JP5853564B2

JP5853564B2 - manufacturing device

Info

Publication number: JP5853564B2
Application number: JP2011221253A
Authority: JP
Inventors: 長坂　公夫; 公夫長坂
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2011-10-05
Filing date: 2011-10-05
Publication date: 2016-02-09
Anticipated expiration: 2031-10-05
Also published as: JP2013079180A

Description

本発明は、封止容器の製造技術に関する。 The present invention relates to a manufacturing technique of a sealed container.

アンプル等の内部が封止された容器を製造する装置が開発されている。特許文献１には、内部に封止する未硬化樹脂を保護するために熱遮断層を形成したカプセルの製造方法が開示されている。特許文献２には、軟化した部位に対し応力を付与することで内周側に窪むくびれ部を成形して封止容器を製造する製造装置が開示されている。特許文献３には、シリカガラス管を加熱して軟化させるとともに引っ張って延伸させ、延伸した延伸部を切断する前に、切断する箇所より延伸方向上流側で延伸部の内側を閉鎖させるガラス管の延伸方法が開示されている。特に特許文献３には、シリカガラス管を加熱して軟化させた領域を捻ることにより、内側を閉鎖させることが開示されている（請求項３）。 An apparatus for producing a container with an sealed interior such as an ampoule has been developed. Patent Document 1 discloses a capsule manufacturing method in which a heat blocking layer is formed to protect uncured resin sealed inside. Patent Document 2 discloses a manufacturing apparatus that manufactures a sealed container by forming a constricted portion recessed on an inner peripheral side by applying stress to a softened portion. Patent Document 3 discloses a glass tube in which a silica glass tube is heated and softened and pulled and stretched, and before the stretched stretched portion is cut, the inside of the stretched portion is closed on the upstream side in the stretch direction from the location to be cut. A stretching method is disclosed. In particular, Patent Document 3 discloses that the inner side is closed by twisting a region where the silica glass tube is heated and softened (Claim 3).

特開平３−２６２９００号公報JP-A-3-262900 特開２００３−３４５４２号公報JP 2003-34542 A 特開２００８−２４７６１７号公報JP 2008-247617 A

ところで、ガラス管などの筒状部材は、加熱して軟化させた領域を捻ってもその軟化の程度によっては内側を閉鎖させるように変形しない場合もある。例えば、加熱量が少なくて軟化が進んでいない状態で捻るとガラス管が割れることもある。また、加熱量が多すぎると、コストが増大するほか、捻る力よりも重力等が支配的になって封止容器の形状を崩す可能性がある。 By the way, a cylindrical member such as a glass tube may not be deformed so as to close the inner side depending on the degree of softening even if the region softened by heating is twisted. For example, the glass tube may be broken when twisted in a state where the amount of heating is small and softening has not progressed. Moreover, when there is too much heating amount, in addition to a cost increasing, gravity etc. may dominate rather than the twisting force, and there exists a possibility of destroying the shape of a sealing container.

本発明は、筒状部材を加熱して封止容器を製造するときの加熱量を調節することを目的とする。 An object of this invention is to adjust the amount of heating when manufacturing a sealing container by heating a cylindrical member.

上述した課題を解決するため、本発明に係る製造装置は、一方の端部が閉じられた中空の筒状部材であって、当該筒状部材の材料とは異なる材料が前記中空の領域に封入された筒状部材の当該端部を把持する把持手段と、前記筒状部材の前記端部と異なる部位を支持する支持手段と、前記筒状部材の前記端部と前記部位との間の決められた位置を加熱する加熱手段と、前記加熱手段に加熱された前記位置を捻る力を付与し、前記筒状部材の軸を中心として、前記端部を前記部位に対して回転させる回転手段と、前記把持手段および前記支持手段をそれぞれ移動させる移動手段と、前記端部と前記部位との回転速度の差を検出する検出手段と、前記検出手段により検出された前記差に基づいて、前記加熱手段が前記位置を加熱する熱量を調節するとともに、前記移動手段が前記把持手段および前記支持手段を移動させる移動量を調節する調節手段と、を具備することを特徴とする。
この構成によれば、筒状部材を加熱して封止容器を製造するときの加熱量を調節することができる。 In order to solve the above-described problems, a manufacturing apparatus according to the present invention is a hollow cylindrical member having one end closed, and a material different from the material of the cylindrical member is enclosed in the hollow region. A gripping means for gripping the end portion of the cylindrical member, a support means for supporting a portion different from the end portion of the cylindrical member, and a determination between the end portion and the portion of the cylindrical member A heating unit that heats the heated position, and a rotation unit that applies a force for twisting the heated position to the heating unit and rotates the end portion with respect to the portion about the axis of the cylindrical member; the a gripping means and moving means for moving said support means, respectively, and detecting means for detecting the difference in rotational speed between the part and the end portion, on the basis of the difference detected by the detecting means, the heating The means adjusts the amount of heat to heat the position Together, wherein the moving means comprises a a regulating means for regulating the amount of movement of said gripping means and said support means.
According to this structure, the heating amount when manufacturing a sealing container by heating a cylindrical member can be adjusted.

また、別の好ましい態様において、前記加熱手段により加熱されて前記位置において溶けた前記筒状部材の外周面が、前記回転手段により捻られて前記中空の領域を閉鎖し、当該筒状部材が前記端部の側と前記部位の側とに分離された後、当該部位の側において閉鎖された部分を新たな端部として前記把持手段に把持させる制御手段を具備することを特徴とする。
この構成によれば、筒状部材から封止容器を連続して製造することができる。 In another preferred embodiment, the outer peripheral surface of the cylindrical member heated by the heating means and melted at the position is twisted by the rotating means to close the hollow region, and the cylindrical member is Control means for causing the gripping means to grip a part closed on the side of the part after being separated into an end part side and the part side as a new end part is provided.
According to this structure, a sealing container can be continuously manufactured from a cylindrical member.

また、別の好ましい態様において、前記支持手段を、前記筒状部材の軸を中心として回転させる手段を具備することを特徴とする。
この構成によれば、筒状部材から製造される封止容器の歪を抑制することができる。 In another preferred embodiment, the support means includes means for rotating the support means about the axis of the cylindrical member.
According to this structure, distortion of the sealing container manufactured from the cylindrical member can be suppressed.

また、別の好ましい態様において、前記筒状部材の材料の軟化点は、当該筒状部材の前記中空の領域に封入された材料の沸点よりも低いことを特徴とする。
この構成によれば、筒状部材から封止容器を製造するときに筒状部材の中空の領域に封入された材料が相変化して封止容器の形成に影響を及ぼす可能性を低減することができる。 In another preferred embodiment, the softening point of the material of the cylindrical member is lower than the boiling point of the material enclosed in the hollow region of the cylindrical member.
According to this configuration, when manufacturing a sealed container from a cylindrical member, the possibility that the material enclosed in the hollow region of the cylindrical member will change phase and affect the formation of the sealed container is reduced. Can do.

本発明の実施形態に係る製造装置の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the manufacturing apparatus which concerns on embodiment of this invention. 製造装置の外観の一部を示す図である。It is a figure which shows a part of external appearance of a manufacturing apparatus. 製造装置の動作を説明するフロー図である。It is a flowchart explaining operation | movement of a manufacturing apparatus. 調節部による熱量の調節の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of adjustment of the calorie | heat amount by an adjustment part. 変形例における製造装置の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the manufacturing apparatus in a modification. 変形例における製造装置の動作を説明するフロー図である。It is a flowchart explaining operation | movement of the manufacturing apparatus in a modification. 変形例における製造装置の外観の一部を示す図である。It is a figure which shows a part of external appearance of the manufacturing apparatus in a modification.

（構成）
図１は、本発明の実施形態に係る製造装置１の構成を示す図である。図２は、製造装置１の外観の一部を示す図である。制御部１１は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）を備える。制御部１１において、ＣＰＵは、ＲＯＭや記憶部１２に記憶されているプログラムをＲＡＭに読み出して実行することにより、製造装置１の各部を制御する。 (Constitution)
FIG. 1 is a diagram showing a configuration of a manufacturing apparatus 1 according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a diagram showing a part of the appearance of the manufacturing apparatus 1. The control unit 11 includes a central processing unit (CPU), a read only memory (ROM), and a random access memory (RAM). In the control unit 11, the CPU controls each unit of the manufacturing apparatus 1 by reading a program stored in the ROM or the storage unit 12 into the RAM and executing the program.

製造装置１は、制御部１１の制御の下、筒状部材Ｔを決められた長さごとに切断するとともにその切断部分を閉鎖してアンプルＴａ（封止容器）を製造する。筒状部材Ｔを構成する材料（以下、第１材料Ｍ₁という）は、例えば、ソーダライムガラスや石英、ホウケイ酸ガラスなどである。筒状部材Ｔの中空には、第１材料Ｍ₁と異なる材料（以下、第２材料Ｍ₂という）が封入される。第２材料Ｍ₂は、例えば、アルカリ金属、特に、金属セシウムなどである。したがって、製造装置１により製造されるアンプルＴａは、ソーダライムガラスや石英、ホウケイ酸ガラスなどの第１材料Ｍ₁で内部空間を覆ったものであって、その内部空間に金属セシウムなどの第２材料Ｍ₂を密封したものである。記憶部１２はハードディスクドライブなどの大容量の記憶手段であり、ＣＰＵに読み込まれるプログラムを記憶する。 Under the control of the control unit 11, the manufacturing apparatus 1 cuts the tubular member T for each predetermined length and closes the cut portion to manufacture an ampoule Ta (sealing container). Material (hereinafter, first that the material M ₁₎ constituting the tubular member T, for example, soda lime glass, quartz, and the like borosilicate glass. In the hollow of the cylindrical member T, a material different from the first material M ₁ (hereinafter referred to as the second material M ₂ ) is enclosed. The second material M ₂ is, for example, an alkali metal, particularly metal cesium. Accordingly, the ampoule Ta manufactured by the manufacturing apparatus 1 covers the internal space with the first material M ₁ such as soda lime glass, quartz, borosilicate glass, and the like, and the second space such as metal cesium is included in the internal space. the material M ₂ is obtained by sealing. The storage unit 12 is a large-capacity storage unit such as a hard disk drive, and stores a program read by the CPU.

クランプ１４０は、互いの間隔が変化し得るよう構成された２本のアームを備えている。図２に示すようにクランプ１４０は、筒状部材Ｔの先端方向に配置されて、この先端を上記のアームで挟んで把持する。ローラー１６０は、図２に示すように筒状部材Ｔの或る部位を支持し、回転することで筒状部材Ｔをその軸方向に沿って移動させる。なお、アームの本数は２本に限定されるものではない。また、クランプ１４０が備える部材は、上記のアームに限られず、筒状部材Ｔを把持し得る部材であればよい。 The clamp 140 includes two arms configured so that the distance between them can be changed. As shown in FIG. 2, the clamp 140 is disposed in the distal direction of the cylindrical member T, and grips the distal end with the above-mentioned arm. The roller 160 supports a certain part of the cylindrical member T as shown in FIG. 2, and moves the cylindrical member T along its axial direction by rotating. Note that the number of arms is not limited to two. Moreover, the member with which the clamp 140 is provided is not restricted to said arm, What is necessary is just a member which can hold | grip the cylindrical member T. FIG.

把持部１４は、クランプ１４０に筒状部材Ｔの先端部を把持させる運動伝達機構である。レーザー照射部１７０は、製造装置１に２つ備えられている。各レーザー照射部１７０は、筒状部材Ｔの外周面の決められた位置に、例えば炭酸ガスレーザーをそれぞれ照射して加熱する。回転部１５は、筒状部材Ｔに対して、レーザー照射部１７０により加熱された位置を捻る力を付与し、この筒状部材Ｔの軸を中心としてクランプ１４０に把持された先端部をローラー１６０に支持された部位に対して回転させる運動伝達機構である。 The grip 14 is a motion transmission mechanism that causes the clamp 140 to grip the tip of the tubular member T. Two laser irradiation units 170 are provided in the manufacturing apparatus 1. Each laser irradiation unit 170 irradiates a predetermined position on the outer peripheral surface of the cylindrical member T with, for example, a carbon dioxide laser to heat it. The rotating unit 15 applies a force to twist the position heated by the laser irradiating unit 170 to the cylindrical member T, and the roller 160 uses the tip portion gripped by the clamp 140 around the axis of the cylindrical member T. It is a motion transmission mechanism that rotates with respect to the part supported by the.

検出部１３は、回転部１５が付与した力に筒状部材Ｔが抵抗するトルクを検出する。検出部１３は、例えば、クランプ１４０に備えられた発光素子と、ローラー１６０に備えられた受光素子と、発光素子および受光素子の間に配置されたスリットとを有する。このスリットは、筒状部材Ｔの捻られる方向に沿って開口幅が変化するように形成されている。発光素子から出力された光線はこのスリットを通過して受光素子に届くので、受光素子に届く光の量は、筒状部材Ｔの歪に応じて変化する。検出部１３は、この光量の変化に基づいて、筒状部材Ｔの歪を求め、これにより上記のトルクを検出する。 The detection unit 13 detects a torque that the cylindrical member T resists the force applied by the rotation unit 15. The detection unit 13 includes, for example, a light emitting element provided in the clamp 140, a light receiving element provided in the roller 160, and a slit disposed between the light emitting element and the light receiving element. The slit is formed so that the opening width changes along the direction in which the tubular member T is twisted. Since the light beam output from the light emitting element passes through this slit and reaches the light receiving element, the amount of light reaching the light receiving element changes according to the strain of the cylindrical member T. The detection unit 13 obtains the distortion of the cylindrical member T based on the change in the light amount, and detects the torque described above.

送出部１６は、図２（ａ）に示す矢印Ｄ１方向にローラー１６０を回転させて、ローラー１６０により支持されている筒状部材Ｔを矢印Ｄ２方向に移動させる。
調節部１７は、検出部１３により検出されたトルクに応じて、レーザー照射部１７０が筒状部材Ｔに照射するレーザーの熱量を調節する。 The sending unit 16 rotates the roller 160 in the direction of arrow D1 shown in FIG. 2A to move the cylindrical member T supported by the roller 160 in the direction of arrow D2.
The adjusting unit 17 adjusts the amount of laser heat that the laser irradiation unit 170 irradiates the cylindrical member T according to the torque detected by the detection unit 13.

（動作）
図３は、製造装置１の動作を説明するフロー図である。制御部１１は、送出部１６によりローラー１６０を図２（ａ）に示す矢印Ｄ１方向に回転させる。ローラー１６０に支持されている筒状部材Ｔは、ローラー１６０の回転に伴って矢印Ｄ２方向に送出される（ステップＳ１）。 (Operation)
FIG. 3 is a flowchart for explaining the operation of the manufacturing apparatus 1. The control unit 11 causes the delivery unit 16 to rotate the roller 160 in the direction of the arrow D1 illustrated in FIG. The cylindrical member T supported by the roller 160 is sent out in the arrow D2 direction as the roller 160 rotates (step S1).

把持部１４は、制御部１１の制御の下、このクランプ１４０のアームに対し、図２（ｂ）に示した矢印Ｄ３方向の力を付与する。その結果、クランプ１４０は、ローラー１６０によって送出された筒状部材Ｔの先端部Ｐａを把持する（ステップＳ２）。 Under the control of the control unit 11, the gripping unit 14 applies a force in the direction of arrow D 3 shown in FIG. 2B to the arm of the clamp 140. As a result, the clamp 140 grips the distal end portion Pa of the cylindrical member T delivered by the roller 160 (step S2).

次に、レーザー照射部１７０は、筒状部材Ｔのうち、ローラー１６０が支持する部位Ｐｂと、クランプ１４０が把持する先端部Ｐａとの間の決められた位置Ｐｃに向けてレーザーを照射し、筒状部材Ｔを加熱する（ステップＳ３）。そして、回転部１５は、クランプ１４０を、筒状部材Ｔの軸を中心として、図２（ｂ）に示す矢印Ｄ４方向に回転させるように力を付与する（ステップＳ４）。検出部１３は、回転部１５により付与された矢印Ｄ４方向の力に抵抗する反作用のトルクを検出する（ステップＳ５）。 Next, the laser irradiation unit 170 irradiates the laser toward a predetermined position Pc between the portion Pb supported by the roller 160 and the tip end Pa gripped by the clamp 140 in the cylindrical member T, The cylindrical member T is heated (step S3). And the rotation part 15 provides force so that the clamp 140 may be rotated centering on the axis | shaft of the cylindrical member T to the arrow D4 direction shown in FIG.2 (b) (step S4). The detection unit 13 detects a reaction torque that resists the force in the direction of the arrow D4 applied by the rotation unit 15 (step S5).

クランプ１４０は、筒状部材Ｔの先端部Ｐａを把持しており、ローラー１６０は筒状部材Ｔの部位Ｐｂを支持している。クランプ１４０が回転部１５によって回転するように矢印Ｄ４方向の力を付与されると、位置Ｐｃにおける筒状部材Ｔの溶け具合に応じて、その力の反作用として検出されるトルクの大きさが決まる。 The clamp 140 holds the distal end portion Pa of the cylindrical member T, and the roller 160 supports the portion Pb of the cylindrical member T. When a force in the direction of the arrow D4 is applied so that the clamp 140 is rotated by the rotating portion 15, the magnitude of torque detected as a reaction of the force is determined according to the degree of melting of the cylindrical member T at the position Pc. .

例えば、レーザー照射による熱量が比較的少なく、位置Ｐｃにおける筒状部材Ｔの温度が軟化点に至っていないと、回転部１５により付与された力は、ほとんどそのまま反作用として検出部１３により検出される。そして、位置Ｐｃにおける筒状部材Ｔの温度が軟化点を超えると、筒状部材Ｔは位置Ｐｃで軟化し始めるため、クランプ１４０に把持された先端部Ｐａは筒状部材Ｔの軸を中心として回転する。しかし、位置Ｐｃにおける筒状部材Ｔは溶融しきって液体になっているのではないため、検出部１３は、この回転に対して筒状部材Ｔが抵抗する反作用のトルクを検出する。レーザー照射による熱量が大きくなり、位置Ｐｃにおける筒状部材Ｔが溶融すればするほど、検出部１３が検出する上記のトルクは小さくなる。 For example, if the amount of heat generated by laser irradiation is relatively small and the temperature of the cylindrical member T at the position Pc does not reach the softening point, the force applied by the rotating unit 15 is detected by the detecting unit 13 almost as a reaction. When the temperature of the cylindrical member T at the position Pc exceeds the softening point, the cylindrical member T starts to soften at the position Pc, so that the tip portion Pa held by the clamp 140 is centered on the axis of the cylindrical member T. Rotate. However, since the cylindrical member T at the position Pc is not completely melted into a liquid, the detection unit 13 detects a reaction torque that the cylindrical member T resists against this rotation. As the amount of heat generated by laser irradiation increases and the cylindrical member T at the position Pc melts, the torque detected by the detection unit 13 decreases.

調節部１７は、検出部１３が検出するトルクに応じて、レーザー照射部１７０のレーザー照射により筒状部材Ｔに与える熱量を調節する（ステップＳ６）。具体的には、調節部１７は、トルクが大きいほどレーザーのパワーを上げて筒状部材Ｔに与える熱量を増加させる。 The adjusting unit 17 adjusts the amount of heat given to the tubular member T by the laser irradiation of the laser irradiation unit 170 according to the torque detected by the detection unit 13 (step S6). Specifically, the adjusting unit 17 increases the power of the laser to increase the amount of heat given to the tubular member T as the torque increases.

図４は、調節部１７による熱量の調節の一例を示す図である。図４の横軸は、検出部１３による検出開始時刻ｔ０からの時刻を表しており、縦軸は検出量であるトルクや調節部１７により調節される熱量など量を表している。回転部１５によりクランプ１４０に力が付与されても、検出開始時刻ｔ０から時刻ｔ１までの期間は筒状部材Ｔが軟化点に至っていないことにより、検出されるトルクが比較的高い。この期間において、調節部１７は、レーザーのパワーを上昇させて筒状部材Ｔに与える熱量を増加させる。 FIG. 4 is a diagram illustrating an example of heat amount adjustment by the adjustment unit 17. The horizontal axis in FIG. 4 represents the time from the detection start time t0 by the detection unit 13, and the vertical axis represents the amount such as the torque that is the detection amount and the amount of heat adjusted by the adjustment unit 17. Even if a force is applied to the clamp 140 by the rotating portion 15, the detected torque is relatively high because the cylindrical member T has not reached the softening point during the period from the detection start time t0 to the time t1. During this period, the adjustment unit 17 increases the amount of heat given to the tubular member T by increasing the power of the laser.

時刻ｔ１を経過すると、検出部１３が検出するトルクは低下し始める。これに伴い制御部１１は、調節部１７を制御して、レーザー照射部１７０が照射するレーザーの熱量を下げ、例えば、図４に示すように一定値にする。そして、検出部１３が検出するトルクが急激に低下する時刻ｔ２を経過した後、調節部１７は、レーザーの熱量を低下させる。 When the time t1 elapses, the torque detected by the detection unit 13 starts to decrease. Accordingly, the control unit 11 controls the adjustment unit 17 to reduce the amount of heat of the laser irradiated by the laser irradiation unit 170, for example, to a constant value as shown in FIG. And after the time t2 when the torque detected by the detection unit 13 suddenly decreases, the adjustment unit 17 decreases the heat quantity of the laser.

筒状部材Ｔの外周面のうち、レーザー照射部１７０により加熱された位置Ｐｃは、温度上昇に伴って溶融する。回転部１５が与える力を受けて筒状部材Ｔは、クランプ１４０に把持された先端部Ｐａとローラー１６０に支持された部位Ｐｂとの間が捻られる。その結果、溶融した位置Ｐｃにおいて筒状部材Ｔの外周面は内周側に窪み、さらに図２（ｃ）に示すように捩じ切られる。すなわち、筒状部材Ｔは、クランプ１４０に把持されたアンプルＴａと、ローラー１６０に支持された残り部Ｔｂに分離する。このとき、捩じ切られた部分は溶融しているため、アンプルＴａおよび残り部Ｔｂのそれぞれの中空領域を閉鎖するように融着する。そして、捩じ切られたことにより、ローラー１６０により支持された部位Ｐｂとクランプ１４０により把持された先端部Ｐａとは繋がりが無くなるので、検出部１３は、トルクを検出しなくなる。 Of the outer peripheral surface of the cylindrical member T, the position Pc heated by the laser irradiation unit 170 melts as the temperature rises. In response to the force applied by the rotating portion 15, the tubular member T is twisted between the tip end Pa gripped by the clamp 140 and the portion Pb supported by the roller 160. As a result, the outer peripheral surface of the cylindrical member T is depressed toward the inner peripheral side at the melted position Pc, and is further twisted off as shown in FIG. That is, the cylindrical member T is separated into an ampoule Ta held by the clamp 140 and a remaining portion Tb supported by the roller 160. At this time, since the twisted portion is melted, it is fused so as to close the respective hollow regions of the ampoule Ta and the remaining portion Tb. Since the portion Pb supported by the roller 160 and the tip end portion Pa held by the clamp 140 are not connected by being twisted, the detection unit 13 does not detect torque.

検出部１３がトルクを検出しなくなると制御部１１は、把持部１４を制御してクランプ１４０をアンプルＴａから離す。そして、送出部１６は、ローラー１６０を図２（ａ）に示す矢印Ｄ１方向に回転させて、残り部Ｔｂを矢印Ｄ２方向に送る。このようにして残り部Ｔｂが新たな筒状部材Ｔとなり、その中空領域が閉鎖された部分がクランプ１４０に把持されることで、連続してアンプルＴａが製造される。 When the detection unit 13 stops detecting the torque, the control unit 11 controls the gripping unit 14 to release the clamp 140 from the ampoule Ta. Then, the sending unit 16 rotates the roller 160 in the direction of the arrow D1 illustrated in FIG. 2A, and sends the remaining portion Tb in the direction of the arrow D2. In this way, the remaining portion Tb becomes a new tubular member T, and the portion where the hollow region is closed is held by the clamp 140, whereby the ampule Ta is continuously manufactured.

例えば、加熱量が少なすぎると筒状部材Ｔが軟化し難く、付与される回転力が筒状部材Ｔの軟化していない部位にかかって破断してしまう可能性がある。また、加熱量が多すぎると筒状部材Ｔが著しく変形して重力の影響を受けて部分的な脱落をしてしまう可能性もある。本発明の実施形態にかかる製造装置１は、上述したとおり、筒状部材Ｔの先端部を回転させようとする力に対して筒状部材Ｔが抵抗するトルクを検出し、検出したこのトルクの大きさに応じて加熱量を調節するので、筒状部材Ｔを過不足なく加熱することができる。 For example, if the heating amount is too small, the tubular member T is difficult to soften, and the applied rotational force may be applied to a portion of the tubular member T that is not softened and may break. Moreover, when there is too much heating amount, the cylindrical member T may deform | transform significantly and it may receive the influence of gravity, and may fall off partially. As described above, the manufacturing apparatus 1 according to the embodiment of the present invention detects the torque that the cylindrical member T resists against the force to rotate the tip of the cylindrical member T, and the detected torque Since the heating amount is adjusted according to the size, the cylindrical member T can be heated without excess or deficiency.

（変形例）
以上が実施形態の説明であるが、この実施形態の内容は以下のように変形し得る。また、以下の変形例を組み合わせてもよい。 (Modification)
The above is the description of the embodiment, but the contents of this embodiment can be modified as follows. Further, the following modifications may be combined.

（変形例１）
上述した実施形態において、調節部１７は、検出部１３により検出されたトルクに応じて、レーザー照射部１７０が筒状部材Ｔに照射するレーザーの熱量を調節していたが、他の量に応じてレーザーの熱量を調節してもよい。例えば、調節部１７は、赤外線放射温度計などの温度計により測定された温度に応じてレーザーの熱量を調節してもよい。この場合、温度計は、筒状部材Ｔのうちレーザー照射部１７０がレーザーを照射する位置を含む領域の温度を測定してもよい。 (Modification 1)
In the embodiment described above, the adjusting unit 17 adjusts the amount of heat of the laser that the laser irradiation unit 170 irradiates the cylindrical member T according to the torque detected by the detection unit 13. The amount of heat of the laser may be adjusted. For example, the adjustment unit 17 may adjust the amount of heat of the laser according to the temperature measured by a thermometer such as an infrared radiation thermometer. In this case, the thermometer may measure the temperature of the region including the position where the laser irradiation unit 170 irradiates the laser in the cylindrical member T.

（変形例２）
上述した実施形態において、ローラー１６０は固定されていたが、クランプ１４０とローラー１６０の両方が筒状部材Ｔの軸を中心として回転してもよい。この場合、回転部１５は、筒状部材Ｔの軸を中心としてクランプ１４０に把持された先端部をローラー１６０に支持された部位に対して相対的に回転させればよい。筒状部材Ｔを水平に支持して封止容器を製造する場合、筒状部材Ｔから製造される封止容器は重力の影響を受けてその軸に対して非対称な形状に変形する可能性がある。この変形例のように、筒状部材Ｔ自体を、軸を中心に回転させることで、封止容器が重力の影響によって変形することが抑制される。 (Modification 2)
In the embodiment described above, the roller 160 is fixed, but both the clamp 140 and the roller 160 may rotate about the axis of the tubular member T. In this case, the rotation part 15 should just rotate the front-end | tip part hold | gripped by the clamp 140 centering on the axis | shaft of the cylindrical member T with respect to the site | part supported by the roller 160. FIG. When manufacturing a sealed container by horizontally supporting the cylindrical member T, the sealed container manufactured from the cylindrical member T may be deformed into an asymmetric shape with respect to its axis under the influence of gravity. is there. By rotating the cylindrical member T itself about the axis as in this modification, the sealing container is suppressed from being deformed by the influence of gravity.

（変形例３）
上述した実施形態において、レーザー照射部１７０は、製造装置１に２つ備えられていたが、その数は２つに限られず、１つでもよいし、３つ以上でもよい。また、レーザー照射部１７０に対して筒状部材Ｔが回転するように構成されていてもよい。これにより、レーザー照射部１７０がレーザーを照射する位置は、筒状部材Ｔの周方向に回転するので、切断部を均一に加熱することができる。さらに、レーザー照射部１７０を回転方向に複数並べてもよい。 (Modification 3)
In the embodiment described above, two laser irradiation units 170 are provided in the manufacturing apparatus 1, but the number is not limited to two, and may be one or three or more. Further, the cylindrical member T may be configured to rotate with respect to the laser irradiation unit 170. Thereby, since the position where the laser irradiation part 170 irradiates the laser rotates in the circumferential direction of the cylindrical member T, the cutting part can be heated uniformly. Further, a plurality of laser irradiation units 170 may be arranged in the rotation direction.

（変形例４）
上述した実施形態において、レーザー照射部１７０は、炭酸ガスレーザーを照射していたが、炭酸ガスレーザー以外のレーザーを照射してもよい。また、レーザーの種類は、第１材料または第２材料の光吸収特性に応じて選定されてもよい。例えば、第１材料または第２材料の光吸収特性が閾値を超えるときの波長を照射するレーザーの波長に設定してもよい。 (Modification 4)
In the embodiment described above, the laser irradiation unit 170 irradiates the carbon dioxide laser, but may irradiate a laser other than the carbon dioxide laser. The type of laser may be selected according to the light absorption characteristics of the first material or the second material. For example, you may set to the wavelength of the laser which irradiates the wavelength when the light absorption characteristic of a 1st material or a 2nd material exceeds a threshold value.

（変形例５）
上述した実施形態において、筒状部材Ｔは、レーザー照射部１７０によるレーザーの照射により加熱されていたが、レーザー以外の加熱手段が用いられていてもよい。例えば、筒状部材Ｔは、バーナーや電熱線などによって、加熱されてもよい。 (Modification 5)
In the embodiment described above, the cylindrical member T is heated by the laser irradiation by the laser irradiation unit 170, but a heating means other than the laser may be used. For example, the cylindrical member T may be heated by a burner or a heating wire.

（変形例６）
上述した実施形態において、送出部１６は、ローラー１６０を回転させて筒状部材Ｔを図２（ａ）に示す矢印Ｄ２方向に送出していたが、クランプ１４０がこの矢印Ｄ２方向と逆の方向に移動して筒状部材Ｔを把持した後、矢印Ｄ２方向に筒状部材Ｔを引っ張ってもよい。 (Modification 6)
In the embodiment described above, the delivery unit 16 rotates the roller 160 to deliver the tubular member T in the direction of arrow D2 shown in FIG. 2A, but the clamp 140 is in a direction opposite to the direction of arrow D2. After moving to and gripping the tubular member T, the tubular member T may be pulled in the direction of the arrow D2.

（変形例７）
上述した実施形態において、第１材料Ｍ₁は、ソーダライムガラスや石英、ホウケイ酸ガラスなどであり、第２材料Ｍ₂は、アルカリ金属などであったが、第１材料Ｍ₁の軟化点が第２材料Ｍ₂の沸点よりも低いという条件を満たすように、これらの材料は選定されてもよい。 (Modification 7)
In the embodiment described above, the first material M ₁ is soda lime glass, quartz, borosilicate glass, and the like, and the second material M ₂ is alkali metal or the like, but the softening point of the first material M ₁ is These materials may be selected so as to satisfy the condition that the boiling point of the second material M ₂ is lower.

また、筒状部材Ｔを溶融する温度において、その筒状部材Ｔの材料である第１材料Ｍ₁の粘度が、第２材料Ｍ₂の粘度よりも高いという条件を満たすように、これらの材料は選定されてもよい。この条件を満たすことにより、筒状部材Ｔの溶融した部分が閉鎖し易くなるからである。 Further, at a temperature at which the cylindrical member T is melted, these materials are satisfied so as to satisfy the condition that the viscosity of the first material M ₁ that is the material of the cylindrical member T is higher than the viscosity of the second material M _2. May be selected. This is because satisfying this condition makes it easier to close the melted portion of the cylindrical member T.

（変形例８）
上述した実施形態において、筒状部材Ｔは延伸されなかったが、例えば、加熱されているときに軸方向に沿って両端から引っ張られることで延伸されてもよい。図５は、この変形例における製造装置１Ａの構成を示す図である。また、図６は、この変形例における製造装置１Ａの動作を説明するフロー図である。また、図７は、この変形例における製造装置１Ａの外観の一部を示す図である。以下、図５〜７を用いて製造装置１Ａのうち、主に製造装置１と異なる点を説明し、共通する点については説明を省略する。 (Modification 8)
In the above-described embodiment, the tubular member T is not stretched, but may be stretched by being pulled from both ends along the axial direction when being heated, for example. FIG. 5 is a diagram showing the configuration of the manufacturing apparatus 1A in this modification. FIG. 6 is a flowchart for explaining the operation of the manufacturing apparatus 1A in this modification. Moreover, FIG. 7 is a figure which shows a part of external appearance of 1 A of manufacturing apparatuses in this modification. Hereinafter, among the manufacturing apparatus 1 A, differences from the manufacturing apparatus 1 will be mainly described with reference to FIGS. 5 to 7, and description of common points will be omitted.

製造装置１Ａの把持部１４Ａは、ブレーキ１４４を介してクランプ１４０を支持する。ブレーキ１４４は、内筒とその外周を覆う外筒を有し、例えばベアリングなどにより、外筒に対して内筒が回転可能に支持されている。また、ブレーキ１４４は、例えば、外筒に固定されて内筒に巻きつけるベルトを有している。このベルトを巻きつける力が調整されると、内筒の外周面とベルトとに生じる摩擦力が変化するため、内筒の回転に抵抗する力が調整される。ブレーキ１４４の内筒の内側にはクランプ１４０の柄が固定される。ブレーキ１４４の外筒は、ブレーキ台車１４３に固定される。 The gripping portion 14 A of the manufacturing apparatus 1 A supports the clamp 140 via the brake 144. The brake 144 has an inner cylinder and an outer cylinder that covers the outer periphery of the inner cylinder, and the inner cylinder is rotatably supported with respect to the outer cylinder, for example, by a bearing or the like. The brake 144 has, for example, a belt fixed to the outer cylinder and wound around the inner cylinder. When the force for winding the belt is adjusted, the frictional force generated between the outer peripheral surface of the inner cylinder and the belt changes, so that the force resisting the rotation of the inner cylinder is adjusted. A handle of the clamp 140 is fixed inside the inner cylinder of the brake 144. The outer cylinder of the brake 144 is fixed to the brake carriage 143.

チャック１５０は、内筒とその外周を覆う外筒を有し、例えばベアリングなどにより、外筒に対して内筒が回転可能に支持されている。チャック１５０の内筒は、内側に向けて突出する部材を複数個有しており、制御部１１がこれら部材の突出長さを制御することにより、筒状部材Ｔを把持したり解放したりする。回転部１５Ａは、チャック１５０の外筒に対して、内筒をその軸を中心として回転させることにより、この内筒が把持する筒状部材Ｔを回転させる。外筒に対して内筒を回転させる動力伝達機構は、特に限定しないが、例えば、チャック１５０の内筒は、外周の一部に歯車が設けられており、この歯車と、チャック１５０の外筒に設けられた歯車とを噛みあわせ、外筒側の歯車を回転させることで内筒を回転させるといった機構であってもよい。チャック１５０の外筒は、チャック台車１５３に固定される。 The chuck 150 includes an inner cylinder and an outer cylinder that covers the outer periphery of the inner cylinder, and the inner cylinder is rotatably supported with respect to the outer cylinder by, for example, a bearing. The inner cylinder of the chuck 150 has a plurality of members projecting inward, and the control unit 11 controls the projecting length of these members to grip or release the tubular member T. . The rotating portion 15A rotates the cylindrical member T gripped by the inner cylinder by rotating the inner cylinder about its axis with respect to the outer cylinder of the chuck 150. The power transmission mechanism that rotates the inner cylinder with respect to the outer cylinder is not particularly limited. For example, the inner cylinder of the chuck 150 is provided with a gear on a part of the outer periphery. The mechanism may be such that the inner cylinder is rotated by meshing with the gear provided on the outer cylinder and rotating the gear on the outer cylinder side. The outer cylinder of the chuck 150 is fixed to the chuck carriage 153.

図７に示すように、ブレーキ１４４の外筒が固定されたブレーキ台車１４３は、第１ステージ１４１の上に置かれ、第１ステージ１４１上に設けられた第１レール１４２に沿って移動するように構成されている。また、チャック１５０の外筒が固定されたチャック台車１５３は、第２ステージ１５１の上に置かれ、第２ステージ１５１上に設けられた第２レール１５２に沿って移動するように構成されている。第１レール１４２と第２レール１５２とは一直線上に配置されている。
延伸部１８は、ブレーキ台車１４３およびチャック台車１５３に電力を供給し、ブレーキ台車１４３およびチャック台車１５３を移動させる。 As shown in FIG. 7, the brake carriage 143 to which the outer cylinder of the brake 144 is fixed is placed on the first stage 141 and moves along the first rail 142 provided on the first stage 141. It is configured. The chuck carriage 153 to which the outer cylinder of the chuck 150 is fixed is placed on the second stage 151 and is moved along the second rail 152 provided on the second stage 151. . The first rail 142 and the second rail 152 are arranged on a straight line.
The extending unit 18 supplies power to the brake carriage 143 and the chuck carriage 153, and moves the brake carriage 143 and the chuck carriage 153.

検出部１３Ａは、筒状部材Ｔのうち、チャック１５０の内筒が把持する部分の回転速度と、クランプ１４０のアームが把持する部分の回転速度との差（以下、回転速度差という）を検出する。検出部１３は、例えば、クランプ１４０に備えられた発光素子と、チャック１５０に備えられた受光素子と、発光素子および受光素子の間に配置されたスリットとを有し、受光素子で計測される光量の変化に基づいて、上記の回転速度差を検出する。 13 A of detection parts detect the difference (henceforth a rotational speed difference) between the rotational speed of the part which the inner cylinder of the chuck | zipper 150 holds in the cylindrical member T, and the rotational speed of the part which the arm of the clamp 140 holds. To do. The detection unit 13 includes, for example, a light emitting element provided in the clamp 140, a light receiving element provided in the chuck 150, and a slit disposed between the light emitting element and the light receiving element, and is measured by the light receiving element. The rotational speed difference is detected based on the change in the amount of light.

送出部１６Ａは、製造装置１の送出部１６と同様に、ローラー１６０を回転させてローラー１６０により支持されている筒状部材Ｔをその軸方向に沿って移動させる。また、送出部１６Ａは、筒状部材Ｔの径方向にローラー１６０を移動させて、ローラー１６０を筒状部材Ｔから離したり、筒状部材Ｔに押し付けたりする。 16 A of sending parts rotate the roller 160 similarly to the sending part 16 of the manufacturing apparatus 1, and move the cylindrical member T currently supported by the roller 160 along the axial direction. Further, the sending unit 16A moves the roller 160 in the radial direction of the cylindrical member T to separate the roller 160 from the cylindrical member T or press the roller 160 against the cylindrical member T.

図７（ａ）に示す状態で、チャック１５０は筒状部材Ｔを解放しているため、筒状部材Ｔは、チャック１５０の内筒の軸方向に沿って移動可能になっている。また、送出部１６Ａは、ローラー１６０を筒状部材Ｔに押し付けているため、ローラー１６０の回転力は筒状部材Ｔに伝わる。制御部１１は、送出部１６Ａによりローラー１６０を図７（ａ）に示す矢印Ｄ１方向に回転させる。ローラー１６０に支持されている筒状部材Ｔは、ローラー１６０の回転に伴って矢印Ｄ２方向に送出される（ステップＳ１）。 Since the chuck 150 releases the cylindrical member T in the state shown in FIG. 7A, the cylindrical member T is movable along the axial direction of the inner cylinder of the chuck 150. Further, since the sending unit 16A presses the roller 160 against the cylindrical member T, the rotational force of the roller 160 is transmitted to the cylindrical member T. The control unit 11 rotates the roller 160 in the arrow D1 direction shown in FIG. The cylindrical member T supported by the roller 160 is sent out in the arrow D2 direction as the roller 160 rotates (step S1).

把持部１４Ａは、制御部１１の制御の下、このクランプ１４０のアームに対し、図７（ｂ）に示した矢印Ｄ３方向の力を付与する。その結果、クランプ１４０は、ローラー１６０によって送出された筒状部材Ｔの先端部Ｐａを把持する（ステップＳ２）。また、送出部１６Ａは、ローラー１６０を図７（ｂ）に示した矢印Ｄ０方向に移動させ、筒状部材Ｔから離す。そしてこのときチャック１５０の内筒は、制御部１１の制御の下、筒状部材Ｔを把持する。 Under the control of the control unit 11, the gripping unit 14A applies a force in the direction of arrow D3 shown in FIG. 7B to the arm of the clamp 140. As a result, the clamp 140 grips the distal end portion Pa of the cylindrical member T delivered by the roller 160 (step S2). Further, the delivery unit 16A moves the roller 160 in the direction of the arrow D0 shown in FIG. At this time, the inner cylinder of the chuck 150 holds the cylindrical member T under the control of the control unit 11.

次に、レーザー照射部１７０は、筒状部材Ｔのうち、チャック１５０が把持する部位Ｐｂと、クランプ１４０が把持する先端部Ｐａとの間の決められた位置Ｐｃに向けてレーザーを照射し、筒状部材Ｔを加熱する（ステップＳ３）。そして、回転部１５Ａは、チャック１５０の内筒を、筒状部材Ｔの軸を中心として、図７（ｂ）に示す矢印Ｄ５方向に回転させるように力を付与する（ステップＳ４）。これにより、チャック１５０の内筒に把持された筒状部材Ｔが矢印Ｄ５方向に回転し、この回転に伴って、筒状部材Ｔの先端を把持するクランプ１４０も図７（ｂ）に示す矢印Ｄ６方向に回転する。
検出部１３Ａは、矢印Ｄ５方向に回転する部位Ｐｂと、矢印Ｄ６方向に回転する先端部Ｐａとの回転速度差を検出する（ステップＳ５）。 Next, the laser irradiation unit 170 irradiates the laser toward a predetermined position Pc between the part Pb gripped by the chuck 150 and the tip end Pa gripped by the clamp 140 in the cylindrical member T, The cylindrical member T is heated (step S3). Then, the rotating portion 15A applies a force so as to rotate the inner cylinder of the chuck 150 about the axis of the cylindrical member T in the direction of arrow D5 shown in FIG. 7B (step S4). As a result, the cylindrical member T gripped by the inner cylinder of the chuck 150 rotates in the direction of arrow D5, and with this rotation, the clamp 140 that grips the tip of the cylindrical member T is also shown by the arrow in FIG. Rotate in direction D6.
The detection unit 13A detects a rotational speed difference between the portion Pb rotating in the arrow D5 direction and the tip end Pa rotating in the arrow D6 direction (step S5).

クランプ１４０は、筒状部材Ｔの先端部Ｐａを把持しており、チャック１５０は筒状部材Ｔの部位Ｐｂを把持している。チャック１５０が回転部１５Ａによって回転するように矢印Ｄ５方向の力を付与されると、位置Ｐｃにおける筒状部材Ｔの溶け具合に応じて、その力が先端部Ｐａに伝わり、部位Ｐｂと先端部Ｐａとの回転速度差が決まる。 The clamp 140 holds the distal end portion Pa of the cylindrical member T, and the chuck 150 holds the portion Pb of the cylindrical member T. When a force in the direction of the arrow D5 is applied so that the chuck 150 is rotated by the rotating portion 15A, the force is transmitted to the distal end portion Pa according to the degree of melting of the cylindrical member T at the position Pc, and the portion Pb and the distal end portion The rotational speed difference from Pa is determined.

ブレーキ１４４の内筒の回転に抵抗する力がほとんどかけられていない状態において、例えば、レーザー照射による熱量が比較的少なく、位置Ｐｃにおける筒状部材Ｔの温度が軟化点に至っていないと、チャック１５０が部位Ｐｂにおいて筒状部材Ｔを回転させる力は、ほとんどそのまま筒状部材Ｔの先端部Ｐａに伝えられる。したがって、このときの筒状部材Ｔの部位Ｐｂにおける矢印Ｄ５方向の回転速度は、筒状部材Ｔの位置Ｐａにおける矢印Ｄ６方向の回転速度とほぼ等しく、検出部１３Ａは、上述した回転速度差を検出しない。 In a state where almost no force resisting the rotation of the inner cylinder of the brake 144 is applied, for example, when the amount of heat by laser irradiation is relatively small and the temperature of the cylindrical member T at the position Pc has not reached the softening point, the chuck 150 However, the force that rotates the cylindrical member T at the portion Pb is almost directly transmitted to the distal end portion Pa of the cylindrical member T. Therefore, the rotational speed in the direction of the arrow D5 at the part Pb of the cylindrical member T at this time is substantially equal to the rotational speed in the direction of the arrow D6 at the position Pa of the cylindrical member T, and the detection unit 13A determines the rotational speed difference described above. Do not detect.

位置Ｐｃにおける筒状部材Ｔの温度が軟化点を超えると、筒状部材Ｔは位置Ｐｃで軟化し始める。このとき、チャック１５０が部位Ｐｂにおいて筒状部材Ｔを回転させる力は、間に軟化し始めた部位をはさんでいるため、弱められて筒状部材Ｔの先端部Ｐａに伝えられる。そのため、筒状部材Ｔの位置Ｐａにおける矢印Ｄ６方向の回転速度は、慣性の影響を受けて、筒状部材Ｔの部位Ｐｂにおける矢印Ｄ５方向の回転速度よりも遅くなる。したがって、検出部１３Ａは、これら回転速度の差分である回転速度差を検出する。レーザー照射による熱量が大きくなり、位置Ｐｃにおける筒状部材Ｔが溶融すればするほど、検出部１３が検出する上記の回転速度差は大きくなる。そして回転速度差が大きくなるほど、筒状部材Ｔは、位置Ｐｃを中心に捻じれて、先端部Ｐａのある側と部位Ｐｂのある側とに分離し、中空の領域はそれぞれの側で閉鎖していく。 When the temperature of the cylindrical member T at the position Pc exceeds the softening point, the cylindrical member T starts to soften at the position Pc. At this time, the force with which the chuck 150 rotates the cylindrical member T at the part Pb is sandwiched between the parts that have started to soften in between, and is thus weakened and transmitted to the distal end portion Pa of the cylindrical member T. Therefore, the rotational speed in the direction of the arrow D6 at the position Pa of the cylindrical member T is affected by the inertia and becomes slower than the rotational speed in the direction of the arrow D5 at the part Pb of the cylindrical member T. Therefore, the detection unit 13A detects a rotational speed difference that is a difference between these rotational speeds. As the amount of heat generated by laser irradiation increases and the cylindrical member T at the position Pc melts, the difference in rotational speed detected by the detection unit 13 increases. As the rotational speed difference increases, the cylindrical member T is twisted about the position Pc and separated into the side with the tip Pa and the side with the part Pb, and the hollow region is closed on each side. To go.

調節部１７Ａは、検出部１３が検出する回転速度差に応じて、レーザー照射部１７０のレーザー照射により筒状部材Ｔに与える熱量を調節する（ステップＳ６）。具体的には、調節部１７Ａは、回転速度差が大きくなりはじめたときにレーザーのパワーを上げて筒状部材Ｔに与える熱量を増加させる。また、調節部１７Ａは、回転速度差が予め決められた閾値を超えたときにレーザーのパワーを下げて筒状部材Ｔに与える熱量を低下させる。 The adjustment unit 17A adjusts the amount of heat given to the tubular member T by the laser irradiation of the laser irradiation unit 170 according to the rotational speed difference detected by the detection unit 13 (step S6). Specifically, the adjusting unit 17A increases the power of the laser to increase the amount of heat given to the tubular member T when the rotational speed difference starts to increase. Further, the adjusting unit 17A reduces the amount of heat given to the cylindrical member T by reducing the laser power when the rotational speed difference exceeds a predetermined threshold.

延伸部１８は、ステップＳ７において、検出部１３が検出する回転速度差に応じて、ブレーキ台車１４３およびチャック台車１５３を移動させる。例えば、延伸部１８は、回転速度差が予め決められた閾値を超えたときに、ブレーキ台車１４３およびチャック台車１５３を互いに離れる方向にそれぞれ移動させる。すなわち、延伸部１８は、図７（ｃ）に示すように、ブレーキ台車１４３を第１レール１４２に沿って矢印Ｄ８方向に移動させ、チャック台車１５３を第２レール１５２に沿って矢印Ｄ７方向に移動させる。これにより、ブレーキ台車１４３に固定されたブレーキ１４４の外筒は、レーザー照射部１７０がレーザーを照射する筒状部材Ｔの位置Ｐｃから遠ざかるように移動する。また、チャック台車１５３に固定されたチャック１５０の外筒は、レーザー照射部１７０がレーザーを照射する筒状部材Ｔの位置Ｐｃから遠ざかるように移動する。そして、この動作によって筒状部材Ｔは、先端部Ｐａと部位Ｐｂとが位置Ｐｃから遠ざかるように延伸される（ステップＳ７）。筒状部材Ｔが延伸されるほど、位置Ｐｃにおいて筒状部材Ｔの径が細くなり、筒状部材Ｔの中空の領域は、先端部Ｐａのある側と部位Ｐｂのある側とでそれぞれ閉鎖していく。 In step S 7, the extending unit 18 moves the brake carriage 143 and the chuck carriage 153 in accordance with the rotational speed difference detected by the detection unit 13. For example, when the rotation speed difference exceeds a predetermined threshold value, the extending unit 18 moves the brake carriage 143 and the chuck carriage 153 in directions away from each other. That is, as shown in FIG. 7C, the extending portion 18 moves the brake carriage 143 along the first rail 142 in the direction of the arrow D8, and moves the chuck carriage 153 along the second rail 152 in the direction of the arrow D7. Move. Accordingly, the outer cylinder of the brake 144 fixed to the brake carriage 143 moves so as to move away from the position Pc of the cylindrical member T where the laser irradiation unit 170 irradiates the laser. Further, the outer cylinder of the chuck 150 fixed to the chuck carriage 153 moves away from the position Pc of the cylindrical member T where the laser irradiation unit 170 irradiates the laser. And by this operation | movement, the cylindrical member T is extended | stretched so that the front-end | tip part Pa and the site | part Pb may distance from the position Pc (step S7). As the tubular member T is stretched, the diameter of the tubular member T becomes smaller at the position Pc, and the hollow region of the tubular member T is closed on the side where the tip portion Pa is located and on the side where the portion Pb is located. To go.

ブレーキ１４４は、ステップＳ８において、制御部１１の制御の下、検出部１３が検出する回転速度差に応じて、ベルトを巻き付ける力を強め、ブレーキ１４４の内筒の回転に抵抗する力を強める、すなわち、内筒の回転にブレーキをかける（ステップＳ８）。例えば、ブレーキ１４４は、回転速度差が予め決められた閾値を超えたときに、内筒の回転にブレーキをかける。これにより、レーザー照射部１７０によってレーザーが照射される筒状部材Ｔの位置Ｐｃにトルクがかかり、筒状部材Ｔは、図７（ｄ）に示すように、位置Ｐｃから分離されて、アンプルＴａと残り部Ｔｂに分かれる。その後、クランプ１４０は、アンプルＴａを解放し、送出部１６Ａは、ローラー１６０を残り部Ｔｂに押し付けて回転させ、残り部ＴｂのアンプルＴａの側がクランプ１４０に近づくように、残り部Ｔｂを移動させる。これにより、残り部Ｔｂは新たな筒状部材Ｔとして扱われ、アンプルＴａが連続して製造される。 In step S8, the brake 144 increases the force to wind the belt and the force to resist rotation of the inner cylinder of the brake 144 according to the rotational speed difference detected by the detection unit 13 under the control of the control unit 11. That is, a brake is applied to the rotation of the inner cylinder (step S8). For example, the brake 144 brakes the rotation of the inner cylinder when the rotational speed difference exceeds a predetermined threshold value. As a result, torque is applied to the position Pc of the cylindrical member T irradiated with laser by the laser irradiation unit 170, and the cylindrical member T is separated from the position Pc as shown in FIG. And the remaining portion Tb. Thereafter, the clamp 140 releases the ampoule Ta, and the delivery unit 16A rotates the roller 160 by pressing the roller 160 against the remaining part Tb and moves the remaining part Tb so that the ampoule Ta side of the remaining part Tb approaches the clamp 140. . Thereby, the remaining part Tb is handled as a new cylindrical member T, and the ampoule Ta is continuously manufactured.

この構成によれば、筒状部材Ｔのうちレーザー照射を受けている部分が軟化していて、かつ、捻られるようにトルクがかかっているときに、さらに筒状部材Ｔを両端にそれぞれ引っ張るので、引っ張らない場合に比べて、筒状部材Ｔは中空の領域を閉鎖して分離し易くなる。 According to this configuration, when the portion of the cylindrical member T receiving the laser irradiation is softened and the torque is applied so as to be twisted, the cylindrical member T is further pulled to both ends. Compared to the case where the member is not pulled, the tubular member T is easily separated by closing the hollow region.

（変形例９）
製造装置１の制御部１１によって実行される各プログラムは、磁気テープや磁気ディスクなどの磁気記録媒体、光ディスクなどの光記録媒体、光磁気記録媒体、半導体メモリなどの、コンピューター装置が読み取り可能な記録媒体に記憶された状態で提供し得る。また、このプログラムを、インターネットのようなネットワーク経由でダウンロードさせることも可能である。なお、上記の制御部１１によって例示した制御手段としてはＣＰＵ以外にも種々の装置が適用される場合があり、例えば、専用のプロセッサなどが用いられる。 (Modification 9)
Each program executed by the control unit 11 of the manufacturing apparatus 1 is a recording readable by a computer device such as a magnetic recording medium such as a magnetic tape or a magnetic disk, an optical recording medium such as an optical disk, a magneto-optical recording medium, or a semiconductor memory. It may be provided in a state stored in a medium. It is also possible to download this program via a network such as the Internet. Note that various devices other than the CPU may be applied as the control means exemplified by the control unit 11. For example, a dedicated processor or the like is used.

１，１Ａ…製造装置、１１…制御部、１２…記憶部、１３，１３Ａ…検出部、１４，１４Ａ…把持部、１４０…クランプ、１４１…第１ステージ、１４２…第１レール、１４３…ブレーキ台車、１４４…ブレーキ、１５，１５Ａ…回転部、１５０…チャック、１５１…第２ステージ、１５２…第２レール、１５３…チャック台車、１６，１６Ａ…送出部、１６０…ローラー、１７，１７Ａ…調節部、１７０…レーザー照射部、１８…延伸部、Ｍ₁…第１材料、Ｍ₂…第２材料、Ｔ…筒状部材 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1,1A ... Manufacturing apparatus, 11 ... Control part, 12 ... Memory | storage part, 13, 13A ... Detection part, 14, 14A ... Gripping part, 140 ... Clamp, 141 ... 1st stage, 142 ... 1st rail, 143 ... Brake Dolly, 144 ... Brake, 15, 15A ... Rotating part, 150 ... Chuck, 151 ... Second stage, 152 ... Second rail, 153 ... Chuck carriage, 16, 16A ... Sending part, 160 ... Roller, 17, 17A ... Adjustment Part, 170 ... laser irradiation part, 18 ... extending part, M ₁ ... first material, M ₂ ... second material, T ... cylindrical member

Claims

A gripping means for gripping the end of the tubular member, which is a hollow tubular member closed at one end, the material being different from the material of the tubular member sealed in the hollow region;
Support means for supporting a portion different from the end of the cylindrical member;
Heating means for heating a predetermined position between the end of the tubular member and the portion;
Rotating means for applying a force to twist the heated position to the heating means, and rotating the end portion with respect to the portion around the axis of the cylindrical member;
Moving means for respectively moving the gripping means and the support means;
Detecting means for detecting a difference in rotational speed between the end and the part ;
Adjusting means for adjusting the amount of heat by which the heating means heats the position based on the difference detected by the detecting means, and for adjusting the amount of movement by which the moving means moves the gripping means and the support means; ,
A manufacturing apparatus comprising:

The outer peripheral surface of the cylindrical member which melted at said position is heated by the pre-Symbol heating means, said twisted by the rotation means to close said hollow region, said the cylindrical member and the side of the end portion 2. The manufacturing apparatus according to claim 1, further comprising: a control unit that causes the gripping unit to grip a portion closed on the side of the part and closed on the side of the part as a new end.

The pre-Symbol support means, the manufacturing apparatus according to claim 1 or 2, characterized in that it comprises means for rotating about the axis of the tubular member.

The softening point of the material before Symbol tubular member, produced according to any one of claims 1-3, characterized in that below the boiling point of the material enclosed in the hollow region of the tubular member apparatus.