JP5717876B2 - 流量制御装置 - Google Patents

Description

この発明は、複数の電磁弁を接続した流量制御装置に関する。

自動車の蒸散ガス処理システムは、燃料タンク内で揮発した蒸散ガスをキャニスタに一時的に吸着し、インテークマニホールドの負圧を利用してエンジン内へ導入して再燃焼させることにより、外部への排出を防止している。エンジンに導入される蒸散ガスの流量を電磁弁で制御する。

近年、自動車のＨＥＶ（Ｈｙｂｒｉｄ Ｅｌｅｃｔｒｉｃ Ｖｅｈｉｃｌｅ）化により、エンジン作動頻度が低下する分、蒸散ガス処理の機会が減少しているが、環境規制の強化に伴い蒸散ガス処理システムの能力向上を要求されており、低負圧域での大流量化が課題となっている。そこで、従来は電磁弁の並列接続、および外付けチャンバ等のモジュール化により、配管の削減および作業性の向上等を図ってコストを低減しつつ、流量を増加させていた（例えば、特許文献１参照）。

国際公開第ＷＯ２００８／０９０６５７号パンフレット

複数の電磁弁を接続する場合、接続方法によっては流路の構造が複雑になり、圧力損失が生じて流量低下が著しくなるため、機能（流量等）の維持が困難になるという課題があった。

この発明は、上記のような課題を解決するためになされたもので、機能低下無く、コストを低減する流量制御装置を提供することを目的とする。

この発明の流量制御装置は、チャンバと、当該チャンバへ流体を導入または当該チャンバから流体を導出する第１ポートと、チャンバと前記第１ポートを連通し、弁により開閉する開閉通路と、弁を開閉駆動するソレノイド部とをそれぞれ有し、互いに接続され一体化される複数の電磁弁と、複数の電磁弁のそれぞれのチャンバ同士を連通させ、複数の電磁弁を一体化する接続部と、複数の電磁弁のうちのいずれか１個の電磁弁のチャンバのみに形成され、流体を導入または導出する第２ポートとを備える
ように構成したものである。

この発明によれば、複数の電磁弁を接続して大流量化する場合に、開閉通路に連通する第１ポートを電磁弁と同数本設けることにより、開閉通路を通過する際の圧力損失を抑制でき、流量低下を抑制できる。また、チャンバに連通する第２ポートを電磁弁の個数によらず１本だけ設けることにより、配管を削減して作業性を向上できる。よって、機能低下無くコストを低減できる流量制御装置を提供することができる。

この発明の実施の形態１に係る流量制御装置を適用する蒸散ガス処理システムの全体構成図である。 実施の形態１に係る流量制御装置の構成を示す正面図である。 実施の形態１に係る流量制御装置の構成を示す断面図である。 電磁弁の接続方法別の流量特性を示すグラフである。 従来の、２個の電磁弁をモジュール化した流量制御装置の構成を示す断面図である。 ２個の電磁弁を配管で接続した流量制御装置の構成を示す断面図である。 実施の形態１に係る流量制御装置のチャンバ側の断面拡大図である。 実施の形態１に係る流量制御装置にフィルタを設置した構成を示す断面図である。 図６に示す流量制御装置にフィルタを設置した構成を示す断面図である。 実施の形態１に係る流量制御装置の断面図であり、電磁弁単一動作状態を示す。 実施の形態１に係る流量制御装置の変形例であり、３個の電磁弁を接続した構成を示す正面図である。 実施の形態１に係る流量制御装置の変形例であり、チャンバ同士を直接接続した構成を示す正面図である。 図１２に示す流量制御装置の断面図であり、図１３（ａ）は溶着接続、図１３（ｂ）は直付け接続の構成例を示す。 図１３に示すフィルタを説明する図であり、図１４（ａ）はフィルタの断面拡大図、図１４（ｂ）は外観斜視図である。

以下、この発明をより詳細に説明するために、この発明を実施するための形態について、添付の図面に従って説明する。
実施の形態１．
図１に示す蒸散ガス処理システムにおいて、燃料タンク１内で発生した蒸散ガスは、キャニスタ２と呼ばれる活性炭を使用した装置に一時的に吸着される。エンジン６の始動後、インテークマニホールド５の負圧により、吸着した空気と蒸散ガソリンとの混合気体が、キャニスタ２からエンジン６へ流れ込むと燃焼が起きる。このとき、キャニスタ２からエンジン６に導入される混合気体の流量を、流量制御装置３が制御部７の駆動信号に従って制御する。

図２は流量制御装置３の構成を示す正面図、図３は断面図である。この流量制御装置３は２個の電磁弁を組み合わせた構成例であり、ソレノイド部１０ａとチャンバ２０ａとで１個の電磁弁、ソレノイド部１０ｂとチャンバ２０ｂとで１個の電磁弁になっている。入力ポート（第２ポート）８は電磁弁の個数に関係なく１本とし、出力ポート（第１ポート）９ａ，９ｂは電磁弁と同数の２本とする。

弁となるプランジャ１５に対する駆動力を発生させて蒸散ガスの流量を制御するソレノイド部１０ａ，１０ｂは、給電端子と接続した導線を巻回したコイル１１と、コイル１１への通電により励磁されるコア１２と、コア１２と共に磁気回路を構成するヨーク１３およびプレート１４と、コア１２に引き寄せられるプランジャ１５と、プランジャ１５をコア１２の吸引方向とは反対の方向へ付勢するスプリング１６と、プランジャ１５のストッパとなるピン１７とをそれぞれ備える。また、ソレノイド部１０ａ，１０ｂ内の各隙間はＯリング１８，１９で塞がれている。

蒸散ガスの流路となるチャンバ２０ａ，２０ｂは、プランジャ１５の可動により蒸散ガスの流通を遮断する開閉通路２１ａ，２１ｂと、チャンバ２０ａ，２０ｂの底面側の各開口を塞ぐ各キャップ２２とを備える。開閉通路２１ａ，２１ｂは、より詳しくは円筒を二重にした様な形状になっており、内側の円筒の上端部がプランジャ１５と当接したり離間したりすることで開閉される。蒸散ガスは、図３に矢印Ａで示すように内側円筒内の下側から上側へ向かって流れ、開弁時、プランジャ１５との隙間を通って折り返して外側の円筒内へ流れる。この外側円筒の周面の一部が開口して、出力ポート９ａ，９ｂに連通している。

また、一方のチャンバ２０ａに接続ポート２３が形成され、もう一方のチャンバ２０ｂの開口にこの接続ポート２３が嵌合してチャンバ２０ａ，２０ｂ間を連通している。この接続ポート２３の外周面とチャンバ２０ｂの開口縁との隙間はＯリング２４で塞がれている。ブラケット３０は、この流量制御装置３を車両に搭載するためのネジ止め用の保持具である。
チャンバ２０ａ，２０ｂを樹脂等の同材質（即ち、同一の線膨張係数）で形成することにより、温度変化に応じた変形があっても接続ポート２３とチャンバ２０ｂの接続部のシール性を良好に保つことができる。

次に、流量制御装置３の動作を説明する。
ソレノイド部１０ａ，１０ｂにおいて、コイル１１に電流が流れると、コア１２、ヨーク１３およびプレート１４に磁界が発生し、スプリング１６の閉弁力（付勢力）より大きな開弁力（電磁力）が働くことで、プランジャ１５がコア１２に引き寄せられ、開閉通路２１ａ，２１ｂが開いて通路が確保される。このとき、インテークマニホールド５の負圧により入力ポート８からチャンバ２０ａへ蒸散ガスが導入され、蒸散ガスの一部は開閉通路２１ａを矢印Ａの方向へ流れて出力ポート９ａへ導出される。また、チャンバ２０ａに導入された蒸散ガスの一部は接続ポート２３からチャンバ２０ｂへ導入され、開閉通路２１ｂを矢印Ａの方向へ流れて出力ポート９ｂへ導出される。出力ポート９ａ，９ｂから導出された蒸散ガスは、流量制御装置３下流側の分岐配管４で合流してエンジン６へ流れる。

図３に矢印Ａとして示すように、開閉通路２１ａ，２１ｂを流れる蒸散ガスは、プランジャ１５先端に当たって反転し、出力ポート９ａ，９ｂへ流れ出るので、反転する部位で圧力損失が生じ易く、流量低下が起こり易い。そこで、反転する部位に出力ポート９ａ，９ｂの一端部を設けることで、開閉通路２１ａ，２１ｂから流れ出た蒸散ガスを直接出力ポート９ａ，９ｂに導くことができ、圧力損失を抑制して流量低下を抑制する。以下に、この詳細を説明する。

図４は、電磁弁の接続方法別の流量特性を示すグラフである。グラフの縦軸は流量、横軸は入力ポート側と出力ポート側の差圧である。本実施の形態１に係る流量制御装置３を設置した場合の流量特性を、グラフに丸印（○）の曲線で示す。
また、流量特性の比較例として、２個の電磁弁をモジュール化した流量制御装置１００（構成は図５で後述する）を、キャニスタ２とエンジン６を連通する配管に設置した場合の流量特性をグラフに四角印（□）の曲線で示す。また、２個の電磁弁を配管で接続した流量制御装置２００を設置した場合（構成は図６で後述する）の流量特性を、グラフに三角印（△）の曲線で示す。また、１個の電磁弁を設置した場合の流量特性をグラフに無印の曲線で示す。

図５は、２個の電磁弁をモジュール化した流量制御装置１００の構成を示す断面図である。この流量制御装置１００は、チャンバ２０ａ，２０ｂを接続ポート２３で接続した構成は本実施の形態１の流量制御装置３と共通であるが、流量制御装置３は１本の入力ポート８と２本の出力ポート９ａ，９ｂを設けた構成であるのに対し、流量制御装置１００は１本の入力ポート８と１本の出力ポート９を設けた構成である点で異なる。さらに、流量制御装置１００は、開閉通路２１ａと出力ポート９を連通する接続ポート１０１とＯリング１０２とを有する。なお、この構成は先立って説明した特許文献１に係る流量制御装置と類似する。
流量制御装置１００において、蒸散ガスは、入力ポート８からチャンバ２０ａへ導入され、その一部が開閉通路２１ａを矢印Ｂの方向へ流れて接続ポート１０１へ入り、開閉通路２１ｂを迂回するように外周側の細い通路を通って出力ポート９へ導出される。また、チャンバ２０ａに導入された蒸散ガスの一部は接続ポート２３からチャンバ２０ｂへ導入され、開閉通路２１ｂを矢印Ａの方向へ流れて出力ポート９へ導出され、接続ポート１０１からの蒸散ガスと合流する。出力ポート９から導出された蒸散ガスはエンジン６へ流れる。

流量制御装置３と流量制御装置１００は、入力ポート８が共に１本、かつ、開閉通路２１ａ，２１ｂが共に２箇所ある構成のため、導入可能な流量は同じになるはずである。しかし、流量制御装置１００では開閉通路２１ａから矢印Ｂの方向へ流れる流路において一度反転した後に開閉通路２１ｂを迂回する必要があるので、流量制御装置３の矢印Ａのように開閉通路２１ａで一度反転した後に直接出力ポート９ａへ流れる流路に比べて距離が長く、かつ、流路形状が複雑になり、圧力損失が大きくなる。よって、流量低下が著しい。
流量制御装置３では出力ポート９ａ，９ｂを２本設けたことにより、開閉通路２１ａ，２１ｂの圧力損失を流量制御装置１００に比べて低減できるようになる。従って、図４に破線の矢印で示すように、流量制御装置３の流量（○の曲線）は流量制御装置１００の流量（□の曲線）に比べて大幅に増加する。

図６は、２個の電磁弁を配管で接続した流量制御装置２００の構成を示す断面図である。２個の電磁弁は分離独立しており、入力ポート８ａ，８ｂ同士を配管で接続すると共に、出力ポート９ａ，９ｂ同士を配管で接続している。蒸散ガスは上流側の分岐配管４ａで分かれ、入力ポート８ａからチャンバ２０ａへ導入され、開閉通路２１ａを流れて出力ポート９ａへ導出される。同様に、もう一方の電磁弁においても、入力ポート８ｂからチャンバ２０ｂへ導入され、開閉通路２１ｂを流れて出力ポート９ｂへ導出される。出力ポート９ａ，９ｂから導出された蒸散ガスは、下流側の分岐配管４ｂで合流してエンジン６へ流れる。

流量制御装置３も流量制御装置２００も、開閉通路２１ａ，２１ｂの流路が反転する部位に出力ポート９ａ，９ｂが設けられているため、圧力損失に差異はないが、流量制御装置３は入力ポート８が１本であるのに対し、流量制御装置２００は入力ポート８ａ，８ｂが２本あるため、導入可能な流量が異なる。但し、電磁弁の母体流量は開閉通路２１ａ，２１ｂに大きく依存することから、流量制御装置３の入力ポート８の流量、あるいは流量制御装置２００の入力ポート８ａ，８ｂの合計の流量が、開閉通路２１ａ，２１ｂの合計の流量を上回っていれば、流量制御装置３と流量制御装置２００は同等となる。
その結果、流量制御装置２００の流量（△の曲線）と流量制御装置３の流量（○の曲線）は略同等になる。

電磁弁を単体で使用する場合、図６に示す２個の電磁弁のいずれか一方を、キャニスタ２とエンジン６を接続する配管に設置する（設置例の全体図は省略する）。この場合、配管上に分岐配管４ａ，４ｂは不要である。
電磁弁単体も流量制御装置３も入力ポートは１本であり、導入可能な流量は同じであるが、流量制御装置３は開閉通路が２箇所あるのに対して電磁弁単体では開閉通路が１箇所なので、流量が略半分になる。そのため、電磁弁単体の流量（無印の曲線）は、流量制御装置３の流量（○の曲線）に比べ大幅に減少する。

グラフから明らかなように、入力ポート１本および出力ポート２本にした流量制御装置３は、入力ポートおよび出力ポート各１本にした流量制御装置１００に対し、流量を大幅に増加可能である。また、流量制御装置３は、圧力損失が生じ易い開閉通路２１ａ，２１ｂに出力ポート９ａ，９ｂをそれぞれ設けることで、圧力損失が低減され、電磁弁単体使用時の流量に対し、略２倍近くの流量を確保することが可能であり優位である。また、流量制御装置３は、電磁弁２個を配管で接続した流量制御装置２００に対して、流量特性を略同等レベルに維持しつつ、分岐配管の削減とそれに伴う作業性の向上によるコスト低減が可能である。

図７は、本実施の形態１に係る流量制御装置３のチャンバ側の断面拡大図である。十分な量の蒸散ガスが流量制御装置３へ導入されるよう、入力ポート８の内径φｄに対し、接続ポート２３の内径φＤを拡大する。これにより、入力ポート８から導入可能な蒸散ガス量を接続ポート２３で制限することがなく、接続ポート２３の内径に起因した流量低下を防止できる。

図８は、本実施の形態１に係る流量制御装置３にフィルタ４０を設置した構成を示す断面図である。一方、図９は、図６に示す２個の電磁弁を配管で接続した流量制御装置２００にフィルタ４０ａ，４０ｂを設置した構成を示す断面図である。
流量制御装置３において蒸散ガスは、先ず入力ポート８からチャンバ２０ａに導入され、そこから分岐して一方は開閉通路２１ａへ、もう一方は接続ポート２３を通って開閉通路２１ｂへ流れる。よって、入力ポート８から接続ポート２３までの流路の途中にフィルタ４０を設置すれば足りる。
これに対し、流量制御装置２００においては、チャンバ２０ａ，２０ｂにフィルタ４０ａ，４０ｂをそれぞれ設置する必要があり、フィルタを１個に集約できない。

図１０は、本実施の形態１に係る流量制御装置３の断面図であり、電磁弁単一動作状態を示す。例えば、低流量域で高分解能が必要な領域ではソレノイド部１０ｂのみを開閉駆動させ、ソレノイド部１０ａは常時閉弁（または常時開弁）させた状態にすると、チャンバ２０ａ，２０ｂを共用化することが可能である。これにより、ソレノイド部１０ｂ側の電磁弁単体の流量に対するチャンバ容積（図１０に点描で示す領域）が略２倍になり、脈動音低減効果が向上する。逆に、ソレノイド部１０ａ側の電磁弁を単体で開閉駆動させた場合も同様である。
これに対し、２個の電磁弁を配管で接続した流量制御装置２００においては、いずれか一方の電磁弁を単体で開閉駆動させても、チャンバ２０ａ，２０ｂを共用化して容積を増やすことはできないので、チャンバ２０ａ，２０ｂの脈動音低減効果に変化はない。

以上より、実施の形態１によれば、流量制御装置３は、チャンバ２０ａ，２０ｂと、当該チャンバ２０ａ，２０ｂから流体を導出する出力ポート９ａ，９ｂと、チャンバ２０ａ，２０ｂと出力ポート９ａ，９ｂとを連通し、各プランジャ１５により開閉する開閉通路２１ａ，２１ｂと、各プランジャ１５を開閉駆動するソレノイド部１０ａ，１０ｂとをそれぞれ有し、互いに接続され一体化される電磁弁を２個備え、２個の電磁弁のチャンバ２０ａ，２０ｂ同士を連通させて２個の電磁弁を一体化する接続ポート２３と、一方の電磁弁のチャンバ２０ａのみに形成されて流体を導入する入力ポート８とを備えるように構成した。このため、２個の電磁弁を接続して大流量化する場合に、開閉通路２１ａ，２１ｂに連通する出力ポート９ａ，９ｂを電磁弁と同数の２本設けることにより、開閉通路２１ａ，２１ｂを通過する際の圧力損失を抑制でき、流量低下を抑制できる。また、チャンバ２０ａ，２０ｂに連通する入力ポート８を電磁弁の個数によらず１本だけ設けることにより、入力側の配管を削減して作業性を向上できる。よって、機能（流量等）低下無くコストを削減できる流量制御装置３を提供することができる。

また、実施の形態１によれば、流量制御装置３は、入力ポート８の形成されたチャンバ２０ａ内の、当該入力ポート８から接続ポート２３までの流路の途中に設置されたフィルタ４０を備えるように構成した。このため、複数の電磁弁を接続してもフィルタ４０を１個に集約できる。

また、実施の形態１によれば、接続ポート２３の内径φＤは、流体導入側となる入力ポート８の内径φｄ以上に構成した。このため、接続ポート２３を形成したことによる流量低下を防ぐことができ、流量制御装置３の機能低下を招かない。

また、実施の形態１によれば、接続ポート２３と接続ポート２３を嵌合する開口とを成すチャンバ２０ａ，２０ｂを同じ材質で構成した。このため、線膨張係数が同一になり、温度変化があっても接続部分のシール性を良好に維持できる。

なお、上記実施の形態１では、図１〜図１０において２個の電磁弁を接続する方法を例示したが、これに限定されるものではなく、３個以上の電磁弁も同様に接続可能である。以下に一例を示す。
図１１は、３個の電磁弁を接続した流量制御装置３ａの構成を示す正面図である。この流量制御装置３ａはソレノイド部１０ａとチャンバ２０ａとを備える電磁弁と、ソレノイド部１０ｂとチャンバ２０ｂとを備える電磁弁と、ソレノイド部１０ｃとチャンバ２０ｃとを備える電磁弁の合計３個の電磁弁から成る。ソレノイド部１０ａ〜１０ｃの構造は同一のため、説明は省略する。
チャンバ２０ａ〜２０ｃには開閉通路２１ａ〜２１ｃ（図面上は隠れて見えない）がそれぞれ形成されており、その付近に出力ポート９ａ〜９ｃがそれぞれ設けられている。出力ポート９ａ〜９ｃが電磁弁の個数と同数の３本であるのに対し、入力ポート８は１本のみとする。入力ポート８の形成されたチャンバ２０ａと入力ポート８の無いチャンバ２０ｂとは接続ポート２３で連通され、同様に、入力ポート８の形成されたチャンバ２０ａと入力ポート８の無いチャンバ２０ｃとが接続ポート２３ａで連通されている。
なお、入力ポート８は、チャンバ２０ａでなく、チャンバ２０ｂまたはチャンバ２０ｃに形成してもよく、入力ポート８を形成したチャンバとその他のチャンバとを接続ポートで連通すればよい。
また、この流量制御装置３ａにおいては、チャンバ２０ａの入力ポート８から接続ポート２３，２３ａまでの流路の途中にフィルタ４０（不図示）を設置すればよい。

また、図１〜図１０ではチャンバ２０ａ，２０ｂ間を接続ポート２３で連通した構成の流量制御装置３を例示したが、これに限定されるものではなく、例えばチャンバ同士を直接接続してもよい。以下に一例を示す。
図１２は、チャンバ２０ａ，２０ｂの開口同士を直接接続した流量制御装置３ｂの構成を示す正面図であり、溶着接続の場合の断面図を図１３（ａ）に、直付け接続の場合の断面図を図１３（ｂ）に示す。この流量制御装置３ｂはソレノイド部１０ａ，１０ｂとチャンバ２０ａ，２０ｂとから構成され、１本の入力ポート８と２本の出力ポート９ａ，９ｂが形成されている。また、チャンバ２０ａ，２０ｂの開口同士を接続して接続部５０を形成し、チャンバ２０ａ，２０ｂ間を連通している。接続部５０の接続方法は任意でよく、例えば図１３（ａ）のようにチャンバ２０ａの開口にチャンバ２０ｂの開口端部を嵌合して溶着したり、図１３（ｂ）のようにチャンバ２０ａの開口にチャンバ２０ｂの開口端部を嵌合して互いの隙間をＯリング５１で塞いだりする。

この流量制御装置３ｂにおいて、チャンバ２０ａ，２０ｂを樹脂等の同材質（即ち、同一の線膨張係数）で形成することにより、温度変化に応じた変形があっても接続部５０のシール性を良好に保つことができる。また、チャンバ２０ａ，２０ｂを同材質としたことにより、溶着接続およびＯリング５１を用いた直付け接続等の様々な接続方法を可能とし、接続部５０の内径φＤの確保（φＤ≧φｄ）による流量低下の抑制が可能となる。また、接続ポート２３による接続方法に比べ、チャンバ２０ａ，２０ｂ間の距離を短縮できるので、圧力損失の更なる低減が可能となる。
また、この流量制御装置３ｂにおいては、チャンバ２０ａ，２０ｂが一体化しているため、チャンバ内にフィルタを設置すると一方の開閉通路へはフィルタを経由して流れるが、もう一方の開閉通路へはフィルタを経由せず流れることになる。そこで、入力ポート８とチャンバの切替わり部分にフィルタ５２を設置する。図１４に拡大して示すように、このフィルタ５２はチャンバ２０ａ，２０ｂの内径に等しい円柱形状であって、枠体となる樹脂部５３と、メッシュ部５４とから構成されている。

なお、図１〜図１３では入力ポート８をキャニスタ２側に接続し、出力ポート９ａ，９ｂをエンジン６側に接続して、入力ポート８から出力ポート９ａ，９ｂへ蒸散ガスを流す構成にしたが、反対に、入力ポート８をエンジン６側に接続し、出力ポート９ａ，９ｂをキャニスタ２側に接続して、出力ポート９ａ，９ｂから入力ポート８へ蒸散ガスを流す構成にしてもよい。
入出力を逆にした場合、例えば図３において開閉通路２１ａ，２１ｂの開弁時、インテークマニホールド５の負圧により出力ポート９ａ，９ｂから蒸散ガスがそれぞれ導入され、開閉通路２１ａ，２１ｂを矢印Ａとは逆方向へ流れてチャンバ２０ａ，２０ｂへ入り、チャンバ２０ｂに入った蒸散ガスは接続ポート２３を流れてチャンバ２０ａに入って合流し、チャンバ２０ａから入力ポート８へ導出されてエンジン６へ流れる。
この場合には、入力側になる出力ポート９ａ，９ｂの内径を、接続ポート２３の内径以上にして、流量を確保すればよい。

上記以外にも、本願発明はその発明の範囲内において、実施の形態の任意の構成要素の変形、もしくは実施の形態の任意の構成要素の省略が可能である。

１ 燃料タンク、２ キャニスタ、３，３ａ，３ｂ，１００，２００ 流量制御装置、４，４ａ，４ｂ 分岐配管、５ インテークマニホールド、６ エンジン、７ 制御部、８，８ａ，８ｂ 入力ポート、９，９ａ〜９ｃ 出力ポート、１０ａ〜１０ｃ ソレノイド部、１１ コイル、１２ コア、１３ ヨーク、１４ プレート、１５ プランジャ、１６ スプリング、１７ ピン、１８，１９，２４，５１，１０２ Ｏリング、２０ａ〜２０ｃ チャンバ、２１ａ〜２１ｃ 開閉通路、２２ キャップ、２３，１０１ 接続ポート、３０ ブラケット、４０，４０ａ，４０ｂ，５２ フィルタ、５０ 接続部、５３ 樹脂部、５４ メッシュ部。

Claims (6)

1. チャンバと、当該チャンバへ流体を導入または当該チャンバから流体を導出する第１ポートと、前記チャンバと前記第１ポートを連通し、弁により開閉する開閉通路と、前記弁を開閉駆動するソレノイド部とをそれぞれ有し、互いに接続され一体化される複数の電磁弁と、
   前記複数の電磁弁のそれぞれの前記チャンバ同士を連通させ、前記複数の電磁弁を一体化する接続部と、
   前記複数の電磁弁のうちのいずれか１個の電磁弁の前記チャンバのみに形成され、流体を導入または導出する第２ポートとを備えることを特徴とする流体制御装置。
2. 前記第２ポートの形成された前記チャンバ内の、当該第２ポートから前記接続部までの流路の途中にフィルタを備えることを特徴とする請求項１記載の流体制御装置。
3. 前記接続部の内径は、前記第１ポートおよび前記第２ポートのうちの流体導入側となるポートの内径以上であることを特徴とする請求項１記載の流体制御装置。
4. 前記接続部は、前記チャンバ間で同じ材質であることを特徴とする請求項１記載の流体制御装置。
5. 前記接続部は、前記第２ポートの形成された前記電磁弁およびそれ以外の前記電磁弁のいずれか一方の前記チャンバに設けられた開口と、いずれか他方の前記チャンバに設けられ当該開口に嵌合する接続ポートとから成ることを特徴とする請求項１記載の流体制御装置。
6. ２個の前記電磁弁を備える流体制御装置であって、
   前記接続部は、一方の前記電磁弁の前記チャンバ端部に設けられた開口と、他方の前記電磁弁の前記チャンバ端部に設けられた開口とを嵌合して成る
   ことを特徴とする請求項１記載の流体制御装置。

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