JP5779061B2 - Aluminum rolled material and method for producing the same - Google Patents
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Description
本発明はアルミニウム圧延材、とりわけ高純度のアルミニウム圧延材およびその製造方法に関する。 The present invention relates to a rolled aluminum material, particularly a high-purity aluminum rolled material and a method for producing the same.
純度99.9999%(質量比、以下同じ)以上の高純度のアルミニウムは、多くの分野で用いられており、その用途は拡大している。そのような用途として、例えば絶対温度50K以下の極低温で使用でき、かつ、低い電気抵抗率および/または高い熱伝導率を必要とする超電導マグネット、クライオポンプまたは極低温冷凍機の部材が知られている。さらに、高純度のアルミニウムは、MBE等による半導体の気相成長に用いる原料としても用いられている。
例えば特許文献1は、99.9999%以上の純度レベルを有する高純度アルミニウム材を開示している。
また、三層電解法により精製(精錬)して得た純度99.999%以上のアルミニウム材をさらに一方向凝固法により精製することで99.9999%以上のアルミニウム材を得ることができることも知られている。
High-purity aluminum having a purity of 99.9999% (mass ratio, the same shall apply hereinafter) or higher is used in many fields, and its application is expanding. As such an application, for example, a superconducting magnet, a cryopump or a cryogenic refrigerator that can be used at an extremely low temperature of an absolute temperature of 50K or less and requires a low electrical resistivity and / or a high thermal conductivity is known. ing. Further, high-purity aluminum is also used as a raw material used for vapor phase growth of semiconductors by MBE or the like.
For example,
It is also known that an aluminum material of 99.999% or more obtained by refining (refining) by a three-layer electrolysis method can be obtained by further purifying it by a unidirectional solidification method. It has been.
しかし、これら高純度材は鋳造材として提供されるものがほとんどであり、例えば寸法精度に優れる、または加工性に優れる等の理由、および熱伝導性や電気伝導性にも優れるといった理由から、鋳造材に代わる高純度(例えば純度99.9999%以上)の圧延材に対して強い要望がある。
しかし、純度99.9999%以上のアルミニウム圧延材は、ほとんど知られていない。
However, most of these high-purity materials are provided as cast materials. For example, they are cast for reasons such as excellent dimensional accuracy or excellent workability, and excellent thermal conductivity and electrical conductivity. There is a strong demand for a rolled material having a high purity (for example, a purity of 99.9999% or more) instead of the material.
However, almost no aluminum rolled material having a purity of 99.9999% or more is known.
これは、圧延材の寸法精度の確保、または圧延ロールの耐久性の向上のために圧延に用いる圧延ロールの材料として、JIS G 4404に規定されるSKD61に代表される工具鋼のような鋼を使用する必要があることから、圧延時に圧延ロール中の鉄がアルミニウム材に拡散したり、磨耗した圧延ロール断片(磨耗粉)が混入したりして不純物量(不純物濃度)が上昇するため、圧延後の純度が99.9999%未満となってしまうことに起因する。 This is because steel such as tool steel typified by SKD61 defined in JIS G 4404 is used as a material for a rolling roll used for rolling in order to ensure the dimensional accuracy of the rolled material or to improve the durability of the rolling roll. Since it is necessary to use, the amount of impurities (impurity concentration) rises due to iron in the rolling roll diffusing into the aluminum material during rolling or mixing of worn roll pieces (abrasion powder). This is because the later purity becomes less than 99.9999%.
そこで本願発明は、例えば純度99.9999%以上の高純度でかつ表面部の鉄の含有量(鉄の表面汚染量(鉄の表面汚染濃度))の少ないアルミニウム圧延材を提供すること、および鉄を含む圧延ロールを用いても例えば純度99.9999%以上でかつ表面部の鉄の含有量(鉄の表面汚染量(鉄の表面汚染濃度))の少ない高純度のアルミニウム圧延材を得ることができるアルミニウム圧延材の製造方法を提供することを目的とする。 Accordingly, the present invention provides, for example, an aluminum rolled material having a high purity of, for example, a purity of 99.9999% or more and a low iron content (iron surface contamination amount (iron surface contamination concentration)), and iron It is possible to obtain a high-purity aluminum rolled material having a purity of 99.9999% or more and low iron content (iron surface contamination amount (iron surface contamination concentration)), for example, even when using a rolling roll containing An object of the present invention is to provide a method for producing a rolled aluminum material.
本発明の態様1は、それぞれの面の表面から深さ2μm、両面合計で深さ4μmにおける鉄の表面汚染濃度(鉄の表面汚染総量)が100質量ppm・μm以下であり、かつ、純度が質量比で99.9999%以上のアルミニウム圧延材であって、表面の少なくとも一部がアルミニウムより成る複数の薄片により覆われていることを特徴とするアルミニウム圧延材である。
In
本発明の態様2は、前記薄片が質量比で純度99.98%以上であることを特徴とする態様1に記載のアルミニウム圧延材である。
本発明の態様3は、前記薄片が、前記アルミニウム圧延材の圧延方向を長手方向とする鱗片形状であることを特徴とする態様1または2に記載のアルミニウム圧延材である。
Aspect 3 of the present invention is the aluminum rolled material according to
本発明の態様4は、それぞれの面の表面から深さ2μm、両面合計で深さ4μmにおける鉄の表面汚染濃度(鉄の表面汚染総量)が20質量ppm・μm以下であることを特徴とする態様1〜3のいずれかに記載のアルミニウム圧延材である。 Aspect 4 of the present invention is characterized in that the surface contamination concentration (total amount of iron surface contamination) of iron at a depth of 2 μm from each surface and a total depth of 4 μm is 20 mass ppm · μm or less. It is an aluminum rolling material in any one of aspects 1-3.
本発明の態様5は、第1のアルミニウム材を圧延して圧延ロールの表面にアルミニウムコーティング層を形成するコーティング工程と、前記アルミニウムコーティング層を有する前記圧延ロールを用いて、純度が質量比で99.9999%以上の第2のアルミニウム材を圧延する圧延工程と、を含むことを特徴とする純度が質量比で99.9999%以上のアルミニウム圧延材の製造方法である。 Aspect 5 of the present invention uses a coating step of rolling the first aluminum material to form an aluminum coating layer on the surface of the rolling roll, and the rolling roll having the aluminum coating layer, and the purity is 99 by mass. A rolling step of rolling a second aluminum material of .9999% or more, and a method of manufacturing an aluminum rolled material having a purity of 99.9999% or more by mass ratio.
本発明の態様6は、下記(1)式で規定されるコーティング延べパス数Ptが15以上になるように前記第1のアルミウム材の圧延を行い、かつ前記第2のアルミニウムの圧延のパス数が16以上であることを特徴とする態様5に記載の製造方法である。 Embodiment 6 of the present invention, the following (1) performs a rolling of said first Arumiumu material coating total number of paths P t which is defined as of 15 or higher by the formula, and the second aluminum-pass rolling of 6. The manufacturing method according to aspect 5, wherein the number is 16 or more.
本発明の態様7は、前記第1のアルミニウム材の純度が質量比で99.98%以上であることを特徴とする態様5または6に記載のアルミニウム圧延材の製造方法である。 Aspect 7 of the present invention is the method for producing an aluminum rolled material according to aspect 5 or 6, wherein the purity of the first aluminum material is 99.98% or more by mass ratio.
本発明の態様8は、前記コーティング工程の圧延が冷間圧延であることを特徴とする態様5〜7のいずれかに記載のアルミニウム圧延材の製造方法である。 Aspect 8 of the present invention is the method for producing a rolled aluminum material according to any one of aspects 5 to 7, wherein the rolling in the coating step is cold rolling.
本発明の態様9は、前記圧延工程の圧延が冷間圧延であることを特徴とする態様5〜8のいずれかに記載のアルミニウム圧延材の製造方法である。 Aspect 9 of the present invention is the method for producing a rolled aluminum material according to any one of the aspects 5 to 8, wherein the rolling in the rolling step is cold rolling.
本発明の態様10は、前記コーティング工程の圧延が前記圧延ロールを用いて複数回行われることを特徴とする態様5〜9のいずれかに記載のアルミニウム圧延材の製造方法である。 A tenth aspect of the present invention is the method for producing an aluminum rolled material according to any one of the fifth to ninth aspects, wherein the rolling in the coating step is performed a plurality of times using the rolling roll.
本発明により、耐久性に優れ、かつ、得られた圧延材の寸法精度が高い鋼製の圧延ロールを用いても圧延時に鉄元素がアルミニウム材に侵入するのを抑制することが可能になる。従って、本発明により純度が例えば99.9999%以上で、かつ、表面部の鉄の含有量(鉄の表面汚染量(鉄の表面汚染濃度))の少ない高純度のアルミニウム圧延材およびその製造方法を提供することが可能となる。 According to the present invention, even when a steel rolling roll having excellent durability and high dimensional accuracy of the obtained rolled material is used, iron elements can be prevented from entering the aluminum material during rolling. Therefore, according to the present invention, a high-purity aluminum rolled material having a purity of, for example, 99.9999% or more and low iron content (iron surface contamination amount (iron surface contamination concentration)) and a method for producing the same Can be provided.
本出願の発明者は、鋭意検討した結果、圧延に使用する圧延ロールの表面を予めアルミニウムによりコーティングしておくことで、圧延時の圧延ロールからアルミニウム表面部への鉄の侵入を抑制でき、圧延後も例えば99.9999%以上と高い純度を維持できることを見出した。
そして、コーティング用アルミニウム材を圧延することで、圧延ロールの表面に効果的なアルミニウムのコーティングを施すことが可能となることを見出した。また、好適なコーティングを実施すると、得られた圧延材の表面の少なくとも一部が、コーティングに用いたアルミニウムの薄片により覆われ、より好ましい純度の圧延材を得ることができることを見出した。
As a result of earnest examination, the inventor of this application can suppress the intrusion of iron from the rolling roll at the time of rolling to the aluminum surface part by coating the surface of the rolling roll used for rolling with aluminum in advance. Later, for example, it was found that high purity of 99.9999% or more can be maintained.
And it discovered that it became possible to give the effective aluminum coating to the surface of a rolling roll by rolling the aluminum material for a coating. Moreover, when suitable coating was implemented, it discovered that at least one part of the surface of the obtained rolling material was covered with the aluminum flake used for coating, and a rolling material with more preferable purity can be obtained.
以下に本発明の詳細を説明する。最初に本発明に係る製造方法の詳細を説明し、続いて本願発明の製造方法により得られた好適なアルミニウム圧延材について説明する。 Details of the present invention will be described below. First, the details of the production method according to the present invention will be described, and then a suitable aluminum rolled material obtained by the production method of the present invention will be described.
1.製造方法
図1は、本発明の製造方法を示す概略断面図である。
1組の圧延ロール1を用いて、アルミニウム材3を圧延する。圧延ロール1の表面の少なくとも一部はアルミニウムからなるコーティング層2により覆われている。
コーティング層2は、アルミニウム材3を圧延する前に、圧延ロール1を用いて、アルミニウム材3とは異なる、コーティング用のアルミニウム材を圧延することにより形成する。
そして、コーティング層2を形成した後、アルミニウム材3を圧延することにより、アルミニウム材3が圧延ロール1と直接接触するのを防止または抑制することができる。
この結果、得られたアルミニウム圧延材(図ではアルミニウム材3のうち、圧延ロール1より右側の部分)に、例えば鉄のような、圧延ロール1の成分が拡散したり、磨耗した圧延ロール断片(磨耗粉)が混入したりするのを抑制でき、従って圧延工程でアルミニウム材3の不純物量(不純物濃度)が増加するのを抑制できる。
1. Manufacturing Method FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing the manufacturing method of the present invention.
The aluminum material 3 is rolled using one set of
The
And after forming the
As a result, in the obtained aluminum rolled material (in the drawing, the portion of the aluminum material 3 on the right side of the rolling roll 1), for example, the components of the
以下に、製造方法を詳述する。
(1)アルミニウム材
圧延に用いるアルミニウム材3は、純度が99.9999%以上(上述のように、質量比)のアルミニウムよりなる。限定するものではないが、通常は鋳造材を用い、表面を切削した鋳造材を用いてもよい、
このような高純度のアルミニウム材は、例えば、三層電解法により精製(精錬)して得た純度99.999%以上のアルミニウム材をさらに一方向凝固法により精製する等の既知の方法で得ることができる。
Below, a manufacturing method is explained in full detail.
(1) Aluminum Material The aluminum material 3 used for rolling is made of aluminum having a purity of 99.9999% or more (as described above, mass ratio). Although it is not limited, a casting material is usually used, and a casting material whose surface is cut may be used.
Such a high-purity aluminum material is obtained by a known method, for example, by purifying an aluminum material having a purity of 99.999% or more obtained by refining (refining) by a three-layer electrolytic method, and further purifying it by a unidirectional solidification method. be able to.
なお、すべての元素を測定して純度を求めることは、実用的には極めて困難を伴うことから、アルミニウム中の不純物として存在することが多い、鉄(Fe)、シリコン(Si)、クロム(Cr)、モリブデン(Mo)およびバナジウム(V)の6元素の含有量(質量%)(濃度(質量%))を求めて、100質量%からこれら6元素の含有量(濃度(質量%))を引いたものをアルミニウムの純度として用いる。
これらの6元素の含有量(濃度)の測定は、例えばICP発光分析により行うことができる。また、例えばグロー放電質量分析のような質量分析により測定することもできる。
In addition, since it is extremely difficult to measure the purity by measuring all elements, it is often present as an impurity in aluminum, and is often present as iron (Fe), silicon (Si), chromium (Cr ), The content (mass%) (concentration (mass%)) of 6 elements of molybdenum (Mo) and vanadium (V), and the content (concentration (mass%)) of these 6 elements from 100 mass%. The subtraction is used as the purity of aluminum.
The content (concentration) of these six elements can be measured by, for example, ICP emission analysis. It can also be measured by mass spectrometry such as glow discharge mass spectrometry.
さらに、圧延ロール1から圧延中にアルミニウム材3に侵入した鉄の量(鉄の濃度)をより定量的に評価する方法として、深さGDMS(深さグロー放電質量分析)による測定を用いることができる。
これは得られたアルミニウム圧延材の片面において、表面から2μmの範囲の鉄量(鉄濃度)を深さ方向にGDMS分析し、得られたGDMS分析値の両面合計4μm換算値(単位:ppm・μm)から圧延前のアルミニウム材3のGDMS分析値の両面合計4μm換算値を引くことにより求めることができる。
より詳細には、例えば詳細を後述する実施例に係る図4に示すように表面から2μmの範囲の深さ方向GDMS分析値(片面の濃度プロファイル)の面積(ppm・μm(ppmは質量比、以下同じ))を2倍した値が圧延材のそれぞれの面で深さ2μmずつ、両面合計で深さ4μmの範囲の鉄量(鉄濃度)の積算値(ppm・μm)となり、この積算値からGDMS分析で測定した圧延用のアルミニウム材の鉄の含有量(鉄の濃度)(例えば詳細を後述する実施例では0.059ppm)の両面合計4μmの範囲の鉄量(鉄濃度)の積算値、すなわち圧延用アルミニウム材の鉄の含有量(鉄の濃度)と4μmとの積(実施例では0.059ppm×4μm=0.24ppm・μm)を差引いて求められる鉄の表面汚染総量(鉄の表面汚染濃度)で評価することができる。
このようにして、求めた表面汚染総量(表面汚染濃度)は、圧延ロール1からアルミニウム材3の表面に侵入した鉄の量(鉄の濃度)をより定量的に評価できる手段として有用である。
以下、本明細書ではこのようにして求めた鉄の量(鉄の濃度)を「鉄の表面汚染総量(両面合計4μm))」または「鉄の表面汚染濃度(両面合計4μm)」と呼ぶことがある。
Furthermore, as a method for more quantitatively evaluating the amount of iron (iron concentration) that has entered the aluminum material 3 during rolling from the rolling
This is because one side of the obtained aluminum rolled material is subjected to GDMS analysis of the amount of iron (iron concentration) in the range of 2 μm from the surface in the depth direction, and the obtained GDMS analysis value is converted to a total value of 4 μm on both sides (unit: ppm · It can be obtained by subtracting the total 4 μm converted value of the GDMS analysis value of the aluminum material 3 before rolling from μm).
More specifically, for example, as shown in FIG. 4 according to an embodiment described in detail later, the area (ppm · μm (ppm is the mass ratio, ppm) of the depth direction GDMS analysis value (concentration profile on one side) in the range of 2 μm from the surface. The same value below))) is the integrated value (ppm · μm) of the amount of iron (iron concentration) in the range of 2 μm in depth on each side of the rolled material and 4 μm in depth on both sides. The integrated value of the amount of iron (iron concentration) in a total range of 4 μm on both sides of the iron content (iron concentration) (for example, 0.059 ppm in the examples described in detail later) of the aluminum material for rolling measured by GDMS analysis That is, the total amount of iron surface contamination (iron content) obtained by subtracting the product of iron content (iron concentration) and 4 μm (0.059 ppm × 4 μm = 0.24 ppm · μm) in the aluminum material for rolling. Surface contamination concentration) Worth can be.
Thus, the obtained total amount of surface contamination (surface contamination concentration) is useful as a means for more quantitatively evaluating the amount of iron (iron concentration) that has entered the surface of the aluminum material 3 from the rolling
Hereinafter, in this specification, the amount of iron thus obtained (iron concentration) is referred to as “total surface contamination of iron (4 μm on both sides in total)” or “iron surface contamination concentration (4 μm on both sides in total)”. There is.
(2)圧延ロール
圧延ロール1は、従来からアルミニウムの圧延に使用されるロールであり、例えばJISに規定されるSKD61に代表される工具鋼のような鋼よりなるロールを使用することができる。
なお、本願発明に使用する圧延ロール1は鋼に限定されるものではなく、例えばセラミックスロール等の鋼以外の材料からなる圧延ロール1を使用しても、圧延中に圧延ロール1からアルミニウム材3への不純物の侵入を抑制するという本願の目的を達成することができる。
(2) Rolling roll The rolling
In addition, the rolling
(3)圧延ロールのコーティング
アルミニウム材3を圧延する前に、圧延ロール1の表面にアルミニウムコーティング層2を形成する。アルミニウムコーティング層2のコーティングは圧延ロール1により、アルミニウム材3と異なるアルミニウム材(以下、「コーティング用アルミニウム材」ということがある。)を圧延することにより行う。
(3) Coating of rolling roll Before the aluminum material 3 is rolled, an
アルミニウムコーティング層2は、好ましくは純度99.98%以上のコーティング用アルミニウム材を用いて形成する。より好ましくはアルミニウムコーティング層2の純度が99.98%以上となるようにコーティング用アルミニウム材の純度を選択する。更に好ましいコーティング用アルミニウム材の純度はアルミニウム材3と同等以上の99.9999%以上である。
The
なお、コーティング用アルミニウム材は、フッ酸と硝酸の混合酸または苛性ソーダ(水酸化ナトリウム溶液)などで酸洗浄又はアルカリ洗浄し、表面汚染層を除去してから使用するのが好ましい。 The coating aluminum material is preferably used after removing the surface contamination layer by acid cleaning or alkali cleaning with a mixed acid of hydrofluoric acid and nitric acid or caustic soda (sodium hydroxide solution).
コーティング中に圧延ロール1からアルミニウムコーティング層2への鉄の拡散を抑制するために、コーティングは好ましくは冷間圧延により行う。
In order to suppress the diffusion of iron from the rolling
アルミニウムコーティング層2は、好ましくは0.2μm以上の厚さを有し、より好ましくは1μm以上の厚さを有する。
アルミニウムコーティング層2の厚さが厚いと、アルミニウム材3を圧延する際に、アルミニウム材3への鉄の侵入をより確実に抑制できるからである。
The
This is because when the thickness of the
コーティング層2は、アルミニウム材3を圧延する際にアルミニウム材3と接触する圧延ロール1の表面部分のうち(コーティング層2がない場合にアルミニウム材3と接触する表面部分)の好ましくは80%以上、より好ましくは90%以上を覆っている。
このように広い範囲を覆うことで、アルミニウム材3を圧延する際にアルミニウム材3と圧延ロール1とが接触するのを確実に抑制できるからである。
The
This is because, when the aluminum material 3 is rolled, the aluminum material 3 and the rolling
また、好ましくは80%以上、より好ましくは90%以上のこのような高い被覆率を有するアルミニウムコーティング層2は、緻密かつ均一で、また、より強固に圧延ロール1に接着することが可能となる。
圧延ロール1のアルミニウムコーティング層2による被覆率は、例えば圧延ロール1の表面をSEM(走査型電子顕微鏡)または光学顕微鏡で観察して得た画像を画像解析することにより求めることができる。
The
The coverage of the rolling
コーティング用アルミニウム材を圧延する際の1パスあたりの圧下率(加工率)は、好ましくは10%以上、更に好ましくは20%以上である。圧下率が高い方が圧延ロール1の表面にアルミニウムコーティング層2が付着し易く、圧延ロール1とアルミニウムコーティング層2との接着強度が高くなり、より強固なアルミニウムコーティング層2を得られるからである。
The rolling reduction (processing rate) per pass when rolling the coating aluminum material is preferably 10% or more, and more preferably 20% or more. This is because the higher the rolling reduction, the easier the
また、コーティング用アルミニウム材の圧延は、同一の圧延ロール1について複数パス行うことが好ましく、より好ましくは4パス以上、更に好ましくは20パス以上行う。
複数パスの圧延を行うことで、より厚いアルミニウムコーティング層2を得ることができるからである。
複数パスの圧延を行う際は、コーティング用アルミニウム材のトータルの圧下率(複数パス全体の圧下率)を60%以上とするのが好ましく、80%以上とするのが更に好ましい。
より強固なアルミニウムコーティング層2を得ることができるからである。
なお、よりコーティングに適した圧延条件を選択するため、通常、コーティング用アルミニウム材の圧延は、その後の目的とする圧延材を得るためのアルミニウム材3の圧延と比べて、圧下率とパス数のすくなくとも何れか一方を異なるよう選択するのが好ましい。
In addition, the aluminum material for coating is preferably rolled multiple times for the same rolling
This is because a thicker
When rolling a plurality of passes, the total rolling reduction of the coating aluminum material (the rolling reduction of the entire plurality of passes) is preferably 60% or more, and more preferably 80% or more.
This is because a stronger
In order to select a rolling condition more suitable for coating, the rolling of the coating aluminum material is usually performed at a reduction rate and the number of passes as compared with the rolling of the aluminum material 3 for obtaining the target rolled material thereafter. It is preferable to select at least one of them to be different.
・コーティング延べパス数
また、アルミニウムコーティング層2をより確実に圧延ロール1に形成できるよう管理する指標として「コーティング延べパス数」を用いることが好ましい。
「コーティング延べパス数」とは、コーティング用アルミニウム材を1パスから順にNパスまで圧延した際の、nパス目の圧延前のコーティング用圧延材の長さをLnとしたときに、1〜NパスまでのLnの和(L1+L2+L3+・・・LN−1+LN、「コーティング用圧延材の延べ長さ」とも言う)を圧延ロール1の周長(外周の長さ)LRで除した値である。
-Coating total number of passes Moreover, it is preferable to use "the number of coating total passes" as a parameter | index which manages so that the
“Number of total coating passes” means 1 to 1 when the length of the rolling material for rolling before rolling of the n-th pass is L n when the coating aluminum material is rolled from 1 pass to N pass. The sum of L n up to N passes (L 1 + L 2 + L 3 +... L N-1 + L N , also referred to as “total length of rolling material for coating”) A) Value divided by LR .
すなわちコーティング延べパス数Ptは、以下の(1)式で表すことができる。 That is, the coating total pass number P t can be expressed by the following equation (1).
コーティング延べパス数は、コーティング用圧延材をNパス圧延する間に圧延ロールのそれぞれの部位に何回接触したかを示している。
そして、(1)式に示すコーティング延べパス数は、例えば簡単のために小数点以下を四捨五入して整数で表してもよい。
The total number of coating passes indicates how many times the respective parts of the rolling roll are contacted during N-pass rolling of the rolling material for coating.
The total number of coating passes shown in the equation (1) may be expressed as an integer by rounding off the decimal point for the sake of simplicity, for example.
コーティング延べパス数が、多いほど、圧延ロール1は、より多くの回数、コーティング用アルミニウム材と接触することになることから、より確実にアルミニウムコーティング層2を形成でき好ましい。
好ましいコーティング延べパス数は15以上である。圧延ロール1は、コーティング用アルミニウム材と十分に接触することになることから、コーティング延べパス数が15以上だと、十分なアルミニウムコーティング層2をより確実に形成できる。
また、より好ましくは、コーティング延べパス数は15〜60である。この数値範囲内であれば、十分なアルミニウムコーティング層2をより確実に形成できるとともに、効果が飽和して不要な圧延を繰り返し行う可能性を抑制できるからである。
The larger the total number of coating passes, the more the rolling
The total number of coating passes is preferably 15 or more. Since the rolling
More preferably, the total number of coating passes is 15-60. This is because, within this numerical range, a sufficient
また、コーティング延べパス数を15回以上とするように圧延を行って、アルミニウムコーティング層2を形成する場合、用いるコーティング用アルミニウム材の純度を99.98%以上(3N8)とすることが好ましい。より確実に、圧延後のアルミニウム材3の鉄の表面汚染濃度(鉄の表面汚染総量)を例えば20ppm・μm以下と非常に低いレベルにすることができるからである。
In addition, when the
(4)アルミニウム材3の圧延
図1に示す実施形態では、表面にコーティング層2を有する1組の圧延ロール1を用いて圧延を行う。図1では図中の矢印xの方向が圧延方向である。
圧延は、アルミニウム材3(純アルミニウム)の圧延に用いられる条件であれば、どのような条件でもよい。
1パスあたりの圧下率が10%以上であることが好ましい。また、複数パスの圧延を行うのが好ましい。複数パスの圧延を行う場合、トータルの圧下率は、80%以上であることが好ましい。
(4) Rolling Aluminum Material 3 In the embodiment shown in FIG. 1, rolling is performed using a set of rolling
The rolling may be performed under any conditions as long as the conditions are used for rolling the aluminum material 3 (pure aluminum).
The rolling reduction per pass is preferably 10% or more. Further, it is preferable to perform a plurality of passes of rolling. When performing multiple passes of rolling, the total rolling reduction is preferably 80% or more.
また、図1に示す実施形態では1組の圧延ロール1を用いて圧延を行っているが、複数パスの圧延を行う際は、複数組の圧延ロール1を連続的に並べて、連続圧延を行ってもよい。
連続圧延を行う場合は、複数組の圧延ロール1のそれぞれにアルミニウムコーティング層2を形成しておくのが好ましい。
Further, in the embodiment shown in FIG. 1, rolling is performed using one set of rolling
When performing continuous rolling, it is preferable to form an
圧延は、冷間圧延で行うのが好ましい。圧延ロール1からの鉄の拡散をより容易に抑制できるからである。
熱間圧延では、圧延ロール1から、より容易に鉄が拡散するために、アルミニウム材3の純度が99.9999%以上であっても得られた圧延材の純度が99.9999%未満となる場合がある。
しかし、この場合でも圧延ロール1にアルミニウムコーティング層2を形成せずに圧延した場合と比べて、得られた圧延材の純度は明らかに高い。
The rolling is preferably performed by cold rolling. This is because the diffusion of iron from the rolling
In hot rolling, since iron diffuses more easily from the rolling
However, even in this case, the purity of the obtained rolled material is clearly higher than that in the case where the rolling
そこで、アルミニウムコーティング層2を形成した圧延ロール1を用いて熱間圧延を行った場合でも、得られた圧延材の純度が99.9999%以上となる実施形態であれば、本発明に含まれる。
熱間圧延を行う場合には圧延温度は400〜550℃であることが好ましい。圧延温度が400℃未満ではアルミニウム材が十分に軟化せず、圧延温度が550℃を超えるとアルミニウム材が圧延ロールに貼りつく可能性があり、作業性が低下するためである。
Then , even if it hot-rolls using the rolling
When performing hot rolling, the rolling temperature is preferably 400 to 550 ° C. This is because if the rolling temperature is less than 400 ° C., the aluminum material is not sufficiently softened, and if the rolling temperature exceeds 550 ° C., the aluminum material may stick to the rolling roll and workability is reduced.
なお、本明細書でいう圧延材とは、言うまでもなく、圧延ロールを用いて1パス以上の圧延を行って得た材料を意味する。
圧延材は、以下に示す何れか1つ以上の特徴を有する場合が多く、これらの特徴の少なくとも1つ以上を有することから圧延材と判る。しかし、これらの特徴は圧延材を限定するものではなく、これらの特徴の何れもが認められないことは、直ちに圧延材でないことを意味するものではない。
In addition, it cannot be overemphasized that the rolling material said by this specification means the material obtained by performing rolling of 1 pass or more using a rolling roll.
In many cases, the rolled material has any one or more of the following characteristics, and since it has at least one or more of these characteristics, it can be recognized as a rolled material. However, these features do not limit the rolled material, and the absence of any of these features does not mean that it is not immediately a rolled material.
i) 圧延集合組織と呼ばれる特定の結晶方位を有する組織を有する。冷間圧延と熱間圧延では優先結晶方位が異なる。
冷間圧延集合組織:(112)[11−1]と(011)[21−1]の複合方位(2つの方位)が優先方位である。
熱間圧延集合組織:(011)[21−1]が優先方位である。
ii) 圧延による塑性変形によって結晶中の転位密度が著しく増大する。均質化した鋳塊では転位密度は106〜108/cm2であるが、圧延材では転位密度が1010〜1012/cm2にも達する。
iii)圧延加工により圧延方向に延伸した結晶粒が認められる。
i) It has a structure having a specific crystal orientation called a rolling texture. The preferred crystal orientation differs between cold rolling and hot rolling.
Cold rolling texture: A composite orientation (two orientations) of (112) [11-1] and (011) [21-1] is the preferred orientation.
Hot rolling texture: (011) [21-1] is the preferred orientation.
ii) The dislocation density in the crystal is significantly increased by plastic deformation due to rolling. In the homogenized ingot, the dislocation density is 10 6 to 10 8 / cm 2 , but in the rolled material, the dislocation density reaches 10 10 to 10 12 / cm 2 .
iii) Crystal grains stretched in the rolling direction by rolling are observed.
・コーティング延べパス数15回以上の場合の好ましい圧延条件
上述のように、コーティング用アルミニウム材をコーティングする際にコーティング延べパス数を15回以上とすることが好ましく、これにより、圧延ロール1に十分なアルミニウムコーティング層2をより確実に形成できる。
-Preferable rolling conditions when the coating total number of passes is 15 times or more As described above, the coating total number of passes is preferably 15 times or more when coating the coating aluminum material. A reliable
この場合、アルミニウム材3を16パス以上圧延することが好ましい。このように、16パス以上圧延することで、鉄の表面汚染濃度(鉄の表面汚染総量)を例えば20ppm・μm以下と非常に低いレベルにすることができる。 In this case, it is preferable to roll the aluminum material 3 for 16 passes or more. Thus, by rolling 16 passes or more, the surface contamination concentration of iron (total amount of surface contamination of iron) can be reduced to a very low level of, for example, 20 ppm · μm or less.
この理由については、明らかになっていないが、本願発明者らが推定する理由は以下の通りである。なお、以下の理由は本願発明者らが現時点で得られている知見から推測する理由であって、本願発明の技術的範囲を制限することを意図するものではないことに留意されたい。 Although the reason for this is not clear, the reason that the inventors of the present application presume is as follows. It should be noted that the following reason is a reason that the inventors of the present application infer from the knowledge obtained at the present time, and is not intended to limit the technical scope of the present invention.
適切な圧下率で圧延を繰り返すとアルミニウム材3は、比較的均一に圧延され、表面積が増加する。一方、圧延ロール1の表面には、コーティング延べパス数15回以上の条件で十分なアルミニウムコーティング層2が形成されているため、圧延を繰り返して、圧延パス数が増加しても、圧延ロール1からアルミニウム材3への鉄の侵入は十分に抑制されている。
When rolling is repeated at an appropriate rolling reduction, the aluminum material 3 is rolled relatively uniformly and the surface area is increased. On the other hand, since a sufficient
この結果、アルミニウム材3の表面に存在する鉄の総量(鉄の濃度)がそれ程増加することなく、アルミニウム材3の表面部の体積(例えば、それぞれの面の表面から深さ2μm、両面合計で深さ4μmの範囲の体積)が増加することから、鉄の表面汚染濃度(鉄の表面汚染総量)が低下する。とりわけ、圧延パス数を16以上とすることで、鉄の表面汚染濃度(鉄の表面汚染総量)を例えば20ppm・μm以下と非常に低いレベルにすることができる。
なお、このメカニズムを考慮するとトータルの圧下率を90%以上とすることが好ましい。
As a result, the total volume of iron (iron concentration) existing on the surface of the aluminum material 3 does not increase so much, and the volume of the surface portion of the aluminum material 3 (for example, a depth of 2 μm from the surface of each surface, the total of both surfaces) Since the volume in the depth range of 4 μm increases, the iron surface contamination concentration (total amount of iron surface contamination) decreases. In particular, by setting the number of rolling passes to 16 or more, the iron surface contamination concentration (total amount of iron surface contamination) can be reduced to a very low level of, for example, 20 ppm · μm or less.
In consideration of this mechanism, the total rolling reduction is preferably 90% or more.
2.好適な圧延材
図2は、上述した製造方法で得られた好適なアルミニウム圧延材(部分)の模式断面図である。
アルミニウム材3を上述の条件で圧延して得られたアルミニウム圧延材3aは表面が複数のアルミニウムの薄片2aにより覆われている。図2では、圧延材3aの一方の表面しか示していないが、他方の表面も同様に複数のアルミニウムの薄片2aにより覆われている。
2. Suitable Rolled Material FIG. 2 is a schematic cross-sectional view of a suitable aluminum rolled material (part) obtained by the manufacturing method described above.
The aluminum rolled material 3a obtained by rolling the aluminum material 3 under the above-described conditions has a surface covered with a plurality of aluminum
図3(a)は、詳細を後述する実施例1−2に係るアルミニウム圧延材の表面のSEM観察結果であり、図3(b)は詳細を後述する比較例1−1に係るアルミニウム圧延材の表面のSEM観察結果である。図3(a)に示す圧延材の表面は圧延方向(写真の左右方向)に伸びた、すなわち圧延方向を長手方向とする鱗片状の形状を有するアルミニウム薄片により覆われている。一方、図3(b)の圧延材は、圧延ロール1の表面にアルミニウムコーティング層2を形成せずに圧延を行ったものであり、圧延材の表面にアルミニウム薄片は認められない。
FIG. 3A is a SEM observation result of the surface of the aluminum rolled material according to Example 1-2, the details of which will be described later, and FIG. 3B is the aluminum rolled material according to Comparative Example 1-1, whose details will be described later. It is a SEM observation result of the surface of this. The surface of the rolled material shown in FIG. 3 (a) is covered with aluminum flakes having a scaly shape extending in the rolling direction (left-right direction in the photograph), that is, the rolling direction as the longitudinal direction. On the other hand, the rolled material in FIG. 3 (b), which were rolled without forming the
アルミニウムコーティング層2を形成する際に、例えばその被覆率を80%以上とするなど、アルミニウムコーティング層2を上述した好ましい形成条件下で形成した場合に、圧延材3a表面がアルミニウム薄片2aにより覆われる場合が多い。
When forming the
被覆率が高いおよび/または厚さの十分にあるアルミニウムコーティング層2を形成すると、圧延時にその一部が剥がれて、アルミニウムの薄片2aとして圧延材3aの表面を覆うからである。
すなわち、アルミニウム薄片2aに覆われている圧延材3aは、アルミニウムコーティング層2が十分に形成された条件で圧延されたことを意味し、従って圧延ロール1からの鉄の侵入が十分に抑制されていることを示している。
また、アルミニウム薄片2aはアルミニウムコーティング層2から剥がれた後、圧延ロール1により押圧されるため、圧延材3aの表面に押し込められて、圧延材3aの表面に固定されている。そして、アルミニウム薄片2aは圧延方向に伸びた形状を有する。
This is because when the
That is, the rolling material 3a covered with the
Moreover, since the
従って、アルミニウム圧延材3aはその純度が好ましくは99.9999%以上となっている。 Therefore, the purity of the aluminum rolled material 3a is preferably 99.9999% or more.
また、上述したように好ましいアルミニウムコーティング層2はその純度が99.98%以上であり、より好ましくは99.9999%以上であることに対応して、アルミニウム薄片2aは好ましくはその純度が99.98%以上であり、より好ましくは99.9999%以上である。
さらに、このようにアルミニウム薄片2aに覆われている圧延材3aは、上述した鉄の表面汚染総量(両面合計4μm)(鉄の表面汚染濃度(両面合計4μm))を100ppm・μm以下とすることが可能である。
Further, as described above, the
Further, the rolled material 3a covered with the
また、アルミニウム薄片2aによるアルミニウム圧延材3a表面の被覆率が高い方がより確実に圧延ロール1からの鉄の侵入を防止できる。アルミニウム薄片2aによるアルミニウム圧延材3a表面の被覆率は好ましくは60%以上であり、より好ましくは80%以上である。
In addition, the higher the coverage of the surface of the aluminum rolled material 3a by the
アルミニウム薄片2aによるアルミニウム圧延材3a表面の被覆率は、例えば圧延ロール1の表面をSEM(走査型電子顕微鏡)または光学顕微鏡で観察して得た画像を画像解析することにより求めることができる。
The coverage of the surface of the aluminum rolled material 3a with the
なお、アルミニウム圧延材の用途によっては、表面にアルミニウム薄片2aが存在しない方が好ましい場合がある。このような用途に使用する際には、例えば研磨等により機械的にアルミニウム薄片2aを除去した後、または例えば酸エッチングやアルカリエッチング等により化学的にアルミニウム薄片2aを除去した後にアルミニウム圧延材3aを使用することが可能である。
Depending on the application of the aluminum rolled material, it may be preferable that the
1.実施例1(冷間圧延材)および参考例2(熱間圧延材)
(1)圧延用のアルミニウム材
三層電解法で精製して得た純度99.999%以上の5N(ファイブナイン)アルミニウムを一方向凝固法により精製して純度99.9999%以上の6N(シックスナイン)アルミニウム材を得た。
より詳細には、不純物6元素について、鉄が0.059ppm、シリコンが0.37ppm、マンガンが0.004ppm、クロムが0.020ppm、モリブデンが0.001ppm、バナジウムが0.016ppmで、6元素合計で0.47ppmであった。
1. Example 1 (cold rolled material) and Reference Example 2 (hot rolled material)
(1) Aluminum material for rolling 5N (Five Nine) aluminum having a purity of 99.999% or more obtained by refining by a three-layer electrolytic method is purified by a unidirectional solidification method and 6N (Six Nine) having a purity of 99.9999% or more. ) An aluminum material was obtained.
More specifically, with respect to six impurities, iron is 0.059 ppm, silicon is 0.37 ppm, manganese is 0.004 ppm, chromium is 0.020 ppm, molybdenum is 0.001 ppm, and vanadium is 0.016 ppm. It was 0.47 ppm.
このアルミニウム材を幅60mm×長さ80mm×厚さ10mmに切削加工した後、フッ硝酸洗浄(溶解洗浄)と水洗浄と乾燥とを行い、圧延用のアルミニウム材3を得た。 This aluminum material was cut into a width of 60 mm, a length of 80 mm, and a thickness of 10 mm, and then washed with hydrofluoric acid (dissolution cleaning), washed with water, and dried to obtain an aluminum material 3 for rolling.
(2)アルミニウムコーティング層の形成
以下に示すように4パスまたは25パスの圧延により、圧延ロール1の表面にアルミニウムコーティング層2を形成した。また、比較例サンプル作製に用いるアルミニウムコーティング層を形成しない圧延ロール1も用意した。
i)4パス:圧延用のアルミニウム材3と同じ純度99.9999%以上の6Nアルミニウムを幅60mm×長さ80mm×厚さ1mmに切削し、塩酸洗浄した後、1パスあたりの圧下率18%で、厚さ0.5mmまで4パスの冷間圧延を行い、圧延ロール1に純度99.9999%以上(6N)のアルミニウムコーティング層2を形成した。
ii)25パス:圧延用のアルミニウム材3と同じ純度99.9999%以上の6Nアルミを幅80mm×長さ60mm×厚さ10mmに切削し、塩酸洗浄した後、1パスあたりの圧下率18%で、厚さ0.5mmまで25パスの冷間圧延を行い、圧延ロール1に純度99.9999%以上(6N)のアルミニウムコーティング層2を形成した。
アルミニウムコーティング層2の被覆率は80%以上であると推測される。
iii)アルミニウムコーティング層なし:圧延ロールをエメリー紙で研磨した後、圧延油(出光興産株式会社製「ダフニー オイル AL−41」)を十分に吹きかけて圧延ロールに付着した摩耗粉を流し去り、その後、紙ウエスで拭き取って圧延ロールを準備した。
用いた圧延ロール1は、JISに規定されたSKD61鋼より成り、表1に示す成分を有していた。
(2) Formation of aluminum coating layer As shown below, the
i) 4 passes: 6N aluminum having the same purity 99.9999% or more as the aluminum material 3 for rolling was cut into a width of 60 mm, a length of 80 mm, and a thickness of 1 mm, washed with hydrochloric acid, and reduced by 18% per pass. Then, cold rolling of 4 passes was performed to a thickness of 0.5 mm, and an
ii) 25 passes: 6N aluminum having the same purity 99.9999% or more as the aluminum material 3 for rolling is cut into a width of 80 mm, a length of 60 mm, and a thickness of 10 mm, washed with hydrochloric acid, and reduced by 18% per pass. Then, 25 passes of cold rolling to a thickness of 0.5 mm were performed, and an
The coverage of the
iii) Without aluminum coating layer: After polishing the rolling roll with emery paper, thoroughly spraying rolling oil ("Daffney Oil AL-41" manufactured by Idemitsu Kosan Co., Ltd.) to wash away the abrasion powder adhering to the rolling roll, and then A rolling roll was prepared by wiping with a paper waste.
The used rolling
(3)圧延
上述の圧延用のアルミニウム材3を用いて圧延を行った。圧延は8パス(1パスあたりの圧下率32%)または16パス(1パスあたりの圧下率18%)の圧延により、厚さ10mmから厚さ0.5mmまで圧延を行った。
圧延は、以下に示す冷間圧延および熱間圧延の何れかにより行った。
i)冷間圧延:室温で長さ方向に圧延を行った。圧延油をとして、石油系炭水化物を主成分とする出光興産株式会社製「ダフニー オイル AL−41」を使用した。
ii)熱間圧延:旭科学株式会社製のHP−60型のハイテンプオーブンで圧延用アルミニウム材3を1パス毎に500℃×10分加熱した後、同ハイテンプオーブンから直ちに取り出し、長さ方向に熱間圧延を行った。圧延油をとして、石油系炭水化物を主成分とする出光興産株式会社製「ダフニー オイル AL−41」を使用した。
(3) Rolling Rolling was performed using the aluminum material 3 for rolling described above. Rolling was performed from a thickness of 10 mm to a thickness of 0.5 mm by rolling with 8 passes (32% reduction per pass) or 16 passes (18% reduction per pass).
Rolling was performed by either cold rolling or hot rolling described below.
i) Cold rolling: Rolled in the length direction at room temperature. As the rolling oil, “Daffney Oil AL-41” made by Idemitsu Kosan Co., Ltd., which mainly contains petroleum-based carbohydrates, was used.
ii) Hot rolling: After heating the aluminum material 3 for rolling in an HP-60 type high temp oven manufactured by Asahi Kagaku Co., Ltd. at 500 ° C. for 10 minutes for each pass, it is immediately taken out from the high temp oven and length Hot rolling was performed in the direction. As the rolling oil, “Daffney Oil AL-41” made by Idemitsu Kosan Co., Ltd., which mainly contains petroleum-based carbohydrates, was used.
表2に作成したサンプルのアルミコーティング層の形成条件および圧延条件を示す。 Table 2 shows the conditions for forming the aluminum coating layer and the rolling conditions of the sample prepared.
得られた圧延材のうち、実施例1−1には純度99.9999%のアルミニウムの薄片2aが認められた。また、実施例1−2には純度99.9999%のアルミニウムの薄片2aが認められた。実施例1−1、1−2に共通して、アルミニウムの薄片2aの被覆率は60%以上であると推測される。
Among the obtained rolled materials, in Example 1-1, an
(4)純度測定
得られたそれぞれの圧延材サンプルから、幅方向および長さ方向の中央部付近から幅24mm×長さ24mm×厚さ0.5mmの分析用サンプルを2〜3枚切り出し、エタノールで表面を洗浄後、自然乾燥させて分析用サンプルを得た。
(4) Purity measurement From each of the obtained rolled material samples, 2 to 3 samples for analysis having a width of 24 mm, a length of 24 mm and a thickness of 0.5 mm were cut out from the vicinity of the center in the width direction and the length direction, and ethanol was obtained. After the surface was washed with, it was naturally dried to obtain a sample for analysis.
バルク(サンプル全体)中の鉄とクロムの含有量(濃度)はICP質量分析により求めた。また、シリコン、マンガン、モリブデンおよびバナジウムの4元素の含有量(濃度)をICP発光分析により求めた。 The content (concentration) of iron and chromium in the bulk (whole sample) was determined by ICP mass spectrometry. Further, the contents (concentrations) of four elements of silicon, manganese, molybdenum and vanadium were determined by ICP emission analysis.
深さGDMSによる測定により、サンプル表面から0.1μm毎に深さ2μmまで鉄の含有量(鉄の濃度)を求めた。得られた測定結果より鉄の表面汚染総量(両面合計4μm)(鉄の表面汚染濃度(両面合計4μm))を算出した。 By measurement with depth GDMS, the iron content (iron concentration) was determined from the sample surface to a depth of 2 μm every 0.1 μm. From the measurement results obtained, the total amount of iron surface contamination (both sides total 4 μm) (iron surface contamination concentration (both sides total 4 μm)) was calculated.
図4は、深さGDMSによる鉄含有量(鉄の濃度)の測定結果である。縦軸は鉄含有量(ppm)(鉄の濃度(ppm))を対数目盛で示している。
表3にバルク中の鉄含有量(鉄濃度)、バルク中の不純物含有量(6元素合計含有量)(不純物濃度(6元素合計濃度))および鉄の表面汚染総量(両面合計4μm)(鉄の表面汚染濃度(両面合計4μm))を示す。
FIG. 4 shows the measurement results of iron content (iron concentration) by depth GDMS. The vertical axis indicates the iron content (ppm) (iron concentration (ppm)) on a logarithmic scale.
Table 3 shows the iron content in the bulk (iron concentration), the impurity content in the bulk (total content of 6 elements) (impurity concentration (total concentration of 6 elements)), and the total surface contamination of iron (total on both sides 4 μm) (iron Of surface contamination (total of 4 μm on both sides)).
冷間圧延および熱間圧延の何れにおいても、アルミコーティング層を形成した実施例サンプルは、バルク中の鉄含有量(鉄濃度)、バルク中の不純物含有量(不純物濃度)および鉄の表面汚染量(鉄の表面汚染濃度)のいずれにおいてもアルミコーティング層を形成しなかったサンプルと比較して低い値となっており、圧延ロールからの鉄の侵入を抑制し、不純物量(不純物濃度)が少なくなっていることが判る。
特に、冷間圧延を行った実施例1−1、1−2、1−3、比較例1−1は不純物量(不純物濃度)1ppm以下となっている。また、冷間圧延を行った実施例1−1、1−2、1−3は鉄の表面汚染総量(鉄の表面汚染濃度)が100ppm・μm以下となっている。
用途による表面汚染量(表面汚染濃度)の限定や規格は明確にされていないが、汚染元素としての鉄は微量でも特性に悪影響を与えるため、表面汚染の目安として、最表面から2μmの深さの両面合計4μmにおける鉄の表面汚染総量(鉄の表面汚染濃度)は100ppm・μm以下が好ましいと考えられる。従って、比較例1−1の不純物量(不純物濃度)は1ppm以下であるが、表面汚染総量(表面汚染濃度)が100ppm・μmを超過しており好ましくない。
In both the cold rolling and the hot rolling, the example sample in which the aluminum coating layer is formed has an iron content in the bulk (iron concentration), an impurity content in the bulk (impurity concentration), and an iron surface contamination amount. In any of the (iron surface contamination concentration), the value is lower than that of the sample that did not form the aluminum coating layer, and iron intrusion from the rolling roll is suppressed, and the amount of impurities (impurity concentration) is small. You can see that
In particular, Examples 1-1, 1-2, 1-3, and Comparative Example 1-1 in which cold rolling was performed have an impurity amount (impurity concentration) of 1 ppm or less. In Examples 1-1, 1-2, and 1-3 in which cold rolling was performed, the total amount of iron surface contamination (iron surface contamination concentration) was 100 ppm · μm or less.
Although there is no clear limitation or standard for the amount of surface contamination (surface contamination concentration) depending on the application, iron as a contaminating element has an adverse effect on the characteristics even with a small amount, so the depth of 2 μm from the outermost surface as a measure of surface contamination It is considered that the total amount of iron surface contamination (iron surface contamination concentration) at a total of 4 μm on both sides is preferably 100 ppm · μm or less. Therefore, although the impurity amount (impurity concentration) of Comparative Example 1-1 is 1 ppm or less, the total amount of surface contamination (surface contamination concentration) exceeds 100 ppm · μm, which is not preferable.
2.実施例3
コーティング延べパス数およびアルミニウム材3の圧延時のパス数の鉄の表面汚染濃度(鉄の表面汚染総量)に及ぼす影響を調べるために実施例3のサンプルを作製した。
2. Example 3
In order to examine the influence of the total number of coating passes and the number of passes during rolling of the aluminum material 3 on the surface contamination concentration of iron (total amount of iron surface contamination), a sample of Example 3 was prepared.
(1)アルミニウムコーティング層の形成
実施例1および参考例2で示した、6Nの圧延用アルミニウム材を切削した後、塩酸洗浄して、長さ500mm×幅100mm×厚さ2mmのコーティング用アルミニウム材を得た。
実施例1および参考例2と同じ1組の圧延ロール1を用いて、このコーティング用アルミニウム材を圧延して、圧延ロール1の表面にアルミニウムコーティング層2を形成した。圧延ロール1の周長は500mmであった。
(1) Formation of Aluminum Coating Layer After cutting the 6N rolling aluminum material shown in Example 1 and Reference Example 2, the aluminum material for coating having a length of 500 mm × width of 100 mm × thickness of 2 mm was washed with hydrochloric acid. Got.
Using the same set of rolling
コーティング層2を形成するのに用いた圧延条件、より具体的にはコーティング延べパス数と実際のパス数を表4に示す。
上述の長さ500mmのコーティング用アルミニウム材を用いて、1パス毎の圧下率を5%として、表4に示す(表4の「実際の圧延パス数」)4〜20パスの圧延を行った。
Table 4 shows the rolling conditions used to form the
Using the above-described coating aluminum material having a length of 500 mm, rolling was performed for 4 to 20 passes shown in Table 4 (“actual number of rolling passes” in Table 4) with a rolling reduction per pass of 5%. .
そして、(1)式より求めたコーティング延べパス数(小数点以下を整数に四捨五入)を表4に示す。 Table 4 shows the total number of coating passes (rounded to the nearest whole number) obtained from equation (1).
(2)圧延
実施例1および参考例2で示した圧延用のアルミニウム材3を用いて冷間圧延を行った。表4に圧延パス数を示す。
圧延パス数が1の場合は、厚さ10mmから厚さ8mmまで1パス(1パスあたりの圧下率20%)で圧延したことを意味する。
圧延パス数が4の場合は、厚さ10mmから厚さ6mmまで4パス(1パスあたりの圧下率20%)で圧延したことを意味する。
圧延パス数が8の場合は、厚さ10mmから厚さ2mmまで8パス(1パスあたりの圧下率20%)で圧延したことを意味する。
圧延パス数が16の場合は、厚さ10mmから厚さ0.5mmまで16パス(1パスあたりの圧下率20%)で圧延したことを意味する。
(2) Rolling Cold rolling was performed using the aluminum material 3 for rolling shown in Example 1 and Reference Example 2. Table 4 shows the number of rolling passes.
When the number of rolling passes is 1, it means that rolling was performed from 10 mm to 8 mm in 1 pass (20% reduction per pass).
When the number of rolling passes is 4, it means that rolling was performed at a thickness of 10 mm to a thickness of 6 mm by 4 passes (20% reduction per pass).
When the number of rolling passes is 8, it means that rolling was performed at 8 passes (20% reduction per pass) from a thickness of 10 mm to a thickness of 2 mm.
When the number of rolling passes is 16, it means that rolling was performed at a thickness of 10 mm to a thickness of 0.5 mm with 16 passes (20% reduction per pass).
圧延油をとして、石油系炭水化物を主成分とする出光興産株式会社製「ダフニー オイル AL−41」を使用した。 As the rolling oil, “Daffney Oil AL-41” made by Idemitsu Kosan Co., Ltd., which mainly contains petroleum-based carbohydrates, was used.
(3)純度測定
得られた実施例3−1〜3−14の圧延材サンプルの幅方向および長さ方向の中央部付近から幅24mm×長さ24mm×厚さ8mm、6mm、2mm、0.5mmの分析用サンプルを2〜3枚切り出し、エタノールで表面を洗浄後、自然乾燥させて分析用サンプルを得た。
(3) Purity measurement Width 24 mm × length 24 mm × thickness 8 mm, thickness 6 mm, 2 mm, 0 mm from the vicinity of the center in the width direction and the length direction of the obtained rolled material samples of Examples 3-1 to 3-14. Two to three 5 mm samples for analysis were cut out, the surface was washed with ethanol, and then naturally dried to obtain samples for analysis.
深さGDMSによる測定により、サンプル表面から0.1μm毎に深さ2μmまで鉄の濃度(鉄の含有量)を求めた。得られた測定結果より鉄の表面汚染濃度(両面合計4μm)(鉄の表面汚染総量(両面合計4μm))を算出した。 By measurement with depth GDMS, the iron concentration (iron content) was determined from the sample surface to a depth of 2 μm every 0.1 μm. From the measurement results obtained, the iron surface contamination concentration (both sides total 4 μm) (the total amount of iron surface contamination (both sides total 4 μm)) was calculated.
図5は、深さGDMSによる鉄の濃度の測定結果である。縦軸は鉄濃度(ppm)(鉄含有量(ppm))を対数目盛で示している。
表4に鉄の表面汚染濃度(両面合計4μm)(鉄の表面汚染総量(両面合計4μm))を示す。
FIG. 5 shows the measurement results of iron concentration by depth GDMS. The vertical axis indicates the iron concentration (ppm) (iron content (ppm)) on a logarithmic scale.
Table 4 shows the iron surface contamination concentration (total of 4 μm on both sides) (total amount of iron surface contamination (total of 4 μm on both sides)).
図6は、コーティング延べパス数および圧延パス数と鉄の表面汚染濃度(両面合計4μm)(鉄の表面汚染総量(両面合計4μm))との関係を示すグラフである。
縦軸は、コーティング延べパス数を示し、横軸が圧延パス数を示す。グラフ中の円は、縦軸と横軸から判るコーティング延べパス数および圧延パスで作製したサンプルの鉄の表面汚染濃度(両面合計4μm)(鉄の表面汚染総量(両面合計4μm))の大小を円の半径の大小で視覚的に示したものであり、円の横には、鉄の表面汚染濃度(両面合計4μm)(鉄の表面汚染総量(両面合計4μm))を数値で示している。
FIG. 6 is a graph showing the relationship between the total number of coating passes and the number of rolling passes and the iron surface contamination concentration (both sides total 4 μm) (the total amount of iron surface contamination (both sides total 4 μm)).
The vertical axis indicates the total number of coating passes, and the horizontal axis indicates the number of rolling passes. Circles in the graph indicate the total number of coating passes determined from the vertical and horizontal axes, and the surface contamination concentration of iron (4 μm total on both sides) (total surface contamination on both sides (4 μm total on both sides)). This is visually shown by the size of the radius of the circle, and the surface contamination concentration of iron (both sides total 4 μm) (the total amount of iron surface contamination (both sides total 4 μm)) is shown numerically next to the circle.
表4および図6から判るように実施例3に係る何れのサンプルも鉄の表面汚染濃度(鉄の表面汚染総量)が100ppm・μm以下となっている。
図6から判るように、コーティング延べパス数が15回以上で、かつ圧延パス数が16回以上のサンプルは、いずれも鉄の表面汚染濃度(鉄の表面汚染総量)が20ppm・μm以下と顕著に低くなっているのが判る。
As can be seen from Table 4 and FIG. 6, all the samples according to Example 3 have an iron surface contamination concentration (total amount of iron surface contamination) of 100 ppm · μm or less.
As can be seen from FIG. 6, all samples with a total coating pass number of 15 or more and a rolling pass number of 16 or more have a remarkable iron surface contamination concentration (total iron surface contamination) of 20 ppm · μm or less. It can be seen that it is low.
3.実施例4
また、コーティング用アルミニウム材の鉄の表面汚染濃度(鉄の表面汚染総量)に及ぼす影響を調べるために実施例4のサンプルを作製した。
3. Example 4
In addition, a sample of Example 4 was prepared in order to examine the influence of the coating aluminum material on the iron surface contamination concentration (total amount of iron surface contamination).
(1)アルミニウムコーティング層の形成
表5に示す3種類の純度のコーティング用アルミニウム材を用いた。
5Nのコーティング用アルミウム材は市販の高純度アルミニウムを三層電解法により精製して得た。得られた5Nのコーティング用アルミウム材の不純物6元素の濃度(含有量)は、鉄が1.0ppm、シリコンが1.5ppm、マンガンが0.014ppm、クロムが0.055ppm、モリブデンが0.002ppm、バナジウムが0.026ppmで、6元素合計で2.60ppmであった。
(1) Formation of aluminum coating layer Three types of purity aluminum materials for coating shown in Table 5 were used.
The 5N coating aluminum material was obtained by refining commercially available high-purity aluminum by a three-layer electrolytic method. Concentrations (contents) of 6 elements of impurities in the obtained 5N coating aluminum material are 1.0 ppm for iron, 1.5 ppm for silicon, 0.014 ppm for manganese, 0.055 ppm for chromium, and 0.002 ppm for molybdenum. Vanadium was 0.026 ppm, and the total of the 6 elements was 2.60 ppm.
3N8のコーティング用アルミウム材は市販の高純度アルミニウムを一方向凝固法で精製して得た。得られた3N8(純度99.98%レベル)のコーティング用アルミウム材の不純物6元素の濃度(含有量)は、鉄が13ppm、シリコンが30ppm、マンガンが2.0ppm、クロムが3.3ppm、モリブデンが0.57ppm、バナジウムが3.1ppmで、6元素合計で52.0ppmであった。 The aluminum material for coating of 3N8 was obtained by refining commercially available high-purity aluminum by a unidirectional solidification method. Concentrations (contents) of 6 elements of the obtained 3N8 (purity 99.98% level) coating aluminum material were 13 ppm for iron, 30 ppm for silicon, 2.0 ppm for manganese, 3.3 ppm for chromium, and molybdenum. Was 0.57 ppm, vanadium was 3.1 ppm, and the total of 6 elements was 52.0 ppm.
2N8(純度99.8%レベル)のコーティング用アルミウム材は市販の高純度アルミニウムを一方向凝固法で精製して得た。一方向凝固の偏析等の条件が前述の3N8材と異なる。得られた2N8のコーティング用アルミウム材の不純物6元素の濃度(含有量)は、鉄が680ppm、クロムが10ppmで、6元素合計で1370ppmであった。 The 2N8 (purity 99.8% level) aluminum material for coating was obtained by refining commercially available high-purity aluminum by a unidirectional solidification method. Conditions such as unidirectional solidification segregation are different from those of the 3N8 material described above. The concentration (content) of the 6 impurities of the obtained 2N8 coating aluminum material was 680 ppm for iron and 10 ppm for chromium, and the total of the 6 elements was 1370 ppm.
実施例3と同じ1組の圧延ロール1を用いて、それぞれのコーティング用アルミニウム材を圧延して、圧延ロール1の表面にアルミニウムコーティング層2を形成した。
Using the same set of rolling
コーティング層2を形成するのに用いた圧延条件、より具体的にはコーティング延べパス数と実際のパス数を表5に示す。
それぞれのコーティング用アルミウム材は、切削後、塩酸洗浄を行った。塩酸洗浄後の寸法は、長さ500mm×幅100mm×厚さ2mmであった。
この長さ500mmのコーティング用アルミニウム材を用いて、1パス毎の圧下率を5%として、表5に示す(表5の「実際の圧延パス数」)20パスの圧延を行った。
Table 5 shows the rolling conditions used to form the
Each aluminum material for coating was washed with hydrochloric acid after cutting. The dimensions after washing with hydrochloric acid were 500 mm long × 100 mm wide × 2 mm thick.
Using the aluminum material for coating having a length of 500 mm, rolling was performed for 20 passes as shown in Table 5 (“Actual number of rolling passes” in Table 5) with a rolling reduction per pass of 5%.
そして、(1)式より求めたコーティング延べパス数(小数点以下を整数に四捨五入)は表5に示す通り40であった。 Then, the total number of coating passes (rounded to the nearest whole number) obtained from the equation (1) was 40 as shown in Table 5.
(2)圧延
実施例1および参考例2で示した圧延用のアルミニウム材3を用いて冷間圧延を行った。圧延パス数は表5に示すように16であった。
厚さ10mmから厚さ0.5mmまで16パス(1パスあたりの圧下率20%)で圧延した。
(2) Rolling Cold rolling was performed using the aluminum material 3 for rolling shown in Example 1 and Reference Example 2. The number of rolling passes was 16, as shown in Table 5.
Rolling was performed from 16 mm thickness to 0.5 mm thickness by 16 passes (20% reduction per pass ) .
圧延油をとして、石油系炭水化物を主成分とする出光興産株式会社製「ダフニー オイル AL−41」を使用した。 As the rolling oil, “Daffney Oil AL-41” made by Idemitsu Kosan Co., Ltd., which mainly contains petroleum-based carbohydrates, was used.
(3)純度測定
得られた実施例4−1〜4−3の圧延材サンプルの幅方向および長さ方向の中央部付近から幅24mm×長さ24mm×厚さ0.5mmの分析用サンプルを2〜3枚切り出し、エタノールで表面を洗浄後、自然乾燥させて分析用サンプルを得た。
(3) Purity measurement An analytical sample having a width of 24 mm, a length of 24 mm and a thickness of 0.5 mm was obtained from the vicinity of the central portion in the width direction and the length direction of the obtained rolled material samples of Examples 4-1 to 4-3. Two to three sheets were cut out, the surface was washed with ethanol, and then naturally dried to obtain an analytical sample.
深さGDMSによる測定により、サンプル表面から0.1μm毎に深さ2μmまで鉄の濃度(鉄の含有量)を求めた。得られた測定結果より鉄の表面汚染濃度(両面合計4μm)(鉄の表面汚染総量(両面合計4μm))を算出した。 By measurement with depth GDMS, the iron concentration (iron content) was determined from the sample surface to a depth of 2 μm every 0.1 μm. From the measurement results obtained, the iron surface contamination concentration (both sides total 4 μm) (the total amount of iron surface contamination (both sides total 4 μm)) was calculated.
図7は、深さGDMSによる鉄の濃度(鉄の含有量)の測定結果である。縦軸は鉄濃度(ppm)(鉄含有量(ppm))を対数目盛で示している。
表5に鉄の表面汚染濃度(両面合計4μm)(鉄の表面汚染総量(両面合計4μm))を示す。
FIG. 7 shows measurement results of iron concentration (iron content) by depth GDMS. The vertical axis indicates the iron concentration (ppm) (iron content (ppm)) on a logarithmic scale.
Table 5 shows the surface contamination concentration of iron (both sides total 4 μm) (total amount of iron surface contamination (both sides total 4 μm)).
表5から判るように実施例4に係る何れのサンプルも鉄の表面汚染濃度(鉄の表面汚染総量)が100ppm・μm以下となっている。また、コーティング延べパス数が15回以上で、かつ圧延パス数が16回以上のサンプルにおいて、用いたコーティング用アルミニウム材の純度が99.98%以上であれば、より確実に鉄の表面汚染濃度(鉄の表面汚染総量)が20ppm・μm以下にできることが判る。 As can be seen from Table 5, all the samples according to Example 4 have an iron surface contamination concentration (total amount of iron surface contamination) of 100 ppm · μm or less. Further, in a sample having a total coating pass number of 15 or more and a rolling pass number of 16 or more, if the purity of the coating aluminum material used is 99.98% or more, the surface contamination concentration of iron is more surely achieved. It can be seen that (total amount of iron surface contamination) can be reduced to 20 ppm · μm or less.
本発明によれば、例えば超電導マグネット、クライオポンプまたは極低温冷凍機等の部材およびMBE等による半導体の気相成長に用いる原料としても用いることができる高純度のアルミニウム材およびその製造方法が提供される。 According to the present invention, there is provided a high-purity aluminum material that can be used as a material for vapor phase growth of a semiconductor such as a member such as a superconducting magnet, a cryopump or a cryogenic refrigerator, and MBE, and a method for producing the same. The
1 圧延ロール
2 アルミニウムコーティング層
2a アルミニウム薄片
3 アルミニウム材
3a アルミニウム圧延材
DESCRIPTION OF
Claims (10)
表面の少なくとも一部がアルミニウムより成る複数の薄片により覆われていることを特徴とするアルミニウム圧延材。 The surface contamination concentration of iron (total surface contamination of iron) at a depth of 2 μm from the surface of each surface and a total depth of 4 μm is 100 mass ppm · μm or less, and the purity is 99.9999% by mass. The above aluminum rolled material,
An aluminum rolled material, wherein at least a part of the surface is covered with a plurality of thin pieces made of aluminum.
前記アルミニウムコーティング層を有する前記圧延ロールを用いて、純度が質量比で99.9999%以上の第2のアルミニウム材を圧延する圧延工程と、
を含むことを特徴とする純度が質量比で99.9999%以上のアルミニウム圧延材の製造方法。 A coating step of rolling the first aluminum material to form an aluminum coating layer on the surface of the rolling roll;
A rolling step of rolling a second aluminum material having a purity of 99.9999% or more by mass ratio using the rolling roll having the aluminum coating layer;
A method for producing a rolled aluminum material having a purity of 99.9999% or more by mass ratio.
Below (1) performs a rolling of said first Arumiumu material coating total number of paths P t which is defined as of 15 or higher by the formula, and the path number of the rolling of the second aluminum is 16 or more The manufacturing method of Claim 5 characterized by these.
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