JP5768082B2

JP5768082B2 - ガラス板製造方法、および、ガラス板製造装置

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Publication number: JP5768082B2
Application number: JP2013067309A
Authority: JP
Inventors: 司人菅原
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Priority date: 2013-03-27
Filing date: 2013-03-27
Publication date: 2015-08-26
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Description

本発明は、ガラス板製造方法、および、ガラス板製造装置に関する。

液晶ディスプレイおよびプラズマディスプレイ等のフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）に用いられるガラス板に代表される、低歪みおよび高い平坦度、または、小さい反りおよび小さいうねりが求められるガラス板は、例えば、オーバーフローダウンドロー法によって製造される。オーバーフローダウンドロー法では、成形体に流し込まれてオーバーフローした熔融ガラスが、成形体の表面を伝って流下して成形体の下端の近傍で合流することで、ガラス板に成形される。成形されたガラス板は、下方に搬送されながら冷却され、所定のサイズに切断される。切断されたガラス板は、端面加工工程、表面洗浄工程および検査工程等を経て、梱包されて出荷される。

特許文献１（特開２００８−８８００５号公報）には、オーバーフローダウンドロー法によるガラス板の製造工程において、成形体の下方で成形されたガラス板をロールによって下方に搬送しながら徐々に冷却する際に、加熱手段を用いてガラス板を加熱する方法が開示されている。この方法では、加熱手段は、ガラス板が徐冷される徐冷室に設置され、下方に搬送されるガラス板の温度を調節して、ガラス板の幅方向の温度分布（温度プロファイル）をガラス板に形成する。加熱手段を用いてガラス板に所定の温度プロファイルを形成することで、ガラス板の幅方向中央部の温度と、ガラス板の幅方向両側部の温度との差によって発生するガラス板の歪みおよび反りを低減することができる。また、ガラス板を冷却する際に加熱手段を用いることで、ガラス板の冷却速度を調節して、好適な熱収縮率を有するガラス板を製造することができる。

しかし、特許文献１に開示されるガラス板製造方法では、ガラス板を下方に搬送するロールは、徐冷室において、ガラス板と加熱手段との間に設置されている。この場合、加熱手段からガラス板に向かって輻射される熱の一部は、ロールによって遮られる。そのため、加熱手段を用いてガラス板の温度を高い精度で調節することが難しく、ガラス板の反りおよび歪みが効果的に低減されない可能性がある。また、ガラス板の熱収縮率のバラツキを小さくすることも難しい。すなわち、ガラス板と加熱手段との間に設置されるロールが、ガラス板の品質の低下の原因となるおそれがある。

本発明の目的は、高品質のガラス板を製造することができるガラス板製造方法、および、ガラス板製造装置を提供することである。

本発明に係るガラス板製造方法は、成形工程と、冷却工程とを備える。成形工程は、熔融ガラスを成形体から流下させてガラス板を成形する工程である。冷却工程は、成形体の下方に配置されている複数のロールによって、成形工程で成形されたガラス板を下方に搬送しながら、ガラス板を冷却する工程である。冷却工程は、ガラス板を徐々に冷却する徐冷工程を含む。徐冷工程では、複数の加熱手段が、ガラス板の表面に向かって熱を輻射して、ガラス板が搬送される搬送方向の温度分布をガラス板に与える。複数の加熱手段は、搬送方向に沿って断熱部材を介して配置されている。ロールは、その中心軸の高さ位置が、搬送方向に沿って隣り合う２つの加熱手段の間となるように配置される。

本発明に係るガラス板製造方法では、冷却工程において、成形体の下端で成形されたガラス板は、ガラスの徐冷点近傍まで急冷され、その後、ロールで下方に搬送されながら徐々に冷却される。ガラス板が徐々に冷却される徐冷工程では、複数の加熱手段からの輻射熱によってガラス板の温度が調節される。加熱手段は、ガラス板の表面に対向して配置され、ガラス板の表面に向かって熱を輻射する加熱手段である。複数の加熱手段は、ガラス板の搬送方向に沿って、断熱部材を介して連続的に配置されている。そのため、徐冷工程において、各加熱手段の出力を調節することで、ガラス板の搬送方向に沿って所定の温度分布をガラス板に形成することができる。これにより、ガラス板の搬送方向におけるガラス板の冷却速度を調節することができる。ガラス板の冷却速度は、ガラス板の熱収縮率に影響を与える。そのため、徐冷工程において各加熱手段の出力を調節することで、好適な熱収縮率を有するガラス板を製造することができる。

また、本発明に係るガラス板製造方法では、徐冷工程において、ガラス板を下方に搬送するロールは、複数の加熱手段と、ガラス板との間の空間に設置される。ロールの中心軸の高さ位置は、ガラス板の搬送方向に沿って隣り合う２つの加熱手段の間にある。これにより、加熱手段からガラス板の表面に向かって輻射され、ロールによって遮られる熱の量が抑えられる。その結果、加熱手段から輻射される熱がガラス板に直接的に伝わるため、ガラス板の温度を高い精度で調節することができる。そして、加熱手段が、ガラス板の幅方向に沿って配置される複数の分割加熱手段から構成されている場合、各分割加熱手段の出力を制御することで、ガラス板の幅方向に沿って所定の温度分布をガラス板に形成することができる。ガラス板の幅方向の温度分布を適切に調節することで、ガラス板の反りおよび歪みを低減することができる。

従って、本発明に係るガラス板製造方法は、ガラス板の搬送方向に沿って断熱部材を介して配置される複数の加熱手段、および、ガラス板の搬送方向に沿って隣り合う２つの加熱手段の間に配置されるロールによって、高品質のガラス板を製造することができる。

本発明に係るガラス板製造方法では、徐冷工程は、徐冷開始位置から徐冷終了位置までの範囲において行われることが好ましい。徐冷開始位置は、ガラス板の温度が徐冷点となる、ガラス板の搬送方向の位置である。徐冷終了位置は、ガラス板の温度が歪点より２００℃低い温度となる、ガラス板の搬送方向の位置である。

本発明に係るガラス板製造方法では、徐冷工程は、ガラス板が搬送されるに従って、ガラス板の幅方向におけるガラス板の温度差が徐々に減少するように、加熱手段によって、搬送方向の温度分布をガラス板に与えることが好ましい。

成形体の下方で成形された直後のガラス板において、ガラス板の幅方向の中心部の温度は、ガラス板の幅方向の両側部の温度よりも高い。そのため、徐冷工程において、ガラス板の幅方向の中心部の冷却速度を、両側部の冷却速度よりも大きくすることで、ガラスの歪点近傍においてガラス板の幅方向の温度分布を均一にすることができる。この場合、徐冷工程において、ガラス板の幅方向の中心部に常に引張り応力がかかるようにガラス板が冷却される。ガラス板の反りを低減するためには、徐冷工程において、ガラス板の幅方向の中心部に常に引張り応力がかかるように、ガラス板が冷却されることが好ましい。ガラス板の幅方向の中心部に圧縮応力がかかると、ガラス板に幅方向の反りが生じる可能性がある。従って、このガラス板製造方法は、冷却されたガラス板に残留する応力を低減して、ガラス板の反りを抑えることができる。

本発明に係るガラス板製造方法では、加熱手段は、ガラス板の表面と対向する対向面を有する均熱板を有することが好ましい。均熱板は、その対向面からガラス板の表面に向かって熱を輻射する。

このガラス板製造方法では、徐冷工程において下方に搬送されるガラス板の表面は、均熱板の表面と対向している。均熱板は、その表面全体に熱が伝わりやすい材質で成形されている。均熱板の表面全体から、対向するガラス板の表面に向かって熱が輻射される。均熱板は、加熱手段の熱源とガラス板との間に配置される。加熱手段の熱源は、例えば、電熱線である。均熱板は、加熱手段の熱源を保護することができる。例えば、徐冷工程において下方に搬送されるガラス板が破損した場合において、均熱板は、割れたガラス板によって加熱手段の熱源が損傷することを抑えることができる。また、均熱板は、ガラス板が下方に搬送される空間と、その外部の空間とを仕切る隔壁として機能する。すなわち、均熱板は、徐冷工程が行われる空間の気密性を高くすることができる。

本発明に係るガラス板製造方法では、ロールは、均熱板とガラス板との間の間隔より大きい径を有し、かつ、均熱板は、ロールと接触しない形状を有することが好ましい。

このガラス板製造方法では、ロールの径は、均熱板とガラス板との間の間隔より大きくてもよいので、均熱板とガラス板との間の間隔を小さくすることができる。均熱板とガラス板との間の間隔が小さいほど、均熱板から輻射される熱は、対向するガラス面の領域により集中的に伝わる。これにより、加熱手段の出力の調節が、ガラス板の局所的な温度に反映されるため、ガラス板の温度を高い精度で調節することができる。また、均熱板とガラス板との間の間隔を小さくすることで、均熱板とガラス板との間の空間で発生する気流を抑えることができる。これにより、気流がガラス板に与える影響を抑えることができる。

本発明に係るガラス板製造方法は、成形工程と、冷却工程とを備える。成形工程は、熔融ガラスを成形体から流下させてガラス板を成形する工程である。冷却工程は、成形体の下方に配置されている複数のロールによって、成形工程で成形されたガラス板を下方に搬送しながら、ガラス板を冷却する工程である。冷却工程は、ガラス板を徐々に冷却する徐冷工程を含む。徐冷工程では、複数の加熱手段が、ガラス板の表面に向かって熱を輻射して、ガラス板が搬送される搬送方向の温度分布をガラス板に与える。複数の加熱手段は、搬送方向に沿って断熱部材を介して配置されている。加熱手段は、ガラス板の表面と対向する対向面を有する均熱板を有する。ロールは、均熱板とガラス板との間の間隔より大きい径を有する。均熱板は、対向面からガラス板の表面に向かって熱を輻射し、かつ、ロールと接触しない形状を有する。なお、ロールは、その中心軸の高さ位置が、搬送方向に沿って隣り合う２つの加熱手段の間となるように配置されることが好ましい。

本発明に係るガラス板製造装置は、成形部と、冷却部とを備える。成形部は、熔融ガラスを成形体からオーバーフローさせ、成形体の下端で熔融ガラスを融合させてガラス板を成形する。冷却部は、成形体の下方に配置される複数のロールによって、成形部で成形されたガラス板を下方に搬送しながら、ガラス板を冷却する。冷却部は、ガラス板を徐々に冷却する徐冷部を含む。徐冷部は、ガラス板が搬送される搬送方向に沿って断熱部材を介して配置されている複数の加熱手段を有する。加熱手段は、ガラス板の表面に向かって熱を輻射して、搬送方向の温度分布をガラス板に与える。ロールは、その中心軸の高さ位置が、搬送方向に沿って隣り合う２つの加熱手段の間となるように配置される。

本発明に係るガラス板製造方法、および、ガラス板製造装置は、ガラス板の搬送方向に沿って断熱部材を介して配置される複数の加熱手段、および、ガラス板の搬送方向に沿って隣り合う２つの加熱手段の間に配置されるロールによって、高品質のガラス板を製造することができる。

第１実施形態に係るガラス板製造方法のフローチャートである。第１実施形態に係るガラス板製造装置の模式図である。第１実施形態に係る成形装置の正面図である。第１実施形態に係る成形装置の側面図である。第１実施形態に係る成形装置の一部の模式図である。第１実施形態に係る成形装置の断面図である。第２実施形態に係る成形装置の正面図である。第２実施形態に係る成形装置の側面図である。第２実施形態に係る成形装置の一部の模式図である。第２実施形態に係る成形装置の断面図である。変形例Ａに係る成形装置の側面図である。変形例Ａに係る成形装置の一部の模式図である。変形例Ｂに係る成形装置の側面図である。変形例Ｂに係る成形装置の一部の模式図である。

―第１実施形態―
（１）ガラス板製造装置の構成
本発明に係るガラス板製造方法、および、ガラス板製造装置の第１実施形態について、図面を参照しながら説明する。図１は、本実施形態に係るガラス板製造方法の一例を示すフローチャートである。

図１に示されるように、本実施形態に係るガラス板製造方法は、主として、熔解工程Ｓ１と、清澄工程Ｓ２と、攪拌工程Ｓ３と、成形工程Ｓ４と、冷却工程Ｓ５と、切断工程Ｓ６とを含む。

熔解工程Ｓ１では、ガラス原料が加熱されて熔融ガラスが得られる。熔融ガラスは、熔解槽に貯留され、所望の温度を有するように通電加熱される。ガラス原料には、清澄剤が添加される。環境負荷低減の観点から、清澄剤として、ＳｎＯ₂が用いられる。

清澄工程Ｓ２では、熔解工程Ｓ１で得られた熔融ガラスが清澄管の内部を流れて熔融ガラスに含まれているガスが除去されることで、熔融ガラスが清澄される。最初に、清澄工程Ｓ２では、熔融ガラスの温度を上昇させる。熔融ガラスに添加されている清澄剤は、昇温により還元反応を起こして酸素を放出する。熔融ガラスに含まれるＣＯ₂、Ｎ₂、ＳＯ₂等のガス成分を含む泡は、清澄剤の還元反応によって生じた酸素を吸収する。酸素を吸収して成長した泡は、熔融ガラスの液面に浮上し、破泡して消滅する。消滅した泡に含まれていたガスは、清澄管の内部の気相空間に放出されて、外気に排出される。次に、清澄工程Ｓ２では、熔融ガラスの温度を低下させる。これにより、還元された清澄剤は、酸化反応を起こして、熔融ガラスに残存している酸素等のガス成分を吸収する。

攪拌工程Ｓ３では、清澄工程Ｓ２でガスが除去された熔融ガラスが攪拌されて、熔融ガラスの成分が均質化される。これにより、ガラス板の脈理等の原因である熔融ガラスの組成のムラが低減される。

成形工程Ｓ４では、オーバーフローダウンドロー法を用いて、攪拌工程Ｓ３で均質化された熔融ガラスからガラス板が連続的に成形される。

冷却工程Ｓ５では、成形工程Ｓ４で連続的に成形されたガラス板が冷却される。冷却工程Ｓ５は、ガラス板に歪みおよび反りが生じないように、ガラス板の温度を調節しながらガラス板を徐々に冷却する徐冷工程を含む。

切断工程Ｓ６では、冷却工程Ｓ５で冷却されたガラス板が所定の寸法に切断され、その後、切断されたガラス板の端面の研削および研磨、並びに、ガラス板の洗浄が行われる。さらに、ガラス板のキズ等の欠陥の有無が検査され、検査に合格したガラス板が梱包されて製品として出荷される。

図２は、本実施形態に係るガラス板製造装置１の一例を示す模式図である。ガラス板製造装置１は、熔解槽１０と、清澄管２０と、攪拌装置３０と、成形装置４０と、移送管５０ａ，５０ｂ，５０ｃとを備える。移送管５０ａは、熔解槽１０と清澄管２０とを接続する。移送管５０ｂは、清澄管２０と攪拌装置３０とを接続する。移送管５０ｃは、攪拌装置３０と成形装置４０とを接続する。

熔解工程Ｓ１において熔解槽１０で得られた熔融ガラス２は、移送管５０ａを通過して清澄管２０に流入する。清澄工程Ｓ２において清澄管２０で清澄された熔融ガラス２は、移送管５０ｂを通過して攪拌装置３０に流入する。攪拌工程Ｓ３において攪拌装置３０で攪拌された熔融ガラス２は、移送管５０ｃを通過して成形装置４０に流入する。成形工程Ｓ４では、成形装置４０によって熔融ガラス２からガラス板３が成形される。冷却工程Ｓ５では、ガラス板３が下方に搬送されながら冷却される。切断工程Ｓ６では、冷却されたガラス板３が所定の大きさに切断される。切断されたガラス板の幅は、例えば、５００ｍｍ〜３５００ｍｍであり、長さは、例えば、５００ｍｍ〜３５００ｍｍである。ガラス板の厚みは、例えば、０.２ｍｍ〜０.８ｍｍである。

ガラス板製造装置１によって製造されるガラス板は、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ等のフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）用のガラス板として特に適している。ＦＰＤ用のガラス板としては、無アルカリガラス、または、アルカリ微量含有ガラスが用いられる。ＦＰＤ用のガラス板は、高温時において高い粘性を有する。例えば、ＦＰＤ用のガラス板が成形される熔融ガラスは、１５００℃において、１０^2.5ｐｏｉｓｅの粘性を有する。

熔解槽１０では、ガラス原料が熔解されて、熔融ガラス２が得られる。ガラス原料は、所望の組成を有するガラス板を得ることができるように調製されている。ガラス板の組成の一例として、ＦＰＤ用のガラス板として好適な無アルカリガラスは、ＳｉＯ₂：５０質量％〜７０質量％、Ａｌ₂Ｏ₃：０質量％〜２５質量％、Ｂ₂Ｏ₃：１質量％〜１５質量％、ＭｇＯ：０質量％〜１０質量％、ＣａＯ：０質量％〜２０質量％、ＳｒＯ：０質量％〜２０質量％、ＢａＯ：０質量％〜１０質量％を含有する。ここで、ＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯおよびＢａＯの含有量の合計は、５質量％〜３０質量％である。

また、ＦＰＤ用のガラス板として、アルカリ金属を微量含むアルカリ微量含有ガラスを用いてもよい。アルカリ微量含有ガラスは、０．１質量％〜０．５質量％のＲ’₂Ｏを含み、好ましくは、０．２質量％〜０．５質量％のＲ’₂Ｏを含む。ここで、Ｒ’は、Ｌｉ、ＮａおよびＫから選択される少なくとも１種である。Ｒ’₂Ｏの含有量の合計は、０．１質量％未満であってもよい。

また、ガラス板製造装置１によって製造されるガラス板は、ＳｎＯ₂：０．０１質量％〜１質量％（好ましくは、０．０１質量％〜０．５質量％）、Ｆｅ₂Ｏ₃：０質量％〜０．２質量％（好ましくは、０．０１質量％〜０．０８質量％）をさらに含有してもよい。なお、ガラス板製造装置１によって製造されるガラス板は、環境負荷低減の観点から、Ａｓ₂Ｏ₃、Ｓｂ₂Ｏ₃およびＰｂＯを実質的に含有しない。

上記の組成を有するように調製されたガラス原料は、原料投入機（図示せず）を用いて熔解槽１０に投入される。原料投入機は、スクリューフィーダを用いてガラス原料の投入を行ってもよく、バケットを用いてガラス原料の投入を行ってもよい。熔解槽１０では、ガラス原料は、その組成等に応じた温度に加熱されて熔解される。熔解槽１０では、例えば、１５００℃〜１６００℃の高温の熔融ガラス２が得られる。熔解槽１０では、モリブデン、白金または酸化錫等で成形された少なくとも１対の電極間に電流を流すことで、電極間の熔融ガラス２が通電加熱されてもよく、また、通電加熱に加えてバーナーの火焔によってガラス原料が補助的に加熱されてもよい。

熔解槽１０で得られた熔融ガラス２は、熔解槽１０から移送管５０ａを通過して清澄管２０に流入する。清澄管２０および移送管５０ａ，５０ｂ，５０ｃは、白金製あるいは白金合金製の管である。清澄管２０には、熔解槽１０と同様に加熱手段が設けられている。清澄管２０では、熔融ガラス２がさらに昇温させられて清澄される。例えば、清澄管２０において、熔融ガラス２の温度は、１５００℃〜１７００℃に上昇させられる。

清澄管２０において清澄された熔融ガラス２は、清澄管２０から移送管５０ｂを通過して攪拌装置３０に流入する。熔融ガラス２は、移送管５０ｂを通過する際に冷却される。攪拌装置３０では、清澄管２０を通過する熔融ガラス２の温度よりも低い温度で、熔融ガラス２が攪拌される。例えば、攪拌装置３０において、熔融ガラス２の温度は、１２５０℃〜１４５０℃であり、熔融ガラス２の粘度は、５００ｐｏｉｓｅ〜１３００ｐｏｉｓｅである。熔融ガラス２は、攪拌装置３０において攪拌されて均質化される。

攪拌装置３０で均質化された熔融ガラス２は、攪拌装置３０から移送管５０ｃを通過して成形装置４０に流入する。熔融ガラス２は、移送管５０ｃを通過する際に、熔融ガラス２の成形に適した粘度を有するように冷却される。例えば、熔融ガラス２は、１２００℃付近まで冷却される。

成形装置４０では、オーバーフローダウンドロー法によって熔融ガラス２からガラス板３が成形される。次に、成形装置４０の詳細な構成および動作について説明する。

（２）成形装置の構成
図３は、成形装置４０の正面図である。図３は、成形装置４０で成形されるガラス板３の表面に垂直な方向に沿って見た成形装置４０を示す。図４は、成形装置４０の側面図である。図５は、成形装置４０の引下げロール８２ａ，８２ｂ，８２ｃの近傍の構造を示す立体的な模式図である。図６は、図３のＶＩ−ＶＩ線における断面図である。図６には、便宜的に、断熱部材８６ａの上方の均熱板９２ａの位置が示されている。

成形装置４０は、炉壁（図示せず）に囲まれた空間を有する。この空間は、熔融ガラス２からガラス板３が成形されて冷却される空間であり、オーバーフローチャンバー６０、フォーミングチャンバー７０および冷却チャンバー８０の３つの空間から構成される。

成形工程Ｓ４は、オーバーフローチャンバー６０で行われ、冷却工程Ｓ５は、フォーミングチャンバー７０および冷却チャンバー８０で行われる。オーバーフローチャンバー６０は、攪拌装置３０から移送管５０ｃを介して成形装置４０に供給された熔融ガラス２が、ガラス板３に成形される空間である。フォーミングチャンバー７０は、オーバーフローチャンバー６０の下方の空間であり、ガラス板３が、ガラスの徐冷点の近傍まで急冷される空間である。冷却チャンバー８０は、フォーミングチャンバー７０の下方の空間であり、ガラス板３が徐々に冷却される徐冷工程が行われる空間である。徐冷工程は、ガラスの徐冷点から、ガラスの歪点より２００℃低い温度までの温度範囲で行われることが好ましい。

成形装置４０は、主として、成形体６２と、上部仕切り部材６４と、冷却ロール７２と、温度調節ユニット７４と、下部仕切り部材７６と、引下げロール８２ａ，８２ｂ，・・・と、ヒータ８４ａ，８４ｂ，・・・と、断熱部材８６ａ，８６ｂ，・・・と、制御装置（図示せず）とから構成される。次に、成形装置４０の各構成要素について説明する。

（２−１）成形体
成形体６２は、オーバーフローチャンバー６０に設置される。成形体６２は、熔融ガラス２をオーバーフローさせてガラス板３を成形するために用いられる。図４に示されるように、成形体６２は、楔形に類似した五角形の断面形状を有する。成形体６２の断面形状の尖端は、成形体６２の下端６２ａに相当する。成形体６２は、耐火レンガ製である。

成形体６２の上端面には、成形体６２の長手方向に沿って、溝６２ｂが形成されている。成形体６２の長手方向の端部には、溝６２ｂと連通している移送管５０ｃが取り付けられている。溝６２ｂは、移送管５０ｃと連通している一方の端部から他方の端部に向かうに従って、徐々に浅くなるように形成されている。

攪拌装置３０から成形装置４０に送られてきた熔融ガラス２は、移送管５０ｃを介して、成形体６２の溝６２ｂに流し込まれる。成形体６２の溝６２ｂからオーバーフローした熔融ガラス２は、成形体６２の両側面を伝いながら流下し、成形体６２の下端６２ａの近傍において合流する。合流した熔融ガラス２は、重力により鉛直方向に落下して板状に成形される。これにより、成形体６２の下端６２ａの近傍において、ガラス板３が連続的に成形される。成形されたガラス板３は、オーバーフローチャンバー６０を流下した後、フォーミングチャンバー７０および冷却チャンバー８０において冷却されながら下方に搬送される。オーバーフローチャンバー６０で成形された直後のガラス板３の温度は１１００℃以上であり、粘度は２．５×１０⁵ｐｏｉｓｅ以上である。

（２−２）上部仕切り部材
上部仕切り部材６４は、成形体６２の下端６２ａの近傍に設置される一対の板状の断熱部材である。図４に示されるように、上部仕切り部材６４は、ガラス板３の厚み方向の両側に配置される。上部仕切り部材６４は、オーバーフローチャンバー６０とフォーミングチャンバー７０とを仕切り、オーバーフローチャンバー６０からフォーミングチャンバー７０への熱の移動を遮断する。

（２−３）冷却ロール
冷却ロール７２は、フォーミングチャンバー７０に設置される片持ちのロールである。冷却ロール７２は、上部仕切り部材６４の直下に設置される。図３に示されるように、冷却ロール７２は、ガラス板３の幅方向の両側部に配置される。図４に示されるように、冷却ロール７２は、ガラス板３の厚み方向の両側に配置される。冷却ロール７２は、オーバーフローチャンバー６０から送られてきたガラス板３を冷却する。

フォーミングチャンバー７０において、ガラス板３の幅方向の両側部は、２対の冷却ロール７２によってそれぞれ挟まれている。ガラス板３の両側部の表面に向かって冷却ロール７２が押し付けられることで、冷却ロール７２とガラス板３との接触面積が上がり、冷却ロール７２によるガラス板３の冷却が効率的に行われる。冷却ロール７２は、後述する引下げロール８２ａ，８２ｂ，・・・がガラス板３を下方に引っ張る力に対抗する力を、ガラス板３に与える。なお、冷却ロール７２の回転速度と、最も上方に配置される引下げロール８２ａの回転速度との差によって、ガラス板３の厚みが決定される。

冷却ロール７２は、内部に空冷管を有している。冷却ロール７２は、空冷管によって常に冷却されている。冷却ロール７２は、ガラス板３の幅方向の両側部を挟むことでガラス板３と接触する。これにより、ガラス板３から冷却ロール７２に熱が伝わるので、ガラス板３の幅方向の両側部が冷却される。冷却ロール７２と接触して冷却されたガラス板３の幅方向の両側部の粘度は、例えば、１０^9.0ｐｏｉｓｅ以上である。

（２−４）温度調節ユニット
温度調節ユニット７４は、フォーミングチャンバー７０に設置される。温度調節ユニット７４は、上部仕切り部材６４の下方であって、下部仕切り部材７６の上方に設置される。

フォーミングチャンバー７０では、ガラス板３の幅方向の中心部の温度が徐冷点近傍に低下するまでガラス板３が冷却される。温度調節ユニット７４は、フォーミングチャンバー７０で冷却されるガラス板３の温度を調節する。温度調節ユニット７４は、ガラス板３を加熱または冷却するユニットである。図３に示されるように、温度調節ユニット７４は、中心部冷却ユニット７４ａおよび側部冷却ユニット７４ｂから構成される。中心部冷却ユニット７４ａは、ガラス板３の幅方向の中心部の温度を調節する。側部冷却ユニット７４ｂは、ガラス板３の幅方向の両側部の温度を調節する。ここで、ガラス板３の幅方向の中心部は、ガラス板３の幅方向の両側部に挟まれた領域を意味する。

フォーミングチャンバー７０では、図３に示されるように、複数の中心部冷却ユニット７４ａおよび複数の側部冷却ユニット７４ｂが、それぞれ、ガラス板３が流下する方向である鉛直方向に沿って配置されている。中心部冷却ユニット７４ａは、ガラス板３の幅方向の中心部の表面に対向するように配置されている。側部冷却ユニット７４ｂは、ガラス板３の幅方向の両側部の表面に対向するように配置されている。

温度調節ユニット７４は、制御装置によって制御される。各中心部冷却ユニット７４ａおよび各側部冷却ユニット７４ｂは、制御装置によって独立して制御可能である。

（２−５）下部仕切り部材
下部仕切り部材７６は、温度調節ユニット７４の下方に設置される一対の板状の断熱部材である。図４に示されるように、下部仕切り部材７６は、ガラス板３の厚み方向の両側に設置される。下部仕切り部材７６は、フォーミングチャンバー７０と冷却チャンバー８０とを鉛直方向に仕切り、フォーミングチャンバー７０から冷却チャンバー８０への熱の移動を遮断する。

（２−６）引下げロール
引下げロール８２ａ，８２ｂ，・・・は、冷却チャンバー８０に設置される片持ちのロールである。引下げロール８２ａ，８２ｂ，・・・は、フォーミングチャンバー７０を通過したガラス板３を鉛直方向下方に引き下げる。すなわち、引下げロール８２ａ，８２ｂ，・・・は、ガラス板３を下方に搬送する。引下げロール８２ａ，８２ｂ，・・・は、冷却チャンバー８０において、ガラス板３が搬送される方向に沿って間隔を空けて配置されている。図３および図４には、７つの引下げロール８２ａ，８２ｂ，・・・，８２ｇが示されている。引下げロール８２ａは最も上方に配置され、引下げロール８２ｇは最も下方に配置されている。

引下げロール８２ａ，８２ｂ，・・・のそれぞれは、冷却ロール７２と同様に、２対のロールから構成される。例えば、引下げロール８２ａは、図３に示されるように、ガラス板３の幅方向の両側部に配置され、かつ、図４に示されるように、ガラス板３の厚み方向の両側に配置される。他の引下げロール８２ｂ，８２ｃ，・・・のそれぞれも同様に、ガラス板３の幅方向の両側部、および、ガラス板３の厚み方向の両側に配置される。すなわち、引下げロール８２ａ，８２ｂ，・・・が設置される鉛直方向の位置のそれぞれにおいて、ガラス板３の幅方向の両側部は、２対のロールによって挟まれている。

引下げロール８２ａ，８２ｂ，・・・は、モータ（図示せず）によって駆動される。引下げロール８２ａ，８２ｂ，・・・は、モータによって、ガラス板３が鉛直方向下方に搬送されるように回転駆動する。具体的には、図４において、ガラス板３の左側に示される引下げロール８２ａ，８２ｂ，・・・は、時計回りに回転し、ガラス板３の右側に示される引下げロール８２ａ，８２ｂ，・・・は、反時計回りに回転する。

（２−７）ヒータ
ヒータ８４ａ，８４ｂ，・・・は、冷却チャンバー８０に設置される。図３および図４に示されるように、冷却チャンバー８０では、複数のヒータ８４ａ，８４ｂ，・・・が、ガラス板３の搬送方向に沿って、ガラス板３の両側に配置されている。図３および図４には、７つのヒータ８４ａ，８４ｂ，・・・，８４ｇが示されている。ヒータ８４ａは最も上方に配置され、ヒータ８４ｇは最も下方に配置されている。

ヒータ８４ａ，８４ｂ，・・・は、ガラス板３の両側の表面に向かって熱を輻射してガラス板３を加熱する。ヒータ８４ａ，８４ｂ，・・・を用いることで、冷却チャンバー８０において下方に搬送されるガラス板３の温度を調節することができる。これにより、ヒータ８４ａ，８４ｂ，・・・は、ガラス板３の搬送方向において所定の温度分布をガラス板３に形成することができる。また、ヒータ８４ａ，８４ｂ，・・・は、ガラス板３の幅方向において所定の温度分布をガラス板３に形成することができる。

図４に示されるように、ヒータ８４ａ，８４ｂ，・・・のそれぞれは、熱源９１ａ，９１ｂ，・・・と、均熱板９２ａ，９２ｂ，・・・とから構成される。例えば、ヒータ８４ａは、熱源９１ａおよび均熱板９２ａから構成される。均熱板９２ａは、熱源９１ａとガラス板３との間に位置している。他のヒータ８４ｂ，８４ｃ，・・・に関しても同様である。

熱源９１ａ，９１ｂ，・・・は、ヒータ８４ａ，８４ｂ，・・・からガラス板３に輻射される熱の供給源である。熱源９１ａ，９１ｂ，・・・として、例えば、クロム系発熱線等の電熱線が用いられる。各熱源９１ａ，９１ｂ，・・・の出力は、制御装置によって独立して制御可能である。熱源９１ａ，９１ｂ，・・・のそれぞれは、ガラス板３の幅方向に沿って設置されている複数のヒータユニット（図示せず）から構成されている。各ヒータユニットの出力も、制御装置によって独立して制御可能である。そのため、各熱源９１ａ，９１ｂ，・・・は、ガラス板３の幅方向の位置に応じて発熱量を変化させることができる。

熱源９１ａ，９１ｂ，・・・として電熱線が用いられる場合、熱源９１ａ，９１ｂ，・・・は、電熱線の密度に応じて、局所的に不均一な温度分布を形成する場合がある。例えば、熱源９１ａ，９１ｂ，・・・が、上述の複数のヒータユニットから構成されている場合、隣接する２つのヒータユニット間の領域は、周囲の領域と比べて、温度が局所的に低い領域となる。均熱板９２ａ，９２ｂ，・・・は、熱源９１ａ，９１ｂ，・・・に形成されるこのような不均一な温度分布が、ガラス板３の表面にも形成されることを抑えることができる。

均熱板９２ａ，９２ｂ，・・・は、ガラス板３の表面と対向する対向面を有するように設置される板である。各均熱板９２ａ，９２ｂ，・・・は、１枚の金属板から構成される。均熱板９２ａ，９２ｂ，・・・は、熱源９１ａ，９１ｂ，・・・から輻射される熱を受け、均熱板９２ａ，９２ｂ，・・・の表面全体に拡散させる。これにより、均熱板９２ａ，９２ｂ，・・・の対向面は、ガラス板３の幅方向に沿って滑らかな温度分布を有することができる。また、均熱板９２ａ，９２ｂ，・・・は、その対向面から、ガラス板３の表面に向かって熱を輻射する。その結果、各ヒータ８４ａ，８４ｂ，・・・は、ガラス板３の幅方向に沿って、滑らかな温度分布をガラス板３に形成することができる。そして、冷却チャンバー８０において、ガラス板３は、ヒータ８４ａ，８４ｂ，・・・によって幅方向に所定の温度分布を有しながら冷却されることで、粘性域から粘弾性域を経て弾性域へと推移する。このように、冷却チャンバー８０では、ガラス板３の幅方向の中心部の温度が、徐冷点近傍から、歪点より２００℃低い温度近傍まで徐々に冷却される。

また、均熱板９２ａ，９２ｂ，・・・は、熱源９１ａ，９１ｂ，・・・とガラス板３との間に配置されるので、熱源９１ａ，９１ｂ，・・・を保護することができる。例えば、冷却チャンバー８０において下方に搬送されるガラス板３が破損した場合において、均熱板９２ａ，９２ｂ，・・・は、割れたガラス板３によって熱源９１ａ，９１ｂ，・・・が損傷することを抑えることができる。

また、均熱板９２ａ，９２ｂ，・・・は、冷却チャンバー８０と、成形装置４０の外部の空間とを仕切る隔壁として機能する。すなわち、均熱板９２ａ，９２ｂ，・・・は、冷却チャンバー８０の気密性を高くすることができる。

均熱板９２ａ，９２ｂ，・・・は、例えば、ステンレス金属板が好ましい。ガラス板３の幅方向に沿って滑らかな温度分布を形成する観点からは、均熱板９２ａ，９２ｂ，・・・の熱伝導率は、１０Ｗ/（ｍ・Ｋ）以上であることが好ましい。均熱板９２ａ，９２ｂ，・・・の板厚は、例えば、熱伝導率が１６Ｗ/（ｍ・Ｋ）のステンレス鋼の場合は、１．５ｍｍ〜８．０ｍｍである。しかし、重量を考慮すると、ステンレス鋼の均熱板９２ａ，９２ｂ，・・・の板厚は、２．０ｍｍ〜４．０ｍｍであることがより好ましい。また、均熱板９２ａ，９２ｂ，・・・は、その表面からの熱の輻射率を向上させるために、セラミック塗料を塗布してセラミック層が形成されてもよく、表面に酸化被膜が形成されてもよい。ガラス板３の表面に塵等の異物が付着することを抑制する観点からは、膜厚１μｍ程度の不動態被膜（スーパーブラック処理膜）が均熱板９２ａ，９２ｂ，・・・の表面に形成されることが好ましい。

また、均熱板９２ａ，９２ｂ，・・・の表面は、拡散反射面であってもよい。拡散反射面は、ざらざらした表面を有する光の反射面であり、入射光が特定の一方向のみに向かって反射せず、入射光が種種の角度の方向に向かって反射する面である。拡散反射面は、均熱板９２ａ，９２ｂ，・・・に対向するガラス板３の表面に、より均一な熱および温度分布を与えたい場合に特に好適である。均熱板９２ａ，９２ｂ，・・・の表面が鏡面反射面である場合、ガラス板３の表面から輻射された熱が均熱板９２ａ，９２ｂ，・・・の表面で反射して、ガラス板３の表面に再び輻射されるので、ガラス板３の幅方向の温度分布が局所的に悪化するおそれがある。

なお、それぞれのヒータ８４ａ，８４ｂ，・・・の近傍には、冷却チャンバー８０の雰囲気の温度を測定する熱電対（図示せず）が設置されている。熱電対は、ガラス板３の幅方向の中心部近傍の雰囲気温度と、両側部近傍の雰囲気温度とを測定する。ヒータ８４ａ，８４ｂ，・・・は、熱電対によって測定される冷却チャンバー８０の雰囲気の温度に基づいて制御されてもよい。

（２−８）断熱部材
断熱部材８６ａ，８６ｂ，・・・は、ガラス板３の搬送方向に沿って隣り合う２つのヒータ８４ａ，８４ｂ，・・・の間に設置される断熱板である。断熱部材８６ａ，８６ｂ，・・・は、均熱板９２ａ，９２ｂ，・・・と隣接するように設置されている。例えば、図４に示されるように、断熱部材８６ａは、ヒータ８４ａの均熱板９２ａと、ヒータ８４ｂの均熱板９２ｂとの間に設置され、かつ、これらの２つの均熱板９２ａ，９２ｂに挟まれるように設置されている。すなわち、ガラス板３の搬送方向に沿って、均熱板９２ａ，９２ｂ，・・・は、断熱部材８６ａ，８６ｂ，・・・を介して隙間なく配置されている。図３および図４には、７つの断熱部材８６ａ，８６ｂ，・・・，８６ｇが示されている。断熱部材８６ａは最も上方に配置され、断熱部材８６ｇは最も下方に配置されている。

断熱部材８６ａ，８６ｂ，・・・は、ガラス板３の搬送方向に沿って隣り合う２つのヒータ８４ａ，８４ｂ，・・・の間における熱の移動を抑制する。例えば、断熱部材８６ａは、ヒータ８４ａとヒータ８４ｂとの間の熱の移動を抑制する。

図４および図５に示されるように、引下げロール８２ａ，８２ｂ，・・・は、均熱板９２ａ，９２ｂ，・・・とガラス板３との間の空間に配置される。また、引下げロール８２ａ，８２ｂ，・・・は、その中心軸の高さ位置が、ガラス板３の搬送方向に沿って隣り合う２つの均熱板９２ａ，９２ｂ，・・・の間になるように、配置されている。すなわち、引下げロール８２ａ，８２ｂ，・・・の中心軸の高さ位置は、ガラス板３の搬送方向において断熱部材８６ａ，８６ｂ，・・・が占める範囲内にある。例えば、図４において、引下げロール８２ａの中心軸の高さ位置は、断熱部材８６ａの上面の高さ位置と、断熱部材８６ａの下面の高さ位置との間にある。言い換えると、引下げロール８２ａは、断熱部材８６ａとガラス板３との間に位置している。

また、図５および図６に示されるように、断熱部材８６ａ，８６ｂ，・・・は、ガラス板３の幅方向における両側部を除いて、ガラス板３の表面に向かって突出している形状を有している。次に、断熱部材８６ａを例にして、断熱部材８６ａ，８６ｂ，・・・の形状について具体的に説明する。断熱部材８６ａとガラス板３との間には、引下げロール８２ａが設置されている。引下げロール８２ａは、ガラス板３の幅方向の両側部とそれぞれ接触する。そのため、図６に示されるように、断熱部材８６ａは、引下げロール８２ａと接触しないように、引下げロール８２ａの近傍にある一対の角部が欠けている形状を有している。また、断熱部材８６ａは、角部以外の部分では、ガラス板３の表面に可能な限り接近するように、ガラス板３に向かって突出している形状を有している。すなわち、断熱部材８６ａは、ガラス板３および引下げロール８２ａと接触しない形状であって、断熱部材８６ａの上方の空間と断熱部材８６ａの下方の空間との間の熱の移動が可能な限り抑制されるような形状を有している。また、断熱部材８６ａは、ガラス板３の表面に可能な限り接近するように配置されることで、冷却チャンバー８０で発生する鉛直方向の気流を抑えることができる。冷却チャンバー８０では、鉛直方向における雰囲気の温度差に起因して、上昇気流が発生する場合がある。

（２−９）制御装置
制御装置は、主として、ＣＰＵ、ＲＡＭ、ＲＯＭおよびハードディスク等から構成される。制御装置は、冷却ロール７２、温度調節ユニット７４、引下げロール８２ａ，８２ｂ，・・・およびヒータ８４ａ，８４ｂ，・・・等と接続されている。制御装置は、成形装置４０が備えるこれらの構成要素を制御することができる。具体的には、制御装置は、冷却ロール７２および引下げロール８２ａ，８２ｂ，・・・の回転速度、温度調節ユニット７４の出力、および、ヒータ８４ａ，８４ｂ，・・・の熱源９１ａ，９１ｂ，・・・の出力を制御することができる。

（３）成形装置の動作
オーバーフローチャンバー６０において、攪拌装置３０から移送管５０ｃを介して成形装置４０に送られてきた熔融ガラス２は、成形体６２の上面に形成される溝６２ｂに供給される。成形体６２の溝６２ｂからオーバーフローした熔融ガラス２は、成形体６２の両側面を伝って流下して、成形体６２の下端６２ａの近傍で合流する。合流した熔融ガラス２は、板状に成形される。これにより、成形体６２の下端６２ａの近傍において、ガラス板３が連続的に成形される。成形されたガラス板３は、流下して、フォーミングチャンバー７０に送られる。

フォーミングチャンバー７０において、ガラス板３の幅方向の両側部は、冷却ロール７２と接触して急冷される。また、温度調節ユニット７４によって、ガラス板３の幅方向の中心部の温度が徐冷点に低下するまで、ガラス板３の温度が調節される。冷却ロール７２によって下方に搬送されながら冷却されたガラス板３は、冷却チャンバー８０に送られる。

冷却チャンバー８０において、ガラス板３は、複数の引下げロール８２ａ，８２ｂ，・・・によって引き下げられながら徐々に冷却される。ガラス板３の温度は、ガラス板３の幅方向に沿って所定の温度分布が形成されるように、ヒータ８４ａ，８４ｂ，・・・によって制御される。冷却チャンバー８０において、ガラス板３の温度は、徐冷点近傍から、歪点より２００℃低い温度まで徐々に低下する。冷却チャンバー８０を通過してさらに室温近傍まで冷却されたガラス板３は、所定の寸法に切断され、端面の研磨および洗浄等が行われる。その後、所定の検査に合格したガラス板３が梱包されて製品として出荷される。

（４）特徴
（４−１）
本実施形態に係るガラス板製造装置１は、成形装置４０を用いて、オーバーフローダウンドロー法によって熔融ガラス２からガラス板３を成形する。成形装置４０では、最初に、成形体６２の下端６２ａの近傍で成形されたガラス板３が、冷却ロール７２によって下方に搬送されながら、ガラスの徐冷点近傍まで急冷される。次に、急冷されたガラス板３が、引下げロール８２ａ，８２ｂ，・・・によってさらに下方に搬送されながら徐々に冷却される。

冷却チャンバー８０では、ヒータ８４ａ，８４ｂ，・・・からの輻射熱を受けてガラス板３の温度が調節されながら、ガラス板３が徐々に冷却される。ヒータ８４ａ，８４ｂ，・・・は、ガラス板３の表面に対向しガラス板３の表面に向かって熱を輻射する均熱板９２ａ，９２ｂ，・・・を有する。均熱板９２ａ，９２ｂ，・・・は、図４に示されるように、ガラス板３の搬送方向に沿って、断熱部材８６ａ，８６ｂ，・・・を介して連続的に配置されている。そのため、冷却チャンバー８０では、各ヒータ８４ａ，８４ｂ，・・・の出力を調節することで、ガラス板３の搬送方向に沿って所定の温度分布をガラス板３に形成することができる。これにより、ガラス板３の搬送方向におけるガラス板３の冷却速度を高い精度で調節することができる。ガラス板３の搬送方向の冷却速度は、ガラス板３の熱収縮率に影響を与える。従って、冷却チャンバー８０において各ヒータ８４ａ，８４ｂ，・・・の出力を調節することで、好適な熱収縮率を有するガラス板３を製造することができる。

特に、本実施形態に係るガラス板製造装置１は、６７５℃以上の歪点を有するガラスを用いて、高精細、高解像度ディスプレイ用途に好適なガラス板を製造することができる。このようなガラス板は、熱収縮率が小さく、微小な凹凸および微小なうねりが少なく、かつ、板厚ムラが少ないことが好ましい。ガラス板製造装置１は、歪点付近におけるガラス板の温度維持を高い精度で行うことができるので、４Ｋ２Ｋディスプレイおよび８Ｋ４Ｋディスプレイのような高精細、高解像度ディスプレイの製造に好適なガラス板を製造することができる。

従って、ガラス板製造装置１は、ガラス板３の搬送方向に沿って配置される複数のヒータ８４ａ，８４ｂ，・・・によって、高品質のガラス板３を製造することができる。

（４−２）
成形装置４０の冷却チャンバー８０では、図４に示されるように、ガラス板３を下方に搬送する引下げロール８２ａ，８２ｂ，・・・は、ヒータ８４ａ，８４ｂ，・・・とガラス板３との間に配置されている。引下げロール８２ａ，８２ｂ，・・・の中心軸の高さ位置は、ガラス板３の搬送方向に沿って隣り合う２つのヒータ８４ａ，８４ｂ，・・・の間にある。より具体的には、引下げロール８２ａ，８２ｂ，・・・の中心軸は、ガラス板３の搬送方向に沿って隣り合う２つの均熱板９２ａ，９２ｂ，・・・の間にある。これにより、均熱板９２ａ，９２ｂ，・・・からガラス板３に向かって輻射される熱であって、引下げロール８２ａ，８２ｂ，・・・によって遮られる熱の量が抑えられる。

例えば、引下げロール８２ａの径が、均熱板９２ａの鉛直方向の寸法より小さく、かつ、引下げロール８２ａの中心軸の高さ位置が、均熱板９２ａの鉛直方向の中心部にあると仮定した場合、引下げロール８２ａは、均熱板９２ａと対向する面において、均熱板９２ａからガラス板３に向かって輻射される熱を受ける。そのため、均熱板９２ａから輻射される熱は、引下げロール８２ａによって遮られてガラス板３に伝わりにくくなる。その結果、ヒータ８４ａを用いて、ヒータ８４ａと対向するガラス板３の表面の温度を調節することが難しくなる。

一方、本実施形態の成形装置４０では、均熱板９２ａ，９２ｂ，・・・の表面からガラス板３の表面に向かって輻射されて引下げロール８２ａ，８２ｂ，・・・によって遮られる熱の量が、最大限に抑えられる。これにより、均熱板９２ａ，９２ｂ，・・・から輻射される熱がガラス板３に直接的に伝わるため、ヒータ８４ａ，８４ｂ，・・・と対向するガラス板３の表面の温度を高い精度で調節することができる。

また、各ヒータ８４ａ，８４ｂ，・・・が、ガラス板３の幅方向に沿って配置される複数のヒータユニットから構成されている場合、各ヒータユニットの出力を個別に制御することで、ガラス板３の幅方向に沿って所定の温度分布をガラス板３に形成することができる。複数の異なる幅方向の温度分布に基づいてガラス板３の温度を制御しながらガラス板３を徐々に冷却することで、ガラス板３の反りおよび歪みを低減することができる。

従って、ガラス板製造装置１は、ガラス板３の搬送方向に沿って隣り合う２つの均熱板９２ａ，９２ｂ，・・・の間に配置される引下げロール８２ａ，８２ｂ，・・・によって、高品質のガラス板３を製造することができる。

（４−３）
成形体６２の下端６２ａの近傍で成形された直後のガラス板３では、ガラス板３の幅方向の中心部の温度が、両端部の温度よりも高い。また、フォーミングチャンバー７０において、ガラス板３の幅方向の両側部は、冷却ロール７２と接触して急冷される。そのため、冷却チャンバー８０に到達した直後においても、ガラス板３の幅方向の中心部の温度は、通常、ガラス板３の幅方向の両端部の温度よりも高い。

本実施形態では、冷却チャンバー８０において、ガラス板３の幅方向の中心部の冷却速度を、両端部の冷却速度よりも大きくすることで、ガラスの歪点近傍においてガラス板３の幅方向の温度分布が均一になるように、ガラス板３を冷却することができる。これにより、冷却チャンバー８０において、ガラス板３の幅方向の中心部に常に引張り応力がかかるようにガラス板３が冷却される。ガラス板３の反りを低減するためには、冷却チャンバー８０において、ガラス板３の幅方向の中心部に常に引張り応力がかかるように、ガラス板３が冷却されることが好ましい。なぜなら、ガラス板３の幅方向の中心部に圧縮応力がかかると、ガラス板３に幅方向の反りが生じるからである。従って、ガラスの歪点近傍においてガラス板３の幅方向の温度分布が均一になるようにガラス板３を冷却することで、冷却されたガラス板３に残留する応力を低減して、ガラス板３の反りを抑えることができる。

（４−４）
成形装置４０の冷却チャンバー８０では、ヒータ８４ａ，８４ｂ，・・・の熱源９１ａ，９１ｂ，・・・と、ガラス板３との間に、ガラス板３の表面と対向する対向面を有する均熱板９２ａ，９２ｂ，・・・が設置されている。均熱板９２ａ，９２ｂ，・・・は、熱源９１ａ，９１ｂ，・・・から輻射される熱を受けて、均熱板９２ａ，９２ｂ，・・・の表面全体に拡散させる。これにより、均熱板９２ａ，９２ｂ，・・・は、ガラス板３の幅方向に沿って滑らかな温度分布を有することができる。そして、均熱板９２ａ，９２ｂ，・・・は、ガラス板３に向かって熱を輻射することで、ガラス板３の幅方向に沿って、ガラス板３に滑らかな温度分布を形成することができる。従って、冷却チャンバー８０に均熱板９２ａ，９２ｂ，・・・を設置することで、ガラス板３の幅方向の温度分布を高い精度で制御することができる。
―第２実施形態―
（１）成形装置の構成
本発明に係るガラス板製造方法、および、ガラス板製造装置の第２実施形態について、図面を参照しながら説明する。本実施形態に係るガラス板製造装置は、成形装置を除いて、第１実施形態に係るガラス板製造装置１と同じ構成を有している。そのため、本実施形態に係るガラス板製造装置の全体構成および動作に関する説明を省略して、第１実施形態に係る成形装置４０と、本実施形態に係る成形装置１４０との相違点を中心に説明する。

図７は、成形装置１４０の正面図である。図７は、成形装置１４０で成形されるガラス板３の表面に垂直な方向に沿って見た成形装置１４０を示す。図８は、成形装置１４０の側面図である。図９は、成形装置１４０の引下げロール１８２ａ，１８２ｂ，１８２ｃの近傍の構造を示す立体的な模式図である。図１０は、図７のＸ−Ｘ線における断面図である。図１０には、便宜的に、断熱部材１８６ａの上方の均熱板１９２ａの位置が示されている。

成形装置１４０は、第１実施形態に係る成形装置４０と同様に、オーバーフローチャンバー１６０、フォーミングチャンバー１７０および冷却チャンバー１８０の３つの空間を内部に有している。成形装置１４０は、主として、成形体１６２と、上部仕切り部材１６４と、冷却ロール１７２と、温度調節ユニット１７４と、下部仕切り部材１７６と、引下げロール１８２ａ，１８２ｂ，・・・と、ヒータ１８４ａ，１８４ｂ，・・・と、断熱部材１８６ａ，１８６ｂ，・・・と、制御装置（図示せず）とから構成される。成形体１６２、上部仕切り部材１６４、冷却ロール１７２、温度調節ユニット１７４、下部仕切り部材１７６および制御装置は、それぞれ、第１実施形態の成形体６２、上部仕切り部材６４、冷却ロール７２、温度調節ユニット７４、下部仕切り部材７６および制御装置と同じであるので、これらに関する説明を省略する。次に、引下げロール１８２ａ，１８２ｂ，・・・、ヒータ１８４ａ，１８４ｂ，・・・および断熱部材１８６ａ，１８６ｂ，・・・について説明する。

（１−１）引下げロール
引下げロール１８２ａ，１８２ｂ，・・・は、冷却チャンバー１８０に設置される片持ちのロールである。引下げロール１８２ａ，１８２ｂ，・・・は、フォーミングチャンバー１７０を通過したガラス板３を鉛直方向下方に引き下げる。すなわち、引下げロール１８２ａ，１８２ｂ，・・・は、ガラス板３を下方に搬送する。引下げロール１８２ａ，１８２ｂ，・・・は、冷却チャンバー１８０において、ガラス板３が搬送される方向に沿って間隔を空けて配置されている。図７および図８には、７つの引下げロール１８２ａ，１８２ｂ，・・・，１８２ｇが示されている。引下げロール１８２ａは最も上方に配置され、引下げロール１８２ｇは最も下方に配置されている。

引下げロール１８２ａ，１８２ｂ，・・・のそれぞれは、冷却ロール１７２と同様に、２対のロールから構成される。例えば、引下げロール１８２ａは、図７に示されるように、ガラス板３の幅方向の両側部に配置され、かつ、図８に示されるように、ガラス板３の厚み方向の両側に配置される。他の引下げロール１８２ｂ，１８２ｃ，・・・のそれぞれも同様に、ガラス板３の幅方向の両側部、および、ガラス板３の厚み方向の両側に配置される。すなわち、引下げロール１８２ａ，１８２ｂ，・・・が設置される鉛直方向の位置のそれぞれにおいて、ガラス板３の幅方向の両側部は、２対のロールによって挟まれている。

引下げロール１８２ａ，１８２ｂ，・・・は、モータ（図示せず）によって駆動される。引下げロール１８２ａ，１８２ｂ，・・・は、モータによって、ガラス板３が鉛直方向下方に搬送されるように回転駆動する。具体的には、図８において、ガラス板３の左側に示される引下げロール１８２ａ，１８２ｂ，・・・は、時計回りに回転し、ガラス板３の右側に示される引下げロール１８２ａ，１８２ｂ，・・・は、反時計回りに回転する。

（１−２）ヒータ
ヒータ１８４ａ，１８４ｂ，・・・は、冷却チャンバー１８０に設置される。図７および図８に示されるように、冷却チャンバー１８０では、複数のヒータ１８４ａ，１８４ｂ，・・・が、ガラス板３の搬送方向に沿って、ガラス板３の両側に配置されている。図７および図８には、７つのヒータ１８４ａ，１８４ｂ，・・・，１８４ｇが示されている。ヒータ１８４ａは最も上方に配置され、ヒータ１８４ｇは最も下方に配置されている。

ヒータ１８４ａ，１８４ｂ，・・・は、ガラス板３の両側の表面に向かって熱を輻射してガラス板３を加熱する。ヒータ１８４ａ，１８４ｂ，・・・を用いることで、冷却チャンバー１８０において下方に搬送されるガラス板３の温度を調節することができる。これにより、ヒータ１８４ａ，１８４ｂ，・・・は、ガラス板３の搬送方向において所定の温度分布をガラス板３に形成することができる。また、ヒータ１８４ａ，１８４ｂ，・・・は、ガラス板３の幅方向において所定の温度分布をガラス板３に形成することができる。

図８に示されるように、ヒータ１８４ａ，１８４ｂ，・・・のそれぞれは、熱源１９１ａ，１９１ｂ，・・・と、均熱板１９２ａ，１９２ｂ，・・・とから構成される。例えば、ヒータ１８４ａは、熱源１９１ａおよび均熱板１９２ａから構成される。均熱板１９２ａは、熱源１９１ａとガラス板３との間に位置している。他のヒータ１８４ｂ，１８４ｃ，・・・に関しても同様である。

熱源１９１ａ，１９１ｂ，・・・は、ヒータ１８４ａ，１８４ｂ，・・・からガラス板３に輻射される熱の供給源である。熱源１９１ａ，１９１ｂ，・・・として、例えば、クロム系発熱線が用いられる。各熱源１９１ａ，１９１ｂ，・・・の出力は、制御装置によって独立して制御可能である。熱源１９１ａ，１９１ｂ，・・・のそれぞれは、ガラス板３の幅方向に沿って設置されている複数のヒータユニット（図示せず）から構成されている。各ヒータユニットの出力も、制御装置によって独立して制御可能である。そのため、各熱源１９１ａ，１９１ｂ，・・・は、ガラス板３の幅方向の位置に応じて発熱量を変化させることができる。

均熱板１９２ａ，１９２ｂ，・・・は、ガラス板３の表面と対向する対向面を有するように設置される板である。各均熱板１９２ａ，１９２ｂ，・・・は、１枚の金属板から構成される。均熱板１９２ａ，１９２ｂ，・・・は、熱源１９１ａ，１９１ｂ，・・・から輻射される熱を受け、均熱板１９２ａ，１９２ｂ，・・・の表面全体に拡散させる。これにより、均熱板１９２ａ，１９２ｂ，・・・の対向面は、ガラス板３の幅方向に沿って滑らかな温度分布を有することができる。また、均熱板１９２ａ，１９２ｂ，・・・は、その対向面から、ガラス板３の表面に向かって熱を輻射する。その結果、各ヒータ１８４ａ，１８４ｂ，・・・は、ガラス板３の幅方向に沿って、滑らかな温度分布をガラス板３に形成することができる。そして、冷却チャンバー１８０において、ガラス板３は、ヒータ１８４ａ，１８４ｂ，・・・によって幅方向に所定の温度分布を有しながら冷却されることで、粘性域から粘弾性域を経て弾性域へと推移する。このように、冷却チャンバー１８０では、ガラス板３の幅方向の中心部の温度が、徐冷点近傍から、歪点より２００℃低い温度近傍まで徐々に冷却される。

なお、それぞれのヒータ１８４ａ，１８４ｂ，・・・の近傍には、冷却チャンバー１８０の雰囲気の温度を測定する熱電対（図示せず）が設置されている。熱電対は、ガラス板３の幅方向の中心部近傍の雰囲気温度と、両側部近傍の雰囲気温度とを測定する。ヒータ１８４ａ，１８４ｂ，・・・は、熱電対によって測定される冷却チャンバー１８０の雰囲気の温度に基づいて制御されてもよい。

本実施形態では、図８〜図１０に示されるように、引下げロール１８２ａ，１８２ｂ，・・・の径は、均熱板１９２ａ，１９２ｂ，・・・の対向面とガラス板３の表面との間の距離よりも大きい。ここで、引下げロール１８２ａ，１８２ｂ，・・・の径は、ガラス板３と接触する円筒部の径を意味する。図８に示されるように、引下げロール１８２ａ，１８２ｂ，・・・の一部は、均熱板１９２ａ，１９２ｂ，・・・の対向面よりも、ガラス板３の表面からより離れた位置にある。そのため、均熱板１９２ａ，１９２ｂ，・・・は、引下げロール１８２ａ，１８２ｂ，・・・と接触しないような形状を有している。図９を参照しながら具体的に説明すると、均熱板１９２ａは、引下げロール１８２ａの近傍にある角部が欠けている形状を有し、均熱板１９２ｂは、２つの引下げロール１８２ａ，１８２ｂのそれぞれの近傍にある角部が欠けている形状を有している。

（１−３）断熱部材
断熱部材１８６ａ，１８６ｂ，・・・は、ガラス板３の搬送方向に沿って隣り合う２つのヒータ１８４ａ，１８４ｂ，・・・の間に設置される断熱板である。断熱部材１８６ａ，１８６ｂ，・・・は、均熱板１９２ａ，１９２ｂ，・・・と隣接するように設置されている。例えば、図８に示されるように、断熱部材１８６ａは、ヒータ１８４ａの均熱板１９２ａと、ヒータ１８４ｂの均熱板１９２ｂとの間に設置され、かつ、これらの２つの均熱板１９２ａ，１９２ｂに挟まれるように設置されている。すなわち、図９に示されるように、ガラス板３の搬送方向に沿って、均熱板１９２ａ，１９２ｂ，・・・は、断熱部材１８６ａ，１８６ｂ，・・・を介して隙間なく配置されている。図７および図８には、７つの断熱部材１８６ａ，１８６ｂ，・・・，１８６ｇが示されている。断熱部材１８６ａは最も上方に配置され、断熱部材１８６ｇは最も下方に配置されている。

断熱部材１８６ａ，１８６ｂ，・・・は、ガラス板３の搬送方向に沿って隣り合う２つのヒータ１８４ａ，１８４ｂ，・・・の間における熱の移動を抑制する。例えば、断熱部材１８６ａは、ヒータ１８４ａとヒータ１８４ｂとの間の熱の移動を抑制する。

また、図８に示されるように、引下げロール１８２ａ，１８２ｂ，・・・は、その中心軸の高さ位置が、ガラス板３の搬送方向に沿って隣り合う２つの均熱板１９２ａ，１９２ｂ，・・・の間になるように、配置されている。すなわち、引下げロール１８２ａ，１８２ｂ，・・・の中心軸の高さ位置は、ガラス板３の搬送方向において断熱部材１８６ａ，１８６ｂ，・・・が占める範囲内にある。例えば、図８において、引下げロール１８２ａの中心軸は、断熱部材１８６ａの上面の高さ位置と、断熱部材１８６ａの下面の高さ位置との間にある。言い換えると、引下げロール１８２ａは、断熱部材１８６ａとガラス板３との間に位置している。

また、図９および図１０に示されるように、断熱部材１８６ａ，１８６ｂ，・・・は、ガラス板３の幅方向における両側部を除いて、ガラス板３の表面に向かって突出している形状を有している。次に、断熱部材１８６ａを例にして、断熱部材１８６ａ，１８６ｂ，・・・の形状について具体的に説明する。断熱部材１８６ａとガラス板３との間には、引下げロール１８２ａが設置されている。引下げロール１８２ａは、ガラス板３の幅方向の両側部とそれぞれ接触する。そのため、図１０に示されるように、断熱部材１８６ａは、引下げロール１８２ａと接触しないように、引下げロール１８２ａの近傍にある一対の角部が欠けている形状を有している。また、断熱部材１８６ａは、角部以外の部分では、ガラス板３の表面に可能な限り接近するように、ガラス板３に向かって突出した形状を有している。すなわち、断熱部材１８６ａは、ガラス板３および引下げロール１８２ａと接触しない形状であって、断熱部材１８６ａの上方の空間と断熱部材１８６ａの下方の空間との間の熱の移動が可能な限り抑制されるような形状を有している。

（２）特徴
本実施形態に係るガラス板製造装置では、冷却チャンバー１８０において、引下げロール１８２ａ，１８２ｂ，・・・は、均熱板１９２ａ，１９２ｂ，・・・の対向面とガラス板３の表面との間の距離より大きい径を有し、かつ、均熱板１９２ａ，１９２ｂ，・・・は、引下げロール１８２ａ，１８２ｂ，・・・と接触しないような形状を有している。

引下げロール１８２ａ，１８２ｂ，・・・の径は、均熱板１９２ａ，１９２ｂ，・・・の対向面とガラス板３の表面との間の距離より大きくてもよいので、均熱板１９２ａ，１９２ｂ，・・・とガラス板３との間の距離を小さくすることができる。均熱板１９２ａ，１９２ｂ，・・・とガラス板３との間の距離が小さいほど、均熱板１９２ａ，１９２ｂ，・・・は、ガラス板３により直接的に熱を与えて、ガラス板３の表面に幅方向の温度分布を形成する。均熱板１９２ａ，１９２ｂ，・・・から輻射された熱のエネルギー分布は、均熱板１９２ａ，１９２ｂ，・・・とガラス板３との間の空間を伝わる過程で、徐々に均一化される。そのため、均熱板１９２ａ，１９２ｂ，・・・とガラス板３との間の距離が大きいほど、均熱板１９２ａ，１９２ｂ，・・・の幅方向の温度分布と同じ形状の温度分布が、ガラス板３の表面に形成されにくい。すなわち、均熱板１９２ａ，１９２ｂ，・・・とガラス板３との間の距離が小さいほど、均熱板１９２ａ，１９２ｂ，・・・の温度分布は、ガラス板３の表面に転写されやすい。そのため、均熱板１９２ａ，１９２ｂ，・・・は、ガラス板３の表面に、所望の温度分布をより高い精度で形成することができる。従って、ヒータ１８４ａ，１８４ｂ，・・・の出力の調節によって、冷却チャンバー１８０において下方に搬送されるガラス板３の局所的な温度を、より高い精度で調節することができる。

また、均熱板１９２ａ，１９２ｂ，・・・とガラス板３との間の間隔を小さくすることで、均熱板１９２ａ，１９２ｂ，・・・とガラス板３との間の空間で発生する気流を抑えることができる。冷却チャンバー１８０では、上方の雰囲気と下方の雰囲気との温度差に起因して、上昇気流が発生しやすい。

また、熱収縮率の小さいガラス板の製造には、歪点が高く、かつ、液相粘度が低いガラスが用いられる。このようなガラス板の成形においては、フォーミングチャンバー１７０から冷却チャンバー１８０に送られた直後のガラス板３は、温度が高く、粘度が低い。このような低粘度のガラス板３の表面に気流が衝突すると、ガラス板３の表面が変形および振動して、冷却後のガラス板３に発生する厚みのムラの原因となる。本実施形態では、均熱板１９２ａ，１９２ｂ，・・・とガラス板３との間の距離を小さくして、冷却チャンバー１８０における上昇気流を抑えることで、ガラス板３の板厚をより高い精度で均一化することができる。

また、本実施形態に係るガラス板製造装置は、６７５℃以上の歪点を有するガラスを用いて、高精細、高解像度ディスプレイ用途に好適なガラス板を製造することができる。このようなガラス板は、熱収縮率が小さく、微小な凹凸および微小なうねりが少なく、かつ、板厚ムラが少ないことが好ましい。ガラス板製造装置は、歪点付近におけるガラス板の温度維持を高い精度で行うことができるので、４Ｋ２Ｋディスプレイおよび８Ｋ４Ｋディスプレイのような高精細、高解像度ディスプレイの製造に好適なガラス板を製造することができる。
―変形例―
（１）変形例Ａ
第１実施形態では、図３に示されるように、引下げロール８２ａ，８２ｂ，・・・は、ガラス板３の幅方向の両側部にそれぞれ配置される片持ちロールである。しかし、引下げロール８２ａ，８２ｂ，・・・として、両持ちロールが用いられてもよい。

図１１および図１２は、第１実施形態の変形例を示す。図１１は、成形装置の側面図である。図１２は、成形装置の引下げロール２８２ａ，２８２ｃの近傍の構造を示す立体的な模式図である。図１１および図１２は、それぞれ、第１実施形態の図４および図５に相当する。図１１および図１２では、第１実施形態と同じ構成要素に関しては、図４および図５と同じ参照符号が使用されている。次に、本変形例と第１実施形態との相違点について説明する。

本変形例に係る成形装置２４０は、４つの引下げロール２８２ａ，２８２ｃ，２８２ｅ，２８２ｇを有している。一方、第１実施形態に係る成形装置４０は、７つの引下げロール８２ａ，８２ｂ，・・・，８２ｇを有している。図１１と図４とを比較しても分かるように、成形装置２４０は、第１実施形態に係る成形装置４０から３つの引下げロール８２ｂ，８２ｄ，８２ｆを取り除いた構成を有している。

また、成形装置２４０では、取り除かれた３つの引下げロールの高さ位置に、断熱部材２８６ｂ，２８６ｄ，２８６ｆが設置されている。断熱部材２８６ｂ，２８６ｄ，２８６ｆは、図１２に示されるように、第１実施形態の断熱部材８６ｂ，８６ｄ，８６ｆと比べて、ガラス板３と対向する端部における、ガラス板３の幅方向の寸法が大きい。図１２において、断熱部材２８６ｂ，２８６ｄ，２８６ｆは、均熱板９２ａ，９２ｂ，・・・とほぼ同じ幅方向の寸法を有している。なお、断熱部材２８６ｂ，２８６ｄ，２８６ｆ以外の断熱部材２８６ａ，２８６ｃ，２８６ｅ，２８６ｇは、図５に示される第１実施形態の断熱部材８６ａ，８６ｃ，８６ｅ，８６ｇから、ガラス板３に突き出ている部分を取り除いた形状を有している。

本変形例において、引下げロール２８２ａ，２８２ｃ，・・・は両持ちロールであるので、引下げロール２８２ａ，２８２ｃ，・・・が設置される高さ位置では、図５に示される断熱部材８６ａ，８６ｂ，８６ｃのように、断熱部材２８６ａ，２８６ｃ，・・・をガラス板３に近接させることができない。そのため、本変形例では、一部の引下げロールが取り除かれる代わりに、冷却チャンバー８０における鉛直方向の熱移動および気流を抑制するために、断熱部材２８６ｂ，２８６ｄ，２８６ｆが設置されている。図１１に示されるように、成形装置２４０では、ガラス板３の搬送方向に沿って、４つの引下げロール２８２ａ，２８２ｃ，２８２ｅ，２８２ｇと、３つの断熱部材２８６ｂ，２８６ｄ，２８６ｆとが交互に設置されている。

本変形例に係る成形装置２４０は、第１実施形態の成形装置４０と比較して、引下げロールが少ないため、冷却チャンバー８０で搬送されるガラス板３の姿勢制御が困難になるおそれがあるが、断熱部材２８６ｂ，２８６ｄ，２８６ｆによって、冷却チャンバー８０における鉛直方向の熱移動および気流をより効果的に抑制することができる効果が期待される。

なお、本変形例は、片持ちロールである引下げロール８２ａ，８２ｂ，・・・を備える第１実施形態の成形装置４０にも適用することができる。

（２）変形例Ｂ
第２実施形態では、図８に示されるように、引下げロール１８２ａ，１８２ｂ，・・・は、ガラス板３の搬送方向に沿って、各断熱部材１８６ａ，１８６ｂ，・・・とガラス板３との間に配置されている。しかし、変形例Ａと同様に、一部の引下げロール１８２ａ，１８２ｂ，・・・が取り除かれてもよい。

図１３および図１４は、第２実施形態の変形例を示す。図１３は、成形装置の側面図である。図１４は、成形装置の引下げロール近傍の構造を示す立体的な模式図である。図１３および図１４は、それぞれ、第２実施形態の図８および図９に相当する。図１３および図１４では、第２実施形態と同じ構成要素に関しては、図８および図９と同じ参照符号が使用されている。次に、本変形例と第２実施形態との相違点について説明する。

本変形例に係る成形装置３４０は、４つの引下げロール１８２ａ，１８２ｃ，１８２ｅ，１８２ｇを有している。これらの引下げロール１８２ａ，１８２ｃ，１８２ｅ，１８２ｇは、第２実施形態の引下げロール１８２ａ，１８２ｃ，１８２ｅ，１８２ｇと同じである。図８と図１３とを比較しても分かるように、成形装置３４０は、第２実施形態に係る成形装置４０から３つの引下げロール８２ｂ，８２ｄ，８２ｆを取り除いた構成を有している。

また、成形装置３４０では、取り除かれた３つの引下げロールの高さ位置に、断熱部材３８６ｂ，３８６ｄ，３８６ｆが設置されている。断熱部材３８６ｂ，３８６ｄ，３８６ｆは、図１４に示されるように、第２実施形態の断熱部材１８６ｂ，１８６ｄ，１８６ｆと比べて、ガラス板３と対向する端部における、ガラス板３の幅方向の寸法が大きい。図１４において、断熱部材３８６ｂ，３８６ｄ，３８６ｆは、均熱板１９２ａ，１９２ｂ，・・・とほぼ同じ幅方向の寸法を有している。なお、断熱部材３８６ｂ，３８６ｄ，３８６ｆ以外の断熱部材１８６ａ，１８６ｃ，１８６ｅ，１８６ｇは、第２実施形態の断熱部材１８６ａ，１８６ｃ，１８６ｅ，１８６ｇと同じ形状を有している。図１３に示されるように、成形装置３４０では、ガラス板３の搬送方向に沿って、４つの引下げロール１８２ａ，１８２ｃ，１８２ｅ，１８２ｇと、３つの断熱部材３８６ｂ，３８６ｄ，３８６ｆとが交互に設置されている。

本変形例に係る成形装置３４０は、変形例Ａに係る成形装置２４０と同様に、引下げロールが少ないため、冷却チャンバー１８０で搬送されるガラス板３の姿勢制御が困難になるおそれがあるが、断熱部材３８６ｂ，３８６ｄ，３８６ｆによって、冷却チャンバー１８０における鉛直方向の熱移動および気流をより効果的に抑制することができる効果が期待される。

（３）変形例Ｃ
第１実施形態および第２実施形態では、オーバーフローダウンドロー法によって熔融ガラス２からガラス板３が成形されるが、他のダウンドロー方によって熔融ガラス２からガラス板３が成形されてもよい。例えば、リドロー法およびスリットダウンドロー法等によって熔融ガラス２からガラス板３が成形されてもよい。

１ガラス板製造装置
２熔融ガラス
３ガラス板
６２成形体
７２冷却ロール（ロール）
８２ａ，８２ｂ，・・・引下げロール（ロール）
８４ａ，８４ｂ，・・・ヒータ（加熱手段）
８６ａ，８６ｂ，・・・断熱部材
９２ａ，９２ｂ，・・・均熱板

特開２００８−８８００５号公報

Claims

熔融ガラスを成形体から流下させてガラス板を成形する成形工程と、
前記成形体の下方に配置されている複数のロールによって、前記成形工程で成形された前記ガラス板を下方に搬送しながら、前記ガラス板を冷却する冷却工程と、
を備え、
前記冷却工程は、前記ガラス板を徐々に冷却する徐冷工程を含み、
前記徐冷工程では、前記ガラス板が搬送される搬送方向に沿って断熱部材を介して配置されている複数の加熱手段が、前記ガラス板の表面に向かって熱を輻射して、前記搬送方向の温度分布を前記ガラス板に与え、
前記ロールは、前記搬送方向において前記断熱部材に対応する位置に配置されている、
ガラス板製造方法。
前記徐冷工程は、前記ガラス板の温度が徐冷点となる前記搬送方向の位置である徐冷開始位置から、前記ガラス板の温度が歪点より２００℃低い温度となる前記搬送方向の位置である徐冷終了位置までの範囲において行われる、
請求項１に記載のガラス板製造方法。
前記徐冷工程は、前記ガラス板が搬送されるに従って、前記ガラス板の幅方向における前記ガラス板の温度差が徐々に減少するように、前記加熱手段によって、前記搬送方向の温度分布を前記ガラス板に与える、
請求項１または２に記載のガラス板製造方法。
前記加熱手段は、前記ガラス板の表面と対向する対向面を有する均熱板を有し、
前記均熱板は、前記対向面から前記ガラス板の表面に向かって熱を輻射する、
請求項１から３のいずれか１項に記載のガラス板製造方法。
前記ロールは、前記均熱板と前記ガラス板との間の間隔より大きい径を有し、
前記均熱板は、前記ロールと接触しない形状を有する、
請求項４に記載のガラス板製造方法。
熔融ガラスを成形体から流下させてガラス板を成形する成形工程と、
前記成形体の下方に配置されている複数のロールによって、前記成形工程で成形された前記ガラス板を下方に搬送しながら、前記ガラス板を冷却する冷却工程と、
を備え、
前記冷却工程は、前記ガラス板を徐々に冷却する徐冷工程を含み、
前記徐冷工程では、前記ガラス板が搬送される搬送方向に沿って断熱部材を介して配置されている複数の加熱手段が、前記ガラス板の表面に向かって熱を輻射して、前記搬送方向の温度分布を前記ガラス板に与え、
前記加熱手段は、前記ガラス板の表面と対向する対向面を有する均熱板を有し、
前記ロールは、前記均熱板と前記ガラス板との間の間隔より大きい径を有し、かつ、前記搬送方向において前記断熱部材に対応する位置に配置され、
前記均熱板は、前記対向面から前記ガラス板の表面に向かって熱を輻射し、かつ、前記ロールと接触しない形状を有する、
ガラス板製造方法。
熔融ガラスを成形体からオーバーフローさせ、前記成形体の下端で前記熔融ガラスを融合させてガラス板を成形する成形部と、
前記成形体の下方に配置される複数のロールによって、前記成形部で成形された前記ガラス板を下方に搬送しながら、前記ガラス板を冷却する冷却部と、
を備え、
前記冷却部は、前記ガラス板を徐々に冷却する徐冷部を含み、
前記徐冷部は、前記ガラス板が搬送される搬送方向に沿って断熱部材を介して配置されている複数の加熱手段を有し、
前記加熱手段は、前記ガラス板の表面に向かって熱を輻射して、前記搬送方向の温度分布を前記ガラス板に与え、
前記ロールは、前記搬送方向において前記断熱部材に対応する位置に配置されている、
ガラス板製造装置。