている。磁性層44の材料としては、例えばCoFeN、CoNiFe、NiFe、CoFeのいずれかを用いることができる。   The magnetic head according to the present embodiment is different from the magnetic head according to the first embodiment in the following points. In the present embodiment, the first coupling portion 41 includes a magnetic layer 43 disposed on the magnetic layer 42 in addition to the magnetic layer 42. In addition to the magnetic layers 32 to 36, the second coupling portion 31 includes a magnetic layer 37 disposed on the magnetic layer 36. In addition, the recording head unit 9 has a magnetic layer 44 made of a magnetic material laminated on the first shield 16A. The magnetic layer 44 has an end surface facing the medium facing surface 80, and this end surface is disposed at a position away from the medium facing surface 80. The distance from the medium facing surface 80 at an arbitrary position on the end surface of the magnetic layer 44 increases as the arbitrary position moves away from the upper surface 1 a of the substrate 1. As the material of the magnetic layer 44, for example, any one of CoFeN, CoNiFe, NiFe, and CoFe can be used.

また、本実施の形態では、記録ヘッド部9は、第1の実施の形態における第1のコイル21の代わりに、第1層22Aおよび第2層22Bを有する第1のコイル22を有している。第1のコイル22は、銅等の導電材料によって形成されている。   In the present embodiment, the recording head unit 9 includes the first coil 22 having the first layer 22A and the second layer 22B instead of the first coil 21 in the first embodiment. Yes. The first coil 22 is made of a conductive material such as copper.

第1層22Aの、第1の連結部41(磁性層42)および第2の連結部31(磁性層36)に対する位置関係は、第1の実施の形態における第1のコイル21と同様である。すなわち、第1層22Aは、第1の連結部41(磁性層42)の周りに巻回され、且つその一部が第1の連結部41(磁性層42)と第2の連結部31(磁性層36)との間を通過している。図6に示した例では、第1層22Aは、第1の連結部41(磁性層42)の周りに約1回巻かれている。   The positional relationship of the first layer 22A with respect to the first coupling portion 41 (magnetic layer 42) and the second coupling portion 31 (magnetic layer 36) is the same as that of the first coil 21 in the first embodiment. . That is, the first layer 22A is wound around the first coupling portion 41 (magnetic layer 42), and a part thereof is the first coupling portion 41 (magnetic layer 42) and the second coupling portion 31 ( It passes between the magnetic layer 36). In the example shown in FIG. 6, the first layer 22A is wound about the first coupling portion 41 (magnetic layer 42) about once.

また、第1層22Aは、第2層22Bに電気的に接続されたコイル接続部22ASと、第2のコイル11のコイル接続部11S(図3参照)に電気的に接続されたコイル接続部22AEとを有している。上方から見て、第1層22Aは、コイル接続部22ASからコイル接続部22AEに向かって反時計回り方向に巻かれている。コイル接続部22AEは、第1の実施の形態で説明した接続層を介してコイル接続部11Sに電気的に接続されている。   The first layer 22A includes a coil connection portion 22AS electrically connected to the second layer 22B and a coil connection portion electrically connected to the coil connection portion 11S (see FIG. 3) of the second coil 11. 22AE. When viewed from above, the first layer 22A is wound in the counterclockwise direction from the coil connection portion 22AS toward the coil connection portion 22AE. The coil connection part 22AE is electrically connected to the coil connection part 11S via the connection layer described in the first embodiment.

図7に示したように、第2層22Bは、リード層20に連続している。図7では、第2層22Bとリード層20の境界を点線で示している。また、第2層22Bは、第1の連結部41(磁性層43)の周りに巻回され、且つその一部が第1の連結部41(磁性層43)と第2の連結部31(磁性層37)との間を通過している。図7に示した例では、第2層22Bは、第1の連結部41(磁性層43)の周りに約1回巻かれている。   As shown in FIG. 7, the second layer 22 </ b> B is continuous with the lead layer 20. In FIG. 7, the boundary between the second layer 22B and the lead layer 20 is indicated by a dotted line. The second layer 22B is wound around the first coupling portion 41 (magnetic layer 43), and a part of the second layer 22B is part of the first coupling portion 41 (magnetic layer 43) and the second coupling portion 31 ( It passes between the magnetic layer 37). In the example shown in FIG. 7, the second layer 22 </ b> B is wound about the first coupling portion 41 (magnetic layer 43) about once.

また、第2層22Bは、第1層22Aのコイル接続部22ASに電気的に接続されたコイル接続部22BEを有している。上方から見て、第2層22Bは、リード層20との境界からコイル接続部22BEに向かって反時計回り方向に巻かれている。   The second layer 22B has a coil connection portion 22BE that is electrically connected to the coil connection portion 22AS of the first layer 22A. As viewed from above, the second layer 22B is wound counterclockwise from the boundary with the lead layer 20 toward the coil connection portion 22BE.

また、本実施の形態に係る磁気ヘッドは、絶縁材料よりなる絶縁膜65および絶縁層66,67を備えている。絶縁膜65は、第2層22Bおよびリード層20のそれぞれの上面以外の面に接するように設けられている。絶縁層66は、第2層22B、リード層20および磁性層37,44の周囲に配置されている。第2層22B、リード層20、磁性層37,43,44、絶縁膜65および絶縁層66の上面は平坦化されている。絶縁層67は、第2層22B、リード層20および絶縁膜65の上面の上に配置されている。絶縁膜65および絶縁層66,67は、例えばアルミナによって形成されている。   In addition, the magnetic head according to the present embodiment includes an insulating film 65 and insulating layers 66 and 67 made of an insulating material. The insulating film 65 is provided so as to be in contact with surfaces other than the upper surfaces of the second layer 22B and the lead layer 20. The insulating layer 66 is disposed around the second layer 22 </ b> B, the lead layer 20, and the magnetic layers 37 and 44. The upper surfaces of the second layer 22B, the lead layer 20, the magnetic layers 37, 43, and 44, the insulating film 65, and the insulating layer 66 are planarized. The insulating layer 67 is disposed on the upper surfaces of the second layer 22 </ b> B, the lead layer 20, and the insulating film 65. The insulating film 65 and the insulating layers 66 and 67 are made of alumina, for example.

絶縁層64および絶縁膜65には、第1層22Aのコイル接続部22ASを露出させる開口部が形成されている。第2層22Bのコイル接続部22BEは、絶縁層64および絶縁膜65に形成された開口部を通して、コイル接続部22ASに電気的に接続されている。   In the insulating layer 64 and the insulating film 65, an opening for exposing the coil connecting portion 22AS of the first layer 22A is formed. The coil connection portion 22BE of the second layer 22B is electrically connected to the coil connection portion 22AS through an opening formed in the insulating layer 64 and the insulating film 65.

また、本実施の形態では、第2のヨーク層40は、磁性層37,43,44および絶縁層67の上に配置されている。第1の連結部41(磁性層42,43)は、主磁極15と第2のヨーク層40とを磁気的に連結している。第2の連結部31(磁性層32〜37)は、第1のヨーク層30と第2のヨーク層40とを磁気的に連結している。磁性層44は、記録シールド16の第1のシールド16Aと第2のヨーク層40とを磁気的に連結している。   In the present embodiment, the second yoke layer 40 is disposed on the magnetic layers 37, 43, 44 and the insulating layer 67. The first coupling portion 41 (magnetic layers 42, 43) magnetically couples the main magnetic pole 15 and the second yoke layer 40. The second coupling portion 31 (magnetic layers 32 to 37) magnetically couples the first yoke layer 30 and the second yoke layer 40. The magnetic layer 44 magnetically couples the first shield 16 </ b> A of the recording shield 16 and the second yoke layer 40.

本実施の形態では、第1のコイル22の第1層22Aと第2層22Bによって発生された磁界に対応する磁束は、第1の連結部41と主磁極15を通過する。本実施の形態におけるその他の構成、作用および効果は、第1の実施の形態と同様である。   In the present embodiment, the magnetic flux corresponding to the magnetic field generated by the first layer 22 </ b> A and the second layer 22 </ b> B of the first coil 22 passes through the first coupling portion 41 and the main magnetic pole 15. Other configurations, operations, and effects in the present embodiment are the same as those in the first embodiment.

[第3の実施の形態]
次に、図8ないし図10を参照して、本発明の第3の実施の形態に係る磁気ヘッドについて説明する。図8は、本実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。なお、図8は前記主断面を示している。図9は、本実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第2のコイルを示す平面図である。図10は、本実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第1のコイルを示す平面図である。
[Third Embodiment]
Next, a magnetic head according to a third embodiment of the invention will be described with reference to FIGS. FIG. 8 is a cross-sectional view showing the magnetic head according to the present embodiment. FIG. 8 shows the main cross section. FIG. 9 is a plan view showing a second coil in the magnetic head according to the present embodiment. FIG. 10 is a plan view showing the first coil in the magnetic head according to the present embodiment.

本実施の形態に係る磁気ヘッドは、以下の点で第1の実施の形態に係る磁気ヘッドと異なっている。本実施の形態では、記録ヘッド部9は、第1の実施の形態における第1のコイル21および第2のコイル11の代わりに、第1のコイル23および第2のコイル12を有している。第1のコイル23および第2のコイル12は、いずれも、銅等の導電材料によって形成されている。   The magnetic head according to the present embodiment is different from the magnetic head according to the first embodiment in the following points. In the present embodiment, the recording head unit 9 has a first coil 23 and a second coil 12 instead of the first coil 21 and the second coil 11 in the first embodiment. . Both the first coil 23 and the second coil 12 are made of a conductive material such as copper.

第2のコイル12の、主磁極15、第2の連結部31(磁性層32)およびリード層10に対する位置関係は、第1の実施の形態における第2のコイル11と同様である。すなわち、第2のコイル12は、主磁極15に対して記録媒体の進行方向Tの後側に配置され、第2の連結部31(磁性層32)の周りに巻回されている。図9に示した例では、第2のコイル12は、第2の連結部31(磁性層32)の周りに約4回巻かれている。リード層10は、第2のコイル12に連続している。図9では、第2のコイル12とリード層10の境界を点線で示している。また、第2のコイル12は、第1のコイル23に電気的に接続されたコイル接続部12Sを有している。上方から見て、第2のコイル12は、コイル接続部12Sからリード層10との境界に向かって時計回り方向に巻かれている。   The positional relationship of the second coil 12 with respect to the main magnetic pole 15, the second coupling portion 31 (magnetic layer 32), and the lead layer 10 is the same as that of the second coil 11 in the first embodiment. That is, the second coil 12 is disposed behind the main magnetic pole 15 in the recording medium traveling direction T, and is wound around the second coupling portion 31 (magnetic layer 32). In the example shown in FIG. 9, the second coil 12 is wound about four times around the second coupling portion 31 (magnetic layer 32). The lead layer 10 is continuous with the second coil 12. In FIG. 9, the boundary between the second coil 12 and the lead layer 10 is indicated by a dotted line. Further, the second coil 12 has a coil connection part 12 </ b> S electrically connected to the first coil 23. As viewed from above, the second coil 12 is wound in the clockwise direction from the coil connecting portion 12S toward the boundary with the lead layer 10.

第1のコイル23の、リード層20、第1の連結部41(磁性層42)および第2の連結部31(磁性層36)に対する位置関係は、第1の実施の形態における第1のコイル21と同様である。すなわち、第1のコイル23は、リード層20に連続している。図10では、第1のコイル23とリード層20の境界を点線で示している。また、第1のコイル23は、第1の連結部41(磁性層42)の周りに巻回され、且つその一部が第1の連結部41(磁性層42)と第2の連結部31(磁性層36)との間を通過している。図10に示した例では、第1のコイル23は、第1の連結部41(磁性層42)の周りに約2回巻かれている。また、第1のコイル23は、第2のコイル12のコイル接続部12Sに電気的に接続されたコイル接続部23Eを有している。上方から見て、第1のコイル23は、リード層20との境界からコイル接続部23Eに向かって反時計回り方向に巻かれている。   The positional relationship of the first coil 23 with respect to the lead layer 20, the first coupling portion 41 (magnetic layer 42), and the second coupling portion 31 (magnetic layer 36) is the first coil in the first embodiment. 21. That is, the first coil 23 is continuous with the lead layer 20. In FIG. 10, the boundary between the first coil 23 and the lead layer 20 is indicated by a dotted line. The first coil 23 is wound around the first connecting portion 41 (magnetic layer 42), and a part of the first coil 23 is connected to the first connecting portion 41 (magnetic layer 42) and the second connecting portion 31. It passes between (magnetic layer 36). In the example illustrated in FIG. 10, the first coil 23 is wound about the first coupling portion 41 (magnetic layer 42) about twice. In addition, the first coil 23 has a coil connection part 23 </ b> E that is electrically connected to the coil connection part 12 </ b> S of the second coil 12. As viewed from above, the first coil 23 is wound in the counterclockwise direction from the boundary with the lead layer 20 toward the coil connection portion 23E.

また、本実施の形態では、記録ヘッド部9は、更に、前記主断面から離れた位置において第1のコイル23と第2のコイル12の間に配置されたリード層81を有している。リード層81は、銅等の導電材料によって形成されている。図10に示したように、リード層81は、媒体対向面80に垂直な方向に延びている。第1のコイル23のコイル接続部23Eは、第1のコイル23と第2のコイル12との間の複数の層を貫通する図示しない柱状の接続層とリード層81を介して、第2のコイル12のコイル接続部12Sに電気的に接続されている。接続層とリード層81は直列に接続されている。この場合、リード層81がコイル接続部12Sに直接接続され、接続層がリード層81とコイル接続部23Eとを接続していてもよい。あるいは、リード層81がコイル接続部23Eに直接接続され、接続層がリード層81とコイル接続部12Sとを接続していてもよい。   In the present embodiment, the recording head unit 9 further includes a lead layer 81 disposed between the first coil 23 and the second coil 12 at a position away from the main cross section. The lead layer 81 is made of a conductive material such as copper. As shown in FIG. 10, the lead layer 81 extends in a direction perpendicular to the medium facing surface 80. The coil connection portion 23E of the first coil 23 is connected to the second coil via a columnar connection layer (not shown) penetrating a plurality of layers between the first coil 23 and the second coil 12 and the lead layer 81. The coil 12 is electrically connected to the coil connecting portion 12S. The connection layer and the lead layer 81 are connected in series. In this case, the lead layer 81 may be directly connected to the coil connection portion 12S, and the connection layer may connect the lead layer 81 and the coil connection portion 23E. Alternatively, the lead layer 81 may be directly connected to the coil connection portion 23E, and the connection layer may connect the lead layer 81 and the coil connection portion 12S.

また、本実施の形態に係る磁気ヘッドは、第1のコイル23の巻線間に配置された絶縁材料よりなる絶縁層69を備えている。絶縁層69は、例えばフォトレジストによって形成されている。   In addition, the magnetic head according to the present embodiment includes an insulating layer 69 made of an insulating material and disposed between the windings of the first coil 23. The insulating layer 69 is made of, for example, a photoresist.

また、本実施の形態では、主磁極15の上面は、第1の実施の形態で説明した第1ないし第4の部分のうち、第2および第3の部分を含んでいない。主磁極15の上面において、第4の部分は、第1の部分の第2の端部に接続されている。   In the present embodiment, the upper surface of the main magnetic pole 15 does not include the second and third portions of the first to fourth portions described in the first embodiment. On the upper surface of the main magnetic pole 15, the fourth portion is connected to the second end of the first portion.

本実施の形態では、第1のコイル23によって発生された磁界に対応する磁束は、第1の連結部41と主磁極15を通過する。第2のコイル12によって発生された磁界に対応する磁束は、第2の連結部31、第2のヨーク層40、第1の連結部41および主磁極15を通過する。本実施の形態におけるその他の構成、作用および効果は、第1の実施の形態と同様である。   In the present embodiment, the magnetic flux corresponding to the magnetic field generated by the first coil 23 passes through the first connecting portion 41 and the main magnetic pole 15. A magnetic flux corresponding to the magnetic field generated by the second coil 12 passes through the second coupling portion 31, the second yoke layer 40, the first coupling portion 41, and the main magnetic pole 15. Other configurations, operations, and effects in the present embodiment are the same as those in the first embodiment.

[第4の実施の形態]
次に、図11および図12を参照して、本発明の第4の実施の形態に係る磁気ヘッドについて説明する。図11は、本実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。なお、図11は前記主断面を示している。図12は、本実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第1および第2のコイルを示す平面図である。
[Fourth Embodiment]
Next, with reference to FIGS. 11 and 12, a magnetic head according to a fourth embodiment of the invention will be described. FIG. 11 is a cross-sectional view showing the magnetic head according to the present embodiment. FIG. 11 shows the main cross section. FIG. 12 is a plan view showing first and second coils in the magnetic head according to the present embodiment.

本実施の形態に係る磁気ヘッドは、以下の点で第1の実施の形態に係る磁気ヘッドと異なっている。本実施の形態では、磁性層32,33,38,39および絶縁層52〜56が設けられていない。本実施の形態における第1のヨーク層30は、媒体対向面80に配置された端面を有すると共に、記録シールド16の第2のシールド16Bに接し、第2のシールド16Bに磁気的に接続されている。磁性層34は、第1のヨーク層30の上面に接している。   The magnetic head according to the present embodiment is different from the magnetic head according to the first embodiment in the following points. In the present embodiment, the magnetic layers 32, 33, 38, 39 and the insulating layers 52 to 56 are not provided. The first yoke layer 30 in the present embodiment has an end face disposed on the medium facing surface 80, is in contact with the second shield 16B of the recording shield 16, and is magnetically connected to the second shield 16B. Yes. The magnetic layer 34 is in contact with the upper surface of the first yoke layer 30.

また、本実施の形態では、記録ヘッド部9は、第1の実施の形態における第1のコイル21および第2のコイル11の代わりに、第1のコイル24および第2のコイル25を有している。図12では、第1のコイル24、第2のコイル25およびリード層20の境界を点線で示している。第1および第2のコイル24,25は、いずれも、銅等の導電材料によって形成されている。   Further, in the present embodiment, the recording head unit 9 has a first coil 24 and a second coil 25 instead of the first coil 21 and the second coil 11 in the first embodiment. ing. In FIG. 12, the boundaries of the first coil 24, the second coil 25, and the lead layer 20 are indicated by dotted lines. The first and second coils 24 and 25 are both made of a conductive material such as copper.

第1のコイル24の、リード層20、第1の連結部41(磁性層42)および第2の連結部31(磁性層36)に対する位置関係は、第1の実施の形態における第1のコイル21と同様である。すなわち、第1のコイル24は、リード層20に連続している。また、第1のコイル24は、第1の連結部41(磁性層42)の周りに巻回され、且つその一部が第1の連結部41(磁性層42)と第2の連結部31(磁性層36)との間を通過している。図12に示した例では、第1のコイル24は、第1の連結部41(磁性層42)の周りに約1回巻かれている。   The positional relationship of the first coil 24 with respect to the lead layer 20, the first coupling portion 41 (magnetic layer 42), and the second coupling portion 31 (magnetic layer 36) is the first coil in the first embodiment. 21. That is, the first coil 24 is continuous with the lead layer 20. The first coil 24 is wound around the first connecting portion 41 (magnetic layer 42), and a part of the first coil 24 and the second connecting portion 31 are wound around the first connecting portion 41 (magnetic layer 42). It passes between (magnetic layer 36). In the example shown in FIG. 12, the first coil 24 is wound about the first coupling portion 41 (magnetic layer 42) about once.

第2のコイル25は、第1のコイル24に連続し、第2の連結部31(磁性層36)の周りに巻回されている。図12に示した例では、第2のコイル25は、第2の連結部31(磁性層36)の周りに約1回巻かれている。また、第2のコイル25は、リード層10に電気的に接続されたコイル接続部25Eを有している。   The second coil 25 is continuous with the first coil 24 and is wound around the second coupling portion 31 (magnetic layer 36). In the example shown in FIG. 12, the second coil 25 is wound about once around the second coupling portion 31 (magnetic layer 36). Further, the second coil 25 has a coil connection part 25 </ b> E electrically connected to the lead layer 10.

上方から見て、第1のコイル24は、リード層20との境界から第2のコイル25との境界に向かって反時計回り方向に巻かれている。上方から見て、第2のコイル25は、第1のコイル24との境界からコイル接続部25Eに向かって時計回り方向に巻かれている。第1および第2のコイル24,25の巻線間、ならびに、第1のコイル24および第2のコイル25の周囲には、絶縁層63が配置されている。   As viewed from above, the first coil 24 is wound counterclockwise from the boundary with the lead layer 20 toward the boundary with the second coil 25. As viewed from above, the second coil 25 is wound in a clockwise direction from the boundary with the first coil 24 toward the coil connection portion 25E. An insulating layer 63 is disposed between the windings of the first and second coils 24 and 25 and around the first coil 24 and the second coil 25.

なお、リード層10は、第1および第2のコイル24,25よりも基板1の上面1aにより近い位置に配置されていてもよいし、第1および第2のコイル24,25よりも基板1の上面1aからより遠い位置に配置されていてもよい。   The lead layer 10 may be disposed at a position closer to the upper surface 1 a of the substrate 1 than the first and second coils 24 and 25, or the substrate 1 than the first and second coils 24 and 25. It may be arranged at a position farther from the upper surface 1a.

本実施の形態では、第2のコイル25は、主磁極15に対して記録媒体の進行方向Tの前側に配置されている。第1のコイル24によって発生された磁界に対応する磁束は、第1の連結部41と主磁極15を通過する。第2のコイル25によって発生された磁界に対応する磁束は、第2の連結部31、第2のヨーク層40、第1の連結部41および主磁極15を通過する。   In the present embodiment, the second coil 25 is disposed on the front side in the traveling direction T of the recording medium with respect to the main magnetic pole 15. A magnetic flux corresponding to the magnetic field generated by the first coil 24 passes through the first connecting portion 41 and the main magnetic pole 15. The magnetic flux corresponding to the magnetic field generated by the second coil 25 passes through the second connecting portion 31, the second yoke layer 40, the first connecting portion 41, and the main magnetic pole 15.

本実施の形態では、第1の実施の形態において第2のコイル11が主磁極15に対して記録媒体の進行方向Tの後側に配置されていることによる効果は得られない。その代わり、本実施の形態によれば、再生ヘッド部8と主磁極15との間にコイルが存在しないことから、再生ヘッド部8と主磁極15との間の距離を小さくすることが可能になる。本実施の形態におけるその他の構成、作用および効果は、第1の実施の形態と同様である。   In the present embodiment, the effect obtained by disposing the second coil 11 behind the main magnetic pole 15 in the traveling direction T of the recording medium in the first embodiment cannot be obtained. Instead, according to the present embodiment, there is no coil between the reproducing head unit 8 and the main magnetic pole 15, so that the distance between the reproducing head unit 8 and the main magnetic pole 15 can be reduced. Become. Other configurations, operations, and effects in the present embodiment are the same as those in the first embodiment.

[第5の実施の形態]
次に、図13および図14を参照して、本発明の第5の実施の形態に係る磁気ヘッドについて説明する。図13は、本実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。なお、図13は前記主断面を示している。図14は、本実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第2のコイルを示す平面図である。
[Fifth Embodiment]
Next, a magnetic head according to a fifth embodiment of the invention will be described with reference to FIGS. FIG. 13 is a cross-sectional view showing the magnetic head according to the present embodiment. FIG. 13 shows the main cross section. FIG. 14 is a plan view showing a second coil in the magnetic head according to the present embodiment.

本実施の形態に係る磁気ヘッドは、以下の点で第4の実施の形態に係る磁気ヘッドと異なっている。本実施の形態では、記録ヘッド部9は、第4の実施の形態における第1のコイル24の代わりに、第1の実施の形態における第1のコイル21を有している。   The magnetic head according to the present embodiment is different from the magnetic head according to the fourth embodiment in the following points. In the present embodiment, the recording head unit 9 has the first coil 21 in the first embodiment instead of the first coil 24 in the fourth embodiment.

また、本実施の形態では、記録ヘッド部9は、第4の実施の形態における第2のコイル25の代わりに、第2のコイル26を有している。ここで、媒体対向面80に配置された主磁極15の端面と交差し、記録媒体の進行方向Tに垂直な仮想の平面を想定する。第2のコイル26は、上記仮想の平面と交差する位置に配置されている。第2のコイル26は、銅等の導電材料によって形成されている。   In the present embodiment, the recording head unit 9 includes a second coil 26 instead of the second coil 25 in the fourth embodiment. Here, a virtual plane that intersects with the end face of the main pole 15 disposed on the medium facing surface 80 and is perpendicular to the traveling direction T of the recording medium is assumed. The 2nd coil 26 is arrange | positioned in the position which cross | intersects the said virtual plane. The second coil 26 is made of a conductive material such as copper.

図14に示したように、第2のコイル26は、第2の連結部31(磁性層35)の周りに巻回されている。図14に示した例では、第2のコイル26は、第2の連結部31(磁性層35)の周りに約1回巻かれている。リード層10は、第2のコイル26に連続している。図14では、第2のコイル26とリード層10の境界を点線で示している。   As shown in FIG. 14, the second coil 26 is wound around the second coupling portion 31 (magnetic layer 35). In the example shown in FIG. 14, the second coil 26 is wound about the second coupling portion 31 (magnetic layer 35) about once. The lead layer 10 is continuous with the second coil 26. In FIG. 14, the boundary between the second coil 26 and the lead layer 10 is indicated by a dotted line.

また、第2のコイル26は、第1のコイル21のコイル接続部21E(図4参照)に電気的に接続されたコイル接続部26Sを有している。上方から見て、第2のコイル26は、コイル接続部26Sからリード層10との境界に向かって時計回り方向に巻かれている。   Further, the second coil 26 has a coil connection portion 26 </ b> S electrically connected to the coil connection portion 21 </ b> E (see FIG. 4) of the first coil 21. As viewed from above, the second coil 26 is wound in a clockwise direction from the coil connecting portion 26S toward the boundary with the lead layer 10.

第1のコイル21と第2のコイル26の間には、絶縁膜62が介在している。絶縁膜62には、コイル接続部26Sを露出させる開口部が形成されている。コイル接続部26Sは、絶縁膜62に形成された開口部を通して、コイル接続部21Eに電気的に接続されている。   An insulating film 62 is interposed between the first coil 21 and the second coil 26. The insulating film 62 has an opening that exposes the coil connection portion 26S. The coil connection portion 26S is electrically connected to the coil connection portion 21E through an opening formed in the insulating film 62.

第2のコイル26およびリード層10の周囲には、非磁性層61が配置されている。また、本実施の形態に係る磁気ヘッドは、第2のコイル26およびリード層10と、主磁極15、第2のギャップ層18、磁性層35および非磁性層57との間に介在する絶縁材料よりなる絶縁膜60を備えている。絶縁膜60は、例えばアルミナによって形成されている。   A nonmagnetic layer 61 is disposed around the second coil 26 and the lead layer 10. In addition, the magnetic head according to the present embodiment includes an insulating material interposed between the second coil 26 and the lead layer 10 and the main pole 15, the second gap layer 18, the magnetic layer 35, and the nonmagnetic layer 57. An insulating film 60 is provided. The insulating film 60 is made of alumina, for example.

本実施の形態では、第2のコイル26によって発生された磁界に対応する磁束は、第2の連結部31、第2のヨーク層40、第1の連結部41および主磁極15を通過する。本実施の形態におけるその他の構成、作用および効果は、第1または第4の実施の形態と同様である。   In the present embodiment, the magnetic flux corresponding to the magnetic field generated by the second coil 26 passes through the second coupling portion 31, the second yoke layer 40, the first coupling portion 41, and the main magnetic pole 15. Other configurations, operations, and effects in the present embodiment are the same as those in the first or fourth embodiment.

[第6の実施の形態]
次に、図15ないし図17を参照して、本発明の第6の実施の形態に係る磁気ヘッドについて説明する。図15は、本実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。なお、図15は前記主断面を示している。図16は、本実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第2のコイルを示す平面図である。図17は、本実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第1のコイルを示す平面図である。
[Sixth Embodiment]
Next, with reference to FIGS. 15 to 17, a magnetic head according to a sixth embodiment of the invention will be described. FIG. 15 is a cross-sectional view showing the magnetic head according to the present embodiment. FIG. 15 shows the main cross section. FIG. 16 is a plan view showing a second coil in the magnetic head according to the present embodiment. FIG. 17 is a plan view showing a first coil in the magnetic head according to the present embodiment.

本実施の形態に係る磁気ヘッドは、以下の点で第5の実施の形態に係る磁気ヘッドと異なっている。本実施の形態では、記録ヘッド部9は、第5の実施の形態における第2のコイル26の代わりに、第2のコイル27を有している。第2のコイル27は、銅等の導電材料によって形成されている。   The magnetic head according to the present embodiment is different from the magnetic head according to the fifth embodiment in the following points. In the present embodiment, the recording head unit 9 has a second coil 27 instead of the second coil 26 in the fifth embodiment. The second coil 27 is made of a conductive material such as copper.

第2のコイル27の、主磁極15および第2の連結部31(磁性層35)に対する位置関係は、第5の実施の形態における第2のコイル26と同様である。すなわち、第2のコイル27は、第5の実施の形態で説明した仮想の平面と交差する位置に配置されている。また、第2のコイル27は、第2の連結部31(磁性層35)の周りに巻回されている。図16に示した例では、第2のコイル27は、第2の連結部31(磁性層35)の周りに約2回巻かれている。第2のコイル27の巻線間および周囲には、非磁性層61が配置されている。   The positional relationship of the second coil 27 with respect to the main magnetic pole 15 and the second coupling portion 31 (magnetic layer 35) is the same as that of the second coil 26 in the fifth embodiment. That is, the second coil 27 is arranged at a position that intersects the virtual plane described in the fifth embodiment. The second coil 27 is wound around the second connecting portion 31 (magnetic layer 35). In the example shown in FIG. 16, the second coil 27 is wound about twice around the second coupling portion 31 (magnetic layer 35). A nonmagnetic layer 61 is disposed between and around the winding of the second coil 27.

また、本実施の形態では、リード層10は、第1のコイル21およびリード層20と同一平面上に位置する。第2のコイル27は、第1のコイル21のコイル接続部21Eに電気的に接続されたコイル接続部27Sと、リード層10に電気的に接続されたコイル接続部27Eとを有している。上方から見て、第2のコイル27は、コイル接続部27Sからコイル接続部27Eに向かって時計回り方向に巻かれている。なお、リード層10は、第2のコイル27よりも基板1の上面1aにより近い位置に配置されていてもよい。   In the present embodiment, the lead layer 10 is located on the same plane as the first coil 21 and the lead layer 20. The second coil 27 has a coil connection part 27 </ b> S electrically connected to the coil connection part 21 </ b> E of the first coil 21 and a coil connection part 27 </ b> E electrically connected to the lead layer 10. . As viewed from above, the second coil 27 is wound in the clockwise direction from the coil connection portion 27S toward the coil connection portion 27E. The lead layer 10 may be disposed at a position closer to the upper surface 1 a of the substrate 1 than the second coil 27.

第1のコイル21およびリード層10と、第2のコイル27との間には、絶縁膜62が介在している。絶縁膜62には、コイル接続部27S,27Eを露出させる開口部が形成されている。コイル接続部27Sは、絶縁膜62に形成された開口部のうちの1つを通して、コイル接続部21Eに電気的に接続されている。なお、図17に示したように、本実施の形態では、コイル接続部21Eは、第1の実施の形態における図4に示した位置とは異なる位置に配置されている。コイル接続部27Eは、絶縁膜62に形成された開口部のうちの他の1つを通して、リード層10に電気的に接続されている。   An insulating film 62 is interposed between the first coil 21 and the lead layer 10 and the second coil 27. The insulating film 62 has openings for exposing the coil connection portions 27S and 27E. The coil connection portion 27S is electrically connected to the coil connection portion 21E through one of the openings formed in the insulating film 62. As shown in FIG. 17, in the present embodiment, the coil connection portion 21E is arranged at a position different from the position shown in FIG. 4 in the first embodiment. The coil connection part 27 </ b> E is electrically connected to the lead layer 10 through the other one of the openings formed in the insulating film 62.

本実施の形態では、第2のコイル27によって発生された磁界に対応する磁束は、第2の連結部31、第2のヨーク層40、第1の連結部41および主磁極15を通過する。本実施の形態におけるその他の構成、作用および効果は、第5の実施の形態と同様である。   In the present embodiment, the magnetic flux corresponding to the magnetic field generated by the second coil 27 passes through the second coupling portion 31, the second yoke layer 40, the first coupling portion 41, and the main magnetic pole 15. Other configurations, operations, and effects in the present embodiment are the same as those in the fifth embodiment.

[第7の実施の形態]
次に、図18を参照して、本発明の第7の実施の形態に係る磁気ヘッドについて説明する。図18は、本実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。なお、図18は前記主断面を示している。
[Seventh Embodiment]
Next, with reference to FIG. 18, a magnetic head according to a seventh embodiment of the invention will be described. FIG. 18 is a cross-sectional view showing the magnetic head according to the present embodiment. FIG. 18 shows the main cross section.

本実施の形態に係る磁気ヘッドは、以下の点で第5の実施の形態に係る磁気ヘッドと異なっている。本実施の形態では、記録ヘッド部9は、第5の実施の形態における第1のコイル21の代わりに、第4の実施の形態における第1のコイル24を有している。また、記録ヘッド部9は、第5の実施の形態における第2のコイル26の代わりに、第1層26Aおよび第2層25Bを有する第2のコイルを有している。第1層26Aの形状および配置は、第5の実施の形態における第2のコイル26と同じである。第2層25Bの形状および配置は、第4の実施の形態における第2のコイル25と同じである。また、第2のコイルは、第1層26Aに設けられたコイル接続部26S(図14参照)と、第2層25Bに設けられたコイル接続部25E(図12参照)とを有している。コイル接続部25Eは、絶縁膜62に形成された開口部を通して、コイル接続部26Sに電気的に接続されている。本実施の形態では、第2のコイルの一部である第1層26Aが、第5の実施の形態で説明した仮想の平面と交差する位置に配置されている。   The magnetic head according to the present embodiment is different from the magnetic head according to the fifth embodiment in the following points. In the present embodiment, the recording head unit 9 has the first coil 24 in the fourth embodiment instead of the first coil 21 in the fifth embodiment. In addition, the recording head unit 9 has a second coil having a first layer 26A and a second layer 25B instead of the second coil 26 in the fifth embodiment. The shape and arrangement of the first layer 26A are the same as those of the second coil 26 in the fifth embodiment. The shape and arrangement of the second layer 25B are the same as those of the second coil 25 in the fourth embodiment. The second coil has a coil connection portion 26S (see FIG. 14) provided in the first layer 26A and a coil connection portion 25E (see FIG. 12) provided in the second layer 25B. . The coil connection part 25E is electrically connected to the coil connection part 26S through an opening formed in the insulating film 62. In the present embodiment, the first layer 26A, which is a part of the second coil, is disposed at a position that intersects the virtual plane described in the fifth embodiment.

本実施の形態では、第2のコイルの第1層26Aと第2層25Bによって発生された磁界に対応する磁束は、第2の連結部31、第2のヨーク層40、第1の連結部41および主磁極15を通過する。本実施の形態におけるその他の構成、作用および効果は、第4または第5の実施の形態と同様である。   In the present embodiment, the magnetic flux corresponding to the magnetic field generated by the first layer 26A and the second layer 25B of the second coil is generated by the second coupling part 31, the second yoke layer 40, and the first coupling part. 41 and the main magnetic pole 15. Other configurations, operations, and effects in the present embodiment are the same as those in the fourth or fifth embodiment.

[第8の実施の形態]
次に、図19ないし図21を参照して、本発明の第8の実施の形態に係る磁気ヘッドについて説明する。図19は、本実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。なお、図19は前記主断面を示している。図20は、本実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第1のコイルの第1層と第2のコイルの第1層を示す平面図である。図21は、本実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第1のコイルの第2層と第2のコイルの第2層を示す平面図である。
[Eighth Embodiment]
Next, with reference to FIGS. 19 to 21, a magnetic head according to an eighth embodiment of the invention will be described. FIG. 19 is a cross-sectional view showing the magnetic head according to the present embodiment. FIG. 19 shows the main cross section. FIG. 20 is a plan view showing the first layer of the first coil and the first layer of the second coil in the magnetic head according to the present embodiment. FIG. 21 is a plan view showing the second layer of the first coil and the second layer of the second coil in the magnetic head according to the present embodiment.

本実施の形態に係る磁気ヘッドは、以下の点で第2の実施の形態に係る磁気ヘッドと異なっている。本実施の形態では、第4の実施の形態と同様に、磁性層32,33,38,39および絶縁層52〜56が設けられていない。本実施の形態における第1のヨーク層30の形状および配置は、第4の実施の形態と同じである。   The magnetic head according to the present embodiment is different from the magnetic head according to the second embodiment in the following points. In the present embodiment, similarly to the fourth embodiment, the magnetic layers 32, 33, 38, 39 and the insulating layers 52 to 56 are not provided. The shape and arrangement of the first yoke layer 30 in the present embodiment are the same as those in the fourth embodiment.

また、本実施の形態では、記録ヘッド部9は、第2の実施の形態における第1のコイル22および第2のコイル11の代わりに、第1のコイル28および第2のコイル29を有している。第1のコイル28は、第1層28Aと第2層28Bとを有している。第2のコイル29は、第1層29Aと第2層29Bとを有している。第1および第2のコイル28,29は、いずれも、銅等の導電材料によって形成されている。   Further, in the present embodiment, the recording head unit 9 has a first coil 28 and a second coil 29 instead of the first coil 22 and the second coil 11 in the second embodiment. ing. The first coil 28 has a first layer 28A and a second layer 28B. The second coil 29 has a first layer 29A and a second layer 29B. The first and second coils 28 and 29 are both made of a conductive material such as copper.

図20は、第1のコイル28の第1層28Aと第2のコイル29の第1層29Aを示す平面図である。第1層28A,29Aは、同一平面上に位置し、互いに連続している。図20では、第1層28A,29Aの境界を点線で示している。   FIG. 20 is a plan view showing the first layer 28 </ b> A of the first coil 28 and the first layer 29 </ b> A of the second coil 29. The first layers 28A and 29A are located on the same plane and are continuous with each other. In FIG. 20, the boundary between the first layers 28A and 29A is indicated by a dotted line.

第1層28Aの、第1の連結部41(磁性層42)および第2の連結部31(磁性層36)に対する位置関係は、第2の実施の形態における第1層22Aと同様である。すなわち、第1層28Aは、第1の連結部41(磁性層42)の周りに巻回され、且つその一部が第1の連結部41(磁性層42)と第2の連結部31(磁性層36)との間を通過している。図20に示した例では、第1層28Aは、第1の連結部41(磁性層42)の周りに約1回巻かれている。また、第1のコイル28は、第1層28Aに設けられたコイル接続部28ASを有している。   The positional relationship of the first layer 28A with respect to the first coupling portion 41 (magnetic layer 42) and the second coupling portion 31 (magnetic layer 36) is the same as that of the first layer 22A in the second embodiment. That is, the first layer 28A is wound around the first coupling portion 41 (magnetic layer 42), and a part thereof is the first coupling portion 41 (magnetic layer 42) and the second coupling portion 31 ( It passes between the magnetic layer 36). In the example shown in FIG. 20, the first layer 28A is wound about once around the first coupling portion 41 (magnetic layer 42). The first coil 28 has a coil connection portion 28AS provided in the first layer 28A.

第1層29Aは、第2の連結部31(磁性層36)の周りに巻回されている。図20に示した例では、第1層29Aは、第2の連結部31(磁性層36)の周りに約1回巻かれている。また、第2のコイル29は、第1層29Aに設けられたコイル接続部29AEを有している。   The first layer 29A is wound around the second coupling portion 31 (magnetic layer 36). In the example shown in FIG. 20, the first layer 29A is wound about the second coupling portion 31 (magnetic layer 36) about once. The second coil 29 has a coil connection part 29AE provided in the first layer 29A.

上方から見て、第1層28Aは、コイル接続部28ASから第1層29Aとの境界に向かって反時計回り方向に巻かれている。上方から見て、第1層29Aは、第1層28Aとの境界からコイル接続部29AEに向かって時計回り方向に巻かれている。第1層28A,29Aの巻線間および周囲には、絶縁層63が配置されている。   As viewed from above, the first layer 28A is wound in the counterclockwise direction from the coil connection portion 28AS toward the boundary with the first layer 29A. When viewed from above, the first layer 29A is wound clockwise from the boundary with the first layer 28A toward the coil connection portion 29AE. An insulating layer 63 is disposed between and around the windings of the first layers 28A and 29A.

また、本実施の形態では、リード層10は、第1層28A,29Aよりも基板1の上面1aにより近い位置に配置されている。第1層29Aに設けられたコイル接続部29AEは、リード層10に電気的に接続されている。   In the present embodiment, the lead layer 10 is disposed closer to the upper surface 1a of the substrate 1 than the first layers 28A and 29A. The coil connection portion 29AE provided in the first layer 29A is electrically connected to the lead layer 10.

図21は、第1のコイル28の第2層28Bと第2のコイル29の第2層29Bを示す平面図である。第2層28B,29Bおよびリード層20は、同一平面上に位置し、互いに連続している。図21では、第2層28B,29Bおよびリード層20の境界を点線で示している。   FIG. 21 is a plan view showing the second layer 28 </ b> B of the first coil 28 and the second layer 29 </ b> B of the second coil 29. The second layers 28B and 29B and the lead layer 20 are located on the same plane and are continuous with each other. In FIG. 21, the boundaries between the second layers 28B and 29B and the lead layer 20 are indicated by dotted lines.

第2層29Bは、第2の連結部31(磁性層37)の周りに巻回されている。図21に示した例では、第2層29Bは、第2の連結部31(磁性層37)の周りに約1回巻かれている。   The second layer 29B is wound around the second coupling portion 31 (magnetic layer 37). In the example shown in FIG. 21, the second layer 29B is wound about the second coupling portion 31 (magnetic layer 37) about once.

第2層28Bの、第1の連結部41(磁性層43)および第2の連結部31(磁性層37)に対する位置関係は、第2の実施の形態における第2層22Bと同様である。すなわち、第2層28Bは、第1の連結部41(磁性層43)の周りに巻回され、且つその一部が第1の連結部41(磁性層43)と第2の連結部31(磁性層37)との間を通過している。図21に示した例では、第2層28Bは、第1の連結部41(磁性層43)の周りに約1回巻かれている。また、第1のコイル28は、第2層28Bに設けられたコイル接続部28BEを有している。   The positional relationship of the second layer 28B with respect to the first coupling portion 41 (magnetic layer 43) and the second coupling portion 31 (magnetic layer 37) is the same as that of the second layer 22B in the second embodiment. That is, the second layer 28B is wound around the first coupling part 41 (magnetic layer 43), and a part of the second layer 28B is part of the first coupling part 41 (magnetic layer 43) and the second coupling part 31 ( It passes between the magnetic layer 37). In the example shown in FIG. 21, the second layer 28B is wound about the first coupling portion 41 (magnetic layer 43) about once. Further, the first coil 28 has a coil connection portion 28BE provided in the second layer 28B.

上方から見て、第2層29Bは、リード層20との境界から第2層28Bとの境界に向かって時計回り方向に巻かれている。上方から見て、第2層28Bは、第2層29Bとの境界からコイル接続部29BEに向かって反時計回り方向に巻かれている。第2層28B,29Bの巻線間および周囲には、絶縁層66が配置されている。   As viewed from above, the second layer 29B is wound in a clockwise direction from the boundary with the lead layer 20 toward the boundary with the second layer 28B. When viewed from above, the second layer 28B is wound in the counterclockwise direction from the boundary with the second layer 29B toward the coil connection portion 29BE. An insulating layer 66 is disposed between and around the windings of the second layers 28B and 29B.

第1層28Aと第2層28Bの間には、絶縁層64および絶縁膜65が介在している。絶縁層64および絶縁膜65には、第1層28Aに設けられたコイル接続部28ASを露出させる開口部が形成されている。コイル接続部28BEは、絶縁層64および絶縁膜65に形成された開口部を通して、コイル接続部28ASに電気的に接続されている。   An insulating layer 64 and an insulating film 65 are interposed between the first layer 28A and the second layer 28B. In the insulating layer 64 and the insulating film 65, an opening for exposing the coil connecting portion 28AS provided in the first layer 28A is formed. The coil connection portion 28BE is electrically connected to the coil connection portion 28AS through an opening formed in the insulating layer 64 and the insulating film 65.

本実施の形態では、第2のコイル29は、主磁極15に対して記録媒体の進行方向Tの前側に配置されている。第1のコイル28の第1層28Aと第2層28Bによって発生された磁界に対応する磁束は、第1の連結部41と主磁極15を通過する。第2のコイル29の第1層29Aと第2層29Bによって発生された磁界に対応する磁束は、第2の連結部31、第2のヨーク層40、第1の連結部41および主磁極15を通過する。本実施の形態におけるその他の構成、作用および効果は、第2または第4の実施の形態と同様である。   In the present embodiment, the second coil 29 is disposed on the front side in the traveling direction T of the recording medium with respect to the main magnetic pole 15. A magnetic flux corresponding to the magnetic field generated by the first layer 28 </ b> A and the second layer 28 </ b> B of the first coil 28 passes through the first coupling portion 41 and the main magnetic pole 15. The magnetic flux corresponding to the magnetic field generated by the first layer 29A and the second layer 29B of the second coil 29 is the second coupling portion 31, the second yoke layer 40, the first coupling portion 41, and the main magnetic pole 15. Pass through. Other configurations, operations, and effects in the present embodiment are the same as those in the second or fourth embodiment.

[第9の実施の形態]
次に、図22および図23を参照して、本発明の第9の実施の形態に係る磁気ヘッドについて説明する。図22は、本実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。なお、図22は前記主断面を示している。図23は、本実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第2のコイルを示す平面図である。
[Ninth Embodiment]
Next, with reference to FIGS. 22 and 23, a magnetic head according to a ninth embodiment of the invention will be described. FIG. 22 is a cross-sectional view showing the magnetic head according to the present embodiment. FIG. 22 shows the main cross section. FIG. 23 is a plan view showing a second coil in the magnetic head according to the present embodiment.

本実施の形態に係る磁気ヘッドは、以下の点で第6の実施の形態に係る磁気ヘッドと異なっている。本実施の形態では、記録ヘッド部9は、第6の実施の形態における第1のコイル21の代わりに、第3の実施の形態における第1のコイル23を有している。第1のコイル23のコイル接続部23E(図10参照)は、絶縁膜62に形成された開口部を通して、第2のコイル27のコイル接続部27Sに電気的に接続されている。なお、図23に示したように、本実施の形態では、第2のコイル27のコイル接続部27Eは、第6の実施の形態における図16に示した位置とは異なる位置に配置されている。また、本実施の形態に係る磁気ヘッドは、第3の実施の形態で説明した絶縁層69を備えている。   The magnetic head according to the present embodiment is different from the magnetic head according to the sixth embodiment in the following points. In the present embodiment, the recording head unit 9 has the first coil 23 in the third embodiment instead of the first coil 21 in the sixth embodiment. The coil connection portion 23E (see FIG. 10) of the first coil 23 is electrically connected to the coil connection portion 27S of the second coil 27 through an opening formed in the insulating film 62. As shown in FIG. 23, in the present embodiment, the coil connection portion 27E of the second coil 27 is arranged at a position different from the position shown in FIG. 16 in the sixth embodiment. . The magnetic head according to the present embodiment includes the insulating layer 69 described in the third embodiment.

本実施の形態におけるその他の構成、作用および効果は、第3または第6の実施の形態と同様である。   Other configurations, operations, and effects in the present embodiment are the same as those in the third or sixth embodiment.

[第10の実施の形態]
次に、図24ないし図26を参照して、本発明の第10の実施の形態に係る磁気ヘッドについて説明する。図24は、本実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。なお、図24は前記主断面を示している。図25は、本実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第2のコイルを示す平面図である。図26は、本実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第1および第3のコイルを示す平面図である。
[Tenth embodiment]
Next, with reference to FIGS. 24 to 26, a magnetic head according to a tenth embodiment of the invention will be described. FIG. 24 is a cross-sectional view showing the magnetic head according to the present embodiment. FIG. 24 shows the main cross section. FIG. 25 is a plan view showing a second coil in the magnetic head according to the present embodiment. FIG. 26 is a plan view showing first and third coils in the magnetic head according to the present embodiment.

本実施の形態に係る磁気ヘッドは、以下の点で第1の実施の形態に係る磁気ヘッドと異なっている。本実施の形態では、記録ヘッド部9は、第1の実施の形態における第1のコイル21および第2のコイル11の代わりに、第1のコイル121、第2のコイル111および第3のコイル122を備えている。第1のコイル121、第2のコイル111および第3のコイル122は、銅等の導電材料によって形成されている。第1のコイル121、第2のコイル111および第3のコイル122は、直列または並列に接続されている。主磁極15は、第1のコイル121、第2のコイル111および第3のコイル122によって発生された磁界に対応する磁束を通過させる。リード層10,20は、第1のコイル121、第2のコイル111および第3のコイル122に通電するために用いられる。   The magnetic head according to the present embodiment is different from the magnetic head according to the first embodiment in the following points. In the present embodiment, the recording head unit 9 includes a first coil 121, a second coil 111, and a third coil, instead of the first coil 21 and the second coil 11 in the first embodiment. 122 is provided. The first coil 121, the second coil 111, and the third coil 122 are made of a conductive material such as copper. The first coil 121, the second coil 111, and the third coil 122 are connected in series or in parallel. The main magnetic pole 15 passes a magnetic flux corresponding to the magnetic field generated by the first coil 121, the second coil 111, and the third coil 122. The lead layers 10 and 20 are used to energize the first coil 121, the second coil 111, and the third coil 122.

第1のコイル121は、リード層20に連続している。また、第1のコイル121は、第1の連結部41(磁性層42)の周りに巻回され、且つその一部が第1の連結部41(磁性層42)と第2の連結部31(磁性層36)の間を通過している。第3のコイル122は、第1のコイル121に連続し、第2の連結部31(磁性層36)の周りに巻回されている。図26では、第1のコイル121、第3のコイル122およびリード層20の境界を点線で示している。   The first coil 121 is continuous with the lead layer 20. The first coil 121 is wound around the first connecting portion 41 (magnetic layer 42), and a part of the first coil 121 is connected to the first connecting portion 41 (magnetic layer 42) and the second connecting portion 31. It passes between (magnetic layer 36). The third coil 122 is continuous with the first coil 121 and is wound around the second coupling portion 31 (magnetic layer 36). In FIG. 26, the boundaries of the first coil 121, the third coil 122, and the lead layer 20 are indicated by dotted lines.

絶縁膜62は、第1のコイル121、第3のコイル122およびリード層20のそれぞれの上面以外の面に接するように設けられている。絶縁層63は、第1のコイル121、第3のコイル122、リード層20、第1のシールド16Aおよび磁性層36の周囲に配置されている。第1のコイル121、第3のコイル122、リード層20、第1のシールド16A、磁性層36,42、絶縁膜62および絶縁層63の上面は平坦化されている。絶縁層64は、第1のコイル121、第3のコイル122、リード層20および絶縁膜62の上面の上に配置されている。   The insulating film 62 is provided in contact with the surfaces other than the upper surfaces of the first coil 121, the third coil 122, and the lead layer 20. The insulating layer 63 is disposed around the first coil 121, the third coil 122, the lead layer 20, the first shield 16 </ b> A, and the magnetic layer 36. The top surfaces of the first coil 121, the third coil 122, the lead layer 20, the first shield 16A, the magnetic layers 36 and 42, the insulating film 62, and the insulating layer 63 are flattened. The insulating layer 64 is disposed on the top surfaces of the first coil 121, the third coil 122, the lead layer 20, and the insulating film 62.

次に、図24、図25および図26を参照して、第1のコイル121、第2のコイル111および第3のコイル122について詳しく説明する。図24に示したように、第2のコイル111は、主磁極15に対して記録媒体の進行方向Tの後側に配置されている。図25に示したように、第2のコイル111は、第2の連結部31(磁性層32)の周りに巻回されている。図25に示した例では、第2のコイル111は、第2の連結部31(磁性層32)に約3回巻かれている。また、第2のコイル111は、第3のコイル122に電気的に接続されたコイル接続部111Sを有している。上方から見て、第2のコイル111は、コイル接続部111Sからリード層10との境界に向かって時計回り方向に巻かれている。   Next, the first coil 121, the second coil 111, and the third coil 122 will be described in detail with reference to FIG. 24, FIG. 25, and FIG. As shown in FIG. 24, the second coil 111 is disposed behind the main magnetic pole 15 in the traveling direction T of the recording medium. As shown in FIG. 25, the second coil 111 is wound around the second coupling portion 31 (magnetic layer 32). In the example shown in FIG. 25, the second coil 111 is wound about the second coupling portion 31 (magnetic layer 32) about three times. The second coil 111 has a coil connection part 111 </ b> S that is electrically connected to the third coil 122. When viewed from above, the second coil 111 is wound in a clockwise direction from the coil connecting portion 111S toward the boundary with the lead layer 10.

図26に示したように、第1のコイル121は、第1の連結部41(磁性層42)の周りに巻回され、且つその一部が第1の連結部41(磁性層42)と第2の連結部31(磁性層36)の間を通過している。図26に示した例では、第1のコイル121は、第1の連結部41(磁性層42)の周りに約1回巻かれている。   As shown in FIG. 26, the first coil 121 is wound around the first connecting portion 41 (magnetic layer 42), and a part of the first coil 121 is connected to the first connecting portion 41 (magnetic layer 42). It passes between the second coupling parts 31 (magnetic layer 36). In the example shown in FIG. 26, the first coil 121 is wound about the first coupling portion 41 (magnetic layer 42) about once.

図24に示したように、第2のコイル111および第3のコイル122は、互いに記録媒体の進行方向Tにおける異なる位置に配置されている。本実施の形態では、特に、第3のコイル122は、主磁極15に対して記録媒体の進行方向Tの前側に配置されている。また、前述のように、第3のコイル122は、第1のコイル121に連続し、第2の連結部31(磁性層36)の周りに巻回されている。図26に示した例では、第3のコイル122は、第2の連結部31(磁性層36)の周りに約1回巻かれている。   As shown in FIG. 24, the second coil 111 and the third coil 122 are arranged at different positions in the traveling direction T of the recording medium. In the present embodiment, in particular, the third coil 122 is disposed on the front side in the traveling direction T of the recording medium with respect to the main magnetic pole 15. In addition, as described above, the third coil 122 is continuous with the first coil 121 and is wound around the second coupling portion 31 (magnetic layer 36). In the example shown in FIG. 26, the third coil 122 is wound around the second coupling portion 31 (magnetic layer 36) about once.

また、第3のコイル122は、第2のコイル111のコイル接続部111Sに電気的に接続されたコイル接続部122Eを有している。コイル接続部122Eは、第3のコイル122と第2のコイル111との間の複数の層を貫通する図示しない柱状の接続層を介してコイル接続部111Sに電気的に接続されている。接続層は、銅等の導電材料によって形成されている。   In addition, the third coil 122 has a coil connection part 122 </ b> E that is electrically connected to the coil connection part 111 </ b> S of the second coil 111. The coil connection part 122E is electrically connected to the coil connection part 111S via a columnar connection layer (not shown) that penetrates a plurality of layers between the third coil 122 and the second coil 111. The connection layer is made of a conductive material such as copper.

上方から見て、第1のコイル121は、リード層20との境界から第3のコイル122との境界に向かって反時計回り方向に巻かれている。上方から見て、第3のコイル122は、第1のコイル121との境界からコイル接続部122Eに向かって時計回り方向に巻かれている。   When viewed from above, the first coil 121 is wound counterclockwise from the boundary with the lead layer 20 toward the boundary with the third coil 122. As viewed from above, the third coil 122 is wound clockwise from the boundary with the first coil 121 toward the coil connection portion 122E.

図25および図26に示した例では、第1のコイル121、第3のコイル122および第2のコイル111は、この順に直列に接続されている。   In the example shown in FIGS. 25 and 26, the first coil 121, the third coil 122, and the second coil 111 are connected in series in this order.

次に、本実施の形態に係る磁気ヘッドの作用および効果について説明する。記録ヘッド部9において、第1のコイル121、第2のコイル111および第3のコイル122は、記録媒体に記録する情報に応じた磁界を発生する。第1のコイル121によって発生された磁界に対応する磁束は、第1の連結部41と主磁極15を通過する。第2のコイル111と第3のコイル122によって発生された磁界に対応する磁束は、第2の連結部31、第2のヨーク層40、第1の連結部41および主磁極15を通過する。従って、主磁極15は、第1のコイル121によって発生された磁界に対応する磁束、第2のコイル111によって発生された磁界に対応する磁束および第3のコイル122によって発生された磁界に対応する磁束を通過させる。   Next, functions and effects of the magnetic head according to the present embodiment will be described. In the recording head unit 9, the first coil 121, the second coil 111, and the third coil 122 generate a magnetic field according to information to be recorded on the recording medium. The magnetic flux corresponding to the magnetic field generated by the first coil 121 passes through the first connecting portion 41 and the main magnetic pole 15. The magnetic flux corresponding to the magnetic field generated by the second coil 111 and the third coil 122 passes through the second coupling portion 31, the second yoke layer 40, the first coupling portion 41, and the main magnetic pole 15. Therefore, the main magnetic pole 15 corresponds to the magnetic flux corresponding to the magnetic field generated by the first coil 121, the magnetic flux corresponding to the magnetic field generated by the second coil 111, and the magnetic field generated by the third coil 122. Pass magnetic flux.

なお、第1のコイル121、第2のコイル111および第3のコイル122は、直列に接続されていてもよいし、並列に接続されていてもよい。いずれにしても、主磁極15において、第1のコイル121によって発生された磁界に対応する磁束、第2のコイル111によって発生された磁界に対応する磁束、および第3のコイル122によって発生された磁界に対応する磁束が同じ方向に流れるように、第1のコイル121、第2のコイル111および第3のコイル122は接続される。   Note that the first coil 121, the second coil 111, and the third coil 122 may be connected in series or may be connected in parallel. In any case, in the main magnetic pole 15, the magnetic flux corresponding to the magnetic field generated by the first coil 121, the magnetic flux corresponding to the magnetic field generated by the second coil 111, and the third coil 122 The first coil 121, the second coil 111, and the third coil 122 are connected so that the magnetic flux corresponding to the magnetic field flows in the same direction.

主磁極15は、上述のように第1のコイル121、第2のコイル111および第3のコイル122によって発生された磁界に対応する磁束を通過させて、垂直磁気記録方式によって情報を記録媒体に記録するための記録磁界を発生する。   The main magnetic pole 15 passes the magnetic flux corresponding to the magnetic field generated by the first coil 121, the second coil 111, and the third coil 122 as described above, and information is recorded on the recording medium by the perpendicular magnetic recording method. A recording magnetic field for recording is generated.

本実施の形態では、第1の磁路および第1のコイル121に加えて、第2の磁路、第2のコイル111および第3のコイル122が設けられている。これにより、第1のコイル121の巻き数を少なくして第1の磁路の長さを短くしても、第1のコイル121の起磁力、第2のコイル111の起磁力および第3のコイル122の起磁力によって、主磁極15から十分な大きさの記録磁界を発生させることが可能になる。   In the present embodiment, in addition to the first magnetic path and the first coil 121, a second magnetic path, a second coil 111, and a third coil 122 are provided. Thus, even if the number of turns of the first coil 121 is reduced and the length of the first magnetic path is shortened, the magnetomotive force of the first coil 121, the magnetomotive force of the second coil 111, and the third The magnetomotive force of the coil 122 can generate a sufficiently large recording magnetic field from the main magnetic pole 15.

本実施の形態では、特に、第2のコイル111の巻き数は約3回であり、第3のコイル122の巻き数は約1回であり、第1のコイル121の巻き数は約1回である。ここで、第2のコイル111および第3のコイル122が設けられておらず、第1のコイル121の巻き数が5回である比較例の磁気ヘッドを考える。比較例の磁気ヘッドのその他の構成は、本実施の形態に係る磁気ヘッドと同様である。本実施の形態における第1のコイル121、第2のコイル111および第3のコイル122による合計の起磁力は、比較例の磁気ヘッドにおける第1のコイル121による起磁力とほぼ等しくなる。一方、本実施の形態では、比較例の磁気ヘッドに比べて、第1のコイル121の巻き数が少ないことから、第1の磁路の長さを短くすることができる。このようにして、本実施の形態によれば、主磁極15から発生される記録磁界の大きさを比較例の磁気ヘッドと同等にしながら、比較例の磁気ヘッドよりも、第1の磁路の長さを短くすることができる。   In the present embodiment, in particular, the number of turns of the second coil 111 is about 3, the number of turns of the third coil 122 is about 1, and the number of turns of the first coil 121 is about 1. It is. Here, consider a comparative magnetic head in which the second coil 111 and the third coil 122 are not provided, and the first coil 121 has five turns. Other configurations of the magnetic head of the comparative example are the same as those of the magnetic head according to the present embodiment. The total magnetomotive force by the first coil 121, the second coil 111, and the third coil 122 in the present embodiment is substantially equal to the magnetomotive force by the first coil 121 in the magnetic head of the comparative example. On the other hand, in this embodiment, since the number of turns of the first coil 121 is smaller than that of the magnetic head of the comparative example, the length of the first magnetic path can be shortened. In this manner, according to the present embodiment, the magnitude of the recording magnetic field generated from the main magnetic pole 15 is made equal to that of the magnetic head of the comparative example, while the first magnetic path of the comparative magnetic head is made. The length can be shortened.

また、本実施の形態では、第1のコイル121の巻き数に制約されることなく、第2のコイル111の巻き数および第3のコイル122の巻き数を多くすることができる。第2のコイル111の巻き数および第3のコイル122の巻き数は、第1のコイル121の巻き数以上であってもよい。あるいは、第2のコイル111の巻き数は、第1のコイル121の巻き数よりも多く、第3のコイル122の巻き数は、第1のコイル121の巻き数以上であってもよい。そして、このように第2のコイル111の巻き数および第3のコイル122の巻き数を多くすることによって、第2のコイル111による起磁力および第3のコイル122による起磁力を大きくすることが可能になる。   In the present embodiment, the number of turns of the second coil 111 and the number of turns of the third coil 122 can be increased without being restricted by the number of turns of the first coil 121. The number of turns of the second coil 111 and the number of turns of the third coil 122 may be equal to or greater than the number of turns of the first coil 121. Alternatively, the number of turns of the second coil 111 may be greater than the number of turns of the first coil 121, and the number of turns of the third coil 122 may be greater than or equal to the number of turns of the first coil 121. Then, by increasing the number of turns of the second coil 111 and the number of turns of the third coil 122 in this way, the magnetomotive force by the second coil 111 and the magnetomotive force by the third coil 122 can be increased. It becomes possible.

特に、本実施の形態では、第2の連結部31は、第1の連結部41に対して、媒体対向面80からより遠い位置に配置されている。これにより、容易に、第2の連結部31の周りに巻回される第2および第3のコイル111,122の巻き数を多くすることができる。   In particular, in the present embodiment, the second connecting portion 31 is disposed at a position farther from the medium facing surface 80 than the first connecting portion 41. Thereby, the number of turns of the second and third coils 111 and 122 wound around the second connecting portion 31 can be easily increased.

また、本実施の形態では、第2のコイル111は、主磁極15に対して記録媒体の進行方向Tの後側に配置されている。従って、第1のコイル121の配置に制約されることなく、第2のコイル111を配置することができる。これによって、容易に、第2のコイル111の巻き数を多くすることができる。   In the present embodiment, the second coil 111 is disposed on the rear side in the traveling direction T of the recording medium with respect to the main magnetic pole 15. Therefore, the second coil 111 can be arranged without being restricted by the arrangement of the first coil 121. Thereby, the number of turns of the second coil 111 can be easily increased.

また、本実施の形態では、第2および第3のコイル111,122は、互いに記録媒体の進行方向Tにおける異なる位置に配置されている。これにより、第2および第3のコイル111,122のそれぞれの巻き数を多くすることができる。   In the present embodiment, the second and third coils 111 and 122 are arranged at different positions in the traveling direction T of the recording medium. Thereby, the number of turns of each of the second and third coils 111 and 122 can be increased.

以上のことから、本実施の形態によれば、主磁極15に対して記録媒体の進行方向Tの前側に配置された第1の磁路の長さを短くしながら、主磁極15から十分な大きさの記録磁界を発生させることが可能になる。   From the above, according to the present embodiment, the length of the first magnetic path disposed on the front side in the traveling direction T of the recording medium with respect to the main magnetic pole 15 is shortened, and sufficient from the main magnetic pole 15. A recording magnetic field having a magnitude can be generated.

本実施の形態におけるその他の構成、作用および効果は、第1の実施の形態と同様である。   Other configurations, operations, and effects in the present embodiment are the same as those in the first embodiment.

[第11の実施の形態]
次に、図27ないし図30を参照して、本発明の第11の実施の形態に係る磁気ヘッドについて説明する。図27は、本実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。なお、図27は前記主断面を示している。図28は、本実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第2のコイルを示す平面図である。図29は、本実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第3のコイルを示す平面図である。図30は、本実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第1のコイルを示す平面図である。
[Eleventh embodiment]
Next, a magnetic head according to the eleventh embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 27 is a cross-sectional view showing the magnetic head according to the present embodiment. FIG. 27 shows the main cross section. FIG. 28 is a plan view showing a second coil in the magnetic head according to the present embodiment. FIG. 29 is a plan view showing a third coil in the magnetic head according to the present embodiment. FIG. 30 is a plan view showing a first coil in the magnetic head according to the present embodiment.

本実施の形態に係る磁気ヘッドは、以下の点で第10の実施の形態に係る磁気ヘッドと異なっている。本実施の形態では、記録ヘッド部9は、第10の実施の形態における第1のコイル121および第3のコイル122の代わりに、第1のコイル123および第3のコイル124を有している。ここで、媒体対向面80に配置された主磁極15の端面と交差し、記録媒体の進行方向Tに垂直な仮想の平面を想定する。第3のコイル124は、上記仮想の平面と交差する位置に配置されている。第1および第3のコイル123,124は、いずれも、銅等の導電材料によって形成されている。   The magnetic head according to the present embodiment is different from the magnetic head according to the tenth embodiment in the following points. In the present embodiment, the recording head unit 9 has a first coil 123 and a third coil 124 instead of the first coil 121 and the third coil 122 in the tenth embodiment. . Here, a virtual plane that intersects with the end face of the main pole 15 disposed on the medium facing surface 80 and is perpendicular to the traveling direction T of the recording medium is assumed. The third coil 124 is disposed at a position that intersects the virtual plane. Both the first and third coils 123 and 124 are made of a conductive material such as copper.

図29に示したように、第3のコイル124は、第2の連結部31(磁性層35)の周りに巻回されている。図29に示した例では、第3のコイル124は、第2の連結部31(磁性層35)の周りに約1回巻かれている。   As shown in FIG. 29, the third coil 124 is wound around the second coupling portion 31 (magnetic layer 35). In the example shown in FIG. 29, the third coil 124 is wound about once around the second coupling portion 31 (magnetic layer 35).

また、第3のコイル124は、第1のコイル123に電気的に接続されたコイル接続部124Sと、第2のコイル111のコイル接続部111Sに電気的に接続されたコイル接続部124Eとを有している。上方から見て、第3のコイル124は、コイル接続部124Sからコイル接続部124Eに向かって時計回り方向に巻かれている。コイル接続部124Eは、第10の実施の形態で説明した接続層を介して第2のコイル111のコイル接続部111Sに電気的に接続されている。なお、図28に示したように、本実施の形態では、コイル接続部111Sは、第10の実施の形態における図25に示した位置とは異なる位置に配置されている。   The third coil 124 includes a coil connection portion 124S electrically connected to the first coil 123 and a coil connection portion 124E electrically connected to the coil connection portion 111S of the second coil 111. Have. As viewed from above, the third coil 124 is wound clockwise from the coil connection portion 124S toward the coil connection portion 124E. The coil connection part 124E is electrically connected to the coil connection part 111S of the second coil 111 through the connection layer described in the tenth embodiment. As shown in FIG. 28, in the present embodiment, coil connecting portion 111S is arranged at a position different from the position shown in FIG. 25 in the tenth embodiment.

第3のコイル124の周囲には、非磁性層61が配置されている。また、本実施の形態に係る磁気ヘッドは、第3のコイル124と、主磁極15、第2のギャップ層18、磁性層35および非磁性層57との間に介在する絶縁材料よりなる絶縁膜60を備えている。絶縁膜60は、例えばアルミナによって形成されている。   A nonmagnetic layer 61 is disposed around the third coil 124. In addition, the magnetic head according to the present embodiment has an insulating film made of an insulating material interposed between the third coil 124 and the main magnetic pole 15, the second gap layer 18, the magnetic layer 35, and the nonmagnetic layer 57. 60. The insulating film 60 is made of alumina, for example.

第1のコイル123の、リード層20、第1の連結部41(磁性層42)および第2の連結部31(磁性層36)に対する位置関係は、第10の実施の形態における第1のコイル121と同様である。すなわち、第1のコイル123は、リード層20に連続している。図30では、第1のコイル123とリード層20の境界を点線で示している。また、第1のコイル123は、第1の連結部41(磁性層42)の周りに巻回され、且つその一部が第1の連結部41(磁性層42)と第2の連結部31(磁性層36)との間を通過している。図30に示した例では、第1のコイル123は、第1の連結部41(磁性層42)の周りに約1回巻かれている。また、第1のコイル123は、第3のコイル124のコイル接続部124Sに電気的に接続されたコイル接続部123Eを有している。上方から見て、第1のコイル123は、リード層20との境界からコイル接続部123Eに向かって反時計回り方向に巻かれている。   The positional relationship of the first coil 123 with respect to the lead layer 20, the first coupling portion 41 (magnetic layer 42), and the second coupling portion 31 (magnetic layer 36) is the first coil in the tenth embodiment. The same as 121. That is, the first coil 123 is continuous with the lead layer 20. In FIG. 30, the boundary between the first coil 123 and the lead layer 20 is indicated by a dotted line. The first coil 123 is wound around the first connecting portion 41 (magnetic layer 42), and a part of the first coil 123 is connected to the first connecting portion 41 (magnetic layer 42) and the second connecting portion 31. It passes between (magnetic layer 36). In the example shown in FIG. 30, the first coil 123 is wound around the first coupling portion 41 (magnetic layer 42) about once. The first coil 123 has a coil connection portion 123E that is electrically connected to the coil connection portion 124S of the third coil 124. When viewed from above, the first coil 123 is wound counterclockwise from the boundary with the lead layer 20 toward the coil connection portion 123E.

第1のコイル123と第3のコイル124との間には、絶縁膜62が介在している。絶縁膜62には、第3のコイル124のコイル接続部124Sを露出させる開口部が形成されている。第1のコイル123のコイル接続部123Eは、絶縁膜62に形成された開口部を通して、コイル接続部124Sに電気的に接続されている。   An insulating film 62 is interposed between the first coil 123 and the third coil 124. The insulating film 62 is formed with an opening that exposes the coil connection portion 124 </ b> S of the third coil 124. The coil connection portion 123E of the first coil 123 is electrically connected to the coil connection portion 124S through an opening formed in the insulating film 62.

本実施の形態では、第1のコイル123によって発生された磁界に対応する磁束は、第1の連結部41と主磁極15を通過する。第3のコイル124によって発生された磁界に対応する磁束は、第2の連結部31、第2のヨーク層40、第1の連結部41および主磁極15を通過する。本実施の形態におけるその他の構成、作用および効果は、第10の実施の形態と同様である。   In the present embodiment, the magnetic flux corresponding to the magnetic field generated by the first coil 123 passes through the first connecting portion 41 and the main magnetic pole 15. A magnetic flux corresponding to the magnetic field generated by the third coil 124 passes through the second connecting portion 31, the second yoke layer 40, the first connecting portion 41, and the main magnetic pole 15. Other configurations, operations, and effects in the present embodiment are the same as those in the tenth embodiment.

[第12の実施の形態]
次に、図31ないし図33を参照して、本発明の第12の実施の形態に係る磁気ヘッドについて説明する。図31は、本実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。なお、図31は前記主断面を示している。図32は、本実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第3のコイルを示す平面図である。図33は、本実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第1のコイルを示す平面図である。
[Twelfth embodiment]
Next, with reference to FIGS. 31 to 33, a magnetic head according to a twelfth embodiment of the present invention is described. FIG. 31 is a cross-sectional view showing the magnetic head according to the present embodiment. FIG. 31 shows the main cross section. FIG. 32 is a plan view showing a third coil in the magnetic head according to the present embodiment. FIG. 33 is a plan view showing a first coil in the magnetic head according to the present embodiment.

本実施の形態に係る磁気ヘッドは、以下の点で第11の実施の形態に係る磁気ヘッドと異なっている。本実施の形態では、記録ヘッド部9は、第11の実施の形態における第3のコイル124の代わりに、第3のコイル125を有している。第3のコイル125は、銅等の導電材料によって形成されている。   The magnetic head according to the present embodiment is different from the magnetic head according to the eleventh embodiment in the following points. In the present embodiment, the recording head unit 9 has a third coil 125 instead of the third coil 124 in the eleventh embodiment. The third coil 125 is made of a conductive material such as copper.

第3のコイル125の、主磁極15および第2の連結部31(磁性層35)に対する位置関係は、第11の実施の形態における第3のコイル124と同様である。すなわち、第3のコイル125は、第11の実施の形態で説明した仮想の平面と交差する位置に配置されている。また、第3のコイル125は、第2の連結部31(磁性層35)の周りに巻回されている。図32に示した例では、第3のコイル125は、第2の連結部31(磁性層35)の周りに約2回巻かれている。第3のコイル125の巻線間および周囲には、非磁性層61が配置されている。   The positional relationship of the third coil 125 with respect to the main magnetic pole 15 and the second coupling portion 31 (magnetic layer 35) is the same as that of the third coil 124 in the eleventh embodiment. That is, the third coil 125 is arranged at a position that intersects the virtual plane described in the eleventh embodiment. The third coil 125 is wound around the second coupling portion 31 (magnetic layer 35). In the example shown in FIG. 32, the third coil 125 is wound about twice around the second coupling portion 31 (magnetic layer 35). A nonmagnetic layer 61 is disposed between and around the third coil 125.

また、第3のコイル125は、第1のコイル123のコイル接続部123Eに電気的に接続されたコイル接続部125Sと、第2のコイル111のコイル接続部111Sに電気的に接続されたコイル接続部125Eとを有している。上方から見て、第3のコイル125は、コイル接続部125Sからコイル接続部125Eに向かって時計回り方向に巻かれている。   The third coil 125 includes a coil connection part 125S electrically connected to the coil connection part 123E of the first coil 123 and a coil electrically connected to the coil connection part 111S of the second coil 111. And a connecting portion 125E. As viewed from above, the third coil 125 is wound in the clockwise direction from the coil connection portion 125S toward the coil connection portion 125E.

第1のコイル123と第3のコイル125との間には、絶縁膜62が介在している。絶縁膜62には、第3のコイル125のコイル接続部125Sを露出させる開口部が形成されている。コイル接続部123Eは、絶縁膜62に形成された開口部を通して、コイル接続部125Sに電気的に接続されている。なお、図33に示したように、本実施の形態では、コイル接続部123Eは、第11の実施の形態における図30に示した位置とは異なる位置に配置されている。   An insulating film 62 is interposed between the first coil 123 and the third coil 125. The insulating film 62 is formed with an opening that exposes the coil connection part 125S of the third coil 125. The coil connection portion 123E is electrically connected to the coil connection portion 125S through an opening formed in the insulating film 62. As shown in FIG. 33, in this embodiment, the coil connection portion 123E is arranged at a position different from the position shown in FIG. 30 in the eleventh embodiment.

コイル接続部125Eは、第10の実施の形態で説明した接続層を介してコイル接続部111Sに電気的に接続されている。なお、本実施の形態では、コイル接続部111Sは、第10の実施の形態における図25に示した位置に配置されている。   The coil connection part 125E is electrically connected to the coil connection part 111S through the connection layer described in the tenth embodiment. In the present embodiment, the coil connection portion 111S is disposed at the position shown in FIG. 25 in the tenth embodiment.

本実施の形態では、第3のコイル125によって発生された磁界に対応する磁束は、第2の連結部31、第2のヨーク層40、第1の連結部41および主磁極15を通過する。本実施の形態におけるその他の構成、作用および効果は、第11の実施の形態と同様である。   In the present embodiment, the magnetic flux corresponding to the magnetic field generated by the third coil 125 passes through the second coupling portion 31, the second yoke layer 40, the first coupling portion 41, and the main magnetic pole 15. Other configurations, operations, and effects in the present embodiment are the same as those in the eleventh embodiment.

[第13の実施の形態]
次に、図34を参照して、本発明の第13の実施の形態に係る磁気ヘッドについて説明する。図34は、本実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。なお、図34は前記主断面を示している。
[Thirteenth embodiment]
Next, a magnetic head according to a thirteenth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 34 is a cross-sectional view showing the magnetic head according to the present embodiment. FIG. 34 shows the main cross section.

本実施の形態に係る磁気ヘッドは、以下の点で第11の実施の形態に係る磁気ヘッドと異なっている。本実施の形態では、記録ヘッド部9は、第11の実施の形態における第1のコイル123の代わりに、第10の実施の形態における第1のコイル121を有している。また、記録ヘッド部9は、第11の実施の形態における第3のコイル124の代わりに、第1層124Aおよび第2層122Bを有する第3のコイルを有している。第1層124Aの形状および配置は、第11の実施の形態における第3のコイル124と同じである。第2層122Bの形状および配置は、第10の実施の形態における第3のコイル122と同じである。本実施の形態では、第3のコイルの一部である第1層124Aが、第11の実施の形態で説明した仮想の平面と交差する位置に配置されている。   The magnetic head according to the present embodiment is different from the magnetic head according to the eleventh embodiment in the following points. In the present embodiment, the recording head unit 9 has the first coil 121 in the tenth embodiment instead of the first coil 123 in the eleventh embodiment. The recording head unit 9 has a third coil having a first layer 124A and a second layer 122B instead of the third coil 124 in the eleventh embodiment. The shape and arrangement of the first layer 124A are the same as those of the third coil 124 in the eleventh embodiment. The shape and arrangement of the second layer 122B are the same as those of the third coil 122 in the tenth embodiment. In the present embodiment, the first layer 124A that is a part of the third coil is disposed at a position that intersects the virtual plane described in the eleventh embodiment.

また、第3のコイルは、第1層124Aに設けられたコイル接続部124S,124E(図29参照)と、第2層122Bに設けられたコイル接続部122E(図26参照)とを有している。コイル接続部122Eは、絶縁膜62に形成された開口部を通して、コイル接続部124Sに電気的に接続されている。コイル接続部124Eは、第11の実施の形態(第10の実施の形態)で説明した接続層を介して第2のコイル111のコイル接続部111S(図28参照)に電気的に接続されている。   The third coil has coil connection portions 124S and 124E (see FIG. 29) provided in the first layer 124A and a coil connection portion 122E (see FIG. 26) provided in the second layer 122B. ing. The coil connection part 122E is electrically connected to the coil connection part 124S through an opening formed in the insulating film 62. The coil connection portion 124E is electrically connected to the coil connection portion 111S (see FIG. 28) of the second coil 111 via the connection layer described in the eleventh embodiment (tenth embodiment). Yes.

本実施の形態では、第3のコイルの第1層124Aと第2層122Bによって発生された磁界に対応する磁束は、第2の連結部31、第2のヨーク層40、第1の連結部41および主磁極15を通過する。本実施の形態におけるその他の構成、作用および効果は、第10または第11の実施の形態と同様である。   In the present embodiment, the magnetic flux corresponding to the magnetic field generated by the first layer 124A and the second layer 122B of the third coil is generated by the second coupling part 31, the second yoke layer 40, and the first coupling part. 41 and the main magnetic pole 15. Other configurations, operations, and effects in the present embodiment are the same as those in the tenth or eleventh embodiment.

[第14の実施の形態]
次に、図35ないし図38を参照して、本発明の第14の実施の形態に係る磁気ヘッドについて説明する。図35は、本実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。なお、図35は前記主断面を示している。図36は、本実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第2のコイルを示す平面図である。図37は、本実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第1のコイルの第1層と第3のコイルの第1層を示す平面図である。図38は、本実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第1のコイルの第2層と第3のコイルの第2層を示す平面図である。
[Fourteenth embodiment]
Next, with reference to FIGS. 35 to 38, a magnetic head according to a fourteenth embodiment of the invention will be described. FIG. 35 is a cross-sectional view showing the magnetic head according to the present embodiment. FIG. 35 shows the main cross section. FIG. 36 is a plan view showing a second coil in the magnetic head according to the present embodiment. FIG. 37 is a plan view showing the first layer of the first coil and the first layer of the third coil in the magnetic head according to the present embodiment. FIG. 38 is a plan view showing the second layer of the first coil and the second layer of the third coil in the magnetic head according to the present embodiment.

本実施の形態に係る磁気ヘッドは、以下の点で第10の実施の形態に係る磁気ヘッドと異なっている。本実施の形態では、記録ヘッド部9は、第10の実施の形態における第2のコイル111の代わりに、第2のコイル112を有している。第2のコイル112は、銅等の導電材料によって形成されている。   The magnetic head according to the present embodiment is different from the magnetic head according to the tenth embodiment in the following points. In the present embodiment, the recording head unit 9 has a second coil 112 instead of the second coil 111 in the tenth embodiment. The second coil 112 is made of a conductive material such as copper.

第2のコイル112の、主磁極15、第2の連結部31(磁性層32)およびリード層10に対する位置関係は、第10の実施の形態における第2のコイル111と同様である。すなわち、第2のコイル112は、主磁極15に対して記録媒体の進行方向Tの後側に配置され、第2の連結部31(磁性層32)の周りに巻回されている。図36に示した例では、第2のコイル112は、第2の連結部31(磁性層32)の周りに約2回巻かれている。リード層10は、第2のコイル112に連続している。図36では、第2のコイル112とリード層10の境界を点線で示している。また、第2のコイル112は、後述する第3のコイルの第1層に電気的に接続されたコイル接続部112Sを有している。上方から見て、第2のコイル112は、コイル接続部112Sからリード層10との境界に向かって時計回り方向に巻かれている。   The positional relationship of the second coil 112 with respect to the main magnetic pole 15, the second coupling portion 31 (magnetic layer 32), and the lead layer 10 is the same as that of the second coil 111 in the tenth embodiment. That is, the second coil 112 is disposed behind the main magnetic pole 15 in the traveling direction T of the recording medium, and is wound around the second coupling portion 31 (magnetic layer 32). In the example shown in FIG. 36, the second coil 112 is wound about the second coupling portion 31 (magnetic layer 32) about twice. The lead layer 10 is continuous with the second coil 112. In FIG. 36, the boundary between the second coil 112 and the lead layer 10 is indicated by a dotted line. The second coil 112 has a coil connection portion 112S that is electrically connected to a first layer of a third coil to be described later. As viewed from above, the second coil 112 is wound in the clockwise direction from the coil connecting portion 112S toward the boundary with the lead layer 10.

また、本実施の形態では、第1の連結部41は、磁性層42に加えて、磁性層42の上に配置された磁性層43を含んでいる。また、第2の連結部31は、磁性層32〜36に加えて、磁性層36の上に配置された磁性層37を含んでいる。また、記録ヘッド部9は、第1のシールド16Aの上に積層された磁性材料よりなる磁性層44を有している。磁性層44は、媒体対向面80に向いた端面を有し、この端面は、媒体対向面80から離れた位置に配置されている。磁性層44の端面における任意の位置の媒体対向面80からの距離は、任意の位置が基板1の上面1aから離れるに従って大きくなっている。磁性層44の材料としては、例えばCoFeN、CoNiFe、NiFe、CoFeのいずれかを用いることができる。   In the present embodiment, the first coupling portion 41 includes a magnetic layer 43 disposed on the magnetic layer 42 in addition to the magnetic layer 42. In addition to the magnetic layers 32 to 36, the second coupling portion 31 includes a magnetic layer 37 disposed on the magnetic layer 36. In addition, the recording head unit 9 has a magnetic layer 44 made of a magnetic material laminated on the first shield 16A. The magnetic layer 44 has an end surface facing the medium facing surface 80, and this end surface is disposed at a position away from the medium facing surface 80. The distance from the medium facing surface 80 at an arbitrary position on the end surface of the magnetic layer 44 increases as the arbitrary position moves away from the upper surface 1 a of the substrate 1. As the material of the magnetic layer 44, for example, any one of CoFeN, CoNiFe, NiFe, and CoFe can be used.

また、本実施の形態では、記録ヘッド部9は、第10の実施の形態における第1のコイル121および第3のコイル122の代わりに、第1のコイル126および第3のコイル127を有している。第1のコイル126は、第1層126Aと第2層126Bとを有している。第3のコイル127は、第1層127Aと第2層127Bとを有している。第1および第3のコイル126,127は、いずれも、銅等の導電材料によって形成されている。   Further, in the present embodiment, the recording head unit 9 has a first coil 126 and a third coil 127 instead of the first coil 121 and the third coil 122 in the tenth embodiment. ing. The first coil 126 has a first layer 126A and a second layer 126B. The third coil 127 has a first layer 127A and a second layer 127B. Both the first and third coils 126 and 127 are made of a conductive material such as copper.

図37は、第1のコイル126の第1層126Aと第3のコイル127の第1層127Aを示す平面図である。第1層126A,127Aは、同一平面上に位置し、互いに連続している。図37では、第1層126A,127Aの境界を点線で示している。   FIG. 37 is a plan view showing the first layer 126A of the first coil 126 and the first layer 127A of the third coil 127. FIG. The first layers 126A and 127A are located on the same plane and are continuous with each other. In FIG. 37, the boundary between the first layers 126A and 127A is indicated by a dotted line.

第1層126Aの、第1の連結部41(磁性層42)および第2の連結部31(磁性層36)に対する位置関係は、第10の実施の形態における第1のコイル121と同様である。すなわち、第1層126Aは、第1の連結部41(磁性層42)の周りに巻回され、且つその一部が第1の連結部41(磁性層42)と第2の連結部31(磁性層36)との間を通過している。図37に示した例では、第1層126Aは、第1の連結部41(磁性層42)の周りに約1回巻かれている。また、第1のコイル126は、第1層126Aに設けられたコイル接続部126ASを有している。   The positional relationship of the first layer 126A with respect to the first coupling portion 41 (magnetic layer 42) and the second coupling portion 31 (magnetic layer 36) is the same as that of the first coil 121 in the tenth embodiment. . That is, the first layer 126A is wound around the first coupling portion 41 (magnetic layer 42), and a part thereof is the first coupling portion 41 (magnetic layer 42) and the second coupling portion 31 ( It passes between the magnetic layer 36). In the example shown in FIG. 37, the first layer 126A is wound about the first coupling portion 41 (magnetic layer 42) about once. Further, the first coil 126 has a coil connection portion 126AS provided in the first layer 126A.

第1層127Aの、第2の連結部31(磁性層36)に対する位置関係は、第10の実施の形態における第3のコイル122と同様である。すなわち、第1層127Aは、第2の連結部31(磁性層36)の周りに巻回されている。図37に示した例では、第1層127Aは、第2の連結部31(磁性層36)の周りに約1回巻かれている。また、第3のコイル127は、第1層127Aに設けられたコイル接続部127AEを有している。コイル接続部127AEは、第10の実施の形態で説明した接続層を介して第2のコイル112のコイル接続部112Sに電気的に接続されている。   The positional relationship of the first layer 127A with respect to the second coupling portion 31 (magnetic layer 36) is the same as that of the third coil 122 in the tenth embodiment. That is, the first layer 127A is wound around the second coupling portion 31 (magnetic layer 36). In the example shown in FIG. 37, the first layer 127A is wound about once around the second coupling portion 31 (magnetic layer 36). The third coil 127 has a coil connection part 127AE provided in the first layer 127A. The coil connection part 127AE is electrically connected to the coil connection part 112S of the second coil 112 through the connection layer described in the tenth embodiment.

上方から見て、第1層126Aは、コイル接続部126ASから第1層127Aとの境界に向かって反時計回り方向に巻かれている。上方から見て、第1層127Aは、第1層126Aとの境界からコイル接続部127AEに向かって時計回り方向に巻かれている。第1層126A,127Aの巻線間および周囲には、絶縁層63が配置されている。   When viewed from above, the first layer 126A is wound in the counterclockwise direction from the coil connection portion 126AS toward the boundary with the first layer 127A. When viewed from above, the first layer 127A is wound clockwise from the boundary with the first layer 126A toward the coil connection portion 127AE. An insulating layer 63 is disposed between and around the windings of the first layers 126A and 127A.

図38は、第1のコイル126の第2層126Bと第3のコイル127の第2層127Bを示す平面図である。第2層126B,127Bおよびリード層20は、同一平面上に位置し、互いに連続している。図38では、第2層126B,127Bおよびリード層20の境界を点線で示している。   38 is a plan view showing the second layer 126B of the first coil 126 and the second layer 127B of the third coil 127. FIG. The second layers 126B and 127B and the lead layer 20 are located on the same plane and are continuous with each other. In FIG. 38, the boundaries between the second layers 126B and 127B and the lead layer 20 are indicated by dotted lines.

第2層127Bは、第2の連結部31(磁性層37)の周りに巻回されている。図38に示した例では、第2層127Bは、第2の連結部31(磁性層37)の周りに約1回巻かれている。   The second layer 127B is wound around the second coupling portion 31 (magnetic layer 37). In the example shown in FIG. 38, the second layer 127B is wound about the second coupling portion 31 (magnetic layer 37) about once.

第2層126Bは、第1の連結部41(磁性層43)の周りに巻回され、且つその一部が第1の連結部41(磁性層43)と第2の連結部31(磁性層37)との間を通過している。図38に示した例では、第2層126Bは、第1の連結部41(磁性層43)の周りに約1回巻かれている。また、第1のコイル126は、第2層126Bに設けられたコイル接続部126BEを有している。   The second layer 126B is wound around the first coupling portion 41 (magnetic layer 43), and a part of the second layer 126B is coupled to the first coupling portion 41 (magnetic layer 43) and the second coupling portion 31 (magnetic layer). 37). In the example shown in FIG. 38, the second layer 126B is wound about the first coupling portion 41 (magnetic layer 43) about once. Further, the first coil 126 has a coil connection portion 126BE provided in the second layer 126B.

上方から見て、第2層127Bは、リード層20との境界から第2層126Bとの境界に向かって時計回り方向に巻かれている。上方から見て、第2層126Bは、第2層127Bとの境界からコイル接続部126BEに向かって反時計回り方向に巻かれている。   When viewed from above, the second layer 127B is wound clockwise from the boundary with the lead layer 20 toward the boundary with the second layer 126B. As viewed from above, the second layer 126B is wound counterclockwise from the boundary with the second layer 127B toward the coil connection portion 126BE.

また、本実施の形態に係る磁気ヘッドは、更に、絶縁材料よりなる絶縁膜65および絶縁層66,67を備えている。絶縁膜65は、第2層126B,127Bおよびリード層20と、磁性層37,43,44および絶縁層64との間に介在している。絶縁層66は、第2層126B,127B、リード層20および磁性層37,44の周囲に配置されている。第2層126B,127B、リード層20、磁性層37,43,44、絶縁膜65および絶縁層66の上面は平坦化されている。絶縁層67は、第2層126B,127B、リード層20および絶縁膜65の上面の上に配置されている。絶縁膜65および絶縁層66,67は、例えばアルミナによって形成されている。   The magnetic head according to the present embodiment further includes an insulating film 65 and insulating layers 66 and 67 made of an insulating material. The insulating film 65 is interposed between the second layers 126B and 127B and the lead layer 20 and the magnetic layers 37, 43 and 44 and the insulating layer 64. The insulating layer 66 is disposed around the second layers 126B and 127B, the lead layer 20, and the magnetic layers 37 and 44. The upper surfaces of the second layers 126B and 127B, the lead layer 20, the magnetic layers 37, 43, and 44, the insulating film 65, and the insulating layer 66 are flattened. The insulating layer 67 is disposed on the upper surfaces of the second layers 126B and 127B, the lead layer 20, and the insulating film 65. The insulating film 65 and the insulating layers 66 and 67 are made of alumina, for example.

第1層126Aと第2層126Bの間には、絶縁層64および絶縁膜65が介在している。絶縁層64および絶縁膜65には、第1層126Aに設けられたコイル接続部126ASを露出させる開口部が形成されている。第2層126Bに設けられたコイル接続部126BEは、絶縁層64および絶縁膜65に形成された開口部を通して、コイル接続部126ASに電気的に接続されている。   An insulating layer 64 and an insulating film 65 are interposed between the first layer 126A and the second layer 126B. The insulating layer 64 and the insulating film 65 are formed with openings that expose the coil connection portions 126AS provided in the first layer 126A. The coil connection portion 126BE provided in the second layer 126B is electrically connected to the coil connection portion 126AS through an opening formed in the insulating layer 64 and the insulating film 65.

本実施の形態では、第2のヨーク層40は、磁性層37,43,44および絶縁層67の上に配置されている。第1の連結部41(磁性層42,43)は、主磁極15と第2のヨーク層40とを磁気的に連結している。第2の連結部31(磁性層32〜37)は、第1のヨーク層30と第2のヨーク層40とを磁気的に連結している。磁性層44は、記録シールド16の第1のシールド16Aと第2のヨーク層40とを磁気的に連結している。   In the present embodiment, the second yoke layer 40 is disposed on the magnetic layers 37, 43, 44 and the insulating layer 67. The first coupling portion 41 (magnetic layers 42, 43) magnetically couples the main magnetic pole 15 and the second yoke layer 40. The second coupling portion 31 (magnetic layers 32 to 37) magnetically couples the first yoke layer 30 and the second yoke layer 40. The magnetic layer 44 magnetically couples the first shield 16 </ b> A of the recording shield 16 and the second yoke layer 40.

本実施の形態では、第3のコイル127は、主磁極15に対して記録媒体の進行方向Tの前側に配置されている。第1のコイル126の第1層126Aと第2層126Bによって発生された磁界に対応する磁束は、第1の連結部41と主磁極15を通過する。第3のコイル127の第1層127Aと第2層127Bによって発生された磁界に対応する磁束は、第2の連結部31、第2のヨーク層40、第1の連結部41および主磁極15を通過する。本実施の形態におけるその他の構成、作用および効果は、第10の実施の形態と同様である。   In the present embodiment, the third coil 127 is disposed on the front side in the traveling direction T of the recording medium with respect to the main magnetic pole 15. A magnetic flux corresponding to the magnetic field generated by the first layer 126 </ b> A and the second layer 126 </ b> B of the first coil 126 passes through the first coupling portion 41 and the main magnetic pole 15. The magnetic flux corresponding to the magnetic field generated by the first layer 127A and the second layer 127B of the third coil 127 is the second coupling portion 31, the second yoke layer 40, the first coupling portion 41, and the main magnetic pole 15. Pass through. Other configurations, operations, and effects in the present embodiment are the same as those in the tenth embodiment.

[第15の実施の形態]
次に、図39ないし図42を参照して、本発明の第15の実施の形態に係る磁気ヘッドについて説明する。図39は、本実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。なお、図39は前記主断面を示している。図40は、本実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第2のコイルを示す平面図である。図41は、本実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第3のコイルを示す平面図である。図42は、本実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第1のコイルを示す平面図である。
[Fifteenth embodiment]
Next, with reference to FIGS. 39 to 42, a magnetic head according to a fifteenth embodiment of the invention will be described. FIG. 39 is a cross-sectional view showing the magnetic head according to the present embodiment. FIG. 39 shows the main cross section. FIG. 40 is a plan view showing a second coil in the magnetic head according to the present embodiment. FIG. 41 is a plan view showing a third coil in the magnetic head according to the present embodiment. FIG. 42 is a plan view showing a first coil in the magnetic head according to the present embodiment.

本実施の形態に係る磁気ヘッドは、以下の点で第12の実施の形態に係る磁気ヘッドと異なっている。本実施の形態では、記録ヘッド部9は、第12の実施の形態における第1のコイル123および第2のコイル111の代わりに、第1のコイル128および第2のコイル113を有している。第1のコイル128および第2のコイル113は、銅等の導電材料によって形成されている。   The magnetic head according to the present embodiment is different from the magnetic head according to the twelfth embodiment in the following points. In the present embodiment, the recording head unit 9 has a first coil 128 and a second coil 113 instead of the first coil 123 and the second coil 111 in the twelfth embodiment. . The first coil 128 and the second coil 113 are made of a conductive material such as copper.

第2のコイル113の、主磁極15、第2の連結部31(磁性層32)およびリード層10に対する位置関係は、第12の実施の形態における第2のコイル111と同様である。すなわち、第2のコイル113は、主磁極15に対して記録媒体の進行方向Tの後側に配置され、第2の連結部31(磁性層32)の周りに巻回されている。図40に示した例では、第2のコイル113は、第2の連結部31(磁性層32)の周りに約4回巻かれている。リード層10は、第2のコイル113に連続している。図40では、第2のコイル113とリード層10の境界を点線で示している。   The positional relationship of the second coil 113 with respect to the main magnetic pole 15, the second coupling portion 31 (magnetic layer 32), and the lead layer 10 is the same as that of the second coil 111 in the twelfth embodiment. That is, the second coil 113 is disposed on the rear side in the traveling direction T of the recording medium with respect to the main magnetic pole 15 and is wound around the second coupling portion 31 (magnetic layer 32). In the example shown in FIG. 40, the second coil 113 is wound about the second coupling portion 31 (magnetic layer 32) about four times. The lead layer 10 is continuous with the second coil 113. In FIG. 40, the boundary between the second coil 113 and the lead layer 10 is indicated by a dotted line.

また、第2のコイル113は、第3のコイル125のコイル接続部125Eに電気的に接続されたコイル接続部113Sを有している。上方から見て、第2のコイル113は、コイル接続部113Sからリード層10との境界に向かって時計回り方向に巻かれている。コイル接続部125Eは、第12の実施の形態(第10の実施の形態)で説明した接続層を介してコイル接続部113Sに電気的に接続されている。   The second coil 113 has a coil connection portion 113 </ b> S that is electrically connected to the coil connection portion 125 </ b> E of the third coil 125. As viewed from above, the second coil 113 is wound in the clockwise direction from the coil connecting portion 113S toward the boundary with the lead layer 10. The coil connection part 125E is electrically connected to the coil connection part 113S through the connection layer described in the twelfth embodiment (tenth embodiment).

第1のコイル128の、リード層20、第1の連結部41(磁性層42)および第2の連結部31(磁性層36)に対する位置関係は、第12の実施の形態における第1のコイル123と同様である。すなわち、第1のコイル128は、第1の連結部41(磁性層42)の周りに巻回され、且つその一部が第1の連結部41(磁性層42)と第2の連結部31(磁性層36)との間を通過している。リード層20は、第1のコイル128に連続している。図42では、第1のコイル128とリード層20の境界を点線で示している。図42に示した例では、第1のコイル128は、第1の連結部41(磁性層42)の周りに約2回巻かれている。   The positional relationship of the first coil 128 with respect to the lead layer 20, the first coupling portion 41 (magnetic layer 42), and the second coupling portion 31 (magnetic layer 36) is the first coil in the twelfth embodiment. 123. That is, the first coil 128 is wound around the first connecting portion 41 (magnetic layer 42), and a part thereof is the first connecting portion 41 (magnetic layer 42) and the second connecting portion 31. It passes between (magnetic layer 36). The lead layer 20 is continuous with the first coil 128. In FIG. 42, the boundary between the first coil 128 and the lead layer 20 is indicated by a dotted line. In the example shown in FIG. 42, the first coil 128 is wound about the first coupling portion 41 (magnetic layer 42) about twice.

また、第1のコイル128は、第3のコイル125のコイル接続部125Sに電気的に接続されたコイル接続部128Eを有している。上方から見て、第1のコイル128は、リード層20との境界からコイル接続部128Eに向かって反時計回り方向に巻かれている。また、本実施の形態に係る磁気ヘッドは、第1のコイル128の巻線間に配置された絶縁材料よりなる絶縁層69を備えている。絶縁層69は、例えばフォトレジストによって形成されている。   In addition, the first coil 128 has a coil connection part 128 </ b> E electrically connected to the coil connection part 125 </ b> S of the third coil 125. When viewed from above, the first coil 128 is wound counterclockwise from the boundary with the lead layer 20 toward the coil connection portion 128E. In addition, the magnetic head according to the present embodiment includes an insulating layer 69 made of an insulating material and disposed between the windings of the first coil 128. The insulating layer 69 is made of, for example, a photoresist.

第1のコイル128と第3のコイル125の間には、絶縁膜62が介在している。絶縁膜62には、第3のコイル125のコイル接続部125Sを露出させる開口部が形成されている。第1のコイル128のコイル接続部128Eは、絶縁膜62に形成された開口部を通して、コイル接続部125Sに電気的に接続されている。なお、図41に示したように、本実施の形態では、コイル接続部125Sは、第12の実施の形態における図32に示した位置とは異なる位置に配置されている。   An insulating film 62 is interposed between the first coil 128 and the third coil 125. The insulating film 62 is formed with an opening that exposes the coil connection part 125S of the third coil 125. The coil connection portion 128E of the first coil 128 is electrically connected to the coil connection portion 125S through an opening formed in the insulating film 62. As shown in FIG. 41, in the present embodiment, coil connecting portion 125S is arranged at a position different from the position shown in FIG. 32 in the twelfth embodiment.

本実施の形態におけるその他の構成、作用および効果は、第12の実施の形態と同様である。   Other configurations, operations, and effects in the present embodiment are the same as those in the twelfth embodiment.

なお、本発明は、上記各実施の形態に限定されず、種々の変更が可能である。例えば、第2の連結部31は、第1の連結部41に対して、トラック幅方向の両側の少なくとも一方に配置されていてもよい。   In addition, this invention is not limited to said each embodiment, A various change is possible. For example, the second connecting portion 31 may be disposed on at least one of both sides in the track width direction with respect to the first connecting portion 41.

また、第1のコイルは、それぞれ第1の連結部の周りに巻回され、且つその一部が第1の連結部と第2の連結部の間を通過するように、3層以上積層されたものであってもよい。   Each of the first coils is wound around the first connecting portion, and three or more layers are laminated so that a part of the first coil passes between the first connecting portion and the second connecting portion. It may be.

11…第2のコイル、15…主磁極、16…記録シールド、21…第1のコイル、30…第1のヨーク層、31…第2の連結部、40…第2のヨーク層、41…第1の連結部。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 ... 2nd coil, 15 ... Main pole, 16 ... Recording shield, 21 ... 1st coil, 30 ... 1st yoke layer, 31 ... 2nd connection part, 40 ... 2nd yoke layer, 41 ... 1st connection part.

Claims (14)

記録媒体に対向する媒体対向面と、
前記記録媒体に記録する情報に応じた磁界を発生する第1および第2のコイルと、
前記媒体対向面に配置された端面を有し、前記第1および第2のコイルによって発生された磁界に対応する磁束を通過させると共に、垂直磁気記録方式によって前記情報を前記記録媒体に記録するための記録磁界を発生する主磁極と、
磁性材料よりなり、前記媒体対向面に配置された端面を有する記録シールドと、
非磁性材料よりなり、前記主磁極と前記記録シールドとの間に配置されたギャップ部と、
磁性材料よりなり前記記録シールドに磁気的に接続され、前記主磁極に対して前記記録媒体の進行方向の後側に配置された第1のヨーク層と、
磁性材料よりなり前記記録シールドに磁気的に接続され、前記主磁極に対して前記記録媒体の進行方向の前側に配置された第2のヨーク層と、
前記媒体対向面から離れた位置に配置され、前記主磁極と前記第2のヨーク層とを磁気的に連結する第1の連結部と、
前記媒体対向面から離れた位置に配置され、前記主磁極に接することなく前記第1のヨーク層と前記第2のヨーク層とを磁気的に連結する第2の連結部とを備えた垂直磁気記録用磁気ヘッドであって、
前記記録シールドの端面は、前記主磁極の前記端面に対して前記記録媒体の進行方向の前側に配置された第1の端面部分を含み、
前記第1のコイルは、前記第1の連結部の周りに巻回され、且つその一部が前記第1の連結部と第2の連結部の間を通過し、
前記第2のコイルは、前記第2の連結部の周りに巻回されていることを特徴とする垂直磁気記録用磁気ヘッド。
A medium facing surface facing the recording medium;
First and second coils for generating a magnetic field according to information to be recorded on the recording medium;
An end face disposed on the medium facing surface, for passing a magnetic flux corresponding to the magnetic field generated by the first and second coils, and for recording the information on the recording medium by a perpendicular magnetic recording method; A main magnetic pole for generating a recording magnetic field of
A recording shield made of a magnetic material and having an end face disposed on the medium facing surface;
A gap portion made of a non-magnetic material and disposed between the main magnetic pole and the recording shield;
A first yoke layer made of a magnetic material and magnetically connected to the recording shield and disposed on the rear side in the traveling direction of the recording medium with respect to the main pole;
A second yoke layer made of a magnetic material and magnetically connected to the recording shield and disposed on the front side in the traveling direction of the recording medium with respect to the main pole;
A first connecting portion disposed at a position away from the medium facing surface and magnetically connecting the main magnetic pole and the second yoke layer;
Perpendicular magnetism provided with a second coupling portion that is disposed at a position away from the medium facing surface and magnetically couples the first yoke layer and the second yoke layer without contacting the main magnetic pole. A magnetic head for recording,
The end face of the recording shield includes a first end face portion disposed on the front side in the traveling direction of the recording medium with respect to the end face of the main magnetic pole,
The first coil is wound around the first connecting portion, and a part of the first coil passes between the first connecting portion and the second connecting portion,
The magnetic head for perpendicular magnetic recording, wherein the second coil is wound around the second connecting portion.
前記第2の連結部は、前記第1の連結部に対して、前記媒体対向面からより遠い位置に配置されていることを特徴とする請求項1記載の垂直磁気記録用磁気ヘッド。   2. The magnetic head for perpendicular magnetic recording according to claim 1, wherein the second connecting portion is disposed farther from the medium facing surface than the first connecting portion. 前記第2のコイルは、前記主磁極に対して前記記録媒体の進行方向の後側に配置されていることを特徴とする請求項1記載の垂直磁気記録用磁気ヘッド。   2. The magnetic head for perpendicular magnetic recording according to claim 1, wherein the second coil is disposed on the rear side in the traveling direction of the recording medium with respect to the main magnetic pole. 前記第2のコイルは、前記主磁極に対して前記記録媒体の進行方向の前側に配置されていることを特徴とする請求項1記載の垂直磁気記録用磁気ヘッド。   2. The magnetic head for perpendicular magnetic recording according to claim 1, wherein the second coil is disposed on the front side in the traveling direction of the recording medium with respect to the main magnetic pole. 前記媒体対向面に配置された前記主磁極の端面と交差し、前記記録媒体の進行方向に垂直な仮想の平面を想定したとき、前記第2のコイルの少なくとも一部は、前記仮想の平面と交差する位置に配置されていることを特徴とする請求項1記載の垂直磁気記録用磁気ヘッド。   Assuming a virtual plane that intersects with the end face of the main pole disposed on the medium facing surface and is perpendicular to the traveling direction of the recording medium, at least a part of the second coil is 2. The magnetic head for perpendicular magnetic recording according to claim 1, wherein the magnetic head is disposed at an intersecting position. 前記第2のコイルの巻き数は、前記第1のコイルの巻き数以上であることを特徴とする請求項1記載の垂直磁気記録用磁気ヘッド。   2. The magnetic head for perpendicular magnetic recording according to claim 1, wherein the number of turns of the second coil is equal to or greater than the number of turns of the first coil. 前記第2のコイルの巻き数は、前記第1のコイルの巻き数よりも多いことを特徴とする請求項1記載の垂直磁気記録用磁気ヘッド。   2. The magnetic head for perpendicular magnetic recording according to claim 1, wherein the number of turns of the second coil is larger than the number of turns of the first coil. 前記記録シールドの端面は、更に、第2、第3および第4の端面部分を含み、前記第2の端面部分は、前記主磁極の前記端面に対して前記記録媒体の進行方向の後側に配置され、前記第3および第4の端面部分は、前記主磁極の前記端面に対してトラック幅方向の両側に配置されていることを特徴とする請求項1記載の垂直磁気記録用磁気ヘッド。   The end surface of the recording shield further includes second, third, and fourth end surface portions, and the second end surface portion is located behind the end surface of the main pole in the traveling direction of the recording medium. 2. The magnetic head for perpendicular magnetic recording according to claim 1, wherein the third and fourth end face portions are arranged on both sides in the track width direction with respect to the end face of the main magnetic pole. 更に、前記記録媒体に記録する情報に応じた磁界を発生する第3のコイルを備え、
前記主磁極は、前記第1、第2および第3のコイルによって発生された磁界に対応する磁束を通過させ、
前記第3のコイルは、前記第2の連結部の周りに巻回され、
前記第2および第3のコイルは、互いに前記記録媒体の進行方向における異なる位置に配置されていることを特徴とする請求項1記載の垂直磁気記録用磁気ヘッド。
And a third coil for generating a magnetic field according to information recorded on the recording medium,
The main pole passes a magnetic flux corresponding to the magnetic field generated by the first, second and third coils;
The third coil is wound around the second connecting portion;
2. The magnetic head for perpendicular magnetic recording according to claim 1, wherein the second and third coils are arranged at different positions in the traveling direction of the recording medium.
前記第2のコイルは、前記主磁極に対して前記記録媒体の進行方向の後側に配置されていることを特徴とする請求項9記載の垂直磁気記録用磁気ヘッド。   10. The magnetic head for perpendicular magnetic recording according to claim 9, wherein the second coil is disposed on the rear side in the traveling direction of the recording medium with respect to the main magnetic pole. 前記第3のコイルは、前記主磁極に対して前記記録媒体の進行方向の前側に配置されていることを特徴とする請求項10記載の垂直磁気記録用磁気ヘッド。   11. The magnetic head for perpendicular magnetic recording according to claim 10, wherein the third coil is disposed on the front side in the traveling direction of the recording medium with respect to the main magnetic pole. 前記媒体対向面に配置された前記主磁極の端面と交差し、前記記録媒体の進行方向に垂直な仮想の平面を想定したとき、前記第3のコイルの少なくとも一部は、前記仮想の平面と交差する位置に配置されていることを特徴とする請求項10記載の垂直磁気記録用磁気ヘッド。   Assuming a virtual plane that intersects with the end face of the main magnetic pole disposed on the medium facing surface and is perpendicular to the traveling direction of the recording medium, at least a part of the third coil includes the virtual plane. 11. The magnetic head for perpendicular magnetic recording according to claim 10, wherein the magnetic head is arranged at an intersecting position. 前記第2のコイルの巻き数および前記第3のコイルの巻き数は、前記第1のコイルの巻き数以上であることを特徴とする請求項9記載の垂直磁気記録用磁気ヘッド。   10. The magnetic head for perpendicular magnetic recording according to claim 9, wherein the number of turns of the second coil and the number of turns of the third coil are equal to or greater than the number of turns of the first coil. 前記第2のコイルの巻き数は、前記第1のコイルの巻き数よりも多く、前記第3のコイルの巻き数は、前記第1のコイルの巻き数以上であることを特徴とする請求項9記載の垂直磁気記録用磁気ヘッド。   The number of turns of the second coil is greater than the number of turns of the first coil, and the number of turns of the third coil is equal to or greater than the number of turns of the first coil. 9. A magnetic head for perpendicular magnetic recording according to 9.
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