JP5869458B2 - ポリアミド酸組成物、ポリイミド組成物、積層体、回路基板、その使用方法、積層体の製造方法及び回路基板の製造方法 - Google Patents
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(A)重量平均分子量が10,000〜150,000の範囲内にあるポリアミド酸、及び
(B)アクリル化合物、
を含み、前記(A)成分100重量部に対して、前記(B)成分を0.1〜60重量部の範囲内で含有する。本発明のポリアミド酸組成物において、前記(A)成分は、重量1g当たりに存在するラジカル重合性の不飽和結合の量が3mmol以下であり、前記(B)成分は、[1分子中の(メタ)アクリロイル基の数/分子量]の値が0.001以上である。
本実施の形態のポリアミド酸組成物は、下記の成分(A)及び(B);
(A)重量平均分子量が10,000〜150,000の範囲内にあるポリアミド酸、及び
(B)アクリル化合物、
を含有する。
本実施の形態において、(A)成分のポリアミド酸は、ポリイミドの前駆体である。そこで、前駆体であるポリアミド酸と、イミド化後のポリイミドについてまとめて説明する。
本実施の形態において、アクリル化合物には、メタアクリル化合物を含む。アクリル化合物としては、金属を硫化(酸化)させる硫黄含有基を持たないものが好ましい。より具体的には、例えばチオール基のように、金属に対して酸化剤として作用する(硫化する)官能基は含まないことが好ましい。ただし、主鎖中に−SO2−のように存在する硫黄含有基は、酸化剤としての機能を持たないため使用しても差し支えない。
本実施の形態のポリアミド酸組成物は、上記(A)成分のポリアミド酸100重量部に対し、(B)成分のアクリル化合物を0.1〜60重量部の範囲内で含有するものであり、1〜20重量部の範囲内がより好ましく、1〜10重量%の範囲内が最も好ましい。アクリル化合物の配合比率が、ポリアミド酸100重量部に対し0.1重量部未満では、硫黄化合物をトラップする効果が十分に得られない。アクリル化合物の配合比率が60重量部を超えると、アクリル化合物どうしの重合反応が生じやすくなり、オイル成分由来の硫黄化合物をトラップする効果が低下する場合がある。
また、本実施の形態のポリアミド酸組成物は、さらに溶媒を含有することも可能である。溶媒としては、例えば、N,N-ジメチルアセトアミド(DMAc)、n-メチルピロリジノン、2-ブタノン、ジグライム、キシレン等が挙げられ、これらの1種若しくは2種以上併用して使用することもできる。
ポリアミド酸組成物は、上記(A)成分のポリアミド酸と(B)成分のアクリル化合物を上記配合比率で仕込み、混合することによって調製される。ポリアミド酸組成物の調製にあたっては、必要によって溶媒を用いることが好ましい。
本実施の形態のポリイミド組成物は、ポリアミド酸組成物を熱処理して、(A)成分のポリアミド酸をイミド化することにより得られるものである。イミド化の方法は、特に制限されず、例えば、80〜400℃の範囲内の温度条件で1〜60分間の範囲内の時間加熱するといった熱処理が好適に採用される。
本実施の形態の積層体は、金属箔上に、上記ポリイミド組成物の樹脂層が積層されてなるものである。積層体の具体例としては、例えば銅張積層体(CCL)などの金属張積層体を挙げることができる。また、本実施の形態の回路基板は、絶縁層と、絶縁層上に形成された配線層と、を有する回路基板であって、絶縁層が、上記ポリイミド組成物の樹脂層を含むものである。本実施の形態の積層体及び回路基板において、ポリイミド組成物の樹脂層は、金属層(配線層を含む)に接した状態で積層して用いることが好ましい。
本実施の形態の回路基板の使用方法は、上記回路基板を、硫黄含有有機化合物を含有するオイル中で使用する。ここで、硫黄含有有機化合物を含有するオイルとしては、例えばエンジンオイル、トランスミッションオイルなどを挙げることができる。また、硫黄含有有機化合物としては、例えば、ベンゾチアゾールなどのチオール化合物を挙げることができる。上記オイル中における本実施の形態の回路基板の使用温度は、例えば常温から200℃程度である。
本実施の形態において、ポリイミドを使用する以外、回路基板を作成する方法は問われない。例えば、ポリイミドの樹脂層と金属層で構成される積層体を用意し、この金属層をエッチングして配線を形成する方法(サブトラクティブ法)でもよい。また、ポリイミドの樹脂層上にシード層を形成した後、レジストをパターン形成し、さらに金属をパターンメッキすることにより配線形成を行う方法(セミアディティブ法)でもよい。
(1)金属箔などの基材上に、ポリアミド酸組成物を含有する樹脂溶液を塗布し、塗布膜を形成する工程と、
(2)塗布膜を熱処理して、(A)成分のポリアミド酸をイミド化することによりポリイミド組成物の樹脂層を形成する工程と、を含むことができる。
また、回路基板の製造は、上記(1)、(2)の工程に加え、さらに、
(3)積層体の金属箔をパターニングして配線層を形成する工程と、を含むことができる。
基材としての金属箔は、カットシート状、ロール状のもの、又はエンドレスベルト状などの形状で使用できる。生産性を得るためには、ロール状又はエンドレスベルト状の形態とし、連続生産可能な形式とすることが効率的である。さらに、回路基板における配線パターン精度の改善効果をより大きく発現させる観点から、銅箔は長尺に形成されたロール状のものが好ましい。
イミド化の方法は、特に制限されず、例えば、80〜400℃の範囲内の温度条件で1〜60分間の範囲内の時間加熱するといった熱処理が好適に採用される。金属箔の酸化を抑制するため、低酸素雰囲気下での熱処理が好ましく、具体的には、窒素又は希ガスなどの不活性ガス雰囲気下、水素などの還元ガス雰囲気下、あるいは真空中で行うことが好ましい。熱処理により、塗布膜中のポリアミド酸がイミド化し、ポリイミドが形成される。この際、塗布膜中に含まれる上記(B)成分のアクリル化合物の大部分はポリアミド酸とは反応せず、非結合状態でポリイミド中に移行し、ポリイミド組成物を形成するものと考えられる。このようにして、ポリイミド組成物の樹脂層(単層又は複数層)と金属箔とを有する積層体を製造することができる。
本工程では、金属箔を所定形状にエッチングすることによってパターン形成し、配線層に加工する。エッチングは、例えばフォトリソグラフィー技術などを利用する任意の方法で行うことができる。
接着強度は、幅10mm、長さ100mmに切り出した評価サンプルを、引張試験機(東洋精機株式会社製、ストログラフ−M1)を用いて、180°方向に50mm/分の速度で、銅箔とポリイミド間を引き剥がす時の力を接着強度とした。
硫黄濃度(以下、「S濃度」と記すことがある)は、評価サンプルの銅とポリイミド間を引き剥がした後の銅箔側の剥離面のエネルギー分散型蛍光X線分析装置(EDX)分析により、得た。
BAPP:2,2−ビス(4−アミノフェノキシフェニル)プロパン
m−TB:2,2’−ジメチル−4,4’−ジアミノビフェニル
TPE−R:1,3’−ビスアミノフェノキシベンゼン
PMDA:ピロメリット酸二無水物
BPDA:3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物
DMAc:N,N−ジメチルアセトアミド
ポリアミド酸A、Bを合成するため、窒素気流下で、表1に示したジアミンを、200mlのセパラブルフラスコの中で攪拌しながら溶剤DMAcに溶解させた。次いで、表1に示したテトラカルボン酸二無水物を加えた。その後、溶液を室温で5時間攪拌を続けて重合反応を行い、一昼夜保持した。粘稠なポリアミド酸溶液が得られ、高重合度のポリアミド酸が生成されていることが確認された。得られたポリアミド酸A、Bの溶液(以下、ポリアミド酸溶液A、Bという)の固形分と溶液粘度を表1に示した。
合成例1で得られたポリアミド酸溶液Aの固形分100重量部に対し、アクリル化合物(日本化薬株式会社製、商品名;KAYARAD PET−30)を5重量部相当(アクリロイル基として0.56mmol/g)の0.63gを混合し、2時間室温にて攪拌させて、ポリアミド酸組成物1を調製した。銅箔上にポリアミド酸組成物1を硬化後の厚みが2μmとなるように塗布し、130℃で加熱乾燥し溶剤を除去した後、その上に合成例2で得られたポリアミド酸溶液Bを硬化後の厚みが21μmとなるように塗布し、125℃で加熱乾燥し溶剤を除去した。更に、その上にポリアミド酸溶液Aを硬化後の厚みが2μmとなるように塗布し、125℃で加熱乾燥し溶剤を除去した。この後、130℃、145℃、160℃、210℃、280℃、320℃、360℃で各1〜15分間段階的な熱処理を行って、銅箔上に3層のポリイミド層からなる配線基板用積層体1を作製した。銅箔上のポリイミド層の厚みは、銅箔側から順に2μm/21μm/2μmである。配線基板用積層体1を10cm×3cmにカットした後、銅箔が9cm×2cmとなるように銅箔をエッチングし、銅側に10cm×3cmのカバーレイ(新日鐵化学株式会社製、商品名;エスパネックスSPC)を熱圧着して評価サンプル1を作製した。評価サンプル1の銅箔とポリイミド間の接着強度(接着強度1)は1.3kN/mであった。なお、ポリアミド酸Aをイミド化して得られるポリイミドは熱可塑性であり、ポリアミド酸Bをイミド化して得られるポリイミドは非熱可塑性である。
ポリアミド酸溶液Aの固形分100重量部に対して、アクリル化合物を10重量部相当(アクリロイル基として1.17mmol/g)の1.25gを混合したこと以外、実施例1と同様の方法でポリアミド酸組成物2を得た後、配線基板用積層体2を得、評価サンプル2を得た。評価サンプル2の銅箔とポリイミド間の接着強度(接着強度1)は1.3kN/mであった。また、マツダ社製オートマチックトランスミッション用オイル(商品名;ATF M−III)中、150℃、250時間熱処理後の銅箔とポリイミド間の接着強度(接着強度2)は0.56kN/mであった。このときの銅箔側の剥離面のS濃度は5%であった。そして、150℃、1,000時間熱処理後の銅箔とポリイミド間の接着強度(接着強度3)を測定したところ、0.11kN/mであった。結果を表2に示す。
ポリアミド酸溶液Aの固形分100重量部に対して、アクリル化合物を20重量部相当(アクリロイル基として2.34mmol/g)の2.50gを混合したこと以外、実施例1と同様の方法でポリアミド酸組成物3を得た後、配線基板用積層体3を得、評価サンプル3を得た。評価サンプル3の銅箔とポリイミド間の接着強度(接着強度1)は1.3kN/mであった。また、マツダ社製オートマチックトランスミッション用オイル(商品名;ATF M−III)中、150℃、250時間熱処理後の銅箔とポリイミド間の接着強度(接着強度2)は0.5kN/mであった。このときの銅箔側の剥離面のS濃度は5%であった。そして、150℃、1,000時間熱処理後の銅箔とポリイミド間の接着強度(接着強度3)を測定したところ、0kN/mであった。結果を表2に示す。
銅箔上にポリアミド酸溶液Aを硬化後の厚みが2μmとなるように塗布し、130℃で加熱乾燥し溶剤を除去した次に、その上に合成例1で得られたポリアミド酸溶液Bを硬化後の厚みが21μmとなるように塗布し、125℃で加熱乾燥し溶剤を除去した。更に、その上にポリアミド酸溶液Aを硬化後の厚みが2μmとなるように塗布し、125℃で加熱乾燥し溶剤を除去した。この後、130℃、145℃、160℃、210℃、280℃、320℃、360℃で各1〜15分間段階的な熱処理を行って、銅箔上に3層のポリイミド層からなる配線基板用積層体4を作成した。そして、実施例1と同様に配線基板用積層体4から評価サンプル4を得た。評価サンプル4の銅箔とポリイミド間の接着強度(接着強度1)は1.3kN/mであった。また、マツダ社製オートマチックトランスミッション用オイル(商品名;ATF M−III)中、150℃、250時間熱処理後の銅箔とポリイミド間の接着強度(接着強度2)は0.12kN/mであった。このときの銅箔側の剥離面のS濃度は7%であった。そして、150℃、1,000時間熱処理後の銅箔とポリイミド間の接着強度(接着強度3)を測定したところ、0kN/mであった。結果を表2に示す。
Claims (7)
- 下記の成分(A)及び(B);
(A)重量平均分子量が10,000〜150,000の範囲内にあるポリアミド酸、及び
(B)アクリル化合物、
を含み、前記(A)成分100重量部に対して、前記(B)成分を0.1〜60重量部の範囲内で含有するとともに、光重合開始剤及びホスフィンオキサイド化合物を含有しないポリアミド酸組成物であって、
前記(A)成分は、重量1g当たりに存在するラジカル重合性の不飽和結合の量が3mmol以下であり、
前記(B)成分は、[1分子中の(メタ)アクリロイル基の数/分子量]の値が0.001以上であるポリアミド酸組成物。 - 下記の成分(A)及び(B);
(A)重量平均分子量が10,000〜150,000の範囲内にあるポリアミド酸、及び
(B)アクリル化合物、
を含み、前記(A)成分100重量部に対して、前記(B)成分を0.1〜60重量部の範囲内で含有するポリアミド酸組成物であって、
前記(A)成分は、重量1g当たりに存在するラジカル重合性の不飽和結合の量が3mmol以下であり、
前記(B)成分は、[1分子中の(メタ)アクリロイル基の数/分子量]の値が0.001以上であり、硫黄含有有機化合物を含有するオイル中で使用される回路基板用のポリアミド酸組成物。 - 前記(B)成分は、[1分子中の(メタ)アクリロイル基の数/分子量]の値が0.003以上である請求項1又は2に記載のポリアミド酸組成物。
- 前記(A)成分の原料が、
無水ピロメリット酸、3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’-ジフェニルスルフォンテトラカルボン酸二無水物、2,2’,3,3’-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、2,3,3’,4’-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物及び3,3’,4,4’-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物よりなる群から選ばれる1種以上の酸無水物と、
2,2’-ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]プロパン及び4,4’-ジアミノジフェニルエーテルよりなる群から選ばれる1種以上のジアミンと、の組み合わせ(ただし、3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物と4,4’-ジアミノジフェニルエーテルとの組み合わせを除く)である請求項1から3のいずれか1項に記載のポリアミド酸組成物。 - 請求項1から4のいずれか1項に記載のポリアミド酸組成物を熱処理して、前記(A)成分をイミド化する工程を含むポリイミド組成物の製造方法。
- 基材と、前記基材上にポリイミド組成物の樹脂層を含む絶縁層が形成された積層体の製造方法であって、
前記基材上に、請求項1から4のいずれか1項に記載のポリアミド酸組成物を含有する樹脂溶液を塗布し、塗布膜を形成する工程と、
前記塗布膜を熱処理して、前記(A)成分をイミド化することにより、ポリイミド組成物の樹脂層を形成する工程と、
を備える積層体の製造方法。 - ポリイミド組成物の樹脂層を含む絶縁層と、前記絶縁層上に形成された配線層と、を有する回路基板の製造方法であって、
金属箔上に、請求項1から4のいずれか1項に記載のポリアミド酸組成物を含有する樹脂溶液を塗布し、塗布膜を形成する工程と、
前記塗布膜を熱処理して、前記(A)成分をイミド化することにより、ポリイミド組成物の樹脂層を形成する工程と、
前記金属箔をパターニングして前記配線層を形成する工程と、
を備える回路基板の製造方法。
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