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JP5727345B2 - Method for manufacturing ceramic green tape and ceramic sheet - Google Patents
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Description

本発明は、セラミックグリーンテープを製造する方法、およびセラミックグリーンテープを用いてセラミックシートを製造する方法に関する。   The present invention relates to a method for producing a ceramic green tape, and a method for producing a ceramic sheet using the ceramic green tape.

セラミックシートを製造する方法としては、セラミックグリーンシートと多孔質のスペーサシートとを交互に積み重ねて積層体を形成し、この積層体を焼成炉内に入れることによって多数のセラミックグリーンシートを一度に焼成する方法が知られている(例えば、特許文献1参照)。   As a method of manufacturing ceramic sheets, ceramic green sheets and porous spacer sheets are alternately stacked to form a laminate, and a large number of ceramic green sheets are fired at once by placing the laminate in a firing furnace. There is a known method (see, for example, Patent Document 1).

上記のセラミックグリーンシートは、例えば特許文献2に開示されているように、長尺状のセラミックグリーンテープから打ち抜かれる。このセラミックグリーンテープの製造には、例えば特許文献3に開示された製造装置を用いることができる。   The ceramic green sheet is punched out of a long ceramic green tape as disclosed in Patent Document 2, for example. For manufacturing the ceramic green tape, for example, a manufacturing apparatus disclosed in Patent Document 3 can be used.

特許文献3に開示された製造装置は、樹脂フィルムを走行させながらセラミックグリーンテープを製造する。具体的には、まず、ロールから繰り出された樹脂フィルム上にセラミック粒子を含むスラリーを塗工し、ついで、塗工されたスラリーを乾燥させて幅広のセラミックグリーンテープを生成する。その後、セラミックグリーンテープから樹脂フィルムを剥離して巻き取る。一方、樹脂フィルムが剥離されたセラミックグリーンテープは、スリッターにより長手方向に沿ってスリットされる。スリットされた幅狭のセラミックグリーンテープは、個々に巻き取られる。   The manufacturing apparatus disclosed in Patent Document 3 manufactures a ceramic green tape while running a resin film. Specifically, first, a slurry containing ceramic particles is applied onto a resin film fed from a roll, and then the applied slurry is dried to produce a wide ceramic green tape. Thereafter, the resin film is peeled off from the ceramic green tape and wound up. On the other hand, the ceramic green tape from which the resin film has been peeled is slit along the longitudinal direction by a slitter. The narrow ceramic green tape that has been slit is wound up individually.

また、特許文献4には、セラミックグリーンテープを樹脂フィルムごとスリッターでスリットすることが開示されている。   Patent Document 4 discloses that a ceramic green tape is slit with a slitter together with a resin film.

特開2009−215102号公報JP 2009-215102 A 特開2011−82149号公報JP 2011-82149 A 特開平9−66512号公報Japanese Patent Laid-Open No. 9-66512 特開平9−216193号公報JP-A-9-216193

ところで、例えばジルコニア系などの粘着性の高いセラミックグリーンテープでは、セラミックグリーンテープを単体で巻き取ってロールを形成すると、周回部分同士が接合してしまう。そのため、セラミックグリーンシートを打ち抜く際にロールからセラミックグリーンテープを繰り出すことが困難になる。この問題を解決するには、特許文献4に開示されているようにセラミックグリーンテープをスリッターで樹脂フィルムごとスリットし、樹脂フィルム付のセラミックグリーンテープを巻き取ることが考えられる。   By the way, in the case of a ceramic green tape with high adhesiveness such as zirconia, when the ceramic green tape is wound up alone to form a roll, the surrounding portions are joined to each other. Therefore, it becomes difficult to feed out the ceramic green tape from the roll when punching out the ceramic green sheet. In order to solve this problem, as disclosed in Patent Document 4, it is conceivable to slit the ceramic green tape together with the resin film with a slitter and wind up the ceramic green tape with the resin film.

しかしながら、そのような方法では、樹脂フィルムが幅広から幅狭にスリットされてしまうために、樹脂フィルムを再利用することができない。   However, in such a method, since the resin film is slit from wide to narrow, the resin film cannot be reused.

本発明は、このような事情に鑑み、セラミックグリーンテープを巻き取る際の周回部分同士の接合防止と樹脂フィルムの再利用を図ることができるセラミックグリーンテープの製造方法を提供することを目的とする。また、本発明は、その製造方法により得られたセラミックグリーンテープを用いたセラミックシートの製造方法を提供することを目的とする。   In view of such circumstances, an object of the present invention is to provide a method for producing a ceramic green tape capable of preventing the joining of surrounding portions when winding the ceramic green tape and reusing the resin film. . Moreover, this invention aims at providing the manufacturing method of the ceramic sheet using the ceramic green tape obtained by the manufacturing method.

前記課題を解決するために、本発明のセラミックグリーンテープの製造方法は、第1の樹脂フィルムを繰り出しながら前記第1の樹脂フィルム上にセラミック粒子を含むスラリーを塗工する工程と、塗工された前記スラリーを乾燥させてセラミックグリーンテープを生成する工程と、前記セラミックグリーンテープから前記第1の樹脂フィルムを剥離して巻き取る工程と、前記第1の樹脂フィルムが剥離された前記セラミックグリーンテープをスリッターでスリットする工程と、第2の樹脂フィルムを繰り出しながらスリットされた前記セラミックグリーンテープに前記第2の樹脂フィルムを貼り合わせる工程と、前記第2の樹脂フィルム付の前記セラミックグリーンテープを巻き取る工程と、を含む、ことを特徴とする。   In order to solve the above-mentioned problems, the method for producing a ceramic green tape of the present invention includes a step of applying a slurry containing ceramic particles on the first resin film while feeding out the first resin film. A step of drying the slurry to produce a ceramic green tape; a step of peeling and winding the first resin film from the ceramic green tape; and the ceramic green tape from which the first resin film has been peeled off. Slitting with a slitter, attaching the second resin film to the slitted ceramic green tape while feeding out the second resin film, and winding the ceramic green tape with the second resin film And a step of taking.

また、本発明のセラミックシートの製造方法は、上記のセラミックグリーンテープの製造方法により得られた前記第2の樹脂フィルム付の前記セラミックグリーンテープが巻き回されたロールから前記第2の樹脂フィルム付の前記セラミックグリーンテープを繰り出しながら当該セラミックグリーンテープから前記第2の樹脂フィルムを剥離する工程と、前記第2の樹脂フィルムが剥離された前記セラミックグリーンテープから所定形状のセラミックグリーンシートを打ち抜く工程と、前記セラミックグリーンシートとスペーサシートとを交互に積み重ねて積層体を形成する工程と、前記積層体を焼成炉に入れて当該積層体中の前記セラミックグリーンシートを焼成する工程と、を含む、ことを特徴とする。   Moreover, the manufacturing method of the ceramic sheet of this invention is attached to said 2nd resin film from the roll by which said ceramic green tape with said 2nd resin film obtained by the manufacturing method of said ceramic green tape was wound. Removing the second resin film from the ceramic green tape while feeding the ceramic green tape, and punching out a ceramic green sheet having a predetermined shape from the ceramic green tape from which the second resin film has been peeled. The step of alternately stacking the ceramic green sheets and the spacer sheets to form a laminate, and the step of placing the laminate in a firing furnace and firing the ceramic green sheets in the laminate. It is characterized by.

本発明のセラミックグリーンテープの製造方法によれば、セラミックグリーンテープを巻き取る際の周回部分同士の接合防止と樹脂フィルムの再利用を図ることができる。   According to the method for producing a ceramic green tape of the present invention, it is possible to prevent the joining of the surrounding portions when winding the ceramic green tape and to reuse the resin film.

また、本発明のセラミックシートの製造方法によれば、ロールからのセラミックグリーンテープの繰り出しを良好に行うことができ、セラミックシートの品質向上や保管期間の短縮を実現させることができる。   Further, according to the method for producing a ceramic sheet of the present invention, the ceramic green tape can be satisfactorily delivered from the roll, and the quality of the ceramic sheet can be improved and the storage period can be shortened.

(a)および(b)は、本発明の一実施形態に係るセラミックグリーンテープの製造方法を実行する製造装置の概略構成図(A) And (b) is a schematic block diagram of the manufacturing apparatus which performs the manufacturing method of the ceramic green tape which concerns on one Embodiment of this invention.

以下、本発明の実施形態について、図面を参照しながら説明する。なお、以下の説明は本発明の一例に関するものであり、本発明はこれらによって限定されるものではない。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. The following description relates to an example of the present invention, and the present invention is not limited to these.

図1は、本発明の一実施形態に係るセラミックグリーンテープの製造方法を実行する製造装置1の概略構成図である。本実施形態の製造方法は、塗工工程、乾燥工程、剥離工程、スリット工程、貼合工程および巻取工程を含む。さらに、スリット工程と貼合工程の間にバッファ工程および是正工程を必要に応じて設けてもよい。以下、各工程ごとに詳細に説明する。   FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a manufacturing apparatus 1 that executes a method for manufacturing a ceramic green tape according to an embodiment of the present invention. The manufacturing method of this embodiment includes a coating process, a drying process, a peeling process, a slit process, a bonding process, and a winding process. Furthermore, you may provide a buffer process and a correction process between a slit process and a bonding process as needed. Hereinafter, each step will be described in detail.

(1)塗工工程
塗工工程では、ロール21から帯状の第1の樹脂フィルム2を繰り出しながら、第1の樹脂フィルム2上にセラミック粒子を含むスラリー30を塗工する。塗工方法は特に限定されず、ドクターブレード法やカレンダーロール法を用いることができる。本実施形態では、ドクターブレード法が採用されている。具体的には、樹脂フィルム用ガイドローラ11上に配置された塗工ダム31にスラリーを投入し、ドクターブレード32により塗工されるスラリー30の膜厚を規定する。
(1) Coating process In the coating process, the slurry 30 containing ceramic particles is applied onto the first resin film 2 while feeding the belt-shaped first resin film 2 from the roll 21. The coating method is not particularly limited, and a doctor blade method or a calendar roll method can be used. In this embodiment, the doctor blade method is adopted. Specifically, the slurry is introduced into the coating dam 31 disposed on the resin film guide roller 11, and the film thickness of the slurry 30 to be coated by the doctor blade 32 is defined.

セラミック粒子の材料は、特に制限されるものではないが、例えば、酸化アルミニウム、酸化珪素、酸化チタン、酸化ジルコニウム、酸化セリウム、酸化クロム等の金属酸化物;コージェライト、βスポンジューメン、チタン酸アルミニウム、チタン酸バリウム、ムライト、スピネル等の複合酸化物;炭化珪素等の金属炭化物;窒化アルミニウム、窒化ホウ素等の金属窒化物;酸化ニッケル、酸化鉄等の遷移金属酸化物;ランタンマンガネート、ランタンコバルタイト、ランタンクロマイト等のペロブスカイト構造酸化物を挙げることができ、これらから1種を選択するか、2種以上を混合して用いることができる。   The material of the ceramic particles is not particularly limited. For example, metal oxides such as aluminum oxide, silicon oxide, titanium oxide, zirconium oxide, cerium oxide, and chromium oxide; cordierite, β-spongeumen, titanic acid Complex oxides such as aluminum, barium titanate, mullite, spinel; metal carbides such as silicon carbide; metal nitrides such as aluminum nitride and boron nitride; transition metal oxides such as nickel oxide and iron oxide; lanthanum manganate and lanthanum Examples thereof include perovskite structure oxides such as cobaltite and lanthanum chromite, and one of them can be selected or a mixture of two or more can be used.

特に、燃料電池の電解質膜として利用されるセラミックシートを製造する場合は、セラミック粒子の材料として、酸化イットリウム、酸化スカンジウム、酸化セリウム、酸化イッテリビウム等で安定化されたジルコニア;イットリア、サマリア、ガドリア等がドープされたセリア;ランタンガレート、およびランタンガレートのランタンまたはガリウムの一部が、ストロチウム、カルシウム、バリウム、マグネシウム、アルミニウム、インジウム、コバルト、鉄、ニッケル、銅などで置換されたランタンガレート型ペロブスカイト構造酸化物などを使用することができる。   In particular, when producing a ceramic sheet used as an electrolyte membrane of a fuel cell, zirconia stabilized with yttrium oxide, scandium oxide, cerium oxide, ytterbium oxide or the like as a material of ceramic particles; yttria, samaria, gadria, etc. Doped ceria; lanthanum gallate and lanthanum gallate perovskite structure in which lanthanum or gallium part of lanthanum gallate is substituted with strontium, calcium, barium, magnesium, aluminum, indium, cobalt, iron, nickel, copper, etc. An oxide or the like can be used.

また、燃料電池のセパレータとして利用されるセラミックシートを製造する場合は、導電性の材料が好適である。例えば、ランタンクロマイトや、ランタンクロマイトのランタンまたはクロムの一部が、ストロンチウム、カルシウム、ニッケル、コバルト、アルミニウム、マグネシウム、チタンなどで置換されたランタンクロマイトペロブスカイト構造酸化物を使用することができる。   Moreover, when manufacturing the ceramic sheet | seat utilized as a separator of a fuel cell, an electroconductive material is suitable. For example, lanthanum chromite or a lanthanum chromite perovskite structure oxide in which a part of lanthanum or chromium of lanthanum chromite is replaced with strontium, calcium, nickel, cobalt, aluminum, magnesium, titanium, or the like can be used.

また、電子部品用等のセラミック基板として利用されるセラミックシートを製造する場合は、酸化アルミニウム、酸化珪素、酸化チタン、酸化ジルコニウム、酸化セリウム等の金属酸化物;コージェライト、βスポンジューメン、チタン酸アルミニウム、チタン酸バリウム、ムライト、スピネル等の複合酸化物;炭化珪素等の金属炭化物;窒化アルミニウム、窒化ホウ素等の金属窒化物導電性の材料などを1種または1種以上使用することができる。   When manufacturing ceramic sheets that are used as ceramic substrates for electronic components, etc., metal oxides such as aluminum oxide, silicon oxide, titanium oxide, zirconium oxide, cerium oxide; cordierite, beta sponge, titanium Complex oxides such as aluminum oxide, barium titanate, mullite, spinel; metal carbides such as silicon carbide; metal nitride conductive materials such as aluminum nitride and boron nitride, etc. can be used alone or in combination. .

上述した材料の中でも、本実施形態の製造方法は、セラミック粒子が酸化イットリウム、酸化スカンジウム、酸化セリウム、酸化イッテリビウム等で安定化されたジルコニアである場合に特に有用である。あるいは、セラミック粒子は、安定化ジルコニア粉末と他のセラミック粉末との混合物であってもよい。この場合、セラミック粒子中の安定化ジルコニア粉末の含有率は、95質量%以上が好ましく、99質量%以上がより好ましい。   Among the materials described above, the manufacturing method of the present embodiment is particularly useful when the ceramic particles are zirconia stabilized with yttrium oxide, scandium oxide, cerium oxide, ytterbium oxide, or the like. Alternatively, the ceramic particles may be a mixture of stabilized zirconia powder and other ceramic powders. In this case, the content of the stabilized zirconia powder in the ceramic particles is preferably 95% by mass or more, and more preferably 99% by mass or more.

安定化ジルコニアとしては、MgO、CaO、SrO、BaOなどのアルカリ土類金属酸化物;Y23、La23、CeO2、Pr23、Nd23、Sm23、Eu23、Gd23、Tb23、Dy23、Ho23、Er23、Yb23などの希土類元素酸化物;Sc23、Bi23、In23等の酸化物を安定化剤として1種もしくは2種以上含有するジルコニアを例示することができる。さらにその他の添加剤として、SiO2、Ge23、B23、SnO2、Ta25、Nb25等が含まれていてもよい。中でも、より高レベルの酸素イオン伝導性と、強度や靭性を確保する上で好ましいのは安定化剤としてスカンジアまたはイットリアを含有する安定化ジルコニアであり、特に酸素イオン伝導性が一段と優れていることから、スカンジアを含む安定化ジルコニアが好ましい。 Stabilized zirconia includes alkaline earth metal oxides such as MgO, CaO, SrO, BaO; Y 2 O 3 , La 2 O 3 , CeO 2 , Pr 2 O 3 , Nd 2 O 3 , Sm 2 O 3 , eu 2 O 3, Gd 2 O 3, Tb 2 O 3, Dy 2 O 3, Ho 2 O 3, Er 2 O 3, Yb 2 O 3 rare earth element oxides such as; Sc 2 O 3, Bi 2 O 3 Examples thereof include zirconia containing one or more oxides such as In 2 O 3 as a stabilizer. Further, as other additives, SiO 2 , Ge 2 O 3 , B 2 O 3 , SnO 2 , Ta 2 O 5 , Nb 2 O 5 and the like may be contained. Among them, stabilized zirconia containing scandia or yttria as a stabilizer is preferable in order to ensure a higher level of oxygen ion conductivity and strength and toughness, and in particular, oxygen ion conductivity is more excellent. Therefore, stabilized zirconia containing scandia is preferred.

セラミック粒子の平均粒子径は、0.2μm以上0.8μm以下であることが好ましい。ここで、「平均粒子径」とは、粒度分布から求められるメジアン径、すなわち50体積%(D50)をいう。平均粒子径が0.2μm未満だと、スラリーの粘度が上昇しセラミックグリーンテープの表面に斑や気泡が出来易くなり、0.8μmを超えると、セラミックグリーンテープに粗大粒子が斑点となって現れたり、スジ模様が出易くなるからである。平均粒子径は、より好ましくは0.30μm以上0.70μm以下であり、さらに好ましくは0.40μm以上0.60μm以下である。 The average particle size of the ceramic particles is preferably 0.2 μm or more and 0.8 μm or less. Here, the “average particle diameter” refers to the median diameter obtained from the particle size distribution, that is, 50% by volume (D 50 ). When the average particle size is less than 0.2 μm, the viscosity of the slurry increases and it becomes easy to form spots and bubbles on the surface of the ceramic green tape. When it exceeds 0.8 μm, coarse particles appear as spots on the ceramic green tape. This is because streaks are more likely to appear. The average particle diameter is more preferably 0.30 μm or more and 0.70 μm or less, and further preferably 0.40 μm or more and 0.60 μm or less.

スラリー30は、セラミック粒子の他に、溶媒、バインダー、可塑剤、分散剤などを含む。スラリー30を調製する際には、上記の要素を混合した後に、濃縮脱泡することが好ましい。また、スラリー30の粘度は、25℃で1900〜2700Pa・sが好ましく、2100〜2500Pa・sがより好ましい。   The slurry 30 includes a solvent, a binder, a plasticizer, a dispersant, and the like in addition to the ceramic particles. When preparing the slurry 30, it is preferable to concentrate and degas after mixing the above-mentioned elements. The viscosity of the slurry 30 is preferably 1900 to 2700 Pa · s, more preferably 2100 to 2500 Pa · s at 25 ° C.

スラリー30の調製に用いられる溶媒としては、メタノール、エタノール、2−プロパノール、1−ブタノール、1−ヘキサノール等のアルコール類;アセトン、2−ブタノン等のケトン類;ペンタン、ヘキサン、ヘプタン等の脂肪族炭化水素類;ベンゼン、トルエン、キシレン、エチルベンゼン等の芳香族炭化水素類;酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸ブチル等の酢酸エステル類等を例示することができ、これらから適宜選択して使用する。これらの溶媒は単独で使用し得る他、2種以上を混合して使用することができる。   Solvents used for preparing the slurry 30 include alcohols such as methanol, ethanol, 2-propanol, 1-butanol and 1-hexanol; ketones such as acetone and 2-butanone; aliphatics such as pentane, hexane and heptane. Hydrocarbons; aromatic hydrocarbons such as benzene, toluene, xylene, and ethylbenzene; acetic acid esters such as methyl acetate, ethyl acetate, and butyl acetate can be exemplified, and these are appropriately selected and used. These solvents can be used alone or in combination of two or more.

スラリー30の調製に用いられるバインダーは、後のセラミックシートを製造する際の焼成により分解したり燃焼することで除去されるものであれば格別の制限はなく、従来から知られた有機質のバインダーを適宜選択して使用することができる。有機質バインダーとしては、例えばエチレン系共重合体、スチレン系共重合体、アクリレート系及びメタクリレート系共重合体、酢酸ビニル系共重合体、マレイン酸系共重合体、ポリビニルブチラール樹脂、ビニルアセタール系樹脂、ビニルホルマール系樹脂、ビニルアルコール系樹脂、ワックス類、エチルセルロース等のセルロース類等が例示される。   The binder used for the preparation of the slurry 30 is not particularly limited as long as it can be removed by being decomposed or burned by firing at the time of manufacturing a subsequent ceramic sheet, and a conventionally known organic binder can be used. It can be appropriately selected and used. Examples of organic binders include ethylene copolymers, styrene copolymers, acrylate and methacrylate copolymers, vinyl acetate copolymers, maleic acid copolymers, polyvinyl butyral resins, vinyl acetal resins, Examples thereof include vinyl formal resins, vinyl alcohol resins, waxes, and celluloses such as ethyl cellulose.

スラリー30に占めるバインダーの割合は、セラミック粒子100質量部に対して15質量部以上25質量部以下であることが好ましい。バインダーの割合が15質量部未満だと、塗工・乾燥後のセラミックグリーンテープがヒビ割れを起こしたり、クラックが発生する場合があり、25質量部を超えると、セラミックグリーンテープが柔らかくなり、打抜きなどの工程での作業が困難になったり変形を起こし易くなったりするからである。バインダーの割合は、より好ましくは16質量部以上23質量部以下であり、さらに好ましくは17質量部以上20質量部以下である。   The ratio of the binder in the slurry 30 is preferably 15 parts by mass or more and 25 parts by mass or less with respect to 100 parts by mass of the ceramic particles. When the binder ratio is less than 15 parts by mass, the ceramic green tape after coating and drying may crack or crack. When it exceeds 25 parts by mass, the ceramic green tape becomes soft and punched. This is because it becomes difficult to perform operations in the processes such as, and it is easy to cause deformation. The ratio of the binder is more preferably 16 parts by mass or more and 23 parts by mass or less, and further preferably 17 parts by mass or more and 20 parts by mass or less.

スラリー30の調製に用いられる可塑剤は、セラミックグリーンテープに柔軟性を付与するために添加する。可塑剤としては、例えば、低分子可塑剤、コオリゴマー可塑剤および高分子可塑剤がある。低分子可塑剤としては、例えば、フタル酸ジブチルやフタル酸ジオクチルなどフタル酸エステル類を挙げることができる。   The plasticizer used for the preparation of the slurry 30 is added to impart flexibility to the ceramic green tape. Examples of the plasticizer include a low molecular plasticizer, a co-oligomer plasticizer, and a high molecular plasticizer. Examples of the low molecular plasticizer include phthalic acid esters such as dibutyl phthalate and dioctyl phthalate.

スラリー30の調製に用いられる分散剤は、スラリー中でのセラミック粒子の沈降を抑制するために添加する。分散剤としては、例えば、Uniqema社製のKD−4,9、共栄化学工業社製のフローレンG700やG900、ビックケミー社製のBYK−220Sなどのアニオン系分散剤;Uniqema社製のKD−1やDOPA−22、ビックケミー社製のDisperbyk108、112、116などのカチオン系分散剤;ダイセル社製のナラクセルFM−1D、Uniqema社製のB246SF、共栄化学工業社製のNC−500などのノニオン系分散剤を挙げることができる。さらには界面活性剤や消泡剤などを必要に応じて添加することができる。なお、スラリー中の水分量は、できるだけ少ない方が望ましい。   The dispersant used for the preparation of the slurry 30 is added to suppress the sedimentation of the ceramic particles in the slurry. Examples of the dispersant include anionic dispersants such as KD-4, 9 manufactured by Uniqema, Floren G700 and G900 manufactured by Kyoei Chemical Industry, BYK-220S manufactured by BYK Chemie, and KD-1 manufactured by Uniqema. Cationic dispersants such as DOPA-22, Disperbyk 108, 112, 116 manufactured by Big Chemie; Nonionic dispersants such as Naraxel FM-1D manufactured by Daicel, B246SF manufactured by Uniqema, NC-500 manufactured by Kyoei Chemical Co., Ltd. Can be mentioned. Furthermore, a surfactant, an antifoaming agent, etc. can be added as needed. It is desirable that the amount of water in the slurry is as small as possible.

第1の樹脂フィルム2を構成する樹脂は特に限定されないが、例えばポリエチレンテレフタレート(PET)を用いることが好ましい。第1の樹脂フィルム2の幅は、例えば500〜1500mmである。   Although resin which comprises the 1st resin film 2 is not specifically limited, For example, it is preferable to use a polyethylene terephthalate (PET). The width | variety of the 1st resin film 2 is 500-1500 mm, for example.

第1の樹脂フィルム2の走行速度は、0.25〜1.5m/分が好ましく、0.35〜1.0m/分がより好ましい。   The traveling speed of the first resin film 2 is preferably 0.25 to 1.5 m / min, and more preferably 0.35 to 1.0 m / min.

(2)乾燥工程
乾燥工程では、塗工されたスラリー30を乾燥させてセラミックグリーンテープ3Aを生成する。スラリー30を乾燥させる方法は特に限定されないが、本実施形態では、スラリー30が塗工された第1の樹脂フィルム2を3つの乾燥室を通過させることにより乾燥工程を行う。3つの乾燥室は、常温の空気を循環させる自然乾燥室41、比較的に高い温度に加熱した空気を循環させる第1加熱乾燥室42、および第1加熱乾燥室42よりもさらに高い温度に加熱した空気を循環させる第2加熱乾燥室43である。第1加熱乾燥室42を循環する空気の温度は、75〜110℃が好ましく、85〜100℃がより好ましい。第2加熱乾燥室43を循環する空気の温度は、85〜120℃が好ましく、95〜110℃がより好ましい。
(2) Drying step In the drying step, the coated slurry 30 is dried to produce the ceramic green tape 3A. The method for drying the slurry 30 is not particularly limited, but in the present embodiment, the drying process is performed by passing the first resin film 2 coated with the slurry 30 through the three drying chambers. The three drying chambers are heated to a higher temperature than the natural drying chamber 41 that circulates room temperature air, the first heating and drying chamber 42 that circulates air heated to a relatively high temperature, and the first heating and drying chamber 42. It is the 2nd heating drying chamber 43 which circulates the performed air. 75-110 degreeC is preferable and the temperature of the air which circulates through the 1st heat drying chamber 42 has more preferable 85-100 degreeC. 85-120 degreeC is preferable and the temperature of the air which circulates through the 2nd heat drying chamber 43 has more preferable 95-110 degreeC.

(3)剥離工程
剥離工程では、ガイドローラ12上でセラミックグリーンテープ3Aから第1の樹脂フィルム2を剥離し、剥離した第1の樹脂フィルム2をロール22に巻き取る。ロール22は芯材の回りに第1の樹脂フィルム2が巻き回されたものであり、その芯材が図略のモータにより回転させられる。
(3) Peeling Step In the peeling step, the first resin film 2 is peeled off from the ceramic green tape 3A on the guide roller 12, and the peeled first resin film 2 is wound around the roll 22. The roll 22 is obtained by winding the first resin film 2 around a core material, and the core material is rotated by a motor (not shown).

(4)スリット工程
スリット工程では、第1の樹脂フィルム2が剥離されたセラミックグリーンテープ3Aをその長手方向に沿ってスリッター5でスリットする。スリッター5は、セラミックグリーンテープ3Aの幅方向に所定間隔で配置されている。前記所定間隔は、最終的に得るべき幅狭のセラミックグリーンテープの幅を規定するものであり、例えば50〜300mmである。
(4) Slit process In the slit process, the slitter 5 slits the ceramic green tape 3A from which the first resin film 2 has been peeled off along its longitudinal direction. The slitters 5 are arranged at predetermined intervals in the width direction of the ceramic green tape 3A. The predetermined interval defines the width of the narrow ceramic green tape to be finally obtained, and is, for example, 50 to 300 mm.

スリット工程では、セラミックグリーンテープ3Aの両耳部を切り落とすことが好ましい。この場合、スリッター5は、最終的に得るべき幅狭のセラミックグリーンテープの本数に1を加えた数だけ設置される。例えば、3本の幅狭のセラミックグリーンテープを得るためには、4つのスリッター5が設置される。   In the slitting process, it is preferable to cut off both ears of the ceramic green tape 3A. In this case, the slitter 5 is installed by the number obtained by adding 1 to the number of narrow ceramic green tapes to be finally obtained. For example, to obtain three narrow ceramic green tapes, four slitters 5 are installed.

スリッター5は、例えばハイス鋼製の上下一対の回転刃からなる。スリットを安定的に行うために、スリッター5の前後でセラミックグリーンテープを支持する、例えばステンレスからなる支持板を設置することが好ましい。また、セラミックグリーンテープのスリット面にバリやクズが出ないように、スリッター5の上流側にセラミックグリーンテープを温める加熱ヒータを設置することが好ましい。   The slitter 5 is composed of a pair of upper and lower rotary blades made of, for example, high speed steel. In order to perform the slit stably, it is preferable to install a support plate made of, for example, stainless steel that supports the ceramic green tape before and after the slitter 5. Moreover, it is preferable to install a heater for heating the ceramic green tape on the upstream side of the slitter 5 so that burrs and debris do not appear on the slit surface of the ceramic green tape.

(5)バッファ工程
本実施形態では、前述した塗工工程、乾燥工程、剥離工程およびスリット工程が連続的に行われる一方、後述する貼合工程および巻取工程が所定のインターバルで断続的に行われる。バッファ工程では、前記所定のインターバルの間、スリットされたセラミックグリーンテープ3Bを当該セラミックグリーンテープ3Bに張力をかけながら蓄える。
(5) Buffer process In this embodiment, while the coating process, the drying process, the peeling process, and the slit process described above are continuously performed, the bonding process and the winding process described later are intermittently performed at predetermined intervals. Is called. In the buffer process, the slitted ceramic green tape 3B is stored while applying tension to the ceramic green tape 3B during the predetermined interval.

具体的には、一対のグリーンテープ用ガイドローラ13,15間にテンションローラ14が配置されている。テンションローラ14は、前記所定のインターバルに第1の樹脂フィルム2の走行速度をかけた距離を吸収可能なストロークで上下動できるように構成されている。この構成により、後述するコンベア6が停止している間でも、テンションローラ14の自重によりセラミックグリーンテープ3Aに一定のテンションが掛かり、スリッター5によるスリットが連続的に行われる。   Specifically, a tension roller 14 is disposed between the pair of green tape guide rollers 13 and 15. The tension roller 14 is configured to move up and down with a stroke capable of absorbing a distance obtained by applying the traveling speed of the first resin film 2 to the predetermined interval. With this configuration, even when the conveyor 6 described later is stopped, a certain tension is applied to the ceramic green tape 3A due to the weight of the tension roller 14, and slitting by the slitter 5 is continuously performed.

(6)是正工程
是正工程では、後述する第2の樹脂フィルム7に対するスリットされたセラミックグリーンテープ3Bのズレを是正する。本実施形態では、是正工程がスリットされたセラミックグリーンテープ3Bを搬送するコンベア6を用いて行われる。コンベア6は、ベルト式であってもよいしローラ式であってもよい。コンベア6は、後述する貼合装置8の移動チャック83による移送に同期して稼働する。
(6) Correcting process In the correcting process, the displacement of the slit ceramic green tape 3B with respect to the second resin film 7 described later is corrected. In the present embodiment, the correction process is performed using the conveyor 6 that conveys the slit ceramic green tape 3B. The conveyor 6 may be a belt type or a roller type. The conveyor 6 operates in synchronization with the transfer by the moving chuck 83 of the bonding apparatus 8 described later.

具体的には、光センサ61でセラミックグリーンテープ3Bの幅方向の位置を検出し、第2の樹脂フィルム7に対してスリットされたセラミックグリーンテープ3Bが所定量以上ずれたときに、そのズレを打ち消すようにコンベア6を搬送方向と直交する方向に移動する。   Specifically, when the position of the ceramic green tape 3B in the width direction is detected by the optical sensor 61 and the ceramic green tape 3B slit with respect to the second resin film 7 is displaced by a predetermined amount or more, the deviation is detected. The conveyor 6 is moved in a direction orthogonal to the conveying direction so as to cancel out.

(7)貼合工程
貼合工程では、ロール71から帯状の第2の樹脂フィルム7を繰り出しながら、スリットされたセラミックグリーンテープ3Bに第2の樹脂フィルム7を貼り合わせる。
(7) Bonding step In the bonding step, the second resin film 7 is bonded to the slitted ceramic green tape 3B while feeding the belt-shaped second resin film 7 from the roll 71.

第2の樹脂フィルム7を構成する樹脂は特に限定されないが、例えばPETを用いることが好ましい。第2の樹脂フィルム7の幅は、第1の樹脂フィルム2の幅よりも小さく、例えば54〜304mmである。   Although the resin which comprises the 2nd resin film 7 is not specifically limited, For example, it is preferable to use PET. The width | variety of the 2nd resin film 7 is smaller than the width | variety of the 1st resin film 2, for example, is 54-304 mm.

スリットされたセラミックグリーンテープ3Bに第2の樹脂フィルム7を貼り合わせる方法は特に限定されるものではないが、本実施形態では貼合装置8を用いて行う。具体的には、まず樹脂フィルム用ガイドローラ16を用いてスリットされたセラミックグリーンテープ3Bに第2の樹脂フィルム7を下側から重ね合わせ、この複合体を貼合装置8に供給する。   The method of bonding the second resin film 7 to the slit ceramic green tape 3B is not particularly limited, but in the present embodiment, the bonding is performed using the bonding apparatus 8. Specifically, first, the second resin film 7 is superposed on the ceramic green tape 3 </ b> B slit using the resin film guide roller 16, and this composite is supplied to the bonding apparatus 8.

貼合装置8は、一対のローラ82に掛け渡されたエンドレスベルト81と、前記複合体をエンドレスベルト81と共に挟み込んで移送する移動チャック83とを含む。   The laminating device 8 includes an endless belt 81 stretched between a pair of rollers 82, and a moving chuck 83 that sandwiches and transfers the composite together with the endless belt 81.

移動チャック83は、上流側の第1位置と下流側の第2位置との間で移動可能に構成されており、第1位置で前記複合体をクランプし、第2位置に移動して前記複合体のクランプを解除する。移動チャック83の移動速度は、バッファ工程で蓄えられたセラミックグリーンテープ3Bを全て送り出すために、当然に第1の樹脂フィルム2の走行速度よりも速い。   The moving chuck 83 is configured to be movable between a first position on the upstream side and a second position on the downstream side, clamps the complex at the first position, moves to the second position, and moves the complex. Release the body clamp. The moving speed of the moving chuck 83 is naturally higher than the traveling speed of the first resin film 2 in order to send out all the ceramic green tape 3B stored in the buffer process.

また、移動チャック83には、当該移動チャック83が第2位置から第1位置に戻るときに、前記複合体におけるセラミックグリーンテープ3B上を転動するローラ84が設けられている。このローラ84は、例えばゴムからなる。ローラ84により、スリットされたセラミックグリーンテープ3Bと第2の樹脂フィルム7との間に閉じ込められた空気が押し出されるため、それらを弛みのない状態で完全に密着させることができる。   The moving chuck 83 is provided with a roller 84 that rolls on the ceramic green tape 3B in the composite when the moving chuck 83 returns from the second position to the first position. The roller 84 is made of rubber, for example. Since the air trapped between the slit ceramic green tape 3B and the second resin film 7 is pushed out by the roller 84, they can be brought into close contact with each other without any slack.

さらに、貼合装置8は、前記複合体が移動チャック83によりクランプされていないときにテンションローラ14の自重により逆走することを防止するために、移動チャック83が前記複合体のクランプを解除してから再度前記複合体をクランプするまで前記複合体をクランプする固定チャック85を含む。   Further, the bonding apparatus 8 releases the clamp of the composite to prevent the composite from running backward due to its own weight when the tension roller 14 is not clamped by the mobile chuck 83. And a fixed chuck 85 that clamps the complex until it is clamped again.

なお、スリットされたセラミックグリーンテープ3Bに第2の樹脂フィルム7を貼り合わせるだけであれば、ローラ84は必ずしも必要ではなく、移動チャック84と固定チャック85だけで貼り合わせを行うことも可能である。   Note that if the second resin film 7 is simply bonded to the slit ceramic green tape 3B, the roller 84 is not always necessary, and the bonding can be performed only by the moving chuck 84 and the fixed chuck 85. .

(8)巻取工程
巻取工程では、第2の樹脂フィルム7付のセラミックグリーンテープ3Bをロール9に巻き取る。ロール9は芯材の回りに第2の樹脂フィルム7付のセラミックグリーンテープ3Bが巻き回されたものであり、その芯材が図略のモータにより回転させられる。なお、モータの駆動は、第2の樹脂フィルム7付のセラミックグリーンテープ3Bに過剰なテンションがかからないように、トルクリミッターを用いて制御される。
(8) Winding step In the winding step, the ceramic green tape 3B with the second resin film 7 is wound around the roll 9. The roll 9 is obtained by winding the ceramic green tape 3B with the second resin film 7 around the core material, and the core material is rotated by a motor (not shown). The drive of the motor is controlled using a torque limiter so that excessive tension is not applied to the ceramic green tape 3B with the second resin film 7.

ロール9への巻き取りは、第2の樹脂フィルム7付のセラミックグリーンテープ3Bの搬送面(貼合装置8のベルト面)よりも下方で行われてもよいが、搬送面よりも上方で行われることが好ましい。この場合、図1に示すように、ロール9の上流側に押えローラ17が配置されていることが好ましい。   Winding around the roll 9 may be performed below the conveyance surface (belt surface of the bonding apparatus 8) of the ceramic green tape 3B with the second resin film 7, but is performed above the conveyance surface. Are preferred. In this case, as shown in FIG. 1, it is preferable that a presser roller 17 is disposed on the upstream side of the roll 9.

以上の工程により、第2の樹脂フィルム7付のセラミックグリーンテープ3Bが巻き回されたロール9が得られる。このロール9では、第2の樹脂フィルム7付のセラミックグリーンテープ3Bを繰り出したときに、2の樹脂フィルム7付のセラミックグリーンテープ3Bに幅方向の反りがなく、その後のセラミックグリーンシートの打ち抜きを良好に行うことができる。   Through the above steps, the roll 9 around which the ceramic green tape 3B with the second resin film 7 is wound is obtained. In this roll 9, when the ceramic green tape 3B with the second resin film 7 is unwound, the ceramic green tape 3B with the second resin film 7 has no warp in the width direction, and the subsequent punching of the ceramic green sheet is performed. It can be done well.

特許文献4に開示されているように、セラミックグリーンテープをスリッターで樹脂フィルムごとスリットし、樹脂フィルム付のセラミックグリーンシートを巻き取った場合には、ロールからセラミックグリーンテープを繰り出したときに、セラミックグリーンテープに幅方向の反りが観察される。これは、スラリーが乾燥されるときの収縮が樹脂フィルムで拘束されて、セラミックグリーンテープに幅方向の引張応力が残存するためである。   As disclosed in Patent Document 4, when the ceramic green tape is slit together with the resin film with a slitter and the ceramic green sheet with the resin film is wound up, A warp in the width direction is observed on the green tape. This is because the shrinkage when the slurry is dried is restrained by the resin film, and the tensile stress in the width direction remains on the ceramic green tape.

これに対し、本実施形態の製造方法では、セラミックグリーンテープから樹脂フィルムがいったん剥離されるために、セラミックグリーンテープが幅方向に収縮し、引張応力が残存しない。従って、セラミックグリーンテープが幅方向に反ることを防止することができる。   On the other hand, in the manufacturing method of this embodiment, since the resin film is once peeled from the ceramic green tape, the ceramic green tape contracts in the width direction and no tensile stress remains. Therefore, the ceramic green tape can be prevented from warping in the width direction.

<セラミックシートの製造>
上記のロール9を用いてセラミックシートを製造するには、まず、ロール9から第2の樹脂フィルム7付のセラミックグリーンテープ3Bを繰り出しながら当該セラミックグリーンテープ3Bから第2の樹脂フィルム7を剥離する。ついで、第2の樹脂フィルム7が剥離されたセラミックグリーンテープ3Bから所定形状のセラミックグリーンシートを打ち抜く。打ち抜かれるセラミックグリーンシートの形状は、特に限定されるものではなく、円形、楕円形、矩形、角が丸められた矩形などの何れであってもよい。
<Manufacture of ceramic sheets>
In order to manufacture a ceramic sheet using the roll 9, the second resin film 7 is first peeled from the ceramic green tape 3B while the ceramic green tape 3B with the second resin film 7 is fed from the roll 9. . Next, a ceramic green sheet having a predetermined shape is punched from the ceramic green tape 3B from which the second resin film 7 has been peeled off. The shape of the ceramic green sheet to be punched is not particularly limited, and may be any of a circle, an ellipse, a rectangle, a rectangle with rounded corners, and the like.

その後、打ち抜いたセラミックグリーンシートと別途用意したスペーサシートとを交互に積み重ねて積層体を形成する。このとき、セラミックグリーンシートとスペーサシートの表面に、それらの接合を抑制する粉体を散布することが好ましい。最後に、形成した積層体を焼成炉に入れて当該積層体中のセラミックグリーンシートを焼成する。これにより、セラミックシートが得られる。   Thereafter, the punched ceramic green sheets and separately prepared spacer sheets are alternately stacked to form a laminate. At this time, it is preferable to spray the powder which suppresses those joining on the surface of a ceramic green sheet and a spacer sheet. Finally, the formed laminate is put in a firing furnace, and the ceramic green sheet in the laminate is fired. Thereby, a ceramic sheet is obtained.

<変形例>
本発明の製造方法は、上述した工程のうちで少なくとも塗工工程、乾燥工程、剥離工程、スリット工程、貼合工程および巻取工程を含めばよく、前記実施形態から種々の変形が可能である。また、各工程における具体的な方法も、必ずしも前記実施形態のとおりである必要はない。
<Modification>
The manufacturing method of this invention should just include a coating process, a drying process, a peeling process, a slit process, a bonding process, and a winding process among the processes mentioned above, and various deformation | transformation are possible from the said embodiment. . Further, the specific method in each step is not necessarily the same as that in the above embodiment.

例えば、貼合工程および巻取工程を連続的に行うために、貼合装置8の代わりに、第2の樹脂フィルム7付のセラミックグリーンテープ3Bを挟み込む一対のローラを採用してもよい。この構成であれば、バッファ工程が不要になる。さらには製造ラインが短くなるために、是正工程も省略できる可能性がある。   For example, in order to continuously perform the bonding step and the winding step, a pair of rollers that sandwich the ceramic green tape 3B with the second resin film 7 may be employed instead of the bonding device 8. With this configuration, the buffer process is unnecessary. Furthermore, since the production line is shortened, the correction process may be omitted.

また、例えば、テンションローラ14の下流側のグリーンテープ用ガイドローラ15に逆転防止機構を設ければ、貼合装置8の固定チャック85を省略することもできる。   Further, for example, if a reverse rotation prevention mechanism is provided on the green tape guide roller 15 on the downstream side of the tension roller 14, the fixing chuck 85 of the bonding apparatus 8 can be omitted.

また、是正工程は、コンベア6の代わりに搬送ローラを用いて、その搬送ローラを平面視でセラミックグリーンテープ3Bの進行方向に対して傾けることによって行ってもよい。   Further, the correction process may be performed by using a transport roller instead of the conveyor 6 and tilting the transport roller with respect to the traveling direction of the ceramic green tape 3B in plan view.

以下、実施例を挙げて本発明を詳細に説明するが、本発明は、これら実施例に何ら制限されるものではない。   EXAMPLES Hereinafter, although an Example is given and this invention is demonstrated in detail, this invention is not restrict | limited to these Examples at all.

本実施例では、図1に示す製造装置1を用いてセラミックグリーンテープの製造を行った。   In this example, the ceramic green tape was manufactured using the manufacturing apparatus 1 shown in FIG.

まず、スラリーを以下のように調製した。市販の8モル%イットリア安定化ジルコニア粉末(東ソー株式会社製、商品名「TZ−8YS」、平均粒子径:0.52μm、比表面積:8.5m2/g、以下8YSZと記す)99.5質量部とアルミナ粉末(昭和電工社製、商品名「AL−160SG」)0.5質量部(すなわち、セラミック粒子100質量部)、溶媒であるトルエン/イソプロパノール混合液(トルエン/イソプロパノール質量比=3/2)50質量部、および分散剤であるソルビタン脂肪酸エステル系界面活性剤2質量部との混合物を、ボールミルを用いて粉砕しつつ混合した。当該混合物へ、バインダーとしてメタクリレート系共重合体(数平均分子量:100,000、ガラス転位温度:−8℃、固形分濃度:50%)を固形分換算で15質量部と、可塑剤であるジブチルフタレート3質量部を添加し、さらにボールミルにより混合した。得られた混合物を濃縮脱泡し、25℃での粘度を3Pa・sに調整し、スラリーを得た。 First, a slurry was prepared as follows. Commercially available 8 mol% yttria stabilized zirconia powder (trade name “TZ-8YS”, manufactured by Tosoh Corporation, average particle size: 0.52 μm, specific surface area: 8.5 m 2 / g, hereinafter referred to as 8YSZ) 99.5 Part by mass and alumina powder (trade name “AL-160SG” manufactured by Showa Denko KK) 0.5 part by mass (that is, 100 parts by mass of ceramic particles), toluene / isopropanol mixed liquid as a solvent (toluene / isopropanol mass ratio = 3 / 2) A mixture of 50 parts by mass and 2 parts by mass of a sorbitan fatty acid ester surfactant as a dispersant was mixed while being pulverized using a ball mill. A methacrylate copolymer (number average molecular weight: 100,000, glass transition temperature: −8 ° C., solid content concentration: 50%) as a binder and 15 parts by mass in terms of solid content and dibutyl as a plasticizer are added to the mixture. 3 parts by mass of phthalate was added and further mixed by a ball mill. The obtained mixture was concentrated and degassed, and the viscosity at 25 ° C. was adjusted to 3 Pa · s to obtain a slurry.

第1の樹脂フィルムとして、片面に剥離剤がコーティングされた、幅580mm、厚さ188μmのPETフィルムを用い、これを0.35m/分の速度で走行させながら、その上に調製したスラリーを塗工した。スラリーが塗工されたPETフィルムを、温度35℃の空気を循環させる自然乾燥室、温度80℃の空気を循環させる第1加熱乾燥室、温度100℃の空気を循環させる第2加熱乾燥室を通過させ、厚さ250μmのPETフィルム付のセラミックグリーンテープを得た。   As the first resin film, a PET film having a width of 580 mm and a thickness of 188 μm, coated with a release agent on one side, was applied at a speed of 0.35 m / min. Worked. A natural drying chamber that circulates air at a temperature of 35 ° C., a first heating and drying chamber that circulates air at a temperature of 80 ° C., and a second heating and drying chamber that circulates air at a temperature of 100 ° C. A ceramic green tape with a PET film having a thickness of 250 μm was obtained.

セラミックグリーンテープからPETフィルムを剥離した後に、セラミックグリーンテープを180mm間隔で配置されたスリッターでスリットし、幅180mmのセラミックグリーンテープを得た。   After peeling the PET film from the ceramic green tape, the ceramic green tape was slit with slitters arranged at intervals of 180 mm to obtain a ceramic green tape having a width of 180 mm.

その後、実施形態の欄で説明したように、バッファ工程、是正工程および貼合工程を行った。貼合工程では、第2の樹脂フィルムとして幅164mm、厚さ125μmのPETフィルムを用いた。最後に、巻取工程を行い、PETフィルム付のセラミックグリーンテープが巻き回されたロールを得た。   Thereafter, as described in the column of the embodiment, a buffer process, a correction process, and a bonding process were performed. In the bonding step, a PET film having a width of 164 mm and a thickness of 125 μm was used as the second resin film. Finally, a winding process was performed to obtain a roll on which a ceramic green tape with a PET film was wound.

1 製造装置
2 第1の樹脂フィルム
3A,3B セラミックグリーンテープ
5 スリッター
6 コンベア
7 第2の樹脂フィルム
8 貼合装置
81 エンドレスベルト
82 ローラ
83 移動チャック
84 ローラ
85 固定チャック
9 ロール
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Manufacturing apparatus 2 1st resin film 3A, 3B Ceramic green tape 5 Slitter 6 Conveyor 7 2nd resin film 8 Laminating apparatus 81 Endless belt 82 Roller 83 Moving chuck 84 Roller 85 Fixed chuck 9 Roll

Claims (3)

第1の樹脂フィルムを繰り出しながら前記第1の樹脂フィルム上にセラミック粒子を含むスラリーを塗工する工程と、
塗工された前記スラリーを乾燥させてセラミックグリーンテープを生成する工程と、
前記セラミックグリーンテープから前記第1の樹脂フィルムを剥離して巻き取る工程と、
前記第1の樹脂フィルムが剥離された前記セラミックグリーンテープをスリッターでスリットする工程と、
第2の樹脂フィルムを繰り出しながらスリットされた前記セラミックグリーンテープに前記第2の樹脂フィルムを貼り合わせる工程と、
前記第2の樹脂フィルム付の前記セラミックグリーンテープを巻き取る工程と、
を含む、セラミックグリーンテープの製造方法。
Applying a slurry containing ceramic particles on the first resin film while paying out the first resin film;
Drying the coated slurry to produce a ceramic green tape;
Peeling and winding the first resin film from the ceramic green tape;
Slitting the ceramic green tape from which the first resin film has been peeled off with a slitter;
Bonding the second resin film to the ceramic green tape slit while feeding out the second resin film;
Winding the ceramic green tape with the second resin film;
A method for producing a ceramic green tape, comprising:
前記第2の樹脂フィルムの幅は、前記第1の樹脂フィルムの幅よりも小さい、請求項1に記載のセラミックグリーンテープの製造方法。   The method for producing a ceramic green tape according to claim 1, wherein a width of the second resin film is smaller than a width of the first resin film. 請求項1または2に記載のセラミックグリーンテープの製造方法により得られた前記第2の樹脂フィルム付の前記セラミックグリーンテープが巻き回されたロールから前記第2の樹脂フィルム付の前記セラミックグリーンテープを繰り出しながら当該セラミックグリーンテープから前記第2の樹脂フィルムを剥離する工程と、
前記第2の樹脂フィルムが剥離された前記セラミックグリーンテープから所定形状のセラミックグリーンシートを打ち抜く工程と、
前記セラミックグリーンシートとスペーサシートとを交互に積み重ねて積層体を形成する工程と、
前記積層体を焼成炉に入れて当該積層体中の前記セラミックグリーンシートを焼成する工程と、
を含む、セラミックシートの製造方法。
The ceramic green tape with the second resin film is obtained from a roll around which the ceramic green tape with the second resin film obtained by the method for producing a ceramic green tape according to claim 1 or 2 is wound. Peeling the second resin film from the ceramic green tape while unwinding,
A step of punching out a ceramic green sheet of a predetermined shape from the ceramic green tape from which the second resin film has been peeled;
A step of alternately stacking the ceramic green sheets and the spacer sheets to form a laminate;
Placing the laminate in a firing furnace and firing the ceramic green sheet in the laminate;
A method for producing a ceramic sheet, comprising:
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