JP5757181B2 - Method for producing metallized film - Google Patents
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Description
本発明は、金属化フィルムコンデンサを構成する金属化フィルムの製造方法に関するものである。 The present invention relates to a method for manufacturing metallized film constituting a metallized film capacitor.
従来の金属化フィルムを巻き回してなる巻回し型、もしくは金属化フィルムを積層してなる積層型の金属化フィルムコンデンサは、巻き回しもしくは積層してなる金属化フィルムの内部電極(金属化フィルム柱体)の両端の2つの電極取り出し面に金属溶射部(もしくはメタリコン、メタリコン電極)が形成され、これら2つの金属溶射部に外部引き出し端子をはんだ接合することで製造されている。 A conventional metallized film capacitor formed by winding a metallized film or a laminated metallized film capacitor formed by laminating a metallized film has internal electrodes (metallized film pillars) of the metallized film wound or laminated. A metal sprayed part (or metallicon, metallized electrode) is formed on the two electrode extraction surfaces at both ends of the body, and an external lead terminal is soldered to these two metal sprayed parts.
金属化フィルムコンデンサの内部電極は、アルミニウムや亜鉛などの金属をポリプロピレン(PP)やポリフッ化ビニリデン(PVDF)などからなる誘電体フィルムの一側面に蒸着して形成されているが、この蒸着の際の熱で誘電体フィルムがダメージを受けたり、フィルムを走行させるためにテンションがかかった状態で加熱されてフィルムが変形したり、フィルムからガスが発生して蒸着膜に取り込まれる等の影響があるため、誘電体フィルムを冷却しながら蒸着がおこなわれている。なお、このように、誘電体フィルムを冷却しながら金属蒸着をおこなって金属化フィルムコンデンサの内部電極を製造する方法が特許文献1に開示されている。
The internal electrode of the metallized film capacitor is formed by vapor-depositing a metal such as aluminum or zinc on one side of a dielectric film made of polypropylene (PP) or polyvinylidene fluoride (PVDF). The dielectric film is damaged by the heat of the film, the film is deformed by being heated under tension to run the film, or the film generates gas and is taken into the deposited film. Therefore, vapor deposition is performed while cooling the dielectric film. In addition,
しかし、このように誘電体フィルムを冷却しながらその一側面に蒸着をおこなうと、蒸着金属は往々にして島状に成長する。そして、蒸着金属が島状に成長すると、導通に必要な膜厚が増加し、粒界や格子欠陥が多数存在するために電気抵抗率の高いものとなってしまう。これは、真空蒸着法において、溶融した金属から蒸発した原子が基材である誘電体フィルムに付着し、堆積することによって蒸着膜が形成されるが、誘電体フィルムに到着した原子は基材温度が低いためにエネルギー的に安定な位置に移動し難く、結果として図5aで示すように冷却ロールCRで冷却された基材Fの表面には蒸着金属Gが島状(島状ブロックGM)に成長するためと推測される。そして、図5bで示すように、島状ブロックGMの間に堆積した蒸着金属の堆積層Kでは粒界や格子欠陥の回復や再結晶が起こり難く、蒸着膜は格子欠陥や結晶粒界を多く含むことになってしまうのである。このような格子欠陥や結晶粒界は冷却蒸着の際に顕著であるが、冷却しない場合や弱い冷却で蒸着する場合であっても少なからず蒸着膜に欠陥は存在する。 However, when vapor deposition is performed on one side of the dielectric film while cooling the dielectric film, the deposited metal often grows in an island shape. And when a vapor deposition metal grows in island shape, the film thickness required for conduction | electrical_connection increases, and since many grain boundaries and lattice defects exist, it will become a thing with high electrical resistivity. This is because in the vacuum deposition method, atoms evaporated from the molten metal adhere to the dielectric film that is the base material and deposit to form a deposited film, but the atoms that arrive at the dielectric film are subject to the substrate temperature. As a result, the deposited metal G is formed in an island shape (island block GM) on the surface of the substrate F cooled by the cooling roll CR as shown in FIG. 5a. Presumed to grow. Then, as shown in FIG. 5b, in the deposited layer K of vapor deposited metal deposited between the island blocks GM, recovery of grain boundaries and lattice defects and recrystallization hardly occur, and the deposited film has many lattice defects and grain boundaries. It will be included. Such lattice defects and crystal grain boundaries are conspicuous at the time of cooling vapor deposition, but there are not a few defects in the vapor deposition film even when it is not cooled or when vapor deposition is performed with weak cooling.
このように蒸着膜が格子欠陥や結晶粒界を含んでいると、電気抵抗率が高くなり、発熱する。そしてフィルムコンデンサの発熱量の90%以上が内部電極を構成する蒸着膜からの寄与によるものであることが分かっており、そのために、蒸着膜の抵抗を下げる必要がある。 As described above, when the deposited film includes lattice defects and crystal grain boundaries, the electrical resistivity increases and heat is generated. It has been found that 90% or more of the calorific value of the film capacitor is due to the contribution from the vapor deposition film constituting the internal electrode. For this reason, it is necessary to reduce the resistance of the vapor deposition film.
蒸着膜の抵抗を下げるに当たり、当業者であれば蒸着膜を厚くすることで対応するのが一般的である。 It is common for those skilled in the art to reduce the resistance of the deposited film by increasing the thickness of the deposited film.
しかしながら、蒸着膜を厚くすることによってコンデンサの体格が増大することは必至であり、その小型化を図ることができないとともに材料コストも増大してしまう。 However, it is inevitable that the thickness of the vapor deposition film increases the size of the capacitor, so that the size cannot be reduced and the material cost also increases.
本発明は上記する問題に鑑みてなされたものであり、誘電体フィルムの表面に蒸着された蒸着膜中の粒界面積の減少と格子欠陥の修復を図り、電気抵抗率の小さな金属化フィルムコンデンサの内部電極を構成する金属化フィルムの製造方法を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above-mentioned problems, and is intended to reduce the grain interfacial area in the deposited film deposited on the surface of the dielectric film and repair the lattice defects, thereby reducing the metal resistivity of the metalized film capacitor. It aims at providing the manufacturing method of the metallized film which comprises this internal electrode.
前記目的を達成すべく、本発明による金属化フィルムの製造方法は、金属化フィルムコンデンサを構成する誘電体フィルムと該誘電体フィルムの表面に配された内部電極層とからなる金属化フィルムの製造方法であって、誘電体フィルムの表面に金属を蒸着させて金属蒸着膜とし、冷間加工にて該金属蒸着膜の結晶内に加工歪を導入し、該誘電体フィルムと加工歪を導入した金属蒸着膜からなる中間体を製造する第1のステップ、前記中間体を熱処理し、金属蒸着膜の少なくとも一部を再結晶化して内部電極層とし、誘電体フィルムと内部電極層とからなる金属化フィルムを製造する第2のステップからなるものである。 In order to achieve the above object, a method for producing a metallized film according to the present invention comprises producing a metallized film comprising a dielectric film constituting a metallized film capacitor and an internal electrode layer disposed on the surface of the dielectric film. In this method, a metal is vapor-deposited on the surface of the dielectric film to form a metal vapor-deposited film, and a working strain is introduced into the crystal of the metal vapor-deposited film by cold working, and the dielectric film and the working strain are introduced. A first step for producing an intermediate comprising a metal vapor-deposited film; heat treating the intermediate; recrystallizing at least a portion of the metal vapor-deposited film to form an internal electrode layer; and a metal comprising a dielectric film and an internal electrode layer It consists of the 2nd step which manufactures a chemical film.
本発明の金属化フィルムの製造方法は、金属化フィルムコンデンサを構成する内部電極となる金属化フィルムの製造方法であり、誘電体フィルムを冷却しながら蒸着金属を蒸着し、この蒸着金属が誘電体フィルム表面で急激に冷却されることによって生じると考えられる蒸着金属膜の格子欠陥や結晶粒界を解消するべく、冷間加工をおこなって加工歪を蒸着金属に導入し、その後にこれを熱処理することによって蒸着金属の再結晶化を図り、金属蒸着の際に生じた欠陥を修復させ、さらには結晶粒を大きくすることができるものである。加工歪を付与して再結晶しないと再結晶の駆動力が弱く、そのために温度を上げる必要があるが、温度を上げた際にはフィルムへのダメージが危惧される。一方で加工歪を付与せずに再結晶化の熱処理をしても効果が小さいことから、誘電体フィルムへの熱ダメージを避けながら再結晶化させるには加工歪の付与が必須となる。 The method for producing a metallized film according to the present invention is a method for producing a metallized film serving as an internal electrode constituting a metallized film capacitor. The metallized film is deposited while cooling the dielectric film. In order to eliminate the lattice defects and grain boundaries of the deposited metal film, which are thought to be caused by abrupt cooling on the film surface, cold work is performed to introduce work strain into the deposited metal, which is then heat treated. As a result, it is possible to recrystallize the deposited metal, repair defects generated during the metal deposition, and enlarge the crystal grains. If recrystallization is not applied with processing strain, the driving force for recrystallization is weak, and therefore the temperature needs to be raised. However, when the temperature is raised, the film may be damaged. On the other hand, since the effect is small even if heat treatment for recrystallization is performed without imparting processing strain, it is essential to impart processing strain in order to recrystallize while avoiding thermal damage to the dielectric film.
第1のステップにおける誘電体フィルムの表面への金属の蒸着の際には、蒸着の際の熱で誘電体フィルムがダメージを受けないようにたとえばマイナス数十℃程度の冷却ロール上に誘電体フィルムを搬送させながら金属蒸着をおこなう。 When the metal is deposited on the surface of the dielectric film in the first step, the dielectric film is placed on a cooling roll of, for example, about several tens of degrees Celsius so that the dielectric film is not damaged by the heat during the deposition. Metal deposition is carried out while transporting.
ここで、誘電体フィルムは、ポリプロピレン(PP)やポリフッ化ビニリデン(PVDF)、ポリフェニレンサルファイド(PPS)などから形成でき、この誘電体フィルムの表面に溶融したアルミニウムや亜鉛などの金属を蒸着する。 Here, the dielectric film can be formed from polypropylene (PP), polyvinylidene fluoride (PVDF), polyphenylene sulfide (PPS), or the like, and a metal such as molten aluminum or zinc is deposited on the surface of the dielectric film.
誘電体フィルムの表面に金属を蒸着したら、これをさらに連続搬送し、たとえば上下に載置される圧延ロールの間に誘電体フィルムとその表面に蒸着された金属を通して冷間加工をおこない、金属の結晶内に加工歪を導入して金属蒸着膜を形成し、誘電体フィルムと金属蒸着膜からなる中間体を製造する。 Once the metal is deposited on the surface of the dielectric film, the metal is further continuously conveyed. For example, cold working is performed through the dielectric film and the metal deposited on the surface between the upper and lower rolling rolls. Processing strain is introduced into the crystal to form a metal vapor-deposited film, and an intermediate composed of a dielectric film and a metal vapor-deposited film is produced.
次に、第2のステップにおいて、第1のステップで製作された中間体を熱処理し、金属蒸着膜を内部電極層とし、誘電体フィルムと内部電極層とからなる金属化フィルム(内部電極)を製造する。 Next, in the second step, the intermediate produced in the first step is heat-treated, and a metallized film (internal electrode) comprising a dielectric film and an internal electrode layer is formed by using a metal vapor deposition film as an internal electrode layer. To manufacture.
ここで、第2のステップでは、金属の再結晶化が完全におこなわれることは必ずしも必須でなく、再結晶化が不完全な状態であっても一部の再結晶化をもって内部電極層が形成されたとすることができる。尤も、金属の再結晶化が完全におこなわれることが好ましいことは勿論のことである。 Here, in the second step, it is not always necessary that the metal is recrystallized completely. Even if the recrystallization is incomplete, the internal electrode layer is formed with a part of the recrystallization. Can be done. Needless to say, it is preferable that the metal is recrystallized completely.
ここで、第2のステップにおける熱処理の実施の形態としては、以下2つの形態を挙げることができる。 Here, as an embodiment of the heat treatment in the second step, the following two forms can be mentioned.
その一つは、中間体を金属の再結晶温度以上で誘電体フィルムの融点以下の加熱炉内に載置して熱処理をおこなう方法である。加熱炉内に中間体を載置後、再結晶化が終了するまで所定の温度が維持されるのがよい。 One of them is a method in which the intermediate is placed in a heating furnace having a temperature higher than the recrystallization temperature of the metal and lower than the melting point of the dielectric film, and heat treatment is performed. After the intermediate is placed in the heating furnace, a predetermined temperature is preferably maintained until recrystallization is completed.
また、他の方法は、金属蒸着膜に通電して自己発熱させて熱処理をおこなう方法である。たとえば第1のステップで製作された中間体を巻き取ってロール状とし、その両端を金属板で挟んで通電する。この通電の際に生じるジュール熱によって金属蒸着膜の再結晶化を図るものである。 The other method is a method in which heat treatment is performed by energizing the metal vapor deposition film to cause self-heating. For example, the intermediate produced in the first step is wound up into a roll shape, and both ends thereof are sandwiched between metal plates and energized. The metal vapor deposition film is recrystallized by Joule heat generated during the energization.
再結晶化に要する時間は、高温保持した温度条件や圧延率等によって相違するものであり、温度が高いほど、また、圧延率が高いほど再結晶化が完了するまでの時間は短くなる。しかしながら、既述するように、必ずしも再結晶化が完全におこなわれる必要はなく、所望の抵抗率が得られる程度に再結晶化が図られていればよい。 The time required for recrystallization varies depending on the temperature condition, rolling rate, and the like maintained at a high temperature, and the higher the temperature and the higher the rolling rate, the shorter the time until recrystallization is completed. However, as described above, it is not always necessary to perform recrystallization completely, and it is sufficient that recrystallization is achieved to the extent that a desired resistivity is obtained.
上記する本発明の金属化フィルムの製造方法によれば、誘電体フィルムを冷却しながら金属粒子を蒸着する過程で生じる金属粒子の欠陥を解消でき、もって電気抵抗の低い内部電極を構成する金属化フィルムを製造することができる。 According to the method for producing a metallized film of the present invention described above, the metallization for forming the internal electrode having a low electric resistance can be achieved by eliminating the defects of the metal particles generated in the process of depositing the metal particles while cooling the dielectric film. A film can be produced.
また、本発明は金属化フィルムにも及ぶものであり、この金属化フィルムは、金属化フィルムコンデンサを構成する誘電体フィルムと該誘電体フィルムの表面に配された内部電極層とからなる金属化フィルムであって、内部電極層が誘電体フィルムの表面に蒸着された蒸着金属の再結晶組織を有するものである。 The present invention also extends to a metallized film, which is a metallized film comprising a dielectric film constituting a metallized film capacitor and an internal electrode layer disposed on the surface of the dielectric film. A film in which the internal electrode layer has a recrystallized structure of a deposited metal deposited on the surface of the dielectric film.
内部電極層が誘電体フィルムの表面に蒸着された蒸着金属の再結晶組織を有していることにより、金属蒸着の際に生じた欠陥が修復され、大きな結晶粒となって粒界面積が減少し、もって電気抵抗率の小さな金属化フィルムコンデンサとなる。 The internal electrode layer has a recrystallized structure of the deposited metal deposited on the surface of the dielectric film, so that defects generated during metal deposition are repaired, resulting in large crystal grains and a reduced grain interface area. Thus, a metalized film capacitor having a low electric resistivity is obtained.
以上の説明から理解できるように、本発明の金属化フィルムの製造方法によれば、誘電体フィルム表面に金属を蒸着した後にこれを冷間加工して加工歪を蒸着金属に導入し、次いで熱処理して蒸着金属の再結晶化を図ることにより、蒸着金属が誘電体フィルム表面に蒸着される際に生じる格子欠陥を修復することができ、かつ粒界面積を減少することができ、もって電気抵抗率の低い、高性能な金属化フィルムコンデンサに供される金属化フィルムを製造することができる。 As can be understood from the above description, according to the method for producing a metallized film of the present invention, after metal is deposited on the surface of the dielectric film, this is cold worked to introduce work strain into the deposited metal, and then heat treatment is performed. By recrystallizing the deposited metal, the lattice defects generated when the deposited metal is deposited on the surface of the dielectric film can be repaired, and the grain boundary area can be reduced. A metallized film used for a low-performance, high-performance metallized film capacitor can be produced.
以下、図面を参照して本発明の金属化フィルムの製造方法の実施の形態を説明する。図1は本発明の金属化フィルムの製造方法の第1のステップを説明する模式図であり、図2a,bは第2のステップの実施の形態を説明する模式図である。 Hereinafter, embodiments of the method for producing a metallized film of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a schematic diagram for explaining a first step of the method for producing a metallized film of the present invention, and FIGS. 2a and 2b are schematic diagrams for explaining an embodiment of the second step.
図示する製造方法は、第1のステップとして、巻装ロールMR1に巻装されている誘電体フィルム1を巻装ロールMR1を回転させることによって(X1方向)巻き出し、巻き出された誘電体フィルム1を搬送する過程で蒸着装置DPが収容された真空容器SYを通過させる(X2方向)。
In the illustrated manufacturing method, as a first step, the
ここで、誘電体フィルム1は、ポリプロピレン(PP)やポリフッ化ビニリデン(PVDF)、ポリフェニレンサルファイド(PPS)などから形成されるものである。
Here, the
真空容器SY内では、蒸着装置DPから溶融したアルミニウムや亜鉛などの蒸着金属2”が搬送される誘電体フィルム1の下面に蒸着される。
In the vacuum vessel SY, a deposited
この真空容器SY内では、誘電体フィルム1の上面がその搬送方向に回転する(X3方向)冷却ロールCR(マイナス数十℃程度の温度に調整)で冷却されながら蒸着金属2”の蒸着がおこなわれる。
In the vacuum vessel SY, the deposited
真空容器SYを通過し、その下面に蒸着金属2”が堆積した誘電体フィルム1は次いで上下一対の回転自在な(X4方向)圧延ロールFR,FRを通過する過程で圧延処理される。
The
この圧延処理では、圧延ロールFRが蒸着金属2”の融点の25%以下の温度に調整されており、圧延ロールFR,FRを通過する過程で誘電体フィルム1とその表面に堆積する蒸着金属2”が冷間加工されるものである。この冷間加工により、蒸着金属2”の結晶内には加工歪が導入される。
In this rolling process, the rolling roll FR is adjusted to a temperature of 25% or less of the melting point of the vapor-deposited
なお、真空容器SY内の温度も蒸着金属2”の融点の25%以下の温度に調整されているのがよい。
The temperature in the vacuum vessel SY is also preferably adjusted to a temperature of 25% or less of the melting point of the
たとえば、蒸着金属2”がアルミニウムの場合には、その融点が933Kであることから、蒸着時の真空容器SY内の温度や冷間加工時の圧延ロールFRの温度が233K(−40℃)程度に調整される。
For example, when the
冷間加工されることにより、誘電体フィルム1とその表面で圧延処理されてできた金属蒸着膜2’からなる中間体3が製造され、この中間体3が巻取りロールMR2で巻き取られることになる(X5方向)。
By being cold-worked, an
次に、第2のステップに移行する。この第2のステップは、図2a,bで示す2つの方法がある。 Next, the process proceeds to the second step. This second step has two methods shown in FIGS. 2a and 2b.
第2のステップの一実施の形態は、図2aで示すように、中間体3を金属の再結晶温度以上で誘電体フィルムの融点以下の加熱炉TR内に載置し、ヒータで熱処理をおこなうことによって(ヒート熱H)金属蒸着膜2’の再結晶化を図り、図3で示すように、金属蒸着膜2’から内部電極層2が形成され、誘電体フィルム1の表面に内部電極層2が積層されてなる金属化フィルム4が製造される。ここで、金属が純度99.999%のアルミニウムの場合の再結晶温度は80℃程度であり、誘電体フィルムがPPの場合の融点は165℃程度であることから、これらの素材を適用した場合には80℃程度以上で165℃程度以下の熱処理温度が適用される。
In one embodiment of the second step, as shown in FIG. 2a, the intermediate 3 is placed in a heating furnace TR not lower than the metal recrystallization temperature and not higher than the melting point of the dielectric film, and heat-treated with a heater. (Heat heat H) to recrystallize the metal vapor-deposited
ここで、加熱炉TR内での再結晶化に要する時間は加熱炉TR内の温度条件や冷間加工時の圧延率等によって相違するが、必ずしも再結晶化が完全におこなわれる必要はなく、所望の電気抵抗率の内部電極層2が得られる程度に再結晶化が図られていればよい。
Here, the time required for recrystallization in the heating furnace TR differs depending on the temperature conditions in the heating furnace TR, the rolling rate during cold working, etc., but the recrystallization does not necessarily have to be performed completely. Recrystallization should just be achieved to such an extent that the
一方、第2のステップの他の実施の形態は、図2bで示すように、巻き取られた中間体3のロールの両端を金属板S,Sで挟んで通電する方法であり、この通電の際の自己発熱(ジュール熱)によって金属蒸着膜2’の再結晶化を図って内部電極層2を形成し、金属化フィルム4を製造するものである。
On the other hand, as shown in FIG. 2b, another embodiment of the second step is a method in which both ends of the rolled
図3で示す金属化フィルム4を構成する内部電極層2は、金属蒸着の際に蒸着金属にできた格子欠陥が、第1のステップにおける加工歪の導入と第2のステップにおける熱処理による再結晶化によって修復され、電気抵抗率の極めて低い内部電極層2となっている。
The
図4は、図1〜3で示す製造方法によって製造された金属化フィルム4を用いて構成された金属化フィルムコンデンサ10を示したものである。
FIG. 4 shows a metallized
図示する金属化フィルムコンデンサ10は、金属化フィルム4が巻装されてなる金属化フィルム柱体5と、その両端の2つの電極取り出し面に形成された金属溶射部7,7(メタリコン電極)と、この金属溶射部7,7のそれぞれにはんだ層8a,8aを介して繋がれた外部引き出し端子8b、8b(バスバー)と、これらを収容するケース9aと、ケース9a内に形成されて金属化フィルム柱体5が埋設されるモールド樹脂体9bとから大略構成されている。
The metallized
金属化フィルム柱体5の具体的な構成は、内部電極層2が誘電体フィルム1の一側面に形成されて金属化フィルム4が形成され、この金属化フィルム4を2枚積層して一組とし(2枚一対の金属化フィルム)、この2枚一対の金属化フィルム4が巻き回されて構成されている。
A specific configuration of the metallized
ここで、一組の金属化フィルム4の一方の誘電体フィルム1の一側面に形成された内部電極層2は、その長手方向に沿う一方端が一方の金属溶射部7に密着しており、その長手方向に沿う他方端には、他方の金属溶射部7から絶縁されるべく、たとえば2mm程度の絶縁マージンm(図3参照)が設けられている。また、内部電極層2のうちで上記金属溶射部7に密着している端部は、電極接触を保証するために他の部位よりも厚めのいわゆるヘビーエッジh(図3参照)となっており、たとえば、金属蒸着膜の一般部が30nm程度である場合に、ヘビーエッジは倍の60nm程度に調整される。
Here, the
金属化フィルム柱体5のうち、電極取り出し面以外の周囲にはポリエチレンテレフタレート(PET)などからなる外装フィルム6がたとえば数十回程度巻装されて当該周面を被覆している。
An
図示する金属化フィルムコンデンサ10は、その構成部材である内部電極層2の電気抵抗率が極めて低いことから高性能な金属化フィルムコンデンサとなる。
The metallized
以上、本発明の実施の形態を図面を用いて詳述してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲における設計変更等があっても、それらは本発明に含まれるものである。 The embodiment of the present invention has been described in detail with reference to the drawings. However, the specific configuration is not limited to this embodiment, and there are design changes and the like without departing from the gist of the present invention. They are also included in the present invention.
1…誘電体フィルム、2…内部電極層、2’…金属蒸着膜、2”…蒸着金属、3…中間体、4…金属化フィルム、5…金属化フィルム柱体、6…外装フィルム、7…金属溶射部(メタリコン電極)、8a…はんだ層、8b…外部引き出し端子(バスバー)、9a…ケース、9b…モールド樹脂体、10…金属化フィルムコンデンサ
DESCRIPTION OF
Claims (2)
誘電体フィルムの表面に金属を蒸着させて金属蒸着膜とし、冷間加工にて該金属蒸着膜の結晶内に加工歪を導入し、該誘電体フィルムと加工歪を導入した金属蒸着膜からなる中間体を製造する第1のステップ、
前記中間体を構成する金属蒸着膜に通電して自己発熱させる熱処理をおこない、金属蒸着膜の少なくとも一部を再結晶化して内部電極層とし、誘電体フィルムと内部電極層とからなる金属化フィルムを製造する第2のステップからなる金属化フィルムの製造方法。 A method for producing a metallized film comprising a dielectric film constituting a metallized film capacitor and an internal electrode layer disposed on the surface of the dielectric film,
The metal film is vapor-deposited on the surface of the dielectric film to form a metal vapor-deposited film, which is composed of the dielectric film and a metal vapor-deposited film in which the work strain is introduced by introducing a work strain into the crystal of the metal vapor-deposited film by cold working. A first step of producing an intermediate;
A metallized film consisting of a dielectric film and an internal electrode layer is formed by conducting a heat treatment to energize the self-heating of the metal deposited film constituting the intermediate and recrystallizing at least a part of the deposited metal film as an internal electrode layer. The manufacturing method of the metallized film which consists of a 2nd step which manufactures.
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